JP6886525B2 - パルス光ビームのスペクトル特徴制御 - Google Patents
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Description
[0001] 本願は、2017年3月24日に提出された米国出願第15/468,402号の優先権を主張するものであり、同出願は参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
[00049]
メトロロジ処理モジュール725は、その情報について分析を実施して、出力装置145に供給される光ビーム110の1つ以上のスペクトル特徴(例えば帯域幅)をどのように調整するかを決定する。メトロロジ処理モジュール725によるこの決定に基づいて、決定処理モジュール735は作動処理モジュール755に信号を送信し、サブモジュール755A及び755Bによって光源105の動作を制御する。
[000102]
[000105]
光源によって生成されるパルス光ビームのスペクトル特徴を調整する方法であって、
パルス光ビームのスペクトル特徴を第1の目標範囲の値から第2の目標範囲の値へと変更する命令を受け取ることと、
第1の動作特性を調節することは光源の第1の作動可能な装置を第1の動作特性が許容可能な値の範囲内にあると判定されるまで調整することを含むところ、光源の第1の動作特性を調節することと、
光源の第2の作動可能な装置に対する調整を、少なくとも部分的には、
第1の作動可能な装置の調整と光ビームのスペクトル特徴との間の関係に基づいて、及び
第2目標範囲に基づいて、決定することと、
決定された調整に基づく量で第2の作動可能な装置を調整することと、
を備える、方法。
光源の第1の動作特性を調節することは、
第1の作動可能な装置が調整された後で光源の第1の動作特性を観察することと、
観察される第1の動作特性が許容可能な値の範囲内にあるかどうかを判定することと、
観察される第1の動作特性が許容可能な値の範囲外にあると判定される場合には、光源の第1の作動可能な装置を調整することと、
を備えるフィードバックループとして実施される、条項1の方法。
第2の作動可能な装置に対する調整を決定することのうち少なくともいくらか及び第2の作動可能な装置を調整することのうち少なくともいくらかは、第1の動作特性が許容可能な値の範囲内にあると判定される前に起こる、条項1の方法。
第1の作動可能な装置の調整と光ビームのスペクトル特徴との間の関係に基づいて第2の作動可能な装置に対する調整を決定することとは、第1の作動可能な装置の調整によって引き起こされる光ビームのスペクトル特徴のオフセットを推定することを備える、条項1の方法。
オフセットは、
第1の動作特性の目標値は許容可能な値の範囲内にあるところ、第1の動作特性の初期値と第1の動作特性の目標値との差と、
第1の動作特性と第1の作動可能な装置の状態との間の関係を定義する校正値と、
光ビームの測定されるスペクトル特徴対第1の作動可能な装置の状態のタイミング曲線の勾配と、
に基づいて推定される、条項4の方法。
第1の作動可能な装置の調整と光ビームのスペクトル特徴との間の関係に基づいて第2の作動可能な装置に対する調整を決定することは、第1の作動可能な装置の調整によって引き起こされる光ビームのスペクトル特徴の推定されるオフセットを補償する第2の作動可能な装置に対するオフセット調整を計算することを備える、条項4の方法。
第1の作動可能な装置の調整によって引き起こされる光ビームのスペクトル特徴の推定されるオフセットを補償する第2の作動可能な装置に対するオフセット調整を計算することは、推定されるオフセットを、光ビームの測定されるスペクトル特徴と第2の作動可能な装置の状態との間の関係の勾配で乗算することを備える、条項6の方法。
第2の目標範囲に基づいて光源の第2の作動可能な装置に対する調整を決定することは、第2の目標範囲に対応する第2の作動可能な装置に対する主調整を計算することを備え、光源の第2の作動可能な装置に対する調整を決定することは、調整を決定するためにオフセット調整と主調整とを足し合わせることを備える、条項6の方法。
第2の作動可能な装置が調整を完了した後で、
光ビームのスペクトル特徴を測定しつつ第2の作動可能な装置を現在の状態で維持することと、
光ビームの測定されるスペクトル特徴が第2の目標範囲内になるまで第2の作動可能な装置を調整することと、
を更に備える、条項1の方法。
光ビームのスペクトル特徴を測定することは、N個のパルスで一組の光ビームの各パルスについて光ビームのスペクトル特徴を測定することを含む、条項9の方法。ただし、Nは30未満の数である。
光源の第1の動作特性は、第1の作動可能な装置の状態と第1の作動可能な装置の目標状態との相対値を備え、
第1の作動可能な装置は、光源がいつ光ビームのパルスを出力するかに関するタイミングである、条項1の方法。
光源がいつ光ビームのパルスを出力するかに関するタイミングは、光源の第1段に送信される第1のトリガ信号と光源の第2段に送信される第2のトリガ信号との相対的なタイミングである、条項11の方法。
第2の作動可能な装置は、パルス光ビームと相互作用するように構成された光学系を備えており、
第2の作動可能な装置を調整することは、光学系を調整し、それによってパルス光ビームの光学倍率を調整するとともに光ビームのスペクトル特徴を変更することを備える、条項1の方法。
光ビームのスペクトル特徴は光ビームの帯域幅である、条項1の方法。
光源の第1の作動可能な装置を調整することは、光ビームのスペクトル特徴を、値の第1の範囲内且つ第1の速度で変化させ、
光源の第2の作動可能な装置を調整することは、光ビームのスペクトル特徴を、値の第2の範囲内且つ第2の速度で変化させ、
値の第2の範囲は値の第1の範囲よりも大きく、
第2の速度は第1の速度よりも遅い、条項1の方法。
第1の動作特性の値の許容可能な範囲は第1の動作特性の動作範囲に集中しており、第1の動作特性の動作範囲は第1の動作特性の制限値によって定義される、条項1の方法。
光源によって生成されるパルス光ビームのスペクトル特徴を調整するシステムであって、
光源の第1の作動可能な装置に結合された第1の作動モジュールであって、第1の作動可能な装置は、第1の作動モジュールによって調整され、それによってパルス光ビームのスペクトル特徴を値の第1の範囲内で調整するように構成されている、第1の作動モジュールと、
光源の第2の作動可能な装置に結合された第2の作動モジュールであって、第2の作動可能な装置は、第2の作動モジュールによって調整され、それによってパルス光ビームのスペクトル特徴を値の第2の範囲内で調整するように構成されている、第2の作動モジュールと、
第1の作動モジュール及び第2の作動モジュールに接続された制御システムと、
を備えており、制御システムは、
パルス光ビームのスペクトル特徴を第1の目標範囲の値から第2の目標範囲の値へと変更する命令を受け取り、
第1の動作特性を調節することは第1の動作特性が許容可能な値の範囲内にあると判定されるまで第1の作動可能な装置を調整することを含むところ、光源の第1の動作特性を調節し、
第2の作動可能な装置に対する調整を、少なくとも部分的には、第1の作動可能な装置の調整と光ビームのスペクトル特徴との間の関係に基づいて、及び第2の目標範囲に基づいて、決定し、
決定された調整に基づく量で第2の作動可能な装置を調整するように構成されている、システム。
光源の第1の動作特性は、第1の作動可能な装置の状態と第1の作動可能な装置の目標状態との相対値を備え、第1の作動可能な装置は、光源がいつ光ビームのパルスを出力するかに関するタイミングである、条項17のシステム。
光源は、第1段及び第2段を含む多段ガス放電システムであり、
光源がいつ光ビームのパルスを出力するかに関するタイミングは、光源の第1段に送信される第1のトリガ信号と光源の第2段に送信されるトリガ信号との相対的なタイミングである、条項18のシステム。
第1段はパルスシード光ビームを出力する発振器装置を含み、第2段はパルスシード光ビームを受け取ってパルス光ビームを出力する光増幅装置を含む、条項19のシステム。
第2の作動可能な装置は、パルス光ビームと相互作用してパルス光ビームの光学倍率を調整するように構成された光学系を含み、パルス光ビームの光学倍率を調整することは、それによって光ビームのスペクトル特徴を変更する、条項17のシステム。
光学系は、パルス光ビームが通過して進む1つ以上のプリズムと、パルス光ビームが反射する格子とを含み、パルス光ビームの光学倍率は、プリズムのうち1つ以上を回転させることによって調整される、条項21のシステム。
第1の動作特性を測定するように構成された観察システムを含むメトロロジ装置を更に備え、制御システムは観察システムから第1の動作特性の測定を受け取るように構成されている、条項17のシステム。
メトロロジ装置は、パルス光ビームのスペクトル特徴を測定するように構成されたスペクトル特徴ユニットを含み、制御システムは、スペクトル特徴ユニットからスペクトル特徴の測定を受け取るように構成されている、条項23のシステム。
光源によって生成されるパルス光ビームのスペクトル特徴を調整するシステムであって、
パルス光ビームのスペクトル特徴を値の第1の範囲内で調整する第1の作動可能な手段と、
第1の作動可能な手段を制御する第1の作動手段と、
パルス光ビームのスペクトル特徴を値の第2の範囲内で調整する第2の作動可能な手段と、
第2の作動可能な手段を制御する第2の作動手段と、
第1の作動手段及び第2の作動手段に接続された制御手段と、
を備え、
制御手段は、
パルス光ビームのスペクトル特徴を第1の目標範囲の値から第2の目標範囲の値へと変更する命令を受け取り、
第1の動作特性を調節することは第1の動作手段に信号を送信して第1の作動可能な手段を第1の動作特性が許容可能な値の範囲内にあると判定されるまで調整することを含むところ、光源の第1の動作特性を調節し、
第2の作動可能な手段に対する調整を、少なくとも部分的には、第1の作動可能な手段の調整と光ビームのスペクトル特徴との間の関係に基づいて、及び第2の目標範囲に基づいて、決定し、
決定された調整に基づく量で第2の作動可能な手段を調整するように、第2の作動手段に信号を送信する、システム。
Claims (23)
- 光源によって生成されるパルス光ビームのスペクトル特徴を調整する方法であって、
前記パルス光ビームのスペクトル特徴を第1の目標範囲の値から第2の目標範囲の値へと変更する命令を受け取ることと、
第1の動作特性を調節することは前記光源の第1の作動可能な装置を前記第1の動作特性が許容可能な値の範囲内にあると判定されるまで調整することを含むところ、前記光源の前記第1の動作特性を調節することと、
前記光源の第2の作動可能な装置に対する調整を、少なくとも部分的には、前記第1の作動可能な装置の前記調整と前記光ビームのスペクトル特徴との間の関係に基づいて、及び、前記第2目標範囲に基づいて、決定することと、
前記決定された調整に基づく量で前記第2の作動可能な装置を調整することと、を備え、
前記第1の作動可能な装置の前記調整と前記光ビームの前記スペクトル特徴との間の前記関係に基づいて前記第2の作動可能な装置に対する前記調整を決定することは、前記第1の作動可能な装置の調整によって引き起こされる前記光ビームの前記スペクトル特徴のオフセットを推定することを含み、
前記オフセットは、
前記第1の動作特性の目標値は前記許容可能な値の範囲内にあるところ、前記第1の動作特性の初期値と前記第1の動作特性の前記目標値との差と、
前記第1の動作特性と前記第1の作動可能な装置の状態との間の関係を定義する校正値と、
前記光ビームの測定されるスペクトル特徴対前記第1の作動可能な装置の前記状態のタイミング曲線の勾配と、
に基づいて推定される、方法。 - 前記光源の前記第1の動作特性を調節することは、
前記第1の作動可能な装置が調整された後で前記光源の前記第1の動作特性を観察することと、
前記観察される第1の動作特性が前記許容可能な値の範囲内にあるかどうかを判定することと、
前記観察される第1の動作特性が前記許容可能な値の範囲外にあると判定される場合には、前記光源の第1の作動可能な装置を調整することと、
を備えるフィードバックループとして実施される、請求項1の方法。 - 前記第2の作動可能な装置に対する前記調整を決定することのうち少なくともいくつか及び前記第2の作動可能な装置を調整することのうち少なくともいくつかは、前記第1の動作特性が前記許容可能な値の範囲内にあると判定される前に起こる、請求項1の方法。
- 前記第1の作動可能な装置の前記調整と前記光ビームの前記スペクトル特徴との間の前記関係に基づいて前記第2の作動可能な装置に対する前記調整を決定することは、前記第1の作動可能な装置の前記調整によって引き起こされる前記光ビームの前記スペクトル特徴の前記推定されるオフセットを補償する前記第2の作動可能な装置に対するオフセット調整を計算することを備える、請求項1の方法。
- 前記第1の作動可能な装置の前記調整によって引き起こされる前記光ビームの前記スペクトル特徴の前記推定されるオフセットを補償する前記第2の作動可能な装置に対する前記オフセット調整を計算することは、前記推定されるオフセットを、前記光ビームの測定されるスペクトル特徴と前記第2の作動可能な装置の状態との間の関係の勾配で乗算することを備える、請求項4の方法。
- 前記第2の目標範囲に基づいて前記光源の前記第2の作動可能な装置に対する前記調整を決定することは、前記第2の目標範囲に対応する前記第2の作動可能な装置に対する主調整を計算することを備え、
前記光源の前記第2の作動可能な装置に対する前記調整を決定することは、前記調整を決定するために前記オフセット調整と前記主調整とを足し合わせることを備える、請求項4の方法。 - 前記第2の作動可能な装置が調整を完了した後で、
前記光ビームの前記スペクトル特徴を測定しつつ前記第2の作動可能な装置を現在の状態で維持することと、
前記光ビームの前記測定されるスペクトル特徴が前記第2の目標範囲内になるまで前記第2の作動可能な装置を調整することと、
を更に備える、請求項1の方法。 - 前記光ビームの前記スペクトル特徴を測定することは、N個のパルスで一組の前記光ビームの各パルスについて前記光ビームの前記スペクトル特徴を測定することを含み、Nは30未満の数である、請求項7の方法。
- 前記光源の前記第1の動作特性は、前記第1の作動可能な装置の状態と前記第1の作動可能な装置の目標状態との相対値を備え、
前記第1の作動可能な装置は、前記光源がいつ前記光ビームのパルスを出力するかに関するタイミングである、請求項1の方法。 - 前記光源がいつ前記光ビームのパルスを出力するかに関する前記タイミングは、前記光源の第1段に送信される第1のトリガ信号と前記光源の第2段に送信される第2のトリガ信号との相対的なタイミングである、請求項9の方法。
- 前記第2の作動可能な装置は、前記パルス光ビームと相互作用するように構成された光学系を備えており、
前記第2の作動可能な装置を調整することは、前記光学系を調整し、それによって前記パルス光ビームの光学倍率を調整するとともに前記光ビームの前記スペクトル特徴を変更することを備える、請求項1の方法。 - 前記光ビームの前記スペクトル特徴は、前記光ビームの帯域幅である、請求項1の方法。
- 前記光源の前記第1の作動可能な装置を調整することは、前記光ビームの前記スペクトル特徴を、値の第1の範囲内且つ第1の速度で変化させ、
前記光源の前記第2の作動可能な装置を調整することは、前記光ビームの前記スペクトル特徴を、値の第2の範囲内且つ第2の速度で変化させ、
前記値の第2の範囲は、前記値の第1の範囲よりも大きく、
前記第2の速度は、前記第1の速度よりも遅い、請求項1の方法。 - 前記第1の動作特性の値の前記許容可能な範囲は、前記第1の動作特性の動作範囲に集中しており、
前記第1の動作特性の前記動作範囲は、前記第1の動作特性の制限値によって定義される、請求項1の方法。 - 光源によって生成されるパルス光ビームのスペクトル特徴を調整するシステムであって、
前記光源の第1の作動可能な装置に結合された第1の作動モジュールであって、前記第1の作動可能な装置は、前記第1の作動モジュールによって調整され、それによって前記パルス光ビームの前記スペクトル特徴を値の第1の範囲内で調整するように構成されている、第1の作動モジュールと、
前記光源の第2の作動可能な装置に結合された第2の作動モジュールであって、前記第2の作動可能な装置は、前記第2の作動モジュールによって調整され、それによって前記パルス光ビームの前記スペクトル特徴を値の第2の範囲内で調整するように構成されている、第2の作動モジュールと、
前記第1の作動モジュール及び前記第2の作動モジュールに接続された制御システムと、を備えており、
前記制御システムは、
前記パルス光ビームの前記スペクトル特徴を第1の目標範囲の値から第2の目標範囲の値へと変更する命令を受け取り、
第1の動作特性を調節することは前記第1の動作特性が許容可能な値の範囲内にあると判定されるまで前記第1の作動可能な装置を調整することを含むところ、前記光源の前記第1の動作特性を調節し、
前記第2の作動可能な装置に対する調整を、少なくとも部分的には、前記第1の作動可能な装置の前記調整と前記光ビームの前記スペクトル特徴との間の関係に基づいて、及び前記第2の目標範囲に基づいて、決定し、
前記決定された調整に基づく量で前記第2の作動可能な装置を調整する
ように構成されており、
前記第1の作動可能な装置の前記調整と前記光ビームの前記スペクトル特徴との間の前記関係に基づいて前記第2の作動可能な装置に対する前記調整を決定することは、前記第1の作動可能な装置の調整によって引き起こされる前記光ビームの前記スペクトル特徴のオフセットを推定することを含み、
前記オフセットは、
前記第1の動作特性の目標値は前記許容可能な値の範囲内にあるところ、前記第1の動作特性の初期値と前記第1の動作特性の前記目標値との差と、
前記第1の動作特性と前記第1の作動可能な装置の状態との間の関係を定義する校正値と、
前記光ビームの測定されるスペクトル特徴対前記第1の作動可能な装置の前記状態のタイミング曲線の勾配と、
に基づいて推定される、システム。 - 前記光源の前記第1の動作特性は、前記第1の作動可能な装置の状態と前記第1の作動可能な装置の目標状態との相対値を備え、
前記第1の作動可能な装置は、前記光源がいつ前記光ビームのパルスを出力するかに関するタイミングである、請求項15のシステム。 - 前記光源は、第1段及び第2段を含む多段ガス放電システムであり、
前記光源がいつ前記光ビームのパルスを出力するかに関する前記タイミングは、前記光源の前記第1段に送信される第1のトリガ信号と前記光源の第2段に送信されるトリガ信号との相対的なタイミングである、請求項16のシステム。 - 前記第1段は、パルスシード光ビームを出力する発振器装置を含み、
前記第2段は、前記パルスシード光ビームを受け取って前記パルス光ビームを出力する光増幅装置を含む、請求項17のシステム。 - 前記第2の作動可能な装置は、前記パルス光ビームと相互作用して前記パルス光ビームの光学倍率を調整するように構成された光学系を含み、
前記パルス光ビームの前記光学倍率を調整することは、それによって前記光ビームの前記スペクトル特徴を変更する、請求項15のシステム。 - 前記光学系は、前記パルス光ビームが通過して進む1つ以上のプリズムと、前記パルス光ビームが反射する格子と、を含み、
前記パルス光ビームの前記光学倍率は、前記プリズムのうち1つ以上を回転させることによって調整される、請求項19のシステム。 - 前記第1の動作特性を測定するように構成された観察システムを含むメトロロジ装置を更に備え、
前記制御システムは、前記観察システムから前記第1の動作特性の前記測定を受け取るように構成されている、請求項15のシステム。 - 前記メトロロジ装置は、前記パルス光ビームの前記スペクトル特徴を測定するように構成されたスペクトル特徴ユニットを含み、
前記制御システムは、前記スペクトル特徴ユニットから前記スペクトル特徴の前記測定を受け取るように構成されている、請求項21のシステム。 - 光源によって生成されるパルス光ビームのスペクトル特徴を調整するシステムであって、
前記パルス光ビームの前記スペクトル特徴を値の第1の範囲内で調整する第1の作動可能な手段と、
前記第1の作動可能な手段を制御する第1の作動手段と、
前記パルス光ビームの前記スペクトル特徴を値の第2の範囲内で調整する第2の作動可能な手段と、
前記第2の作動可能な手段を制御する第2の作動手段と、
前記第1の作動手段及び前記第2の作動手段に接続された制御手段と、を備え、
前記制御手段は、
前記パルス光ビームの前記スペクトル特徴を第1の目標範囲の値から第2の目標範囲の値へと変更する命令を受け取り、
第1の動作特性を調節することは前記第1の作動手段に信号を送信して前記第1の作動可能な手段を前記第1の動作特性が許容可能な値の範囲内にあると判定されるまで調整することを含むところ、前記光源の前記第1の動作特性を調節し、
前記第2の作動可能な手段に対する調整を、少なくとも部分的には、前記第1の作動可能な手段の前記調整と前記光ビームの前記スペクトル特徴との間の関係に基づいて、及び前記第2の目標範囲に基づいて、決定し、
前記決定された調整に基づく量で前記第2の作動可能な手段を調整するように、前記第2の作動手段に信号を送信し、
前記第1の作動可能な手段の前記調整と前記光ビームの前記スペクトル特徴との間の前記関係に基づいて前記第2の作動可能な手段に対する前記調整を決定することは、前記第1の作動可能な手段の調整によって引き起こされる前記光ビームの前記スペクトル特徴のオフセットを推定することを含み、
前記オフセットは、
前記第1の動作特性の目標値は前記許容可能な値の範囲内にあるところ、前記第1の動作特性の初期値と前記第1の動作特性の前記目標値との差と、
前記第1の動作特性と前記第1の作動可能な手段の状態との間の関係を定義する校正値と、
前記光ビームの測定されるスペクトル特徴対前記第1の作動可能な手段の前記状態のタイミング曲線の勾配と、
に基づいて推定される、システム。
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