JP6724097B2 - Curable resin composition, dry film, cured product, printed wiring board and electronic component - Google Patents

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Description

本発明は硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物、プリント配線板および電子部品に関する。 The present invention relates to a curable resin composition, a dry film, a cured product, a printed wiring board and an electronic component.

近年、半導体回路等の分野おいて小型化の要求が高まっており、その要求に応えるために半導体回路はそのチップサイズに近いパッケージ(Chip Size Package)に実装されることがある。チップサイズパッケージを実現する手段の一つとして、ウエハレベルで接合し断片化するウェハレベルパッケージ(Wafer Level Package、以下、WLPと略す場合がある。)と呼ばれるパッケージ方法が提案されている。WLPは、低コスト化、小型化に寄与し得るため、注目されている。
このようなWLPに用いられるソルダーレジスト等の永久被膜には、長期にわたる高度な信頼性、具体的には高絶縁信頼性が求められる。特に、今後のWLPの高密度化に伴い、信頼性の要求は一層高まると考えられる。
In recent years, there has been an increasing demand for miniaturization in the field of semiconductor circuits and the like, and in order to meet the demand, semiconductor circuits may be mounted in a package (Chip Size Package) close to the chip size. As one of means for realizing a chip size package, a packaging method called a wafer level package (hereinafter, sometimes abbreviated as WLP) that joins and fragmentes at a wafer level has been proposed. The WLP is attracting attention because it can contribute to cost reduction and size reduction.
A permanent coating such as a solder resist used for such WLP is required to have high reliability for a long period of time, specifically, high insulation reliability. In particular, it is considered that the demand for reliability will further increase as the density of WLP becomes higher in the future.

特許5167113号公報Japanese Patent No. 5167113

しかしながら、この信頼性について、例えば、上述した特許文献1に記載の従来のソルダーレジスト用途の熱硬化性樹脂組成物などでは、近年では十分とはいえないようになってきている。
また、近年では、WLPにクラック耐性向上のためにフィラーを高充填にしたソルダーレジストが用いられるようになり、組成物として伸び率の低い組成物になる傾向にある。さらにリフロー等の熱履歴を与えた場合さらに硬化は進行し、さらに脆くなりやすい。そのため、WLPの、個片化プロセスにおけるダイシング工程ではソルダーレジストに大きな負荷かかかり、デラミやチッピング(欠け)による不良が発生しやすい。ここでデラミとは、ソルダーレジストが層間剥離を起こすことを言う。図1にダイシング工程においてデラミしたWLPの光学写真を示す。矢印で示した白い部分がソルダーレジストの剥離箇所である。
However, regarding this reliability, for example, the conventional thermosetting resin composition for use in solder resist described in Patent Document 1 described above has become insufficient in recent years.
Further, in recent years, a solder resist in which a filler is highly filled in WLP has been used to improve crack resistance, and the composition tends to have a low elongation rate. Further, when a heat history such as reflow is given, the curing further progresses and the brittleness is likely to occur. Therefore, a large load is applied to the solder resist in the dicing process of the WLP individualization process, and defects such as delamination and chipping (chips) are likely to occur. Here, delamination means that the solder resist causes delamination. FIG. 1 shows an optical photograph of WLP delaminated in the dicing process. The white portion indicated by the arrow is the peeled portion of the solder resist.

そこで本発明の目的は、高密着性、高解像性、高絶縁信頼性(HAST耐性)、高クラック耐性(TCT耐性)といったソルダーレジストに要求される性能を満足しつつ、ウエハレベルパッケージの、個片化プロセスにおけるダイシング工程でデラミやチッピングによる不良が発生しにくい、すなわち耐チッピング性の高い硬化性樹脂組成物、該硬化性樹脂組成物から得られる樹脂層を有するドライフィルム、該硬化性樹脂組成物または該ドライフィルムの樹脂層の硬化物、該硬化物を有するプリント配線板および該プリント配線板を有する電子部品を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to provide a wafer level package while satisfying the performance required for a solder resist such as high adhesion, high resolution, high insulation reliability (HAST resistance), and high crack resistance (TCT resistance). A curable resin composition having high resistance to chipping, that is, a chipping-resistant curable resin composition, a dry film having a resin layer obtained from the curable resin composition, and the curable resin It is intended to provide a cured product of a composition or a resin layer of the dry film, a printed wiring board having the cured product, and an electronic component having the printed wiring board.

本発明者等は鋭意研究開発を重ねた結果、前記イソシアヌル環を含有するエポキシ樹脂に代表される特定のエポキシ樹脂と、特定の消泡剤またはレべリング剤とを組み合わせて用いることにより、ウエハレベルパッケージの、個片化プロセスにおけるダイシング工程でデラミやチッピングによる不良が発生しにくい、すなわち耐チッピング性の高い硬化性樹脂組成物が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基含有樹脂、(B)エポキシ樹脂、(C)シリコン系またはアクリル共重合系の少なくとも一方の、消泡剤またはレべリング剤、および(D)無機フィラーを含有し、(B)エポキシ樹脂が、エポキシ当量が180g/eq.以下であり液状の非芳香族エポキシ樹脂を含有することを特徴とする。 As a result of intensive research and development by the present inventors, by using a specific epoxy resin typified by the epoxy resin containing the isocyanuric ring and a specific defoaming agent or a leveling agent in combination, a wafer The present invention has been completed by finding that it is possible to obtain a curable resin composition having high chipping resistance, which is unlikely to cause defects due to delamination or chipping in the dicing process in the individualizing process of a level package. That is, the curable resin composition of the present invention comprises (A) a carboxyl group-containing resin, (B) an epoxy resin, (C) at least one of a silicone type or an acrylic copolymer type, a defoaming agent or a leveling agent, And (D) inorganic filler, and (B) epoxy resin having an epoxy equivalent of 180 g/eq. It is characterized in that it contains the following liquid non-aromatic epoxy resin.

本発明の硬化性樹脂組成物は、前記(B)エポキシ樹脂がイソシアヌル環またはジシクロペンタジエン骨格を有することが望ましく、また前記(D)無機フィラーの含有量が25〜70質量%であることが好ましい。 In the curable resin composition of the present invention, the (B) epoxy resin preferably has an isocyanuric ring or a dicyclopentadiene skeleton, and the (D) inorganic filler content is 25 to 70 mass %. preferable.

本発明のドライフィルムは、上記硬化性樹脂組成物を、フィルムに塗布、乾燥して得られる樹脂層を有することを特徴とするものである。
また、本発明の硬化物は、上記硬化性樹脂組成物または前記ドライフィルムの樹脂層を、硬化して得られることを特徴とするものである。
また、本発明のプリント配線板は、上記硬化物を有することを特徴とするものである。
さらにまた、本発明の電子部品は、上記プリント配線板を有することを特徴とするものである。
The dry film of the present invention is characterized by having a resin layer obtained by applying the curable resin composition to a film and drying the film.
The cured product of the invention is characterized by being obtained by curing the curable resin composition or the resin layer of the dry film.
The printed wiring board of the present invention is characterized by having the above-mentioned cured product.
Furthermore, the electronic component of the present invention is characterized by having the above-mentioned printed wiring board.

本発明によれば、高密着性、高解像性、高絶縁信頼性(HAST耐性)、高クラック耐性(TCT耐性)といったソルダーレジストに要求される性能を満足しつつ、ウエハレベルパッケージの、個片化プロセスにおけるダイシング工程でデラミやチッピングによる不良が発生しにくい、すなわち耐チッピング性の高い硬化性樹脂組成物、該硬化性樹脂組成物から得られる樹脂層を有するドライフィルム、該硬化性樹脂組成物または該ドライフィルムの樹脂層の硬化物、該硬化物を有するプリント配線板および該プリント配線板を有する電子部品を得ることができる。 According to the present invention, while satisfying the performance required for the solder resist such as high adhesion, high resolution, high insulation reliability (HAST resistance), and high crack resistance (TCT resistance), the wafer level package A curable resin composition that is less likely to cause defects due to delamination or chipping in the dicing step in the fragmentation process, that is, a chipping-resistant curable resin composition, a dry film having a resin layer obtained from the curable resin composition, and the curable resin composition A cured product of the resin or the resin layer of the dry film, a printed wiring board having the cured product, and an electronic component having the printed wiring board can be obtained.

ダイシング工程においてデラミしたWLPの光学断面写真である。It is an optical cross-sectional photograph of WLP delaminated in the dicing process.

本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基含有樹脂、(B)エポキシ樹脂、(C)シリコン系またはアクリル共重合系の少なくとも一方の、消泡剤またはレべリング剤、および(D)無機フィラーを含有し、(B)エポキシ樹脂が、エポキシ当量が180g/eq.以下であり液状の非芳香族エポキシ樹脂を含有することを特徴とするものである。 The curable resin composition of the present invention comprises (A) a carboxyl group-containing resin, (B) an epoxy resin, (C) at least one of a silicone-based or acrylic copolymer-based defoaming agent or a leveling agent, and ( D) contains an inorganic filler, and (B) the epoxy resin has an epoxy equivalent of 180 g/eq. It is characterized in that it contains the following liquid non-aromatic epoxy resin.

本発明の硬化性樹脂組成物は、上記のとおり(C)シリコン系またはアクリル共重合系の少なくとも一方の、消泡剤またはレべリング剤と、エポキシ当量が180g/eq.以下であり液状の非芳香族エポキシ樹脂である(B)エポキシ樹脂と、を組み合わせて用いているとの特徴を有する。
(C)シリコン系またはアクリル共重合系の少なくとも一方の、消泡剤またはレべリング剤を含むことによって、消泡剤またはレべリング剤は硬化に寄与せず、硬化後も液状で系中に残るため、可塑剤としての応力緩和効果が期待できる。
また、エポキシ当量が180g/eq.以下であり液状の非芳香族エポキシ樹脂である(B)エポキシ樹脂は熱膨張率が大きくなりづらく、塗膜全体の弾性率を低下させるため応力が発生しづらい。
さらにまた、(C)シリコン系またはアクリル共重合系の少なくとも一方の、消泡剤またはレべリング剤と、エポキシ当量が180g/eq.以下であり液状の非芳香族エポキシ樹脂である(B)エポキシ樹脂とは程よく相溶性が悪いため、ナノ相分離構造を形成し、系中に均等に消泡剤またはレべリング剤が分散し、応力緩和効果が大きくなる。
以上のように、本発明においては、前記特徴を有する(B)エポキシ樹脂および(C)シリコン系またはアクリル共重合系の少なくとも一方の、消泡剤またはレべリング剤を用いることで、応力緩和効果を高めることができる。このため、ウエハレベルパッケージの、個片化プロセスにおけるダイシング工程でデラミやチッピングによる不良が発生しにくい、すなわち耐チッピング性の高いとの特徴を有する。
As described above, the curable resin composition of the present invention has an epoxy equivalent of 180 g/eq. with an antifoaming agent or leveling agent of at least one of (C) silicone type and acrylic copolymer type. It is characterized in that it is used in combination with the following (B) epoxy resin which is a liquid non-aromatic epoxy resin.
(C) The antifoaming agent or leveling agent does not contribute to the curing by containing at least one of the silicone type and the acrylic copolymerization type, and the defoaming agent or the leveling agent is in a liquid state even after the curing. Therefore, the stress relaxation effect as a plasticizer can be expected.
Further, the epoxy equivalent is 180 g/eq. The epoxy resin (B), which is a liquid non-aromatic epoxy resin as described below, is unlikely to have a large thermal expansion coefficient and lowers the elastic modulus of the entire coating film, so that stress is less likely to occur.
Furthermore, (C) at least one of a silicone type and an acrylic copolymer type, an antifoaming agent or a leveling agent, and an epoxy equivalent of 180 g/eq. The following is a reasonably poor compatibility with (B) epoxy resin, which is a liquid non-aromatic epoxy resin, so a nanophase separation structure is formed and the defoaming agent or leveling agent is evenly dispersed in the system. , The stress relaxation effect is increased.
As described above, in the present invention, stress relaxation is achieved by using the defoaming agent or leveling agent of at least one of (B) epoxy resin and (C) silicon-based or acrylic copolymer-based resin having the above-mentioned characteristics. The effect can be enhanced. Therefore, the wafer level package is characterized in that defects due to delamination and chipping are less likely to occur in the dicing process in the individualizing process, that is, chipping resistance is high.

以下に、本発明の硬化性樹脂組成物の各成分について説明する。なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレートおよびそれらの混合物を総称する用語であり、他の類似の表現についても同様である。 Below, each component of the curable resin composition of this invention is demonstrated. In addition, in this specification, (meth)acrylate is a general term for acrylates, methacrylates, and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.

[(A)カルボキシル基含有樹脂]
カルボキシル基含有樹脂としては、分子中にカルボキシル基を有している従来公知の各種カルボキシル基含有樹脂を使用できる。特に、分子中にエチレン性不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有感光性樹脂が、光硬化性や耐現像性の面から好ましい。エチレン性不飽和二重結合は、アクリル酸もしくはメタクリル酸又はそれらの誘導体由来であることが好ましい。エチレン性不飽和二重結合を有さないカルボキシル基含有樹脂のみを用いる場合、組成物を光硬化性とするためには、後述する分子中に複数のエチレン性不飽和基を有する化合物、即ち光反応性モノマーを併用する必要がある。
カルボキシル基含有樹脂の具体例としては、以下のような化合物(オリゴマー及びポリマーのいずれでもよい)を挙げることができる。
[(A) Carboxyl group-containing resin]
As the carboxyl group-containing resin, various conventionally known carboxyl group-containing resins having a carboxyl group in the molecule can be used. Particularly, a carboxyl group-containing photosensitive resin having an ethylenically unsaturated double bond in the molecule is preferable in terms of photocurability and development resistance. The ethylenically unsaturated double bond is preferably derived from acrylic acid or methacrylic acid or their derivatives. When using only a carboxyl group-containing resin having no ethylenically unsaturated double bond, in order to make the composition photocurable, a compound having a plurality of ethylenically unsaturated groups in the molecule described below, It is necessary to use a reactive monomer together.
Specific examples of the carboxyl group-containing resin include the following compounds (which may be either oligomers or polymers).

(1)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等の不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有樹脂。 (1) A carboxyl group-containing resin obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid such as (meth)acrylic acid and an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth)acrylate and isobutylene.

(2)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基含有ジアルコール化合物及びポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基及びアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (2) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, and aromatic diisocyanates, and carboxy group-containing dialcohol compounds such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid, and polycarbonate-based polyols and polyether-based polyols A carboxyl group-containing urethane resin obtained by a polyaddition reaction of a diol compound such as a polyol, a polyester-based polyol, a polyolefin-based polyol, an acrylic-based polyol, a bisphenol A-based alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group.

(3)ジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物、カルボキシル基含有ジアルコール化合物及びジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。 (3) Diisocyanate and a bifunctional epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin ( A carboxyl group-containing photosensitive urethane resin obtained by a polyaddition reaction of (meth)acrylate or a partial acid anhydride modified product thereof, a carboxyl group-containing dialcohol compound and a diol compound.

(4)前記(2)又は(3)の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子内に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。 (4) During the synthesis of the resin of (2) or (3), a compound having one hydroxyl group and one or more (meth)acryloyl group in the molecule such as hydroxyalkyl (meth)acrylate is added, and the terminal ( (Meth) Acrylic carboxyl group-containing photosensitive urethane resin.

(5)前記(2)又は(3)の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物など、分子内に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。 (5) During the synthesis of the resin of the above (2) or (3), one isocyanate group and one or more (meth)acryloyl groups such as an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate are formed in the molecule. A carboxyl group-containing photosensitive urethane resin in which a compound having the above is added and the terminal (meth)acrylate is obtained.

(6)2官能又はそれ以上の多官能(固形)エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。 (6) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a bifunctional or higher polyfunctional (solid) epoxy resin with (meth)acrylic acid to add a dibasic acid anhydride to a hydroxyl group present in a side chain.

(7)2官能(固形)エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。 (7) Carboxyl obtained by reacting (meth)acrylic acid with a polyfunctional epoxy resin obtained by epoxidizing a hydroxyl group of a bifunctional (solid) epoxy resin with epichlorohydrin and adding a dibasic acid anhydride to the generated hydroxyl group. Group-containing photosensitive resin.

(8)2官能オキセタン樹脂にアジピン酸、フタル酸、ヘキサヒドロフタル酸等のジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有ポリエステル樹脂。 (8) A dicarboxylic acid such as adipic acid, phthalic acid or hexahydrophthalic acid is reacted with a bifunctional oxetane resin, and the resulting primary hydroxyl group is a dibasic base such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride or hexahydrophthalic anhydride. A carboxyl group-containing polyester resin to which an acid anhydride has been added.

(9)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p−ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、(メタ)アクリル酸等の不飽和基含有モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (9) An epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule, a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule, such as p-hydroxyphenethyl alcohol, and (meth) A maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipine is reacted with the alcoholic hydroxyl group of the reaction product obtained by reacting with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid such as acrylic acid. A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride such as an acid.

(10)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシド等のアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (10) Reaction product obtained by reacting a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a product with a polybasic acid anhydride.

(11)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (11) Obtained by reacting an unsaturated group-containing monocarboxylic acid with a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate and propylene carbonate. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a reaction product with a polybasic acid anhydride.

(12)前記(1)〜(11)の樹脂にさらに1分子内に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有感光性樹脂。
なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレート及びそれらの混合物を総称する用語で、他の類似の表現についても同様である。
(12) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by further adding a compound having one epoxy group and one or more (meth)acryloyl group in one molecule to the resin of (1) to (11).
In addition, in this specification, (meth)acrylate is a general term for acrylates, methacrylates, and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.

(A)カルボキシル基含有樹脂は、前記列挙したものに限らず使用することができ、1種類を単独で用いてもよく、複数種を混合して用いてもよい。中でも、前記カルボキシル基含有樹脂(10)、(11)のごときフェノール化合物を出発原料と使用して合成されるカルボキシル基含有樹脂は高電圧下におけるHAST試験、すなわちB−HAST耐性や、PCT耐性に優れるため好適に用いることができる。 The (A) carboxyl group-containing resin can be used without being limited to those listed above, and one kind may be used alone, or a plurality of kinds may be mixed and used. Among them, the carboxyl group-containing resins synthesized using a phenol compound such as the carboxyl group-containing resins (10) and (11) as a starting material have a HAST test under high voltage, that is, B-HAST resistance and PCT resistance. Since it is excellent, it can be preferably used.

(A)カルボキシル基含有樹脂の酸価は、20〜200mgKOH/gであることが好ましい。(A)カルボキシル基含有樹脂の酸価が20〜200mgKOH/gであると、硬化物のパターンの形成が容易となる。より好ましくは、50〜130mgKOH/gである。 The acid value of the (A) carboxyl group-containing resin is preferably 20 to 200 mgKOH/g. When the acid value of the (A) carboxyl group-containing resin is 20 to 200 mgKOH/g, it becomes easy to form a pattern of a cured product. More preferably, it is 50 to 130 mgKOH/g.

また、(A)カルボキシル基含有樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、一般的に2,000〜150,000、さらには5,000〜100,000の範囲にあるものが好ましい。重量平均分子量が2,000以上であると、露光部の被膜の耐現像性が向上し、解像性に優れる。一方、重量平均分子量が150,000以下であると、未露光部の溶解性が良好で解像性に優れるとともに、貯蔵安定性においても向上することがある。重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定することができる。 The weight average molecular weight of the (A) carboxyl group-containing resin varies depending on the resin skeleton, but it is generally preferably in the range of 2,000 to 150,000, and more preferably 5,000 to 100,000. When the weight average molecular weight is 2,000 or more, the development resistance of the coating film in the exposed area is improved and the resolution is excellent. On the other hand, when the weight average molecular weight is 150,000 or less, the solubility of the unexposed portion is good, the resolution is excellent, and the storage stability may be improved. The weight average molecular weight can be measured by gel permeation chromatography.

(A)カルボキシル基含有樹脂の配合量は、溶剤を除いた硬化性樹脂組成物全量基準で、例えば、5〜50質量%であり、10〜40質量%であることが好ましい。5質量%以上、好ましくは10質量%以上とすることにより塗膜強度を向上させることができる。また50質量%以下とすることで粘性が適当となり加工性が向上する。 The compounding amount of the (A) carboxyl group-containing resin is, for example, 5 to 50% by mass, and preferably 10 to 40% by mass, based on the total amount of the curable resin composition excluding the solvent. The coating film strength can be improved by setting it to 5% by mass or more, preferably 10% by mass or more. Further, when the content is 50% by mass or less, the viscosity becomes appropriate and the workability is improved.

[(B)エポキシ樹脂]
本発明の硬化性樹脂組成物は、エポキシ当量が180g/eq.以下であり液状の非芳香族エポキシ樹脂である(B)エポキシ樹脂を含む。前記の通り、この条件を満足する(B)エポキシ樹脂は熱膨張率が大きくなりづらく、塗膜全体の弾性率を低下させるため応力が発生しづらいとの特性を有するため、この条件を満足する限り、公知慣用のいずれのエポキシ樹脂も本発明に用いることもできるが、熱線膨張率上昇を抑えつつ弾性率を低下させる効果が大きいことから、イソシアヌル環またはジシクロペンタジエン骨格を有するものが好ましい。
[(B) Epoxy resin]
The curable resin composition of the present invention has an epoxy equivalent of 180 g/eq. The following is included (B) epoxy resin which is a liquid non-aromatic epoxy resin. As described above, the epoxy resin (B) that satisfies this condition has a characteristic that the coefficient of thermal expansion is unlikely to be large and the elastic modulus of the entire coating film is lowered, so that stress is not easily generated, so that the condition is satisfied. As long as any known and commonly used epoxy resin can be used in the present invention, a resin having an isocyanuric ring or a dicyclopentadiene skeleton is preferable because it has a large effect of reducing the elastic modulus while suppressing an increase in the coefficient of linear thermal expansion.

イソシアヌル環を有する(B)エポキシ樹脂の具体例としては、例えば、日産化学(株)製TEPIC,TEPIC-VLおよびTEPIC-FL、TEPIC−UCが挙げられ、これらのうち、TEPIC-VLが、耐熱性の理由から好ましい。TEPIC−VLは、以下の式(I)の構造を有するエポキシ樹脂であり、ガードナー色数1以下の無色透明液体で粘性を有し、エポキシ等量が135g/eq.と小さく、全塩素200ppm以下、高耐熱性、高耐光性、低吸水性および低硬化収縮といった特性を有する。
Specific examples of the (B) epoxy resin having an isocyanuric ring include TEPIC, TEPIC-VL, TEPIC-FL, and TEPIC-UC manufactured by Nissan Kagaku Co., Ltd. Of these, TEPIC-VL is heat-resistant. Preferred for sex reasons. TEPIC-VL is an epoxy resin having the structure of the following formula (I), which is a colorless transparent liquid having a Gardner color number of 1 or less and is viscous, and has an epoxy equivalent of 135 g/eq. The total chlorine content is 200 ppm or less, high heat resistance, high light resistance, low water absorption and low curing shrinkage.

ジシクロペンタジエン骨格を有する(B)エポキシ樹脂の具体例としては、例えば、(株)ADEKA製EP−4088Sが挙げられる。 Specific examples of the (B) epoxy resin having a dicyclopentadiene skeleton include EP-4088S manufactured by ADEKA Corporation.

本発明の硬化性樹脂組成物は、上記(B)エポキシ樹脂と共に、本発明特有の効果を損なわない範囲で、上記(B)エポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂を、含むことができる。かかる上記(B)エポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂は、エポキシ化植物油;ビスフェノールA型エポキシ樹脂;ハイドロキノン型エポキシ樹脂;ビスフェノール型エポキシ樹脂;チオエーテル型エポキシ樹脂;ブロム化エポキシ樹脂;ノボラック型エポキシ樹脂;ビフェノールノボラック型エポキシ樹脂;ビスフェノールF型エポキシ樹脂;水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂;グリシジルアミン型エポキシ樹脂;ヒダントイン型エポキシ樹脂;脂環式エポキシ樹脂;トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂;ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂またはそれらの混合物;ビスフェノールS型エポキシ樹脂;ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂;テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂;複素環式エポキシ樹脂;ジグリシジルフタレート樹脂;テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂;ナフタレン基含有エポキシ樹脂;ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂;グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂;シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂;エポキシ変性のポリブタジエンゴム誘導体;CTBN変性エポキシ樹脂等が挙げられるが、これらに限られるものではない。 The curable resin composition of the present invention can contain an epoxy resin other than the above-mentioned (B) epoxy resin together with the above-mentioned (B) epoxy resin as long as the effect peculiar to the present invention is not impaired. Epoxy resins other than the above (B) epoxy resin include epoxidized vegetable oil; bisphenol A type epoxy resin; hydroquinone type epoxy resin; bisphenol type epoxy resin; thioether type epoxy resin; brominated epoxy resin; novolac type epoxy resin; biphenol novolac. Type epoxy resin; bisphenol F type epoxy resin; hydrogenated bisphenol A type epoxy resin; glycidyl amine type epoxy resin; hydantoin type epoxy resin; alicyclic epoxy resin; trihydroxyphenylmethane type epoxy resin; bixylenol type or biphenol type epoxy resin Resin or mixture thereof; Bisphenol S type epoxy resin; Bisphenol A novolac type epoxy resin; Tetraphenylolethane type epoxy resin; Heterocyclic epoxy resin; Diglycidyl phthalate resin; Tetraglycidyl xylenoyl ethane resin; Naphthalene group-containing epoxy Resins; epoxy resins having a dicyclopentadiene skeleton; glycidyl methacrylate copolymerization epoxy resins; cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate copolymerization epoxy resins; epoxy-modified polybutadiene rubber derivatives; CTBN-modified epoxy resins and the like. It is not limited to.

(B)エポキシ樹脂の配合量は、(A)カルボキシル基含有樹脂100質量部に対し、例えば、10〜100質量部であり、10〜80質量部が好ましく、20〜60質量部がより好ましい。(B)エポキシ樹脂の配合量が10質量部以上であると、クラック耐性および絶縁信頼性がより向上し、100質量部以下であると、保存安定性が向上する。 The compounding amount of the (B) epoxy resin is, for example, 10 to 100 parts by mass, preferably 10 to 80 parts by mass, and more preferably 20 to 60 parts by mass, relative to 100 parts by mass of the (A) carboxyl group-containing resin. When the compounding amount of the epoxy resin (B) is 10 parts by mass or more, crack resistance and insulation reliability are further improved, and when it is 100 parts by mass or less, storage stability is improved.

[(C)シリコン系またはアクリル共重合系の少なくとも一方の、消泡剤またはレべリング剤]
本発明の硬化性樹脂組成物は、(C)シリコン系またはアクリル共重合系の少なくとも一方の、消泡剤またはレべリング剤を含む。前記の通り、(C)シリコン系またはアクリル共重合系の少なくとも一方の、消泡剤またはレべリング剤は硬化に寄与せず、硬化後も液状で系中に残り、かつ本発明の硬化性樹脂組成物に含まれる(B)エポキシ樹脂とは程よく相溶性が悪いため、ナノ相分離構造を形成し、系中に均等に消泡剤またはレべリング剤が分散するため、この条件を満足する限り、公知慣用のいずれのエポキシ樹脂も本発明に用いることもできるが、密着性の理由から、アクリル共重合系がより好ましい。
[(C) Defoaming agent or leveling agent of at least one of silicon type and acrylic copolymer type]
The curable resin composition of the present invention contains (C) at least one of a silicone-based or acrylic copolymer-based antifoaming agent or leveling agent. As described above, the defoaming agent or leveling agent (C) of at least one of the silicone type and the acrylic copolymer type does not contribute to curing, remains in the system in a liquid state even after curing, and has the curability of the present invention. Since the compatibility with the (B) epoxy resin contained in the resin composition is moderately poor, a nanophase-separated structure is formed, and the defoaming agent or leveling agent is evenly dispersed in the system, so this condition is satisfied. Any known and commonly used epoxy resin can be used in the present invention as long as the above is satisfied, but an acrylic copolymer system is more preferable for the reason of adhesion.

具体的には、シリコン系の消泡剤またはレべリング剤の具体例としては、例えば、BYK社製BYK-322、BYK−333、信越化学工業(株)製KS-66が挙げられ、アクリル共重合系の消泡剤またはレべリング剤の具体例としては、例えば、BYK社製BYK-361N、BYK-1794、BYK−350、BYK−1791が挙げられ、これらのうち、BYK−361NやBYK−1794が、耐ダイシング耐性や密着性の理由から好ましい。 Specifically, specific examples of the silicon-based defoaming agent or leveling agent include BYK-322, BYK-333 manufactured by BYK, and KS-66 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and acrylic. Specific examples of the copolymer-based defoaming agent or leveling agent include BYK-361N, BYK-1794, BYK-350, and BYK-1791 manufactured by BYK. Of these, BYK-361N and BYK-1794 is preferred for reasons of resistance to dicing and adhesion.

(C)シリコン系またはアクリル共重合系の少なくとも一方の、消泡剤またはレべリング剤の配合量は、(A)カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して1〜10質量部であることが好ましい。1質量部以上の場合、耐ダイシング耐性や消泡レべリング性に優れ、10質量部以下の場合、DFラミネート時の融着防止や解像性良好となる。 The compounding amount of the antifoaming agent or the leveling agent of (C) at least one of the silicone type and the acrylic copolymer type is 1 to 10 parts by mass based on 100 parts by mass of the (A) carboxyl group-containing resin. preferable. When the amount is 1 part by mass or more, the dicing resistance and the defoaming leveling property are excellent, and when the amount is 10 parts by mass or less, fusion prevention during DF laminating and resolution are good.

[(D)無機フィラー]
本発明の硬化性樹脂組成物は、(D)無機フィラーを含む。無機フィラーとしては、特に限定されず、公知慣用の充填剤、例えばシリカ、結晶性シリカ、ノイブルグ珪土、水酸化アルミニウム、ガラス粉末、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、天然マイカ、合成マイカ、水酸化アルミニウム、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、酸化鉄、非繊維状ガラス、ハイドロタルサイト、ミネラルウール、アルミニウムシリケート、カルシウムシリケート、亜鉛華等の無機フィラーを用いることができる。中でも、シリカが好ましく、表面積が小さく、応力が全体に分散するためクラックの起点になりにくいことから球状シリカであることがより好ましい。
[(D) Inorganic filler]
The curable resin composition of the present invention contains (D) an inorganic filler. The inorganic filler is not particularly limited, and known conventional fillers such as silica, crystalline silica, Neuburg silica, aluminum hydroxide, glass powder, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, natural mica, synthetic mica, Inorganic fillers such as aluminum hydroxide, barium sulfate, barium titanate, iron oxide, non-fibrous glass, hydrotalcite, mineral wool, aluminum silicate, calcium silicate and zinc white can be used. Among them, silica is preferred, and spherical silica is more preferred because it has a small surface area and is less likely to be a starting point of cracks because stress is dispersed throughout.

無機フィラーは、光硬化性反応基として、ビニル基、スチリル基、メタクリル基、アクリル基等を有するよう、光反応性の表面処理をされていてもよく、この場合、メタクリル基、アクリル基、ビニル基が特に好ましい。また、熱硬化性反応基として、水酸基、カルボキシル基、イソシアネート基、アミノ基、イミノ基、エポキシ基、オキセタニル基、メルカプト基、メトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシメチル基、エトキシエチル基、オキサゾリン基等を有するよう熱反応性の表面処理をされていてもよく、この場合、アミノ基、エポキシ基が特に好ましい。さらにまた、(D)無機フィラーは2種以上の硬化性反応基を有していてもよい。(D)無機フィラーとしては、表面処理されたシリカが好ましい。表面処理されたシリカを含むことにより、CTEを低く、ガラス転移温度を高くさせることができる。 The inorganic filler may be subjected to a photoreactive surface treatment so as to have a vinyl group, a styryl group, a methacrylic group, an acrylic group, etc. as a photocurable reactive group, and in this case, a methacrylic group, an acrylic group, a vinyl group. Groups are particularly preferred. Further, as the thermosetting reactive group, hydroxyl group, carboxyl group, isocyanate group, amino group, imino group, epoxy group, oxetanyl group, mercapto group, methoxymethyl group, methoxyethyl group, ethoxymethyl group, ethoxyethyl group, oxazoline group May be subjected to a heat-reactive surface treatment, and in this case, an amino group and an epoxy group are particularly preferable. Furthermore, the inorganic filler (D) may have two or more curable reactive groups. As the inorganic filler (D), surface-treated silica is preferable. By including the surface-treated silica, the CTE can be lowered and the glass transition temperature can be raised.

(D)無機フィラーの表面に硬化性反応基の導入する場合の導入方法は特に限定されず、公知慣用の方法を用いて導入すればよく、硬化性反応基を有する表面処理剤、例えば、硬化性反応基を有するカップリング剤等で無機フィラーの表面を処理すればよい。 (D) The method of introducing the curable reactive group into the surface of the inorganic filler is not particularly limited, and may be introduced by using a known and commonly used method. A surface treating agent having a curable reactive group, for example, a curing agent The surface of the inorganic filler may be treated with a coupling agent having a reactive group.

(D)無機フィラーの表面処理としては、カップリング剤による表面処理が好ましい。カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤、ジルコニウムカップリング剤、アルミニウムカップリング剤等を用いることができる。中でも、シランカップリング剤が好ましい。 The surface treatment of the inorganic filler (D) is preferably a surface treatment with a coupling agent. As the coupling agent, a silane coupling agent, a titanium coupling agent, a zirconium coupling agent, an aluminum coupling agent or the like can be used. Of these, a silane coupling agent is preferable.

シランカップリング剤としては、(D)無機フィラーに、硬化反応性基を導入可能なシランカップリング剤が好ましい。熱硬化反応性基を導入可能なシランカップリング剤としては、エポキシ基を有するシランカップリング剤、アミノ基を有するシランカップリング剤、メルカプト基を有するシランカップリング剤、イソシアネート基を有するシランカップリング剤が挙げられ、中でもエポキシ基を有するシランカップリング剤がより好ましい。光硬化反応性基を導入可能なシランカップリング剤としては、ビニル基を有するシランカップリング剤、スチリル基を有するシランカップリング剤、メタクリル基を有するシランカップリング剤、アクリル基を有するシランカップリング剤が好ましく、中でもメタクリル基を有するシランカップリング剤がより好ましい。 As the silane coupling agent, a silane coupling agent capable of introducing a curing reactive group into the inorganic filler (D) is preferable. Examples of the silane coupling agent capable of introducing the thermosetting reactive group include a silane coupling agent having an epoxy group, a silane coupling agent having an amino group, a silane coupling agent having a mercapto group, and a silane coupling agent having an isocyanate group. Examples of the agent include silane coupling agents having an epoxy group, and more preferred. As the silane coupling agent capable of introducing the photo-curing reactive group, a silane coupling agent having a vinyl group, a silane coupling agent having a styryl group, a silane coupling agent having a methacryl group, a silane coupling agent having an acrylic group The agent is preferable, and among them, the silane coupling agent having a methacryl group is more preferable.

(D)無機フィラーを表面処理する場合、表面処理された状態で本発明の硬化性樹脂組成物に配合されていればよく、表面未処理の(D)無機フィラーと表面処理剤とを別々に配合して組成物中で(D)無機フィラーが表面処理されてもよいが、予め表面処理した(D)無機フィラーを配合することが好ましい。予め表面処理した(D)無機フィラーを配合することによって、別々に配合した場合に残存しうる表面処理で消費されなかった表面処理剤によるクラック耐性等の低下を防ぐことができる。予め表面処理する場合は、溶剤や樹脂成分に(D)無機フィラーを予備分散した予備分散液を配合することが好ましく、表面処理した(D)無機フィラーを溶剤に予備分散し、該予備分散液を組成物に配合するか、表面未処理の(D)無機フィラーを溶剤に予備分散する際に十分に表面処理した後、該予備分散液を組成物に配合することがより好ましい。 When the surface treatment of the (D) inorganic filler is carried out, the surface-treated state may be blended in the curable resin composition of the present invention, and the surface-untreated (D) inorganic filler and the surface-treating agent are separately prepared. The (D) inorganic filler may be surface-treated in the composition by blending, but it is preferable to blend the (D) inorganic filler which has been surface-treated in advance. By blending the inorganic filler (D) that has been surface-treated in advance, it is possible to prevent a decrease in crack resistance and the like due to the surface-treating agent that has not been consumed in the surface treatment that may remain when blended separately. When preliminarily surface-treating, it is preferable to mix a preliminary dispersion liquid in which the (D) inorganic filler is preliminarily dispersed in a solvent or a resin component, and the surface-treated (D) inorganic filler is preliminarily dispersed in the solvent. It is more preferable that the pre-dispersion liquid is added to the composition after the surface-treatment is sufficiently performed when the surface-untreated (D) inorganic filler is pre-dispersed in the solvent.

本発明の硬化性樹脂組成物において、(D)無機フィラーは、平均粒径が1μm以下であることが、クラック耐性により優れることから好ましい。より好ましくは、0.8μm以下である。なお、本明細書において、平均粒径とはD50の値のことをいい、例えば日機装社製マイクロトラック粒度分析計を用いて測定した値である。 In the curable resin composition of the present invention, the inorganic filler (D) preferably has an average particle size of 1 μm or less because it is more excellent in crack resistance. More preferably, it is 0.8 μm or less. In the present specification, the average particle size refers to the value of D 50, is a value measured using a Microtrac particle size analyzer manufactured by e.g. NIKKISO Corporation.

また、(D)無機フィラーは、最大粒径が4.0μm以下であることが、効率よく反応させ、またクラック耐性、密着性により優れることから好ましい。より好ましくは3.0μm以下である。なお、本明細書において、最大粒径とはD100の値のことをいい、例えば日機装社製マイクロトラック粒度分析計を用いて測定した値である。 In addition, it is preferable that the inorganic filler (D) has a maximum particle size of 4.0 μm or less, since the reaction is efficiently performed, and crack resistance and adhesion are excellent. It is more preferably 3.0 μm or less. In addition, in this specification, the maximum particle size means a value of D 100 , for example, a value measured using a Microtrac particle size analyzer manufactured by Nikkiso Co., Ltd.

無機フィラーの配合量は、硬化性樹脂組成物の固形分の全量あたり25〜70質量%であることが好ましく、30〜60質量%であることがより好ましく、40〜55質量%であることがさらに好ましい。 The content of the inorganic filler is preferably 25 to 70% by mass, more preferably 30 to 60% by mass, and even more preferably 40 to 55% by mass based on the total amount of the solid content of the curable resin composition. More preferable.

(光重合開始剤)
光重合開始剤としては、光重合開始剤や光ラジカル発生剤として公知の光重合開始剤であれば、いずれのものを用いることもでき、例えば、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−4−プロピルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−1−ナフチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド(IGM Resins社製Omnirad(オムニラッド)819)等のビスアシルフォスフィンオキサイド類;2,6−ジメトキシベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,6−ジクロロベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルフォスフィン酸メチルエステル、2−メチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ピバロイルフェニルフォスフィン酸イソプロピルエステル、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド(IGM Resins社製Omnirad(オムニラッド)TPO)等のモノアシルフォスフィンオキサイド類;1−ヒドロキシ−シクロヘキシルフェニルケトン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン等のヒドロキシアセトフェノン類;ベンゾイン、ベンジル、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインn−プロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインn−ブチルエーテル等のベンゾイン類;ベンゾインアルキルエーテル類;ベンゾフェノン、p−メチルベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、メチルベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−1−プロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル)−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノン等のアセトフェノン類;チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;アントラキノン、クロロアントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−アミノアントラキノン等のアントラキノン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、2−(ジメチルアミノ)エチルベンゾエート、p−ジメチル安息香酸エチルエステル等の安息香酸エステル類;1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)等のオキシムエステル類;ビス(η5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)フェニル)チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)−ビス[2,6−ジフルオロ−3−(2−(1−ピル−1−イル)エチル)フェニル]チタニウム等のチタノセン類;フェニルジスルフィド2−ニトロフルオレン、ブチロイン、アニソインエチルエーテル、アゾビスイソブチロニトリル、テトラメチルチウラムジスルフィド等を挙げることができる。光重合開始剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。中でもモノアシルフォスフィンオキサイド類、オキシムエステル類が好ましく、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)がより好ましい。
(Photopolymerization initiator)
As the photopolymerization initiator, any photopolymerization initiator known as a photopolymerization initiator or a photoradical generator can be used, and for example, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)phenylphosphine can be used. Fin oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-4-propylphenylphosphine oxide, bis-(2,6- Dichlorobenzoyl)-1-naphthylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)phenylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis Such as -(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,5-dimethylphenylphosphine oxide and bis-(2,4,6-trimethylbenzoyl)-phenylphosphine oxide (Omnirad 819 manufactured by IGM Resins). Bisacylphosphine oxides; 2,6-dimethoxybenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,6-dichlorobenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoylphenylphosphinic acid methyl ester, 2-methylbenzoyldiphenylphosphine Monoacylphosphine oxides such as fin oxide, pivaloylphenylphosphinic acid isopropyl ester, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide (Omnirad (Omnirad) TPO manufactured by IGM Resins); 1-hydroxy-cyclohexyl Phenyl ketone, 1-[4-(2-hydroxyethoxy)-phenyl]-2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-hydroxy-1-{4-[4-(2-hydroxy 2-Methyl-propionyl)-benzyl]phenyl}-2-methyl-propan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one and other hydroxyacetophenones; benzoin, benzyl, benzoin Benzoins such as methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin n-propyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin n-butyl ether; benzoin alkyl ethers; benzophenone, p-methylbenzophenone, Michler's ketone, methylbenzophenone, Benzophenones such as 4,4′-dichlorobenzophenone and 4,4′-bisdiethylaminobenzophenone; acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloro Acetophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl) -Butanone-1,2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl)methyl)-1-[4-(4-morpholinyl)phenyl]-1-butanone, N,N-dimethylaminoacetophenone, etc. Acetophenones; thioxanthones such as thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, and 2,4-diisopropylthioxanthone; anthraquinone, chloroanthraquinone, Anthraquinones such as 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-amylanthraquinone, and 2-aminoanthraquinone; ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyldimethyl ketal; ethyl- Benzoic acid esters such as 4-dimethylaminobenzoate, 2-(dimethylamino)ethylbenzoate, p-dimethylbenzoic acid ethyl ester; 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)-,2-(O -Benzoyl oxime)], ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-, 1-(O-acetyloxime), and other oxime esters; bis( η5-2,4-Cyclopentadiene-1-yl)-bis(2,6-difluoro-3-(1H-pyrrol-1-yl)phenyl)titanium, bis(cyclopentadienyl)-bis[2,6 -Titanocenes such as difluoro-3-(2-(1-pyrr-1-yl)ethyl)phenyl]titanium; phenyldisulfide 2-nitrofluorene, butyroin, anisoinethyl ether, azobisisobutyronitrile, tetramethyl Examples thereof include thiuram disulfide. The photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more. Among them, monoacylphosphine oxides and oxime esters are preferable, and 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazole-3. -Yl]-, 1-(O-acetyloxime) is more preferred.

光重合開始剤の配合量は、(A)カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して0.5〜20質量部であることが好ましい。0.5質量部以上の場合、表面硬化性が良好となり、20質量部以下の場合、ハレーションが生じにくく良好な解像性が得られる。 The compounding amount of the photopolymerization initiator is preferably 0.5 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (A) carboxyl group-containing resin. When the amount is 0.5 parts by mass or more, the surface curability becomes good, and when the amount is 20 parts by mass or less, halation hardly occurs and good resolution is obtained.

(エチレン性不飽和結合を有する化合物)
本発明の硬化性樹脂組成物は、光重合性オリゴマーや、光重合性ビニルモノマーといった、エチレン性不飽和結合を有する化合物を含んでいてもよい。
(Compound having an ethylenically unsaturated bond)
The curable resin composition of the present invention may contain a compound having an ethylenically unsaturated bond, such as a photopolymerizable oligomer or a photopolymerizable vinyl monomer.

光重合性オリゴマーとしては、不飽和ポリエステル系オリゴマー、(メタ)アクリレート系オリゴマー等が挙げられる。(メタ)アクリレート系オリゴマーとしては、フェノールノボラックエポキシ(メタ)アクリレート、クレゾールノボラックエポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノール型エポキシ(メタ)アクリレート等のエポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、エポキシウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ポリブタジエン変性(メタ)アクリレート等が挙げられる。 Examples of the photopolymerizable oligomer include unsaturated polyester oligomers and (meth)acrylate oligomers. Examples of (meth)acrylate oligomers include epoxy (meth)acrylates such as phenol novolac epoxy (meth)acrylate, cresol novolac epoxy (meth)acrylate, and bisphenol type epoxy (meth)acrylate, urethane (meth)acrylate, epoxy urethane (meth). ) Acrylate, polyester (meth)acrylate, polyether (meth)acrylate, polybutadiene modified (meth)acrylate and the like.

光重合性ビニルモノマーとしては、公知慣用のもの、例えば、スチレン、クロロスチレン、α−メチルスチレンなどのスチレン誘導体;酢酸ビニル、酪酸ビニルまたは安息香酸ビニルなどのビニルエステル類;ビニルイソブチルエーテル、ビニル−n−ブチルエーテル、ビニル−t−ブチルエーテル、ビニル−n−アミルエーテル、ビニルイソアミルエーテル、ビニル−n−オクタデシルエーテル、ビニルシクロヘキシルエーテル、エチレングリコールモノブチルビニルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルビニルエーテルなどのビニルエーテル類;アクリルアミド、メタクリルアミド、N−ヒドロキシメチルアクリルアミド、N−ヒドロキシメチルメタクリルアミド、N−メトキシメチルアクリルアミド、N−エトキシメチルアクリルアミド、N−ブトキシメチルアクリルアミドなどの(メタ)アクリルアミド類;トリアリルイソシアヌレート、フタル酸ジアリル、イソフタル酸ジアリルなどのアリル化合物;2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリール(メタ)アクリレート、イソボロニル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸のエステル類;ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートなどのヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類;メトキシエチル(メタ)アクリレート、エトキシエチル(メタ)アクリレートなどのアルコキシアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート類;エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブタンジオールジ(メタ)アクリレート類、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどのアルキレンポリオールポリ(メタ)アクリレート;ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレートなどのポリオキシアルキレングリコールポリ(メタ)アクリレート類;ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールエステルジ(メタ)アクリレートなどのポリ(メタ)アクリレート類;トリス[(メタ)アクリロキシエチル]イソシアヌレートなどのイソシアヌルレート型ポリ(メタ)アクリレート類などが挙げられる。これらは、要求特性に合わせて、単独で、または、2種以上を組み合わせて用いることができる。 As the photopolymerizable vinyl monomer, known and conventional ones, for example, styrene derivatives such as styrene, chlorostyrene and α-methylstyrene; vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl butyrate or vinyl benzoate; vinyl isobutyl ether, vinyl- Vinyl ethers such as n-butyl ether, vinyl-t-butyl ether, vinyl-n-amyl ether, vinyl isoamyl ether, vinyl-n-octadecyl ether, vinyl cyclohexyl ether, ethylene glycol monobutyl vinyl ether, triethylene glycol monomethyl vinyl ether; acrylamide, (Meth)acrylamides such as methacrylamide, N-hydroxymethylacrylamide, N-hydroxymethylmethacrylamide, N-methoxymethylacrylamide, N-ethoxymethylacrylamide, N-butoxymethylacrylamide; triallyl isocyanurate, diallyl phthalate, Allyl compounds such as diallyl isophthalate; 2-ethylhexyl (meth)acrylate, lauryl (meth)acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth)acrylate, isobornyl (meth)acrylate, phenyl (meth)acrylate, phenoxyethyl (meth)acrylate, etc. (Meth)acrylic acid esters of hydroxyalkyl (meth)acrylates such as hydroxyethyl (meth)acrylate, hydroxypropyl (meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate; methoxyethyl (meth)acrylate, ethoxyethyl Alkoxyalkylene glycol mono(meth)acrylates such as (meth)acrylate; ethylene glycol di(meth)acrylate, butanediol di(meth)acrylates, neopentyl glycol di(meth)acrylate, 1,6-hexanediol di( Alkylene polyols poly(meth)acrylates such as (meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate; diethylene glycol di(meth)acrylate, triethylene glycol di Polyoxyalkylene glycol poly(meth)acrylates such as (meth)acrylate, ethoxylated trimethylolpropane triacrylate, propoxylated trimethylolpropane tri(meth)acrylate A) acrylates; hydroxypivalic acid neopentyl glycol ester di(meth)acrylate and other poly(meth)acrylates; tris[(meth)acryloxyethyl]isocyanurate and other isocyanurate-type poly(meth)acrylates Can be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more according to the required characteristics.

エチレン性不飽和結合を有する化合物の配合量は、(A)カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して3〜40質量部であることが好ましい。3質量部以上の場合、表面硬化性が向上し、40質量部以下の場合、ハレーションが抑制される。より好ましくは、5〜30質量部である。 The compounding amount of the compound having an ethylenically unsaturated bond is preferably 3 to 40 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (A) carboxyl group-containing resin. When it is 3 parts by mass or more, surface curability is improved, and when it is 40 parts by mass or less, halation is suppressed. More preferably, it is 5 to 30 parts by mass.

(熱硬化触媒)
本発明の硬化性樹脂組成物は、熱硬化触媒を含有することが好ましい。そのような熱硬化触媒としては、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィン等のリン化合物等が挙げられる。また、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−2,4−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくはこれら密着性付与剤としても機能する化合物を熱硬化触媒と併用する。
(Thermosetting catalyst)
The curable resin composition of the present invention preferably contains a thermosetting catalyst. Examples of such a thermosetting catalyst include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole. , Imidazole derivatives such as 1-(2-cyanoethyl)-2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4-(dimethylamino)-N,N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N,N -Amine compounds such as dimethylbenzylamine and 4-methyl-N,N-dimethylbenzylamine, hydrazine compounds such as adipic acid dihydrazide and sebacic acid dihydrazide, and phosphorus compounds such as triphenylphosphine. Also, guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-2,4-diamino-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino. S-triazine derivatives such as -S-triazine/isocyanuric acid adduct and 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine/isocyanuric acid adduct can also be used, and preferably as the adhesion promoter. A compound that also functions is used in combination with a thermosetting catalyst.

熱硬化触媒の配合量は、(B)エポキシ樹脂100質量部に対して、好ましくは0.05〜40質量部、より好ましくは0.1〜30質量部である。 The blending amount of the thermosetting catalyst is preferably 0.05 to 40 parts by mass, and more preferably 0.1 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the (B) epoxy resin.

(硬化剤)
本発明の硬化性樹脂組成物は硬化剤を含有することができる。硬化剤としては、フェノール樹脂、ポリカルボン酸およびその酸無水物、シアネートエステル樹脂、活性エステル樹脂、マレイミド化合物、脂環式オレフィン重合体等が挙げられる。硬化剤は1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。
(Curing agent)
The curable resin composition of the present invention may contain a curing agent. Examples of the curing agent include phenol resins, polycarboxylic acids and acid anhydrides thereof, cyanate ester resins, active ester resins, maleimide compounds, alicyclic olefin polymers and the like. The curing agents may be used alone or in combination of two or more.

硬化剤は、(C)エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂のエポキシ基等の熱硬化反応が可能な官能基と、その官能基と反応する硬化剤中の官能基との比率が、硬化剤の官能基/熱硬化反応が可能な官能基(当量比)=0.2〜3となるような割合で配合することが好ましい。上記範囲とすることにより、保存安定性と硬化性のバランスに優れる。 The curing agent has a ratio of a functional group capable of undergoing a thermosetting reaction such as an epoxy group of a thermosetting resin such as (C) epoxy resin and a functional group in the curing agent which reacts with the functional group, to the curing agent. It is preferable to mix them in such a ratio that the functional group/functional group capable of thermosetting reaction (equivalent ratio)=0.2 to 3. When the content is in the above range, the balance between storage stability and curability is excellent.

(着色剤)
本発明の硬化性樹脂組成物には、着色剤が含まれていてもよい。着色剤としては、赤、青、緑、黄、黒、白等の公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。但し、環境負荷低減並びに人体への影響の観点からハロゲンを含有しないことが好ましい。
(Colorant)
The curable resin composition of the present invention may contain a colorant. As the colorant, known colorants such as red, blue, green, yellow, black and white can be used, and any of pigments, dyes and pigments may be used. However, it is preferable not to contain halogen from the viewpoint of reducing the environmental load and affecting the human body.

着色剤の添加量は特に制限はないが、(A)カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、好ましくは10質量部以下、特に好ましくは0.1〜7質量部の割合で充分である。 The amount of the colorant added is not particularly limited, but a ratio of preferably 10 parts by mass or less, particularly preferably 0.1 to 7 parts by mass is sufficient with respect to 100 parts by mass of the (A) carboxyl group-containing resin.

(有機溶剤)
本発明の硬化性樹脂組成物には、組成物の調製や、基板やキャリアフィルムに塗布する際の粘度調整等の目的で、有機溶剤を含有させることができる。有機溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、炭酸プロピレン等のエステル類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素類;石油エーテル、石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤など、公知慣用の有機溶剤が使用できる。これらの有機溶剤は、単独で、または二種類以上組み合わせて用いることができる。
(Organic solvent)
The curable resin composition of the present invention may contain an organic solvent for the purpose of preparing the composition, adjusting the viscosity when applied to a substrate or a carrier film, and the like. Examples of the organic solvent include ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether. , Glycol ethers such as dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether acetate, tripropylene glycol monomethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, butyl lactate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbyl Esters such as tall acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, propylene carbonate; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, solvent naphtha, etc. Conventional organic solvents can be used. These organic solvents can be used alone or in combination of two or more.

(その他の任意成分)
さらに、本発明の硬化性樹脂組成物には、電子材料の分野において公知慣用の他の添加剤を配合してもよい。他の添加剤としては、熱重合禁止剤、紫外線吸収剤、シランカップリング剤、可塑剤、難燃剤、帯電防止剤、老化防止剤、抗菌・防黴剤、消泡剤、レベリング剤、増粘剤、密着性付与剤、チキソ性付与剤、光開始助剤、増感剤、熱可塑性樹脂、有機フィラー、離型剤、表面処理剤、分散剤、分散助剤、表面改質剤、安定剤、蛍光体等が挙げられる。
(Other optional ingredients)
Further, the curable resin composition of the present invention may be blended with other additives known and commonly used in the field of electronic materials. Other additives include thermal polymerization inhibitors, UV absorbers, silane coupling agents, plasticizers, flame retardants, antistatic agents, antiaging agents, antibacterial and antifungal agents, antifoaming agents, leveling agents, thickening agents. Agents, adhesion promoters, thixotropic agents, photoinitiator aids, sensitizers, thermoplastic resins, organic fillers, mold release agents, surface treatment agents, dispersants, dispersion aids, surface modifiers, stabilizers , Phosphors, and the like.

本発明の硬化性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない範囲で(C)エポキシ樹脂以外の熱硬化性樹脂を含有してもよい。熱硬化性樹脂としては、加熱により硬化して電気絶縁性を示す樹脂であればよく、例えば、(C)エポキシ樹脂以外のエポキシ化合物、オキセタン化合物、メラミン樹脂、シリコン樹脂などが挙げることができ、これらは併用してもよい。 The curable resin composition of the present invention may contain a thermosetting resin other than the epoxy resin (C) as long as the effect of the present invention is not impaired. The thermosetting resin may be any resin that is cured by heating and exhibits electrical insulation, and examples thereof include (C) epoxy compounds other than epoxy resin, oxetane compounds, melamine resins, and silicone resins. You may use these together.

本発明の硬化性樹脂組成物は、ドライフィルム化して用いても液状として用いても良い。液状として用いる場合は、1液性でも2液性以上でもよい。 The curable resin composition of the present invention may be used as a dry film or used as a liquid. When used as a liquid, it may be one-part or two-part or more.

次に、本発明のドライフィルムは、キャリアフィルム上に、本発明の硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより得られる樹脂層を有する。ドライフィルムを形成する際には、まず、本発明の硬化性樹脂組成物を上記有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整した上で、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等により、キャリアフィルム上に均一な厚さに塗布する。その後、塗布された組成物を、通常、40〜130℃の温度で1〜30分間乾燥することで、樹脂層を形成することができる。塗布膜厚については特に制限はないが、一般に、乾燥後の膜厚で、3〜150μm、好ましくは5〜60μmの範囲で適宜選択される。 Next, the dry film of the present invention has a resin layer obtained by applying the curable resin composition of the present invention on a carrier film and drying it. When forming a dry film, first, the curable resin composition of the present invention is diluted with the above organic solvent to adjust to an appropriate viscosity, and then a comma coater, a blade coater, a lip coater, a rod coater, a squeeze coater. , A reverse coater, a transfer roll coater, a gravure coater, a spray coater, etc. to apply a uniform thickness on the carrier film. Then, the applied composition is usually dried at a temperature of 40 to 130° C. for 1 to 30 minutes to form a resin layer. The coating film thickness is not particularly limited, but in general, the film thickness after drying is appropriately selected within a range of 3 to 150 μm, preferably 5 to 60 μm.

キャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられ、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等を用いることができる。キャリアフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10〜150μmの範囲で適宜選択される。より好ましくは15〜130μmの範囲である。 As the carrier film, a plastic film is used, and for example, a polyester film such as polyethylene terephthalate (PET), a polyimide film, a polyamideimide film, a polypropylene film, a polystyrene film or the like can be used. The thickness of the carrier film is not particularly limited, but generally, it is appropriately selected within the range of 10 to 150 μm. More preferably, it is in the range of 15 to 130 μm.

キャリアフィルム上に本発明の硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成した後、樹脂層の表面に塵が付着することを防ぐ等の目的で、さらに、樹脂層の表面に、剥離可能なカバーフィルムを積層することが好ましい。剥離可能なカバーフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルムやポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができる。カバーフィルムとしては、カバーフィルムを剥離するときに、樹脂層とキャリアフィルムとの接着力よりも小さいものであればよい。 After forming a resin layer made of the curable resin composition of the present invention on a carrier film, for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the resin layer, the surface of the resin layer further has a peelable cover. It is preferable to laminate films. As the peelable cover film, for example, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, a surface-treated paper, or the like can be used. Any cover film may be used as long as it has a smaller adhesive force between the resin layer and the carrier film when the cover film is peeled off.

なお、本発明においては、上記カバーフィルム上に本発明の硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより樹脂層を形成して、その表面にキャリアフィルムを積層するものであってもよい。すなわち、本発明においてドライフィルムを製造する際に本発明の硬化性樹脂組成物を塗布するフィルムとしては、キャリアフィルムおよびカバーフィルムのいずれを用いてもよい。 In the present invention, a resin layer may be formed by applying the curable resin composition of the present invention on the cover film and drying the resin layer, and a carrier film may be laminated on the surface of the resin layer. That is, as the film to which the curable resin composition of the present invention is applied when producing the dry film in the present invention, either a carrier film or a cover film may be used.

本発明のプリント配線板は、本発明の硬化性樹脂組成物またはドライフィルムの樹脂層から得られる硬化物を有するものである。本発明のプリント配線板の製造方法としては、例えば、本発明の硬化性樹脂組成物を、上記有機溶剤を用いて塗布方法に適した粘度に調整して、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の方法により塗布した後、60〜100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させることで、タックフリーの樹脂層を形成する。また、ドライフィルムの場合、ラミネーター等により樹脂層が基材と接触するように基材上に貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥がすことにより、基材上に樹脂層を形成する。 The printed wiring board of the present invention has a curable resin composition of the present invention or a cured product obtained from a resin layer of a dry film. As the method for producing a printed wiring board of the present invention, for example, the curable resin composition of the present invention is adjusted to a viscosity suitable for a coating method using the organic solvent, and a dip coating method on a substrate, After applying by a method such as a flow coating method, a roll coating method, a bar coater method, a screen printing method, or a curtain coating method, the organic solvent contained in the composition is volatilized and dried (temporary drying) at a temperature of 60 to 100°C. By doing so, a tack-free resin layer is formed. In the case of a dry film, the resin layer is formed on the substrate by sticking the resin layer on the substrate with a laminator or the like so that the resin layer contacts the substrate and then peeling off the carrier film.

上記基材としては、あらかじめ銅等により回路形成されたプリント配線板やフレキシブルプリント配線板の他、紙フェノール、紙エポキシ、ガラス布エポキシ、ガラスポリイミド、ガラス布/不繊布エポキシ、ガラス布/紙エポキシ、合成繊維エポキシ、フッ素樹脂・ポリエチレン・ポリフェニレンエーテル,ポリフェニレンオキシド・シアネート等を用いた高周波回路用銅張積層板等の材質を用いたもので、全てのグレード(FR−4等)の銅張積層板、その他、金属基板、ポリイミドフィルム、PETフィルム、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を挙げることができる。 Examples of the base material include a printed wiring board and a flexible printed wiring board on which circuits are previously formed of copper, paper phenol, paper epoxy, glass cloth epoxy, glass polyimide, glass cloth/non-woven cloth epoxy, glass cloth/paper epoxy. , Synthetic fiber epoxy, fluororesin/polyethylene/polyphenylene ether, polyphenylene oxide/cyanate, etc. copper clad laminates for high frequency circuits, etc., all grades (FR-4 etc.) Plates and the like, metal substrates, polyimide films, PET films, polyethylene naphthalate (PEN) films, glass substrates, ceramic substrates, wafer plates and the like can be mentioned.

本発明の硬化性樹脂組成物を塗布した後に行う揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用いて乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法およびノズルより支持体に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。 Volatile drying performed after applying the curable resin composition of the present invention, hot air circulation type drying furnace, IR furnace, hot plate, convection oven and the like (in the dryer using a heat source of air heating system by steam It is possible to use a method in which hot air is brought into countercurrent contact and a method in which hot air is blown onto the support from a nozzle).

プリント配線板上に樹脂層を形成後、所定のパターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光し、未露光部を希アルカリ水溶液(例えば、0.3〜3質量%炭酸ソーダ水溶液)により現像して硬化物のパターンを形成する。さらに、硬化物に活性エネルギー線を照射後加熱硬化(例えば、100〜220℃)、もしくは加熱硬化後活性エネルギー線を照射、または、加熱硬化のみで最終仕上げ硬化(本硬化)させることにより、密着性、硬度等の諸特性に優れた硬化膜を形成する。
なお、本発明の硬化性樹脂組成物が、光塩基発生剤を含む場合、露光後現像前に加熱することが好ましく、露光後現像前の加熱条件としては、例えば、60〜150℃で1〜60分加熱することが好ましい。
After a resin layer is formed on the printed wiring board, it is selectively exposed to an active energy ray through a photomask on which a predetermined pattern is formed, and the unexposed portion is diluted with a dilute alkaline aqueous solution (for example, 0.3 to 3 mass% sodium carbonate aqueous solution). ) To form a cured product pattern. Further, the cured product is irradiated with an active energy ray and then heat-cured (for example, 100 to 220° C.), or after the heat-curing is irradiated with an active energy ray, or a final finish curing (main curing) is performed only by heat-curing, thereby achieving close contact. A cured film having excellent properties such as properties and hardness is formed.
When the curable resin composition of the present invention contains a photobase generator, it is preferably heated after exposure and before development. As heating conditions after exposure and development, for example, 60 to 150° C. It is preferable to heat for 60 minutes.

上記活性エネルギー線照射に用いられる露光機としては、高圧水銀灯ランプ、超高圧水銀灯ランプ、メタルハライドランプ、水銀ショートアークランプ等を搭載し、350〜450nmの範囲で紫外線を照射する装置であればよく、さらに、直接描画装置(例えば、コンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)も用いることができる。直描機のランプ光源またはレーザー光源としては、最大波長が350〜450nmの範囲にあるものでよい。画像形成のための露光量は膜厚等によって異なるが、一般には10〜1000mJ/cm、好ましくは20〜800mJ/cmの範囲内とすることができる。 As the exposure machine used for the irradiation of active energy rays, a high-pressure mercury lamp lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp lamp, a metal halide lamp, a mercury short arc lamp, or the like may be mounted, and an apparatus that irradiates ultraviolet rays in the range of 350 to 450 nm may be used. Further, a direct drawing device (for example, a laser direct imaging device that draws an image directly with a laser using CAD data from a computer) can also be used. A lamp light source or a laser light source for a direct drawing machine may have a maximum wavelength in the range of 350 to 450 nm. The exposure amount for image formation varies depending on the film thickness and the like, but it can be generally in the range of 10 to 1000 mJ/cm 2 , and preferably 20 to 800 mJ/cm 2 .

上記現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができ、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類等のアルカリ水溶液が使用できる。 The developing method may be a dipping method, a shower method, a spray method, a brush method, or the like, and as a developing solution, potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, Aqueous alkaline solutions such as ammonia and amines can be used.

本発明の硬化性樹脂組成物は、プリント配線板上に硬化膜を形成するために好適に使用され、より好適には、永久被膜を形成するために使用され、さらに好適には、ソルダーレジスト、層間絶縁層、カバーレイを形成するために使用される。また、本発明の硬化性樹脂組成物によれば、クラック耐性および絶縁信頼性に優れた硬化物を得ることができることから、高度な信頼性が求められるファインピッチの配線パターンを備えるプリント配線板、例えばパッケージ基板、特にFC−BGA用の永久被膜(特にソルダーレジスト)の形成に好適に用いることができる。 The curable resin composition of the present invention is preferably used for forming a cured film on a printed wiring board, more preferably used for forming a permanent coating, and more preferably a solder resist, Used to form an interlevel dielectric layer, coverlay. Further, according to the curable resin composition of the present invention, since it is possible to obtain a cured product having excellent crack resistance and insulation reliability, a printed wiring board having a fine pitch wiring pattern that requires high reliability, For example, it can be suitably used for forming a package substrate, particularly a permanent coating (especially solder resist) for FC-BGA.

以下、本発明を、実施例を用いてより詳細に説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものではない。なお、以下において「部」および「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to the following examples. In the following, "parts" and "%" are based on mass unless otherwise specified.

[(A)−1カルボキシル基含有樹脂の合成]
温度計、窒素導入装置兼アルキレンオキシド導入装置および撹拌装置を備えたオートクレーブに、ノボラック型クレゾール樹脂(昭和電工(株)製ショウノールCRG951、OH当量:119.4)119.4部、水酸化カリウム1.19部およびトルエン119.4部を導入し、撹拌しつつ系内を窒素置換し、加熱昇温した。次に、プロピレンオキシド63.8部を徐々に滴下し、125〜132℃、0〜4.8kg/cmで16時間反応させた。その後、室温まで冷却し、この反応溶液に89%リン酸1.56部を添加混合して水酸化カリウムを中和し、不揮発分62.1%、水酸基価が182.2mgKOH/g(307.9g/eq.)であるノボラック型クレゾール樹脂のプロピレンオキシド反応溶液を得た。これは、フェノール性水酸基1当量当りプロピレンオキシドが平均1.08モル付加したものであった。
得られたノボラック型クレゾール樹脂のプロピレンオキシド反応溶液293.0部、アクリル酸43.2部、メタンスルホン酸11.53部、メチルハイドロキノン0.18部およびトルエン252.9部を、撹拌機、温度計および空気吹き込み管を備えた反応器に導入し、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、110℃で12時間反応させた。反応により生成した水は、トルエンとの共沸混合物として、12.6部の水が留出した。その後、室温まで冷却し、得られた反応溶液を15%水酸化ナトリウム水溶液35.35部で中和し、次いで水洗した。その後、エバポレーターにてトルエンをジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート118.1部で置換しつつ留去し、ノボラック型アクリレート樹脂溶液を得た。次に、得られたノボラック型アクリレート樹脂溶液332.5部およびトリフェニルホスフィン1.22部を、撹拌器、温度計および空気吹き込み管を備えた反応器に導入し、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、テトラヒドロフタル酸無水物60.8部を徐々に加え、95〜101℃で6時間反応させ、冷却後、取り出した。このようにして、固形分65%、固形分の酸価87.7mgKOH/gの感光性の(A)−1カルボキシル基含有樹脂の溶液を得た。以下、このカルボキシル基含有感光性樹脂の溶液を(A)−1樹脂溶液と称す。
[Synthesis of (A)-1 Carboxyl Group-Containing Resin]
In an autoclave equipped with a thermometer, a nitrogen introducing device and an alkylene oxide introducing device, and a stirrer, 119.4 parts of novolac-type cresol resin (SHONOL CRG951, Showa Denko KK, OH equivalent: 119.4), potassium hydroxide 1.19 parts and 119.4 parts of toluene were introduced, the system was replaced with nitrogen while stirring, and the temperature was raised by heating. Next, 63.8 parts of propylene oxide was gradually added dropwise and reacted at 125 to 132° C. and 0 to 4.8 kg/cm 2 for 16 hours. Thereafter, the mixture was cooled to room temperature, and 1.56 parts of 89% phosphoric acid was added to and mixed with this reaction solution to neutralize potassium hydroxide, and the nonvolatile content was 62.1% and the hydroxyl value was 182.2 mgKOH/g (307. A propylene oxide reaction solution of a novolac type cresol resin having a concentration of 9 g/eq.) was obtained. This was an average of 1.08 mol of propylene oxide added per equivalent of the phenolic hydroxyl group.
The obtained propylene oxide reaction solution of novolac type cresol resin 293.0 parts, acrylic acid 43.2 parts, methanesulfonic acid 11.53 parts, methylhydroquinone 0.18 parts and toluene 252.9 parts were stirred with a stirrer and a temperature. It was introduced into a reactor equipped with a meter and an air blowing tube, air was blown at a rate of 10 ml/min, and the reaction was carried out at 110°C for 12 hours while stirring. The water produced by the reaction was an azeotropic mixture with toluene, and 12.6 parts of water was distilled out. Then, it was cooled to room temperature, the resulting reaction solution was neutralized with 35.35 parts of a 15% aqueous sodium hydroxide solution, and then washed with water. Then, toluene was distilled off while substituting 118.1 parts of diethylene glycol monoethyl ether acetate with an evaporator to obtain a novolac type acrylate resin solution. Next, 332.5 parts of the resulting novolac type acrylate resin solution and 1.22 parts of triphenylphosphine were introduced into a reactor equipped with a stirrer, a thermometer and an air blowing tube, and air was supplied at a rate of 10 ml/min. Was blown in, and 60.8 parts of tetrahydrophthalic anhydride was gradually added while stirring, and the mixture was reacted at 95 to 101° C. for 6 hours, cooled, and taken out. Thus, a solution of the photosensitive (A)-1 carboxyl group-containing resin having a solid content of 65% and an acid value of the solid content of 87.7 mgKOH/g was obtained. Hereinafter, the solution of the carboxyl group-containing photosensitive resin is referred to as (A)-1 resin solution.

[(A)−2カルボキシル基含有樹脂の合成]
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート600gにオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC(株)製EPICLON N−695、軟化点95℃、エポキシ当量214、平均官能基数7.6)1070g(グリシジル基数(芳香環総数):5.0モル)、アクリル酸360g(5.0モル)、およびハイドロキノン1.5gを仕込み、100℃に加熱攪拌し、均一溶解した。
次いで、トリフェニルホスフィン4.3gを仕込み、110℃に加熱して2時間反応後、120℃に昇温してさらに12時間反応を行った。得られた反応液に、芳香族系炭化水素(ソルベッソ150)415g、テトラヒドロ無水フタル酸456.0g(3.0モル)を仕込み、110℃で4時間反応を行い、冷却し、感光性の(A)−2カルボキシル基含有樹脂溶液を得た。このようにして得られた樹脂溶液の固形分は65%、固形分の酸価は89mgKOH/gであった。以下、このカルボキシル基含有感光性樹脂の溶液を樹脂溶液(A)−2と称す。
[(A)-2 Synthesis of Resin Containing Carboxyl Group]
Orthocresol novolac type epoxy resin (Epiclon N-695 manufactured by DIC Corporation, softening point 95°C, epoxy equivalent 214, average number of functional groups 7.6) 1070 g (number of glycidyl groups (total number of aromatic rings)) in 600 g of diethylene glycol monoethyl ether acetate: 5.0 mol), 360 g (5.0 mol) of acrylic acid, and 1.5 g of hydroquinone were charged, and the mixture was heated and stirred at 100° C. to be uniformly dissolved.
Then, 4.3 g of triphenylphosphine was charged, heated to 110° C. and reacted for 2 hours, then heated to 120° C. and further reacted for 12 hours. To the resulting reaction solution were charged 415 g of an aromatic hydrocarbon (Solvesso 150) and 456.0 g (3.0 mol) of tetrahydrophthalic anhydride, the reaction was carried out at 110° C. for 4 hours, the mixture was cooled, and the photosensitive ( A)-2 carboxyl group-containing resin solution was obtained. The resin solution thus obtained had a solid content of 65% and an acid value of the solid content of 89 mgKOH/g. Hereinafter, the solution of the carboxyl group-containing photosensitive resin is referred to as a resin solution (A)-2.

[(A)−3カルボキシル基含有樹脂の合成]
温度計、撹拌機、滴下ロート、および還流冷却器を備えたフラスコに、溶媒としてジプロピレングリコールモノメチルエーテル325.0部を110℃まで加熱し、メタクリル酸174.0部、ε−カプロラクトン変性メタクリル酸(平均分子量314)174.0部、メタクリル酸メチル77.0部、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル222.0部、および重合触媒としてt−ブチルパーオキシ2−エチルヘキサノエート(日油社製パーブチルO)12.0部の混合物を、3時間かけて滴下し、さらに110℃で3時間攪拌し、重合触媒を失活させて、樹脂溶液を得た。
この樹脂溶液を冷却後、ダイセル化学工業(株)製サイクロマーA200を289.0部、トリフェニルホスフィン3.0部、ハイドロキノンモノメチルエーテル1.3部を加え、100℃に昇温し、攪拌することによってエポキシ基の開環付加反応を行い、感光性のカルボキシル基含有樹脂溶液を得た。
このようにして得られた樹脂溶液は、重量平均分子量(Mw)が15,000で、かつ、固形分が57%、固形物の酸価が79.8mgKOH/gであった。以下、このカルボキシル基含有感光性樹脂の溶液を樹脂溶液(A)−3と称す。
[Synthesis of (A)-3 Carboxyl Group-Containing Resin]
In a flask equipped with a thermometer, a stirrer, a dropping funnel, and a reflux condenser, 325.0 parts of dipropylene glycol monomethyl ether as a solvent was heated to 110° C., and 174.0 parts of methacrylic acid and ε-caprolactone-modified methacrylic acid were added. (Average molecular weight 314) 174.0 parts, methyl methacrylate 77.0 parts, dipropylene glycol monomethyl ether 222.0 parts, and t-butyl peroxy 2-ethylhexanoate as a polymerization catalyst (Perbutyl O manufactured by NOF CORPORATION). ) 12.0 parts of the mixture was added dropwise over 3 hours and further stirred at 110°C for 3 hours to deactivate the polymerization catalyst to obtain a resin solution.
After cooling this resin solution, 289.0 parts of Cyclomer A200 manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd., 3.0 parts of triphenylphosphine and 1.3 parts of hydroquinone monomethyl ether were added, the temperature was raised to 100° C., and the mixture was stirred. Thus, the ring-opening addition reaction of the epoxy group was performed to obtain a photosensitive carboxyl group-containing resin solution.
The resin solution thus obtained had a weight average molecular weight (Mw) of 15,000, a solid content of 57%, and an acid value of the solid of 79.8 mgKOH/g. Hereinafter, the solution of the carboxyl group-containing photosensitive resin is referred to as a resin solution (A)-3.

(実施例1〜15、比較例1〜5および参考例1〜3)
上記で合成した(A)−1〜3のカルボキシル基含有樹脂(多くは100質量部)に対して、表1〜3に示す各成分を表1〜3に示す割合で配合し、実施例、比較例および参考例ごとに硬化性樹脂組成物をダイコーターを用いてPET上に10m/minで60〜120℃の乾燥炉を通過させ、溶剤を揮発させることによりドライフィルムを得た。なお、表1〜3中の配合量はすべて固形物換算の数値である。
得られたドライフィルムを真空ラミネーターCVP−300(ニッコーマテリアルズ社製)を用いて試験基板にラミネートし、実施例1〜15、比較例1〜5および参考例1〜3の硬化性樹脂組成物の積層体を得た。ここで、試験基板とラミネート方法は、評価項目によって異なるため、以下の各評価項目の項に記載する。
この積層体にDXP−3580(ORC社製、超高圧水銀灯DI露光機)を用いてStouffer41段ステップタブレットで10段の硬化段数になるよう評価項目にあわせてパターン露光を実施した。これ以外の露光条件については、各評価項目によって異なるため、以下の各評価項目の項に記載する。
露光後10分後にPETフィルムを剥離させ、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液でブレイクポイント(最短現像時間)の2倍の現像時間で現像を行った。その後UVコンベア(ORC社製、メタルハライドランプ)で2000mJで露光、熱循環式Box炉で170℃60分の条件で硬化させることにより、実施例1〜15、比較例1〜5および参考例1〜3の硬化性樹脂組成物の評価基板を得た。なお、この段落に記載の現像、硬化条件で現像、硬化することを、以下の各評価項目の項では「既定の条件で現像、硬化を実施」と記載する。
(Examples 1 to 15, Comparative Examples 1 to 5 and Reference Examples 1 to 3)
Each of the components shown in Tables 1 to 3 was blended in the proportions shown in Tables 1 to 3 with respect to the carboxyl group-containing resins (mostly 100 parts by mass) of (A)-1 to 3 synthesized above. The curable resin composition for each of Comparative Example and Reference Example was passed through a drying furnace at 60 to 120° C. on PET using a die coater at 10 m/min, and a solvent was volatilized to obtain a dry film. In addition, the compounding amounts in Tables 1 to 3 are all numerical values in terms of solid matter.
The obtained dry film was laminated on a test substrate using a vacuum laminator CVP-300 (manufactured by Nikko Materials Co., Ltd.), and the curable resin compositions of Examples 1-15, Comparative Examples 1-5 and Reference Examples 1-3. A laminated body of was obtained. Here, since the test substrate and the laminating method differ depending on the evaluation items, they will be described in the section of each evaluation item below.
This laminate was subjected to pattern exposure using a DXP-3580 (manufactured by ORC, an ultrahigh pressure mercury lamp DI exposure machine) with a Stouffer 41 step tablet so that the curing step number was 10 according to the evaluation items. Exposure conditions other than this are different for each evaluation item, and therefore will be described in the section of each evaluation item below.
Ten minutes after the exposure, the PET film was peeled off, and development was carried out with a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30° C. for a development time twice the breakpoint (shortest development time). After that, by exposing at 2000 mJ with a UV conveyer (manufactured by ORC, metal halide lamp) and curing under conditions of 170° C. for 60 minutes in a heat cycle type Box furnace, Examples 1 to 15, Comparative Examples 1 to 5 and Reference Examples 1 to 1 The evaluation board|substrate of the curable resin composition of 3 was obtained. In addition, developing and curing under the developing and curing conditions described in this paragraph is described as "performing developing and curing under predetermined conditions" in each of the following evaluation item sections.

このようにして作成した実施例1〜15、比較例1〜5および参考例1〜3の硬化性樹脂組成物の評価基板について、Tg、耐ダイシング耐性、変色耐性、熱履歴による硬化抑制、密着性、解像性、HAST耐性およびTCT耐性の評価を行った。これらの評価結果を表1〜3に併せて示す。 With respect to the evaluation substrates of the curable resin compositions of Examples 1 to 15, Comparative Examples 1 to 5 and Reference Examples 1 to 3 thus created, Tg, dicing resistance, discoloration resistance, curing inhibition by thermal history, adhesion , Resolution, HAST resistance and TCT resistance were evaluated. The evaluation results are also shown in Tables 1 to 3.

(ガラス転移温度Tg評価)
銅箔基板上に、各硬化性樹脂組成物が膜厚約40μmになるように形成し、50mm×3mmの短冊状のパターンで露光を行った。その後、既定の条件で現像、硬化を実施した。
上記により得られた評価基板の硬化被膜を銅箔より剥離し、Tgについて評価を実施した。測定は、TMA測定装置(島津製作所社製 機種名:TMA6000)を用いた。評価基準は以下の通りとした。
◎:180℃以上。
○:170℃以上180℃未満。
△:160℃以上170℃未満。
×:160℃未満。
(Glass transition temperature Tg evaluation)
Each curable resin composition was formed on a copper foil substrate so as to have a film thickness of about 40 μm, and exposed with a strip-shaped pattern of 50 mm×3 mm. After that, development and curing were performed under predetermined conditions.
The cured film of the evaluation substrate obtained as described above was peeled from the copper foil, and Tg was evaluated. A TMA measuring device (manufactured by Shimadzu Corporation, model name: TMA6000) was used for the measurement. The evaluation criteria are as follows.
A: 180° C. or higher.
Good: 170°C or higher and lower than 180°C.
Δ: 160° C. or higher and lower than 170° C.
X: less than 160°C.

(耐ダイシング耐性評価)
ダウケミカル社製AP8000で処理された8インチウエハに、硬化性樹脂組成物を膜厚約15μmになるように形成し、全面露光を行った。その後、既定の条件で現像、硬化を実施した。得られた評価基板を5mm角にダイシングし、デラミの発生率をカウントした。評価基準は以下の通りとした。
◎:発生なし。
○:発生率1%未満。
△:発生率1%以上、5%未満。
×:発生率5%以上。
(Dicing resistance evaluation)
A curable resin composition was formed on an 8-inch wafer treated with AP8000 manufactured by Dow Chemical Co., so as to have a film thickness of about 15 μm, and the whole surface was exposed. After that, development and curing were performed under predetermined conditions. The obtained evaluation substrate was diced into a 5 mm square, and the occurrence rate of delamination was counted. The evaluation criteria are as follows.
⊚: No occurrence.
Good: Occurrence rate of less than 1%.
Δ: Occurrence rate of 1% or more and less than 5%.
X: Occurrence rate of 5% or more.

(変色耐性)
ガラス基板に、硬化性樹脂組成物を膜厚約10μmになるように形成し、全面露光を行った。その後、既定の条件で現像、硬化を実施した。得られた評価基板をコニカミノルタ(株)製分光測色計SPECTROPHOTOMETER CM−2600dで測定し、コニカミノルタ(株)製色彩管理ソフトウェアCM−S100W SpectraMagic NX ver.2.6でLab値解析を実施した結果を(1)とし、また、上記により得られた評価基板を再度180℃3時間の条件で硬化させ、その後同様にLab値解析を実施した結果を(2)とし、(1)と(2)のb値の数値差によって評価を実施した。評価基準は以下の通りとした。
◎:2.0未満。
○:2.0以上4.0未満。
△:4.0以上6.0未満。
×:6.0以上。
(Discoloration resistance)
A curable resin composition was formed on a glass substrate so as to have a film thickness of about 10 μm, and the entire surface was exposed. After that, development and curing were performed under predetermined conditions. The obtained evaluation substrate was measured with a spectrocolorimeter SPECTROPHOTOMER CM-2600d manufactured by Konica Minolta Co., Ltd., and color management software CM-S100W SpectraMagic NX ver. The result of performing the Lab value analysis in 2.6 is set as (1), and the result of performing the Lab value analysis in the same manner after curing the evaluation substrate obtained above again under the condition of 180° C. for 3 hours ( 2), and the evaluation was performed by the numerical difference between the b values of (1) and (2). The evaluation criteria are as follows.
A: Less than 2.0.
◯: 2.0 or more and less than 4.0.
Δ: 4.0 or more and less than 6.0.
X: 6.0 or more.

(熱履歴による硬化抑制評価)
銅箔基板上に、各硬化性樹脂組成物が膜厚約40μmになるように形成し、50mm×5mmの短冊状のパターンで露光を行った。その後、既定の条件で現像、硬化を実施した。
上記により得られた評価基板の硬化被膜を銅箔より剥離し、DMA(TA社製RSA−G2)を用いてTgの測定を実施した結果を(1)とし、また、上記により得られた評価基板を再度150℃24時間の条件で硬化させ、その後同様に評価基板の硬化被膜を銅箔より剥離し、DMA(TA社製RSA−G2)を用いてTgの測定を実施した結果を(
2)とし、(1)と(2)の数値差によって評価を実施した。評価基準は以下の通りとした。
◎:15℃未満。
○:15℃以上30℃未満。
△:30℃以上45℃未満。
×:45℃以上。
(Evaluation of curing inhibition by heat history)
Each curable resin composition was formed on a copper foil substrate so as to have a film thickness of about 40 μm, and exposed in a strip pattern of 50 mm×5 mm. After that, development and curing were performed under predetermined conditions.
The cured film of the evaluation substrate obtained as described above was peeled from the copper foil, and Tg was measured using DMA (RSA-G2 manufactured by TA Co.) as the result (1), and the evaluation obtained as described above. The substrate was cured again under the condition of 150° C. for 24 hours, then the cured coating of the evaluation substrate was peeled off from the copper foil in the same manner, and Tg was measured using DMA (RSA-G2 manufactured by TA Co.).
2), and the evaluation was performed by the numerical difference between (1) and (2). The evaluation criteria are as follows.
A: Less than 15°C.
◯: 15°C or higher and lower than 30°C.
Δ: 30°C or higher and lower than 45°C.
X: 45° C. or higher.

(密着性評価)
CZ−8201Bでエッチングレート0.5μm/mの条件で処理された銅箔に硬化性樹脂組成物を膜厚約20μmになるように形成し、全面露光を行った。その後、既定の条件で現像、硬化を実施した。その後、熱硬化性接着剤アラルダイト(ニチバン社製)を硬化性樹脂組成物表面に形成し、FR−4基材に接着させ80℃6時間の条件で硬化させた。その後、評価基板を20mm間隔で裁断し、Cu箔幅が10mm幅になるよう両サイドを剥離させ、評価短冊を作製した。この評価短冊を引張試験機(島津製作所社製 機種名:AGS-G 100N)を用いて90°ピール試験を行い、密着性の評価を行った。評価基準は以下の通りとした。
◎:6.0N/cm以上。
○:5.0以上6.0N/cm未満。
△:4.0以上5.0N/cm未満。
×:4.0N/cm未満。
(Adhesion evaluation)
A curable resin composition was formed on a copper foil treated with CZ-8201B at an etching rate of 0.5 μm/m 2 so as to have a film thickness of about 20 μm, and the entire surface was exposed. After that, development and curing were performed under predetermined conditions. Then, a thermosetting adhesive Araldite (manufactured by Nichiban Co., Ltd.) was formed on the surface of the curable resin composition, adhered to the FR-4 substrate and cured under the condition of 80° C. for 6 hours. After that, the evaluation substrate was cut at intervals of 20 mm, and both sides were peeled off so that the Cu foil width became 10 mm, to produce an evaluation strip. This evaluation strip was subjected to a 90° peel test using a tensile tester (model name: AGS-G 100N manufactured by Shimadzu Corporation) to evaluate the adhesion. The evaluation criteria are as follows.
A: 6.0 N/cm or more.
◯: 5.0 or more and less than 6.0 N/cm.
Δ: 4.0 or more and less than 5.0 N/cm.
X: Less than 4.0 N/cm.

(解像性評価)
CZ−8101Bでエッチングレート1.0μm/mの条件で処理されためっき銅基板に、硬化性樹脂組成物を膜厚約15μmになるように形成し、各種開口パターンで露光を行った。その後、既定の条件で現像、評価条件で硬化を実施した。
上記により得られた評価基板の開口径を観測し、ハレーション、アンダーカットの発生がない確認し評価を行った。評価基準は以下の通りとした。
◎:60μmにて良好な開口径。
○:70μmにて良好な開口径。
△:80μmにて良好な開口径。
×:80μmにて良好な開口径がえられない。または現像不可。
(Resolution evaluation)
A curable resin composition was formed to a film thickness of about 15 μm on a plated copper substrate treated with CZ-8101B at an etching rate of 1.0 μm/m 2 , and exposed with various opening patterns. After that, development was performed under predetermined conditions and curing was performed under evaluation conditions.
The opening diameter of the evaluation substrate obtained as described above was observed, and it was confirmed that halation and undercut did not occur and evaluated. The evaluation criteria are as follows.
⊚: A good opening diameter of 60 μm.
◯: Good opening diameter at 70 μm.
Δ: A good opening diameter at 80 μm.
X: A good opening diameter cannot be obtained at 80 μm. Or development is not possible.

(HAST耐性評価)
CZ−8101Bでエッチングレート1.0μm/mの条件で処理されたL/S=20/15μmの櫛形パターンが形成された基板に硬化性樹脂組成物をCu上膜厚約15μmになるように形成し、全面露光を行った。その後、既定の条件で現像、硬化を実施した。
その後電極をつなぎ130℃、85%、5Vの条件でHAST試験を実施した。評価基準は以下の通りとした。
◎:400時間でパス。
○:350時間でパス。
△:300時間でパス。
×:250時間以内でNG。
(HAST resistance evaluation)
The curable resin composition was applied to a substrate having a comb-shaped pattern of L/S=20/15 μm, which was treated with CZ-8101B at an etching rate of 1.0 μm/m 2 , so that the film thickness on Cu was about 15 μm. It was formed and exposed over the entire surface. After that, development and curing were performed under predetermined conditions.
After that, the electrodes were connected and a HAST test was performed under the conditions of 130° C., 85%, and 5V. The evaluation criteria are as follows.
◎: Pass in 400 hours.
○: Pass in 350 hours.
Δ: Pass in 300 hours.
X: NG within 250 hours.

(TCT耐性)
CZ−8101Bでエッチングレート1.0μm/mの条件で処理されたパッケージ基板上に、硬化性樹脂組成物をCu上膜厚約15μmになるように形成し、銅パッド上にSRO80μm露光を行った。その後、既定の条件で現像、硬化を実施した。その後、Auめっき処理、はんだバンプ形成、Siチップを実装し、評価基板を得た。
上記により得られた評価基板を、−65℃と150℃の間で温度サイクルが行われる冷熱サイクル機に入れ、TCT(Thermal Cycle Test)を行った。そして、600サイクル時、800サイクル時および1000サイクル時の硬化被膜の表面を観察した。判定基準は以下の通りとした。
◎:1000サイクルで異常なし。
○:800サイクルで異常なし。1000サイクルでクラック発生。
△:600サイクルで異常なし。800サイクルでクラック発生。
×:600サイクルでクラック発生。
(TCT resistance)
A curable resin composition was formed on a package substrate treated with CZ-8101B at an etching rate of 1.0 μm/m 2 so that the film thickness on Cu was about 15 μm, and SRO was exposed to 80 μm on a copper pad. It was After that, development and curing were performed under predetermined conditions. Then, Au plating treatment, solder bump formation, and Si chip mounting were carried out to obtain an evaluation board.
The evaluation substrate obtained as described above was placed in a thermal cycler in which a temperature cycle was performed between -65°C and 150°C, and TCT (Thermal Cycle Test) was performed. Then, the surface of the cured film was observed at 600 cycles, 800 cycles and 1000 cycles. The criteria for judgment are as follows.
A: No abnormality after 1000 cycles.
◯: No abnormality after 800 cycles Cracks occur after 1000 cycles.
B: No abnormality after 600 cycles. Cracks occur after 800 cycles.
X: Cracks occurred at 600 cycles.

表1〜3中に記載の、各実施例、比較例および参考例に使用された各成分は以下のものである。
(*1):前述の(A)−1カルボキシル基含有樹脂(カルボン酸等量640)
(*2):前述の(A)−2カルボキシル基含有樹脂(カルボン酸等量630)
(*3):前述の(A)−3カルボキシル基含有樹脂(カルボン酸等量703)
(*4):日産化学(株)製TEPIC−VL(エポキシ当量135、イソシアヌル環含有)
(*5):昭和電工(株)製PETG(液状エポキシ樹脂でエポキシ当量96)
(*6):(株)ADEKA製EP−4088S(液状エポキシ樹脂でエポキシ当量170、ジシクロペンタジエン骨格)
(*7):日本化薬(株)製KHE−8000H(液状エポキシ樹脂でエポキシ当量170、シルセスキオキサン骨格を有する特殊エポキシ樹脂)
(*8):(株)ダイセル製Celloxide 2021P(液状エポキシ樹脂でエポキシ当量130、脂環型)
(*9):DIC(株)製 N−770(固形多官能エポキシ樹脂でエポキシ当量176、フェノールノボラック型)
(*10):DIC(株)製 HP−7200L(固形多官能エポキシ樹脂でエポキシ当量247、フェノールノボラック型)
(*11):三菱化学(株)製jER828(液状エポキシ樹脂でエポキシ当量189、ビスフェノールA型骨格)
(*12):BYK社製BYK−361N(レベリング剤、アクリル共重合系)
(*13):BYK社製BYK−1794(消泡剤、アクリル共重合系 )
(*14):BYK社製BYK−322(レベリング剤、シリコン系 )
(*15):信越化学工業(株)製KS−66(消泡剤、シリコン系 )
(*16):DIC(株)製F−563(消泡・レベリング剤、フッ素系)
(*17):DIC(株)製RS−72−K(消泡・レベリング剤、フッ素系)
(*18):以下の製造方法により得られたシリカ分散品。球状シリカ粒子(デンカ(株)製SFP−20M、平均粒径:400nm)50gと、溶剤としてPMA48gと、分散剤(BYK−111)2gとを均一分散させた。
(*19):以下の製造方法により得られた硫酸バリウム分散品。硫酸バリウム粒子(堺化学工業(株)製沈降性バリウム100)50gの水スラリーを70℃に昇温後、10%ケイ酸ナトリウム水溶液をシリカ粒子に対して、シリカ粒子換算で1%添加した。このスラリ−に塩酸を加えてpHを4とし、30分間熟成し、さらに、塩酸によりpHを7±1に維持しながら、20%アルミン酸ナトリウム(NaAlO)水溶液をシリカ粒子に対してアルミナ(Al)換算で5%添加した。この後、20%水酸化ナトリウム水浴液を加え、pHを7に調整し、30分間熟成した。この後、スラリーをフィルタープレスにてろ過水洗し、真空乾燥し、ケイ素の水和酸化物およびアルミニウムの水和酸化物で被覆された硫酸バリウム粒子の固形物を得た。上記と同様にして得られたケイ素の水和酸化物で被覆された硫酸バリウム粒子50gと、溶剤としてPMA48gと、分散剤(BYK−111)2gとを均一分散させた。
(*20): 以下の製造方法により得られたアルミナ分散品。球状アルミナ粒子(デンカ社(株)製ASFP−20、平均粒径:300nm)50gと、溶剤としてPMA48gと、分散剤(BYK−111)2gとを均一分散させた。
(*21):以下の製造方法により得られたシリカ分散品。球状シリカ粒子(デンカ(株)製SFP−20M、平均粒径:400nm)50gと、溶剤としてPMA48gと、メタクリル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM−503)2gとを均一分散させた。
(*22):以下の製造方法により得られたシリカ分散品。球状シリカ粒子(デンカ(株)製SFP−20M、平均粒径:400nm)50gの水スラリーを70℃に昇温後、10%ケイ酸ナトリウム水溶液をシリカ粒子に対して、シリカ粒子換算で1%添加した。このスラリ−に塩酸を加えてpHを4とし、30分間熟成し、さらに、塩酸によりpHを7±1に維持しながら、20%アルミン酸ナトリウム(NaAlO)水溶液をシリカ粒子に対してアルミナ(Al)換算で5%添加した。この後、20%水酸化ナトリウム水浴液を加え、pHを7に調整し、30分間熟成した。この後、スラリーをフィルタープレスにてろ過水洗し、真空乾燥し、ケイ素の水和酸化物およびアルミニウムの水和酸化物で被覆されたシリカ粒子の固形物を得た。上記と同様にして得られたケイ素の水和酸化物で被覆されたシリカ粒子50gと、溶剤としてPMA48gと、メタクリル基を有するシランカップリング剤(信越化学工業社製KBM−503)2gとを均一分散させた。
(*23):IGM Resins社製OmniradTPO(2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド)
(*24):BASFジャパン(株)製イルガキュアOXE02(エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(o−アセチルオキシム)
(*25):日本化薬(株)製DPHA(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート)
(*26):フタロシアニンブルー
(*27):クロモフタルイエロー
(*28):メラミン
(*29):DICY(ジシアンジアミド)
The components used in Examples, Comparative Examples and Reference Examples described in Tables 1 to 3 are as follows.
(*1): the above-mentioned (A)-1 carboxyl group-containing resin (carboxylic acid equivalent 640)
(*2): the above-mentioned (A)-2 carboxyl group-containing resin (carboxylic acid equivalent 630)
(*3): the above-mentioned (A)-3 carboxyl group-containing resin (carboxylic acid equivalent 703)
(*4): Nissan Chemical Co., Ltd. TEPIC-VL (epoxy equivalent 135, isocyanuric ring-containing)
(*5): PETG manufactured by Showa Denko KK (liquid epoxy resin with an epoxy equivalent of 96)
(*6): EP-4088S manufactured by ADEKA Corporation (liquid epoxy resin, epoxy equivalent 170, dicyclopentadiene skeleton)
(*7): KHE-8000H manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. (liquid epoxy resin, epoxy equivalent 170, special epoxy resin having silsesquioxane skeleton)
(*8): Celloxide 2021P manufactured by Daicel Corporation (liquid epoxy resin, epoxy equivalent 130, alicyclic type)
(*9): N-770 (solid polyfunctional epoxy resin, epoxy equivalent 176, phenol novolac type) manufactured by DIC Corporation.
(*10): HP-7200L manufactured by DIC Corporation (solid polyfunctional epoxy resin, epoxy equivalent 247, phenol novolac type)
(*11): Mitsubishi Chemical Corporation jER828 (liquid epoxy resin, epoxy equivalent 189, bisphenol A type skeleton)
(*12): BYK-361N manufactured by BYK (leveling agent, acrylic copolymer system)
(*13): BYK-1794 (defoaming agent, acrylic copolymer system) manufactured by BYK Co., Ltd.
(*14): BYK-made BYK-322 (leveling agent, silicon type)
(*15): Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. KS-66 (antifoaming agent, silicone type)
(*16): F-563 (anti-foaming/leveling agent, fluorine-based) manufactured by DIC Corporation
(*17): RS-72-K (antifoaming/leveling agent, fluorine type) manufactured by DIC Corporation
(*18): Silica dispersion obtained by the following manufacturing method. 50 g of spherical silica particles (SFP-20M manufactured by Denka Corp., average particle size: 400 nm), 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a dispersant (BYK-111) were uniformly dispersed.
(*19): Barium sulfate-dispersed product obtained by the following production method. After heating 50 g of an aqueous slurry of barium sulfate particles (precipitable barium 100 manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.) to 70° C., a 10% sodium silicate aqueous solution was added to silica particles in an amount of 1% in terms of silica particles. Hydrochloric acid was added to this slurry to adjust the pH to 4 and aged for 30 minutes. Further, while maintaining the pH at 7±1 with hydrochloric acid, a 20% sodium aluminate (NaAlO 2 ) aqueous solution was added to silica particles to form alumina ( 5% was added in terms of Al 2 O 3 ). Then, a 20% sodium hydroxide aqueous bath solution was added to adjust the pH to 7, and the mixture was aged for 30 minutes. Then, the slurry was filtered, washed with water using a filter press, and dried in vacuum to obtain a solid product of barium sulfate particles coated with a hydrated oxide of silicon and a hydrated oxide of aluminum. 50 g of barium sulfate particles coated with a hydrated oxide of silicon obtained in the same manner as above, 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a dispersant (BYK-111) were uniformly dispersed.
(*20): An alumina dispersed product obtained by the following manufacturing method. 50 g of spherical alumina particles (ASFP-20 manufactured by Denka Corp., average particle diameter: 300 nm), 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a dispersant (BYK-111) were uniformly dispersed.
(*21): A silica dispersion obtained by the following manufacturing method. 50 g of spherical silica particles (SFP-20M manufactured by Denka Co., average particle size: 400 nm), 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a silane coupling agent having a methacryl group (KBM-503 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) are uniformly dispersed. Let
(*22): Silica dispersion obtained by the following manufacturing method. After heating 50 g of an aqueous slurry of spherical silica particles (SFP-20M manufactured by Denka Co., Ltd., average particle size: 400 nm) to 70° C., a 10% sodium silicate aqueous solution is added to the silica particles in an amount of 1% in terms of silica particles. Was added. Hydrochloric acid was added to this slurry to adjust the pH to 4 and aged for 30 minutes. Further, while maintaining the pH at 7±1 with hydrochloric acid, a 20% sodium aluminate (NaAlO 2 ) aqueous solution was added to silica particles to form alumina ( 5% was added in terms of Al 2 O 3 ). Then, a 20% sodium hydroxide aqueous bath solution was added to adjust the pH to 7, and the mixture was aged for 30 minutes. After that, the slurry was filtered, washed with water using a filter press, and vacuum dried to obtain a solid substance of silica particles coated with a hydrated oxide of silicon and a hydrated oxide of aluminum. 50 g of silica particles coated with a hydrated oxide of silicon obtained in the same manner as above, 48 g of PMA as a solvent, and 2 g of a silane coupling agent having a methacryl group (KBM-503 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) were uniformly added. Dispersed.
(*23): OmniradTPO manufactured by IGM Resins (2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide)
(*24): BASF Japan KK Irgacure OXE02 (ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-1-(o-acetyloxime)
(*25): Nippon Kayaku Co., Ltd. DPHA (dipentaerythritol hexaacrylate)
(*26): Phthalocyanine blue (*27): Chromophthal yellow (*28): Melamine (*29): DICY (dicyandiamide)

表1〜3に示す結果から、本発明の硬化性樹脂組成物によれば、高密着性、高解像性、高絶縁信頼性(HAST耐性)、高クラック耐性(TCT耐性)といったソルダーレジストに要求される性能を満足しつつ、ウエハレベルパッケージの、個片化プロセスにおけるダイシング工程でデラミやチッピングによる不良が発生しにくい、すなわち耐チッピング性の高い硬化性樹脂組成物を得ることができることが分かる。 From the results shown in Tables 1 to 3, according to the curable resin composition of the present invention, a solder resist having high adhesion, high resolution, high insulation reliability (HAST resistance), and high crack resistance (TCT resistance) can be obtained. While satisfying the required performance, it can be seen that a curable resin composition having a high chipping resistance can be obtained in which a defect due to delamination or chipping is less likely to occur in the dicing process in the wafer level package dicing process. ..

Claims (6)

(A)カルボキシル基含有樹脂、
(B)イソシアヌル環またはジシクロペンタジエン骨格を有し、エポキシ当量が180g/eq.以下である液状の非芳香族エポキシ樹脂、
(C)シリコン系またはアクリル共重合系の少なくとも一方の、前記エポキシ樹脂(B)中で硬化後も系中に残る液状の消泡剤またはレベリング剤、および
(D)無機フィラー
を含有することを特徴とする硬化性樹脂組成物。
(A) Carboxyl group-containing resin,
(B) It has an isocyanuric ring or a dicyclopentadiene skeleton, and has an epoxy equivalent of 180 g/eq. A liquid non-aromatic epoxy resin, which is
(C) at least one of a silicon-based or acrylic copolymer type, that Yusuke said epoxy resin (B) anti-foaming agent or a leveling agent in liquid form after curing remain in the system in, and (D) containing an inorganic filler A curable resin composition comprising:
前記(D)無機フィラーの含有量が25〜70質量%である請求項1に記載の硬化性樹脂組成物。 The curable resin composition according to claim 1, wherein the content of the (D) inorganic filler is 25 to 70% by mass. 請求項1または2に記載の硬化性樹脂組成物をフィルムに塗布、乾燥して得られる樹脂層を有することを特徴とするドライフィルム。 A dry film having a resin layer obtained by applying the curable resin composition according to claim 1 or 2 to a film and drying the film. 請求項1または2に記載の硬化性樹脂組成物、または、請求項記載のドライフィルムの樹脂層を硬化して得られることを特徴とする硬化物。 A curable resin composition according to claim 1 or 2 , or a cured product obtained by curing the resin layer of the dry film according to claim 3 . 請求項記載の硬化物を有することを特徴とするプリント配線板。 A printed wiring board comprising the cured product according to claim 4 . 請求項記載のプリント配線板を有することを特徴とする電子部品。 An electronic component comprising the printed wiring board according to claim 5 .
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