JP6481050B2 - デバイス基板及び半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
表面に銅を主成分とし、凹部および凸部の少なくとも一方を有するウェハの上記凹部および凸部の少なくとも一方を有する側の表面に、熱可塑性樹脂とフッ素原子を含む化合物を含む仮接着剤組成物を適用して仮接着剤層を形成し、上記仮接着剤層上であって、上記ウェハと接している面とは反対側にキャリアを適用して積層体を形成し、
上記積層体を、170℃を超える温度で加熱した後、上記積層体から、キャリアを分離し、さらに、仮接着剤を剥離することを含むデバイス基板の製造方法。
熱可塑性樹脂とフッ素原子を含む化合物を含む仮接着剤組成物を、170℃を超える温度で加熱することにより、アンカー効果が働き、仮接着剤組成物のウェハへの密着性が向上する。その結果、ウェハの凹部および凸部の少なくとも一方(以下、「凸部及び/又は凹部」ということがある)の表面に自然酸化によって形成される金属酸化物(好ましくは、酸化銅)と凸部及び/又は凹部の密着力よりも、酸化銅と仮接着剤の密着力の方が高くなり、仮接着剤(好ましくは、仮接着剤層)の剥離時に、金属酸化物(好ましくは、酸化銅)を仮接着剤と共に剥離できる。これまでは、金属酸化物(好ましくは、酸化銅)を除去する際には、別途工程を設けていたが、本発明ではかかる工程を排除できる。また、本発明では、仮接着剤組成物がフッ素原子を含む化合物を含むことにより、仮接着剤層の表層に、フッ素原子を含む化合物が偏在し、従来のように保護層や剥離層、離型層等を用いなくても、ウェハと仮接着剤層を容易に剥離できる。
A<B ・・・・式(1)
上記分離の際の速度は、30〜70mm/分であることが好ましく、40〜60mm/分であることがより好ましい。
分離は、好ましくは、40℃以下、より好ましくは、10〜40℃の範囲で行われる。
本発明で用いる仮接着剤組成物は、フッ素原子を含む化合物を含む。フッ素原子を含む化合物とは、好ましくは25℃において液体状、と定義されるフッ素系液状化合物である。本発明によれば、フッ素系液状化合物は25℃において1mPa×sから100,000mPa×sの粘度である。フッ素原子を含む化合物の25℃における粘度はより好ましくは10mPa×sから20,000mPa×sであり、さらに好ましくは100mPa×sから15,000mPa×sである。
オリゴマー、ポリマーとしては、例えば、ラジカル重合体、カチオン重合体、アニオン重合体などが挙げられ、何れも好ましく用いることができる。ビニル系重合体が特に好ましい。
本発明で用いる仮接着剤組成物に含まれる熱可塑性樹脂は、エラストマーであることが好ましい。エラストマーを使用することで、ウェハの凸部及び/又は凹部にも追従し適度なアンカー効果により、接着性に優れた仮接着剤層を形成できる。また、薄型化したウェハからキャリアを分離する際や、薄型化したウェハから仮接着剤を剥離する際に、薄型化したウェハに応力をかけることなく、適切に、分離・剥離でき、ウェハ上の半導体チップ等の破損や剥落を防止できる。
ポリスチレン系エラストマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体(SBS)、スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体(SIS)、スチレン−エチレン−ブチレン−スチレンブロック共重合体(SEBS)、スチレン−ブタジエン−ブチレン−スチレン共重合体(SBBS)およびこれらの水添物、スチレン−エチレン−ブチレンスチレンブロック共重合体(SEBS)、スチレン−エチレン−プロピレン−スチレンブロック共重合体(SEPS)、スチレン−エチレン−エチレン−プロピレン−スチレンブロック共重合体等が挙げられる。
上記の他、有機溶剤としては、特開2014−189731号公報の段落0122および0123の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
以下の組成物を混合して均一な溶液とした後、5μmのポアサイズを有するポリテトラフルオロエチレン製フィルタを用いてろ過して、実施例及び比較例の組成物をそれぞれ調製した。
・表1記載の樹脂: 表1記載の質量部
・表1記載のフッ素原子を含む化合物: 表1記載の質量部
・表1記載の溶媒: 表1記載の質量部
<樹脂>
表2に示す。
<フッ素原子を含む化合物>
表3に示す。
バンプを内部に含む長方形状の半導体チップを表面に複数有する12インチのシリコンウェハ(第1のウェハ)上に、表1に記載の仮接着剤組成物をウェハボンダー(XBS300、SUSS MicroTec社製)により50rpmで回転させながら、30秒間の間に15mL滴下した。回転数を800rpmまで上げて80秒保持した。その後、110℃で3分加熱し、さらに、190℃で3分加熱することで、第1のウェハの表面に、仮接着剤層が形成された積層体1を得た。
<積層体1の接着>
上記積層体1の仮接着剤層が形成された側の面に対し、12インチのシリコンウェハ(第2のウェハ)を、ウェハボンダー(XBS300、SUSS MicroTec社製)により真空下、190℃、0.11MPaの圧力で3分間圧着を行い、積層体2を得た。
<積層体2の研磨>
上記積層体2の第1のウェハの、仮接着層が設けられていない側の面を、バックグラインダーDFG8540((株)ディスコ製)を用いて50μmまで研磨により薄型化し、積層体3を得た。
<積層体3の加熱試験>
積層体をホットプレート上で60分、表1に示した温度で加熱した。
<研磨後の剥離>
積層体3の第1のウェハの研磨した面を下にし、ダイシングテープマウンターを用いてダイシングテープ中央にダイシングフレームと共に固定した。その後、ウェハデボンダー(XBC300 Gen2、SUSS MicroTec社製)を用いて、25℃で、第2のウェハを、第1のウェハの基板面に垂直な方向に、50mm/分の力で引き上げて剥離し、第1のウェハ表面に仮接着剤層が残る積層体4を得た。
<フッ素原子の存在比率の測定>
仮接着剤層表面のフッ素原子存在比率を、X線光電子分光法(ESCA)によって測定した。
積層体1から第2のウェハを分離した後、仮接着剤層の第2のウェハが設けられていた側の表面のフッ素原子の存在比率を、仮接着膜表面の1400μm×700μmの分析面積範囲に対して、単色化したAlKα線を25Wで照射し、取り出し角度45°で検出して測定した。単位は、%で示した。
<剥離力の評価>
積層体4上に残る仮接着剤層を、表1に示した剥離角度(α)と剥離角度(β)を維持しながら、50mm/分で上側に引き上げ、その際にかかる力をフォースゲージ((株)イマダ製、DS2−200N)を用いて測定したときの力の最大値を測定し、以下の基準で評価した。
ここで、剥離角度(α)とは、仮接着剤層の剥離角度であって、第1のウェハの基板面に対する角度をいう(図1gのαの角度)。また、剥離角度(β)とは、第1のウェハ表面の長方形状の一辺に対する剥離角度をいう(図2のβの角度)。
A:62.5N以上100以下
B:10N以上で62.5N未満、または、100Nを超え135N以下
C:10N未満、または、135Nを超える
<酸化銅の除去性の評価>
上記剥離力の評価で、剥離した後のバンプの表面を光学顕微鏡(オリンパス(株)製、品番:MX51、倍率:100倍)を用いて観察し、酸化銅の除去を以下の基準で評価した。
A:酸化銅が除去されており、ウェハ全面のバンプに金属光沢が確認できた。
B:酸化銅が除去されているが完全ではなく、ウェハの一部のバンプに金属光沢が観察されなかった。
C:酸化銅が除去されておらず、ウェハ全面のバンプに金属光沢が観察されなかった。
D:酸化銅が除去されておらず、ウェハの一部に仮接着剤の残渣も観察された。
Claims (15)
- キャリア上に、熱可塑性樹脂とフッ素原子を含む化合物を含む仮接着剤組成物を適用して仮接着剤層を形成し、前記仮接着剤層上であって、前記キャリアとは反対側の表面に銅を主成分とし、凹部および凸部の少なくとも一方を有するウェハを、前記凹部および凸部の少なくとも一方を有する側が仮接着剤層と接するように接着して積層体を形成し、または、
表面に銅を主成分とし、凹部および凸部の少なくとも一方を有するウェハの前記凹部および凸部の少なくとも一方を有する側の表面に、熱可塑性樹脂とフッ素原子を含む化合物を含む仮接着剤組成物を適用して仮接着剤層を形成し、前記仮接着剤層上であって、前記ウェハと接している面とは反対側にキャリアを接着して積層体を形成し、
前記接着により形成された前記積層体を、170℃を超える温度で加熱した後、前記積層体から、キャリアを分離し、さらに、仮接着剤を剥離することを含み、
前記剥離後の仮接着剤が酸化銅を含む、
デバイス基板の製造方法。 - 前記熱可塑性樹脂がエラストマーである、請求項1に記載のデバイス基板の製造方法。
- 前記エラストマーの、25℃から、20℃/分で昇温した5%熱質量減少温度が、250℃以上である請求項2に記載のデバイス基板の製造方法。
- 前記エラストマーは、スチレン由来の繰り返し単位を含む、請求項2または3に記載のデバイス基板の製造方法。
- 前記エラストマーは、片末端または両末端がスチレンのブロック共重合体である、請求項2〜4のいずれか1項に記載のデバイス基板の製造方法。
- 前記フッ素原子を含む化合物が、さらに、親油基を含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載のデバイス基板の製造方法。
- 前記フッ素原子を含む化合物が、25℃で液体状である、請求項1〜6のいずれか1項に記載のデバイス基板の製造方法。
- 前記仮接着剤層の表面の1400μm×700μmの分析面積範囲に対して、単色化したAlKα線を25W照射し、取り出し角度45°で検出して測定した、仮接着剤層表面のX線光電子分光法を用いたフッ素原子の存在比率であって、前記仮接着剤層の前記キャリア側の表面におけるフッ素原子の存在比率および前記仮接着剤層の前記ウェハ側の表面におけるフッ素原子の存在比率の少なくとも一方が、10〜35%である、請求項1〜7のいずれか1項に記載のデバイス基板の製造方法。
- 前記仮接着剤層が、25℃で液体状であって、シリコン原子を含む化合物を含む請求項1〜8のいずれか1項に記載のデバイス基板の製造方法。
- キャリアと仮接着剤層が隣接している、請求項1〜9のいずれか1項に記載のデバイス基板の製造方法。
- 前記170℃を超える温度で加熱する前に、前記積層体のウェハ側表面に、機械的処理および化学的処理の少なくとも一方を行う、請求項1〜10のいずれか1項に記載のデバイス基板の製造方法。
- 前記積層体を加熱した後、前記積層体のウェハ側表面に、機械的処理および化学的処理の少なくとも一方を行う、請求項1〜10のいずれか1項に記載のデバイス基板の製造方法。
- 前記仮接着剤層を前記ウェハの基板面に対して60°〜180°の角度で剥離することを含む、請求項1〜12のいずれか1項に記載のデバイス基板の製造方法。
- 前記ウェハは、凹部および凸部の少なくとも一方を含む長方形状の半導体チップを2つ以上有し、前記長方形状の半導体チップの対向する2辺は、他の長方形状の半導体チップの対向する2辺と互いに平行となるように配列しており、前記仮接着剤層を、前記長方形状の一辺に対し、30°より大きく60°未満の角度から剥離する、請求項1〜13のいずれか1項に記載のデバイス基板の製造方法。
- 請求項1〜14のいずれか1項に記載のデバイス基板の製造方法を含む半導体装置の製造方法。
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