JP5867631B2 - Acceleration detector, acceleration detection device, and electronic apparatus - Google Patents

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本発明は、加速度検出器、この加速度検出器を備えた加速度検出デバイス及び電子機器に関する。   The present invention relates to an acceleration detector, an acceleration detection device including the acceleration detector, and an electronic apparatus.

特許文献１には、ベースと、ベースにヒンジ継ぎ手によって接続され、このヒンジ継ぎ手を回転軸として回動できる振り子型回動質量と、この回動質量をベースに橋渡しするセンサー手段と、を備えた振り子型加速度計（以下、加速度検出器という）が開示されている。   Patent Document 1 includes a base, a pendulum-type rotating mass that is connected to the base by a hinge joint and can rotate about the hinge joint as a rotation axis, and sensor means that bridges the rotating mass to the base. A pendulum accelerometer (hereinafter referred to as an acceleration detector) is disclosed.

特開平１−３０２１６６号公報JP-A-1-302166

上記加速度検出器は、加わる加速度に応じて回動質量（以下、可動部という）が回動（以下、変位という）することで、センサー手段（以下、加速度検出素子という）に引っ張り応力や圧縮応力が加わることによる、加速度検出素子の共振周波数の変化によって加速度を検出する構成となっている。   In the acceleration detector, a rotating mass (hereinafter referred to as a movable portion) rotates (hereinafter referred to as a displacement) in accordance with an applied acceleration, whereby a tensile stress or a compressive stress is applied to the sensor means (hereinafter referred to as an acceleration detection element). The acceleration is detected by the change in the resonance frequency of the acceleration detecting element due to the addition of.

ところで、上記加速度検出器は、可動部の変位の規制が、加速度検出器を収容する容器（以下、パッケージという）によって行われている。つまり、加速度検出器は、自身には可動部の変位を規制する構成要素が一切ないことから、可動部や加速度検出素子がパッケージの内面に衝突するまで変位可能な構成となっている。
このように、上記加速度検出器は、可動部の変位の規制が外部部材であるパッケージに依存することから、可動部（加速度検出素子）とパッケージの内面との隙間に関わる数々の寸法公差要因（例えば、パッケージを構成する各部品の寸法ばらつきや、パッケージへの加速度検出器の固定位置のばらつきなど）によって、可動部とパッケージの内面との隙間が、設定値に対して大きくばらつく虞がある。 By the way, in the acceleration detector, the displacement of the movable part is regulated by a container (hereinafter referred to as a package) that houses the acceleration detector. That is, since the acceleration detector itself has no component that regulates the displacement of the movable part, it can be displaced until the movable part or the acceleration detection element collides with the inner surface of the package.
As described above, since the acceleration detector depends on the package which is an external member, the displacement of the movable part depends on the package as an external member. Therefore, a number of dimensional tolerance factors related to the gap between the movable part (acceleration detection element) and the inner surface of the package For example, the gap between the movable part and the inner surface of the package may vary greatly with respect to the set value due to dimensional variations of parts constituting the package, variations in the fixed position of the acceleration detector to the package, and the like.

このことから、上記加速度検出器は、可動部とパッケージの内面との隙間が設定値より大きい場合、加わる加速度の大きさによっては、可動部や加速度検出素子がパッケージの内面に激しく衝突して破損する虞がある。
また、上記加速度検出器は、可動部とパッケージの内面との隙間が設定値より更に大きい場合、加わる加速度の大きさによっては、可動部や加速度検出素子がパッケージの内面に衝突しなくても、強度の限界を超える変位により破損する虞がある。
一方、上記加速度検出器は、可動部とパッケージの内面との隙間が設定値より小さい場合、可動部の変位範囲が設定より小さくなることから、設定された加速度検出範囲を満足できない虞がある。 For this reason, when the gap between the movable part and the inner surface of the package is larger than the set value, the above-mentioned acceleration detector may be damaged by the collision of the movable part or the acceleration detecting element with the inner surface of the package depending on the magnitude of the applied acceleration. There is a risk of doing.
Further, when the gap between the movable part and the inner surface of the package is further larger than the set value, the acceleration detector, depending on the magnitude of the applied acceleration, even if the movable part and the acceleration detection element do not collide with the inner surface of the package, There is a risk of damage due to displacement exceeding the limit of strength.
On the other hand, when the gap between the movable part and the inner surface of the package is smaller than the set value, the above-mentioned acceleration detector may not satisfy the set acceleration detection range because the displacement range of the movable part becomes smaller than the set value.

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

［適用例１］本適用例にかかる加速度検出器は、ベース部と、該ベース部に接続された可動部と、前記可動部に少なくとも一部が配置された加速度検出素子と、前記ベース部から前記可動部の方向に延びる支持部と、を備え、前記可動部は、平面視において、前記支持部と重なる領域を備えた質量部が主面に配置され、且つ、前記主面と交差する方向に変位可能であり、前記質量部と前記支持部とが重なる領域では、前記質量部と前記支持部との間に隙間が設けられていることを特徴とする。   Application Example 1 An acceleration detector according to this application example includes a base portion, a movable portion connected to the base portion, an acceleration detection element at least partially disposed on the movable portion, and the base portion. A support portion extending in a direction of the movable portion, and the movable portion has a mass portion having a region overlapping with the support portion in a plan view, and a direction intersecting the main surface. In the region where the mass part and the support part overlap, a gap is provided between the mass part and the support part.

これによれば、加速度検出器は、可動部の両主面の少なくとも一方に、平面視において、一部が支持部と重なる質量部が配置され、可動部が、加わる加速度に応じて継ぎ手部を支点にして主面と交差する方向に変位可能であり、質量部と支持部とが重なる領域の両者間に隙間が設けられている。
このことから、加速度検出器は、加速度に応じて変位する可動部の変位を、可動部の主面に配置された質量部が隙間分変位したところで支持部と接触することによって、所定の範囲内に規制することができる。
この結果、加速度検出器は、自身に可動部の変位を規制する構成要素（以下、ストッパーという）を設けたことから、外部部材であるパッケージに依存することなく、可動部の変位を自身で規制することが可能となる。
したがって、加速度検出器は、例えば、パッケージの内面と加速度検出器との隙間を、質量部と支持部との隙間よりも十分に大きく設定することが可能となり、従来のような、パッケージの内面との衝突や強度の限界を超える変位による、可動部や加速度検出素子の破損を回避することができる。 According to this, in the acceleration detector, in at least one of the two main surfaces of the movable part, a mass part that partially overlaps the support part in a plan view is arranged, and the movable part has the joint part according to the applied acceleration. It can be displaced in the direction intersecting the main surface as a fulcrum, and a gap is provided between both areas where the mass portion and the support portion overlap.
From this, the acceleration detector detects the displacement of the movable part that is displaced according to the acceleration within a predetermined range by contacting the support part when the mass part arranged on the main surface of the movable part is displaced by the gap. Can be regulated.
As a result, since the acceleration detector is provided with a component that restricts the displacement of the movable part (hereinafter referred to as a stopper), the acceleration detector itself regulates the displacement of the movable part without depending on the package that is an external member. It becomes possible to do.
Therefore, the acceleration detector can set the gap between the inner surface of the package and the acceleration detector to be sufficiently larger than the gap between the mass portion and the support portion. It is possible to avoid damage to the movable part and the acceleration detecting element due to the collision of the actuator and the displacement exceeding the limit of the strength.

加えて、加速度検出器は、質量部と支持部との間の隙間のばらつきに、例えば、パッケージなどの外部部材の寸法ばらつき（寸法公差）が、ばらつき要因として加わることがない。
このとから、加速度検出器は、質量部と支持部との隙間のばらつきを、従来のパッケージの内面と加速度検出器との隙間のばらつきよりも小さくすることが可能となる。
これにより、加速度検出器は、従来のような、可動部の変位が設定より狭い範囲に規制され、設定された加速度検出範囲を満足できないという不具合を回避することができる。 In addition, in the acceleration detector, for example, a dimensional variation (dimensional tolerance) of an external member such as a package is not added as a variation factor to the variation in the gap between the mass portion and the support portion.
From this, the acceleration detector can make the variation in the gap between the mass portion and the support portion smaller than the variation in the gap between the inner surface of the conventional package and the acceleration detector.
Thereby, the acceleration detector can avoid the trouble that the displacement of the movable part is restricted to a range narrower than the setting and the set acceleration detection range cannot be satisfied, as in the prior art.

また、加速度検出器は、自身に可動部の変位を規制するストッパーを設けたことから、前述の従来構成では不可能であった、可動部の変位の規制具合を、例えば、パッケージなどの外部部材に収容する前に確認することができる。
これにより、加速度検出器は、従来と比較して、良品率が格段に向上し、実使用時における破損などの不具合を低減することができる。 In addition, since the acceleration detector is provided with a stopper for restricting the displacement of the movable portion, the acceleration detector can control the displacement of the movable portion, which is impossible with the above-described conventional configuration, for example, an external member such as a package. Can be confirmed before housing.
As a result, the acceleration detector has a markedly improved non-defective rate compared to the conventional case, and can reduce problems such as breakage during actual use.

［適用例２］上記適用例にかかる加速度検出器において、前記支持部および前記ベース部は、平面視において、前記可動部を囲む枠状に設けられていることが好ましい。   Application Example 2 In the acceleration detector according to the application example, it is preferable that the support portion and the base portion are provided in a frame shape surrounding the movable portion in plan view.

これによれば、加速度検出器は、平面視において、支持部がベース部とによって可動部を囲む枠状に形成されていることから、例えば、支持部が可動部の両側に分割されている場合と比較して、支持部における質量部の接触時（衝突時）の強度（耐衝撃性）を向上させることができる。
加えて、加速度検出器は、平面視において、支持部がベース部とによって可動部を囲む枠状に形成されていることから、例えば、支持部が可動部の両側に分割されている場合と比較して、形状がゆがむことなく安定した状態で、例えば、パッケージなどの外部部材に固定することができる。
これにより、加速度検出器は、例えば、パッケージなどの外部部材に固定する際の質量部と支持部との隙間のばらつきの変化を抑制することができる。 According to this, the acceleration detector is formed in a frame shape that surrounds the movable part by the base part in plan view. For example, when the support part is divided on both sides of the movable part. As compared with the above, the strength (impact resistance) at the time of contact (collision) of the mass portion in the support portion can be improved.
In addition, the acceleration detector is formed in a frame shape surrounding the movable part with the base part in plan view, for example, compared with the case where the support part is divided on both sides of the movable part. Then, it can be fixed to an external member such as a package in a stable state without distortion.
Thereby, the acceleration detector can suppress the change of the dispersion | variation in the clearance gap between the mass part and support part at the time of fixing to external members, such as a package, for example.

［適用例３］上記適用例にかかる加速度検出器において、前記支持部は、複数の固定部を有し、平面視において、隣り合う前記固定部同士を結んで囲んだ範囲内、または隣り合う前記固定部同士を結んだ直線上に、前記加速度検出器の重心が位置することが好ましい。   Application Example 3 In the acceleration detector according to the application example described above, the support portion includes a plurality of fixing portions, and in a range in which the adjacent fixing portions are connected to each other in plan view, or adjacent to each other. It is preferable that the center of gravity of the acceleration detector is located on a straight line connecting the fixed portions.

これによれば、加速度検出器は、支持部が複数の固定部を有し、平面視において、隣り合う固定部同士を結んで囲んだ範囲内、または隣り合う固定部同士を結んだ直線上に、加速度検出器の重心が位置する。
このことから、加速度検出器は、いずれかの方向へ傾くことなく安定した姿勢で、例えば、パッケージなどの外部部材に固定することができる。 According to this, in the acceleration detector, the support portion has a plurality of fixed portions, and in a plan view, within a range in which adjacent fixed portions are connected to each other or on a straight line connecting adjacent fixed portions. The center of gravity of the acceleration detector is located.
From this, the acceleration detector can be fixed to an external member such as a package in a stable posture without inclining in any direction.

［適用例４］上記適用例にかかる加速度検出器において、前記加速度検出素子は、前記ベース部と前記可動部とを結ぶ方向に沿って延びる振動梁を有する加速度検出部と、該加速度検出部の両端に接続された基部と、を備え、前記基部の一方が前記ベース部に固定され、前記基部の他方が前記可動部に固定されていることが好ましい。   Application Example 4 In the acceleration detector according to the application example described above, the acceleration detection element includes an acceleration detection unit having a vibration beam extending along a direction connecting the base unit and the movable unit, and the acceleration detection unit It is preferable that one of the bases is fixed to the base part and the other of the bases is fixed to the movable part.

これによれば、加速度検出器は、加速度検出素子が少なくとも一以上の振動梁を有する加速度検出部と、加速度検出部の両端に接続された一対の基部と、を備え、基部の一方がベース部に固定され、基部の他方が可動部に固定されている。
このことから、加速度検出器は、例えば、加わる加速度による可動部の変位に応じて振動梁が伸縮し、この際に生じる引っ張り応力、圧縮応力による振動梁の振動周波数の変化を加速度に変換するという構成が可能となる。
加速度検出器の可動部の変位を自身で規制する本構成は、この振動梁を備えた加速度検出素子に対する衝撃を緩和し、加速度検出素子の破損を回避するという観点において、より効果的であるといえる。 According to this, the acceleration detector includes an acceleration detection unit in which the acceleration detection element has at least one vibration beam and a pair of bases connected to both ends of the acceleration detection unit, and one of the bases is a base unit. The other side of the base is fixed to the movable part.
From this, for example, the acceleration detector expands and contracts according to the displacement of the movable part due to the applied acceleration, and converts the change in the vibration frequency of the vibration beam due to the tensile stress and compression stress generated at this time into acceleration. Configuration is possible.
This configuration that regulates the displacement of the movable part of the acceleration detector by itself is more effective in terms of alleviating the impact on the acceleration detection element provided with the vibrating beam and avoiding damage to the acceleration detection element. I can say that.

［適用例５］本適用例にかかる加速度検出デバイスは、上記適用例のいずれか一項に記載の加速度検出器と、前記加速度検出器を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする。   Application Example 5 An acceleration detection device according to this application example includes the acceleration detector according to any one of the application examples described above and a package that houses the acceleration detector.

これによれば、加速度検出デバイスは、上記適用例のいずれか一項に記載の加速度検出器と、加速度検出器を収容するパッケージと、を備えたことから、上記適用例のいずれか一項に記載の効果を奏する加速度検出デバイスを提供することができる。   According to this, since the acceleration detection device includes the acceleration detector according to any one of the application examples described above and a package that accommodates the acceleration detector, the acceleration detection device according to any one of the application examples described above. An acceleration detection device having the described effects can be provided.

［適用例６］本適用例にかかる電子機器は、上記適用例のいずれか一項に記載の加速度検出器を備えたことを特徴とする。   Application Example 6 An electronic apparatus according to this application example includes the acceleration detector according to any one of the application examples described above.

これによれば、電子機器は、上記適用例のいずれか一項に記載の加速度検出器を備えたことから、上記適用例のいずれか一項に記載の効果を奏する電子機器を提供することができる。   According to this, since the electronic device includes the acceleration detector according to any one of the application examples, it is possible to provide an electronic device that exhibits the effect according to any one of the application examples. it can.

第１実施形態の加速度検出器の部分展開模式斜視図。The partial expansion model perspective view of the acceleration detector of 1st Embodiment. 第１実施形態の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での断面図。It is a model plane sectional view showing a schematic structure of an acceleration detector of a 1st embodiment, (a) is a top view and (b) is a sectional view in an AA line of (a). 加速度検出器の動作について説明する模式断面図であり、（ａ）は可動部が−Ｚ方向に変位した状態を示し、（ｂ）は可動部が＋Ｚ方向に変位した状態を示す。It is a schematic cross section explaining the operation of the acceleration detector, (a) shows a state where the movable part is displaced in the -Z direction, (b) shows a state where the movable part is displaced in the + Z direction. 変形例の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線での断面図、（ｃ）は（ａ）のＥ−Ｅ線での断面図。It is a model plane sectional view showing a schematic structure of an acceleration detector of a modification, (a) is a top view, (b) is a sectional view in the DD line of (a), (c) is a sectional view of (a). Sectional drawing in the EE line. 第２実施形態の加速度検出デバイスの概略構成を示す模式平断面図であり、（ａ）はリッド（蓋体）側から俯瞰した平面図、（ｂ）は（ａ）のＦ−Ｆ線での断面図。It is a model plane sectional view which shows schematic structure of the acceleration detection device of 2nd Embodiment, (a) is a top view seen from the lid (lid body) side, (b) is the FF line of (a). Sectional drawing. 第３実施形態の傾斜計を示す模式斜視図。The model perspective view which shows the inclinometer of 3rd Embodiment.

以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。   DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Embodiments of the invention are described below with reference to the drawings.

（第１実施形態）
最初に、加速度検出器の一例について説明する。
図１は、第１実施形態の加速度検出器の部分展開模式斜視図である。図２は、第１実施形態の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図である。図２（ａ）は、平面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。なお、各配線は省略してあり、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。 (First embodiment)
First, an example of the acceleration detector will be described.
FIG. 1 is a partially developed schematic perspective view of the acceleration detector according to the first embodiment. FIG. 2 is a schematic plan sectional view showing a schematic configuration of the acceleration detector according to the first embodiment. 2A is a plan view, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 2A. In addition, each wiring is abbreviate | omitted and the dimension ratio of each component differs from actual.

図１、図２に示すように、加速度検出器１は、平板状のベース部１０と、ベース部１０に継ぎ手部１１を介して接続された矩形平板状の可動部１２と、ベース部１０と可動部１２とに掛け渡された加速度検出素子１３とを備えている。
そして、加速度検出器１は、平面視において、ベース部１０から可動部１２の両側に沿って延び、ベース部１０とによって可動部１２を囲む略矩形の枠状に形成されている平板状の支持部１４、を備えている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the acceleration detector 1 includes a flat base portion 10, a rectangular flat movable portion 12 connected to the base portion 10 via a joint portion 11, and a base portion 10. An acceleration detecting element 13 is provided across the movable portion 12.
The acceleration detector 1 is a flat plate-like support that extends from the base portion 10 along both sides of the movable portion 12 in a plan view and is formed in a substantially rectangular frame shape surrounding the movable portion 12 with the base portion 10. Part 14.

可動部１２は、平板の表裏面に相当する両主面１２ａ，１２ｂに、平面視において、一部が支持部１４と重なる一対の質量部（錘部）１５が配置されている。質量部１５は、接着剤１６を介して主面１２ａ，１２ｂに固定されている。
ベース部１０、継ぎ手部１１、可動部１２、支持部１４は、例えば、水晶の原石などから所定の角度で切り出された水晶基板を用いて一体で略平板状に形成されている。なお、可動部１２と支持部１４との間には、両者を分割するスリット状の孔が設けられている。
ベース部１０、継ぎ手部１１、可動部１２、支持部１４の外形形状は、フォトリソグラフィー、エッチングなどの技術を用いて精度よく形成されている。 In the movable portion 12, a pair of mass portions (weight portions) 15, which partially overlap with the support portion 14 in a plan view, are disposed on both main surfaces 12 a and 12 b corresponding to the front and back surfaces of the flat plate. The mass portion 15 is fixed to the main surfaces 12 a and 12 b via the adhesive 16.
The base part 10, the joint part 11, the movable part 12, and the support part 14 are integrally formed in a substantially flat plate shape, for example, using a quartz substrate cut out from a quartz crystal or the like at a predetermined angle. A slit-like hole is provided between the movable portion 12 and the support portion 14 to divide both.
The outer shapes of the base portion 10, the joint portion 11, the movable portion 12, and the support portion 14 are accurately formed using techniques such as photolithography and etching.

継ぎ手部１１は、両主面１２ａ，１２ｂ側からのハーフエッチングによって、ベース部１０と可動部１２とを区切るように、ベース部１０と可動部１２とを結ぶ方向（Ｙ軸方向）と直交する方向（Ｘ軸方向）に沿って溝部１１ａが形成されている。
溝部１１ａにより、継ぎ手部１１のＹ軸方向に沿った断面形状（図２（ｂ）の形状）は、略Ｈ字状に形成されている。
この継ぎ手部１１により、可動部１２は、主面１２ａ（１２ｂ）と交差する方向（Ｚ軸方向）に加わる加速度に応じて、継ぎ手部１１を支点（回転軸）にして主面１２ａと交差する方向（Ｚ軸方向）に変位（回動）可能となっている。 The joint portion 11 is orthogonal to the direction connecting the base portion 10 and the movable portion 12 (Y-axis direction) so as to divide the base portion 10 and the movable portion 12 by half-etching from both the main surfaces 12a and 12b. A groove 11a is formed along the direction (X-axis direction).
The cross-sectional shape (shape of FIG. 2B) along the Y-axis direction of the joint portion 11 is formed in a substantially H shape by the groove portion 11a.
By this joint portion 11, the movable portion 12 intersects the main surface 12a with the joint portion 11 as a fulcrum (rotation axis) according to the acceleration applied in the direction (Z-axis direction) intersecting the main surface 12a (12b). It can be displaced (rotated) in the direction (Z-axis direction).

質量部１５には、例えば、Ｃｕ、Ａｕなどの金属に代表される比較的比重の大きい材料が用いられている。
そして、質量部１５は、平面サイズを極力大きくするために、可動部１２における継ぎ手部１１側とは反対側の自由端側から、加速度検出素子１３を避けて二股状で継ぎ手部１１近傍まで延び、平面視において、略Ｕ字状に形成されている。
接着剤１６には、例えば、シリコーン樹脂系の熱硬化型接着剤が用いられている。接着剤１６は、熱応力の抑制の観点から可動部１２及び質量部１５の一部の範囲を接着するように塗布されるのが好ましい。 For the mass portion 15, for example, a material having a relatively large specific gravity represented by a metal such as Cu or Au is used.
The mass portion 15 extends from the free end side of the movable portion 12 opposite to the joint portion 11 side to the vicinity of the joint portion 11 in a bifurcated shape avoiding the acceleration detecting element 13 in order to increase the planar size as much as possible. In a plan view, it is substantially U-shaped.
For the adhesive 16, for example, a silicone resin thermosetting adhesive is used. The adhesive 16 is preferably applied so as to bond a part of the movable portion 12 and the mass portion 15 from the viewpoint of suppressing thermal stress.

加速度検出器１は、質量部１５と支持部１４とが重なる領域Ｂ（図２（ａ）のハッチング部分）では、図２（ｂ）に示すように、質量部１５と支持部１４との間に隙間Ｃが設けられている。本実施形態では、隙間Ｃを接着剤１６の厚さで管理している。
具体的には、例えば、可動部１２と質量部１５との間に、隙間Ｃに相当する所定の厚さに形成されたスペーサーを挟んだ状態で、可動部１２と質量部１５とを接着剤１６によって固定することで、隙間Ｃを所定の範囲内に管理することができる。 In the region B where the mass portion 15 and the support portion 14 overlap (the hatched portion in FIG. 2A), the acceleration detector 1 is located between the mass portion 15 and the support portion 14 as shown in FIG. A gap C is provided in In the present embodiment, the gap C is managed by the thickness of the adhesive 16.
Specifically, for example, the movable portion 12 and the mass portion 15 are bonded to each other with the spacer formed at a predetermined thickness corresponding to the gap C between the movable portion 12 and the mass portion 15. By fixing with 16, the gap C can be managed within a predetermined range.

加速度検出素子１３は、ベース部１０と可動部１２とを結ぶ方向（Ｙ軸方向）に沿って延びる少なくとも一以上（ここでは２本）の角柱状であって、Ｘ軸方向に屈曲振動をする振動梁１３ａ，１３ｂを有する加速度検出部１３ｃと、加速度検出部１３ｃの両端に接続された一対の基部１３ｄ，１３ｅと、を備えている。
加速度検出素子１３は、２本の振動梁１３ａ，１３ｂと一対の基部１３ｄ，１３ｅとで二組の音叉を構成することから、双音叉素子（双音叉型振動片）とも呼ばれている。
加速度検出素子１３は、例えば、水晶の原石などから所定の角度で切り出された水晶基板を用いて、加速度検出部１３ｃと基部１３ｄ，１３ｅとが一体で略平板状に形成されている。また、加速度検出素子１３の外形形状は、フォトリソグラフィー、エッチングなどの技術を用いて精度よく形成されている。 The acceleration detection element 13 has at least one or more (two in this case) prismatic shape extending along the direction connecting the base portion 10 and the movable portion 12 (Y-axis direction), and flexurally vibrates in the X-axis direction. An acceleration detector 13c having vibrating beams 13a and 13b and a pair of bases 13d and 13e connected to both ends of the acceleration detector 13c are provided.
The acceleration detecting element 13 is also called a double tuning fork element (double tuning fork type vibrating piece) because the two vibrating beams 13a and 13b and the pair of base portions 13d and 13e constitute two sets of tuning forks.
For example, the acceleration detection element 13 is formed of a quartz substrate cut out at a predetermined angle from a quartz crystal or the like, and the acceleration detection unit 13c and the bases 13d and 13e are integrally formed in a substantially flat plate shape. Further, the outer shape of the acceleration detecting element 13 is accurately formed by using techniques such as photolithography and etching.

加速度検出素子１３は、一方の基部１３ｄが可動部１２の主面１２ａ側に、例えば、低融点ガラス、共晶接合可能なＡｕ／Ｓｎ合金被膜などの接合部材１７を介して固定され、他方の基部１３ｅがベース部１０の主面１０ａ側（可動部１２の主面１２ａと同じ側）に接合部材１７を介して固定されている。
なお、加速度検出素子１３と、ベース部１０の主面１０ａ及び可動部１２の主面１２ａとの間には、可動部１２の変位時に加速度検出素子１３とベース部１０及び可動部１２とが互いに接触しないように、所定の隙間が設けられている。この隙間は、本実施形態では、接合部材１７の厚さで管理されている。管理方法は、上記隙間Ｃと同様の方法を用いることができる。 In the acceleration detecting element 13, one base portion 13d is fixed to the main surface 12a side of the movable portion 12 via, for example, a bonding member 17 such as a low melting point glass or an Au / Sn alloy coating capable of eutectic bonding. The base portion 13 e is fixed to the main surface 10 a side of the base portion 10 (the same side as the main surface 12 a of the movable portion 12) via the joining member 17.
In addition, between the acceleration detection element 13 and the main surface 10a of the base part 10 and the main surface 12a of the movable part 12, when the movable part 12 is displaced, the acceleration detection element 13, the base part 10 and the movable part 12 are mutually connected. A predetermined gap is provided to prevent contact. This gap is managed by the thickness of the joining member 17 in this embodiment. As a management method, a method similar to the gap C can be used.

加速度検出素子１３は、振動梁１３ａ，１３ｂの図示しない励振電極（駆動電極）から基部１３ｅに引き出された引き出し電極１３ｆ，１３ｇが、例えば、Ａｕ、Ａｌなどの金属ワイヤー１８によって、ベース部１０の主面１０ａに設けられた接続端子１０ｂ，１０ｃと接続されている。
詳述すると、引き出し電極１３ｆは、接続端子１０ｂと接続され、引き出し電極１３ｇは、接続端子１０ｃと接続されている。
ベース部１０の接続端子１０ｂ，１０ｃは、図示しない配線によって支持部１４の外部接続端子１４ｅ，１４ｆと接続されている。詳述すると、接続端子１０ｂは、外部接続端子１４ｅと接続され、接続端子１０ｃは、外部接続端子１４ｆと接続されている。
なお、励振電極、引き出し電極１３ｆ，１３ｇ、接続端子１０ｂ，１０ｃ、外部接続端子１４ｅ，１４ｆは、例えば、Ｃｒを下地層とし、その上にＡｕが積層された構成となっている。 The acceleration detection element 13 includes lead electrodes 13f and 13g drawn from excitation electrodes (drive electrodes) (not shown) of the vibration beams 13a and 13b to the base portion 13e. The lead electrodes 13f and 13g are formed on the base portion 10 by metal wires 18 such as Au and Al. It is connected to connection terminals 10b and 10c provided on the main surface 10a.
Specifically, the lead electrode 13f is connected to the connection terminal 10b, and the lead electrode 13g is connected to the connection terminal 10c.
The connection terminals 10b and 10c of the base part 10 are connected to the external connection terminals 14e and 14f of the support part 14 by wiring (not shown). Specifically, the connection terminal 10b is connected to the external connection terminal 14e, and the connection terminal 10c is connected to the external connection terminal 14f.
The excitation electrode, the extraction electrodes 13f and 13g, the connection terminals 10b and 10c, and the external connection terminals 14e and 14f have, for example, a structure in which Cr is a base layer and Au is stacked thereon.

支持部１４は、パッケージ、基板などの外部部材に固定される部分である複数（ここでは４箇所）の固定部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄを有し、平面視において、隣り合う固定部同士を結んで囲んだ範囲内（例えば、図２（ａ）の２点鎖線で囲んだ範囲内のように隣り合う固定部同士を結ぶ互いに交差しあわない線にて囲まれた範囲内）に、加速度検出器１の重心Ｇが位置するように固定部１４ａ〜１４ｄが配置されている。
なお、固定部が２箇所の場合には、固定部同士を結んだ直線上に重心Ｇが位置するように２箇所の固定部が配置されていればよい。 The support part 14 has a plurality of (in this case, four) fixing parts 14a, 14b, 14c, and 14d that are parts fixed to an external member such as a package or a substrate. Acceleration within a bounded range (for example, within a range surrounded by lines that do not cross each other, as in the range surrounded by a two-dot chain line in FIG. 2A). The fixing portions 14a to 14d are arranged so that the center of gravity G of the detector 1 is located.
In addition, when there are two fixing portions, it is only necessary that the two fixing portions are arranged so that the center of gravity G is positioned on a straight line connecting the fixing portions.

ここで、加速度検出器１の動作について説明する。
図３は、加速度検出器の動作について説明する模式断面図である。図３（ａ）は、可動部が紙面下方（−Ｚ方向）に変位した状態を示し、図３（ｂ）は、可動部が紙面上方（＋Ｚ方向）に変位した状態を示す。 Here, the operation of the acceleration detector 1 will be described.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view for explaining the operation of the acceleration detector. FIG. 3A shows a state where the movable part is displaced downward (−Z direction) in the drawing, and FIG. 3B shows a state where the movable part is displaced upward (+ Z direction) in the drawing.

図３（ａ）に示すように、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度−ｇに応じて、可動部１２が、継ぎ手部１１を支点にして−Ｚ方向に変位した場合、加速度検出素子１３には、Ｙ軸方向に基部１３ｄと基部１３ｅとが互いに離れる方向の引っ張り力が加わり、加速度検出部１３ｃの振動梁１３ａ，１３ｂに引っ張り応力が生じる。
これにより、加速度検出器１は、例えば、巻き上げられた弦楽器の弦のように、加速度検出部１３ｃの振動梁１３ａ，１３ｂの振動周波数（以下、共振周波数ともいう）が高くなる方に変化する。 As shown in FIG. 3A, the acceleration detector 1 detects acceleration when the movable part 12 is displaced in the −Z direction with the joint part 11 as a fulcrum according to the acceleration −g applied in the Z-axis direction. A tensile force is applied to the element 13 in the direction in which the base portion 13d and the base portion 13e are separated from each other in the Y-axis direction, and tensile stress is generated in the vibration beams 13a and 13b of the acceleration detection portion 13c.
Thereby, the acceleration detector 1 changes so that the vibration frequency (henceforth resonance frequency) of the vibration beams 13a and 13b of the acceleration detection part 13c becomes high like the string of the wound stringed instrument, for example.

一方、図３（ｂ）に示すように、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度＋ｇに応じて、可動部１２が、継ぎ手部１１を支点にして＋Ｚ方向に変位した場合、加速度検出素子１３には、Ｙ軸方向に基部１３ｄと基部１３ｅとが互いに近づく方向の圧縮力が加わり、加速度検出部１３ｃの振動梁１３ａ，１３ｂに圧縮応力が生じる。
これにより、加速度検出器１は、例えば、巻き戻された弦楽器の弦のように、加速度検出部１３ｃの振動梁１３ａ，１３ｂの共振周波数が低くなる方に変化する。 On the other hand, as shown in FIG. 3B, the acceleration detector 1 detects the acceleration when the movable part 12 is displaced in the + Z direction with the joint part 11 as a fulcrum according to the acceleration + g applied in the Z-axis direction. A compressive force is applied to the element 13 in the direction in which the base 13d and the base 13e approach each other in the Y-axis direction, and compressive stress is generated in the vibrating beams 13a and 13b of the acceleration detector 13c.
Thereby, the acceleration detector 1 changes so that the resonant frequency of the vibration beams 13a and 13b of the acceleration detection part 13c becomes low like the string of the rewinded stringed instrument, for example.

加速度検出器１は、この共振周波数の変化を検出している。Ｚ軸方向に加わる加速度（＋ｇ、−ｇ）は、この検出された共振周波数の変化の割合に応じて、ルックアップテーブルなどによって定められた数値に変換することで導出される。   The acceleration detector 1 detects this change in resonance frequency. The acceleration (+ g, -g) applied in the Z-axis direction is derived by converting it into a numerical value determined by a look-up table or the like according to the detected change rate of the resonance frequency.

ここで、図３（ａ）に示すように、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度−ｇが所定の大きさより大きい場合、可動部１２の主面１２ａに固定された質量部１５の、平面視において支持部１４と重なる部分が支持部１４に接触する。
これにより、加速度検出器１は、加速度−ｇに応じて−Ｚ方向に変位する可動部１２の変位を、所定の範囲（隙間Ｃに相当、図２（ｂ）参照）内に規制する。 Here, as shown in FIG. 3A, the acceleration detector 1 has the mass portion 15 fixed to the main surface 12a of the movable portion 12 when the acceleration −g applied in the Z-axis direction is larger than a predetermined magnitude. The portion overlapping the support portion 14 in plan view comes into contact with the support portion 14.
As a result, the acceleration detector 1 restricts the displacement of the movable portion 12 that is displaced in the −Z direction according to the acceleration −g within a predetermined range (corresponding to the gap C, see FIG. 2B).

一方、図３（ｂ）に示すように、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度＋ｇが所定の大きさより大きい場合、可動部１２の主面１２ｂに固定された質量部１５の、平面視において支持部１４と重なる部分が支持部１４に接触する。
これにより、加速度検出器１は、加速度＋ｇに応じて＋Ｚ方向に変位する可動部１２の変位を、所定の範囲（隙間Ｃに相当、図２（ｂ）参照）内に規制する。 On the other hand, as shown in FIG. 3 (b), the acceleration detector 1 is a plane of the mass portion 15 fixed to the main surface 12b of the movable portion 12 when the acceleration + g applied in the Z-axis direction is larger than a predetermined magnitude. A portion that overlaps the support portion 14 in contact with the support portion 14 when viewed.
Thereby, the acceleration detector 1 restricts the displacement of the movable portion 12 that is displaced in the + Z direction according to the acceleration + g within a predetermined range (corresponding to the gap C, see FIG. 2B).

上述したように、第１実施形態の加速度検出器１は、可動部１２の両主面１２ａ，１２ｂに、平面視において、一部が支持部１４と重なる質量部１５が配置され、可動部１２がＺ軸方向に加わる加速度（＋ｇ、−ｇ）に応じて継ぎ手部１１を支点にしてＺ軸方向に変位可能であり、質量部１５と支持部１４とが重なる領域Ｂにおける質量部１５と支持部１４との間に隙間Ｃが設けられている。
このことから、加速度検出器１は、加速度に応じてＺ軸方向に変位する可動部１２の変位を、可動部１２の両主面１２ａ，１２ｂに固定された質量部１５が隙間Ｃ分変位して支持部１４と接触することによって、所定の範囲内に規制することができる。 As described above, in the acceleration detector 1 according to the first embodiment, the mass portion 15 that partially overlaps the support portion 14 in the plan view is disposed on both the main surfaces 12a and 12b of the movable portion 12. Can be displaced in the Z-axis direction with the joint portion 11 as a fulcrum according to the acceleration (+ g, -g) applied in the Z-axis direction, and the mass portion 15 and the support in the region B where the mass portion 15 and the support portion 14 overlap. A gap C is provided between the portion 14 and the portion 14.
From this, the acceleration detector 1 causes the displacement of the movable portion 12 that is displaced in the Z-axis direction according to the acceleration, and the mass portion 15 fixed to both the main surfaces 12a and 12b of the movable portion 12 is displaced by the gap C. Then, the contact with the support portion 14 can be regulated within a predetermined range.

この結果、加速度検出器１は、自身に可動部１２の変位を規制するストッパーを設けたことから、例えば、外部部材であるパッケージに依存することなく可動部１２の変位を自身で規制することが可能となる。
したがって、加速度検出器１は、例えば、外部部材であるパッケージの内面と加速度検出器１との隙間を、質量部１５と支持部１４との隙間Ｃよりも十分に大きく設定することが可能となり、従来のような、パッケージの内面との衝突や強度の限界を超える変位による、可動部１２や加速度検出素子１３の破損を回避することができる。 As a result, since the acceleration detector 1 is provided with a stopper that restricts the displacement of the movable portion 12, for example, the acceleration detector 1 can regulate the displacement of the movable portion 12 without depending on a package that is an external member. It becomes possible.
Therefore, for example, the acceleration detector 1 can set the gap between the inner surface of the package as an external member and the acceleration detector 1 to be sufficiently larger than the gap C between the mass portion 15 and the support portion 14. It is possible to avoid damage to the movable portion 12 and the acceleration detection element 13 due to a collision with the inner surface of the package and a displacement exceeding the limit of strength as in the conventional case.

加えて、加速度検出器１は、質量部１５と支持部１４との間の隙間Ｃのばらつきに、例えば、パッケージなどの外部部材の寸法ばらつき（寸法公差）が、ばらつき要因として加わることがない。
このことから、加速度検出器１は、質量部１５と支持部１４との隙間Ｃのばらつきを、従来のパッケージ内面と加速度検出器との隙間のばらつきよりも小さくすることが可能となる。
これにより、加速度検出器１は、従来のような、可動部１２の変位が設定より狭い範囲に規制され、設定された加速度検出範囲を満足できないという不具合を回避することができる。 In addition, in the acceleration detector 1, for example, a dimensional variation (dimensional tolerance) of an external member such as a package is not added as a variation factor to the variation in the gap C between the mass portion 15 and the support portion 14.
From this, the acceleration detector 1 can make the variation in the gap C between the mass portion 15 and the support portion 14 smaller than the variation in the gap between the conventional package inner surface and the acceleration detector.
Thereby, the acceleration detector 1 can avoid the trouble that the displacement of the movable part 12 is restricted to a range narrower than the setting and cannot satisfy the set acceleration detection range, as in the prior art.

また、加速度検出器１は、自身に可動部１２の変位を規制するストッパーを設けたことから、前述の従来構成では不可能であった、可動部１２の変位の規制具合を、例えば、パッケージなどの外部部材に収容する前に確認することができる。
これにより、加速度検出器１は、従来と比較して、良品率が格段に向上し、実使用時における破損などの不具合を低減することができる。 In addition, since the acceleration detector 1 is provided with a stopper for restricting the displacement of the movable portion 12, the acceleration detector 1 can control the displacement of the movable portion 12, which is impossible with the above-described conventional configuration, for example, a package or the like. This can be confirmed before being housed in the external member.
As a result, the acceleration detector 1 has a significantly improved non-defective product ratio as compared with the prior art, and can reduce problems such as breakage during actual use.

また、加速度検出器１は、平面視において、支持部１４がベース部１０とによって可動部１２を囲む略矩形の枠状に形成されていることから、例えば、後述する変形例のような、支持部１４が可動部１２の両側に分割されている場合と比較して、支持部１４における質量部１５の接触時（衝突時）の強度（耐衝撃性）を向上させることができる。   Further, since the acceleration detector 1 is formed in a substantially rectangular frame shape surrounding the movable portion 12 with the base portion 10 in a plan view, the acceleration detector 1 is supported, for example, as in a modification described later. Compared with the case where the portion 14 is divided on both sides of the movable portion 12, the strength (impact resistance) of the support portion 14 when the mass portion 15 is in contact (collision) can be improved.

加えて、加速度検出器１は、平面視において、支持部１４がベース部１０とによって可動部１２を囲む略矩形の枠状に形成されていることから、例えば、支持部１４が可動部１２の両側に分割されている場合と比較して、形状がゆがむことなく安定した状態で、例えば、パッケージなどの外部部材に固定することができる。
これにより、加速度検出器１は、例えば、パッケージなどの外部部材への固定時における質量部１５と支持部１４との隙間Ｃの変化を抑制することができる。換言すれば、加速度検出器１は、可動部１２の変位を規制する規制範囲の変化を抑制することができる。 In addition, since the acceleration detector 1 is formed in a substantially rectangular frame shape surrounding the movable portion 12 with the base portion 10 in plan view, for example, the support portion 14 includes the movable portion 12. Compared to the case where the two parts are divided on both sides, the shape can be fixed to an external member such as a package in a stable state without distortion.
Thereby, the acceleration detector 1 can suppress the change of the gap C between the mass portion 15 and the support portion 14 when, for example, fixing to an external member such as a package. In other words, the acceleration detector 1 can suppress a change in the restriction range that restricts the displacement of the movable portion 12.

また、加速度検出器１は、支持部１４が４箇所に固定部１４ａ〜１４ｄを有し、平面視において、隣り合う固定部同士を結んで囲んだ範囲内に、加速度検出器の重心Ｇが位置するように固定部１４ａ〜１４ｄが配置されている。
このことから、加速度検出器１は、いずれかの方向へ傾くことなく安定した姿勢で、例えば、パッケージなどの外部部材に固定することができる。
なお、加速度検出器１は、固定部が２箇所の場合には、固定部同士を結んだ直線上に重心Ｇが位置するように２箇所の固定部が配置されていれば、同様の効果を奏することができる。 Further, in the acceleration detector 1, the support portion 14 has fixing portions 14 a to 14 d at four locations, and the center of gravity G of the acceleration detector is located within a range in which the adjacent fixing portions are connected and surrounded in plan view. The fixing portions 14a to 14d are arranged so as to do so.
From this, the acceleration detector 1 can be fixed to an external member such as a package in a stable posture without inclining in any direction.
In addition, when there are two fixed portions, the acceleration detector 1 has the same effect as long as the two fixed portions are arranged so that the center of gravity G is positioned on a straight line connecting the fixed portions. Can play.

また、加速度検出器１は、加速度検出素子１３が、Ｙ軸方向に沿って延びる２本の振動梁１３ａ，１３ｂを有する加速度検出部１３ｃと、加速度検出部１３ｃの両端に接続された一対の基部１３ｄ，１３ｅと、を備え、一方の基部１３ｄが可動部１２に固定され、他方の基部１３ｅがベース部１０に固定されている。
これによって、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度による可動部１２のＺ軸方向の変位に応じて振動梁１３ａ，１３ｂがＹ軸方向に伸縮し、この際に生じる引っ張り応力、圧縮応力による共振周波数の変化を加速度に変換するという検出感度の高い構成が可能となっている。
加速度検出器１の可動部１２のＺ軸方向の変位を自身で規制する本構成は、この振動梁１３ａ，１３ｂを備えた加速度検出素子１３に対する衝撃を緩和し、加速度検出素子１３の破損を回避するという観点において、より効果的であるといえる。 The acceleration detector 1 includes an acceleration detection unit 13c having two vibration beams 13a and 13b extending along the Y-axis direction and a pair of bases connected to both ends of the acceleration detection unit 13c. 13d, 13e, and one base portion 13d is fixed to the movable portion 12, and the other base portion 13e is fixed to the base portion 10.
As a result, the acceleration detector 1 causes the vibrating beams 13a and 13b to expand and contract in the Y-axis direction in accordance with the displacement in the Z-axis direction of the movable part 12 due to the acceleration applied in the Z-axis direction. Therefore, it is possible to realize a configuration with high detection sensitivity that converts a change in the resonance frequency due to the above to acceleration.
The present configuration in which the displacement in the Z-axis direction of the movable portion 12 of the acceleration detector 1 is regulated by itself reduces the impact on the acceleration detection element 13 including the vibrating beams 13a and 13b, and avoids damage to the acceleration detection element 13. It can be said that it is more effective from the viewpoint of doing.

なお、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度が一方向のみ（＋ｇのみ、または−ｇのみ）の場合には、支持部１４に接触しない方の質量部１５は、平面視において支持部１４と重ならない形状としてもよく、質量部１５そのものを除去してもよい。
また、加速度検出器１は、加速度検出素子１３を可動部１２の主面１２ａ側に代えて、主面１２ｂ側に備えてもよく、主面１２ａ側及び主面１２ｂ側の両方に備えてもよい。
また、加速度検出器１は、接着剤１６に加えて、質量部１５の側面から可動部１２の主面１２ａ（１２ｂ）にかけて接着剤を塗布し、質量部１５と可動部１２との接着固定強度を補強してもよい。
また、加速度検出器１は、加速度検出素子１３の引き出し電極１３ｆ，１３ｇが、ベース部１０の接続端子１０ｂ，１０ｃと、金属ワイヤー１８に代えて導電性接着剤で接続されていてもよい。
なお、これらの付帯事項は、以下の変形例にも適用可能である。 The acceleration detector 1 is configured such that when the acceleration applied in the Z-axis direction is only in one direction (only + g or only -g), the mass portion 15 that does not contact the support portion 14 is the support portion in plan view. 14 may be formed in a shape that does not overlap with 14, or the mass portion 15 itself may be removed.
The acceleration detector 1 may be provided with the acceleration detecting element 13 on the main surface 12b side instead of the main surface 12a side of the movable portion 12, or may be provided on both the main surface 12a side and the main surface 12b side. Good.
In addition to the adhesive 16, the acceleration detector 1 applies an adhesive from the side surface of the mass portion 15 to the main surface 12 a (12 b) of the movable portion 12, and the adhesive fixing strength between the mass portion 15 and the movable portion 12. May be reinforced.
In the acceleration detector 1, the lead electrodes 13 f and 13 g of the acceleration detection element 13 may be connected to the connection terminals 10 b and 10 c of the base portion 10 by a conductive adhesive instead of the metal wire 18.
These incidental items can also be applied to the following modifications.

（変形例）
次に、第１実施形態の変形例について説明する。
図４は、第１実施形態の変形例の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図である。図４（ａ）は、平面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＤ−Ｄ線での断面図、図４（ｃ）は、図４（ａ）のＥ−Ｅ線での断面図である。なお、各配線は省略してあり、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。
また、上記第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、上記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。 (Modification)
Next, a modification of the first embodiment will be described.
FIG. 4 is a schematic plan sectional view showing a schematic configuration of an acceleration detector according to a modification of the first embodiment. 4A is a plan view, FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line DD in FIG. 4A, and FIG. 4C is a cross-sectional view taken along line EE in FIG. FIG. In addition, each wiring is abbreviate | omitted and the dimension ratio of each component differs from actual.
Also, common parts with the first embodiment will be denoted by the same reference numerals, detailed description thereof will be omitted, and different parts from the first embodiment will be mainly described.

図４に示すように、加速度検出器２は、支持部１１４における可動部１１２の自由端側（−Ｙ側）の、第１実施形態ではＸ軸方向に延びて繋がっていた部分が、Ｙ軸方向からＸ軸方向に屈曲した根元部分を残して切り取られ、支持部１１４が可動部１１２の＋Ｘ側と−Ｘ側との２つに分割されている。
また、加速度検出器２は、支持部１１４の切り取られたスペースに可動部１１２の自由端側が延在している。 As shown in FIG. 4, in the acceleration detector 2, the portion on the free end side (−Y side) of the movable portion 112 in the support portion 114 that extends and is connected in the X-axis direction in the first embodiment is the Y-axis. The support part 114 is divided into two parts, that is, the + X side and the −X side of the movable part 112, leaving a root portion bent in the X-axis direction from the direction.
Further, in the acceleration detector 2, the free end side of the movable portion 112 extends in the space where the support portion 114 is cut out.

加速度検出器２は、可動部１１２の上記延在した部分に加速度検出素子１１３が配置可能なように、質量部１１５が＋Ｘ側と−Ｘ側との２つに分割されている。そして、可動部１１２の主面１１２ａ側では、２つに分割され質量部１１５が、加速度検出素子１１３を＋Ｘ側と−Ｘ側とから挟むように配置されている。
なお、質量部１１５は、可動部１１２の主面１１２ｂ側でも２つに分割され、平面視において、主面１１２ａ側と重なるように配置されている。 In the acceleration detector 2, the mass part 115 is divided into two parts, a + X side and a −X side, so that the acceleration detection element 113 can be disposed in the extended part of the movable part 112. Then, on the main surface 112a side of the movable part 112, the mass part 115 is divided into two parts so as to sandwich the acceleration detecting element 113 from the + X side and the −X side.
The mass part 115 is also divided into two parts on the main surface 112b side of the movable part 112, and is arranged so as to overlap the main surface 112a side in plan view.

質量部１１５の一部は、平面視において、支持部１１４における可動部１１２の自由端側のＹ軸方向からＸ軸方向に屈曲した部分（先端部分）と重なっている（図４（ａ）のハッチング部分、領域Ｂ）。
質量部１１５と支持部１１４とが重なる領域Ｂでは、図４（ｃ）に示すように、質量部１１５と支持部１１４との間に隙間Ｃが設けられている。
なお、加速度検出器２の動作については、第１実施形態に準じるので説明を省略する。 A part of the mass portion 115 overlaps a portion (tip portion) bent in the X-axis direction from the Y-axis direction on the free end side of the movable portion 112 in the support portion 114 in plan view (see FIG. 4A). Hatched portion, region B).
In a region B where the mass portion 115 and the support portion 114 overlap, a gap C is provided between the mass portion 115 and the support portion 114 as shown in FIG.
Note that the operation of the acceleration detector 2 is the same as in the first embodiment, and a description thereof will be omitted.

上記構成により、加速度検出器２は、加速度検出素子１１３の基部１３ｅを第１実施形態と同じ位置に、基部１３ｄを可動部１１２の自由端側の端部に移動させて配置することができる。
このことから、加速度検出器２は、第１実施形態と比較して、Ｙ軸方向のサイズを大きくすることなく、加速度検出素子１１３の加速度検出部１１３ｃの振動梁１１３ａ，１１３ｂを第１実施形態よりも長くすることが可能となる。 With the above configuration, the acceleration detector 2 can be arranged by moving the base portion 13e of the acceleration detecting element 113 to the same position as that of the first embodiment and moving the base portion 13d to the end portion on the free end side of the movable portion 112.
From this, the acceleration detector 2 includes the vibration beams 113a and 113b of the acceleration detection unit 113c of the acceleration detection element 113 without increasing the size in the Y-axis direction as compared with the first embodiment. Can be made longer.

上述したように、変形例の加速度検出器２は、第１実施形態と比較して、Ｙ軸方向のサイズを大きくすることなく、加速度検出素子１１３の振動梁１１３ａ，１１３ｂを第１実施形態よりも長くすることが可能なことから、加速度による可動部１１２の僅かな変位でも振動梁１１３ａ，１１３ｂが伸縮しやすくなり、共振周波数の変化が発生しやすくなる。
この結果、加速度検出器２は、第１実施形態と比較して、Ｙ軸方向のサイズを大きくすることなく、加速度の検出感度を向上させることができる。 As described above, the acceleration detector 2 according to the modified example includes the vibrating beams 113a and 113b of the acceleration detecting element 113 compared to the first embodiment without increasing the size in the Y-axis direction as compared with the first embodiment. Therefore, even if the movable portion 112 is slightly displaced by acceleration, the vibrating beams 113a and 113b are easily expanded and contracted, and the resonance frequency is likely to change.
As a result, the acceleration detector 2 can improve the acceleration detection sensitivity without increasing the size in the Y-axis direction as compared with the first embodiment.

（第２実施形態）
次に、上記第１実施形態及び変形例で述べた加速度検出器を備えた加速度検出デバイスについて説明する。
図５は、第２実施形態の加速度検出デバイスの概略構成を示す模式平断面図である。図５（ａ）は、リッド（蓋体）側から俯瞰した平面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＦ−Ｆ線での断面図である。なお、平面図では、リッドを省略してある。また、各配線は省略してある。
なお、上記第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、上記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。 (Second Embodiment)
Next, an acceleration detection device including the acceleration detector described in the first embodiment and the modification will be described.
FIG. 5 is a schematic plan sectional view showing a schematic configuration of the acceleration detection device of the second embodiment. FIG. 5A is a plan view seen from the lid (lid body) side, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line FF in FIG. In the plan view, the lid is omitted. Each wiring is omitted.
In addition, the same code | symbol is attached | subjected to a common part with the said 1st Embodiment, detailed description is abbreviate | omitted, and it demonstrates centering on a different part from the said 1st Embodiment.

図５に示すように、加速度検出デバイス３は、上記第１実施形態で述べた加速度検出器１と、加速度検出器１を収容するパッケージ２０と、を備えている。
パッケージ２０は、平面形状が略矩形で凹部を有したパッケージベース２１と、パッケージベース２１の凹部を覆う平面形状が略矩形で平板状のリッド２２と、を有し、略直方体形状に形成されている。
パッケージベース２１には、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した酸化アルミニウム質焼結体、水晶、ガラス、シリコンなどが用いられている。
リッド２２には、パッケージベース２１と同材料、または、コバール、４２アロイ、ステンレス鋼などの金属が用いられている。 As shown in FIG. 5, the acceleration detection device 3 includes the acceleration detector 1 described in the first embodiment and a package 20 that houses the acceleration detector 1.
The package 20 includes a package base 21 having a substantially rectangular planar shape and a recess, and a lid 22 having a substantially rectangular planar shape covering the recess of the package base 21 and is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape. Yes.
The package base 21 is made of an aluminum oxide sintered body, crystal, glass, silicon, or the like formed by laminating and firing ceramic green sheets.
The lid 22 is made of the same material as the package base 21 or a metal such as Kovar, 42 alloy, or stainless steel.

パッケージベース２１には、内底面（凹部の内側の底面）２３の外周部分から凹部の内壁に沿って突出した２箇所の段差部２３ａに、内部端子２４，２５が設けられている。
内部端子２４，２５は、加速度検出器１の支持部１４に設けられた外部接続端子１４ｅ，１４ｆと対向する位置（平面視において重なる位置）に設けられている。なお、外部接続端子１４ｅは、ベース部１０の接続端子１０ｂと接続され、外部接続端子１４ｆは、ベース部１０の接続端子１０ｃと接続されている。
なお、外部接続端子１４ｅ，１４ｆは、支持部１４の固定部１４ｂ，１４ｃと平面視において重なる位置に設けられているのが好ましい。 The package base 21 is provided with internal terminals 24 and 25 at two step portions 23a protruding from the outer peripheral portion of the inner bottom surface (the bottom surface inside the recess) along the inner wall of the recess.
The internal terminals 24 and 25 are provided at positions facing the external connection terminals 14e and 14f provided on the support portion 14 of the acceleration detector 1 (positions overlapping in plan view). The external connection terminal 14e is connected to the connection terminal 10b of the base portion 10, and the external connection terminal 14f is connected to the connection terminal 10c of the base portion 10.
In addition, it is preferable that the external connection terminals 14e and 14f are provided at positions that overlap with the fixing portions 14b and 14c of the support portion 14 in plan view.

パッケージベース２１の外底面（内底面２３の反対側の面、外側の底面）２６には、電子機器などの外部部材に実装される際に用いられる一対の外部端子２７，２８が形成されている。
外部端子２７，２８は、図示しない内部配線によって内部端子２４，２５と接続されている。例えば、外部端子２７は、内部端子２４と接続され、外部端子２８は、内部端子２５と接続されている。
内部端子２４，２５及び外部端子２７，２８は、Ｗなどのメタライズ層にＮｉ、Ａｕなどの各被膜をメッキなどの方法により積層した金属膜からなる。 A pair of external terminals 27 and 28 used for mounting on an external member such as an electronic device are formed on the outer bottom surface (the surface opposite to the inner bottom surface 23, the outer bottom surface) 26 of the package base 21. .
The external terminals 27 and 28 are connected to the internal terminals 24 and 25 by internal wiring (not shown). For example, the external terminal 27 is connected to the internal terminal 24, and the external terminal 28 is connected to the internal terminal 25.
The internal terminals 24 and 25 and the external terminals 27 and 28 are made of a metal film in which films such as Ni and Au are laminated on a metallized layer such as W by a method such as plating.

パッケージベース２１には、凹部の底部にパッケージ２０の内部を封止する封止部２９が設けられている。
封止部２９は、パッケージベース２１に形成された、外底面２６側の孔径が内底面２３側の孔径より大きい段付きの貫通孔２９ａに、Ａｕ／Ｇｅ合金、はんだなどからなる封止材２９ｂを投入し、加熱溶融後、固化させることでパッケージ２０の内部を気密に封止する構成となっている。 The package base 21 is provided with a sealing portion 29 that seals the inside of the package 20 at the bottom of the recess.
The sealing portion 29 is formed in a stepped through hole 29a formed in the package base 21 having a hole diameter on the outer bottom surface 26 side larger than the hole diameter on the inner bottom surface 23 side, and a sealing material 29b made of Au / Ge alloy, solder, or the like. The inside of the package 20 is hermetically sealed by charging and solidifying after heating and melting.

加速度検出デバイス３は、加速度検出器１の支持部１４の固定部１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄが、接着剤３０を介して、パッケージベース２１の段差部２３ａに固定されている。
ここで、固定部１４ｂ，１４ｃが外部接続端子１４ｅ，１４ｆと内部端子２４，２５とを接続する部分であることから、接着剤３０には、例えば、金属フィラーなどの導電性物質が混合されたシリコーン樹脂系の導電性接着剤が用いられている。なお、固定部１４ａ，１４ｄの固定には、金属フィラーなどの導電性物質を含まないシリコーン樹脂系の接着剤を用いてもよい。 In the acceleration detection device 3, the fixing portions 14 a, 14 b, 14 c, and 14 d of the support portion 14 of the acceleration detector 1 are fixed to the step portion 23 a of the package base 21 through the adhesive 30.
Here, since the fixing portions 14b and 14c are portions connecting the external connection terminals 14e and 14f and the internal terminals 24 and 25, the adhesive 30 is mixed with a conductive material such as a metal filler, for example. Silicone resin-based conductive adhesives are used. In addition, you may use the silicone resin type adhesive agent which does not contain electroconductive substances, such as a metal filler, for fixation of the fixing | fixed part 14a, 14d.

加速度検出デバイス３は、加速度検出器１がパッケージベース２１の内部端子２４，２５と接続された状態で、パッケージベース２１の凹部がリッド２２により覆われ、パッケージベース２１とリッド２２とがシームリング、低融点ガラス、接着剤などの接合部材２０ａで接合される。
加速度検出デバイス３は、リッド２２の接合後、パッケージ２０の内部が減圧された状態（真空度の高い状態）で、封止部２９の貫通孔２９ａに封止材２９ｂが投入され、加熱溶融後、固化されることにより、パッケージ２０の内部が気密に封止される。
なお、パッケージ２０の内部は、窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填されていてもよい。
なお、パッケージは、パッケージベース及びリッドの両方に凹部を有していてもよい。 In the acceleration detection device 3, the recess of the package base 21 is covered with the lid 22 in a state where the acceleration detector 1 is connected to the internal terminals 24 and 25 of the package base 21, and the package base 21 and the lid 22 are seamed. It joins by joining members 20a, such as low melting glass and an adhesive agent.
In the acceleration detecting device 3, after the lid 22 is joined, the sealing material 29b is put into the through hole 29a of the sealing portion 29 in a state where the inside of the package 20 is decompressed (high vacuum state), and after heating and melting By solidifying, the inside of the package 20 is hermetically sealed.
Note that the inside of the package 20 may be filled with an inert gas such as nitrogen, helium, or argon.
The package may have a recess in both the package base and the lid.

加速度検出デバイス３は、外部端子２７，２８、内部端子２４，２５、外部接続端子１４ｅ，１４ｆ、接続端子１０ｂ，１０ｃなどを経由して加速度検出器１の励振電極に印加される駆動信号によって、加速度検出器１の振動梁１３ａ，１３ｂが所定の周波数で発振（共振）する。
そして、加速度検出デバイス３は、加わる加速度に応じて変化する加速度検出器１の共振周波数を出力信号として出力する。 The acceleration detection device 3 is driven by a drive signal applied to the excitation electrode of the acceleration detector 1 via the external terminals 27 and 28, the internal terminals 24 and 25, the external connection terminals 14e and 14f, the connection terminals 10b and 10c, and the like. The vibrating beams 13a and 13b of the acceleration detector 1 oscillate (resonate) at a predetermined frequency.
And the acceleration detection device 3 outputs the resonance frequency of the acceleration detector 1 which changes according to the applied acceleration as an output signal.

上述したように、第２実施形態の加速度検出デバイス３は、加速度検出器１を備えたことから、上記第１実施形態に記載された効果を奏する加速度検出デバイス（例えば、パッケージ２０の内面との衝突や、強度の限界を超える変位による加速度検出器１の破損を回避することができる加速度検出デバイス）を提供することができる。
なお、加速度検出デバイス３は、加速度検出器１に代えて加速度検出器２を備えた場合においても、上記と同様の効果及び加速度検出器２の特有の効果を奏する加速度検出デバイスを提供することができる。 As described above, since the acceleration detection device 3 of the second embodiment includes the acceleration detector 1, the acceleration detection device (for example, the inner surface of the package 20 with the effect described in the first embodiment) can be obtained. It is possible to provide an acceleration detection device capable of avoiding damage to the acceleration detector 1 due to collision or displacement exceeding the limit of strength.
Note that the acceleration detection device 3 can provide an acceleration detection device that exhibits the same effects as described above and the unique effects of the acceleration detector 2 even when the acceleration detector 2 is provided instead of the acceleration detector 1. it can.

（第３実施形態）
次に、上記実施形態及び変形例で述べた加速度検出器を備えた電子機器としての傾斜計について説明する。
図６は、第３実施形態の傾斜計を示す模式斜視図である。
図６に示す傾斜計４は、上記第１実施形態で述べた加速度検出器１を、傾斜センサーとして備えている。
傾斜計４は、例えば、山の斜面、道路の法面、盛土の擁壁面などの被計測場所に設置される。傾斜計４は、外部からケーブル４０を介して電源が供給され、または電源を内蔵し、図示しない駆動回路によって加速度検出器１に駆動信号が送られている。
そして、傾斜計４は、図示しない検出回路によって、加速度検出器１に加わる重力加速度に応じて変化する共振周波数から、傾斜計４の姿勢の変化（傾斜計４に対する重力加速度が加わる方向の変化）を検出し、それを角度に換算して、例えば、無線などで基地局にデータ転送する。これにより、傾斜計４は、異常の早期発見に貢献することができる。
なお、傾斜計４は、加速度検出器１に代えて加速度検出器２を傾斜センサーとして備えていてもよい。 (Third embodiment)
Next, an inclinometer as an electronic apparatus provided with the acceleration detector described in the embodiment and the modification will be described.
FIG. 6 is a schematic perspective view showing the inclinometer of the third embodiment.
An inclinometer 4 shown in FIG. 6 includes the acceleration detector 1 described in the first embodiment as an inclination sensor.
The inclinometer 4 is installed at a place to be measured such as a mountain slope, road slope, embankment retaining wall, and the like. The inclinometer 4 is supplied with power from the outside via a cable 40 or has a built-in power supply, and a drive signal is sent to the acceleration detector 1 by a drive circuit (not shown).
The inclinometer 4 changes the attitude of the inclinometer 4 (change in the direction in which the gravitational acceleration is applied to the inclinometer 4) from the resonance frequency that changes according to the gravitational acceleration applied to the acceleration detector 1 by a detection circuit (not shown). Is converted into an angle, and data is transferred to the base station by radio, for example. Thereby, the inclinometer 4 can contribute to the early detection of abnormality.
Note that the inclinometer 4 may include the acceleration detector 2 as an inclination sensor instead of the acceleration detector 1.

上述した加速度検出器１，２は、上記傾斜計に限らず、地震計、ナビゲーション装置、姿勢制御装置、ゲームコントローラー、携帯電話などの加速度センサー、傾斜センサーなどとして好適に用いることができ、いずれの場合にも上記実施形態及び変形例で説明した効果を奏する電子機器を提供することができる。   The above-described acceleration detectors 1 and 2 are not limited to the inclinometer, and can be suitably used as an acceleration sensor such as a seismometer, a navigation device, an attitude control device, a game controller, a mobile phone, an inclination sensor, etc. Even in this case, it is possible to provide an electronic device that exhibits the effects described in the embodiment and the modification.

なお、上記各実施形態及び変形例において、ベース部、継ぎ手部、可動部、支持部の材料は、水晶に限定するものではなく、ガラス、またはシリコンなどの半導体材料であってもよい。
また、加速度検出素子の基材は、水晶に限定するものではなく、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電材料、または酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電体を被膜として備えたシリコンなどの半導体材料であってもよい。 In each of the above embodiments and modifications, the material of the base part, the joint part, the movable part, and the support part is not limited to quartz, but may be a semiconductor material such as glass or silicon.
The substrate of the acceleration detecting element is not limited to quartz, but lithium tantalate (LiTaO 3 ), lithium tetraborate (Li 2 B 4 O 7 ), lithium niobate (LiNbO 3 ), zirconate titanate A piezoelectric material such as lead oxide (PZT), zinc oxide (ZnO), and aluminum nitride (AlN), or a semiconductor material such as silicon provided with a piezoelectric material such as zinc oxide (ZnO) and aluminum nitride (AlN) as a coating. May be.

１，２…加速度検出器、３…加速度検出デバイス、４…電子機器としての傾斜計、１０…ベース部、１０ａ…主面、１０ｂ，１０ｃ…接続端子、１１…継ぎ手部、１１ａ…溝部、１２…可動部、１２ａ，１２ｂ…主面、１３…加速度検出素子、１３ａ，１３ｂ…振動梁、１３ｃ…加速度検出部、１３ｄ，１３ｅ…基部、１３ｆ，１３ｇ…引き出し電極、１４…支持部、１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ…固定部、１４ｅ，１４ｆ…外部接続端子、１５…質量部、１６…接着剤、１７…接合部材、１８…金属ワイヤー、２０…パッケージ、２０ａ…接合部材、２１…パッケージベース、２２…リッド、２３…内底面、２３ａ…段差部、２４，２５…内部端子、２６…外底面、２７，２８…外部端子、２９…封止部、２９ａ…貫通孔、２９ｂ…封止材、３０…接着剤、４０…ケーブル、１１２…可動部、１１２ａ，１１２ｂ…主面、１１３…加速度検出素子、１１３ａ，１１３ｂ…振動梁、１１３ｃ…加速度検出部、１１４…支持部、１１５…質量部、Ｂ…質量部と支持部とが重なる領域。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 2 ... Acceleration detector, 3 ... Acceleration detection device, 4 ... Inclinometer as electronic equipment, 10 ... Base part, 10a ... Main surface, 10b, 10c ... Connection terminal, 11 ... Joint part, 11a ... Groove part, 12 ... movable parts, 12a, 12b ... main surface, 13 ... acceleration detecting element, 13a, 13b ... vibrating beam, 13c ... acceleration detecting part, 13d, 13e ... base, 13f, 13g ... extraction electrode, 14 ... support part, 14a, 14b, 14c, 14d ... fixed part, 14e, 14f ... external connection terminal, 15 ... mass part, 16 ... adhesive, 17 ... joining member, 18 ... metal wire, 20 ... package, 20a ... joining member, 21 ... package base , 22 ... Lid, 23 ... Inner bottom surface, 23a ... Stepped portion, 24, 25 ... Internal terminal, 26 ... Outer bottom surface, 27, 28 ... External terminal, 29 ... Sealed portion, 29a ... Through hole, 29b ... Sealed 30 ... Adhesive, 40 ... Cable, 112 ... Moving part, 112a, 112b ... Main surface, 113 ... Acceleration detection element, 113a, 113b ... Vibrating beam, 113c ... Acceleration detection part, 114 ... Supporting part, 115 ... Mass Part, B ... Area where the mass part and the support part overlap.

Claims (5)

ベース部と、
該ベース部に接続された可動部と、
前記ベース部と前記可動部とを結ぶ方向に沿って延びる振動梁を有する加速度検出部と、該加速度検出部の両端に接続された基部と、を備え、前記基部の一方が前記ベース部に固定され、前記基部の他方が前記可動部に固定された加速度検出素子と、
前記ベース部から前記可動部の方向に延びる支持部と、
前記可動部の主面に配置された質量部と、
を備え、
前記可動部は、前記主面と交差する方向に変位可能であり、
前記支持部は、前記主面の法線方向の平面視において前記可動部を挟む位置に配置される第１の支持部と第２の支持部とを備え、
前記第１の支持部および前記第２の支持部は、前記ベース部と前記可動部とを結ぶ方向に沿って延在する部分から前記可動部に向かう方向に屈曲した部分を有し、
前記質量部は、前記平面視において、前記第１の支持部の前記屈曲した部分と重なる領域と、前記第２の支持部の前記屈曲した部分と重なる領域と、を備え、
前記質量部と前記第１の支持部とが重なる領域および前記質量部と前記第２の支持部とが重なる領域では、前記質量部と前記第１の支持部との間および前記質量部と前記第２の支持部との間に隙間が設けられていることを特徴とする加速度検出器。 A base part;
A movable part connected to the base part;
An acceleration detection unit having a vibration beam extending along a direction connecting the base unit and the movable unit; and a base unit connected to both ends of the acceleration detection unit, wherein one of the base units is fixed to the base unit An acceleration detecting element in which the other of the bases is fixed to the movable part;
A support portion extending from the base portion toward the movable portion;
A mass part disposed on the main surface of the movable part;
With
The movable part is displaceable in a direction intersecting the main surface,
The support portion includes a first support portion and a second support portion that are disposed at positions sandwiching the movable portion in a plan view in the normal direction of the main surface,
The first support portion and the second support portion have a portion bent in a direction toward the movable portion from a portion extending along a direction connecting the base portion and the movable portion,
The mass portion includes a region overlapping the bent portion of the first support portion and a region overlapping the bent portion of the second support portion in the plan view,
In an area where the mass part and the first support part overlap and an area where the mass part and the second support part overlap, between the mass part and the first support part and between the mass part and the An acceleration detector, wherein a gap is provided between the second support portion and the second support portion. 請求項１に記載の加速度検出器において、
前記支持部は、複数の固定部を有し、
前記平面視において、隣り合う前記固定部同士を結んで囲んだ範囲内、または隣り合う前記固定部同士を結んだ直線上に、前記加速度検出器の重心が位置することを特徴とする加速度検出器。 The acceleration detector according to claim 1,
The support part has a plurality of fixing parts,
An acceleration detector characterized in that the center of gravity of the acceleration detector is located in a range surrounded by the adjacent fixed portions or on a straight line connecting the adjacent fixed portions in the plan view. . 請求項１または請求項２に記載の加速度検出器と、
前記加速度検出器を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする加速度検出デバイス。 The acceleration detector according to claim 1 or 2,
An acceleration detection device comprising: a package that houses the acceleration detector. ベース部と、
該ベース部に接続された可動部と、
前記ベース部と前記可動部とを結ぶ方向に沿って延びる振動梁を有する加速度検出部と、該加速度検出部の両端に接続された基部と、を備え、前記基部の一方が前記ベース部に固定され、前記基部の他方が前記可動部に固定された加速度検出素子と、
前記ベース部から前記可動部の方向に延びる支持部と、
前記可動部の主面に配置された質量部と、
を備え、
前記可動部は、前記主面と交差する方向に変位可能であり、
前記支持部は、前記主面の法線方向の平面視において前記可動部を挟む位置に配置される第１の支持部と第２の支持部とを備え、
前記第１の支持部および前記第２の支持部は、前記ベース部と前記可動部とを結ぶ方向に沿って延在する部分から前記可動部に向かう方向に屈曲した部分を有し、
前記質量部は、前記平面視において、前記第１の支持部の前記屈曲した部分と重なる領域と、前記第２の支持部の前記屈曲した部分と重なる領域と、を備え、
前記質量部と前記第１の支持部とが重なる領域および前記質量部と前記第２の支持部とが重なる領域では、前記質量部と前記第１の支持部との間および前記質量部と前記第２の支持部との間に隙間が設けられている加速度検出器と、
前記加速度検出器を収容する凹部を備えたパッケージベースを含むパッケージと、
を備えた加速度検出デバイスであって、
前記パッケージベースは、前記凹部の内壁に２か所の段差部を備え、
前記第１の支持部は前記２か所の段差部の一方に固定され、前記第２の支持部は前記２か所の段差部の他方に固定されていることを特徴とする加速度検出デバイス。 A base part;
A movable part connected to the base part;
An acceleration detection unit having a vibration beam extending along a direction connecting the base unit and the movable unit; and a base unit connected to both ends of the acceleration detection unit, wherein one of the base units is fixed to the base unit An acceleration detecting element in which the other of the bases is fixed to the movable part;
A support portion extending from the base portion toward the movable portion;
A mass part disposed on the main surface of the movable part;
With
The movable part is displaceable in a direction intersecting the main surface,
The support portion includes a first support portion and a second support portion that are disposed at positions sandwiching the movable portion in a plan view in the normal direction of the main surface,
The first support portion and the second support portion have a portion bent in a direction toward the movable portion from a portion extending along a direction connecting the base portion and the movable portion,
The mass portion includes a region overlapping the bent portion of the first support portion and a region overlapping the bent portion of the second support portion in the plan view,
In an area where the mass part and the first support part overlap and an area where the mass part and the second support part overlap, between the mass part and the first support part and between the mass part and the An acceleration detector provided with a gap between the second support portion;
A package including a package base with a recess for accommodating the acceleration detector;
An acceleration detection device comprising:
The package base includes two step portions on the inner wall of the recess,
The acceleration detection device, wherein the first support portion is fixed to one of the two step portions, and the second support portion is fixed to the other of the two step portions. 請求項１または請求項２に記載の加速度検出器を備えたことを特徴とする電子機器。   An electronic device comprising the acceleration detector according to claim 1.
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