JP6583461B2 - Method for manufacturing thermoelectric conversion device - Google Patents
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Description
本発明は、熱電変換装置の製造方法に関するものである。 The present invention relates to the production how the thermoelectric converter.
従来より、熱電変換装置の製造方法として、例えば、特許文献１に以下のような製造方法が提案されている。すなわち、この製造方法では、まず、絶縁性型枠に透孔を形成し、透孔に規則的にＢｉ、Ｔｅ、Ｓｅ等で構成される第１導電性ペーストおよびＢｉ、Ｓｂ、Ｔｅ等で構成される第２導電性ペーストを充填する。
Conventionally, as a method for manufacturing a thermoelectric conversion device, for example,
そして、絶縁性型枠の表面に、隣接する第１、第２導電性ペーストと接触するような表面パターンを複数形成する。また、絶縁性型枠の裏面に、第１導電性ペーストと、当該第１導電性ペーストと接触する表面パターンと異なる表面パターンと接触する第２導電性ペーストと接触するような裏面パターンを複数形成する。 A plurality of surface patterns are formed on the surface of the insulating mold so as to come into contact with the adjacent first and second conductive pastes. In addition, a plurality of back surface patterns are formed on the back surface of the insulating mold so as to be in contact with the first conductive paste and the second conductive paste that is in contact with a surface pattern different from the surface pattern in contact with the first conductive paste. To do.
その後、絶縁性型枠をＡｒガス雰囲気中、４６０℃で１０時間熱処理することにより、Ｂｉ、Ｔｅ、Ｓｅ等で構成される導電性ペーストからＮ型熱電変換素子を形成すると共にＢｉ、Ｓｂ、Ｔｅ等で構成される導電性ペーストからＰ型熱電変換素子を形成する。このとき、Ｎ型熱電変換素子およびＰ型熱電変換素子と表面パターンおよび裏面パターンとも接続される。これにより、複数のＮ型熱電変換素子と複数のＰ型熱電変換素子とが交互に直列に接続された熱電変換装置が製造される。 Thereafter, the insulating mold is heat-treated at 460 ° C. for 10 hours in an Ar gas atmosphere to form an N-type thermoelectric conversion element from a conductive paste composed of Bi, Te, Se, etc., and Bi, Sb, Te A P-type thermoelectric conversion element is formed from a conductive paste composed of the like. At this time, the N-type thermoelectric conversion element and the P-type thermoelectric conversion element are also connected to the front surface pattern and the back surface pattern. Thereby, a thermoelectric conversion device in which a plurality of N-type thermoelectric conversion elements and a plurality of P-type thermoelectric conversion elements are alternately connected in series is manufactured.
なお、絶縁性型枠を４６０℃で１０時間熱処理した場合には、Ｎ型熱電変換素子およびＰ型熱電変換素子（合金）は、Ｂｉ、Ｔｅの融点が４６０℃より低いため、液相焼結することで形成される。 In addition, when the insulating mold is heat-treated at 460 ° C. for 10 hours, the N-type thermoelectric conversion element and the P-type thermoelectric conversion element (alloy) have a melting point of Bi and Te lower than 460 ° C. It is formed by doing.
しかしながら、上記特許文献１の製造方法では、液相焼結で形成された合金は、金属原子の結晶構造がランダムとなるため、実際には電力が発生し難いという問題がある。
However, in the manufacturing method of
ここで、固相焼結で形成された合金は、所定の結晶構造を維持しつつ積層されるため、熱電変換装置に利用されると大きな電力を発生させ得ることが知られている。このため、上記特許文献１の製造方法において固相焼結を適用してＮ型熱電変換素子およびＰ型熱電変換素子を形成すべく、例えば、一対のプレス板の間に上記絶縁性型枠を配置し、絶縁性型枠の表裏面から加圧して第１、第２導電性ペーストを圧接することにより、Ｎ型熱電変換素子およびＰ型熱電変換素子を固相焼結で形成することが考えられる。
Here, since the alloy formed by solid-phase sintering is laminated | stacked, maintaining a predetermined crystal structure, when it is utilized for a thermoelectric conversion apparatus, it is known that big electric power can be generated. For this reason, in order to form an N-type thermoelectric conversion element and a P-type thermoelectric conversion element by applying solid-phase sintering in the manufacturing method of
しかしながら、この方法では、加圧力が第１、第２導電性ペーストだけでなく、第１、第２導電性ペースト（透孔）の周囲に位置する絶縁性型枠にも均等に印加されるため、第１、第２導電性ペーストを効率よく加圧することができない。このため、第１、第２導電性ペーストに印加される加圧力が不足する場合には、第１、第２導電性ペーストからＮ型熱電変換素子およびＰ型熱電変換素子を形成することができない場合があるという問題がある。 However, in this method, the applied pressure is equally applied not only to the first and second conductive pastes but also to the insulating mold located around the first and second conductive pastes (through holes). The first and second conductive pastes cannot be pressurized efficiently. For this reason, when the applied pressure applied to the first and second conductive pastes is insufficient, the N-type thermoelectric conversion element and the P-type thermoelectric conversion element cannot be formed from the first and second conductive pastes. There is a problem that there are cases.
なお、このような問題は、Ｎ型熱電変換素子およびＰ型熱電変換素子を有する熱電変換装置のみに発生する問題ではない。すなわち、熱電効果は、異なる２種類の金属が接続されていれば発生する。このため、例えば、透孔にＢｉ、Ｔｅ、Ｓｅ等で構成される導電性ペーストのみが充填され、表面パターンおよび裏面パターンが導電性ペーストが固相焼結された合金と異なる材料で形成された熱電変換装置においても上記問題が発生する。 Such a problem is not a problem that occurs only in a thermoelectric conversion device having an N-type thermoelectric conversion element and a P-type thermoelectric conversion element. That is, the thermoelectric effect occurs when two different types of metals are connected. For this reason, for example, the through holes are filled only with a conductive paste composed of Bi, Te, Se, etc., and the front surface pattern and the back surface pattern are formed of a material different from the alloy in which the conductive paste is solid-phase sintered. The above problem also occurs in the thermoelectric converter.
本発明は上記点に鑑みて、導電性ペーストに加圧力を効率よく印加することができる熱電変換装置の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention is made in view of the above disadvantages, and an object thereof is to provide a manufacturing how the thermoelectric conversion device the pressure in the conductive paste can be applied efficiently.
上記目的を達成するため、請求項１および２に記載の発明は、熱電変換装置の製造方法であり、厚さ方向に貫通する複数の第１、第２ビアホールが形成され、第１ビアホールに第１導電性ペースト（４１）が充填されていると共に第２ビアホールに第２導電性ペースト（５１）が充填されている絶縁基材（１０）を用意する工程と、絶縁基材の表面（１０ａ）に所定の第１、第２導電性ペーストと接触する表面パターンを有する表面保護部材を配置すると共に、絶縁基材の裏面（１０ｂ）に所定の第１、第２導電性ペーストと接触する裏面パターンを有する裏面保護部材を配置して積層体（８０）を形成する工程と、積層体を加熱しながら積層方向から加圧し、第１、第２導電性ペーストから第１、第２層間接続部材を構成すると共に第１、第２層間接続部材と表面パターンおよび裏面パターンとを電気的に接続する一体化工程と、を行い、第１導電性ペーストとして、複数の金属原子が所定の結晶構造を維持している合金の粉末に有機溶剤を加えてペースト化したものを用い、第２導電性ペーストとして、合金と異種金属の粉末に有機溶剤を加えてペースト化したものを用い、一体化工程では、積層体を一対のプレス板の間に配置すると共に、積層体とプレス板との間に緩衝材を配置して行うことを特徴としている。また、表面保護部材における絶縁基材と対向する一面（２０ａ）と反対側の他面と、裏面保護部材における絶縁基材と対向する一面（３０ａ）と反対側の他面との間の距離において、第１層間接続部材または第２層間接続部材を挟む部分が第１層間接続部材または第２層間接続部材を挟む部分と異なる部分より長くなり、さらに、表面保護部材における他面と裏面保護部材における他面との間の中間位置において、第１層間接続部材内または第２層間接続部材内における中間位置を第１中間位置とし、絶縁基材内における中間位置を第２中間位置とすると、第１中間位置から表面保護部材の他面までの距離が、第２中間位置から表面保護部材の他面までの距離より長くなり、かつ同じ第１中間位置から裏面保護部材の他面までの距離は、同じ第２中間位置から裏面保護部材の他面までの距離より長くなる状態を含むようにすることを特徴としている。
In order to achieve the above object, the invention according to
これによれば、大きな電力を発生させることができる熱電変換装置を製造できる。 According to this, the thermoelectric converter which can generate big electric power can be manufactured.
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。 In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each means described in this column and the claim shows the correspondence with the specific means as described in embodiment mentioned later.
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, parts that are the same or equivalent to each other will be described with the same reference numerals.
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について図面を参照しつつ説明する。図１〜図３に示されるように、本実施形態の熱電変換装置１は、絶縁基材１０、表面保護部材２０、裏面保護部材３０が一体化され、この一体化されたものの内部で異種金属である第１、第２層間接続部材４０、５０が交互に直列に接続されて構成されている。
(First embodiment)
A first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 to 3, in the
なお、図１は、理解をし易くするために、表面保護部材２０を省略して示してある。また、図１は、断面図ではないが、第１、第２層間接続部材４０、５０にハッチングを施してある。
In FIG. 1, the
絶縁基材１０は、本実施形態では、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）やポリエーテルイミド（ＰＥＩ）を含む平面矩形状の熱可塑性樹脂フィルムによって構成されている。そして、この絶縁基材１０には、厚さ方向に貫通する複数の第１、第２ビアホール１１、１２が互い違いになるように千鳥パターンに形成されている。
In this embodiment, the insulating
なお、本実施形態では、第１、第２ビアホール１１、１２が表面１０ａから裏面１０ｂに向かって径が一定とされた円筒状とされているが、第１、第２ビアホール１１、１２は表面１０ａから裏面１０ｂに向かって径が小さくなるテーパ状とされていてもよいし、角筒状とされていてもよい。
In the present embodiment, the first and second via
そして、第１ビアホール１１には第１層間接続部材４０が配置され、第２ビアホール１２には第１層間接続部材４０と異種金属となる第２層間接続部材５０が配置されている。つまり、絶縁基材１０には、第１、第２層間接続部材４０、５０が互い違いになるように配置されている。
A first
特に限定されるものではないが、例えば、第１層間接続部材４０はＰ型を構成するＢｉ−Ｓｂ−Ｔｅ合金の粉末（金属粒子）を含む導電性ペーストから構成される。また、第２層間接続部材５０はＮ型を構成するＢｉ−Ｔｅ合金の粉末（金属粒子）を含む導電性ペーストから構成される。
Although not particularly limited, for example, the first
絶縁基材１０の表面１０ａには、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）やポリエーテルイミド（ＰＥＩ）を含む平面矩形状の熱可塑性樹脂フィルムからなる表面保護部材２０が配置されている。この表面保護部材２０は、絶縁基材１０と平面形状が同じ大きさとされており、絶縁基材１０と対向する一面２０ａ側に銅箔等がパターニングされた複数の表面パターン２１が互いに離間するように形成されている。そして、各表面パターン２１はそれぞれ第１、第２層間接続部材４０、５０と適宜電気的に接続されている。
On the
具体的には、隣接する１つの第１層間接続部材４０と１つの第２層間接続部材５０とを組６０としたとき、各組６０の第１、第２層間接続部材４０、５０は同じ表面パターン２１と接続されている。つまり、各組６０の第１、第２層間接続部材４０、５０は表面パターン２１を介して電気的に接続されている。なお、本実施形態では、絶縁基材１０の長辺方向（図１中紙面左右方向）に沿って隣接する１つの第１層間接続部材４０と１つの第２層間接続部材５０とが組６０とされている。
Specifically, when one adjacent first
また、絶縁基材１０の裏面１０ｂには、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）やポリエーテルイミド（ＰＥＩ）を含む熱可塑性樹脂フィルムからなる平面矩形状の裏面保護部材３０が配置されている。この裏面保護部材３０は、絶縁基材１０と平面形状が同じ大きさとされており、絶縁基材１０と対向する一面３０ａ側に銅箔等がパターニングされた複数の裏面パターン３１が互いに離間するように形成されている。そして、各裏面パターン３１はそれぞれ第１、第２層間接続部材４０、５０と適宜電気的に接続されている。
In addition, on the
具体的には、隣接する組６０において、一方の組６０の第１層間接続部材４０と、他方の組６０の第２層間接続部材５０とが同じ裏面パターン３１と接続されている。つまり、組６０を跨いで第１、第２層間接続部材４０、５０が裏面パターン３１を介して電気的に接続されている。
Specifically, in the
本実施形態では、図２に示されるように、基本的には、絶縁基材１０の長辺方向（図１中紙面左右方向）に沿って並んでいる２つの組６０が隣接する組６０とされている。また、図３に示されるように、絶縁基材１０の外縁では、短辺方向（図１中紙面上下方向）に沿って並んでいる２つの組６０が隣接する組６０とされている。
In the present embodiment, as shown in FIG. 2, basically, two
したがって、第１、第２層間接続部材４０、５０は、絶縁基材１０の長辺方向に交互に直列に接続されて折り返された後に再び長辺方向に交互に直列に接続される。つまり、第１、第２層間接続部材４０、５０は、折れ線状に交互に直列に接続されている。
Therefore, the first and second
なお、図２、図３とは別断面において、裏面保護部材３０には、裏面パターン３１と電気的に接続されると共に、裏面保護部材３０のうち絶縁基材１０側と反対側の一面から露出する層間接続部材が形成されている。そして、この層間接続部材によって外部との電気的な接続が図れるようになっている。
2 and 3, the back
以上が本実施形態における熱電変換装置１の構成である。このような熱電変換装置１では、例えば、第１、第２ビアホール１１、１２の径をφ０．７ｍｍ、絶縁基材１０の厚みを１ｍｍとし、第１、第２層間接続部材４０、５０を合わせて約９００個配置したとき、温度差１０℃で約２．５ｍＷの電力を得ることができる。
The above is the configuration of the
次に、上記熱電変換装置１の製造方法について図４を参照しつつ説明する。なお、図４は、図１中のII−II線に沿った断面図である。
Next, a method for manufacturing the
まず、図４（ａ）に示されるように、絶縁基材１０を用意し、複数の第１ビアホール１１をドリル等によって形成する。
First, as shown in FIG. 4A, an insulating
次に、図４（ｂ）に示されるように、各第１ビアホール１１に第１導電性ペースト４１を充填する。
Next, as shown in FIG. 4B, the first
第１ビアホール１１に第１導電性ペースト４１を充填する方法（装置）としては、本出願人による特願２０１０−５０３５６号に記載の方法（装置）を採用すると良い。
As a method (apparatus) for filling the first via
簡単に説明すると、吸着紙７０を介して図示しない保持台上に、裏面１０ｂが吸着紙７０と対向するように絶縁基材１０を配置する。なお、吸着紙７０は、第１導電性ペースト４１の有機溶剤を吸収できる材質のものであれば良く、一般的な上質紙等が用いられる。そして、第１導電性ペースト４１を溶融させつつ、第１ビアホール１１内に第１導電性ペースト４１を充填する。これにより、第１導電性ペースト４１の有機溶剤の大部分が吸着紙７０に吸着され、第１ビアホール１１に合金の粉末が密接して配置される。
Briefly, the insulating
第１導電性ペースト４１としては、本実施形態では、金属原子が所定の結晶構造を維持している合金の粉末を融点が４３℃であるパラフィン等の有機溶剤を加えてペースト化したものが用いられる。このため、第１導電性ペースト４１を充填する際には、絶縁基材１０の表面１０ａが約４３℃に加熱された状態で行われる。なお、第１導電性ペースト４１を構成する合金の粉末としては、例えば、メカニカルアロイにて形成されたＢｉ−Ｓｂ−Ｔｅ等が用いられる。
In the present embodiment, the first
続いて、図４（ｃ）に示されるように、絶縁基材１０に複数の第２ビアホール１２をドリル等によって形成する。この第２ビアホール１２は、上記のように、第１ビアホール１１と互い違いとなり、第１ビアホール１１と共に千鳥パターンを構成するように形成される。
Subsequently, as shown in FIG. 4C, a plurality of second via
次に、図４（ｄ）に示されるように、再び、吸着紙７０を介して図示しない保持台上に、裏面１０ｂが吸着紙７０と対向するように絶縁基材１０を配置する。そして、第１導電性ペースト４１を充填したときと同様に、第２ビアホール１２内に第２導電性ペースト５１を充填する。これにより、第２導電性ペースト５１の有機溶剤の大部分が吸着紙７０に吸着され、第２ビアホール１２に合金の粉末が密接して配置される。
Next, as illustrated in FIG. 4D, the insulating
第２導電性ペースト５１としては、本実施形態では、第１導電性ペースト４１を構成する金属原子と異なる金属原子が所定の結晶構造を維持している合金の粉末を融点が常温であるテレピネ等の有機溶剤を加えてペースト化したものが用いられる。つまり、第２導電性ペースト５１を構成する有機溶剤として、第１導電性ペースト４１を構成する有機溶剤より融点が低いものが用いられる。そして、第２導電性ペースト５１を充填する際には、絶縁基材１０の表面１０ａが常温に保持された状態で行われる。言い換えると、第１導電性ペースト４１に含まれる有機溶剤が固化された状態で、第２導電性ペースト５１の充填が行われる。これにより、第１ビアホール１１に第２導電性ペースト５１が混入することが抑制される。なお、第２導電性ペースト５１を構成する合金の粉末としては、例えば、メカニカルアロイにて形成されたＢｉ−Ｔｅ等が用いられる。
As the second
以上のようにして、第１、第２導電性ペースト４１、５１が充填された絶縁基材１０を用意する。
As described above, the insulating
そして、図４（ｅ）に示されるように、この絶縁基材１０に対して、本発明の空隙に相当する貫通孔１３をドリルやレーザ等によって形成する。本実施形態では、図４（ｅ）および図５に示されるように、各第１、第２ビアホール１１、１２のそれぞれを中心とし、同心円上であって周方向に等間隔に離間する円筒状の貫通孔１３を複数形成する。
Then, as shown in FIG. 4 (e), the through
なお、本実施形態では、貫通孔１３が円筒状とされているが、貫通孔１３は、表面１０ａから裏面１０ｂに向かって径が小さくなるテーパ状とされていてもよい。
In addition, in this embodiment, although the through-
また、上記各工程とは別工程において、図４（ｆ）および図４（ｇ）に示されるように、表面保護部材２０および裏面保護部材３０のうち絶縁基材１０と対向する一面２０ａ、３０ａに銅箔等を形成する。そして、この銅箔を適宜パターニングすることにより、互いに離間している複数の表面パターン２１が形成された表面保護部材２０、互いに離間している複数の裏面パターン３１が形成された裏面保護部材３０を用意する。
Further, in a step different from the above steps, as shown in FIGS. 4 (f) and 4 (g), one
その後、図４（ｈ）に示されるように、裏面保護部材３０、絶縁基材１０、表面保護部材２０を順に積層して積層体８０を構成する。具体的には、隣接する１つの第１ビアホール１１に充填された第１導電性ペースト４１と１つの第２ビアホール１２に充填された第２導電性ペースト５１とを組６０としたとき、絶縁基材１０の表面１０ａ側に、組６０毎の第１、第２導電性ペースト４１、５１が同じ表面パターン２１に接触する状態で表面保護部材２０を配置する。なお、本実施形態では、上記のように、絶縁基材１０の長辺方向（図１紙面左右方向）に沿って隣接する１つの第１ビアホール１１に充填された第１導電性ペースト４１と１つの第２ビアホール１２に充填された第２導電性ペースト５１とが組６０とされている。
Thereafter, as shown in FIG. 4 (h), the back
また、絶縁基材１０の裏面１０ｂ側に、隣接する組６０における一方の組６０の第１導電性ペースト４１および他方の組６０の第２導電性ペースト５１が同じ裏面パターン３１に接触する状態で裏面保護部材３０を配置する。なお、本実施形態では、上記のように、絶縁基材１０の長辺方向（図１中紙面左右方向）に沿って並んでいる２つの組６０が隣接する組６０とされている。また、絶縁基材１０の外縁では、短辺方向に沿って並んでいる２つの組６０が隣接する組６０とされている。
In the state where the first
続いて、図４（ｉ）に示されるように、この積層体８０を図示しない一対のプレス板の間に配置し、積層方向の上下両面から真空状態で加熱しながら加圧して積層体８０を一体化する。なお、特に限定されるものではないが、積層体８０を一体化する際には、積層体８０とプレス板との間にロックウールペーパー等の緩衝材を配置してもよい。以下に、本実施形態の一体化工程について図６および図７を参照しつつ具体的に説明する。 Subsequently, as shown in FIG. 4 (i), the laminate 80 is disposed between a pair of press plates (not shown), and the laminate 80 is integrated by applying pressure while heating in a vacuum state from the upper and lower surfaces in the lamination direction. To do. Although not particularly limited, when the laminate 80 is integrated, a cushioning material such as rock wool paper may be disposed between the laminate 80 and the press plate. Below, the integration process of this embodiment is demonstrated concretely, referring FIG. 6 and FIG.
一体化工程は、図６に示されるように、まず、積層体８０を約３２０℃まで加熱しながら時点Ｔ１まで０．１Ｍｐａで加圧し、第１、第２導電性ペースト４１、５１に含まれる有機溶剤を蒸発させる（図７（ａ）参照）。
In the integration step, as shown in FIG. 6, first, the laminate 80 is heated to about 320 ° C. and pressurized to 0.1 Mpa until time T1, and is included in the first and second
なお、Ｔ０〜Ｔ１間は約１０分間である。また、第１、第２導電性ペースト４１、５１に含まれる有機溶剤とは、図４（ｂ）および図４（ｄ）の工程において、吸着紙７０に吸着されずに残存した有機溶剤のことである。
Note that the interval between T0 and T1 is about 10 minutes. In addition, the organic solvent contained in the first and second
次に、図６および図７（ｂ）に示されるように、積層体８０を熱可塑性樹脂の軟化点以上の温度である約３２０℃に保持しつつ時点Ｔ２まで１０ＭＰａで加圧する。このとき、絶縁基材１０を構成する熱可塑性樹脂が流動し、第１、第２導電性ペースト４１、５１（合金の粉末）を加圧すると共に貫通孔１３に流れ込む。このため、図７（ｃ）に示されるように、第１、第２ビアホール１１、１２の径が小さくなる。また、熱可塑性樹脂が貫通孔１２に流れ込む（流動する）ためにこの部分（第１、第２ビアホール１１、１２の周囲）に印加される加圧力は小さくなり、本来この部分に印加されるべき加圧力が第１、第２導電性ペースト４１、５１に印加される。したがって、プレス板から第１、第２導電性ペースト４１、５１に印加される加圧力が大きくなる。
Next, as shown in FIG. 6 and FIG. 7B, the laminate 80 is pressurized at 10 MPa until time T2 while maintaining the
そして、図７（ｄ）に示されるように、合金の粉末同士および合金の粉末と表面パターン２１および裏面パターン３１とが圧接されて固相焼結されることで第１、第２層間接続部材４０、５０が構成される。また、第１、第２層間接続部材４０、５０と表面パターン２１、裏面パターン３１とが電気的に接続される。
Then, as shown in FIG. 7 (d), the first and second interlayer connection members are obtained by press-contacting the alloy powders and the alloy powder with the
なお、Ｔ１〜Ｔ２間は約１０分間である。また、第１、第２ビアホール１１、１２には、有機溶剤を蒸発させることによって空間が形成される。しかしながら、この空間は微小であるため、当該空間によって第１、第２層間接続部材４０、５０を固相焼結することは阻害されない。
The interval between T1 and T2 is about 10 minutes. A space is formed in the first and second via
その後、図６に示されるように、１０ＭＰａの加圧を保持したまま時点Ｔ３まで冷却することにより積層体８０が一体化され、図１に示す熱電変換装置１が製造される。なお、Ｔ２〜Ｔ３間は約８分間である。
Thereafter, as shown in FIG. 6, the
以上説明したように、本実施形態では、絶縁基材１０に貫通孔１３を形成し、貫通孔１３に熱可塑性樹脂を流し込みつつ積層体８０を一体化している。このため、熱可塑性樹脂が流動する部分（第１、第２ビアホール１１、１２の周囲）に印加される加圧力は小さくなり、本来この部分に印加されるべき加圧力が第１、第２導電性ペースト４１、５１に印加される。したがって、第１、第２導電性ペースト４１、５１に印加される加圧力が大きくなる。つまり、第１、第２導電性ペースト４１、５１に加圧力を効率良く印加することができる。したがって、第１、第２導電性ペースト４１、５１が固相焼結されないことを抑制できる。
As described above, in this embodiment, the through
さらに、貫通孔１３を、第１、第２ビアホール１１、１２のそれぞれを中心とし、同心円上であって周方向に等間隔に離間するように形成している。このため、積層体８０を一体化する際、第１、第２ビアホール１１、１２の周囲の熱可塑性樹脂が等方的に貫通孔１３に流れ込みやすくなり、第１、第２ビアホール１１、１２が積層体８０の平面方向に変位することを抑制できる。したがって、第１、第２導電性ペースト４１、５１から形成される第１、第２層間接続部材４０、５０と表面パターン２１および裏面パターン３１とが導通不良となることを抑制できる。
Further, the through
また、本実施形態の製造方法によれば、絶縁基材１０の平面形状の大きさや厚み、第１、第２ビアホール１１、１２の数、径等を適宜変更するのみで所望の変換効率の熱電変換装置１を製造することができ、用途に応じて製造工程が特に増加したり複雑になったりすることがない。つまり、設計の自由度を向上させることができる。
In addition, according to the manufacturing method of the present embodiment, a thermoelectric device having a desired conversion efficiency can be obtained simply by appropriately changing the size and thickness of the planar shape of the insulating
さらに、本実施形態の熱電変換装置１は、第１、第２層間接続部材４０、５０が複数の金属原子が所定の結晶構造を維持している合金で形成されているので、大きな電力を発生させることができる。そして、第１層間接続部材４０および第２層間接続部材５０の周囲は、熱可塑性樹脂を含んで構成された絶縁基材１０が配置されているため、第１層間接続部材４０および第２層間接続部材５０と、表面パターン２１および裏面パターン３１との密着性を向上させることができる。このため、さらに大きな電力を発生させることができる。
Furthermore, the
また、表面パターン２１（表面保護部材２０）と裏面パターン３１（裏面保護部材３０）との間に絶縁基材１０が配置されており、表面パターン２１（表面保護部材２０）と裏面パターン３１（裏面保護部材３０）との間に空気流れが生じない。したがって、表面パターン２１（表面保護部材２０）と裏面パターン３１（裏面保護部材３０）との間の熱差が小さくなることを抑制することができる。
Moreover, the insulating
ところで、銅箔等の配線パターンを底面とするビアホールが形成されていると共にビアホールに層間接続部材が配置された複数枚の樹脂フィルムを積層してなる多層基板が知られており、このような多層基板は次のように製造される。 By the way, a multilayer substrate is known in which a via hole having a wiring pattern such as a copper foil is formed on the bottom and a plurality of resin films in which an interlayer connection member is disposed in the via hole is laminated. The substrate is manufactured as follows.
すなわち、まず、銅箔等の配線パターンを底面とするビアホールを形成すると共にビアホールに導電性ペーストを充填した複数枚の樹脂フィルムを用意する。なお、導電性ペーストとしては、Ｓｎを含むものが用いられる。そして、複数枚の樹脂フィルムを積層して積層体を構成し、この積層体を真空状態で加熱しながら加圧して一体化する。このとき、導電性ペーストが焼結されて層間接続部材が構成されると共に、この層間接続部材が配線パターンと電気的に接続される。 That is, first, a plurality of resin films in which a via hole having a wiring pattern such as a copper foil as its bottom surface is formed and the via hole is filled with a conductive paste are prepared. As the conductive paste, a paste containing Sn is used. Then, a plurality of resin films are laminated to form a laminated body, and the laminated body is pressed and integrated while being heated in a vacuum state. At this time, the conductive paste is sintered to form an interlayer connection member, and the interlayer connection member is electrically connected to the wiring pattern.
しかしながら、上記製造方法における一体化工程では、導電性ペーストとしてＳｎを含むものを用いており、このＳｎを配線パターンに拡散させて層間接続部材（導電性ペースト）と配線パターンとを金属（拡散）結合している。つまり、金属粒子を圧接しないため、最大で４ＭＰａ程度の加圧で一体化工程を行っている。したがって、このような製造工程を本実施形態の熱電変換装置１の製造方法にそのまま適用することはできない。
However, in the integration process in the above manufacturing method, a conductive paste containing Sn is used, and this Sn is diffused into the wiring pattern so that the interlayer connection member (conductive paste) and the wiring pattern are made of metal (diffusion). Are connected. That is, in order not to press the metal particles, the integration process is performed with a pressure of about 4 MPa at the maximum. Therefore, such a manufacturing process cannot be applied as it is to the manufacturing method of the
なお、本実施形態では、第１導電性ペースト４１としてＢｉ−Ｓｂ−Ｔｅ合金の粉末を用い、第２導電性ペースト５１としてＢｉ−Ｔｅ合金の粉末を用いる例について説明したが、合金の粉末はこれらに限定されるものではない。例えば、第１、第２導電性ペースト４１、５１を構成する合金の粉末として、銅、コンスタンタン、クロメル、アルメル等が鉄、ニッケル、クロム、銅、シリコン等と合金化されたものから適宜選択してもよい。また、テルル、ビスマス、アンチモン、セレンの合金や、シリコン、鉄、アルミニウムの合金等から適宜選択してもよい。
In the present embodiment, an example in which Bi—Sb—Te alloy powder is used as the first
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、空隙を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(Second Embodiment)
A second embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, the gap is changed from that of the first embodiment, and the other aspects are the same as those of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here.
図８および図９に示されるように、本実施形態では、図４（ｅ）の工程において、絶縁基材１０に対して各第１、第２ビアホール１１、１２を囲む枠状の溝部１４を形成する。具体的には、絶縁基材１０の表面１０ａに、各第１、第２ビアホール１１、１２のいずれか一方が１つずつ枠内に位置するように溝部１４を形成する。同様に、絶縁基材１０の裏面１０ｂに、各第１、第２ビアホール１１、１２のいずれか一方が１つずつ枠内に位置するように溝部１４を形成する。
As shown in FIGS. 8 and 9, in the present embodiment, in the step of FIG. 4E, a frame-
なお、本実施形態では、溝部１４が本発明の空隙に相当している。また、ここでは、各第１、第２ビアホール１１、１２を囲む溝部１４を格子状に形成しているが、溝部１４を互いに分離して形成してもよい。さらに、本実施形態では、絶縁基材１０の表面１０ａおよび裏面１０ｂに形成された溝部１４を同じ大きさとしており、第１、第２ビアホール１１、１２が枠内の中心に位置するように溝部１４を形成している。
In the present embodiment, the
このように絶縁基材１０に溝部１４を形成しても、図４（ｉ）の工程において、積層体８０を一体化する際に溝部１４に熱可塑性樹脂が流れ込む。このため、第１、第２導電性ペースト４１、５１に印加される加圧力を大きくすることができ、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
Thus, even if the
なお、ここでは、絶縁基材１０の表面１０ａおよび裏面１０ｂに溝部１４を形成することについて説明したが、絶縁基材１０の表面１０ａおよび裏面１０ｂのうちいずれか一方のみに溝部１４を形成するようにしてもよい。
Here, the description has been given of the formation of the
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、空隙を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(Third embodiment)
A third embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, the gap is changed from that of the first embodiment, and the other aspects are the same as those of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here.
図１０に示されるように、本実施形態では、図４（ｆ）および（ｇ）の工程において、表面パターン２１および裏面パターン３１のうち第１、第２導電性ペースト４１、５１と接触する部分と異なる部分に凹部１５を形成して積層体８０を構成する。つまり、表面パターン２１および裏面パターン３１のうち絶縁基材１０を構成する熱可塑性樹脂と対向する部分に凹部１５が形成された積層体８０を構成する。なお、本実施形態では、凹部１５が本発明の空隙に相当している。
As shown in FIG. 10, in the present embodiment, portions of the
このように表面パターン２１および裏面パターン３１に凹部１５を形成しても、積層体８０を一体化する際に凹部１５に熱可塑性樹脂が流れ込む。このため、第１、第２導電性ペースト４１、５１に印加される加圧力を大きくすることができ、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
Thus, even if the
なお、ここでは、表面パターン２１および裏面パターン３１に凹部１５を形成することについて説明したが、表面パターン２１および裏面パターン３１のうちいずれか一方のみに凹部１５を形成するようにしてもよい。
Here, the formation of the
（第４実施形態）
本発明の第４実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、空隙を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(Fourth embodiment)
A fourth embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, the gap is changed from that of the first embodiment, and the other aspects are the same as those of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here.
図１１に示されるように、本実施形態では、絶縁基材１０として、熱可塑性樹脂フィルム１０ｃ、内部に空洞１６を有するガラスクロス１０ｄ、熱可塑性樹脂フィルム１０ｃが順に積層され、これらが低温プレス等で仮接合したものを用いる。なお、本実施形態では、ガラスクロス１０ｄが本発明の多孔質部材に相当し、ガラスクロス１０ｄ内の空洞１６が本発明の空隙に相当している。
As shown in FIG. 11, in this embodiment, a
このような絶縁基材１０を用いても、図４（ｉ）の工程において、積層体８０を一体化する際にガラスクロス１０ｄ内の空洞１６に熱可塑性樹脂が流れ込む（含浸する）。このため、第１、第２導電性ペースト４１、５１に印加される加圧力を大きくすることができ、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
Even when such an insulating
なお、ここでは、多孔質部材としてガラスクロス１０ｄを例に挙げて説明したが、例えば、多孔質部材としてアラミド不織布等を用いてもよい。
In addition, although
（第５実施形態）
本発明の第５実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、空隙を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(Fifth embodiment)
A fifth embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, the gap is changed from that of the first embodiment, and the other aspects are the same as those of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here.
図１２に示されるように、本実施形態では、絶縁基材１０として、熱可塑性樹脂フィルムに複数の穴１７が形成されている多孔質性のものを用いる。このような絶縁基材１０を用いても、図４（ｉ）の工程において、積層体８０を一体化する際に穴１７に熱可塑性樹脂が流れ込む。このため、第１、第２導電性ペースト４１、５１に印加される加圧力を大きくすることができ、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
As shown in FIG. 12, in this embodiment, a porous material in which a plurality of
（第６実施形態）
本発明の第６実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、貫通孔１３が形成されていない積層体８０を構成し、この積層体８０を窪み部が形成されたプレス板を用いて一体化するものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(Sixth embodiment)
A sixth embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, a
図１３（ａ）に示されるように、本実施形態では、積層体８０の内部には貫通孔１３が形成されていない。つまり、本実施形態では、図４（ａ）〜（ｄ）、（ｆ）〜（ｈ）の工程を行って積層体８０を構成する。そして、表面パターン２１および裏面パターン３１と対向する部分と異なる部分に窪み部９０ａが形成されている一対のプレス板９０を用いて積層体８０を加圧する。
As shown in FIG. 13A, in the present embodiment, the through
これにより、図１３（ｂ）に示されるように、一対のプレス板９０の各窪み部９０ａに表面保護部材２０および裏面保護部材３０を構成する熱可塑性樹脂が流動すると共に、この熱可塑性樹脂が流動した部分に絶縁基材１０の熱可塑性樹脂が流動する。このため、プレス板９０から第１、第２導電性ペースト４１、５１に印加される加圧力が大きくなり、図１３（ｃ）に示されるように、第１、第２導電性ペースト４１、５１が固相焼結されて第１、第２層間接続部材４０、５０が構成される。
As a result, as shown in FIG. 13B, the thermoplastic resin constituting the
このように、窪み部９０ａが形成された一対のプレス板９０を用いて積層体８０を一体化するようにしても、絶縁基材１０を構成する熱可塑性樹脂が流動するため、第１、第２導電性ペースト４１、５１に印加される加圧力を大きくすることができ、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
Thus, even if the
なお、本実施形態で製造された熱電変換装置は、窪み部９０ａ内に流れ込んだ熱可塑性樹脂にて凸部が形成される。このため、積層体９０を一体化した後、凸部を切削等によって除去するようにしてもよい。もしくは、凸部を覆うように熱伝導性を有するシート等を配置して熱電変換装置の上下両面を平坦化するようにしてもよい。
In addition, the thermoelectric conversion apparatus manufactured by this embodiment forms a convex part with the thermoplastic resin which flowed in the
また、ここでは、一対のプレス板９０のそれぞれに窪み部９０ａが形成されている例について説明したが、一対のプレス板９０のうちいずれか一方のみに窪み部９０ａが形成されたプレス板９０を用いてもよい。
Here, the example in which the
さらに、本実施形態では、表面パターン２１および裏面パターン３１と対向する部分と異なる部分に窪み部９０ａが形成されている一対のプレス板９０を用いる例について説明した。しかしながら、表面パターン２１および裏面パターン３１と対向する部分に窪み部９０ａが形成されている一対のプレス板９０を用いてもよい。このようなプレス板９０を用いても、絶縁基材１０、表面保護部材２０、裏面保護部材３０を構成する各熱可塑性樹脂が流動するため、同様の効果を得ることができる。
Furthermore, in this embodiment, the example using a pair of
（第７実施形態）
本発明の第７実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、第１、第２導電性ペースト４１、５１が充填された絶縁基材１０を用意する製造工程を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(Seventh embodiment)
A seventh embodiment of the present invention will be described. The present embodiment is different from the first embodiment in the manufacturing process for preparing the insulating
図１４（ａ）に示されるように、本実施形態では、絶縁基材１０に第１、第２ビアホール１１、１２を同時に形成する。
As shown in FIG. 14A, in the present embodiment, the first and second via
次に、図１４（ｂ）に示されるように、絶縁基材１０の表面１０ａ上に第１ビアホール１１と対応する領域が開口されたマスク９１を配置する。そして、第１ビアホール１１のみに第１導電性ペースト４１を充填する。
Next, as shown in FIG. 14B, a
続いて、図１４（ｃ）に示されるように、マスク９１を除去し、第１実施形態と同様に、常温で第２導電性ペースト５１を充填する。これにより、第１、第２導電性ペースト４１、５１が充填された絶縁基材１０が用意される。その後は、上記第１実施形態と同様の工程を行うことにより、図１に示す熱電変換装置１が製造される。
Subsequently, as shown in FIG. 14C, the
以上説明したように、本実施形態では、絶縁基材１０に第１、第２ビアホール１１、１２を同時に形成しており、ビアホールを形成する工程を１度にすることができる。
As described above, in the present embodiment, the first and second via
なお、第１ビアホール１１に第１導電性ペースト４１を充填した後、絶縁基材１０の表面１０ａ上に第２ビアホール１２と対応する領域が開口されたマスクを配置するようにしてもよい。この場合は、第２ビアホール１２に第２導電性ペースト５１を充填する際に、マスクによって第１ビアホール１１に第２導電性ペースト５１が混入することが抑制される。したがって、第２導電性ペースト５１を構成する有機溶剤として、第２導電性ペースト５１を充填する際に第１導電性ペースト４１が溶融してしまうものも用いることができ、例えば、第１導電性ペースト４１の有機溶剤と同様にパラフィンを用いることができる。
Note that after the first via
（第８実施形態）
本発明の第８実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、絶縁基材１０の構成を変更すると共に、第１、第２ビアホール１１、１２（第１、第２層間接続部材４０、５０）の形状を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(Eighth embodiment)
An eighth embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, the configuration of the insulating
図１５に示されるように、本実施形態では、絶縁基材１０は、熱硬化性樹脂フィルム１０ｅ、熱可塑性樹脂フィルム１０ｃ、熱硬化性樹脂フィルム１０ｅが順に積層されて構成されている。そして、第１、第２ビアホール１１、１２（第１、第２層間接続部材４０、５０）は、絶縁基材１０の表面１０ａ側および裏面１０ｂ側の部分の径が中央部分の径より大きくなっている。
As shown in FIG. 15, in this embodiment, the insulating
このような熱電変換装置１は、次のように製造される。すなわち、絶縁基材１０として、熱硬化性樹脂フィルム１０ｅ、熱可塑性樹脂フィルム１０ｃ、熱硬化性樹脂フィルム１０ｅが順に積層され、低温プレス等で仮接合されたものを用いる。
Such a
そして、図４（ａ）および図４（ｃ）の工程を行う際、まず、絶縁基材１０の表面１０ａ側の熱硬化性樹脂フィルム１０ｅおよび裏面１０ｂ側の熱硬化性樹脂フィルム１０ｅに熱可塑性樹脂フィルム１０ｃに達する穴を形成する。その後、熱可塑性樹脂フィルム１０ｃに熱硬化性樹脂フィルム１０ｅに形成した穴より径が小さい穴を形成することにより、第１、第２ビアホール１１、１２を形成する。
4A and 4C, first, the
そして、図４（ｉ）の工程を行って積層体８０を一体化する。このとき、図１６（ａ）に示されるように、積層体８０の積層方向の上下両面から加圧すると、図１６（ｂ）に示されるように、熱可塑性樹脂は、流動して第１、第２導電性ペースト４１、５１を加圧すると共に貫通孔１３に流れ込むが、熱硬化性樹脂は流動しない。このため、図１６（ｃ）に示されるように、熱硬化性樹脂フィルム１０ｅと第１、第２層間接続部材４０、５０との間、および貫通孔１３に熱可塑性樹脂が流れ込む。
And the process of FIG.4 (i) is performed and the
このような絶縁基材１０を用いても、貫通孔１３に熱可塑性樹脂が流れ込むことによって第１、第２導電性ペースト４１、５１に印加される加圧力が大きくなるため、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
Even if such an
また、熱硬化性樹脂は流動しないため、第１、第２ビアホール１１、１２が積層体８０の平面方向に変位することをさらに抑制できる。そして、熱硬化性樹脂フィルム１０ｅが熱可塑性樹脂が流動する際の流動抵抗となるため、特に絶縁基材１０の外縁部において、熱可塑性樹脂が流出してしまうことを抑制できる。
Further, since the thermosetting resin does not flow, it is possible to further suppress the displacement of the first and second via
さらに、本実施形態では、第１、第２ビアホール１１、１２は、絶縁基材１０の表面１０ａ側および裏面１０ｂ側の部分の径が中央部分の径より大きくされている。このため、第１、第２層間接続部材４０、５０と表面パターン２１および裏面パターン３１との接触面積を十分に確保することができ、導通不良が発生することを抑制できる。また、第１、第２ビアホール１１、１２の径が絶縁基材１０の表面１０ａ側および裏面１０ｂ側の部分の径で一定とされている場合と比較して、第１、第２層間接続部材４０、５０の熱伝導率を低減できる。
Further, in the present embodiment, the first and second via
なお、本実施形態では、熱硬化性樹脂フィルム１０ｅ、熱可塑性樹脂フィルム１０ｃ、熱硬化性樹脂フィルム１０ｅの３枚の樹脂フィルムが順に積層された絶縁基材１０を例に挙げて説明したが、さらに複数の樹脂フィルムが順に積層されていてもよい。
In the present embodiment, the insulating
（第９実施形態）
本発明の第９実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、表面保護部材２０および裏面保護部材３０を除去したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(Ninth embodiment)
A ninth embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, the
図１７に示されるように、本実施形態では、絶縁基材１０の表面１０ａに表面パターン２１のみが配置され、絶縁基材１０の裏面１０ｂに裏面パターン３１のみが配置されている。
As shown in FIG. 17, in this embodiment, only the
このような熱電変換装置１は、次のように製造される。すなわち、図１８に示されるように、絶縁基材１０の表面１０ａおよび裏面１０ｂに、絶縁基材１０の平面形状と同じ大きさとされている銅板等の表面金属板２１ａおよび裏面金属板３１ａを配置して積層体８０を構成する。
Such a
そして、図４（ｉ）の工程において積層体８０を一体化した後、各組６０の第１、第２層間接続部材４０、５０のみが同じ表面パターン２１と接続されるように表面金属板２１ａをダイシングする。また、隣接する組６０において、一方の組６０の第１層間接続部材４０と、他方の組６０の第２層間接続部材５０のみが同じ裏面パターン３１と接続されるように、裏面金属板３１ａをダイシングする。これにより、図１７に示す熱電変換装置１が製造される。
And after integrating the
このように、絶縁基材１０の表面１０ａに表面パターン２１のみが配置され、裏面１０ｂに裏面パターン３１のみが配置された熱電変換装置１においても、本発明を適用することができる。
Thus, the present invention can also be applied to the
（第１０実施形態）
本発明の第１０実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、第２層間接続部材５０を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(10th Embodiment)
A tenth embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, the second
図１９に示されるように、本実施形態では、第２層間接続部材５０は、Ａｇ−Ｓｎ系等の金属粒子を含む第２導電性ペースト５１が焼結されることによって構成されている。つまり、本実施形態の第２層間接続部材５０は、主として熱電効果を発揮させるためのものではなく、導通を図るために備えられている。このため、第２ビアホール１２の径が第１ビアホール１１の径より小さくされている。言い換えると、第２ビアホール１２における絶縁基材１０の表面と平行な平面に沿った断面積が第１ビアホール１１における絶縁基材１０の表面と平行な平面に沿った断面積より小さくされている。
As shown in FIG. 19, in the present embodiment, the second
なお、このような熱電変換装置１においても、第１層間接続部材４０と表面パターン２１および裏面パターン３１とが異なる金属で構成されているため、第１層間接続部材４０と表面パターン２１および裏面パターン３１との間で熱電効果を得ることができる。
In such a
このような熱電変換装置１は、特に図示しないが、図４（ｃ）の工程において、第１ビアホール１１より径の小さい第２ビアホール１２を形成する。そして、第２導電性ペースト５１としてＡｇ−Ｓｎ系等の金属粒子を含む導電性ペーストを用いることにより製造される。
Such a
このように、第２層間接続部材５０が主に導通を図るためのものである熱電変換装置１においても、本発明を適用することができる。
Thus, the present invention can also be applied to the
なお、第２層間接続部材５０は、固相焼結で表面パターン２１および裏面パターン３１と接続されるのではなく、金属（拡散）結合にて表面パターン２１および裏面パターン３１と接続される。
The second
（第１１実施形態）
本発明の第１１実施形態について説明する。本実施形態は、第１０実施形態に対して、第１、第２ビアホール１１、１２の配置方法を変更したものであり、その他に関しては第１０実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(Eleventh embodiment)
An eleventh embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, the arrangement method of the first and second via
図２０および図２１に示されるように、本実施形態では、第２ビアホール１２が絶縁基材１０の長辺方向（図２０および図２１中紙面左右方向）における一方の端部にのみ形成されている。さらに詳述すると、絶縁基材１０の端部では、短辺方向（図２０および図２１中紙面上下方向）に第１、第２ビアホール１１、１２が交互に形成されている。
As shown in FIGS. 20 and 21, in the present embodiment, the second via
そして、絶縁基材１０の長辺方向に沿って配置された第１、第２層間接続部材４０、５０は同じ表面パターン２１と接続されている。また、絶縁基材１０の長辺方向に沿って配置された第１層間接続部材４０は同じ裏面パターン３１と接続されている。そして、第２層間接続部材５０は、当該第２層間接続部材５０が接続されている表面パターン２１と接続されている第１層間接続部材４０と異なる第１層間接続部材５０が接続されている裏面パターン３１と接続されている。
The first and second
つまり、本実施形態では、絶縁基材１０の長辺方向に沿って配置された第１層間接続部材４０はそれぞれ並列接続され、並列接続されたものが第２層間接続部材５０を介して直列に接続された構成とされている。
That is, in this embodiment, the first
なお、図２０は、理解をし易くするために、表面保護部材２０を省略して示してあり、断面図ではないが、第１、第２層間接続部材４０、５０にハッチングを施してある。同様に、図２１は、理解をし易くするために、裏面保護部材３０を省略して示してあり、断面図ではないが、第１、第２層間接続部材４０、５０にハッチングを施してある。
In FIG. 20, the
このような熱電変換装置１は、特に図示しないが、図４（ａ）および図４（ｃ）の工程において、第１ビアホール１１および第２ビアホール１２を形成する場所を変更し、図４（ｆ）および図４（ｇ）の工程において、上記表面パターン２１および裏面パターン３１を形成することにより製造される。
Such a
このように、第１、第２ビアホール１１、１２が互い違いに形成されていない熱電変換装置１においても、本発明を適用することができる。
Thus, the present invention can also be applied to the
（第１２実施形態）
本発明の第１２実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、第１ビアホール１１のみを形成すると共に表面保護部材２０と裏面保護部材３０とを一体化したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(Twelfth embodiment)
A twelfth embodiment of the present invention will be described. This embodiment is different from the first embodiment in that only the first via
図２２および図２３に示されるように、本実施形態では、絶縁基材１０には、第１ビアホール１１のみが形成されている。つまり、絶縁基材１０には、第１層間接続部材４０のみが配置されている。また、表面保護部材２０と裏面保護部材３０とは一体化され、表面パターン２１と裏面パターン３１とが連続して形成されている。
As shown in FIG. 22 and FIG. 23, in the present embodiment, only the first via
そして、表面パターン２１は、絶縁基材１０の長辺方向に沿って配置されている第１層間接続部材４０と接続されている。また、この表面パターン２１と連続して形成されている裏面パターン３１は、表面パターン２１が接続される第１層間接続部材４０と異なる第１層間接続部材４０と接続されている。
And the
つまり、本実施形態では、絶縁基材１０の長辺方向に沿って配置された第１層間接続部材４０はそれぞれ並列接続されている。
That is, in this embodiment, the 1st
このような熱電変換装置１は、特に図示しないが、図４（ａ）の工程において、第１ビアホール１１のみを形成し、図４（ｆ）および（ｇ）の工程において表面保護部材２０および裏面保護部材３０が一体化されたものを用意すればよい。
Although such a
このように、第１ビアホール１１のみが形成され、表面保護部材２０および裏面保護部材３０が一体化された熱電変換装置１においても、本発明を適用することができる。
Thus, the present invention can also be applied to the
（第１３実施形態）
本発明の第１３実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態の熱電変換装置１を用いて電子部品を構成したものであり、熱電変換装置１の詳細は第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
(13th Embodiment)
A thirteenth embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, an electronic component is configured using the
図２４に示されるように、電子部品１００は、熱電変換装置１における表面保護部材２０上に本発明の被対象物に相当する多層基板１１０が備えられて構成されている。本実施形態の多層基板１１０は、配線パターン１２１および層間接続部材１２２を備える樹脂フィルム１２０が複数積層され、内部や熱電変換装置１側と反対側にチップ１３１〜１３３を備えてなるものである。そして、熱電変換装置１と多層基板１１０とが直接接合されている。
As shown in FIG. 24, the
上記電子部品１００では、熱電変換装置１は、多層基板１１０を冷却したり、チップ１３１〜１３３に供給する電力を生成したりする機能を果す。なお、熱電変換装置１を多層基板１１０に電力を供給するものとして用いる場合には、熱電変換装置１および多層基板１１０にそれぞれ層間接続部材等を備えて互いに電気的に接続されるようにすればよい。
In the
このような電子部品１００は、裏面保護部材３０、絶縁基材１０、表面保護部材２０、複数の樹脂フィルム１２０を積層して積層体８０を構成し、この積層体８０を加熱しながら加圧して一体化することにより製造される。つまり、熱電変換装置１を製造する際に、同時に、熱電変換装置１と多層基板１１０とが接合される。
Such an
以上説明したように、本実施形態では、熱電変換装置１を製造する際に、熱電変換装置１と多層基板１１０とを同時に接合することができ、熱電変換装置１を形成した後に接着剤等を介して熱電変換装置１を多層基板１１０に接合する場合と比較して、製造工程を簡略化することができる。
As described above, in the present embodiment, when the
また、熱電変換装置１と多層基板１１０とを直接接合して電子部品１００を構成している。つまり、熱電変換装置１と多層基板１１０との間に余分な介在物を存在させていない。このため、多層基板１１０の熱が熱電変換装置１に伝熱されやすくなり、多層基板１１０と熱電変換装置１との伝熱性が高い電子部品１００を得ることができる。
In addition, the
なお、本実施形態では、多層基板１１０として複数の樹脂フィルム１２０が積層されてなるものを例に挙げて説明したが、例えば、多層基板１１０として複数のセラミック基板が積層されてなるものであってもよい。また、多層基板１１０のみを先に形成しておき、裏面保護部材３０、絶縁基材１０、表面保護部材２０、多層基板１１０を積層して積層体８０を構成するようにしてもよい。
In the present embodiment, the
（他の実施形態）
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
(Other embodiments)
The present invention is not limited to the embodiment described above, and can be appropriately changed within the scope described in the claims.
例えば、上記各実施形態を組み合わせることができる。すなわち、第３実施形態に第１、第２実施形態を組み合わせ、凹部１５を形成しつつ、貫通孔１３または溝部１４を形成してもよい。また、第２実施形態を第７〜第１２実施形態に組み合わせ、貫通孔１３の代わりに溝部１４を形成してもよい。また、第３実施形態を第７〜１２実施形態に組み合わせ、貫通孔１３の代わりに凹部１５を形成してもよい。さらに、第４実施形態を第７〜１２実施形態に組み合わせ、貫通孔１３の代わりにガラスクロス１０ｄを用いてもよいし、第５実施形態を第７〜１２実施形態に組み合わせ、貫通孔１３の代わりに複数の穴１７が形成されている熱可塑性樹脂フィルム１０ｃを用いてもよい。
For example, the above embodiments can be combined. That is, the first and second embodiments may be combined with the third embodiment to form the through
そして、ガラスクロス１０ｄや複数の穴１７が形成されている熱可塑性樹脂フィルム１０ｃを用いる場合には、貫通孔１３、溝部１４、凹部１５が適宜形成されていてもよい。
And when using the
さらに、第６実施形態を第１〜第５実施形態に組み合わせ、窪み部９０ａが形成された一対のプレス板９０を用いて積層体８０を一体化してもよい。
Furthermore, the sixth embodiment may be combined with the first to fifth embodiments, and the
そして、第８実施形態を第９〜第１２実施形態に組み合わせ、絶縁基材１０として熱可塑性樹脂フィルム１０ｃおよび熱硬化性樹脂フィルム１０ｅを積層したものを用いてもよい。また、第８実施形態のように、熱可塑性樹脂フィルム１０ｃおよび熱硬化性樹脂フィルム１０ｅを積層した絶縁基材１０を用いる場合、第１、第２ビアホール１１、１２の径が一定とされていてもよい。そして、第９実施形態を第１０〜第１２実施形態に組み合わせ、金属板２１ａ、３１ａを用いて表面パターン２１および裏面パターン３１を形成してもよい。
And you may use what laminated | stacked the
さらに、各実施形態同士を組み合わせたものをさらに別の実施形態に組み合わせてもよい。 Furthermore, what combined each embodiment may be combined with another embodiment.
また、上記第１３実施形態では、熱電変換装置１と多層基板１１０によって電子部品１００を構成する例について説明したが、被対象物は多層基板１１０に限定されるものではない。
In the thirteenth embodiment, the example in which the
例えば、図２５に示されるように、熱電変換装置１における表面保護部材２０上に本発明の被対象物に相当するフィン１４０を備えて電子部品１００を構成してもよい。このような電子部品１００では、フィン１４０により、放熱特性を向上させることができる。なお、この電子部品１００は、フィン１４０を含む積層体８０を構成し、この積層体８０を加熱しながら加圧して一体化することにより製造される。
For example, as shown in FIG. 25, the
また、例えば、図２６に示されるように、熱電変換装置１が配管１５０等の断面円形状のものに接合されてなる電子部品１００としてもよい。
Moreover, for example, as shown in FIG. 26, the
このような電子部品１００に用いられる熱電変換装置１は、例えば、一体化工程の際に、積層体８０を加熱する一対のプレス板として曲面を有するものを利用することにより製造される。なお、一体化工程では、上記のように絶縁基材１０を構成する樹脂の流動によって第１、第２ビアホール１１、１２に応力を印加して金属粒子および金属粒子と表面パターン２１、裏面パターン３１とを圧接するため、曲面を有する形状としても安定した接合を得ることができる。また、このような電子部品１００においても、熱電変換装置１を製造する際に、熱電変換装置１と被対象物とを接合するようにしてもよい。
The
また、絶縁基材１０、表面保護部材２０、裏面保護部材３０は樹脂で構成されており、熱電変換装置１は可撓性を有している。このため、熱電変換装置１を製造した後に被対象物の形状に合わせて折り曲げてもよい。
Moreover, the
さらに、図２７に示されるように、熱電変換装置１を基板１６０に搭載すると共に当該基板１６０に制御チップ１７０および通信装置１８０を備える電子部材１９０を搭載し、通信装置１８０に供給される電力を熱電変換装置１で生成する電子部品１００とすることもできる。なお、図２７では、通信装置１８０が露出しているものを示しているが、通信装置１８０は、熱電変換装置１（絶縁基材１０）内に配置されていてもよい。
Further, as shown in FIG. 27, the
そして、本発明の熱電変換装置１やこの熱電変換装置１を含む電子部品１００は、例えば、屋内と屋外とを仕切る屋根や壁に備えられ、屋内と屋外との気温差によって電力を生成するものとしても用いられる。また、大気と地面との気温差によって電力を生成するものとしても用いられる。
And the
１０ 絶縁基材
１０ａ 表面
１０ｂ 裏面
１１ 第１ビアホール
１２ 第２ビアホール
２０ 表面保護部材
２１ 表面パターン
３０ 裏面保護部材
３１ 裏面パターン
４０ 第１層間接続部材
４１ 第１導電性ペースト
５０ 第２層間接続部材
５１ 第２導電性ペースト
６０ 組
８０ 積層体
DESCRIPTION OF
Claims (3)
複数の裏面パターン（３１）を有し、熱可塑性樹脂を含んで構成された裏面保護部材（３０）と、
厚さ方向に貫通する複数の第１、第２ビアホール（１１、１２）を有し、熱可塑性樹脂を含んで構成された絶縁基材（１０）と、
前記第１ビアホール（１１）に充填され、複数の金属原子が所定の結晶構造を維持している金属粒子の合金で形成された第１層間接続部材（４０）と、
前記第２ビアホール（１２）に充填され、前記合金に対して異種金属で形成された第２層間接続部材（５０）と、を備え、
隣接する１つの前記第１ビアホールに充填された前記第１層間接続部材と１つの前記第２ビアホールに充填された前記第２層間接続部材とを組（６０）としたとき、前記絶縁基材の表面側に、前記第１層間接続部材および前記第２層間接続部材が前記組毎に前記複数の表面パターンにおける同じ表面パターンに接触する状態で前記表面保護部材が配置されていると共に、前記絶縁基材の裏面側に、隣接する組における一方の組の前記第１層間接続部材および他方の組の前記第２層間接続部材が前記複数の裏面パターンにおける同じ前記裏面パターンに接触する状態で前記裏面保護部材が配置されており、
前記第１層間接続部材および前記第２層間接続部材の周囲は、前記絶縁基材で囲まれており、
前記第１層間接続部材および前記第２層間接続部材は、固相焼結された合金であり、
前記表面パターン同士の間、および前記裏面パターン同士の間には、前記熱可塑性樹脂が配置されている熱電変換装置の製造方法であって、
厚さ方向に貫通する複数の前記第１、第２ビアホールが形成され、前記第１ビアホールに第１導電性ペースト（４１）が充填されていると共に前記第２ビアホールに第２導電性ペースト（５１）が充填されている前記絶縁基材を用意する工程と、
前記絶縁基材の表面（１０ａ）に所定の前記第１、第２導電性ペーストと接触する前記表面パターンを有する前記表面保護部材を配置すると共に、前記絶縁基材の裏面（１０ｂ）に所定の前記第１、第２導電性ペーストと接触する前記裏面パターンを有する前記裏面保護部材を配置して積層体（８０）を形成する工程と、
前記積層体を加熱しながら積層方向から加圧し、前記第１、第２導電性ペーストから前記第１、第２層間接続部材を構成すると共に前記第１、第２層間接続部材と前記表面パターンおよび前記裏面パターンとを電気的に接続する一体化工程と、を行い、
前記第１導電性ペーストとして、複数の金属原子が所定の結晶構造を維持している合金の粉末に有機溶剤を加えてペースト化したものを用い、
前記第２導電性ペーストとして、前記合金と異種金属の粉末に有機溶剤を加えてペースト化したものを用い、
前記一体化工程では、
前記積層体を一対のプレス板の間に配置すると共に、前記積層体とプレス板との間に緩衝材を配置して行い、
前記表面保護部材における前記絶縁基材と対向する一面（２０ａ）と反対側の他面と、前記裏面保護部材における前記絶縁基材と対向する一面（３０ａ）と反対側の他面との間の距離において、前記第１層間接続部材または前記第２層間接続部材を挟む部分が前記第１層間接続部材または前記第２層間接続部材を挟む部分と異なる部分より長くなり、
さらに、前記表面保護部材における前記他面と前記裏面保護部材における前記他面との間の中間位置において、前記第１層間接続部材内または前記第２層間接続部材内における前記中間位置を第１中間位置とし、前記絶縁基材内における前記中間位置を第２中間位置とすると、前記第１中間位置から前記表面保護部材の他面までの距離が、前記第２中間位置から前記表面保護部材の他面までの距離より長くなり、かつ同じ前記第１中間位置から前記裏面保護部材の他面までの距離が、同じ前記第２中間位置から前記裏面保護部材の他面までの距離より長くなる状態を含むようにすることを特徴とする熱電変換装置の製造方法。 A surface protection member (20) having a plurality of surface patterns (21) and comprising a thermoplastic resin;
A back surface protection member (30) having a plurality of back surface patterns (31) and including a thermoplastic resin;
An insulating base material (10) having a plurality of first and second via holes (11, 12) penetrating in the thickness direction and including a thermoplastic resin;
A first interlayer connection member (40) filled with the first via hole (11) and formed of an alloy of metal particles in which a plurality of metal atoms maintain a predetermined crystal structure;
A second interlayer connection member (50) filled in the second via hole (12) and formed of a dissimilar metal with respect to the alloy,
When the first interlayer connection member filled in one adjacent first via hole and the second interlayer connection member filled in one second via hole are set as a set (60), The surface protection member is disposed on the surface side in a state where the first interlayer connection member and the second interlayer connection member are in contact with the same surface pattern in the plurality of surface patterns for each set, and the insulating group The back surface protection in a state where one set of the first interlayer connecting member and the other set of the second interlayer connecting member in the adjacent set are in contact with the same back pattern in the plurality of back patterns on the back side of the material The members are arranged,
The first interlayer connection member and the second interlayer connection member are surrounded by the insulating base material,
The first interlayer connection member and the second interlayer connection member are solid phase sintered alloys,
Between the front surface patterns and between the back surface patterns, the method for manufacturing a thermoelectric conversion device in which the thermoplastic resin is disposed ,
A plurality of the first and second via holes penetrating in the thickness direction are formed, the first via hole is filled with the first conductive paste (41), and the second conductive paste (51 Preparing the insulating base material filled with
The surface protection member having the surface pattern in contact with the predetermined first and second conductive pastes is disposed on the surface (10a) of the insulating base material, and a predetermined surface is disposed on the back surface (10b) of the insulating base material. Arranging the back surface protection member having the back surface pattern in contact with the first and second conductive pastes to form a laminate (80);
The laminated body is heated in the laminating direction to form the first and second interlayer connection members from the first and second conductive pastes, and the first and second interlayer connection members and the surface pattern and An integration step of electrically connecting the back surface pattern;
As the first conductive paste, a paste obtained by adding an organic solvent to a powder of an alloy in which a plurality of metal atoms maintain a predetermined crystal structure,
As the second conductive paste, a paste obtained by adding an organic solvent to the alloy and the different metal powder,
In the integration step,
The laminate is disposed between a pair of press plates, and a cushioning material is disposed between the laminate and the press plate,
Between the other surface opposite to the one surface (20a) facing the insulating substrate in the surface protection member and the other surface opposite to the one surface (30a) facing the insulating substrate in the back surface protection member. At a distance, a portion sandwiching the first interlayer connection member or the second interlayer connection member is longer than a portion different from a portion sandwiching the first interlayer connection member or the second interlayer connection member,
Furthermore, the intermediate position in the first interlayer connection member or the second interlayer connection member is defined as a first intermediate position at an intermediate position between the other surface of the surface protection member and the other surface of the back surface protection member. If the intermediate position in the insulating substrate is the second intermediate position, the distance from the first intermediate position to the other surface of the surface protection member is the distance from the second intermediate position to the other surface protection member. A state in which the distance from the same first intermediate position to the other surface of the back surface protection member is longer than the distance from the same second intermediate position to the other surface of the back surface protection member. The manufacturing method of the thermoelectric conversion apparatus characterized by including it.
複数の裏面パターン（３１）を有し、熱可塑性樹脂を含んで構成された裏面保護部材（３０）と、
厚さ方向に貫通する複数の第１、第２ビアホール（１１、１２）を有し、熱可塑性樹脂を含んで構成された絶縁基材（１０）と、
前記第１ビアホール（１１）に充填され、複数の金属原子が所定の結晶構造を維持している合金で形成された第１層間接続部材（４０）と、
前記第２ビアホール（１２）に充填され、前記合金に対して異種金属で形成された第２層間接続部材（５０）と、を備え、
隣接する１つの前記第１ビアホールに充填された前記第１層間接続部材と１つの前記第２ビアホールに充填された前記第２層間接続部材とを組（６０）としたとき、前記絶縁基材の表面側に、前記第１層間接続部材および前記第２層間接続部材が前記組毎に前記複数の表面パターンにおける同じ表面パターンに接触する状態で前記表面保護部材が配置されていると共に、前記絶縁基材の裏面側に、隣接する組における一方の組の前記第１層間接続部材および他方の組の前記第２層間接続部材が前記複数の裏面パターンにおける同じ前記裏面パターンに接触する状態で前記裏面保護部材が配置されており、
前記第１層間接続部材および前記第２層間接続部材の周囲は、前記絶縁基材で囲まれており、
前記第１層間接続部材および前記第２層間接続部材は、固相焼結された合金であり、
前記表面パターン同士の間、および前記裏面パターン同士の間には、前記表面保護部材、前記裏面保護部材、前記絶縁基材を構成する少なくとも１つの熱可塑性樹脂が配置されている熱電変換装置の製造方法であって、
厚さ方向に貫通する複数の前記第１、第２ビアホールが形成され、前記第１ビアホールに第１導電性ペースト（４１）が充填されていると共に前記第２ビアホールに第２導電性ペースト（５１）が充填されている前記絶縁基材を用意する工程と、
前記絶縁基材の表面（１０ａ）に所定の前記第１、第２導電性ペーストと接触する前記表面パターンを有する前記表面保護部材を配置すると共に、前記絶縁基材の裏面（１０ｂ）に所定の前記第１、第２導電性ペーストと接触する前記裏面パターンを有する前記裏面保護部材を配置して積層体（８０）を形成する工程と、
前記積層体を加熱しながら積層方向から加圧し、前記第１、第２導電性ペーストから前記第１、第２層間接続部材を構成すると共に前記第１、第２層間接続部材と前記表面パターンおよび前記裏面パターンとを電気的に接続する一体化工程と、を行い、
前記第１導電性ペーストとして、複数の金属原子が所定の結晶構造を維持している合金の粉末に有機溶剤を加えてペースト化したものを用い、
前記第２導電性ペーストとして、前記合金と異種金属の粉末に有機溶剤を加えてペースト化したものを用い、
前記一体化工程では、
前記積層体を一対のプレス板の間に配置すると共に、前記積層体とプレス板との間に緩衝材を配置して行い、
前記表面保護部材における前記絶縁基材と対向する一面（２０ａ）と反対側の他面と、前記裏面保護部材における前記絶縁基材と対向する一面（３０ａ）と反対側の他面との間の距離において、前記第１層間接続部材または前記第２層間接続部材を挟む部分が前記第１層間接続部材または前記第２層間接続部材を挟む部分と異なる部分より長くなり、
さらに、前記表面保護部材における前記他面と前記裏面保護部材における前記他面との間の中間位置において、前記第１層間接続部材内または前記第２層間接続部材内における前記中間位置を第１中間位置とし、前記絶縁基材内における前記中間位置を第２中間位置とすると、前記第１中間位置から前記表面保護部材の他面までの距離が、前記第２中間位置から前記表面保護部材の他面までの距離より長くなり、かつ同じ前記第１中間位置から前記裏面保護部材の他面までの距離が、同じ前記第２中間位置から前記裏面保護部材の他面までの距離より長くなる状態を含むようにすることを特徴とする熱電変換装置の製造方法。 A surface protection member (20) having a plurality of surface patterns (21) and comprising a thermoplastic resin;
A back surface protection member (30) having a plurality of back surface patterns (31) and including a thermoplastic resin;
An insulating base material (10) having a plurality of first and second via holes (11, 12) penetrating in the thickness direction and including a thermoplastic resin;
A first interlayer connection member (40) filled with the first via hole (11) and formed of an alloy in which a plurality of metal atoms maintain a predetermined crystal structure;
A second interlayer connection member (50) filled in the second via hole (12) and formed of a dissimilar metal with respect to the alloy,
When the first interlayer connection member filled in one adjacent first via hole and the second interlayer connection member filled in one second via hole are set as a set (60), The surface protection member is disposed on the surface side in a state where the first interlayer connection member and the second interlayer connection member are in contact with the same surface pattern in the plurality of surface patterns for each set, and the insulating group The back surface protection in a state where one set of the first interlayer connecting member and the other set of the second interlayer connecting member in the adjacent set are in contact with the same back pattern in the plurality of back patterns on the back side of the material The members are arranged,
The first interlayer connection member and the second interlayer connection member are surrounded by the insulating base material,
The first interlayer connection member and the second interlayer connection member are solid phase sintered alloys,
Manufacture of a thermoelectric conversion device in which at least one thermoplastic resin constituting the surface protection member, the back surface protection member, and the insulating base material is disposed between the surface patterns and between the back surface patterns. A method,
A plurality of the first and second via holes penetrating in the thickness direction are formed, the first via hole is filled with the first conductive paste (41), and the second conductive paste (51 Preparing the insulating base material filled with
The surface protection member having the surface pattern in contact with the predetermined first and second conductive pastes is disposed on the surface (10a) of the insulating base material, and a predetermined surface is disposed on the back surface (10b) of the insulating base material. Arranging the back surface protection member having the back surface pattern in contact with the first and second conductive pastes to form a laminate (80);
The laminated body is heated in the laminating direction to form the first and second interlayer connection members from the first and second conductive pastes, and the first and second interlayer connection members and the surface pattern and An integration step of electrically connecting the back surface pattern;
As the first conductive paste, a paste obtained by adding an organic solvent to a powder of an alloy in which a plurality of metal atoms maintain a predetermined crystal structure,
As the second conductive paste, a paste obtained by adding an organic solvent to the alloy and the different metal powder,
In the integration step,
The laminate is disposed between a pair of press plates, and a cushioning material is disposed between the laminate and the press plate,
Between the other surface opposite to the one surface (20a) facing the insulating substrate in the surface protection member and the other surface opposite to the one surface (30a) facing the insulating substrate in the back surface protection member. At a distance, a portion sandwiching the first interlayer connection member or the second interlayer connection member is longer than a portion different from a portion sandwiching the first interlayer connection member or the second interlayer connection member,
Furthermore, the intermediate position in the first interlayer connection member or the second interlayer connection member is defined as a first intermediate position at an intermediate position between the other surface of the surface protection member and the other surface of the back surface protection member. If the intermediate position in the insulating substrate is the second intermediate position, the distance from the first intermediate position to the other surface of the surface protection member is the distance from the second intermediate position to the other surface protection member. A state in which the distance from the same first intermediate position to the other surface of the back surface protection member is longer than the distance from the same second intermediate position to the other surface of the back surface protection member. The manufacturing method of the thermoelectric conversion apparatus characterized by including it.
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