JP6087328B2 - Additive manufacturing equipment - Google Patents
Additive manufacturing equipment Download PDFInfo
- Publication number
- JP6087328B2 JP6087328B2 JP2014190559A JP2014190559A JP6087328B2 JP 6087328 B2 JP6087328 B2 JP 6087328B2 JP 2014190559 A JP2014190559 A JP 2014190559A JP 2014190559 A JP2014190559 A JP 2014190559A JP 6087328 B2 JP6087328 B2 JP 6087328B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- irradiation position
- laser light
- modeling
- additive manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 32
- 239000000654 additive Substances 0.000 title claims description 28
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 title claims description 28
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 48
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 40
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 37
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 35
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 6
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims 1
- 239000003517 fume Substances 0.000 description 31
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Description
この発明は、積層造形装置に関する。 The present invention relates to an additive manufacturing apparatus.
レーザ光による金属の積層造形においては、上下方向に移動可能な造形テーブル上に非常に薄い材料粉体層を形成し、この材料粉体層の所定箇所にレーザ光を照射して照射位置の材料粉体を焼結させる工程を繰り返すことによって、所望の造形物を形成する。 In the additive manufacturing of metal by laser light, a very thin material powder layer is formed on a modeling table that can be moved in the vertical direction. A desired shaped object is formed by repeating the process of sintering the powder.
このような積層造形を行うための積層造形装置には、数多くの熱源が存在しており、この熱源からの熱によって種々の部材に熱変位が生じ、その結果、レーザ光の照射位置にずれが発生してしまう場合がある。 A layered manufacturing apparatus for performing such layered modeling has a large number of heat sources, and thermal displacement occurs in various members due to the heat from the heat source. As a result, the laser beam irradiation position is shifted. May occur.
特許文献１では、このようなずれの補正を行うために、造形領域に隣接した位置に基準マークを設定し、スキャン光学系を通じて造形開始前と造形途中に基準マークを計測することによって位置ずれの補正を行っている。また、基準マークの計測を行うために、計測時に移動機構を用いて撮像部を移動させて光路中に挿入したり、ハーフミラーを常時光路中に配置しておいてハーフミラーで光を撮像部に導くという構成が採用されている。 In Patent Document 1, in order to correct such a deviation, a reference mark is set at a position adjacent to the modeling area, and the positional deviation is detected by measuring the reference mark before and during the modeling through the scanning optical system. Correction is being performed. In order to measure the fiducial mark, the imaging unit is moved and inserted into the optical path by using a moving mechanism at the time of measurement, or the half mirror is always placed in the optical path and the light is captured by the half mirror. The structure which leads to is adopted.
しかし、特許文献１の方法は、移動機構を用いる場合には移動機構自体の熱変位のために補正の精度が低下するという問題があり、ハーフミラーを挿入する方法ではハーフミラーによるレーザ光の減衰などの問題がある。さらに、基準マークの位置が撮像部から離れているために高精度の補正を行うことが難しい。さらに、基準マーク自体は発光しないので、基準マークの観察には照明手段を別途準備する必要があり、装置コストの上昇に繋がる。 However, the method of Patent Document 1 has a problem that the correction accuracy decreases due to the thermal displacement of the moving mechanism itself when the moving mechanism is used. In the method of inserting the half mirror, the laser beam is attenuated by the half mirror. There are problems such as. Furthermore, since the position of the reference mark is away from the imaging unit, it is difficult to perform highly accurate correction. Furthermore, since the reference mark itself does not emit light, it is necessary to separately prepare illumination means for observing the reference mark, leading to an increase in apparatus cost.
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、安価に高精度にレーザ光の照射位置の補正を行うことが可能な積層造形装置を提供するものである。 The present invention has been made in view of such circumstances, and provides an additive manufacturing apparatus capable of correcting the irradiation position of laser light with high accuracy at low cost.
本発明によれば、所要の造形領域を覆い且つ所定濃度の不活性ガスで充満されるチャンバと、前記造形領域上に形成される材料粉体層の所定箇所にレーザ光を照射して照射位置の材料粉体を焼結させるレーザ光照射部と、前記造形領域に隣接して配置された撮像部と、前記レーザ光の照射位置を補正する補正手段を備え、前記補正手段は、前記レーザ光の照射位置として前記撮像部上の所定の点の座標を入力したときの前記レーザ光又はこれと略同一光軸のガイド光の実際の照射位置を前記撮像部で検出し、検出された前記照射位置の経時変化に基づいて前記レーザ光の照射位置を補正するように構成される、積層造形装置が提供される。 According to the present invention, a chamber that covers a required modeling area and is filled with an inert gas having a predetermined concentration, and an irradiation position by irradiating a predetermined position of a material powder layer formed on the modeling area with laser light. A laser beam irradiating unit that sinters the material powder, an imaging unit disposed adjacent to the modeling region, and a correcting unit that corrects the irradiation position of the laser beam, wherein the correcting unit includes the laser beam The imaging unit detects the actual irradiation position of the laser beam or the guide light having substantially the same optical axis as that when the coordinates of a predetermined point on the imaging unit are input as the irradiation position of the imaging unit, and the detected irradiation There is provided an additive manufacturing apparatus configured to correct an irradiation position of the laser beam based on a change in position with time.
本発明では、造形領域に隣接して配置された撮像部を用いて、レーザ光又はこれと同一光軸のガイド光の照射位置を検出し、その経時変化に基づいてレーザ光の照射位置の補正を行う。この方法によれば、レーザ光又はガイド光を直接観察するので別の照明手段が不要であり、且つ造形領域に隣接した位置に撮像部が配置されるので高解像度でレーザ光又はガイド光の照射位置のずれを検出することができる。従って、本発明によれば、安価に高精度にレーザ光の照射位置の補正を行うことが可能になる。 In the present invention, the irradiation position of the laser beam or the guide light having the same optical axis as the laser beam is detected using an imaging unit arranged adjacent to the modeling region, and the irradiation position of the laser beam is corrected based on the change over time. I do. According to this method, since the laser beam or the guide light is directly observed, no separate illumination means is required, and the imaging unit is disposed at a position adjacent to the modeling area, so that the laser beam or the guide light is irradiated with high resolution. A positional shift can be detected. Therefore, according to the present invention, it is possible to correct the irradiation position of the laser light with high accuracy at low cost.
以下、本発明の種々の実施形態を例示する。以下に示す実施形態は互いに組み合わせ可能である。
好ましくは、前記撮像部は、前記造形領域に隣接し且つ互いに離間された複数箇所に配置され、前記補正手段は、前記複数の撮像部のそれぞれが検出した照射位置の経時変化に基づいて前記レーザ光の照射位置を補正するように構成される。
好ましくは、前記レーザ光照射部は、レーザ光を出力するレーザ光源と、前記レーザ光源から出力されたレーザ光を二次元走査する一対のガルバノスキャナを備え、前記撮像部は、前記ガルバノスキャナの回転角度制御信号を前記所定座標に対応する値にした状態で前記レーザ光又はガイド光の照射位置を検出するように構成される。
好ましくは、前記撮像部は、積層造形開始前と積層造形途中に前記レーザ光又はガイド光の照射位置を検出するように構成される。
好ましくは、前記撮像部は、半透明板を介して前記レーザ光又は前記ガイド光が入射するように構成されている。
Hereinafter, various embodiments of the present invention will be exemplified. The following embodiments can be combined with each other.
Preferably, the imaging unit is disposed at a plurality of locations adjacent to the modeling region and spaced apart from each other, and the correction unit is configured to change the laser based on a change with time of an irradiation position detected by each of the plurality of imaging units. It is comprised so that the irradiation position of light may be correct | amended.
Preferably, the laser light irradiation unit includes a laser light source that outputs laser light and a pair of galvano scanners that two-dimensionally scan the laser light output from the laser light source, and the imaging unit rotates the galvano scanner. The irradiation position of the laser beam or the guide light is detected in a state where the angle control signal is set to a value corresponding to the predetermined coordinate.
Preferably, the imaging unit is configured to detect an irradiation position of the laser beam or guide light before the start of additive manufacturing and during the additive manufacturing.
Preferably, the imaging unit is configured such that the laser light or the guide light is incident through a translucent plate.
以下、図面を用いて本発明の実施形態について説明する。以下に示す実施形態中で示した各種特徴事項は、互いに組み合わせ可能である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Various characteristic items shown in the following embodiments can be combined with each other.
図１〜図２に示すように、本発明の一実施形態の積層造形装置は、所要の造形領域Ｒを覆い且つ所定濃度の不活性ガスで充満されるチャンバ１と、造形領域Ｒ上に形成される材料粉体層８の所定箇所にレーザ光Ｌを照射して照射位置の材料粉体を焼結させるレーザ光照射部１３を備える。 As shown in FIGS. 1 to 2, the additive manufacturing apparatus according to the embodiment of the present invention is formed on the modeling region R and the chamber 1 that covers the required modeling region R and is filled with an inert gas having a predetermined concentration. A laser beam irradiation unit 13 is provided that irradiates a predetermined portion of the material powder layer 8 with the laser beam L to sinter the material powder at the irradiation position.
チャンバ１内には、粉体層形成装置３が設けられる。粉体層形成装置３は、造形領域Ｒを有するベース４と、ベース４上に配置され且つ水平１軸方向（矢印Ｂ方向）に移動可能に構成されたリコータヘッド１１と、リコータヘッド１１の移動方向に沿って造形領域Ｒの両側に設けられた細長部材９ｒ，９ｌとを備える。造形領域Ｒには、駆動機構３１によって駆動されて上下方向（図１の矢印Ａ方向）に移動可能な造形テーブル５が設けられる。積層造形装置の使用時には、造形テーブル５上に造形プレート７が配置され、その上に材料粉体層８が形成される。また、造形領域Ｒに隣接して撮像部４１が配置されている。撮像部４１は、造形領域Ｒを挟んで対向するように２箇所に設置されている。撮像部４１は、半透明板（図示せず）を介してレーザ光が入射するように構成されている。撮像部４１は、例えばＣＣＤカメラで構成され、レーザ光Ｌ又はこれと同一光軸のガイド光Ｇの照射位置を検出してその照射位置のずれを補正するために用いられる。半透明板は、レーザ光Ｌ又はガイド光Ｇを減衰させることによってレーザ光Ｌ又はガイド光Ｇによる撮像部４１の損傷を防ぐ機能を有する。半透明板は、不要な場合には省略可能である。 A powder layer forming device 3 is provided in the chamber 1. The powder layer forming apparatus 3 includes a base 4 having a modeling region R, a recoater head 11 disposed on the base 4 and configured to be movable in a horizontal uniaxial direction (arrow B direction), and the recoater head 11. And elongate members 9r and 9l provided on both sides of the modeling region R along the moving direction. In the modeling area R, a modeling table 5 that is driven by the drive mechanism 31 and is movable in the vertical direction (the direction of arrow A in FIG. 1) is provided. When the additive manufacturing apparatus is used, the modeling plate 7 is disposed on the modeling table 5, and the material powder layer 8 is formed thereon. An imaging unit 41 is disposed adjacent to the modeling region R. The imaging units 41 are installed at two locations so as to face each other with the modeling region R in between. The imaging unit 41 is configured such that laser light enters through a translucent plate (not shown). The imaging unit 41 is constituted by, for example, a CCD camera, and is used for detecting the irradiation position of the laser light L or the guide light G having the same optical axis as this and correcting the deviation of the irradiation position. The translucent plate has a function of preventing the imaging unit 41 from being damaged by the laser light L or the guide light G by attenuating the laser light L or the guide light G. The translucent plate can be omitted if unnecessary.
造形テーブル５を取り囲むように粉体保持壁２６が設けられており、粉体保持壁２６と造形テーブル５によって囲まれる粉体保持空間に未焼結の材料粉体が保持される。粉体保持壁２６の下側には、粉体保持空間内の材料粉体を排出可能な粉体排出部２７が設けられ、積層造形の完了後に、造形テーブル５を降下させることによって、未焼結の材料粉体が粉体排出部２７から排出され、排出された材料粉体は、シューターガイド２８によってシューター２９に案内され、シューター２９を通じてバケット３０に収容される。 A powder holding wall 26 is provided so as to surround the modeling table 5, and the unsintered material powder is held in the powder holding space surrounded by the powder holding wall 26 and the modeling table 5. Below the powder holding wall 26, a powder discharge portion 27 capable of discharging the material powder in the powder holding space is provided. The resulting material powder is discharged from the powder discharge unit 27, and the discharged material powder is guided to the shooter 29 by the shooter guide 28 and is accommodated in the bucket 30 through the shooter 29.
リコータヘッド１１は、図２〜図４に示すように、材料収容部１１ａと、材料収容部１１ａの上面に設けられた材料供給部１１ｂと、材料収容部１１ａの底面に設けられ且つ材料収容部１１ａ内の材料粉体を排出する材料排出部１１ｃとを備える。材料排出部１１ｃは、リコータヘッド１１の移動方向（矢印Ｂ方向）に直交する水平１軸方向（矢印Ｃ方向）に延びるスリット形状である。リコータヘッド１１の両側面には材料排出部１１ｃから排出された材料粉体を平坦化して材料粉体層８を形成するスキージングブレード１１ｆｂ，１１ｒｂが設けられる。また、リコータヘッド１１の両側面には、材料粉体の焼結時に発生するヒュームを吸引するヒューム吸引部１１ｆｓ，１１ｒｓが設けられる。ヒューム吸引部１１ｆｓ，１１ｒｓは、リコータヘッド１１の移動方向（矢印Ｂ方向）に直交する水平１軸方向（矢印Ｃ方向）に沿って設けられる。材料粉体は、例えば、金属粉（例：鉄粉）であり、例えば平均粒径２０μｍの球形である。 2 to 4, the recoater head 11 is provided with a material container 11a, a material supply unit 11b provided on the top surface of the material container 11a, a bottom surface of the material container 11a, and a material container. The material discharge part 11c which discharges | emits the material powder in the part 11a is provided. The material discharging part 11c has a slit shape extending in the horizontal one-axis direction (arrow C direction) orthogonal to the moving direction of the recoater head 11 (arrow B direction). On both side surfaces of the recoater head 11, squeezing blades 11fb and 11rb for flattening the material powder discharged from the material discharging portion 11c to form the material powder layer 8 are provided. Further, on both side surfaces of the recoater head 11, fume suction portions 11 fs and 11 rs for sucking fume generated during sintering of the material powder are provided. The fume suction portions 11fs and 11rs are provided along a horizontal one-axis direction (arrow C direction) orthogonal to the moving direction (arrow B direction) of the recoater head 11. The material powder is, for example, metal powder (eg, iron powder), and has a spherical shape with an average particle diameter of 20 μm, for example.
細長部材９ｒ，９ｌにはそれぞれリコータヘッド１１の移動方向（矢印Ｂ方向）に沿って開口部が設けられる。これらの開口部の一方が不活性ガス供給口として利用され、他方が不活性ガス排出口として利用されることによって、造形領域Ｒ上に矢印Ｃ方向の不活性ガスの流れができるので、造形領域Ｒで発生したヒュームがこの不活性ガスの流れに沿って容易に排出される。なお、本明細書において、「不活性ガス」とは、材料粉体と実質的に反応しないガスであり、窒素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガスなどが例示される。 The elongated members 9r, 9l are each provided with an opening along the moving direction of the recoater head 11 (the direction of arrow B). Since one of these openings is used as an inert gas supply port and the other is used as an inert gas discharge port, an inert gas can flow on the modeling region R in the direction of arrow C. Fumes generated in R are easily discharged along the flow of the inert gas. In this specification, “inert gas” is a gas that does not substantially react with the material powder, and examples thereof include nitrogen gas, argon gas, and helium gas.
チャンバ１の上方にはレーザ光照射部１３が設けられる。図２に示すように、レーザ光照射部１３は、レーザ光Ｌを出力するレーザ光源４２と、レーザ光源４２から出力されたレーザ光Ｌを二次元走査する一対のガルバノスキャナ４３ａ，４３ｂと、レーザ光Ｌを集光する集光レンズ４４とを備える。レーザ光源４２は、レーザ光Ｌと略同一光軸のガイド光Ｇも出力可能になっている。ガイド光Ｇは、例えば、赤色レーザ光のような、視認可能なレーザ光である。ガルバノスキャナ（Ｘ軸スキャナ）４３ａは、レーザ光Ｌ及びガイド光Ｇを矢印Ｂ方向（Ｘ軸方向）に走査し、ガルバノスキャナ（Ｙ軸スキャナ）４３ｂは、レーザ光Ｌ及びガイド光Ｇを矢印Ｃ方向（Ｙ軸方向）に走査する。スキャナ４３ａ，４３ｂは、それぞれ、回転角度制御信号の大きさに応じて回転角度が制御されるので、スキャナ４３ａ，４３ｂに入力する回転角度制御信号の大きさを変化させることによって所望の位置にレーザ光Ｌ及びガイド光Ｇの照射位置を移動させることが可能になっている。集光レンズ４４の例は、fθレンズである。 A laser beam irradiation unit 13 is provided above the chamber 1. As shown in FIG. 2, the laser beam irradiation unit 13 includes a laser light source 42 that outputs laser light L, a pair of galvano scanners 43a and 43b that two-dimensionally scan the laser light L output from the laser light source 42, and a laser. And a condensing lens 44 that condenses the light L. The laser light source 42 can also output guide light G having substantially the same optical axis as the laser light L. The guide light G is visible laser light such as red laser light. The galvano scanner (X-axis scanner) 43a scans the laser beam L and the guide beam G in the direction of the arrow B (X-axis direction), and the galvano scanner (Y-axis scanner) 43b scans the laser beam L and the guide beam G with the arrow C Scan in the direction (Y-axis direction). Since the rotation angles of the scanners 43a and 43b are controlled in accordance with the magnitudes of the rotation angle control signals, the lasers are moved to desired positions by changing the magnitudes of the rotation angle control signals input to the scanners 43a and 43b. The irradiation positions of the light L and the guide light G can be moved. An example of the condenser lens 44 is an fθ lens.
集光レンズ４４を通過したレーザ光Ｌ及びガイド光Ｇは、チャンバ１に設けられたウィンドウ１ａを透過して造形領域Ｒに形成された材料粉体層８に照射される。レーザ光Ｌは、材料粉体を焼結可能なものであればその種類は限定されず、例えば、ＣＯ２レーザ、ファイバーレーザ、ＹＡＧレーザなどである。ウィンドウ１ａは、レーザ光Ｌを透過可能な材料で形成される。例えば、レーザ光Ｌがファイバーレーザ又はＹＡＧレーザの場合、ウィンドウ１ａは石英ガラスで構成可能である。 The laser light L and the guide light G that have passed through the condensing lens 44 pass through the window 1 a provided in the chamber 1 and are irradiated onto the material powder layer 8 formed in the modeling region R. The type of the laser beam L is not limited as long as the material powder can be sintered, and examples thereof include a CO 2 laser, a fiber laser, and a YAG laser. The window 1a is formed of a material that can transmit the laser light L. For example, when the laser beam L is a fiber laser or a YAG laser, the window 1a can be made of quartz glass.
チャンバ１の上面には、ウィンドウ１ａを覆うようにヒューム拡散部１７が設けられる。ヒューム拡散部１７は、円筒状の筐体１７ａと、筐体１７ａ内に配置された円筒状の拡散部材１７ｃを備える。筐体１７ａと拡散部材１７ｃの間に不活性ガス供給空間１７ｄが設けられる。また、筐体１７ａの底面には、拡散部材１７ｃの内側に開口部１７ｂが設けられる。拡散部材１７ｃには多数の細孔１７ｅが設けられており、不活性ガス供給空間１７ｄに供給された清浄な不活性ガスは細孔１７ｅを通じて清浄空間１７ｆに充満される。そして、清浄空間１７ｆに充満された清浄な不活性ガスは、開口部１７ｂを通じてヒューム拡散部１７の下方に向かって噴出される。 A fume diffusion portion 17 is provided on the upper surface of the chamber 1 so as to cover the window 1a. The fume diffusing unit 17 includes a cylindrical casing 17a and a cylindrical diffusing member 17c disposed in the casing 17a. An inert gas supply space 17d is provided between the housing 17a and the diffusion member 17c. An opening 17b is provided on the bottom surface of the housing 17a inside the diffusion member 17c. The diffusion member 17c is provided with a large number of pores 17e, and the clean inert gas supplied to the inert gas supply space 17d fills the clean space 17f through the pores 17e. And the clean inert gas with which the clean space 17f was filled is ejected toward the downward direction of the fume spreading | diffusion part 17 through the opening part 17b.
次に、チャンバ１への不活性ガス供給系統と、チャンバ１からのヒューム排出系統について説明する。 Next, an inert gas supply system to the chamber 1 and a fume discharge system from the chamber 1 will be described.
チャンバ１への不活性ガス供給系統には、不活性ガス供給装置１５と、ヒュームコレクタ１９が接続されている。不活性ガス供給装置１５は、不活性ガスを供給する機能を有し、例えば、不活性ガスのガスボンベである。ヒュームコレクタ１９は、その上流側及び下流側にダクトボックス２１，２３を有する。チャンバ１から排出されたガス（ヒュームを含む不活性ガス）は、ダクトボックス２１を通じてヒュームコレクタ１９に送られ、ヒュームコレクタ１９においてヒュームが除去された不活性ガスがダクトボックス２３を通じてチャンバ１へ送られる。このような構成により、不活性ガスの再利用が可能になっている。 An inert gas supply device 15 and a fume collector 19 are connected to the inert gas supply system to the chamber 1. The inert gas supply device 15 has a function of supplying an inert gas, and is, for example, a gas cylinder of an inert gas. The fume collector 19 has duct boxes 21 and 23 on the upstream side and the downstream side thereof. The gas discharged from the chamber 1 (inert gas including fumes) is sent to the fume collector 19 through the duct box 21, and the inert gas from which fumes have been removed in the fume collector 19 is sent to the chamber 1 through the duct box 23. . With such a configuration, the inert gas can be reused.
不活性ガス供給系統は、図１に示すように、チャンバ１の上部供給口１ｂと、ヒューム拡散部１７の不活性ガス供給空間１７ｄと、細長部材９ｒにそれぞれ接続される。上部供給口１ｂを通じてチャンバ１の造形空間１ｄ内に不活性ガスが充填される。細長部材９ｒ内に供給された不活性ガスが開口部を通じて造形領域Ｒ上に排出される。 As shown in FIG. 1, the inert gas supply system is connected to the upper supply port 1b of the chamber 1, the inert gas supply space 17d of the fume diffusing section 17, and the elongated member 9r. An inert gas is filled into the modeling space 1d of the chamber 1 through the upper supply port 1b. The inert gas supplied into the elongated member 9r is discharged onto the modeling region R through the opening.
本実施形態では、ヒュームコレクタ１９からの不活性ガスが上部供給口１ｂに送られ、不活性ガス供給装置１５からの不活性ガスが不活性ガス供給空間１７ｄ及び細長部材９ｒに送られるように構成されている。ヒュームコレクタ１９からの不活性ガス中には除去しきれなかったヒュームが残留するおそれがあるが、本実施形態の構成では、ヒュームコレクタ１９からの不活性ガスが特に高い清純度が要求される空間（清浄空間１７ｆ及び造形領域Ｒ近傍の空間）に供給されないので、残留ヒュームの影響を最小限にすることができる。 In the present embodiment, the inert gas from the fume collector 19 is sent to the upper supply port 1b, and the inert gas from the inert gas supply device 15 is sent to the inert gas supply space 17d and the elongated member 9r. Has been. Although there is a possibility that fumes that could not be removed remain in the inert gas from the fume collector 19, in the configuration of the present embodiment, the space in which the inert gas from the fume collector 19 requires particularly high purity is required. Since it is not supplied to the (clean space 17f and the space near the modeling region R), the influence of residual fume can be minimized.
チャンバ１からのヒューム排出系統は、図１に示すように、チャンバ１の上部排出口１ｃと、リコータヘッド１１のヒューム吸引部１１ｆｓ，１１ｒｓ、及び細長部材９ｌにそれぞれ接続される。上部排出口１ｃを通じてチャンバ１の造形空間１ｄ内の、ヒュームを含む不活性ガスが排出されることによって、造形空間１ｄ内に上部供給口１ｂから上部排出口１ｃに向かう不活性ガスの流れが形成される。リコータヘッド１１のヒューム吸引部１１ｆｓ，１１ｒｓは、リコータヘッド１１が造形領域Ｒ上を通過する際に造形領域Ｒで発生したヒュームを吸引することができる。また、細長部材９ｌの開口部を通じてヒュームを含む不活性ガスがチャンバ１外に排出される。ヒューム排出系統は、ダクトボックス２１を通じてヒュームコレクタ１９に接続されており、ヒュームコレクタ１９においてヒュームが取り除かれた後の不活性ガスが再利用される。 As shown in FIG. 1, the fume discharge system from the chamber 1 is connected to the upper discharge port 1c of the chamber 1, the fume suction parts 11fs and 11rs of the recoater head 11, and the elongated member 9l. As the inert gas containing fumes in the modeling space 1d of the chamber 1 is discharged through the upper discharge port 1c, a flow of inert gas from the upper supply port 1b toward the upper discharge port 1c is formed in the modeling space 1d. Is done. The fume suction units 11 fs and 11 rs of the recoater head 11 can suck the fumes generated in the modeling region R when the recoater head 11 passes over the modeling region R. In addition, an inert gas containing fumes is discharged out of the chamber 1 through the opening of the elongated member 9l. The fume discharge system is connected to the fume collector 19 through the duct box 21, and the inert gas after the fume is removed in the fume collector 19 is reused.
次に、図１及び図５〜図９を用いて、上記の積層造形装置を用いた積層造形方法について説明する。 Next, the layered manufacturing method using the above-described layered manufacturing apparatus will be described with reference to FIGS. 1 and 5 to 9.
まず、積層造形の開始前に、レーザ光Ｌの照射位置として一方の撮像部４１上の点Ａの座標を入力する。具体的には、スキャナ４３ａ，４３ｂの回転角度制御信号として点Ａの座標に対応した値を入力する。これによって、図５〜図６に示すように、スキャナ４３ａ，４３ｂが所定の回転角度で回転し、レーザ光Ｌ及びガイド光Ｇの照射位置が撮像部４１上の所定の点Ａ１に移動される。そして、レーザ光Ｌ又はガイド光Ｇを撮像部４１で検出することによって点Ａ１の座標を取得する。同様に、レーザ光Ｌの照射位置として他方の撮像部４１上の点Ｂの座標を入力し、レーザ光Ｌ及びガイド光Ｇの照射位置を点Ｂ１に移動させて、撮像部４１でレーザ光Ｌ又はガイド光Ｇを検出することによって点Ｂ１の座標を取得する。点Ａ１，Ｂ１の座標は、実際の照射位置の座標であり、入力座標である点Ａ，Ｂの座標とは厳密に一致していることが好ましいが、わずかにずれていてもよい。点Ａ１，Ｂ１を図９（ａ）に示す。 First, before the start of layered modeling, the coordinates of the point A on one imaging unit 41 are input as the irradiation position of the laser light L. Specifically, a value corresponding to the coordinates of the point A is input as a rotation angle control signal for the scanners 43a and 43b. As a result, as shown in FIGS. 5 to 6, the scanners 43 a and 43 b rotate at a predetermined rotation angle, and the irradiation positions of the laser light L and the guide light G are moved to a predetermined point A <b> 1 on the imaging unit 41. . The coordinates of the point A1 are acquired by detecting the laser light L or the guide light G with the imaging unit 41. Similarly, the coordinates of the point B on the other imaging unit 41 are input as the irradiation position of the laser beam L, the irradiation positions of the laser beam L and the guide beam G are moved to the point B1, and the imaging unit 41 uses the laser beam L. Alternatively, the coordinates of the point B1 are acquired by detecting the guide light G. The coordinates of the points A1 and B1 are the coordinates of the actual irradiation position and preferably exactly coincide with the coordinates of the points A and B as input coordinates, but may be slightly shifted. Points A1 and B1 are shown in FIG.
次に、積層造形を開始する。まず、造形テーブル５上に造形プレート７を載置した状態で造形テーブル５の高さを適切な位置に調整する。この状態で材料収容部１１ａ内に材料粉体が充填されているリコータヘッド１１を図１の矢印Ｂ方向に造形領域Ｒの左側から右側に移動させることによって、造形プレート７上に１層目の材料粉体層８を形成する。
次に、材料粉体層８中の所定部位にレーザ光Ｌを照射することによって材料粉体層８のレーザ光照射部位を焼結させることによって、図７に示すように、１層目の焼結層８１ｆを得る。
次に、造形テーブル５の高さを材料粉体層８の１層分下げ、リコータヘッド１１を造形領域Ｒの右側から左側に移動させることによって、焼結層８１ｆ上に２層目の材料粉体層８を形成する。
次に、材料粉体層８中の所定部位にレーザ光Ｌを照射することによって材料粉体層８のレーザ光照射部位を焼結させることによって、図８に示すように、２層目の焼結層８２ｆを得る。
以上の工程を繰り返すことによって、３層目の焼結層８３ｆ、４層目の焼結層８４ｆ、５層目以降の焼結層が形成される。隣接する焼結層は、互いに強く固着される。
Next, additive manufacturing is started. First, the height of the modeling table 5 is adjusted to an appropriate position with the modeling plate 7 placed on the modeling table 5. In this state, the first layer on the modeling plate 7 is moved by moving the recoater head 11 filled with the material powder in the material container 11a from the left side to the right side of the modeling region R in the direction of arrow B in FIG. The material powder layer 8 is formed.
Next, by irradiating a laser beam L to a predetermined site in the material powder layer 8 to sinter the laser beam irradiated site of the material powder layer 8, as shown in FIG. A binder layer 81f is obtained.
Next, the height of the modeling table 5 is lowered by one layer of the material powder layer 8, and the recoater head 11 is moved from the right side to the left side of the modeling region R, whereby the second layer material is formed on the sintered layer 81f. A powder layer 8 is formed.
Next, as shown in FIG. 8, the second layer is sintered by irradiating a predetermined portion in the material powder layer 8 with the laser beam L to sinter the laser beam irradiated portion of the material powder layer 8. A bonded layer 82f is obtained.
By repeating the above steps, the third sintered layer 83f, the fourth sintered layer 84f, and the fifth and subsequent sintered layers are formed. Adjacent sintered layers are firmly fixed to each other.
所定数（例：１０層）の焼結層が形成された後に、再度、レーザ光Ｌの照射位置として点Ａ，Ｂの座標を入力する。この際のレーザ光Ｌ及びガイド光Ｇの照射位置が点Ａ２，Ｂ２に移動される。点Ａ２，Ｂ２は、積層造形装置が熱変位によって歪むことによって、積層造形開始時の対応する点Ａ１，Ｂ１からずれる。ずれの種類としては、図９（ｂ）〜（ｆ）に示すように、Ｘ方向ずれ、Ｙ方向ずれ、回転ずれ、及びこれらの組み合わせがある。なお、このずれは、撮像部４１がレーザ光Ｌ又はガイド光Ｇを直接受光することによって検出するものであるので、撮像部４１の解像度を最大限利用できる。このため、特許文献１に記載の方法に比べて補正の精度向上が可能である。 After a predetermined number (for example, 10 layers) of sintered layers are formed, the coordinates of points A and B are input again as the irradiation position of the laser beam L. The irradiation positions of the laser beam L and the guide beam G at this time are moved to points A2 and B2. The points A2 and B2 deviate from the corresponding points A1 and B1 at the start of the layered modeling when the layered modeling apparatus is distorted by the thermal displacement. As the types of deviation, as shown in FIGS. 9B to 9F, there are an X-direction deviation, a Y-direction deviation, a rotational deviation, and a combination thereof. Note that this shift is detected by the imaging unit 41 directly receiving the laser light L or the guide light G, so that the resolution of the imaging unit 41 can be utilized to the maximum. Therefore, the correction accuracy can be improved as compared with the method described in Patent Document 1.
積層造形開始時からのずれは、Ｘずれ量、Ｙずれ量、及び回転ずれ量θを算出し、以下の変換式（１）に代入することによって補正することが可能である。例えば、点Ａ２の座標が（Ｘ２，Ｙ２）である場合、変換式（１）によって変換されて得られる座標（Ｘ１，Ｙ１）は、点Ａ１に実質的に一致する。そして、造形領域Ｒ内の各点の座標を変換式（１）に基づいて変換することによって、熱変位による座標のずれを補正することができる。このような補正は、例えば、スキャナ４３ａ，４３ｂの動作を制御する制御部が行うことができる。この制御部が特許請求の範囲の「補正手段」に相当する。 The deviation from the start of additive manufacturing can be corrected by calculating the X deviation amount, the Y deviation amount, and the rotational deviation amount θ and substituting them into the following conversion equation (1). For example, when the coordinates of the point A2 are (X2, Y2), the coordinates (X1, Y1) obtained by conversion by the conversion formula (1) substantially match the point A1. And the shift | offset | difference of the coordinate by a thermal displacement can be correct | amended by converting the coordinate of each point in the modeling area | region R based on conversion formula (1). Such correction can be performed by, for example, a control unit that controls the operation of the scanners 43a and 43b. This control unit corresponds to “correction means” in the claims.
次に、変換式（１）による熱補正がなされた状態で、さらに所定数（例：１０層）の焼結層を形成し、その後に、再度、レーザ光Ｌの照射位置として点Ａ，Ｂの座標を入力する。この際のレーザ光Ｌ及びガイド光Ｇの照射位置が点Ａ３，Ｂ３に移動される。点Ａ３，Ｂ３は、熱変位の結果、積層造形開始時の対応する点Ａ１，Ｂ１からずれているので、そのずれを上記と同様に算出し、算出した値を用いて、造形領域Ｒ内の各点の座標を変換式（１）に基づいて変換することによって、熱変位による座標のずれを補正することができる。 Next, a predetermined number (for example, 10 layers) of sintered layers is further formed in a state where the thermal correction is made by the conversion formula (1), and thereafter, points A and B are again set as the irradiation positions of the laser beam L. Enter the coordinates of. The irradiation positions of the laser beam L and the guide beam G at this time are moved to points A3 and B3. Since the points A3 and B3 are deviated from the corresponding points A1 and B1 at the start of the layered modeling as a result of the thermal displacement, the deviation is calculated in the same manner as described above, and the calculated value is used in the modeling region R. By converting the coordinates of each point based on the conversion formula (1), it is possible to correct a shift in coordinates due to thermal displacement.
これ以降、積層造形が完了するまで、所定数の焼結層を形成する度に、同様の方法でずれの補正を行うことが可能である。 Thereafter, it is possible to correct the deviation by the same method every time a predetermined number of sintered layers are formed until the additive manufacturing is completed.
積層造形の完了後は、粉体排出部２７を通じて未焼結の材料粉体を排出することによって、造形物を得ることができる。 After the completion of the layered modeling, the molded product can be obtained by discharging the unsintered material powder through the powder discharging unit 27.
本発明は、以下の態様でも実施可能である。
・上記実施形態では回転ずれの補正のために、撮像部４１を２箇所に設けているが、回転ずれを補正しない場合、撮像部４１は１箇所でもよい。
・上記実施形態では、積層造形開始時点での点Ａ１，Ｂ１からのずれを算出したが、ずれを算出するための基準となる点の位置は、積層造形開始時点での点Ａ１，Ｂ１に限定されず、例えば、積層造形の開始から焼結層を１又は複数層形成した後の時点での点を基準としてもよい。つまり、所定座標を入力したときのレーザ光Ｌ又はガイド光Ｇの照射位置の経時変化に基づいてずれを算出すればよい。
・上記実施形態では、レーザ光Ｌの走査手段として一対のガルバノスキャナ４３ａ，４３ｂを用いたが、レーザ光Ｌは別の手段によって二次元走査させてもよい。
・スピンドルを有する加工ヘッドを備えてもよい。この場合、所定数（例：１０層）の焼結層を形成する度に造形物に対して切削加工を行うことができる。切削加工を行うタイミングは、熱変位の補正を行うタイミングと同じであっても異なっていてもよい。
The present invention can also be implemented in the following modes.
In the above embodiment, the imaging units 41 are provided at two locations for correcting the rotational deviation. However, when the rotational deviation is not corrected, the imaging unit 41 may be provided at one location.
In the above embodiment, the deviation from the points A1 and B1 at the start of additive manufacturing is calculated. However, the position of the reference point for calculating the deviation is limited to the points A1 and B1 at the start of additive manufacturing. For example, the point at the time after forming one or more sintered layers from the start of additive manufacturing may be used as a reference. That is, the deviation may be calculated based on the temporal change of the irradiation position of the laser light L or the guide light G when the predetermined coordinates are input.
In the above embodiment, the pair of galvano scanners 43a and 43b is used as the scanning unit for the laser beam L. However, the laser beam L may be two-dimensionally scanned by another unit.
A processing head having a spindle may be provided. In this case, it is possible to cut the shaped article every time a predetermined number (for example, 10 layers) of sintered layers is formed. The timing for performing the cutting process may be the same as or different from the timing for correcting the thermal displacement.
１：チャンバ、３：粉体層形成装置、５：造形テーブル、８：材料粉体層、１１：リコータヘッド、１７：ヒューム拡散部、２６：粉体保持壁、２７：粉体排出部、２８：シューターガイド、２９：シューター、３０：バケット、３１：駆動機構、３２：粉体保持空間、３３：上部ワイパー、３４：ダストトレイ、３５：駆動機構隔壁、３６：下部ワイパー、４１：撮像ユニット、４１ａ：半透明板、４１ｂ：撮像部、４２：レーザ光源、４３ａ，４３ｂ：ガルバノスキャナ、４４：集光レンズ、Ｌ：レーザ光 1: chamber, 3: powder layer forming device, 5: modeling table, 8: material powder layer, 11: recoater head, 17: fume diffusing section, 26: powder holding wall, 27: powder discharging section, 28: Shooter guide, 29: Shooter, 30: Bucket, 31: Drive mechanism, 32: Powder holding space, 33: Upper wiper, 34: Dust tray, 35: Drive mechanism partition, 36: Lower wiper, 41: Imaging unit 41a: translucent plate, 41b: imaging unit, 42: laser light source, 43a, 43b: galvano scanner, 44: condenser lens, L: laser light
Claims (5)
前記造形領域上に形成される材料粉体層の所定箇所にレーザ光を照射して照射位置の材料粉体を焼結させるレーザ光照射部と、
前記造形領域に隣接して配置された第１及び第２撮像部と、
前記レーザ光の照射位置を補正する補正手段を備え、
前記補正手段は、前記レーザ光の照射位置として前記第１及び第２撮像部上の所定の点の座標を入力したときの前記レーザ光又はこれと略同一光軸のガイド光の実際の照射位置を前記第１及び第２撮像部で検出し、検出された前記照射位置の経時変化に基づいて前記レーザ光の照射位置を補正するように構成され、
前記レーザ光照射部は、前記前記レーザ光をＸ軸方向及びＹ軸方向に走査可能に構成された積層造形装置において、
前記第１及び第２撮像部は、前記造形領域上を前記Ｘ軸方向と平行な水平１軸方向に往復移動するリコータヘッドの前記移動方向に沿って前記造形領域の両側に設けられる前記不活性ガスの供給口または排出口として利用される細長部材が設けられている位置を除く位置であって、前記両側の前記細長部材のおよそ中間の位置にあるように、且つ前記移動方向に沿って前記造形領域を挟んで対向するように配置されることを特徴とする積層造形装置。 A chamber that covers the required modeling area and is filled with an inert gas at a predetermined concentration;
A laser beam irradiation unit that irradiates a predetermined portion of the material powder layer formed on the modeling region with laser beam to sinter the material powder at the irradiation position;
First and second imaging units arranged adjacent to the modeling area;
Compensating means for correcting the irradiation position of the laser light,
The correction means is an actual irradiation position of the laser light or guide light having substantially the same optical axis as that when the coordinates of a predetermined point on the first and second imaging units are input as the irradiation position of the laser light. Is detected by the first and second imaging units, and the irradiation position of the laser beam is corrected based on the detected temporal change of the irradiation position,
In the additive manufacturing apparatus configured to be capable of scanning the laser beam in the X-axis direction and the Y-axis direction, the laser beam irradiation unit ,
The first and second imaging units are provided on both sides of the modeling area along the moving direction of a recoater head that reciprocates in the horizontal one axis direction parallel to the X axis direction on the modeling area. It is a position excluding the position where the elongated member used as the supply port or the discharge port of the active gas is provided, so as to be at an approximately middle position between the elongated members on both sides and along the moving direction. layered manufacturing apparatus characterized by being arranged so as to face each other across the said shaping region.
前記第１及び第２撮像部は、前記ガルバノスキャナの回転角度制御信号を前記所定座標に対応する値にした状態で前記レーザ光又はガイド光の照射位置を検出するように構成される、請求項１又は請求項２に記載の積層造形装置。 The laser light irradiation unit includes a laser light source that outputs laser light, and a pair of galvano scanners that two-dimensionally scan the laser light output from the laser light source,
The said 1st and 2nd imaging part is comprised so that the irradiation position of the said laser beam or guide light may be detected in the state which made the rotation angle control signal of the said galvano scanner the value corresponding to the said predetermined coordinate. The additive manufacturing apparatus according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014190559A JP6087328B2 (en) | 2014-09-18 | 2014-09-18 | Additive manufacturing equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014190559A JP6087328B2 (en) | 2014-09-18 | 2014-09-18 | Additive manufacturing equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016060131A JP2016060131A (en) | 2016-04-25 |
| JP6087328B2 true JP6087328B2 (en) | 2017-03-01 |
Family
ID=55796816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014190559A Active JP6087328B2 (en) | 2014-09-18 | 2014-09-18 | Additive manufacturing equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6087328B2 (en) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017212619A1 (en) * | 2016-06-09 | 2017-12-14 | 技術研究組合次世代３Ｄ積層造形技術総合開発機構 | 3d additive manufacturing system, additive manufacturing control device, additive manufacturing control method, and additive manufacturing control program |
| JP6386008B2 (en) * | 2016-11-04 | 2018-09-05 | 株式会社ソディック | Additive manufacturing equipment |
| JP6177412B1 (en) * | 2016-11-22 | 2017-08-09 | 株式会社ソディック | Additive manufacturing equipment |
| DE102016124695A1 (en) * | 2016-12-16 | 2018-06-21 | Cl Schutzrechtsverwaltungs Gmbh | Exposure device for a device for the additive production of three-dimensional objects |
| EP3743260A4 (en) * | 2017-12-28 | 2022-03-23 | Nikon Corporation | Additive manufacturing system with rotary powder bed |
| CN108312504B (en) * | 2018-02-02 | 2024-01-16 | 上海联泰科技股份有限公司 | Calibration system, coating system and 3D printing equipment |
| JP7130596B2 (en) * | 2019-05-21 | 2022-09-05 | 株式会社荏原製作所 | AM Apparatus for Manufacturing Modeled Object and Method for Testing Beam Irradiation Position in AM Apparatus |
| CN114261088B (en) * | 2021-12-09 | 2024-01-16 | 上海联泰科技股份有限公司 | Method, system and calibration method for detecting breadth brightness of energy radiation device |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3155168B2 (en) * | 1995-05-26 | 2001-04-09 | 松下電工株式会社 | 3D shape forming method |
| JP3531629B2 (en) * | 2001-07-26 | 2004-05-31 | 松下電工株式会社 | Laser beam deflection control method in stereolithography system |
| JP4130813B2 (en) * | 2004-05-26 | 2008-08-06 | 松下電工株式会社 | Three-dimensional shaped object manufacturing apparatus and light beam irradiation position and processing position correction method thereof |
| JP4131260B2 (en) * | 2004-10-26 | 2008-08-13 | 松下電工株式会社 | Manufacturing equipment for 3D shaped objects |
| DE102006055053A1 (en) * | 2006-11-22 | 2008-05-29 | Eos Gmbh Electro Optical Systems | Apparatus for layering a three-dimensional object |
| JP2008264789A (en) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Laser beam machining apparatus, its adjusting method, and program |
| CN101541511B (en) * | 2007-05-30 | 2011-12-21 | 松下电工株式会社 | Laminate shaping apparatus |
-
2014
- 2014-09-18 JP JP2014190559A patent/JP6087328B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2016060131A (en) | 2016-04-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6087328B2 (en) | Additive manufacturing equipment | |
| US10046393B2 (en) | Three dimensional printer | |
| US9492889B2 (en) | Laser processing machine | |
| TWI670131B (en) | Laser processing device | |
| US10029308B2 (en) | Three dimensional printer | |
| JP6129945B1 (en) | Laminate modeling apparatus and misalignment correction method for additive modeling apparatus | |
| TWI622442B (en) | Laminating and shaping apparatus | |
| JP4583955B2 (en) | Laser processing equipment | |
| TWI546146B (en) | Laser processing device and laser processing method | |
| CN111867754B (en) | Method for aligning a multi-beam illumination system | |
| US20180056392A1 (en) | Lamination molding apparatus | |
| JP2010142846A (en) | Three-dimensional scanning type laser beam machine | |
| EP3626433B1 (en) | Method for calibrating an irradiation device | |
| CN106914703B (en) | Optical machining device | |
| JP2008073782A (en) | Apparatus and method for correcting positional shift of machining unit | |
| JP6283053B2 (en) | Additive manufacturing equipment | |
| US20190337094A1 (en) | Apparatus for additively manufacturing three-dimensional objects | |
| JP5371534B2 (en) | Laser processing method, laser processing apparatus, and solar panel manufacturing method | |
| CN113853261B (en) | Method and device | |
| US20200094482A1 (en) | Method for calibrating an apparatus for additively manufacturing three-dimensional objects | |
| EP3613561B1 (en) | Apparatus for additively manufacturing three-dimensional objects | |
| US10376959B2 (en) | Lamination molding apparatus | |
| JP5183991B2 (en) | Position confirmation device and position confirmation method | |
| KR102543760B1 (en) | Laser Machining System And Its Method Using Cooperative Control Method Or Fixed Map-Based Control Method | |
| JP2006150406A (en) | Position detector and method, and laser beam machining apparatus and method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160502 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160629 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161101 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161220 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170131 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170201 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6087328 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |