JP6197094B1

JP6197094B1 - Ozone concentration measuring device

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Publication number: JP6197094B1
Application number: JP2016240849A
Authority: JP
Inventors: 光重関口; 和隆村田
Original assignee: Nikka Micron Co Ltd
Current assignee: Nikka Micron Co Ltd
Priority date: 2016-12-13
Filing date: 2016-12-13
Publication date: 2017-09-13
Anticipated expiration: 2036-12-13
Also published as: JP2018096802A

Abstract

【課題】本発明の課題は、水圧や気圧、衝撃により測定用チューブが割れることがなく、環境に優しいオゾン濃度測定装置を提供することである。【解決手段】本発明のオゾン濃度測定装置は、紫外線吸光法によりオゾン水又はオゾンガスのオゾン濃度を測定するオゾン濃度測定装置であって、オゾン水又はオゾンガスが流れる測定用チューブと、前記測定用チューブ内を流れるオゾン水又はオゾンガスに、波長２４０〜２７０ｎｍの範囲内の紫外線を照射するＵＶ−ＬＥＤと、前記ＵＶ−ＬＥＤから前記測定用チューブ内のオゾン水又はオゾンガスに照射して透過した紫外線を受光して紫外線吸光度を測定し、オゾン濃度を測定する測定部と、を備え、前記測定用チューブが、フッ素系樹脂からなることを特徴とする。【選択図】図２An object of the present invention is to provide an environmentally friendly ozone concentration measuring device in which a measuring tube is not broken by water pressure, atmospheric pressure, or impact. An ozone concentration measuring device according to the present invention is an ozone concentration measuring device for measuring the ozone concentration of ozone water or ozone gas by ultraviolet absorption method, the measuring tube through which ozone water or ozone gas flows, and the measuring tube. UV-LED that irradiates ozone water or ozone gas flowing in the interior with ultraviolet light within a wavelength range of 240 to 270 nm, and UV light that is transmitted from the UV-LED to ozone water or ozone gas in the measurement tube. And measuring the ozone concentration, and the measuring tube is made of a fluororesin. [Selection] Figure 2

Description

本発明は、紫外線吸光法によりオゾン水又はオゾンガスのオゾン濃度を測定するオゾン濃度測定装置に関する。 The present invention relates to an ozone concentration measuring apparatus that measures the ozone concentration of ozone water or ozone gas by ultraviolet absorption.

オゾン水は、その殺菌性や脱臭性、さらに細胞に与える活性などの多くの分野における寄与が認められ、さらに水に溶解したオゾンは呼吸器への影響がないことから、産業用を初め医療や介護などの分野で広く利用されている。しかしながら、オゾン水の濃度は短時間で減衰することから、使用する現場においての濃度の指示と確認が強く要求されている。 Ozone water has been recognized for its contributions in many fields, such as its bactericidal and deodorizing properties, as well as its activity on cells, and ozone dissolved in water has no effect on respiratory organs. Widely used in fields such as nursing care. However, since the concentration of ozone water attenuates in a short time, there is a strong demand for indication and confirmation of the concentration at the site of use.

従来、オゾン水の濃度測定方法としては、ヨウ化カリウム等の試薬の色変化を見るヨウ素・色素滴定法があるが、この方法は測定者の目視判断であるため、測定値に個人差が生じてしまうという問題がある。また、測定後の廃液の処理が必要であり、さらに、試薬の準備のコストが大きい。また、操作が簡便でないため、一般のオゾン水利用現場では煩雑で実用することができない。
そのため、オゾン水の紫外線吸光度を測定する紫外線吸光法や、オゾン透過性の高い隔膜によって電極及び電解質を、試料溶液であるオゾン水から遮断する構造とし、電極間に一定電圧を印加することによって、隔膜を透過して電解質中を拡散したオゾン量に比例する電流値からオゾン濃度を測定する隔膜ポーラログラフ法が利用されている。
隔膜ポーラログラフ法は、隔膜や過酸化水素、過硫素酸、フッ素酸又は塩素酸等の電解質を使用しているため、これら隔膜や電解質の定期的なメンテナンスが必要である。また、電解質の種類によっては廃液処理の問題や、電解質による電極の腐食のおそれがある。 Conventionally, as a method for measuring the concentration of ozone water, there is an iodine / dye titration method in which the color change of a reagent such as potassium iodide is observed. There is a problem that it ends up. Further, it is necessary to treat the waste liquid after the measurement, and the cost for preparing the reagent is high. Further, since the operation is not simple, it is complicated and cannot be put into practical use at a general ozone water use site.
Therefore, the ultraviolet absorption method for measuring the ultraviolet absorbance of ozone water, and a structure in which the electrode and electrolyte are shielded from ozone water as a sample solution by a diaphragm having high ozone permeability, and by applying a constant voltage between the electrodes, A diaphragm polarographic method is used in which the ozone concentration is measured from a current value proportional to the amount of ozone that has permeated through the diaphragm and diffused in the electrolyte.
Since the diaphragm polarographic method uses an electrolyte such as a diaphragm and hydrogen peroxide, persulfuric acid, fluoric acid, or chloric acid, regular maintenance of the diaphragm and electrolyte is necessary. In addition, depending on the type of electrolyte, there is a risk of waste liquid treatment and corrosion of the electrode by the electrolyte.

紫外線吸光法としては、例えば特許文献１に記載の技術が挙げられる。この技術では、試料セル内にオゾン水を流入させ、オゾン水中の溶存オゾンを気相中へ移動させて、移動したオゾンガスに紫外線を照射し、その紫外線の透過量を光学測定手段によって測定する。次に、オゾンガスを含まない酸素含有ガスを試料セル内に導入し、同様に紫外線の透過量を測定して、ランバート・ベールの法則により溶存オゾンの濃度を測定している。 Examples of the ultraviolet absorption method include the technique described in Patent Document 1. In this technique, ozone water is introduced into a sample cell, dissolved ozone in ozone water is moved into the gas phase, ultraviolet light is irradiated to the moved ozone gas, and the amount of transmitted ultraviolet light is measured by an optical measuring means. Next, an oxygen-containing gas not containing ozone gas is introduced into the sample cell, and the amount of transmitted ultraviolet light is measured in the same manner, and the concentration of dissolved ozone is measured according to Lambert-Beer's law.

紫外線吸光法で使用する試料セルには、通常、石英やガラスを用いている。この場合、例えば、図８に示すように、ガラス管２０１の両端部にそれぞれガラス管用継手２０２，２０２を取り付けて、ガラス管２０１を保持し、ガラス管用継手２０２，２０２にオゾン水又はオゾンガスを流すチューブ２０３，２０３を取り付けている。 Quartz or glass is usually used for the sample cell used in the ultraviolet absorption method. In this case, for example, as shown in FIG. 8, glass tube joints 202 and 202 are attached to both ends of glass tube 201, glass tube 201 is held, and ozone water or ozone gas is allowed to flow through glass tube joints 202 and 202. Tubes 203 and 203 are attached.

しかしながら、ガラス管用継手２０２を用いたガラス管２０１の保持方法では、ガラス管２０１の両端部をそれぞれガラス管用継手２０２，２０２に差し込んで取り付ける際に、強い力が加わることからガラス管２０１が割れやすく、また、ガラス管２０１内の水圧や気圧によってもガラス管２０１が割れ易かった。さらに、このようなガラス管２０１を組み込んだ濃度測定装置自体を移動させている際の衝撃によりガラス管２０１が割れることがあった。そのため、ガラス管２０１が割れない工夫をする必要がり、板金やアルミのブロック等でガラス管２０１を保護していたが、装置が大型化していた。
さらに、この紫外線吸光法で使用する光源として、低圧水銀ランプ２０４等を使用しているが、水銀フリー化への動きが強まってきていること、また、省エネルギーへのニーズも高まってきていることから、水銀ランプを使用することは好ましくなかった。なお、図８中、符号２０５は、受光素子を示している。 However, in the method of holding the glass tube 201 using the glass tube joint 202, when the both ends of the glass tube 201 are inserted into the glass tube joints 202 and 202, respectively, a strong force is applied, so that the glass tube 201 is easily broken. Moreover, the glass tube 201 was easily broken by the water pressure and the atmospheric pressure in the glass tube 201. Furthermore, the glass tube 201 may be broken by an impact when the concentration measuring device itself incorporating such a glass tube 201 is moved. For this reason, it is necessary to devise measures to prevent the glass tube 201 from being broken, and the glass tube 201 is protected by a sheet metal, an aluminum block, or the like, but the apparatus is enlarged.
Furthermore, although the low-pressure mercury lamp 204 or the like is used as the light source used in the ultraviolet absorption method, the movement toward mercury-free is becoming stronger, and the need for energy saving is also increasing. It was not preferable to use a mercury lamp. In FIG. 8, reference numeral 205 denotes a light receiving element.

特許第３２９９３３６号公報Japanese Patent No. 3299336

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、水圧や気圧、衝撃により測定用チューブが割れることがなく、環境に優しいオゾン濃度測定装置を提供することを課題としている。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to provide an environmentally-friendly ozone concentration measuring device in which a measurement tube is not broken by water pressure, atmospheric pressure, or impact.

本発明者は、上記課題を解決すべく、上記問題の原因等について検討する過程において、オゾン水又はオゾンガスを流して測定するための測定用チューブをフッ素系樹脂から形成し、また、紫外線を照射する手段として、ＵＶ−ＬＥＤを用いることにより、水圧や気圧、衝撃により測定用チューブが割れることがなく、環境に優しいオゾン濃度測定装置を提供することができることを見いだし本発明に至った。
すなわち、本発明に係る上記課題は、以下の手段により解決される。 In order to solve the above problems, the present inventor formed a measurement tube for measuring by flowing ozone water or ozone gas in the process of examining the cause of the above problems, etc., and irradiating with ultraviolet rays. As a means for achieving this, the present inventors have found that by using a UV-LED, it is possible to provide an environmentally friendly ozone concentration measuring device without breaking the measuring tube due to water pressure, atmospheric pressure, or impact, and the present invention has been achieved.
That is, the said subject which concerns on this invention is solved by the following means.

１．紫外線吸光法によりオゾン水又はオゾンガスのオゾン濃度を測定するオゾン濃度測定装置であって、
オゾン水又はオゾンガスが流れる測定用チューブと、
前記測定用チューブ内を流れるオゾン水又はオゾンガスに、波長２４０〜２７０ｎｍの範囲内の紫外線を照射するＵＶ−ＬＥＤと、
前記ＵＶ−ＬＥＤから前記測定用チューブ内のオゾン水又はオゾンガスに照射して透過した紫外線を受光して紫外線吸光度を測定し、オゾン濃度を測定する測定部と、を備え、
前記測定用チューブが、フッ素系樹脂、干渉フィルム及びフッ素系樹脂の順に積層されてなるチューブであり、
前記干渉フィルムが、波長２４０〜２７０ｎｍの範囲内の紫外線を選択的に透過するフィルムであることを特徴とするオゾン濃度測定装置。 1. An ozone concentration measuring device that measures the ozone concentration of ozone water or ozone gas by ultraviolet absorption,
A measuring tube through which ozone water or ozone gas flows;
UV-LED for irradiating ozone water or ozone gas flowing in the measurement tube with ultraviolet rays in a wavelength range of 240 to 270 nm;
A measurement unit that receives UV light transmitted from the UV-LED to the ozone water or ozone gas in the measurement tube and receives UV light, measures UV absorbance, and measures ozone concentration; and
The measurement tube is a tube formed by laminating a fluororesin, an interference film and a fluororesin in this order,
The ozone concentration measuring apparatus , wherein the interference film is a film that selectively transmits ultraviolet rays within a wavelength range of 240 to 270 nm .

２．前記測定用チューブが、可塑剤を含有しないことを特徴とする第１項に記載のオゾン濃度測定装置。 2 . The ozone concentration measuring apparatus according to item 1, wherein the measuring tube does not contain a plasticizer.

本発明によれば、測定用チューブがフッ素系樹脂からなるので、従来のようなガラスの場合に比べて、オゾン水やオゾンガスによる水圧や気圧によって割れたり、また、装置自体の移動による衝撃によって割れることがない。また、取扱いも容易である。
さらに、紫外線を照射する手段として、従来のような水銀ランプではなく、ＵＶ−ＬＥＤを使用することから、水銀フリー化を図れ、環境に優しい。 According to the present invention, since the measuring tube is made of a fluororesin, it is cracked by water pressure or atmospheric pressure due to ozone water or ozone gas, or cracked by impact due to movement of the device itself, as compared to the case of conventional glass. There is nothing. Moreover, handling is also easy.
Further, since UV-LEDs are used as means for irradiating ultraviolet rays instead of conventional mercury lamps, mercury-free operation can be achieved, which is environmentally friendly.

本発明のオゾン濃度測定装置の外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the ozone concentration measuring apparatus of this invention. （ａ）は、図１のＸ−Ｘ線矢視断面図、（ｂ）は、図２（ａ）の上面図、（ｃ）は、図２（ａ）の側面図である。(A) is a sectional view taken along line XX in FIG. 1, (b) is a top view of FIG. 2 (a), and (c) is a side view of FIG. 2 (a). 図１のＹ−Ｙ線矢視断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line YY in FIG. 1. 本発明のオゾン濃度測定装置の変形例であり、（ａ）は、図２（ａ）と同様の矢視断面図、（ｂ）は、図４（ａ）の上面図、（ｃ）は、図４（ａ）の側面図である。It is a modification of the ozone concentration measuring device of the present invention, (a) is a cross-sectional view similar to FIG. 2 (a), (b) is a top view of FIG. 4 (a), (c), It is a side view of Fig.4 (a). 本発明のオゾン濃度測定装置の変形例であり、（ａ）は、図２（ａ）と同様の矢視断面図、（ｂ）は、図５（ａ）の上面図、（ｃ）は、図５（ａ）の側面図である。It is a modification of the ozone concentration measuring device of the present invention, (a) is a cross-sectional view similar to FIG. 2 (a), (b) is a top view of FIG. 5 (a), (c), FIG. 6 is a side view of FIG. 本発明のオゾン濃度測定装置の変形例であり、（ａ）は、図２（ａ）と同様の矢視断面図、（ｂ）は、図６（ａ）の上面図である。It is a modification of the ozone concentration measuring apparatus of this invention, (a) is arrow sectional drawing similar to Fig.2 (a), (b) is a top view of Fig.6 (a). 本発明のオゾン濃度測定装置の変形例であり、（ａ）は、図２（ａ）と同様の矢視断面図、（ｂ）は、図７（ａ）の上面図、（ｃ）は、図７（ａ）の側面図である。It is a modification of the ozone concentration measuring apparatus of the present invention, (a) is a cross-sectional view similar to FIG. 2 (a), (b) is a top view of FIG. 7 (a), (c), FIG. 8 is a side view of FIG. 従来例のオゾン濃度測定装置の概略図である。It is the schematic of the ozone concentration measuring apparatus of a prior art example.

本発明のオゾン濃度測定装置は、紫外線吸光法によりオゾン水又はオゾンガスのオゾン濃度を測定するオゾン濃度測定装置であって、オゾン水又はオゾンガスが流れる測定用チューブと、前記測定用チューブ内を流れるオゾン水又はオゾンガスに、波長２４０〜２７０ｎｍの範囲内の紫外線を照射するＵＶ−ＬＥＤと、前記ＵＶ−ＬＥＤから前記測定用チューブ内のオゾン水又はオゾンガスに照射して透過した紫外線を受光して紫外線吸光度を測定し、オゾン濃度を測定する測定部と、を備え、前記測定用チューブが、フッ素系樹脂からなることを特徴とする。この特徴は、各請求項に係る発明に共通又は対応する技術的特徴である。
本発明の実施態様としては、前記測定用チューブの外周面に、波長２４０〜２７０ｎｍの範囲内の紫外線を選択的に透過する干渉フィルムが設けられていることが、干渉物質を低減できる点で好ましい。
前記測定用チューブの内部に、波長２４０〜２７０ｎｍの範囲内の紫外線を選択的に透過する干渉フィルムが設けられていることが、干渉物質を低減できる点で好ましい。また、測定用チューブの外周面に干渉フィルムを貼る場合に比べて、作業時間が短縮できる点で好ましく、さらに、干渉フィルムを貼り付けた場合に発生する気泡を配慮する必要がなくなる点で好ましい。
前記測定用チューブが、可塑剤を含有しないことが、紫外線透過量を上げることができる点で好ましい。また、高温での測定用チューブの軟化を抑制することができ、幅広い温度範囲における強度を保つことができる。 The ozone concentration measuring device of the present invention is an ozone concentration measuring device for measuring the ozone concentration of ozone water or ozone gas by ultraviolet absorption method, and is a measuring tube through which ozone water or ozone gas flows, and ozone flowing through the measuring tube. UV-LED that irradiates water or ozone gas with ultraviolet rays within a wavelength range of 240 to 270 nm, and UV light that is transmitted from the UV-LED to the ozone water or ozone gas in the measurement tube. And measuring the ozone concentration, and the measuring tube is made of a fluororesin. This feature is a technical feature common to or corresponding to the claimed invention.
As an embodiment of the present invention, it is preferable that an interference film that selectively transmits ultraviolet rays in the wavelength range of 240 to 270 nm is provided on the outer peripheral surface of the measurement tube in terms of reducing interference substances. .
It is preferable that an interference film that selectively transmits ultraviolet rays within a wavelength range of 240 to 270 nm is provided inside the measurement tube in terms of reducing interference substances. Further, it is preferable in that the working time can be shortened as compared with the case where an interference film is attached to the outer peripheral surface of the measuring tube, and further, it is preferable in that it is not necessary to consider the bubbles generated when the interference film is attached.
It is preferable that the measurement tube does not contain a plasticizer in terms of increasing the amount of transmitted ultraviolet light. Moreover, softening of the measurement tube at high temperature can be suppressed, and strength in a wide temperature range can be maintained.

以下、本発明とその構成要素、及び本発明を実施するための形態・態様について詳細な説明をする。なお、本願において、「〜」は、その前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味で使用する。 Hereinafter, the present invention, its components, and modes and modes for carrying out the present invention will be described in detail. In addition, in this application, "-" is used in the meaning which includes the numerical value described before and behind that as a lower limit and an upper limit.

［オゾン濃度測定装置］
本発明のオゾン濃度測定装置は、紫外線吸光法によりオゾン濃度を測定するオゾン濃度測定装置である。
図１は、本発明のオゾン濃度測定装置の外観斜視図、図２（ａ）は、図１のＸ−Ｘ線矢視断面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）の上面図、図２（ｃ）は、図２（ａ）の側面図である。図３は、図１のＹ−Ｙ線矢視断面図である。 [Ozone concentration measuring device]
The ozone concentration measuring device of the present invention is an ozone concentration measuring device that measures ozone concentration by ultraviolet absorption.
1 is an external perspective view of an ozone concentration measuring apparatus according to the present invention, FIG. 2A is a cross-sectional view taken along line XX in FIG. 1, and FIG. 2B is a top view of FIG. FIG. 2 (c) is a side view of FIG. 2 (a). 3 is a cross-sectional view taken along line YY in FIG.

本発明のオゾン濃度測定装置１００は、オゾン水又はオゾンガスが流れる測定用チューブ１と、測定用チューブ１内を流れるオゾン水又はオゾンガスに波長２４０〜２７０ｎｍの範囲内の紫外線を照射するＵＶ−ＬＥＤ２１（光源部２）と、ＵＶ−ＬＥＤ２１から測定用チューブ１内のオゾン水又はオゾンガスに照射して透過した紫外線を受光して紫外線吸光度を測定し、オゾン濃度を測定する測定部３と、を備える。
本発明では、測定用チューブ１が、フッ素系樹脂からなることを特徴とする。
また、測定用チューブ１を保持するケース本体４が、第１の筐体５と第２の筐体６とを有する。 The ozone concentration measuring apparatus 100 of the present invention includes a measurement tube 1 through which ozone water or ozone gas flows, and a UV-LED 21 (which irradiates ozone water or ozone gas flowing through the measurement tube 1 with ultraviolet light having a wavelength of 240 to 270 nm. A light source unit 2), and a measurement unit 3 that receives UV light transmitted from the UV-LED 21 to the ozone water or ozone gas in the measurement tube 1 to measure ultraviolet absorbance and measure ozone concentration.
In the present invention, the measuring tube 1 is made of a fluorine-based resin.
The case main body 4 that holds the measurement tube 1 includes a first housing 5 and a second housing 6.

第１の筐体５は、略直方体状をなしており、第２の筐体６に対向する対向面５ａに、凹部５１が形成されている。凹部５１は、第１の筐体５の上下面に貫通して溝状に形成されている。
凹部５１を形成する底面には、測定用チューブ１の一端部が、Ｏリング等のシーリング材５６を介して嵌合する嵌合穴５２が形成されている。
これによって、測定用チューブ１の一端部と第１の筐体５（凹部５１）との間の水密性が確保され、後述する光源部２や測定部３側へオゾン水やオゾンガスが漏れない構造となっている。
また、第１の筐体５の前記対向面５ａと反対側の面５ｂには、凹部５１（嵌合穴５２）に連通し、継手８１（図２（ａ）のみ記載）が取り付けられる継手用挿通部５３が形成されている。継手用挿通部５３の内周面には、雌ネジ５４が形成されており、この雌ネジ５４に雄ネジ８３が形成された継手８１が螺合されるようになっている。
継手８１は、円筒状をなしており、オゾン水又はオゾンガスが流れるオゾン供給用チューブ９１（図２（ａ）のみ記載）の下流側端部に接続されるようになっている。
オゾン供給用チューブ９１は、オゾン耐性のある材料であればよく、シリコン製又はフッ素系樹脂製であることが好ましい。 The first housing 5 has a substantially rectangular parallelepiped shape, and a concave portion 51 is formed on the facing surface 5 a facing the second housing 6. The recess 51 is formed in a groove shape penetrating the upper and lower surfaces of the first housing 5.
A fitting hole 52 into which one end of the measuring tube 1 is fitted via a sealing material 56 such as an O-ring is formed on the bottom surface forming the recess 51.
As a result, watertightness between one end of the measurement tube 1 and the first housing 5 (recessed portion 51) is ensured, and a structure in which ozone water or ozone gas does not leak to the light source unit 2 or the measurement unit 3 described later. It has become.
Further, the surface 5b opposite to the facing surface 5a of the first housing 5 communicates with the recess 51 (fitting hole 52), and a joint 81 (described only in FIG. 2A) is attached to the joint. An insertion portion 53 is formed. A female screw 54 is formed on the inner peripheral surface of the joint insertion portion 53, and a joint 81 in which a male screw 83 is formed is screwed to the female screw 54.
The joint 81 has a cylindrical shape and is connected to a downstream end of an ozone supply tube 91 (only FIG. 2A) through which ozone water or ozone gas flows.
The ozone supply tube 91 may be any material that is resistant to ozone, and is preferably made of silicon or fluorine resin.

オゾン供給用チューブ９１の上流側端部は、例えば、オゾン水が貯留されるオゾン水用タンクや、オゾン水が生成されるオゾン水生成装置、オゾンガスが生成されるオゾンガス生成装置等のオゾン水供給源に接続されている。
そして、オゾン供給源から供給されたオゾン水又はオゾンガスは、オゾン供給用チューブ９１及び継手８１を介して、測定用チューブ１内を流れるようになっている。 The upstream end of the ozone supply tube 91 is, for example, an ozone water supply such as a tank for ozone water in which ozone water is stored, an ozone water generator for generating ozone water, an ozone gas generator for generating ozone gas, or the like. Connected to the source.
The ozone water or ozone gas supplied from the ozone supply source flows in the measurement tube 1 through the ozone supply tube 91 and the joint 81.

第１の筐体５の前記対向面５ａと反対側の面５ｂには、対向面５ａに貫通し、第１の筐体５及び第２の筐体６を組み付けた際に２つの筐体５，６を固定するためのネジＮ１が挿通されるネジ用挿通部５５が形成されている（図３参照）。 The surface 5b opposite to the facing surface 5a of the first housing 5 penetrates the facing surface 5a, and the two housings 5 are assembled when the first housing 5 and the second housing 6 are assembled. , 6 is formed with a screw insertion portion 55 through which a screw N1 is inserted (see FIG. 3).

第２の筐体６は、第１の筐体５と左右対称形状をなしている。そのため、部品点数を削減することができ、製造面で簡略化を図れる点で好ましい。
第２の筐体６は、第１の筐体５と同様に、凹部６１が形成され、凹部６１を形成する底面には、測定用チューブ１の他端部が、Ｏリング等のシーリング材６６を介して嵌合する嵌合穴６２が形成されている。
また、第２の筐体６には、第１の筐体５と同様に、継手用挿通部６３が形成されており、継手用挿通部６３に継手８２（図２（ａ）のみ記載）が固定されるようになっている。継手８２は、オゾン水又はオゾンガスが流れるオゾン排出用チューブ９２（図２（ａ）のみ記載）の上流側端部に接続されるようになっている。なお、図示しないが、継手８２にも継手用挿通部６３の雌ネジ６４に螺合する雄ネジが形成されている。
オゾン排出用チューブ９２は、オゾン耐性のある材料であればよく、シリコン製又はフッ素系樹脂製であることが好ましい。 The second housing 6 has a symmetrical shape with the first housing 5. Therefore, it is preferable in that the number of parts can be reduced and the manufacturing can be simplified.
Similar to the first housing 5, the second housing 6 is formed with a recess 61. On the bottom surface forming the recess 61, the other end of the measuring tube 1 is a sealing material 66 such as an O-ring. The fitting hole 62 which fits via is formed.
Further, similarly to the first housing 5, a joint insertion portion 63 is formed in the second housing 6, and a joint 82 (only FIG. 2A is described) is provided in the joint insertion portion 63. It is supposed to be fixed. The joint 82 is connected to the upstream end of an ozone discharge tube 92 (only FIG. 2A) through which ozone water or ozone gas flows. Although not shown, the joint 82 is also formed with a male screw that is screwed into the female screw 64 of the joint insertion portion 63.
The ozone discharge tube 92 may be any material that is resistant to ozone, and is preferably made of silicon or fluorine resin.

オゾン排出用チューブ９２の下流側端部は、例えば、オゾン水が排出されるオゾン水排出用のタンクや、オゾンガスが排出されるオゾンガス排出用のタンク等に接続されている。
そして、測定用チューブ１内を流れたオゾン水又はオゾンガスは、継手８２及びオゾン排出用チューブ９２を介して、外部に排出されるようになっている。
なお、本発明において、第１の筐体５に形成された継手用挿通部５３及び継手８１、第２の筐体６に形成された継手用挿通部６３及び継手８２によって、本発明におけるオゾン用流路が構成されている。
さらに、第２の筐体６には、第１の筐体５と同様に、ネジＮ１が挿通されるネジ用挿通部６５が形成されている（図３参照）。 The downstream end of the ozone discharge tube 92 is connected to, for example, an ozone water discharge tank from which ozone water is discharged, an ozone gas discharge tank from which ozone gas is discharged, or the like.
The ozone water or ozone gas flowing through the measurement tube 1 is discharged to the outside through the joint 82 and the ozone discharge tube 92.
In the present invention, the joint insertion portion 53 and joint 81 formed in the first housing 5 and the joint insertion portion 63 and joint 82 formed in the second housing 6 are used for ozone in the present invention. A flow path is configured.
Further, similarly to the first housing 5, a screw insertion portion 65 through which the screw N <b> 1 is inserted is formed in the second housing 6 (see FIG. 3).

以上のような構成の第１及び第２の筐体５，６は、各筐体５，６の凹部５１，６１を互いに対向させて、第１の筐体５の嵌合穴５２に測定用チューブ１の一端部を嵌合させ、第２の筐体６の嵌合穴６２に測定用チューブ１の他端部を嵌合させるとともに、第１及び第２の筐体５，６を組み付けて、各筐体５，６のネジ用挿通部５５，６５からネジＮ１，Ｎ１を挿通して止着することにより、ケース本体４が構成される。
ここで、第１の筐体５側から挿通されるネジＮ１は、第２の筐体６側に向けて止着され、第２の筐体６側から挿通されるネジＮ１は、第１の筐体５側に向けて止着され、２つのネジＮ１，Ｎ１は互いに異なる方向から止着されている。そのため、振動や衝撃を受けた場合でもネジＮ１，Ｎ１が弛みにくく、第１及び第２の筐体５，６が強固に固定されるようになっている。 The first and second casings 5 and 6 configured as described above are used for measurement in the fitting holes 52 of the first casing 5 with the recesses 51 and 61 of the casings 5 and 6 facing each other. One end of the tube 1 is fitted, the other end of the measurement tube 1 is fitted into the fitting hole 62 of the second casing 6, and the first and second casings 5 and 6 are assembled. The case body 4 is configured by inserting and fastening the screws N1 and N1 from the screw insertion portions 55 and 65 of the housings 5 and 6, respectively.
Here, the screw N1 inserted from the first housing 5 side is fixed toward the second housing 6 side, and the screw N1 inserted from the second housing 6 side is the first screw The two screws N1 and N1 are fastened from different directions, and are fastened toward the housing 5 side. Therefore, the screws N1 and N1 are not easily loosened even when subjected to vibration or impact, and the first and second housings 5 and 6 are firmly fixed.

そして、上述のように組み付けられたケース本体４において、第１及び第２の筐体５，６の凹部５１，６１によって形成される収容部７に、測定用チューブ１が配置される。
また、収容部７は、ケース本体４（第１の筐体５及び第２の筐体６）の上下面に貫通している。そして、ケース本体４の下面に露出する収容部７に、光源部２が嵌め込まれ、ケース本体４の上面に露出する収容部７に、測定部３が嵌め込まれている（図２参照）。 In the case body 4 assembled as described above, the measurement tube 1 is disposed in the housing portion 7 formed by the recesses 51 and 61 of the first and second casings 5 and 6.
The accommodating portion 7 penetrates the upper and lower surfaces of the case main body 4 (the first housing 5 and the second housing 6). And the light source part 2 is fitted in the accommodating part 7 exposed on the lower surface of the case body 4, and the measuring part 3 is fitted in the accommodating part 7 exposed on the upper surface of the case body 4 (see FIG. 2).

測定用チューブ１は、円筒状をなしたチューブ状であり、内径がφ１〜φ１１ｍの範囲内、外径がφ２〜φ１２ｍｍの範囲内、長さが５〜１５０ｍｍの範囲内であることが、光量が低下せずに、高精度に濃度測定することができる点で好ましい。
また、測定用チューブ１は、フッ素系樹脂からなることを特徴とする。フッ素系樹脂を用いることによって、測定用チューブ１内のオゾン水による水圧やオゾンガスによる気圧、また、衝撃が加わった際にも割れにくく、扱い易い。 The measuring tube 1 has a cylindrical tube shape, the inner diameter is in the range of φ1 to φ11 m, the outer diameter is in the range of φ2 to φ12 mm, and the length is in the range of 5 to 150 mm. Is preferable in that the concentration can be measured with high accuracy without lowering.
The measuring tube 1 is made of a fluorine-based resin. By using a fluorine-based resin, it is hard to break and easy to handle even when a water pressure by ozone water or an atmospheric pressure by ozone gas in the measuring tube 1 or an impact is applied.

フッ素系樹脂としては、例えば、テトラフルオロエチレン共重合体（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシ樹脂（ＰＦＡ）、フッ化エチレンプロピレン樹脂（ＦＥＰ）等の四フッ化エチレン系樹脂重合体等が挙げられる。
また、測定用チューブ１には、可塑剤を含有させてもよいが、可塑剤を含有させないことが、紫外線の透過量を上げることができる点で好ましい。また、高温での測定用チューブ１の軟化を抑制することができ、幅広い温度範囲における強度を保つことができる。
測定用チューブ１は、外周面に波長２４０〜２７０ｎｍの範囲内の紫外線を選択的に透過する干渉フィルムが設けられていることが好ましい。これにより、他物質の干渉を避けることができ、測定精度の向上の効果を得ることができる。 Examples of the fluorine-based resin include tetrafluoroethylene-based resin polymers such as tetrafluoroethylene copolymer (PTFE), perfluoroalkoxy resin (PFA), and fluorinated ethylene-propylene resin (FEP).
In addition, the measuring tube 1 may contain a plasticizer, but it is preferable not to contain a plasticizer in terms of increasing the amount of transmitted ultraviolet light. Moreover, the softening of the measurement tube 1 at a high temperature can be suppressed, and the strength in a wide temperature range can be maintained.
The measurement tube 1 is preferably provided with an interference film that selectively transmits ultraviolet rays within a wavelength range of 240 to 270 nm on the outer peripheral surface. Thereby, interference of other substances can be avoided and the effect of improving measurement accuracy can be obtained.

なお、干渉フィルムは、測定用チューブ１の外周面ではなく、測定用チューブ１の内部（中間層）に設けてもよい。すなわち、フッ素樹脂、干渉フィルム及びフッ素樹脂の順に積層した測定用チューブ１であってもよい。この場合、測定用チューブ１の外周面に干渉フィルムを設ける場合に比べて、作業時間が短縮できる点で好ましく、また、干渉フィルムを貼り付けた場合に発生する気泡を配慮する必要がなくなる点で好ましい。さらに、コストを低減することができる。 In addition, you may provide an interference film not in the outer peripheral surface of the tube 1 for a measurement but in the inside (intermediate layer) of the tube 1 for a measurement. That is, the measurement tube 1 in which a fluororesin, an interference film, and a fluororesin are laminated in this order may be used. In this case, it is preferable in that the working time can be shortened as compared with the case where an interference film is provided on the outer peripheral surface of the measurement tube 1, and it is not necessary to consider bubbles generated when the interference film is attached. preferable. Further, the cost can be reduced.

また、測定用チューブ１に干渉フィルムを設けるのではなく、ＵＶ−ＬＥＤ２１と測定用チューブ１との間、又は測定用チューブ１と受光素子３１との間に干渉フィルターを設けても構わない。この場合には、干渉フィルターを後から交換できる点で好ましい。なお、上記のように干渉フィルムを設けた場合の方が、干渉フィルムを保持する部材が不要となり、コストと作業性の点で好ましい。 Further, instead of providing an interference film on the measurement tube 1, an interference filter may be provided between the UV-LED 21 and the measurement tube 1 or between the measurement tube 1 and the light receiving element 31. In this case, it is preferable in that the interference filter can be replaced later. In the case where the interference film is provided as described above, a member for holding the interference film becomes unnecessary, which is preferable in terms of cost and workability.

測定用チューブ１の作製においては、測定用チューブ１を垂直に切断することが重要である。これは、測定用チューブ１の両端部にＯリング等のシーリング材５６，６６を使用するためである。斜めに切断するとシールできない可能性がある。また、表面に汚れがあると測定に誤差が生じるので、きちんと汚れを取る必要がある。
測定用チューブの作製については、押し出し法等で作製することができる。また、干渉フィルムを中間層に設けた多重構造の測定用チューブについても同様に押し出し法等で作製することができる。
測定用チューブ１にフィルムを貼る場合は、多数方法があるが、超音波接着等が好ましい。 In producing the measurement tube 1, it is important to cut the measurement tube 1 vertically. This is because sealing materials 56 and 66 such as O-rings are used at both ends of the measuring tube 1. If it is cut at an angle, it may not be sealed. Also, if the surface is contaminated, an error will occur in the measurement, so it is necessary to remove the dirt properly.
The measurement tube can be produced by an extrusion method or the like. Similarly, a measurement tube having a multi-layer structure in which an interference film is provided in the intermediate layer can also be produced by an extrusion method or the like.
When a film is pasted on the measuring tube 1, there are many methods, but ultrasonic bonding or the like is preferable.

光源部２は、ＵＶ−ＬＥＤ２１と、板状のベース部２２と、ベース部２２の略中央から突出してＵＶ−ＬＥＤ２１を保持する凸部２３とを備えている（図２参照）。
ＵＶ−ＬＥＤ２１は、２４０〜２７０ｎｍの範囲内の波長を持つ。
ベース部２２には、凸部２３の基端部外周を囲むように溝部が形成されている。この溝部に、Ｏリング等のシーリング材２４が嵌め込まれて、凸部２３をケース本体４の収容部７に嵌め込んだ際に、ケース本体４とベース部２２との間の水密性が確保されるようになっている。 The light source unit 2 includes a UV-LED 21, a plate-like base portion 22, and a convex portion 23 that protrudes from substantially the center of the base portion 22 and holds the UV-LED 21 (see FIG. 2).
The UV-LED 21 has a wavelength in the range of 240 to 270 nm.
A groove portion is formed in the base portion 22 so as to surround the outer periphery of the base end portion of the convex portion 23. When a sealing material 24 such as an O-ring is fitted into the groove, and the convex portion 23 is fitted into the accommodating portion 7 of the case main body 4, water tightness between the case main body 4 and the base portion 22 is ensured. It has become so.

また、ベース部２２の凸部２３と反対側の面には、外部からの給電を素子に電気的導通を与えるためのリード線（図示しない）が設けられている。
また、ベース部２２には、ベース部２２の上下面を貫通し、凸部２３を収容部７に嵌め込んだ際に、ケース本体４に対してベース部２２を固定するためのネジＮ２が挿通されるネジ用挿通部（図示しない）が形成されている。
一方、ケース本体４側においても、ベース部２２のネジ用挿通部に対応する箇所に、それぞれネジ用挿通部５７，６７が形成されている（図３参照）。 In addition, a lead wire (not shown) is provided on the surface of the base portion 22 opposite to the convex portion 23 to supply electric power from the outside to the element.
Further, a screw N2 for fixing the base portion 22 to the case body 4 is inserted into the base portion 22 when the upper and lower surfaces of the base portion 22 are penetrated and the convex portion 23 is fitted into the accommodating portion 7. A screw insertion portion (not shown) is formed.
On the other hand, on the case body 4 side, screw insertion portions 57 and 67 are respectively formed at locations corresponding to the screw insertion portions of the base portion 22 (see FIG. 3).

測定部３は、フォトトランジスタやフォトダイオード等の受光素子３１と、演算部（図示しない）と、板状のベース部３２と、ベース部３２上の略中央から突出して受光素子３１を保持する凸部３３とを備えている（図２参照）。
ベース部３２には、凸部３３の基端部外周を囲むように溝部が形成されている。この溝部に、Ｏリング等のシーリング材３４が嵌め込まれて、凸部３３をケース本体４の収容部７に嵌め込んだ際に、ケース本体４とベース部３２との間の水密性が確保されるようになっている。
また、ベース部３２の凸部３３と反対側の面には、受光素子３１で受光し受光量に応じて変換した電気信号を送るためのリード線（図示しない）が設けられており、演算部（図示しない）に接続されている。
また、ベース部３２には、ベース部３２の上下面を貫通し、凸部３３を収容部７に嵌め込んだ際に、ケース本体４に対してベース部３２を固定するためのネジＮ２が挿通されるネジ用挿通部（図示しない）が形成されている。
一方、ケース本体４側においても、ベース部３２のネジ用挿通部に対応する箇所（図示しない）に、それぞれネジ用挿通部（図示しない）が形成されている。 The measurement unit 3 includes a light receiving element 31 such as a phototransistor or a photodiode, a calculation unit (not shown), a plate-like base unit 32, and a convex that protrudes from the approximate center on the base unit 32 and holds the light receiving element 31. Part 33 (see FIG. 2).
A groove portion is formed in the base portion 32 so as to surround the outer periphery of the base end portion of the convex portion 33. When a sealing material 34 such as an O-ring is fitted into the groove, and the convex portion 33 is fitted into the accommodating portion 7 of the case main body 4, water tightness between the case main body 4 and the base portion 32 is ensured. It has become so.
In addition, a lead wire (not shown) for sending an electric signal received by the light receiving element 31 and converted according to the amount of received light is provided on the surface of the base portion 32 opposite to the convex portion 33, and an arithmetic unit (Not shown).
Further, a screw N <b> 2 for fixing the base portion 32 to the case body 4 is inserted into the base portion 32 when passing through the upper and lower surfaces of the base portion 32 and fitting the convex portion 33 into the housing portion 7. A screw insertion portion (not shown) is formed.
On the other hand, on the case body 4 side, screw insertion portions (not shown) are respectively formed at locations (not shown) corresponding to the screw insertion portions of the base portion 32.

演算部は、受光素子３１が受光した光に基づいて変換された電気信号を計測するものであり、マイクロプロセッサやメモリ等から構成されている。
演算部は、基準水又は空気と、オゾン水又はオゾンガスの受光量に基づいて、オゾン水又はオゾンガスを透過する透過光の減衰割合（紫外線吸光度）を計算し、これに基づいて、ランバート・ベールの法則によりオゾン水濃度又はオゾンガス濃度を算出して、例えば、濃度表示器（図示しない）に表示する。 The calculation unit measures an electrical signal converted based on the light received by the light receiving element 31, and includes a microprocessor, a memory, and the like.
The calculation unit calculates the attenuation rate (ultraviolet light absorbance) of transmitted light that passes through ozone water or ozone gas based on the amount of received light of reference water or air and ozone water or ozone gas, and based on this, Lambert Bale's The ozone water concentration or the ozone gas concentration is calculated according to the law and displayed on, for example, a concentration indicator (not shown).

次に、上記の構成からなるオゾン濃度測定装置１００を用いて、オゾン水の濃度を測定する方法について説明する。
まず、オゾン供給用チューブ９１内に、原水（基準水）を送る。ここで、例えば、オゾン水生成装置で生成されたオゾン水の濃度測定を行う場合には、生成する前の原水をオゾン供給用チューブに送ればよい。
オゾン供給用チューブ９１に送り込まれた原水は、継手８１を介して測定用チューブ１内を流れる。その際に、光源部２におけるＵＶ−ＬＥＤ２１が測定用チューブ１内の原水を照射し、照射により透過した紫外線を受光部３の受光素子３１が受光する。受光素子３１は、受光量に応じて電気信号への変換を行い、演算部に出力する。 Next, a method for measuring the concentration of ozone water using the ozone concentration measuring apparatus 100 having the above configuration will be described.
First, raw water (reference water) is sent into the ozone supply tube 91. Here, for example, when measuring the concentration of ozone water generated by an ozone water generator, raw water before generation may be sent to an ozone supply tube.
The raw water sent to the ozone supply tube 91 flows through the measurement tube 1 through the joint 81. In that case, UV-LED21 in the light source part 2 irradiates the raw | natural water in the tube 1 for a measurement, and the light receiving element 31 of the light-receiving part 3 receives the ultraviolet-ray which permeate | transmitted by irradiation. The light receiving element 31 performs conversion into an electric signal according to the amount of received light, and outputs it to the calculation unit.

次いで、オゾン供給用チューブ９１内に、オゾン水を送る。オゾン供給用チューブ９１内に送り込まれたオゾン水は、継手８１を介して測定用チューブ１内を流れる。その際に、光源部２におけるＵＶ−ＬＥＤ２１が測定用チューブ１内のオゾン水を照射し、照射により透過した紫外線を受光部３の受光素子３１が受光する。受光素子３１は、受光量に応じて電気信号への変換を行い、演算部に出力する。 Next, ozone water is sent into the ozone supply tube 91. The ozone water sent into the ozone supply tube 91 flows through the measurement tube 1 via the joint 81. In that case, UV-LED21 in the light source part 2 irradiates the ozone water in the tube 1 for a measurement, and the light receiving element 31 of the light-receiving part 3 receives the ultraviolet-ray which permeate | transmitted by irradiation. The light receiving element 31 performs conversion into an electric signal according to the amount of received light, and outputs it to the calculation unit.

演算部では、原水の紫外線透過量と、オゾン水の紫外線透過量から、紫外線吸光度を計算し、これに基づいてランバート・ベールの法則によりオゾン水に溶存するオゾン濃度を算出して、濃度表示器に表示する。
なお、測定用チューブ１内を流れた原水又はオゾン水は、継手８２を介してオゾン排出用チューブ９２内を通り、オゾン濃度測定装置１００の外部へ排出される。 The calculation unit calculates the UV absorbance from the UV transmission amount of raw water and the UV transmission amount of ozone water, and based on this, calculates the ozone concentration dissolved in the ozone water by Lambert-Beer's law, and the concentration indicator To display.
The raw water or ozone water that has flowed through the measurement tube 1 passes through the ozone discharge tube 92 via the joint 82 and is discharged to the outside of the ozone concentration measuring apparatus 100.

本発明のオゾン濃度測定装置１００は、例えば、オゾン水を生成するオゾン水生成装置に内蔵され、生成されるオゾン水の濃度を随時測定し、測定結果に基づいて、オゾン水生成装置の電源装置の電力量等を調整して生成するオゾン濃度を制御するように構成することが好ましい。 The ozone concentration measuring apparatus 100 of the present invention is built in, for example, an ozone water generating apparatus that generates ozone water, measures the concentration of the generated ozone water as needed, and based on the measurement result, the power supply apparatus for the ozone water generating apparatus It is preferable to configure so as to control the ozone concentration generated by adjusting the amount of power and the like.

また、オゾンガスの濃度を測定する場合には、上述したオゾン水の場合において、測定用チューブ１内に原水（基準水）の代わりに空気（酸素含有ガス）を送って紫外線を照射し、オゾン水の代わりにオゾンガスを送って紫外線を照射し、空気を透過した紫外線透過量と、オゾンガスを透過した紫外線透過量から、紫外線吸光度を計算し、これに基づいてランバート・ベールの法則によりオゾンガスの濃度を算出すればよい。
なお、空気は、エアポンプ等を用いてオゾン供給用チューブ９１に送ることができる。 In the case of measuring the concentration of ozone gas, in the case of the ozone water described above, air (oxygen-containing gas) is sent into the measuring tube 1 instead of raw water (reference water) and irradiated with ultraviolet rays, and ozone water is supplied. Instead of sending ozone gas and irradiating ultraviolet rays, the ultraviolet absorbance is calculated from the amount of ultraviolet rays transmitted through the air and the amount of ultraviolet rays transmitted through the ozone gas, and based on this, the concentration of ozone gas is calculated according to Lambert-Beer's law. It only has to be calculated.
The air can be sent to the ozone supply tube 91 using an air pump or the like.

以上、本実施形態のオゾン濃度測定装置１００では、測定用チューブ１がフッ素系樹脂からなるので、従来のようなガラスの場合に比べて、オゾン水やオゾンガスによる水圧や気圧によって割れたり、また、装置自体の移動による衝撃によって割れることがない。また、取扱いも容易である。
さらに、紫外線を照射する手段として、従来のような水銀ランプではなく、ＵＶ−ＬＥＤ２１を使用することから、水銀フリー化を図れ、環境に優しい。 As described above, in the ozone concentration measurement apparatus 100 of the present embodiment, the measurement tube 1 is made of a fluororesin, so that it is broken by the water pressure or pressure of ozone water or ozone gas, compared to the conventional glass, It is not broken by the impact of the movement of the device itself. Moreover, handling is also easy.
Furthermore, since the UV-LED 21 is used as a means for irradiating ultraviolet rays instead of a conventional mercury lamp, mercury-free operation can be achieved and it is environmentally friendly.

また、第１の筐体５の凹部５１と第２の筐体６の凹部６１によって形成される収容部７内に測定用チューブ１が収容される構造で、従来のように測定用チューブの両端部を継手で固定する方法とは異なるため、測定用チューブ１の外周も第１及び第２の筐体５，６によって保持される。そのため、測定用チューブ１としてガラス管を用いた場合でも、衝撃等により割れることがなく、確実に保持される。
また、第１及び第２の筐体５，６に凹部５１，６１をそれぞれ形成し、これら凹部５１，６１を互いに対向させて形成される収容部７内に測定用チューブ１が収容されることから、従来のように測定用チューブの両端部に、強い力を加えて継手を装着する必要がなくなり、また、コンパクトな構造で、装置の小型化を図ることができる。
さらに、ケース本体４の測定用チューブ１を挟んで互いに対向する位置に、光源部２及び測定部３を設ける構成となっており、特に、光源部２及び測定部３は、ベース部２２，３２に凸部２３，３３を有し、この凸部２３，３３にＵＶ−ＬＥＤ２１及び受光素子３１が設けられているので、凸部２３，３３を収容部７に嵌め込むことだけで、ＵＶ−ＬＥＤ２１及び受光素子３１を測定用チューブ１に対して垂直となる位置に、位置合わせを確実かつ容易に行うことができる。また、光源部２及び測定部３は、いずれも、収容部７内に挿入される凸部２３，３３にＵＶ−ＬＥＤ２１及び受光素子３１が設けられているので、ＵＶ−ＬＥＤ２１と測定用チューブ１までの距離、及び、測定用チューブ１と受光素子３１までの距離が短くなることから、受光量の低下を防止することができ、より高精度でオゾン濃度を測定することができる。
また、光源部２及び測定部３において、いずれもベース部２２，３２には、凸部３３の基端部外周を囲むように溝部が形成され、この溝部にケース本体４との間の水密性を確保するシーリング材２４，３４が設けられているので、万が一、測定用チューブ１が破損した場合に、オゾン水やオゾンガス等がケース本体４の外部に漏れるのを防止することができる。
さらに、光源部２及び測定部３は、ケース本体４に対して着脱自在となっているので、ＵＶ−ＬＥＤ２１や受光素子３１の交換等も容易に行うことができる。 Further, the measurement tube 1 is accommodated in the accommodating portion 7 formed by the concave portion 51 of the first housing 5 and the concave portion 61 of the second housing 6, and both ends of the measurement tube are conventionally used. Since the method is different from the method of fixing the portion with a joint, the outer periphery of the measurement tube 1 is also held by the first and second casings 5 and 6. Therefore, even when a glass tube is used as the measuring tube 1, it is reliably held without being broken by an impact or the like.
Further, the first and second casings 5 and 6 are formed with recesses 51 and 61, respectively, and the measurement tube 1 is housed in the housing portion 7 formed by making these recesses 51 and 61 face each other. Therefore, it is not necessary to attach a joint by applying a strong force to both ends of the measurement tube as in the prior art, and the apparatus can be miniaturized with a compact structure.
Further, the light source unit 2 and the measurement unit 3 are provided at positions facing each other across the measurement tube 1 of the case body 4. In particular, the light source unit 2 and the measurement unit 3 include the base units 22 and 32. Since the UV-LED 21 and the light receiving element 31 are provided on the convex portions 23 and 33, the UV-LED 21 can be obtained simply by fitting the convex portions 23 and 33 into the housing portion 7. And it is possible to reliably and easily align the light receiving element 31 at a position perpendicular to the measuring tube 1. Moreover, since both the light source part 2 and the measurement part 3 are provided with the UV-LED 21 and the light receiving element 31 on the convex parts 23 and 33 inserted into the housing part 7, the UV-LED 21 and the measurement tube 1 are provided. And the distance between the measurement tube 1 and the light receiving element 31 are shortened, so that the amount of received light can be prevented from decreasing, and the ozone concentration can be measured with higher accuracy.
Further, in both the light source unit 2 and the measurement unit 3, a groove portion is formed in the base portions 22 and 32 so as to surround the outer periphery of the base end portion of the convex portion 33, and the watertightness between the case body 4 and the groove portion is formed in the groove portion. Since the sealing materials 24 and 34 for ensuring the above are provided, it is possible to prevent ozone water, ozone gas, or the like from leaking outside the case body 4 if the measurement tube 1 is damaged.
Furthermore, since the light source unit 2 and the measurement unit 3 are detachable from the case body 4, the UV-LED 21 and the light receiving element 31 can be easily replaced.

［変形例］
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
上記光源部２は、ベース部２２に凸部２３が設けられ、凸部２３がＵＶ−ＬＥＤ２１を保持する構造としたが、例えば、図４に示す光源部２Ａのように、凸部を設けずに、ベース部２２Ａ自体にＵＶ−ＬＥＤ２１Ａを取り付ける構造としても構わない。この場合、ベース部２２Ａの略中央部で収容部７Ａに臨む位置にＵＶ−ＬＥＤ２１Ａを取り付けることが好ましい。また、ＵＶ−ＬＥＤ２１Ａの周囲に、Ｏリング等のシーリング材２４Ａを設け、ベース部２２Ａとケース本体４Ａとの間の水密性を確保することが好ましい。
また、測定部３Ａも同様にして、凸部を設けない構造とし、ベース部３２Ａ自体に受光素子３１Ａを取り付け、さらに、受光素子３１Ａの周囲に、Ｏリング等のシーリング材３４Ａを設けて、ベース部３２Ａとケース本体４Ａとの間の水密性を確保することが好ましい。
以上のような図４に示す構造とした場合、ＵＶ−ＬＥＤ２１Ａと測定用チューブ１Ａとの間の距離や、受光素子３１Ａと測定用チューブ１Ａとの間の距離が、図２に示すような凸部２３，３３を設けた光源部２及び測定部３にした場合と比べて、長くなるため、例えば、測定用チューブ１Ａの径が小さい場合に適用することが好ましい。 [Modification]
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed without departing from the gist of the present invention.
The light source unit 2 has a structure in which a convex portion 23 is provided on the base portion 22 and the convex portion 23 holds the UV-LED 21. For example, unlike the light source unit 2 </ b> A illustrated in FIG. 4, no convex portion is provided. In addition, the UV-LED 21A may be attached to the base portion 22A itself. In this case, it is preferable to attach the UV-LED 21A at a position facing the housing portion 7A at a substantially central portion of the base portion 22A. Further, it is preferable to provide a sealing material 24A such as an O-ring around the UV-LED 21A to ensure water tightness between the base portion 22A and the case body 4A.
Similarly, the measurement unit 3A has a structure in which no convex portion is provided, the light receiving element 31A is attached to the base portion 32A itself, and a sealing material 34A such as an O-ring is provided around the light receiving element 31A to provide a base. It is preferable to ensure watertightness between the portion 32A and the case body 4A.
When the structure shown in FIG. 4 is used, the distance between the UV-LED 21A and the measurement tube 1A and the distance between the light receiving element 31A and the measurement tube 1A are convex as shown in FIG. Since it becomes longer than the case where the light source unit 2 and the measurement unit 3 provided with the units 23 and 33 are provided, for example, it is preferably applied when the diameter of the measurement tube 1A is small.

また、上記実施形態では、オゾン水又はオゾンガスを流す測定用チューブ１と、原水（基準水）又は空気（酸素含有ガス）を流す測定用チューブ１は同一で、一つの測定用チューブ１を兼用して、はじめに原水又は空気の紫外線透過量を測定した後に、オゾン水又はオゾンガスの紫外線透過量を測定するとしたが、これに限らず、例えば、図５に示すように、２つの測定用チューブ１Ｂ，１Ｂを備えたオゾン濃度測定装置１００Ｂとしても構わない。すなわち、ケース本体４Ｂに２つの測定用チューブ１Ｂ，１Ｂをそれぞれ収容する２つの収容部７Ｂ，７Ｂを設け、これに対応してオゾン供給用チューブ（継手用挿通部５３Ｂ，５３Ｂ）及びオゾン排出用チューブ（継手用挿通部６３Ｂ，６３Ｂ）も２つ設ける。
このように、２つの測定用チューブ１Ｂ，１Ｂを設けて２つのラインで測定することができるので、原水又は空気の紫外線透過量と、オゾン水又はオゾンガスの紫外線透過量を同時に測定することができ、測定時間を短縮することができる。 In the above embodiment, the measurement tube 1 for flowing ozone water or ozone gas and the measurement tube 1 for flowing raw water (reference water) or air (oxygen-containing gas) are the same, and the single measurement tube 1 is also used. First, after measuring the ultraviolet light transmission amount of raw water or air, the ultraviolet light transmission amount of ozone water or ozone gas is measured, but not limited to this, for example, as shown in FIG. The ozone concentration measuring apparatus 100B having 1B may be used. That is, the housing body 4B is provided with two housing portions 7B and 7B for housing the two measurement tubes 1B and 1B, respectively, and correspondingly, ozone supply tubes (joint insertion portions 53B and 53B) and ozone discharge tubes Two tubes (joint insertion portions 63B and 63B) are also provided.
As described above, since two measurement tubes 1B and 1B are provided and measurement can be performed with two lines, the ultraviolet transmission amount of raw water or air and the ultraviolet transmission amount of ozone water or ozone gas can be measured simultaneously. Measurement time can be shortened.

さらに、上述の図５では、１つのケース本体４Ｂに２つの測定用チューブ１Ｂ，１Ｂを設ける構造としたが、図６に示すように、１つのケース本体４Ｃに１つの測定用チューブ１Ｃを設けたものを２つ備えたオゾン濃度測定装置１００Ｃとしてもよい。すなわち、原水又は空気を測定するための測定用チューブ１Ｃを設けたケース本体４Ｃと、オゾン水又はオゾンガスを測定するための測定用チューブ１Ｃを設けたケース本体４Ｃとを備えた装置である。 Further, in FIG. 5 described above, two measurement tubes 1B and 1B are provided in one case body 4B. However, as shown in FIG. 6, one measurement tube 1C is provided in one case body 4C. It is good also as an ozone concentration measuring device 100C provided with two things. That is, the apparatus includes a case main body 4C provided with a measurement tube 1C for measuring raw water or air and a case main body 4C provided with a measurement tube 1C for measuring ozone water or ozone gas.

さらに、上記実施形態では、第１の筐体５及び第２の筐体６は、左右対称であるとしたが、左右対称の構造としなくともよい。例えば、図７に示すように、第１の筐体５Ｄと第２の筐体６Ｄとは左右対称とはなっておらず、第１の筐体５Ｄの方が第２の筐体６Ｄよりも長さが長くなっており、第１の筐体５Ｄ側に光源部２Ｄ及び測定部３Ｄが取り付けられている。 Furthermore, in the said embodiment, although the 1st housing | casing 5 and the 2nd housing | casing 6 were left-right symmetric, it is not necessary to make it a left-right symmetric structure. For example, as shown in FIG. 7, the first housing 5D and the second housing 6D are not symmetrical, and the first housing 5D is more than the second housing 6D. The length is long, and the light source unit 2D and the measurement unit 3D are attached to the first housing 5D side.

なお、上記図４〜図７に示す変形例のオゾン濃度測定装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄにおいて、オゾン濃度測定装置１００と同様の構成部分には、同様の数字にローマ字Ａ〜Ｄを付している。 In addition, in the ozone concentration measuring apparatuses 100A, 100B, 100C, and 100D of the modified examples shown in FIGS. 4 to 7, the same numerals are assigned to the same numerals as the ozone concentration measuring apparatus 100 in the same components. ing.

１測定用チューブ
２光源部
２１ＵＶ−ＬＥＤ
２２ベース部
２３凸部
２４シーリング材
３測定部
３１受光素子
３２ベース部
３３凸部
３４シーリング材
４ケース本体
５第１の筐体
５ａ対向面
５ｂ対向面と反対側の面
５１凹部
５２嵌合穴
５３継手用挿通部
５４雌ネジ
５５ネジ用挿通部
５６シーリング材
５７ネジ用挿通部
６第２の筐体
６１凹部
６２嵌合穴
６３継手用挿通部
６４雌ネジ
６５ネジ用挿通部
６６シーリング材
６７ネジ用挿通部
７収容部
１００オゾン濃度測定装置
Ｎ１ネジ
Ｎ２ネジ 1 Measurement Tube 2 Light Source 21 UV-LED
22 Base part 23 Convex part 24 Sealing material 3 Measuring part 31 Light receiving element 32 Base part 33 Convex part 34 Sealing material 4 Case body 5 First housing 5a Opposing surface 5b Opposite surface opposite side 51 Concave portion 52 Fitting hole 53 Joint insertion part 54 Female screw 55 Screw insertion part 56 Sealing material 57 Screw insertion part 6 Second housing 61 Recess 62 Fitting hole 63 Joint insertion part 64 Female screw 65 Screw insertion part 66 Sealing material 67 Screw insertion part 7 Housing part 100 Ozone concentration measuring device N1 screw N2 screw

Claims

An ozone concentration measuring device that measures the ozone concentration of ozone water or ozone gas by ultraviolet absorption,
A measuring tube through which ozone water or ozone gas flows;
UV-LED for irradiating ozone water or ozone gas flowing in the measurement tube with ultraviolet rays in a wavelength range of 240 to 270 nm;
A measurement unit that receives UV light transmitted from the UV-LED to the ozone water or ozone gas in the measurement tube and receives UV light, measures UV absorbance, and measures ozone concentration; and
The measurement tube is a tube formed by laminating a fluororesin, an interference film and a fluororesin in this order,
The ozone concentration measuring apparatus , wherein the interference film is a film that selectively transmits ultraviolet rays within a wavelength range of 240 to 270 nm .

The ozone concentration measuring apparatus according to claim 1, wherein the measuring tube does not contain a plasticizer.