JP7275616B2 - Light emitting device, optical device and information processing device - Google Patents

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Description

本発明は、発光装置、光学装置および情報処理装置に関する。 The present invention relates to a light emitting device, an optical device and an information processing device.

特許文献1には、下部反射鏡と、活性層を含む共振器領域と、上部反射鏡とを含む面発光レーザ素子により形成された発光部を複数備える発光領域を有する面発光レーザアレイであって、発光領域の周囲を囲むように形成された電極パッド部と、電極パッド部の周囲を囲むように形成され、電極パッド部と電気的に絶縁された壁とを有することを特徴とする面発光レーザアレイが開示されている。 Patent Document 1 discloses a surface-emitting laser array having a light-emitting region having a plurality of light-emitting portions each formed of a surface-emitting laser element including a lower reflector, a resonator region including an active layer, and an upper reflector, and a wall formed so as to surround the electrode pad and electrically insulated from the electrode pad. A laser array is disclosed.

特開2017-084899号公報JP 2017-084899 A

本発明の課題は、配線基板上に搭載される基材の表面に発光素子アレイと回路素子とを配置した構成において、発光素子アレイと回路素子との並び方向に沿って発光素子アレイと対向する位置にのみ発光素子アレイの上面電極と基材の貫通部材とに接続される導電パターンが配置された構成と比較し、発光素子アレイと、基材が搭載される配線基板との間のインダクタンスを低減しやすい構成の発光装置、光学装置および情報処理装置を提供することである。 An object of the present invention is to provide a structure in which a light-emitting element array and circuit elements are arranged on the surface of a base material mounted on a wiring board, and the light-emitting element array and the circuit elements face the light-emitting element array along the direction in which they are arranged. Compared to the configuration in which the conductive pattern connected to the upper surface electrode of the light emitting element array and the penetrating member of the base material is arranged only at the position, the inductance between the light emitting element array and the wiring board on which the base material is mounted is reduced. An object of the present invention is to provide a light-emitting device, an optical device, and an information processing device that are configured to be easily reduced.

第1態様に係る発光装置は、配線基板上に搭載される基材と、前記基材の上に設けられた発光素子アレイと、前記発光素子アレイと接続され、前記発光素子アレイの側面に沿って前記基材の表面に設けられた、前記発光素子アレイと対向する領域である対向領域と、当該対向領域を越えて延長された延長領域とを有する第1の導電パターンと、前記対向領域と前記延長領域とに接続され、前記基材の裏面側に貫通する複数の貫通部材と、を備えたものである。 A light-emitting device according to a first aspect includes a substrate mounted on a wiring substrate, a light-emitting element array provided on the substrate, and connected to the light-emitting element array, along the side surface of the light-emitting element array. a first conductive pattern provided on the surface of the base material and having a facing region facing the light emitting element array and an extension region extending beyond the facing region; and a plurality of penetrating members connected to the extension region and penetrating to the rear surface side of the base material.

第2態様に係る発光装置は、第1態様に係る発光装置において、前記第1の導電パターンが延びる方向に沿って、前記発光素子アレイと並んで設けられた回路素子を有し、前記延長領域は、少なくとも前記回路素子の一部と対向する位置まで延長されているものである。 A light-emitting device according to a second aspect is the light-emitting device according to the first aspect, further comprising: a circuit element provided in parallel with the light-emitting element array along the direction in which the first conductive pattern extends; is extended to at least a position facing a portion of the circuit element.

第3態様に係る発光装置は、第2態様に係る発光装置において、前記発光素子アレイを挟んで前記第1の導電パターンと反対側の前記基材の表面に設けられ、前記発光素子アレイと対向する領域である対向領域と、当該対向領域を超えて前記回路素子側に延長された領域である延長領域とを有する第2の導電パターンをさらに備え、前記回路素子の少なくとも一部は、前記第1の導電パターンの延長領域と前記第2の導電パターンの延長領域との間に設けられているものである。 A light-emitting device according to a third aspect is the light-emitting device according to the second aspect, provided on the surface of the substrate opposite to the first conductive pattern with the light-emitting element array interposed therebetween, and facing the light-emitting element array. and an extension region extending beyond the opposing region toward the circuit element, wherein at least part of the circuit element It is provided between the extension region of one conductive pattern and the extension region of the second conductive pattern.

第4態様に係る発光装置は、第2態様または第3態様に係る発光装置において、前記回路素子は前記発光素子アレイから出射された光を受光する光電変換素子であるものである。 A light-emitting device according to a fourth aspect is the light-emitting device according to the second aspect or the third aspect, wherein the circuit element is a photoelectric conversion element that receives light emitted from the light-emitting element array.

第5態様に係る発光装置は、第4態様に係る発光装置において、前記発光素子アレイと前記光電変換素子との上方に、前記発光素子アレイから出射される光を外部に拡散する光拡散部材が設けられているものである。 A light-emitting device according to a fifth aspect is the light-emitting device according to the fourth aspect, wherein a light diffusion member for diffusing light emitted from the light-emitting element array to the outside is provided above the light-emitting element array and the photoelectric conversion elements. It is provided.

第6態様に係る発光装置は、第2態様から第5態様のいずれかの態様に係る発光装置において、前記回路素子は前記発光素子アレイに電流を供給するキャパシタであるものである。 A light-emitting device according to a sixth aspect is the light-emitting device according to any one of the second to fifth aspects, wherein the circuit element is a capacitor that supplies current to the light-emitting element array.

第7態様に係る発光装置は、第1態様から第6態様のいずれかの態様に係る発光装置において、前記基材の裏面には裏面側の導電パターンが設けられ、前記貫通部材は、前記第1の導電パターンと前記裏面側の導電パターンとを接続するものである。 A light-emitting device according to a seventh aspect is the light-emitting device according to any one of the first to sixth aspects, wherein a rear-side conductive pattern is provided on the rear surface of the base material, and the penetrating member 1 and the conductive pattern on the back side.

第8態様に係る発光装置は、第1態様から第7態様のいずれかの態様に係る発光装置において、前記発光素子アレイと前記第1の導電パターンを接続する複数の配線部材をさらに備え、前記複数の配線部材は前記対向領域と前記延長領域とに接続されているものである。 A light-emitting device according to an eighth aspect is the light-emitting device according to any one of the first to seventh aspects, further comprising a plurality of wiring members for connecting the light-emitting element array and the first conductive pattern, A plurality of wiring members are connected to the facing area and the extension area.

第9態様に係る発光装置は、第8態様に係る発光装置において、前記複数の配線部材は前記第1の導電パターン上に列状に接続され、前記複数の貫通部材は、当該列状の領域と重なるように設けられているものである。 A light-emitting device according to a ninth aspect is the light-emitting device according to the eighth aspect, wherein the plurality of wiring members are connected in a row on the first conductive pattern, and the plurality of penetrating members are arranged in the row-shaped region. It is provided so as to overlap with the

第10態様に係る発光装置は、第8態様または第9態様に係る発光装置において、前記貫通部材と前記第1の導電パターンとの接続点と、前記配線部材と前記第1の導電パターンとの接続点とが重なっているものである。 A light-emitting device according to a tenth aspect is the light-emitting device according to the eighth aspect or the ninth aspect, wherein: a connection point between the penetrating member and the first conductive pattern; It overlaps with the connection point.

第11態様に係る発光装置は、第8態様から第10態様のいずれかの態様に係る発光装置において、前記貫通部材の数は、前記配線部材の数よりも多いものである。 A light emitting device according to an eleventh aspect is the light emitting device according to any one of the eighth aspect to the tenth aspect, wherein the number of the penetrating members is greater than the number of the wiring members.

第12態様に係る発光装置は、第8態様から第11態様のいずれかの態様に係る発光装置において、前記複数の貫通部材の断面積の合計値は、前記複数の配線部材の断面積の合計値よりも大きいものである。 A light-emitting device according to a twelfth aspect is the light-emitting device according to any one of the eighth aspect to the eleventh aspect, wherein the total cross-sectional area of the plurality of penetrating members is the total cross-sectional area of the plurality of wiring members. is greater than the value

第13態様に係る発光装置は、第1態様から第12態様のいずれかの態様に係る発光装置において、前記発光素子アレイは複数の発光素子を有し、前記発光素子アレイ内において前記複数の発光素子が配列されている領域の形状は、前記第1の導電パターンに沿った方向の長さよりも、前記第1の導電パターンと交差する方向の長さの方が長いものである。 A light-emitting device according to a thirteenth aspect is the light-emitting device according to any one of the first to twelfth aspects, wherein the light-emitting element array has a plurality of light-emitting elements, and the plurality of light-emitting elements in the light-emitting element array The shape of the region in which the elements are arranged is such that the length in the direction crossing the first conductive pattern is longer than the length in the direction along the first conductive pattern.

第14態様に係る発光装置は、第13態様に係る発光装置において、前記複数の発光素子が互いに並列接続されているものである。 A light-emitting device according to a fourteenth aspect is the light-emitting device according to the thirteenth aspect, wherein the plurality of light-emitting elements are connected in parallel.

第15態様に係る発光装置は、第1態様から第14態様のいずれかの態様に係る発光装置において、前記基材はセラミックで形成されているものである。 A light-emitting device according to a fifteenth aspect is the light-emitting device according to any one of the first to fourteenth aspects, wherein the substrate is made of ceramic.

第16態様に係る発光装置は、第1態様に係る発光装置において、前記第1の導電パターンが延びる方向に沿って、前記発光素子アレイと並んで設けられた識別表示領域を有し、前記延長領域は、少なくとも前記識別表示領域の一部と対向する位置まで延長されているものである。 A light-emitting device according to a sixteenth aspect is the light-emitting device according to the first aspect, further comprising an identification display region provided in parallel with the light-emitting element array along the direction in which the first conductive pattern extends; The region extends at least to a position facing a portion of the identification display region.

第17態様に係る発光装置は、第16態様に係る発光装置において、前記識別表示領域は、自装置と他の装置とを識別する文字、番号、記号の少なくとも一つを含む領域であるものである。 A light-emitting device according to a seventeenth aspect is the light-emitting device according to the sixteenth aspect, wherein the identification display area is an area including at least one of letters, numbers, and symbols for identifying the self-device and other devices. be.

第18態様に係る光学装置は、第1態様から第17態様のいずれかの態様に係る発光装置と、前記発光装置が備える前記発光素子アレイから出射され被測定物で反射された反射光を受光する三次元センサと、を備え、前記三次元センサは、前記発光素子アレイから光が出射されてから当該三次元センサで受光されるまでの時間に相当する信号を出力するものである。 An optical device according to an eighteenth aspect comprises the light emitting device according to any one of the first to seventeenth aspects, and receives reflected light emitted from the light emitting element array included in the light emitting device and reflected by an object to be measured. and a three-dimensional sensor that outputs a signal corresponding to the time from when the light is emitted from the light-emitting element array to when the light is received by the three-dimensional sensor.

第19態様に係る情報処理装置は、第18態様に係る光学装置と、前記光学装置が備える前記発光素子アレイから出射され被測定物で反射され、当該光学装置が備える三次元センサで受光された反射光に基づき、当該被測定物の三次元形状を特定する形状特定部と、を備えるものである。 An information processing apparatus according to a nineteenth aspect includes the optical device according to the eighteenth aspect, and light emitted from the light emitting element array included in the optical device, reflected by the object to be measured, and received by a three-dimensional sensor included in the optical device. a shape specifying unit that specifies the three-dimensional shape of the object to be measured based on the reflected light.

第20態様に係る情報処理装置は、第19態様に係る情報処理装置において、前記形状特定部での特定結果に基づき、自装置の使用に関する認証処理を行う認証処理部を備えるものである。 An information processing apparatus according to a twentieth aspect is the information processing apparatus according to the nineteenth aspect, further comprising an authentication processing section that performs authentication processing regarding use of the own apparatus based on the identification result of the shape identification section.

第1態様、および第16態様から第19態様によれば、配線基板上に搭載される基材の表面に発光素子アレイと回路素子とを配置した構成において、発光素子アレイと回路素子との並び方向に沿って発光素子アレイと対向する位置にのみ発光素子アレイの上面電極と基材の貫通部材とに接続される導電パターンが配置された構成と比較し、発光素子アレイと、基材が搭載される配線基板との間のインダクタンスを低減しやすい構成の発光装置を提供することができる、という効果を奏する。 According to the first aspect and the sixteenth to nineteenth aspects, in the configuration in which the light emitting element array and the circuit elements are arranged on the surface of the base material mounted on the wiring board, the arrangement of the light emitting element array and the circuit elements Compared to the configuration in which the conductive pattern connected to the upper surface electrode of the light emitting element array and the penetrating member of the base material is arranged only at the position facing the light emitting element array along the direction, the light emitting element array and the base material are mounted. It is possible to provide a light-emitting device having a configuration that facilitates reducing the inductance between the wiring board and the substrate.

第2態様によれば、回路素子の一部と対向する位置まで延長されていない場合と比較し、貫通部材を接続するスペースが増加する、という効果を奏する。 According to the second aspect, there is an effect that the space for connecting the penetrating member is increased compared to the case where the penetrating member is not extended to the position facing the part of the circuit element.

第3態様によれば、回路素子の一部にかかるまで第1および第2の導電パターンが延長されていない場合と比較し、貫通部材を接続するスペースが増加する、という効果を奏する。 According to the third aspect, compared to the case where the first and second conductive patterns are not extended to cover part of the circuit element, the space for connecting the penetrating member is increased.

第4態様によれば、発光素子アレイの上方に光拡散部材等が設けられた場合に、発光素子アレイから出射された光が受光される、という効果を奏する。 According to the fourth aspect, there is an effect that the light emitted from the light emitting element array is received when the light diffusion member or the like is provided above the light emitting element array.

第5態様によれば、発光素子アレイからの光が拡散して照射されるとともに、光電変換素子の上方に光拡散部材がない場合と比較し、光拡散部材で下方に反射した光を光電変換素子で受光しやすい、という効果を奏する。 According to the fifth aspect, the light from the light emitting element array is diffused and irradiated, and the light reflected downward by the light diffusion member is photoelectrically converted compared to the case where there is no light diffusion member above the photoelectric conversion element. The effect is that the light is easily received by the element.

第6態様によれば、発光素子アレイとキャパシタが近接配置される、という効果を奏する。 According to the sixth aspect, there is an effect that the light emitting element array and the capacitor are arranged close to each other.

第7態様によれば、発光装置を配線基板に搭載する場合、第1の導電パターンと配線基板とをボンディングワイヤで接続する必要がない、という効果を奏する。 According to the seventh aspect, when the light emitting device is mounted on the wiring board, there is an effect that it is not necessary to connect the first conductive pattern and the wiring board with a bonding wire.

第8態様によれば、対向領域のみに接続する場合と比較し、インダクタンスが低減される、という効果を奏する。 According to the eighth aspect, there is an effect that the inductance is reduced as compared with the case of connecting only to the opposing region.

第9態様によれば、重なっていない場合と比較し、インダクタンスが低減されるという効果を奏する。 According to the ninth aspect, there is an effect that the inductance is reduced as compared with the case where they do not overlap.

第10態様によれば、重なっていない場合と比較し、インダクタンスが低減される、という効果を奏する。 According to the tenth aspect, there is an effect that the inductance is reduced as compared with the case where they do not overlap.

第11態様によれば、貫通部材の数が配線部材の数よりも少ない場合と比較し、発光素子アレイのサイズを大きくすることなくインダクタンスを低減しやすい、という効果を奏する。 According to the eleventh aspect, compared with the case where the number of penetrating members is smaller than the number of wiring members, it is possible to easily reduce the inductance without increasing the size of the light emitting element array.

第12態様によれば、貫通部材の断面積の合計値が配線部材の断面積の合計値よりも小さい場合と比較し、インダクタンスを低減される、という効果を奏する。 According to the twelfth aspect, compared with the case where the total value of the cross-sectional areas of the penetrating members is smaller than the total value of the cross-sectional areas of the wiring members, it is possible to reduce the inductance.

第13態様によれば、複数の発光素子が配列されている領域の形状が、第1の導電パターンに沿った方向の長さの方が長い場合と比較し、駆動回路の電流ループを短く設定しやすい、という効果を奏する。 According to the thirteenth aspect, the shape of the region in which the plurality of light emitting elements are arranged sets the current loop of the drive circuit shorter than when the length in the direction along the first conductive pattern is longer. It has the effect of making it easier to

第14態様によれば、発光素子を個別に駆動する構成と比較し、強い強度の光が同時に照射される、という効果を奏する。 According to the 14th aspect, compared with the configuration in which the light emitting elements are driven individually, there is an effect that the light of high intensity is emitted simultaneously.

第15態様によれば、セラミックよりも熱伝導率が低い部材を使用する場合と比較し、放熱しやすい、という効果を奏する。 According to the fifteenth aspect, there is an effect that heat is easily dissipated compared to the case of using a member having a thermal conductivity lower than that of ceramics.

第20態様によれば、認証処理部を使用しない場合と比較して、より安定に認証が行われる、という効果を奏する。 According to the twentieth aspect, there is an effect that authentication is performed more stably than when the authentication processing section is not used.

実施の形態に係る情報処理装置の(a)は外観の一例を示す図、(b)は電気的な構成の一例を示すブロック図である。1A is a diagram showing an example of the appearance of an information processing apparatus according to an embodiment, and FIG. 1B is a block diagram showing an example of an electrical configuration; FIG. 実施の形態に係る(a)は発光素子アレイの平面図、(b)は発光装置の回路図、(c)は光拡散板の機能を説明する側面断面図である。1A is a plan view of a light emitting element array, FIG. 1B is a circuit diagram of a light emitting device, and FIG. 実施の形態に係る発光装置の側面断面図および平面図である。1A and 1B are a side cross-sectional view and a plan view of a light emitting device according to an embodiment; 実施の形態に係る発光モジュールの、(a)は平面図および側面断面図、(b)は裏面図、(c)はボンディングワイヤとビアの接続状態を示す図である。1A is a plan view and a cross-sectional side view of a light-emitting module according to an embodiment, FIG. 1B is a back view, and FIG. (a)は第1の変形例の平面図、(b)は第2の変形例の平面図、(c)は第3の変形例の平面図である。(a) is a plan view of a first modification, (b) is a plan view of a second modification, and (c) is a plan view of a third modification. 比較例に係る発光モジュールの平面図、および側面断面図である。2A and 2B are a plan view and a side cross-sectional view of a light-emitting module according to a comparative example; FIG.

以下、図面を参照し、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1から図4を参照して、本実施の形態に係る発光装置、光学装置および情報処理装置について説明する。以下の実施の形態では、情報処理装置の一例としてスマートフォン等で代表される携帯型情報処理装置を例示して説明する。 A light-emitting device, an optical device, and an information processing device according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 4. FIG. In the following embodiments, as an example of an information processing device, a portable information processing device represented by a smart phone will be described.

図1(a)は、本実施の形態に係る情報処理装置10の外観を示している。情報処理装置10は、光学装置24、およびUI(User Interface)部20を備えている。UI部20は、例えばユーザに対して情報を表示する表示デバイスとユーザの操作により情報処理に対する指示が入力される入力デバイスとが一体化されて構成されている。表示デバイスは、例えば液晶ディスプレイや有機ELディスプレイであり、入力デバイスは、例えばタッチパネルである。 FIG. 1(a) shows the appearance of an information processing apparatus 10 according to this embodiment. The information processing apparatus 10 includes an optical device 24 and a UI (User Interface) section 20 . The UI unit 20 is configured, for example, by integrating a display device for displaying information to a user and an input device for inputting an instruction for information processing by a user's operation. A display device is, for example, a liquid crystal display or an organic EL display, and an input device is, for example, a touch panel.

光学装置24は、発光装置23と、3次元センサ13とを備える。発光装置23は、三次元像を取得するために被測定物に向けて光を出射する部位である。本実施の形態では被測定物の一例として人の顔を例示して説明する。3次元センサ13は、発光装置23が出射した光が顔で反射されて戻ってきた反射光を受光する。本実施の形態に係る3次元センサ13は、いわゆるTOF(Time of Flight:光の飛行時間)法に基づいて例えば人の顔の三次元像を取得する機能を有している。 The optical device 24 has a light emitting device 23 and a three-dimensional sensor 13 . The light emitting device 23 is a part that emits light toward the object to be measured in order to obtain a three-dimensional image. In this embodiment, a human face will be described as an example of the object to be measured. The three-dimensional sensor 13 receives reflected light that is returned after the light emitted by the light emitting device 23 is reflected by the face. The three-dimensional sensor 13 according to this embodiment has a function of acquiring, for example, a three-dimensional image of a human face based on the so-called TOF (Time of Flight) method.

図1(b)を参照して、情報処理装置10の電気的な構成について説明する。図1(b)に示すように、情報処理装置10はシステム制御部16、ROM18、RAM19、UI部20、光学装置24、スピーカ21および2次元カメラ22を含んで構成されている。むろん本構成は一例であり、目的、用途等に応じて一部の構成が削除されたり、他の構成が付加されたりしてもよい。 An electrical configuration of the information processing apparatus 10 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 1B, the information processing apparatus 10 includes a system control section 16, a ROM 18, a RAM 19, a UI section 20, an optical device 24, a speaker 21 and a two-dimensional camera 22. FIG. Of course, this configuration is just an example, and some configurations may be deleted or other configurations may be added depending on the purpose, application, and the like.

システム制御部16は例えばCPUであり、情報処理装置10は当該システム制御部16と、ROM18、RAM19等を含むコンピュータとして構成されている。システム制御部16は情報処理装置10の全体をシステムとして制御するとともに、認証処理部17を備えている。なお、ROM18には、不揮発性の書き換え可能なメモリ、例えばフラッシュメモリを含む。そして、ROM18に蓄積されたプログラムや定数がRAM19に展開され、当該プログラムをシステム制御部16が実行することによって、情報処理装置10が動作し、各種の情報処理が実行される。スピーカ21はユーザに対して音を発する部位であり、2次元カメラ22はユーザによる撮影に供する通常のカメラである。ROM18、RAM19、UI部20、スピーカ21および2次元カメラ22の各々はバス25を介してシステム制御部16に接続されている。 The system control unit 16 is, for example, a CPU, and the information processing apparatus 10 is configured as a computer including the system control unit 16, a ROM 18, a RAM 19, and the like. The system control unit 16 controls the entire information processing apparatus 10 as a system and includes an authentication processing unit 17 . Note that the ROM 18 includes a non-volatile rewritable memory such as a flash memory. Programs and constants stored in the ROM 18 are developed in the RAM 19, and the system control unit 16 executes the programs to operate the information processing apparatus 10 and perform various types of information processing. The speaker 21 is a part that emits sound to the user, and the two-dimensional camera 22 is a normal camera used for photographing by the user. ROM 18 , RAM 19 , UI section 20 , speaker 21 and two-dimensional camera 22 are each connected to system control section 16 via bus 25 .

図1(b)に示すように、光学装置24は、上述した発光装置23、3次元センサ13と、さらに光学装置制御部14を含んで構成されている。光学装置制御部14はシステム制御部16に接続され、光学装置24の全体を制御する。また、光学装置制御部14は形状特定部15を含んでいる。発光装置23、3次元センサ13の各々は光学装置制御部14に接続されている。 As shown in FIG. 1B, the optical device 24 includes the light emitting device 23, the three-dimensional sensor 13, and the optical device controller 14 described above. The optical device control section 14 is connected to the system control section 16 and controls the optical device 24 as a whole. The optical device control section 14 also includes a shape identification section 15 . Each of the light emitting device 23 and the three-dimensional sensor 13 is connected to the optical device control section 14 .

図1(b)に示すように、発光装置23は発光素子アレイ11、および駆動素子12を含んで構成されている。発光素子アレイ11は複数の発光素子が配置された半導体発光素子である。駆動素子12は発光素子アレイ11を駆動するドライバICである。発光素子アレイ11は駆動素子12によって、例えば、数10MHz~数100MHzのパルス光(出射光パルス)を出射するように駆動される。そして、発光装置23は、発光素子アレイ11から被測定物に向けて照射された光が被測定物で反射した反射光を3次元センサ13が受光するように構成されている。 As shown in FIG. 1B, the light emitting device 23 includes a light emitting element array 11 and driving elements 12 . The light emitting element array 11 is a semiconductor light emitting element in which a plurality of light emitting elements are arranged. The drive element 12 is a driver IC that drives the light emitting element array 11 . The light emitting element array 11 is driven by the driving element 12 so as to emit pulsed light (emission light pulse) of several tens of MHz to several hundreds of MHz, for example. The light-emitting device 23 is configured such that the three-dimensional sensor 13 receives the reflected light of the light emitted from the light-emitting element array 11 toward the object to be measured and reflected by the object to be measured.

次に、3次元センサ13とTOFとの関係について説明する。本実施の形態に係る3次元センサ13は、複数の受光領域(画素)を備えている。3次元センサ13は、発光素子アレイ11からの出射光パルスに対する被測定物からの反射光(受光パルス)を受光し、受光されるまでの時間に対応する電荷を受光領域ごとに蓄積する。一例として、3次元センサ13は、各受光領域が、2つのゲートと該2つのゲートに対応した電荷蓄積部を備えたCMOS構造のデバイスとして構成されている。該2つのゲートに交互にパルスを加えることによって、発生した光電子を2つの電荷蓄積部の何れかに高速に転送し、出射光パルスと受光パルスとの位相差(すなわち時間差)に応じた電荷を蓄積するように構成されている。蓄積された電荷に応じた信号はAD(Analog Digital)コンバータを介し、受光領域ごとの出射光パルスと受光パルスとの位相差に応じた電荷に対応するデジタル信号として3次元センサ13から出力される。すなわち、3次元センサ13は、発光素子アレイ11から光が出射されてから3次元センサ13で受光されるまでの時間に相当する信号を出力する。なお、3次元センサ13は、集光用のレンズを備えてもよい。 Next, the relationship between the three-dimensional sensor 13 and TOF will be described. The three-dimensional sensor 13 according to this embodiment has a plurality of light receiving areas (pixels). The three-dimensional sensor 13 receives the reflected light (light receiving pulse) from the object to be measured in response to the light pulse emitted from the light emitting element array 11, and accumulates charges corresponding to the time until the light is received in each light receiving area. As an example, the three-dimensional sensor 13 is configured as a CMOS structure device in which each light receiving region includes two gates and charge storage portions corresponding to the two gates. By alternately applying pulses to the two gates, the generated photoelectrons are transferred at high speed to one of the two charge storage units, and charges corresponding to the phase difference (i.e., time difference) between the emitted light pulse and the received light pulse are accumulated. configured to accumulate. A signal corresponding to the accumulated charge is output from the three-dimensional sensor 13 via an AD (Analog Digital) converter as a digital signal corresponding to the charge corresponding to the phase difference between the emitted light pulse and the received light pulse for each light receiving area. . That is, the three-dimensional sensor 13 outputs a signal corresponding to the time from when the light is emitted from the light emitting element array 11 until when the light is received by the three-dimensional sensor 13 . In addition, the three-dimensional sensor 13 may be provided with a lens for collecting light.

光学装置制御部14に含まれる形状特定部15は、3次元センサ13の受光領域ごとに生成されるデジタル値を取得し、受光領域ごとに被測定物までの距離を算出して、被測定物の3次元形状を特定する。 A shape identification unit 15 included in the optical device control unit 14 acquires a digital value generated for each light receiving area of the three-dimensional sensor 13, calculates the distance to the object to be measured for each light receiving area, and determines the distance to the object to be measured. Identify the three-dimensional shape of

一方システム制御部16に含まれる認証処理部17は、形状特定部15が特定した被測定物の三次元形状(特定結果)がROM18などに予め蓄積された三次元形状と一致する場合に、情報処理装置10の使用に関する認証処理を行う。なお、情報処理装置10の使用に関する認証処理とは、一例として、自装置(情報処理装置10)の使用を許可するか否かの処理である。例えば、被測定物である顔の3次元形状が、ROM18等の記憶手段に記憶された顔形状に一致する場合は、情報処理装置10が提供する各種アプリケーション等を含む情報処理装置10の使用が許可される。 On the other hand, the authentication processing unit 17 included in the system control unit 16 detects information when the three-dimensional shape (specification result) of the object to be measured specified by the shape specifying unit 15 matches the three-dimensional shape stored in advance in the ROM 18 or the like. An authentication process for using the processing device 10 is performed. Note that the authentication process regarding the use of the information processing device 10 is, for example, a process of whether or not to permit use of the own device (the information processing device 10). For example, when the three-dimensional shape of the face, which is the object to be measured, matches the face shape stored in the storage means such as the ROM 18, the information processing apparatus 10 including various applications provided by the information processing apparatus 10 can be used. Allowed.

上述の形状特定部15および認証処理部17は、一例としてプログラムによって構成される。また、ASICやFPGA等の集積回路で構成されてもよい。さらには、プログラム等のソフトウエアと集積回路とで構成されてもよい。 The shape identification unit 15 and the authentication processing unit 17 described above are configured by a program as an example. Alternatively, it may be configured by an integrated circuit such as ASIC or FPGA. Furthermore, it may be composed of software such as a program and an integrated circuit.

発光素子アレイ11は、上述したように被測定物の三次元形状を特定するための光を出射し被測定物に照射する。すなわち、発光素子アレイ11は予め定められた測定範囲に対して、予め定められた密度の光を照射する。発光素子アレイ11に含まれる複数の発光素子の形態は特に限定されず、VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser)、LED(Light Emitting Diode)等が用いられるが、本実施の形態では一例としてVCSELを用いている。好ましくは、シングルモードVCSELよりも高出力化しやすいマルチモードVCSELで構成される。 The light emitting element array 11 emits light for specifying the three-dimensional shape of the object to be measured as described above, and irradiates the object to be measured. That is, the light emitting element array 11 irradiates a predetermined measurement range with light having a predetermined density. The form of the plurality of light emitting elements included in the light emitting element array 11 is not particularly limited, and VCSELs (Vertical Cavity Surface Emitting Lasers), LEDs (Light Emitting Diodes), etc. are used. ing. Preferably, it is composed of a multi-mode VCSEL which is more likely to have a higher output than a single-mode VCSEL.

複数のVCSEL(発光素子)は、電気的に互いに並列に接続されている。VCSEL1個当たりの光出力は一例として4mW~8mWに設定され、発光素子アレイ11に含まれるVCSELの個数は一例として100個~1000個である。図2(a)は発光素子アレイ11の平面図を示している。図2(a)に示すように、発光素子アレイ11の表面は、各VCSELの光出射口52を除く領域に形成されたベタのアノードパターン50(電極配線)で被覆され、発光素子アレイ11の各辺に沿う端部に、アノードパターン50のボンディングワイヤによる接続領域を有している。発光素子アレイ11の半導体基板は一例としてn型のGaAs基板とされ、該基板の裏面側にカソード電極が配置されている。 A plurality of VCSELs (light emitting elements) are electrically connected in parallel with each other. The optical output per VCSEL is set to 4 mW to 8 mW as an example, and the number of VCSELs included in the light emitting element array 11 is 100 to 1000 as an example. FIG. 2A shows a plan view of the light emitting element array 11. FIG. As shown in FIG. 2(a), the surface of the light emitting element array 11 is covered with a solid anode pattern 50 (electrode wiring) formed in a region excluding the light exit port 52 of each VCSEL. At the end along each side, there is a connection area by the bonding wire of the anode pattern 50 . A semiconductor substrate of the light emitting element array 11 is, for example, an n-type GaAs substrate, and a cathode electrode is arranged on the back side of the substrate.

図2(b)を参照して、発光素子アレイ11の駆動回路について説明する。図2(b)は発光装置23の回路図を示している。図2(b)に示すように、発光装置23は、発光素子アレイ11、駆動素子12、光量監視用受光素子30、抵抗38、キャパシタ35、および電源36を含んで構成されている。 A drive circuit for the light emitting element array 11 will be described with reference to FIG. FIG. 2B shows a circuit diagram of the light emitting device 23. As shown in FIG. As shown in FIG. 2B, the light-emitting device 23 includes a light-emitting element array 11, a driving element 12, a light-receiving element 30 for light quantity monitoring, a resistor 38, a capacitor 35, and a power supply .

上述したように発光素子アレイ11は複数のVCSEL26が並列に接続されて構成されている。並列に接続されたVCSEL26には駆動素子12に含まれる電流源が接続され、該電流源から駆動電流idが供給される。 As described above, the light emitting element array 11 is configured by connecting a plurality of VCSELs 26 in parallel. A current source included in the driving element 12 is connected to the VCSELs 26 connected in parallel, and a driving current id is supplied from the current source.

光量監視用受光素子30は発光素子アレイ11の光量をモニタする機能を有する。すなわち、光量監視用受光素子30からの出力信号は発光素子アレイ11が予め定められた光量を維持して出射するように制御するために使用される。光量監視用受光素子30は、例えば、受光量に応じた電気信号を出力する、シリコン等で構成されたフォトダイオード(PD)である。すなわち、光量監視用受光素子30は発光素子アレイ11から出射された光の一部を受光し、受光量に応じたモニタ電流imを出力する。モニタ電流imは抵抗38で電圧に変換され、モニタ電圧Vpdとして出力される。モニタ電圧Vpdは、図示を省略する、駆動素子12の内部に設けられた光量監視回路に送られ、該光量監視回路はモニタ電圧Vpdに基づいて発光素子アレイ11から出射される光量の監視を実行する。なお、光量監視用受光素子30は本発明に係る「回路素子」の一例である。 The light intensity monitoring light receiving element 30 has a function of monitoring the light intensity of the light emitting element array 11 . That is, the output signal from the light intensity monitoring light receiving element 30 is used to control the light emitting element array 11 to emit light while maintaining a predetermined light intensity. The light intensity monitoring light receiving element 30 is, for example, a photodiode (PD) made of silicon or the like that outputs an electric signal corresponding to the amount of light received. That is, the light intensity monitoring light-receiving element 30 receives part of the light emitted from the light-emitting element array 11 and outputs a monitor current im corresponding to the amount of received light. The monitor current im is converted into a voltage by a resistor 38 and output as a monitor voltage Vpd. The monitor voltage Vpd is sent to a light amount monitoring circuit (not shown) provided inside the driving element 12, and the light amount monitoring circuit monitors the amount of light emitted from the light emitting element array 11 based on the monitor voltage Vpd. do. The light intensity monitoring light-receiving element 30 is an example of the "circuit element" according to the present invention.

一方、電源36は発光素子アレイ11および光量監視用受光素子30を動作させる電源であり、キャパシタ35は後述するように電流源としての機能を有する。電源36は、例えば、配線基板27の内部に設けられる電源層およびグランド層で構成される。 On the other hand, the power supply 36 is a power supply for operating the light emitting element array 11 and the light intensity monitoring light receiving element 30, and the capacitor 35 functions as a current source as will be described later. The power supply 36 is composed of, for example, a power supply layer and a ground layer provided inside the wiring board 27 .

次に図3を参照して、本実施の形態に係る発光装置23の構成について説明する。図3<1>は発光装置23の側面断面図であり、<2>は平面図である。図3に示すように、発光装置23は配線基板27上に搭載された発光モジュール40、光拡散板33、スペーサ32および駆動素子12を含んで構成されている。配線基板27は、例えば各素子を接続する配線が形成されたガラスエポキシ基板で構成されている。なお、光拡散板33は、本発明に係る「光拡散部材」の一例である。 Next, with reference to FIG. 3, the configuration of the light emitting device 23 according to this embodiment will be described. FIG. 3 <1> is a side sectional view of the light emitting device 23, and <2> is a plan view. As shown in FIG. 3, the light-emitting device 23 includes a light-emitting module 40 mounted on the wiring board 27, a light diffusion plate 33, a spacer 32, and the drive element 12. As shown in FIG. The wiring board 27 is composed of, for example, a glass epoxy board on which wirings for connecting elements are formed. The light diffusing plate 33 is an example of the "light diffusing member" according to the present invention.

発光モジュール40は、基材31、基材31上に搭載された発光素子アレイ11および光量監視用受光素子30を含んで構成されている。基材31は、一例としてセラミックで形成され、主として発光素子アレイ11で生じた熱の放熱を効率的に行う機能を有する。
発光素子アレイ11の出力が数Wと大きいため、放熱が課題となるためである。より具体的には基材31は酸化アルミニウムや窒化アルミニウム等で形成されている。なお、基材31はガラスエポキシ等の配線基板として一般的な材料を用いて構成してもよい。この場合、セラミックの基材と比較し放熱効率は下がるものの、発光素子アレイ11と光量監視用受光素子30とを一つのモジュールパッケージとして構成することができ、その結果モジュールパッケージとしない場合と比較し、流通や取り扱いが容易となる。
The light emitting module 40 includes a base material 31, a light emitting element array 11 mounted on the base material 31, and a light receiving element 30 for light quantity monitoring. The base material 31 is made of ceramic, for example, and mainly has a function of efficiently dissipating heat generated in the light emitting element array 11 .
This is because the output of the light-emitting element array 11 is as large as several watts, and heat dissipation becomes a problem. More specifically, the base material 31 is made of aluminum oxide, aluminum nitride, or the like. Note that the base material 31 may be configured using a material commonly used as a wiring board, such as glass epoxy. In this case, the light-emitting element array 11 and the light-receiving element 30 for monitoring the amount of light can be configured as a single module package, although the heat radiation efficiency is lower than that of the ceramic base material. , distribution and handling become easier.

ここで、TOF方式では、被測定物の照射面(例えば数m先)に予め定められた範囲で均一なレーザ光を照射する必要がある。そのため光拡散板33は、発光素子アレイ11から出射された出射光Lを拡散し、出射角を拡大する機能を有する。すなわち、図2(c)に示すように、光拡散板33は凹凸部材39を備え、発光素子アレイ11から出射角θ1で出射された出射光Lの出射角をθ2(>θ1)に拡大する。より具体的には、光拡散板33は例えば両面が平行で平坦なガラス基材の一方の表面に、光を拡散させるための凹凸が形成された樹脂層による凹凸部材39を備えている。そして、この凹凸により、発光素子アレイ11から出射された出射光Lをさらに拡散して外部に照射する。 Here, in the TOF method, it is necessary to irradiate an irradiation surface (for example, several meters away) of an object to be measured with a uniform laser beam within a predetermined range. Therefore, the light diffusion plate 33 has a function of diffusing the emitted light L emitted from the light emitting element array 11 and enlarging the emission angle. That is, as shown in FIG. 2(c), the light diffusion plate 33 is provided with an uneven member 39, which enlarges the emission angle of the emission light L emitted from the light emitting element array 11 at the emission angle θ1 to θ2 (>θ1). . More specifically, the light diffusing plate 33 includes, for example, a concave-convex member 39 made of a resin layer having concaves and convexes for diffusing light on one surface of a glass base material whose both surfaces are parallel and flat. The unevenness further diffuses the emitted light L emitted from the light emitting element array 11 and irradiates it to the outside.

スペーサ32は配線基板27と光拡散板33との間に配置され、光拡散板33を支持するとともに、光拡散板33の発光素子アレイ11からの距離が予め定められた距離となるように位置決めしている。また、本実施の形態では、光拡散板33およびスペーサ32により発光素子アレイ11等を封止することで、防塵、防湿等を図っている。スペーサ32は例えばセラミックや樹脂材料で構成される。 The spacer 32 is arranged between the wiring board 27 and the light diffusion plate 33, supports the light diffusion plate 33, and positions the light diffusion plate 33 so that the distance from the light emitting element array 11 is a predetermined distance. are doing. Further, in this embodiment, by sealing the light emitting element array 11 and the like with the light diffusing plate 33 and the spacer 32, dust prevention, moisture prevention, and the like are achieved. The spacer 32 is made of ceramic or resin material, for example.

光拡散板33はさらに発光素子アレイ11から出射された光の一部を光量監視用受光素子30に導く機能を有する。すなわち、光拡散板33は発光素子アレイ11および光量監視用受光素子30を覆って設けられ、光拡散板33を透過せずに光拡散板33の裏面で反射した光が光量監視用受光素子30で受光されるように配置されている。発光素子アレイ11からの距離が大きくなるほど光量監視用受光素子30における受光量が低下するため、発光素子アレイ11と光量監視用受光素子30とは近接させて配置することが好ましい。また光量監視用受光素子30は、光拡散板33が外れたり破損したりして、発光素子アレイ11から出射する光が直接外部に照射されていることを検知するためにも使用される。 The light diffusing plate 33 further has a function of guiding part of the light emitted from the light emitting element array 11 to the light receiving element 30 for monitoring the amount of light. That is, the light diffusing plate 33 is provided so as to cover the light emitting element array 11 and the light intensity monitoring light receiving elements 30 , and the light reflected by the back surface of the light diffusing plate 33 without passing through the light diffusing plate 33 reaches the light intensity monitoring light receiving elements 30 . is arranged to receive light at Since the amount of light received by the light intensity monitoring light receiving element 30 decreases as the distance from the light emitting element array 11 increases, the light emitting element array 11 and the light intensity monitoring light receiving element 30 are preferably arranged close to each other. The light intensity monitoring light-receiving element 30 is also used to detect that the light diffusing plate 33 is detached or damaged and the light emitted from the light-emitting element array 11 is directly irradiated to the outside.

ところで、TOFを計測するために用いるVCSELアレイでは、例えば2Aの大電流を1ns以下の立ち上がり時間で立ち上げること、あるいは100MHz程度の高周波で駆動させることが要求される場合もあり、そのためには駆動回路のインダクタンス成分を低減することが重要となる。インダクタンス成分を低減する方法の一つとして、可能な限りボンディングワイヤを多くすることが考えられるが、これだけでは十分でないことも想定される。そこで、本実施の形態では基材31に起因するインダクタンス成分を減らす工夫をしている。駆動回路のインダクタンスを低減するために、他方では、電流源となるキャパシタ35、発光素子アレイ11、駆動素子12で構成される電流ループを短くすることが重要となる。図3<2>ではキャパシタ35として2つのキャパシタ35-1および35-2を配置し、2つの電流ループL1、L2を形成する場合を例示している。 By the way, a VCSEL array used for measuring TOF may be required to start up a large current of, for example, 2 A with a rise time of 1 ns or less, or to be driven at a high frequency of about 100 MHz. It is important to reduce the inductance component of the circuit. One possible way to reduce the inductance component is to increase the number of bonding wires as much as possible, but it is also assumed that this alone is not sufficient. Therefore, in the present embodiment, measures are taken to reduce the inductance component caused by the base material 31 . In order to reduce the inductance of the driving circuit, it is also important to shorten the current loop composed of the capacitor 35 serving as the current source, the light emitting element array 11 and the driving element 12 . FIG. 3 <2> illustrates a case where two capacitors 35-1 and 35-2 are arranged as the capacitor 35 to form two current loops L1 and L2.

また、本実施の形態では、発光素子アレイ11の放熱を効率的に行うため、発光素子アレイ11をプリント板等の配線基板27上に直接搭載せずに、放熱用の基材31を介して配線基板27上に搭載している。また、発光素子アレイ11が出射する光を受光する光量監視用受光素子30等の回路素子を、発光素子アレイ11とともに発光素子アレイ11に近接させて放熱用の基材31上に搭載している。基材31の表面に発光素子アレイ11と光量監視用受光素子30(回路素子)とを並べた構成において発光素子アレイ11を高速に駆動させるためには、発光素子アレイ11のアノードパターン50(上部電極)と、基材31が搭載される配線基板27との間のインダクタンス成分を低減することが望まれる。本実施の形態に係る発光モジュール40は以上の点について配慮されたものとなっている。 Further, in the present embodiment, in order to efficiently dissipate heat from the light-emitting element array 11, the light-emitting element array 11 is not mounted directly on the wiring board 27 such as a printed board, but is mounted via the base material 31 for heat dissipation. It is mounted on the wiring board 27 . In addition, the circuit elements such as the light intensity monitoring light receiving element 30 for receiving the light emitted from the light emitting element array 11 are mounted together with the light emitting element array 11 on the base material 31 for heat dissipation in close proximity to the light emitting element array 11 . . In order to drive the light-emitting element array 11 at high speed in a configuration in which the light-emitting element array 11 and the light-receiving elements 30 (circuit elements) for monitoring the amount of light are arranged on the surface of the substrate 31, the anode pattern 50 (upper portion) of the light-emitting element array 11 is required. electrodes) and the wiring substrate 27 on which the substrate 31 is mounted is desired to be reduced. The light-emitting module 40 according to the present embodiment is designed in consideration of the above points.

図4を参照し、本実施の形態に係る発光モジュール40についてより詳細に説明する。
上述したように、本実施の形態に係る発光モジュール40は、基材31、並びに基材31上に搭載された発光素子アレイ11および光量監視用受光素子30を含んで構成されている。図4(a)において、<1>は発光モジュール40の平面図を示し、<2>は<1>におけるA-A’線に沿った側面断面図を示し、<3>はB-B’線に沿った側面断面図を示している。
The light-emitting module 40 according to the present embodiment will be described in more detail with reference to FIG.
As described above, the light emitting module 40 according to the present embodiment includes the base material 31, and the light emitting element array 11 and the light intensity monitoring light receiving element 30 mounted on the base material 31. FIG. In FIG. 4A, <1> shows a plan view of the light emitting module 40, <2> shows a side cross-sectional view along line AA' in <1>, and <3> shows BB'. Fig. 3 shows a side cross-sectional view along line;

図4(a)<1>に示すように、基材31上には、導電パターン42-1、42-2、41-1、および41-2が形成されている。導電パターン42-1、42-2、41-1、および41-2の各々は、例えば金等による蒸着膜、あるいは銀ペースト等で形成されている。導電パターン42-1および42-2は、発光素子アレイ11と配線基板27との接続を中継するパターンであり、導電パターン41-1および41-2は、光量監視用受光素子30と配線基板27との接続を中継するパターンである。 As shown in FIG. 4A <1>, conductive patterns 42-1, 42-2, 41-1, and 41-2 are formed on the substrate 31. As shown in FIG. Each of the conductive patterns 42-1, 42-2, 41-1, and 41-2 is formed of, for example, a deposited film of gold or the like, silver paste, or the like. The conductive patterns 42-1 and 42-2 are patterns for relaying the connection between the light emitting element array 11 and the wiring board 27, and the conductive patterns 41-1 and 41-2 connect the light intensity monitoring light receiving element 30 and the wiring board 27. This is a pattern that relays connections with

図4(a)<1><3>に示すように、発光素子アレイ11と、導電パターン42-1および42-2の各々とはボンディングワイヤWで接続されている。発光素子アレイ11の裏面電極は基材31上に形成された図示を省略する導電パターンに導電性の接合部材等で接続され、発光素子アレイ11の裏面電極の電気的な接続がなされている。一方、図4(a)<1><2>に示すように、導電パターン42-1および42-2の各々は、ビアVを介して基材31の裏面の導電パターン47-1および47-2と接続されている。そして、導電パターン47-1、47-2の各々は配線基板27上に形成された配線パターンに接続され、発光素子アレイ11が配線基板27に搭載された他の回路等に接続される。なお、「ボンディングワイヤW」は本発明に係る「配線部材」の一例であり、「ビアV」は本発明に係る「貫通部材」の一例である。 As shown in FIG. 4A <1><3>, the light emitting element array 11 and each of the conductive patterns 42-1 and 42-2 are connected by bonding wires W. As shown in FIG. The back electrode of the light emitting element array 11 is connected to a conductive pattern (not shown) formed on the base material 31 by a conductive bonding member or the like, and the back electrode of the light emitting element array 11 is electrically connected. On the other hand, as shown in FIG. 4A <1> and <2>, the conductive patterns 42-1 and 42-2 are connected to the conductive patterns 47-1 and 47- on the back surface of the base material 31 via vias V, respectively. 2 is connected. Each of the conductive patterns 47-1 and 47-2 is connected to a wiring pattern formed on the wiring board 27, and the light emitting element array 11 is connected to other circuits or the like mounted on the wiring board 27. FIG. The "bonding wire W" is an example of the "wiring member" according to the present invention, and the "via V" is an example of the "penetrating member" according to the present invention.

光量監視用受光素子30の裏面電極と導電パターン41-1とは導電性の接合部材で接続され、光量監視用受光素子30の裏面電極の電気的な接続がなされている。光量監視用受光素子30の他方の電極と、導電パターン41-2とはボンディングワイヤWで接続されている。さらに、図4<1><2>に示すように、導電パターン41-1および41-2の各々は、ビアVを介して基材31の裏面の導電パターン48-1および48-2(図4では、導電パターン48-1に隠れて見えていない。図4(b)参照)と接続されている。そして、導電パターン48-1、48-2の各々は配線基板27上に形成された配線パターンに接続され、光量監視用受光素子30が配線基板27に搭載された駆動素子12内部の光量監視回路に接続される。 The back electrode of the light intensity monitoring light receiving element 30 and the conductive pattern 41-1 are connected by a conductive bonding member, and the back electrode of the light intensity monitoring light receiving element 30 is electrically connected. A bonding wire W is used to connect the other electrode of the light-receiving element 30 for monitoring the amount of light and the conductive pattern 41-2. Further, as shown in FIG. 4 <1><2>, the conductive patterns 41-1 and 41-2 are connected to the conductive patterns 48-1 and 48-2 (see FIG. 4 is hidden by the conductive pattern 48-1 and is connected to the part (see FIG. 4(b)). Each of the conductive patterns 48-1 and 48-2 is connected to a wiring pattern formed on the wiring board 27, and a light quantity monitoring circuit inside the driving element 12 in which the light quantity monitoring light receiving element 30 is mounted on the wiring board 27. connected to

図4(b)は基材31の裏面を示している。図4(b)に示すように、基材31の裏面には上述した導電パターン47-1、47-2、48-1、および48-2が形成されている。さらに、発光素子アレイ11に対応する位置の基材31の裏面には、導電パターン53が形成されており、導電パターン53はビアVを介して発光素子アレイ11の裏面に接続されている。 FIG. 4(b) shows the back surface of the substrate 31. FIG. As shown in FIG. 4B, the conductive patterns 47-1, 47-2, 48-1, and 48-2 are formed on the rear surface of the base material 31. As shown in FIG. Furthermore, a conductive pattern 53 is formed on the back surface of the base material 31 at a position corresponding to the light emitting element array 11 , and the conductive pattern 53 is connected to the back surface of the light emitting element array 11 through vias V.

次に、本実施の形態に係る発光モジュール40におけるインダクタンス成分の低減方法について説明する。図4(a)に示すように本実施の形態に係る導電パターン42-1および42-2は導電領域OAおよび延長導電領域EAを有している。導電領域OAは発光素子アレイ11の一辺に沿った長さとされ、延長導電領域EAは導電領域OAの該一辺を越えてさらに光量監視用受光素子30の方向に延長している。そして、ビアVは、導電領域OAから延長導電領域EAにかけて形成されている。このように、光量監視用受光素子30を基材31の幅方向の中心側に配置するとともに、延長導電領域EAは、光量監視用受光素子30(回路素子)の一部と対向する位置まで延長されていることが好ましい。このことにより、光量監視用受光素子30の一部と対向する位置まで延長されていない場合と比較し、貫通部材を接続するスペースが増加する。なお、延長導電領域EAは本発明に係る「延長領域」の一例である。 Next, a method for reducing the inductance component in the light emitting module 40 according to this embodiment will be described. As shown in FIG. 4A, the conductive patterns 42-1 and 42-2 according to this embodiment have a conductive area OA and an extended conductive area EA. The conductive area OA has a length along one side of the light emitting element array 11, and the extended conductive area EA extends beyond the one side of the conductive area OA in the direction of the light receiving element 30 for monitoring the amount of light. A via V is formed from the conductive area OA to the extended conductive area EA. In this way, the light intensity monitoring light receiving element 30 is arranged on the center side in the width direction of the base material 31, and the extended conductive area EA is extended to a position facing a part of the light intensity monitoring light receiving element 30 (circuit element). It is preferable that As a result, the space for connecting the penetrating member increases compared to the case where it is not extended to a position facing a portion of the light-receiving element 30 for monitoring the amount of light. The extended conductive area EA is an example of the "extended area" according to the present invention.

図6は、発光モジュール40と比較のために示す比較例に係る発光モジュール80である。図6<1>は発光モジュール80の平面図、図6<2>は<1>に示すC-C’線に沿った側面断面図を示している。図6については、発光モジュール40と同様の構成には同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。 FIG. 6 shows a light emitting module 80 according to a comparative example shown for comparison with the light emitting module 40 . FIG. 6 <1> is a plan view of the light emitting module 80, and FIG. 6 <2> is a side cross-sectional view taken along the line C-C' shown in <1>. In FIG. 6, the same reference numerals are assigned to the same configurations as those of the light emitting module 40, and detailed description thereof will be omitted.

図6に示すように、発光モジュール80では、発光モジュール40における導電パターン42-1および42-2に対応する導電パターン46-1、46-2が延長導電領域を有していない。すなわち、導電パターン46-1、46-2の各々は、発光素子アレイ11の一辺に沿う長さしか有していない。そのため、導電パターン46-1、46-2の各々に接続されたビアVの数(図6<2>では9個の場合を例示している)は、導電パターン42-1および42-2の各々に接続されたビアVの個数(図4(a)<2>では14個の場合を例示している)より少なくなっている。 As shown in FIG. 6, in light emitting module 80, conductive patterns 46-1 and 46-2 corresponding to conductive patterns 42-1 and 42-2 in light emitting module 40 do not have extended conductive regions. That is, each of the conductive patterns 46 - 1 and 46 - 2 has a length along only one side of the light emitting element array 11 . Therefore, the number of vias V connected to each of the conductive patterns 46-1 and 46-2 (the case of nine in FIG. 6 <2> is illustrated) is the same as that of the conductive patterns 42-1 and 42-2. It is smaller than the number of vias V connected to each (FIG. 4A <2> illustrates a case of 14).

すなわち、本実施の形態に係る発光モジュール40では導電領域OAのみならず延長導電領域EAまでビアVを有しているので、並列接続されるビアVに起因するインダクタンス成分の数が増加し、その結果発光素子アレイ11から配線基板27に至るインダクタンス成分が比較例に係る発光モジュール80よりも小さくなっている。 That is, since the light-emitting module 40 according to the present embodiment has the vias V not only in the conductive region OA but also in the extended conductive region EA, the number of inductance components caused by the vias V connected in parallel increases. As a result, the inductance component from the light emitting element array 11 to the wiring board 27 is smaller than that of the light emitting module 80 according to the comparative example.

ここで、インダクタンス成分をより低減するための、本実施の形態に係るボンディングワイヤW、ビアV、および導電パターン42-1、42-2の相互の関係について説明する。以下の構成を採用することにより、発光素子アレイ11から配線基板27に至るまでの間のインダクタンス成分がより減少する。 Here, the mutual relationship among the bonding wires W, the vias V, and the conductive patterns 42-1 and 42-2 according to the present embodiment for further reducing the inductance component will be described. By adopting the following configuration, the inductance component from the light emitting element array 11 to the wiring board 27 is further reduced.

複数のボンディングワイヤWを導電パターン42-1、42-2上に列状に接続し、ビアVと導電パターン42-1、42-2との接続点と、ボンディングワイヤWと導電パターン42-1、42-2との接続点とを、図4(c)に示すように重なるように配置してもよい。すなわち、ボンディングワイヤWの断面の少なくとも一部と、ビアVの断面の少なくとも一部とが平面視で重なるように配置してもよい。なお、複数のボンディングワイヤWを導電パターン42-1、42-2上に列状に接続する形態としては、図4(c)に示す形態に限られず、ビアVと導電パターン42-1、42-2との接続点と、ボンディングワイヤWと導電パターン42-1、42-2との接続点とを、交互に一列に配置する形態としてもよい。この場合、ビアVと導電パターン42-1、42-2との接続点と、ボンディングワイヤWと導電パターン42-1、42-2との接続点との少なくとも一部が重なるようにしてもよいし、重ならないようにしてもよい。 A plurality of bonding wires W are connected in a row on the conductive patterns 42-1 and 42-2, and connection points between the vias V and the conductive patterns 42-1 and 42-2, bonding wires W and the conductive pattern 42-1 are connected. , 42-2 may be arranged so as to overlap each other as shown in FIG. 4(c). That is, at least part of the cross section of the bonding wire W and at least part of the cross section of the via V may be arranged so as to overlap each other in plan view. The configuration for connecting the plurality of bonding wires W in a row on the conductive patterns 42-1 and 42-2 is not limited to the configuration shown in FIG. -2 and the connection points between the bonding wires W and the conductive patterns 42-1 and 42-2 may be alternately arranged in a row. In this case, at least a portion of the connection points between the vias V and the conductive patterns 42-1 and 42-2 and the connection points between the bonding wires W and the conductive patterns 42-1 and 42-2 may overlap. and may not overlap.

また、ビアVの数は、ボンディングワイヤWの数よりも多くしてもよい。ボンディングワイヤWの数を多くすることで駆動回路のインダクタンスを低減しようとすると、ボンディングワイヤWの数に応じて発光素子アレイ11のサイズを大きくする必要がある。一方、ビアVの数を多くすることで駆動回路のインダクタンスを低減すれば、発光素子アレイ11のサイズを大きくする必要はない。 Also, the number of vias V may be greater than the number of bonding wires W. FIG. If an attempt is made to reduce the inductance of the driving circuit by increasing the number of bonding wires W, the size of the light emitting element array 11 must be increased in accordance with the number of bonding wires W. FIG. On the other hand, if the inductance of the drive circuit is reduced by increasing the number of vias V, it is not necessary to increase the size of the light emitting element array 11 .

また、複数のビアVの断面積の合計値は、複数のボンディングワイヤWの断面積の合計値よりも大きくしてもよい。 Also, the total value of the cross-sectional areas of the plurality of vias V may be larger than the total value of the cross-sectional areas of the plurality of bonding wires W. FIG.

発光素子アレイ11の外形内において複数のVCSEL26(発光素子)が配列されている領域(発光領域)の形状は、導電パターン42-1、あるいは42-2に沿った方向の長さよりも、導電パターン42-1、あるいは42-2と交差する方向の長さの方が長くなるようにしてもよい。発光領域の面積が同じ場合、導電パターン42-1、あるいは42-2に沿った方向の長さが短い方が、駆動素子12から遠い位置までボンディングワイヤWが配置する必要がなくなる。これにより図3における2つの電流ループL1、L2を短く設定しやすい。 The shape of a region (light emitting region) in which a plurality of VCSELs 26 (light emitting elements) are arranged within the outer shape of the light emitting element array 11 is larger than the length in the direction along the conductive pattern 42-1 or 42-2. The length in the direction crossing 42-1 or 42-2 may be longer. If the light-emitting region has the same area, the shorter the length in the direction along the conductive pattern 42 - 1 or 42 - 2 , the less the bonding wire W needs to be arranged farther from the drive element 12 . This makes it easy to set the two current loops L1 and L2 in FIG. 3 short.

<変形例>
図5を参照して、本実施の形態に係る発光モジュール40の変形例について説明する。
以下の説明においては、発光モジュール40と同様の構成には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
<Modification>
A modification of the light-emitting module 40 according to the present embodiment will be described with reference to FIG.
In the following description, the same components as those of the light emitting module 40 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

図5(a)は第1の変形例に係る発光モジュール40Aを示している。発光モジュール40Aと発光モジュール40との相違点は、発光モジュール40Aでは、導電領域OAのみならず延長導電領域EAまでボンディングワイヤWを接続していることである。このことにより並列に接続されるボンディングワイヤWの数が増加するので、よりインダクタンス成分を低減させることができる。 FIG. 5(a) shows a light emitting module 40A according to a first modified example. The difference between the light emitting module 40A and the light emitting module 40 is that the bonding wire W is connected not only to the conductive area OA but also to the extended conductive area EA in the light emitting module 40A. Since this increases the number of bonding wires W connected in parallel, the inductance component can be further reduced.

図5(b)は第2の変形例に係る発光モジュール40Bを示している。発光モジュール40Bと発光モジュール40との相違点は、発光モジュール40Bでは、光量監視用受光素子30の代わりに識別表示領域70が配置されていることである。識別表示領域70は、例えば基材31上に導電パターンで形成され、自装置と他の装置とを識別する文字、番号、記号の少なくとも一つを含む領域とされている。このように、本発明に係る「回路素子」は光量監視用受光素子30等の電気的部品に限られず、基材31上に搭載、あるいは形成される非電気的な構成であってもよい。第2の変形例によれば、回路素子が識別表示領域70であってもよりインダクタンス成分が低減される。 FIG. 5(b) shows a light emitting module 40B according to a second modification. The difference between the light-emitting module 40B and the light-emitting module 40 is that the light-emitting module 40B has an identification display area 70 instead of the light-receiving element 30 for monitoring the amount of light. The identification display area 70 is formed of, for example, a conductive pattern on the base material 31, and is an area including at least one of characters, numbers, and symbols for distinguishing the device from other devices. As described above, the “circuit element” according to the present invention is not limited to electrical components such as the light intensity monitoring light receiving element 30 , but may be a non-electrical configuration mounted or formed on the substrate 31 . According to the second modification, even if the circuit element is the identification display area 70, the inductance component is further reduced.

図5(c)は第3の変形例に係る発光モジュール40Cを示している。発光モジュール40Cと発光モジュール40との相違点は、発光モジュール40Cでは、光量監視用受光素子30の代わりにキャパシタ72が配置されていることである。発光モジュール40Cにおいては、発光素子アレイ11からのボンディングワイヤWが接続される導電パターン43-1および43-2は導電パターン44で接続され、キャパシタ72は導電パターン44と導電パターン45との間に接続されている。キャパシタ72は、キャパシタ35-1、35-2と同様に電流源としての機能を有する。第3の変形例によれば、回路素子がキャパシタ72であってもよりインダクタンス成分が低減される。 FIG. 5(c) shows a light emitting module 40C according to a third modified example. A difference between the light-emitting module 40C and the light-emitting module 40 is that the light-emitting module 40C has a capacitor 72 instead of the light-receiving element 30 for monitoring the amount of light. In light-emitting module 40C, conductive patterns 43-1 and 43-2 to which bonding wires W from light-emitting element array 11 are connected are connected by conductive pattern 44, and capacitor 72 is placed between conductive patterns 44 and 45. It is connected. Capacitor 72 functions as a current source like capacitors 35-1 and 35-2. According to the third modification, even if the circuit element is the capacitor 72, the inductance component is further reduced.

なお、上記各実施の形態では、発光素子アレイとボンディングワイヤWで接続される導電パターンとして2つの導電パターンを用いる形態を例示して説明したが、これに限られずいずれか一方の導電パターンを用いる形態としてもよい。 In each of the above-described embodiments, two conductive patterns are used as the conductive patterns connected to the light emitting element array by the bonding wires W. However, the present invention is not limited to this, and either one of the conductive patterns is used. It may be in the form

10 情報処理装置
11 発光素子アレイ
12 駆動素子
13 3次元センサ
14 光学装置制御部
15 形状特定部
16 システム制御部
17 認証処理部
18 ROM
19 RAM
20 UI部
21 スピーカ
22 2次元カメラ
23 発光装置
24 光学装置
25 バス
26 VCSEL
27 配線基板
30 光量監視用受光素子
31 基材
32 スペーサ
33 光拡散板
35、35-1、35-2 キャパシタ
36 電源
38 抵抗
39 凹凸部材
40、40A、40B、40C 発光モジュール
41-1、41-2、42-1、42-2、43-1、43-2、44、45、46-1、46-2、47-1、47-2、48-1、48-2 導電パターン
50 アノードパターン
52 光出射口
53 導電パターン
70 識別表示領域
72 キャパシタ
80 発光モジュール
id 駆動電流
im モニタ電流
L 出射光
L1、L2 電流ループ
V ビア
Vpd モニタ電圧
EA 延長導電領域
OA 導電領域
W ボンディングワイヤ
θ1、θ2 出射角
10 Information Processing Device 11 Light Emitting Element Array 12 Driving Element 13 Three-Dimensional Sensor 14 Optical Device Control Section 15 Shape Identification Section 16 System Control Section 17 Authentication Processing Section 18 ROM
19 RAM
20 UI unit 21 speaker 22 two-dimensional camera 23 light emitting device 24 optical device 25 bus 26 VCSEL
27 Wiring board 30 Light intensity monitoring light receiving element 31 Base material 32 Spacer 33 Light diffusion plate 35, 35-1, 35-2 Capacitor 36 Power source 38 Resistor 39 Concave and convex member 40, 40A, 40B, 40C Light emitting module 41-1, 41- 2, 42-1, 42-2, 43-1, 43-2, 44, 45, 46-1, 46-2, 47-1, 47-2, 48-1, 48-2 conductive pattern 50 anode pattern 52 Light exit 53 Conductive pattern 70 Identification display area 72 Capacitor 80 Light emitting module id Drive current im Monitor current L Emitted light L1, L2 Current loop V Via Vpd Monitor voltage EA Extended conductive area OA Conductive area W Bonding wires θ1, θ2 Output angle

Claims (20)

配線基板上に搭載される基材と、
前記基材の上に設けられた発光素子アレイと、
前記発光素子アレイと接続され、前記発光素子アレイの側面に沿って前記基材の表面に設けられた、前記発光素子アレイと対向する領域である対向領域と、当該対向領域を越えて延長された延長領域とを有する第1の導電パターンと、
前記対向領域と前記延長領域を、前記基材の裏面に設けられた導電パターンであって、前記配線基板の配線パターンと接続される第2の導電パターンと接続するように設けられた、前記基材の表面側から前記基材の裏面側に貫通する複数の貫通部材と、
前記配線基板上に前記延長領域で延長された方向とは反対側に設けられた駆動素子と、
を備えた発光装置。
a base material mounted on a wiring board;
a light-emitting element array provided on the substrate;
a counter region connected to the light emitting element array and provided on the surface of the base along the side surface of the light emitting element array and facing the light emitting element array; a first conductive pattern having an extension region;
The substrate is provided so as to connect the facing region and the extension region to a second conductive pattern, which is a conductive pattern provided on the back surface of the base material and is connected to the wiring pattern of the wiring board. a plurality of penetrating members penetrating from the surface side of the material to the back side of the base material;
a drive element provided on the wiring substrate on the side opposite to the direction in which the extension region extends;
A light-emitting device with
配線基板上に搭載される基材と、
前記基材の上に設けられた発光素子アレイと、
前記発光素子アレイと接続され、前記発光素子アレイの側面に沿って前記基材の表面に設けられた、前記発光素子アレイと対向する領域である対向領域と、当該対向領域を越えて延長された延長領域とを有する第1の導電パターンと、
前記対向領域と前記延長領域を、前記基材の裏面に設けられた導電パターンであって、前記配線基板の配線パターンと接続される第2の導電パターンと接続するように設けられた、前記基材の表面側から前記基材の裏面側に貫通する複数の貫通部材と、
前記第1の導電パターンが延びる方向に沿って、前記発光素子アレイと並んで設けられた回路素子を有し、
前記延長領域は、少なくとも前記回路素子の一部と対向する位置まで延長されている
発光装置。
a base material mounted on a wiring board;
a light-emitting element array provided on the substrate;
a counter region connected to the light emitting element array and provided on the surface of the base along the side surface of the light emitting element array and facing the light emitting element array; a first conductive pattern having an extension region;
The substrate is provided so as to connect the facing region and the extension region to a second conductive pattern, which is a conductive pattern provided on the back surface of the base material and is connected to the wiring pattern of the wiring board. a plurality of penetrating members penetrating from the surface side of the material to the back side of the base material;
a circuit element provided in parallel with the light emitting element array along the direction in which the first conductive pattern extends;
The light-emitting device, wherein the extension region extends to at least a position facing a portion of the circuit element.
前記第1の導電パターンが延びる方向に沿って、前記発光素子アレイと並んで設けられた回路素子を有し、
前記延長領域は、少なくとも前記回路素子の一部と対向する位置まで延長されている
請求項1に記載の発光装置。
a circuit element provided in parallel with the light emitting element array along the direction in which the first conductive pattern extends;
The light emitting device according to claim 1, wherein the extension region extends to at least a position facing a part of the circuit element.
記発光素子アレイを挟んで前記第1の導電パターンと反対側の前記基材の表面に設けられ、かつ、前記発光素子アレイと対向する領域である対向領域と、当該対向領域を超えて前記回路素子側に延長された領域である延長領域とを有する第3の導電パターンをさらに備え、
前記回路素子の少なくとも一部は、前記第1の導電パターンの延長領域と前記第の導電パターンの延長領域との間に設けられている
請求項2または請求項3に記載の発光装置。
a facing region provided on the surface of the base material opposite to the first conductive pattern with the light emitting device array interposed therebetween and facing the light emitting device array; further comprising a third conductive pattern having an extension region that is a region extended to the circuit element side;
4. The light-emitting device according to claim 2, wherein at least part of the circuit element is provided between the extended region of the first conductive pattern and the extended region of the third conductive pattern.
前記回路素子は前記発光素子アレイから出射された光を受光する光電変換素子である
請求項2から請求項4の何れか1項に記載の発光装置。
The light emitting device according to any one of claims 2 to 4, wherein the circuit element is a photoelectric conversion element that receives light emitted from the light emitting element array.
前記発光素子アレイと前記光電変換素子との上方に、前記発光素子アレイから出射される光を外部に拡散する光拡散部材が設けられている
請求項5に記載の発光装置。
6. The light emitting device according to claim 5, further comprising a light diffusing member arranged above the light emitting element array and the photoelectric conversion element for diffusing light emitted from the light emitting element array to the outside.
前記回路素子は前記発光素子アレイに電流を供給するキャパシタである
請求項2から請求項6のいずれか1項に記載の発光装置。
The light emitting device according to any one of claims 2 to 6, wherein the circuit element is a capacitor that supplies current to the light emitting element array.
前記発光素子アレイと前記第1の導電パターンを接続する複数の配線部材をさらに備え、
前記複数の配線部材は前記対向領域と前記延長領域とに接続されている
請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の発光装置。
further comprising a plurality of wiring members connecting the light emitting element array and the first conductive pattern;
The light emitting device according to any one of claims 1 to 7, wherein the plurality of wiring members are connected to the facing area and the extension area.
前記複数の配線部材は前記第1の導電パターン上に列状に接続され、前記複数の貫通部材は、当該列状の領域と重なるように設けられている
請求項8に記載の発光装置。
The light emitting device according to claim 8, wherein the plurality of wiring members are connected in a row on the first conductive pattern, and the plurality of penetrating members are provided so as to overlap the row-shaped region.
前記貫通部材と前記第1の導電パターンとの接続点と、前記配線部材と前記第1の導電パターンとの接続点とが重なっている
請求項8または請求項9に記載の発光装置。
10. The light emitting device according to claim 8, wherein a connection point between the penetrating member and the first conductive pattern overlaps with a connection point between the wiring member and the first conductive pattern.
前記貫通部材の数は、前記配線部材の数よりも多い
請求項8から請求項10のいずれか1項に記載の発光装置。
The light emitting device according to any one of claims 8 to 10, wherein the number of said penetrating members is greater than the number of said wiring members.
前記複数の貫通部材の断面積の合計値は、前記複数の配線部材の断面積の合計値よりも大きい
請求項8から請求項11のいずれか1項に記載の発光装置。
The light emitting device according to any one of claims 8 to 11, wherein a total value of cross-sectional areas of the plurality of penetrating members is larger than a total value of cross-sectional areas of the plurality of wiring members.
前記発光素子アレイは複数の発光素子を有し、
前記発光素子アレイ内において前記複数の発光素子が配列されている領域の形状は、前記第1の導電パターンに沿った方向の長さよりも、前記第1の導電パターンと交差する方向の長さの方が長い
請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の発光装置。
The light emitting element array has a plurality of light emitting elements,
The shape of the region in which the plurality of light emitting elements are arranged in the light emitting element array is longer in the direction intersecting the first conductive pattern than in the direction along the first conductive pattern. 13. The light emitting device according to any one of claims 1 to 12, wherein the length is longer.
前記複数の発光素子が互いに並列接続されている
請求項13に記載の発光装置。
The light emitting device according to claim 13, wherein the plurality of light emitting elements are connected in parallel with each other.
前記基材はセラミックで形成されている
請求項1から請求項14のいずれか1項に記載の発光装置。
The light emitting device according to any one of claims 1 to 14, wherein the base material is made of ceramic.
配線基板上に搭載される基材と、
前記基材の上に設けられた発光素子アレイと、
前記発光素子アレイと接続され、前記発光素子アレイの側面に沿って前記基材の表面に設けられた、前記発光素子アレイと対向する領域である対向領域と、当該対向領域を越えて延長された延長領域とを有する第1の導電パターンと、
前記対向領域と前記延長領域を、前記基材の裏面に設けられた導電パターンであって、前記配線基板の配線パターンと接続される第2の導電パターンと接続するように設けられた、前記基材の表面側から前記基材の裏面側に貫通する複数の貫通部材と、
前記第1の導電パターンが延びる方向に沿って、前記発光素子アレイと並んで設けられた識別表示領域を有し、
前記延長領域は、少なくとも前記識別表示領域の一部と対向する位置まで延長されている
発光装置。
a base material mounted on a wiring board;
a light-emitting element array provided on the substrate;
a counter region connected to the light emitting element array and provided on the surface of the base along the side surface of the light emitting element array and facing the light emitting element array; a first conductive pattern having an extension region;
The substrate is provided so as to connect the facing region and the extension region to a second conductive pattern, which is a conductive pattern provided on the back surface of the base material and is connected to the wiring pattern of the wiring board. a plurality of penetrating members penetrating from the surface side of the material to the back side of the base material;
an identification display area provided in parallel with the light emitting element array along the direction in which the first conductive pattern extends;
The light-emitting device, wherein the extension region extends to at least a position facing a portion of the identification display region.
前記識別表示領域は、自装置と他の装置とを識別する文字、番号、記号の少なくとも一つを含む領域である
請求項16に記載の発光装置。
17. The light-emitting device according to claim 16, wherein the identification display area is an area including at least one of letters, numbers, and symbols that distinguish the device from other devices.
請求項1から請求項17のいずれか1項に記載の発光装置と、
前記発光装置が備える前記発光素子アレイから出射され被測定物で反射された反射光を受光する三次元センサと、を備え、
前記三次元センサは、前記発光素子アレイから光が出射されてから当該三次元センサで受光されるまでの時間に相当する信号を出力する
光学装置。
a light emitting device according to any one of claims 1 to 17;
a three-dimensional sensor that receives reflected light emitted from the light-emitting element array included in the light-emitting device and reflected by an object to be measured;
The optical device, wherein the three-dimensional sensor outputs a signal corresponding to the time from when the light is emitted from the light-emitting element array to when the light is received by the three-dimensional sensor.
請求項18に記載の光学装置と、
前記光学装置が備える前記発光素子アレイから出射され被測定物で反射され、当該光学装置が備える三次元センサで受光された反射光に基づき、当該被測定物の三次元形状を特定する形状特定部と、
を備える情報処理装置。
an optical device according to claim 18;
A shape identifying unit that identifies the three-dimensional shape of the object to be measured based on reflected light emitted from the light-emitting element array of the optical device, reflected by the object, and received by a three-dimensional sensor of the optical device. and,
Information processing device.
前記形状特定部での特定結果に基づき、自装置の使用に関する認証処理を行う認証処理部を備える請求項19に記載の情報処理装置。 20. The information processing apparatus according to claim 19, further comprising an authentication processing section that performs authentication processing regarding use of the apparatus based on the result of identification by the shape identification section.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6763452B1 (en) * 2019-04-15 2020-09-30 富士ゼロックス株式会社 Light emitting device, optical device and information processing device
JP2023031861A (en) 2021-08-25 2023-03-09 富士フイルムビジネスイノベーション株式会社 Light-emitting device, light measurement device and image formation device

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007059741A (en) 2005-08-26 2007-03-08 Mitsubishi Electric Corp Optical semiconductor element module and method of manufacturing same
JP2008541435A (en) 2005-05-03 2008-11-20 インターナショナル レクティファイアー コーポレイション Wirebond device package for semiconductor devices having elongated electrodes
JP2015007615A (en) 2013-05-24 2015-01-15 アドヴァンスド サイエンティフィック コンセプツ,インコーポレイテッドAdvanced Scientific Concepts,Inc. Vehicle auxiliary radar sensor
US20150069113A1 (en) 2013-09-11 2015-03-12 Princeton Optronics Inc. VCSEL Packaging
US20150229912A1 (en) 2014-02-10 2015-08-13 Microsoft Corporation Vcsel array for a depth camera
JP2017513000A (en) 2014-03-26 2017-05-25 アルケス テクノロジー,インコーポレイテッド Compact 3D depth acquisition system
JP2018165983A (en) 2017-03-28 2018-10-25 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. Face authentication method and device

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0330385A (en) * 1989-06-27 1991-02-08 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor laser device
WO2005096335A1 (en) * 2004-03-30 2005-10-13 Pioneer Corporation Electron emitting device and manufacturing method thereof and image pick up device or display device using electron emitting device
JP6496023B2 (en) * 2015-06-30 2019-04-03 シャープ株式会社 Display device and television receiver
JP2017084899A (en) 2015-10-26 2017-05-18 株式会社リコー Surface emitting laser array and method of manufacturing surface emitting laser array

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008541435A (en) 2005-05-03 2008-11-20 インターナショナル レクティファイアー コーポレイション Wirebond device package for semiconductor devices having elongated electrodes
JP2007059741A (en) 2005-08-26 2007-03-08 Mitsubishi Electric Corp Optical semiconductor element module and method of manufacturing same
JP2015007615A (en) 2013-05-24 2015-01-15 アドヴァンスド サイエンティフィック コンセプツ,インコーポレイテッドAdvanced Scientific Concepts,Inc. Vehicle auxiliary radar sensor
US20150069113A1 (en) 2013-09-11 2015-03-12 Princeton Optronics Inc. VCSEL Packaging
US20150229912A1 (en) 2014-02-10 2015-08-13 Microsoft Corporation Vcsel array for a depth camera
JP2017513000A (en) 2014-03-26 2017-05-25 アルケス テクノロジー,インコーポレイテッド Compact 3D depth acquisition system
JP2018165983A (en) 2017-03-28 2018-10-25 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. Face authentication method and device

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