JP6482843B2 - Data generating apparatus and data generating method - Google Patents

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Description

本発明は、回路基板の電気部品に対する検査の際にプローブをプロービングさせるプロービングポイントを規定してそのプロービングポイントを示すポイントデータを生成するデータ生成装置およびデータ生成方法に関するものである。   The present invention relates to a data generation apparatus and a data generation method for defining a probing point for probing a probe when inspecting an electrical component of a circuit board and generating point data indicating the probing point.

この種のデータ生成装置として、下記特許文献1において出願人が開示したデータ生成装置が知られている。このデータ生成装置は、電子部品における各接続端子の先端部の位置を特定可能な情報を含んだ電子部品データ、電子部品を回路基板に実装するときの回路基板上の電子部品の位置等を示す情報を含んだマウンタデータ、および回路基板上における配線パターンやランドの位置や幅(形状)を特定可能な情報を含んだ配線パターンデータ(CADデータやガーバデータ)に基づき、電子部品が実装されている回路基板に対する検査を行う際に検査用プローブを接触(プロービング)させるプロービング位置(検査位置)を特定してその位置データを生成する。具体的には、このデータ生成装置では、実装状態における電子部品における接続端子の先端部の位置を電子部品データおよびマウンタデータに基づいて特定すると共に、配線パターンデータに基づいてランドの位置を特定して、接続端子の先端部の位置にランドが存在すると判別したときにそのランドの位置をプロービング位置として特定する。   As this type of data generation apparatus, a data generation apparatus disclosed by the applicant in Patent Document 1 below is known. This data generation device shows electronic component data including information that can specify the position of the tip of each connection terminal in the electronic component, the position of the electronic component on the circuit board when the electronic component is mounted on the circuit board, and the like. Electronic components are mounted based on mounter data including information and wiring pattern data (CAD data and Gerber data) including information that can specify the position and width (shape) of the wiring pattern and land on the circuit board. When inspecting an existing circuit board, a probing position (inspection position) with which the inspection probe is brought into contact (probing) is specified and position data is generated. Specifically, in this data generation device, the position of the tip of the connection terminal in the electronic component in the mounted state is specified based on the electronic component data and the mounter data, and the position of the land is specified based on the wiring pattern data. Then, when it is determined that a land exists at the position of the tip of the connection terminal, the position of the land is specified as the probing position.

特開2010−107265号公報(第5−6頁、第1図)JP 2010-107265 A (page 5-6, FIG. 1)

ところが、上記のデータ生成装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、このデータ生成装置では、電子部品における接続端子の先端部に存在するランドの位置をプロービング位置として特定している。一方、例えば、回路基板に実装された電子部品についての検査(例えば、電子部品の接続端子と配線パターンとの接続状態の良否検査)を行う際に、プロービング位置にプローブをプロービングさせて検査用信号を供給した状態で、電子部品の上方にセンサ(例えば、磁気センサ)を位置させ、そのセンサによって検出された物理量(例えば、磁界)に基づいて電子部品についての検査を行う検査装置、つまりプローブに加えてセンサを用いる検査装置(例えば、特開2006−343103号公報において出願人が開示した回路基板検査装置)が知られている。しかしながら、上記のデータ生成装置では、この種のセンサを用いることを考慮して位置データを生成していないため、この種のセンサを用いる検査装置において、上記のデータ生成装置で生成した位置データによって示されるプロービング位置にプローブをプロービングさせようとしたときには、プローブとセンサとが接触するおそれがある。この場合、この種の検査装置では、一般的に、プローブとセンサとが互いに接触する範囲を予め規定して、その範囲内にプロービング位置が規定されているときには、そのプロービング位置にプローブをプロービングさせて行う検査ステップを省略(ジャンプ)するように構成されている。このため、従来のデータ生成装置によって生成された位置データを用いて検査を行う際には、検査ステップが省略されて未検査の部位が生じて検査精度の向上が困難となるおそれがあり、この点の改善が望まれている。   However, the above data generation apparatus has the following problems to be improved. That is, in this data generation device, the position of the land existing at the tip of the connection terminal in the electronic component is specified as the probing position. On the other hand, for example, when performing an inspection on an electronic component mounted on a circuit board (for example, an inspection of whether or not a connection state between a connection terminal of an electronic component and a wiring pattern is good), an inspection signal is obtained by probing the probe at a probing position. In a state where a sensor (for example, a magnetic sensor) is positioned above the electronic component and the electronic component is inspected based on a physical quantity (for example, a magnetic field) detected by the sensor, that is, a probe In addition, an inspection apparatus using a sensor (for example, a circuit board inspection apparatus disclosed by the applicant in Japanese Patent Laid-Open No. 2006-343103) is known. However, since the above data generation apparatus does not generate position data in consideration of using this type of sensor, the inspection apparatus using this type of sensor uses the position data generated by the above data generation apparatus. When attempting to probe the probe at the indicated probing position, the probe and the sensor may come into contact. In this case, in this type of inspection apparatus, generally, a range in which the probe and the sensor are in contact with each other is defined in advance, and when the probing position is defined within the range, the probe is probed to the probing position. The inspection step to be performed is skipped (jumped). For this reason, when performing an inspection using position data generated by a conventional data generation device, there is a possibility that an inspection step is omitted and an uninspected part is generated, which makes it difficult to improve inspection accuracy. Improvement of the point is desired.

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、検査精度の向上が可能なポイントデータを生成し得るデータ生成装置およびデータ生成方法を提供することを主目的とする。   The present invention has been made in view of such a problem, and a main object of the present invention is to provide a data generation apparatus and a data generation method capable of generating point data capable of improving inspection accuracy.

上記目的を達成すべく請求項1記載のデータ生成装置は、配線パターンが形成されると共に電気部品が搭載された回路基板における被検査部位に対する検査の際にプローブをプロービングさせるプロービングポイントを当該配線パターンに設けられているポイント候補の中から規定する規定処理を実行して、当該プロービングポイントを示すポイントデータを生成する処理部を備えたデータ生成装置であって、前記処理部は、前記検査に用いる装置の構成要素のうちの前記被検査部位に対する検査の際に当該被検査部位に近接させて被検出量を検出する第1センサおよび前記プローブの双方が前記回路基板における一方の面側に位置しているとしたときに、前記規定処理において、前記被検査部位に直接接続される前記配線パターンとしての第1配線パターンに設けられている前記ポイント候補のうちの予め規定された規定条件に適合するポイント候補を第1適合ポイントとして特定し、前記回路基板の構成要素および前記検査に用いる装置の構成要素と干渉することなく前記第1適合ポイントに対する前記プローブのプロービングが可能であるとのプロービング条件に適合するか否かを判定する第1判定処理を実行し、当該第1判定処理において前記プロービング条件に適合すると判定したときには、前記第1適合ポイントを前記プロービングポイントとして規定し、前記第1判定処理において前記プロービング条件に適合しないと判定したときには、前記第1適合ポイントを除く前記第1配線パターンにおける他のポイント候補の中に前記プロービング条件に適合するポイント候補としての第2適合ポイントが存在するか否かを判定する第2判定処理を実行し、当該第2判定処理において前記第2適合ポイントが存在すると判定したときには、当該第2適合ポイントを前記プロービングポイントとして規定し、前記第2判定処理において、前記第2適合ポイントが存在しないと判定したときには、前記プローブが前記一方の面側に位置すると共に前記第1センサが前記被検査部位から離間し、かつ前記検査に用いる装置の構成要素のうちの前記被検出量を検出する第2センサが前記回路基板の他方の面側に位置しているとしたときに当該一方の面側において前記第2適合ポイントが存在するか否かを判定する第3判定処理を実行し、当該第3判定処理において前記第2適合ポイントが存在すると判定したときには、当該第2適合ポイントを前記プロービングポイントとして規定するIn order to achieve the above object, the data generation apparatus according to claim 1, wherein a wiring pattern is formed and a probing point for probing the probe at the time of inspection of a part to be inspected on a circuit board on which an electrical component is mounted is provided in the wiring pattern. A data generation apparatus comprising a processing unit that executes a prescribing process defined from point candidates provided in a point and generates point data indicating the probing point, wherein the processing unit is used for the inspection Of the components of the apparatus, both the first sensor and the probe that detect the detected amount in the vicinity of the inspection site are located on one surface side of the circuit board when the inspection site is inspected. when that, in the prescribed process, wherein as the wiring pattern connected directly to the examination site Among the point candidates provided in one wiring pattern, a point candidate that conforms to a predetermined regulation condition is specified as a first conforming point, and the circuit board component and the device component used for the inspection are A first determination process is performed to determine whether or not the probe is probing that the probe can be probed with respect to the first matching point without interference, and the first determination process conforms to the probing condition. Then, when it is determined, the first matching point is defined as the probing point, and when it is determined in the first determination process that the probing condition is not satisfied, the other points in the first wiring pattern excluding the first matching point are determined. Points that meet the above probing conditions among point candidates A second determination process for determining whether or not a second matching point as a complement exists is executed, and when it is determined that the second matching point exists in the second determination process, the second matching point is probed. When it is determined that the second matching point does not exist in the second determination process, the probe is located on the one surface side and the first sensor is separated from the site to be inspected. And when the 2nd sensor which detects the amount to be detected among the components of the apparatus used for the inspection is located on the other surface side of the circuit board, the second conformity on the one surface side When the third determination process for determining whether or not a point exists is performed and it is determined in the third determination process that the second matching point exists, A second matching point is defined as the probing point .

また、請求項2記載のデータ生成装置は、請求項1記載のデータ生成装置において、前記処理部は、前記第2判定処理において、前記第2適合ポイントが複数存在すると判定したときには、前記被検査部位に対するに対する検査の際に直前にプロービングされる他の前記プロービングポイントからの前記プローブの移動時間が最短となる前記第2適合ポイントを前記プロービングポイントとして規定する。 Further, the data generation apparatus according to claim 2, wherein, in the data generating apparatus according to claim 1, wherein the processing unit, in the second determination process, when the second adaptation point is determined there are a plurality, the inspection The second matching point at which the moving time of the probe from the other probing point probed immediately before the inspection of the part is the shortest is defined as the probing point.

また、請求項3記載のデータ生成方法は、配線パターンが形成されると共に電気部品が搭載された回路基板における被検査部位に対する検査の際にプローブをプロービングさせるプロービングポイントを当該配線パターンに設けられているポイント候補の中から規定する規定処理を実行して、当該プロービングポイントを示すポイントデータを生成するデータ生成方法であって、前記検査に用いる装置の構成要素のうちの前記被検査部位に対する検査の際に当該被検査部位に近接させて被検出量を検出する第1センサおよび前記プローブの双方が前記回路基板における一方の面側に位置しているとしたときに、前記規定処理において、前記被検査部位に直接接続される前記配線パターンとしての第1配線パターンに設けられている前記ポイント候補のうちの予め規定された規定条件に適合するポイント候補を第1適合ポイントとして特定し、前記回路基板の構成要素および前記検査に用いる装置の構成要素と干渉することなく前記第1適合ポイントに対する前記プローブのプロービングが可能であるとのプロービング条件に適合するか否かを判定する第1判定処理を実行し、当該第1判定処理において前記プロービング条件に適合すると判定したときには、前記第1適合ポイントを前記プロービングポイントとして規定し、前記第1判定処理において前記プロービング条件に適合しないと判定したときには、前記第1適合ポイントを除く前記第1配線パターンにおける他のポイント候補の中に前記プロービング条件に適合するポイント候補としての第2適合ポイントが存在するか否かを判定する第2判定処理を実行し、当該第2判定処理において前記第2適合ポイントが存在すると判定したときには、当該第2適合ポイントを前記プロービングポイントとして規定し、前記第2判定処理において、前記第2適合ポイントが存在しないと判定したときには、前記プローブが前記一方の面側に位置すると共に前記第1センサが前記被検査部位から離間し、かつ前記検査に用いる装置の構成要素のうちの前記被検出量を検出する第2センサが前記回路基板の他方の面側に位置しているとしたときに当該一方の面側において前記第2適合ポイントが存在するか否かを判定する第3判定処理を実行し、当該第3判定処理において前記第2適合ポイントが存在すると判定したときには、当該第2適合ポイントを前記プロービングポイントとして規定するAccording to a third aspect of the present invention , there is provided a data generation method in which a probing point for probing a probe at the time of inspection of a part to be inspected on a circuit board on which an electrical component is mounted is provided in the wiring pattern. A data generation method for generating point data indicating a probing point by executing a prescribing process that prescribes from among point candidates, and for performing an inspection on the inspected part of the components of the apparatus used for the inspection When both the first sensor that detects the detection amount in proximity to the inspection site and the probe are located on one surface side of the circuit board, The point provided in the first wiring pattern as the wiring pattern directly connected to the examination site A candidate point that matches a pre-defined condition among candidates is identified as a first matching point, and the first matching point is detected without interfering with a component of the circuit board and a component of the apparatus used for the inspection. When a first determination process is performed to determine whether or not the probing condition that the probe can be probed is met, and it is determined in the first determination process that the probing condition is met, the first matching point is determined. Is defined as the probing point, and when it is determined in the first determination process that the probing condition is not met, the probing condition is met in other point candidates in the first wiring pattern excluding the first conforming point. Whether there is a second matching point as a candidate point When the second determination process determines that the second matching point exists in the second determination process, the second matching point is defined as the probing point. In the second determination process, When it is determined that the second matching point does not exist, the probe is located on the one surface side, the first sensor is separated from the site to be inspected, and the component of the apparatus used for the inspection Third determination for determining whether or not the second matching point exists on the one surface side when the second sensor for detecting the detected amount is located on the other surface side of the circuit board. And when it is determined that the second matching point exists in the third determination process, the second matching point is determined as the probing point. It prescribes as

また、請求項4記載のデータ生成方法は、請求項3記載のデータ生成方法において、前記第2判定処理において、前記第2適合ポイントが複数存在すると判定したときには、前記被検査部位に対する検査の際に直前にプロービングされる他の前記プロービングポイントからの前記プローブの移動時間が最短となる前記第2適合ポイントを前記プロービングポイントとして規定するAccording to a fourth aspect of the present invention, in the data generation method according to the third aspect, when it is determined in the second determination process that there are a plurality of the second matching points, an inspection of the inspected part is performed. The second matching point at which the probe moving time from the other probing point probed immediately before is the shortest is defined as the probing point .

請求項1記載のデータ生成装置、および請求項記載のデータ生成方法では、第1判定処理においてプロービング条件に適合しないと判定したときに第2判定処理を実行し、第2判定処理において他のポイント候補の中にプロービング条件に適合する第2適合ポイントが存在すると判定したときにその第2適合ポイントをプロービングポイントとして規定する。このため、このデータ生成装置およびデータ生成方法によれば、回路基板や検査に用いる装置の構成要素と干渉することなくプローブをプロービング可能な(プロービング条件に適合する)プロービングポイントのみの情報を含むポイントデータを生成することができる。したがって、このデータ生成装置およびデータ生成方法によれば、ポイントデータにプロービングが困難なプロービングポイントの情報が含まれることに起因して検査ステップが省略される(未検査の被検査部位が発生する)ことを十分に少なく抑えて、検査精度を十分に向上させることが可能なポイントデータを生成することができる。
また、請求項1記載のデータ生成装置、および請求項3記載のデータ生成方法では、第1センサおよびプローブの双方が回路基板における一方の面側に位置しているとしたときに実行した第2判定処理において第2適合ポイントが存在しないと判定したときには、プローブが一方の面側に位置すると共に第1センサが電気部品から離間しかつ第2センサが回路基板の他方の面側に位置しているとしたときに一方の面側において第2適合ポイントが存在するか否かを判定する第3判定処理を実行し、第3判定処理において第2適合ポイントが存在すると判定したときには、その第2適合ポイントをプロービングポイントとして規定する。このため、このデータ生成装置およびデータ生成方法によれば、第1磁気センサが被検査部位に近接している状態では第2適合ポイントが存在しないと判定される場合においても、第1磁気センサが被検査部位から離反している状態では第2適合ポイントとなるポイント候補をプロービングポイントとして規定することができる。したがって、このデータ生成装置およびデータ生成方法によれば、プロービング条件に適合するプロービングポイントが存在しないために検査ステップが省略される(未検査の被検査部位が発生する)ことを少なく抑えて、検査精度をさらに向上させることが可能なポイントデータを生成することができる。また、プローブをプロービングさせるポイント候補は、一般的に、回路基板の他方の面側よりも一方の面側に多く存在する。このため、第3判定処理において回路基板の一方の面側に第2適合ポイントが存在するか否かを判定するこのデータ生成装置およびデータ生成方法によれば、例えば、第2判定処理において第2適合ポイントが存在しないと判定したときに第2適合ポイントとなり得るポイント候補が他方の面側に存在するか否かを判定する処理を第3判定処理に代えて実行する構成と比較して、第3判定処理において第2適合ポイントを高い確率で探し出すことができる。
In the data generation device according to claim 1 and the data generation method according to claim 3 , the second determination process is executed when it is determined that the probing condition is not met in the first determination process, and the other process is performed in the second determination process. When it is determined that there is a second matching point that matches the probing condition among the point candidates, the second matching point is defined as the probing point. For this reason, according to this data generation device and data generation method, a point including only information of probing points that can probe the probe without interfering with the circuit board or the components of the device used for the inspection (matching the probing conditions) Data can be generated. Therefore, according to the data generation device and the data generation method, the inspection step is omitted due to the fact that the probing point information that is difficult to probe is included in the point data (an uninspected region to be inspected is generated). It is possible to generate point data that can sufficiently improve the inspection accuracy while suppressing this sufficiently small.
Further, in the data generating apparatus according to claim 1 and the data generating method according to claim 3, the second processing is executed when both the first sensor and the probe are located on one surface side of the circuit board. When it is determined in the determination process that the second matching point does not exist, the probe is positioned on one surface side, the first sensor is separated from the electrical component, and the second sensor is positioned on the other surface side of the circuit board. If it is determined that the second matching point exists on one surface side, the third determination process is executed. If it is determined in the third determination process that the second matching point exists, the second determination point is determined. Specify conforming points as probing points. For this reason, according to this data generation device and data generation method, even when it is determined that the second matching point does not exist in the state where the first magnetic sensor is close to the inspected site, the first magnetic sensor In a state of being separated from the part to be inspected, a point candidate that becomes the second matching point can be defined as a probing point. Therefore, according to the data generation device and the data generation method, since there is no probing point that matches the probing condition, the inspection step is omitted (an uninspected region to be inspected is generated) and the inspection is suppressed. Point data that can further improve the accuracy can be generated. Further, there are generally more point candidates for probing the probe on one surface side than on the other surface side of the circuit board. Therefore, according to the data generation device and the data generation method for determining whether or not the second matching point exists on one surface side of the circuit board in the third determination process, for example, the second determination process includes the second determination point. Compared to a configuration in which a process for determining whether or not a point candidate that can be the second matching point exists on the other surface side when it is determined that there is no matching point is executed instead of the third determination process, In the 3 determination process, the second matching point can be found with a high probability.

また、請求項2記載のデータ生成装置、および請求項4記載のデータ生成方法によれば、第2判定処理において、第2適合ポイントが複数存在すると判定したときには、被検査部位に対する検査において直前にプロービングされる他のプロービングポイントからのプローブの移動時間が最短となる第2適合ポイントをプロービングポイントとして規定することにより、プローブの移動時間を十分に短縮させて、検査効率を十分に向上させることが可能なポイントデータを生成することができる。 Further, according to the data generation device according to claim 2 and the data generation method according to claim 4 , when it is determined in the second determination process that there are a plurality of second matching points, immediately before the inspection of the inspected part. By defining the second matching point that minimizes the probe travel time from other probing points to be probed as the probing point, the probe travel time can be sufficiently shortened to sufficiently improve the inspection efficiency. Possible point data can be generated.

データ生成装置1,1Aの構成を示す構成図である。It is a block diagram which shows the structure of the data generation apparatuses 1 and 1A. 回路基板30の構成を示す構成図である。2 is a configuration diagram showing a configuration of a circuit board 30. FIG. 図2におけるA−A線断面図である。It is the sectional view on the AA line in FIG. データ生成方法を説明するための第1の説明図である。It is the 1st explanatory view for explaining a data generation method. データ生成処理50のフローチャートである。5 is a flowchart of data generation processing 50. データ生成方法を説明するための第2の説明図である。It is the 2nd explanatory view for explaining a data generation method. データ生成方法の他の例を説明するための第1の説明図である。It is the 1st explanatory view for explaining other examples of a data generation method. データ生成方法の他の例を説明するための第2の説明図である。It is the 2nd explanatory view for explaining other examples of a data generation method.

以下、データ生成装置およびデータ生成装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。   Hereinafter, an embodiment of a data generation device and a data generation device will be described with reference to the drawings.

最初に、データ生成装置の一例としての図1に示すデータ生成装置1の構成について説明する。データ生成装置1は、例えば図2,3に示す回路基板30における被検査部位(例えば、後述する配線パターン32a〜32hと集積回路33の接続端子41a〜41hとの接続部分)に対する検査の際に、図外のプロービング機構によってプローブ11(図2,3参照)をプロービングさせるプロービングポイントPp(図4参照)を示すポイントデータDpを生成可能に構成されている。なお、図2,3および後述する図4,6〜8では、回路基板30の一部のみを図示している。   First, the configuration of the data generation device 1 shown in FIG. 1 as an example of the data generation device will be described. For example, the data generation apparatus 1 performs an inspection on a portion to be inspected (for example, a connection portion between wiring patterns 32a to 32h described later and connection terminals 41a to 41h of the integrated circuit 33) on the circuit board 30 illustrated in FIGS. The point data Dp indicating the probing point Pp (see FIG. 4) for probing the probe 11 (see FIGS. 2 and 3) by a probing mechanism (not shown) can be generated. 2 and 3 and FIGS. 4 and 6 to be described later, only a part of the circuit board 30 is illustrated.

この場合、回路基板30は、一例として、図2,3に示すように、基板31と、基板31に形成された配線パターン32a〜32h(以下、区別しないときには「配線パターン32」ともいう)と、基板31に搭載(実装)された電気部品の一例としての集積回路33とを備えて構成されている。基板31には、配線パターン32を覆うようにして形成された図外のレジスト層を備えている。また、レジスト層には、配線パターン32に対してプローブ11の接触(電気的接続)を可能とするための開口部が設けられている。この場合、配線パターン32における開口部によって露出している部位(開口部の底部となる部位)がポイント候補に相当し、以下、この部位を「パッドPta〜Ptm(区別しないときには「パッドPt」)」ともいう(図2参照)。また、集積回路33は、一例として、裏面(同図における紙面奥側の面)に複数の接続端子41a〜41h(以下、区別しないときには「接続端子41」ともいう)が配列されたBGA(Ball Grid Array )タイプの集積回路であって、各接続端子41が各配線パターン32に接続された状態で基板31に搭載されている。   In this case, as an example, as shown in FIGS. 2 and 3, the circuit board 30 includes a board 31 and wiring patterns 32 a to 32 h (hereinafter, also referred to as “wiring pattern 32” when not distinguished) formed on the board 31. , And an integrated circuit 33 as an example of an electrical component mounted (mounted) on the substrate 31. The substrate 31 includes a resist layer (not shown) formed so as to cover the wiring pattern 32. The resist layer is provided with an opening for enabling the probe 11 to contact (electrically connect) to the wiring pattern 32. In this case, the part exposed by the opening in the wiring pattern 32 (part serving as the bottom of the opening) corresponds to a point candidate. Hereinafter, these parts are referred to as “pads Pta to Ptm (“ pad Pt ”when not distinguished). (Refer to FIG. 2). Further, as an example, the integrated circuit 33 has a BGA (Ball) in which a plurality of connection terminals 41a to 41h (hereinafter also referred to as “connection terminals 41” when not distinguished) are arranged on the back surface (the back surface in the drawing). Grid array) type integrated circuit, and each connection terminal 41 is mounted on the substrate 31 in a state of being connected to each wiring pattern 32.

また、ポイントデータDpを用いて上記した被検査部位に対する検査を行う検査装置では、図3に示すように、プロービングポイントPpにプロービングさせたプローブ11を介して検査用の電気信号を供給し、その状態でセンサの一例としての磁気センサ21を集積回路33(被検査部位)の上方に近接させて磁界を検出し、磁界の検出結果に基づいて被検査部位を検査する。この場合、この検査装置では、プローブ11および磁気センサ21の双方が回路基板30における一方の面(同図における上面)側に位置している。   Further, in the inspection apparatus that performs the inspection on the inspected portion using the point data Dp, as shown in FIG. 3, an electrical signal for inspection is supplied through the probe 11 probed to the probing point Pp. In this state, the magnetic sensor 21 as an example of the sensor is brought close to the integrated circuit 33 (inspected part) to detect a magnetic field, and the inspected part is inspected based on the detection result of the magnetic field. In this case, in this inspection apparatus, both the probe 11 and the magnetic sensor 21 are located on one surface (the upper surface in the figure) side of the circuit board 30.

一方、データ生成装置1は、図1に示すように、操作部2、表示部3、記憶部4および処理部5を備えて構成されている。操作部2は、キーボード等の入力装置を備えて構成されて、操作に応じて処理部5に対して操作信号を出力する。表示部3は、処理部5の制御に従い、各種の画像を表示する。   On the other hand, the data generation device 1 includes an operation unit 2, a display unit 3, a storage unit 4, and a processing unit 5, as shown in FIG. The operation unit 2 includes an input device such as a keyboard, and outputs an operation signal to the processing unit 5 according to an operation. The display unit 3 displays various images according to the control of the processing unit 5.

記憶部4は、例えば、磁気記憶媒体やRAMなどを備えて構成され、処理部5に対してデータ生成処理50(図5)を実行させる処理プログラムPrを記憶する。また、記憶部4は、回路基板30についての設計データDdを記憶する。この設計データDdは、データ生成処理50において用いられるデータであって、回路基板30における配線パターン32の形状および配線パターン32の基板31上の位置を特定可能なデータや、レジスト層に形成されている開口部の形状および基板31上の位置を特定可能なデータを含んで構成されている。この場合、設計データDdは、一例としてガーバフォーマット形式で記述されている。また、記憶部4は、回路基板30についてのマウントデータDmを記憶する。このマウントデータDmは、回路基板30に搭載する電気部品の大きさや搭載位置、および電気部品の接続端子が接続される配線パターン32や、その配線パターン32における接続端子との接続位置を特定可能なデータを含んで構成されている。また、記憶部4は、データ生成処理50において生成されるポイントデータDpを記憶する。   The storage unit 4 includes, for example, a magnetic storage medium, a RAM, and the like, and stores a processing program Pr that causes the processing unit 5 to execute the data generation process 50 (FIG. 5). The storage unit 4 stores design data Dd for the circuit board 30. The design data Dd is data used in the data generation processing 50, and is data that can specify the shape of the wiring pattern 32 on the circuit board 30 and the position of the wiring pattern 32 on the substrate 31, and is formed in the resist layer. It includes data that can specify the shape of the opening and the position on the substrate 31. In this case, the design data Dd is described in a Gerber format as an example. Further, the storage unit 4 stores mount data Dm for the circuit board 30. The mount data Dm can specify the size and mounting position of the electrical component mounted on the circuit board 30, the wiring pattern 32 to which the connection terminal of the electrical component is connected, and the connection position of the wiring pattern 32 with the connection terminal. Consists of data. The storage unit 4 stores the point data Dp generated in the data generation process 50.

処理部5は、操作部2から出力される操作信号に従ってデータ生成装置1を構成する各部を制御する。また、処理部5は、図5に示すデータ生成処理50を実行することにより、上記したプロービングポイントPpを、配線パターン32に設けられているパッドPt(ポイント候補)の中から規定し(規定処理を実行し)、そのプロービングポイントPpを示すポイントデータDpを生成する。   The processing unit 5 controls each unit constituting the data generation device 1 according to the operation signal output from the operation unit 2. Further, the processing unit 5 executes the data generation processing 50 shown in FIG. 5 to define the above probing points Pp from the pads Pt (point candidates) provided in the wiring pattern 32 (regulation processing). To generate point data Dp indicating the probing point Pp.

次に、データ生成装置1を用いて、一例として、図2に示す回路基板30の被検査部位(配線パターン32と集積回路33の接続端子41との接続部位)に対する検査の際にプローブ11をプロービングさせるプロービングポイントPpを特定してポイントデータDpを生成するデータ生成方法、およびその際のデータ生成装置1の動作について、図面を参照して説明する。この場合、上記した処理プログラムPr、並びに回路基板30についての設計データDdおよびマウントデータDmが記憶部4に既に記憶されているものとする。   Next, as an example, the data generator 1 is used to inspect the probe 11 at the time of inspection of the inspected portion of the circuit board 30 illustrated in FIG. The data generation method for generating the point data Dp by specifying the probing point Pp to be probed, and the operation of the data generation device 1 at that time will be described with reference to the drawings. In this case, it is assumed that the above-described processing program Pr, design data Dd and mount data Dm for the circuit board 30 are already stored in the storage unit 4.

まず、操作部2を操作して処理の実行を指示する。これに応じて、処理部5が、記憶部4から処理プログラムPrを読み出す。次いで、処理部5は、処理プログラムPrに従い、図5に示すデータ生成処理50を実行する。このデータ生成処理50では、処理部5は、設計データDdおよびマウントデータDmを記憶部4から読み出す(ステップ51)。   First, the operation unit 2 is operated to instruct execution of processing. In response to this, the processing unit 5 reads the processing program Pr from the storage unit 4. Next, the processing unit 5 executes a data generation process 50 shown in FIG. 5 according to the processing program Pr. In the data generation process 50, the processing unit 5 reads the design data Dd and the mount data Dm from the storage unit 4 (step 51).

続いて、処理部5は、設計データDdに基づき、配線パターン32の形状、および配線パターン32の基板31上の位置を特定すると共に、レジスト層に形成されている開口部の形状、および開口部の基板31上の位置、つまり、配線パターン32に設けられているパッドPt(ポイント候補)の位置を特定する(ステップ52)。   Subsequently, the processing unit 5 specifies the shape of the wiring pattern 32 and the position of the wiring pattern 32 on the substrate 31 based on the design data Dd, and the shape and opening of the opening formed in the resist layer. The position on the substrate 31, that is, the position of the pad Pt (point candidate) provided on the wiring pattern 32 is specified (step 52).

次いで、処理部5は、マウントデータDmに基づき、集積回路33の各接続端子41が接続される配線パターン32、およびその配線パターン32における各接続端子41との接続位置を特定する(ステップ53)。   Next, the processing unit 5 identifies the wiring pattern 32 to which each connection terminal 41 of the integrated circuit 33 is connected and the connection position with each connection terminal 41 in the wiring pattern 32 based on the mount data Dm (step 53). .

続いて、処理部5は、各接続端子41の1つとして、例えば接続端子41a(図2参照)を選択し、接続端子41aについての規定処理を実行する。この規定処理では、処理部5は、接続端子41aに直接接続されるべき配線パターン32a(被検査部位に直接接続される第1配線パターン:同図参照)に設けられているパッドPtの中で、配線パターン32aと接続端子41aとの接続位置からの配線パターン32aに沿った離間距離が最も短いとの条件(予め規定された規定条件)に適合するパッドPta(第1適合ポイント:同図参照)を特定する(ステップ54)。   Subsequently, the processing unit 5 selects, for example, the connection terminal 41a (see FIG. 2) as one of the connection terminals 41, and executes the defining process for the connection terminal 41a. In this regulation process, the processing unit 5 is in the pad Pt provided in the wiring pattern 32a to be directly connected to the connection terminal 41a (the first wiring pattern directly connected to the part to be inspected: see the same figure). The pad Pta (first conforming point: see the same figure) that conforms to the condition that the distance along the wiring pattern 32a from the connection position between the wiring pattern 32a and the connection terminal 41a is the shortest (predetermined defining condition). ) Is specified (step 54).

次いで、処理部5は、第1判定処理を実行する。この第1判定処理では、処理部5は、回路基板30に搭載されている集積回路33(回路基板30の構成要素の一例)や、磁気センサ21(検査に用いる装置の構成要素の一例)と干渉することなくパッドPta(第1適合ポイント)に対するプローブ11のプロービングが可能であるとのプロービング条件に適合するか否かを判定する(ステップ55)。   Next, the processing unit 5 executes a first determination process. In the first determination process, the processing unit 5 includes an integrated circuit 33 (an example of a component of the circuit board 30) mounted on the circuit board 30 and a magnetic sensor 21 (an example of a component of an apparatus used for inspection). It is determined whether or not the probe 11 satisfies the probing condition that the probe 11 can be probed with respect to the pad Pta (first matching point) without interference (step 55).

ここで、図2に破線で示すように、パッドPtaにプローブ11をプロービングさせようとしたときには、プローブ11を保持するアーム部12やアーム部12を支持する支持部13と磁気センサ21との干渉によってプロービングが困難となる。つまり、パッドPtaについては、プロービング条件に適合しないこととなる。この際には、処理部5は、ステップ55においてプロービング条件に適合しないと判定し、続いて、第2判定処理を実行する。この第2判定処理では、処理部5は、パッドPta(第1適合ポイント)を除く配線パターン32a(第1配線パターン)における他のパッドPt(ポイント候補)の中にプロービング条件に適合する第2適合ポイントが存在するか否かを判定する(ステップ56)。   Here, as shown by a broken line in FIG. 2, when the probe 11 is to be probed on the pad Pta, the interference between the magnetic sensor 21 and the arm portion 12 that holds the probe 11 or the support portion 13 that supports the arm portion 12. Probing becomes difficult. That is, the pad Pta does not meet the probing conditions. At this time, the processing unit 5 determines in step 55 that the probing condition is not met, and then executes a second determination process. In the second determination process, the processing unit 5 performs the second matching with the probing condition in the other pads Pt (point candidates) in the wiring pattern 32a (first wiring pattern) excluding the pad Pta (first matching point). It is determined whether a matching point exists (step 56).

この場合、図4に破線で示すように、集積回路33や磁気センサ21と干渉することなくパッドPtbに対するプローブ11のプロービングが可能なため、処理部5は、ステップ56において、プロービング条件に適合する第2適合ポイントとして、パッドPtbが存在すると判定し、続いて、パッドPtbをプロービングポイントPpとして規定する(ステップ57)。   In this case, since the probe 11 can be probed with respect to the pad Ptb without interfering with the integrated circuit 33 and the magnetic sensor 21 as indicated by a broken line in FIG. 4, the processing unit 5 meets the probing condition in step 56. It is determined that the pad Ptb exists as the second matching point, and then the pad Ptb is defined as the probing point Pp (step 57).

次いで、処理部5は、集積回路33のすべての接続端子41について規定処理を実行したか否かを判定する(ステップ58)。この場合、すべての接続端子41について規定処理が完了していないため、処理部5は、次の接続端子41として接続端子41bを選択して、上記したステップ54を実行する。   Next, the processing unit 5 determines whether or not the defining process has been executed for all the connection terminals 41 of the integrated circuit 33 (step 58). In this case, since the defining process has not been completed for all the connection terminals 41, the processing unit 5 selects the connection terminal 41 b as the next connection terminal 41 and executes the above-described step 54.

この場合、処理部5は、ステップ54において、接続端子41bについての第1適合ポイントとして、図6に示すパッドPtcを特定する。続いて、処理部5は、上記したステップ55を実行して、プロービング条件に適合するか否かを判定する。この場合、同図に破線で示すように、パッドPtcにプローブ11をプロービングさせようとしたときには、アーム部12および支持部13と磁気センサ21との干渉によってプロービングが困難となるため、処理部5は、ステップ55においてプロービング条件に適合しないと判定し、次いで、ステップ56(第2判定処理)を実行する。   In this case, in step 54, the processing unit 5 specifies the pad Ptc shown in FIG. 6 as the first matching point for the connection terminal 41b. Subsequently, the processing unit 5 executes step 55 described above to determine whether or not the probing condition is met. In this case, as indicated by a broken line in FIG. 4, when the probe 11 is to be probed on the pad Ptc, probing becomes difficult due to interference between the arm part 12 and the support part 13 and the magnetic sensor 21, so that the processing part 5 Determines in step 55 that the probing condition is not met, and then executes step 56 (second determination process).

この場合、図6に破線で示すように、接続端子41bに直接接続されるべき配線パターン32bに設けられているパッドPtd,Pteに対しては、集積回路33や磁気センサ21と干渉することなくプローブ11のプロービングが可能なため、処理部5は、ステップ56において、プロービング条件に適合する第2適合ポイントとして、2つのパッドPtd,Pteが存在すると判定し、続いて、ステップ57を実行してプロービングポイントPpを規定する。   In this case, as indicated by a broken line in FIG. 6, the pads Ptd and Pte provided on the wiring pattern 32b to be directly connected to the connection terminal 41b do not interfere with the integrated circuit 33 and the magnetic sensor 21. Since probing of the probe 11 is possible, the processing unit 5 determines in step 56 that two pads Ptd and Pte exist as second matching points that match the probing conditions, and then executes step 57. A probing point Pp is defined.

ここで、処理部5は、上記のように第2適合ポイントが複数存在すると判定したときには、被検査部位に対する検査の際に、直前にプロービングされる他のプロービングポイントPpからのプローブ11の移動時間が最短となる第2適合ポイントをプロービングポイントPpとして規定する。具体的には、例えば、直前にプロービングされるプロービングポイントPpがパッドPtb(図6参照)のときには、プローブ11の移動時間が最短となる第2適合ポイントとして、パッドPtbとの間の最短移動距離(直線距離)が最も短いパッドPtdをプロービングポイントPpとして規定する。   Here, when the processing unit 5 determines that there are a plurality of second matching points as described above, the movement time of the probe 11 from another probing point Pp that is probed immediately before the examination of the inspected site. Is defined as the probing point Pp. Specifically, for example, when the probing point Pp to be probed immediately before is the pad Ptb (see FIG. 6), the shortest moving distance to the pad Ptb as the second matching point at which the moving time of the probe 11 is the shortest. The pad Ptd having the shortest (straight line distance) is defined as the probing point Pp.

次いで、処理部5は、ステップ58を実行して、集積回路33のすべての接続端子41について規定処理を実行したか否かを判定する。この場合、すべての接続端子41について規定処理が完了していないため、処理部5は、規定処理を実行していない接続端子41を選択して上記した各ステップ54〜ステップ58(規定処理)を実行する。この場合、処理部5は、接続端子41c(図6参照)についての規定処理を実行することによってパッドPtg(同図参照)をプロービングポイントPpとして規定し、接続端子41dについての規定処理を実行することによってパッドPti(同図参照)をプロービングポイントPpとして規定する。   Next, the processing unit 5 executes Step 58 to determine whether or not the defining process has been performed for all the connection terminals 41 of the integrated circuit 33. In this case, since the regulation process has not been completed for all the connection terminals 41, the processing unit 5 selects the connection terminal 41 that has not performed the regulation process and performs the above-described steps 54 to 58 (regulation process). Run. In this case, the processing unit 5 defines the pad Ptg (see FIG. 6) as the probing point Pp by executing the defining process for the connection terminal 41c (see FIG. 6), and executes the defining process for the connection terminal 41d. As a result, the pad Pti (see the figure) is defined as the probing point Pp.

また、処理部5は、接続端子41e(図6参照)についての規定処理において、第1適合ポイントとしてのパッドPtj(同図参照)がプロービング条件に適合していると判定する(ステップ55)。この際には、処理部5は、第1適合ポイントとしてのパッドPtjをプロービングポイントPpとして規定する(ステップ60)。また、処理部5は、同様にして、接続端子41f,41g,41h(同図参照)についての各規定処理において、第1適合ポイントとしてのパッドPtk,Ptl,Ptm(同図参照)がプロービング条件に適合していると判定して(ステップ55)、パッドPtk,Ptl,PtmをそれぞれプロービングポイントPpとして規定する(ステップ60)。   Further, in the defining process for the connection terminal 41e (see FIG. 6), the processing unit 5 determines that the pad Ptj (see the same figure) as the first matching point is suitable for the probing condition (step 55). At this time, the processing unit 5 defines the pad Ptj as the first matching point as the probing point Pp (step 60). Similarly, the processing unit 5 determines that the pads Ptk, Ptl, and Ptm (see the same figure) as the first matching points are probing conditions in each defining process for the connection terminals 41f, 41g, and 41h (see the same figure). (Step 55), the pads Ptk, Ptl, and Ptm are defined as probing points Pp, respectively (step 60).

続いて、すべての接続端子41について規定処理が完了したときには、処理部5は、ステップ58において、その旨を判定し、次いでプロービングポイントPpを示す(位置情報等のプロービングポイントPpを特定可能な情報を含む)ポイントデータDpを生成する(ステップ59)。続いて、処理部5は、ポイントデータDpを記憶部4に記憶させて、データ生成処理50を終了する。なお、処理部5は、上記したステップ56(第2判定処理)において第2適合ポイントが存在しないと判定したときには、対象の接続端子41についてのプロービングポイントPpが存在しないことを示す情報をポイントデータDpに含ませる。   Subsequently, when the defining process is completed for all the connection terminals 41, the processing unit 5 determines that in step 58, and then indicates the probing point Pp (information that can specify the probing point Pp such as position information). Point data Dp is generated (step 59). Subsequently, the processing unit 5 stores the point data Dp in the storage unit 4 and ends the data generation processing 50. When the processing unit 5 determines in step 56 (second determination processing) that the second matching point does not exist, information indicating that the probing point Pp for the target connection terminal 41 does not exist is point data. Include in Dp.

このように、このデータ生成装置1およびデータ生成方法では、第1判定処理においてプロービング条件に適合しないと判定したときに第2判定処理を実行し、第2判定処理において他のパッドPtの中にプロービング条件に適合する第2適合ポイントが存在すると判定したときにその第2適合ポイントをプロービングポイントPpとして規定する。このため、このデータ生成装置1およびデータ生成方法によれば、回路基板30や検査装置の構成要素と干渉することなくプローブ11をプロービング可能な(プロービング条件に適合する)プロービングポイントPpのみの情報を含むポイントデータDpを生成することができる。したがって、このデータ生成装置1およびデータ生成方法によれば、ポイントデータDpにプロービングが困難なプロービングポイントPpの情報が含まれることに起因して検査ステップが省略される(未検査の被検査部位が発生する)ことを十分に少なく抑えて、検査精度を十分に向上させることが可能なポイントデータDpを生成することができる。   As described above, in the data generation device 1 and the data generation method, the second determination process is executed when it is determined in the first determination process that the probing condition is not satisfied, and the other determination is made in the other pads Pt in the second determination process. When it is determined that there is a second matching point that meets the probing condition, the second matching point is defined as the probing point Pp. Therefore, according to the data generation device 1 and the data generation method, information on only the probing point Pp that can probe the probe 11 without interfering with the circuit board 30 or the components of the inspection device (matching the probing condition) is obtained. Including point data Dp can be generated. Therefore, according to the data generation device 1 and the data generation method, the inspection step is omitted because the point data Dp includes information on the probing point Pp that is difficult to probe (the uninspected region to be inspected is included). The point data Dp that can sufficiently improve the inspection accuracy can be generated.

また、このデータ生成装置1およびデータ生成方法によれば、第2判定処理において、第2適合ポイントが複数存在すると判定したときには、検査において直前にプロービングされる他のプロービングポイントPpからの移動時間が最短となる第2適合ポイントをプロービングポイントPpとして規定することにより、プローブ11の移動時間を十分に短縮させて、検査効率を十分に向上させることが可能なポイントデータDpを生成することができる。   Further, according to the data generation device 1 and the data generation method, when it is determined in the second determination process that there are a plurality of second matching points, the travel time from another probing point Pp that is probed immediately before the inspection is determined. By defining the second matching point that is the shortest as the probing point Pp, it is possible to generate point data Dp that can sufficiently shorten the moving time of the probe 11 and sufficiently improve the inspection efficiency.

なお、データ生成装置1およびデータ生成方法は、上記した構成に限定されない。例えば、上記の構成および方法では、第2判定処理(データ生成処理50のステップ56)において第2適合ポイントが存在しないと判定したときには、対象の接続端子41についてのプロービングポイントPpが存在しないことを示す情報をポイントデータDpに含ませているが、第2判定処理において第2適合ポイントが存在しないと判定したときに、以下に説明する第3判定処理を実行するデータ生成装置1A(図1参照)およびデータ生成方法を採用することもできる。なお、以下の説明において、上記したデータ生成装置1およびデータ生成方法と同じ構成要素については、同じ符号を付して、重複する説明を省略する。   Note that the data generation device 1 and the data generation method are not limited to the configuration described above. For example, in the above configuration and method, when it is determined in the second determination process (step 56 of the data generation process 50) that the second matching point does not exist, the probing point Pp for the target connection terminal 41 does not exist. Although the information shown is included in the point data Dp, when it is determined that the second matching point does not exist in the second determination process, the data generation device 1A that executes a third determination process described below (see FIG. 1). ) And data generation methods can also be employed. In the following description, the same components as those in the data generation device 1 and the data generation method described above are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

このデータ生成装置1Aおよびデータ生成方法は、被検査部位に対する検査の際に集積回路33(被検査部位)に近接させて用いるセンサとして、2つの磁気センサ21a,21b(第1センサおよび第2センサに相当する:図7参照)を備えた検査装置に用いられるポイントデータDpを生成する。この場合、このデータ生成装置1Aおよびデータ生成方法では、同図に示すように、磁気センサ21a(第1センサ)およびプローブ11の双方が回路基板30の一方の面(同図における上面)側に位置しているとしたときに、処理部5が上記した第1判定処理および第2判定処理を実行する。   The data generation device 1A and the data generation method use two magnetic sensors 21a and 21b (first sensor and second sensor) as sensors to be used in close proximity to the integrated circuit 33 (inspected part) when inspecting the inspected part. The point data Dp used in the inspection apparatus provided with (refer to FIG. 7) is generated. In this case, in the data generation apparatus 1A and the data generation method, as shown in the figure, both the magnetic sensor 21a (first sensor) and the probe 11 are on one surface (upper surface in the figure) side of the circuit board 30. When it is assumed that it is located, the processing unit 5 executes the first determination process and the second determination process described above.

この場合、図7に示すように、例えば、集積回路33の接続端子41i(被検査部位)に直接接続されるべき配線パターン32iにおける集積回路33の近傍にパッドPtnだけが設けられている場合において、磁気センサ21aが集積回路33に近接しているとしたときに上記したデータ生成処理50を実行したときには、処理部5は、特定処理において、まずパッドPtnを第1適合ポイントとして特定し、次いで、第1判定処理においてプロービング条件に適合しないと判定する。続いて、第2判定処理において、第2適合ポイントが存在しないと判定する。この際には、処理部5は、第3判定処理を実行する。   In this case, as shown in FIG. 7, for example, in the case where only the pad Ptn is provided in the vicinity of the integrated circuit 33 in the wiring pattern 32i to be directly connected to the connection terminal 41i (part to be inspected) of the integrated circuit 33. When the data generation process 50 described above is executed when the magnetic sensor 21a is close to the integrated circuit 33, the processing unit 5 first identifies the pad Ptn as the first matching point in the identification process, and then In the first determination process, it is determined that the probing condition is not met. Subsequently, in the second determination process, it is determined that there is no second matching point. At this time, the processing unit 5 executes a third determination process.

この第3判定処理では、処理部5は、図8に示すように、プローブ11が回路基板30の一方の面(上面)側に位置すると共に、磁気センサ21aが集積回路33(被検査部位)から離間し、かつ磁気センサ21b(第2センサ)が回路基板30の他方の面(下面)側に位置している(この例では、磁気センサ21bが回路基板30に近接している)としたときに、一方の面(上面)側において第2適合ポイントが存在するか否かを判定する。この場合、同図に示すように、磁気センサ21aが集積回路33から離間している状態では、パッドPtnがプロービング条件に適合するため、処理部5は、第3判定処理において、第2適合ポイントが存在すると判定して、第2適合ポイントとしてのパッドPtnをプロービングポイントPpとして規定する。   In the third determination process, as shown in FIG. 8, the processing unit 5 is configured such that the probe 11 is positioned on one surface (upper surface) side of the circuit board 30 and the magnetic sensor 21 a is the integrated circuit 33 (inspected part). The magnetic sensor 21b (second sensor) is located on the other surface (lower surface) side of the circuit board 30 (in this example, the magnetic sensor 21b is close to the circuit board 30). Sometimes, it is determined whether or not the second matching point exists on one surface (upper surface) side. In this case, as shown in the figure, in a state where the magnetic sensor 21a is separated from the integrated circuit 33, the pad Ptn conforms to the probing condition. Therefore, the processing unit 5 performs the second conforming point in the third determination process. And the pad Ptn as the second matching point is defined as the probing point Pp.

このデータ生成装置1Aおよびデータ生成方法によれば、上記したように、磁気センサ21aが集積回路33(被検査部位)に近接している状態では第2適合ポイントが存在しないと判定される場合においても、磁気センサ21aが集積回路33(被検査部位)から離反している状態では第2適合ポイントとなるパッドPtをプロービングポイントPpとして規定することができる。このため、データ生成装置1Aおよびデータ生成方法によれば、磁気センサ21a(検査に用いる装置の構成要素)と干渉することなくプロービングが可能な(プロービング条件に適合する)プロービングポイントPpが存在しないために検査ステップが省略される(未検査の部位が発生する)ことを少なく抑えて、検査精度をさらに向上させることが可能なポイントデータDpを生成することができる。また、プローブ11をプロービングさせるパッドPtは、一般的に、回路基板30の他方の面(下面)側よりも一方の面(上面)側に多く存在する。このため、第3判定処理において回路基板30の一方の面側に第2適合ポイントが存在するか否かを判定するこのデータ生成装置1Aおよびデータ生成方法によれば、例えば、第2判定処理において第2適合ポイントが存在しないと判定したときに第2適合ポイントとなり得るパッドPtが他方の面側に存在するか否かを判定する処理を第3判定処理に代えて実行する構成と比較して、第3判定処理において第2適合ポイントを高い確率で探し出すことができる。   According to the data generation device 1A and the data generation method, as described above, when it is determined that the second matching point does not exist in the state where the magnetic sensor 21a is close to the integrated circuit 33 (part to be inspected). In addition, when the magnetic sensor 21a is separated from the integrated circuit 33 (part to be inspected), the pad Pt serving as the second matching point can be defined as the probing point Pp. For this reason, according to the data generation device 1A and the data generation method, there is no probing point Pp that can be probed (compatible with the probing conditions) without interfering with the magnetic sensor 21a (component of the device used for inspection). Thus, it is possible to generate point data Dp that can further improve the inspection accuracy by suppressing the inspection step from being omitted (occurrence of uninspected parts). Further, more pads Pt for probing the probe 11 are generally present on one surface (upper surface) side than on the other surface (lower surface) side of the circuit board 30. Therefore, according to the data generation device 1A and the data generation method for determining whether or not the second matching point exists on one surface side of the circuit board 30 in the third determination process, for example, in the second determination process Compared with a configuration in which the process of determining whether or not the pad Pt that can be the second matching point exists on the other surface side when it is determined that the second matching point does not exist is executed instead of the third determination process. In the third determination process, the second matching point can be found with high probability.

なお、上記したデータ生成装置1Aおよびデータ生成方法において、第1センサとしての磁気センサ21a、および第2センサとしての磁気センサ21bの2つの磁気センサを用いるのに代えて、1つの磁気センサ21を第1センサおよび第2センサの双方として機能させる検査装置に用いられるポイントデータDpを生成する構成および方法を採用することもできる。この構成および方法では、磁気センサ21およびプローブ11の双方が回路基板30の一方の面側に位置しているとしたときに第1判定処理および第2判定処理を実行し、第2判定処理において第2適合ポイントが存在しないと判定したときには、磁気センサ21を回路基板30の一方の面側から他方の面側に移動させたとしたときに、その状態で第3判定処理を実行する。この構成および方法においても、上記したデータ生成装置1Aおよびデータ生成方法が有する効果を実現することができる。   In the data generation apparatus 1A and the data generation method described above, instead of using the two magnetic sensors, the magnetic sensor 21a as the first sensor and the magnetic sensor 21b as the second sensor, one magnetic sensor 21 is used. A configuration and a method for generating point data Dp used for an inspection apparatus that functions as both the first sensor and the second sensor may be employed. In this configuration and method, the first determination process and the second determination process are performed when both the magnetic sensor 21 and the probe 11 are located on one surface side of the circuit board 30, and the second determination process When it is determined that the second matching point does not exist, when the magnetic sensor 21 is moved from one surface side of the circuit board 30 to the other surface side, the third determination process is executed in that state. Also in this configuration and method, it is possible to realize the effects of the data generation device 1A and the data generation method described above.

また、第2判定処理において第2適合ポイントが存在しないと判定したときに、磁気センサ21が回路基板30の一方の面側に位置すると共に、プローブ11が回路基板30の他方の面側に位置しているとしたときに他方の面側において第2適合ポイントが存在するか否かを判定する処理を、上記した第3判定処理に代えて実行する構成および方法を採用することもできる。この構成および方法では、磁気センサ21が回路基板30の一方の面側に配置され、プローブ11をプロービングさせるプロービング機構が回路基板30の一方の面側および他方の面側の双方に配置された検査装置や、磁気センサ21が回路基板30の一方の面側に配置され、回路基板30の一方の面側および他方の面側の双方にプローブ11を移動させてプロービングさせることが可能なプロービング機構を有する検査装置において用いるポイントデータDpを生成することができる。   Further, when it is determined in the second determination process that the second matching point does not exist, the magnetic sensor 21 is positioned on one surface side of the circuit board 30 and the probe 11 is positioned on the other surface side of the circuit board 30. It is also possible to adopt a configuration and a method for executing the process of determining whether or not the second matching point exists on the other surface side instead of the above-described third determination process. In this configuration and method, the magnetic sensor 21 is arranged on one side of the circuit board 30 and the probing mechanism for probing the probe 11 is arranged on both the one side and the other side of the circuit board 30. A probing mechanism in which the apparatus and the magnetic sensor 21 are disposed on one surface side of the circuit board 30 and the probe 11 can be moved to both the one surface side and the other surface side of the circuit board 30 for probing. It is possible to generate point data Dp used in the inspection apparatus having the same.

また、上記したデータ生成装置1およびデータ生成方法では、第2判定処理において第2適合ポイントが複数存在すると判定したときに、直前にプロービングされる他のプロービングポイントPpからのプローブ11の移動時間が最短となる第2適合ポイントをプロービングポイントPpとして規定しているが、第1適合ポイントに最も近い(第1適合ポイントとの間の直線距離が最も短い)第2適合ポイントをプロービングポイントPpとして規定したり、第1適合ポイントから最も離間している第2適合ポイントをプロービングポイントPpとして規定したりする構成および方法を採用することもできる。   Further, in the data generation device 1 and the data generation method described above, when it is determined in the second determination process that there are a plurality of second matching points, the movement time of the probe 11 from another probing point Pp to be probed immediately before is determined. The second matching point that is the shortest is specified as the probing point Pp, but the second matching point that is closest to the first matching point (the straight line distance to the first matching point is shortest) is specified as the probing point Pp. Alternatively, it is also possible to adopt a configuration and method in which the second matching point that is farthest from the first matching point is defined as the probing point Pp.

また、配線パターン32と集積回路33の接続端子41との接続部分を被検査部位とする例について上記したが、配線パターン32におけるいずれかの部位(接続端子41との接続部分以外の部位)や、電気部品の本体部(接続端子以外の部位)を被検査部位とすることもできる。   In addition, the example in which the connection part between the wiring pattern 32 and the connection terminal 41 of the integrated circuit 33 is a part to be inspected is described above, but any part in the wiring pattern 32 (part other than the connection part with the connection terminal 41) or The body part of the electrical component (a part other than the connection terminal) can be used as a part to be inspected.

また、上記の構成および方法では、プロービング条件に含まれる「回路基板30の構成要素」として、集積回路33を例に挙げたが、回路基板30の構成要素には、集積回路33以外の他の電気部品や、回路基板30を筐体等に取り付ける際に用いられる金具類(いずれも図示せず)なども含まれる。また、上記の構成および方法では、プロービング条件に含まれる「検査に用いる装置の構成要素」として、磁気センサ21,21a,21bを例に挙げたが、検査に用いる装置の構成要素には、複数のプローブ11を用いて検査を行う装置における他のプローブ11や、他のプローブ11を移動させるプロービング機構(いずれも図示せず)なども含まれる。   In the above configuration and method, the integrated circuit 33 is exemplified as the “component of the circuit board 30” included in the probing condition. However, the component of the circuit board 30 includes other components than the integrated circuit 33. Also included are electrical components and metal fittings (none of which are shown) used when attaching the circuit board 30 to a housing or the like. In the above configuration and method, the magnetic sensors 21, 21a, and 21b are given as examples of “components of the apparatus used for the inspection” included in the probing conditions. However, there are a plurality of components of the apparatus used for the inspection. The other probe 11 in the apparatus which inspects using this probe 11 and a probing mechanism (none of which is shown) for moving the other probe 11 are included.

1,1A データ生成装置
5 処理部
11 プローブ
12 アーム部
13 支持部
21,21a,21b 磁気センサ
32a〜32i 配線パターン
33 集積回路
41a〜41i 接続端子
Dd 設計データ
Dm マウントデータ
Dp ポイントデータ
Pp プロービングポイント
Pta〜Ptn パッド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,1A Data production | generation apparatus 5 Processing part 11 Probe 12 Arm part 13 Support part 21,21a, 21b Magnetic sensor 32a-32i Wiring pattern 33 Integrated circuit 41a-41i Connection terminal Dd Design data Dm Mount data Dp Point data Pp Probing point Pta ~ Ptn pad

Claims (4)

配線パターンが形成されると共に電気部品が搭載された回路基板における被検査部位に対する検査の際にプローブをプロービングさせるプロービングポイントを当該配線パターンに設けられているポイント候補の中から規定する規定処理を実行して、当該プロービングポイントを示すポイントデータを生成する処理部を備えたデータ生成装置であって、
前記処理部は、前記検査に用いる装置の構成要素のうちの前記被検査部位に対する検査の際に当該被検査部位に近接させて被検出量を検出する第1センサおよび前記プローブの双方が前記回路基板における一方の面側に位置しているとしたときに、
前記規定処理において、前記被検査部位に直接接続される前記配線パターンとしての第1配線パターンに設けられている前記ポイント候補のうちの予め規定された規定条件に適合するポイント候補を第1適合ポイントとして特定し、
前記回路基板の構成要素および前記検査に用いる装置の構成要素と干渉することなく前記第1適合ポイントに対する前記プローブのプロービングが可能であるとのプロービング条件に適合するか否かを判定する第1判定処理を実行し、
当該第1判定処理において前記プロービング条件に適合すると判定したときには、前記第1適合ポイントを前記プロービングポイントとして規定し、
前記第1判定処理において前記プロービング条件に適合しないと判定したときには、前記第1適合ポイントを除く前記第1配線パターンにおける他のポイント候補の中に前記プロービング条件に適合するポイント候補としての第2適合ポイントが存在するか否かを判定する第2判定処理を実行し、
当該第2判定処理において前記第2適合ポイントが存在すると判定したときには、当該第2適合ポイントを前記プロービングポイントとして規定し
前記第2判定処理において、前記第2適合ポイントが存在しないと判定したときには、前記プローブが前記一方の面側に位置すると共に前記第1センサが前記被検査部位から離間し、かつ前記検査に用いる装置の構成要素のうちの前記被検出量を検出する第2センサが前記回路基板の他方の面側に位置しているとしたときに当該一方の面側において前記第2適合ポイントが存在するか否かを判定する第3判定処理を実行し、
当該第3判定処理において前記第2適合ポイントが存在すると判定したときには、当該第2適合ポイントを前記プロービングポイントとして規定するデータ生成装置。
  When a wiring pattern is formed and a circuit board on which an electrical component is mounted, a probing point for probing a probe when inspecting a part to be inspected is specified from point candidates provided in the wiring pattern. A data generation apparatus including a processing unit that generates point data indicating the probing point,
  The processor isOf the components of the apparatus used for the inspection, both of the first sensor and the probe that detect the detection amount in the vicinity of the inspection site are in one side of the circuit board when the inspection site is inspected. When it is located on the side,
In the specifying process, a point candidate that matches a predetermined specifying condition among the point candidates provided in the first wiring pattern as the wiring pattern that is directly connected to the inspected site is a first matching point. Identified as
  A first determination for determining whether or not a probing condition is satisfied that the probe can be probed with respect to the first matching point without interfering with a component of the circuit board and a component of the apparatus used for the inspection. Execute the process,
  When it is determined that the probing condition is met in the first determination process, the first matching point is defined as the probing point,
  When it is determined in the first determination process that the probing condition is not met, second matching as a point candidate that matches the probing condition among other point candidates in the first wiring pattern excluding the first matching point. Execute a second determination process for determining whether or not a point exists,
  When it is determined in the second determination process that the second matching point exists, the second matching point is defined as the probing point.,
  When it is determined in the second determination process that the second matching point does not exist, the probe is positioned on the one surface side, the first sensor is separated from the site to be inspected, and is used for the inspection. If the second sensor for detecting the detected amount among the components of the apparatus is located on the other surface side of the circuit board, does the second matching point exist on the one surface side? Execute a third determination process for determining whether or not
  When it is determined in the third determination process that the second matching point exists, the second matching point is defined as the probing point.Data generator.
前記処理部は、前記第2判定処理において、前記第2適合ポイントが複数存在すると判定したときには、前記被検査部位に対する検査の際に直前にプロービングされる他の前記プロービングポイントからの前記プローブの移動時間が最短となる前記第2適合ポイントを前記プロービングポイントとして規定する請求項1記載のデータ生成装置。   When the processing unit determines in the second determination process that there are a plurality of the second matching points, the probe moves from the other probing points that are probed immediately before the inspection of the inspected site. The data generation apparatus according to claim 1, wherein the second matching point having the shortest time is defined as the probing point. 配線パターンが形成されると共に電気部品が搭載された回路基板における被検査部位に対する検査の際にプローブをプロービングさせるプロービングポイントを当該配線パターンに設けられているポイント候補の中から規定する規定処理を実行して、当該プロービングポイントを示すポイントデータを生成するデータ生成方法であって、
前記検査に用いる装置の構成要素のうちの前記被検査部位に対する検査の際に当該被検査部位に近接させて被検出量を検出する第1センサおよび前記プローブの双方が前記回路基板における一方の面側に位置しているとしたときに、
前記規定処理において、前記被検査部位に直接接続される前記配線パターンとしての第1配線パターンに設けられている前記ポイント候補のうちの予め規定された規定条件に適合するポイント候補を第1適合ポイントとして特定し、
前記回路基板の構成要素および前記検査に用いる装置の構成要素と干渉することなく前記第1適合ポイントに対する前記プローブのプロービングが可能であるとのプロービング条件に適合するか否かを判定する第1判定処理を実行し、
当該第1判定処理において前記プロービング条件に適合すると判定したときには、前記第1適合ポイントを前記プロービングポイントとして規定し、
前記第1判定処理において前記プロービング条件に適合しないと判定したときには、前記第1適合ポイントを除く前記第1配線パターンにおける他のポイント候補の中に前記プロービング条件に適合するポイント候補としての第2適合ポイントが存在するか否かを判定する第2判定処理を実行し、
当該第2判定処理において前記第2適合ポイントが存在すると判定したときには、当該第2適合ポイントを前記プロービングポイントとして規定し
前記第2判定処理において、前記第2適合ポイントが存在しないと判定したときには、前記プローブが前記一方の面側に位置すると共に前記第1センサが前記被検査部位から離間し、かつ前記検査に用いる装置の構成要素のうちの前記被検出量を検出する第2センサが前記回路基板の他方の面側に位置しているとしたときに当該一方の面側において前記第2適合ポイントが存在するか否かを判定する第3判定処理を実行し、
当該第3判定処理において前記第2適合ポイントが存在すると判定したときには、当該第2適合ポイントを前記プロービングポイントとして規定するデータ生成方法。
When a wiring pattern is formed and a circuit board on which an electrical component is mounted, a probing point for probing a probe when inspecting a part to be inspected is specified from point candidates provided in the wiring pattern. A data generation method for generating point data indicating the probing point,
Of the components of the apparatus used for the inspection, both of the first sensor and the probe that detect the detection amount in the vicinity of the inspection site are in one side of the circuit board when the inspection site is inspected. When it is located on the side,
In the specifying process, a point candidate that matches a predetermined specifying condition among the point candidates provided in the first wiring pattern as the wiring pattern that is directly connected to the inspected site is a first matching point. Identified as
A first determination for determining whether or not a probing condition is satisfied that the probe can be probed with respect to the first matching point without interfering with a component of the circuit board and a component of the apparatus used for the inspection. Execute the process,
When it is determined that the probing condition is met in the first determination process, the first matching point is defined as the probing point,
When it is determined in the first determination process that the probing condition is not met, second matching as a point candidate that matches the probing condition among other point candidates in the first wiring pattern excluding the first matching point. Execute a second determination process for determining whether or not a point exists,
When it is determined in the second determination process that the second matching point exists, the second matching point is defined as the probing point ,
When it is determined in the second determination process that the second matching point does not exist, the probe is positioned on the one surface side, the first sensor is separated from the site to be inspected, and is used for the inspection. If the second sensor for detecting the detected amount among the components of the apparatus is located on the other surface side of the circuit board, does the second matching point exist on the one surface side? Execute a third determination process for determining whether or not
A data generation method that defines the second matching point as the probing point when it is determined in the third determination process that the second matching point exists .
前記第2判定処理において、前記第2適合ポイントが複数存在すると判定したときには、前記被検査部位に対する検査の際に直前にプロービングされる他の前記プロービングポイントからの前記プローブの移動時間が最短となる前記第2適合ポイントを前記プロービングポイントとして規定する請求項3記載のデータ生成方法。In the second determination process, when it is determined that there are a plurality of the second matching points, the movement time of the probe from the other probing points probed immediately before the inspection of the region to be inspected becomes the shortest. The data generation method according to claim 3, wherein the second matching point is defined as the probing point.
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