JP6362444B2 - フレキシブルプリント基板およびフレキシブルプリント基板の製造方法 - Google Patents

フレキシブルプリント基板およびフレキシブルプリント基板の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP6362444B2
JP6362444B2 JP2014123753A JP2014123753A JP6362444B2 JP 6362444 B2 JP6362444 B2 JP 6362444B2 JP 2014123753 A JP2014123753 A JP 2014123753A JP 2014123753 A JP2014123753 A JP 2014123753A JP 6362444 B2 JP6362444 B2 JP 6362444B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flexible printed
printed circuit
circuit board
layer
signal line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014123753A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2016004875A (ja
Inventor
松田 文彦
文彦 松田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Mektron KK
Original Assignee
Nippon Mektron KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Mektron KK filed Critical Nippon Mektron KK
Priority to JP2014123753A priority Critical patent/JP6362444B2/ja
Priority to PCT/JP2014/082978 priority patent/WO2015194069A1/ja
Priority to CN201480012866.2A priority patent/CN105393645B/zh
Priority to TW104119332A priority patent/TWI597000B/zh
Priority to US14/870,687 priority patent/US9743532B2/en
Publication of JP2016004875A publication Critical patent/JP2016004875A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6362444B2 publication Critical patent/JP6362444B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P3/00Waveguides; Transmission lines of the waveguide type
    • H01P3/02Waveguides; Transmission lines of the waveguide type with two longitudinal conductors
    • H01P3/08Microstrips; Strip lines
    • H01P3/085Triplate lines
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/40Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/42Plated through-holes or plated via connections
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0277Bendability or stretchability details
    • H05K1/028Bending or folding regions of flexible printed circuits
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0213Electrical arrangements not otherwise provided for
    • H05K1/0216Reduction of cross-talk, noise or electromagnetic interference
    • H05K1/0218Reduction of cross-talk, noise or electromagnetic interference by printed shielding conductors, ground planes or power plane
    • H05K1/0224Patterned shielding planes, ground planes or power planes
    • H05K1/0225Single or multiple openings in a shielding, ground or power plane
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0213Electrical arrangements not otherwise provided for
    • H05K1/0216Reduction of cross-talk, noise or electromagnetic interference
    • H05K1/0218Reduction of cross-talk, noise or electromagnetic interference by printed shielding conductors, ground planes or power plane
    • H05K1/0224Patterned shielding planes, ground planes or power planes
    • H05K1/0227Split or nearly split shielding or ground planes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/01Dielectrics
    • H05K2201/0104Properties and characteristics in general
    • H05K2201/0129Thermoplastic polymer, e.g. auto-adhesive layer; Shaping of thermoplastic polymer
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/09Shape and layout
    • H05K2201/09209Shape and layout details of conductors
    • H05K2201/0929Conductive planes
    • H05K2201/093Layout of power planes, ground planes or power supply conductors, e.g. having special clearance holes therein
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/09Shape and layout
    • H05K2201/09209Shape and layout details of conductors
    • H05K2201/09654Shape and layout details of conductors covering at least two types of conductors provided for in H05K2201/09218 - H05K2201/095
    • H05K2201/09681Mesh conductors, e.g. as a ground plane

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)

Description

本発明は、フレキシブルプリント基板およびフレキシブルプリント基板の製造方法に関する。
近年、多彩な動きをするロボットが登場する等、ロボットの発展が著しくなっている。また、人体や衣服に装着可能なウエアラブル電子機器も、様々な機器で開発、実用化が進んできている。これらのロボットやウエアラブル電子機器には、電力供給用や電気信号伝送用の電線が多数使用されているが、一般的に電線は銅線を芯とし、その外周を絶縁体で被覆した構造になっているため、電線自体に伸縮性はほとんどない。このため、たとえばロボット等においては、その関節の動き等を妨げないように、電線長に余裕を持たせる必要があり、このことが小型、軽量化等に向けた設計上、実用上の支障となる。
特に、最先端のヒューマノイド型ロボットや、人体に装着して筋力を補助するパワーアシスト装置等の用途においては、多自由度関節を経由して末端のモータを動かすための電線や、末端に配置された各種センサーからの電気信号を伝送するための電線が多数配線されている。そして、多自由度関節におけるこれらの配線の自由度を高めるために、伸縮可能に構成された電線に対する要求が高まっている。
一方、近年、産業用ロボットとしてアームロボットが多く使用されている。この種のアームロボットでは、ロボットアームの先端側に取り付けられているエンドエフェクタ(人体で言うところの手に相当)やロボットアームの関節部の駆動方式によっては、ロボットアームの根本側から先端側へかけて、電気ケーブル以外に、空圧印加用のエアホースや油圧ホースを配線する必要が生じることがある。かかるケーブルやホース類を関節部に配線した場合、ケーブルの折れ曲がりや断線を生じるおそれがある。そのため、ケーブルやホース類をロボットアーム類の関節部よりも基端寄りの位置で一旦外側に出し、関節部の外側空間にケーブルを配置し、関節部よりも先端寄りとなる位置で再びアーム内に導入するといった配線手法が採用されている。しかしながら、ロボットアームの外側空間にケーブルを配置する手法では、ロボットアームの関節部周囲にケーブルを弛ませるための空間が必要になる。
また、たとえば特許文献1には、ロボットアームの関節部における関節回転中心位置に支持棒を設け、その支持棒にケーブルを巻回し、そのケーブルが予め巻かれた支持棒をロボットアームの内部に収納することで、ケーブルの折れ曲がりや断線を防止する構造が開示されている。しかしながら、支持棒を別途設けることによる重量増加による機能低下(動作速度・精度等)が生じるおそれがある。その機能低下を補うためにスペックの高いモーター等を用いたり、必要部材が増える場合もあるが、その場合には、製造コストが増加してしまう。さらにはケーブルの収納部の構造が複雑になるため、ロボットアーム組み立て時のケーブルの配線、メンテナンス等で分解し、ケーブルを取り出し、交換する際に非常に煩雑になるという問題がある。このことから、ロボットアームにおいても、このような問題を回避できる伸縮可能な電気伝送部材に対する要求が高まっている。
そのような電気伝送部材に対する要求に対応するものとしては、たとえば特許文献2に開示の技術がある。かかる特許文献2には、治具に所望のRで形成されたピンをフレキシブルプリント基板が通せる間隔で複数本配置し、その治具へ一定テンションを加えながらフレキシブルプリント基板を通すことで、加熱成形する方法が記載されている。
また、特許文献2には、フレキシブルプリント基板の構造に関して、片面側のみに導体層を有する片面フレキシブルプリント基板の他に、導体層が3層となっている3層フレキシブルプリント基板についても開示している。3層フレキシブルプリント基板を用いる用途としては、一般的に、内層に特性インピーダンス整合された信号線を配置し、外層をGND(グランド)とした、いわゆるストリップライン伝送路がある。たとえば、上述した可動部の先端側にイメージセンサを取り付け、高精細な動画データ等の大容量データを伸縮可能なフレキシブルプリント基板を介して伝送する際に必要とされていて、外部からのノイズを遮断し、高品位な信号伝送と伸縮性を両立することを狙ったものである。
また、特許文献3には、フレキシブルプリント基板の外層のグランドを、ベタ塗り状態のベタGNDとすることに代えてメッシュ構造として、屈曲部へ応力集中が生じるのを緩和する構成が開示されている。
特開平8−57792号公報 特開2011−233822号公報 特開2009−176901号公報
ところで、特許文献2に開示のようなストリップライン伝送路では、外層がベタGNDであるため、さらにその外層にはめっき被膜も存在している。そのため、フレキシブルプリント基板としては固い。そのため、治具に対する追従性も悪く、複数の曲げ部分が存在するプリーツ形状に成形することが困難となっている。特に、外層側はプリーツ形状への成形時の曲げ応力が大きく、またプリーツ形状における曲げ部分においては1000回以内の伸縮で断線してしまう可能性が高い。そのため、断線したフレキシブルプリント基板を頻繁に交換する必要があり、メンテナンスコストが掛かるものとなっている。また、上記のフレキシブルプリント基板を生産設備に用いている場合には、断線によって生産が中断してしまうという問題もある。
そこで、特許文献2に開示のようなストリップライン伝送路において、特許文献3に開示のように、フレキシブルプリント基板の外層をメッシュ構造とすることが考えられる。しかしながら、特許文献2の構成に、特許文献3の構成を適用した場合、プリーツ形状となっている部分で信号線同士が近接する。そして、その近接によって電気的な干渉が生じて、特性インピーダンスが変動する虞がある。
本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、電気的な特性を維持した状態で、繰り返して伸縮させた場合でも容易には断線しないフレキシブルプリント基板、およびフレキシブルプリント基板の製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の第1の観点によると、信号ラインと、この信号ラインを両側から覆うと共に熱可塑性樹脂を材質とする絶縁層と、それぞれの絶縁層を挟んで信号ラインと対向する一対のグランド層とを備えることで、少なくとも1組のストリップライン伝送路を有するフレキシブルプリント基板であって、複数個所に湾曲している湾曲部が成形されており、その湾曲部が開くまたは閉じるように湾曲するプリーツ部分を備え、グランド層には、開口部を囲むように導電部分が存在することで導電部分がメッシュ状に設けられているメッシュグランド層と、導電部分が面状に設けられているベタグランド層とが設けられていて、メッシュグランド層は湾曲部の外周側に配置されていると共に、ベタグランド層は湾曲部の内周側に配置されている、ことを特徴とするフレキシブルプリント基板が提供される。
また、本発明の他の側面は、上述の発明において、プリーツ部分は、湾曲部のカーブの向きが交互に切り替わることで蛇腹状に設けられていて、メッシュグランド層は、信号ラインの表面側と裏面側に交互に存在する状態で湾曲部の外周側に配置されている、ことが好ましい。
さらに、本発明の他の側面は、上述の発明において、プリーツ部分は、湾曲部のカーブの向きが交互に切り替わることで蛇腹状に設けられていて、メッシュグランド層は、信号ラインの表面側か裏面側のいずれか一方に存在する状態で湾曲部の外周側に配置されている、ことが好ましい。
また、本発明の他の側面は、上述の発明において、絶縁層は、熱可塑性樹脂であるLCP(Liquid Crystal Polymer)を材質として形成されている、ことが好ましい。
さらに、本発明の他の側面は、上述の発明において、湾曲部に位置するグランド層には、層間接続用のめっき被膜が形成されていない、ことが好ましい。
また、本発明の第2の観点によると、信号ラインと、この信号ラインを両側から覆うと共に熱可塑性樹脂を材質とする絶縁層と、それぞれの絶縁層を挟んで信号ラインと対向する一対のグランド層とを備えることで、少なくとも1組のストリップライン伝送路を有するフレキシブルプリント基板の製造方法であって、絶縁層の両面にベース銅箔層を有する両面銅張積層板のうち、少なくとも1本の信号ラインを一方の面側のベース銅箔層に形成する第1工程と、絶縁層の片面にベース銅箔層を有する片面銅張積層板を、積層接着材を介して積層する第2工程と、第2工程により形成された中間生成物の所定部位に対して、貫通孔を形成する第3工程と、貫通孔およびその開口周囲に導電被膜を形成して、導電スルーホールを形成する第4工程と、第4工程で形成された中間生成物のうち、信号ラインと対向するベース銅箔層に対してパターニングを行うことで、いずれか一方の面側に開口部を囲むように導電部分が存在するメッシュグランド層を形成し、その反対の面側に導電部分が面状に設けられているベタグランド層を形成する第5工程と、メッシュグランド層およびベタグランド層のうち、少なくとも加熱成形後に湾曲される湾曲部に対し、接着材層を介して絶縁樹脂層で被覆させる第6工程と、第6工程で形成された加熱成形前のフレキシブルプリント基板に対し、複数の部位を湾曲させた状態で加熱成形を行い、その加熱成形の後に、メッシュグランド層が外周側に位置する複数の湾曲部が存在するプリーツ部分を形成する第7工程と、を備えることを特徴とするフレキシブルプリント基板の製造方法が提供される。
本発明によると、フレキシブルプリント基板は、電気的な特性を維持した状態で、繰り返して伸縮させた場合でも容易には断線しない状態となる。
本発明の一実施の形態に係り、成形前の第1構成例のフレキシブルプリント基板の構成を示す平面図である。 成形前後におけるフレキシブルプリント基板の断面図であり、図1のA−A線に沿って切断した状態を示す図である。 成形前後におけるフレキシブルプリント基板の断面図であり、図1のB−B線に沿って切断した状態を示す図である。 成形前後におけるフレキシブルプリント基板の断面図であり、図1のC−C線に沿って切断した状態を示す図である。 成形前後におけるフレキシブルプリント基板の断面図であり、図1のD−D線に沿って切断した状態を示す図である。 成形後のフレキシブルプリント基板の形状を示す側面図である。 信号ラインの幅の変化のイメージを示す平面図である。 図1の変形例に対応する、成形前のフレキシブルプリント基板の第2構成例を示す平面図である。 第2構成例における成形後のフレキシブルプリント基板の形状を示す側面図である。 第2構成例に係るフレキシブルプリント基板を、ロボット等のアームの関節等のような外部装置の回動部位に適用したイメージを示す図であり、2つのアームが水平状態を保っている状態を示す図である。 図10における2つのアームが回動した状態を示す図である。 第1工程に係り、図1および図8のA−A断面において信号ラインや受けランドが形成された状態を示す図である。 第1工程に係り、図1および図8のB−B断面、C−C断面、D−D断面において信号ラインが形成された状態を示す図である。 第2工程に係り、図1および図8のA−A断面において、両面銅張積層板に片面銅張積層板が積層される様子を示す図である。 第2工程に係り、図1および図8のB−B断面、C−C断面、D−D断面において、両面銅張積層板に片面銅張積層板が積層される様子を示す図である。 第3工程に係り、図1および図8のA−A断面において、導電スルーホールを形成した状態を示す図である。 第3工程に係り、図1および図8のB−B断面、C−C断面、D−D断面における構成を示す側断面図である。 第4工程に係り、図1および図8のA−A断面において、貫通孔に導電被膜を形成するための導電被膜層を形成した状態を示す図である。 第5工程に係り、図1および図8のA−A断面においてパターニングがなされた状態を示す図である。 第5工程に係り、図1および図8のB−B断面においてパターニングがなされた状態を示す図である。 図1および図8のC−C断面においてパターニングがなされた状態を示す図である。 図1および図8のD−D断面においてパターニングがなされた状態を示す図である。 第6工程に係り、カバー層が形成されたときの図1および図8のA−A断面における構成を示す図である。 第6工程に係り、図1および図8のB−B断面においてカバー層が形成された状態を示す図である。 図1および図8のC−C断面においてカバー層が形成された状態を示す図である。 図1および図8のD−D断面においてカバー層が形成された状態を示す図である。 第7工程に係り、治具に成形前のフレキシブルプリント基板をセットした状態を示す図である。 従来構成のフレキシブルプリント基板の構成を示す平面図である。 従来構成のフレキシブルプリント基板の断面図であり、図28のA−A線に沿って切断した状態を示す図である。 従来構成のフレキシブルプリント基板の断面図であり、図28のB−B線に沿って切断した状態を示す図である。
以下、本発明の一実施の形態に係るフレキシブルプリント基板10について、以下に説明する。以下の説明においては、XYZ直交座標系を用いて説明することがある。そのうち、X方向はフレキシブルプリント基板10の長手方向とし、X1側は図1の右側、X2側は左側とする。また、Y方向はフレキシブルプリント基板10の幅方向とし、Y1側は図1における紙面手前側、Y2側は紙面奥側とする。また、Z方向はフレキシブルプリント基板10の厚み方向とし、Z1は図2における紙面奥側、Z2は紙面手前側とする。
<フレキシブルプリント基板について>
図1は、成形前のフレキシブルプリント基板10の構成を示す平面図である。図2は、成形前後におけるフレキシブルプリント基板10の断面図であり、図1のA−A線に沿って切断した状態を示す図である。図3は、成形前後におけるフレキシブルプリント基板10の断面図であり、図1のB−B線に沿って切断した状態を示す図である。図4は、成形前後におけるフレキシブルプリント基板10の断面図であり、図1のC−C線に沿って切断した状態を示す図である。図5は、成形前後におけるフレキシブルプリント基板10の断面図であり、図1のD−D線に沿って切断した状態を示す図である。
図1から図5に示すように、本実施の形態におけるフレキシブルプリント基板10は、多層フレキシブルプリント基板の一種である3層フレキシブルプリント基板であり、導体部分が3層存在する構成となっている。具体的には、フレキシブルプリント基板10は、内層側に信号ライン20を有している。信号ライン20は、後述するような製造方法により、高速伝送用に特性インピーダンスが整合されるように、信号を伝達する銅箔部分をエッチング等で除去することで形成された部分である。
なお、図1に示すように、フレキシブルプリント基板10は、細長い形状に設けられている。本実施の形態では、フレキシブルプリント基板10は、たとえば幅(Y方向の寸法)が5mm、成形前の長さ(X方向の寸法)が400mmとなっている。ただし、後述する図6に示すように、湾曲部PL2の半径が1mmとなるようにプリーツ状(蛇腹状)に成形すると、長さがたとえば約150mmとなっている。しかしながら、寸法例は、これに限られるものではなく、種々の寸法に設定することが可能である(後述の寸法例においても同様)。
また、図1に示すように、フレキシブルプリント基板10には、その表裏に露出している信号パッド11が設けられている。すなわち、信号パッド11は、後述するカバー層80,90で覆われずに、表面側および裏面側でそれぞれ外部に露出している。信号パッド11は、信号ライン20に対して電気的に層間接続されて、信号ライン20に信号を入力または出力するための部分である。そのため、この信号パッド11には、導電スルーホール12が電気的に接続されている。導電スルーホール12は、フレキシブルプリント基板10を貫通する貫通孔12aと、その貫通孔12aの内壁側に形成されているめっき等の導電被膜12bとを有していて、この導電被膜12bを介して信号パッド11が信号ライン20と電気的に接続されている。
また、フレキシブルプリント基板10には、上述の信号パッド11と同様に、フレキシブルプリント基板10の表裏において、後述するカバー層80,90で覆われずに露出しているGNDパッド13も設けられている。GNDパッド13も、表裏側の2つのグランド層60,70に対して導電スルーホール14を介して電気的に層間接続されている。なお、導電スルーホール14も、上述の導電スルーホール12と同様に、フレキシブルプリント基板10を貫通する貫通孔14aと、その貫通孔14aの内壁側に形成されているめっき等の導電被膜14bとを有していて、この導電被膜14bを介してGNDパッド13とグランド層60,70とが電気的に接続されている。
なお、導電スルーホール12,14の直径としては、たとえば25μmとするものがある。
図3に示すように、信号ライン20は、絶縁層30に積層されている。さらに、信号ライン20および絶縁層30の上面側には、接着材層50を介して絶縁層40が積層されている。本実施の形態では、絶縁層30,40は、たとえばLCP(Liquid Crystal Polymer:LCP)等の熱可塑性樹脂を材質としている。また、接着材層50は、接着性を有すると共に、電気的な絶縁性を有する部分である。なお、絶縁層30,40の厚みとしては、たとえば25μmとするものがある。また、接着材層50の厚みとしては、たとえば15μmとするものがある。
また、図3に示すように、絶縁層30の上面側には、グランド層60が設けられている。さらに、絶縁層40の下面側にも、グランド層70が設けられている。グランド層60,70は、たとえば銅箔を材質とした導電部分である。かかるグランド層60,70が信号ライン20の上下両面に存在し、さらにこの信号ライン20を絶縁層30,40といった絶縁体が覆うことにより、電磁波を伝播するストリップ伝送路が構成される。
なお、信号ライン20、およびグランド層60,70の厚みとしては、たとえば12μmとするものがある。
グランド層60,70は、ベタグランド層61,71と、メッシュグランド層62,72を有している。ベタグランド層61,71は、図3に示すように、グランド層60,70のうち幅方向(Y方向)において一様な厚みを有する部分である。一方、メッシュグランド層62,72は、ベタグランド層61,71とは異なり、銅箔等の導電部分62a,72aが、メッシュ形状(網目形状)に形成された部分である。すなわち、図1、図4および図5に示すように、メッシュグランド層62,72は、導電部分62a,72aの存在しない(導電部分62a,72aの除去された)開口部62b,72bの周囲を、その導電部分62a,72aが囲むように設けられている。それにより、メッシュグランド層62,72は、メッシュ形状(網目形状)に設けられている。
上述の開口部62b,72bは多数設けられていて、また同一形状の開口部62b,72bが、所定の方向およびそれに直交する方向に配列されている。したがって、開口部62b,72bを囲むように設けられる導電部分62a,72bも、規則的なパターンを形成している。
本実施の形態では、開口部62b,72bは、正方形または菱形に設けられている。したがって、メッシュグランド層62,72の1単位(1要素)も正方形状または菱形形状となっている。しかしながら、開口部62b,72bは、正方形または菱形以外の形状であっても良い。たとえば、長方形状でも良く、円形状でも良く、その他、三角形状を始めとする多角形状、長円形状、楕円形状でも良く、その他の規則的または不規則的な種々の形状を採用することができる。
なお、フレキシブルプリント基板10におけるメッシュグランド層62,72の配置については後述する。また、メッシュグランド層62,72においては、開口部62b,72bは、信号ライン20で伝送を想定している電磁波の波長よりも小さな開口寸法となっている。
以上のような、ベタグランド層61,71とメッシュグランド層62,72を有するグランド層60,70層に対して、それぞれカバー層80,90が覆うように配置されている(図3から図5を参照)。すなわち、グランド層60の上面側には、カバー層80が設けられていて、このカバー層80がグランド層60を覆っている。また、グランド層70の下面側には、カバー層90が設けられていて、このカバー層90がグランド層70を覆っている。
カバー層80,90は、たとえばLCP(Liquid Crystal Polymer:LCP)等の熱可塑性樹脂を材質とする絶縁樹脂層81,91を有すると共に、接着性および電気的な絶縁性を有する接着材層82,92を有している。なお、絶縁樹脂層81,91の厚みとしては、たとえば12μmの厚みのグランド層60,70に対して、たとえば25μmとするものがあり、接着材層82,92の厚みとしては、たとえば15μmとするものがある。この場合、層間剥離(デラミネーション)等の問題がなく貼り合わせが行える状態となっている。
<メッシュグランド層62,72の配置(第1構成例)について>
次に、フレキシブルプリント基板10におけるメッシュグランド層62,72の配置における、第1構成例について説明する。図1に示すように、メッシュグランド層62,72は、フレキシブルプリント基板10の表面側と、裏面側に、交互に存在するように設けられている。すなわち、図1のC−C線付近では、図4に示すように、メッシュグランド層62,72は、フレキシブルプリント基板10の表面側に配置されている。一方、図1のD−D線付近では、図5に示すように、メッシュグランド層62,72は、フレキシブルプリント基板10の裏面側に配置されている。
以上のような配置を、図6に基づいて説明する。図6は、成形後のフレキシブルプリント基板10の形状を示す側面図である。図6に示すように、成形後のフレキシブルプリント基板10は、プリーツ状(蛇腹状)に形成されたプリーツ部分PLを有している。プリーツ部分PLには、直線部PL1と湾曲部PL2とが設けられている。そして、湾曲部PL2が変形することにより、成形後のフレキシブルプリント基板10においては、プリーツ部分PLにて、短く畳んだり長く展開することが可能となっている。すなわち、成形後のフレキシブルプリント基板10においては、プリーツ部分PLの存在により、その全長が伸縮可能に設けられている。また、成形後のフレキシブルプリント基板10は、プリーツ部分PLの存在により、各方向へ曲がるような変形も容易に行える。
ここで、メッシュグランド層62,72は、プリーツ部分PLの湾曲部PL2のうち、湾曲部PL2が描くカーブの外周側に位置している。しかも、図6に示す成形後のフレキシブルプリント基板10の側面に沿って進行すると、湾曲部PL2の描くカーブの向きは、交互に切り替わるように設けられている。図6では、フレキシブルプリント基板10に沿って進行すると、湾曲部PL2の描くカーブの向きは、交互に切り替わるように設けられている。そのため、メッシュグランド層62,72は、図1に示すように、フレキシブルプリント基板10の表面側と、裏面側に、交互に存在するように設けられている。
なお、図6におけるB−B線の部位が図3に対応し、C−C線の部位が図4に対応し、D−D線の部位が図5に対応している。
ここで、メッシュグランド層62,72が、湾曲部PL2が描くカーブの内周側に存在している場合、プリーツ部分PLにおいて信号ライン20同士が対向する部位では、電気的な干渉が多少なりとも生じる場合がある。なぜなら、メッシュグランド層62,72の開口部62b,72bが、互いに向かい合う位置関係となる部分が存在するからである。
しかしながら、本実施の形態のように、メッシュグランド層62,72が、湾曲部PL2の外周側に存在し、湾曲部PL2の内周側にはベタグランド層61,71が存在している場合、メッシュグランド層62,72の開口部62b,72bが、互いに向かい合う位置関係となる部分が存在しない。そのため、信号ライン20同士の電気的な干渉を防ぐことができ、またフレキシブルプリント基板10における特性インピーダンスの変動も防止できる。
加えて、本実施の形態のように、メッシュグランド層62,72が、湾曲部PL2が描くカーブの外周側に存在している場合、フレキシブルプリント基板10をプリーツ状(蛇腹状)に成形する際の曲げ応力を小さくすることができる。しかも、曲げ応力が小さくなるので、フレキシブルプリント基板10を繰り返し伸縮する場合の耐久性も確保された構造となる。さらに、フレキシブルプリント基板10においては、電磁波を伝播するストリップ伝送路が構成されているので、外部からのノイズを遮断する機能も損なわれていない。
なお、以上のような構成のフレキシブルプリント基板10では、特性インピーダンスが50Ωとなる信号ライン20の線幅(図7における寸法A)は、図2に示すA−A線に沿った断面および図3に示すB−B線に沿った断面で35μmとなっている。また、図4に示すC−C線に沿った断面および図5に示すD−D線に沿った断面では、信号ライン20の線幅(図7における寸法B)は、メッシュグランド層62,72の開口率(銅箔を除去する比率)にも依るものの、開口率75%としたときには、特性インピーダンスが50Ωとなる線幅は50μmとなっている。
また、上記のように開口率75%となるメッシュグランド層62,72の寸法例としては、導電部分62aの線幅を120μm、開口の縦横寸法を800μmとするものがある。
図7は、信号ライン20の幅の変化のイメージを示す平面図である。図7や上述の寸法例におけるように、メッシュグランド層62,72の存在する部位と、それが存在しない部位とでは、信号ライン20の線幅が異なっている。そのため、信号ライン20の線幅が異なる部位が不連続とならないように、線幅が連続的に変化する橋渡し部63,73が設けられている。橋渡し部63,73は、その長さ(図7における寸法C)がたとえば0.5mm程度となっており、メッシュグランド層62,72の存在する部位から存在しない部位に向かい連続的に線幅が変化するように設けられている。なお、図7に示す構成では、X方向に向かうにつれて線幅は比例的に変化しているが、比例的以外の変化としても良い。
ただし、信号ライン20の線幅は、メッシュグランド層62,72が存在する部位と存在しない部位との中間的な線幅で統一しても良い。そのような寸法例としては、たとえば40μmとするものがある。かかる寸法例の中間的な線幅でも、5GHz程度までの周波数帯までは、上記のような橋渡し部63,73が存在するものと同等の伝送特性となっていることが確認されている。
なお、かかる第1構成例のフレキシブルプリント基板10においては、湾曲部PL2の外周側にメッシュグランド層62,72が配置されているので、その湾曲部PL2の外周側は、変形し易くなる。一方で、湾曲部PL2の内周側には、ベタグランド層61,71が配置されている。したがって、メッシュグランド層62,72は、圧縮されるように容易に変形し、それによって信号ライン20には圧縮応力を生じさせることが可能となっている。
<メッシュグランド層62,72の配置(第2構成例)について>
次に、フレキシブルプリント基板10におけるメッシュグランド層62(メッシュグランド層72)の配置における、第2構成例について説明する。図8は、図1の変形例に対応する、成形前のフレキシブルプリント基板10の第2構成例を示す平面図である。なお、以下の第2構成例におけるフレキシブルプリント基板10の説明においては、第1構成例におけるフレキシブルプリント基板10と共通する部分については、その説明を省略する。
図8に示すように、第2構成例におけるフレキシブルプリント基板10は、図1に示すような第1構成例におけるフレキシブルプリント基板10に対し、ほとんどの部分で構成が共通している。しかしながら、第2構成例のフレキシブルプリント基板10では、メッシュグランド層62(メッシュグランド層72)の配置が、第1構成例のフレキシブルプリント基板10に対して異なっている。
図9は、第2構成例における成形後のフレキシブルプリント基板10の形状を示す側面図である。図8および図9に示すように、第2構成例においては、成形後のフレキシブルプリント基板10のプリーツ部分PLのうち、右曲りの湾曲部PL2の外周側か、または左曲りの湾曲部PL2の外周側に、メッシュグランド層62,72が配置されている。そのため、メッシュグランド層62(メッシュグランド層72)は、ある湾曲部PL2には設けられているが、その隣の湾曲部PL2には設けられていない、というような1つおき(1つ飛び)となる状態で、湾曲部PL2の外周側に設けられている。
なお、図9から図11では、メッシュグランド層72のみが存在し、メッシュグランド層62は存在しない構成が示されているが、メッシュグランド層62のみが存在し、メッシュグランド層72が存在しない構成を採用しても良いのは勿論である。
そのため、第2構成例のフレキシブルプリント基板10は、第1構成例のような、フレキシブルプリント基板10の表面側と、裏面側に、交互にメッシュグランド層62,72が存在する構成とは大幅に異なっている。すなわち、第2構成例のフレキシブルプリント基板10では、フレキシブルプリント基板10の表面側(上面側)のみにメッシュグランド層62が存在するか、またはフレキシブルプリント基板10の裏面側(下面側)のみにメッシュグランド層72が存在するかのいずれか、となっている。
かかる第2構成例のフレキシブルプリント基板10においても、図9から明らかなように、メッシュグランド層72(または図9等以外の構成ではメッシュグランド層62;以下同様)は、湾曲部PL2が描くカーブの外周側に存在している。そのため、メッシュグランド層72(メッシュグランド層62)の開口部72b(開口部72b)が、互いに向かい合う位置関係となる部分が存在しない。それにより、信号ライン20同士の電気的な干渉を防ぐことができ、またフレキシブルプリント基板10における特性インピーダンスの変動も防止できる。
図10は、第2構成例に係るフレキシブルプリント基板10を、ロボット等のアームの関節等のような外部装置の回動部位に適用したイメージを示す図であり、2つのアームが水平状態を保っている状態を示す図である。また、図11は、図10における2つのアームが回動した状態を示す図である。なお、図10および図11に示す適用例では、メッシュグランド層72は、回動部位の内径側の湾曲部PL2に位置している。すなわち、回動部位の外径側の湾曲部PL2に位置するメッシュグランド層62が存在しない構成となっている。
図10に示すように、第2構成例のフレキシブルプリント基板10を、回動部位に沿わせる場合、内径側(内側)に位置している湾曲部PL2が大きく開くように変形する。そのため、内径側(内側)の湾曲部PL2の外周側(すなわち最も内径に位置する側)にメッシュグランド層72を配置することで、この内径側(内側)に位置している湾曲部PL2は、容易に大きく開くように変形する。
このとき、内径側における湾曲部PL2においては、外周側のメッシュグランド層72は、圧縮応力の作用によって大きく変形するが、内周側のベタグランド層61には、引っ張り応力が作用するものの、内周側のベタグランド層61は、外周側のメッシュグランド層72よりも変形し難い。そのため、応力の中立軸は、外周側に移動して内周側から離れる。それにより、信号ライン20には、引っ張り応力ではなく圧縮応力が作用する。
なお、図11に示すように、外径側(外側)に位置している湾曲部PL2は、閉じるように変形する。しかし、外径側(外側)に位置している湾曲部PL2においては、その内周側および外周側の双方に、ベタグランド層61が設けられている。そのため、外径側(外側)に位置している湾曲部PL2においては、閉じる向きの変形は、メッシュグランド層72における開くような変形と比較して、小さなものとなる。すなわち、図11に示すように、メッシュグランド層72の有無の相違により、内径側(内側)に位置している湾曲部PL2は、選択的に大きく開くように変形するが、外径側(外側)に位置している湾曲部PL2は小さくしか変形しない。
以上のような構成により、ロボット等のアームの関節等のような外部装置の回動部位に第2構成例のフレキシブルプリント基板10を用いることで、動作時に信号ライン20に作用する応力を小さくすることができ、また繰り返し動作に耐える構造となる。
<フレキシブルプリント基板10の製造方法について>
続いて、第1構成例および第2構成例におけるフレキシブルプリント基板10の製造方法について、以下に説明する。なお、以下の説明においては、第1工程から第7工程について順次記載するが、各実施の形態におけるフレキシブルプリント基板10の製造方法では、これ以外の種々の工程が存在していても良いのは勿論である。
(1)第1工程:信号ライン20の形成
図12は、第1工程に係り、図1および図8のA−A断面において信号ライン20や受けランド21が形成された状態を示す図である。図13は、第1工程に係り、図1および図8のB−B断面、C−C断面、D−D断面において信号ライン20が形成された状態を示す図である。図12および図13に示すように、絶縁層30の両面にベース銅箔層101,102を有する両面銅張積層板100を用意する。そして、後に内層側に位置することになる信号ライン20や、導電スルーホール12,14の受けランド21を、エッチング等の通常のフォトファブリケーション手法を用いて形成する。それにより、図12および図13に示すような中間生成物C1が形成される。
(2)第2工程:片面銅張積層板200の積層
図14は、第2工程に係り、図1および図8のA−A断面において、両面銅張積層板100に片面銅張積層板200が積層される様子を示す図である。図15は、第2工程に係り、図1および図8のB−B断面、C−C断面、D−D断面において、両面銅張積層板100に片面銅張積層板200が積層される様子を示す図である。
図14および図15に示すように、片面銅張積層板200と積層接着材300を用意する。そして、積層接着材300を絶縁層30の上面側を覆うように貼り付け、その後に、積層接着材300の上面側に片面銅張積層板200を貼り付ける。片面銅張積層板200は、絶縁層40を備え、その一方側の面(上面)にはベース銅箔層201が設けられている。なお、貼り付け後の生成物を、中間生成物C2とする。
積層接着材300は、貼付後に接着材層50となる部分である。かかる積層接着材300としては、後に成形する際の妨げにならないよう、低弾性のものが好ましい。具体的には、LCPフィルムの弾性係数が3〜4GPa程度であるので、この半分以下の2GPa以下の弾性係数である積層接着材300を用いることで、成形性への影響なく、貼り合わせることが可能である。また、成形時には、200℃程度で、30分程度加熱する。そのため、積層接着材300としては、かかる熱履歴で接着性や電気絶縁特性が著しく劣化しないものが好適である。
(3)第3工程:貫通孔12a,14aの形成
図16は、第3工程に係り、図1および図8のA−A断面において、貫通孔12a,14aを形成した状態を示す図である。図17は、第3工程に係り、図1および図8のB−B断面、C−C断面、D−D断面における構成を示す側断面図である。図16に示すように、中間生成物C2に対して、後に信号パッド11やGNDパッド13と層間接続を行うための貫通孔12a,14aを形成する。かかる孔開け加工は、NCドリルによる加工を行うものとしても良いが、レーザ等による非貫通の有底ビアホールでの層間接続としても良い。なお、かかる孔開け加工後の生成物を、中間生成物C3とする。
(4)第4工程:導電被膜12b,14bの形成
図18は、第4工程に係り、図1および図8のA−A断面において、貫通孔12a,14aに導電被膜12b,14bを形成するための導電被膜層15を形成した状態を示す図である。図18に示すように、孔開け加工後の中間生成物C3において、A−A断面に相当する箇所に、部分めっきを施して、導電被膜12b,14bの元となる導電被膜層15を形成する。それにより、3層間が電気的に接続された層間導通が得られる。なお、部分めっきによる生成物を、中間生成物C4とする。
(5)第5工程:ベース銅箔層101,102のパターニング
図19は、第5工程に係り、図1および図8のA−A断面においてパターニングがなされた状態を示す図である。図20は、第5工程に係り、図1および図8のB−B断面においてパターニングがなされた状態を示す図である。また、図21は、図1および図8のC−C断面においてパターニングがなされた状態を示す図である。図22は、図1および図8のD−D断面においてパターニングがなされた状態を示す図である。
図19から図22に示すように、導電被膜層15やベース銅箔層101,102に対して、エッチング等の通常のフォトファブリケーション手法を用いて、パターニングがなされ、必要なパターンが形成される。図19〜図22に示すように、かかるパターニングによって形成されるものは、信号パッド11、GNDパッド13、ベタグランド層61,71、メッシュグランド層62,72等のような、フレキシブルプリント基板10において必要なパターンとなっている。なお、パターニングにより得られた生成物を、中間生成物C5とする。
(6)第6工程:カバー層80,90の形成
図23は、第6工程に係り、カバー層80,90が形成されたときの図1および図8のA−A断面における構成を示す図である。図24は、第6工程に係り、図1および図8のB−B断面においてカバー層80,90が形成された状態を示す図である。また、図25は、図1および図8のC−C断面においてカバー層80,90が形成された状態を示す図である。図26は、図1および図8のD−D断面においてカバー層80,90が形成された状態を示す図である。
図23から図26に示すように、中間生成物C5に対して、絶縁樹脂層81,91と接着材層82,92とを備えるカバー層80,90を形成する。かかるカバー層80,90の形成は、中間生成物C5に対して接着材層82,92を貼り付けることにより行う。なお、信号パッド11およびGNDパッド13がカバー層80,90で覆われないようにする必要がある。そのため、カバー層80,90のうち、信号パッド11およびGNDパッド13に対応する部位は、フォトソルダーレジスト等の手法によって微細な開口を設けることも可能である。しかし、それ以外のベタグランド層61,71およびメッシュグランド層62,72は、カバー層80,90で覆われた状態となる。
なお、必要に応じて、カバー層80,90で被覆されていない箇所に無電解金めっき等の表面処理を行うことも可能である。以上のような工程を経て、成形前のフレキシブルプリント基板10が得られる。
(7)第7工程:フレキシブルプリント基板10の加熱成形
図27は、第7工程に係り、治具400に成形前のフレキシブルプリント基板10をセットした状態を示す図である。図27に示すように、治具400には、成形前のフレキシブルプリント基板10が位置合わせされた状態でセットされる。ここで、治具400には、先端固定部材410が設けられている。先端固定部材410には、フレキシブルプリント基板10の先端側を載置する先端受部411が設けられていると共に、図示を省略するフレキシブルプリント基板10の先端側の孔部に差し込まれる掛止ピン412が設けられている。
かかる掛止ピン412に、フレキシブルプリント基板10の先端側の孔部を差し込み、その状態で、治具400の所定位置に配置された治具ピン420に沿うようにフレキシブルプリント基板10を蛇行させつつ、治具400へのフレキシブルプリント基板10のセットを完了する。そのセットの後に、フレキシブルプリント基板10の後端側に一定のテンションを加える。その状態で、オーブン等で加熱することにより、熱可塑性であるLCP材料を含む3層構成のフレキシブルプリント基板10がプリーツ状(蛇腹状)に形成され、フレキシブルプリント基板10は、図6および図9に示すようなプリーツ部分PLを有する状態となる。
ここで、オーブン等での加熱成形は、たとえば200℃で、30分加熱することにより行う。このようにして加熱成形する場合、フレキシブルプリント基板10のセット位置、治具400へのセット時のテンションが安定している状態で加熱成形される。そのため、成形後のフレキシブルプリント基板10においては、製品形状が安定しており、狙い通りに、湾曲部PL2のうち所望する部位の外周側に、メッシュグランド層62,72が配置された状態となる。
なお、上述のように、成形前のフレキシブルプリント基板10の全長が、たとえば400mmである場合、プリーツ部分PLを有する成形後のフレキシブルプリント基板10では、その全長が約150mmとなるものがある。
また、この成形の後に、必要に応じて、フレキシブルプリント基板10のうち、先端固定部材410等で位置決めされる先端側等の不要な部分をカットして、最終製品が完成する。かかる不要部分をカットする方法としては、フレキシブルプリント基板10のうち、掛止ピン412が差し込まれる孔部を流用し、始点側の位置決めを行い、反対側は突き当て等で位置決めする。そして、ピナクルや金型等のカット治具を用いてカットすることが可能である。しかしながら、不要部分のカットは、上述した手法以外の手法を用いても良い。そのような手法としては、たとえばレーザを用いたレーザカットや、ルータビットを用いたルータカット等が挙げられる。
<試験結果について>
以上のようにして形成される、プリーツ部分PLを有するフレキシブルプリント基板10について、伸縮試験を行った結果を、表1に示す。この伸縮試験においては、フレキシブルプリント基板10を繰り返して伸縮させて、その試験中における信号ライン20の断線の有無、試験前後でのフレキシブルプリント基板10の伸び量、試験前後でのフレキシブルプリント基板10の直流抵抗の変動、試験前後での特性インピーダンスの変動を評価した。
また、従来構成および評価のための比較例についても、同様の試験を行った。なお、従来構成とは、図28から図30に示すようなフレキシブルプリント基板10Fが対応する。このフレキシブルプリント基板10Fは、メッシュグランド層62,72が存在しない構成となっている。なお、図28は、従来構成のフレキシブルプリント基板10Fの構成を示す平面図である。図29は、従来構成のフレキシブルプリント基板10Fの断面図であり、図28のA−A線に沿って切断した状態を示す図である。図30は、従来構成のフレキシブルプリント基板10Fの断面図であり、図28のB−B線に沿って切断した状態を示す図である。また、比較例とは、湾曲部PL2の内周側および外周側の双方に、メッシュグランド層62,72が形成された構成が対応する(図示省略)。
この伸縮試験においては、フレキシブルプリント基板10,10Fの全長に対し、50%伸ばすこととし、500万回まで行った。また、この試験後に、伸び量が10%以内であれば、伸びに関する試験は合格とした。また、各構造とも10個用いて試験を行った。
表1の結果から分かるように、第1構成例のフレキシブルプリント基板10と、第2構成例のフレキシブルプリント基板10とは、伸縮試験耐性が高く、また試験後においても電気的な特性の変化も見られないことが確認された。また、特性インピーダンスについては、成形の前後でも変化が見られず、また信号ライン20同士の電気的な干渉の影響が見られないことも確認している。
一方、従来構成においては、1000回以内に、試験を行った10個のいずれについても信号ライン20が断線した。かかる従来構成の評価では、断線している状態ではあるが、伸び率5%以下、抵抗値は断線しているためにOPEN、特性インピーダンスも断線しているために測定不能であった。比較例の構成では、信号ライン20の断線はなく、また直流抵抗の変化率3%以下である。しかし、伸縮の動作中に特性インピーダンスが変化しており、特性インピーダンスは伸びた時と縮んだ時とで10%以上変化することを確認した。以上の結果より、従来構成は断線により用いることができず、また比較例も特性インピーダンスの変動があるために性能が劣ることが確認された。
以上の結果から、本実施の形態における、第1構成例のフレキシブルプリント基板10と、第2構成例のフレキシブルプリント基板10は、高品位な信号伝送と伸縮性の両立が可能であることが判明した。
<効果について>
以上のような構成のフレキシブルプリント基板10およびフレキシブルプリント基板10の製造方法によると、次のような効果が生じる。
すなわち、ストリップライン伝送路を備えるフレキシブルプリント基板10のプリーツ部分PLにおける複数個所の湾曲部PL2は、開くまたは閉じるように変形する。一方で、グランド層60,70には、開口部62b,72bを囲むように導電部分62a,72aが存在することで導電部分62a,72aがメッシュ状となっているメッシュグランド層62,72と、導電部分が面状に設けられているベタグランド層61,71とが設けられている。そして、メッシュグランド層62,72は湾曲部PL2の外周側に配置されていると共に、ベタグランド層61,71は湾曲部PL2の内周側に配置されている。
このため、湾曲部PL2においては、メッシュグランド層62,72が湾曲部PL2の外周側に存在しているので、フレキシブルプリント基板10をプリーツ状(蛇腹状)に成形する際の曲げ応力を小さくすることができる。しかも、曲げ応力が小さくなるので、フレキシブルプリント基板10を繰り返し伸縮する場合の耐久性も確保された構造となる。特に、湾曲部PL2の外周側にメッシュグランド層62,72が配置され、かつ湾曲部PL2の内周側にベタグランド層61,71が配置される構成とすることで、メッシュグランド層62,72は、圧縮されるように容易に変形する。それにより、信号ライン20には圧縮応力を生じさせることが可能となり、信号ライン20が断線し難くなる。
さらに、本実施の形態では、フレキシブルプリント基板10においては、電磁波を伝播するストリップ伝送路が構成されているので、外部からのノイズを遮断する機能も損なわれていない。特に、湾曲部PL2では、湾曲部PL2の内周側にはベタグランド層61,71が存在している場合、メッシュグランド層62,72の開口部62b,72bが、互いに向かい合う位置関係となる部分が存在しない。そのため、プリーツ部分PLにおいて直線部PL1同士が互いに近接しても、信号ライン20同士の電気的な干渉を防ぐことができ、またフレキシブルプリント基板10における特性インピーダンスの変動も防止できる。
また、本実施の形態では、第1構成例で説明したように、プリーツ部分PLにおいてメッシュグランド層62,72は、信号ライン20の表面側と裏面側に交互に存在する状態で湾曲部PL2の外周側に配置されている。そのため、フレキシブルプリント基板10は、容易に伸縮することができる。すなわち、第1構成例のフレキシブルプリント基板10においては、伸縮性を向上させることが可能となる。
さらに、本実施の形態では、第2構成例で説明したように、プリーツ部分PLにおいてメッシュグランド層62,72は、信号ライン20の表面側か裏面側のいずれか一方に存在する状態で湾曲部PL2の外周側に配置されている。そのため、ロボット等のアームの関節等のような外部装置の回動部位に第2構成例のフレキシブルプリント基板10を用いることで、動作時に信号ライン20に作用する応力を小さくすることができ、また繰り返し動作に耐える構造となる。
また、本実施の形態では、絶縁層30,40や絶縁樹脂層81,91は、熱可塑性樹脂であるLCP(Liquid Crystal Polymer)を材質として形成されている。このため、加熱成形前のフレキシブルプリント基板10に対して加熱成形を行うと、複数の湾曲部PL2を有するプリーツ部分PLを容易に形成することが可能となる。
さらに、本実施の形態では、湾曲部PL2に位置するグランド層60,70には、層間接続用のめっき被膜が形成されていない構成となっている。このため、湾曲部PL2は曲がり易い状態となっている。
また、本実施の形態では、加熱成形前のフレキシブルプリント基板10を、治具400を用いて加熱成形している。このため、フレキシブルプリント基板10の先端側を先端固定部材410で位置決めし、さらにフレキシブルプリント基板10にテンションを加えた状態で加熱成形することで、位置ずれのない良好なプリーツ部分PLを有するフレキシブルプリント基板10を成形することができる。
<変形例>
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。
上述の実施の形態においては、信号ライン20は、1本のみが示されている。しかしながら、信号ライン20は、1本に限られるものではなく、ストリップライン伝送路を構成するものであれば、2本以上存在しても良い。
また、上述の実施の形態における第2構成例では、ロボット等のアームの関節等のような外部装置の回動部位に対して、その回動部位の内径側の湾曲部PL2にメッシュグランド層72が位置している。すなわち、回動部位の外径側の湾曲部PL2に位置するメッシュグランド層62が存在しない構成となっている。しかしながら、回動部位の外径側の湾曲部PL2に、メッシュグランド層62を配置する構成を採用しても良い。このように構成する場合、外径側の湾曲部PL2は、大きく閉じるように変形するが、その場合でも、従来構成よりは曲げ易く、また信号ライン20に断線が生じ難い構成とすることができる。
なお、第1構成例および第2構成例において、湾曲部PL2の内周側にメッシュグランド層62,72を配置し、湾曲部PL2の外周側にベタグランド層61,71を配置する構成を採用しても良い。この場合にも、従来構成よりは曲げ易く、また信号ライン20に断線が生じ難い構成とすることができる。
また、上述の実施の形態においては、フレキシブルプリント基板10は、同一のピッチで同一の大きさの湾曲部PL2が配置されたプリーツ部分PLを有している。しかしながら、湾曲部PL2が配置されるピッチは、同一でなくても良く、互いに異なるピッチまたは一部が異なるピッチとなるように湾曲部PL2が配置されていても良い。また、ある湾曲部PL2の大きさ(半径等)が、他の湾曲部PL2の大きさ(半径等)に対して、異なっていても良い。また、あるピッチや大きさで複数の湾曲部PL2が配置されているものに対して、別のピッチや大きさで複数の湾曲部PL2が配置されているものを組み合わせても良い。
10,10F…フレキシブルプリント基板、11…信号パッド、12…導電スルーホール、12a…貫通孔、12b…導電被膜、13…GNDパッド、14…導電スルーホール、14a…貫通孔、14b…導電被膜、15…導電被膜層、20…信号ライン、21…受けランド、30,40…絶縁層、50…接着材層、60,70…グランド層、61,71…ベタグランド層、62,72…メッシュグランド層、62a,72a…導電部分、62b,72b…開口部、63…橋渡し部、80,90…カバー層、81,91…絶縁樹脂層、82,92…接着材層、100…両面銅張積層板、101…ベース銅箔層、200…片面銅張積層板、201…ベース銅箔層、300…積層接着材、400…治具、410…先端固定部材、411…先端受部、412…掛止ピン、420…治具ピン、C1〜C5…中間生成物、PL…プリーツ部分、PL1…直線部、PL2…湾曲部

Claims (6)

  1. 信号ラインと、この信号ラインを両側から覆うと共に熱可塑性樹脂を材質とする絶縁層と、それぞれの前記絶縁層を挟んで前記信号ラインと対向する一対のグランド層とを備えることで、少なくとも1組のストリップライン伝送路を有するフレキシブルプリント基板であって、
    複数個所に湾曲している湾曲部が成形されており、その湾曲部が開くまたは閉じるように湾曲するプリーツ部分を備え、
    前記グランド層には、開口部を囲むように導電部分が存在することで前記導電部分がメッシュ状に設けられているメッシュグランド層と、導電部分が面状に設けられているベタグランド層とが設けられていて、
    前記メッシュグランド層は前記湾曲部の外周側に配置されていると共に、前記ベタグランド層は前記湾曲部の内周側に配置されている、
    ことを特徴とするフレキシブルプリント基板。
  2. 請求項1記載のフレキシブルプリント基板であって、
    前記プリーツ部分は、前記湾曲部のカーブの向きが交互に切り替わることで蛇腹状に設けられていて、
    前記メッシュグランド層は、前記信号ラインの表面側と裏面側に交互に存在する状態で前記湾曲部の外周側に配置されている、
    ことを特徴とするフレキシブルプリント基板。
  3. 請求項1記載のフレキシブルプリント基板であって、
    前記プリーツ部分は、前記湾曲部のカーブの向きが交互に切り替わることで蛇腹状に設けられていて、
    前記メッシュグランド層は、前記信号ラインの表面側か裏面側のいずれか一方に存在する状態で前記湾曲部の外周側に配置されている、
    ことを特徴とするフレキシブルプリント基板。
  4. 請求項1から3のいずれか1項に記載のフレキシブルプリント基板であって、
    前記絶縁層は、熱可塑性樹脂であるLCP(Liquid Crystal Polymer)を材質として形成されている、
    ことを特徴とするフレキシブルプリント基板。
  5. 請求項1から3のいずれか1項に記載のフレキシブルプリント基板であって、
    前記湾曲部に位置する前記グランド層には、層間接続用のめっき被膜が形成されていない、
    ことを特徴とするフレキシブルプリント基板。
  6. 信号ラインと、この信号ラインを両側から覆うと共に熱可塑性樹脂を材質とする絶縁層と、それぞれの前記絶縁層を挟んで前記信号ラインと対向する一対のグランド層とを備えることで、少なくとも1組のストリップライン伝送路を有するフレキシブルプリント基板の製造方法であって、
    前記絶縁層の両面にベース銅箔層を有する両面銅張積層板のうち、少なくとも1本の前記信号ラインを一方の面側の前記ベース銅箔層に形成する第1工程と、
    前記絶縁層の片面にベース銅箔層を有する片面銅張積層板を、積層接着材を介して積層する第2工程と、
    前記第2工程により形成された中間生成物の所定部位に対して、貫通孔を形成する第3工程と、
    前記貫通孔およびその開口周囲に導電被膜を形成して、導電スルーホールを形成する第4工程と、
    前記第4工程で形成された中間生成物のうち、前記信号ラインと対向する前記ベース銅箔層に対してパターニングを行うことで、いずれか一方の面側に開口部を囲むように導電部分が存在するメッシュグランド層を形成し、その反対の面側に導電部分が面状に設けられているベタグランド層を形成する第5工程と、
    前記メッシュグランド層および前記ベタグランド層のうち、少なくとも加熱成形後に湾曲される湾曲部に対し、接着材層を介して絶縁樹脂層で被覆させる第6工程と、
    前記第6工程で形成された加熱成形前のフレキシブルプリント基板に対し、複数の部位を湾曲させた状態で加熱成形を行い、その加熱成形の後に、前記メッシュグランド層が外周側に位置する複数の湾曲部が存在するプリーツ部分を形成する第7工程と、
    を備えることを特徴とするフレキシブルプリント基板の製造方法。
JP2014123753A 2014-06-16 2014-06-16 フレキシブルプリント基板およびフレキシブルプリント基板の製造方法 Active JP6362444B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014123753A JP6362444B2 (ja) 2014-06-16 2014-06-16 フレキシブルプリント基板およびフレキシブルプリント基板の製造方法
PCT/JP2014/082978 WO2015194069A1 (ja) 2014-06-16 2014-12-12 フレキシブルプリント基板およびフレキシブルプリント基板の製造方法
CN201480012866.2A CN105393645B (zh) 2014-06-16 2014-12-12 柔性印刷电路板和柔性印刷电路板的制造方法
TW104119332A TWI597000B (zh) 2014-06-16 2015-06-16 Method for manufacturing flexible printed circuit board and flexible printed circuit board
US14/870,687 US9743532B2 (en) 2014-06-16 2015-09-30 Flexible printed circuit board and manufacturing method of flexible printed circuit board

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014123753A JP6362444B2 (ja) 2014-06-16 2014-06-16 フレキシブルプリント基板およびフレキシブルプリント基板の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016004875A JP2016004875A (ja) 2016-01-12
JP6362444B2 true JP6362444B2 (ja) 2018-07-25

Family

ID=54935091

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014123753A Active JP6362444B2 (ja) 2014-06-16 2014-06-16 フレキシブルプリント基板およびフレキシブルプリント基板の製造方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9743532B2 (ja)
JP (1) JP6362444B2 (ja)
CN (1) CN105393645B (ja)
TW (1) TWI597000B (ja)
WO (1) WO2015194069A1 (ja)

Families Citing this family (62)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10528135B2 (en) 2013-01-14 2020-01-07 Ctrl-Labs Corporation Wearable muscle interface systems, devices and methods that interact with content displayed on an electronic display
US10152082B2 (en) 2013-05-13 2018-12-11 North Inc. Systems, articles and methods for wearable electronic devices that accommodate different user forms
US10042422B2 (en) 2013-11-12 2018-08-07 Thalmic Labs Inc. Systems, articles, and methods for capacitive electromyography sensors
US20150124566A1 (en) 2013-10-04 2015-05-07 Thalmic Labs Inc. Systems, articles and methods for wearable electronic devices employing contact sensors
US11426123B2 (en) 2013-08-16 2022-08-30 Meta Platforms Technologies, Llc Systems, articles and methods for signal routing in wearable electronic devices that detect muscle activity of a user using a set of discrete and separately enclosed pod structures
US11921471B2 (en) 2013-08-16 2024-03-05 Meta Platforms Technologies, Llc Systems, articles, and methods for wearable devices having secondary power sources in links of a band for providing secondary power in addition to a primary power source
US9674949B1 (en) 2013-08-27 2017-06-06 Flextronics Ap, Llc Method of making stretchable interconnect using magnet wires
US10231333B1 (en) 2013-08-27 2019-03-12 Flextronics Ap, Llc. Copper interconnect for PTH components assembly
US9788789B2 (en) * 2013-08-30 2017-10-17 Thalmic Labs Inc. Systems, articles, and methods for stretchable printed circuit boards
WO2015081113A1 (en) 2013-11-27 2015-06-04 Cezar Morun Systems, articles, and methods for electromyography sensors
US10015880B1 (en) * 2013-12-09 2018-07-03 Multek Technologies Ltd. Rip stop on flex and rigid flex circuits
US9338915B1 (en) 2013-12-09 2016-05-10 Flextronics Ap, Llc Method of attaching electronic module on fabrics by stitching plated through holes
WO2015123445A1 (en) 2014-02-14 2015-08-20 Thalmic Labs Inc. Systems, articles, and methods for elastic electrical cables and wearable electronic devices employing same
US10199008B2 (en) 2014-03-27 2019-02-05 North Inc. Systems, devices, and methods for wearable electronic devices as state machines
US9880632B2 (en) 2014-06-19 2018-01-30 Thalmic Labs Inc. Systems, devices, and methods for gesture identification
JP6470524B2 (ja) * 2014-08-12 2019-02-13 日本メクトロン株式会社 伸縮性フレキシブルプリント基板および伸縮性フレキシブルプリント基板の製造方法
US9807221B2 (en) 2014-11-28 2017-10-31 Thalmic Labs Inc. Systems, devices, and methods effected in response to establishing and/or terminating a physical communications link
US10098225B2 (en) * 2015-03-31 2018-10-09 Industrial Technology Research Institute Flexible electronic module and manufacturing method thereof
US10078435B2 (en) 2015-04-24 2018-09-18 Thalmic Labs Inc. Systems, methods, and computer program products for interacting with electronically displayed presentation materials
JP6710053B2 (ja) * 2016-01-26 2020-06-17 日本メクトロン株式会社 フレキシブルプリント基板およびフレキシブルプリント基板の製造方法
JP6801218B2 (ja) * 2016-05-06 2020-12-16 住友電気工業株式会社 シールド付フレキシブルフラットケーブル及びシールド付フレキシブルフラットケーブルの製造方法
CN105845222B (zh) * 2016-05-17 2017-09-29 上海安费诺永亿通讯电子有限公司 一种软带状传输线
US9842977B2 (en) 2016-06-08 2017-12-12 Raul A. Klein Circuit board and method of manufacture
US11635736B2 (en) 2017-10-19 2023-04-25 Meta Platforms Technologies, Llc Systems and methods for identifying biological structures associated with neuromuscular source signals
US11216069B2 (en) 2018-05-08 2022-01-04 Facebook Technologies, Llc Systems and methods for improved speech recognition using neuromuscular information
US10990174B2 (en) 2016-07-25 2021-04-27 Facebook Technologies, Llc Methods and apparatus for predicting musculo-skeletal position information using wearable autonomous sensors
CN106617424A (zh) * 2016-10-17 2017-05-10 福州领头虎软件有限公司 一种带有电路板的松紧带
US10798819B2 (en) * 2016-10-31 2020-10-06 Commscope, Inc. Of North Carolina Flexible printed circuit to mitigate cracking at through-holes
JP6851813B2 (ja) * 2016-12-22 2021-03-31 東洋アルミニウム株式会社 配線基板
US10288825B2 (en) * 2016-12-23 2019-05-14 Hisense Broadband Multimedia Technologies Co., Ltd. Optical module
CN111165077B (zh) * 2017-10-12 2023-05-16 大日本印刷株式会社 配线基板和配线基板的制造方法
JP6950747B2 (ja) * 2017-11-16 2021-10-13 株式会社村田製作所 樹脂多層基板、電子部品およびその実装構造
CN108270059A (zh) * 2017-12-15 2018-07-10 深圳密卡思科技有限公司 一种用于毫米波芯片的低损耗传输线
MX2020007086A (es) 2018-01-12 2021-01-08 Nortech Systems Inc Tarjeta flexible de circuito impreso.
US11961494B1 (en) 2019-03-29 2024-04-16 Meta Platforms Technologies, Llc Electromagnetic interference reduction in extended reality environments
US11907423B2 (en) 2019-11-25 2024-02-20 Meta Platforms Technologies, Llc Systems and methods for contextualized interactions with an environment
US11150730B1 (en) 2019-04-30 2021-10-19 Facebook Technologies, Llc Devices, systems, and methods for controlling computing devices via neuromuscular signals of users
US11567573B2 (en) 2018-09-20 2023-01-31 Meta Platforms Technologies, Llc Neuromuscular text entry, writing and drawing in augmented reality systems
US11481030B2 (en) 2019-03-29 2022-10-25 Meta Platforms Technologies, Llc Methods and apparatus for gesture detection and classification
US10937414B2 (en) 2018-05-08 2021-03-02 Facebook Technologies, Llc Systems and methods for text input using neuromuscular information
US11493993B2 (en) 2019-09-04 2022-11-08 Meta Platforms Technologies, Llc Systems, methods, and interfaces for performing inputs based on neuromuscular control
US10592001B2 (en) 2018-05-08 2020-03-17 Facebook Technologies, Llc Systems and methods for improved speech recognition using neuromuscular information
US10932361B2 (en) * 2018-06-04 2021-02-23 Industrial Technology Research Institute Circuit board and electronic device
JP7126878B2 (ja) 2018-06-26 2022-08-29 新光電気工業株式会社 配線基板
US10905350B2 (en) 2018-08-31 2021-02-02 Facebook Technologies, Llc Camera-guided interpretation of neuromuscular signals
US11797087B2 (en) 2018-11-27 2023-10-24 Meta Platforms Technologies, Llc Methods and apparatus for autocalibration of a wearable electrode sensor system
JP7318246B2 (ja) * 2019-03-20 2023-08-01 大日本印刷株式会社 配線基板
JP7346069B2 (ja) * 2019-04-25 2023-09-19 キヤノン株式会社 電子機器
CN110385850B (zh) * 2019-07-23 2021-06-22 嘉兴学院 电流体动力学喷印任意三维柔性电子电路图案的方法
KR20210056043A (ko) * 2019-11-08 2021-05-18 삼성전자주식회사 인쇄 회로 기판 및 이를 포함하는 전자 장치
WO2021119934A1 (zh) * 2019-12-16 2021-06-24 瑞声声学科技(深圳)有限公司 传输线以及终端设备
WO2021119943A1 (zh) * 2019-12-16 2021-06-24 瑞声声学科技(深圳)有限公司 传输线以及终端设备
WO2021119942A1 (zh) * 2019-12-16 2021-06-24 瑞声声学科技(深圳)有限公司 传输线以及终端设备
CN111540993B (zh) * 2019-12-16 2022-01-11 瑞声科技(新加坡)有限公司 传输线以及终端设备
CN111430863A (zh) * 2019-12-16 2020-07-17 瑞声科技(新加坡)有限公司 传输线以及终端设备
CN111430864B (zh) * 2019-12-16 2021-07-09 瑞声科技(新加坡)有限公司 传输线以及终端设备
US11696390B2 (en) * 2020-06-24 2023-07-04 Qualcomm Incorporated Systems for shielding bent signal lines
US11765822B1 (en) * 2020-09-03 2023-09-19 Marvell Asia Pte Ltd Printed circuit boards with meshed conductive structures
CN112388185B (zh) * 2020-11-23 2022-09-30 西安中科微精光子科技股份有限公司 针对非线性形变的激光切割补偿方法、装置及存储介质
US11868531B1 (en) 2021-04-08 2024-01-09 Meta Platforms Technologies, Llc Wearable device providing for thumb-to-finger-based input gestures detected based on neuromuscular signals, and systems and methods of use thereof
CN116368429A (zh) * 2021-06-29 2023-06-30 鹏鼎控股(深圳)股份有限公司 具有光学防抖功能的摄像模组及其制备方法
US11856356B2 (en) * 2022-01-28 2023-12-26 Bose Corporation Open-ear headphone

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0673391B2 (ja) * 1987-08-12 1994-09-14 住友電気工業株式会社 フレキシブル両面回路基板の製造方法
US5300899A (en) * 1993-02-02 1994-04-05 Ast Research, Inc. Thin, flexible, stripline flex cable having two shielding ground planes formed as grids having mutually offset grid patterns
JP3113153B2 (ja) * 1994-07-26 2000-11-27 株式会社東芝 多層配線構造の半導体装置
JPH0857792A (ja) 1994-08-18 1996-03-05 Meikikou:Kk 水平多関節ロボットにおけるケーブルの処理方法
JP2007281145A (ja) * 2006-04-05 2007-10-25 Kenwood Corp フレキシブル配線体
JP2009176901A (ja) 2008-01-23 2009-08-06 Casio Hitachi Mobile Communications Co Ltd フレキシブル基板、および、電子機器
JP2010212438A (ja) * 2009-03-10 2010-09-24 Sumitomo Bakelite Co Ltd 回路基板
US8279611B2 (en) * 2009-12-09 2012-10-02 Research In Motion Limited Flexible cable having rectangular waveguide formed therein and methods of manufacturing same
JP5600030B2 (ja) 2010-04-30 2014-10-01 日本メクトロン株式会社 フレキシブル回路基板
JP5441814B2 (ja) * 2010-05-14 2014-03-12 キヤノン株式会社 プリント配線板及びプリント配線板を備えたデバイス
JP6029262B2 (ja) * 2011-04-26 2016-11-24 日本メクトロン株式会社 フレキシブル回路体
CN103718656B (zh) * 2011-11-10 2017-05-10 株式会社村田制作所 高频信号线路以及包括该高频信号线路的电子设备
CN105070997B (zh) * 2011-12-22 2018-04-03 株式会社村田制作所 高频信号线路及电子设备
JP5862482B2 (ja) * 2012-06-29 2016-02-16 株式会社村田製作所 フラットケーブルの製造方法
JP5690428B1 (ja) * 2014-05-21 2015-03-25 株式会社フジクラ プリント配線板

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016004875A (ja) 2016-01-12
TWI597000B (zh) 2017-08-21
WO2015194069A1 (ja) 2015-12-23
CN105393645A (zh) 2016-03-09
US9743532B2 (en) 2017-08-22
CN105393645B (zh) 2019-04-23
US20160020500A1 (en) 2016-01-21
TW201603662A (zh) 2016-01-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6362444B2 (ja) フレキシブルプリント基板およびフレキシブルプリント基板の製造方法
KR102023338B1 (ko) 프린트 배선판
US7642466B2 (en) Connection configuration for rigid substrates
JP6213698B2 (ja) コイル内蔵多層基板およびその製造方法
JP6004108B2 (ja) 電子部品
WO2011132343A1 (ja) フレキシブル回路基板及びその製造方法
WO2016024415A1 (ja) 伸縮性フレキシブルプリント基板および伸縮性フレキシブルプリント基板の製造方法
JP4985894B2 (ja) 信号線路
JP2006324406A (ja) フレックスリジッド多層配線板
WO2016113942A1 (ja) フレキシブルプリント基板およびフレキシブルプリント基板の製造方法
JP4414365B2 (ja) 高速伝送用基板
JP6197979B1 (ja) 樹脂基板および電子機器
US20160037622A1 (en) Multilayer resin substrate, and method of manufacturing multilayer resin substrate
WO2015108094A1 (ja) 信号線路
JP4877791B2 (ja) 配線回路基板
JP4236837B2 (ja) ケーブル部を有するフレキシブルプリント基板
JP2018174201A (ja) 配線基板、該配線基板を備える構造物及び配線基板の取り付け方法
JP6890015B2 (ja) 伸縮性配線基板、制御装置および電子機器
TWI388262B (zh) 軟硬結合板的製作方法
WO2017199824A1 (ja) 多層基板、および、電子機器
JP2018174248A (ja) 配線基板、該配線基板を備える構造物及び配線基板の取り付け方法
JPH0423494A (ja) フレキシブルプリント配線板
JPWO2020129827A1 (ja) 多層基板
JP6089614B2 (ja) 樹脂多層基板
JP2002232141A (ja) ケーブル部を有するプリント基板およびその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170412

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180403

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180601

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180619

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180626

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6362444

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250