JP6731710B2

JP6731710B2 - Gas analysis system and gas analysis method

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Publication number: JP6731710B2
Application number: JP2015171108A
Authority: JP
Inventors: 公也吉崎; 誠西井
Original assignee: New Cosmos Electric Co Ltd
Current assignee: New Cosmos Electric Co Ltd
Priority date: 2015-08-31
Filing date: 2015-08-31
Publication date: 2020-07-29
Anticipated expiration: 2035-08-31
Also published as: KR102534577B1; WO2017038889A1; KR20180048702A; JP2017049057A

Description

本発明は、複数種のガスセンサを用いて判定対象ガスのガス種を特定するためのガス分析システム、及び、ガス分析方法に関する。 The present invention relates to a gas analysis system for specifying a gas type of a determination target gas using a plurality of types of gas sensors, and a gas analysis method.

判定対象ガスに含まれるガス種を特定しようとする場合、その検知対象ガス種が異なる複数種のガスセンサを用いてその判定対象ガスの測定を行い、個々のガスセンサの出力を個別に判定して、所定値以上の出力のあったガスセンサの対象ガスを判定対象ガスに含まれるガス種として特定する方法が考えられる。 When trying to identify the gas type contained in the determination target gas, the measurement target gas is measured using a plurality of types of gas sensors whose detection target gas types are different, and the output of each gas sensor is determined individually, A method is conceivable in which the target gas of the gas sensor having an output of a predetermined value or more is specified as the gas type contained in the determination target gas.

この場合、特定したいガス種の数だけガスセンサを用いる必要があり、その分コストと設置スペースが必要となる。また、特定のガス種を検知対象ガスとするガスセンサであっても、他のガス種にもある程度の出力は生じるものであるため、ガス種によってはガスセンサの干渉性のため複数のガスセンサから所定値以上の出力を生じる場合もあり、確実にガス種を特定しがたい状況も存在する。 In this case, it is necessary to use as many gas sensors as the number of gas types to be specified, and cost and installation space are required accordingly. In addition, even if a gas sensor uses a specific gas type as the detection target gas, some output is generated to other gas types. The above output may occur, and there are situations where it is difficult to reliably identify the gas species.

判定対象ガスのガス種を特定するために要するガスセンサの数を削減可能で、且つ、確度高くガス種を特定できるガス分析システム及びガス分析方法が望まれる。 There is a demand for a gas analysis system and a gas analysis method that can reduce the number of gas sensors required to specify the gas type of a determination target gas and can specify the gas type with high accuracy.

本発明に係るガス分析システムは、
複数種のガスセンサを備える検出部と、
判定対象ガスに対する各前記ガスセンサの出力値が入力される入力部と、
判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各前記ガスセンサの出力値の傾向との対応
関係をガス種ごとに記憶してある記憶部と、
記憶してある前記対応関係と前記入力された各前記出力値の傾向とに基づいて前記判定
対象ガスのガス種を特定する判定部と、を備え、
前記複数種のガスセンサの少なくとも１つは、前記判定対象ガスを検出したときに負の出力値を出力可能である。 The gas analysis system according to the present invention,
A detection unit including a plurality of types of gas sensors,
An input unit for inputting the output value of each gas sensor for the gas to be determined,
A storage unit that stores a correspondence relationship between the gas type to be determined and the tendency of the output value of each gas sensor for the gas type, for each gas type,
A determination unit that identifies the gas type of the determination target gas based on the stored correspondence relationship and the tendency of the input output values.
At least one of the plurality of types of gas sensors can output a negative output value when the gas to be determined is detected .

発明者は、判定しようとする各ガス種と出力値間の大小関係パターンやどのガスセンサにどの程度の出力があるかなどの各ガスセンサからの出力値の傾向とに１対１の対応関係があることを見出した。そこで、この構成によれば、発明者が見出した対応関係を採用し、判定対象とするガス種と各ガスセンサからの出力値の傾向との対応関係をガス種ごとに求めておき、個々の出力値を個別に判定するだけでなく、個々の出力値を組み合わせてその傾向を予め求めた対応関係と参照することにより判定対象ガスに含まれるガス種を特定できる。これにより、たとえ、複数のガスセンサから所定値以上の出力があったとしても、確度高くガス種を特定できる。 The inventor has a one-to-one correspondence with the tendency of the output value from each gas sensor, such as the magnitude relationship pattern between each gas type to be determined and the output value, and which gas sensor has which output. I found that. Therefore, according to this configuration, the correspondence relationship found by the inventor is adopted, and the correspondence relationship between the gas type to be determined and the tendency of the output value from each gas sensor is obtained for each gas type, and the individual output is determined. Not only the values are determined individually, but the gas species contained in the determination target gas can be specified by combining the individual output values and referring to the tendency with the correspondence relationship obtained in advance. Thereby, even if the plurality of gas sensors output more than a predetermined value, the gas type can be specified with high accuracy.

さらに、検出部に備えるガスセンサのいずれもその検知対象ガスとしていないガス種であっても、そのガス種と各ガスセンサからの出力値の傾向との対応関係を求めておけば、検出部に備えるガスセンサの検知対象ガス以外のガス種についてもガス種の特定が可能となる。これにより、検出部に備えるガスセンサの種類以上のガス種の特定が可能となり、判定しようとするガス種と同じ数だけガスセンサを用いるのに比べ、必要なガスセンサの数を削減することも可能となる。 Furthermore, even if the gas sensor included in the detection unit is a gas type that is not a detection target gas, if the correspondence relationship between the gas type and the tendency of the output value from each gas sensor is obtained, the gas sensor included in the detection unit It is possible to specify a gas type other than the gas to be detected by. As a result, it is possible to specify more gas types than the types of gas sensors included in the detection unit, and it is also possible to reduce the number of required gas sensors compared to using the same number of gas sensors as the gas type to be determined. ..

以下、本発明に係るガス分析システムの好適な態様について説明する。但し、以下に記載する好適な態様例によって、本発明の範囲が限定される訳ではない。 Hereinafter, preferred aspects of the gas analysis system according to the present invention will be described. However, the scope of the present invention is not limited by the preferred embodiments described below.

１つの態様として、前記対応関係は、判定対象とするガス種ごとの、当該ガス種と当該ガス種についての各前記ガスセンサの出力値の所定の閾値に対する大小関係のパターンとの対応関係を含み、前記判定部は、各前記出力値について前記閾値を超えているか否かの閾値判定を行い、前記対応関係と各前記出力値についての前記閾値判定の結果とに基づいて前記判定対象ガスのガス種を特定すると好適である。 As one aspect, the correspondence relationship includes, for each gas type to be determined, a correspondence relationship between the gas type and a pattern of magnitude relationship with respect to a predetermined threshold of the output value of each gas sensor for the gas type, The determination unit performs a threshold determination of whether or not the output value exceeds the threshold, the gas type of the determination target gas based on the correspondence and the result of the threshold determination for each output value. Is preferably specified.

この構成によれば、各出力値について細かく数値範囲等を設定するのではなく、各出力値が閾値を超えているか否かという単純な傾向に基づいて判定を行うから、容易にガス種の特定を行うことができる。 According to this configuration, rather than setting a numerical range or the like for each output value in detail, the determination is performed based on a simple tendency of whether each output value exceeds a threshold value, so that the gas type can be easily specified. It can be performed.

１つの態様として、前記対応関係は、判定対象とするガス種について定めた前記ガスセンサの組み合わせと、当該ガス種に対する前記組み合わせの中の各前記ガスセンサ間の前記出力値の比率と、を含み、前記判定部は、前記対応関係と前記組み合わせの中の前記出力値間の比率とに基づいて前記判定対象ガスのガス種を特定すると好適である。 As one aspect, the correspondence includes a combination of the gas sensors defined for a gas type to be determined, and a ratio of the output value between the gas sensors in the combination for the gas type, It is preferable that the determination unit specifies the gas type of the determination target gas based on the correspondence relationship and the ratio between the output values in the combination.

上記した閾値判定を用いた手段では、ガス種の判定のために、少なくとも閾値を超える程度の出力、言い換えれば、ある程度のガス濃度が必要となるところ、この構成によれば、上記した閾値判定を用いた手段の判定に必要な濃度を下回るガス濃度であっても、特定のガスセンサの組み合わせの中の前記出力値の比率さえ判別できれば、判定対象ガスのガス種を特定することができる。これにより、一層確度高くガス種を特定できる。 In the means using the threshold determination described above, for the determination of the gas type, at least an output that exceeds the threshold, in other words, a certain gas concentration is required. According to this configuration, the threshold determination described above is performed. Even if the gas concentration is lower than the concentration required for the determination by the means used, the gas type of the determination target gas can be specified as long as the ratio of the output values in the combination of the specific gas sensors can be determined. Thereby, the gas species can be specified with higher accuracy.

１つの態様として、前記記憶部には、判定対象とするガス種ごとに、濃度を算出するときの基準とする主のガスセンサの種類及びこの主のガスセンサの前記出力値と当該ガス種の濃度との相関関係を含む濃度算出情報を記憶してあり、前記判定部は、前記判定対象ガスのガス種を特定したときに、前記濃度算出情報に基づいて、前記主のガスセンサの前記出力値を用いて前記ガス種の濃度を算出すると好適である。 As one aspect, the storage unit stores, for each gas type to be determined, a type of a main gas sensor serving as a reference when calculating the concentration, the output value of the main gas sensor, and a concentration of the gas type. The concentration calculation information including the correlation of is stored, and the determination unit uses the output value of the main gas sensor based on the concentration calculation information when the gas type of the determination target gas is specified. It is preferable to calculate the concentration of the gas species by

この構成によれば、予め濃度の算出の基準とする主のガスセンサを定めておき、ガス種の特定だけでなく、その濃度も精度よく算出できるから、より有効なガス分析を行うことができる。 According to this configuration, a main gas sensor to be used as a reference for calculating the concentration is determined in advance, and not only the gas species can be specified but also the concentration thereof can be calculated accurately, so that more effective gas analysis can be performed.

１つの態様として、前記記憶部には、判定対象とするガス種ごとに定めたサブのガスセンサの種類及びそのサブのガスセンサの前記出力値と当該ガス種の濃度との相関関係を含み、前記判定部は、前記主のガスセンサの前記出力値が検出限界値に達していたときは、前記濃度算出情報に基づいて、前記サブのガスセンサの前記出力値を用いて前記ガス種の濃度を算出すると好適である。 As one aspect, the storage unit includes a type of sub gas sensor determined for each gas type to be determined and a correlation between the output value of the sub gas sensor and the concentration of the gas type, and the determination is performed. When the output value of the main gas sensor has reached a detection limit value, the unit may calculate the concentration of the gas species using the output value of the sub gas sensor based on the concentration calculation information. Is.

ガスセンサは対象ガスの濃度に比例してその出力も変化するが、その出力値にはフルスケールと呼ばれる検出限界値があり、この検出限界値を超える以上の濃度を測定することはできないという問題がある。そこで、この構成によれば、主のガスセンサと同じく対象ガスの濃度に応答してその出力が変化するガスセンサ等をサブのガスセンサとしておき、主のガスセンサが検出限界値を超えたときは、サブのガスセンサの出力値に基づいてガス種の濃度を算出するから、上記問題が生じるのを効果的に抑制することができる。 The output of the gas sensor also changes in proportion to the concentration of the target gas, but its output value has a detection limit value called full scale, and there is a problem that it is not possible to measure concentrations above this detection limit value. is there. Therefore, according to this configuration, a gas sensor whose output changes in response to the concentration of the target gas as the main gas sensor is used as the sub gas sensor, and when the main gas sensor exceeds the detection limit value, the sub gas sensor Since the concentration of the gas species is calculated based on the output value of the gas sensor, it is possible to effectively prevent the above problems from occurring.

１つの態様として、前記検出部は、少なくとも一つの光イオン化センサを備え、前記対応関係は、前記光イオン化センサが検知可能なガス種と前記光イオン化センサ以外の所定の前記ガスセンサの前記出力値の傾向との関係を含み、前記判定部は、前記光イオン化センサの出力があったときに、前記対応関係と所定の前記ガスセンサにおける前記出力値の傾向とに基づいて前記判定対象ガスのガス種を特定すると好適である。 As one aspect, the detection unit includes at least one photoionization sensor, the correspondence is a gas species detectable by the photoionization sensor and the output value of a predetermined gas sensor other than the photoionization sensor Including the relationship with the tendency, the determination unit, when there is an output of the photoionization sensor, the gas type of the determination target gas based on the corresponding relationship and the tendency of the output value in the predetermined gas sensor. It is preferable to specify.

光イオン化センサ（ＰＩＤセンサ）は、有機溶剤を中心に多くのガスに反応するセンサであるが、その出力値からおおまかなガス種の絞り込みは可能であっても、その出力値から確度高くガス種の判定をすることはできない。これに対し、発明者は、光イオン化センサが検知可能なガス種を検知対象ガスとしないガスセンサであっても、上記と同様の要領でこれらのガスセンサの各ガスセンサからの出力値の傾向から当該ガス種の特定が可能であることを見出した。そこで、この構成によれば、光イオン化センサが検知可能なガス種と前記光イオン化センサ以外の所定の前記ガスセンサの前記出力値の傾向との対応関係を求めておき、この対応関係に基づいて、光イオン化センサが検知しているガス種を特定することができる。このように、光イオン化センサのみ、及び、光イオン化センサ以外のガスセンサのみでは特定できないガス種を、光イオン化センサと光イオン化センサ以外のガスセンサとを組み合わせることによって特定することが可能となる。これにより、判定可能なガス種を増やすことができ、また、これは様々なガス種の特定に必要なガスセンサの数の削減にもなるという利点がある。 The photoionization sensor (PID sensor) is a sensor that reacts with many gases centered on organic solvents, but even if it is possible to roughly narrow down the gas type from its output value, it is highly accurate from the output value. Can not be judged. On the other hand, the inventor, even in the case of a gas sensor that does not use a gas species that can be detected by the photoionization sensor as a gas to be detected, from the tendency of the output value from each gas sensor of these gas sensors in the same manner as described above, We have found that it is possible to identify the species. Therefore, according to this configuration, the correspondence relationship between the gas species detectable by the photoionization sensor and the tendency of the output value of the predetermined gas sensor other than the photoionization sensor is obtained in advance, and based on this correspondence relationship, The gas species detected by the photoionization sensor can be specified. In this way, it is possible to specify the gas species that cannot be specified only by the photoionization sensor or only by the gas sensor other than the photoionization sensor, by combining the photoionization sensor and the gas sensor other than the photoionization sensor. This has the advantage that the number of gas species that can be determined can be increased, and this also leads to a reduction in the number of gas sensors required for identifying various gas species.

１つの態様として、前記記憶部には、判定対象とするガス種の濃度と前記光イオン化センサの前記出力値との相関関係を記憶してあり、前記判定部は、前記判定対象ガスのガス種を特定したとき、前記相関関係に基づいて、前記光イオン化センサの出力値を用いて前記ガス種の濃度を算出すると好適である。 As one aspect, the storage unit stores the correlation between the concentration of the gas species to be determined and the output value of the photoionization sensor, and the determination unit is configured to store the gas species of the determination target gas. When is specified, it is preferable to calculate the concentration of the gas species using the output value of the photoionization sensor based on the correlation.

この構成によれば、特定したガス種の濃度を光イオン化センサの出力から容易に算出することができる。 According to this configuration, the concentration of the specified gas species can be easily calculated from the output of the photoionization sensor.

本発明に係るガス分析方法は、
複数種のガスセンサを用いて判定対象ガスの測定を行うステップと、
判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各前記ガスセンサの出力値の傾向との対応
関係と各前記ガスセンサの前記出力値の傾向とに基づいて前記判定対象ガスのガス種を特
定するステップと、を備え、
前記複数種のガスセンサの少なくとも１つは、前記判定対象ガスを検出したときに負の出力値を出力可能である。 The gas analysis method according to the present invention,
Measuring the gas to be determined using a plurality of types of gas sensors,
A step of identifying the gas type of the determination target gas based on the relationship between the tendency of the output value of each gas sensor for the gas type to be determined and the gas type and the tendency of the output value of each of the gas sensors, Equipped with
At least one of the plurality of types of gas sensors can output a negative output value when the gas to be determined is detected .

ガス分析システムの概略構成図Schematic configuration diagram of gas analysis system 分析器のブロック図Block diagram of analyzer ＰＨ_３ガスに対する各ガスセンサからの出力の時間変化を示すグラフGraph showing the time change of the output from the gas sensor for PH ₃ gas ０．３ｐｐｍのＣｌ_２ガスに対するＣｌ_２センサ、Ｈ_２Ｓセンサ及びＨＦセンサの出力を示すグラフGraph showing outputs of Cl ₂ sensor, H ₂ S sensor and HF sensor for 0.3 ppm Cl ₂ gas ０．５ｐｐｍのＣｌ_２ガスに対するＣｌ_２センサ、Ｈ_２Ｓセンサ及びＨＦセンサの出力を示すグラフGraph showing output of Cl ₂ sensor, H ₂ S sensor and HF sensor for 0.5 ppm Cl ₂ gas ０．３ｐｐｍのＰＨ_３ガスに対するＰＨ_３センサ及びＮＯセンサの出力を示すグラフGraph showing the output of the PH ₃ sensor and NO sensor for PH ₃ gas 0.3ppm １．０ｐｐｍのＰＨ_３ガスに対するＰＨ_３センサ及びＮＯセンサの出力を示すグラフGraph showing outputs of PH ₃ sensor and NO sensor for 1.0 ppm of PH ₃ gas ２．０ｐｐｍのＰＨ_３ガスに対するＰＨ_３センサ及びＮＯセンサの出力を示すグラフGraph showing the output of the PH ₃ sensor and NO sensor for PH ₃ gas 2.0ppm ＰＨ_３ガスの濃度とＰＨ_３センサ及びＮＯセンサの出力との関係を示すグラフA graph showing the relationship between the concentration of the PH ₃ gas and the outputs of the PH ₃ sensor and the NO sensor. 有機溶剤ガス種の濃度とＥ２０センサの出力値との関係を示すグラフGraph showing the relationship between the concentration of organic solvent gas species and the output value of the E20 sensor 有機溶剤ガス種の濃度とＥ２０Ｃセンサの出力値との関係を示すグラフGraph showing the relationship between the concentration of organic solvent gas species and the output value of the E20C sensor トルエンに対するＰＩＤセンサ、Ｅ２０センサ及びＥ２０Ｃセンサの出力値との関係を示すグラフThe graph which shows the relationship with the output value of PID sensor, E20 sensor, and E20C sensor with respect to toluene. アセトンに対するＰＩＤセンサ、Ｅ２０センサ及びＥ２０Ｃセンサの出力値との関係を示すグラフThe graph which shows the relationship with the output value of a PID sensor, an E20 sensor, and an E20C sensor with respect to acetone.

本発明に係るガス分析システム及び分析方法について、図面を参照して説明する。本実施形態に係るガス分析システム１は、複数種のガスセンサを備える検出部２と、判定対象ガスに対する各前記ガスセンサの出力値が入力される入力部４と、判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各前記ガスセンサの出力値の傾向との対応関係をガス種ごとに記憶してある記憶部５と、記憶してある前記対応関係と前記入力された各前記出力値の傾向とに基づいて前記判定対象ガスのガス種を特定する判定部６と、を備える。これにより、判定対象ガスのガス種を特定するために要するガスセンサの数を削減可能で、且つ、確度高くガス種を特定できる。以下、本実施形態に係るガス分析システム１について、詳細に説明する。 A gas analysis system and an analysis method according to the present invention will be described with reference to the drawings. The gas analysis system 1 according to the present embodiment includes a detection unit 2 including a plurality of types of gas sensors, an input unit 4 to which an output value of each gas sensor for a determination target gas is input, a determination target gas type, and the gas. On the basis of the storage unit 5 that stores the correspondence relationship between the gas value and the tendency of the output value of each gas sensor, and the stored correspondence relationship and the input tendency of each output value, The determination unit 6 that identifies the gas type of the determination target gas. As a result, the number of gas sensors required to specify the gas type of the determination target gas can be reduced, and the gas type can be specified with high accuracy. Hereinafter, the gas analysis system 1 according to the present embodiment will be described in detail.

図１は、本実施形態に係るガス分析システム１の一例を示す。ガス分析システム１は、検出器２と分析器３とを備えている。検出器２は可搬式であり、後述する複数種のガスセンサ（図示は省略する）を備えたセンサアレイである。また、検出器２は各ガスセンサからの出力信号σを分析器３に送信可能な通信部（図示しない）を有する。 FIG. 1 shows an example of a gas analysis system 1 according to this embodiment. The gas analysis system 1 includes a detector 2 and an analyzer 3. The detector 2 is portable and is a sensor array including a plurality of types of gas sensors (not shown) described later. Further, the detector 2 has a communication unit (not shown) capable of transmitting the output signal σ from each gas sensor to the analyzer 3.

分析器３は本実施形態ではＰＣとしてあり、図２に示すように、入力部４、記憶部５、及び判定部６とを備える。入力部４には、検出器３からの出力信号σが入力される。つまり、検出器２が判定対象とするガスに対する各ガスセンサの出力値が入力されることになる。そして、記憶部５には後述する判定を行うためのガス種と各ガスセンサの出力値との関係等を保存したデータベースや、分析部６がガス種の特定等を行うためのアルゴリズムを実現する分析用プログラムを格納してある。分析部６は、記憶部５に格納されている分析用プログラムに従って、データベースに保存された各種関係を利用して、検出器２からの出力信号に基づき判定対象ガスのガス種を特定する。 The analyzer 3 is a PC in the present embodiment, and includes an input unit 4, a storage unit 5, and a determination unit 6, as shown in FIG. The output signal σ from the detector 3 is input to the input unit 4. That is, the output value of each gas sensor for the gas to be determined by the detector 2 is input. Then, the storage unit 5 stores a database that stores the relationship between the gas type for making the determination described below and the output value of each gas sensor, and an analysis that implements an algorithm for the analysis unit 6 to specify the gas type. It stores the program for use. The analysis unit 6 uses the various relations stored in the database according to the analysis program stored in the storage unit 5 to specify the gas type of the determination target gas based on the output signal from the detector 2.

つまり、ガス分析システム１では、検出器２の備える複数種のガスセンサからの出力値が分析器３の入力部４に入力され、記憶部５に保存してあるガス種と各ガスセンサの出力値との関係等に基づいて、入力された各出力値から判定部６が判定対象ガスのガス種を特定するものである。なお、図示したガス分析システム１はあくまでも例示であり、同様の手順で判定対象ガスのガス種を特定できるものであれば特に限定されない。例えば、検出器２は無線通信により出力信号を分析器３に入力可能でなくとも、何らかの記録媒体を介してや有線通信により分析器３にガスセンサの出力信号を入力するものであってもよく、また、可搬式でなくとも据置式のものであってもよい。また、分析器３もＰＣに限定されず、少なくとも入力部４、記憶部５、分析部６の有する機能と同等の機能を備えるものであれば特に限定されない。また、検出器２と分析器３とが一体となった装置から構成されていても良い。 That is, in the gas analysis system 1, the output values from the plurality of types of gas sensors included in the detector 2 are input to the input unit 4 of the analyzer 3, and the gas types stored in the storage unit 5 and the output values of each gas sensor are stored. The determination unit 6 specifies the gas type of the determination target gas from each input output value based on the relationship of 1). The illustrated gas analysis system 1 is merely an example, and is not particularly limited as long as the gas type of the determination target gas can be specified by the same procedure. For example, the detector 2 may not be able to input the output signal to the analyzer 3 by wireless communication, but may input the output signal of the gas sensor to the analyzer 3 via some recording medium or by wire communication. Further, it may be a stationary type instead of a portable type. Further, the analyzer 3 is not limited to the PC, and is not particularly limited as long as it has at least the same functions as those of the input unit 4, the storage unit 5, and the analysis unit 6. Further, the detector 2 and the analyzer 3 may be configured as an integrated device.

本実施形態に係るガス分析システム１は、判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各ガスセンサの出力値の傾向との対応関係を利用して、この対応関係と各ガスセンサからの出力値の示す傾向とに基づいて判定対象ガスのガス種を特定することを特徴とする。そのために、データベース（記憶部５）には、判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各ガスセンサの出力値の傾向との対応関係をガス種ごとに記憶してあり、また、判定部６はデータベースに記憶してある対応関係と入力部４に入力された各出力値の傾向とを参照することにより判定対象ガスのガス種を特定するように構成してある（より具体的には以下に示す手順で判定を行うように分析用プログラムを作成してある）。 The gas analysis system 1 according to the present embodiment uses the correspondence relationship between the gas type to be determined and the tendency of the output value of each gas sensor with respect to the gas type, and shows the correspondence relationship and the output value from each gas sensor. The gas type of the determination target gas is specified based on the tendency. Therefore, the database (storage unit 5) stores, for each gas type, the correspondence relationship between the gas type to be determined and the tendency of the output value of each gas sensor for the gas type. The gas type of the determination target gas is specified by referring to the correspondence relationship stored in the database and the tendency of each output value input to the input unit 4 (more specifically, as described below. An analysis program has been created so that the judgment can be made according to the procedure shown below).

ここで、各ガスセンサの出力値の傾向としては、出力値が正の値か負の値か、又はほぼ０であるかといった当該ガス種に対する各ガスセンサの応答の傾向や、どのガスセンサの出力値が予め定めた閾値を上回っているか（又は下回っているか）の閾値判定をしたときの各出力値の閾値判定の傾向、どのガスセンサが最も感度が高いかや、最も検出感度が高いガスセンサの出力値に対する他のガスセンサの出力値の比率、各ガスセンサの出力の時間変化の傾向（応答波形がどのように立ち上がるかなど）等が挙げられる。そして、これらの出力値の傾向を判定対象のガス種と１対１に対応付けたものを対応関係としてデータベースに記憶することにより、判定部６はこの対応関係と入力部４に入力された各出力値の傾向とを参照することによって判定対象ガスのガス種を特定することが可能となる。以下ではまず、判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各ガスセンサの出力値の傾向との対応関係を利用したガス種の特定方法の一例として、各出力値の閾値判定の傾向に基づきガス種の特定を行う手順について説明する。 Here, as the tendency of the output value of each gas sensor, the tendency of the response of each gas sensor to the gas type such as whether the output value is a positive value or a negative value, or almost 0, and the output value of which gas sensor The tendency of the threshold value judgment of each output value when the threshold value judgment whether it is above (or below) the predetermined threshold value, which gas sensor has the highest sensitivity, and the output value of the gas sensor with the highest detection sensitivity Examples include the ratio of the output values of other gas sensors, the tendency of the output of each gas sensor over time (how the response waveform rises, etc.). Then, the determination unit 6 stores the correspondences of these output values in a one-to-one correspondence with the gas types to be determined in the database, so that the determination unit 6 can input the correspondence relations and the respective inputs to the input unit 4. By referring to the tendency of the output value, it is possible to specify the gas type of the determination target gas. In the following, first, as an example of a method of identifying a gas type using the correspondence between the gas type to be determined and the tendency of the output value of each gas sensor for the gas type, the gas type based on the tendency of the threshold determination of each output value The procedure for specifying the will be described.

〈閾値判定に基づくガス種の特定〉
あるガス種について、正の応答（出力値が正）を示すガスセンサ、負の応答（出力値が負）を示すガスセンサ、感度の乏しい（出力値の絶対値がある値以下）ガスセンサの種類は決まっている。つまり、ガス種ごとに、正の応答を示すガスセンサの種類と負の応答を示すガスセンサの種類と感度に乏しいガスセンサの種類との組み合わせは決まっている。そのため、あるガス種Ａについて正の応答を示すとされているガスセンサの出力値のみがある一定の値を上回っており、あるガス種Ａについて負の応答を示すとされているガスセンサの出力値のみがある一定の値を下回っており、当該ガス種Ａについて感度がないとされている他のガスセンサについては出力値が０付近の場合、検出器２が測定している判定対象ガスのガス種はガス種Ａであると特定することが可能である。そこで、本実施形態のガス分析システム１では、判定部６に検出器２からの各出力値について予め定めた正の閾値及び負の閾値（例えばフルスケールの２５％）を超えているか否かの閾値判定を行わせる。閾値判定の結果に応じて、出力値が正の閾値を超えているガスセンサを正の応答を示すガスセンサとし、出力値が負の閾値を下回っているガスセンサを負の応答を示すガスセンサとし、正の閾値と負の閾値との間の出力値を示すガスセンサを感度に乏しいガスセンサとする。これにより、正の応答を示すガスセンサの種類と負の応答を示すガスセンサの種類と感度に乏しいガスセンサの種類との組み合わせを得ることができ、その組み合わせに対応するガス種を特定することとしている。 <Identification of gas type based on threshold judgment>
For a certain gas type, the type of gas sensor that shows a positive response (the output value is positive), the gas sensor that shows a negative response (the output value is negative), and the gas sensor with poor sensitivity (the absolute value of the output value is less than a certain value) are determined. ing. That is, the combination of the type of gas sensor showing a positive response, the type of gas sensor showing a negative response, and the type of gas sensor having poor sensitivity is determined for each gas type. Therefore, only the output value of the gas sensor that is said to show a positive response for a certain gas type A exceeds a certain value, and only the output value of the gas sensor that is shown to show a negative response for a certain gas type A. Is below a certain value, and the output value of other gas sensors that are said to have no sensitivity to the gas type A is near 0, the gas type of the determination target gas measured by the detector 2 is It is possible to specify that the gas type is A. Therefore, in the gas analysis system 1 according to the present embodiment, whether or not the determination unit 6 exceeds the predetermined positive threshold value and negative threshold value (for example, 25% of full scale) for each output value from the detector 2 is determined. Threshold judgment is performed. Depending on the result of the threshold judgment, the gas sensor whose output value exceeds the positive threshold is used as the gas sensor showing a positive response, and the gas sensor whose output value is below the negative threshold is used as the gas sensor showing the negative response. A gas sensor having an output value between a threshold value and a negative threshold value is a gas sensor having poor sensitivity. As a result, it is possible to obtain a combination of the type of gas sensor that exhibits a positive response, the type of gas sensor that exhibits a negative response, and the type of gas sensor that has poor sensitivity, and specify the gas type corresponding to the combination.

具体的には、まず、判定対象とするガス種ごとの、当該ガス種と当該ガス種についての各前記ガスセンサの出力値の所定の閾値に対する大小関係のパターン（つまり、閾値判定結果のパターンであり、正の応答を示すガスセンサの種類と負の応答を示すガスセンサの種類と感度に乏しいガスセンサの種類との組み合わせ）との対応関係を求め、データベース（記憶部５）に、この対応関係を、判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各ガスセンサの出力値の傾向との対応関係として記憶する。そして、検出器２から出力信号σの入力があったときは、判定部６は各出力値について閾値判定を行う。例えば、閾値判定は、何れかのガスセンサで正の閾値を超える出力があったときからその後一定時間（３０秒や６０秒）経過したときの各ガスセンサの出力値に基づいて行う。その後、記憶してある対応関係（閾値判定結果のパターン）と各出力値についての閾値判定の結果とを参照することにより判定対象ガスのガス種を特定する。つまり、閾値判定の結果とその閾値判定結果のパターンが一致するガス種を判定対象ガス種のガス種と特定する。 Specifically, first, for each gas type to be determined, a pattern of magnitude relationship with respect to a predetermined threshold of the output value of each gas sensor for the gas type and the gas type (that is, a pattern of threshold determination results. , A combination of a gas sensor type showing a positive response, a gas sensor type showing a negative response, and a gas sensor type having a poor sensitivity) is obtained, and the correspondence relation is determined in the database (storage unit 5). It is stored as a correspondence relationship between the target gas type and the tendency of the output value of each gas sensor with respect to the gas type. Then, when the output signal σ is input from the detector 2, the determination unit 6 performs threshold determination on each output value. For example, the threshold value determination is performed based on the output value of each gas sensor when a certain time (30 seconds or 60 seconds) has elapsed since the output exceeding the positive threshold value in any of the gas sensors. After that, the gas type of the determination target gas is specified by referring to the stored correspondence relationship (pattern of the threshold determination result) and the result of the threshold determination for each output value. That is, the gas type in which the pattern of the threshold determination result and the pattern of the threshold determination result match is specified as the gas type of the determination target gas type.

例えば、検出器２が、以下の１０個のガスセンサを備えている場合、その１０個のガスセンサにおけるガス種ごとの閾値に対する対応関係表（閾値判定結果パターン）は、次の表１のようになる。
〔ガスセンサの種類〕
・ＮＨ_３センサ（検知対象ガスがＮＨ_３、表１におけるＮＨ_３）
・Ｏ_３センサ（検知対象ガスがＯ_３、表１におけるＯ_３）
・ＰＨ_３センサ（検知対象ガスがＰＨ_３、表１におけるＰＨ_３）
・ＨＣｌセンサ（検知対象ガスがＨＣｌ、表１におけるＨＣｌ）
・Ｅ２０Ｃセンサ（検知対象ガスがトルエンを主としたアルコール等を除く有機溶剤、表１におけるＥ２０Ｃ）
・ＨＦセンサ（検知対象ガスがＨＦ、表１におけるＨＦ）
・Ｈ_２Ｓセンサ（検知対象ガスがＨ_２Ｓ、表１におけるＨ_２Ｓ）
・Ｃｌ_２センサ（検知対象ガスがＣｌ_２、表１におけるＣｌ_２）
・ＮＯセンサ（検知対象ガスがＮＯ、表１におけるＮＯ）
・Ｅ２０センサ（検知対象ガスがエタノールを主とした有機溶剤、表１におけるＥ２０） For example, when the detector 2 includes the following 10 gas sensors, the correspondence table (threshold determination result pattern) for the thresholds for each gas type in the 10 gas sensors is as shown in Table 1 below. ..
[Type of gas sensor]
· NH ₃ sensor (detection target gas is NH _3, _NH 3 in Table 1)
· _{O 3} sensor (detection target gas is _{O 3,} _O 3 in Table 1)
· PH ₃ sensors (detection target gas is PH _3, _PH 3 in Table 1)
・HCl sensor (gas to be detected is HCl, HCl in Table 1)
・E20C sensor (gas to be detected is an organic solvent mainly composed of toluene, excluding alcohol, E20C in Table 1)
・HF sensor (gas to be detected is HF, HF in Table 1)
· _{H 2} S sensor (detection target gas is _{_H} 2 S, _H 2 S in Table 1)
· Cl ₂ sensor (detection target gas is Cl _2, _Cl 2 in Table 1)
-NO sensor (gas to be detected is NO, NO in Table 1)
・E20 sensor (gas to be detected is an organic solvent mainly composed of ethanol, E20 in Table 1)

ここで、表１におけるＭａｘが正の閾値を超える場合（つまり、正の応答を示す場合）であり、Ｍｉｎが負の閾値を下回る場合（つまり、負の応答を示す場合）であり、Ｎｏｒｍが正の閾値と負の閾値との間の出力値を示す場合（つまり、感度に乏しい場合）、空白は出力値がどのような値であってもガス種の特定とは無関係であることを意味する。そして、アルゴリズム判定の欄は、各ガスセンサの閾値判定の結果がそこに示されているパターンを示すことにより特定されるガス種である。ガス種が複数記載されている場合は、そのいずれか一方、又は両方が含まれていることを示す。 Here, Max in Table 1 is above a positive threshold value (that is, a positive response is shown), Min is below a negative threshold value (that is, a negative response is shown), and Norm is When showing an output value between a positive threshold and a negative threshold (that is, when the sensitivity is poor), the blank means that whatever the output value is, it is irrelevant to the identification of the gas species. To do. Then, the column of the algorithm determination is the gas type specified by the result of the threshold determination of each gas sensor showing the pattern shown therein. When a plurality of gas species are described, it indicates that either one or both of them is included.

例えば、入力された出力値の閾値判定の結果が、少なくともＰＨ_３センサについては正の閾値を上回る出力値を示し、少なくともＮＨ_３センサ、Ｏ_３センサ、ＨＣｌセンサ、ＨＦセンサ、Ｈ_２Ｓセンサ及びＣｌ_２センサについては正の閾値と負の閾値との間の出力値を示すものであったとき（表１のＮｏ．３）は、判定部６は判定対象ガスのガス種をＰＨ_３と特定する。また、少なくともＯ_３センサ及びＣｌ_２センサについては負の閾値を上回る出力値を示し、少なくともＰＨ_３センサ、Ｈ_２Ｓセンサ及びＮＯセンサについては正の閾値を上回る出力値を示し、少なくともＮＨ_３センサについては正の閾値と負の閾値との間の出力値を示すものであるとき（表１のＮｏ．８）は、判定部６は判定対象ガスのガス種をＨ_２Ｓと特定する。なお、閾値判定の結果が表１のいずれのパターンにも当てはまらなかった場合は、複数種のガス種が含まれていると判定する。 For example, the result of the threshold value determination of the input output value indicates an output value exceeding a positive threshold value for at least the PH ₃ sensor, and at least the NH ₃ sensor, O ₃ sensor, HCl sensor, HF sensor, H ₂ S sensor, and When the Cl ₂ sensor indicates an output value between a positive threshold value and a negative threshold value (No. 3 in Table 1), the determination unit 6 identifies the gas type of the determination target gas as PH _3. To do. Further, at least an O ₃ sensor and a Cl ₂ sensor exhibit an output value exceeding a negative threshold value, at least a PH ₃ sensor, an H ₂ S sensor and an NO sensor exhibiting an output value exceeding a positive threshold value, and at least an NH ₃ sensor. Regarding the output value between the positive threshold value and the negative threshold value (No. 8 in Table 1), the determination unit 6 identifies the gas type of the determination target gas as H ₂ S. In addition, when the result of the threshold determination does not match any of the patterns in Table 1, it is determined that a plurality of types of gas are included.

具体的なガス種特定の手順を、上記１０種のガスセンサを備える検出器２を用いてある判定対象ガスの測定を行ったときの各ガスセンサの出力を示す図３を例に説明する。まず、検出器２による測定を開始すると、その応答として、測定しているガス種に対し正の応答を示すガスセンサについて出力が生じる。そして、あるガスセンサ（図３ではＮＯセンサ）の出力値が正の閾値として設定した２５％ＦＳ（フルスケールの２５％の出力値）を超えると（図３におけるＴ１）、時間計測を開始し、その時点Ｔ１から６０秒経過した時点Ｔ２における各ガスセンサの出力値に基づいて閾値判定を行う。そうすると、時点Ｔ２における閾値判定の結果は、ＰＨ_３センサ、Ｅ２０Ｃセンサ、ＮＯセンサ、Ｅ２０センサについては正の閾値を超えている（Ｍａｘ）と判定され、他のセンサについては正の閾値と負の閾値との間の出力値を示す（Ｎｏｒｍ）と判定される。そして、この判定結果を表１の対応関係表と照合して、判定結果と合致する閾値判定結果パターンがあるかを判定する。図３の場合、少なくともＰＨ_３センサについては正の閾値を上回る出力値を示し、少なくともＮＨ_３センサ、Ｏ_３センサ、ＨＣｌセンサ、ＨＦセンサ、Ｈ_２Ｓセンサ及びＣｌ_２センサについては正の閾値と負の閾値との間の出力値を示すものであるＮｏ．３の閾値判定結果パターンに合致するため、判定対象ガスのガス種がＰＨ_３であると特定される。 A specific procedure for identifying a gas type will be described with reference to FIG. 3 showing an output of each gas sensor when a certain gas to be determined is measured using the detector 2 including the above-mentioned 10 types of gas sensors. First, when the measurement by the detector 2 is started, as a response, an output is generated from a gas sensor that exhibits a positive response to the gas type being measured. Then, when the output value of a certain gas sensor (NO sensor in FIG. 3) exceeds 25% FS (25% output value of full scale) set as a positive threshold value (T1 in FIG. 3), time measurement is started, Threshold determination is performed based on the output value of each gas sensor at time T2 when 60 seconds have passed from time T1. Then, the result of the threshold value determination at the time point T2 is determined to exceed the positive threshold value (Max) for the PH ₃ sensor, the E20C sensor, the NO sensor, and the E20 sensor, and the positive threshold value and the negative value for the other sensors. It is determined to be (Norm) indicating an output value between the threshold and the threshold. Then, this determination result is collated with the correspondence table of Table 1 to determine whether there is a threshold determination result pattern that matches the determination result. In the case of FIG. 3, at least the PH ₃ sensor shows an output value exceeding the positive threshold value, and at least the NH ₃ sensor, the O ₃ sensor, the HCl sensor, the HF sensor, the H ₂ S sensor, and the Cl ₂ sensor have positive threshold values. No. that indicates an output value between a negative threshold value and Since it matches the threshold determination result pattern of No. ₃ , the gas type of the determination target gas is specified to be PH ₃ .

また、例えば、検出器２が、以下の５個のガスセンサを備えている場合、その５個のガスセンサにおけるガス種ごとの閾値に対する対応関係表（閾値判定結果パターン）は、次の表２のようになる。
〔ガスセンサの種類〕
・ＮＨ_３センサ（検知対象ガスがＮＨ_３、表１におけるＮＨ_３）
・Ｏ_３センサ（検知対象ガスがＯ_３、表１におけるＯ_３）
・ＰＨ_３センサ（検知対象ガスがＰＨ_３、表１におけるＰＨ_３）
・ＨＣｌセンサ（検知対象ガスがＨＣｌ、表１におけるＨＣｌ）
・Ｅ２０Ｃセンサ（検知対象ガスがトルエンを主としたアルコール等を除く有機溶剤、表１におけるＥ２０Ｃ） Further, for example, when the detector 2 includes the following five gas sensors, the correspondence table (threshold determination result pattern) for the thresholds for each gas type in the five gas sensors is as shown in Table 2 below. become.
[Type of gas sensor]
· NH ₃ sensor (detection target gas is NH _3, _NH 3 in Table 1)
· _{O 3} sensor (detection target gas is _{O 3,} _O 3 in Table 1)
· PH ₃ sensors (detection target gas is PH _3, _PH 3 in Table 1)
・HCl sensor (gas to be detected is HCl, HCl in Table 1)
E20C sensor (gas to be detected is an organic solvent mainly composed of toluene, excluding alcohol, E20C in Table 1)

ここで、表２におけるＭａｘ／Ｎｏｒｍは出力値が正の閾値を超えるか、又は正の閾値と負の閾値との間の出力値を示す場合（つまり、負の閾値以上の出力値を示す場合）であることを意味し、Ｍｉｎ／Ｎｏｒｍは出力値が負の閾値を下回るか、又は正の閾値と負の閾値との間の出力値を示す場合（つまり、正の閾値未満の出力値を示す場合）であることを意味する。 Here, Max/Norm in Table 2 indicates that the output value exceeds the positive threshold value or indicates the output value between the positive threshold value and the negative threshold value (that is, the output value is equal to or more than the negative threshold value). ), Min/Norm indicates that the output value is below the negative threshold value or indicates an output value between the positive threshold value and the negative threshold value (i.e., an output value below the positive threshold value). (When indicated) is meant.

例えば、入力された出力値の閾値判定の結果が、少なくともＰＨ_３センサについては正の閾値を上回る出力値を示し、ＮＨ_３センサ、Ｏ_３センサ、ＨＣｌセンサについては正の閾値と負の閾値との間の出力値を示し、Ｅ２０Ｃセンサについて少なくとも負の閾値以上の出力値を示すものであったとき（表２のＮｏ．４）は、判定部６は判定対象ガスのガス種をＰＨ_３と特定する。また、ＮＨ_３センサについては正の閾値と負の閾値との間の出力値を示し、Ｏ_３センサについては正の閾値未満の出力値を示し、ＰＨ_３センサ、ＨＣｌセンサ及びＥ２０Ｃセンサについては正の閾値を上回る出力値を示すものであったとき（表２のＮｏ．９）は、判定部６は判定対象ガスのガス種をＨ_２Ｓと特定する。 For example, the result of the threshold value determination of the input output value indicates an output value that exceeds a positive threshold value for at least the PH ₃ sensor, and a positive threshold value and a negative threshold value for the NH ₃ sensor, O ₃ sensor, and HCl sensor. When the output value of the E20C sensor is at least a negative threshold value or more (No. 4 in Table 2), the determination unit 6 determines that the gas type of the determination target gas is PH ₃ . Identify. Further, the NH ₃ sensor shows an output value between a positive threshold value and a negative threshold value, the O ₃ sensor shows an output value less than the positive threshold value, and the PH ₃ sensor, the HCl sensor, and the E20C sensor have a positive value. When the output value exceeds the threshold value (No. 9 in Table 2), the determination unit 6 identifies the gas type of the determination target gas as H ₂ S.

なお、１０個のガスセンサを用いる場合も５個のガスセンサを用いる場合と同様にＭａｘ／Ｎｏｒｍ、Ｍｉｎ／Ｎｏｒｍとの基準を表１の空白部分等に追加するようにしてもよい。 When using 10 gas sensors, the criteria of Max/Norm and Min/Norm may be added to the blank portions of Table 1 or the like as in the case of using 5 gas sensors.

次に、各ガスセンサの出力値の傾向を利用したガス種の特定方法の他の一例として、各出力値間の比率を利用してガス種の特定を行う手順について説明する。閾値判定を用いた手段では、ガス種の判定のために、少なくとも閾値を超える程度の出力が得られるガス濃度が必要となるところ、各出力値間の比率を利用する手段では、閾値判定を用いた手段の判定に必要な濃度を下回るガス濃度であっても、出力値の比率さえ判別できれば、判定対象ガスのガス種を特定することができるという利点がある。以下、各出力値間の比率に基づくガス種の特定の手順について説明する。 Next, as another example of the method of identifying a gas type using the tendency of the output value of each gas sensor, a procedure of identifying a gas type using the ratio between the output values will be described. The means that uses the threshold value judgment requires a gas concentration for obtaining at least an output exceeding the threshold value for judging the gas type, but the means that uses the ratio between the output values uses the threshold value judgment. Even if the gas concentration is lower than the concentration required for the determination by the means, the gas type of the determination target gas can be specified as long as the ratio of the output values can be determined. Hereinafter, the procedure for identifying the gas type based on the ratio between the output values will be described.

〈各出力値間の比率に基づくガス種の特定〉
上記したように、あるガス種について、正の応答を示すガスセンサ、負の応答を示すガスセンサ、感度の乏しいガスセンサの種類は決まっているが、さらに、正の応答を示すガスセンサ及び負の応答を示すガスセンサの中では、当該ガス種の濃度にかかわらず、各ガスセンサ間の出力値の比率は決まっている。例えば、図４，５は、各濃度におけるＣｌ_２ガスに対するＣｌ_２センサ、Ｈ_２Ｓセンサ及びＨＦセンサの出力を示すグラフであり、図４，５によれば、Ｃｌ_２センサに対するＨ_２Ｓセンサ及びＨＦセンサの出力値の比率はＣｌ_２ガスの濃度が０．３ｐｐｍと０．５ｐｐｍのときとでほぼ同じとなっている。そして、発明者による実験の結果、Ｃｌ_２センサに対するＨ_２Ｓセンサ及びＨＦセンサの出力値の比率は、Ｃｌ_２センサの出力値を１００％とすると、Ｃｌ_２センサの出力値に対してＨ_２Ｓセンサの出力値は−５０〜−３０％であり、ＨＦセンサの出力値は８０〜１００％になることが求められた。これを利用すれば、Ｃｌ_２センサ、Ｈ_２Ｓセンサ及びＨＦセンサ間の出力値の比率がこの比率に収まるときには、判定対象ガスのガス種がＣｌ_２ガスであることが特定できることとなる。つまり、各ガスセンサ間の出力値の比率がわかれば、判定対象ガスのガス種を特定することが可能となる。 <Identification of gas type based on ratio between output values>
As described above, for certain gas types, the type of gas sensor that shows a positive response, the gas sensor that shows a negative response, and the gas sensor with poor sensitivity is fixed, but further, a gas sensor that shows a positive response and a gas sensor that shows a negative response are shown. In the gas sensor, the ratio of output values between the gas sensors is fixed regardless of the concentration of the gas species. For example, FIGS. 4 and 5 are graphs showing the outputs of the Cl ₂ sensor, the H ₂ S sensor, and the HF sensor with respect to the Cl ₂ gas at each concentration, and according to FIGS. 4 and 5, the H ₂ S sensor with respect to the Cl ₂ sensor. And the ratio of the output values of the HF sensor are almost the same when the Cl ₂ gas concentration is 0.3 ppm and 0.5 ppm. Then, the inventors by the results of experiments, the ratio of the output value of the _{H 2} S sensor and HF sensor for Cl ₂ sensor when the output value of Cl ₂ sensor and 100%, _{H 2} for the output values of the Cl ₂ sensor The output value of the S sensor was -50 to -30%, and the output value of the HF sensor was required to be 80 to 100%. By using this, when the ratio of the output values among the Cl ₂ sensor, the H ₂ S sensor, and the HF sensor falls within this ratio, it is possible to specify that the gas type of the determination target gas is Cl ₂ gas. That is, if the ratio of the output values between the gas sensors is known, the gas type of the determination target gas can be specified.

そこで、本実施形態のガス分析システム１では、まず、実験の結果等に基づいて、判定対象とするガス種についてガスセンサの特定の組み合わせを定め（例えば、当該ガス種に対して感度の高いガスセンサの組み合わせなど）、その組み合わせの中の各ガスセンサ間の出力値の比率と当該ガス種との対応関係を求める。そして、データベース（記憶部５）に、これら判定対象とするガス種について定めたガスセンサの特定の組み合わせと、当該ガス種に対する当該組み合わせの中の各ガスセンサ間の出力値の比率とを、判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各ガスセンサの出力値の傾向との対応関係として記憶する。つまり、判定対象のガス種ごとに、どの種類のガスセンサを用いてその出力値間の比率を求めるのかと、そのガス種に対応する出力値間の比率をデータベース（記憶部５）に記憶する。そして、検出器２から出力信号σの入力があったときは、判定部６は、記憶してある対応関係と当該組み合わせの中の出力値の比率とに基づいて判定対象ガスのガス種を特定する。 Therefore, in the gas analysis system 1 of the present embodiment, first, based on the results of the experiment, a specific combination of gas sensors is determined for the gas type to be determined (for example, a gas sensor with high sensitivity to the gas type is determined). (Combination, etc.), and the correspondence relationship between the ratio of the output values between the gas sensors in the combination and the gas type. Then, in the database (storage unit 5), a specific combination of gas sensors defined for these gas types to be determined and the ratio of the output value between the gas sensors in the combination to the gas type are determined as the determination targets. It is stored as a correspondence relationship between the gas type to be operated and the tendency of the output value of each gas sensor for the gas type. That is, for each gas type to be determined, which type of gas sensor is used to determine the ratio between the output values and the ratio between the output values corresponding to the gas type are stored in the database (storage unit 5). Then, when the output signal σ is input from the detector 2, the determination unit 6 identifies the gas type of the determination target gas based on the stored correspondence relationship and the ratio of the output values in the combination. To do.

例えば、判定部６は、いずれかのガスセンサから何らかの出力があったときからその後一定時間（３０秒や６０秒）経過したときの各ガスセンサの出力値に基づいてガス種の特定を行うこととする。そして、その一定時間経過後の各ガスセンサの出力値から、判別対象のガス種ごとに、そのガス種について定めたガスセンサの組み合わせにおける出力値間の比率を求める。その比率が記憶してある当該ガス種に対応する出力値間の比率に合致するか（その範囲内に収まるか）を順次判定し、合致するものがあったときに、判定対象ガスのガス種がその合致するガス種であると特定する。例えば、Ｃｌ_２センサ、Ｈ_２Ｓセンサ及びＨＦセンサの出力が、Ｃｌ_２センサの出力値を１００％としたとき、Ｈ_２Ｓセンサの出力値が−５０〜−３０％で、ＨＦセンサの出力値が８０〜１００％の比率に収まるのであれば、判定対象ガスのガス種がＣｌ_２ガスであることが特定される。 For example, the determination unit 6 determines the gas type based on the output value of each gas sensor when a certain time (30 seconds or 60 seconds) has elapsed after any output from any gas sensor. .. Then, from the output value of each gas sensor after the lapse of the certain period of time, the ratio between the output values in the combination of gas sensors defined for the gas type is determined for each gas type to be determined. Whether the ratio matches the stored ratio of output values corresponding to the gas type (whether it falls within that range) is sequentially determined, and if there is a match, the gas type of the gas to be determined Is the matching gas species. For example, regarding the outputs of the Cl ₂ sensor, the H ₂ S sensor, and the HF sensor, the output value of the H ₂ S sensor is −50 to −30% when the output value of the Cl ₂ sensor is 100%, and the output of the HF sensor is If the value falls within the ratio of 80 to 100%, it is specified that the gas type of the determination target gas is Cl ₂ gas.

〈特定したガス種の濃度の算出〉
次に、上記いずれかの手段でガス種の特定をした後に、その特定したガス種の濃度を算出する手順について説明する。一般に、ガスセンサの出力値は検知対象のガスの濃度と相関するので、この相関関係を利用して、ガスセンサの出力値から濃度を求めることができる。そのため、本実施形態に係るガス分析システム１では、ガス種によっては複数のガスセンサからの出力があることを考慮して、判定対象とするガス種ごとにその濃度を算出するときの基準とする主のガスセンサを定めておく。例えば、主のガスセンサとするガスセンサとしては、当該ガス種に対する感度が高いガスセンサなどが挙げられる。さらに、この主のガスセンサの出力値と当該ガス種の濃度との相関関係も求めておき、データベース（記憶部５）に、ガス種ごとの主のガスセンサの種類とその出力値と当該ガス種の濃度との相関関係とを濃度算出情報として記憶する。これにより、判定部６は、判定対象ガスのガス種を特定したときに、この濃度算出情報に基づいて、主のガスセンサの出力値を用いてガス種の濃度を算出する。 <Calculation of concentration of specified gas type>
Next, a procedure for specifying the gas species by any of the above means and then calculating the concentration of the specified gas species will be described. Generally, the output value of the gas sensor correlates with the concentration of the gas to be detected, and thus the correlation can be used to determine the concentration from the output value of the gas sensor. Therefore, in the gas analysis system 1 according to the present embodiment, considering that there are outputs from a plurality of gas sensors depending on the gas type, the gas analysis system 1 is mainly used as a reference when calculating the concentration of each gas type to be determined. The gas sensor of is specified. For example, as a gas sensor used as a main gas sensor, a gas sensor having a high sensitivity to the gas type may be used. Furthermore, the correlation between the output value of the main gas sensor and the concentration of the gas type is also obtained, and the database (storage unit 5) stores the type of the main gas sensor for each gas type, its output value, and the gas type. The correlation with the density is stored as the density calculation information. Accordingly, when the gas type of the determination target gas is specified, the determination unit 6 calculates the concentration of the gas type using the output value of the main gas sensor based on this concentration calculation information.

ただし、この場合、ガスセンサは対象ガスの濃度に比例してその出力も変化するが、その出力値にはフルスケールと呼ばれる検出限界値があり、この検出限界値を超える以上の濃度を測定することはできないという問題がある。そして、精度よく濃度を算出するためには、その対象のガス種に対して感度の高いガスセンサを主のガスセンサに用いることが好ましいのであるが、感度が高い分だけ、検出限界値に達しやすくなる。そこで、本実施形態に係るガス分析システム１では主のガスセンサの他に、判定対象とするガス種ごとにサブのガスセンサを定めている。また、そのサブのガスセンサの出力値と当該ガス種の濃度との相関関係も求めておき、データベース（記憶部５）に、ガス種ごとのサブのガスセンサの種類とその出力値と当該ガス種の濃度との相関関係とをさらに濃度算出情報として記憶してある。これにより、判定部６は、主のガスセンサの出力値が検出限界値に達していたときは、この濃度算出情報に基づいて、サブのガスセンサの出力値を用いてガス種の濃度を算出する。 However, in this case, the output of the gas sensor also changes in proportion to the concentration of the target gas, but there is a detection limit value called full scale in the output value, and it is necessary to measure the concentration above this detection limit value. There is a problem that you can not. Then, in order to calculate the concentration with high accuracy, it is preferable to use a gas sensor having high sensitivity for the target gas species as the main gas sensor, but the higher the sensitivity, the easier it is to reach the detection limit value. .. Therefore, in the gas analysis system 1 according to the present embodiment, in addition to the main gas sensor, a sub gas sensor is determined for each gas type to be determined. Further, the correlation between the output value of the sub gas sensor and the concentration of the gas type is also obtained, and the database (storage unit 5) stores the type of the sub gas sensor for each gas type, its output value, and the gas type. The correlation with the density is further stored as density calculation information. Thus, when the output value of the main gas sensor has reached the detection limit value, the determination unit 6 calculates the concentration of the gas species using the output value of the sub gas sensor based on this concentration calculation information.

例えば、ＰＨ_３ガスの場合を例に、このサブのガスセンサによる濃度算出について説明する。図６〜８は、各濃度におけるＰＨ_３ガスに対するＰＨ_３センサ（１．０ｐｐｍＦ．Ｓ．）及びＮＯセンサ（０．５ｐｐｍＦ．Ｓ．）の出力を示すグラフである。なお、１．０ｐｐｍＦ．Ｓ．とは、ＰＨ_３センサがフルスケール（１００％Ｆ．Ｓ．）の出力のときＰＨ_３ガスの濃度が１．０ｐｐｍであることを意味する。つまり、ＰＨ_３ガスの濃度は、ＰＨ_３センサの出力値（％Ｆ．Ｓ．）から、次の式のように求められる。 For example, taking the case of PH ₃ gas as an example, the concentration calculation by the sub gas sensor will be described. 6 to 8 are graphs showing the outputs of the PH ₃ sensor (1.0 ppmFS) and the NO sensor (0.5 ppmFS) for the PH ₃ gas at each concentration. In addition, 1.0 ppmF. S. Means that the concentration of PH ₃ gas is 1.0 ppm when the PH ₃ sensor outputs at full scale (100% FS). That is, the concentration of the PH ₃ gas is obtained from the output value (%FS) of the PH ₃ sensor by the following formula.

ＰＨ_３ガス濃度（ｐｐｍ）＝ＰＨ_３センサ出力／１００×１．０（ｐｐｍ）（式１） PH ₃ gas concentration (ppm)=PH ₃ sensor output/100×1.0 (ppm) (Equation 1)

なお、ＰＨ_３センサは、１５０％Ｆ．Ｓ．が検出限界値であり、これを超えると出力が頭打ちになってしまい、そうすると、ガス濃度を正確に算出できなくなる。例えば、ＰＨ_３ガスの濃度が０．３ｐｐｍのとき（図６）と１．０ｐｐｍのとき（図７）のときは、その出力値は検出限界値まで達しておらず、出力値がＰＨ_３ガスの濃度を反映したものとなっているが、ＰＨ_３ガスの濃度が２．０ｐｐｍのとき（図８）は、その出力値が検出限界値（１５０％Ｆ．Ｓ．）を超え頭打ちになっており、出力値がＰＨ_３ガスの濃度を反映したものとなっていない。 The PH ₃ sensor is 150% F.S. S. Is the detection limit value, and if it exceeds this value, the output will reach a peak and if this happens, the gas concentration cannot be calculated accurately. For example, when the concentration of PH ₃ gas is 0.3 ppm (FIG. 6) and 1.0 ppm (FIG. 7), the output value does not reach the detection limit value, and the output value is PH ₃ gas. However, when the concentration of PH ₃ gas was 2.0 ppm (Fig. 8), the output value exceeded the detection limit value (150%FS) and reached a peak. Therefore, the output value does not reflect the concentration of PH ₃ gas.

一方、ＮＯセンサの場合、ＰＨ_３センサに比べＰＨ_３ガスに対する感度は低いが、その分、ＰＨ_３ガスの濃度が２．０ｐｐｍのときも出力値は頭打ちとなっていない。そして、図９はＰＨ_３ガスの濃度と各センサの出力値の関係を示すグラフであるが、図９によれば、ＮＯセンサの出力値がＰＨ_３ガスの濃度とある程度比例関係にあることがわかる。そして、ＮＯセンサの出力値について近似直線を引くと、その傾きは２１．２１となる。ＰＨ_３センサの出力値についての傾きがおよそ１００であることを考えると、同じ濃度のＰＨ_３ガスを検知しているとき、ＰＨ_３センサの出力値は、ＮＯセンサの出力値の１００／２１．２１倍の値となるといえる（ＰＨ_３センサ出力＝ＮＯセンサ出力×（１００／２１．２１））。そうすると、上記式１を用いれば、ＰＨ_３ガスとＮＯセンサの出力値（％Ｆ．Ｓ．）との関係は、次の式のようになる。 On the other hand, in the case of the NO sensor, the sensitivity to PH ₃ gas is lower than that of the PH ₃ sensor, but the output value does not reach the peak even when the concentration of PH ₃ gas is 2.0 ppm. 9 is a graph showing the relationship between the concentration of PH ₃ gas and the output value of each sensor. According to FIG. 9, the output value of the NO sensor is proportional to the concentration of PH ₃ gas to some extent. Recognize. Then, when an approximate straight line is drawn for the output value of the NO sensor, the inclination becomes 21.21. Considering that the slope of the output value of the PH ₃ sensor is about 100, when the PH ₃ gas of the same concentration is detected, the output value of the PH ₃ sensor is 100/21. It can be said that the value becomes 21 times (PH ₃ sensor output=NO sensor output×(100/21.21)). Then, using the above equation 1, the relationship between the PH ₃ gas and the output value (%FS) of the NO sensor is as follows.

ＰＨ_３ガス濃度（ｐｐｍ）＝ＮＯセンサ出力／２１．２１×１．０（ｐｐｍ）（式２） PH ₃ gas concentration (ppm)=NO sensor output/21.21×1.0 (ppm) (Equation 2)

このように、ＰＨ_３センサによる濃度算出よりも制度は劣るものであっても、上記式２に基づき、ＮＯセンサの出力値からもＰＨ_３ガスの濃度を算出することが可能である。そこで、ＰＨ_３ガスの濃度算出における主のガスセンサをＰＨ_３センサとすること、ＮＯセンサをそのサブのガスセンサとすること、及び上記した式１，２のＰＨ_３ガスの濃度とＰＨ_３センサ及びＮＯセンサの出力値との関係を濃度算出情報としてデータベース（記憶部５）に記憶しておけば、判定部６により、ＰＨ_３センサの出力値が検出限界値に達するまでは、ＰＨ_３センサの出力値から上記式１に基づきＰＨ_３ガスの濃度が算出され、ＰＨ_３センサの出力値が検出限界値に達したときは、ＮＯセンサの出力値から上記式２に基づきガス濃度が算出されることになる。 As described above, even if the system is inferior to the concentration calculation by the PH ₃ sensor, the concentration of the PH ₃ gas can be calculated from the output value of the NO sensor based on the above equation 2. Therefore, in the calculation of the concentration of the PH ₃ gas, the main gas sensor is the PH ₃ sensor, the NO sensor is the sub gas sensor thereof, and the concentrations of the PH ₃ gas and the PH ₃ sensor and the NO in the above equations 1 and 2 are used. If the relationship between the output value of the sensor and the output value of the sensor is stored in the database (storage unit 5) as the concentration calculation information, the determination unit 6 outputs the output of the PH ₃ sensor until the output value of the PH ₃ sensor reaches the detection limit value. The concentration of the PH ₃ gas is calculated from the value based on the above equation 1, and when the output value of the PH ₃ sensor reaches the detection limit value, the gas concentration is calculated from the output value of the NO sensor based on the above equation 2. become.

〈ＰＩＤセンサを利用したガス分析〉
光イオン化センサ（ＰＩＤセンサ）は、有機溶剤を中心に多くのガスに反応するセンサであり、単一のセンサで様々なガス種の濃度分析が可能となる利点がある。しかし、その出力値からおおまかなガス種の絞り込みは可能であっても、確度高くガス種の判定をすることはできない問題がある。これに対し、発明者は、ＰＩＤセンサが検知可能なガス種を検知対象ガスとしないガスセンサであっても、上記と同様の要領でこれらのガスセンサの各ガスセンサからの出力値の傾向から当該ガス種の特定が可能であることを見出した。つまり、複数のガスセンサからの出力値の傾向とガス種との対応関係を求めるにしても、判定しようとするガス種を多くするとその判定基準が複雑になったり、他のガス種との区別がつきにくくなり、確度高く判定できない虞があるが、ＰＩＤセンサを用いることで、ＰＩＤセンサの出力があったときは、少なくともＰＩＤセンサが検知できるガス種であることが絞り込める（反対に、ＰＩＤセンサの出力がないときは、少なくともＰＩＤセンサが検知できないガス種であることが絞り込めることになる）。そして、ガス種を絞り込むことで、区別しなければならないガス種の数が減るから、複数のガスセンサからの出力値の傾向とガス種との対応関係を求めるのが容易となる。その結果、ＰＩＤセンサが検知可能なガス種を検知対象ガスとしないガスセンサであっても、これらのガスセンサの各ガスセンサからの出力値の傾向から当該ガス種の特定が可能となる。 <Gas analysis using PID sensor>
The photoionization sensor (PID sensor) is a sensor that reacts with many gases centered on an organic solvent, and has an advantage that it is possible to analyze the concentration of various gas species with a single sensor. However, even if it is possible to roughly narrow down the gas type from the output value, there is a problem that the gas type cannot be determined with high accuracy. On the other hand, the inventor has found that even in the case of a gas sensor that does not use a gas type that can be detected by the PID sensor as a detection target gas, the gas type can be detected from the tendency of the output value from each gas sensor in the same manner as described above. It has been found that it is possible to identify In other words, even if the correspondence between the tendency of output values from a plurality of gas sensors and the gas type is obtained, if the number of gas types to be determined is large, the determination criteria will become complicated, and it will be difficult to distinguish from other gas types. Although there is a possibility that it will be hard to attach and it may not be possible to judge with high accuracy, by using the PID sensor, at least when the PID sensor outputs, it is possible to narrow down the gas types that can be detected by the PID sensor. If there is no output of, it means that at least the gas species that cannot be detected by the PID sensor can be narrowed down. Further, by narrowing down the gas types, the number of gas types that must be distinguished is reduced, so that it becomes easy to find the correspondence between the tendency of the output values from the plurality of gas sensors and the gas types. As a result, even with a gas sensor that does not use a gas type that can be detected by the PID sensor as a detection target gas, it is possible to identify the gas type from the tendency of the output value from each gas sensor of these gas sensors.

そこで、本実施形態に係るガス分析システム１では、検出器２が少なくとも一つのＰＩＤセンサを備えたものとしてある。本実施形態では、１０ｐｐｍＦ．Ｓ．イソブチレンのＰＩＤセンサを用いる。また、ＰＩＤセンサが検知可能なガス種とＰＩＤセンサ以外の所定のガスセンサの出力値の傾向との対応関係を求めておき、これをデータベース（記憶部５）に記憶してある。そして、判定部６は、ＰＩＤセンサの出力があったときに、この対応関係と所定のガスセンサにおける出力値の傾向とに基づいて判定対象ガスのガス種を特定する。さらに、データベースには、判定対象とするガス種の濃度とＰＩＤセンサの出力値との相関関係を記憶してあり、判定部６は、判定対象ガスのガス種を特定したとき、この相関関係に基づいて、ＰＩＤセンサの出力値を用いてガス種の濃度を算出する。ガス種の濃度の算出は、ガス種ごとに係数が決まっており、その係数を出力値にかけることにより、そのガス種の濃度を算出する。具体的には、１０ｐｐｍＦ．Ｓ．イソブチレンのＰＩＤセンサを用いた場合、次のような式で、ガス種の濃度が求められる。 Therefore, in the gas analysis system 1 according to this embodiment, the detector 2 is provided with at least one PID sensor. In this embodiment, 10 ppmF. S. An isobutylene PID sensor is used. Further, the correspondence relationship between the gas type that can be detected by the PID sensor and the tendency of the output value of a predetermined gas sensor other than the PID sensor is obtained and stored in the database (storage unit 5). Then, when there is an output from the PID sensor, the determination unit 6 identifies the gas type of the determination target gas based on this correspondence relationship and the tendency of the output value of the predetermined gas sensor. Further, the database stores the correlation between the concentration of the gas type to be determined and the output value of the PID sensor, and the determination unit 6 determines the correlation when the gas type of the determination target gas is specified. Based on this, the concentration of the gas species is calculated using the output value of the PID sensor. In the calculation of the concentration of the gas species, the coefficient is determined for each gas species, and the output value is multiplied by the coefficient to calculate the concentration of the gas species. Specifically, 10 ppmF. S. When the isobutylene PID sensor is used, the concentration of the gas species can be obtained by the following formula.

ガス濃度（ｐｐｍ）＝係数×ＰＩＤセンサ出力値／１００×１０（ｐｐｍ）（式３） Gas concentration (ppm)=coefficient×PID sensor output value/100×10 (ppm) (Equation 3)

例えば、ＰＩＤセンサが検知可能なガス種と対応付けるＰＩＤセンサ以外の所定のガスセンサの出力値の傾向としては、そのガス種に対するＥ２０センサとＥ２０Ｃセンサとの出力値の比率が挙げられる。図１０，１１は、ＰＩＤセンサが検知可能なガス種の濃度とＥ２０センサ及びＥ２０Ｃセンサの出力値との関係を示す。図１０，１１から明らかなように、Ｅ２０センサとＥ２０Ｃセンサとでは、対象ガスがアルコールかアルコールでないかによってその感度に大きな違いがあり、Ｅ２０センサとＥ２０Ｃセンサとの出力値の比率は異なっている。 For example, the tendency of the output value of a predetermined gas sensor other than the PID sensor that is associated with the gas type that can be detected by the PID sensor includes the ratio of the output values of the E20 sensor and the E20C sensor to the gas type. 10 and 11 show the relationship between the concentrations of gas species detectable by the PID sensor and the output values of the E20 sensor and the E20C sensor. As is clear from FIGS. 10 and 11, the E20 sensor and the E20C sensor have a large difference in sensitivity depending on whether the target gas is alcohol or alcohol, and the ratio of the output values of the E20 sensor and the E20C sensor is different. ..

一例として、トルエンを検出器２が測定しているとき、図１２に示すような出力が得られる（前半はトルエンの濃度を１ｐｐｍとし、後半はトルエンの濃度を５ｐｐｍとして測定を行った）。このとき、ＰＩＤセンサから出力が得られ、また、Ｅ２０センサとＥ２０Ｃセンサとからも出力が得られている。そして、Ｅ２０センサとＥ２０Ｃセンサとの出力値の比率はＥ２０Ｃセンサを１００％とした際にＥ２０センサは３０〜４０％となっている。一方、アセトンを検出器２が測定しているとき、図１３に示すような出力が得られる。図１２と同様に、ＰＩＤセンサから出力が得られ、また、Ｅ２０センサとＥ２０Ｃセンサとからも出力が得られている。そして、Ｅ２０センサとＥ２０Ｃセンサとの出力値の比率はＥ２０Ｃセンサを１００％とした際にＥ２０センサは４０〜５０％となっている。このように、ガス種によりＥ２０センサとＥ２０Ｃセンサとの出力値の比率は異なっている。そして、これを利用すれば、Ｅ２０Ｃセンサの出力値を１００％とした際のＥ２０センサの出力値が３０〜４０％のときはそのガス種はトルエンであり、Ｅ２０Ｃセンサの出力値を１００％とした際のＥ２０センサの出力値が４０〜５０％のときはそのガス種はアセトンであることがわかる。そこで、上記対応関係として各ガス種に対するＥ２０センサとＥ２０Ｃセンサとの出力値の比率を予め求めてデータベース（記憶部５）に記憶しておけば、検出器２から検出されたＥ２０センサとＥ２０Ｃセンサとの出力値の比率に基づいて、判定部６によるガス種の判定が可能となる。そして、さらに、判定部６は、上記式３に基づいて、データベースに記憶してあるそのガス種についての係数を用いて、ＰＩＤセンサ出力値からそのガス種の濃度を算出できる。 As an example, when toluene is being measured by the detector 2, an output as shown in FIG. 12 is obtained (measurement was performed with the concentration of toluene of 1 ppm in the first half and with the concentration of toluene of 5 ppm in the second half). At this time, the output is obtained from the PID sensor, and the output is also obtained from the E20 sensor and the E20C sensor. The ratio of the output values of the E20 sensor and the E20C sensor is 30 to 40% when the E20C sensor is set to 100%. On the other hand, when the detector 2 is measuring acetone, the output as shown in FIG. 13 is obtained. Similar to FIG. 12, output is obtained from the PID sensor, and output is also obtained from the E20 sensor and the E20C sensor. The ratio of the output values of the E20 sensor and the E20C sensor is 40 to 50% when the E20C sensor is set to 100%. Thus, the ratio of the output values of the E20 sensor and the E20C sensor differs depending on the gas type. If this is used, when the output value of the E20C sensor is 100% and the output value of the E20 sensor is 30 to 40%, the gas species is toluene, and the output value of the E20C sensor is 100%. It can be seen that when the output value of the E20 sensor is 40 to 50%, the gas species is acetone. Therefore, if the ratio of the output values of the E20 sensor and the E20C sensor for each gas type is previously obtained and stored in the database (storage unit 5) as the above correspondence relationship, the E20 sensor and the E20C sensor detected by the detector 2 can be obtained. The gas type can be determined by the determination unit 6 based on the ratio of the output values of and. Further, the determination unit 6 can calculate the concentration of the gas species from the PID sensor output value by using the coefficient for the gas species stored in the database based on the above Expression 3.

〔その他の実施形態〕
最後に、本発明に係るガス分析システム及びガス分析方法のその他の実施形態について説明する。なお、以下のそれぞれの実施形態で開示される構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示される構成と組み合わせて適用することも可能である。 [Other Embodiments]
Finally, other embodiments of the gas analysis system and the gas analysis method according to the present invention will be described. Note that the configurations disclosed in the respective embodiments below can be applied in combination with the configurations disclosed in the other embodiments as long as no contradiction occurs.

（１）上述の実施形態では、判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各ガスセンサの出力値の傾向との対応関係を利用したガス種の特定の手法として、閾値判定に基づくガス種の特定、各出力値間の比率に基づくガス種の特定を例に説明した。しかし、本発明の実施形態はこれに限定されず、判定対象とするガス種と当該ガス種に対する各ガスセンサの出力値の傾向との対応関係を利用してガス種の特定が可能なものであればどのようなものであってもよい。 (1) In the above-described embodiment, as a method of identifying a gas type using a correspondence relationship between a gas type to be determined and a tendency of an output value of each gas sensor with respect to the gas type, a gas type is identified based on threshold determination. The specification of the gas type based on the ratio between the output values has been described as an example. However, the embodiment of the present invention is not limited to this, as long as the gas type can be specified by utilizing the correspondence relationship between the gas type to be determined and the tendency of the output value of each gas sensor with respect to the gas type. It can be anything.

（２）上述の実施形態では、閾値判定に基づくガス種の特定、各出力値間の比率に基づくガス種の特定において、判定部６は、何れかのガスセンサで正の閾値を超える出力（又は出力）があったときからその後一定時間（３０秒や６０秒）経過したときの各ガスセンサの出力値に基づいてその判定を行う構成を例に説明した。しかし、本発明の実施形態はこれに限定されない。例えば、何れかのガスセンサで正の閾値を超える出力があったときからその後一定時間に至るまでの間にも、その時点での各ガスセンサの出力から同様の閾値判定や各出力値間の比率に基づくガス種の特定を行い、その結果を予測ガス種として示すことで、ガス種の早期特定を可能にしても良い。また、一定時間経過後に判定を行った後も、所定時間間隔ごとに再度判定を行い、その結果を更新するようにすることでガス種特定の精度を上げるようにしても良い。 (2) In the above-described embodiment, in the gas type identification based on the threshold value determination and the gas type identification based on the ratio between the output values, the determination unit 6 outputs any of the gas sensors that exceeds the positive threshold value (or The configuration in which the determination is performed based on the output value of each gas sensor when a predetermined time (30 seconds or 60 seconds) has elapsed after the output has been described has been described as an example. However, the embodiment of the present invention is not limited to this. For example, from the output of each gas sensor at a certain point to the same threshold value judgment or the ratio between each output value, even when the output exceeds the positive threshold value from any of the gas sensors until a certain period of time thereafter. The gas type may be specified based on the result, and the result may be shown as the predicted gas type to enable early specification of the gas type. Further, even after the determination is made after the elapse of a certain period of time, the determination may be performed again at predetermined time intervals, and the result may be updated to improve the accuracy of gas type identification.

（３）上述の実施形態では、ＰＩＤセンサを利用したガス分析において、ＰＩＤセンサ以外の所定のガスセンサの出力値の傾向としては、そのガス種に対するＥ２０センサとＥ２０Ｃセンサとの出力値の比率を用いた例を説明した。しかし、本発明の実施形態はこれに限定されず、ＰＩＤセンサ以外の所定のガスセンサの出力値の傾向は、ＰＩＤセンサが検知可能なガス種と対応付けられるものであればどのようなものであってもよい。 (3) In the above-described embodiment, in the gas analysis using the PID sensor, the ratio of the output values of the E20 sensor and the E20C sensor to the gas type is used as the tendency of the output value of the predetermined gas sensor other than the PID sensor. I explained an example. However, the embodiment of the present invention is not limited to this, and the tendency of the output value of a predetermined gas sensor other than the PID sensor may be any as long as it is associated with a gas type that can be detected by the PID sensor. May be.

（４）その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で例示であって、本発明の範囲はそれらによって限定されることはないと理解されるべきである。当業者であれば、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜改変が可能であることを容易に理解できるであろう。従って、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で改変された別の実施形態も、当然、本発明の範囲に含まれる。 (4) Regarding other configurations, it should be understood that the embodiments disclosed in the present specification are exemplifications in all respects, and the scope of the present invention is not limited thereby. Those skilled in the art will easily understand that appropriate modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. Therefore, other embodiments modified without departing from the spirit of the present invention are naturally included in the scope of the present invention.

本発明は、複数種のガスセンサを用いた判定対象ガスのガス種の特定に利用することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used to identify the gas type of a determination target gas using a plurality of types of gas sensors.

１ガス分析システム
２検出器（検出部）
４入力部
５記憶部
６判定部 1 Gas analysis system 2 Detector (detector)
4 input unit 5 storage unit 6 determination unit

Claims

A detection unit including a plurality of types of gas sensors,
An input unit for inputting the output value of each gas sensor for the gas to be determined,
A storage unit that stores a correspondence relationship between the gas type to be determined and the tendency of the output value of each gas sensor for the gas type, for each gas type,
A determination unit that identifies the gas type of the determination target gas based on the stored correspondence relationship and the tendency of the input output values.
At least one of the plurality of types of gas sensors is a gas analysis system capable of outputting a negative output value when the gas to be determined is detected .

The correspondence relationship, for each gas species to be determined, includes a correspondence relationship between the gas species and a pattern of magnitude relationship with respect to a predetermined threshold value of the output value of each gas sensor for the gas species,
The determination unit performs a threshold determination of whether or not the output value exceeds the threshold, the gas type of the determination target gas based on the correspondence and the result of the threshold determination for each output value. The gas analysis system according to claim 1, wherein

The correspondence includes a specific combination of the gas sensors defined for the gas species to be determined, and a ratio of the output value between the gas sensors in the combination for the gas species,
The gas analysis system according to claim 1, wherein the determination unit identifies the gas type of the determination target gas based on the correspondence relationship and the ratio between the output values in the combination.

The storage unit includes, for each gas type to be determined, a type of a main gas sensor serving as a reference when calculating the concentration and a correlation between the output value of the main gas sensor and the concentration of the gas type. The concentration calculation information is stored,
The said determination part calculates the density|concentration of the said gas species using the said output value of the said main gas sensor based on the said concentration calculation information, when the gas type of the said determination object gas is specified. The gas analysis system according to claim 1.

The concentration calculation information includes a type of sub gas sensor defined for each gas type to be determined and a correlation between the output value of the sub gas sensor and the concentration of the gas type,
When the output value of the main gas sensor has reached a detection limit value, the determination unit calculates the concentration of the gas species using the output value of the sub gas sensor based on the concentration calculation information. The gas analysis system according to claim 4.

The detection unit includes at least one photoionization sensor,
The correspondence includes a relationship between a gas species detectable by the photoionization sensor and a tendency of the output value of a predetermined gas sensor other than the photoionization sensor,
The said determination part specifies the gas kind of the said determination object gas based on the said correlation and the tendency of the said output value in the said predetermined gas sensor, when the output of the said photoionization sensor exists. The gas analysis system according to claim 1.

The storage unit stores a correlation between the concentration of the gas species to be determined and the output value of the photoionization sensor,
The gas analyzer according to claim 6, wherein the determination unit calculates the concentration of the gas species by using the output value of the photoionization sensor based on the correlation when the gas species of the determination target gas is specified. system.

Measuring the gas to be determined using a plurality of types of gas sensors,
A step of identifying the gas type of the determination target gas based on the relationship between the tendency of the output value of each gas sensor for the gas type to be determined and the gas type and the tendency of the output value of each of the gas sensors, Equipped with
At least one of the plurality of types of gas sensors is a gas analysis method capable of outputting a negative output value when the determination target gas is detected .