JP7401267B2 - インプリント装置およびインプリント装置の制御方法 - Google Patents
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Description
<インプリント装置の構成>
図1は、本実施形態のインプリント装置1の構成を示す図である。図1を用いてインプリント装置1の構成を説明する。
図2は、吐出装置10による吐出動作を示す図である。図2の点線は、型3によるインプリント位置を示している。図2は、基板ステージ8が、ステージ移動方向(この例では、y方向)に移動しながら吐出装置10から吐出が行われることで、所定のフィールド(吐出領域)に吐出材11が吐出される例を示している。吐出動作時においては、吐出装置10の位置は変わらず、基板ステージ8の位置が変わる様子を示している。
図4は、本実施形態とは異なる比較例における吐出制御タイミングを示す図である。図4を用いて比較例を説明した後に、本実施形態の例を説明する。基板ステージ8のステージ制御部22は、吐出領域に到達した時点で、吐出装置10の吐出制御部21に吐出を開始させるためのトリガー信号を出力する。吐出装置10の吐出制御部21は、トリガー信号を受信した時刻を基準に、各ノズル列の列間隔と基板ステージ8の移動速度とから、各ノズル列の吐出開始時間(Ta~Td)を決定する。吐出制御部21を構成する各ノズル列のノズル列制御部CNTa~CNTdは、吐出開始時間(Ta~Td)に到達した時点で、吐出制御(Ga~Gd)を開始する。
図6は、本実施形態における吐出制御タイミングを示す図である。図6に示すように、吐出装置10の吐出制御部21は、各ノズル列の吐出開始タイミングを一括制御するための吐出開始タイミング制御部CNTtを有する。この吐出開始タイミング制御部CNTtは、各ノズル列のノズル列制御部CNTa~CNTdとは、分離して独立した構成である。
第1実施形態では、隣接フィールドを含む複数のフィールドに連続して吐出をする連続吐出制御を説明した。第2実施形態では、連続吐出制御を行う際に、基板ステージ8の位置を補正しながら基板ステージ8をステージ移動方向に移動する例を説明する。
第1実施形態および第2実施形態は、フィールドが格子状に整列される基板6を用いる例を説明した。即ち、隣接フィールドが、ステージ移動方向においてオーバーラップしていない例を説明した。本実施形態は、隣接フィールドがステージ移動方向においてオーバーラップしている場合の例を説明する。
上述した実施形態では、ノズル列幅の長さが、隣接フィールド間の長さよりも長い場合を例に挙げて説明したが、これに限られない。ノズル列幅が隣接フィールド間の長さと同じまたは短いような場合において、前述した実施形態で説明した制御を行ってもよい。
6 基板
8 基板ステージ
10 吐出装置
11 吐出材
Claims (13)
- 吐出材を吐出する第1のノズル列と前記第1のノズル列から第1方向に離れ吐出材を吐出する第2のノズル列とを含む複数のノズル列を有する吐出手段と、基板を前記第1方向と前記第1方向と交差する第2方向に移動させる基板ステージと、を備え、前記基板ステージを移動させながら前記吐出手段から吐出材を基板上の複数のフィールドに吐出させるインプリント装置であって、
前記第1方向において第1のフィールドに続いて当該第1のフィールドと隣接する第2のフィールドに、前記第1方向において前記第1のノズル列、次に前記第2のノズル列の順で吐出材を吐出させるとき、前記第1のフィールドに対する前記第2のノズル列による吐出動作が完了する前に、前記第2のフィールドに対する前記第1のノズル列の吐出開始信号を受け付けて前記第2のフィールドにおける吐出開始のタイミングが決定されることを特徴とするインプリント装置。 - 前記第1のフィールドと前記第2のフィールドとの間隔は、前記複数のノズル列の幅よりも短いことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- ノズル列ごとに設けられた、ノズル列における吐出を制御するノズル列制御部と、
前記吐出開始信号を受け付けると、各ノズル列における吐出開始のタイミングをそれぞれ決定し、吐出開始のタイミングで前記ノズル列制御部に吐出開始を命令するタイミング制御部と、を備えることを特徴とする請求項1または2に記載のインプリント装置。 - 前記ノズル列制御部は、フィールド内の吐出パターンを示す情報に従って、対応するノズル列のノズルを駆動することを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。
- 前記タイミング制御部は、前記基板ステージから前記吐出開始信号を受け付けることを特徴とする請求項3または4に記載のインプリント装置。
- 前記ノズル列制御部と、前記タイミング制御部とは、分離して構成され、前記ノズル列制御部は、前記吐出開始信号を受け付けないことを特徴とする請求項3から5のいずれか一項に記載のインプリント装置。
- 各ノズル列のノズルは、前記第1方向と直交する前記第2方向において他のノズル列のノズルと重複しない位置に配されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載のインプリント装置。
- 前記第1方向と直交する前記第2方向および回転方向の前記基板ステージの位置の誤差を補正する補正量を近似補間して得られた駆動軌跡に従って、前記基板ステージを移動させることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載のインプリント装置。
- 前記基板ステージの移動速度を一定にし、かつ、吐出材の吐出周波数を各フィールド単位で可変にすることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載のインプリント装置。
- 前記第1のフィールドと前記第2のフィールドとが、前記第1方向においてオーバーラップする形状である場合、それぞれの吐出領域が前記第1方向においてオーバーラップしないように吐出領域を制限することを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載のインプリント装置。
- 前記吐出手段は、前記制限された吐出領域の範囲内で生成された吐出パターンを示す情報に従って吐出を行うことを特徴とする請求項10に記載のインプリント装置。
- 前記第1方向における隣接フィールドを含む1行分のフィールドに吐出材を吐出した後に、当該1行分のフィールドにインプリント動作を行うことを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載のインプリント装置。
- 吐出材を吐出する第1のノズル列と前記第1のノズル列から第1方向に離れ吐出材を吐出する第2のノズル列とを含む複数のノズル列を有する吐出手段と、基板を前記第1方向と前記第1方向と交差する第2方向に移動させる基板ステージと、を備え、前記基板ステージを移動させながら前記吐出装置から吐出材を基板上の複数のフィールドに吐出させるインプリント装置の制御方法であって、
前記第1方向において第1のフィールドに続いて当該第1のフィールドと隣接する第2のフィールドに、前記第1方向において前記第1のノズル列、次に前記第2のノズル列の順で吐出材を吐出させるとき、前記第1のフィールドに対する前記第2のノズル列による吐出動作が完了する前に、前記第2のフィールドに対する前記第1のノズル列の吐出開始信号を受け付ける工程と、
前記吐出開始信号に応じて前記第2のフィールドにおける吐出開始のタイミングを決定する工程と、
を有することを特徴とするインプリント装置の制御方法。
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