JP6379410B1

JP6379410B1 - Inspection device, inspection system, inspection method, and program

Info

Publication number: JP6379410B1
Application number: JP2017252554A
Authority: JP
Inventors: 尚也石鍋; 清人田中
Original assignee: Nireco Corp
Current assignee: Nireco Corp
Priority date: 2017-12-27
Filing date: 2017-12-27
Publication date: 2018-08-29
Anticipated expiration: 2037-12-27
Also published as: JP2019117171A

Abstract

【課題】印刷物に蛇行や伸縮等が生じた場合であっても、精度良く欠陥を検出することができること。【解決手段】検査装置は、検査対象となる検査画像を複数の領域に分割し、分割した領域毎に基準画像とパターンマッチングを行うことにより、各領域それぞれに対応する基準画像の領域を決定する位置補正演算部と、分割した検査画像の各領域と、当該領域に対応する基準画像の各領域とをそれぞれ比較することにより、検査画像にある欠陥を検出する検査部と、を備える。【選択図】図１An object of the present invention is to detect defects accurately even when meandering or expansion / contraction occurs in a printed matter. An inspection apparatus divides an inspection image to be inspected into a plurality of areas, and performs pattern matching with the reference image for each of the divided areas, thereby determining a reference image area corresponding to each area. A position correction calculation unit; and an inspection unit that detects a defect in the inspection image by comparing each region of the divided inspection image with each region of the reference image corresponding to the region. [Selection] Figure 1

Description

本発明は、検査装置、検査システム、検査方法、およびプログラムに関する。 The present invention relates to an inspection apparatus, an inspection system, an inspection method, and a program.

繰り返し連続印刷された同一絵柄を検査する印刷物検査装置において、基準画像にフィルタをかけて、検査画像と比較することにより、検査画像に存在する欠陥を検出する技術がある（例えば、特許文献１参照）。 There is a technique for detecting defects present in an inspection image by filtering a reference image and comparing the inspection image with a printed image inspection apparatus that inspects the same pattern that has been repeatedly and continuously printed (see, for example, Patent Document 1). ).

特開平１１−１４２３５０号公報JP-A-11-142350

しかしながら、特許文献１に記載の技術では、印刷物の蛇行や伸縮等により基準画像と検査画像のズレ量がフィルタサイズを超えた場合、絵柄のエッジ部分で誤検出をしてしまうという課題がある。 However, the technique described in Patent Document 1 has a problem that when the amount of deviation between the reference image and the inspection image exceeds the filter size due to meandering or expansion / contraction of the printed matter, erroneous detection is performed at the edge portion of the pattern.

本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、印刷物に蛇行や伸縮等が生じた場合であっても、精度良く欠陥を検出することができる検査装置、検査システム、検査方法、およびプログラムを提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of the above points. An inspection apparatus, an inspection system, an inspection method, and an inspection apparatus capable of accurately detecting a defect even when meandering or expansion / contraction occurs in a printed matter. The challenge is to provide a program.

（１）本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、本発明の一態様は、検査対象となる検査画像を複数の領域に分割し、分割した領域毎に基準画像とパターンマッチングを行うことにより、各領域それぞれに対応する前記基準画像の領域を決定する位置補正演算部と、分割した前記検査画像の各領域と、当該領域に対応する前記基準画像の各領域とをそれぞれ比較することにより、前記検査画像にある欠陥を検出する検査部と、を備える検査装置である。 (1) The present invention has been made to solve the above problems, and one aspect of the present invention divides an inspection image to be inspected into a plurality of regions, and a reference image and a pattern for each of the divided regions. By performing matching, a position correction calculation unit that determines the region of the reference image corresponding to each region, each region of the divided inspection image, and each region of the reference image corresponding to the region, respectively And an inspection unit that detects a defect in the inspection image by comparison.

（２）また、本発明の一態様は、（１）に記載の検査装置であって、同一絵柄が繰り返し連続印刷された検査対象物を順次撮像するカメラが撮像した画像を順次記憶する記憶部を備え、前記位置補正演算部は、前記基準画像とパターンマッチングすることにより、前記記憶部が記憶する前記検査画像の開始位置を補正する。 (2) One aspect of the present invention is the inspection apparatus according to (1), in which a storage unit that sequentially stores images captured by a camera that sequentially captures an inspection object on which the same pattern is repeatedly printed continuously. The position correction calculation unit corrects a start position of the inspection image stored in the storage unit by performing pattern matching with the reference image.

（３）また、本発明の一態様は、（１）または（２）に記載の検査装置であって、前記位置補正演算部は、専用のプロセッサによりパターンマッチングを実行し、前記位置補正演算部による実行結果を、記憶している画像のアドレスに変換するアドレス変換部を備える。 (3) Moreover, one aspect of the present invention is the inspection apparatus according to (1) or (2), in which the position correction calculation unit performs pattern matching using a dedicated processor, and the position correction calculation unit Is provided with an address conversion unit for converting the execution result obtained by the above into the address of the stored image.

（４）また、本発明の一態様は、（１）から（３）いずれかに記載の検査装置であって、前記位置補正演算部は、前記基準画像に対する前記検査画像のずれの大きさに応じて分割数を決定する。 (4) Moreover, one aspect of the present invention is the inspection apparatus according to any one of (1) to (3), in which the position correction calculation unit is configured to adjust a displacement of the inspection image with respect to the reference image. The number of divisions is determined accordingly.

（５）また、本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、本発明の一態様は、同一絵柄が繰り返し連続印刷された検査対象物を順次撮像するカメラと、検査装置とを備える検査システムであって、前記検査装置は、前記カメラが撮像した検査対象となる検査画像を複数の領域に分割し、分割した領域毎に基準画像とパターンマッチングを行うことにより、各領域それぞれに対応する前記基準画像の領域を決定する位置補正演算部と、分割した前記検査画像の各領域と、当該領域に対応する前記基準画像の各領域とをそれぞれ比較することにより、前記検査画像にある欠陥を検出する検査部と、を備える検査システムである。 (5) Moreover, this invention was made | formed in order to solve said subject, and one aspect | mode of this invention is a camera which image | photographs sequentially the test target object by which the same pattern was repeatedly printed continuously, Inspection apparatus, The inspection apparatus divides an inspection image to be inspected by the camera into a plurality of areas, and performs pattern matching with a reference image for each of the divided areas. The position correction calculation unit that determines the area of the reference image corresponding to the area, the areas of the divided inspection image, and the areas of the reference image corresponding to the area are respectively compared with the inspection image. An inspection system including an inspection unit that detects a certain defect.

（６）また、本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、本発明の一態様は、コンピュータが、検査対象となる検査画像を複数の領域に分割し、分割した領域毎に基準画像とパターンマッチングを行うことにより、各領域それぞれに対応する前記基準画像の領域を決定する位置補正演算過程と、分割した前記検査画像の各領域と、当該領域に対応する前記基準画像の各領域とをそれぞれ比較することにより、前記検査画像にある欠陥を検出する検査過程と、を有する検査方法である。 (6) Moreover, this invention was made | formed in order to solve said subject, and one aspect | mode of this invention divides | segments the test | inspection image used as test | inspection object into several area | region, and for every divided | segmented area | region By performing pattern matching with the reference image, the position correction calculation process for determining the region of the reference image corresponding to each region, each region of the divided inspection image, and the reference image corresponding to the region And an inspection process for detecting a defect in the inspection image by comparing each region.

（７）また、本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、本発明の一態様は、コンピュータが、検査対象となる検査画像を複数の領域に分割し、分割した領域毎に基準画像とパターンマッチングを行うことにより、各領域それぞれに対応する前記基準画像の領域を決定する位置補正演算ステップと、分割した前記検査画像の各領域と、当該領域に対応する前記基準画像の各領域とをそれぞれ比較することにより、前記検査画像にある欠陥を検出する検査ステップと、を実行するためのプログラムである。 (7) Further, the present invention has been made to solve the above-described problems, and one aspect of the present invention is that the computer divides an inspection image to be inspected into a plurality of areas, and for each divided area. By performing pattern matching with the reference image, a position correction calculation step for determining a region of the reference image corresponding to each region, each region of the divided inspection image, and the reference image corresponding to the region And an inspection step for detecting a defect in the inspection image by comparing each region.

本発明によれば、印刷物に蛇行や伸縮等が生じた場合であっても、精度良く欠陥を検出することができる。 According to the present invention, it is possible to detect a defect with high accuracy even when the printed material is meandered, stretched, or the like.

本発明の実施形態に係る検査システムの構成の一例を示すシステム構成図である。It is a system configuration figure showing an example of the composition of the inspection system concerning the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る情報処理装置のハードウェア構成の一例を示す概略ブロック図である。It is a schematic block diagram which shows an example of the hardware constitutions of the information processing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る検査装置のハードウェア構成の一例を示す概略ブロック図である。It is a schematic block diagram which shows an example of the hardware constitutions of the test | inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る検査装置における画像の格納方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the storage method of the image in the test | inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る基準画像と検査画像とのズレの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the shift | offset | difference of the reference | standard image and test | inspection image which concern on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る基準画像と検査画像との比較領域を示す図である。It is a figure which shows the comparison area of the reference | standard image and test | inspection image which concern on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る検査装置が生成する欠陥画像の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the defect image which the inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention produces | generates. 本発明の実施形態に係る検査装置が実行する検査処理の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the test | inspection process which the test | inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention performs.

（実施形態）
以下、図面を参照しながら本発明の一実施形態について説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る検査システム１の構成の一例を示すシステム構成図である。
検査システム１は、情報処理装置１０と、検査装置２０と、ラインカメラ３０と、測長エンコーダ４０と、ラベラ５０と、を含んで構成される。検査システム１は、同一絵柄（以下、「レピート」と称する。）が繰り返し連続印刷された印刷物Ｔ（以下、「検査対象物Ｔ」と称する。）の汚れや文字欠けなどの欠陥を検出するシステムである。検査対象物Ｔは、例えば、伸縮するフィルムなどのシート状印刷物等である。情報処理装置１０、ラインカメラ３０、測長エンコーダ４０及びラベラ５０と検査装置２０とは、有線又は無線により接続されている。 (Embodiment)
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a system configuration diagram illustrating an example of a configuration of an inspection system 1 according to an embodiment of the present invention.
The inspection system 1 includes an information processing apparatus 10, an inspection apparatus 20, a line camera 30, a length measurement encoder 40, and a labeler 50. The inspection system 1 is a system that detects defects such as smudges and missing characters on a printed material T (hereinafter referred to as “inspection object T”) on which the same pattern (hereinafter referred to as “repeat”) is repeatedly printed. It is. The inspection target T is, for example, a sheet-like printed matter such as a stretchable film. The information processing apparatus 10, the line camera 30, the length measurement encoder 40, the labeler 50, and the inspection apparatus 20 are connected by wire or wirelessly.

情報処理装置１０は、例えば、パーソナルコンピュータやタブレット端末やスマートフォン等の少なくとも表示部と入力部とを備える電子機器である。情報処理装置１０は、検査システム１を操作するための操作画面を表示してユーザからの操作入力を受け付ける。操作画面には、検査対象物Ｔに関する情報（例えば、レピートの長さであるレピート長や、検査幅等）の入力欄や、検査の開始を指示する検査開始ボタン等が配置されている。情報処理装置１０は、操作画面において検査開始ボタンが入力を受け付けると、検査の開始を指示する検査開始信号を検査装置２０に出力する。検査開始信号には、操作画面において入力された情報が含まれる。 The information processing apparatus 10 is an electronic device including at least a display unit and an input unit, such as a personal computer, a tablet terminal, or a smartphone. The information processing apparatus 10 displays an operation screen for operating the inspection system 1 and accepts an operation input from the user. On the operation screen, an input column for information on the inspection target T (for example, a repeat length that is a repeat length, an inspection width, etc.), an inspection start button for instructing the start of inspection, and the like are arranged. When the inspection start button receives an input on the operation screen, the information processing apparatus 10 outputs an inspection start signal instructing the start of the inspection to the inspection apparatus 20. The inspection start signal includes information input on the operation screen.

また、情報処理装置１０は、検査の結果を表示する。例えば、情報処理装置１０は、検査対象物Ｔに欠陥がある場合には、欠陥部分の画像である欠陥画像を表示して、ブザー（音）を出力する。また、情報処理装置１０は、欠陥画像をファイルに保存する。 Further, the information processing apparatus 10 displays the result of the inspection. For example, when the inspection target T has a defect, the information processing apparatus 10 displays a defect image that is an image of the defective portion and outputs a buzzer (sound). Further, the information processing apparatus 10 saves the defect image in a file.

ラインカメラ３０は、流れ方向ｆに向かって流れてくる検査対象物Ｔを１ライン毎に順次撮像し、撮像した画像を検査装置２０に出力する。以下、流れ方向ｆを前方とし、その逆方向を後方とする。また、流れ方向ｆを縦方向として縦横方向を定める。測長エンコーダ４０は、流れ方向ｆにおいてラインカメラ３０の直後に設置され、検査対象物Ｔがラインカメラ３０を通過した長さを測定する。例えば、測長エンコーダ４０は、一定の長さ毎にパルス信号を検査装置２０に出力する。 The line camera 30 sequentially captures the inspection object T flowing in the flow direction f for each line, and outputs the captured image to the inspection apparatus 20. Hereinafter, the flow direction f is defined as the front, and the opposite direction is defined as the rear. Further, the vertical and horizontal directions are determined with the flow direction f as the vertical direction. The length measurement encoder 40 is installed immediately after the line camera 30 in the flow direction f, and measures the length of the inspection target T passing through the line camera 30. For example, the length measurement encoder 40 outputs a pulse signal to the inspection apparatus 20 for each fixed length.

ラベラ５０は、流れ方向ｆにおいて、ラインカメラ３０及び測長エンコーダ４０より後方に設置され、検査対象物Ｔの欠陥部分にラベルを貼付する。 The labeler 50 is installed behind the line camera 30 and the length measuring encoder 40 in the flow direction f, and a label is attached to a defective portion of the inspection target T.

検査装置２０は、例えば、ＣＰＵ（ＣｅｎｔｒａｌＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＵｎｉｔ）とＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ−ＰｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅＧａｔｅＡｒｒａｙ）とを備える画像処理ボードを有する画像処理装置である。検査装置２０は、メモリ部２１と、位置補正演算部２２と、アドレス変換部２３と、検査部２４と、欠陥生成部２５とを備える。 The inspection device 20 is an image processing device having an image processing board including, for example, a CPU (Central Processing Unit) and an FPGA (Field-Programmable Gate Array). The inspection apparatus 20 includes a memory unit 21, a position correction calculation unit 22, an address conversion unit 23, an inspection unit 24, and a defect generation unit 25.

メモリ部２１は、メモリ２１１（記憶部）を備え、情報処理装置１０から検査開始信号が入力されると、ラインカメラ３０から入力される１ライン毎の画像をメモリ２１１にあるリングバッファに順次格納する。また、メモリ部２１は、画像の格納を開始したリングバッファのアドレスを基準となる基準画像の先頭アドレスとして保持する。メモリ部２１は、測長エンコーダ４０から入力されるパルス数のカウントが設定値を超える度にリングバッファのアドレスを進める。当該設定値は、ラインカメラ３０が撮像する１ラインの画像に相当する値である。そして、メモリ部２１は、基準画像の先頭アドレスからのライン数が、操作画面において設定されたレピート長（設定レピート長とも称する）に達した時のアドレスを、検査対象となる検査画像の先頭アドレスとして保持する。その後、メモリ部２１は、検査画像の先頭アドレスからのライン数がレピート長（測定レピート長とも称する）に達すると、基準画像と検査画像と基準画像の先頭アドレスと検査画像の先頭アドレスとレピート長とを位置補正演算部２２に出力する。 The memory unit 21 includes a memory 211 (storage unit). When an inspection start signal is input from the information processing apparatus 10, the image for each line input from the line camera 30 is sequentially stored in a ring buffer in the memory 211. To do. Further, the memory unit 21 holds the address of the ring buffer where the image storage is started as the head address of the reference image serving as a reference. The memory unit 21 advances the ring buffer address each time the pulse count input from the length measurement encoder 40 exceeds the set value. The set value is a value corresponding to one line image captured by the line camera 30. Then, the memory unit 21 uses the address when the number of lines from the start address of the reference image reaches the repeat length (also referred to as the set repeat length) set on the operation screen as the start address of the inspection image to be inspected. Hold as. Thereafter, when the number of lines from the start address of the inspection image reaches the repeat length (also referred to as measurement repeat length), the memory unit 21 starts the reference image, the inspection image, the start address of the reference image, the start address of the inspection image, and the repeat length. Are output to the position correction calculation unit 22.

位置補正演算部２２は、メモリ２２１を備え、メモリ部２１から入力されたデータをメモリ２２１に格納する。メモリ２２１には、メモリ部２１のメモリ２１１と同一のデータが格納される。位置補正演算部２２は、メモリ部２１から入力された基準画像の先頭アドレスに格納された画像と検査画像の先頭アドレスに格納された画像とで位相限定相関法によるパターンマッチングを行い、流れ方向のズレ量から検査画像の先頭アドレスを前後にずらす。ここで、位置補正演算部２２は、位相限定相関法によるパターンマッチングをする際には、専用プロッセサによる並列処理を行い、処理を高速化する。 The position correction calculation unit 22 includes a memory 221 and stores data input from the memory unit 21 in the memory 221. The memory 221 stores the same data as the memory 211 of the memory unit 21. The position correction calculation unit 22 performs pattern matching by the phase-only correlation method between the image stored at the head address of the reference image input from the memory unit 21 and the image stored at the head address of the inspection image, and performs flow matching in the flow direction. The start address of the inspection image is shifted back and forth from the amount of deviation. Here, when performing pattern matching by the phase-only correlation method, the position correction calculation unit 22 performs parallel processing using a dedicated processor to speed up the processing.

その後、位置補正演算部２２は、基準画像の後半部分と検査画像の後半部分とで位相限定相関法によるパターンマッチングを行い、基準画像の終了位置と検査画像の終了位置とのズレ量の大きさを算出する。位置補正演算部２２は、算出したズレ量に応じて、検査画像を分割する分割数を決定する。例えば、位置補正演算部２２は、ズレ量が大きいほど分割数を多くする。 After that, the position correction calculation unit 22 performs pattern matching by the phase-only correlation method between the latter half of the reference image and the latter half of the inspection image, and the amount of deviation between the end position of the reference image and the end position of the inspection image is large. Is calculated. The position correction calculation unit 22 determines the number of divisions for dividing the inspection image according to the calculated amount of deviation. For example, the position correction calculation unit 22 increases the number of divisions as the shift amount increases.

そして、位置補正演算部２２は、決定した分割数の領域に検査画像及び基準画像を分割する。位置補正演算部２２は、分割した領域毎に基準画像と検査画像とで位相限定相関法によるパターンマッチングを行い、検査画像の領域毎に基準画像との縦横のズレ量を格納したテーブルを生成する。位置補正演算部２２は、生成したテーブルをアドレス変換部２３に出力する。 Then, the position correction calculation unit 22 divides the inspection image and the reference image into the determined number of divisions. The position correction calculation unit 22 performs pattern matching by the phase-only correlation method between the reference image and the inspection image for each divided area, and generates a table storing the vertical and horizontal deviation amounts from the reference image for each area of the inspection image. . The position correction calculation unit 22 outputs the generated table to the address conversion unit 23.

なお、位置補正演算部２２は、基準画像の後半部分と検査画像の後半部分とで位相限定相関法によるパターンマッチングを行い、基準画像の終了位置と検査画像の終了位置とのズレ量の大きさを算出することに加えて、または代えて基準画像の後半部分と検査画像の後半部分とで回転不変位相限定相関法によるパターンマッチングを行い、基準画像の終了位置と検査画像の終了位置とのズレ量の大きさを算出してもよい。回転不変位相限定相関法は、位相限定相関法によるマッチングで算出される縦横のズレ量に加え、回転とスケール（拡大・縮小率）とを算出できる。具体的には、位置補正演算部２２は、位相限定相関法により縦横のズレ量の大きさを算出し、算出した縦横のズレ量の大きさを回転角とスケールに変換する。そして、位置補正演算部２２は、変換した回転角、スケールと、アフィン変換とを用いて、スケールが生じていない画像を生成し、該画像に対して位相限定相関法によるパターンマッチングを行うことで縦横方向のズレ量を算出する。
このように、位相限定相関法によるパターンマッチングに加えて、または代えて回転不変位相限定相関法によるパターンマッチングを行うことで、検査画像の回転やスケールを算出することができ、検査精度を向上させることができる。 The position correction calculation unit 22 performs pattern matching by the phase-only correlation method between the latter half of the reference image and the latter half of the inspection image, and the amount of deviation between the end position of the reference image and the end position of the inspection image is large. In addition to or instead of calculating the pattern, pattern matching is performed by the rotation-invariant phase-only correlation method between the second half of the reference image and the second half of the inspection image, and the deviation between the end position of the reference image and the end position of the inspection image is performed. The magnitude of the quantity may be calculated. The rotation-invariant phase-only correlation method can calculate rotation and scale (enlargement / reduction ratio) in addition to the vertical and horizontal deviation amounts calculated by the matching by the phase-only correlation method. Specifically, the position correction calculation unit 22 calculates the size of the vertical / horizontal shift amount by the phase-only correlation method, and converts the calculated vertical / horizontal shift amount into a rotation angle and a scale. Then, the position correction calculation unit 22 uses the converted rotation angle, scale, and affine transformation to generate an image with no scale, and performs pattern matching on the image using the phase-only correlation method. The amount of deviation in the vertical and horizontal directions is calculated.
Thus, in addition to or instead of pattern matching by the phase-only correlation method, pattern matching by the rotation invariant phase-only correlation method can be performed, whereby the rotation and scale of the inspection image can be calculated and the inspection accuracy is improved. be able to.

アドレス変換部２３は、位置補正演算部２２から入力されたテーブルに基づいて、メモリ２１１における、検査画像を分割した各領域のアドレスと、当該各領域に対応する基準画像の各領域のアドレスとを補正する。そして、アドレス変換部２３は、補正したアドレスを含む検査開始コマンドを検査部２４に出力する。 Based on the table input from the position correction calculation unit 22, the address conversion unit 23 obtains the addresses of the areas obtained by dividing the inspection image in the memory 211 and the addresses of the areas of the reference image corresponding to the areas. to correct. Then, the address conversion unit 23 outputs an inspection start command including the corrected address to the inspection unit 24.

検査部２４は、分割した領域毎に基準画像と検査画像とを先頭アドレスから順次比較検査し、検査画像にある欠陥を検出する。このとき、検査部２４は、アドレス変換部２３から入力されたアドレスを参照して、検査画像の各領域に対応する基準画像の各領域を決定する。検査部２４は、検査結果を欠陥生成部２５に出力する。 The inspection unit 24 sequentially compares and inspects the reference image and the inspection image from the top address for each divided area, and detects a defect in the inspection image. At this time, the inspection unit 24 refers to the address input from the address conversion unit 23 and determines each area of the reference image corresponding to each area of the inspection image. The inspection unit 24 outputs the inspection result to the defect generation unit 25.

欠陥生成部２５は、検査結果に基づいて、重要度の高い欠陥から順に並べ替えた後、欠陥を撮像した欠陥画像を生成し、情報処理装置１０に出力する。また、欠陥生成部２５は、検査結果に基づいて、検査対象物の欠陥をトラッキングし、重要度の高い欠陥がラベラ５０の位置まできたときに、ラベラ５０にラベルを貼付させる。 The defect generation unit 25 rearranges the defects in descending order based on the inspection result, generates a defect image obtained by imaging the defects, and outputs the defect image to the information processing apparatus 10. Further, the defect generation unit 25 tracks the defect of the inspection object based on the inspection result, and causes the labeler 50 to apply a label when a highly important defect reaches the position of the labeler 50.

図２は、本発明の第１の実施形態に係る情報処理装置１０のハードウェア構成の一例を示す概略ブロック図である。
情報処理装置１０は、ＣＰＵ１０１と、記憶媒体インタフェース部１０２と、記憶媒体１０３と、入力部１０４と、出力部１０５と、ＲＯＭ１０６（ＲｅａｄＯｎｌｙＭｅｍｏｒｙ）と、ＲＡＭ１０７（ＲａｎｄｏｍＡｃｃｅｓｓＭｅｍｏｒｙ）と、補助記憶部１０８と、インタフェース部１０９と、を備える。ＣＰＵ１０１と、記憶媒体インタフェース部１０２と、入力部１０４と、出力部１０５と、ＲＯＭ１０６と、ＲＡＭ１０７と、補助記憶部１０８と、インタフェース部１０９とは、バスを介して相互に接続される。
なお、ここで言うＣＰＵ１０１は、プロセッサ一般のことを示すものであって、狭義のいわゆるＣＰＵと呼ばれるデバイスのことだけではなく、例えばＧＰＵ（ＧｒａｐｈｉｃｓＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＵｎｉｔ）やＤＳＰ（ＤｉｇｉｔａｌＳｉｇｎａｌＰｒｏｃｅｓｓｏｒ）等も含む。また、ここで言うＣＰＵ１０１は、一つのプロセッサで実現されることに限られず、同じ、または異なる種類の複数のプロセッサを組み合わせることで実現されてもよい。 FIG. 2 is a schematic block diagram illustrating an example of a hardware configuration of the information processing apparatus 10 according to the first embodiment of the present invention.
The information processing apparatus 10 includes a CPU 101, a storage medium interface unit 102, a storage medium 103, an input unit 104, an output unit 105, a ROM 106 (Read Only Memory), a RAM 107 (Random Access Memory), and an auxiliary storage unit. 108 and an interface unit 109. The CPU 101, the storage medium interface unit 102, the input unit 104, the output unit 105, the ROM 106, the RAM 107, the auxiliary storage unit 108, and the interface unit 109 are connected to each other via a bus.
The CPU 101 here indicates a general processor, and includes not only a device called a CPU in a narrow sense, but also a GPU (Graphics Processing Unit), a DSP (Digital Signal Processor), and the like. The CPU 101 referred to here is not limited to being realized by a single processor, and may be realized by combining a plurality of processors of the same or different types.

ＣＰＵ１０１は、補助記憶部１０８、ＲＯＭ１０６およびＲＡＭ１０７が記憶するプログラムを読み出して実行し、また、補助記憶部１０８、ＲＯＭ１０６およびＲＡＭ１０７が記憶する各種データを読み出し、補助記憶部１０８、ＲＡＭ１０７に対して各種データを書き込むことにより、情報処理装置１０を制御する。また、ＣＰＵ１０１は、記憶媒体インタフェース部１０２を介して記憶媒体１０３が記憶する各種データを読み出し、また、記憶媒体１０３に各種データを書き込む。記憶媒体１０３は、光磁気ディスク、フレキシブルディスク、フラッシュメモリなどの可搬記憶媒体であり、各種データを記憶する。
記憶媒体インタフェース部１０２は、光ディスクドライブ、フレキシブルディスクドライブなどの記憶媒体１０３の読み書きを行うためのインタフェースである。 The CPU 101 reads out and executes programs stored in the auxiliary storage unit 108, the ROM 106, and the RAM 107, reads various data stored in the auxiliary storage unit 108, the ROM 106, and the RAM 107, and stores various data in the auxiliary storage unit 108, the RAM 107. The information processing apparatus 10 is controlled by writing. In addition, the CPU 101 reads various data stored in the storage medium 103 via the storage medium interface unit 102 and writes various data to the storage medium 103. The storage medium 103 is a portable storage medium such as a magneto-optical disk, a flexible disk, or a flash memory, and stores various data.
The storage medium interface unit 102 is an interface for reading and writing the storage medium 103 such as an optical disk drive or a flexible disk drive.

入力部１０４は、マウス、キーボード、タッチパネル、チャンネルボタン、電源ボタン、設定ボタン、赤外線受信部などの入力装置である。
出力部１０５は、表示部、スピーカなどの出力装置である。
ＲＯＭ１０６、ＲＡＭ１０７は、情報処理装置１０の各機能部を動作させるためのプログラムや各種データを記憶する。
補助記憶部１０８は、ハードディスクドライブ、フラッシュメモリなどであり、情報処理装置１０の各機能部を動作させるためのプログラム、各種データを記憶する。
インタフェース部１０９は、通信インタフェースを有し、有線または無線によりネットワークＮＷや検査装置２０と接続される。 The input unit 104 is an input device such as a mouse, a keyboard, a touch panel, a channel button, a power button, a setting button, and an infrared receiving unit.
The output unit 105 is an output device such as a display unit or a speaker.
The ROM 106 and RAM 107 store programs and various data for operating the functional units of the information processing apparatus 10.
The auxiliary storage unit 108 is a hard disk drive, a flash memory, or the like, and stores a program for operating each functional unit of the information processing apparatus 10 and various data.
The interface unit 109 has a communication interface and is connected to the network NW and the inspection apparatus 20 by wire or wireless.

図３は、本発明の実施形態に係る検査装置２０のハードウェア構成の一例を示す概略ブロック図である。
検査装置２０は、ＣＰＵ２０１と、記憶媒体インタフェース部２０２と、記憶媒体２０３と、入力部２０４と、出力部２０５と、ＲＯＭ２０６（ＲｅａｄＯｎｌｙＭｅｍｏｒｙ）と、ＲＡＭ２０７（ＲａｎｄｏｍＡｃｃｅｓｓＭｅｍｏｒｙ）と、補助記憶部２０８と、インタフェース部２０９と、ＦＰＧＡ２１０と、を備える。ＣＰＵ２０１と、記憶媒体インタフェース部２０２と、入力部２０４と、出力部２０５と、ＲＯＭ２０６と、ＲＡＭ２０７と、補助記憶部２０８と、インタフェース部２０９と、ＦＰＧＡ２１０とは、バスを介して相互に接続される。
なお、ここで言うＣＰＵ２０１は、プロセッサ一般のことを示すものであって、狭義のいわゆるＣＰＵと呼ばれるデバイスのことだけではなく、例えばＧＰＵやＤＳＰ等も含む。また、ここで言うＣＰＵ２０１は、一つのプロセッサで実現されることに限られず、同じ、または異なる種類の複数のプロセッサを組み合わせることで実現されてもよい。例えば、ＧＰＵは、ＣＰＵ２０１とともに位相限定相関法によるパターンマッチングを行うための専用のプロセッサである。 FIG. 3 is a schematic block diagram illustrating an example of a hardware configuration of the inspection apparatus 20 according to the embodiment of the present invention.
The inspection apparatus 20 includes a CPU 201, a storage medium interface unit 202, a storage medium 203, an input unit 204, an output unit 205, a ROM 206 (Read Only Memory), a RAM 207 (Random Access Memory), and an auxiliary storage unit 208. And an interface unit 209 and an FPGA 210. The CPU 201, the storage medium interface unit 202, the input unit 204, the output unit 205, the ROM 206, the RAM 207, the auxiliary storage unit 208, the interface unit 209, and the FPGA 210 are connected to each other via a bus. .
The CPU 201 referred to here indicates a general processor, and includes not only a device called a CPU in a narrow sense but also a GPU, a DSP, and the like. Further, the CPU 201 referred to here is not limited to being realized by a single processor, and may be realized by combining a plurality of processors of the same or different types. For example, the GPU is a dedicated processor for performing pattern matching by the phase only correlation method together with the CPU 201.

ＣＰＵ２０１は、補助記憶部２０８、ＲＯＭ２０６およびＲＡＭ２０７が記憶するプログラムを読み出して実行し、また、補助記憶部２０８、ＲＯＭ２０６およびＲＡＭ２０７が記憶する各種データを読み出し、補助記憶部２０８、ＲＡＭ２０７に対して各種データを書き込むことにより、検査装置２０を制御する。また、ＣＰＵ２０１は、記憶媒体インタフェース部２０２を介して記憶媒体２０３が記憶する各種データを読み出し、また、記憶媒体２０３に各種データを書き込む。記憶媒体２０３は、光磁気ディスク、フレキシブルディスク、フラッシュメモリなどの可搬記憶媒体であり、各種データを記憶する。
記憶媒体インタフェース部２０２は、光ディスクドライブ、フレキシブルディスクドライブなどの記憶媒体２０３の読み書きを行うためのインタフェースである。 The CPU 201 reads and executes programs stored in the auxiliary storage unit 208, ROM 206, and RAM 207, reads various data stored in the auxiliary storage unit 208, ROM 206, and RAM 207, and stores various data in the auxiliary storage unit 208, RAM 207. The inspection apparatus 20 is controlled by writing. In addition, the CPU 201 reads various data stored in the storage medium 203 via the storage medium interface unit 202 and writes various data to the storage medium 203. The storage medium 203 is a portable storage medium such as a magneto-optical disk, a flexible disk, or a flash memory, and stores various data.
The storage medium interface unit 202 is an interface for reading and writing the storage medium 203 such as an optical disk drive or a flexible disk drive.

入力部２０４は、マウス、キーボード、タッチパネル、チャンネルボタン、電源ボタン、設定ボタン、赤外線受信部などの入力装置である。
出力部２０５は、表示部、スピーカなどの出力装置である。
ＲＯＭ２０６、ＲＡＭ２０７は、検査装置２０の各機能部を動作させるためのプログラムや各種データを記憶する。
補助記憶部２０８は、ハードディスクドライブ、フラッシュメモリなどであり、検査装置２０の各機能部を動作させるためのプログラム、各種データを記憶する。
インタフェース部２０９は、通信インタフェースを有し、有線または無線によりネットワークＮＷや情報処理装置１０やラインカメラ３０や測長エンコーダ４０やラベラ５０と接続される。
ＦＰＧＡ２１０は、ラインカメラ３０から入力されるライン毎の入力画像やリングバッファのアドレスの管理などを行う。 The input unit 204 is an input device such as a mouse, a keyboard, a touch panel, a channel button, a power button, a setting button, and an infrared receiving unit.
The output unit 205 is an output device such as a display unit or a speaker.
The ROM 206 and the RAM 207 store programs and various data for operating the functional units of the inspection apparatus 20.
The auxiliary storage unit 208 is a hard disk drive, a flash memory, or the like, and stores a program for operating each functional unit of the inspection apparatus 20 and various data.
The interface unit 209 has a communication interface and is connected to the network NW, the information processing apparatus 10, the line camera 30, the length measurement encoder 40, and the labeler 50 by wire or wirelessly.
The FPGA 210 manages the input image for each line input from the line camera 30 and the address of the ring buffer.

例えば、図１における検査装置２０の機能構成におけるメモリ部２１、アドレス変換部２３、検査部２４は、図３におけるＲＯＭ２０６、またはＲＡＭ２０７、または補助記憶部２０８、またはＦＰＧＡ２１０、またはそれらの何れかの組み合わせにより構成される。また、位置補正演算部２２、欠陥生成部２５は、ＣＰＵ２０１により構成される。 For example, the memory unit 21, the address conversion unit 23, and the inspection unit 24 in the functional configuration of the inspection apparatus 20 in FIG. 1 are the ROM 206, the RAM 207, the auxiliary storage unit 208, the FPGA 210, or any combination thereof in FIG. Consists of. Further, the position correction calculation unit 22 and the defect generation unit 25 are configured by the CPU 201.

続いて、検査システム１が、検査対象物Ｔの欠陥を検出する検査処理について詳細に説明する。まず、情報処理装置１０において、オペレータがレピート長や検査幅等を含む検査対象物Ｔに関する情報を操作画面に入力し、検査開始ボタンを押下する。情報処理装置１０は、入力された情報を含む検査開始信号を検査装置２０に出力する。検査装置２０は、検査開始信号が入力されると、ラインカメラ３０が撮像する画像の取り込みを開始する。 Subsequently, an inspection process in which the inspection system 1 detects a defect of the inspection target T will be described in detail. First, in the information processing apparatus 10, the operator inputs information on the inspection target T including the repeat length and the inspection width on the operation screen and presses the inspection start button. The information processing apparatus 10 outputs an inspection start signal including the input information to the inspection apparatus 20. When the inspection start signal is input, the inspection device 20 starts capturing an image captured by the line camera 30.

図４は、本発明の実施形態に係る検査装置２０における画像の格納方法を説明するための図である。検査装置２０のメモリ部２１は、ラインカメラ３０から入力される１ライン毎の画像をメモリ２１１内にあるリングバッファに順次格納する。このとき、メモリ部２１は、格納を開始したリングバッファのアドレスを基準画像の先頭アドレスＳＴ１として保持する。すなわち、メモリ部２１は、最初に撮像されるレピートを基準となる基準画像とする。メモリ部２１は、測長エンコーダ４０から入力されるパルス数のカウントが設定値を超える度にリングバッファのアドレスを進める。そして、メモリ部２１は、基準画像の先頭アドレスＳＴ１からのライン数が、検査開始信号に含まれるレピート長Ｌに達した時のアドレスを検査画像の先頭アドレスとＳＴ２して保持する。すなわち、メモリ部２１は、次に撮像されるレピートを検査対象である検査画像とする。また、メモリ部２１は、検査画像の先頭アドレスＳＴ２からのライン数が、検査開始信号に含まれるレピート長Ｌに達した時のアドレスを、次の検査対象となる更新画像の先頭アドレスＳＴ３として保持する。メモリ部２１は、リングバッファの最後まで書き込みが完了すると、リングバッファの先頭に戻って順次画像を格納する。 FIG. 4 is a diagram for explaining an image storage method in the inspection apparatus 20 according to the embodiment of the present invention. The memory unit 21 of the inspection apparatus 20 sequentially stores an image for each line input from the line camera 30 in a ring buffer in the memory 211. At this time, the memory unit 21 holds the address of the ring buffer that has started storage as the head address ST1 of the reference image. In other words, the memory unit 21 uses the first repeat imaged as a reference image. The memory unit 21 advances the ring buffer address each time the pulse count input from the length measurement encoder 40 exceeds the set value. Then, the memory unit 21 holds the address when the number of lines from the start address ST1 of the reference image reaches the repeat length L included in the inspection start signal, as ST2 as the start address of the inspection image. That is, the memory unit 21 sets the next imaged repeat as an inspection image to be inspected. In addition, the memory unit 21 holds the address when the number of lines from the start address ST2 of the inspection image reaches the repeat length L included in the inspection start signal as the start address ST3 of the updated image to be inspected next. To do. When the writing to the end of the ring buffer is completed, the memory unit 21 returns to the top of the ring buffer and sequentially stores images.

すなわち、検査装置２０は、検査対象物Ｔにおいて、ラインカメラ３０が先に撮像した（先に印刷された）レピートを基準画像とし、その後撮像した（その後印刷された）レピートを検査画像とする。 That is, in the inspection object T, the inspection apparatus T uses, as the reference image, the repeat imaged first (printed first) by the line camera 30 and the repeat imaged (printed thereafter) as the inspection image.

メモリ部２１は、検査画像の先頭アドレスからのライン数がレピート長に達すると、基準画像と、検査画像と、基準画像の先頭アドレスと、検査画像の先頭アドレスとを位置補正演算部２２に出力する。位置補正演算部２２は、メモリ部２１から入力された情報をメモリ２２１に格納する。 When the number of lines from the start address of the inspection image reaches the repeat length, the memory unit 21 outputs the reference image, the inspection image, the start address of the reference image, and the start address of the inspection image to the position correction calculation unit 22. To do. The position correction calculation unit 22 stores the information input from the memory unit 21 in the memory 221.

位置補正演算部２２は、基準画像の先頭アドレスに格納された画像と検査画像の先頭アドレスに格納された画像とで位相限定相関法によるパターンマッチングを行い、流れ方向のズレ量から検査画像の先頭アドレスを前後にずらして補正する。このように、検査画像の先頭アドレスを前後にずらして検査画像の開始位置を補正することにより、比較する基準画像と検査画像の開始位置を合わせることができる。 The position correction calculation unit 22 performs pattern matching by the phase-only correlation method between the image stored at the head address of the reference image and the image stored at the head address of the inspection image, and calculates the head of the inspection image from the amount of deviation in the flow direction. Correct by shifting the address back and forth. In this way, by correcting the start position of the inspection image by shifting the start address of the inspection image back and forth, the reference image to be compared and the start position of the inspection image can be matched.

しかしながら、基準画像と検査画像とをパターンマッチングすることにより開始位置を合わせた場合であっても、検査対象物Ｔにおいて検査画像の途中から蛇行した場合や一部のみ伸縮している場合には、基準画像と検査画像とで途中からズレが生じることがある。 However, even when the start position is matched by pattern matching between the reference image and the inspection image, when the inspection target T meanders from the middle of the inspection image or only part of the inspection image is expanded or contracted, There may be a gap between the reference image and the inspection image.

図５は、本発明の実施形態に係る基準画像と検査画像とのズレの一例を示す図である。本図に示す例では、基準画像Ｇ１１において位置ｐ１に印刷されている模様が、検査画像Ｇ１２においては位置ｐ１より後方の位置ｐ２に印刷されている。このような場合に、そのまま基準画像と検査画像とを比較すると、位置ｐ１及び位置ｐ２において欠陥を誤検出することがある。そこで、検査装置２０の位置補正演算部２２は、検査画像を複数の領域に分割し、分割した各領域それぞれについてパターンマッチングにより基準画像とのズレ量を算出して、基準画像の対応する領域を決定する。 FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a deviation between the reference image and the inspection image according to the embodiment of the present invention. In the example shown in the figure, the pattern printed at the position p1 in the reference image G11 is printed at the position p2 behind the position p1 in the inspection image G12. In such a case, if the reference image and the inspection image are directly compared, a defect may be erroneously detected at the position p1 and the position p2. Therefore, the position correction calculation unit 22 of the inspection apparatus 20 divides the inspection image into a plurality of regions, calculates a deviation amount from the reference image by pattern matching for each of the divided regions, and determines a corresponding region of the reference image. decide.

図６は、本発明の実施形態に係る基準画像と検査画像との比較領域を示す図である。本図では、検査画像に伸びが生じている場合を例に説明する。まず、図６（ａ）に示すように、位置補正演算部２２は、検査画像を進み方向に複数（本例では、４つ）の領域ＡＩ１〜ＡＩ４に等分割する。同様に、位置補正演算部２２は、基準画像を進み方向に検査画像と同数の領域ＡＳ１〜ＡＳ４に等分割する。ここで、検査画像には伸びが生じているため、印刷されている模様にズレが生じ、検査画像の領域ＡＩ１〜ＡＩ４と基準画像の領域ＡＳ１〜ＡＳ４とをそのまま比較しても、精度良く欠陥を検出することができない。 FIG. 6 is a diagram showing a comparison area between the reference image and the inspection image according to the embodiment of the present invention. In this figure, a case where the inspection image is elongated will be described as an example. First, as illustrated in FIG. 6A, the position correction calculation unit 22 equally divides the inspection image into a plurality (four in this example) of regions AI1 to AI4 in the advancing direction. Similarly, the position correction calculation unit 22 equally divides the reference image in the advance direction into the same number of regions AS1 to AS4 as the inspection image. Here, since the inspection image is stretched, a printed pattern is displaced, and even if the inspection image areas AI1 to AI4 and the reference image areas AS1 to AS4 are compared as they are, defects can be accurately detected. Cannot be detected.

そこで、位置補正演算部２２は、検査画像の各領域ＡＩ１〜ＡＩ４と基準画像の各領域ＡＳ１〜ＡＳ４とでそれぞれ位相限定相関法によるパターンマッチングを行い、検査画像の各領域ＡＩ１〜ＡＩ４に対する基準画像の各領域ＡＳ１〜ＡＳ４の縦横のズレ量を算出する。そして、図６（ｂ）に示すように、位置補正演算部２２は、算出した各領域のズレ量に基づいて、検査画像の各領域ＡＩ１〜ＡＩ４に対応する基準画像の各領域ＡＳ１〜ＡＳ４を領域ＡＳ１１〜ＡＳ１４に補正する。 Therefore, the position correction calculation unit 22 performs pattern matching by the phase-only correlation method on each of the areas AI1 to AI4 of the inspection image and each of the areas AS1 to AS4 of the reference image, and the reference image for each of the areas AI1 to AI4 of the inspection image. The vertical and horizontal shift amounts of the areas AS1 to AS4 are calculated. Then, as illustrated in FIG. 6B, the position correction calculation unit 22 determines the regions AS1 to AS4 of the reference image corresponding to the regions AI1 to AI4 of the inspection image based on the calculated shift amounts of the regions. It correct | amends to area | region AS11-AS14.

このように、検査画像を複数の領域に分割し、分割した領域毎に基準画像と位置合わせを行うことにより、検査画像の途中から蛇行した場合や一部のみ伸縮している場合であっても、蛇行や伸縮に対する追従性が向上し、基準画像と検査画像との比較位置にズレが生じることを低減することができる。よって、伸縮や蛇行に対応した印刷物の検査が可能になる。 In this way, by dividing the inspection image into a plurality of regions and aligning with the reference image for each of the divided regions, even when meandering from the middle of the inspection image or when only a part is expanded or contracted Further, the followability with respect to meandering and expansion / contraction is improved, and it is possible to reduce the occurrence of deviation in the comparison position between the reference image and the inspection image. Therefore, it is possible to inspect printed matter corresponding to expansion and contraction and meandering.

また、位置補正演算部２２における処理（位相限定相関法によるパターンマッチング）を、ＣＰＵ２０１（ＧＰＵ）による並列処理で実行することにより、全体の処理を高速化することができる。 Moreover, the overall processing can be speeded up by executing the processing in the position correction calculation unit 22 (pattern matching by the phase-only correlation method) by parallel processing by the CPU 201 (GPU).

また、パターンマッチングを位相限定相関法により実行することで、縦方向及び横方向のズレ量を検出することができる。また照明の明るさの変化や印刷物の濃度変化に影響されにくいマッチングを行うことができる。 Further, by executing pattern matching by the phase only correlation method, it is possible to detect the amount of deviation in the vertical direction and the horizontal direction. In addition, it is possible to perform matching that is not easily affected by changes in the brightness of illumination or changes in the density of printed matter.

位置補正演算部２２は、検査画像の先頭アドレスのズレ量、及び検査画像の領域ＡＩ１〜ＡＩ４毎に基準画像との縦横のズレ量を格納したテーブル（パターンマッチングの実行結果）を生成し、生成したテーブルをアドレス変換部２３に出力する。アドレス変換部２３は、位置補正演算部２２から入力されたテーブルを、メモリ２１１が記憶する画像のアドレスに変換する。つまり、アドレス変換部２３は、位置補正演算部２２から入力されたテーブルに基づいて、メモリ２１１における画像のアドレスを変換する。具体的には、アドレス変換部２３は、テーブルに基づいて、検査画像の各領域ＡＩ１〜ＡＩ４のアドレスと、当該各領域それぞれに対応する基準画像の領域ＡＳ１１〜ＡＳ１４のアドレスを補正する。このように、アドレス変換部２３が、位置補正演算部２２による実行結果をアドレス変換することにより、リアルタイムに印刷物を検査することが可能になる。 The position correction calculation unit 22 generates and generates a table (pattern matching execution result) that stores the shift amount of the start address of the inspection image and the vertical and horizontal shift amounts from the reference image for each of the inspection image areas AI1 to AI4. The table is output to the address conversion unit 23. The address conversion unit 23 converts the table input from the position correction calculation unit 22 into an image address stored in the memory 211. That is, the address conversion unit 23 converts the image address in the memory 211 based on the table input from the position correction calculation unit 22. Specifically, the address conversion unit 23 corrects the addresses of the areas AI1 to AI4 of the inspection image and the addresses of the areas AS11 to AS14 of the reference image corresponding to the areas based on the table. As described above, the address conversion unit 23 converts the execution result of the position correction calculation unit 22 into an address, thereby enabling the printed matter to be inspected in real time.

検査部２４は、アドレス変換部２３が補正したアドレスを参照して、検査画像の領域ＡＩ１〜ＡＩ４と基準画像の領域ＡＳ１１〜ＡＳ１４とをそれぞれ比較検査することにより、検査画像にある欠陥を検出する。なお、検査部２４は、基準画像と検査画像との差異から欠陥を検出する際、何れかに最大値フィルタまたは最小値フィルタをかけ、さらに所定濃度のバイアスを加算または減算することにより、蛇行や同期ずれと印刷物の伸縮またはばたつきの影響を除去して欠陥を検出する。ここで、最小値フィルタとは、その中心の画素の濃度をそのフィルタ内の画素の最小の濃度にするフィルタである。また、最大値フィルタとは、その中心の画素の濃度をそのフィルタ内の画素の最大の濃度にするフィルタである。検査部２４は、複数に分割された領域毎に検査画像と基準画像とを比較しているため、このフィルタサイズを小さくすることができる。よって、検査画像に蛇行や伸縮が少ない場合には、フィルタサイズを小さくすることでより厳しい検査をすることができる。 The inspection unit 24 refers to the address corrected by the address conversion unit 23, and detects a defect in the inspection image by comparing and inspecting the regions AI1 to AI4 of the inspection image and the regions AS11 to AS14 of the reference image, respectively. . When the inspection unit 24 detects a defect from the difference between the reference image and the inspection image, the inspection unit 24 applies a maximum value filter or a minimum value filter to one of them, and further adds or subtracts a predetermined density bias, Defects are detected by removing the effects of out-of-sync and expansion / contraction or flapping of printed matter. Here, the minimum value filter is a filter that sets the density of the center pixel to the minimum density of the pixels in the filter. The maximum value filter is a filter that sets the density of the center pixel to the maximum density of the pixels in the filter. Since the inspection unit 24 compares the inspection image with the reference image for each of the divided areas, the filter size can be reduced. Therefore, when there is little meandering or expansion / contraction in the inspection image, a stricter inspection can be performed by reducing the filter size.

欠陥生成部２５は、検査部２４における検査結果をラベラ５０及び情報処理装置１０に出力する。例えば、欠陥生成部２５は、トラッキングを行い、重要度の高い欠陥がラベラ５０の位置まできたときに、ラベラ５０にラベルを貼付させる。また、欠陥生成部２５は、検査結果に基づいて欠陥画像及び伸縮グラフを生成し、生成した欠陥画像及び伸縮グラフを情報処理装置１０に出力する。情報処理装置１０は、検査装置２０から入力された欠陥画像及び伸縮グラフを表示してブザーを出力し、欠陥画像及び伸縮グラフをファイルに保存する。伸縮グラフは、同一の検査対象物における設定レピート長に対する測定レピート長の変動の推移を示すグラフである。なお、欠陥生成部２５は、伸縮グラフに代えて、基準画像に対する検査画像の伸縮を示す数値を情報処理装置１０に出力してもよい。この場合には、情報処理装置１０が、入力された数値に基づいて伸縮グラフを生成してもよい。 The defect generation unit 25 outputs the inspection result in the inspection unit 24 to the labeler 50 and the information processing apparatus 10. For example, the defect generation unit 25 performs tracking, and causes a label to be attached to the labeler 50 when a highly important defect reaches the position of the labeler 50. Further, the defect generation unit 25 generates a defect image and an expansion / contraction graph based on the inspection result, and outputs the generated defect image and the expansion / contraction graph to the information processing apparatus 10. The information processing apparatus 10 displays the defect image and the expansion / contraction graph input from the inspection apparatus 20, outputs a buzzer, and stores the defect image and the expansion / contraction graph in a file. An expansion / contraction graph is a graph which shows transition of the fluctuation | variation of the measurement repeat length with respect to the setting repeat length in the same test object. The defect generation unit 25 may output a numerical value indicating the expansion / contraction of the inspection image with respect to the reference image to the information processing apparatus 10 instead of the expansion / contraction graph. In this case, the information processing apparatus 10 may generate an expansion / contraction graph based on the input numerical value.

図７は、本発明の実施形態に係る検査装置２０が生成する欠陥画像の一例を示す説明図である。図示するように、欠陥生成部２５は、検査画像において少なくとも欠陥部分Ｄを含む領域の画像Ｇ２２と、当該領域に対応する基準画像の画像Ｇ２１とを含む欠陥画像を生成する。欠陥部分Ｄは、少なくとも画像Ｇ２２において強調表示される。本図に示す例では、画像Ｇ２２において、矢印で欠陥部分Ｄを示している。また、画像Ｇ２１では、欠陥部分Ｄに対応する位置に矢印を表示して、対応する位置を強調表示している。また、画像Ｇ２１には「基準」を表示し、画像Ｇ２２には「検査」を表示することで、どちらの画像が基準画像であるか検査画像であるかを容易に判別可能にしている。なお、欠陥画像は、画像Ｇ２１と画像Ｇ２２とを並べた静止画像であってもよいし、画像Ｇ２１と画像Ｇ２２とを交互に表示する動画像であってもよい。 FIG. 7 is an explanatory diagram illustrating an example of a defect image generated by the inspection apparatus 20 according to the embodiment of the present invention. As illustrated, the defect generation unit 25 generates a defect image including an image G22 of an area including at least the defect portion D in the inspection image and an image G21 of a reference image corresponding to the area. The defective portion D is highlighted at least in the image G22. In the example shown in the figure, the defect portion D is indicated by an arrow in the image G22. In the image G21, an arrow is displayed at a position corresponding to the defective portion D, and the corresponding position is highlighted. Further, by displaying “reference” on the image G21 and displaying “inspection” on the image G22, it is possible to easily determine which image is the reference image or the inspection image. Note that the defect image may be a still image in which the image G21 and the image G22 are arranged, or may be a moving image in which the images G21 and G22 are alternately displayed.

アドレス変換部２３は、１つの検査画像の検査が完了すると、検査画像を次の画像に更新する。具体的には、アドレス変換部２３は、メモリ２１１における検査画像の先頭アドレスを基準画像の先頭アドレスに、更新画像の先頭アドレスを検査画像の先頭アドレスにそれぞれ変更する。その後、検査装置２０は、更新した検査画像について、上述した処理により検査を実行する。このように処理を繰り返すことで、繰り返し連続印刷された同一絵柄を検査することができる。 When the inspection of one inspection image is completed, the address conversion unit 23 updates the inspection image to the next image. Specifically, the address conversion unit 23 changes the head address of the inspection image in the memory 211 to the head address of the reference image, and the head address of the updated image to the head address of the inspection image. Thereafter, the inspection apparatus 20 performs inspection on the updated inspection image by the above-described processing. By repeating the process in this manner, it is possible to inspect the same pattern that is repeatedly printed repeatedly.

図８は、本発明の実施形態に係る検査装置２０が実行する検査処理の一例を示すフローチャートである。
ステップＳ１０１において、メモリ部２１は、ラインカメラ３０から入力される画像の記録を開始する。具体的には、メモリ部２１は、ラインカメラ３０から入力される１ライン毎の画像をメモリ２１１にあるリングバッファに順次格納する。 FIG. 8 is a flowchart showing an example of inspection processing executed by the inspection apparatus 20 according to the embodiment of the present invention.
In step S <b> 101, the memory unit 21 starts recording an image input from the line camera 30. Specifically, the memory unit 21 sequentially stores an image for each line input from the line camera 30 in a ring buffer in the memory 211.

ステップＳ１０３において、メモリ部２１は、検査画像の格納が完了したか否かを判定する。具体的には、メモリ部２１は、検査画像の先頭アドレスからのライン数がレピート長に達すると、検査画像の格納が完了したと判定する。検査画像の格納が完了した場合（ステップＳ１０３；ＹＥＳ）、検査装置２０は、ステップＳ１０７の処理を実行する。検査画像の格納が完了していない場合（ステップＳ１０３；ＮＯ）、検査装置２０は、ステップＳ１０３の処理を繰り返す。 In step S103, the memory unit 21 determines whether or not the inspection image has been stored. Specifically, the memory unit 21 determines that the storage of the inspection image is completed when the number of lines from the head address of the inspection image reaches the repeat length. When the storage of the inspection image is completed (step S103; YES), the inspection apparatus 20 executes the process of step S107. When the storage of the inspection image is not completed (step S103; NO), the inspection device 20 repeats the process of step S103.

ステップＳ１０５において、位置補正演算部２２は、メモリ部２１が格納した基準画像及び検査画像をメモリ２２１に格納し、基準画像の開始位置と検査画像の開始位置とで位相限定相関法によるパターンマッチングを行い、流れ方向のズレ量から検査画像の先頭アドレスを前後にずらして補正する。 In step S105, the position correction calculation unit 22 stores the reference image and inspection image stored in the memory unit 21 in the memory 221, and performs pattern matching by the phase-only correlation method between the reference image start position and the inspection image start position. The correction is performed by shifting the start address of the inspection image back and forth from the amount of deviation in the flow direction.

ステップＳ１０７において、メモリ部２１は、情報処理装置１０から検査開始信号が入力されたか否かを判定する。検査開始信号が入力された場合（ステップＳ１０７；ＹＥＳ）、検査装置２０は、ステップＳ１０９の処理を実行する。一方、検査開始信号が入力されていない場合（ステップＳ１０７；ＮＯ）、検査装置２０は、ステップＳ１２１の処理を繰り返す。 In step S <b> 107, the memory unit 21 determines whether an inspection start signal is input from the information processing apparatus 10. When the inspection start signal is input (step S107; YES), the inspection apparatus 20 executes the process of step S109. On the other hand, when the inspection start signal is not input (step S107; NO), the inspection apparatus 20 repeats the process of step S121.

ステップＳ１０９において、位置補正演算部２２は、基準画像の後半部分と検査画像の後半部分とで位相限定相関法によるパターンマッチングを行い、算出したズレ量から分割数を決定する。 In step S109, the position correction calculation unit 22 performs pattern matching by the phase-only correlation method between the latter half of the reference image and the latter half of the inspection image, and determines the number of divisions from the calculated shift amount.

ステップＳ１１１において、位置補正演算部２２は、決定した分割数の領域に基準画像及び検査画像を分割する。 In step S111, the position correction calculation unit 22 divides the reference image and the inspection image into the determined number of divisions.

ステップＳ１１３において、位置補正演算部２２は、分割した領域毎に基準画像と検査画像とで位相限定相関法によるパターンマッチングを行い、各領域における縦横のズレ量を算出し、算出したズレ量を格納したテーブルを生成する。 In step S113, the position correction calculation unit 22 performs pattern matching by the phase-only correlation method between the reference image and the inspection image for each divided region, calculates vertical and horizontal shift amounts in each region, and stores the calculated shift amounts. Generated table.

ステップＳ１１５において、アドレス変換部２３は、位置補正演算部２２が生成したテーブルに基づいて、メモリ２１１における検査画像及び基準画像の各領域のアドレスを補正する。 In step S115, the address conversion unit 23 corrects the addresses of the areas of the inspection image and the reference image in the memory 211 based on the table generated by the position correction calculation unit 22.

ステップＳ１１７において、検査部２４は、アドレス変換部２３が補正したアドレスに基づいて、分割した領域毎に基準画像と検査画像とを先頭アドレスから順次比較検査する。 In step S117, the inspection unit 24 sequentially compares and inspects the reference image and the inspection image from the top address for each divided area based on the address corrected by the address conversion unit 23.

ステップＳ１１９において、欠陥生成部２５は、検査部２４における検査結果を出力する。具体的には、欠陥生成部２５は、重要度の高い欠陥から順に並べ替えた後、欠陥を撮像した欠陥画像を生成し、情報処理装置１０に出力する。また、欠陥生成部２５は、検査結果に基づいて、検査対象物の欠陥をトラッキングし、重要度の高い欠陥がラベラ５０の位置まできたときに、ラベラ５０にラベルを貼付させる。 In step S119, the defect generation unit 25 outputs the inspection result in the inspection unit 24. Specifically, the defect generation unit 25 rearranges the defects in descending order of importance, generates a defect image obtained by capturing the defects, and outputs the defect image to the information processing apparatus 10. Further, the defect generation unit 25 tracks the defect of the inspection object based on the inspection result, and causes the labeler 50 to apply a label when a highly important defect reaches the position of the labeler 50.

ステップＳ１２１において、アドレス変換部２３は、検査画像を次の画像に更新する。具体的には、アドレス変換部２３は、メモリ２１１における検査画像の先頭アドレスを基準画像の先頭アドレスに、検査画像の次の更新画像の先頭アドレスを検査画像の先頭アドレスにそれぞれ変更する。その後、ステップＳ１０５の処理に戻る。 In step S121, the address conversion unit 23 updates the inspection image to the next image. Specifically, the address conversion unit 23 changes the start address of the inspection image in the memory 211 to the start address of the reference image, and the start address of the next updated image after the inspection image to the start address of the inspection image. Thereafter, the process returns to step S105.

このように、本実施形態に係る検査システム１は、検査対象となる検査画像を複数の領域に分割し、分割した領域毎に基準画像とパターンマッチングを行うことにより、各領域それぞれに対応する基準画像の領域を決定する位置補正演算部２２と、分割した検査画像の各領域と、当該領域に対応する基準画像の各領域とをそれぞれ比較することにより、検査画像にある欠陥を検出する検査部２４と、を備える検査装置２０を備える。 As described above, the inspection system 1 according to the present embodiment divides the inspection image to be inspected into a plurality of areas, and performs pattern matching with the reference image for each of the divided areas, thereby providing a reference corresponding to each area. A position correction calculation unit 22 that determines an area of the image, and an inspection unit that detects a defect in the inspection image by comparing each area of the divided inspection image with each area of the reference image corresponding to the area. 24. The inspection apparatus 20 is provided.

このような構成により、一部のみ、または途中からずれている検査画像であっても、基準画像との実際のズレ量に近い値を計測することができ、伸縮や蛇行に対応した印刷物の検査が可能になる。 With such a configuration, even if the inspection image is only partially or shifted from the middle, it is possible to measure a value close to the actual deviation from the reference image, and inspection of printed matter corresponding to expansion and contraction and meandering Is possible.

また、同一絵柄が繰り返し連続印刷された検査対象物を順次撮像するラインカメラ３０と、ラインカメラ３０が撮像した画像を順次記憶するメモリ部２１と、を備え、位置補正演算部２２は、基準画像とパターンマッチングすることにより、メモリ部２１が記憶する検査画像の開始位置を補正する。これにより、順次撮像する画像から検査画像の開始位置を正確に抽出することができるため、精度良く印刷物を検査することができる。 The position correction calculation unit 22 includes a line camera 30 that sequentially captures the inspection object on which the same pattern is repeatedly printed continuously, and a memory unit 21 that sequentially stores images captured by the line camera 30. By pattern matching, the start position of the inspection image stored in the memory unit 21 is corrected. As a result, since the start position of the inspection image can be accurately extracted from the sequentially captured images, the printed matter can be inspected with high accuracy.

また、位置補正演算部２２は、専用のプロセッサによりパターンマッチングを実行し、位置補正演算部２２による実行結果を、記憶している画像のアドレスに変換するアドレス変換部２３を備える。これにより全体の処理を高速化することができ、リアルタイムに印刷物を検査することが可能になる。 In addition, the position correction calculation unit 22 includes an address conversion unit 23 that executes pattern matching using a dedicated processor and converts an execution result of the position correction calculation unit 22 into a stored image address. As a result, the overall processing can be speeded up, and the printed matter can be inspected in real time.

また、位置補正演算部２２は、基準画像に対する検査画像のずれの大きさに応じて分割数を決定する。これにより、基準画像と検査画像のずれの大きさに応じた領域に分割して比較検査するため、精度良く印刷物を検査することが可能になる。 Further, the position correction calculation unit 22 determines the number of divisions according to the size of the inspection image shift with respect to the reference image. Accordingly, since the comparison inspection is performed by dividing the region into areas corresponding to the size of the deviation between the reference image and the inspection image, the printed matter can be inspected with high accuracy.

なお、上述した実施形態では、検査装置２０が自動的に分割数を決定しているが、これに限らず、分割数は予め設定されていてもよいし、情報処理装置１０が表示する操作画面においてオペレータが分割数を指定できるようにしてもよい。 In the embodiment described above, the inspection apparatus 20 automatically determines the number of divisions. However, the present invention is not limited to this, and the number of divisions may be set in advance, or an operation screen displayed by the information processing apparatus 10. The operator may be able to specify the number of divisions.

また、上述した実施形態では、ラインカメラ３０が先に撮像したレピートを基準画像としているが、これに限らず、検査装置２０は、予め基準画像を記憶しておいてもよい。 In the embodiment described above, the repeat imaged first by the line camera 30 is used as the reference image. However, the present invention is not limited to this, and the inspection apparatus 20 may store the reference image in advance.

また、上述した実施形態では、情報処理装置１０と検査装置２０とが別の装置である場合について説明したが、これに限らず、情報処理装置１０に画像処理ボードを接続させたものであってもよい。また、検査装置２０は、画像処理ボードのみから構成されるものであってもよい。 In the above-described embodiment, the case where the information processing apparatus 10 and the inspection apparatus 20 are separate apparatuses has been described. However, the present invention is not limited to this, and an image processing board is connected to the information processing apparatus 10. Also good. Further, the inspection apparatus 20 may be configured only from an image processing board.

なお、本発明の一態様における情報処理装置１０、検査装置２０で動作するプログラムは、本発明の一態様に関わる上記の各実施形態や変形例で示した機能を実現するように、１つ、または複数の、ＣＰＵ（ＣｅｎｔｒａｌＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＵｎｉｔ）等のプロセッサを制御するプログラム（コンピュータを機能させるプログラム）であっても良い。そして、これらの各装置で取り扱われる情報は、その処理時に一時的にＲＡＭ（ＲａｎｄｏｍＡｃｃｅｓｓＭｅｍｏｒｙ）に蓄積され、その後、フラッシュメモリやＨＤＤ（ＨａｒｄＤｉｓｋＤｒｉｖｅ）等の各種ストレージに格納され、必要に応じてＣＰＵ等によって読み出し、修正・書き込みが行われても良い。 In addition, the program which operate | moves with the information processing apparatus 10 in 1 aspect of this invention and the test | inspection apparatus 20 is one so that the function shown in said each embodiment and modification concerning 1 aspect of this invention may be implement | achieved, Alternatively, it may be a program (a program that causes a computer to function) that controls a plurality of processors such as a CPU (Central Processing Unit). Information handled by each of these devices is temporarily stored in a RAM (Random Access Memory) at the time of processing, and then stored in various storages such as a flash memory and an HDD (Hard Disk Drive). Then, it may be read out, corrected and written by a CPU or the like.

なお、上述した各実施形態や変形例における情報処理装置１０、検査装置２０の一部又は全部を１つ、または複数のプロセッサを備えたコンピュータで実現するようにしても良い。その場合、この制御機能を実現するためのプログラムをコンピュータが読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することによって実現しても良い。 Note that a part or all of the information processing apparatus 10 and the inspection apparatus 20 in each of the above-described embodiments and modifications may be realized by a computer including one or a plurality of processors. In that case, the program for realizing the control function may be recorded on a computer-readable recording medium, and the program recorded on the recording medium may be read by the computer system and executed.

なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、情報処理装置１０、検査装置２０に内蔵されたコンピュータシステムであって、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。 Here, the “computer system” is a computer system built in the information processing apparatus 10 and the inspection apparatus 20 and includes an OS and hardware such as peripheral devices. The “computer-readable recording medium” refers to a storage device such as a flexible medium, a magneto-optical disk, a portable medium such as a ROM and a CD-ROM, and a hard disk incorporated in a computer system.

さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含んでも良い。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであっても良い。 Furthermore, the “computer-readable recording medium” is a medium that dynamically holds a program for a short time, such as a communication line when transmitting a program via a network such as the Internet or a communication line such as a telephone line, In such a case, a volatile memory inside a computer system serving as a server or a client may be included and a program that holds a program for a certain period of time. The program may be a program for realizing a part of the functions described above, and may be a program capable of realizing the functions described above in combination with a program already recorded in a computer system.

また、上述した各実施形態や変形例における情報処理装置１０、検査装置２０の一部、又は全部を典型的には集積回路であるＬＳＩとして実現してもよいし、チップセットとして実現してもよい。また、上述した各実施形態や変形例における情報処理装置１０、検査装置２０の各機能ブロックは個別にチップ化してもよいし、一部、又は全部を集積してチップ化してもよい。また、集積回路化の手法は、ＬＳＩに限らず専用回路、および／または汎用プロセッサで実現しても良い。また、半導体技術の進歩によりＬＳＩに代替する集積回路化の技術が出現した場合、当該技術による集積回路を用いることも可能である。 In addition, part or all of the information processing apparatus 10 and the inspection apparatus 20 in each of the above-described embodiments and modifications may be typically realized as an LSI that is an integrated circuit, or may be realized as a chip set. Good. In addition, each functional block of the information processing apparatus 10 and the inspection apparatus 20 in each of the embodiments and modifications described above may be individually chipped, or a part or all of them may be integrated into a chip. Further, the method of circuit integration is not limited to LSI's, and implementation using dedicated circuitry and / or general purpose processors is also possible. In addition, when an integrated circuit technology that replaces LSI appears due to progress in semiconductor technology, an integrated circuit based on the technology can also be used.

以上、図面を参照してこの発明の実施形態について詳しく説明してきたが、具体的な構成は上述のものに限られることはなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲内において様々な設計変更等をすることが可能である。 The embodiments of the present invention have been described in detail above with reference to the drawings. However, the specific configuration is not limited to the above-described one, and various design changes and the like can be made without departing from the scope of the present invention. Is possible.

１検査システム
１０情報処理装置
２０検査装置
２１メモリ部
２１１メモリ
２２位置補正演算部
２２１メモリ
２３アドレス変換部
２４検査部
２５欠陥生成部
３０ラインカメラ
４０測長エンコーダ
５０ラベラ
１０１ＣＰＵ
１０２記憶媒体インタフェース部
１０３記憶媒体
１０４入力部
１０５出力部
１０６ＲＯＭ
１０７ＲＡＭ
１０８補助記憶部
１０９インタフェース部
２０１ＣＰＵ
２０２記憶媒体インタフェース部
２０３記憶媒体
２０４入力部
２０５出力部
２０６ＲＯＭ
２０７ＲＡＭ
２０８補助記憶部
２０９インタフェース部
２１０ＦＰＧＡ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspection system 10 Information processing apparatus 20 Inspection apparatus 21 Memory part 211 Memory 22 Position correction calculating part 221 Memory 23 Address conversion part 24 Inspection part 25 Defect generation part 30 Line camera 40 Measuring encoder 50 Labeler 101 CPU
102 storage medium interface unit 103 storage medium 104 input unit 105 output unit 106 ROM
107 RAM
108 Auxiliary storage unit 109 Interface unit 201 CPU
202 Storage medium interface unit 203 Storage medium 204 Input unit 205 Output unit 206 ROM
207 RAM
208 Auxiliary storage unit 209 Interface unit 210 FPGA

Claims

A first shift amount of the inspection image with respect to the reference image is calculated by performing at least a first pattern matching by the rotation-invariant phase-only correlation method between the inspection image to be inspected and the reference image; The number of divisions into a plurality of areas is determined based on the amount of shift of 1, the inspection image and the reference image are divided into areas of the division number , and the reference image for each divided area and the inspection for each divided area A position correction calculation unit that calculates a second shift amount of the inspection image with respect to the reference image in each region by performing at least a second pattern matching with the image by a rotation invariant phase-only correlation method ;
Based on the second shift amount, the address of each area of the inspection image is converted into the address of each area of the reference image, thereby determining each area of the reference image corresponding to each area of the inspection image. An address translation unit to
An inspection unit that detects a defect in the inspection image by comparing each area of the inspection image that has been address-converted with each area of the reference image corresponding to the area;
An inspection apparatus comprising:

A storage unit that sequentially stores images taken by a camera that sequentially captures inspection objects on which the same pattern is repeatedly printed in sequence as inspection images ;
The position correction calculation unit corrects a start position of the inspection image stored in the storage unit by performing the first pattern matching;
The inspection apparatus according to claim 1.

The inspection apparatus according to claim 1, wherein the position correction calculation unit executes the first pattern matching and the second pattern matching by a dedicated processor.

An inspection system comprising a camera that sequentially images inspection objects on which the same pattern is repeatedly printed repeatedly, and an inspection device,
The inspection device includes:
By performing at least a first pattern matching by a rotation invariant phase-only correlation method between an inspection image to be inspected by the camera and a reference image, a first shift amount of the inspection image with respect to the reference image is obtained. Calculate, determine the number of divisions into a plurality of areas based on the first shift amount, divide the inspection image and the reference image into the division number of areas, and divide the reference image and the division for each divided area A position correction calculation unit that calculates a second shift amount of the inspection image with respect to the reference image in each region by performing at least a second pattern matching by the rotation-invariant phase-only correlation method with the inspection image for each region. When,
Based on the second shift amount, the address of each area of the inspection image is converted into the address of each area of the reference image, thereby determining each area of the reference image corresponding to each area of the inspection image. An address translation unit to
An inspection unit that detects a defect in the inspection image by comparing each area of the inspection image that has been address-converted with each area of the reference image corresponding to the area;
An inspection system comprising:

Computer
A first shift amount of the inspection image with respect to the reference image is calculated by performing at least a first pattern matching by the rotation-invariant phase-only correlation method between the inspection image to be inspected and the reference image; The number of divisions into a plurality of areas is determined based on the amount of shift of 1, the inspection image and the reference image are divided into areas of the division number , and the reference image for each divided area and the inspection for each divided area A position correction calculation process for calculating a second shift amount of the inspection image with respect to the reference image in each region by performing second pattern matching with the image by at least the rotation-invariant phase-only correlation method ;
Based on the second shift amount, the address of each area of the inspection image is converted into the address of each area of the reference image, thereby determining each area of the reference image corresponding to each area of the inspection image. Address translation process to
An inspection process for detecting defects in the inspection image by comparing each area of the inspection image that has been address-converted with each area of the reference image corresponding to the area;
Inspection method having

Computer
A first shift amount of the inspection image with respect to the reference image is calculated by performing at least a first pattern matching by the rotation-invariant phase-only correlation method between the inspection image to be inspected and the reference image; The number of divisions into a plurality of areas is determined based on the amount of shift of 1, the inspection image and the reference image are divided into areas of the division number , and the reference image for each divided area and the inspection for each divided area A position correction calculation step of calculating a second shift amount of the inspection image with respect to the reference image of each region by performing second pattern matching with the image by at least the rotation-invariant phase-only correlation method ;
Based on the second shift amount, the address of each area of the inspection image is converted into the address of each area of the reference image, thereby determining each area of the reference image corresponding to each area of the inspection image. An address translation step to
An inspection step of detecting a defect in the inspection image by comparing each area of the inspection image that has undergone the address conversion and each area of the reference image corresponding to the area;
A program for running.