JP6767625B2 - Parts mounting device - Google Patents

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Description

本発明は、フィルム状の基板の端部領域に部品を搭載する部品搭載装置に関するものである。 The present invention relates to a component mounting device for mounting components in an end region of a film-shaped substrate.

液晶パネルの製造等において用いられる部品搭載装置は、基板の端部領域に部品を搭載(仮圧着)する。部品搭載装置は基板保持テーブルとその移動機構、認識カメラ、バックアップステージ及び搭載ヘッドを備えている。部品搭載装置が部品を基板に搭載するときには、先ず、基板保持テーブルが基板の中央部を保持し、部品が搭載される基板の端部領域を水平方向に突出した状態とする。そして、移動機構が基板保持テーブルを移動させ、基板の端部領域の下面がバックアップステージによって支持された状態で、端部領域の下方から、端部領域に設けられた基板認識用のマークを、バックアップステージを上下に設けられた切欠部を通して認識カメラに認識させる。認識カメラがマークを認識したら、搭載ヘッドが部品をピックアップし、部品を基板ごとバックアップステージに押し付けて、部品を基板の端部領域に搭載する(下記の特許文献1)。 In the component mounting device used in the manufacture of liquid crystal panels and the like, components are mounted (temporarily crimped) in an end region of a substrate. The component mounting device includes a board holding table and its moving mechanism, a recognition camera, a backup stage, and a mounting head. When the component mounting device mounts the component on the board, first, the board holding table holds the central portion of the board, and the end region of the board on which the component is mounted is in a horizontally protruding state. Then, the moving mechanism moves the substrate holding table, and in a state where the lower surface of the end region of the substrate is supported by the backup stage, a mark for recognizing the substrate provided in the end region is displayed from below the end region. The recognition camera recognizes the backup stage through the notches provided at the top and bottom. When the recognition camera recognizes the mark, the mounting head picks up the component, presses the component together with the substrate against the backup stage, and mounts the component on the edge region of the substrate (Patent Document 1 below).

特開2016−82111号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-82111

上記バックアップステージに設けられる切欠部は通常、基板認識用のマークを認識カメラによって認識できるだけの最小限の大きさとされる。このため、バックアップステージは基板の機種に応じて(マークの位置に応じて)専用のものが用意されており、基板の機種の切替えによって基板認識用のマークの位置が変わる場合にはバックアップステージを交換する必要が生じる。このため基板の機種の切替えがバックアップステージの交換作業を伴う場合には多くの時間が必要となり、その分、生産性が低下するおそれがあるという問題点があった。 The notch provided in the backup stage is usually set to the minimum size so that the mark for recognizing the substrate can be recognized by the recognition camera. For this reason, a dedicated backup stage is prepared according to the model of the board (according to the position of the mark), and if the position of the mark for board recognition changes due to switching of the board model, the backup stage is used. It will need to be replaced. Therefore, when the switching of the board model involves the replacement work of the backup stage, a large amount of time is required, and there is a problem that the productivity may be lowered accordingly.

そこで本発明は、基板の機種の切替え作業時に必要となる時間を短縮化して生産性を向上させることができる部品搭載装置を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a component mounting device capable of shortening the time required for switching a substrate model and improving productivity.

本発明の部品搭載装置は、端部領域に設けられる部品搭載部に部品が搭載されるフィルム状の基板の中央部を保持する基板保持テーブルと、バックアップベース及び前記バックアップベースの上部に設けられた複数の支持ブロックを有して成り、前記基板保持テーブルによって前記中央部が保持された前記基板の前記端部領域を下方から支持するバックアップ部と、前記バックアップ部に支持された前記端部領域の下方から前記端部領域の前記部品搭載部を挟む位置に設けられた2つのマークを認識するために、前記マークの間隔に応じて間隔を変更可能に設けられる2つの認識カメラとを備えた部品搭載装置であって、前記複数の支持ブロックは前記バックアップベースに対して移動自在に設けられることにより前記基板保持テーブルに対する位置を設定可能な可動ブロックを含み、前記可動ブロックは、前記複数の支持ブロックが前記認識カメラによる前記マークの認識を妨げることなく前記端部領域を支持できるように前記基板保持テーブルに保持された前記基板の前記マークに対する位置が設定される。 The component mounting device of the present invention is provided on a substrate holding table that holds a central portion of a film-shaped substrate on which components are mounted in a component mounting portion provided in an end region, a backup base, and an upper portion of the backup base. A backup unit having a plurality of support blocks and supporting the end region of the substrate whose central portion is held by the substrate holding table from below, and an end region supported by the backup unit. from below, in order to recognize the two mark provided at a position sandwiching the component mounting portion of the end region, and a two recognition cameras are provided so as to be change the interval in accordance with the spacing of the mark The plurality of support blocks include a movable block whose position with respect to the substrate holding table can be set by being movably provided with respect to the backup base, and the movable block includes the plurality of movable blocks. The position of the substrate held on the substrate holding table with respect to the mark is set so that the support block can support the end region without interfering with the recognition of the mark by the recognition camera.

本発明によれば、基板の機種の切替え作業時に必要となる時間を短縮化して生産性を向上させることができる。 According to the present invention, it is possible to shorten the time required for the work of switching the model of the substrate and improve the productivity.

本発明の一実施の形態における部品搭載装置の斜視図Perspective view of the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態における部品搭載装置の一部の側面図A side view of a part of the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態における部品搭載装置により部品が搭載される基板を部品とともに示す斜視図A perspective view showing a substrate on which a component is mounted by the component mounting device according to the embodiment of the present invention together with the component. 本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備える基板保持部を基板とともに示す斜視図A perspective view showing a board holding portion included in the component mounting device according to the embodiment of the present invention together with the board. 本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備える基板保持部を基板とともに示す斜視図A perspective view showing a board holding portion included in the component mounting device according to the embodiment of the present invention together with the board. (a)(b)本発明の一実施の形態における部品搭載装置の一部の側面図(A) (b) Side view of a part of the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備える基板保持部の分解斜視図An exploded perspective view of a substrate holding portion included in the component mounting device according to the embodiment of the present invention. (a)(b)本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備える基板保持部の一部を基板とともに示す断面側面図(A) (b) Cross-sectional side view showing a part of a substrate holding portion included in the component mounting device according to the embodiment of the present invention together with the substrate. (a)(b)本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備える基板保持部の平面図(A) (b) Top view of the substrate holding portion included in the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備える基板保持部を基板とともに示す平面図A plan view showing a board holding portion included in the component mounting device according to the embodiment of the present invention together with the board. 本発明の一実施の形態における部品搭載装置の制御系統を示すブロック図A block diagram showing a control system of a component mounting device according to an embodiment of the present invention. (a)(b)本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備える基板保持部を認識カメラとともに示す斜視図(A) (b) A perspective view showing a substrate holding portion included in the component mounting device according to the embodiment of the present invention together with a recognition camera. (a)(b)(c)本発明の一実施の形態における部品搭載装置の動作説明図(A) (b) (c) Operational explanatory view of the component mounting device according to the embodiment of the present invention. (a)(b)(c)本発明の一実施の形態における部品搭載装置の動作説明図(A) (b) (c) Operational explanatory view of the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態における部品搭載装置が備える搭載ヘッドにより部品を基板に搭載している状態を示す斜視図A perspective view showing a state in which a component is mounted on a substrate by a mounting head included in the component mounting device according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の第1の変形例における部品搭載装置が備える基板保持部の斜視図Perspective view of the substrate holding portion included in the component mounting device in the first modification of the first embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態の第2の変形例における部品搭載装置が備える基板保持部を基板とともに示す斜視図A perspective view showing a substrate holding portion included in a component mounting device according to a second modification of an embodiment of the present invention together with a substrate. 本発明の一実施の形態の第2の変形例における部品搭載装置が備える基板保持部を基板とともに示す平面図A plan view showing a substrate holding portion included in a component mounting device according to a second modification of an embodiment of the present invention together with a substrate.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1及び図2は本実施の形態における部品搭載装置1を示している。部品搭載装置1は、図3にも示すフィルム状の基板2(例えばフレキシブル基板)の端部領域2Rに設けられた部品搭載部2aにフィルム状の部品3を搭載する装置である。以下の説明では、作業者OPから見た左右方向をX軸方向とし、作業者OPから見た前後方向をY軸方向とする。また、上下方向をZ軸方向とする。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 and 2 show the component mounting device 1 according to the present embodiment. The component mounting device 1 is a device for mounting the film-shaped component 3 on the component mounting portion 2a provided in the end region 2R of the film-shaped substrate 2 (for example, a flexible substrate) also shown in FIG. In the following description, the left-right direction seen from the worker OP is the X-axis direction, and the front-back direction seen from the worker OP is the Y-axis direction. Further, the vertical direction is the Z-axis direction.

図3において、基板2の端部領域2Rには複数の電極2dがX軸方向に並んで設けられている。これら複数の電極2dは、部品搭載装置1よりも前工程で貼り付けられたACF(Anisotropic Conductive Film)等の熱硬化性樹脂テープJTによって覆われている。本実施の形態において部品搭載部2aとは、熱硬化性樹脂テープJTによって複数の電極2dが覆われた基板2の端部領域2Rにおける一部分をいう。基板2の端部領域2R上における部品搭載部2aをX軸方向から挟む位置には、2つの基板認識用のマーク(以下、基板側マーク2mと称する)が設けられている。2つの基板側マーク2mはそれぞれ、基板2の下方側から認識(撮像)することができる。 In FIG. 3, a plurality of electrodes 2d are provided side by side in the X-axis direction in the end region 2R of the substrate 2. These plurality of electrodes 2d are covered with a thermosetting resin tape JT such as ACF (Anisotropic Conducive Film) attached in a step prior to the component mounting device 1. In the present embodiment, the component mounting portion 2a means a part of the end region 2R of the substrate 2 in which the plurality of electrodes 2d are covered with the thermosetting resin tape JT. Two marks for recognizing the substrate (hereinafter, referred to as the substrate side mark 2m) are provided at positions on the end region 2R of the substrate 2 that sandwich the component mounting portion 2a from the X-axis direction. Each of the two substrate-side marks 2m can be recognized (imaged) from the lower side of the substrate 2.

図3において、部品3の前端部の下面には複数の部品側端子3dがX軸方向に並んで設けられている。部品側端子3dをX軸方向から挟む位置には2つの部品認識用のマーク(以下、部品側マーク3mと称する)が設けられている。2つの部品側マーク3mの間隔は、基板2に設けられた2つの基板側マーク2mの間隔とほぼ同じである。2つの部品側マーク3mはそれぞれ、部品3の上方から認識(撮像)することができる。 In FIG. 3, a plurality of component-side terminals 3d are provided side by side in the X-axis direction on the lower surface of the front end portion of the component 3. Two marks for component recognition (hereinafter, referred to as component side marks 3m) are provided at positions sandwiching the component side terminal 3d from the X-axis direction. The distance between the two component-side marks 3 m is substantially the same as the distance between the two board-side marks 2 m provided on the substrate 2. Each of the two component-side marks 3m can be recognized (imaged) from above the component 3.

図1及び図2において、部品搭載装置1は、基台11をベースとして、基板保持部12、2つの認識カメラ13、部品供給テーブル14、中継テーブル15、移載ヘッド16、マーク撮像カメラ17及び搭載ヘッド18を備えている。基板保持部12は基台11の前部(作業者OPから見た手前側)に設けられており、部品供給テーブル14は基台11の後部(作業者OPから見た奥側)に設けられている。中継テーブル15は基台11上の基板保持部12と部品供給テーブル14との間の位置に設けられており、2つの認識カメラ13は基板保持部12と中継テーブル15の間の位置に設けられている。マーク撮像カメラ17は中継テーブル15の上方に設けられている。 In FIGS. 1 and 2, the component mounting device 1 is based on the base 11, and has a substrate holding unit 12, two recognition cameras 13, a component supply table 14, a relay table 15, a transfer head 16, a mark imaging camera 17, and a mark imaging camera 17. A mounting head 18 is provided. The board holding portion 12 is provided at the front portion of the base 11 (front side seen from the worker OP), and the parts supply table 14 is provided at the rear portion of the base 11 (back side seen from the worker OP). ing. The relay table 15 is provided at a position between the board holding portion 12 and the component supply table 14 on the base 11, and the two recognition cameras 13 are provided at a position between the board holding portion 12 and the relay table 15. ing. The mark imaging camera 17 is provided above the relay table 15.

図2及び図4において、基板保持部12は、基板保持テーブル21とバックアップ部22を備えており、基板2を水平姿勢に保持する。図4及び図5に示すように、基板保持テーブル21はその上面において、基板2の中央部2Cの下面を支持する。バックアップ部22は、基板保持テーブル21の後部から水平後方に延びたバックアップベース31と、バックアップベース31の上部に設けられた複数の支持ブロック32を有して成り、基板保持テーブル21に中央部2Cの下面が支持された基板2の端部領域2Rの下面を複数の支持ブロック32によって支持する。基板保持部12は基台11に設けられた基板保持部移動機構12M(図1及び図2も参照)によって、基台11に対してX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向に移動される。すなわち基板保持部移動機構12Mは、基板保持テーブル21とバックアップ部22を一体に移動させる移動機構となっている。 In FIGS. 2 and 4, the substrate holding unit 12 includes a substrate holding table 21 and a backup unit 22, and holds the substrate 2 in a horizontal posture. As shown in FIGS. 4 and 5, the substrate holding table 21 supports the lower surface of the central portion 2C of the substrate 2 on its upper surface. The backup unit 22 includes a backup base 31 extending horizontally rearward from the rear portion of the substrate holding table 21 and a plurality of support blocks 32 provided above the backup base 31, and the central portion 2C of the substrate holding table 21. The lower surface of the end region 2R of the substrate 2 on which the lower surface of the substrate 2 is supported is supported by a plurality of support blocks 32. The board holding portion 12 is moved in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction with respect to the base 11 by the board holding portion moving mechanism 12M (see also FIGS. 1 and 2) provided on the base 11. .. That is, the board holding unit moving mechanism 12M is a moving mechanism that integrally moves the board holding table 21 and the backup unit 22.

図1において、2つの認識カメラ13はX軸方向に並んで配置されており、それぞれ撮像光軸を上方に向けている。2つの認識カメラ13は、基板保持部12によって保持された基板2が備える2つの基板側マーク2mを下方から撮像し、認識する。2つの認識カメラ13はそれぞれ、基台11に取り付けられた認識カメラ移動機構13M(図1及び図2も参照)によってX軸方向に移動自在であり、基板2が備える2つの基板側マーク2mの間隔に応じてその間隔を変えることができるようになっている。 In FIG. 1, the two recognition cameras 13 are arranged side by side in the X-axis direction, and the imaging optical axes are directed upward. The two recognition cameras 13 capture and recognize the two substrate-side marks 2m included in the substrate 2 held by the substrate holding unit 12 from below. Each of the two recognition cameras 13 is movable in the X-axis direction by the recognition camera moving mechanism 13M (see also FIGS. 1 and 2) attached to the base 11, and has two board-side marks 2m provided on the board 2. The interval can be changed according to the interval.

図1及び図2において、部品供給テーブル14は上面が平坦な板状の部材から成り、基板2に搭載される複数の部品3が載置されている。部品供給テーブル14は、基台11上に設けられた部品供給テーブル移動機構14MによってX軸方向及びY軸方向に移動される。部品供給テーブル移動機構14Mを作動させて部品供給テーブル14を移動させることで、部品供給テーブル14に載置された任意の部品3を所定の部品供給位置(移載ヘッド16に部品3を吸着させる位置)に位置させることができる。 In FIGS. 1 and 2, the component supply table 14 is composed of a plate-shaped member having a flat upper surface, and a plurality of components 3 mounted on the substrate 2 are placed on the component supply table 14. The parts supply table 14 is moved in the X-axis direction and the Y-axis direction by the parts supply table moving mechanism 14M provided on the base 11. By operating the component supply table moving mechanism 14M to move the component supply table 14, any component 3 placed on the component supply table 14 is attracted to a predetermined component supply position (the component 3 is attracted to the transfer head 16). Position) can be positioned.

図1及び図2において、中継テーブル15は上面が平坦な板状の部材から成る。中継テーブル15は基台11上に設けられた中継テーブル移動機構15MによってY軸方向に移動される。中継テーブル移動機構15Mを作動させることで、中継テーブル15を後方位置(図6(a)に示す位置)と前方位置(図6(b)に示す位置)との間で移動させることができる。 In FIGS. 1 and 2, the relay table 15 is made of a plate-shaped member having a flat upper surface. The relay table 15 is moved in the Y-axis direction by the relay table moving mechanism 15M provided on the base 11. By operating the relay table moving mechanism 15M, the relay table 15 can be moved between the rear position (the position shown in FIG. 6A) and the front position (the position shown in FIG. 6B).

図2において、移載ヘッド16は下端に部品3を吸着する部品吸着口16Kを備えている。移載ヘッド16は基台11上に設けられた移載ヘッド移動機構16M(図1も参照)によってY軸方向及びZ軸方向に移動される。 In FIG. 2, the transfer head 16 is provided with a component suction port 16K at the lower end for sucking the component 3. The transfer head 16 is moved in the Y-axis direction and the Z-axis direction by the transfer head moving mechanism 16M (see also FIG. 1) provided on the base 11.

図1及び図2において、マーク撮像カメラ17は撮像光軸を下方に向けている。マーク撮像カメラ17は基台11に設けられたマーク撮像カメラ移動機構17MによってX軸方向に移動されることで、中継テーブル15に載置された部品3が備える2つの部品側マーク3mを上方から撮像し、認識する。 In FIGS. 1 and 2, the mark imaging camera 17 points the imaging optical axis downward. The mark imaging camera 17 is moved in the X-axis direction by the mark imaging camera moving mechanism 17M provided on the base 11, so that the two component-side marks 3m included in the component 3 placed on the relay table 15 can be moved from above. Image and recognize.

図2において、搭載ヘッド18は、下端に部品3を吸着する部品吸着部18Kを備えている。搭載ヘッド18は認識カメラ13の上方に設定された所定の位置(以下、作業位置SGと称する)の上方に位置しており(図6(a),(b)も参照)、基台11に設けられた搭載ヘッド移動機構18M(図1も参照)によってZ軸方向に移動され、Z軸回りに回転される。 In FIG. 2, the mounting head 18 is provided with a component suction portion 18K that sucks the component 3 at the lower end. The mounting head 18 is located above a predetermined position (hereinafter referred to as a working position SG) set above the recognition camera 13 (see also FIGS. 6A and 6B), and is mounted on the base 11. It is moved in the Z-axis direction by the mounted head moving mechanism 18M (see also FIG. 1) provided, and is rotated around the Z-axis.

次に、基板保持部12の構成について説明する。図5、図7及び図8(a),(b)において、基板保持テーブル21の後部に設けられたバックアップベース31の後端には上方に突出して延びたガイド部31Gが形成されている。バックアップベース31にはX軸方向に延びて上下方向に貫通した貫通孔33が設けられている。 Next, the configuration of the substrate holding portion 12 will be described. In FIGS. 5, 7 and 8 (a) and 8 (b), a guide portion 31G extending upward is formed at the rear end of the backup base 31 provided at the rear portion of the substrate holding table 21. The backup base 31 is provided with a through hole 33 extending in the X-axis direction and penetrating in the vertical direction.

図5、図7及び図8(a),(b)において、バックアップベース31の上面には、ブロック固定部材34がX軸方向に延びて設けられている。ブロック固定部材34は貫通孔33よりも前方の位置において、複数の固定螺子35によってバックアップベース31に着脱自在に取り付けられている。ブロック固定部材34の後面34m(図7及び図8(a))は、その法線が後方斜め下方を向く斜面となっている。 In FIGS. 5, 7 and 8 (a) and 8 (b), a block fixing member 34 is provided on the upper surface of the backup base 31 so as to extend in the X-axis direction. The block fixing member 34 is detachably attached to the backup base 31 by a plurality of fixing screws 35 at a position in front of the through hole 33. The rear surface 34 m (FIGS. 7 and 8 (a)) of the block fixing member 34 has a slope whose normal line faces diagonally backward and downward.

図5、図7及び図8(a),(b)において、3つの支持ブロック32はそれぞれ、バックアップベース31の上面に配置されている。各支持ブロック32の後面はガイド部31Gの前面と接触している。各支持ブロック32の前面32m(図7及び図8(a))はその法線が前方斜め上方を向く斜面であり、ブロック固定部材34の後面34mと接触している。 In FIGS. 5, 7 and 8 (a) and 8 (b), each of the three support blocks 32 is arranged on the upper surface of the backup base 31. The rear surface of each support block 32 is in contact with the front surface of the guide portion 31G. The front surface 32 m (FIGS. 7 and 8 (a)) of each support block 32 is a slope whose normal line faces diagonally upward and forward, and is in contact with the rear surface 34 m of the block fixing member 34.

図5及び図7において、3つの支持ブロック32は、中央に配置された1つの固定ブロック32Aと、固定ブロック32Aの左右に配置された2つの可動ブロック32Bから成る。固定ブロック32Aはバックアップベース31の中央部に固定して設けられており、2つの可動ブロック32Bのそれぞれには、上下方向に貫通した切欠き32Kが設けられている(図9(a),(b)も参照)。 In FIGS. 5 and 7, the three support blocks 32 are composed of one fixed block 32A arranged in the center and two movable blocks 32B arranged on the left and right sides of the fixed block 32A. The fixed block 32A is fixedly provided at the central portion of the backup base 31, and each of the two movable blocks 32B is provided with a notch 32K penetrating in the vertical direction (FIGS. 9A and 9A, See also b)).

固定螺子35を締め付けてブロック固定部材34をバックアップベース31の上面に密着させると、各可動ブロック32Bの前面32mがブロック固定部材34の後面34mによって下方及び後方へ押圧され、各可動ブロック32Bはバックアップベース31に対して固定される。一方、固定螺子35を緩めると、各可動ブロック32Bのバックアップベース31に対する固定は解除され、各可動ブロック32Bをバックアップベース31に対して(従って貫通孔33に対して)X軸方向に移動させることができる。このため各可動ブロック32Bのバックアップベース31に対する位置は任意に変更することができる。 When the fixing screw 35 is tightened to bring the block fixing member 34 into close contact with the upper surface of the backup base 31, the front surface 32m of each movable block 32B is pressed downward and backward by the rear surface 34m of the block fixing member 34, and each movable block 32B backs up. It is fixed to the base 31. On the other hand, when the fixing screw 35 is loosened, the fixing of each movable block 32B to the backup base 31 is released, and each movable block 32B is moved in the X-axis direction with respect to the backup base 31 (and therefore with respect to the through hole 33). Can be done. Therefore, the position of each movable block 32B with respect to the backup base 31 can be arbitrarily changed.

図9(a),(b)は、2つの可動ブロック32BのX軸方向の位置を変更した例を示している。図9(a)は2つの可動ブロック32Bをそれぞれ中央に位置する固定ブロック32Aに近づけて配置した場合の例であり、図9(b)は2つの可動ブロック32Bをそれぞれ固定ブロック32Aから離して配置した場合の例である。 9 (a) and 9 (b) show an example in which the positions of the two movable blocks 32B in the X-axis direction are changed. FIG. 9A shows an example in which the two movable blocks 32B are arranged close to the fixed block 32A located at the center, and FIG. 9B shows the two movable blocks 32B separated from the fixed block 32A. This is an example of placement.

2つの可動ブロック32Bは、基板保持テーブル21によって中央部2Cが保持された基板2の端部領域2Rが3つの支持ブロック32によって支持された状態で、基板2が有する2つの基板側マーク2mの直下に切欠き32Kが位置するように(すなわち、切欠き32K及び貫通孔33を通して基板側マーク2mを下方から視認できるように)、バックアップベース31に対して位置決めされたうえで固定される(図4及び図10)。 The two movable blocks 32B have two substrate-side marks 2m of the substrate 2 in a state where the end region 2R of the substrate 2 whose central portion 2C is held by the substrate holding table 21 is supported by the three supporting blocks 32. It is positioned and fixed with respect to the backup base 31 so that the notch 32K is located directly below (that is, the substrate side mark 2m can be visually recognized from below through the notch 32K and the through hole 33) (FIG. 4 and FIG. 10).

図5、図7及び図8(a),(b)において、基板保持テーブル21の中央部と、複数の支持ブロック32のそれぞれには、上面が平坦面に形成された多孔質部材36が埋設されている。各多孔質部材36はその上面を基板保持テーブル21或いは各支持ブロック32から上方に露出させている。 In FIGS. 5, 7 and 8 (a) and 8 (b), a porous member 36 having a flat upper surface is embedded in each of the central portion of the substrate holding table 21 and the plurality of support blocks 32. Has been done. The upper surface of each porous member 36 is exposed upward from the substrate holding table 21 or each support block 32.

図8(a),(b)において、基板保持テーブル21の内部には真空圧供給管路41が延びており、真空圧供給管路41は基板保持テーブル21に設けられた多孔質部材36に繋がっている。真空圧供給管路41は基板保持テーブル21の外部において制御バルブ42と繋がっており、制御バルブ42は部品搭載装置1の外部に設けられた真空源VCと繋がっている。 In FIGS. 8A and 8B, a vacuum pressure supply line 41 extends inside the substrate holding table 21, and the vacuum pressure supply line 41 is formed on a porous member 36 provided on the board holding table 21. It is connected. The vacuum pressure supply line 41 is connected to the control valve 42 outside the substrate holding table 21, and the control valve 42 is connected to the vacuum source VC provided outside the component mounting device 1.

制御バルブ42の作動によって、真空源VCが送給する真空圧が真空圧供給管路41から基板保持テーブル21に設けられた多孔質部材36に供給されると、多孔質部材36が有する細孔を通じて、多孔質部材36の上面(すなわち基板保持テーブル21の上面)に吸引力が発生する。基板保持テーブル21に基板2が載置され(図8(a)→図8(b))、この状態で基板保持テーブル21の上面に吸引力を発生させると、その吸引力によって基板2の中央部2Cが基板保持テーブル21の上面に吸引保持される(図8(b))。 When the vacuum pressure supplied by the vacuum source VC is supplied from the vacuum pressure supply line 41 to the porous member 36 provided on the substrate holding table 21 by the operation of the control valve 42, the pores of the porous member 36 are formed. A suction force is generated on the upper surface of the porous member 36 (that is, the upper surface of the substrate holding table 21). When the substrate 2 is placed on the substrate holding table 21 (FIG. 8 (a) → FIG. 8 (b)) and a suction force is generated on the upper surface of the substrate holding table 21 in this state, the suction force causes the center of the substrate 2. Part 2C is suction-held on the upper surface of the substrate holding table 21 (FIG. 8 (b)).

図8(a),(b)において、各支持ブロック32には吸引管路43が接続されている。各吸引管路43は前述の制御バルブ42と繋がっており、制御バルブ42の作動によって、真空源VCが送給する真空圧が吸引管路43から各支持ブロック32に設けられた多孔質部材36に供給されると、各多孔質部材36が有する細孔を通じて、各多孔質部材36の上面(すなわち各支持ブロック32の上面)に吸引力が発生する。基板保持テーブル21に基板2が載置された状態で各支持ブロック32の上面に吸引力を発生させると、この吸引力によって基板2の端部領域2Rは各支持ブロック32の上面側に吸引され、その下面が各支持ブロック32の上面に密着する(図8(b))。 In FIGS. 8A and 8B, a suction pipe line 43 is connected to each support block 32. Each suction line 43 is connected to the above-mentioned control valve 42, and the vacuum pressure supplied by the vacuum source VC is supplied from the suction line 43 to each support block 32 by the operation of the control valve 42. A suction force is generated on the upper surface of each porous member 36 (that is, the upper surface of each support block 32) through the pores of each porous member 36. When a suction force is generated on the upper surface of each support block 32 while the substrate 2 is placed on the substrate holding table 21, the end region 2R of the substrate 2 is attracted to the upper surface side of each support block 32 by this suction force. , The lower surface of the support block 32 is in close contact with the upper surface of each support block 32 (FIG. 8 (b)).

このように本実施の形態において、真空源VCと制御バルブ42及び吸引管路43は、基板2の端部領域2Rを吸引して複数の支持ブロック32それぞれの上面に密着させる吸引機構44となっている(図8(a),(b))。 As described above, in the present embodiment, the vacuum source VC, the control valve 42, and the suction pipe line 43 serve as a suction mechanism 44 that sucks the end region 2R of the substrate 2 and brings it into close contact with the upper surface of each of the plurality of support blocks 32. (FIGS. 8 (a) and 8 (b)).

なお、上記のように基板2の中央部2C及び端部領域2Rは多孔質部材36の細孔を通じて吸引されることになるが、多孔質部材36の細孔はその孔径がおよそ60μ程度であり、基板2の厚さに比較して十分に小さいことから、基板2の表面が細孔の内部に引っ張り込まれたりすることはない。 As described above, the central portion 2C and the end region 2R of the substrate 2 are sucked through the pores of the porous member 36, but the pores of the porous member 36 have a pore diameter of about 60 μm. Since the thickness of the substrate 2 is sufficiently small as compared with the thickness of the substrate 2, the surface of the substrate 2 is not pulled into the pores.

図11において、部品搭載装置1が備える制御装置50は、基板保持部移動機構12Mによる基板保持部12の移動、2つの認識カメラ13による基板側マーク2mの撮像、認識カメラ移動機構13Mによる2つの認識カメラ13の移動、部品供給テーブル移動機構14Mによる部品供給テーブル14の移動、中継テーブル移動機構15Mによる中継テーブル15の移動の各制御を行う。 In FIG. 11, the control device 50 included in the component mounting device 1 is the movement of the board holding portion 12 by the board holding portion moving mechanism 12M, the imaging of the board side mark 2m by the two recognition cameras 13, and the two recognition camera moving mechanisms 13M. The movement of the recognition camera 13, the movement of the parts supply table 14 by the parts supply table movement mechanism 14M, and the movement of the relay table 15 by the relay table movement mechanism 15M are controlled.

また、制御装置50は、図11に示すように、移載ヘッド16による部品3の吸着、移載ヘッド移動機構16Mによる移載ヘッド16の移動、マーク撮像カメラ17による部品側マーク3mの撮像、マーク撮像カメラ移動機構17Mによるマーク撮像カメラ17の移動、搭載ヘッド18による部品3の吸着及び搭載ヘッド移動機構18Mによる搭載ヘッド18の移動の各動作制御を行う。更に制御装置50は、制御バルブ42による基板保持テーブル21及び複数の支持ブロック32それぞれの上面への基板2の吸引力の発生の制御を行う。 Further, as shown in FIG. 11, the control device 50 attracts the component 3 by the transfer head 16, moves the transfer head 16 by the transfer head moving mechanism 16M, and images the component side mark 3 m by the mark imaging camera 17. The mark imaging camera moving mechanism 17M controls the movement of the mark imaging camera 17, the mounting head 18 attracts the component 3, and the mounting head moving mechanism 18M controls the movement of the mounting head 18. Further, the control device 50 controls the generation of the suction force of the substrate 2 on the upper surfaces of the substrate holding table 21 and the plurality of support blocks 32 by the control valve 42.

図11において、2つの認識カメラ13によって得られた画像情報及びマーク撮像カメラ17によって得られた画像データはそれぞれ制御装置50に送られ、制御装置50はそれらの画像データに基づいて所要の画像認識を行う。制御装置50にはタッチパネル等の入出力装置51が接続されており、作業者OPは入出力装置51を通して部品搭載装置1に所要の入力を行うことができる。また作業者OPは、入出力装置51を通じて部品搭載装置1に関する各種情報を得ることができる。 In FIG. 11, the image information obtained by the two recognition cameras 13 and the image data obtained by the mark imaging camera 17 are sent to the control device 50, respectively, and the control device 50 performs required image recognition based on the image data. I do. An input / output device 51 such as a touch panel is connected to the control device 50, and the operator OP can perform necessary input to the component mounting device 1 through the input / output device 51. Further, the worker OP can obtain various information about the component mounting device 1 through the input / output device 51.

このような構成を有する部品搭載装置1によって基板2に部品3を搭載する場合には、作業者OPは、認識カメラ移動機構13Mを作動させて、2つの認識カメラ13の間隔が、2つの基板側マーク2mの間隔と合致するようにしておく(図12(a)中に示す矢印A)。また、基板2の端部領域2Rに位置する2つの基板側マーク2mが基板保持部12の下方から視認し得るようにするため、切欠き32Kを有する2つの可動ブロック32Bの位置調整を行っておく。 When the component 3 is mounted on the board 2 by the component mounting device 1 having such a configuration, the operator OP operates the recognition camera moving mechanism 13M so that the distance between the two recognition cameras 13 is two boards. Make sure that it matches the distance between the side marks 2 m (arrow A shown in FIG. 12 (a)). Further, in order to make the two substrate side marks 2m located in the end region 2R of the substrate 2 visible from below the substrate holding portion 12, the positions of the two movable blocks 32B having the notch 32K are adjusted. deep.

このように本実施の形態における部品搭載装置1では、可動ブロック32Bは、複数の支持ブロック32が認識カメラ13による基板側マーク2mの認識を妨げることなく基板2の端部領域2Rを支持できるように、基板保持テーブル21に対する位置が設定される。 As described above, in the component mounting device 1 of the present embodiment, the movable block 32B can support the end region 2R of the substrate 2 without the plurality of support blocks 32 hindering the recognition of the substrate side mark 2m by the recognition camera 13. Is set to a position with respect to the substrate holding table 21.

部品搭載装置1は先ず、基板保持部移動機構12Mを作動させて基板保持部12を所定の基板受け取り位置に位置させ、部品搭載装置1の外部より供給される基板2を基板保持部12によって受け取る。そして、制御バルブ42を作動させて、基板保持部12に基板2を吸引保持させる(基板保持工程)。 First, the component mounting device 1 operates the board holding unit moving mechanism 12M to position the board holding unit 12 at a predetermined board receiving position, and receives the board 2 supplied from the outside of the component mounting device 1 by the board holding unit 12. .. Then, the control valve 42 is operated so that the substrate holding portion 12 sucks and holds the substrate 2 (board holding step).

基板保持工程では、基板2はその中央部2Cが基板保持テーブル21によって保持され、端部領域2Rが3つの支持ブロック32によって支持される。このため基板2は端部領域2Rが下方に垂れ下がることがなく、全体として水平姿勢に保持された状態となる(図12(a))。 In the substrate holding step, the central portion 2C of the substrate 2 is held by the substrate holding table 21, and the end region 2R is supported by the three support blocks 32. Therefore, the end region 2R of the substrate 2 does not hang downward, and the substrate 2 is held in a horizontal posture as a whole (FIG. 12A).

制御装置50は、基板保持部12に基板2を吸引保持させたら、基板保持部移動機構12Mを作動させて、基板2の端部領域2Rを作業位置SGに位置させる(作業位置移動工程。図12(b)及び図13(a)中に示す矢印B)。このとき基板保持テーブル21と3つの支持ブロック32は一体に移動するので、基板保持テーブル21と3つの支持ブロック32とによって水平姿勢に保持された基板2は、水平姿勢を維持した状態で移動する。基板2の端部領域2Rが作業位置SGに位置すると、基板2が備える2つの基板側マーク2mは、2つの認識カメラ13の上方に位置する(図12(b)及び図13(a))。 After the substrate holding portion 12 sucks and holds the substrate 2, the control device 50 operates the substrate holding portion moving mechanism 12M to position the end region 2R of the substrate 2 at the working position SG (working position moving step. FIG. Arrow B shown in 12 (b) and FIG. 13 (a). At this time, since the board holding table 21 and the three support blocks 32 move integrally, the board 2 held in the horizontal posture by the board holding table 21 and the three support blocks 32 moves in a state of maintaining the horizontal posture. .. When the end region 2R of the substrate 2 is located at the working position SG, the two substrate-side marks 2m included in the substrate 2 are located above the two recognition cameras 13 (FIGS. 12 (b) and 13 (a)). ..

基板2の端部領域2Rが作業位置SGに位置したら、制御装置50は、2つの認識カメラ13を作動させて、2つの基板側マーク2mを撮像する(基板側マーク撮像工程)。制御装置50はこれにより得られた画像データを画像認識し、作業位置SGに位置した部品搭載部2aの姿勢を把握して、部品搭載部2aのX軸方向、Y軸方向及びZ軸回りの回転方向それぞれの位置ずれを算出する(基板側位置ずれ算出工程)。 When the end region 2R of the substrate 2 is located at the working position SG, the control device 50 operates the two recognition cameras 13 to image the two substrate-side marks 2m (board-side mark imaging step). The control device 50 recognizes the image data obtained by this, grasps the posture of the component mounting portion 2a located at the working position SG, and rotates the component mounting portion 2a in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis. The positional deviation in each rotation direction is calculated (the substrate side positional deviation calculation step).

2つの認識カメラ13により2つの基板側マーク2mを認識して作業位置SGにおける部品搭載部2aの位置ずれを算出したら、制御装置50は移載ヘッド16を部品供給テーブル14の上方に移動させたうえで下降させ、移載ヘッド16に部品3を吸着させる。そして、部品3を吸着させた移載ヘッド16を中継テーブル15の上方に移動させ、中継テーブル移動機構15Mによって後方位置に位置されている中継テーブル15上に部品3を載置(仮置き)させる(図13(a)。部品仮置き工程)。 After recognizing the two board-side marks 2m by the two recognition cameras 13 and calculating the positional deviation of the component mounting portion 2a at the working position SG, the control device 50 moved the transfer head 16 above the component supply table 14. The component 3 is attracted to the transfer head 16 by lowering it. Then, the transfer head 16 on which the component 3 is attracted is moved above the relay table 15, and the component 3 is placed (temporarily placed) on the relay table 15 located at the rear position by the relay table moving mechanism 15M. (FIG. 13 (a). Temporary parts placement step).

制御装置50は、移載ヘッド16に部品3を中継テーブル15に仮置きさせたら、移載ヘッド16を上方へ移動させ、そこから更に後方へ移動させることによって、中継テーブル15の上方領域(マーク撮像カメラ17による撮像領域)から移載ヘッド16を退避させるとともに、次に中継テーブル15に移載すべき部品3の上方に移載ヘッド16を移動させる(図13(b))。制御装置50は、移載ヘッド16を中継テーブル15の上方領域から退避させたら、中継テーブル15上の部品3が備える2つの部品側マーク3mをマーク撮像カメラ17に撮像させる(図13(b))。2つの部品側マーク3mの撮像は、マーク撮像カメラ移動機構17Mによってマーク撮像カメラ17をX軸方向に移動させて行う(部品側マーク撮像工程)。 When the transfer head 16 temporarily places the component 3 on the relay table 15, the control device 50 moves the transfer head 16 upward and further rearward from the transfer head 16 to move the component 3 to the upper region (mark) of the relay table 15. The transfer head 16 is retracted from the image pickup region by the image pickup camera 17), and the transfer head 16 is then moved above the component 3 to be transferred to the relay table 15 (FIG. 13 (b)). When the transfer head 16 is retracted from the upper region of the relay table 15, the control device 50 causes the mark imaging camera 17 to image the two component-side marks 3m included in the component 3 on the relay table 15 (FIG. 13B). ). Imaging of the two component-side marks 3 m is performed by moving the mark imaging camera 17 in the X-axis direction by the mark imaging camera moving mechanism 17M (component-side mark imaging step).

制御装置50は、マーク撮像カメラ17に部品側マーク3mを撮像させたら、その撮像によって得られた画像を画像認識し、中継テーブル15上における部品3の位置を把握する。そして、中継テーブル15上における部品3のX軸方向の位置が正規の位置からずれている場合には、その正規の位置からの位置ずれ量を算出する(部品側位置ずれ算出工程)。 When the mark imaging camera 17 images the component side mark 3m, the control device 50 recognizes the image obtained by the imaging and grasps the position of the component 3 on the relay table 15. Then, when the position of the component 3 on the relay table 15 in the X-axis direction deviates from the regular position, the amount of the misalignment from the regular position is calculated (part side misalignment calculation step).

制御装置50は、中継テーブル15上における部品3の正規の位置からの位置ずれ量を算出したら、中継テーブル移動機構15Mを作動させて中継テーブル15を後方位置から前方位置に移動させる(図13(c)。中継テーブル移動工程)。この中継テーブル移動工程において中継テーブル15をX軸方向に移動させる際、制御装置50は、部品側位置ずれ算出工程で算出した中継テーブル15上における部品3のX軸方向に位置ずれ量を補正する。中継テーブル移動工程によって、中継テーブル15上の部品3は作業位置SGの上方、すなわち、搭載ヘッド18の直下に位置する。制御装置50は、中継テーブル移動工程を実行しつつ、移載ヘッド16を部品供給テーブル14の上方に移動させて、次に中継テーブル15に載置すべき部品3を移載ヘッド16に吸着させる(図13(c))。 After calculating the amount of misalignment of the component 3 on the relay table 15 from the normal position, the control device 50 operates the relay table moving mechanism 15M to move the relay table 15 from the rear position to the front position (FIG. 13 (FIG. 13). c). Relay table moving process). When the relay table 15 is moved in the X-axis direction in this relay table moving step, the control device 50 corrects the displacement amount of the component 3 on the relay table 15 calculated in the component side position deviation calculation step in the X-axis direction. .. By the relay table moving step, the component 3 on the relay table 15 is located above the working position SG, that is, directly below the mounting head 18. The control device 50 moves the transfer head 16 above the component supply table 14 while executing the relay table moving step, and then attracts the component 3 to be mounted on the relay table 15 to the transfer head 16. (FIG. 13 (c)).

制御装置50は、中継テーブル15を前方位置に位置させたら、搭載ヘッド18を下降させる。そして、中継テーブル15上の部品3を搭載ヘッド18に吸着させ、搭載ヘッド18に部品3をピックアップさせる(図14(a)。ピックアップ工程)。 After the relay table 15 is positioned in the front position, the control device 50 lowers the mounting head 18. Then, the component 3 on the relay table 15 is attracted to the mounting head 18, and the component 3 is picked up by the mounting head 18 (FIG. 14 (a). Pickup step).

制御装置50は、搭載ヘッド18に部品3をピックアップさせたら、中継テーブル15を後方位置に移動させて、作業位置SGの上方から退避させる(図14(b)。中継テーブル退避工程)。また、これと同時期に、制御装置50は、移載ヘッド16を、後方位置に移動させた中継テーブル15の上方に移動させる(図14(b))。 When the mounting head 18 picks up the component 3, the control device 50 moves the relay table 15 to the rear position and retracts the relay table 15 from above the working position SG (FIG. 14 (b). Relay table retracting step). At the same time, the control device 50 moves the transfer head 16 above the relay table 15 that has been moved to the rear position (FIG. 14 (b)).

制御装置50は、中継テーブル15を作業位置SGの上方から退避させたら、基板側位置ずれ算出工程で算出した基板2側の位置ずれ量と、部品側位置ずれ算出工程で算出した部品3側の位置ずれ量とに基づいて、2つの基板側マーク2mと2つの部品側マーク3mが平面視において一致するように位置補正を行う。具体的には、基板保持部移動機構12Mを作動させて基板保持部12を(すなわち基板2を)水平面内で移動させ、搭載ヘッド移動機構18Mを作動させて搭載ヘッド18を(すなわち部品3を)Z軸回りに回転させる(位置補正工程)。 When the relay table 15 is retracted from above the work position SG, the control device 50 determines the amount of misalignment on the substrate 2 side calculated in the substrate side misalignment calculation step and the component 3 side calculated in the component side misalignment calculation step. Based on the amount of misalignment, position correction is performed so that the two board-side marks 2m and the two component-side marks 3m coincide with each other in a plan view. Specifically, the substrate holding portion moving mechanism 12M is operated to move the substrate holding portion 12 (that is, the substrate 2) in a horizontal plane, and the mounting head moving mechanism 18M is operated to move the mounting head 18 (that is, the component 3). ) Rotate around the Z axis (position correction process).

本実施の形態における部品搭載装置1では、基板2の中央部2Cの下面を保持した基板保持テーブル21と基板2の端部領域2Rの下面を支持した複数の支持ブロック32とを一体に移動させるようになっているので、基板2を支持ブロック32により支持した状態のまま、上記位置補正を行うことできる。 In the component mounting device 1 according to the present embodiment, the substrate holding table 21 that holds the lower surface of the central portion 2C of the substrate 2 and the plurality of support blocks 32 that support the lower surface of the end region 2R of the substrate 2 are integrally moved. Therefore, the position correction can be performed while the substrate 2 is supported by the support block 32.

制御装置50は、2つの基板側マーク2mと2つの部品側マーク3mが平面視において一致するように位置補正を行ったら、搭載ヘッド移動機構18Mを作動させて、搭載ヘッド18を作業位置SGの上方から下降させる。これにより搭載ヘッド18は3つの支持ブロック32に支持された基板2の部品搭載部2aに部品3を押し付け(図14(c)及び図15中に示す矢印C)、基板2に部品3を圧着させて搭載する(部品搭載工程。図14(c)及び図15)。このとき搭載ヘッド18による部品3の押付け力は支持ブロック32から基板保持テーブル21に作用する。また、これと同時期に、制御装置50は移載ヘッド16を移動させ、移載ヘッド16に吸着させた部品3を後方位置に位置した中継テーブル15上に載置させる(図14(c))。 When the control device 50 corrects the positions so that the two board-side marks 2m and the two component-side marks 3m match in a plan view, the mounting head moving mechanism 18M is operated to move the mounting head 18 to the working position SG. Lower from above. As a result, the mounting head 18 presses the component 3 against the component mounting portion 2a of the board 2 supported by the three support blocks 32 (arrows C shown in FIGS. 14C and 15), and crimps the component 3 to the substrate 2. (Parts mounting process. FIGS. 14 (c) and 15). At this time, the pressing force of the component 3 by the mounting head 18 acts on the substrate holding table 21 from the support block 32. At the same time, the control device 50 moves the transfer head 16 and places the component 3 attracted to the transfer head 16 on the relay table 15 located at the rear position (FIG. 14 (c)). ).

基板2に部品3が搭載されたら、制御装置50は搭載ヘッド移動機構18Mを作動させて、搭載ヘッド18を上昇させる。制御装置50は、搭載ヘッド18を上昇させたら基板保持部移動機構12Mを作動させ、基板保持部12を移動させて、所定の基板受渡し位置に位置させる。基板保持部12が基板受渡し位置に位置したら、制御装置50は制御バルブ42を作動させて、基板保持テーブル21と各支持ブロック32における基板2の吸引力を解除したうえで、部品3が搭載された基板2を部品搭載装置1の外部の機構(図示せず)に受け渡す(基板受渡し工程)。これにより基板2の1枚当たりの部品3の搭載作業が終了する。 When the component 3 is mounted on the board 2, the control device 50 operates the mounting head moving mechanism 18M to raise the mounting head 18. When the mounting head 18 is raised, the control device 50 operates the board holding portion moving mechanism 12M to move the board holding portion 12 to a predetermined board delivery position. When the board holding portion 12 is located at the board delivery position, the control device 50 operates the control valve 42 to release the suction force of the board 2 in the board holding table 21 and each support block 32, and then the component 3 is mounted. The board 2 is delivered to an external mechanism (not shown) of the component mounting device 1 (board delivery step). As a result, the mounting work of the component 3 per board 2 is completed.

以上説明したように、本実施の形態における部品搭載装置1では、基板保持テーブル21によって中央部2Cが保持された基板2の端部領域2Rを下方から支持するバックアップ部22がバックアップベース31とその上部に設けられた複数の支持ブロック32から成っており、これら複数の支持ブロック32は、バックアップベース31に対して移動自在な可動ブロック32Bを含んでいる。そして、可動ブロック32Bは、複数の支持ブロック32が認識カメラ13による基板側マーク2mの認識を妨げることなく基板2の端部領域2Rを支持できるように、バックアップベース31に対する位置が設定されるようになっている。このため、基板2の機種の切替えによって基板側マーク2mの位置が変わる場合には、可動ブロック32Bのバックアップベース31に対する位置を変えればよく、基板2の機種(基板側マーク2mの位置)によらず、認識カメラ13に基板側マーク2mを認識させることができる。 As described above, in the component mounting device 1 according to the present embodiment, the backup unit 22 that supports the end region 2R of the substrate 2 in which the central portion 2C is held by the substrate holding table 21 from below is the backup base 31 and its backup unit 22. It is composed of a plurality of support blocks 32 provided on the upper portion, and these plurality of support blocks 32 include a movable block 32B that is movable with respect to the backup base 31. The movable block 32B is positioned with respect to the backup base 31 so that the plurality of support blocks 32 can support the end region 2R of the substrate 2 without interfering with the recognition of the substrate side mark 2m by the recognition camera 13. It has become. Therefore, when the position of the board side mark 2m changes due to the switching of the board 2 model, the position of the movable block 32B with respect to the backup base 31 may be changed, depending on the board 2 model (the position of the board side mark 2m). Instead, the recognition camera 13 can recognize the board-side mark 2m.

また、本実施の形態のように、基板保持テーブル21とバックアップ部22は移動機構(基板保持部移動機構12M)によって一体に移動され、基板2の端部領域2Rが所定の位置(上記例では作業位置SG)に位置した状態で、認識カメラ13が端部領域2Rの下方から基板側マーク2mを認識するようになっている構成では、中央部2Cを基板保持テーブル21によって保持し、端部領域2Rをバックアップ部22によって支持した状態のまま基板2を移動させることができる。このため、基板2がフィルム状であっても端部領域2Rが垂れ下がることはなく、認識カメラ13に基板側マーク2mを正確に認識させることができるので、部品3の搭載精度が向上する。 Further, as in the present embodiment, the substrate holding table 21 and the backup unit 22 are integrally moved by the moving mechanism (board holding part moving mechanism 12M), and the end region 2R of the board 2 is at a predetermined position (in the above example). In the configuration in which the recognition camera 13 recognizes the board side mark 2m from below the end region 2R while being positioned at the working position SG), the central portion 2C is held by the substrate holding table 21 and the end portion is held. The substrate 2 can be moved while the region 2R is supported by the backup unit 22. Therefore, even if the substrate 2 is in the form of a film, the end region 2R does not hang down, and the recognition camera 13 can accurately recognize the substrate side mark 2m, so that the mounting accuracy of the component 3 is improved.

本実施の形態における部品搭載装置1では、吸引機構44により、基板保持部12に保持された基板2の端部領域2Rを吸引して複数の支持ブロック32それぞれの上面に密着させるようになっている。このため、フィルム状の基板2の端部領域2Rにしわや反り等の変形が生じていた場合であってもその変形は矯正されて平坦化され、認識カメラ13による基板側マーク2mの認識精度が向上する。 In the component mounting device 1 according to the present embodiment, the suction mechanism 44 sucks the end region 2R of the substrate 2 held by the substrate holding portion 12 and brings it into close contact with the upper surface of each of the plurality of support blocks 32. There is. Therefore, even if the end region 2R of the film-shaped substrate 2 is deformed such as wrinkles or warpage, the deformation is corrected and flattened, and the recognition accuracy of the substrate side mark 2 m by the recognition camera 13 is corrected. Is improved.

また、本実施の形態における部品搭載装置1では、可動ブロック32Bに上下方向(Z軸方向)に貫通した切欠き32Kが設けられており、この切欠き32Kを通して認識カメラ13に基板側マーク2mを認識させることができるようになっている。このため可動ブロック32Bの切欠き32Kを取り囲む領域で部品3における基板側マーク2mの周辺部を安定的に支持することができ、部品3の搭載時に部品3に与えられる押圧力を基板側マーク2mの周辺部に作用させて部品3を基板2に確実に搭載(圧着)させることができる。 Further, in the component mounting device 1 according to the present embodiment, the movable block 32B is provided with a notch 32K penetrating in the vertical direction (Z-axis direction), and the recognition camera 13 is provided with the substrate side mark 2m through the notch 32K. It is designed to be recognized. Therefore, the peripheral portion of the board side mark 2m in the component 3 can be stably supported in the area surrounding the notch 32K of the movable block 32B, and the pressing force applied to the component 3 when the component 3 is mounted is applied to the substrate side mark 2m. The component 3 can be reliably mounted (crimped) on the substrate 2 by acting on the peripheral portion of the substrate 2.

図16は、本実施の形態における部品搭載装置1の第1の変形例を示している。この第1の変形例では、複数の支持ブロック32のそれぞれが多孔質部材36を有する代わりに、上面に開口する複数の吸引口32Sを有しており、これら吸引口32Sに吸引管路43が接続された構成となっている。このような第1の変形例の部品搭載装置であっても、前述の実施の形態における部品搭載装置1と同様に、基板2の端部領域2Rを吸引して各支持ブロック32の上面に密着させることができる。 FIG. 16 shows a first modification of the component mounting device 1 according to the present embodiment. In this first modification, instead of each of the plurality of support blocks 32 having a porous member 36, a plurality of suction ports 32S opening on the upper surface are provided, and a suction pipe line 43 is provided in these suction ports 32S. It has a connected configuration. Even in the component mounting device of the first modification as described above, similarly to the component mounting device 1 in the above-described embodiment, the end region 2R of the substrate 2 is sucked and brought into close contact with the upper surface of each support block 32. Can be made to.

図17及び図18は、本実施の形態における部品搭載装置1の第2の変形例を示している。この第2の変形例では、支持ブロック32は5つであり、そのうち可動ブロック32Bは中央の固定ブロック32Aの左右に2つずつ設けられているが、4つの可動ブロック32Bはいずれも切欠き32Kを有していない。そして、隣接し合う可動ブロック32B同士の間に基板側マーク2mが位置するように各可動ブロック32Bの基板保持テーブル21に対する位置が設定されるようになっている。このような第2の変形例の部品搭載装置であっても、前述の実施の形態における部品搭載装置1と同様、基板2に設けられた基板側マーク2mをバックアップ部22の下方から貫通孔33を通して認識カメラ13によって正確に認識することができる。 17 and 18 show a second modification of the component mounting device 1 according to the present embodiment. In this second modification, there are five support blocks 32, of which two movable blocks 32B are provided on the left and right sides of the central fixed block 32A, but all four movable blocks 32B are notched 32K. Does not have. The position of each movable block 32B with respect to the substrate holding table 21 is set so that the substrate side mark 2m is located between the adjacent movable blocks 32B. Even in the component mounting device of the second modification as described above, similarly to the component mounting device 1 in the above-described embodiment, the substrate side mark 2m provided on the substrate 2 is passed through the through hole 33 from below the backup unit 22. It can be accurately recognized by the recognition camera 13.

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、複数(3つ又は5つ)の支持ブロック32のうち1つはバックアップベース31に固定された固定ブロック32Aであったが、固定ブロック32Aはなくてもよく、支持ブロック32の全てが可動ブロック32Bであってもよい。可動ブロック32Bは少なくとも1つあればよく、支持ブロック32の数(固定ブロック32Aの数及び可動ブロック32Bの数)は限定されない。 Although embodiments of the present invention have been described so far, the present invention is not limited to those described above. For example, in the above-described embodiment, one of the plurality of (three or five) support blocks 32 is a fixed block 32A fixed to the backup base 31, but the fixed block 32A may not be present. All of the support blocks 32 may be movable blocks 32B. The number of movable blocks 32B may be at least one, and the number of support blocks 32 (the number of fixed blocks 32A and the number of movable blocks 32B) is not limited.

また、上述の実施の形態では、バックアップ部22が基台11に対して固定されておらず、基板保持テーブル21とバックアップ部22は移動機構(基板保持部移動機構12M)によって一体に移動される構成になっていたが、本発明は、バックアップ部22が基台11に固定されているタイプの部品搭載装置に対しても適用することができる。 Further, in the above-described embodiment, the backup unit 22 is not fixed to the base 11, and the board holding table 21 and the backup unit 22 are integrally moved by a moving mechanism (board holding unit moving mechanism 12M). Although it has a configuration, the present invention can also be applied to a component mounting device of a type in which the backup unit 22 is fixed to the base 11.

基板の機種の切替え作業時に必要となる時間を短縮化して生産性を向上させることができる部品搭載装置を提供する。 Provided is a component mounting device capable of shortening the time required for switching board models and improving productivity.

1 部品搭載装置
2 基板
2C 中央部
2R 端部領域
2m 基板側マーク(マーク)
3 部品
12M 基板保持部移動機構(移動機構)
13 認識カメラ
21 基板保持テーブル
22 バックアップ部
31 バックアップベース
32 支持ブロック
32B 可動ブロック
32K 切欠き
44 吸引機構
SG 作業位置(所定の位置)
1 Component mounting device 2 Board 2C Central part 2R End area 2m Board side mark (mark)
3 Parts 12M Board holder Moving mechanism (moving mechanism)
13 Recognition camera 21 Board holding table 22 Backup unit 31 Backup base 32 Support block 32B Movable block 32K Notch 44 Suction mechanism SG Working position (predetermined position)

Claims (4)

端部領域に設けられる部品搭載部に部品が搭載されるフィルム状の基板の中央部を保持する基板保持テーブルと、
バックアップベース及び前記バックアップベースの上部に設けられた複数の支持ブロックを有して成り、前記基板保持テーブルによって前記中央部が保持された前記基板の前記端部領域を下方から支持するバックアップ部と、
前記バックアップ部に支持された前記端部領域の下方から前記端部領域の前記部品搭載部を挟む位置に設けられた2つのマークを認識するために、前記マークの間隔に応じて間隔を変更可能に設けられる2つの認識カメラと
を備えた部品搭載装置であって、
前記複数の支持ブロックは前記バックアップベースに対して移動自在に設けられることにより前記基板保持テーブルに対する位置を設定可能な可動ブロックを含み、前記可動ブロックは、前記複数の支持ブロックが前記認識カメラによる前記マークの認識を妨げることなく前記端部領域を支持できるように前記基板保持テーブルに保持された前記基板の前記マークに対する位置が設定されることを特徴とする部品搭載装置。
A substrate holding table that holds the central portion of a film-shaped substrate on which components are mounted in a component mounting portion provided in the end region,
A backup unit having a backup base and a plurality of support blocks provided on the upper part of the backup base, and supporting the end region of the substrate from below, the central portion of which is held by the substrate holding table.
From below of the support is the end regions in said backup unit, in order to recognize the two mark provided at a position sandwiching the component mounting portion of the end region, change the interval in accordance with the spacing of the mark two recognition camera provided so as to be,
It is a component mounting device equipped with
The plurality of support blocks include a movable block whose position with respect to the substrate holding table can be set by being movably provided with respect to the backup base, and the movable block includes the plurality of support blocks formed by the recognition camera. A component mounting device characterized in that a position of the substrate held on the substrate holding table with respect to the mark is set so that the end region can be supported without interfering with the recognition of the mark.
前記基板保持テーブルと前記バックアップ部は移動機構によって一体に移動され、前記端部領域が所定の位置に位置した状態で、前記認識カメラが前記端部領域の下方から前記マークを認識することを特徴とする請求項1に記載の部品搭載装置。 The substrate holding table and the backup unit are integrally moved by a moving mechanism, and the recognition camera recognizes the mark from below the end region in a state where the end region is located at a predetermined position. The component mounting device according to claim 1. 前記中央部が前記基板保持テーブルに保持されるとともに前記端部領域が前記バックアップ部に支持された前記基板の前記端部領域を吸引して前記複数の支持ブロックそれぞれの上面に密着させる吸引機構を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の部品搭載装置。 A suction mechanism that attracts the end region of the substrate whose central portion is held by the substrate holding table and whose end region is supported by the backup portion and brings the end region into close contact with the upper surface of each of the plurality of support blocks. The component mounting device according to claim 1 or 2, wherein the component mounting device is provided. 前記可動ブロックに、上下方向に貫通した切欠きが設けられたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の部品搭載装置。 The component mounting device according to any one of claims 1 to 3, wherein the movable block is provided with a notch penetrating in the vertical direction.
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