JP6079739B2 - レーザー走査速度の測定方法 - Google Patents
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Description
ホットスタンプ材の表面に形成された酸化被膜を除去する方法としては、パルスレーザーを用いた表面処理技術が知られている。
パルスレーザーを用いた表面処理技術では、加工条件を決める因子として、1パルスあたりのレーザーのエネルギー量、レーザーの発振周波数、レーザーの走査速度、がある。
特許文献1に示された検査装置では、加工中の音を検出し、加工状態を検査する。このような装置では、ヘッド走査速度とヘッド移動速度が同じであるため、レーザー走査速度は、ヘッド移動速度を検出することで、容易に検出することができる。
そして、特許文献2に開示されたタイプのレーザー加工装置を用いる場合、照射ヘッドが変位しないため、レーザーの走査速度を測定することが困難である。
まず始めに、本発明の一実施形態に係るレーザー走査速度の測定方法の適用対象たるレーザー加工装置の全体構成について、図1および図5を用いて説明をする。
図1に示す如く、レーザー加工装置1は、パルスレーザーPLを照射して、ワーク10に対する加工を行う装置であり、スキャナ2、光ファイバー3、受光素子(パワーメータ)4、およびマイク5を備える構成としている。
スキャナ2(所謂ガルバノスキャナ)は、複数のミラー6・7・8を備えており、そのうちのミラー7・8(所謂ガルバノミラー)は、互いに同一でない軸回りに回転可能に構成されている。
そして、スキャナ2は、ミラー7・8の動作によって、パルスレーザーPLを走査する構成としている。即ち、レーザー加工装置1は、スキャナ2自体を変位させることなく、スキャナ2から照射するパルスレーザーPLを走査する構成としている。
図5に示す如く、レーザー加工装置21は、パルスレーザーPLを照射する装置であり、照射ヘッド22、光ファイバー23、受光素子(パワーメータ)24、ミラー25等を備える構成としている。
そして、レーザー加工装置21では、照射ヘッド22自体を前後左右に変位させることによって、パルスレーザーPLを走査する構成としている。
このため、このような構成のレーザー加工装置21では、照射ヘッド22の変位を監視することによって、容易にパルスレーザーPLの走査速度を測定することが可能である。
図1に示す如く、スキャナ2を構成するミラー6は、ハーフミラーであり、図示しないレーザー源から発せられ光ファイバー3を介して入射されたパルスレーザーPLは、ミラー6を透過して、ミラー7・8で反射されて、ワーク10に対して照射される。
ワーク10に対するパルスレーザーPLの照射位置は、ミラー7・8の動作によって変更され、パルスレーザーPLは、図2に示すようにジグザグ状の走査線に沿って走査される。
パルスレーザーPLは、表面層の加工方向Xに対して直交する方向Yに向けて振幅するジグザグ状の走査線を描くように照射される。
本実験では、レーザー源にナノ秒パルスレーザーを用いて、室温20℃の状態で、ホットスタンプ材たるワーク10の表面における酸化被膜を除去し、その際の加工音を、マイク5によって測定した。また、ナノ秒パルスレーザーの発振周波数(加工周波数)を15.0kHzとし、パルスレーザーPLの走査速度を9m/sとして、マイク5を固定した状態(速度0)で測定をした。
尚、音速Vの補正式は、測定条件の雰囲気に合わせて、それに適した補正式を適宜採用することが好ましい。
図4(a)によると、加工音Sの音圧が所定の値Z以上となる周波数をシフト周波数と判断すると、シフト周波数は、14.6kHzおよび15.4kHzであると読み取ることができる。またこの場合、各シフト周波数の平均値は、15.0kHzとなり、この値は、ナノ秒パルスレーザーの発振周波数fと一致している。
即ち、この加工音Sの測定結果を用いれば、周波数シフト量Δfの算出式に基づいて、パルスレーザーPLの走査速度を精度良く算出することができることが確認できた。
図4(b)には、パルスレーザーPLによりワーク10を加工した際の加工音Sをマイク5で測定し、その加工音Sを周波数分析するとともに、平均化処理した結果を示している。
即ち、マイク5で測定した加工音Sを周波数分析するとともに、平均化処理した結果に基づいても、周波数シフト量Δfの算出式から、パルスレーザーPLの走査速度を精度良く算出することが可能である。
このような構成により、パルスレーザーPLの走査速度V1を精度良く測定することができる。
尚、振動を利用する場合には、物質中の振動伝達に係る計算式を用いるとともに、光を利用する場合には、光のドップラー効果に係る計算式を用いる。
7 ミラー
8 ミラー
10 ワーク
PL パルスレーザー
S 加工音
V1 走査速度
Claims (3)
- レーザーを走査するミラーを有したレーザー加工装置でレーザーを照射してワークを加工する場合における、レーザー走査速度の測定方法であって、
レーザーによる前記ワークの加工音を測定し、
測定した前記加工音を周波数解析することによって、前記レーザーの走査速度を算出する、
ことを特徴とするレーザー走査速度の測定方法。 - 前記レーザーの走査速度は、
前記加工音のドップラー効果による周波数シフト量に基づいて算出する、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザー走査速度の測定方法。 - 前記レーザーの走査速度の算出において、
周波数解析した前記加工音を平均化処理する、
ことを特徴とする請求項2に記載のレーザー走査速度の測定方法。
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