JP7000525B2 - カラーフィルタアレイの形成方法および電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
カラーフィルタアレイ10、20の形状の第1実施形態を説明する。
図9は、第1実施形態の図3(a)と同様の基体400(H10<H20)を用いて、図3(c)に対応する段階を異なる段階を経た場合の比較形態を示している。
第2実施形態の第1実施形態との主な違いは2点ある。1点目は、中央部110における表面410の高さH10が、周辺部120における表面420の高さH20よりも高い点(H10>H20)である。2点目は、カラーフィルタ11、12およびそれらの間の間隙1が周辺部120に位置し、カラーフィルタ13、14およびそれらの間の間隙2が中央部110に位置する点である。
第3実施形態の第2実施形態との主な違いは、中央部110における表面410の高さH10と、周辺部120における表面420の高さH20との関係である。
第2実施形態のように、基体400の中央部110における表面410が周辺部120における表面420よりも高い(H10>H20)場合であっても、第3実施形態と同様に色シェーディングを抑制できる。つまり、入射角特性による周辺部120の感度低下が顕著な場合に、中央部110に厚いカラーフィルタ21を配置し、周辺部120に薄いカラーフィルタ22を配置すればよい。そのためには、中央部110に狭い間隙1を配置し、周辺部120に広い間隙2が位置するように、カラーフィルタアレイ10を形成すればよい。
中央部110における感度を周辺部120における感度よりも高めたい場合が想定される。その場合には、中央部110に薄いカラーフィルタ22を配置し、周辺部120に厚いカラーフィルタ21を配置すればよい。そのためには、中央部110に広い間隙2を配置し、周辺部120に狭い間隙1が位置するように、カラーフィルタアレイ10を形成すればよい。
上述した各実施形態において間隙1と間隙2の幅を異ならせる方法の変形例を説明する。
600、700 カラーフィルタ膜
10、20 カラーフィルタアレイ
1、2 間隙
11、12、13、14、21、22 カラーフィルタ
W1、W2 幅
Claims (16)
- 基板上に配された発光層と、
前記発光層の上に配されたカラーフィルタアレイと、を有する表示装置であって、
前記カラーフィルタアレイは、
第1の色のカラーフィルタからなる第1カラーフィルタアレイと、
前記第1の色と異なる第2の色のカラーフィルタからなる第2カラーフィルタアレイと、を有し、
前記第1カラーフィルタアレイは、所定の方向において第1間隔を介して互いに隣り合う第1対のカラーフィルタと、前記所定の方向において、第2間隔を介して互いに隣り合う第2対のカラーフィルタと、を含み、
前記第1対のカラーフィルタと前記第1カラーフィルタアレイの周縁との間の最短距離は、前記第2対のカラーフィルタと前記第1カラーフィルタアレイの周縁との間の最短距離よりも大きく、
前記第2カラーフィルタアレイは、前記第1対のカラーフィルタの間に位置する第1のカラーフィルタと、前記第2対のカラーフィルタの間に位置する第2のカラーフィルタと、を含み、
前記所定の方向における前記第1間隔は、前記所定の方向における前記第2間隔よりも大きく、
前記所定の方向における前記第1のカラーフィルタの幅は、前記所定の方向における前記第2のカラーフィルタの幅よりも大きく、
前記基板に対する平面視において、前記第2のカラーフィルタは、前記第2対のカラーフィルタと部分的に重なる
ことを特徴とする表示装置。 - 前記基板に対する平面視において、前記第1のカラーフィルタは、前記第1対のカラーフィルタと部分的に重なる
ことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。 - 前記第2のカラーフィルタの前記基板から最も離れた部分の高さは、前記第2対のカラーフィルタを構成する2つのカラーフィルタの前記基板から最も離れた部分の高さと異なる
ことを特徴とする請求項1または2に記載の表示装置。 - 前記第1のカラーフィルタの前記基板から最も離れた部分の高さは、前記第1対のカラーフィルタを構成する2つのカラーフィルタの前記基板から最も離れた部分の高さと異なる
ことを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の表示装置。 - 前記基板上に配されたトランジスタと、
前記トランジスタと前記発光層との間に配された多層配線構造と、をさらに有する
ことを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の表示装置。 - 基板上に配された発光層と、
前記発光層の上に配されたカラーフィルタアレイと、を有する表示装置であって、
前記カラーフィルタアレイは、
第1の色のカラーフィルタからなる第1カラーフィルタアレイと、
前記第1の色と異なる第2の色のカラーフィルタからなる第2カラーフィルタアレイと、を有し、
前記第1カラーフィルタアレイは、所定の方向において第1間隔を介して互いに隣り合う第1対のカラーフィルタと、前記所定の方向において、第2間隔を介して互いに隣り合う第2対のカラーフィルタと、を含み、
前記第1対のカラーフィルタと前記第1カラーフィルタアレイの周縁との間の最短距離は、前記第2対のカラーフィルタと前記第1カラーフィルタアレイの周縁との間の最短距離よりも大きく、
前記第2カラーフィルタアレイは、前記第1対のカラーフィルタの間に位置する第1のカラーフィルタと、前記第2対のカラーフィルタの間に位置する第2のカラーフィルタと、を含み、
前記所定の方向における前記第1間隔は、前記所定の方向における前記第2間隔よりも大きく、
前記所定の方向における前記第1のカラーフィルタの幅は、前記所定の方向における前記第2のカラーフィルタの幅よりも大きく、
前記第2のカラーフィルタの前記基板から最も離れた部分の高さは、前記第2対のカラーフィルタを構成する2つのカラーフィルタの前記基板から最も離れた部分の高さと異なる
ことを特徴とする表示装置。 - 前記第1のカラーフィルタの前記基板から最も離れた部分の高さは、前記第1対のカラーフィルタを構成する2つのカラーフィルタの前記基板から最も離れた部分の高さと異なる
ことを特徴とする請求項6に記載の表示装置。 - 前記基板上に配されたトランジスタと、
前記トランジスタと前記発光層との間に配された多層配線構造と、をさらに有する
ことを特徴とする請求項6または7に記載の表示装置。 - 基板上に配された発光層と、
前記発光層の上に配されたカラーフィルタアレイと、を有する表示装置であって、
前記基板上に配されたトランジスタと、
前記トランジスタと前記発光層との間に配された多層配線構造と、を有し、
前記カラーフィルタアレイは、
第1の色のカラーフィルタからなる第1カラーフィルタアレイと、
前記第1の色と異なる第2の色のカラーフィルタからなる第2カラーフィルタアレイと、を有し、
前記第1カラーフィルタアレイは、所定の方向において第1間隔を介して互いに隣り合う第1対のカラーフィルタと、前記所定の方向において、第2間隔を介して互いに隣り合う第2対のカラーフィルタと、を含み、
前記第1対のカラーフィルタと前記第1カラーフィルタアレイの周縁との間の最短距離は、前記第2対のカラーフィルタと前記第1カラーフィルタアレイの周縁との間の最短距離よりも大きく、
前記第2カラーフィルタアレイは、前記第1対のカラーフィルタの間に位置する第1のカラーフィルタと、前記第2対のカラーフィルタの間に位置する第2のカラーフィルタと、を含み、
前記所定の方向における前記第1間隔は、前記所定の方向における前記第2間隔よりも大きく、
前記所定の方向における前記第1のカラーフィルタの幅は、前記所定の方向における前記第2のカラーフィルタの幅よりも大きい
ことを特徴とする表示装置。 - 前記第2のカラーフィルタは、前記第2対のカラーフィルタを構成する2つのカラーフィルタと接している
ことを特徴とする請求項1~9のいずれか1項に記載の表示装置。 - 前記第1のカラーフィルタは、前記第1対のカラーフィルタを構成する2つのカラーフィルタと接している
ことを特徴とする請求項1~10のいずれか1項に記載の表示装置。 - 前記カラーフィルタアレイは、ハニカム型の配置である
ことを特徴とする請求項1~11のいずれか1項に記載の表示装置。 - 前記カラーフィルタアレイは、ベイヤー型またはストライプ型の配置である
ことを特徴とする請求項1~11のいずれか1項に記載の表示装置。 - 前記第1カラーフィルタアレイは、前記第2対のカラーフィルタを複数有し、
前記基板に対する平面視において、複数の前記第2対のカラーフィルタは、前記第1対のカラーフィルタを囲んでいる
ことを特徴とする請求項1~13のいずれか1項に記載の表示装置。 - 信号処理装置と、
前記信号処理装置で処理された信号が入力される表示装置と、を有する表示システムであって、
前記表示装置は請求項1~14のいずれか1項に記載の表示装置である
ことを特徴とする表示システム。 - 撮像装置と、
前記撮像装置で撮像された画像を表示する表示装置と、を有する表示システムであって、
前記表示装置は請求項1~14のいずれか1項に記載の表示装置である
ことを特徴とする表示システム。
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JP2012227474A (ja) | 2011-04-22 | 2012-11-15 | Panasonic Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP2015207000A (ja) | 2014-04-22 | 2015-11-19 | オプティツ インコーポレイテッド | カラーフィルタ及びフォトダイオードのパターニング構成 |
JP2016051060A (ja) | 2014-08-29 | 2016-04-11 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタアレイの形成方法、撮像装置の製造方法、撮像装置 |
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