JP6811411B2

JP6811411B2 - Dicing device

Info

Publication number: JP6811411B2
Application number: JP2019113744A
Authority: JP
Inventors: 悠仁岡田; 裕介新井
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 2019-06-19
Filing date: 2019-06-19
Publication date: 2021-01-13
Anticipated expiration: 2036-03-14
Also published as: JP2019176178A

Description

本発明は、ダイシング装置に係り、特に半導体ウェーハ等のワークと回転するブレードとを相対的に移動させながらワークをブレードによって切削加工するダイシング装置に関する。 The present invention relates to a dicing apparatus, and more particularly to a dicing apparatus for cutting a work by a blade while relatively moving a work such as a semiconductor wafer and a rotating blade.

半導体製造工程では、半導体ウェーハの表面に各種の処理を施して、電子デバイスを有する複数の半導体素子を製造する。半導体素子の各チップは、検査装置によって電気的特性が検査された後、ダイシング装置の高速回転するブレードによってチップ毎に分断される。 In the semiconductor manufacturing process, the surface of a semiconductor wafer is subjected to various treatments to manufacture a plurality of semiconductor elements having electronic devices. Each chip of the semiconductor element is inspected for electrical characteristics by an inspection device, and then divided into chips by a high-speed rotating blade of the dicing device.

ブレードは、加工時間の経過とともに摩耗していくため新たなブレードと交換される。また、ワークの種類を変更した際に、そのワークに対応した別の種類のブレードに交換される場合がある。このようにブレードの交換が行われると、交換前後のブレードの形状が異なるため、交換後のブレードの形状等に関するブレード情報をダイシング装置に登録する作業が行われる。ダイシング装置は、登録された交換後のブレード情報に基づいて、ワークに対するブレードの切込み深さ等を制御して、切削加工を継続する。 The blade wears over time and is replaced with a new blade. Further, when the type of work is changed, it may be replaced with another type of blade corresponding to the work. When the blades are replaced in this way, the shapes of the blades before and after the replacement are different, so that the work of registering the blade information regarding the shape of the blades after the replacement in the dicing apparatus is performed. The dicing device controls the cutting depth of the blade with respect to the work based on the registered blade information after replacement, and continues the cutting process.

特許文献１には、ブレード交換用の操作画面を利用してブレード交換作業を行うダイシング装置（加工装置）が開示されている。このダイシング装置では、ブレードを交換した際には、表示された操作画面の表示に従い、ブレード情報として、ロットＩＤ、新／旧情報、ブレード外径、刃厚、フランジ外径等の情報を入力するようになっている。 Patent Document 1 discloses a dicing device (processing device) that performs blade replacement work using an operation screen for blade replacement. In this dicing device, when the blade is replaced, information such as lot ID, new / old information, blade outer diameter, blade thickness, flange outer diameter, etc. is input as blade information according to the display on the displayed operation screen. It has become like.

また、ブレードとしては、ダイヤモンド砥粒やＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）砥粒をニッケルで電着した電着ブレードが知られており、また、金属粉末を混入した樹脂で結合したメタルレジンボンドのブレード等が知られている。ブレードの大きさは、加工内容によって種々選択されるが、通常の半導体ウェーハをダイシングする場合は、直径φ５０〜６０ｍｍ、厚さ３０μｍ前後のものが使用される。 Further, as the blade, a diamond abrasive grain or an electrodeposition blade in which CBN (Cubic Boron Nitride) abrasive grains are electrodeposited with nickel is known, and a metal resin bond blade or the like bonded with a resin mixed with metal powder or the like. It has been known. The size of the blade is variously selected depending on the processing content, but when dicing a normal semiconductor wafer, one having a diameter of φ50 to 60 mm and a thickness of about 30 μm is used.

特開２００９−１９４３２６号公報JP-A-2009-194326

しかしながら、特許文献１に開示されたダイシング装置では、ブレードを交換する都度、オペレータが操作画面を利用してブレード情報を入力しなければならず、その入力作業の間、ダイシング装置を停止せざるを得ない。 However, in the dicing device disclosed in Patent Document 1, the operator must input the blade information using the operation screen each time the blade is replaced, and the dicing device must be stopped during the input work. I don't get it.

また、ダイシング装置で加工が行われる際に必要となるブレード情報としては、特許文献１に開示された情報のみならず、例えば、電着ブレードの場合には、砥粒の種類、砥粒の粒度（番手）、集中度（含有率）等が必要となる場合がある。また、レジンボンドブレードの場合には、砥粒の他、結合剤の種類も必要となる場合がある。 Further, the blade information required when processing is performed by the dicing apparatus is not limited to the information disclosed in Patent Document 1, for example, in the case of an electrodeposition blade, the type of abrasive grains and the particle size of abrasive grains. (Count), concentration (content rate), etc. may be required. Further, in the case of a resin bond blade, in addition to the abrasive grains, the type of binder may be required.

このように従来のダイシング装置では、ブレードを交換する際にブレード情報の入力作業に手間と時間を要するため、全体のスループットが低下してしまうという問題がある。 As described above, in the conventional dicing apparatus, there is a problem that the overall throughput is lowered because it takes time and effort to input the blade information when exchanging the blades.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ブレードの交換の際にブレード情報の入力作業に要する手間や時間を削減し、ブレードの交換に起因するスループットの低下を防止することができるダイシング装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and it is possible to reduce the labor and time required for inputting blade information when replacing blades, and to prevent a decrease in throughput due to blade replacement. An object of the present invention is to provide a dicing device capable of providing a dicing device.

上記目的を達成するために、本発明に係るダイシング装置の一態様は、ワークとブレードとを相対的に移動させながらワークをブレードによって切削加工する加工部と、ブレードに備えられた識別媒体であって、ブレード識別コードが記録された識別媒体を読み取る識別媒体読取手段と、複数のブレードに対応したブレード情報がブレード識別コードと関連付けて記憶された記憶手段と、記憶手段に記憶された複数のブレード情報の中から、識別媒体読取手段によって読み取られたブレード識別コードに対応するブレード情報を読み出す読出手段と、読出手段によって読み出されたブレード情報に基づいて加工部を制御する制御手段と、を備える。 In order to achieve the above object, one aspect of the dicing apparatus according to the present invention is a processing portion for cutting the work by the blade while relatively moving the work and the blade, and an identification medium provided on the blade. An identification medium reading means for reading the identification medium on which the blade identification code is recorded, a storage means in which blade information corresponding to a plurality of blades is stored in association with the blade identification code, and a plurality of blades stored in the storage means. It includes a reading means for reading the blade information corresponding to the blade identification code read by the identification medium reading means from the information, and a control means for controlling the machined portion based on the blade information read by the reading means. ..

本発明に係るダイシング装置の一態様において、識別媒体は、バーコード又は二次元コードであることが好ましい。 In one aspect of the dicing apparatus according to the present invention, the identification medium is preferably a bar code or a two-dimensional code.

本発明に係るダイシング装置の一態様において、ブレード情報は、少なくともブレードの刃部の外径、刃部の厚さ、及び刃部の突出量のいずれか１つの情報を含むことが好ましい。 In one aspect of the dicing apparatus according to the present invention, the blade information preferably includes at least one of information on the outer diameter of the blade portion, the thickness of the blade portion, and the protrusion amount of the blade portion.

本発明に係るダイシング装置の一態様において、記憶手段は、ダイシング装置の本体の内部に設けられた内部記憶媒体であることが好ましい。 In one aspect of the dicing apparatus according to the present invention, the storage means is preferably an internal storage medium provided inside the main body of the dicing apparatus.

本発明に係るダイシング装置の一態様において、記憶手段は、ダイシング装置の本体に着脱自在に構成された外部記憶媒体であることが好ましい。 In one aspect of the dicing apparatus according to the present invention, the storage means is preferably an external storage medium that is detachably configured on the main body of the dicing apparatus.

本発明に係るダイシング装置の一態様において、記憶手段は、ダイシング装置とはネットワークを介して接続された外部記憶装置であることが好ましい。 In one aspect of the dicing device according to the present invention, the storage means is preferably an external storage device connected to the dicing device via a network.

本発明によれば、ブレードの交換の際にブレード情報の入力作業に要する手間や時間を削減し、ブレードの交換に起因するスループットの低下を防止することができる。 According to the present invention, it is possible to reduce the labor and time required for inputting blade information when replacing blades, and to prevent a decrease in throughput due to blade replacement.

第１の実施形態のダイシング装置を示した全体斜視図Overall perspective view showing the dicing apparatus of the first embodiment 図１に示したダイシング装置の加工部の構造を示す斜視図Perspective view showing the structure of the processed portion of the dicing apparatus shown in FIG. （Ａ）はブレードの平面図、（Ｂ）はブレードの断面図(A) is a plan view of the blade, and (B) is a cross-sectional view of the blade. 第１の実施形態のダイシング装置のうちブレードに設けられたバーコードを読み取るための構成を示したブロック図A block diagram showing a configuration for reading a bar code provided on a blade of the dicing apparatus of the first embodiment. 記憶部に記憶されたブレード情報の一例を示した図The figure which showed an example of the blade information stored in the storage part. 第２の実施形態のダイシング装置の構成を示したブロック図The block diagram which showed the structure of the dicing apparatus of the 2nd Embodiment 第３の実施形態のダイシング装置の構成を示したブロック図The block diagram which showed the structure of the dicing apparatus of the 3rd Embodiment

以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施形態について詳説する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

＜第１の実施形態＞
まず、図１を参照しながら、第１の実施形態のダイシング装置１０について説明する。図１は、第１の実施形態のダイシング装置１０を示した全体斜視図である。 <First Embodiment>
First, the dicing apparatus 10 of the first embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is an overall perspective view showing the dicing apparatus 10 of the first embodiment.

図１に示すように、第１の実施形態のダイシング装置１０は、一対のブレード１２、１２が対向して配置されたツインスピンドルダイサーと称されるダイシング装置である。このダイシング装置１０は、先端部にブレード１２が装着された高周波モータ内蔵型の一対のスピンドル１４と、ワークである半導体ウェーハＷが載置されて半導体ウェーハＷを吸着保持するワークテーブル１６と、を有する加工部１８を備える。この加工部１８は、半導体ウェーハＷとブレード１２とを相対的に移動させながら半導体ウェーハＷをブレード１２によって切削加工する。 As shown in FIG. 1, the dicing device 10 of the first embodiment is a dicing device called a twin spindle dicer in which a pair of blades 12, 12 are arranged so as to face each other. The dicing device 10 includes a pair of spindles 14 with a built-in high-frequency motor in which a blade 12 is mounted at the tip thereof, and a work table 16 on which a semiconductor wafer W as a work is placed and sucks and holds the semiconductor wafer W. The processing portion 18 to have is provided. The processing unit 18 cuts the semiconductor wafer W by the blade 12 while relatively moving the semiconductor wafer W and the blade 12.

また、ダイシング装置１０には、加工済みの半導体ウェーハＷをスピン洗浄する洗浄部２０と、複数枚の半導体ウェーハＷを収納したカセットが載置されるロードポート２２と、半導体ウェーハＷを搬送する搬送装置２４と、がそれぞれ所定の位置に配置される。また、ダイシング装置１０には、ダイシング装置１０の各部材の動作を統括制御する制御部（制御手段）２６が内蔵されている。 Further, the dicing apparatus 10 has a cleaning unit 20 for spin-cleaning the processed semiconductor wafer W, a load port 22 on which a cassette containing a plurality of semiconductor wafers W is placed, and a transfer for transporting the semiconductor wafer W. The device 24 and each are arranged at predetermined positions. Further, the dicing device 10 has a built-in control unit (control means) 26 that comprehensively controls the operation of each member of the dicing device 10.

図２は、加工部１８の構造を示す斜視図である。 FIG. 2 is a perspective view showing the structure of the processed portion 18.

図２に示すように、加工部１８は、Ｘテーブル３４を備える。Ｘテーブル３４は、Ｘベース２８に設けられたＸガイド３０、３０によってガイドされ、リニアモータ３２によって矢印Ｘ−Ｘで示すＸ方向に駆動される。また、Ｘテーブル３４の上面にはθ方向に回転する回転テーブル３６が固定され、この回転テーブル３６にワークテーブル１６が設けられている。よって、ワークテーブル１６は、Ｘテーブル３４によってＸ方向に移動され、かつ回転テーブル３６によってθ方向に回転される。 As shown in FIG. 2, the processing unit 18 includes an X table 34. The X table 34 is guided by the X guides 30 and 30 provided on the X base 28, and is driven by the linear motor 32 in the X direction indicated by the arrows XX. Further, a rotary table 36 that rotates in the θ direction is fixed on the upper surface of the X table 34, and the work table 16 is provided on the rotary table 36. Therefore, the work table 16 is moved in the X direction by the X table 34 and rotated in the θ direction by the rotary table 36.

また、加工部１８は、Ｘベース２８を跨ぐように門型に構成されたＹベース３８を備える。Ｙベース３８の壁面には、一対のＹテーブル４２、４２が設けられる。一対のＹテーブル４２、４２は、Ｙベース３８の壁面に固定されたＹガイド４０、４０によってガイドされ、図示しないステッピングモータとボールスクリューとからなる駆動装置によって矢印Ｙ−Ｙで示すＹ方向に駆動される。 Further, the processing portion 18 includes a Y base 38 configured in a gate shape so as to straddle the X base 28. A pair of Y tables 42, 42 are provided on the wall surface of the Y base 38. The pair of Y tables 42, 42 are guided by Y guides 40, 40 fixed to the wall surface of the Y base 38, and are driven in the Y direction indicated by arrows YY by a drive device including a stepping motor and a ball screw (not shown). Will be done.

Ｙテーブル４２、４２には、それぞれＺテーブル４４、４４が設けられる。Ｚテーブル４４、４４は、Ｙテーブル４２に設けられた不図示のＺガイドにガイドされ、図示しないステッピングモータとボールスクリューとからなる駆動装置によって矢印Ｚ−Ｚで示すＺ方向に駆動される。Ｚテーブル４４、４４にはスピンドル１４、１４が対向した状態で固定され、スピンドル１４、１４の先端部に装着されたブレード１２、１２が対向配置される。 The Y tables 42 and 42 are provided with Z tables 44 and 44, respectively. The Z tables 44 and 44 are guided by a Z guide (not shown) provided on the Y table 42, and are driven in the Z direction indicated by arrows ZZ by a driving device including a stepping motor and a ball screw (not shown). The spindles 14 and 14 are fixed to the Z tables 44 and 44 in a state of facing each other, and the blades 12 and 12 mounted on the tips of the spindles 14 and 14 are arranged so as to face each other.

上記の加工部１８の構成により、ブレード１２、１２はＹ方向にインデックス送りされるとともにＺ方向に切り込み送りされ、ワークテーブル１６はＸ方向に切削送りされるとともにθ方向に回転される。これらの動作は制御部２６（図１参照）によって制御されるが、特にＺ方向の切り込み量は、ブレード１２の刃部の突出量に応じて制御されるものなので、ブレード１２の交換に伴い新たな刃部の突出量がダイシング装置１０の制御部２６に入力される。ブレード１２の刃部の突出量については後述する。 According to the configuration of the processing portion 18, the blades 12 and 12 are index-fed in the Y direction and cut-fed in the Z direction, and the work table 16 is cut-fed in the X direction and rotated in the θ direction. These operations are controlled by the control unit 26 (see FIG. 1). In particular, the cutting amount in the Z direction is controlled according to the protrusion amount of the blade portion of the blade 12, so that the cutting amount is newly added with the replacement of the blade 12. The amount of protrusion of the blade portion is input to the control unit 26 of the dicing device 10. The amount of protrusion of the blade portion of the blade 12 will be described later.

なお、前述のＸ方向とは水平方向における一つの方向を指し、Ｙ方向とは水平方向においてＸ方向に直交する方向を指す。また、Ｚ方向とはＸ方向及びＹ方向にそれぞれ直交する鉛直方向を指し、θ方向とは鉛直軸を中心軸とする回転方向を指す。 The X direction described above refers to one direction in the horizontal direction, and the Y direction refers to a direction orthogonal to the X direction in the horizontal direction. Further, the Z direction refers to a vertical direction orthogonal to the X direction and the Y direction, respectively, and the θ direction refers to a rotation direction centered on the vertical axis.

図３（Ａ）はブレード１２の正面図であり、図３（Ｂ）はブレード１２の断面図である。 FIG. 3A is a front view of the blade 12, and FIG. 3B is a cross-sectional view of the blade 12.

図３（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、ブレード１２は、アルミニウム合金等で製作されたハブ（フランジとも言う。）５０の一方の端面の外周縁部に、刃部４８が取り付けられて構成される。刃部４８は、ダイヤモンド等の砥粒を電鋳することによりハブ５０に備えられる。また、ハブ５０の中央部には、ダイシング装置１０のスピンドル１４にブレード１２を装着するための装着孔４６が備えられている。 As shown in FIGS. 3A and 3B, the blade portion 48 has a blade portion 48 attached to the outer peripheral edge portion of one end surface of a hub (also referred to as a flange) 50 made of an aluminum alloy or the like. It is composed. The blade portion 48 is provided on the hub 50 by electroforming abrasive grains such as diamond. Further, a mounting hole 46 for mounting the blade 12 on the spindle 14 of the dicing device 10 is provided in the central portion of the hub 50.

刃部４８は、ワークＷに対して切り込みされる部分である。刃部４８の厚さｔ（刃厚とも言う。）は少なくともワークＷの厚さより薄く構成される。例えば厚さ１００μｍのワークＷに対して切削加工を行う場合には、刃部４８の厚さｔは５０μｍ以下が好ましく、３０μｍ以下がより好ましく、１０μｍ以下がさらに好ましい。また、刃部４８の断面形状としては、均一な厚さを有するストレート形状でもよく、外周に向って厚さが徐々に薄くなるテーパ形状でもよい。 The blade portion 48 is a portion to be cut with respect to the work W. The thickness t (also referred to as the blade thickness) of the blade portion 48 is formed to be at least thinner than the thickness of the work W. For example, when cutting a work W having a thickness of 100 μm, the thickness t of the blade portion 48 is preferably 50 μm or less, more preferably 30 μm or less, still more preferably 10 μm or less. Further, the cross-sectional shape of the blade portion 48 may be a straight shape having a uniform thickness, or a tapered shape in which the thickness gradually decreases toward the outer periphery.

ここで、刃部４８の外径φ１からハブ５０の外径φ２を減算した値が、前述した刃部４８の突出量ａである。刃部４８の突出量ａは、加工時間の経過とともに減少し、また、ブレード１２を新たなブレード１２と交換することによってリセットされる。 Here, the value obtained by subtracting the outer diameter φ2 of the hub 50 from the outer diameter φ1 of the blade portion 48 is the protrusion amount a of the blade portion 48 described above. The protrusion amount a of the blade portion 48 decreases with the lapse of machining time, and is reset by replacing the blade 12 with a new blade 12.

刃部４８の突出量ａは、上述したようにＺ方向の切り込み量を制御するための大きな要素なので、同一のブレード１２での加工中においても、ブレード１２の刃先の位置を検出する検出装置によって、刃部の突出量が間接的に測定され、測定された突出量が制御部２６にアップデートされる。また、ブレード１２が交換された際にも、その交換後のブレードの刃部の突出量が制御部２６にリセットされる。新品のブレード１２の場合には、刃部４８の突出量ａがカタログ値として明記されている。 Since the protruding amount a of the blade portion 48 is a large element for controlling the cutting amount in the Z direction as described above, the detection device that detects the position of the cutting edge of the blade 12 even during machining with the same blade 12 , The amount of protrusion of the blade is indirectly measured, and the measured amount of protrusion is updated to the control unit 26. Further, when the blade 12 is replaced, the protruding amount of the blade portion of the blade after the replacement is reset to the control unit 26. In the case of a new blade 12, the protrusion amount a of the blade portion 48 is specified as a catalog value.

ところで、本実施形態におけるブレード１２には、図３（Ａ）に示すように、バーコード５２が設けられている。このバーコード５２は、ブレード１２のハブ５０の表面に備えられ、ブレード１２を識別するためのブレード識別コードが記録された識別媒体として構成されるものである。すなわち、バーコード５２は、複数のブレード１２の中からブレードを個別に識別するための情報を含むものである。 By the way, as shown in FIG. 3A, the blade 12 in the present embodiment is provided with a barcode 52. The barcode 52 is provided on the surface of the hub 50 of the blade 12 and is configured as an identification medium on which the blade identification code for identifying the blade 12 is recorded. That is, the barcode 52 includes information for individually identifying the blades from the plurality of blades 12.

本実施形態のダイシング装置１０は、ブレード１２に設けられたバーコード５２を読み取るために、以下の構成を備えている。 The dicing device 10 of the present embodiment has the following configuration for reading the barcode 52 provided on the blade 12.

図４は、第１の実施形態のダイシング装置１０のうちブレード１２に設けられたバーコード５２を読み取るための構成を示したブロック図である。 FIG. 4 is a block diagram showing a configuration for reading a barcode 52 provided on the blade 12 of the dicing apparatus 10 of the first embodiment.

図４に示すように、第１の実施形態のダイシング装置１０は、ブレード１２に備えられたバーコード５２（すなわち、ブレード識別コード）を読み取るバーコードリーダ（識別媒体読取手段）５４と、複数のブレード１２にそれぞれ対応するブレード情報を前述のブレード識別コードと関連付けて記憶する記憶部５６と、記憶部５６に記憶された複数のブレード情報の中から、バーコードリーダ５４によって読み取られたブレード識別コードに対応するブレード情報を読み出す読出部（読出手段）５８と、読出部５８によって読み出されたブレード情報に基づいて加工部１８を制御する制御部２６と、を備える。なお、第１の実施形態における記憶部５６は、ダイシング装置１０の本体の内部に設けられたものであり、本発明の記憶手段（内部記憶媒体）の一例である。 As shown in FIG. 4, the dicing apparatus 10 of the first embodiment includes a barcode reader (identification medium reading means) 54 for reading a barcode 52 (that is, a blade identification code) provided on the blade 12, and a plurality of barcode readers (identification medium reading means) 54. A blade identification code read by a barcode reader 54 from a storage unit 56 that stores blade information corresponding to each blade 12 in association with the blade identification code described above and a plurality of blade information stored in the storage unit 56. It is provided with a reading unit (reading means) 58 for reading the blade information corresponding to the above, and a control unit 26 for controlling the processing unit 18 based on the blade information read by the reading unit 58. The storage unit 56 in the first embodiment is provided inside the main body of the dicing device 10, and is an example of the storage means (internal storage medium) of the present invention.

ブレード情報とは、少なくともブレード１２の刃部４８の外径φ１、刃部４８の厚さｔ、刃部４８の突出量ａを含むものであり、この他、ブレード１２の砥粒の種類、砥粒の粒度（番手）、集中度（含有率）、及び結合剤の種類を含むものであってもよい。ブレード情報とは、カタログ値でもよく、ブレード１２の製造後に実測した詳細な情報でもよい。 The blade information includes at least the outer diameter φ1 of the blade portion 48 of the blade 12, the thickness t of the blade portion 48, and the protrusion amount a of the blade portion 48. In addition, the type of abrasive grains of the blade 12 and the abrasive It may include the particle size (count), concentration (content rate), and type of binder. The blade information may be a catalog value or detailed information actually measured after the blade 12 is manufactured.

図５は、記憶部５６に記憶されたブレード情報の一例を示した図である。 FIG. 5 is a diagram showing an example of blade information stored in the storage unit 56.

図５に示すように、記憶部５６には、複数のブレード１２に対応するブレード情報をブレード識別コードと関連付けた表形式のデータとして記憶されている。 As shown in FIG. 5, the storage unit 56 stores blade information corresponding to the plurality of blades 12 as tabular data associated with the blade identification code.

ここで、図５において、項目「ＩＤ」（identification）の欄に示した３桁の数字（００１、００２、００３〜ｎｎｎ）は、複数のブレード１２を個別に識別するための識別情報であるブレード識別コードであり、そのブレード識別コードと関連付けられたブレード情報として、刃部外径φ１（ｍｍ）、刃部厚さｔ（μｍ）、刃部突出量ａ（ｍｍ）、砥粒、粒度、集中度、結合剤等が記憶されている。 Here, in FIG. 5, the three-digit numbers (001, 002, 003 to nnn) shown in the column of the item "ID" (identification) are blades that are identification information for individually identifying the plurality of blades 12. It is an identification code, and as blade information associated with the blade identification code, blade outer diameter φ1 (mm), blade thickness t (μm), blade protrusion amount a (mm), abrasive grains, particle size, concentration. The degree, binder, etc. are memorized.

例えば、バーコードリーダ５４によって読み取られたバーコード５２のブレード識別コードが「００１」である場合には、読出部５８は、記憶部５６から「００１」のブレード識別コード（ＩＤ）に対応するブレード情報（刃部外径φ１（ｍｍ）、刃部厚さｔ（μｍ）、刃部突出量ａ（ｍｍ）、砥粒、粒度、集中度、結合剤）を読み出す。そして、制御部２６は、読出部５８で読み出したブレード情報を、制御部２６のＲＡＭ（Random Access Memory）６０に記憶させ、ＲＡＭ５０に記憶させたブレード情報に基づいて加工部１８を制御する。 For example, when the blade identification code of the barcode 52 read by the barcode reader 54 is "001", the reading unit 58 is the blade corresponding to the blade identification code (ID) of the storage unit 56 to "001". Information (blade outer diameter φ1 (mm), blade thickness t (μm), blade protrusion amount a (mm), abrasive grains, particle size, concentration, binder) is read out. Then, the control unit 26 stores the blade information read by the reading unit 58 in the RAM (Random Access Memory) 60 of the control unit 26, and controls the processing unit 18 based on the blade information stored in the RAM 50.

なお、図５では、ブレード識別コードとしてＩＤが３桁の数字である場合を一例に示したが、これに限らず、例えば他の桁数の数字でもよい。また、ブレード１２を個別に識別することができる情報であれば特に限定されるものではない。例えば、○△□等の図形、アルファベット等の記号、数字、色、又はこれらの組み合わせであってもよい。 In FIG. 5, the case where the ID is a three-digit number as the blade identification code is shown as an example, but the present invention is not limited to this, and for example, a number having another number of digits may be used. Further, the information is not particularly limited as long as the information can identify the blades 12 individually. For example, it may be a figure such as ○ △ □, a symbol such as an alphabet, a number, a color, or a combination thereof.

以上の構成により、第１の実施形態のダイシング装置１０では、ブレード１２を古いものから新しいものに交換する際（ブレード１２を新規に装着する場合も含む）、ブレード１２に設けられたバーコード５２を、ダイシング装置１０に備えられたバーコードリーダ５４によって読み取ると、読み取ったブレード識別コード（ＩＤ）に対応するブレード情報が記憶部５６から読出部５８によって読み出される。そして、読出部５８によって読み出されたブレード情報に基づいて制御部２６が加工部１８を制御する。なお、バーコードリーダ５４によってブレード１２のバーコード５２を読み取るタイミングとしては、ブレード１２をスピンドル１４に装着する前でもよいし、装着した後であってもよい。 With the above configuration, in the dicing apparatus 10 of the first embodiment, when the blade 12 is replaced with a new one (including the case where the blade 12 is newly attached), the barcode 52 provided on the blade 12 is provided. Is read by the bar code reader 54 provided in the dicing device 10, and the blade information corresponding to the read blade identification code (ID) is read from the storage unit 56 by the reading unit 58. Then, the control unit 26 controls the processing unit 18 based on the blade information read by the reading unit 58. The timing of reading the bar code 52 of the blade 12 by the bar code reader 54 may be before or after the blade 12 is mounted on the spindle 14.

制御部２６による加工部１８の具体的な制御は、加工部１８をＹ方向又はＺ方向に駆動する際に、読み取ったブレード情報、すなわち、刃部外径φ１、刃部厚さｔ、刃部突出量ａを主として参照し、Ｙ方向又はＺ方向の移動量を調整する。これにより、そのブレード１２に特化した切削加工が可能となる。 The specific control of the machining unit 18 by the control unit 26 is the blade information read when the machining unit 18 is driven in the Y direction or the Z direction, that is, the blade portion outer diameter φ1, the blade portion thickness t, and the blade portion. The amount of movement in the Y direction or the Z direction is adjusted mainly with reference to the amount of protrusion a. As a result, cutting processing specialized for the blade 12 becomes possible.

このように第１の実施形態のダイシング装置１０によれば、ダイシング装置５０の記憶部５６には複数のブレード１２に対応するブレード情報が記憶され、バーコードリーダ５４によって読み取られたバーコード５２のブレード識別コードに基づいてブレード１２に対応するブレード情報が自動的に読み出され、その読み出したブレード情報に基づいて加工が行われる。したがって、ブレード１２の交換の際にブレード情報の入力作業に要する手間や時間を削減することができ、ブレード１２の交換に起因するスループットの低下を防止することができる。その結果、ダイシング装置１０の稼働時間を増やすことができ、全体のスループットを向上させることが可能となる。 As described above, according to the dicing device 10 of the first embodiment, the storage unit 56 of the dicing device 50 stores the blade information corresponding to the plurality of blades 12, and the bar code 52 read by the bar code reader 54. The blade information corresponding to the blade 12 is automatically read based on the blade identification code, and processing is performed based on the read blade information. Therefore, it is possible to reduce the labor and time required for inputting the blade information when replacing the blade 12, and it is possible to prevent a decrease in throughput due to the replacement of the blade 12. As a result, the operating time of the dicing apparatus 10 can be increased, and the overall throughput can be improved.

＜第２の実施形態＞
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。以下、上述した実施形態と共通する部分については説明を省略し、本実施形態の特徴的部分を中心に説明する。 <Second embodiment>
Next, a second embodiment of the present invention will be described. Hereinafter, the parts common to the above-described embodiment will be omitted, and the characteristic parts of the present embodiment will be mainly described.

図６は、第２の実施形態のダイシング装置１０Ａの構成を示したブロック図である。なお、図６において、図４と共通又は類似する構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。 FIG. 6 is a block diagram showing the configuration of the dicing apparatus 10A of the second embodiment. In FIG. 6, components common to or similar to those in FIG. 4 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

図６に示すように、第２の実施形態のダイシング装置１０Ａでは、複数のブレード１２に対応したブレード情報が前述のブレード識別コードと関連付けてメモリーカード（外部記憶媒体）６２に記憶されている。 As shown in FIG. 6, in the dicing apparatus 10A of the second embodiment, blade information corresponding to the plurality of blades 12 is stored in the memory card (external storage medium) 62 in association with the above-mentioned blade identification code.

そのため、このダイシング装置１０Ａは、ブレード１２に備えられたバーコード５２を読み取るバーコードリーダ５４と、メモリーカード６２に記憶されたブレード情報を読み取るカードリーダ６４と、カードリーダ６４を介して読み取られた複数のブレード情報の中から、バーコードリーダ５４によって読み取られたブレード識別コードに対応するブレード情報を読み出す読出部５８と、読出部５８によって読み出されたブレード情報に基づいて加工部１８を制御する制御部２６と、を備える。 Therefore, the dicing device 10A is read via the barcode reader 54 that reads the barcode 52 provided on the blade 12, the card reader 64 that reads the blade information stored in the memory card 62, and the card reader 64. The reading unit 58 that reads the blade information corresponding to the blade identification code read by the barcode reader 54 from the plurality of blade information, and the processing unit 18 is controlled based on the blade information read by the reading unit 58. It includes a control unit 26.

メモリーカード６２には、上述した第１の実施形態と同様なブレード情報（図５参照）がブレード識別コード（ＩＤ）毎に関連付けられて記憶されている。 The memory card 62 stores blade information (see FIG. 5) similar to that of the first embodiment described above in association with each blade identification code (ID).

メモリーカード６２は、ダイシング装置１０Ａから着脱自在に装着可能な外部記憶媒体の一例であり、例えば、ＳＤ（Secure Digital）カード、ＳＤＨＣ（Secure Digital High Capacity）カード等の各種メモリーカードを適用することができ、また、スティック状のＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリーも適用することができる。 The memory card 62 is an example of an external storage medium that can be detachably attached to the dicing device 10A. For example, various memory cards such as an SD (Secure Digital) card and an SDHC (Secure Digital High Capacity) card can be applied. It can also be applied with a stick-shaped USB (Universal Serial Bus) memory.

以上の構成により、第２の実施形態のダイシング装置１０Ａでは、ブレード１２を新しいものに交換する際に、ブレード１２のバーコード５２を、ダイシング装置１０Ａに備えられたバーコードリーダ５４によって読み取ると、読み取ったブレード識別コード（ＩＤ）に対応するブレード情報を、カードリーダ６４を介して読出部５８がメモリーカード６２から読み出す。そして、読み出したブレード情報に基づいて制御部２６が加工部１８を制御する。制御部２６による加工部１８の具体的な制御は、第１の実施形態のダイシング装置１０と同様であるので、ここでは説明を省略する。 With the above configuration, in the dicing apparatus 10A of the second embodiment, when the blade 12 is replaced with a new one, the barcode 52 of the blade 12 is read by the barcode reader 54 provided in the dicing apparatus 10A. The reading unit 58 reads the blade information corresponding to the read blade identification code (ID) from the memory card 62 via the card reader 64. Then, the control unit 26 controls the processing unit 18 based on the read blade information. The specific control of the processing unit 18 by the control unit 26 is the same as that of the dicing apparatus 10 of the first embodiment, and thus the description thereof will be omitted here.

このように第２の実施形態のダイシング装置１０Ａによれば、上述した第１の実施形態と同様な効果が得られるとともに、ダイシング装置１０Ａに対して着脱自在に装着可能なメモリーカード６２に複数のブレード１２に対応したブレード情報を記憶させたので、ダイシング装置１０Ａとは異なる場所にメモリーカード６２を持ち運んで、メモリーカード６２に対するブレード情報の入力、編集等の作業を行うことが可能となり、作業性及び利便性の向上を図ることが可能となる。 As described above, according to the dicing device 10A of the second embodiment, the same effect as that of the first embodiment described above can be obtained, and a plurality of memory cards 62 that can be detachably attached to the dicing device 10A can be attached. Since the blade information corresponding to the blade 12 is stored, it is possible to carry the memory card 62 to a place different from the dicing device 10A and perform operations such as inputting and editing the blade information to the memory card 62. And it becomes possible to improve the convenience.

＜第３の実施形態＞
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。以下、上述した実施形態と共通する部分については説明を省略し、本実施形態の特徴的部分を中心に説明する。 <Third embodiment>
Next, a third embodiment of the present invention will be described. Hereinafter, the parts common to the above-described embodiment will be omitted, and the characteristic parts of the present embodiment will be mainly described.

図７は、第３の実施形態のダイシング装置１０Ｂの構成を示したブロック図である。なお、なお、図７において、図４と共通又は類似する構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。 FIG. 7 is a block diagram showing the configuration of the dicing apparatus 10B of the third embodiment. In addition, in FIG. 7, the same reference numerals are given to the components common to or similar to those in FIG. 4, and the description thereof will be omitted.

図７に示すように、第３の実施形態のダイシング装置１０Ｂは、複数のブレード１２に対応したブレード情報が前述のブレード識別コードと関連付けてサーバ（外部記憶装置）６６に記憶されている。サーバ６６は、ダイシング装置１０Ｂとは離れた位置に設けられており、有線又は無線からなるネットワークを介してダイシング装置１０Ｂと接続されている。 As shown in FIG. 7, in the dicing apparatus 10B of the third embodiment, blade information corresponding to the plurality of blades 12 is stored in the server (external storage device) 66 in association with the above-mentioned blade identification code. The server 66 is provided at a position away from the dicing device 10B, and is connected to the dicing device 10B via a network consisting of a wired or wireless device.

そのため、このダイシング装置１０Ｂは、ブレード１２に備えられたバーコード５２を読み取るバーコードリーダ５４と、サーバ６６との間で各種データを送受信するための通信部（通信制御部）６８と、通信部６８を介して読み取られた複数のブレード情報の中から、バーコードリーダ５４によって読み取られたブレード識別コードに対応するブレード情報を読み出す読出部５８と、読出部５８によって読み出されたブレード情報に基づいて加工部１８を制御する制御部２６と、を備える。 Therefore, the dicing device 10B has a bar code reader 54 that reads the bar code 52 provided on the blade 12, a communication unit (communication control unit) 68 for transmitting and receiving various data between the server 66, and a communication unit. Based on the reading unit 58 that reads the blade information corresponding to the blade identification code read by the barcode reader 54 from the plurality of blade information read via the 68, and the blade information read by the reading unit 58. A control unit 26 for controlling the processing unit 18 is provided.

サーバ６６には、上述した第１の実施形態と同様なブレード情報（図５参照）がブレード識別コード（ＩＤ）毎に関連付けられて記憶されている。 The server 66 stores blade information (see FIG. 5) similar to that of the first embodiment described above in association with each blade identification code (ID).

以上の構成により、第３の実施形態のダイシング装置１０Ｂでは、ブレード１２を新しいものに交換する際に、ブレード１２のバーコード５２を、ダイシング装置１０Ｂに備えられたバーコードリーダ５４によって読み取ると、読み取ったブレード識別コード（ＩＤ）に対応するブレード情報が、通信部６８を介して読出部５８がサーバ６６から読み出す。そして、読み出したブレード情報に基づいて制御部２６が加工部１８を制御する。制御部２６による加工部１８の具体的な制御は、第１の実施形態のダイシング装置１０と同様であるので、ここでは説明を省略する。 With the above configuration, in the dicing apparatus 10B of the third embodiment, when the blade 12 is replaced with a new one, the barcode 52 of the blade 12 is read by the barcode reader 54 provided in the dicing apparatus 10B. The blade information corresponding to the read blade identification code (ID) is read from the server 66 by the reading unit 58 via the communication unit 68. Then, the control unit 26 controls the processing unit 18 based on the read blade information. The specific control of the processing unit 18 by the control unit 26 is the same as that of the dicing apparatus 10 of the first embodiment, and thus the description thereof will be omitted here.

このように第３の実施形態のダイシング装置１０Ｂによれば、上述した第２の実施形態と同様な効果が得られるとともに、ダイシング装置１０とは異なる位置からサーバ６６にネットワーク（不図示）を介してアクセスすることで、サーバ６６に対するブレード情報の入力、編集等の作業を行うことが可能となり、作業性及び利便性の向上を図ることが可能となる。 As described above, according to the dicing apparatus 10B of the third embodiment, the same effect as that of the second embodiment described above can be obtained, and the server 66 is connected to the server 66 from a position different from that of the dicing apparatus 10 via a network (not shown). By accessing the server 66, it is possible to perform operations such as inputting and editing blade information to the server 66, and it is possible to improve workability and convenience.

（その他）
上述した各実施形態では、ブレード１２に設けられる識別媒体の一例としてバーコード５２を示したが、これに限定されるものではない。すなわち、複数のブレード１２の中から特定のブレードを識別可能なブレード識別コードを含むものあればよく、例えば二次元コードでもよい。また、ブレード識別コードとして認識できるものであれば、例えば○△□等の図形、アルファベット等の記号、数字、色、又はこれらの組み合わせであってもよい。更に、識別媒体は、貼着方式でブレード１２に備えさせてもよく、ブレード１２あるいはハブ５０に刻印することでブレード１２に直接備えさせてもよい。 (Other)
In each of the above-described embodiments, the barcode 52 is shown as an example of the identification medium provided on the blade 12, but the present invention is not limited to this. That is, it may be any one including a blade identification code capable of identifying a specific blade from the plurality of blades 12, and may be, for example, a two-dimensional code. Further, as long as it can be recognized as a blade identification code, it may be, for example, a figure such as ○ △ □, a symbol such as an alphabet, a number, a color, or a combination thereof. Further, the identification medium may be provided on the blade 12 by a sticking method, or may be directly provided on the blade 12 by engraving on the blade 12 or the hub 50.

また、識別媒体として、ＲＦＩＤ（Radio Frequency Identifier）タグを適用してもよい。バーコードや二次元コードは、印刷物なので書き込み情報を変更することができないが、ＲＦＩＤタグは情報を書き込み可能なので、そのブレード１２の使用過程の履歴情報（使用時間、使用されたダイシング装置を特定する識別記号）等をブレード識別コードとして書き込むことが可能となる。また、ＲＦＩＤタグは、汚れていても読み取り可能なので、読出書込装置（リーダライタとも言う。）を加工部１８に設置して、ＲＦＩＤタグに記録したブレード情報を読み取ることができる。つまり、切削水、冷却水、切削粉が飛散する環境下の加工部１８であっても、ＲＦＩＤタグに記録したブレード情報を読み取ることができる。更に、ＲＦＩＤタグであれば、ブレード１２をスピンドル１４から取り外すことなく、リーダライタによってブレード１２の使用過程の履歴情報を書き込むことができる。 Further, an RFID (Radio Frequency Identifier) tag may be applied as an identification medium. Since the barcode and the two-dimensional code are printed matter, the written information cannot be changed, but since the RFID tag can write the information, the history information (usage time, used dicing device) of the usage process of the blade 12 is specified. It is possible to write an identification code) or the like as a blade identification code. Further, since the RFID tag can be read even if it is dirty, a read / write device (also referred to as a reader / writer) can be installed in the processing unit 18 to read the blade information recorded on the RFID tag. That is, even in the processing unit 18 in an environment where cutting water, cooling water, and cutting powder are scattered, the blade information recorded on the RFID tag can be read. Further, if it is an RFID tag, the history information of the usage process of the blade 12 can be written by the reader / writer without removing the blade 12 from the spindle 14.

Ｗ…ワーク、１０…ダイシング装置、１０Ａ…ダイシング装置、１０Ｂ…ダイシング装置、１２…ブレード、１４…スピンドル、１６…ワークテーブル、１８…加工部、２０…洗浄部、２２…ロードポート、２４…搬送装置、２６…制御部、２８…Ｘベース、３０…Ｘガイド、３２…リニアモータ、３４…Ｘテーブル、３６…回転テーブル、３８…Ｙベース、４０…Ｙガイド、４２…Ｙテーブル、４４…Ｚテーブル、４６…装着孔、４８…刃部、５０…ハブ、５２…バーコード、５４…バーコードリーダ、５６…記憶部、５８…読出部、６０…ＲＡＭ、６２…メモリーカード、６４…カードリーダ、６６…サーバ、６８…通信部 W ... work, 10 ... dicing device, 10A ... dicing device, 10B ... dicing device, 12 ... blade, 14 ... spindle, 16 ... work table, 18 ... machining section, 20 ... cleaning section, 22 ... load port, 24 ... transport Device, 26 ... control unit, 28 ... X base, 30 ... X guide, 32 ... linear motor, 34 ... X table, 36 ... rotary table, 38 ... Y base, 40 ... Y guide, 42 ... Y table, 44 ... Z Table, 46 ... Mounting hole, 48 ... Blade, 50 ... Hub, 52 ... Bar code, 54 ... Bar code reader, 56 ... Storage unit, 58 ... Reading unit, 60 ... RAM, 62 ... Memory card, 64 ... Card reader , 66 ... server, 68 ... communication unit

Claims

A processing part that cuts the work with the blade while moving the work and the blade relatively,
An identification medium reading means for reading the identification medium provided on the blade and in which a blade identification code for individually identifying the blades is recorded.
The storage means in which blade information corresponding to a plurality of blades is stored in association with the blade identification code, and the blade information includes at least a storage means including a protrusion amount of the blade portion of the blade.
A reading means for reading the blade information corresponding to the blade identification code read by the identification medium reading means from the plurality of blade information stored in the storage means.
A control means for controlling the cutting amount of the blade with respect to the work based on the blade information read by the reading means, and
A measuring means for measuring the amount of protrusion of the blade and
An updating means for updating the protruding amount of the blade portion stored in the storage means to the protruding amount of the blade portion measured by the measuring means, and
A dicing device equipped with.

The cutting amount is the cutting amount of the blade in a direction orthogonal to the cutting feed direction of the work and the index feed direction of the blade.
The dicing apparatus according to claim 1.