JP6338043B2 - Ophthalmic laser surgery device - Google Patents

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Description

本発明は、パルスレーザ光を患者眼の組織に集光させて患者眼を処置する眼科用レーザ手術装置に関する。   The present invention relates to an ophthalmic laser surgical apparatus for treating a patient's eye by condensing pulsed laser light onto a patient's eye tissue.

従来、患者眼における三次元上のターゲット位置にパルスレーザ光を集光させるために、種々の技術が提案されている。例えば、特許文献1が開示する眼科用レーザ手術装置は、XY走査部(光スキャナ)と光路長変更手段を備える。XY走査部は、パルスレーザ光をXY平面上で走査する。光路長変更手段は、XY走査部よりもパルスレーザ光の光路の上流側に設けられている。光路長変更手段は、光学部材(反射ユニット)を移動させることで、レンズユニットと対物レンズの間の光路長を変化させる。その結果、パルスレーザ光の集光位置がZ方向に走査される。   Conventionally, various techniques have been proposed to focus pulse laser light on a three-dimensional target position in a patient's eye. For example, an ophthalmic laser surgical apparatus disclosed in Patent Document 1 includes an XY scanning unit (optical scanner) and an optical path length changing unit. The XY scanning unit scans the pulse laser beam on the XY plane. The optical path length changing means is provided on the upstream side of the optical path of the pulse laser beam with respect to the XY scanning unit. The optical path length changing means changes the optical path length between the lens unit and the objective lens by moving the optical member (reflection unit). As a result, the focused position of the pulse laser beam is scanned in the Z direction.

特開2013−78398号公報JP 2013-78398 A

光学部材を移動させることで、集光位置をZ方向に走査させる場合、光学部材の移動量に対する集光位置のZ方向の走査量は、移動させる光学部材よりも下流側に配置された光学系の影響を受ける。従って、XY走査部よりも上流側で光学部材を光軸方向に移動させる場合には、光学部材を大きく移動させなければ、集光位置のZ方向の走査量を十分に確保することができない場合があった。   When the condensing position is scanned in the Z direction by moving the optical member, the scanning amount in the Z direction of the condensing position with respect to the moving amount of the optical member is an optical system arranged downstream of the optical member to be moved. Affected by. Therefore, when the optical member is moved in the optical axis direction on the upstream side of the XY scanning unit, the scanning amount in the Z direction of the light collecting position cannot be sufficiently secured unless the optical member is moved largely. was there.

本発明は、パルスレーザ光の集光位置を適切に走査させることができる眼科用レーザ手術装置を提供することを典型的な目的とする。   A typical object of the present invention is to provide an ophthalmic laser surgical apparatus capable of appropriately scanning the focused position of pulsed laser light.

本発明の第1の眼科用レーザ手術装置は、パルスレーザ光を患者眼前眼部の組織内に集光させることで前記患者眼前眼部を処置する眼科用レーザ手術装置であって、レーザ光源から出射されたパルスレーザ光を偏向させる偏向デバイスを少なくとも1つ有し、前記偏向デバイスによってパルスレーザ光を光軸に交差する方向に走査するXY走査部と、前記XY走査部の前記偏向デバイスの少なくともいずれかよりもパルスレーザ光の光路の下流側に設けられ、屈折力を有し、前記光路の下流側にパルスレーザ光を導光させる導光光学素子と、被検眼の眼前に配置され、前記XY走査部および前記導光光学素子を経たパルスレーザ光を前記組織内に集光させる対物レンズと、前記光路における前記対物レンズの位置が固定された状態で、前記導光光学素子と前記対物レンズの間の光路長を変化させることで、前記パルスレーザ光の集光位置を、前記光軸に沿うZ方向に走査させるZ走査部と、
を備える眼科用レーザ手術装置であって、前記導光光学素子は、前記偏向デバイスよりも下流側に位置する上流側リレーレンズ、および、前記上流側リレーレンズと前記対物レンズとの間に位置する下流側リレーレンズを有するリレーレンズ光学系をさらに備え、前記上流側リレーレンズは、前記上流側リレーレンズの物側焦点が前記偏向デバイスにおけるピボット点と位置するように配置されており、前記Z走査部は、前記対物レンズ及び前記下流側リレーレンズの位置を固定した状態において、前記偏向デバイスと前記上流側リレーレンズとを含む光学ユニットを前記光軸に沿って移動させることで、前記上流側リレーレンズと前記対物レンズとの間の光路長を変化させることを特徴とする。
本発明の第2の眼科用レーザ手術装置は、パルスレーザ光を患者眼前眼部の組織内に集光させることで前記患者眼前眼部を処置する眼科用レーザ手術装置であって、レーザ光源から出射されたパルスレーザ光を偏向させる偏向デバイスを少なくとも1つ有し、前記偏向デバイスによってパルスレーザ光を光軸に交差する方向に走査するXY走査部と、前記XY走査部の前記偏向デバイスの少なくともいずれかよりもパルスレーザ光の光路の下流側に設けられ、屈折力を有し、前記光路の下流側にパルスレーザ光を導光させる導光光学素子と、被検眼の眼前に配置され、前記XY走査部および前記導光光学素子を経たパルスレーザ光を前記組織内に集光させる対物レンズと、前記光路における前記対物レンズの位置が固定された状態で、前記導光光学素子と前記対物レンズの間の光路長を変化させることで、前記パルスレーザ光の集光位置を、前記光軸に沿うZ方向に走査させるZ走査部と、を備える眼科用レーザ手術装置であって、前記導光光学素子は、前記偏向デバイスよりも下流側に位置する上流側リレーレンズ、および、前記上流側リレーレンズと前記対物レンズとの間に位置する下流側リレーレンズを有するリレーレンズ光学系をさらに備え、前記上流側リレーレンズは、前記上流側リレーレンズの物側焦点が前記偏向デバイスにおけるピボット点と位置するように配置されており、前記Z走査部は、前記対物レンズ、前記下流側リレーレンズ、及び前記上流側リレーレンズの位置を固定した状態において、前記光路に配置され前記パルスレーザを反射する反射部を移動させることで、前記上流側リレーレンズと前記対物レンズとの間の光路長を変化させることを特徴とする。


A first ophthalmic laser surgical apparatus of the present invention is an ophthalmic laser surgical apparatus for treating a patient's anterior ocular segment by condensing a pulsed laser beam in a tissue of the patient's anterior segment, from a laser light source. An XY scanning unit that has at least one deflection device that deflects the emitted pulsed laser light, and scans the pulsed laser beam in a direction intersecting an optical axis by the deflection device; and at least one of the deflection devices of the XY scanning unit A light guide optical element that is provided on the downstream side of the optical path of the pulsed laser light, has a refractive power, and guides the pulsed laser light to the downstream side of the optical path, and is disposed in front of the eye of the eye to be examined; An objective lens for condensing the pulse laser beam that has passed through the XY scanning unit and the light guide optical element in the tissue, and the position of the objective lens in the optical path is fixed. By changing the optical path length between the optical element and the objective lens, the condensing position of the pulsed laser beam, and a Z scan unit for scanning the Z direction along the optical axis,
The light guide optical element is located upstream of the deflection device, and between the upstream relay lens and the objective lens. A relay lens optical system having a downstream relay lens, wherein the upstream relay lens is disposed such that an object-side focal point of the upstream relay lens is located at a pivot point in the deflection device; The unit moves the optical unit including the deflection device and the upstream relay lens along the optical axis in a state where the positions of the objective lens and the downstream relay lens are fixed, so that the upstream relay wherein the changing the optical path length between the lens and the objective lens.
A second ophthalmic laser surgical apparatus according to the present invention is an ophthalmic laser surgical apparatus for treating a patient's anterior ocular segment by condensing a pulsed laser beam in a tissue of the patient's anterior segment, from a laser light source. An XY scanning unit that has at least one deflection device that deflects the emitted pulsed laser light, and scans the pulsed laser beam in a direction intersecting an optical axis by the deflection device; and at least one of the deflection devices of the XY scanning unit A light guide optical element that is provided on the downstream side of the optical path of the pulsed laser light, has a refractive power, and guides the pulsed laser light to the downstream side of the optical path, and is disposed in front of the eye of the eye to be examined; An objective lens for condensing the pulse laser beam that has passed through the XY scanning unit and the light guide optical element in the tissue, and the position of the objective lens in the optical path is fixed. An ophthalmic laser surgical apparatus comprising: a Z scanning unit configured to scan a condensing position of the pulsed laser light in a Z direction along the optical axis by changing an optical path length between an optical element and the objective lens. The light guide optical element includes an upstream relay lens positioned downstream of the deflection device, and a relay lens including a downstream relay lens positioned between the upstream relay lens and the objective lens. The upstream relay lens is disposed so that the object-side focal point of the upstream relay lens is located at a pivot point in the deflection device, and the Z scanning unit includes the objective lens, downstream relay lens, and in a state of fixing the position of the upstream relay lens, moving the reflecting portion is disposed on the optical path for reflecting the pulsed laser beam It is to be characterized by changing the optical path length between the upstream relay lens and the objective lens.


本発明の眼科用レーザ手術装置は、パルスレーザ光の集光位置を適切に走査させることができる。   The ophthalmic laser surgical apparatus of the present invention can appropriately scan the condensing position of the pulse laser beam.

第一実施形態の眼科用レーザ手術装置1の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the ophthalmic laser surgery apparatus 1 of 1st embodiment. 第一実施形態におけるXY走査部25の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the XY scanning part 25 in 1st embodiment. 第一実施形態におけるY走査部27と上流側リレー光学素子31の構成を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the structure of the Y scanning part 27 and upstream relay optical element 31 in 1st embodiment. 第二実施形態の眼科用レーザ手術装置2の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the ophthalmic laser surgery apparatus 2 of 2nd embodiment. 第三実施形態の眼科用レーザ手術装置3の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the ophthalmic laser surgery apparatus 3 of 3rd embodiment. 第四実施形態の眼科用レーザ手術装置4の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the ophthalmic laser surgery apparatus 4 of 4th embodiment.

<第一実施形態>
以下、本発明の典型的な実施形態の1つである第一実施形態について、図1から図3を参照して説明する。本実施形態では、患者眼Eの角膜および水晶体を共に処置することが可能な眼科用レーザ手術装置1を例示する。なお、「処置」とは、患者眼Eの組織の切断、破砕等を行うことを示す。以下、第一実施形態の眼科用レーザ手術装置1の各構成について、レーザ光源10側(つまり、パルスレーザ光の光路の上流側)から、患者眼E側(つまり、パルスレーザ光の光路の下流側)に順に説明する。
<First embodiment>
Hereinafter, a first embodiment which is one of typical embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3. In this embodiment, an ophthalmic laser surgical apparatus 1 capable of treating both the cornea and the lens of the patient's eye E is illustrated. “Treatment” indicates that the tissue of the patient's eye E is cut or broken. Hereinafter, for each configuration of the ophthalmic laser surgical apparatus 1 according to the first embodiment, from the laser light source 10 side (that is, the upstream side of the optical path of the pulse laser beam) to the patient eye E side (that is, downstream of the optical path of the pulse laser beam). Side).

レーザ光源10は、パルスレーザ光を出射する。本実施形態では、レーザ光源10によって出射されたパルスレーザ光が、患者眼Eの組織内で集光されると、集光位置でプラズマが発生し、組織の切断・破砕等が行われる。以上の現象は、光破壊(photodisruption)と言われる場合もある。レーザ光源10には、例えば、フェムト秒からピコ秒オーダーのパルス幅のパルスレーザ光を出射するデバイスを使用することができる。以下では、レーザ光源10によって出射されるパルスレーザ光の光軸に沿う方向をZ方向とする。Z方向に交差(本実施形態では垂直に交差)する方向のうちの1つをX方向とする。Z方向およびX方向に共に交差(本実施形態では垂直に交差)する方向をY方向とする。X,Y,Z方向は適宜設定すればよい。例えば、患者の上下左右に基づいて方向を規定する場合、X方向を患者の左右方向、Y方向を患者の上下方向としてもよいし、X方向を患者の上下方向、Y方向を患者の左右方向としてもよい。   The laser light source 10 emits pulsed laser light. In the present embodiment, when the pulsed laser light emitted from the laser light source 10 is condensed in the tissue of the patient's eye E, plasma is generated at the condensing position, and the tissue is cut and fractured. The above phenomenon is sometimes referred to as photodisruption. As the laser light source 10, for example, a device that emits pulsed laser light having a pulse width on the order of femtoseconds to picoseconds can be used. Hereinafter, the direction along the optical axis of the pulsed laser light emitted from the laser light source 10 is defined as the Z direction. One of the directions intersecting the Z direction (vertically intersecting in the present embodiment) is defined as the X direction. A direction that intersects both the Z direction and the X direction (vertically intersects in this embodiment) is defined as a Y direction. The X, Y, and Z directions may be set as appropriate. For example, when the direction is defined based on the patient's vertical and horizontal directions, the X direction may be the patient's horizontal direction, the Y direction may be the patient's vertical direction, the X direction is the patient's vertical direction, and the Y direction is the patient's horizontal direction. It is good.

エイミング光源11は、パルスレーザ光が照射される位置を示すエイミング光を出射する。本実施形態では、可視のレーザ光を出射する光源が、エイミング光源11として用いられる。なお、エイミング光源11は省略してもよい。   The aiming light source 11 emits aiming light indicating a position to which the pulse laser light is irradiated. In the present embodiment, a light source that emits visible laser light is used as the aiming light source 11. The aiming light source 11 may be omitted.

ダイクロイックミラー12は、パルスレーザ光の光路(以下、単に「光路」という場合もある)のうち、レーザ光源10とズームエキスパンダ13(後述する)の間に設けられている。ダイクロイックミラー12は、レーザ光源10から出射されるレーザ光と、エイミング光源11から出射されるエイミング光を合波する。詳細には、本実施形態のダイクロイックミラー12は、レーザ光源10から出射されるレーザ光の大部分を透過し、且つ、エイミング光源11から出射されるエイミング光の大部分を反射させることで、2つの光を合波する。   The dichroic mirror 12 is provided between a laser light source 10 and a zoom expander 13 (described later) in an optical path of pulsed laser light (hereinafter sometimes simply referred to as “optical path”). The dichroic mirror 12 combines the laser light emitted from the laser light source 10 and the aiming light emitted from the aiming light source 11. Specifically, the dichroic mirror 12 according to the present embodiment transmits most of the laser light emitted from the laser light source 10 and reflects most of the aiming light emitted from the aiming light source 11, thereby 2 Two lights are combined.

ズームエキスパンダ13は、光路におけるレーザ光源10とXY走査部25(後述する)の間に設けられている。詳細には、本実施形態では、レーザ光源10と高速Z走査部15(後述する)の間にビームエキスパンダ13が設けられている。ズームエキスパンダ13は、レーザ光源10から出射されたパルスレーザ光のビーム径を変更することができる。眼科用レーザ手術装置1の制御部(図示せず)は、ズームエキスパンダ13を駆動してパルスレーザ光のビーム径を変更することで、対物レンズ35(後述する)から患者眼Eに向けて出射されるパルスレーザ光の開口数NAを調整することができる。ビーム径が大きくなると開口数NAは大きくなり、ビーム径が小さくなると開口数NAは小さくなる。   The zoom expander 13 is provided between the laser light source 10 and the XY scanning unit 25 (described later) in the optical path. Specifically, in this embodiment, a beam expander 13 is provided between the laser light source 10 and the high-speed Z scanning unit 15 (described later). The zoom expander 13 can change the beam diameter of the pulsed laser light emitted from the laser light source 10. The control unit (not shown) of the ophthalmic laser surgical apparatus 1 drives the zoom expander 13 to change the beam diameter of the pulsed laser light, so that the objective lens 35 (described later) is directed toward the patient's eye E. The numerical aperture NA of the emitted pulsed laser beam can be adjusted. The numerical aperture NA increases as the beam diameter increases, and the numerical aperture NA decreases as the beam diameter decreases.

眼科用レーザ手術装置1は、開口数NAを調整することで、患者眼Eを処理する際の処置能力を向上させることができる。例えば、開口数NAが大きくなる程、パルスレーザ光の集光位置におけるスポットサイズは小さくなる。角膜手術では、パルスレーザ光の集光位置の精度を高くして精密な処置を行うことが求められ易い。一方で、水晶体手術では、スポットサイズを大きくして手術時間を短縮することが求められる場合がある。従って、本実施形態の眼科用レーザ手術装置1は、角膜手術を行うモードでは、水晶体手術を行うモードに比べて開口数NAを大きくし、スポットサイズを小さくしてもよい。水晶体手術を行うモードでは、開口数NAを小さくしてスポットサイズを大きくしてもよい。この場合、眼科用レーザ手術装置1は、患者眼Eの部位に応じて、より適切な処置を行うことができる。なお、開口数NAの調整方法は適宜変更できる。例えば、眼科用レーザ手術装置1は、集光位置のZ方向の走査に応じて、開口数NAを連続的または断続的に変更してもよい。この場合、眼科用レーザ手術装置1は、集光位置のZ方向の深度に応じて適切な光破壊を組織に生じさせることができる。   The ophthalmic laser surgical apparatus 1 can improve the treatment capability when the patient's eye E is processed by adjusting the numerical aperture NA. For example, the larger the numerical aperture NA, the smaller the spot size at the focused position of the pulse laser beam. In corneal surgery, it is often required to perform a precise treatment by increasing the accuracy of the focused position of pulsed laser light. On the other hand, in crystalline lens surgery, it may be required to increase the spot size to shorten the operation time. Therefore, the ophthalmic laser surgical apparatus 1 according to the present embodiment may increase the numerical aperture NA and reduce the spot size in the corneal surgery mode compared to the lens surgery mode. In the mode in which the lens operation is performed, the numerical aperture NA may be decreased to increase the spot size. In this case, the ophthalmic laser surgical apparatus 1 can perform more appropriate treatment according to the site of the patient's eye E. In addition, the adjustment method of numerical aperture NA can be changed suitably. For example, the ophthalmic laser surgical apparatus 1 may change the numerical aperture NA continuously or intermittently according to scanning in the Z direction of the condensing position. In this case, the ophthalmic laser surgical apparatus 1 can cause an appropriate optical destruction in the tissue in accordance with the depth of the condensing position in the Z direction.

高速Z走査部15(第二Z走査部:本実施形態ではエキスパンダ)は、光路におけるレーザ光源10とXY走査部25の間(詳細には、第一実施形態ではズームエキスパンダ13とXY走査部25の間)に設けられている。本実施形態の高速Z走査部15は、負の屈折力を有する光学素子16と、光学素子16を光軸に沿って移動させる高速Z走査駆動部17とを備える。光学素子16とXY走査部25の間には、レンズ21が設けられている。レンズ21は、高速Z走査部15を経たレーザ光をXY走査部25に導光させる。   The high-speed Z scanning unit 15 (second Z scanning unit: an expander in the present embodiment) is disposed between the laser light source 10 and the XY scanning unit 25 in the optical path (specifically, the zoom expander 13 and the XY scanning in the first embodiment). Between the portions 25). The high-speed Z scanning unit 15 of this embodiment includes an optical element 16 having negative refractive power and a high-speed Z scanning drive unit 17 that moves the optical element 16 along the optical axis. A lens 21 is provided between the optical element 16 and the XY scanning unit 25. The lens 21 guides the laser light that has passed through the high-speed Z scanning unit 15 to the XY scanning unit 25.

光路上に配置された光学素子16が光軸に沿って移動すると、パルスレーザ光の集光位置がZ方向に移動する。従って、眼科用レーザ手術装置1の制御部は、高速Z走査駆動部17を駆動制御して光学素子16を移動させることで、集光位置をZ方向に走査させることができる。また、本実施形態の高速Z走査部15は、Z走査部44(後述する)よりも高速で集光位置をZ方向に走査させることができる。従って、制御部は、高速Z走査部15を用いることで、Z方向の集光位置を細かく調整することができる。例えば、制御部は、患者眼Eの傾きに応じて高速Z制御部15を駆動させることで、集光の精度を向上させてもよい。また、XY走査部25によるXY方向への走査に応じて高速Z制御部15を駆動させることで、XY方向への走査に起因して生じるZ方向の集光位置の誤差を低減させてもよい。   When the optical element 16 disposed on the optical path moves along the optical axis, the focused position of the pulsed laser light moves in the Z direction. Therefore, the control unit of the ophthalmic laser surgical apparatus 1 can scan the condensing position in the Z direction by driving and controlling the high-speed Z scanning driving unit 17 to move the optical element 16. In addition, the high-speed Z scanning unit 15 of the present embodiment can scan the condensing position in the Z direction at a higher speed than the Z scanning unit 44 (described later). Therefore, the control unit can finely adjust the light collection position in the Z direction by using the high-speed Z scanning unit 15. For example, the control unit may improve the light collection accuracy by driving the high-speed Z control unit 15 according to the inclination of the patient's eye E. Further, by driving the high-speed Z control unit 15 in accordance with the scanning in the XY direction by the XY scanning unit 25, an error in the condensing position in the Z direction caused by the scanning in the XY direction may be reduced. .

XY走査部25は、光軸に交差するXY平面上でパルスレーザ光を走査する。本実施形態では、XY走査部25は、X偏向デバイス26およびY偏向デバイス27を備える。X偏向デバイス26は、レーザ光源10から出射されたパルスレーザ光をX方向に走査する。Y偏向デバイス27は、X偏向デバイス26によってX方向に走査されたパルスレーザ光を、さらにY方向に走査する。本実施形態では、X偏向デバイス26およびY偏向デバイス27には共にガルバノミラーが採用されている。しかし、光を走査する他のデバイス(例えば、ポリゴンミラー、音響光学素子(AOM)等のスキャナ)を、X偏向デバイス26およびY偏向デバイス27の少なくともいずれかに採用してもよい。   The XY scanning unit 25 scans the pulse laser beam on the XY plane intersecting the optical axis. In the present embodiment, the XY scanning unit 25 includes an X deflection device 26 and a Y deflection device 27. The X deflection device 26 scans the pulse laser beam emitted from the laser light source 10 in the X direction. The Y deflection device 27 further scans the pulse laser beam scanned in the X direction by the X deflection device 26 in the Y direction. In this embodiment, galvanometer mirrors are employed for both the X deflection device 26 and the Y deflection device 27. However, another device that scans light (for example, a scanner such as a polygon mirror or an acoustooptic device (AOM)) may be employed in at least one of the X deflection device 26 and the Y deflection device 27.

図2を参照して、第一実施形態におけるXY走査部25の構成について詳細に説明する。第一実施形態では、一例として、3つのガルバノミラーを用いたXY走査部25が採用されている。詳細には、第一実施形態のX偏向デバイス26は、第一X偏向デバイス28および第二X偏向デバイス29を備える。第一X偏向デバイス28は、光路の上流側(本実施形態ではレンズ21)から入射したパルスレーザ光を、X方向に走査する。第二X偏向デバイス29の回転軸線は、第一X偏向デバイス28の回転軸線と平行である。第二X偏向デバイス29は、第一X偏向デバイス28によってX方向に走査されたパルスレーザ光を、さらにX方向に走査する。図2に示すように、制御部は、第一X偏向デバイス28による走査量に応じて第二X偏向デバイス29の走査量を制御することで、Y偏向デバイス27の所定箇所(本実施形態ではミラーの走査面の中心)にパルスレーザ光を入射させる。つまり、パルスレーザ光の主光線は、X方向の走査量に関わらず、Y偏向デバイス27の所定箇所に入射する。従って、眼科用レーザ手術装置1は、Y偏向デバイス27におけるパルスレーザ光の入射位置の変化に起因する各種の影響を排除することができる。なお、第一実施形態では、Y偏向デバイス27の走査面の中心は、XY走査部25によって走査される全てのパルスレーザ光の主光線が通過するピボット点となる。   With reference to FIG. 2, the structure of the XY scanning part 25 in 1st embodiment is demonstrated in detail. In the first embodiment, as an example, an XY scanning unit 25 using three galvanometer mirrors is employed. Specifically, the X deflection device 26 of the first embodiment includes a first X deflection device 28 and a second X deflection device 29. The first X deflection device 28 scans the pulse laser beam incident from the upstream side of the optical path (the lens 21 in this embodiment) in the X direction. The rotation axis of the second X deflection device 29 is parallel to the rotation axis of the first X deflection device 28. The second X deflection device 29 further scans the pulse laser beam scanned in the X direction by the first X deflection device 28 in the X direction. As shown in FIG. 2, the control unit controls the scanning amount of the second X deflection device 29 in accordance with the scanning amount of the first X deflection device 28, so that a predetermined portion of the Y deflection device 27 (in this embodiment, A pulse laser beam is made incident on the center of the scanning surface of the mirror. That is, the principal ray of the pulsed laser light is incident on a predetermined portion of the Y deflection device 27 regardless of the scanning amount in the X direction. Therefore, the ophthalmic laser surgical apparatus 1 can eliminate various effects caused by the change in the incident position of the pulse laser beam in the Y deflection device 27. In the first embodiment, the center of the scanning surface of the Y deflection device 27 is a pivot point through which the principal rays of all the pulsed laser beams scanned by the XY scanning unit 25 pass.

リレー部30は、図1に示すように、XY走査部25と対物レンズ35の間に設けられている。本実施形態のリレー部30は、ケプラー式のリレー光学系である。ケプラー式のリレー光学系は、3つ以上の光学部材によって構成されている場合でも、その機能を2つのレンズによって表現することができる。よって、図1では、2つのレンズによってリレー部30を示す。なお、以下で説明するケプラー式のリレー光学系についても同様に2つのレンズで図示する。リレー部30は、上流側リレー光学素子31と下流側リレー光学素子32によって、XY走査部25におけるピボット点(第一実施形態では、Y偏向デバイス27における走査面の中心のピボット点P)と、対物レンズ35(後述する)の物側焦点とを共役関係に結ぶ。   As shown in FIG. 1, the relay unit 30 is provided between the XY scanning unit 25 and the objective lens 35. The relay unit 30 of this embodiment is a Keplerian relay optical system. Even when the Kepler-type relay optical system is constituted by three or more optical members, the function can be expressed by two lenses. Therefore, in FIG. 1, the relay part 30 is shown by two lenses. The Kepler-type relay optical system described below is also illustrated with two lenses. The relay unit 30 includes a pivot point in the XY scanning unit 25 (in the first embodiment, a pivot point P at the center of the scanning plane in the Y deflection device 27) by the upstream relay optical element 31 and the downstream relay optical element 32. An object side focal point of an objective lens 35 (described later) is connected in a conjugate relationship.

また、図3に示すように、上流側リレー光学素子31の物側焦点が、XY走査部25におけるピボット点Pに一致するように、上流側リレー光学素子31とXY走査部25との位置関係が保たれている。つまり、上流側リレー光学素子31とピボット点Pの間の距離が、上流側リレー光学素子31の焦点距離f31と一致する。従って、上流側リレー光学素子31から出射されるパルスレーザ光のテレセントリックの性能が保たれる。   In addition, as shown in FIG. 3, the positional relationship between the upstream relay optical element 31 and the XY scanning unit 25 so that the object-side focal point of the upstream relay optical element 31 coincides with the pivot point P in the XY scanning unit 25. Is maintained. That is, the distance between the upstream relay optical element 31 and the pivot point P matches the focal length f31 of the upstream relay optical element 31. Therefore, the telecentric performance of the pulse laser beam emitted from the upstream relay optical element 31 is maintained.

対物レンズ35は、リレー部30の下流側リレー光学素子32よりも光路の下流側に配置されている。換言すると、対物レンズ35の主平面は、下流側リレー光学素子32の主平面よりも光路の下流側に位置する。対物レンズ35を通過したパルスレーザ光は、眼球固定インターフェース37を経て患者眼Eの組織に集光される。詳細は図示しないが、眼球固定インターフェース37は、吸着リングおよびカップを有する。吸着リングには、吸引ポンプ等によって負圧が加えられる。その結果、患者眼Eの前眼部が吸着リングによって吸引固定される。カップは前眼部の周囲を覆う。手術時には、角膜の屈折率と同程度の屈折率を有する液体が、カップ内に満たされる。よって、角膜等によるパルスレーザ光の屈折が弱まり、集光位置の精度が向上する。なお、眼球固定インターフェース37の構成を適宜変更してもよいことは言うまでもない。コンタクトレンズ等を患者眼Eに装着してもよい。眼球固定インターフェース37等を使わずに、眼科用レーザ手術装置1による手術を行うことも可能である。   The objective lens 35 is disposed on the downstream side of the optical path from the downstream relay optical element 32 of the relay unit 30. In other words, the main plane of the objective lens 35 is located downstream of the main plane of the downstream relay optical element 32 in the optical path. The pulsed laser light that has passed through the objective lens 35 is focused on the tissue of the patient's eye E through the eyeball fixing interface 37. Although not shown in detail, the eyeball fixing interface 37 has a suction ring and a cup. A negative pressure is applied to the suction ring by a suction pump or the like. As a result, the anterior segment of the patient's eye E is sucked and fixed by the suction ring. The cup covers the anterior eye area. At the time of surgery, the cup is filled with a liquid having a refractive index comparable to that of the cornea. Therefore, the refraction of the pulse laser beam by the cornea or the like is weakened, and the accuracy of the condensing position is improved. Needless to say, the configuration of the eyeball fixing interface 37 may be changed as appropriate. A contact lens or the like may be attached to the patient's eye E. Surgery by the ophthalmic laser surgical apparatus 1 can be performed without using the eyeball fixing interface 37 or the like.

光路における対物レンズ35と下流側リレー光学素子32との間には、ダイクロイックミラー38が設けられている。本実施形態では、ダイクロイックミラー38は、レーザ光源10からのパルスレーザ光、およびエイミング光源12からのエイミング光の大部分を反射し、且つ、後述する観察ユニット40およびOCTユニット41からの光の大部分を透過する。その結果、これらの複数の光の光軸が同軸とされる。なお、観察ユニット40およびOCTユニット41の光の光軸を、パルスレーザ光の光軸と同軸にする場合、同軸にする位置を変更することも可能である。   A dichroic mirror 38 is provided between the objective lens 35 and the downstream relay optical element 32 in the optical path. In the present embodiment, the dichroic mirror 38 reflects most of the pulsed laser light from the laser light source 10 and the aiming light from the aiming light source 12, and large amounts of light from the observation unit 40 and the OCT unit 41 described later. Transparent part. As a result, the optical axes of the plurality of lights are coaxial. In addition, when making the optical axis of the light of the observation unit 40 and the OCT unit 41 coaxial with the optical axis of pulsed laser light, it is also possible to change the coaxial position.

第一実施形態では、光路において対物レンズ35よりも上流側に位置する光学素子のうち、対物レンズ35に最も近く、且つ屈折力を有する光学素子(以下、「対物レンズ35の上流側素子」という)は、リレー部30の下流側リレー光学素子32である。第一実施形態では、対物レンズ35の上流側素子における主平面と、対物レンズ35における主平面との間の距離が、対物レンズ35の上流側素子の焦点距離と、対物レンズ35の焦点距離との和に等しい。つまり、下流側リレー光学素子32の像側焦点が、対物レンズ35の物側焦点に一致している。本実施形態では、下流側リレー光学素子32および対物レンズ35の光路上における位置は固定されている。   In the first embodiment, among the optical elements positioned on the upstream side of the objective lens 35 in the optical path, the optical element closest to the objective lens 35 and having a refractive power (hereinafter referred to as “upstream element of the objective lens 35”). ) Is a downstream relay optical element 32 of the relay unit 30. In the first embodiment, the distance between the main plane in the upstream element of the objective lens 35 and the main plane in the objective lens 35 is the focal length of the upstream element of the objective lens 35 and the focal length of the objective lens 35. Is equal to the sum of That is, the image side focal point of the downstream relay optical element 32 coincides with the object side focal point of the objective lens 35. In the present embodiment, the positions of the downstream relay optical element 32 and the objective lens 35 on the optical path are fixed.

また、前述したように、第一実施形態では、XY走査部25におけるピボット点Pと、対物レンズ35の物側焦点とが、リレー部30によって共役関係となっている。従って、XY走査部25によって走査される全てのパルスレーザ光の主光線が、対物レンズ35の物側焦点を通過する。なお、本実施形態では、ダイクロイックミラー38は、対物レンズ35の物側焦点の位置(つまり、下流側リレー光学素子32の像側焦点の位置)に設けられている。   Further, as described above, in the first embodiment, the pivot point P in the XY scanning unit 25 and the object side focal point of the objective lens 35 are in a conjugate relationship by the relay unit 30. Accordingly, the principal rays of all the pulsed laser beams scanned by the XY scanning unit 25 pass through the object side focal point of the objective lens 35. In the present embodiment, the dichroic mirror 38 is provided at the object-side focal position of the objective lens 35 (that is, the image-side focal position of the downstream relay optical element 32).

なお、対物レンズ35の物側焦点等を規定するための焦点距離は、対物レンズ35のみの焦点距離であってもよいし、対物レンズ35と眼球固定インターフェース37とを含めた光学素子の焦点距離であってもよい。対物レンズ35の主平面を考える場合も同様である。つまり、本発明における「対物レンズ」という表現は、眼球固定インターフェース37を含む光学素子を指す場合もある。   The focal length for defining the object side focal point of the objective lens 35 may be the focal length of only the objective lens 35, or the focal length of an optical element including the objective lens 35 and the eyeball fixing interface 37. It may be. The same applies to the case where the main plane of the objective lens 35 is considered. That is, the expression “objective lens” in the present invention may refer to an optical element including the eyeball fixing interface 37.

観察ユニット40は、患者眼Eの正面画像を取得する。本実施形態の観察ユニット40は、可視光または赤外光によって照明された患者眼Eを撮影し、モニタ(図示せず)に表示させることができる。術者等は、モニタを見ることで患者眼Eを正面から観察することができる。   The observation unit 40 acquires a front image of the patient's eye E. The observation unit 40 of the present embodiment can capture the patient's eye E illuminated by visible light or infrared light and display it on a monitor (not shown). The surgeon can observe the patient's eye E from the front by looking at the monitor.

OCTユニット41は、患者眼Eの組織の断層画像を取得する。一例として、本実施形態のOCTユニット41は、光源、光分割器、参照光学系、走査部、および検出器を備える。光源は、断層画像を取得するための光を出射する。光分割器は、光源によって出射された光を、参照光と測定光に分割する。参照光は参照光学系に入射し、測定光は走査部に入射する。参照光学系は、測定光と参照光の光路長差を変更する構成を有する。走査部は、測定光を組織上で二次元方向に走査させる。検出器は、組織によって反射された測定光と、参照光学系を経た参照光との干渉状態を検出する。眼科用レーザ手術装置1は、測定光を走査し、反射測定光と干渉光の干渉状態を検出することで、組織の深さ方向の情報を取得する。取得した深さ方向の情報に基づいて、組織の断層画像を取得する。本実施形態の眼科用レーザ手術装置1は、パルスレーザ光を集光させるターゲット位置を、患者眼Eの断層画像に対応付ける。その結果、眼科用レーザ手術装置1は、パルスレーザ光を照射・走査させる動作を制御するためのデータを、断層画像を用いて作成することができる。OCTユニット41には種々の構成を用いることができる。例えば、SS−OCT、SD−OCT、TD−OCT等のいずれをOCTユニット41として採用してもよい。また、眼科用レーザ手術装置1は、光干渉以外の技術を用いて断層画像を撮影してもよい。断層画像を用いずにターゲット位置を決定することが可能な場合(例えば、圧平した角膜のみを処置する場合)には、OCTユニット41を省略してもよい。   The OCT unit 41 acquires a tomographic image of the tissue of the patient eye E. As an example, the OCT unit 41 of the present embodiment includes a light source, a light splitter, a reference optical system, a scanning unit, and a detector. The light source emits light for acquiring a tomographic image. The light splitter divides the light emitted from the light source into reference light and measurement light. The reference light enters the reference optical system, and the measurement light enters the scanning unit. The reference optical system has a configuration that changes the optical path length difference between the measurement light and the reference light. The scanning unit scans the measurement light in a two-dimensional direction on the tissue. The detector detects an interference state between the measurement light reflected by the tissue and the reference light that has passed through the reference optical system. The ophthalmic laser surgical apparatus 1 scans the measurement light and detects the interference state between the reflected measurement light and the interference light to acquire information in the depth direction of the tissue. A tomographic image of the tissue is acquired based on the acquired information in the depth direction. The ophthalmic laser surgical apparatus 1 according to the present embodiment associates a target position on which pulsed laser light is collected with a tomographic image of the patient's eye E. As a result, the ophthalmic laser surgical apparatus 1 can create data for controlling the operation of irradiating and scanning the pulsed laser beam using the tomographic image. Various configurations can be used for the OCT unit 41. For example, any of SS-OCT, SD-OCT, TD-OCT, etc. may be adopted as the OCT unit 41. The ophthalmic laser surgical apparatus 1 may capture a tomographic image using a technique other than optical interference. When the target position can be determined without using the tomographic image (for example, when only the applanated cornea is treated), the OCT unit 41 may be omitted.

ダイクロイックミラー42は、観察ユニット40の光軸とOCTユニット41の光軸を同軸とする。ダイクロイックミラー42を経た光は、前述したダイクロイックミラー38によって、レーザ光源10からのパルスレーザ光と同軸とされる。   The dichroic mirror 42 is coaxial with the optical axis of the observation unit 40 and the optical axis of the OCT unit 41. The light that has passed through the dichroic mirror 42 is made coaxial with the pulse laser light from the laser light source 10 by the dichroic mirror 38 described above.

Z走査部44は、パルスレーザ光の集光位置をZ方向に走査させる。第一実施形態では、上流側リレー光学素子31は、XY走査部25のX偏向デバイス26およびY偏向デバイス27よりも光路の下流側に設けられ、屈折力を有し、光路の下流側にパルスレーザ光を導光させる導光光学素子である。眼科用レーザ手術装置1は、光路における対物レンズ35の位置を固定した状態で、導光光学素子である上流側リレー光学素子31と、対物レンズ35との間の光路長を変化させることで、集光位置をZ方向に走査させる。換言すると、眼科用レーザ手術装置1は、上流側リレー光学素子31の主平面と、対物レンズ35の主平面との光路上の距離を変化させることで、集光位置をZ方向に走査させる。   The Z scanning unit 44 scans the focused position of the pulse laser beam in the Z direction. In the first embodiment, the upstream relay optical element 31 is provided on the downstream side of the optical path from the X deflection device 26 and the Y deflection device 27 of the XY scanning unit 25, has a refractive power, and has a pulse on the downstream side of the optical path. A light guide optical element for guiding laser light. The ophthalmic laser surgical apparatus 1 changes the optical path length between the upstream relay optical element 31 that is a light guide optical element and the objective lens 35 in a state where the position of the objective lens 35 in the optical path is fixed. The condensing position is scanned in the Z direction. In other words, the ophthalmic laser surgical apparatus 1 changes the distance on the optical path between the main plane of the upstream relay optical element 31 and the main plane of the objective lens 35 to scan the condensing position in the Z direction.

詳細には、第一実施形態におけるZ走査部44は、XY走査部25と上流側リレー光学素子31とを含む光学ユニットを光軸に沿って移動させることで、上流側リレー光学素子31と対物レンズ35との間の光路長を変化させる。より詳細には、第一実施形態のZ走査部44は、高速Z走査部15およびレンズ21を、XY走査部25および上流側リレー光学素子31と共に、光軸に沿って移動させる。   Specifically, the Z scanning unit 44 in the first embodiment moves the optical unit including the XY scanning unit 25 and the upstream relay optical element 31 along the optical axis, so that the upstream relay optical element 31 and the objective are moved. The optical path length between the lens 35 is changed. More specifically, the Z scanning unit 44 of the first embodiment moves the high-speed Z scanning unit 15 and the lens 21 along the optical axis together with the XY scanning unit 25 and the upstream relay optical element 31.

以上説明したように、第一実施形態の眼科用レーザ手術装置1は、偏向デバイス26,27の少なくともいずれか(第一実施形態では偏向デバイス26,27の全て)よりも光路の下流側に設けられた導光光学素子と、対物レンズ35との間の光路長を、対物レンズ35の光路上の位置を固定した状態で変化させる。換言すると、眼科用レーザ手術装置1は、導光光学素子の主平面と、対物レンズ35の主平面との間の光路長を変化させる。これにより、眼科用レーザ手術装置1は、パルスレーザ光の集光位置を適切に走査させることができる。以下、本実施形態における眼科用レーザ手術装置1の光学系を採用した場合の利点の詳細について、数点の例を挙げて説明する。   As described above, the ophthalmic laser surgical apparatus 1 according to the first embodiment is provided on the downstream side of the optical path with respect to at least one of the deflection devices 26 and 27 (all of the deflection devices 26 and 27 in the first embodiment). The optical path length between the light guide optical element and the objective lens 35 is changed in a state where the position of the objective lens 35 on the optical path is fixed. In other words, the ophthalmic laser surgical apparatus 1 changes the optical path length between the main plane of the light guide optical element and the main plane of the objective lens 35. Thereby, the ophthalmic laser surgical apparatus 1 can appropriately scan the condensing position of the pulse laser beam. Hereinafter, the details of the advantages when the optical system of the ophthalmic laser surgical apparatus 1 according to the present embodiment is employed will be described with several examples.

例えば、第一実施形態におけるZ走査部44を用いる代わりに、XY走査部25の上流側の光学部材を光軸方向に移動させることで、集光位置をZ方向に走査させることも考えられる。具体的には、XY走査部25の上流側のエキスパンダを移動させる方法が考えられる。また、XY走査部25よりも上流側の光路に、パルスレーザ光を反射するミラー(光路長変更手段)を設け、このミラーを移動させてZ方向の走査を行うことも考えられる。この場合、光学部材の移動量に対する集光位置のZ方向の移動量は、移動させる光学部材よりも下流側に配置された光学系の影響を受ける。その結果、光学部材を大きく移動させないと、集光位置の移動量を十分に確保できない場合も生じ得る。   For example, instead of using the Z scanning unit 44 in the first embodiment, it is conceivable to move the optical member on the upstream side of the XY scanning unit 25 in the optical axis direction to scan the condensing position in the Z direction. Specifically, a method of moving the expander on the upstream side of the XY scanning unit 25 can be considered. It is also conceivable that a mirror (optical path length changing means) that reflects the pulse laser beam is provided in the optical path upstream of the XY scanning unit 25, and this mirror is moved to perform scanning in the Z direction. In this case, the amount of movement of the condensing position in the Z direction with respect to the amount of movement of the optical member is affected by the optical system disposed downstream of the optical member to be moved. As a result, if the optical member is not moved greatly, there may be a case where a sufficient amount of movement of the condensing position cannot be ensured.

上記の問題を、図1を変形させた例に基づいて説明する。図1に示す第一実施形態において、Z走査部44を用いずに、高速Z走査部15のみによって全てのZ方向の走査を実行する場合を仮定する。まず、上流側リレー光学素子31の焦点距離をf31、下流側リレー光学素子32の焦点距離をf32とすると、XY走査部25よりも下流側のリレー部30の横倍率は「f32/f31」で表される。ここで、一般的には、対物レンズ35から出射させるパルスレーザ光の開口数NAを適切な値とし、且つ、対物レンズ35と患者眼Eの距離を適切な距離に保つには、対物レンズ35の焦点距離をある程度大きくする必要がある。一方で、XY走査部25は高速で駆動する必要があるので、XY走査部25に用いられるガルバノミラーのミラー径は、対物レンズ35の入射瞳径と比べると非常に小さくなる場合が多い。その結果、リレー部30の横倍率「f32/f31」は大きい値になり易い。高速Z走査部15のみによって全てのZ方向の走査を実行する場合、焦点位置を単位距離だけZ方向に移動させるために必要な高速Z走査部15の移動量は、リレー部30の縦倍率(横倍率の二乗)に比例する。従って、高速Z走査部15の移動量を小さくすることが、リレー部30の制約によって困難になり得る。同様に、高速Z走査部15の移動量の削減には、XY走査部25よりも上流側の光学素子の制約も影響を与え得る。また、XY走査部25よりも上流側でZ方向の走査を行う場合、XY走査部25は、高速Z走査部15を経たパルスレーザ光をXY方向に走査する必要がある。従って、XY走査部25の大きさを小さくするのが難しい。以上の問題は、ミラーを移動させてZ方向の走査を実行する場合にも生じ得る。   The above problem will be described based on an example in which FIG. 1 is modified. In the first embodiment shown in FIG. 1, it is assumed that scanning in all Z directions is executed only by the high-speed Z scanning unit 15 without using the Z scanning unit 44. First, when the focal length of the upstream relay optical element 31 is f31 and the focal length of the downstream relay optical element 32 is f32, the lateral magnification of the relay unit 30 on the downstream side of the XY scanning unit 25 is “f32 / f31”. expressed. Here, in general, in order to set the numerical aperture NA of the pulsed laser light emitted from the objective lens 35 to an appropriate value and to keep the distance between the objective lens 35 and the patient's eye E at an appropriate distance, the objective lens 35 is used. It is necessary to increase the focal length to some extent. On the other hand, since the XY scanning unit 25 needs to be driven at high speed, the mirror diameter of the galvanometer mirror used in the XY scanning unit 25 is often very small compared to the entrance pupil diameter of the objective lens 35. As a result, the lateral magnification “f32 / f31” of the relay unit 30 tends to be a large value. When scanning in all Z directions is performed only by the high speed Z scanning unit 15, the amount of movement of the high speed Z scanning unit 15 required to move the focal position in the Z direction by a unit distance is the vertical magnification ( Proportional to the square of the lateral magnification). Therefore, it is difficult to reduce the amount of movement of the high-speed Z scanning unit 15 due to restrictions on the relay unit 30. Similarly, the restriction of the optical element upstream of the XY scanning unit 25 can also affect the reduction of the movement amount of the high-speed Z scanning unit 15. Further, when scanning in the Z direction upstream from the XY scanning unit 25, the XY scanning unit 25 needs to scan the pulsed laser light that has passed through the high-speed Z scanning unit 15 in the XY direction. Therefore, it is difficult to reduce the size of the XY scanning unit 25. The above problem may also occur when scanning in the Z direction is performed by moving the mirror.

また、対物レンズ35を光軸に沿って移動させることで、光学部材の移動量を削減することも考えられる。しかし、この場合、Z方向の走査に伴って収差が増加し易い。その結果、光学系の設計が複雑になる等の問題が生じ得る。さらに、対物レンズ35を移動させる場合には、対物レンズ35を移動できるように眼球固定インターフェース37を設計する必要も生じる。   It is also conceivable to reduce the amount of movement of the optical member by moving the objective lens 35 along the optical axis. However, in this case, the aberration tends to increase with scanning in the Z direction. As a result, problems such as complicated design of the optical system may occur. Further, when the objective lens 35 is moved, it is necessary to design the eyeball fixing interface 37 so that the objective lens 35 can be moved.

これに対し、第一実施形態の眼科用レーザ手術装置1は、偏向デバイス26,27の少なくともいずれかよりも光路の下流側に設けられた導光光学素子と、対物レンズ35との間の光路長を、対物レンズ35の光路上の位置を固定した状態で変化させる。従って、XY走査部25よりも上流側でZ方向の走査を行う場合に比べて、Z走査部44よりも下流側に位置する光学系の影響が低減される。XY走査部25の大きさを小さくすることも容易である。また、対物レンズ35を移動させる場合の影響を考慮する必要も無い。よって、眼科用レーザ手術装置1は、パルスレーザ光の集光位置を適切に走査させることができる。   On the other hand, the ophthalmic laser surgical apparatus 1 of the first embodiment has an optical path between the light guide optical element provided on the downstream side of at least one of the deflection devices 26 and 27 and the objective lens 35. The length is changed while the position of the objective lens 35 on the optical path is fixed. Therefore, the influence of the optical system positioned downstream of the Z scanning unit 44 is reduced as compared with the case where scanning in the Z direction is performed upstream of the XY scanning unit 25. It is easy to reduce the size of the XY scanning unit 25. Further, it is not necessary to consider the influence when the objective lens 35 is moved. Therefore, the ophthalmic laser surgical apparatus 1 can appropriately scan the condensing position of the pulse laser beam.

第一実施形態では、Z走査部44よりも光路の下流側に配置される光学素子(詳細には、下流側リレー光学素子32、ダイクロイックミラー38、および対物レンズ35)の光路上の位置が、Z走査部44の駆動に関わらず一定である。また、第一実施形態では、少なくともパルスレーザ光を組織に照射している間には、Z方向の走査を行う場合でも、XY走査部25と上流側リレー光学素子31の間の位置関係は固定されている。さらに、導光光学素子である上流側リレー光学素子31の物側焦点が、XY走査部25におけるピボット点に一致する。この場合、Z走査部44によって焦点位置がZ方向に走査されても、導光光学素子から出射されるパルスレーザ光のテレセントリック性能が維持される。その結果、対物レンズ35からのパルスレーザ光の出射角度を、Z方向の走査に関わらず一定にすることができる。換言すると、偏向デバイス26,27よりも下流側でZ方向の走査を行うと、Z方向の走査に伴って共役関係が変化し、パルスレーザ光の出射角度が変動する可能性がある。これに対し、第一実施形態の眼科用レーザ手術装置1は、共役関係を維持してパルスレーザ光の出射角度を固定しつつ、偏向デバイス26,27よりも下流側で適切に集光位置をZ方向に走査させることができる。よって、集光位置の走査制御が容易になる。例えば、パルスレーザ光を軸外に走査させる場合の制御が容易になる。OCT画像に基づくパルスレーザ光の照射位置の制御(例えば、XY走査部25およびZ走査部44を制御するための制御データの作成)も容易になる。   In the first embodiment, the positions of the optical elements (specifically, the downstream relay optical element 32, the dichroic mirror 38, and the objective lens 35) arranged on the downstream side of the optical path from the Z scanning unit 44 are as follows. It is constant regardless of the driving of the Z scanning unit 44. In the first embodiment, the positional relationship between the XY scanning unit 25 and the upstream relay optical element 31 is fixed even when scanning in the Z direction at least while the tissue is irradiated with pulsed laser light. Has been. Further, the object-side focal point of the upstream relay optical element 31 that is a light guide optical element coincides with the pivot point in the XY scanning unit 25. In this case, even if the focal position is scanned in the Z direction by the Z scanning unit 44, the telecentric performance of the pulsed laser light emitted from the light guide optical element is maintained. As a result, the emission angle of the pulsed laser light from the objective lens 35 can be made constant regardless of the scanning in the Z direction. In other words, when scanning in the Z direction is performed downstream of the deflection devices 26 and 27, the conjugate relationship changes with the scanning in the Z direction, and the emission angle of the pulsed laser light may vary. On the other hand, the ophthalmic laser surgical apparatus 1 of the first embodiment appropriately sets the condensing position downstream of the deflection devices 26 and 27 while maintaining the conjugate relationship and fixing the emission angle of the pulse laser beam. It is possible to scan in the Z direction. Therefore, the scanning control of the condensing position becomes easy. For example, the control when the pulse laser beam is scanned off-axis becomes easy. Control of the irradiation position of pulsed laser light based on the OCT image (for example, creation of control data for controlling the XY scanning unit 25 and the Z scanning unit 44) is also facilitated.

さらに、第一実施形態では、XY走査部25によって走査される全てのパルスレーザ光の主光線が、対物レンズ35の物側焦点を通過する。この場合、集光位置がZ方向に走査されても、対物レンズ35の像側テレセントリックの性能が維持される。換言すると、対物レンズ35から患者眼Eに向けて出射されるパルスレーザ光の出射角度が平行に保たれる。従って、集光位置の走査制御がさらに容易になる。   Furthermore, in the first embodiment, the principal rays of all the pulsed laser beams scanned by the XY scanning unit 25 pass through the object side focal point of the objective lens 35. In this case, the image-side telecentric performance of the objective lens 35 is maintained even when the condensing position is scanned in the Z direction. In other words, the emission angle of the pulse laser beam emitted from the objective lens 35 toward the patient's eye E is kept parallel. Therefore, the scanning control of the condensing position is further facilitated.

第一実施形態では、リレー部30における下流側リレー光学素子32の主平面と、対物レンズ35の主平面との光路上の距離が、互いの焦点距離の和に等しい。この場合、対物レンズ35から出射されるパルスレーザ光の開口数NAが、Z走査部44によるZ方向の走査に関わらず維持される。従って、集光位置の走査制御がさらに容易になる。例えば、収差の影響を無視すると、開口数NAを一定とすることで、Z方向の走査量に関わらずスポットサイズが一定となる。   In the first embodiment, the distance on the optical path between the main plane of the downstream relay optical element 32 and the main plane of the objective lens 35 in the relay unit 30 is equal to the sum of the focal lengths. In this case, the numerical aperture NA of the pulsed laser light emitted from the objective lens 35 is maintained regardless of the Z scanning performed by the Z scanning unit 44. Therefore, the scanning control of the condensing position is further facilitated. For example, ignoring the influence of aberration, by making the numerical aperture NA constant, the spot size becomes constant regardless of the scanning amount in the Z direction.

第一実施形態の眼科用レーザ手術装置1は、XY走査部25と、リレー部30における上流側リレー光学素子31とを含む光学ユニットを光軸に沿って移動させる。この場合、X偏向デバイス26とY偏向デバイス27の間にリレー部を設けずにXY走査部25を実現することも可能である。仮に、X偏向デバイス26とY偏向デバイス27の間にリレー部を設けなければ、リレー部を設ける場合に比べて構成が簡素化され、収差の影響も低下する。また、XY方向に走査されたレーザをさらにZ方向に適切に走査させるための設計を行う必要も無い。   The ophthalmic laser surgical apparatus 1 according to the first embodiment moves an optical unit including the XY scanning unit 25 and the upstream relay optical element 31 in the relay unit 30 along the optical axis. In this case, it is possible to realize the XY scanning unit 25 without providing a relay unit between the X deflection device 26 and the Y deflection device 27. If the relay unit is not provided between the X deflection device 26 and the Y deflection device 27, the configuration is simplified and the influence of aberration is reduced as compared with the case where the relay unit is provided. In addition, it is not necessary to design for appropriately scanning the laser scanned in the XY directions in the Z direction.

第一実施形態では、XY走査部25は、第一X偏向デバイス28、第二X偏向デバイス29、およびY偏向デバイス27を備える。第一X偏向デバイス28および第二X偏向デバイス29によってX方向に走査されたパルスレーザ光は、Y偏向デバイス27の所定箇所に入射する。この場合、X方向の走査量に関わらず、Y偏向デバイス27の所定箇所でY方向の走査が行われる。従って、集光位置の走査精度がさらに向上する。   In the first embodiment, the XY scanning unit 25 includes a first X deflection device 28, a second X deflection device 29, and a Y deflection device 27. The pulse laser beam scanned in the X direction by the first X deflection device 28 and the second X deflection device 29 is incident on a predetermined portion of the Y deflection device 27. In this case, scanning in the Y direction is performed at a predetermined position of the Y deflection device 27 regardless of the scanning amount in the X direction. Therefore, the scanning accuracy of the condensing position is further improved.

第一実施形態では、光路におけるレーザ光源10とXY走査部25の間に高速Z走査部(第二Z走査部)15が設けられている。Z走査部を複数設けることで、処置の精度が向上する。一例として、本実施形態の高速Z走査部15は、パルスレーザ光の集光位置を、Z走査部44よりも高速でZ方向に走査させる。この場合、眼科用レーザ手術装置1は、パルスレーザ光による処置が行われている間に、種々の要素(例えば、眼球の傾き、XY方向の走査に起因した像面湾曲等の少なくともいずれか)に応じて、集光位置をZ方向に高速で走査させることができる。   In the first embodiment, a high-speed Z scanning unit (second Z scanning unit) 15 is provided between the laser light source 10 and the XY scanning unit 25 in the optical path. By providing a plurality of Z scanning units, the accuracy of treatment is improved. As an example, the high-speed Z scanning unit 15 of the present embodiment scans the focused position of the pulse laser light in the Z direction at a higher speed than the Z scanning unit 44. In this case, the ophthalmic laser surgical apparatus 1 performs various elements (for example, at least one of inclination of the eyeball, curvature of field due to scanning in the XY directions, and the like) while the treatment with the pulse laser beam is performed. Accordingly, the condensing position can be scanned in the Z direction at high speed.

第一実施形態では、光路におけるレーザ光源10とXY走査部25の間にズームエキスパンダ13が設けられている。ズームエキスパンダ13は、パルスレーザ光のビーム径を変更する。この場合、眼科用レーザ手術装置1は、ズームエキスパンダ13によってビーム径を変えることで、対物レンズ35から出射されるパルスレーザ光の開口数NAを調整することができる。なお、本実施形態のズームエキスパンダ13は、XY走査部25よりも上流側に配置されているので、軸外に走査されたパルスレーザ光に対応する必要は無い。   In the first embodiment, the zoom expander 13 is provided between the laser light source 10 and the XY scanning unit 25 in the optical path. The zoom expander 13 changes the beam diameter of the pulse laser beam. In this case, the ophthalmic laser surgical apparatus 1 can adjust the numerical aperture NA of the pulsed laser light emitted from the objective lens 35 by changing the beam diameter with the zoom expander 13. Since the zoom expander 13 of this embodiment is disposed upstream of the XY scanning unit 25, it is not necessary to deal with pulsed laser light scanned off-axis.

<第二実施形態>
第一実施形態とは異なる典型的な実施形態の1つである第二実施形態について、図4を参照して説明する。第二実施形態では、XY走査部55およびZ走査部66の構成等が第一実施形態と異なるが、第一実施形態と共通する構成もある。従って、以下では、第一実施形態と同様の構成については第一実施形態と同じ番号を付し、その説明を省略または簡略化する。第二実施形態でも、第一実施形態と同様に、患者眼Eの角膜および水晶体を共に処置することが可能な眼科用レーザ手術装置2を例示する。
<Second embodiment>
A second embodiment which is one of typical embodiments different from the first embodiment will be described with reference to FIG. In the second embodiment, the configurations of the XY scanning unit 55 and the Z scanning unit 66 are different from those of the first embodiment, but there are also configurations that are common to the first embodiment. Therefore, in the following, the same configurations as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals as those of the first embodiment, and the description thereof is omitted or simplified. Similarly to the first embodiment, the second embodiment exemplifies an ophthalmic laser surgical apparatus 2 that can treat both the cornea and the crystalline lens of the patient's eye E.

第二実施形態の眼科用レーザ手術装置2は、レーザ光源10、エイミング光源11、ダイクロイックミラー12、ズームエキスパンダ13、高速Z走査部15、およびレンズ21を備える。以上のレーザ光源10からレンズ21までの構成には、第一実施形態で例示した構成を採用することが可能である。   The ophthalmic laser surgical apparatus 2 according to the second embodiment includes a laser light source 10, an aiming light source 11, a dichroic mirror 12, a zoom expander 13, a high-speed Z scanning unit 15, and a lens 21. The configuration exemplified in the first embodiment can be adopted as the configuration from the laser light source 10 to the lens 21 described above.

第二実施形態のXY走査部55は、X偏向デバイス56と、Y偏向デバイス57と、XYリレー部60とを備える。X偏向デバイス56は、レンズ21から入射したパルスレーザ光をX方向に走査させる。Y偏向デバイス57は、X偏向デバイス56から入射したパルスレーザ光をY方向に走査させる。一例として、第二実施形態では、X偏向デバイス56およびY偏向デバイス57の各々は、共に1つのガルバノミラーである。しかし、光を走査する他のデバイスを採用してもよい。複数のデバイス(例えば、2つのガルバノミラー)を、X偏向デバイス56およびY偏向デバイス57の少なくともいずれかに採用してもよい。   The XY scanning unit 55 of the second embodiment includes an X deflection device 56, a Y deflection device 57, and an XY relay unit 60. The X deflection device 56 scans the pulse laser beam incident from the lens 21 in the X direction. The Y deflection device 57 scans the pulse laser beam incident from the X deflection device 56 in the Y direction. As an example, in the second embodiment, each of the X deflection device 56 and the Y deflection device 57 is one galvanometer mirror. However, other devices that scan light may be employed. A plurality of devices (for example, two galvanometer mirrors) may be employed in at least one of the X deflection device 56 and the Y deflection device 57.

XYリレー部60は、X偏向デバイス56とY偏向デバイス57の間に設けられている。XYリレー部60は、上流側XYリレー光学素子61と、上流側XYリレー光学素子61よりも下流側に設けられた下流側XYリレー光学素子62とを備える。XYリレー部60は、ケプラー式のリレー光学系であり、X偏向デバイス56をY偏向デバイス57にリレーする。つまり、X偏向デバイス56の走査中心と、Y偏向デバイス57の走査中心とは、XYリレー部60によって共役関係となる。上流側XYリレー光学素子61の物側(前側)焦点が、X偏向デバイス56における走査中心に一致するように、上流側XYリレー光学素子61とX偏向デバイス56との位置関係が保たれている。従って、上流側XYリレー光学素子61から出射されるパルスレーザ光のテレセントリックの性能が保たれる。また、第二実施形態では、下流側XYリレー光学素子62とY偏向デバイス57の位置関係が固定されている。詳細には、下流側XYリレー光学素子62の像側(後側)焦点が、Y偏向デバイス57における走査中心に一致するように、下流側XYリレー光学素子62とY偏向デバイス57との位置関係が保たれている。   The XY relay unit 60 is provided between the X deflection device 56 and the Y deflection device 57. The XY relay unit 60 includes an upstream XY relay optical element 61 and a downstream XY relay optical element 62 provided on the downstream side of the upstream XY relay optical element 61. The XY relay unit 60 is a Keplerian relay optical system, and relays the X deflection device 56 to the Y deflection device 57. That is, the scanning center of the X deflection device 56 and the scanning center of the Y deflection device 57 are in a conjugate relationship by the XY relay unit 60. The positional relationship between the upstream XY relay optical element 61 and the X deflection device 56 is maintained such that the object side (front) focal point of the upstream XY relay optical element 61 coincides with the scanning center of the X deflection device 56. . Therefore, the telecentric performance of the pulse laser beam emitted from the upstream XY relay optical element 61 is maintained. In the second embodiment, the positional relationship between the downstream XY relay optical element 62 and the Y deflection device 57 is fixed. Specifically, the positional relationship between the downstream XY relay optical element 62 and the Y deflection device 57 so that the image side (rear) focal point of the downstream XY relay optical element 62 coincides with the scanning center of the Y deflection device 57. Is maintained.

XY走査部55よりも光路の下流側には、リレー部30、ダイクロイックミラー38、および対物レンズ35が順に設けられている。リレー部30、ダイクロイックミラー38、および対物レンズ35には、第一実施形態で例示した構成と同様の構成を採用できる。詳細には、第二実施形態でも、上流側リレー光学素子31の物側焦点が、Y偏向デバイス57におけるピボット点に一致するように、上流側リレー光学素子31とY偏向デバイス57との位置関係が保たれている。また、対物レンズ35の上流側素子(第二実施形態では下流側リレー光学素子32)における主平面と、対物レンズ35における主平面との間の光路上の距離が、対物レンズ35の上流側素子の焦点距離と、対物レンズ35の焦点距離の和に等しい。さらに、XY走査部55によって走査される全てのパルスレーザ光の主光線が、対物レンズ35の物側焦点を通過する。ただし、第二実施形態では、第一実施形態とは異なり、リレー部30における上流側リレー光学系31は光軸に沿って移動することは無い(詳細は後述する)。   A relay unit 30, a dichroic mirror 38, and an objective lens 35 are provided in this order on the downstream side of the optical path from the XY scanning unit 55. For the relay unit 30, the dichroic mirror 38, and the objective lens 35, the same configuration as that exemplified in the first embodiment can be adopted. Specifically, also in the second embodiment, the positional relationship between the upstream relay optical element 31 and the Y deflection device 57 so that the object-side focal point of the upstream relay optical element 31 coincides with the pivot point of the Y deflection device 57. Is maintained. The distance on the optical path between the main plane of the upstream element of the objective lens 35 (the downstream relay optical element 32 in the second embodiment) and the main plane of the objective lens 35 is the upstream element of the objective lens 35. Is equal to the sum of the focal length of the objective lens 35 and the focal length of the objective lens 35. Further, the principal rays of all the pulsed laser beams scanned by the XY scanning unit 55 pass through the object side focal point of the objective lens 35. However, in the second embodiment, unlike the first embodiment, the upstream relay optical system 31 in the relay unit 30 does not move along the optical axis (details will be described later).

なお、第二実施形態では、リレー部30における上流側リレー光学素子31の主平面と、下流側リレー光学素子32の主平面との光路上の距離は、上流側リレー光学素子31の焦点距離と、下流側リレー光学素子32の焦点距離との和と等しい。また、上流側リレー光学素子31の主平面と、下流側XYリレー光学素子62の主平面との間の光路上の距離は、上流側リレー光学素子31の焦点距離と、下流側XYリレー光学素子62の焦点距離との和と等しい。この場合、後述するZ走査部66による走査が行われても、対物レンズ35から出射されるパルスレーザ光の開口数NAは維持される。   In the second embodiment, the distance on the optical path between the main plane of the upstream relay optical element 31 and the main plane of the downstream relay optical element 32 in the relay unit 30 is the focal length of the upstream relay optical element 31. , Equal to the sum of the focal lengths of the downstream relay optical elements 32. The distance on the optical path between the main plane of the upstream relay optical element 31 and the main plane of the downstream XY relay optical element 62 is the focal length of the upstream relay optical element 31 and the downstream XY relay optical element. Equal to the sum of 62 focal lengths. In this case, the numerical aperture NA of the pulsed laser light emitted from the objective lens 35 is maintained even when scanning by a Z scanning unit 66 described later is performed.

また、第二実施形態でも、観察ユニット40およびOCTユニット41を搭載してもよい。観察ユニット40、OCTユニット41、ダイクロイックミラー38,42等の構成は、第一実施形態と同様の構成としてもよいし、異なる構成としてもよい。   In the second embodiment, the observation unit 40 and the OCT unit 41 may be mounted. The configuration of the observation unit 40, the OCT unit 41, the dichroic mirrors 38 and 42, etc. may be the same as or different from the first embodiment.

Z走査部66は、第一実施形態と同様に、光路における対物レンズ35の位置を固定した状態で、導光光学素子と対物レンズ35との間の光路長を変化させることで、集光位置をZ方向に走査させる。ただし、第二実施形態では、上流側XYリレー光学素子61が導光光学素子となる。第二実施形態のZ走査部66は、X偏向デバイス56と、XYリレー部60の上流側XYリレー光学素子61とを含む光学ユニットを、光軸に沿って移動させることで、光路長を変化させる。下流側XYリレー光学素子62、Y偏向デバイス57、リレー部30、および対物レンズ35は、Z走査部66によって移動されることは無い。なお、第二実施形態のZ走査部66は、高速Z走査部15およびレンズ21を、X偏向デバイス56および上流側XYリレー光学素子61と共に、光軸に沿って移動させる。   Similarly to the first embodiment, the Z scanning unit 66 changes the optical path length between the light guide optical element and the objective lens 35 in a state where the position of the objective lens 35 in the optical path is fixed. Is scanned in the Z direction. However, in the second embodiment, the upstream XY relay optical element 61 is a light guide optical element. The Z scanning unit 66 of the second embodiment changes the optical path length by moving an optical unit including the X deflection device 56 and the XY relay optical element 61 upstream of the XY relay unit 60 along the optical axis. Let The downstream XY relay optical element 62, the Y deflection device 57, the relay unit 30, and the objective lens 35 are not moved by the Z scanning unit 66. The Z scanning unit 66 of the second embodiment moves the high-speed Z scanning unit 15 and the lens 21 along the optical axis together with the X deflection device 56 and the upstream XY relay optical element 61.

以上説明したように、第二実施形態の眼科用レーザ手術装置2は、第一実施形態の眼科用レーザ手術装置1と同様に、偏向デバイス56,57の少なくともいずれか(第二実施形態ではX偏向デバイス56)よりも光路の下流側に設けられた導光光学素子と、対物レンズ35との間の光路長を、対物レンズ35の光路上の位置を固定した状態で変化させる。従って、XY走査部55よりも上流側でZ方向の走査を行う場合に比べて、Z走査部66よりも下流側に位置する光学系の影響が低減される。XY走査部55の大きさを小さくすることも容易である。また、対物レンズ35を移動させる場合の影響を考慮する必要も無い。よって、眼科用レーザ手術装置2は、パルスレーザ光の集光位置を適切に走査させることができる。   As described above, the ophthalmic laser surgical apparatus 2 according to the second embodiment is similar to the ophthalmic laser surgical apparatus 1 according to the first embodiment in that at least one of the deflection devices 56 and 57 (in the second embodiment, X The optical path length between the light guide optical element provided downstream of the deflecting device 56) and the objective lens 35 is changed in a state where the position of the objective lens 35 on the optical path is fixed. Accordingly, the influence of the optical system positioned downstream of the Z scanning unit 66 is reduced as compared with the case where scanning in the Z direction is performed upstream of the XY scanning unit 55. It is easy to reduce the size of the XY scanning unit 55. Further, it is not necessary to consider the influence when the objective lens 35 is moved. Therefore, the ophthalmic laser surgical apparatus 2 can appropriately scan the condensing position of the pulse laser beam.

詳細には、第二実施形態のZ走査部66は、X偏向デバイス56と、導光光学素子である上流側XYリレー光学素子61とを含む光学ユニットを光軸に沿って移動させることで、上流側XYリレー光学素子61と対物レンズ35との間の光路長を変化させる。この場合、眼科用レーザ手術装置2は、Y偏向デバイス57を移動させずにZ方向の走査を行うことができる。また、X偏向デバイス56の直前のレンズ21の焦点距離は、X偏向デバイス56までの距離で良い。よって、レンズ21の焦点距離を短くすることも容易である。   Specifically, the Z scanning unit 66 of the second embodiment moves an optical unit including the X deflection device 56 and the upstream XY relay optical element 61 that is a light guide optical element along the optical axis, The optical path length between the upstream XY relay optical element 61 and the objective lens 35 is changed. In this case, the ophthalmic laser surgical apparatus 2 can perform scanning in the Z direction without moving the Y deflection device 57. Further, the focal length of the lens 21 immediately before the X deflection device 56 may be the distance to the X deflection device 56. Therefore, it is easy to shorten the focal length of the lens 21.

第二実施形態では、Z走査部66よりも光路の下流側に配置される光学素子(詳細には、下流側XYリレー光学素子62、Y偏向デバイス57、リレー部30、および対物レンズ35)の光路上の位置が、Z走査部66の駆動に関わらず一定である。また、第二実施形態でも第一実施形態と同様に、Z方向の走査を行う場合でも、X偏向デバイス56と上流側XYリレー光学素子61の間の位置関係は固定されている。さらに、導光光学素子である上流側XYリレー光学素子61の物側焦点が、X偏向デバイス56におけるピボット点に一致する。この場合、導光光学素子から出射されるパルスレーザ光のテレセントリックの性能が維持される。また、Z方向の走査に関わらず、Z走査部66よりも下流側における共役関係が維持され、対物レンズ35からのパルスレーザ光の出射角度が固定される。よって、集光位置の走査制御が容易になる。さらに、第二実施形態における眼科用レーザ手術装置2の構成の一部は、第一実施形態における眼科用レーザ手術装置1の構成の一部と共通する。従って、前述した第一実施形態における効果の少なくとも一部は、第二実施形態でも同様に奏し得る。   In the second embodiment, optical elements (in detail, the downstream XY relay optical element 62, the Y deflection device 57, the relay unit 30, and the objective lens 35) disposed on the downstream side of the optical path from the Z scanning unit 66. The position on the optical path is constant regardless of the driving of the Z scanning unit 66. In the second embodiment, as in the first embodiment, the positional relationship between the X deflection device 56 and the upstream XY relay optical element 61 is fixed even when scanning in the Z direction is performed. Further, the object-side focal point of the upstream XY relay optical element 61 that is a light guide optical element coincides with the pivot point in the X deflection device 56. In this case, the telecentric performance of the pulse laser beam emitted from the light guide optical element is maintained. Regardless of scanning in the Z direction, the conjugate relationship on the downstream side of the Z scanning unit 66 is maintained, and the emission angle of the pulsed laser light from the objective lens 35 is fixed. Therefore, the scanning control of the condensing position becomes easy. Furthermore, a part of the configuration of the ophthalmic laser surgical apparatus 2 in the second embodiment is common to the part of the configuration of the ophthalmic laser surgical apparatus 1 in the first embodiment. Therefore, at least a part of the effects in the first embodiment described above can be similarly achieved in the second embodiment.

<第三実施形態>
本発明の第三実施形態について、図5を参照して説明する。第三実施形態では、反射部71を移動させてZ方向の走査を行う点が第一実施形態と異なるが、第一実施形態と共通する構成もある。従って、以下では、第一実施形態と同様の構成については第一実施形態と同じ番号を付し、その説明を省略または簡略化する。
<Third embodiment>
A third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The third embodiment is different from the first embodiment in that the reflection unit 71 is moved to perform scanning in the Z direction, but there is also a configuration common to the first embodiment. Therefore, in the following, the same configurations as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals as those of the first embodiment, and the description thereof is omitted or simplified.

第三実施形態の眼科用レーザ手術装置3は、レーザ光源10、エイミング光源11、ダイクロイックミラー12、ズームエキスパンダ13、高速Z走査部15、レンズ21、およびXY走査部25を備える。以上のレーザ光源10からXY走査部25までの構成には、第一実施形態で例示した構成を採用することが可能である。   The ophthalmic laser surgical apparatus 3 according to the third embodiment includes a laser light source 10, an aiming light source 11, a dichroic mirror 12, a zoom expander 13, a high-speed Z scanning unit 15, a lens 21, and an XY scanning unit 25. The configuration illustrated in the first embodiment can be adopted as the configuration from the laser light source 10 to the XY scanning unit 25 described above.

XY走査部25よりも光路の下流側には、ケプラー式のリレー部30が設けられている。リレー部30は、上流側リレー光学素子31と、下流側リレー光学素子32とを備える。上流側リレー光学素子31の物側焦点は、XY走査部25におけるピボット点に一致する。従って、上流側リレー光学素子31から出射されるパルスレーザ光のテレセントリックの性能が保たれる。また、下流側リレー光学素子32よりも光路の下流側には対物レンズ35が配置されている。XY走査部25におけるピボット点と、対物レンズ35の物側焦点とは、リレー部30によって共役関係となっている。従って、XY走査部25によって走査される全てのパルスレーザ光の主光線が、対物レンズ35の物側焦点を通過する。また、下流側リレー光学素子32の主平面と、対物レンズ35の主平面との間の距離が、互いの焦点距離の和に等しい。なお、図5では図示を省略したが、第三実施形態でも、観察ユニット40およびOCTユニット41を搭載してもよい。観察ユニット40、OCTユニット41、ダイクロイックミラー38,42等の構成は、第一実施形態と同様の構成としてもよいし、異なる構成としてもよい。   A Kepler-type relay unit 30 is provided downstream of the XY scanning unit 25 in the optical path. The relay unit 30 includes an upstream relay optical element 31 and a downstream relay optical element 32. The object-side focal point of the upstream relay optical element 31 coincides with the pivot point in the XY scanning unit 25. Therefore, the telecentric performance of the pulse laser beam emitted from the upstream relay optical element 31 is maintained. An objective lens 35 is disposed downstream of the downstream relay optical element 32 in the optical path. The pivot point in the XY scanning unit 25 and the object side focal point of the objective lens 35 are in a conjugate relationship by the relay unit 30. Accordingly, the principal rays of all the pulsed laser beams scanned by the XY scanning unit 25 pass through the object side focal point of the objective lens 35. Further, the distance between the main plane of the downstream relay optical element 32 and the main plane of the objective lens 35 is equal to the sum of the focal lengths. Although not shown in FIG. 5, the observation unit 40 and the OCT unit 41 may be mounted in the third embodiment. The configuration of the observation unit 40, the OCT unit 41, the dichroic mirrors 38 and 42, etc. may be the same as or different from the first embodiment.

第三実施形態では、リレー部30の上流側リレー光学素子31と下流側リレー光学素子32の間にZ走査部70が設けられている。第三実施形態のZ走査部70は、反射部71とZ走査駆動部74とを備える。   In the third embodiment, a Z scanning unit 70 is provided between the upstream relay optical element 31 and the downstream relay optical element 32 of the relay unit 30. The Z scanning unit 70 of the third embodiment includes a reflection unit 71 and a Z scanning drive unit 74.

反射部71は、上流側リレー光学素子31と下流側リレー光学素子32の間の光路に設けられている。第三実施形態の反射部71には、一例として、上流側リレー光学素子31を経たパルスレーザ光を反射させて下流側リレー光学素子32に導光させるミラーが採用されている。より詳細には、本実施形態の反射部71は、2つの反射部材72,73を備える。反射部材72は、上流側リレー光学素子31から入射するパルスレーザ光を反射部材73に向けて反射させる。反射部材73は、反射部材72から入射するパルスレーザ光を下流側リレー光学素子32に向けて反射させる。従って、上流側リレー光学素子31を経たパルスレーザ光は、進行方向を180度変えられた状態で下流側リレー光学素子32に入射する。この場合、反射部71が有する反射部材の数を極力少なくすることができる。   The reflector 71 is provided in the optical path between the upstream relay optical element 31 and the downstream relay optical element 32. As an example, a mirror that reflects the pulse laser beam that has passed through the upstream relay optical element 31 and guides it to the downstream relay optical element 32 is employed in the reflecting unit 71 of the third embodiment. More specifically, the reflecting portion 71 of this embodiment includes two reflecting members 72 and 73. The reflection member 72 reflects the pulsed laser light incident from the upstream relay optical element 31 toward the reflection member 73. The reflection member 73 reflects the pulsed laser light incident from the reflection member 72 toward the downstream relay optical element 32. Therefore, the pulsed laser light that has passed through the upstream relay optical element 31 enters the downstream relay optical element 32 in a state in which the traveling direction is changed by 180 degrees. In this case, the number of reflecting members included in the reflecting portion 71 can be reduced as much as possible.

Z走査駆動部74は、反射部71を移動させることで、導光光学素子(第三実施形態では上流側リレー光学素子31)と対物レンズ35の間の光路長を変化させる。その結果、パルスレーザ光の集光位置がZ方向に走査される。詳細には、第三実施形態のZ走査駆動部74は、上流側リレー光学素子31から出射されるパルスレーザ光の光軸と平行な方向(図5の紙面上下方向)に反射部71を移動させる。   The Z scanning drive unit 74 moves the reflecting unit 71 to change the optical path length between the light guide optical element (the upstream relay optical element 31 in the third embodiment) and the objective lens 35. As a result, the focused position of the pulse laser beam is scanned in the Z direction. Specifically, the Z scanning drive unit 74 of the third embodiment moves the reflecting unit 71 in a direction parallel to the optical axis of the pulsed laser light emitted from the upstream relay optical element 31 (up and down direction in FIG. 5). Let

以上説明したように、第三実施形態の眼科用レーザ手術装置3は、第一・第二実施形態と同様に、偏向デバイス26,27の少なくともいずれかよりも光路の下流側に設けられた導光光学素子(第三実施形態では上流側リレー光学素子31)と、対物レンズ35との間の光路長を、対物レンズ35の光路上の位置を固定した状態で変化させる。よって、眼科用レーザ手術装置3は、パルスレーザ光の集光位置を適切に走査させることができる。   As described above, the ophthalmic laser surgical apparatus 3 according to the third embodiment is similar to the first and second embodiments in that the light guide provided at the downstream side of the optical path with respect to at least one of the deflection devices 26 and 27. The optical path length between the optical optical element (the upstream relay optical element 31 in the third embodiment) and the objective lens 35 is changed in a state where the position of the objective lens 35 on the optical path is fixed. Therefore, the ophthalmic laser surgical apparatus 3 can appropriately scan the condensing position of the pulse laser beam.

詳細には、第三実施形態におけるZ走査部70は、反射部71とZ走査駆動部74を備える。反射部71は、光路上に配置され、且つ、パルスレーザ光を反射させる。Z走査駆動部74は、反射部71を移動させることで光路長を変化させる。この場合、XY走査部25自体を移動させてZ方向の走査を行う場合に比べて、移動させる部材が減少する。従って、Z方向の走査を行うための機構等を簡素化することが容易である。より詳細には、第三実施形態では、上流側リレー光学素子31と下流側リレー光学素子32の間の光路に反射部71が設けられている。この場合、反射部71を用いた集光位置のZ方向の走査を適切に実行できる。なお、第三実施形態における眼科用レーザ手術装置3の構成の一部は、第一実施形態における眼科用レーザ手術装置1の構成の一部と共通する。従って、前述した第一実施形態における効果の少なくとも一部は、第三実施形態でも同様に奏し得る。   Specifically, the Z scanning unit 70 in the third embodiment includes a reflection unit 71 and a Z scanning drive unit 74. The reflection unit 71 is disposed on the optical path and reflects the pulse laser beam. The Z scan drive unit 74 changes the optical path length by moving the reflection unit 71. In this case, the number of members to be moved is reduced as compared to the case where the XY scanning unit 25 itself is moved to perform scanning in the Z direction. Therefore, it is easy to simplify the mechanism for scanning in the Z direction. More specifically, in the third embodiment, the reflecting portion 71 is provided in the optical path between the upstream relay optical element 31 and the downstream relay optical element 32. In this case, scanning in the Z direction of the condensing position using the reflection unit 71 can be appropriately executed. A part of the configuration of the ophthalmic laser surgical apparatus 3 in the third embodiment is common to the part of the configuration of the ophthalmic laser surgical apparatus 1 in the first embodiment. Therefore, at least a part of the effects in the first embodiment described above can be similarly achieved in the third embodiment.

<第四実施形態>
本発明の第四実施形態について、図6を参照して説明する。第四実施形態では、反射部81を移動させてZ方向の走査を行う点が第二実施形態と異なるが、第二実施形態と共通する構成もある。従って、以下では、第二実施形態と同様の構成については第二実施形態と同じ番号を付し、その説明を省略または簡略化する。
<Fourth embodiment>
A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The fourth embodiment is different from the second embodiment in that the reflecting unit 81 is moved to perform scanning in the Z direction, but there is a configuration common to the second embodiment. Therefore, in the following, the same configurations as those of the second embodiment are denoted by the same reference numerals as those of the second embodiment, and the description thereof is omitted or simplified.

第四実施形態の眼科用レーザ手術装置4は、レーザ光源10、エイミング光源11、ダイクロイックミラー12、ズームエキスパンダ13、高速Z走査部15、レンズ21、およびX偏向デバイス56を備える。以上のレーザ光源10からX偏向デバイス56までの構成には、第二実施形態で例示した構成を採用することが可能である。また、眼科用レーザ手術装置4は、Y偏向デバイス57、リレー部30、ダイクロイックミラー38、および対物レンズ35を備える。以上のY偏向デバイス57から対物レンズ35までの構成も、第二実施形態で例示した構成を採用することが可能である。なお、観察ユニット40およびOCTユニット41の図示は省略している。また、第二実施形態の構成と異なる構成を第四実施形態で採用してもよいことは言うまでもない。   The ophthalmic laser surgical apparatus 4 according to the fourth embodiment includes a laser light source 10, an aiming light source 11, a dichroic mirror 12, a zoom expander 13, a high-speed Z scanning unit 15, a lens 21, and an X deflection device 56. The configuration exemplified in the second embodiment can be adopted as the configuration from the laser light source 10 to the X deflection device 56 described above. The ophthalmic laser surgical apparatus 4 includes a Y deflection device 57, a relay unit 30, a dichroic mirror 38, and an objective lens 35. The configuration from the Y deflection device 57 to the objective lens 35 can also employ the configuration exemplified in the second embodiment. The observation unit 40 and the OCT unit 41 are not shown. It goes without saying that a configuration different from the configuration of the second embodiment may be adopted in the fourth embodiment.

X偏向デバイス56とY偏向デバイス57の間には、XYリレー部60が設けられている。第四実施形態では、XYリレー部60は、上流側XYリレー光学素子61と、上流側リレー光学素子61よりも下流側に位置する下流側XYリレー光学素子62とを備える。上流側XYリレー光学素子6の物側焦点は、X偏向デバイス56における走査中心に一致する。従って、上流側XYリレー光学素子61から出射されるパルスレーザ光のテレセントリックの性能が保たれる。また、第四実施形態では、下流側XYリレー光学素子62の像側焦点が、Y偏向デバイス57における走査中心(ピボット点)に一致する。   An XY relay unit 60 is provided between the X deflection device 56 and the Y deflection device 57. In the fourth embodiment, the XY relay unit 60 includes an upstream XY relay optical element 61 and a downstream XY relay optical element 62 located on the downstream side of the upstream relay optical element 61. The object side focal point of the upstream XY relay optical element 6 coincides with the scanning center of the X deflection device 56. Therefore, the telecentric performance of the pulse laser beam emitted from the upstream XY relay optical element 61 is maintained. In the fourth embodiment, the image-side focal point of the downstream XY relay optical element 62 coincides with the scanning center (pivot point) in the Y deflection device 57.

なお、第四実施形態でも、第二実施形態と同様に、上流側リレー光学素子31の物側焦点が、Y変更デバイス57におけるピボット点に一致する。また、下流側リレー光学素子32における主平面と、対物レンズ35における主平面との間の光路上の距離が、下流側リレー光学素子32の焦点距離と、対物レンズ35の焦点距離の和に等しい。さらに、XY走査部55によって走査される全てのパルスレーザ光の主光線が、対物レンズ35の物側焦点を通過する。   In the fourth embodiment, the object-side focal point of the upstream relay optical element 31 coincides with the pivot point in the Y changing device 57 as in the second embodiment. The distance on the optical path between the main plane of the downstream relay optical element 32 and the main plane of the objective lens 35 is equal to the sum of the focal length of the downstream relay optical element 32 and the focal length of the objective lens 35. . Further, the principal rays of all the pulsed laser beams scanned by the XY scanning unit 55 pass through the object side focal point of the objective lens 35.

第四実施形態では、XYリレー部60の上流側XYリレー光学素子61と下流側XYリレー光学素子62の間にZ走査部80が設けられている。第四実施形態のZ走査部80は、反射部81とZ走査駆動部84を備える。   In the fourth embodiment, a Z scanning unit 80 is provided between the upstream XY relay optical element 61 and the downstream XY relay optical element 62 of the XY relay unit 60. The Z scanning unit 80 of the fourth embodiment includes a reflection unit 81 and a Z scanning drive unit 84.

反射部81は、上流側XYリレー光学素子61と下流側XYリレー光学素子62の間の光路に設けられている。第四実施形態の反射部81には、一例として、第三実施形態の反射部71と同様の構成のミラーが採用されている。つまり、第四実施形態の反射部81は、2つの反射部材82,83によって、上流側XYリレー光学素子61を経たパルスレーザ光の進行方向を180度変化させる。反射部81を経たパルスレーザ光は、下流側XYリレー光学素子62に入射する。   The reflecting portion 81 is provided in the optical path between the upstream XY relay optical element 61 and the downstream XY relay optical element 62. As an example, a mirror having the same configuration as that of the reflection unit 71 of the third embodiment is employed in the reflection unit 81 of the fourth embodiment. In other words, the reflecting portion 81 of the fourth embodiment changes the traveling direction of the pulsed laser light that has passed through the upstream XY relay optical element 61 by 180 degrees by the two reflecting members 82 and 83. The pulsed laser light that has passed through the reflecting portion 81 enters the downstream XY relay optical element 62.

Z走査駆動部84は、反射部81を移動させることで、導光光学素子(第四実施形態では上流側XYリレー光学素子61)と対物レンズ35の間の光路長を変化させる。その結果、パルスレーザ光の集光位置がZ方向に走査される。詳細には、第四実施形態のZ走査駆動部84は、上流側XYリレー光学素子61から出射されるパルスレーザ光の光軸と平行な方向に反射部81を移動させる。   The Z scanning drive unit 84 moves the reflecting unit 81 to change the optical path length between the light guide optical element (the upstream XY relay optical element 61 in the fourth embodiment) and the objective lens 35. As a result, the focused position of the pulse laser beam is scanned in the Z direction. Specifically, the Z scanning drive unit 84 of the fourth embodiment moves the reflection unit 81 in a direction parallel to the optical axis of the pulse laser beam emitted from the upstream XY relay optical element 61.

以上説明したように、第四実施形態の眼科用レーザ手術装置4は、第一〜第三実施形態と同様に、偏向デバイス56,57の少なくともいずれかよりも光路の下流側に設けられた導光光学素子(第三実施形態では上流側XYリレー光学素子61)と、対物レンズ35との間の光路長を変化させる。よって、眼科用レーザ手術装置4は、パルスレーザ光の集光位置を適切に走査させることができる。   As described above, the ophthalmic laser surgical apparatus 4 according to the fourth embodiment is similar to the first to third embodiments in that the light guide is provided on the downstream side of the optical path with respect to at least one of the deflection devices 56 and 57. The optical path length between the optical optical element (the upstream XY relay optical element 61 in the third embodiment) and the objective lens 35 is changed. Therefore, the ophthalmic laser surgical apparatus 4 can appropriately scan the condensing position of the pulse laser beam.

詳細には、第四実施形態におけるZ走査部80は、反射部81とZ走査駆動部84を備える。反射部81は、光路上に配置され、且つ、パルスレーザ光を反射させる。Z走査駆動部84は、反射部81を移動させることで光路長を変化させる。この場合、XY走査部55自体を移動させてZ方向の走査を行う場合に比べて、移動させる部材が減少する。   Specifically, the Z scanning unit 80 in the fourth embodiment includes a reflection unit 81 and a Z scanning drive unit 84. The reflection unit 81 is disposed on the optical path and reflects the pulse laser beam. The Z scanning drive unit 84 changes the optical path length by moving the reflecting unit 81. In this case, compared with the case where the XY scanning unit 55 itself is moved to perform scanning in the Z direction, the number of members to be moved is reduced.

より詳細には、第四実施形態では、上流側XYリレー光学素子61と下流側リレー光学素子62の間の光路に反射部81が設けられている。この場合、上流側XYリレー光学素子61の焦点距離と、下流側XYリレー光学素子62の焦点距離とを規定することで、X偏向デバイス56よりも下流側に位置する光学系の縦倍率を調整することができる。従って、焦点位置を単位距離だけ移動させるために要する反射部81の移動量を、縦倍率を調整することで減少させることも可能である。また、Y方向に走査される前のパルスレーザ光が反射部81を通過するため、X偏向デバイス56およびY偏向デバイス57の下流側に反射部81を設ける場合に比べて、反射部81を小型化することが容易である。   More specifically, in the fourth embodiment, the reflecting portion 81 is provided in the optical path between the upstream XY relay optical element 61 and the downstream relay optical element 62. In this case, by adjusting the focal length of the upstream XY relay optical element 61 and the focal length of the downstream XY relay optical element 62, the longitudinal magnification of the optical system positioned downstream of the X deflection device 56 is adjusted. can do. Accordingly, it is possible to reduce the amount of movement of the reflecting portion 81 required to move the focal position by a unit distance by adjusting the vertical magnification. In addition, since the pulse laser beam before being scanned in the Y direction passes through the reflecting portion 81, the reflecting portion 81 is smaller than the case where the reflecting portion 81 is provided on the downstream side of the X deflection device 56 and the Y deflection device 57. It is easy to make.

なお、第四実施形態における眼科用レーザ手術装置4の構成の一部は、第一〜第三実施形態における眼科用レーザ手術装置1〜3の構成の一部と共通する。従って、前述した第一〜第三実施形態における効果の少なくとも一部は、第四実施形態でも同様に奏し得る。   A part of the configuration of the ophthalmic laser surgical apparatus 4 in the fourth embodiment is common to the part of the configuration of the ophthalmic laser surgical apparatus 1 to 3 in the first to third embodiments. Therefore, at least a part of the effects in the first to third embodiments described above can be similarly achieved in the fourth embodiment.

本発明は上記実施形態に限定されることは無く、様々な変形が可能であることは勿論である。まず、図1〜図6では、それぞれの光学素子(例えば、16、21、31、32、35、61、62)1つの光学部材(例えば、レンズ等)によって図示されている。しかし、当然ながら、それぞれの光学素子は、1つの光学部材によって構成されてもよいし複数の光学部材によって構成されてもよい。また、上記実施形態の説明では、「光学素子Aが光学素子Bの下流側に位置する」との表現は、光学素子Aの主平面が光学素子Bの主平面よりも下流側に位置することを示す。従って、上記の例では、光学素子Aを構成する光学部材の一部が、光学素子Bを構成する光学部材の少なくとも一部よりも上流側に位置していてもよい。   Of course, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible. First, in FIGS. 1 to 6, each optical element (for example, 16, 21, 31, 32, 35, 61, 62) is illustrated by one optical member (for example, a lens or the like). However, as a matter of course, each optical element may be constituted by one optical member or a plurality of optical members. In the description of the above embodiment, the expression “the optical element A is positioned downstream of the optical element B” means that the main plane of the optical element A is positioned downstream of the main plane of the optical element B. Indicates. Therefore, in the above example, a part of the optical member constituting the optical element A may be located upstream from at least a part of the optical member constituting the optical element B.

また、図1〜図6では、説明を簡略化するために、実際の構成よりも簡略化した構成が示されている。従って、図示しない光学部材(例えば、光路を曲折させるための光学部材等)が構成に含まれていてもよい。また、光学素子には、凸レンズ、凹レンズ、凹面鏡、平面ミラー等の種々の光学部材およびこれらの組合せを採用できる。   Moreover, in FIG. 1 to FIG. 6, a simplified configuration than the actual configuration is shown in order to simplify the description. Accordingly, an optical member (not shown) (for example, an optical member for bending the optical path) may be included in the configuration. In addition, various optical members such as a convex lens, a concave lens, a concave mirror, and a plane mirror and combinations thereof can be adopted as the optical element.

リレー部30等の構成を変更することも可能である。例えば、図4に示す第二実施形態、および、図6に示す第四実施形態では、Y偏向デバイス57と対物レンズ35の間に、上流側リレー光学素子31と下流側リレー光学素子32が設けられている。しかし、第二・第四実施形態において、例えば下流側XYリレー光学素子62等の焦点距離を調整することで、Y偏向デバイス57から出射されるパルスレーザ光を平行でない光とし、リレー部30の上流側リレー光学素子31を省略することも可能である。この場合、具体的には、上流側XYリレー光学素子61の物側焦点を、X偏向デバイス56の走査中心に一致させる。下流側XYリレー光学素子62の像側焦点を、Y偏向デバイス57の走査中心に一致させる。また、Y偏向デバイス57の走査中心と、対物レンズ35の物側焦点とを共役とする。この場合でも、上記第二・第四実施形態と同様に集光位置が定まる。また、同様に、第一・第三実施形態における上流側リレー光学素子31、および、第二・第四実施形態における上流側XYリレー光学素子61を省略することも可能である。下流側リレー光学素子32、および下流側XYリレー光学素子62を省略することも可能である。   It is also possible to change the configuration of the relay unit 30 and the like. For example, in the second embodiment shown in FIG. 4 and the fourth embodiment shown in FIG. 6, the upstream relay optical element 31 and the downstream relay optical element 32 are provided between the Y deflection device 57 and the objective lens 35. It has been. However, in the second and fourth embodiments, for example, by adjusting the focal length of the downstream XY relay optical element 62 or the like, the pulse laser beam emitted from the Y deflection device 57 is made non-parallel light, and the relay unit 30 The upstream relay optical element 31 can be omitted. In this case, specifically, the object-side focal point of the upstream XY relay optical element 61 is made coincident with the scanning center of the X deflection device 56. The image-side focal point of the downstream XY relay optical element 62 is matched with the scanning center of the Y deflection device 57. Further, the scanning center of the Y deflection device 57 and the object side focal point of the objective lens 35 are conjugate. Even in this case, the condensing position is determined as in the second and fourth embodiments. Similarly, the upstream relay optical element 31 in the first and third embodiments and the upstream XY relay optical element 61 in the second and fourth embodiments can be omitted. The downstream relay optical element 32 and the downstream XY relay optical element 62 may be omitted.

上記第一〜第四実施形態では、レーザ光源10と、レーザを患者眼Eに照射するための光学系とを含む種々の構成が、眼科用レーザ手術装置1〜4に一体的に組み込まれている場合を例示した。しかし、光学系を含む構成をモジュール化して眼科用レーザ手術装置1〜4に組み込むことも可能である。この場合、モジュール化された光学系は、例えば、以下のように表すことも可能である。パルスレーザ光を患者眼の組織内に集光させることで前記患者眼を処置する眼科用レーザ手術装置で使用される光学系であって、レーザ光源から出射されたパルスレーザ光を偏向させる偏向デバイスを少なくとも1つ有し、前記偏向デバイスによってパルスレーザ光を光軸に交差する方向に走査するXY走査部と、前記XY走査部の前記偏向デバイスの少なくともいずれかよりもパルスレーザ光の光路の下流側に設けられ、屈折力を有し、前記光路の下流側にパルスレーザ光を導光させる導光光学素子と、前記XY走査部および前記導光光学素子を経たパルスレーザ光を前記組織内に集光させる対物レンズと、前記光路における前記対物レンズの位置が固定された状態で、前記導光光学素子と前記対物レンズの間の光路長を変化させることで、前記パルスレーザ光の集光位置を、前記光軸に沿うZ方向に走査させるZ走査部とを備えたことを特徴とする光学系。   In the first to fourth embodiments, various configurations including the laser light source 10 and the optical system for irradiating the patient's eye E with the laser are integrally incorporated in the ophthalmic laser surgical apparatuses 1 to 4. Exemplified the case. However, the configuration including the optical system can be modularized and incorporated into the ophthalmic laser surgical apparatuses 1 to 4. In this case, the modularized optical system can be expressed as follows, for example. A deflection device for deflecting pulsed laser light emitted from a laser light source, which is an optical system used in an ophthalmic laser surgical apparatus for treating the patient's eye by condensing pulsed laser light in a tissue of a patient's eye XY scanning unit that scans the pulse laser beam in a direction intersecting the optical axis by the deflection device, and downstream of the optical path of the pulse laser beam than at least one of the deflection devices of the XY scanning unit A light guide optical element that is provided on the side and has a refractive power and guides the pulse laser light downstream of the optical path; and the pulse laser light that has passed through the XY scanning unit and the light guide optical element is introduced into the tissue. By changing the optical path length between the light guide optical element and the objective lens in a state where the objective lens to be condensed and the position of the objective lens in the optical path are fixed The pulsed light condensing position of the laser beam, an optical system characterized in that a Z scan unit for scanning the Z direction along the optical axis.

上記第一〜第四実施形態では、角膜および水晶体を共に処置することが可能な眼科用レーザ手術装置1〜4を例示した。しかし、患者眼Eの特定の部位(例えば、角膜のみ、または水晶体のみ)を処置する眼科用レーザ手術装置にも、上記実施形態で例示した構成を適用できる。なお、角膜のみを処置する場合に比べて、水晶体を処置する場合の方が、Z方向の走査量を大きくする必要がある。さらに、水晶体のみを処置する場合に比べて、角膜と水晶体を共に処置する場合の方が、Z方向の走査量を大きくする必要がある。簡易な構成で適切なZ方向の走査を行うことは、Z方向の走査量が大きい程困難になる。しかし、上記第一〜第四実施形態で例示した技術を用いることで、Z方向の走査を適切に行うことができる。従って、上記第一〜第四実施形態で例示した技術は、水晶体を処置する場合、および、水晶体と角膜を共に処置する場合に、より大きな優位性を発揮する。眼科用レーザ手術装置1〜4では、水晶体と角膜を共に処置する場合でも、角膜処置用の光路と水晶体処置用の光路とを切り換える構成等も必須では無い。   In the first to fourth embodiments, the ophthalmic laser surgical apparatuses 1 to 4 capable of treating both the cornea and the crystalline lens are exemplified. However, the configuration exemplified in the above embodiment can also be applied to an ophthalmic laser surgical apparatus that treats a specific part of the patient's eye E (for example, only the cornea or only the lens). Note that it is necessary to increase the scanning amount in the Z direction when treating the crystalline lens, compared with when treating only the cornea. Furthermore, it is necessary to increase the scanning amount in the Z direction when treating both the cornea and the crystalline lens, compared to treating only the crystalline lens. It is more difficult to perform appropriate Z-direction scanning with a simple configuration as the amount of scanning in the Z-direction increases. However, by using the techniques exemplified in the first to fourth embodiments, scanning in the Z direction can be performed appropriately. Therefore, the techniques exemplified in the first to fourth embodiments exhibit a greater advantage when treating the lens and when treating both the lens and the cornea. In the ophthalmic laser surgical apparatuses 1 to 4, even when both the crystalline lens and the cornea are treated, a configuration for switching the optical path for corneal treatment and the optical path for crystalline lens treatment is not essential.

上記第一実施形態では、Z走査部44は、高速Z走査部15、レンズ21、XY走査部25、および上流側リレー光学素子31を光軸方向に移動させる。また、上記第二実施形態では、Z走査部66は、高速Z走査部15、レンズ21、X偏向デバイス56、および上流側XYリレー光学素子61を光軸方向に移動させる。しかし、Z走査部44,66によって移動される構成を変更することも可能である。例えば、上記第一・第二実施形態において、高速Z走査部15およびレンズ21を、Z走査部44,46によって移動される構成から除外することも可能である。また、Z走査部44,46は、ズームエキスパンダ13等の他の部材も併せてZ方向に移動させてもよい。   In the first embodiment, the Z scanning unit 44 moves the high-speed Z scanning unit 15, the lens 21, the XY scanning unit 25, and the upstream relay optical element 31 in the optical axis direction. In the second embodiment, the Z scanning unit 66 moves the high-speed Z scanning unit 15, the lens 21, the X deflection device 56, and the upstream XY relay optical element 61 in the optical axis direction. However, the configuration moved by the Z scanning units 44 and 66 can be changed. For example, in the first and second embodiments, the high speed Z scanning unit 15 and the lens 21 can be excluded from the configuration moved by the Z scanning units 44 and 46. The Z scanning units 44 and 46 may also move other members such as the zoom expander 13 in the Z direction.

上記第一〜第四実施形態の眼科用レーザ手術装置1〜4は、高速Z走査部15によって、種々の要素に応じて集光位置を高速でZ方向に走査させることができる。しかし、高速Z走査部15を省略することも可能である。また、上記第一〜第四実施形態とは逆に、Z走査部15による走査速度よりも、Z走査部44,66,70,80による走査速度を高速とすることも可能である。この場合でも、1つのZ走査部を用いる場合に比べて処置の精度を容易に向上させることができる。また、上記第一〜第四実施形態の眼科用レーザ手術装置1〜4は、ズームエキスパンダ13によってビーム径を変更することで、パルスレーザ光の開口数NAを調整することができる。しかし、ズームエキスパンダ13を省略することも可能である。また、高速Z走査部15とズームエキスパンダ13の位置を入れ替えてもよい。   The ophthalmic laser surgical apparatuses 1 to 4 according to the first to fourth embodiments can cause the high-speed Z scanning unit 15 to scan the condensing position in the Z direction at high speed according to various elements. However, the high-speed Z scanning unit 15 can be omitted. In contrast to the first to fourth embodiments, the scanning speed of the Z scanning units 44, 66, 70, and 80 can be made higher than the scanning speed of the Z scanning unit 15. Even in this case, the accuracy of treatment can be easily improved as compared with the case of using one Z scanning unit. In addition, the ophthalmic laser surgical apparatuses 1 to 4 according to the first to fourth embodiments can adjust the numerical aperture NA of the pulsed laser light by changing the beam diameter using the zoom expander 13. However, the zoom expander 13 can be omitted. Further, the positions of the high-speed Z scanning unit 15 and the zoom expander 13 may be interchanged.

上記第一〜第四実施形態では、対物レンズ35からのパルスレーザ光の出射角度が固定されている(詳細にはテレセントリックの性能が維持される)。従って、眼科用レーザ手術装置1〜4は、集光位置の高精度な走査を容易に行うことができる。しかし、出射角度が変動する構成としてもよい。この場合、XY走査部25,55の駆動制御等によって集光位置を高精度に走査してもよい。   In the first to fourth embodiments, the emission angle of the pulse laser light from the objective lens 35 is fixed (specifically, telecentric performance is maintained). Therefore, the ophthalmic laser surgical apparatuses 1 to 4 can easily perform high-precision scanning of the condensing position. However, the emission angle may vary. In this case, the condensing position may be scanned with high accuracy by driving control of the XY scanning units 25 and 55 or the like.

上記第一〜第四実施形態では、Z方向の走査に関わらず、対物レンズ35から出射されるパルスレーザ光の開口数NAが維持される。しかし、Z方向の走査に応じて開口数NAが変化してもよい。また、各種パラメータ(例えば、Z方向におけるパルスレーザ光の集光位置)に応じてビームエキスパンダ13等を駆動させることで、開口数NAを変化させてもよい。   In the first to fourth embodiments, the numerical aperture NA of the pulsed laser light emitted from the objective lens 35 is maintained regardless of scanning in the Z direction. However, the numerical aperture NA may change according to scanning in the Z direction. Further, the numerical aperture NA may be changed by driving the beam expander 13 or the like in accordance with various parameters (for example, the condensing position of the pulsed laser beam in the Z direction).

上記実施形態の構成に加え、パルスレーザ光の走査に起因して発生する収差を補正するための構成を設けることも可能である。例えば、XY走査部25,55よりも上流側に、パルスレーザ光の波面を変化させるためのデバイスを設けることで、収差を補正してもよい。また、パルスレーザ光をX方向に走査させるための偏向デバイスと、Y方向に走査させるための偏向デバイスとを別で設ける必要は無い。つまり、眼科用レーザ手術装置は、1つの偏向デバイスでパルスレーザ光をXY方向に走査させてもよい。   In addition to the configuration of the above-described embodiment, it is possible to provide a configuration for correcting aberration that occurs due to scanning of pulsed laser light. For example, the aberration may be corrected by providing a device for changing the wavefront of the pulsed laser light upstream of the XY scanning units 25 and 55. Further, there is no need to separately provide a deflection device for scanning the pulse laser beam in the X direction and a deflection device for scanning in the Y direction. That is, the ophthalmic laser surgical apparatus may scan the pulse laser beam in the XY directions with one deflection device.

上記第三・第四実施形態では、2つの反射部材を備えた反射部71,81によって、パルスレーザ光の進行方向が180度変えられる。この反射部71,81が移動することで、集光位置がZ方向に走査される。しかし、反射部71,81の構成を変更することも可能である。例えば、反射部71,81が備える反射部材は2つに限られない。プリズム等を反射部71,81として用いてもよい。   In the third and fourth embodiments, the traveling direction of the pulsed laser beam is changed by 180 degrees by the reflecting portions 71 and 81 having two reflecting members. As the reflecting portions 71 and 81 move, the condensing position is scanned in the Z direction. However, it is possible to change the configuration of the reflecting portions 71 and 81. For example, the number of reflecting members provided in the reflecting portions 71 and 81 is not limited to two. A prism or the like may be used as the reflecting portions 71 and 81.

1〜4 眼科用レーザ手術装置
10 レーザ光源
13 ズームエキスパンダ
15 高速Z走査部
25,55 XY走査部
26,56 X偏向デバイス
27,57 Y偏向デバイス
30 リレー部
31 上流側リレー光学素子
32 下流側リレー光学素子
35 対物レンズ
44,66,70,80 Z走査部
60 XYリレー部
61 上流側XYリレー光学素子
62 下流側XYリレー光学素子
71,81 反射部
74,84 Z走査駆動部
1-4 Ophthalmic Laser Surgery Device 10 Laser Light Source 13 Zoom Expander 15 High Speed Z Scanning Unit 25, 55 XY Scanning Unit 26, 56 X Deflection Device 27, 57 Y Deflection Device 30 Relay Unit 31 Upstream Relay Optical Element 32 Downstream Relay optical element 35 Objective lens 44, 66, 70, 80 Z scanning part 60 XY relay part 61 Upstream XY relay optical element 62 Downstream XY relay optical element 71, 81 Reflecting part 74, 84 Z scanning drive part

Claims (4)

パルスレーザ光を患者眼前眼部の組織内に集光させることで前記患者眼前眼部を処置する眼科用レーザ手術装置であって、
レーザ光源から出射されたパルスレーザ光を偏向させる偏向デバイスを少なくとも1つ有し、前記偏向デバイスによってパルスレーザ光を光軸に交差する方向に走査するXY走査部と、
前記XY走査部の前記偏向デバイスの少なくともいずれかよりもパルスレーザ光の光路の下流側に設けられ、屈折力を有し、前記光路の下流側にパルスレーザ光を導光させる導光光学素子と、
被検眼の眼前に配置され、前記XY走査部および前記導光光学素子を経たパルスレーザ光を前記組織内に集光させる対物レンズと、
前記光路における前記対物レンズの位置が固定された状態で、前記導光光学素子と前記対物レンズの間の光路長を変化させることで、前記パルスレーザ光の集光位置を、前記光軸に沿うZ方向に走査させるZ走査部と、
を備える眼科用レーザ手術装置であって、
前記導光光学素子は、前記偏向デバイスよりも下流側に位置する上流側リレーレンズ、および、前記上流側リレーレンズと前記対物レンズとの間に位置する下流側リレーレンズを有するリレーレンズ光学系をさらに備え、
前記上流側リレーレンズは、前記上流側リレーレンズの物側焦点が前記偏向デバイスにおけるピボット点と位置するように配置されており、
前記Z走査部は、前記対物レンズ及び前記下流側リレーレンズの位置を固定した状態において、前記偏向デバイスと前記上流側リレーレンズとを含む光学ユニットを前記光軸に沿って移動させることで、前記上流側リレーレンズと前記対物レンズとの間の光路長を変化させることを特徴とする眼科用レーザ手術装置。
An ophthalmic laser surgical apparatus for treating the patient's anterior eye by focusing pulsed laser light in the tissue of the patient's anterior eye,
An XY scanning unit having at least one deflection device for deflecting pulsed laser light emitted from a laser light source, and scanning the pulsed laser light in a direction intersecting the optical axis by the deflection device;
A light guide optical element that is provided on the downstream side of the optical path of the pulse laser beam with respect to at least one of the deflection devices of the XY scanning unit, has a refractive power, and guides the pulse laser beam downstream of the optical path; ,
An objective lens that is disposed in front of the eye to be examined and focuses the pulsed laser light that has passed through the XY scanning unit and the light guide optical element into the tissue;
By changing the optical path length between the light guide optical element and the objective lens in a state where the position of the objective lens in the optical path is fixed, the condensing position of the pulse laser light is along the optical axis. A Z scanning section for scanning in the Z direction;
An ophthalmic laser surgical apparatus comprising:
The light guide optical element includes a relay lens optical system including an upstream relay lens positioned downstream of the deflection device, and a downstream relay lens positioned between the upstream relay lens and the objective lens. In addition,
The upstream relay lens is arranged so that the object-side focal point of the upstream relay lens is positioned as a pivot point in the deflection device,
The Z scanning unit moves the optical unit including the deflection device and the upstream relay lens along the optical axis in a state where the positions of the objective lens and the downstream relay lens are fixed, An ophthalmic laser surgical apparatus, wherein an optical path length between an upstream relay lens and the objective lens is changed.
パルスレーザ光を患者眼前眼部の組織内に集光させることで前記患者眼前眼部を処置する眼科用レーザ手術装置であって、
レーザ光源から出射されたパルスレーザ光を偏向させる偏向デバイスを少なくとも1つ有し、前記偏向デバイスによってパルスレーザ光を光軸に交差する方向に走査するXY走査部と、
前記XY走査部の前記偏向デバイスの少なくともいずれかよりもパルスレーザ光の光路の下流側に設けられ、屈折力を有し、前記光路の下流側にパルスレーザ光を導光させる導光光学素子と、
被検眼の眼前に配置され、前記XY走査部および前記導光光学素子を経たパルスレーザ光を前記組織内に集光させる対物レンズと、
前記光路における前記対物レンズの位置が固定された状態で、前記導光光学素子と前記対物レンズの間の光路長を変化させることで、前記パルスレーザ光の集光位置を、前記光軸に沿うZ方向に走査させるZ走査部と、
を備える眼科用レーザ手術装置であって、
前記導光光学素子は、前記偏向デバイスよりも下流側に位置する上流側リレーレンズ、および、前記上流側リレーレンズと前記対物レンズとの間に位置する下流側リレーレンズを有するリレーレンズ光学系をさらに備え、
前記上流側リレーレンズは、前記上流側リレーレンズの物側焦点が前記偏向デバイスにおけるピボット点と位置するように配置されており、
前記Z走査部は、前記対物レンズ、前記下流側リレーレンズ、及び前記上流側リレーレンズの位置を固定した状態において、前記光路に配置され前記パルスレーザを反射する反射部を移動させることで、前記上流側リレーレンズと前記対物レンズとの間の光路長を変化させることを特徴とする眼科用レーザ手術装置。
An ophthalmic laser surgical apparatus for treating the patient's anterior eye by focusing pulsed laser light in the tissue of the patient's anterior eye,
An XY scanning unit having at least one deflection device for deflecting pulsed laser light emitted from a laser light source, and scanning the pulsed laser light in a direction intersecting the optical axis by the deflection device;
A light guide optical element that is provided on the downstream side of the optical path of the pulse laser beam with respect to at least one of the deflection devices of the XY scanning unit, has a refractive power, and guides the pulse laser beam downstream of the optical path; ,
An objective lens that is disposed in front of the eye to be examined and focuses the pulsed laser light that has passed through the XY scanning unit and the light guide optical element into the tissue;
By changing the optical path length between the light guide optical element and the objective lens in a state where the position of the objective lens in the optical path is fixed, the condensing position of the pulse laser light is along the optical axis. A Z scanning section for scanning in the Z direction;
An ophthalmic laser surgical apparatus comprising:
The light guide optical element includes a relay lens optical system including an upstream relay lens positioned downstream of the deflection device, and a downstream relay lens positioned between the upstream relay lens and the objective lens. In addition,
The upstream relay lens is arranged so that the object-side focal point of the upstream relay lens is positioned as a pivot point in the deflection device,
The Z scanning unit moves a reflecting unit that is arranged in the optical path and reflects the pulsed laser light in a state where the positions of the objective lens, the downstream relay lens , and the upstream relay lens are fixed. An ophthalmic laser surgical apparatus, wherein an optical path length between the upstream relay lens and the objective lens is changed.
請求項1又は2に記載の眼科用レーザ手術装置であって、
前記XY走査部によって走査される全てのパルスレーザ光の主光線が、前記対物レンズの物側焦点を通過することを特徴とする眼科用レーザ手術装置。
The ophthalmic laser surgical apparatus according to claim 1 or 2,
An ophthalmic laser surgical apparatus, wherein chief rays of all pulsed laser beams scanned by the XY scanning unit pass through an object side focal point of the objective lens.
請求項1から3のいずれかに記載の眼科用レーザ手術装置であって、
前記光路において前記対物レンズよりも上流側に位置する光学素子のうち、前記対物レンズに最も近く且つ屈折力を有する光学素子の主平面と、前記対物レンズの主平面との距離が、互いの焦点距離の和に等しいことを特徴とする眼科用レーザ手術装置。
An ophthalmic laser surgical apparatus according to any one of claims 1 to 3,
Of the optical elements located upstream of the objective lens in the optical path, the distance between the principal plane of the optical element closest to the objective lens and having a refractive power and the principal plane of the objective lens is the focal point of each other. An ophthalmic laser surgical device characterized by being equal to the sum of distances.
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