JP6586028B2 - Semiconductor laser light source - Google Patents

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Description

本発明は、中長距離の光ファイバ通信で用いられる単一モードで動作する半導体レーザ光源に関するものである。   The present invention relates to a semiconductor laser light source that operates in a single mode and is used in medium and long distance optical fiber communication.

近年、光通信システムの大容量化に伴い、多値位相振幅変調を用いたデジタル・コヒーレント通信方式が普及し始めている。この通信方式は光の位相情報を用いてデジタル信号を伝達する方式であるため、光源としては、光発振周波数(波長)が安定かつ位相雑音が少なくスペクトル線幅が狭いレーザ光源が必要になる。半導体レーザは小型で低コストなため、光通信用光源として広く普及しているが、特に中・長距離の光通信システムでは、単一モードで動作する分布帰還型(DFB)レーザなどが広く用いられている。   In recent years, with the increase in capacity of optical communication systems, digital coherent communication systems using multi-level phase amplitude modulation have begun to spread. Since this communication method is a method of transmitting a digital signal using light phase information, a laser light source having a stable optical oscillation frequency (wavelength), a small phase noise, and a narrow spectral line width is required as a light source. Semiconductor lasers are widely used as light sources for optical communications due to their small size and low cost, but distributed feedback (DFB) lasers that operate in a single mode are widely used, especially in medium and long distance optical communication systems. It has been.

また中・長距離の光通信システムでは、光ファイバ1本あたりの伝送容量を増大させるために、波長多重(WDM)技術を用いることが一般的であり、光源にはどの波長チャネルでも出力できるような、波長可変特性も必要とされている。   In addition, in a medium / long-distance optical communication system, it is common to use wavelength division multiplexing (WDM) technology to increase the transmission capacity per optical fiber so that any wavelength channel can be output to the light source. In addition, wavelength tunable characteristics are also required.

図1に、現在、主に用いられている波長可変レーザモジュールの概略の基本構成を示す。このレーザモジュールには、半導体レーザで構成されたレーザ光源1からのレーザ光を部分反射ミラー2で分岐して受け、光発振波長を安定化させるために波長ロッカー3が内蔵されている。波長ロッカー3は、波長基準となるエタロン・フィルタやモニタ用のフォトダイオード(PD)などにより構成される光学部品である。   FIG. 1 shows a schematic basic configuration of a wavelength tunable laser module mainly used at present. This laser module incorporates a wavelength locker 3 in order to receive a laser beam from a laser light source 1 composed of a semiconductor laser by being branched by a partially reflecting mirror 2 and to stabilize the light oscillation wavelength. The wavelength locker 3 is an optical component including an etalon filter serving as a wavelength reference, a monitoring photodiode (PD), and the like.

波長ロッカー3では、エタロン・フィルタの透過率の光周波数依存性を利用し、エタロン・フィルタを透過した半導体レーザ光の光発振周波数(波長)をモニタ用のPDにより検出し、基準となるエタロン・フィルタの光周波数に合致させるように半導体レーザ1に外部的な電気的制御を施すことで、半導体レーザの光発振周波数(波長)を安定化させている。   The wavelength locker 3 uses the optical frequency dependence of the transmittance of the etalon filter, detects the optical oscillation frequency (wavelength) of the semiconductor laser light that has passed through the etalon filter, and detects the reference etalon By applying external electrical control to the semiconductor laser 1 so as to match the optical frequency of the filter, the optical oscillation frequency (wavelength) of the semiconductor laser is stabilized.

一般に、半導体レーザは、他の固体レーザやガス・レーザなどと比べると、共振器サイズが小さいため、位相ノイズは相対的に大きい。上記の様な外部的制御は、ある程度の時間遅れを伴うため、レーザ光発振周波数を長期的には安定化させたとしても、短期的な光発振周波数の変動は大きく、発振レーザ光の光スペクトルの線幅はかなり広い。通常の数百μmの共振器サイズの半導体レーザの線幅は、MHzのオーダーとなっている。   In general, a semiconductor laser has a relatively large phase noise because its resonator size is small compared to other solid-state lasers and gas lasers. Since the external control as described above involves a certain time delay, even if the laser oscillation frequency is stabilized in the long term, fluctuations in the short-term oscillation frequency are large, and the optical spectrum of the oscillation laser beam is large. The line width of is quite wide. The line width of a typical semiconductor laser having a resonator size of several hundred μm is on the order of MHz.

現在、普及が進んでいる100 Gbit/sのデジタル・コヒーレント通信システムにおいては、偏波多重QPSK変調方式が用いられており、数百kHzの線幅の光源が要求されている。そこでは、共振器長を1mm程度まで長くして狭線幅化した波長可変分布帰還型(DFB)レーザアレイや外部共振器型レーザなどが用いられている。今後、より多値度の大きな大容量通信を実現するためには、よりスペクトル線幅の狭い光源の実現が期待されている。   Currently, in the 100 Gbit / s digital coherent communication system that is widely used, the polarization multiplexing QPSK modulation method is used, and a light source having a line width of several hundred kHz is required. In this case, a variable wavelength distributed feedback (DFB) laser array, an external resonator type laser, or the like whose length is narrowed by increasing the resonator length to about 1 mm is used. In the future, a light source with a narrower spectral line width is expected to realize a large-capacity communication with a large multilevel.

M. Finot, et al., “Thermally tuned external cavity laser with micromachined silicon etalons: design, process and reliability,” Electronic Components and Technology Conference 2004 Proceedings, Vol. 1, pp. 818-823, 2004.M. Finot, et al., “Thermally tuned external cavity laser with micromachined silicon etalons: design, process and reliability,” Electronic Components and Technology Conference 2004 Proceedings, Vol. 1, pp. 818-823, 2004. K. Aoyama, et al., “Optical Negative Feedback for Linewidth Reduction of Semiconductor Lasers,” IEEE Photon. Technol. Lett., vol. 27, No. 4, pp. 340 - 343, 2015.K. Aoyama, et al., “Optical Negative Feedback for Linewidth Reduction of Semiconductor Lasers,” IEEE Photon. Technol. Lett., Vol. 27, No. 4, pp. 340-343, 2015.

例えばスペクトル線幅を10kHz程度まで狭める構成としては、光増幅作用を有する半導体チップの外部にレーザ発振のための光学共振器を構成する、いわゆる外部共振器型レーザがある。たとえば、非特許文献1に示すような、半導体アンプと外部反射器、波長を選択するためのエタロン・フィルタ、レンズなどで構成される外部共振器型レーザにより、1550nmのC帯全域をカバーする波長可変特性と数10kHzの線幅特性が得られている。   For example, as a configuration for narrowing the spectral line width to about 10 kHz, there is a so-called external resonator type laser in which an optical resonator for laser oscillation is formed outside a semiconductor chip having an optical amplification function. For example, a wavelength covering the entire C band of 1550 nm by an external resonator laser composed of a semiconductor amplifier, an external reflector, an etalon filter for selecting a wavelength, and a lens as shown in Non-Patent Document 1. Variable characteristics and line width characteristics of several tens of kHz are obtained.

しかしながら、外部共振器型レーザは、半導体チップ以外にも外部に多数の部品を必要とし、なおかつ、高精度に組み立てる必要があるといった課題がある。また、多数の共振モードの中から一つの波長を選択するために、少なくとも2個以上の波長フィルタを制御しなければならず、制御回路が複雑になるといった課題や、波長特性の検査が複雑であるといった課題もある。   However, the external resonator type laser has a problem that it requires a large number of parts outside the semiconductor chip and needs to be assembled with high accuracy. In addition, in order to select one wavelength from a large number of resonance modes, at least two or more wavelength filters must be controlled, and the control circuit becomes complicated, and the inspection of wavelength characteristics is complicated. There is also a problem that there is.

一方、半導体チップ上に光共振器を設けて構成されたDFBレーザなどの半導体レーザをベースとした波長可変レーザでは、原理的に同じ発振モードを保ったまま、半導体チップの温度制御などを用いて波長を変えることができるため、制御は簡単であるが、狭線幅化には限界がある。前述の様に1mm程度までの長共振器化により、100kHz程度までの線幅は得られているが、これ以上共振器長を長くすると、半導体チップの製造ゆらぎにより均一な共振器を形成することが難しくなるといった課題がある。   On the other hand, in a wavelength tunable laser based on a semiconductor laser such as a DFB laser configured by providing an optical resonator on a semiconductor chip, the temperature control of the semiconductor chip is used while maintaining the same oscillation mode in principle. Control is simple because the wavelength can be changed, but there is a limit to narrowing the line width. As mentioned above, the line width up to about 100kHz has been achieved by making the resonator long up to about 1mm, but if the resonator length is made longer than this, a uniform resonator will be formed due to manufacturing fluctuations in the semiconductor chip. There is a problem that becomes difficult.

本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであって、半導体レーザと波長ロッカーを組み合わせることによって、小型で制御性がよく、安定かつ狭線幅のレーザ光源を実現するものである。   The present invention has been made in view of such problems, and by combining a semiconductor laser and a wavelength locker, a compact, good controllability, stable and narrow line width laser light source is realized.

本発明は、このような目的を達成するために、以下のような構成を備えることを特徴とする。   In order to achieve such an object, the present invention is characterized by having the following configuration.

(発明の構成1)
単一モードで発振する半導体レーザを有する半導体レーザチップが搭載された光源ブロックと、前記半導体レーザの光発振周波数の制御に用いられ、基準となる光周波数を有するエタロン・フィルタが搭載された波長ロッカー・ブロックにより構成される半導体レーザ光源において、前記波長ロッカー・ブロック内の前記エタロン・フィルタからの反射光の一部が前記光源ブロック内の前記半導体レーザチップに戻るように構成され、単一モードで発振する前記半導体レーザの光発振周波数が増加したときに前記エタロン・フィルタから戻る反射光の強度が強くなり、逆に光発振周波数が減少したときに前記エタロン・フィルタから戻る反射光の強度が弱くなるようなフィルタ特性となる動作点で前記エタロン・フィルタを動作させることを特徴とする半導体レーザ光源。
(Structure 1 of the invention)
A light source block having a semiconductor laser chip having a semiconductor laser oscillating in a single mode, and a wavelength locker having an etalon filter having a reference optical frequency used for controlling the optical oscillation frequency of the semiconductor laser · in the semiconductor laser light source constituted by a block, a portion of the reflected light from the etalon filter of the wavelength locker-block is configured to return to the semiconductor laser chip in the light source block, a single-mode When the optical oscillation frequency of the semiconductor laser that oscillates increases, the intensity of reflected light returning from the etalon filter increases, and conversely, when the optical oscillation frequency decreases, the intensity of reflected light returning from the etalon filter decreases. that operating the etalon filter at the operating point as a filter characteristic such that The semiconductor laser light source for the symptoms.

(発明の構成2)
発明の構成1記載の半導体レーザ光源において、単一モードで発振する前記半導体レーザが、回折格子による波長選択機能を備えた分布帰還型レーザ、もしくは分布反射型レーザのいずれかで構成されることを特徴とする半導体レーザ光源。
(Configuration 2)
In the semiconductor laser light source according to the first aspect of the invention, the semiconductor laser that oscillates in a single mode is configured by either a distributed feedback laser having a wavelength selection function by a diffraction grating or a distributed reflection laser. A semiconductor laser light source.

(発明の構成3)
発明の構成1または2のいずれか1項に記載の半導体レーザ光源において、単一モードで発振する半導体レーザを有する前記半導体レーザチップが、N(≧1)個の半導体レーザからなるレーザアレイ、N対1光合波器、および半導体アンプが集積された波長可変レーザとなっていることを特徴とする半導体レーザ光源。
(Structure 3 of the invention)
3. The semiconductor laser light source according to claim 1, wherein the semiconductor laser chip having a semiconductor laser that oscillates in a single mode comprises N (≧ 1) semiconductor lasers, N A semiconductor laser light source comprising a tunable laser in which a one-to-one optical multiplexer and a semiconductor amplifier are integrated.

(発明の構成
発明の構成1からのいずれか1項に記載の半導体レーザ光源において、
前記波長ロッカー・ブロックの光出射側の先の光路上に光アイソレータが設けられており、
前記波長ロッカー・ブロック内の前記エタロン・フィルタからの反射光の一部が前記光源ブロック上の前記半導体レーザチップに戻る光路上には光アイソレータが設けられていないことを特徴とする半導体レーザ光源。
(Structure 4 of the invention)
In the semiconductor laser light source according to any one of configurations 1 to 3 ,
An optical isolator is provided on the optical path ahead of the light output side of the wavelength locker block,
A semiconductor laser light source, wherein an optical isolator is not provided on an optical path in which a part of reflected light from the etalon filter in the wavelength locker block returns to the semiconductor laser chip on the light source block.

(発明の構成
発明の構成1からのいずれか1項に記載の半導体レーザ光源において、
パッケージの中に前記光源ブロックと前記波長ロッカー・ブロックの2つの機能ブロックが配置され、
それぞれの機能ブロックは、TEC(Thermo−electric cooler)素子の上に実装されて、各々、独立に温度を調整することができるように構成され、
前記波長ロッカー・ブロックには、
前記光源ブロックから直接入射したレーザ光を分岐させるための第1の部分反射ミラーと、
前記第1の部分反射ミラーからの分岐光の一方をさらに分岐するための第2の部分反射ミラーと、
前記第2の部分反射ミラーからの分岐光の一方を受ける前記エタロン・フィルタと、
前記第2の部分反射ミラーからの分岐光の他方を受ける強度モニタ用フォトダイオードと、
前記エタロン・フィルタからの透過光を受ける波長モニタ用フォトダイオードと、
温度モニタ用サーミスタが実装されていることを特徴とする半導体レーザ光源。
(Structure 5 of the invention)
In the semiconductor laser light source according to any one of configurations 1 to 4 ,
Two functional blocks of the light source block and the wavelength locker block are arranged in a package,
Each functional block is mounted on a TEC (Thermo-electric cooler) element and is configured to be able to adjust the temperature independently,
The wavelength locker block includes
A first partially reflecting mirror for branching laser light directly incident from the light source block;
A second partial reflection mirror for further branching one of the branched lights from the first partial reflection mirror;
The etalon filter that receives one of the branched lights from the second partially reflecting mirror;
An intensity monitoring photodiode for receiving the other of the branched lights from the second partial reflection mirror;
A wavelength monitoring photodiode that receives the transmitted light from the etalon filter;
A semiconductor laser light source, wherein a temperature monitoring thermistor is mounted.

(発明の構成
発明の構成1からのいずれか1項に記載の半導体レーザ光源において、
前記エタロン・フィルタを構成する2枚の部分反射面は光線軸に対して垂直に配置されていることを特徴とする半導体レーザ光源。
(Structure 6 of the invention)
In the semiconductor laser light source according to any one of configurations 1 to 5 of the invention,
2. A semiconductor laser light source, wherein two partial reflection surfaces constituting the etalon filter are arranged perpendicular to a light axis.

(発明の構成
発明の構成5に記載の半導体レーザ光源において、
少なくとも前記波長モニタ用フォトダイオードの出力電流に基づいて、前記半導体レーザの光発振周波数を安定化するように制御することを特徴とする半導体レーザ光源。
(Structure 7 of the invention)
In the semiconductor laser light source according to Structure 5 of the invention,
A semiconductor laser light source characterized by controlling the optical oscillation frequency of the semiconductor laser based on at least an output current of the wavelength monitoring photodiode.

以上説明したように、本発明によれば、波長ロッカー・ブロック内のエタロン・フィルタからの反射光を半導体レーザ自体に積極的に戻すことにより、波長安定化しつつ狭線幅動作が可能となる。   As described above, according to the present invention, the reflected light from the etalon filter in the wavelength locker block is positively returned to the semiconductor laser itself, thereby enabling a narrow line width operation while stabilizing the wavelength.

従来の波長可変レーザモジュールの概略の基本構成を示す図である。It is a figure which shows the basic composition of the outline of the conventional wavelength tunable laser module. 本発明の実施例における半導体レーザ光源のパッケージの平面図である。It is a top view of the package of the semiconductor laser light source in the Example of this invention. 従来の半導体レーザ光源のパッケージの平面図である。It is a top view of the package of the conventional semiconductor laser light source. 本発明の実施例におけるモニタ出力電流比(PD1/PD2)の光周波数特性を示す図である。It is a figure which shows the optical frequency characteristic of the monitor output current ratio (PD1 / PD2) in the Example of this invention.

以下に、本願発明の動作原理について示す。まず、エタロン・フィルタのレーザ光発振周波数への負帰還作用について説明する。   The operation principle of the present invention will be described below. First, the negative feedback action of the etalon filter on the laser light oscillation frequency will be described.

エタロン(Etalon)とは、所定の間隔で対向する2枚の部分反射面を有する光学素子であり、反射光や透過光の多重干渉を利用して波長フィルタを構成することができる。エタロン・フィルタは、その部分反射面の間隔と光の波長で決まる光周波数間隔に応じて、その透過光強度や反射光強度が周期的に変化するフィルタ特性を有する。   An etalon is an optical element having two partially reflecting surfaces facing each other at a predetermined interval, and a wavelength filter can be configured using multiple interference of reflected light and transmitted light. The etalon filter has a filter characteristic in which the transmitted light intensity and the reflected light intensity change periodically according to the optical frequency interval determined by the interval between the partial reflection surfaces and the wavelength of light.

いま、半導体レーザの出射側にエタロン・フィルタを設け、エタロン・フィルタからの戻り光(反射光)が半導体レーザに帰還可能に配置したとして、半導体レーザの光発振周波数が増加する方向に変化した場合を考える。   When an etalon filter is provided on the emission side of the semiconductor laser and the return light (reflected light) from the etalon filter is arranged so that it can be fed back to the semiconductor laser, the optical oscillation frequency of the semiconductor laser changes in the increasing direction. think of.

半導体レーザの光発振周波数が増加した場合に、エタロン・フィルタから戻る反射光の強度が増すようにフィルタ特性上の動作点が設定されているとすると、半導体レーザに戻ってくる反射光の強度が増加し、半導体利得媒質中で誘導放出により増幅される。その結果、半導体レーザの半導体利得媒質中のキャリア(電子、正孔)が消費され、キャリア密度が減少する。   If the operating point on the filter characteristics is set so that the intensity of the reflected light returning from the etalon filter increases when the optical oscillation frequency of the semiconductor laser increases, the intensity of the reflected light returning to the semiconductor laser is Increased and amplified by stimulated emission in the semiconductor gain medium. As a result, carriers (electrons and holes) in the semiconductor gain medium of the semiconductor laser are consumed, and the carrier density decreases.

すると、キャリア・プラズマ効果により、半導体利得媒質の屈折率が増加する方向に変化し、半導体レーザの光共振器の光学的実効長が長くなる結果、発振波長が増大し、光発振周波数は減少する方向に変化する。逆に、半導体レーザの光発振周波数が減少する方向に変化した場合は、全く逆方向の変化が生じ、光発振周波数が増加する方向に変化する。   Then, due to the carrier-plasma effect, the refractive index of the semiconductor gain medium changes in the increasing direction, and the optical effective length of the optical resonator of the semiconductor laser becomes longer. As a result, the oscillation wavelength increases and the optical oscillation frequency decreases. Change direction. On the contrary, when the light oscillation frequency of the semiconductor laser is changed in a decreasing direction, a change in the opposite direction is generated and the light oscillation frequency is increased.

このようにエタロン・フィルタの動作点を設定することによって、エタロン・フィルタからの戻り光(反射光)を介して、半導体レーザの光発振周波数への直接かつ迅速な光の負帰還作用が働き、スペクトル線幅の狭窄化が行われるようにすることができる。例えば、非特許文献2に、エタロン・フィルタによる光帰還を利用した狭線幅化の例が報告されている。   By setting the operating point of the etalon filter in this way, a direct and rapid light negative feedback action to the optical oscillation frequency of the semiconductor laser works via the return light (reflected light) from the etalon filter, The spectral line width can be narrowed. For example, Non-Patent Document 2 reports an example of narrowing the line width using optical feedback by an etalon filter.

本発明は、波長ロッカーに搭載されているエタロン・フィルタを利用して、波長ロッカー本来の使い方である外部的なレーザ光源の制御による波長の安定化に加え、上述のレーザ光源への直接かつ迅速な光の負帰還動作による狭線幅動作をも実現可能としたものである。このように、本発明の構成では、小型、安定で、なおかつ制御性のよい狭線幅光源が実現可能となる。   The present invention uses the etalon filter mounted on the wavelength locker to stabilize the wavelength by controlling the external laser light source, which is the original use of the wavelength locker, as well as to the laser light source described above directly and quickly. It is also possible to realize narrow line width operation by negative feedback operation of light. Thus, with the configuration of the present invention, it is possible to realize a small-width light source that is small, stable, and has good controllability.

以下に、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
(実施形態)
図2は、本発明の実施例に係る半導体レーザ光源のパッケージの平面図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
(Embodiment)
FIG. 2 is a plan view of a semiconductor laser light source package according to an embodiment of the present invention.

本実施形態に係る半導体レーザ光源では、パッケージ101の中に、光源ブロック102と波長ロッカー・ブロック103の2つの機能ブロックが配置されている。なお、図面には記載していないが、それぞれの機能ブロックは、TEC(Thermo−electric cooler)素子の上に実装されており、各々、独立に温度を調整することができるようになっている。   In the semiconductor laser light source according to the present embodiment, two functional blocks of the light source block 102 and the wavelength locker block 103 are arranged in the package 101. Although not shown in the drawings, each functional block is mounted on a TEC (Thermo-electric cooler) element, and the temperature can be adjusted independently.

光源ブロック102の構成としては、銅(Cu)とタングステン(W)の合金であるCuWなどの金属キャリア上に、単一モードで発振し波長可変機能を有する半導体レーザが搭載された半導体レーザチップ104、半導体レーザからの出射光を平行ビームに変換するためのレンズ106、温度をモニタするためのサーミスタ105が実装されている。図中、レーザ光の軌跡を点線矢印で示す。   The configuration of the light source block 102 is a semiconductor laser chip 104 in which a semiconductor laser that oscillates in a single mode and has a wavelength variable function is mounted on a metal carrier such as CuW that is an alloy of copper (Cu) and tungsten (W). A lens 106 for converting emitted light from the semiconductor laser into a parallel beam and a thermistor 105 for monitoring temperature are mounted. In the figure, the locus of the laser beam is indicated by a dotted arrow.

波長ロッカー・ブロック103の構成としては、光源ブロック102から直接入射したレーザ光の一部をキャリア上に部分的に反射させるための第1の部分反射ミラー110、該部分反射光をさらに波長モニタ用と強度モニタ用とに分岐するための第2の部分反射ミラー111、波長モニタ用の反射光を受けるエタロン・フィルタ112、強度モニタ用の透過光を受ける強度モニタ用フォトダイオード113、エタロン・フィルタ112の透過光を受ける波長モニタ用フォトダイオード114、温度モニタ用サーミスタ115が実装されている。   The configuration of the wavelength locker block 103 includes a first partially reflecting mirror 110 for partially reflecting a part of the laser light directly incident from the light source block 102 onto the carrier, and further using the partially reflected light for wavelength monitoring. And a second partial reflection mirror 111 for branching to intensity monitor, an etalon filter 112 for receiving reflected light for wavelength monitoring, an intensity monitor photodiode 113 for receiving transmitted light for intensity monitoring, and an etalon filter 112 A wavelength monitoring photodiode 114 and a temperature monitoring thermistor 115 that receive the transmitted light are mounted.

波長ロッカー・ブロック103を透過した光は、透明窓116とを透過してパッケージ101から出射した後、レンズ117にて集光され、光ファイバ120に光学的に結合される。なお、光ファイバ120より外部からの不要な戻り光を除去するために、ファイバ・フェルール119の端面には光アイソレータ118が配備されている。半導体レーザの信頼性向上のため、パッケージ101は気密封止されている。   The light transmitted through the wavelength locker block 103 is transmitted through the transparent window 116 and emitted from the package 101, and then collected by the lens 117 and optically coupled to the optical fiber 120. In order to remove unnecessary return light from the outside from the optical fiber 120, an optical isolator 118 is provided on the end face of the fiber ferrule 119. The package 101 is hermetically sealed in order to improve the reliability of the semiconductor laser.

なお、図面には描いていないが、半導体レーザ、フォトダイオード、サーミスタなどの部品は、全てパッケージ外部に備わる端子に電気的に配線、接続されており、外部からの電気的な手段により、本半導体レーザ光源を動作させることができる。従来の波長安定化制御動作のための、波長ロッカー・ブロックから光源ブロックへの電気制御信号の信号線も、図示はしないが同様である。   Although not shown in the drawings, all components such as a semiconductor laser, a photodiode, and a thermistor are electrically wired and connected to terminals provided outside the package. The laser light source can be operated. The signal line of the electrical control signal from the wavelength locker block to the light source block for the conventional wavelength stabilization control operation is the same, though not shown.

また、2つの部分反射ミラーにより分岐されたレーザ光を、反射光、透過光と表現しているが、波長ロッカー・ブロック上における各構成要素の配置の制約などの得失はあるものの、反射光と透過光の使い方は逆であっても良いことは明らかであるから、反射光、透過光は分岐光の一方、他方と言うことができる。   In addition, the laser beam branched by the two partial reflection mirrors is expressed as reflected light and transmitted light, but there are advantages and disadvantages such as restrictions on the arrangement of each component on the wavelength locker block. Since it is clear that the usage of the transmitted light may be reversed, the reflected light and the transmitted light can be said to be one of the branched lights and the other.

本実施例では、半導体レーザとして、分布帰還型(DFB)レーザアレイを用いている。半導体レーザチップ104内に複数(N(≧1)個、図2ではN=4)の分布帰還型レーザ107が配列されてレーザアレイを構成しており、N対1の光合波器108によって一本の光導波路にまとめた後、光増幅する半導体アンプ109が集積化されている。レーザアレイを構成する発振波長の異なる4つの分布帰還型レーザの107うち、どれか一つを選択して発振させ、さらにサーミスタ105の出力を見ながらレーザチップの温度を変化させることにより、発振波長を広い範囲で変化させることができる波長可変レーザである。   In this embodiment, a distributed feedback (DFB) laser array is used as the semiconductor laser. A plurality of (N (≧ 1), N = 4 in FIG. 2) distributed feedback lasers 107 are arranged in a semiconductor laser chip 104 to form a laser array, and one N-to-1 optical multiplexer 108 is used. A semiconductor amplifier 109 for optical amplification after being integrated into a single optical waveguide is integrated. By selecting one of the four distributed feedback lasers 107 having different oscillation wavelengths constituting the laser array to oscillate, and changing the temperature of the laser chip while observing the output of the thermistor 105, the oscillation wavelength Is a wavelength tunable laser capable of changing the wavelength in a wide range.

なお、本実施例では、半導体レーザとして分布帰還型(DFB)レーザ107を使用しているが、波長を選択するための回折格子がチップ上の半導体利得領域とは別の部分に設けられた分布反射型(DBR)レーザであってもよい。   In this embodiment, a distributed feedback (DFB) laser 107 is used as a semiconductor laser. However, a distribution in which a diffraction grating for selecting a wavelength is provided in a portion different from the semiconductor gain region on the chip. A reflective (DBR) laser may also be used.

(本発明の動作例)
以下に、本発明の実際の動作例について、図2を用いて説明する。
単一モードで発振する半導体レーザを有する光源ブロック102上の半導体レーザチップ104から出力されたレーザ光は、レンズ106により平行ビームに変換され、波長ロッカー・ブロック103へと進む。
(Operation example of the present invention)
Hereinafter, an actual operation example of the present invention will be described with reference to FIG.
Laser light output from the semiconductor laser chip 104 on the light source block 102 having a semiconductor laser oscillating in a single mode is converted into a parallel beam by the lens 106 and proceeds to the wavelength locker block 103.

波長ロッカー・ブロック103の第1の部分反射ミラー110を透過したレーザ光は透明窓116より出射される一方、反射したレーザ光の一部は、第2の部分反射ミラー111により、強度モニタ用フォトダイオード113と波長モニタ用フォトダイオード114に導かれる。それぞれの光強度がフォトダイオードの電流値に変換されることにより観測され、従来と同様な波長ロッカー・ブロックから光源ブロックへの電気信号による波長安定化制御が行われる。   The laser light that has passed through the first partial reflection mirror 110 of the wavelength locker block 103 is emitted from the transparent window 116, while part of the reflected laser light is reflected by the second partial reflection mirror 111 by the intensity monitoring photo. The light is guided to the diode 113 and the wavelength monitoring photodiode 114. Each light intensity is observed by being converted into a current value of a photodiode, and wavelength stabilization control is performed by an electric signal from the wavelength locker block to the light source block as in the conventional case.

波長モニタ用フォトダイオード114への光路には、エタロン・フィルタ112が挿入されている。エタロン・フィルタの透過率は、光の波長(光周波数)に応じて変化するため、波長モニタ用フォトダイオード114の電流値も、波長(光発振周波数)に応じて変化することになる。   An etalon filter 112 is inserted in the optical path to the wavelength monitoring photodiode 114. Since the transmittance of the etalon filter changes according to the wavelength of light (optical frequency), the current value of the wavelength monitoring photodiode 114 also changes according to the wavelength (optical oscillation frequency).

エタロン・フィルタ112からの戻り光(反射光)の一部は、到来したのと逆の経路をたどり、光源ブロック102内の半導体レーザチップ104上の半導体レーザに達して前述の光による負帰還作用が働き、スペクトル線幅の狭窄化が行われる。   Part of the return light (reflected light) from the etalon filter 112 follows a path opposite to that of the etalon filter 112 and reaches the semiconductor laser on the semiconductor laser chip 104 in the light source block 102, and negative feedback action due to the light described above. Acts to narrow the spectral line width.

(従来の半導体レーザ光源との比較)
比較のため、従来の半導体レーザ光源パッケージの平面図を図3に示す。図3の従来例の構成では図2の本発明の半導体レーザ光源と同じ部分の説明は省略するが、光源ブロックと波長ロッカー・ブロックの間の光路中に、必ず光アイソレータ218が挿入されている。これは波長ロッカー・ブロックからの不要な反射光がレーザ光源側に戻ってくることで、レーザ発振動作を不安定化するとの理由により従来は必要とされていたものである。
(Comparison with conventional semiconductor laser light source)
For comparison, a plan view of a conventional semiconductor laser light source package is shown in FIG. In the configuration of the conventional example of FIG. 3, the description of the same part as the semiconductor laser light source of the present invention of FIG. 2 is omitted, but an optical isolator 218 is always inserted in the optical path between the light source block and the wavelength locker block. . This is conventionally required for the reason that unnecessary reflected light from the wavelength locker block returns to the laser light source side to destabilize the laser oscillation operation.

このため図3の従来構成では、レーザ光源の外部制御による光発振周波数の安定化は図られているものの、エタロン・フィルタから半導体レーザへの前述の直接の光による負帰還作用は働いておらず、スペクトル線幅の狭窄化は達成できていない。   For this reason, in the conventional configuration of FIG. 3, although the light oscillation frequency is stabilized by external control of the laser light source, the negative feedback action by the direct light from the etalon filter to the semiconductor laser does not work. The narrowing of the spectral line width has not been achieved.

図3の従来例では、波長ロッカー・ブロックの光の入り口部分に光アイソレータ218が搭載されているが、光源ブロックの出口側に光アイソレータが搭載されている例もある。いずれにしても、従来は波長ロッカー・ブロックからの不要な反射光がレーザ光源側に戻ってくるのを防ぐために、光源ブロックの半導体レーザと波長ロッカー・ブロックのエタロン・フィルタとの間の光路中に、光アイソレータが挿入されており、本発明のような負帰還作用は働いていない。   In the conventional example of FIG. 3, the optical isolator 218 is mounted on the light entrance portion of the wavelength locker block, but there is also an example in which the optical isolator is mounted on the exit side of the light source block. In any case, conventionally, in order to prevent unnecessary reflected light from the wavelength locker block from returning to the laser light source side, in the optical path between the semiconductor laser of the light source block and the etalon filter of the wavelength locker block In addition, an optical isolator is inserted, and the negative feedback action as in the present invention does not work.

本発明では、光源ブロックと波長ロッカー・ブロックの間の光路中に敢えて光アイソレータを設けず、エタロン・フィルタの反射光のフィルタ特性の動作点を負帰還作用が働くような点に設定することにより、エタロン・フィルタからの反射光を半導体レーザ光源側で積極的に利用してスペクトル線幅の狭窄化を達成している。   In the present invention, no optical isolator is intentionally provided in the optical path between the light source block and the wavelength locker block, and the operating point of the filter characteristic of the reflected light of the etalon filter is set to a point where the negative feedback action works. The reflected light from the etalon filter is actively used on the semiconductor laser light source side to narrow the spectral line width.

(本発明の光周波数特性)
図4に、本実施例において実際に光周波数を変化させた場合の、波長モニタ用フォトダイオード114の出力電流(PD1)を強度モニタ用フォトダイオード113の出力電流(PD2)で割った値の光周波数特性を示す。この特性は、エタロン・フィルタを透過した光を検出する波長モニタ用フォトダイオード114の出力電流(PD1)を、エタロン・フィルタ入力側の光を検出する強度モニタ用フォトダイオードの出力電流(PD2)で規格化しているため、エタロン・フィルタの光透過率の光周波数特性(フィルタ特性)と等価なものとなっている。
(Optical frequency characteristics of the present invention)
FIG. 4 shows the light of the value obtained by dividing the output current (PD1) of the wavelength monitoring photodiode 114 by the output current (PD2) of the intensity monitoring photodiode 113 when the optical frequency is actually changed in this embodiment. Shows frequency characteristics. This characteristic is determined by the output current (PD1) of the wavelength monitor photodiode 114 that detects light transmitted through the etalon filter, and the output current (PD2) of the intensity monitor photodiode that detects light on the etalon filter input side. Since it is standardized, it is equivalent to the optical frequency characteristic (filter characteristic) of the light transmittance of the etalon filter.

本実施例では、波長ロッカー・ブロックの温度を適当な値に調整することにより、図4の193100 GHzでエタロン・フィルタの透過特性の傾きが負の最大値となる動作点としている。   In this embodiment, by adjusting the temperature of the wavelength locker block to an appropriate value, the operating point at which the slope of the transmission characteristic of the etalon filter becomes a negative maximum value at 193100 GHz in FIG.

図4では、このときのモニタ電流の比(PD1/PD2)の値は、1.26である。そこで、モニタ電流の比(PD1/PD2)を1.26に保つように、半導体レーザの光発振周波数を外部より電気的に制御することにより、正確に193100 GHzに保つことができ、波長を安定化するように制御できる。   In FIG. 4, the value of the monitor current ratio (PD1 / PD2) at this time is 1.26. Therefore, by electrically controlling the optical oscillation frequency of the semiconductor laser from the outside so as to keep the monitor current ratio (PD1 / PD2) at 1.26, it can be accurately kept at 193100 GHz and the wavelength is stabilized. Can be controlled.

なお、エタロン・フィルタの透過特性は周期的に変化し、その周期は、エタロン・フィルタの2枚のミラーの光学的距離に依存する。本実施例では、その周期が50 GHzとなるように設計・製作されたエタロン・フィルタを使用した。よって、50 GHz間隔で並ぶ光周波数にレーザ光発振周波数(波長)を安定化させることができる。   Note that the transmission characteristics of the etalon filter periodically change, and the period depends on the optical distance between the two mirrors of the etalon filter. In this embodiment, an etalon filter designed and manufactured so that the period is 50 GHz is used. Therefore, the laser light oscillation frequency (wavelength) can be stabilized at the optical frequency arranged at intervals of 50 GHz.

また、エタロン・フィルタの透過光周波数は、温度によって変化させることができるので、温度制御を行えば、任意の波長に安定化することも可能である。   In addition, since the transmitted light frequency of the etalon filter can be changed depending on the temperature, it can be stabilized to an arbitrary wavelength by controlling the temperature.

本実施例では、エタロン・フィルタの2枚の部分反射面は光線軸に対して垂直に配置されている。このため、エタロン・フィルタからの反射光の一部は、元の光路を辿ってレーザ光源ブロック上の半導体レーザチップに戻っていくことができる。従来例(図3)では、光源ブロック側に戻る光路上に光アイソレータ218が配置されていたため、エタロン・フィルタからの反射光が半導体レーザに戻っていくことはなかったが、本実施例では、そのままレーザに戻ることができる。本実施例ではエタロン・フィルタの動作点が以下の様に設定されており、この結果、前述の光周波数の負帰還作用が働き、スペクトル線幅の狭窄化という作用が働くことになる。   In this embodiment, the two partial reflection surfaces of the etalon filter are arranged perpendicular to the light axis. Therefore, a part of the reflected light from the etalon filter can return to the semiconductor laser chip on the laser light source block along the original optical path. In the conventional example (FIG. 3), since the optical isolator 218 is arranged on the optical path returning to the light source block side, the reflected light from the etalon filter never returns to the semiconductor laser. It is possible to return to the laser as it is. In this embodiment, the operating point of the etalon filter is set as follows. As a result, the above-described negative feedback action of the optical frequency works, and the action of narrowing the spectral line width works.

図4において、透過光周波数が193100 GHzところは、エタロン・フィルタの透過率が光周波数に対して負の傾きを持つ動作点であるので、透過率特性の反対の傾向となる反射特性としては、逆に正の傾きを持つこととなり、例えば光発振周波数が増加した場合には反射光強度が増大することとなる。   In FIG. 4, when the transmitted light frequency is 193100 GHz, it is an operating point where the transmittance of the etalon filter has a negative slope with respect to the optical frequency. On the other hand, it has a positive slope. For example, when the optical oscillation frequency is increased, the reflected light intensity is increased.

したがって、前述の様に半導体レーザの光発振周波数への負帰還作用が働き、狭線幅動作が達成されることとなる。実際、従来例の構成による半導体レーザ光源の線幅が500kHz程度であったものが、本発明の適用により10 kHz程度にまで狭くすることができた。   Therefore, as described above, a negative feedback action to the optical oscillation frequency of the semiconductor laser works, and a narrow line width operation is achieved. Actually, the line width of the semiconductor laser light source with the configuration of the conventional example was about 500 kHz, but it could be reduced to about 10 kHz by applying the present invention.

以上のように、本発明の適用により、従来とほぼ同様の構成で、波長安定化と狭線幅動作を両立できる小型の波長可変レーザ光源を得ることができる。   As described above, by applying the present invention, it is possible to obtain a small wavelength tunable laser light source capable of achieving both wavelength stabilization and narrow line width operation with a configuration substantially the same as that of the prior art.

本発明の半導体レーザ光源は、一般的に光通信システムに利用することができる。特に、光通信システムの送受信器に利用できる、安定かつ狭線幅動作が可能な半導体レーザ光源を提供することが可能となる。   The semiconductor laser light source of the present invention can be generally used for an optical communication system. In particular, it is possible to provide a semiconductor laser light source that can be used in a transmitter / receiver of an optical communication system and is capable of stable and narrow line width operation.

101 パッケージ
1、102 光源ブロック
3、103 波長ロッカー・ブロック
104 半導体レーザチップ
105 サーミスタ
106 レンズ
107 分布反射型(DFB)レーザ
108 光合波器
109 半導体アンプ
2、110、111 部分反射ミラー
112 エタロン・フィルタ
113 強度モニタ用フォトダイオード
114 波長モニタ用フォトダイオード
115 サーミスタ
116 透明窓
117 レンズ
118、218 光アイソレータ
119 ファイバ・フェルール
120 光ファイバ
101 Package 1, 102 Light source block 3, 103 Wavelength locker block 104 Semiconductor laser chip 105 Thermistor 106 Lens 107 Distributed reflection type (DFB) laser 108 Optical multiplexer 109 Semiconductor amplifier 2, 110, 111 Partial reflection mirror 112 Etalon filter 113 Intensity monitoring photodiode 114 Wavelength monitoring photodiode 115 Thermistor 116 Transparent window 117 Lens 118, 218 Optical isolator 119 Fiber ferrule 120 Optical fiber

Claims (7)

単一モードで発振する半導体レーザを有する半導体レーザチップが搭載された光源ブロックと、前記半導体レーザの光発振周波数の制御に用いられ、基準となる光周波数を有するエタロン・フィルタが搭載された波長ロッカー・ブロックにより構成される半導体レーザ光源において、
前記波長ロッカー・ブロック内の前記エタロン・フィルタからの反射光の一部が前記光源ブロック内の前記半導体レーザチップに戻るように構成され、
単一モードで発振する前記半導体レーザの光発振周波数が増加したときに前記エタロン・フィルタから戻る反射光の強度が強くなり、
逆に光発振周波数が減少したときに前記エタロン・フィルタから戻る反射光の強度が弱くなるようなフィルタ特性となる動作点で前記エタロン・フィルタを動作させる
ことを特徴とする半導体レーザ光源。
A light source block having a semiconductor laser chip having a semiconductor laser oscillating in a single mode, and a wavelength locker having an etalon filter having a reference optical frequency used for controlling the optical oscillation frequency of the semiconductor laser In a semiconductor laser light source composed of blocks,
Is configured such that a portion of the reflected light from the etalon filter of the wavelength locker-block returns to the semiconductor laser chip in the light source block,
When the optical oscillation frequency of the semiconductor laser that oscillates in a single mode increases, the intensity of the reflected light returning from the etalon filter becomes stronger,
Conversely, the semiconductor laser is characterized in that the etalon filter is operated at an operating point where the filter characteristic is such that the intensity of reflected light returning from the etalon filter becomes weak when the optical oscillation frequency decreases. light source.
請求項1記載の半導体レーザ光源において、
単一モードで発振する前記半導体レーザが、回折格子による波長選択機能を備えた分布帰還型レーザ、もしくは分布反射型レーザのいずれかで構成される
ことを特徴とする半導体レーザ光源。
The semiconductor laser light source according to claim 1,
A semiconductor laser light source characterized in that the semiconductor laser oscillating in a single mode is constituted by either a distributed feedback laser having a wavelength selection function by a diffraction grating or a distributed reflection laser.
請求項1または2に記載の半導体レーザ光源において、
単一モードで発振する半導体レーザを有する前記半導体レーザチップが、N(≧1)個の半導体レーザからなるレーザアレイ、N対1光合波器、および半導体アンプが集積された波長可変レーザとなっている
ことを特徴とする半導体レーザ光源。
The semiconductor laser light source according to claim 1 or 2,
The semiconductor laser chip having a semiconductor laser that oscillates in a single mode becomes a wavelength tunable laser in which a laser array including N (≧ 1) semiconductor lasers, an N-to-1 optical multiplexer, and a semiconductor amplifier are integrated. A semiconductor laser light source.
請求項1からのいずれか1項に記載の半導体レーザ光源において、
前記波長ロッカー・ブロックの光出射側の先の光路上に光アイソレータが設けられており、
前記波長ロッカー・ブロック内の前記エタロン・フィルタからの反射光の一部が前記光源ブロック上の前記半導体レーザチップに戻る光路上には光アイソレータが設けられていないことを特徴とする半導体レーザ光源。
In the semiconductor laser light source according to any one of claims 1 to 3 ,
An optical isolator is provided on the optical path ahead of the light output side of the wavelength locker block,
A semiconductor laser light source, wherein an optical isolator is not provided on an optical path in which a part of reflected light from the etalon filter in the wavelength locker block returns to the semiconductor laser chip on the light source block.
請求項1からのいずれか1項に記載の半導体レーザ光源において、
パッケージの中に前記光源ブロックと前記波長ロッカー・ブロックの2つの機能ブロックが配置され、
それぞれの機能ブロックは、TEC(Thermo−electric cooler)素子の上に実装されて、各々、独立に温度を調整することができるように構成され、
前記波長ロッカー・ブロックには、
前記光源ブロックから直接入射したレーザ光を分岐させるための第1の部分反射ミラーと、
前記第1の部分反射ミラーからの分岐光の一方をさらに分岐するための第2の部分反射ミラーと、
前記第2の部分反射ミラーからの分岐光の一方を受ける前記エタロン・フィルタと、
前記第2の部分反射ミラーからの分岐光の他方を受ける強度モニタ用フォトダイオードと、
前記エタロン・フィルタからの透過光を受ける波長モニタ用フォトダイオードと、
温度モニタ用サーミスタが実装されている
ことを特徴とする半導体レーザ光源。
The semiconductor laser light source according to any one of claims 1 to 4 ,
Two functional blocks of the light source block and the wavelength locker block are arranged in a package,
Each functional block is mounted on a TEC (Thermo-electric cooler) element and is configured to be able to adjust the temperature independently,
The wavelength locker block includes
A first partially reflecting mirror for branching laser light directly incident from the light source block;
A second partial reflection mirror for further branching one of the branched lights from the first partial reflection mirror;
The etalon filter that receives one of the branched lights from the second partially reflecting mirror;
An intensity monitoring photodiode for receiving the other of the branched lights from the second partial reflection mirror;
A wavelength monitoring photodiode that receives the transmitted light from the etalon filter;
A semiconductor laser light source, wherein a temperature monitoring thermistor is mounted.
請求項1からのいずれか1項に記載の半導体レーザ光源において、
前記エタロン・フィルタを構成する2枚の部分反射面は光線軸に対して垂直に配置されていることを特徴とする半導体レーザ光源。
The semiconductor laser light source according to any one of claims 1 to 5 ,
2. A semiconductor laser light source, wherein two partial reflection surfaces constituting the etalon filter are arranged perpendicular to a light axis.
請求項に記載の半導体レーザ光源において、
少なくとも前記波長モニタ用フォトダイオードの出力電流に基づいて、前記半導体レーザの光発振周波数を安定化するように制御する
ことを特徴とする半導体レーザ光源。
The semiconductor laser light source according to claim 5 ,
A semiconductor laser light source characterized by controlling the optical oscillation frequency of the semiconductor laser based on at least an output current of the wavelength monitoring photodiode.
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