JP6150322B2 - 窒化物半導体素子 - Google Patents
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Description
そこで、この発明の目的は、ノーマリオフ型で低閾値でかつ閾値の制御が容易な構造の窒化物半導体素子を提供することである。
この発明の一実施形態では、前記第2絶縁膜は、前記ソース層および前記ドレイン層を覆う領域にまで形成されている。
図1は、この発明の第1の実施形態に係る窒化物半導体素子の構成を説明するための断面図である。
窒化物半導体素子1は、下地基板としてのシリコン基板2と、シリコン基板2の表面に形成されたバッファ層3と、バッファ層3上にエピタキシャル成長されたp型窒化物半導体層4とを含む。p型窒化物半導体層4は、たとえば、p型GaNからなる。p型窒化物半導体層4の表層部には、間隔を開けて形成された一対のn型窒化物半導体層からなるソース層5およびドレイン層6が形成されている。ソース層5およびドレイン層6は、この実施形態では、n型GaNからなる。これらのソース層5およびドレイン層6の間のp型窒化物半導体層4は、チャネル領域7を提供している。
p型窒化物半導体層4の表面には、チャネル領域7を覆うように第1絶縁膜11が形成されている。第1絶縁膜11は、SiNからなっている。第1絶縁膜11は、チャネル領域7からソース層5およびドレイン層6へとはみ出して形成されており、ソース層5およびドレイン層6において、チャネル領域7に隣接する一部の領域の表面に接し、それらの領域の表面を覆っている。第1絶縁膜11の直下におけるp型窒化物半導体層4の表面の酸素濃度は、1×1018cm−3以下であり、ここには、実質的に自然酸化膜が存在していない。第1絶縁膜11の厚さは、30nm程度であってもよい。
図2は、窒化物半導体素子1の構成を説明するための図解的な平面図であり、ソース配線25およびドレイン配線26などの配置を示している。図1は、図2の切断面線I−Iにおける断面に対応している。
図3Aに示すように、シリコン基板2上にバッファ層3およびp型窒化物半導体層4がエピタキシャル成長させられる。p型窒化物半導体層4のエピタキシャル成長の際には、アクセプタ(p型不純物)として、たとえばMgが添加される。その添加量の制御によって、1×1015cm−3以上1×1019cm−3以下のアクセプタ濃度を有するp型窒化物半導体層4がエピタキシャル成長させられる。
次いで、図3Eに示すように、スパッタリングおよび選択エッチングによって、ソース電極15およびドレイン電極16が、ソース層5およびドレイン層6にそれぞれ接合するように形成される。このとき、第1絶縁膜11の開口11a,11bの縁とソース電極15およびドレイン電極16の縁との間には、それぞれ間隔が確保される。
その後は、図1に示すように、たとえばSiN、SiO2等からなる層間絶縁膜20が形成され、層間絶縁膜20および第2絶縁膜12を貫通するにコンタクト孔18,19が形成される。そして、ソース配線25およびドレイン配線26がたとえばめっき法および選択エッチングによって形成されると、図1に示す構造が得られる。
閾値電圧は、p型窒化物半導体層4の不純物濃度(アクセプタ濃度)によって制御できる。これにより、閾値電圧を制御可能な構造の窒化物半導体トランジスタを実現できる。より具体的には、p型窒化物半導体層4のアクセプタ濃度を1×1015cm−3以上1×1019cm−3以下とすることにより、閾値電圧を+1V〜+5V程度とすることができる。
さらにまた、この実施形態では、ソース層5およびドレイン層6が、p型窒化物半導体層4の表面からn型不純物を導入して形成されたn型拡散層からなっている。そのため、p型窒化物半導体層4の表面からn型不純物を導入する簡単な工程で、ノーマリオフ型および低閾値で、しかも閾値電圧を高精度に制御可能な窒化物半導体素子1を作製できる。
窒化物半導体素子51は、下地基板としてのシリコン基板52と、シリコン基板52の表面に形成されたバッファ層53と、バッファ層53上にエピタキシャル成長されたp型窒化物半導体層54とを含む。p型窒化物半導体層54は、たとえば、p型GaNからなる。p型窒化物半導体層54の表層部には、間隔を開けて一対の凹部63,64が形成されている。そして、凹部63,64の間のp型窒化物半導体層54が、チャネル領域57を提供している。
チャネル領域57の上方には、ゲート電極67が配置されている。ゲート電極67は、第1絶縁膜61および第2絶縁膜62を挟んで、チャネル領域57に対向している。すなわち、第1絶縁膜61および第2絶縁膜62は、ゲート絶縁膜として機能している。ゲート電極67は、チャネル領域57からソース層55およびドレイン層56の上方の領域にまではみ出し、ソース層55およびドレイン層56とそれぞれオーバーラップしたオーバーラップ領域85,86を有している。このオーバーラップ領域85,86において、ゲート電極67は、第2絶縁膜62を介してソース層55およびドレイン層56に対向している。ゲート電極67は、たとえば、p型窒化物半導体層4側から順にNi層およびAu層を積層した積層金属膜からなっていてもよい。
ソース電極65、ドレイン電極66、ゲート電極67、ソース配線75、ドレイン配線76、およびゲート配線の平面レイアウトは、前述の第1の実施形態の場合と同様であってもよい。
図5Aに示すように、シリコン基板52上にバッファ層53およびp型窒化物半導体層54がエピタキシャル成長させられる。p型窒化物半導体層54のエピタキシャル成長の際には、アクセプタ(p型不純物)として、たとえばMgが添加される。その添加量の制御によって、1×1015cm−3以上1×1019cm−3以下のアクセプタ濃度を有するp型窒化物半導体層4がエピタキシャル成長させられる。
次に、図5Fに示すように、全面に第2絶縁膜62が形成される。ソース電極65およびドレイン電極66が先に形成されているので、結果として、第2絶縁膜62には、ソースコンタクト孔58およびドレインコンタクト孔59が形成されることになる。そして、第2絶縁膜62上に、ゲート電極67が、たとえばめっき法によって形成される。
この第2の実施形態においても、第1の実施形態と同様の効果が得られ、ノーマリオフ型および低閾値で、しかも閾値電圧を高精度に制御可能な窒化物半導体素子1を提供できる。
この明細書および添付図面の記載から導き出される特徴の例を以下に記す。
1.p型窒化物半導体層と、
前記p型窒化物半導体層上に間隔を開けて形成された一対のn型窒化物半導体層からなるソース層およびドレイン層と、
前記ソース層およびドレイン層の間の領域において前記p型窒化物半導体層の表面に形成されたSiNからなる第1絶縁膜と、前記ソース層およびドレイン層の間の領域において前記第1絶縁膜の上に形成されたゲート電極とを含む、窒化物半導体素子。
この構成によれば、p型窒化物半導体層上に一対のn型窒化物半導体層が形成されており、それらがソース層およびドレイン層となっている。ソース層およびドレイン層の間において、p型窒化物半導体層の表面には、SiNからなる第1絶縁層が形成されており、その第1絶縁層の上にゲート電極が形成されている。これにより、ソース層およびドレイン層の間にMISゲート構造が形成されている。SiNからなる第1絶縁層は、ゲート電極とp型窒化物半導体層との間に介在されるゲート絶縁膜として機能する。
この構造により、窒化物半導体を用いて、ノーマリオフ型のnチャンネルトランジスタが実現される。すなわち、ゲート電極に閾値電圧以上の制御電圧を印加することにより、ソース層とドレイン層との間を接続するチャネルがp型窒化物半導体層の表面付近に形成される。制御電圧を取り除けば、チャネルが消失し、ソース−ドレイン間が遮断される。
閾値電圧は、p型窒化物半導体層の不純物濃度によって制御できる。これにより、閾値電圧を制御可能な構造の窒化物半導体トランジスタを実現できる。
また、ゲート絶縁膜が、SiNからなっているので、窒化物半導体層とゲート絶縁膜との間に、良好な界面を形成できる。そのため、閾値電圧を低くすることができる。
2.前記第1絶縁膜が、前記ソース層およびドレイン層と接している、項1に記載の窒化物半導体素子。
この構成によれば、第1絶縁層がソース層およびドレイン層と接していることにより、ゲート電極を、ソース層からドレイン層に至る領域に配置することができる。それにより、ゲート電極に閾値電圧以上の制御電圧を印加したときに、ソース層およびドレイン層を確実に接続するチャネルを形成できる。
3.前記p型窒化物半導体層のアクセプタ濃度が1×10 15 cm −3 以上1×10 19 cm −3 以下である、項1または2に記載の窒化物半導体素子。
この構成によれば、低閾値のトランジスタを実現できる。具体的には、閾値電圧を+1V〜+5V程度とすることができる。
アクセプタとしては、Mgが用いられてもよい。
4.前記第1絶縁膜の直下における前記p型窒化物半導体層の表面の酸素濃度が1×10 18 cm −3 以下である、項1〜3のいずれか一項に記載の窒化物半導体素子。
この構成によれば、第1絶縁膜の直下におけるp型窒化物半導体層の表面の酸素濃度が低いので、界面準位を抑制できる。それによって、低閾値の素子を実現でき、かつ閾値電圧を正確に制御できる。酸素濃度が1×10 18 cm −3 以下という条件は、実質的に自然酸化膜が存在していない場合に成立する。このような低酸素濃度は、p型窒化物半導体層の形成から第1絶縁膜の形成までの工程を、酸素濃度が制御された環境内で実行することによって実現できる。たとえば、窒素等の不活性ガスを充満させた環境内でp型窒化物半導体層の形成から第1絶縁膜の形成までの工程を行えばよい。また、p型窒化物半導体層の表面から自然酸化膜を除去する洗浄工程から第1絶縁膜の形成までの工程を、酸素濃度が制御された環境内(たとえば不活性ガスを充満させた環境内)で実行することによっても、p型窒化物半導体層の表面の酸素濃度を同様に低くすることができる。
5.前記ソース層に接するソース電極と、前記ドレイン層に接するドレイン電極と、前記第1絶縁膜と前記ソース電極との間、および前記第1絶縁膜と前記ドレイン電極との間に介在するように形成された第2絶縁膜とをさらに含む、項1〜4のいずれか一項に記載の窒化物半導体素子。
この構成によれば、第1絶縁膜とソース電極およびドレイン電極との間に第2絶縁膜が設けられている。第2絶縁膜は、ソース層およびドレイン層を確実に覆う領域にまで形成できる。そのため、ゲート電極は、ソース層およびドレイン層と確実にオーバーラップする領域にまで延ばすことができ、かつ、ソース電極およびドレイン電極はチャネル領域(p型窒化物半導体層においてチャネルが形成される領域)から離れた位置でソース層およびドレイン層にそれぞれ接合できる。これにより、ゲート電極に閾値電圧以上の制御電圧を印加することによって、ソース層およびドレイン層を接続するチャネルを確実に形成できる。
6.前記第2絶縁膜が、前記第1絶縁膜と前記ゲート電極との間に介在するように形成されている、項5に記載の窒化物半導体素子。
7.前記第1絶縁膜と前記ゲート電極との間に介在するように形成された第2絶縁膜をさらに含む、項1〜4のいずれか一項に記載の窒化物半導体素子。
このように、第1絶縁膜および第2絶縁膜を含む積層絶縁膜によりゲート絶縁膜を構成することもできる。
8.前記第1絶縁膜と前記ゲート電極との間における前記第2絶縁膜の膜厚が、それ以外の部分の前記第2絶縁膜の膜厚以下である、項6または7に記載の窒化物半導体素子。
この構成によれば、ゲート電極直下では第2絶縁膜の膜厚が小さく、ゲート電極直下以外では第2絶縁膜の膜厚が大きい。それによって、小さいゲート電圧により、大電流を制御可能となる。その一方で、第2絶縁膜の厚膜部分によって、高耐圧化、低寄生容量化が期待できる。
9.前記ソース層に接するソース電極と、前記ドレイン層に接するドレイン電極とを含み、前記ゲート電極と前記ソース電極との距離が、前記ゲート電極と前記ドレイン電極との間の距離よりも短い、項1〜8のいずれか一項に記載の窒化物半導体素子。
この構成により、ゲート電極のドレイン側端部に高電界域が生じることを抑制できるので、ゲート−ドレイン間耐圧を向上できる。
10.前記ソース層およびドレイン層が、前記p型窒化物半導体層の表面からn型不純物を導入して形成されたn型拡散層である、項1〜9のいずれか一項に記載の窒化物半導体素子。
この構成により、p型窒化物半導体層の表面からn型不純物を導入する簡単な工程で、ノーマリオフ型および低閾値で、しかも閾値電圧を高精度に制御可能な窒化物半導体デバイスを実現できる。
11.前記ソース層およびドレイン層が、前記p型窒化物半導体層の表面にn型窒化物半導体層をエピタキシャル成長させたエピタキシャル成長層である、項1〜9のいずれか一項に記載の窒化物半導体素子。
この構成によっても、ノーマリオフ型および低閾値で、しかも閾値電圧を高精度に制御可能な窒化物半導体デバイスを実現できる。
2 シリコン基板
3 バッファ層
4 p型窒化物半導体層
5 ソース層
6 ドレイン層
7 チャネル領域
8 ソースコンタクト孔
9 ドレインコンタクト孔
11 第1絶縁膜
12 第2絶縁膜
12a 薄膜部
12b 厚膜部
15 ソース電極
16 ドレイン電極
17 ゲート電極
18 コンタクト孔
19 コンタクト孔
20 層間絶縁膜
25 ソース配線
26 ドレイン配線
27 ゲート配線
35 オーバーラップ領域
36 オーバーラップ領域
51 窒化物半導体素子
52 シリコン基板
53 バッファ層
54 p型窒化物半導体層
55 ソース層
56 ドレイン層
57 チャネル領域
58 ソースコンタクト孔
59 ドレインコンタクト孔
61 第1絶縁膜
62 第2絶縁膜
63 凹部
64 凹部
65 ソース電極
66 ドレイン電極
67 ゲート電極
68 コンタクト孔
69 コンタクト孔
70 層間絶縁膜
75 ソース配線
76 ドレイン配線
85 オーバーラップ領域
86 オーバーラップ領域
Claims (9)
- p型窒化物半導体層と、
前記p型窒化物半導体層上に間隔を開けて形成された一対のn型窒化物半導体層からなるソース層およびドレイン層と、
前記ソース層およびドレイン層の間の領域において前記p型窒化物半導体層の表面に形成されたSiNからなる第1絶縁膜と、
前記ソース層に接するソース電極と、
前記ドレイン層に接するドレイン電極と、
前記第1絶縁膜と前記ソース電極との間、および前記第1絶縁膜と前記ドレイン電極との間に介在するように形成され、前記第1絶縁膜と前記ソース電極の間では前記ソース層の表面と接し、前記第1絶縁膜と前記ドレイン電極の間では前記ドレイン層の表面と接し、かつ、前記第1絶縁膜によって前記p型窒化物半導体層と絶縁された第2絶縁膜と、
前記ソース層およびドレイン層の間の領域において前記第2絶縁膜の上に形成されたゲート電極とを含む、窒化物半導体素子。 - 前記第1絶縁膜が、前記ソース層およびドレイン層と接している、請求項1に記載の窒化物半導体素子。
- 前記p型窒化物半導体層のアクセプタ濃度が1×1015cm−3以上1×1019cm−3以下である、請求項1または2に記載の窒化物半導体素子。
- 前記第1絶縁膜の直下における前記p型窒化物半導体層の表面の酸素濃度が1×1018cm−3以下である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の窒化物半導体素子。
- 前記p型窒化物半導体層と前記ゲート電極との間における前記第2絶縁膜の膜厚が、前記ドレイン層の表面と接している部分の前記第2絶縁膜の膜厚よりも小さい、請求項1〜4のいずれか一項に記載の窒化物半導体素子。
- 前記ゲート電極と前記ソース電極との距離が、前記ゲート電極と前記ドレイン電極との間の距離よりも短い、請求項1〜5のいずれか一項に記載の窒化物半導体素子。
- 前記ソース層およびドレイン層が、前記p型窒化物半導体層の表面からn型不純物を導入して形成されたn型拡散層である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の窒化物半導体素子。
- 前記ソース層およびドレイン層が、前記p型窒化物半導体層の表面にn型窒化物半導体層をエピタキシャル成長させたエピタキシャル成長層である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の窒化物半導体素子。
- 前記第2絶縁膜は、前記ソース層および前記ドレイン層を覆う領域にまで形成されている、請求項1〜8のいずれか一項に記載の窒化物半導体素子。
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