JP6000160B2 - Peel inspection system, peel inspection apparatus, and peel inspection method - Google Patents

Peel inspection system, peel inspection apparatus, and peel inspection method Download PDF

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この発明は、透明樹脂が封入された、または張り合わされた立体部品（ワーク）に対し、透明樹脂の剥離を検査する剥離検査システム、剥離検査装置および剥離検査方法に関するものである。   The present invention relates to a peel inspection system, a peel inspection apparatus, and a peel inspection method for inspecting the separation of a transparent resin with respect to a three-dimensional component (work) in which a transparent resin is sealed or bonded.

従来、製造ラインにおいて、樹脂や塗料が封入された、または張り合わされたワークに対して良否検査を行う場合には、３次元計測を行っている。そして、計測結果である３次元データの画素ごとの輝度情報を、予め定められた良品のデータと比較することで、良否検査を行っている。
また、３次元データの隣り合う画素における輝度情報の変化量を用いて、３次元的な等高線表現に基づいて樹脂の封入部分または張り合わせ部分の境界を特定することにより、樹脂の剥離を検査している（例えば特許文献１，２参照）。 Conventionally, in a production line, when a quality inspection is performed on a work in which resin or paint is sealed or bonded, three-dimensional measurement is performed. Then, the pass / fail inspection is performed by comparing the luminance information for each pixel of the three-dimensional data, which is the measurement result, with predetermined good product data.
In addition, using the amount of change in luminance information in adjacent pixels of the three-dimensional data, the resin peeling is inspected by specifying the boundary between the encapsulated part or the pasted part of the resin based on the three-dimensional contour line expression. (For example, refer to Patent Documents 1 and 2).

特開２０１１−１５３８９３号公報JP 2011-153893 A 特開２００５−９８９１１号公報JP 2005-98911 A

しかしながら、上記樹脂が透明樹脂である場合には、ワークにおける透明樹脂の封入部分または張り合わせ部分の境界がはっきりしないため、特許文献１，２に開示される従来技術では検査精度が悪いという課題があった。   However, in the case where the resin is a transparent resin, the boundary between the encapsulated portion or the bonded portion of the transparent resin in the workpiece is not clear, so that the conventional techniques disclosed in Patent Documents 1 and 2 have a problem that the inspection accuracy is poor. It was.

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、透明樹脂が封入された、または張り合わされたワークであっても、透明樹脂の剥離を正確に検出することができる剥離検査システム、剥離検査装置および剥離検査方法を提供することを目的としている。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and is a peeling inspection capable of accurately detecting the peeling of a transparent resin even in a workpiece in which a transparent resin is sealed or bonded. It aims at providing a system, a peeling inspection apparatus, and a peeling inspection method.

この発明に係る剥離検査システムは、透明樹脂が封入された、または張り合わされたワークに対し、異なる方向から光を当てる複数の照明と、照明により所定方向から光が当てられたワークを撮影する撮影装置と、撮影装置により撮影された画像データを用いて、ワークの透明樹脂の剥離を検査する剥離検査装置とを備え、剥離検査装置は、撮影装置により撮影された画像データに基づいて、ワークの３次元形状を示す３次元データを算出する３次元データ算出手段と、ワークの、透明樹脂の封入または張り合わせ部分との境界面に略水平な表面を、隣り合う領域に重複部分が存在するように複数領域に分割し、３次元データ算出手段により算出された３次元データに基づいて、当該各領域における３次元データを算出する分割領域データ算出手段と、分割領域データ算出手段により算出されたワークの各領域における３次元データに基づいて、当該各領域における特徴量を算出する特徴量算出手段と、複数の良品サンプルの各領域における特徴量に基づいて、当該各領域における閾値を算出する閾値算出手段と、特徴量算出手段により算出されたワークの各領域における特徴量と、閾値算出手段により算出された当該各領域における閾値とを比較することで、当該ワークの透明樹脂の剥離を検査する良否判定手段とを備えたものである。   The peeling inspection system according to the present invention is a method for photographing a plurality of illuminations that are irradiated with light from different directions and a workpiece that is irradiated with light from a predetermined direction. And a peeling inspection device for inspecting the peeling of the transparent resin of the workpiece using the image data photographed by the photographing device, the peeling inspection device is based on the image data photographed by the photographing device. A surface that is substantially horizontal at the boundary surface between the three-dimensional data calculating means for calculating three-dimensional data representing the three-dimensional shape and the transparent resin sealing or pasting portion of the workpiece so that there are overlapping portions in adjacent regions Divided into multiple regions, based on the 3D data calculated by the 3D data calculation means, 3D data is calculated for each region. A feature amount calculating means for calculating a feature amount in each region based on the three-dimensional data in each region of the workpiece calculated by the divided region data calculating means, and a feature amount in each region of a plurality of non-defective samples. Based on the threshold value calculation means for calculating the threshold value in each area, the feature value in each area of the workpiece calculated by the feature value calculation means, and the threshold value in each area calculated by the threshold value calculation means are compared. Thus, it is provided with pass / fail judgment means for inspecting the peeling of the transparent resin of the workpiece.

また、この発明に係る剥離検査方法は、撮影装置により撮影された画像データに基づいて、ワークの３次元形状を示す３次元データを算出する３次元データ算出ステップと、ワークの、透明樹脂の封入または張り合わせ部分との境界面に略水平な表面を、隣り合う領域に重複部分が存在するように複数領域に分割し、３次元データ算出ステップにおいて算出した３次元データに基づいて、当該各領域における３次元データを算出する分割領域データ算出ステップと、分割領域データ算出ステップにおいて算出したワークの各領域における３次元データに基づいて、当該各領域における特徴量を算出する特徴量算出ステップと、複数の良品サンプルの各領域における特徴量に基づいて、当該各領域における閾値を算出する閾値算出ステップと、特徴量算出ステップにおいて算出したワークの各領域における特徴量と、閾値算出ステップにおいて算出した当該各領域における閾値とを比較することで、当該ワークの透明樹脂の剥離を検査する良否判定ステップとを有するものである。   The peeling inspection method according to the present invention includes a three-dimensional data calculation step for calculating three-dimensional data indicating a three-dimensional shape of a workpiece based on image data photographed by a photographing device, and encapsulating a transparent resin in the workpiece. Alternatively, a surface substantially horizontal to the boundary surface with the bonded portion is divided into a plurality of regions so that there is an overlapping portion in the adjacent region, and based on the three-dimensional data calculated in the three-dimensional data calculation step, A divided region data calculating step for calculating three-dimensional data; a feature amount calculating step for calculating a feature amount in each region based on the three-dimensional data in each region of the workpiece calculated in the divided region data calculating step; A threshold value calculating step for calculating a threshold value in each region based on the feature amount in each region of the non-defective sample; A pass / fail judgment step for inspecting the peeling of the transparent resin of the workpiece by comparing the feature amount in each region of the workpiece calculated in the collection amount calculating step with the threshold value in each region calculated in the threshold calculation step. Is.

この発明によれば、上記のように構成したので、透明樹脂が封入された、または張り合わされたワークであっても、樹脂の剥離を正確に検出することができる。   According to this invention, since it comprised as mentioned above, even if it is the workpiece | work with which the transparent resin was enclosed or bonded together, peeling of resin can be detected correctly.

この発明の実施の形態１に係る剥離検査システムの構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the peeling test | inspection system which concerns on Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態１におけるワークの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the workpiece | work in Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態１における剥離検査装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the peeling test | inspection apparatus in Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態１における分割領域データ算出手段によるワークの領域分割例を示すワーク上面図である。It is a workpiece | work top view which shows the example of the area | region division of the workpiece | work by the division area data calculation means in Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態１に係る剥離検査装置による全体動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the whole operation | movement by the peeling test | inspection apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態１におけるデータ分布グラフを示す図である。It is a figure which shows the data distribution graph in Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態１に係る剥離検査装置による良否判定動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the quality determination operation | movement by the peeling test | inspection apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention.

以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１に係る剥離検査システムの構成を示すブロック図である。
剥離検査システムは、例えば図２に示すような透明樹脂４１が封入された、または張り合わされたワーク（立体部品）４に対して、透明樹脂４１の剥離を検査するものである。この剥離検査システムは、図１に示すように、照明１、カメラ（撮影装置）２および剥離検査装置３から構成されている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a peel inspection system according to Embodiment 1 of the present invention.
The peeling inspection system inspects the peeling of the transparent resin 41 for a workpiece (three-dimensional component) 4 in which a transparent resin 41 as shown in FIG. As shown in FIG. 1, the peel inspection system includes an illumination 1, a camera (imaging device) 2, and a peel inspection device 3.

図２に示すワーク４において、透明樹脂４１の剥離が生じると、透明樹脂４１の封入部分または張り合わせ部分の境界に凹凸などの特徴が現れる。そこで、剥離検査システムでは、ワーク４の３次元計測を行うことで透明樹脂４１の剥離を検査する。なお以下では、ワーク４の３次元計測を行う手法として、フォトメトリックステレオ法を用いた場合について説明する。フォトメトリックステレオ法とは、複数方向からワーク４に光を当てて、その陰影状態からワーク４の高さ方向の値を復元する既知の手法である。
なお、図２に示す符号４２は、透明でない部材（樹脂に限らず、着色がされている材質のもの）を示している。 In the workpiece 4 shown in FIG. 2, when the transparent resin 41 is peeled off, features such as unevenness appear at the boundary between the encapsulated portion or the bonded portion of the transparent resin 41. Therefore, in the peeling inspection system, peeling of the transparent resin 41 is inspected by performing three-dimensional measurement of the workpiece 4. In the following, a case where the photometric stereo method is used as a method for performing three-dimensional measurement of the workpiece 4 will be described. The photometric stereo method is a known method in which light is applied to the work 4 from a plurality of directions and the value in the height direction of the work 4 is restored from the shaded state.
In addition, the code | symbol 42 shown in FIG. 2 has shown the member (The material of not only resin but the colored material) which is not transparent.

照明１は、剥離検査装置３による指示に応じて、検査対象であるワーク４に光を当てるものであり、ワーク４に対して異なる方向から光を当てるように複数の照明１が所定箇所にそれぞれ設けられている。
カメラ２は、剥離検査装置３による指示に応じて、照明１により所定方向から光が当てられたワーク４を撮影するものである。 The illumination 1 illuminates the workpiece 4 to be inspected according to an instruction from the peeling inspection apparatus 3, and a plurality of illuminations 1 are respectively applied to predetermined locations so as to illuminate the workpiece 4 from different directions. Is provided.
The camera 2 captures an image of the work 4 irradiated with light from a predetermined direction by the illumination 1 in accordance with an instruction from the peeling inspection apparatus 3.

剥離検査装置３は、各照明１およびカメラ２を制御してワーク４の３次元計測を行い、その計測結果を用いて透明樹脂４１の剥離を検査することで当該ワーク４の良否判定を行うものである。この剥離検査装置３は、図３に示すように、装置制御手段３１、３次元データ算出手段３２、分割領域データ算出手段３３、特徴量算出手段３４、特徴量記録手段３５、閾値算出手段３６および良否判定手段３７から構成されている。   The peeling inspection device 3 controls each illumination 1 and the camera 2 to perform three-dimensional measurement of the workpiece 4, and uses the measurement result to inspect the peeling of the transparent resin 41 to determine whether the workpiece 4 is good or bad. It is. As shown in FIG. 3, the peeling inspection apparatus 3 includes an apparatus control unit 31, a three-dimensional data calculation unit 32, a divided region data calculation unit 33, a feature amount calculation unit 34, a feature amount recording unit 35, a threshold value calculation unit 36, and It is composed of pass / fail judgment means 37.

装置制御手段３１は、各照明１およびカメラ２を制御するものである。
３次元データ算出手段３２は、カメラ２により撮影された画像データに基づいて、ワーク４の３次元形状を示す３次元データを算出するものである。ここで、３次元データ算出手段３２は、フォトメトリックステレオ法により、ワーク４の３次元データとして、勾配データ（透明樹脂４１の封入または張り合わせ部分との境界面の勾配、凹凸を表すデータ）および高さデータ（相対的な高さを表すデータ）を算出する。 The device control means 31 controls each illumination 1 and the camera 2.
The three-dimensional data calculating unit 32 calculates three-dimensional data indicating the three-dimensional shape of the workpiece 4 based on the image data photographed by the camera 2. Here, the three-dimensional data calculation means 32 uses the photometric stereo method as the three-dimensional data of the workpiece 4 as gradient data (data representing the gradient and irregularities of the boundary surface with the encapsulated or pasted portion of the transparent resin 41) and high Height data (data representing the relative height) is calculated.

分割領域データ算出手段３３は、ワーク４の、透明樹脂４１の封入または張り合わせ部分との境界面に略水平な表面（図２に示す例ではワーク４の上面）を、複数領域に分割し、３次元データ算出手段３２により得られた３次元データに基づいて、当該各領域における３次元データを算出するものである。この際、分割領域データ算出手段３３は、例えば図４に示すように、ワーク４の上面を、隣り合う領域に重複部分が存在するように複数領域に分割する（重複分割）。   The divided area data calculation means 33 divides the surface of the workpiece 4 that is substantially horizontal to the boundary surface with the encapsulated or pasted portion of the transparent resin 41 (the upper surface of the workpiece 4 in the example shown in FIG. 2) into a plurality of regions. Based on the three-dimensional data obtained by the dimension data calculation means 32, the three-dimensional data in each region is calculated. At this time, the divided area data calculation unit 33 divides the upper surface of the work 4 into a plurality of areas so that there are overlapping portions in adjacent areas (overlapping division), for example, as shown in FIG.

特徴量算出手段３４は、分割領域データ算出手段３３により算出されたワーク４の各領域における３次元データに基づいて、当該各領域における特徴量を算出するものである。この際、特徴量算出手段３４は、各領域における特徴量として、各領域における勾配データから標準偏差を算出し、各領域における高さデータから最大値・最小値を算出する。
特徴量記録手段３５は、特徴量算出手段３４により算出されたワーク４の各領域における特徴量を記録するものである。 The feature amount calculating unit 34 calculates the feature amount in each region based on the three-dimensional data in each region of the work 4 calculated by the divided region data calculating unit 33. At this time, the feature amount calculating means 34 calculates a standard deviation from the gradient data in each region as a feature amount in each region, and calculates a maximum value and a minimum value from the height data in each region.
The feature amount recording unit 35 records the feature amount in each area of the work 4 calculated by the feature amount calculation unit 34.

閾値算出手段３６は、特徴量記録手段３５に記録されたワーク４の各領域における特徴量のうち、良品であると判定された複数のワーク４（良品サンプル）の各領域における特徴量に基づいて、当該各領域における閾値を算出するものである。この際、閾値算出手段３６は、各領域における特徴量（勾配データの標準偏差、高さデータの最大値・最小値）の平均値およびバラツキ（σ）を算出して、平均値±３σを閾値の目安とする。   The threshold value calculation means 36 is based on the feature quantity in each area of the plurality of works 4 (non-defective product samples) determined to be non-defective among the feature quantities in each area of the work 4 recorded in the feature quantity recording means 35. The threshold value in each area is calculated. At this time, the threshold value calculation means 36 calculates an average value and variation (σ) of feature amounts (standard deviation of gradient data, maximum value / minimum value of height data) in each region, and sets the average value ± 3σ as a threshold value. As a guideline.

良否判定手段３７は、特徴量算出手段３４により算出されたワーク４の各領域における特徴量と、閾値算出手段３６により算出された当該各領域における閾値とを比較することで、透明樹脂４１の剥離を検査して当該ワーク４の良否判定を行うものである。この際、良否判定手段３７は、検査対象のワーク４において、１つの領域でも閾値を超えている特徴量が存在する場合には透明樹脂４１の剥離が生じており不良であると判定し、全領域において特徴量が閾値内であれば透明樹脂４１の剥離はなく良品であると判定する。   The pass / fail determination unit 37 compares the feature amount in each region of the workpiece 4 calculated by the feature amount calculation unit 34 with the threshold value in each region calculated by the threshold value calculation unit 36, thereby peeling the transparent resin 41. And the quality of the workpiece 4 is determined. At this time, the pass / fail determination means 37 determines that the transparent resin 41 is peeled off when there is a feature amount that exceeds the threshold value even in one region in the work 4 to be inspected, and all of them are defective. If the feature amount is within the threshold value in the region, it is determined that the transparent resin 41 is not peeled off and is a non-defective product.

次に、上記のように構成された剥離検査装置３の動作について説明する。
まず、剥離検査装置３による全体動作について、図５を参照しながら説明する。なお、閾値算出手段３６では、特徴量記録手段３５に記録されている大量の良品サンプルの各領域における特徴量に基づいて、その平均値およびバラツキから各領域における閾値を予め設定しているものとする。 Next, operation | movement of the peeling test | inspection apparatus 3 comprised as mentioned above is demonstrated.
First, the overall operation of the peeling inspection apparatus 3 will be described with reference to FIG. In the threshold value calculation means 36, the threshold value in each area is preset based on the average value and variation based on the feature quantity in each area of a large number of non-defective samples recorded in the feature quantity recording means 35. To do.

ここで、図６に閾値算出手段３６で用いられるデータ分布グラフを示す。
データ分布グラフは、重複分割した各領域のうちのある１領域について、大量の良品サンプル（例えば１００個）での特徴量（図６では勾配データの標準偏差）を分布グラフ化したものである。なお、図６の横軸は特徴量を表し、縦軸はその頻度を表している。また、図６において、棒グラフは実測データであり、目安として折れグラフで正規分布を示している。そして、閾値算出手段３６は、このデータ分布グラフから閾値を設定する。
なお、図６では１領域での標準偏差のみを示しており、実際には、重複分割した各領域の特徴量を示すグラフを複数枚作成することになる（グラフ数＝重複分割した領域数×特徴量数（勾配データの標準偏差、高さデータの最大値及び最小値の３つ））。 Here, FIG. 6 shows a data distribution graph used in the threshold value calculation means 36.
The data distribution graph is a distribution graph of feature quantities (standard deviation of gradient data in FIG. 6) in a large number of non-defective samples (for example, 100) for a certain area among the areas divided and overlapped. In addition, the horizontal axis of FIG. 6 represents the feature amount, and the vertical axis represents the frequency. In FIG. 6, the bar graph is measured data, and a normal distribution is shown as a line graph as a guide. Then, the threshold value calculation means 36 sets a threshold value from this data distribution graph.
Note that FIG. 6 shows only the standard deviation in one area, and in practice, a plurality of graphs indicating the feature values of each of the divided areas are created (number of graphs = number of overlapping divided areas × Number of features (standard deviation of gradient data, maximum value of height data and minimum value of 3)).

剥離検査装置３による全体動作では、図５に示すように、まず、装置制御手段３１は、所定の照明１を用いてワーク４に所定方向から光を当て、その際の陰影状態をカメラ２を用いて撮影する（ステップＳＴ５０１，５０２）。このステップＳＴ５０１，５０２の動作を、点灯する照明１を変えながらｎ回繰り返す（ステップＳＴ５０３）。   In the overall operation by the peeling inspection apparatus 3, as shown in FIG. 5, first, the apparatus control means 31 applies light to the work 4 from a predetermined direction using a predetermined illumination 1, and the camera 2 shows the shadow state at that time. And shooting is performed (steps ST501 and 502). The operations in steps ST501 and 502 are repeated n times while changing the illumination 1 to be lit (step ST503).

次いで、剥離検査装置３は、カメラ２により撮影された画像データを用いてワーク４の３次元計測を行い、透明樹脂４１の剥離を検査することで当該ワーク４の良否判定を行う（ステップＳＴ５０４）。   Next, the peeling inspection device 3 performs three-dimensional measurement of the workpiece 4 using the image data photographed by the camera 2, and determines whether the workpiece 4 is acceptable by inspecting the peeling of the transparent resin 41 (step ST504). .

次に、図２に示すワーク４に対するステップＳＴ５０４における良否判定について、図７を参照しながら説明する。
剥離検査装置３によるワーク４の良否判定では、図７に示すように、まず、３次元データ算出手段３２は、フォトメトリックステレオ法により、カメラ２により撮影された画像データに基づいて、ワーク４の３次元形状を示す３次元データ（勾配データおよび高さデータ）を算出する（ステップＳＴ７０１、３次元データ算出ステップ）。
なお、フォトメトリックステレオ手法で得られた３次元データ（勾配データおよび高さデータ）を良品と不良品とで比較すると、双方のデータには隔たりがある。また、この特徴はワーク４上面の一部分に生じている。そのため、この３次元データをそのまま用いたのでは検査精度が悪い。 Next, the quality determination in step ST504 for the workpiece 4 shown in FIG. 2 will be described with reference to FIG.
In the quality determination of the work 4 by the peeling inspection apparatus 3, as shown in FIG. 7, first, the three-dimensional data calculation means 32 is based on the image data photographed by the camera 2 by the photometric stereo method. Three-dimensional data (gradient data and height data) indicating a three-dimensional shape is calculated (step ST701, three-dimensional data calculation step).
In addition, when the three-dimensional data (gradient data and height data) obtained by the photometric stereo method are compared between a non-defective product and a defective product, there is a gap between the two data. Further, this feature is generated in a part of the upper surface of the work 4. Therefore, the inspection accuracy is poor if this three-dimensional data is used as it is.

そこで、ワーク４の透明樹脂４１の剥離の特徴量を際立たせるため、分割領域データ算出手段３３は、ワーク４の上面を複数領域に重複分割（図４参照）し、３次元データ算出手段３２により得られた３次元データに基づいて、当該各領域における３次元データを算出する（ステップＳＴ７０２、分割領域データ算出ステップ）。   Therefore, in order to make the feature amount of peeling of the transparent resin 41 of the workpiece 4 stand out, the divided region data calculating unit 33 overlaps and divides the upper surface of the workpiece 4 into a plurality of regions (see FIG. 4). Based on the obtained three-dimensional data, three-dimensional data in each region is calculated (step ST702, divided region data calculating step).

次いで、特徴量算出手段３４は、分割領域データ算出手段３３により算出されたワーク４の各領域における３次元データ（勾配データおよび高さデータ）に基づいて、当該各領域における特徴量（勾配データの標準偏差および高さデータの最大値・最小値）を算出する（ステップＳＴ７０３、特徴量算出ステップ）。ここで、特徴量の算出方法としては、例えば既知の方法であるＨＯＧ（Ｈｉｓｔｏｇｒａｍｓ ｏｆ Ｏｒｉｅｎｔｅｄ Ｇｒａｄｉｅｎｔｓ）などを用いる。また、算出された各領域における特徴量は特徴量記録手段３５に記録される。   Next, based on the three-dimensional data (gradient data and height data) in each region of the work 4 calculated by the divided region data calculating unit 33, the feature amount calculating unit 34 calculates the feature amount (gradient data of the gradient data). Standard deviation and maximum value / minimum value of height data) are calculated (step ST703, feature amount calculation step). Here, as a method for calculating the feature amount, for example, HOG (Histograms of Oriented Gradients), which is a known method, is used. Further, the calculated feature quantity in each region is recorded in the feature quantity recording means 35.

次いで、良否判定手段３７は、特徴量算出手段３４により算出されたワーク４の各領域における特徴量と、閾値算出手段３６により算出された当該各領域における閾値とを比較することで、透明樹脂４１の剥離を検査して当該ワーク４の良否判定を行う（ステップＳＴ７０４、良否判定ステップ）。   Next, the quality determination unit 37 compares the feature amount in each region of the workpiece 4 calculated by the feature amount calculation unit 34 with the threshold value in each region calculated by the threshold value calculation unit 36, thereby transparent resin 41. Is checked to determine whether or not the workpiece 4 is acceptable (step ST704, acceptability determination step).

このステップＳＴ７０４において、良否判定手段３７は、検査対象のワーク４において、１つの領域でも閾値を超えている特徴量が存在する場合には、当該ワーク４に透明樹脂４１の剥離が生じており不良であると判定する（ステップＳＴ７０５）。
一方、ステップＳＴ７０４において、良否判定手段３７は、検査対象のワーク４において、全領域において特徴量が閾値内である場合には、当該ワーク４に透明樹脂４１の剥離はなく良品であると判定する（ステップＳＴ７０６）。 In this step ST704, if the feature quantity exceeding the threshold value is present even in one region in the work 4 to be inspected, the pass / fail judgment means 37 is caused by peeling of the transparent resin 41 on the work 4 and is defective. (Step ST705).
On the other hand, in step ST704, the quality determination means 37 determines that the workpiece 4 is a non-defective product when the feature amount is within the threshold value in the entire area of the workpiece 4 to be inspected. (Step ST706).

以上のように、この実施の形態１によれば、ワーク４に対する透明樹脂４１の剥離を検査する際に、ワーク４の、透明樹脂４１の封入または張り合わせ部分との境界面に略水平な表面を、複数領域に重複分割して、各領域における特徴量を算出して閾値と比較するように構成したので、透明樹脂４１が封入された、または張り合わされたワーク４であっても、透明樹脂４１の剥離を正確に検出することができる。よって、本発明は、ワーク４の製造ラインでの完成品検査や、ワーク４を利用する製品における実装時の検査において利用可能である。   As described above, according to the first embodiment, when inspecting the peeling of the transparent resin 41 with respect to the work 4, the surface of the work 4 that is substantially horizontal at the boundary surface with the encapsulated or pasted portion of the transparent resin 41 is provided. Since the configuration is such that the feature amount in each region is calculated and compared with the threshold value by dividing into a plurality of regions, even if the workpiece 4 is encapsulated or bonded together, the transparent resin 41 Can be accurately detected. Therefore, the present invention can be used in the finished product inspection on the production line of the work 4 and the inspection at the time of mounting in the product using the work 4.

なお、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。   In the present invention, any constituent element of the embodiment can be modified or any constituent element of the embodiment can be omitted within the scope of the invention.

１ 照明
２ カメラ（撮影装置）
３ 剥離検査装置
４ ワーク
３１ 装置制御手段
３２ ３次元データ算出手段
３３ 分割領域データ算出手段
３４ 特徴量算出手段
３５ 特徴量記録手段
３６ 閾値算出手段
３７ 良否判定手段
４１ 透明樹脂
４２ 透明でない部材 1 Illumination 2 Camera (photographing device)
3 peeling inspection apparatus 4 work 31 apparatus control means 32 three-dimensional data calculation means 33 divided area data calculation means 34 feature quantity calculation means 35 feature quantity recording means 36 threshold value calculation means 37 pass / fail judgment means 41 transparent resin 42 non-transparent member

Claims (3)

透明樹脂が封入された、または張り合わされたワークに対し、異なる方向から光を当てる複数の照明と、前記照明により所定方向から光が当てられた前記ワークを撮影する撮影装置と、前記撮影装置により撮影された画像データを用いて、前記ワークの透明樹脂の剥離を検査する剥離検査装置とを備えた剥離検査システムであって、
前記剥離検査装置は、
前記撮影装置により撮影された画像データに基づいて、前記ワークの３次元形状を示す３次元データを算出する３次元データ算出手段と、
前記ワークの、前記透明樹脂の封入または張り合わせ部分との境界面に略水平な表面を、隣り合う領域に重複部分が存在するように複数領域に分割し、前記３次元データ算出手段により算出された３次元データに基づいて、当該各領域における３次元データを算出する分割領域データ算出手段と、
前記分割領域データ算出手段により算出された前記ワークの各領域における３次元データに基づいて、当該各領域における特徴量を算出する特徴量算出手段と、
複数の良品サンプルの前記各領域における特徴量に基づいて、当該各領域における閾値を算出する閾値算出手段と、
前記特徴量算出手段により算出された前記ワークの各領域における特徴量と、前記閾値算出手段により算出された当該各領域における閾値とを比較することで、当該ワークの透明樹脂の剥離を検査する良否判定手段とを備えた
ことを特徴とする剥離検査システム。 A plurality of illuminations that apply light from different directions to a workpiece encapsulated or laminated with a transparent resin, an imaging device that images the workpieces irradiated with light from a predetermined direction by the illumination, and the imaging device Using a photographed image data, a peeling inspection system comprising a peeling inspection device for inspecting the peeling of the transparent resin of the workpiece,
The peeling inspection apparatus is
Three-dimensional data calculating means for calculating three-dimensional data indicating the three-dimensional shape of the workpiece based on image data photographed by the photographing device;
The surface of the workpiece, which is substantially horizontal to the boundary surface between the transparent resin encapsulating or pasting portions, is divided into a plurality of regions such that there are overlapping portions in adjacent regions, and calculated by the three-dimensional data calculation means Divided region data calculating means for calculating three-dimensional data in each region based on the three-dimensional data;
Based on the three-dimensional data in each area of the workpiece calculated by the divided area data calculating means, feature quantity calculating means for calculating the feature quantity in each area;
A threshold value calculation means for calculating a threshold value in each region based on the feature amount in each region of a plurality of non-defective samples;
Pass / fail inspection of peeling of the transparent resin of the workpiece by comparing the feature amount in each region of the workpiece calculated by the feature amount calculation unit with the threshold value in each region calculated by the threshold calculation unit. A peeling inspection system comprising: a determination unit. 撮影装置により撮影された、複数の照明により異なる方向から光が当てられた透明樹脂が封入されたまたは張り合わされたワークの画像データを用いて、当該ワークの透明樹脂の剥離を検査する剥離検査装置であって、
前記撮影装置により撮影された画像データに基づいて、前記ワークの３次元形状を示す３次元データを算出する３次元データ算出手段と、
前記ワークの、前記透明樹脂の封入または張り合わせ部分との境界面に略水平な表面を、隣り合う領域に重複部分が存在するように複数領域に分割し、前記３次元データ算出手段により算出された３次元データに基づいて、当該各領域における３次元データを算出する分割領域データ算出手段と、
前記分割領域データ算出手段により算出された前記ワークの各領域における３次元データに基づいて、当該各領域における特徴量を算出する特徴量算出手段と、
複数の良品サンプルの前記各領域における特徴量に基づいて、当該各領域における閾値を算出する閾値算出手段と、
前記特徴量算出手段により算出された前記ワークの各領域における特徴量と、前記閾値算出手段により算出された当該各領域における閾値とを比較することで、当該ワークの透明樹脂の剥離を検査する良否判定手段と
を備えたことを特徴とする剥離検査装置。 A peeling inspection device that inspects the peeling of the transparent resin of the workpiece using image data of the workpiece encapsulated or laminated with a transparent resin irradiated with light from different directions by a plurality of illuminations. Because
Three-dimensional data calculating means for calculating three-dimensional data indicating the three-dimensional shape of the workpiece based on image data photographed by the photographing device;
The surface of the workpiece, which is substantially horizontal to the boundary surface between the transparent resin encapsulating or pasting portions, is divided into a plurality of regions such that there are overlapping portions in adjacent regions, and calculated by the three-dimensional data calculation means Divided region data calculating means for calculating three-dimensional data in each region based on the three-dimensional data;
Based on the three-dimensional data in each area of the workpiece calculated by the divided area data calculating means, feature quantity calculating means for calculating the feature quantity in each area;
A threshold value calculation means for calculating a threshold value in each region based on the feature amount in each region of a plurality of non-defective samples;
Pass / fail inspection of peeling of the transparent resin of the workpiece by comparing the feature amount in each region of the workpiece calculated by the feature amount calculation unit with the threshold value in each region calculated by the threshold calculation unit. A peeling inspection apparatus comprising: a determination unit. 透明樹脂が封入された、または張り合わされたワークに対し、異なる方向から光を当てる複数の照明と、前記照明により所定方向から光が当てられた前記ワークを撮影する撮影装置と、前記撮影装置により撮影された画像データを用いて、前記ワークの透明樹脂の剥離を検査する剥離検査装置とを備えた剥離検査システムによる剥離検査方法であって、
前記剥離検査装置は、
前記撮影装置により撮影された画像データに基づいて、前記ワークの３次元形状を示す３次元データを算出する３次元データ算出ステップと、
前記ワークの、前記透明樹脂の封入または張り合わせ部分との境界面に略水平な表面を、隣り合う領域に重複部分が存在するように複数領域に分割し、前記３次元データ算出ステップにおいて算出した３次元データに基づいて、当該各領域における３次元データを算出する分割領域データ算出ステップと、
前記分割領域データ算出ステップにおいて算出した前記ワークの各領域における３次元データに基づいて、当該各領域における特徴量を算出する特徴量算出ステップと、
複数の良品サンプルの前記各領域における特徴量に基づいて、当該各領域における閾値を算出する閾値算出ステップと、
前記特徴量算出ステップにおいて算出した前記ワークの各領域における特徴量と、前記閾値算出ステップにおいて算出した当該各領域における閾値とを比較することで、当該ワークの透明樹脂の剥離を検査する良否判定ステップとを有する
ことを特徴とする剥離検査方法。 A plurality of illuminations that apply light from different directions to a workpiece encapsulated or laminated with a transparent resin, an imaging device that images the workpieces irradiated with light from a predetermined direction by the illumination, and the imaging device Using the photographed image data, a peeling inspection method by a peeling inspection system provided with a peeling inspection device for inspecting the peeling of the transparent resin of the workpiece,
The peeling inspection apparatus is
A three-dimensional data calculation step for calculating three-dimensional data indicating a three-dimensional shape of the workpiece based on image data photographed by the photographing device;
The surface of the workpiece that is substantially horizontal to the boundary surface between the encapsulated or pasted portions of the transparent resin is divided into a plurality of regions so that there are overlapping portions in adjacent regions, and calculated in the three-dimensional data calculating step 3 A divided region data calculating step for calculating three-dimensional data in each region based on the dimensional data;
A feature amount calculating step for calculating a feature amount in each region based on the three-dimensional data in each region of the workpiece calculated in the divided region data calculating step;
A threshold value calculating step for calculating a threshold value in each region based on the feature amount in each region of a plurality of non-defective samples;
A pass / fail judgment step for inspecting the peeling of the transparent resin of the workpiece by comparing the feature amount in each region of the workpiece calculated in the feature amount calculation step with the threshold value in each region calculated in the threshold calculation step. A peeling inspection method characterized by comprising:
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