JP5841475B2 - Dynamic light scattering measurement method and dynamic light scattering measurement device using low coherence light source - Google Patents

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Description

本発明は、低コヒーレンス光源を用いた動的光散乱測定法及び動的光散乱測定装置に関する。   The present invention relates to a dynamic light scattering measurement method and a dynamic light scattering measurement apparatus using a low coherence light source.

動的光散乱測定法はいまや確立した技術となり、これを利用した微粒子の粒径測定器は幅広く利用されている。動的光散乱測定法の利点としては必要なパラメータが少ないこと、非破壊の測定が可能であること、かつ取扱いが簡便であることが挙げられる。しかしながら、通常の動的光散乱測定法では測定対象が希薄である必要があり、これを改良して濃厚な溶液で測定する方法として、濃厚な溶液中で粒径計測を可能とするマッハツェンダー型干渉計やマイケルソン型干渉計と低コヒーレンス光源を用いた動的光散乱測定法が開示されている(例えば、特許文献1,2参照)。   The dynamic light scattering measurement method is now an established technique, and particle size measuring instruments for fine particles using this method are widely used. Advantages of the dynamic light scattering measurement method include a small number of necessary parameters, non-destructive measurement, and simple handling. However, in the usual dynamic light scattering measurement method, the measurement target needs to be dilute, and as a method of improving this by measuring a concentrated solution, the Mach-Zehnder type that enables particle size measurement in a concentrated solution A dynamic light scattering measurement method using an interferometer, a Michelson interferometer, and a low coherence light source is disclosed (for example, see Patent Documents 1 and 2).

特許文献1に開示された動的光散乱測定装置は、低コヒーレンス光源を有する動的光散乱測定装置にマッハツェンダー型干渉計を組み込んだものであり、さらに顕微光学系を導入したものである。これにより、微粒子が高い濃度で含有される分散液における、精度の良い粒径測定を可能とするものであり、従来のマイケルソン型干渉計を用いた測定(例えば、特許文献2参照)よりも感度を1000倍向上させ、液中に分散した約10nmの微粒子まで検出できるようにしたものである。しかしながら、この動的光散乱測定装置では、180°の後方散乱光のみの測定しか行うことができない。   The dynamic light scattering measurement apparatus disclosed in Patent Document 1 is a dynamic light scattering measurement apparatus having a low coherence light source, in which a Mach-Zehnder interferometer is incorporated, and a microscopic optical system is further introduced. This enables accurate particle size measurement in a dispersion containing fine particles at a high concentration, which is more than measurement using a conventional Michelson interferometer (for example, see Patent Document 2). The sensitivity is improved 1000 times so that even fine particles of about 10 nm dispersed in the liquid can be detected. However, this dynamic light scattering measuring device can only measure 180 ° backscattered light.

また特許文献3に開示された光散乱測定装置は、角度可変の光ファイバを使って光散乱測定を行うものである。しかしながら、この測定装置は、従来の静的光散乱もしくは動的光散乱で使用可能であって、低コヒーレンス光を用いた動的光散乱で使用するには、注意深く光源の種類や参照光側との光路長を意識して、光ファイバの素材を規定し、正確に位置を定める必要があり、取扱いが難しい。また、測定濃度の限界に関係する散乱体積の大きさを、光ファイバの開口数(NA:Numerical Aperture)、光ファイバ端同士の距離、及び光ファイバを対向させたときの角度で決めなければならない。さらに、検出する散乱位置からの距離を光ファイバ間の距離の調整によって行うことで多重散乱を防ぐ方法では、散乱光成分にどれだけ多重散乱光が入っているのか明確ではないため、上限濃度が分かりづらく、具体的には光路長で分解してデータを得ることが難しい。   In addition, the light scattering measuring device disclosed in Patent Document 3 performs light scattering measurement using an optical fiber having a variable angle. However, this measuring device can be used with conventional static light scattering or dynamic light scattering, and for use with dynamic light scattering using low coherence light, carefully select the type of light source and the reference light side. Considering the optical path length of the optical fiber, it is necessary to define the optical fiber material and accurately determine the position, which is difficult to handle. In addition, the size of the scattering volume related to the limit of the measurement concentration must be determined by the numerical aperture (NA) of the optical fiber, the distance between the optical fiber ends, and the angle when the optical fibers face each other. . Furthermore, in the method of preventing multiple scattering by adjusting the distance from the scattering position to be detected by adjusting the distance between the optical fibers, it is not clear how much multiple scattered light is contained in the scattered light component, so the upper limit concentration is It is difficult to understand, specifically, it is difficult to obtain data by decomposing by the optical path length.

上述の動的光散乱法は、粒子の並進拡散を測定することにより粒子サイズを推定する手法である。サイズの異なる粒子の混合液では、粒子サイズに応じた複数の並進拡散が検出される(図8参照)が、ある固定の散乱角の測定のみではこれらの並進拡散を正確に分離して粒径を求めることは数学的に難しい。また、高分子溶液では、内部運動モード、回転拡散モード、構成物質間の相互作用による協同拡散モードなど並進拡散以外の運動モードが検出される(図9参照)ため、固定の散乱角の測定のみではモードを分離することが難しい。特に、測定する濃度の高い系、及び添加剤など複数混入した複雑な系では、観測対象のモードを切り分けながら解釈と計測を行う必要がある。   The dynamic light scattering method described above is a method for estimating particle size by measuring translational diffusion of particles. In a mixture of particles of different sizes, a plurality of translational diffusions depending on the particle size are detected (see FIG. 8). However, by measuring only a certain fixed scattering angle, these translational diffusions can be accurately separated to obtain a particle size. It is mathematically difficult to seek. In addition, in the polymer solution, motion modes other than translational diffusion such as internal motion mode, rotational diffusion mode, and cooperative diffusion mode due to interaction between constituent materials are detected (see FIG. 9), so only measurement of a fixed scattering angle is possible. Then it is difficult to separate the modes. In particular, in a system with a high concentration to be measured and a complicated system in which a plurality of additives and the like are mixed, it is necessary to perform interpretation and measurement while separating the modes to be observed.

上記の課題に対して、通常の動的光散乱法では、異なる散乱角の測定を行うことで、複数の並進拡散の分離の確度を向上させることができ、かつ並進拡散と並進拡散以外のモード(内部運動モードなど)を区別できることが知られている。市販装置としても角度依存性を測定できるシステムが販売されている。これらの角度分解によって得られる情報は実際の分散状態や運動モードの分析、及び研究を進めるために、非常に有用な情報となる。   In response to the above problems, the normal dynamic light scattering method can improve the accuracy of separation of multiple translational diffusions by measuring different scattering angles, and modes other than translational diffusion and translational diffusion. It is known that (internal motion mode, etc.) can be distinguished. Systems that can measure angular dependence are also sold as commercially available devices. Information obtained by these angular decompositions is very useful information for analyzing and analyzing actual dispersion states and motion modes.

特開2011−13162号号公報JP 2011-13162 A 特開2005−121600号公報JP-A-2005-121600 WO00/31514明細書WO00 / 31514 specification

本発明は、並進拡散モードや粒径を区別することができ、微粒子を高い濃度で含有する分散液であっても、高い精度及び簡便な操作で微粒子の平均粒径やその分布の測定を可能とする低コヒーレンス光源を用いた動的光散乱測定法及び動的光散乱測定装置を提供することを課題とする。   The present invention can distinguish the translational diffusion mode and particle size, and can measure the average particle size and distribution of fine particles with high precision and simple operation even in a dispersion containing fine particles at a high concentration. It is an object of the present invention to provide a dynamic light scattering measurement method and a dynamic light scattering measurement apparatus using a low coherence light source.

上記の課題は以下の手段により解決された。
(1)低コヒーレンス光を使用するマッハツェンダー型干渉計を用いて分散液に分散された微粒子の動的特性を測定する動的光散乱測定法であり、マッハツェンダー型干渉計は、低コヒーレンス光源から第1の光ファイバで導いた低コヒーレンス光を第1光カプラーで分岐し、分岐した一方の低コヒーレンス光を第2、第3の光ファイバにより位相変調部を通して参照光として第2光カプラーに導き、第1光カプラーで分岐した他方の低コヒーレンス光を第4の光ファイバで導いて光照射部から分散液中照射し、かつ、散液中で粒子により散乱された光を複数の異なる散乱角ごとに、光照射部に対して角度可変に設置された受光部で受光して第5の光ファイバにより散乱光として第2光カプラーに導き、第2光カプラーで参照光と散乱光とを結合するものであり、各散乱角の散乱光の時間相関関数から並進拡散モードを選択して求めることを特徴とする動的光散乱測定法。
(2)マッハツェンダー型干渉計の光路長分解の方法がタイムドメイン型であることを特徴とする(1)記載の動的光散乱測定法。
(3)散乱角の散乱光強度を測定し、散乱角の角度依存性に基づいて求めた数種の拡散モードから進拡散モードを帰属させ、粒径分布の計測及び拡散運動の計測を可能とすることを特徴とする(1)または(2)記載の動的光散乱測定法。
)低コヒーレンス光源と、分散液中の微粒子に分散液中で低コヒーレンス光を照射する光照射部と分散液中で粒子により散乱された光を受光する受光部とを有するマッハツェンダー型干渉計と、散乱された光を複数の異なる散乱角で受光するように受光部を移動させる角度可変部と、粒子の動的特性を散乱角ごとの散乱光の時間相関関数から並進拡散モードを選択して求めるデータ処理解析部を備え、マッハツェンダー型干渉計は、低コヒーレンス光源から第1の光ファイバで導いた低コヒーレンス光を分岐する第1光カプラーと、第1光カプラーから第2の光ファイバで導いた分岐した一方の光の位相を変調して参照光とする位相変調部と、位相変調部から第3の光ファイバで参照光が導かれる第2光カプラーと、第1光カプラーで分岐した他方の光を分散液中に導く第4の光ファイバと、第4の光ファイバで導いた光を分散液中に照射する光照射部と、角度可変部により光照射部に対して角度可変に設置されていて分散液中で微粒子により散乱された光を複数の異なる散乱角ごとに受光する受光部と、受光部で受光した散乱光を第2光カプラーに導く第5の光ファイバとを有し、第2光カプラーで参照光と散乱光とを結合することを特徴とする動的光散乱測定装置。
マッハツェンダー型干渉計の光路長分解の方法がタイムドメイン型であることを特徴とする()記載の動的光散乱測定装置。
照射部及び受光部はともに光ファイバからなり、角度可変部は、照射部の第1光ファイバの照射面と受光部の第2光ファイバの受光面とが分散液中の測定点を中心に照射部と受光部とを相対的に回転可能とすることを特徴とする(または)に記載の動的光散乱測定装置。
第1光ファイバの照射面側端部及び第2光ファイバの受光面側端部は、各光ファイバのコアを除いて斜めに切り落とされた形状を成していることを特徴とする()記載の動的光散乱測定装置。
The above problem has been solved by the following means.
(1) A dynamic light scattering measurement method for measuring the dynamic characteristics of fine particles dispersed in a dispersion using a Mach-Zehnder interferometer that uses low-coherence light. The Mach-Zehnder interferometer uses a low-coherence light source. The low-coherence light guided from the first optical fiber to the first optical coupler is branched by the first optical coupler, and one of the branched low-coherence lights is passed as a reference light to the second optical coupler through the phase modulator by the second and third optical fibers. led, the other low coherence light branched by the first optical coupler guided by the fourth optical fiber was irradiated from the light irradiation unit during partial dispersion liquid, and the light scattered by fine particles in minute dispersion liquid for each of a plurality of different scattering angles, and scattered light by the fifth optical fiber and received by a light receiving portion disposed at an angle variable with respect to the light irradiation unit guided to the second optical coupler, the reference light in the second optical coupler And scattering Preparative one which binds, dynamic light scattering measuring method and obtaining by selecting the translational diffusion mode from the time correlation function of the scattered light of the scattering angle.
(2) The dynamic light scattering measurement method according to (1), wherein the optical path length decomposition method of the Mach- Zehnder interferometer is a time domain type.
(3) The scattered light intensity of each scattering angle was measured, from the angle dependence Based on double several spreading mode determined for each scattering angle is attributed to parallel proceeds diffusion mode, the particle size distribution measurement and the diffusion movement The dynamic light scattering measurement method according to (1) or (2), wherein measurement is possible.
(4) low and coherence light source, a Mach-Zehnder type and a light receiving portion for receiving the light scattered by the fine particles to the fine particles in the dispersion and the light irradiation unit for irradiating a low-coherence light in the dispersion in the dispersion an interferometer, an angle variable unit for moving the light receiving portion to receive the scattered light at a plurality of different scattering angles, translational diffusion mode dynamic characteristics of the fine particles from the time correlation function of the scattered light for each scattering angle The Mach-Zehnder interferometer includes a first optical coupler that branches low-coherence light guided by a first optical fiber from a low-coherence light source, and a second optical-coupler-to-second optical coupler. A phase modulator that modulates the phase of one of the branched light beams guided by the optical fiber as reference light, a second optical coupler that guides the reference light from the phase modulator by a third optical fiber, and a first light Coupler A fourth optical fiber for guiding the other light branched in step 4 into the dispersion, a light irradiation unit for irradiating the light guided by the fourth optical fiber into the dispersion, and an angle variable unit for the light irradiation unit. A light receiving unit that is installed at a variable angle and receives light scattered by fine particles in the dispersion liquid at a plurality of different scattering angles, and a fifth optical fiber that guides the scattered light received by the light receiving unit to the second optical coupler. preparative has a dynamic light scattering measuring apparatus characterized that you combine the reference light and the scattered light at the second optical coupler.
( 5 ) The dynamic light scattering measurement apparatus according to ( 4 ), wherein the optical path length decomposition method of the Mach- Zehnder interferometer is a time domain type.
( 6 ) Both the light irradiating part and the light receiving part are made of optical fibers, and the angle variable part is a measurement in which the irradiation surface of the first optical fiber of the light irradiating part and the light receiving surface of the second optical fiber of the light receiving part are in dispersion The dynamic light scattering measurement device according to ( 4 ) or ( 5 ), wherein the light irradiating unit and the light receiving unit are relatively rotatable around a point.
( 7 ) The irradiation surface side end portion of the first optical fiber and the light receiving surface side end portion of the second optical fiber have shapes cut off obliquely except for the core of each optical fiber. ( 6 ) The dynamic light scattering measurement device according to ( 6 ).

本発明の動的光散乱測定法によれば、分散液からの散乱光を角度分解して取得することができるので並進拡散モードの分離が可能になり、これによって、微粒子の平均粒径やその分布の測定が、高い精度及び簡便な操作で可能となる。さらに、低コヒーレンス光源を用いたマッハツェンダー型干渉計を組み合わせたことで、高濃度に微粒子を含有する分散液の測定を実現できる。
本発明の動的光散乱測定装置によれば、角度可変部により光照射部と受光部とを相対的に回転可能としたことから、分散液からの散乱光を角度分解して取得することができる。これにより、並進拡散モードの分離が可能になり、微粒子の平均粒径やその分布の測定が、高い精度及び簡便な操作で可能となる。さらに、低コヒーレンス光源を用いたマッハツェンダー型干渉計を組み合わせたことで、高濃度に微粒子を含有する分散液の測定を実現できる。
According to the dynamic light scattering measurement method of the present invention, the scattered light from the dispersion liquid can be obtained by angularly resolving, so that the translational diffusion mode can be separated. Distribution can be measured with high accuracy and simple operation. Furthermore, by combining a Mach-Zehnder interferometer using a low coherence light source, it is possible to measure a dispersion containing fine particles at a high concentration.
According to the dynamic light scattering measurement apparatus of the present invention, since the light irradiating unit and the light receiving unit can be relatively rotated by the angle variable unit, the scattered light from the dispersion liquid can be obtained by angular decomposition. it can. As a result, the translational diffusion mode can be separated, and the average particle size and distribution of the fine particles can be measured with high accuracy and simple operation. Furthermore, by combining a Mach-Zehnder interferometer using a low coherence light source, it is possible to measure a dispersion containing fine particles at a high concentration.

本発明の動的光散乱測定装置の好ましい一実施形態を示した図面であり、(a)は装置を概略的に示した装置構成図、(b)は光照射部と受光部の周辺を模式的に示した要部拡大断面図、(c)は光ファイバ先端を示した断面図、(d)は光照射部の端面と受光部の端面と散乱位置の関係を示した拡大構成図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is drawing which showed preferable one Embodiment of the dynamic light-scattering measuring apparatus of this invention, (a) is an apparatus block diagram which showed the apparatus schematically, (b) is modeled around the light irradiation part and the light-receiving part. The principal part expanded sectional view shown in figure, (c) is sectional drawing which showed the optical fiber front-end | tip, (d) is the enlarged block diagram which showed the relationship between the end surface of a light irradiation part, the end surface of a light-receiving part, and a scattering position. . 角度可変部を示した図面であり、(a)は側面図であり、(b)は平面図である。It is drawing which showed the angle variable part, (a) is a side view, (b) is a top view. 光照射部と受光部の変形例を模式的に示した拡大構成図である。It is the expansion block diagram which showed typically the modification of the light irradiation part and the light-receiving part. 散乱角の角度が異なる時間相関関数の一例を示したグラフ(イメージ図)である。It is the graph (image figure) which showed an example of the time correlation function from which the angle of a scattering angle differs. 多モード解析のために、横軸を散乱ベクトルqの2乗とし、縦軸を速度定数Γとしてプロットしたグラフ(イメージ図)である。It is a graph (image diagram) plotted with the horizontal axis as the square of the scattering vector q and the vertical axis as the rate constant Γ for multimode analysis. 実施例1において測定した懸濁液Aの速度定数Γと散乱ベクトルqの2乗の関係(モード解析)を示したグラフである。3 is a graph showing the relationship (mode analysis) between the rate constant Γ of the suspension A measured in Example 1 and the square of the scattering vector q. 実施例2において測定した懸濁液Bの速度定数Γと散乱ベクトルqの2乗の関係(モード解析)を示したグラフである。6 is a graph showing the relationship (mode analysis) between the rate constant Γ of the suspension B measured in Example 2 and the square of the scattering vector q. 粒径の相違による並進拡散モードをモデル化して示した説明図である。It is explanatory drawing which modeled and showed the translational diffusion mode by the difference in a particle size. 並進拡散運動以外の拡散運動の相違をモデル化して示した説明図である。It is explanatory drawing which modeled and showed the difference of diffusion motions other than translational diffusion motion.

以下に、本発明の光散乱強度測定法及び動的光散乱測定装置の好ましい実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。かかる実施形態として、マッハツェンダー型の干渉計を用いた動的光散乱測定装置を説明する。なお、本説明は、本実施形態の説明により限定して解釈されるものではない。   Hereinafter, preferred embodiments of a light scattering intensity measurement method and a dynamic light scattering measurement apparatus of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. As such an embodiment, a dynamic light scattering measurement apparatus using a Mach-Zehnder interferometer will be described. Note that this description is not construed as being limited by the description of this embodiment.

[実施形態]
図1に示すように、本実施形態の動的光散乱測定装置1は、低コヒーレンス光源2、マッハツェンダー型干渉計3、光検出器4、データ処理解析部5、光ファイバF〜F、信号伝送線6を備える。
[Embodiment]
As shown in FIG. 1, the dynamic light scattering measurement apparatus 1 according to the present embodiment includes a low coherence light source 2, a Mach-Zehnder interferometer 3, a photodetector 4, a data processing analysis unit 5, and optical fibers F 1 to F 6. The signal transmission line 6 is provided.

低コヒーレンス光源2としてはスーパールミネッセントダイオード(Super Luminescent Diode)を用いることが好ましい。以下、スーパールミネッセントダイオードをSLDという。SLDは、発振波長を特に限定しないが、例えば発振波長が0.125〜2μmであることが好ましく、0.250〜1.5μmであることがより好ましい。そのコヒーレンス長としては、例えば0.1〜100μmが好ましく、1〜50μmがより好ましい。
上記低コヒーレンス光源2は光ファイバFを介してマッハツェンダー型干渉計3が接続されている。したがって、上記低コヒーレンス光源2から射出された光は、光ファイバF内を伝送してマッハツェンダー型干渉計3に伝送される。
As the low coherence light source 2, it is preferable to use a super luminescent diode (Super Luminescent Diode). Hereinafter, the super luminescent diode is referred to as SLD. The SLD does not particularly limit the oscillation wavelength, but for example, the oscillation wavelength is preferably 0.125 to 2 μm, and more preferably 0.250 to 1.5 μm. As the coherence length, for example, 0.1 to 100 μm is preferable, and 1 to 50 μm is more preferable.
The low coherence light source 2 Mach-Zehnder interferometer 3 through the optical fiber F 1 is connected. Therefore, the light emitted from the low coherence light source 2 is transmitted through the optical fiber F 1 and transmitted to the Mach-Zehnder interferometer 3.

マッハツェンダー型干渉計3は、低コヒーレンス光を分散液(測定試料)Sに照射し、分散液Sからの散乱光を得て、参照光との干渉光を得るものである。それを構成する光学系は、光を分岐する第1光カプラー31、光伝送路としての光ファイバF,F,F,F、光ファイバと空間との光路の接合器としてのコリメーターレンズ32、33、光の位相を変調させる位相変調器34、光を結合する第2光カプラー35により構成される。
また分散液(測定試料)Sは、媒体Sに微粒子Sを分散させたものである。
The Mach-Zehnder interferometer 3 irradiates the dispersion liquid (measurement sample) S with low coherence light, obtains scattered light from the dispersion liquid S, and obtains interference light with reference light. The optical system constituting the optical system includes a first optical coupler 31 that branches light, optical fibers F 2 , F 3 , F 4 , and F 5 as optical transmission paths, and a collimator as a junction of optical paths between optical fibers and space. Meter lenses 32 and 33, a phase modulator 34 for modulating the phase of light, and a second optical coupler 35 for coupling light.
The dispersion (sample) S is obtained by dispersing fine particles S 2 on the medium S 1.

上記第1光カプラー31は、低コヒーレンス光源2から射出されて光ファイバFにより伝送された光を2方向に分岐する。第1光カプラー31で分岐された一方の光は光ファイバF,F中を伝送され、他方の光はファイバFファイバF中を伝送される。光ファイバFの光照射側の端部F4aが光照射部36となり、光ファイバFの受光側の端部F5aが受光部37となる。 The first optical coupler 31 branches the light transmitted is emitted from the low coherence light source 2 to the optical fiber F 1 in two directions. One beam branched by the first optical coupler 31 is transmitted through the optical fiber F 2, F 3, and the other light is transmitted optical fiber F 4, the optical fiber F 5 Medium. End F 4a is next light irradiation unit 36 of the light irradiation side of the optical fiber F 4, the end portion F 5a of the light-receiving side of the optical fiber F 5 becomes a light receiving portion 37.

上記光ファイバF,F間にはコリメーターレンズ32、位相変調器34、コリメーターレンズ33が光伝送方向に順に配置され、位相変調器34により位相が変調されて参照光となる。 A collimator lens 32, a phase modulator 34, and a collimator lens 33 are sequentially arranged between the optical fibers F 2 and F 3 in the optical transmission direction, and the phase is modulated by the phase modulator 34 to become reference light.

上記光ファイバFは光照射側が分散液S中に挿し込まれ、かつ光ファイバFは受光側が分散液S中に挿し込まれている(図1(b)参照)。光ファイバFと光ファイバFはともに、一例として、コアFc径が5μm、クラッドFcl径が125μmであり、それぞれのクラッドFclの周囲に直径が2500μmのフェルール9が形成されたものであり、フェルール9の先端部の一側面9aは端面方向に向かって細くなるように斜めに形成されている(図1(c)参照)。 The optical fiber F 4 light irradiation side is inserted into the dispersion S, and the optical fiber F 5 is the light receiving side is inserted into the dispersion S (see Figure 1 (b)). For example, both the optical fiber F 4 and the optical fiber F 5 have a core Fc diameter of 5 μm and a cladding Fcl diameter of 125 μm, and a ferrule 9 having a diameter of 2500 μm is formed around each cladding Fcl. One side surface 9a of the tip portion of the ferrule 9 is formed obliquely so as to become thinner toward the end surface direction (see FIG. 1C).

光ファイバFの光照射面F4bと光ファイバFの受光面F5bとは、分散液S中の測定点(散乱位置)Pを中心に光ファイバFと光ファイバFとが角度可変部7(図2参照)によって相対的に回転可能に設置されている。例えば、光照射部36は固定され、受光部37が角度可変に設置されている。角度可変部7の詳細については、後述する。
例えば、光ファイバFと光ファイバFは、光照射面F4b、受光面F5bのそれぞれのコア端面の中心位置からの法線の交点を測定点(散乱位置)Pとし、この測定点Pから光照射面F4b、受光面F5bまでの距離が常に一定(例えば、等距離)になるように配置されている(図1(d)参照)。なお、光ファイバFの射出端の端面及び光ファイバFの入射端の端面は、各光ファイバの長さ方向に対して直角方向に平滑な平面で形成されているものとする。
The light receiving surface F 5b of the light irradiation surface F 4b and the optical fiber F 5 of the optical fiber F 4, the dispersion liquid measurement points in S (scattering position) optical fiber F 4 around the P and the optical fiber F 5 and the angle The variable portion 7 (see FIG. 2) is installed so as to be relatively rotatable. For example, the light irradiation unit 36 is fixed, and the light receiving unit 37 is installed with a variable angle. Details of the angle variable unit 7 will be described later.
For example, in the optical fiber F 4 and the optical fiber F 5 , the intersection of the normals from the center position of the core end surface of each of the light irradiation surface F 4b and the light receiving surface F 5b is defined as a measurement point (scattering position) P. The distances from P to the light irradiation surface F 4b and the light receiving surface F 5b are always constant (for example, equidistant) (see FIG. 1D). It is assumed that the end face of the exit end of the optical fiber F 4 and the end face of the entrance end of the optical fiber F 5 are formed as flat surfaces that are smooth in the direction perpendicular to the length direction of each optical fiber.

したがって、光ファイバFから射出された光は測定試料としての分散液Sに照射され、分散液Sからの散乱光を所定の角度ごとに受光するように光ファイバFが配置されることになる。この所定の角度(以下、散乱角θという)とは、光ファイバFから射出された光Lの射出方向に対し、その光が散乱されて光ファイバFに受光された光Lが成す角度をいう。したがって、前方散乱の散乱角は0°となり、後方散乱の散乱角は180°となる。この散乱角θは、拡散の帰属が可能な範囲であれば良く、例えば、0°〜180°であることが最も好ましいが、光ファイバの形状、コアの口径等の制約から60°以上140°以下であれば十分である。例えば、散乱角θの範囲の上限値と下限値の差が80°以上、好ましくは100°以上、より好ましくは120°以上あればよい。 Accordingly, the light emitted from the optical fiber F 4 is irradiated onto the dispersion S as the measurement sample, and the optical fiber F 5 is arranged so as to receive the scattered light from the dispersion S at predetermined angles. Become. The predetermined angle (hereinafter referred to as scattering angle θ) is the light L 2 scattered and received by the optical fiber F 5 with respect to the emission direction of the light L 1 emitted from the optical fiber F 4. The angle formed. Accordingly, the scattering angle of forward scattering is 0 °, and the scattering angle of back scattering is 180 °. The scattering angle θ may be in a range in which the attribution of diffusion is possible. For example, the scattering angle θ is most preferably 0 ° to 180 °, but 60 ° or more and 140 ° due to restrictions such as the shape of the optical fiber and the core diameter. The following is sufficient. For example, the difference between the upper limit value and the lower limit value of the range of the scattering angle θ may be 80 ° or more, preferably 100 ° or more, more preferably 120 ° or more.

光ファイバFの端部F4a、光ファイバFの端部F5aは、セル11(図2参照)の底及び壁面、及び特異的な対流や壁面への吸着効果を取り込まないように、セル11の底及び壁面から必要な距離だけ離して挿し入れることが必要である。また、セル11の底及び壁面に対して光ファイバFの端部F4a、光ファイバFの端部F5aを、50μm以上隔たるようにし、好ましくは200μm以上隔たらせ、さらに好ましくは、1000μm以上、隔たらせる。 End F 4a of the optical fiber F 4, the end portion F 5a of the optical fiber F 5, the cell 11 so as not taken adsorption effect of the bottom and wall surfaces, and specific convection and walls (see FIG. 2), It is necessary to insert the cell 11 at a necessary distance from the bottom and the wall surface. The end portion F 4a of the optical fiber F 4 to the bottom and walls of the cell 11, the end portion F 5a of the optical fiber F 5, to 50μm or more spaced manner, preferably not Hedatara than 200 [mu] m, more preferably , Separated by 1000 μm or more.

上記第2光カプラー35は、光ファイバFから射出された参照光と、光ファイバFから射出された散乱光を結合する。 The second optical coupler 35 is coupled reference light emitted from the optical fiber F 3, the emitted from the optical fiber F 5 scattered light.

上記第2光カプラー35には光ファイバFを介して光検出器4が接続されている。この光検出器4は、例えば、フォトダイオード、光電子倍増管、等の光電変換機能を有するものであり、第2光カプラー35から射出され光ファイバFによって伝送された光の強度を電気信号に変換するものである。したがって、マッハツェンダー型干渉計3で得た散乱光の干渉による散乱光強度を検出する。
上記光検出器4には、信号伝送線6を介して、アナログ信号である電気信号をデジタル信号に変換する電気信号読取部(図示せず)が接続され、さらにデータ処理及び解析をデータ処理解析部5が接続されている。データ処理解析部5には、例えばパーソナルコンピュータ、スペクトラムアナアイザ、等を用いることができる。データ処理解析部5は、光検出器4で得た散乱光の揺らぎのデータを処理、解析して、並進拡散モードを分離し、分散液S中の微粒子Sの粒径分布等を解析する。
The said second optical coupler 35 photodetector 4 through the optical fiber F 6 is connected. The photodetector 4 has a photoelectric conversion function such as a photodiode or a photomultiplier tube, for example, and converts the intensity of light emitted from the second optical coupler 35 and transmitted by the optical fiber F 6 into an electrical signal. To convert. Therefore, the scattered light intensity due to the interference of the scattered light obtained by the Mach-Zehnder interferometer 3 is detected.
An electrical signal reading unit (not shown) for converting an electrical signal, which is an analog signal, into a digital signal is connected to the photodetector 4 via a signal transmission line 6, and further data processing and analysis are performed by data processing analysis. Part 5 is connected. As the data processing analysis unit 5, for example, a personal computer, a spectrum analyzer, or the like can be used. Data processing and analyzing unit 5 processes the data of the fluctuation of the scattered light obtained by the photodetector 4, and analyzed to separate the translational diffusion mode, to analyze the particle size distribution of the fine particles S 2 in the dispersion S etc. .

なお、上記光ファイバF〜F,Fは、空間伝播で構成してもよい。
また、上記第1光カプラー31は、分岐比を測定対象に応じて変更可能であることが好ましい。分割された一方の光が導かれる光路の途中には、上述したようにコリメーターレンズ32,33及び位相変調器34からなる位相変調部が構成されている。位相変調部は、図示したように光を空間に出して変調を行ってもよいし、光ファイバの中で変調させてもよい。もしくは、このような位相変調部を、光路の途中に設けられたサーキュレーター(図示せず)及び光ファイバ(図示せず)により構成し、この光ファイバ端の光射出方向に振動可能なミラーを備えることにより任意の位相を与えるようにして、光に変調をかけることも可能である。さらに、光ファイバFと光ファイバFとの間に減衰器を介在させて、光量を調整することも、必要により可能である。以上の各構成要素と、第2光カプラー35及び光検出器4のそれぞれについては、必要な仕様を備えた市販品を採用することが可能である。また、位相変調ではなく、強度変調を使用してもよい。
Incidentally, the optical fiber F 1 ~F 3, F 6 may be constituted by space propagation.
Moreover, it is preferable that the said 1st optical coupler 31 can change a branching ratio according to a measuring object. In the middle of the optical path through which one of the divided lights is guided, a phase modulation unit including the collimator lenses 32 and 33 and the phase modulator 34 is configured as described above. As shown in the figure, the phase modulator may emit light into space to perform modulation, or may modulate in an optical fiber. Alternatively, such a phase modulation unit includes a circulator (not shown) and an optical fiber (not shown) provided in the middle of the optical path, and includes a mirror that can vibrate in the light emitting direction at the end of the optical fiber. Thus, it is possible to modulate the light so as to give an arbitrary phase. Furthermore, it is possible to adjust the amount of light by interposing an attenuator between the optical fiber F 2 and the optical fiber F 3 if necessary. For each of the above components, the second optical coupler 35, and the photodetector 4, it is possible to adopt commercially available products having necessary specifications. Further, intensity modulation may be used instead of phase modulation.

図2に示すように、上記角度可変部7は、定盤70、定盤70上に設置された第1ステージ71、第2ステージ72、回転機構73、載置部74を備えている。載置部74上には、分散液Sを入れるセル11が載せ置かれる載置台75が設置されている。第1ステージ71には、セル11内の分散液Sに挿し込まれる光照射部36が固定される。第2ステージ72には、セル11内の分散液Sに挿し込まれ、受光部37の受光面が測定点(散乱位置)Pに対して所定の距離を保って回転可能にする回転機構73が構成されている。したがって、上記第1ステージ71(71x、71y)は、x−y軸方向に微動かつ粗動可能なステージであり、例えば第1ステージ71xがx方向に移動可能であり、第1ステージ71yがy方向に移動可能である。上記第2ステージ72はz軸方向に微動かつ粗動可能なステージである。もちろん、第1,第2ステージ71,72ともに3次元方向(x−y−z軸方向)に粗動及び微動可能としたものであってもよい。また、上記載置部74も昇降可能な構成としてもよい。
なお、光照射部36を回転可能とし、受光部37を固定したものであってもよく、両方を回転可能に構成したものであってもよい。すなわち、角度可変部7は、光照射部36の光ファイバFの端面(光照射面)F4bと受光部37の光ファイバFの端面(受光面)F5bとが分散液S中の測定点Pを中心に光照射部36と受光部37とを相対的に回転可能とするものであればよい(前記図1参照)。
As shown in FIG. 2, the angle variable unit 7 includes a surface plate 70, a first stage 71 installed on the surface plate 70, a second stage 72, a rotation mechanism 73, and a placement unit 74. On the mounting part 74, the mounting base 75 on which the cell 11 into which the dispersion liquid S is put is placed. A light irradiation unit 36 inserted into the dispersion S in the cell 11 is fixed to the first stage 71. The second stage 72 has a rotation mechanism 73 that is inserted into the dispersion S in the cell 11 and allows the light receiving surface of the light receiving unit 37 to rotate with a predetermined distance from the measurement point (scattering position) P. It is configured. Therefore, the first stage 71 (71x, 71y) is a stage that can be finely and coarsely moved in the xy axis direction. For example, the first stage 71x is movable in the x direction, and the first stage 71y is y. It can move in the direction. The second stage 72 is a stage that can be finely and coarsely moved in the z-axis direction. Of course, both the first and second stages 71 and 72 may be capable of coarse movement and fine movement in the three-dimensional direction (xyz axis direction). In addition, the above-described placement unit 74 may be configured to be able to move up and down.
The light irradiation unit 36 may be rotatable and the light receiving unit 37 may be fixed, or both may be configured to be rotatable. That is, in the dispersion liquid S, the angle variable unit 7 includes the end surface (light irradiation surface) F 4b of the optical fiber F 4 of the light irradiation unit 36 and the end surface (light reception surface) F 5b of the optical fiber F 5 of the light receiving unit 37. What is necessary is just to make the light irradiation unit 36 and the light receiving unit 37 relatively rotatable around the measurement point P (see FIG. 1).

また、図3に示すように、光照射部36から照射される光Lと受光部37が受光する各散乱角の散乱光の光L2とが分散液S中で同一面に含まれるように、光照射部36の端部F4aと受光部37の端部F5aが配置されている構成であってもよい。 Further, as shown in FIG. 3, the light L 1 irradiated from the light irradiation unit 36 and the light L 2 of scattered light at each scattering angle received by the light receiving unit 37 are included in the same surface in the dispersion S. The end F 4a of the light irradiation unit 36 and the end F 5a of the light receiving unit 37 may be arranged.

次に、本実施形態における参照光及び散乱光(測定光)の光路について説明する。
<参照光>
低コヒーレンス光源2から射出された光は、光ファイバFを伝播後、第1光カプラー31に入射され、第1光カプラー31で2つの光に分割される。第1光カプラー31で分割された一方の光は、光ファイバFを通り、コリメーターレンズ32で平行光線にされ、位相変調器34を通り、コリメーターレンズ33により光ファイバFに入射され、第2光カプラー35に到達する。この光が本実施形態における参照光である。第1光カプラー31から第2光カプラー35まで、参照光は、所定の値に固定される光路長drefを有する。
Next, the optical paths of reference light and scattered light (measurement light) in this embodiment will be described.
<Reference light>
The light emitted from the low-coherence light source 2 propagates through the optical fiber F 1 , enters the first optical coupler 31, and is split into two lights by the first optical coupler 31. One light split by the first optical coupler 31 passes through the optical fiber F 2 , is collimated by the collimator lens 32, passes through the phase modulator 34, and is incident on the optical fiber F 3 by the collimator lens 33. The second optical coupler 35 is reached. This light is the reference light in this embodiment. From the first optical coupler 31 to the second optical coupler 35, the reference light has an optical path length d ref that is fixed to a predetermined value.

<散乱光>
これに対して、第1光カプラー31で分割された他方の光は、光ファイバFを通りその端面F4bから分散液Sに入射光Lのように入射される。その結果で生じる散乱光が、図示した散乱光Lのように光ファイバFの端面F5bに入射され、光ファイバFを通って、第2光カプラー35に達する。この光が本実施形態における散乱光である。第1光カプラー31から分散液S内で散乱が起きた箇所までの光路長dと、分散液S内で散乱が起きた箇所から第2光カプラー35までの光路長dとにより、第1光カプラー31から第2光カプラー35まで、散乱光は、光路長dsca=d+dを有する。したがって、光路長dscaには、端面F4bから散乱位置Pまでと散乱位置Pから端面F5bまでの距離が含まれる。また、自由にブラウン運動をする微粒子Sの挙動により、散乱光の強度には、時間的な揺らぎ変動を有する。
<Scattered light>
On the other hand, the other light split by the first optical coupler 31 passes through the optical fiber F 4 and enters the dispersion liquid S from the end face F 4 b as incident light L 1 . Scattered light generated as a result is incident on the end face F 5b of the optical fiber F 5 like the illustrated scattered light L 2 and reaches the second optical coupler 35 through the optical fiber F 5 . This light is the scattered light in this embodiment. The optical path length d 1 from the first optical coupler 31 to the location where scattering occurs in the dispersion S and the optical path length d 2 from the location where scattering occurs in the dispersion S to the second optical coupler 35 From the first optical coupler 31 to the second optical coupler 35, the scattered light has an optical path length d sca = d 1 + d 2 . Accordingly, the optical path length d sca includes the distances from the end face F 4b to the scattering position P and from the scattering position P to the end face F 5b . Moreover, the behavior of the fine particles S 2 to freely Brownian motion, the intensity of the scattered light has a temporal fluctuation fluctuations.

したがって、位相変調器34により調整された位相変調も加味し、参照光の光路長drefと対応する特定の光路長dscaを有する位置にある微粒子Sからの散乱光を、光検出器4で光強度として測定することができる。測定された光強度は、前述のような時間的な揺らぎ変動を有するので、自己相関関数を求めることにより、ブラウン運動速度を示す並進拡散係数及び微粒子の粒径分布を求めることができる。そのため、一度、コリメーターレンズ32,33間の距離を動かして参照光の光路長drefを調整した後は、測定をする分散液Sの入ったセル11を取り替えても、光ファイバFの端面F4b、光ファイバFの端面F5bが分散液Sと接触するため、同じ光路長dscaを有する位置の微粒子Sについて、同様に高い精度で測定をすることが可能である。 Thus, the scattered light from the phase modulator 34 phase modulation is adjusted by also taking into account, particulate S 2 at a position having a certain optical path length d sca corresponding to the optical path length d ref of the reference light, the optical detector 4 It can be measured as the light intensity. Since the measured light intensity has fluctuations with time as described above, the translational diffusion coefficient indicating the Brownian velocity and the particle size distribution of the fine particles can be obtained by obtaining the autocorrelation function. Therefore, once the distance between the collimator lenses 32 and 33 is moved to adjust the optical path length d ref of the reference light, even if the cell 11 containing the dispersion S to be measured is replaced, the optical fiber F 4 Since the end face F 4b and the end face F 5b of the optical fiber F 5 are in contact with the dispersion liquid S, it is possible to similarly measure the fine particles S 2 at the same position having the same optical path length d sca with high accuracy.

第2光カプラー35に入射された前記参照光と散乱光は、光ファイバFを通って、光検出部4に入射され、この電気変換信号が信号伝送線6を通り、電気信号読取部(図示せず)を介してデータ処理解析部5上で光の干渉強度のパワースペクトルを出力する。このスペクトルを「ヘテロダインスペクトル」という。これに対して、参照光の光路を遮断して、散乱光のみの強度を検出して得られるパワースペクトルを「ホモダインスペクトル」という。これら一連の測定及び計算に係る低コヒーレンス光源のコヒーレンス関数、干渉光強度のパワースペクトル、散乱光スペクトル等の詳細については、特開2005−121600号公報を参照することができる。 The reference light and scattered light incident on the second optical coupler 35 pass through the optical fiber F 6 and enter the light detection unit 4, and this electrical conversion signal passes through the signal transmission line 6 and passes through the electrical signal reading unit ( A power spectrum of the interference intensity of light is output on the data processing analysis unit 5 via (not shown). This spectrum is called “heterodyne spectrum”. On the other hand, a power spectrum obtained by blocking the optical path of the reference light and detecting the intensity of only the scattered light is called “homodyne spectrum”. JP, 2005-121600, A can be referred to for details, such as a coherence function of a low-coherence light source concerning these series of measurements and calculations, a power spectrum of interference light intensity, and a scattered light spectrum.

<データ処理、解析法>
分散液S中の微粒子Sに低コヒーレンス光源から放射された光を照射して、その散乱光を照射方向に対する散乱光の散乱角θを変えて散乱光の光子を検出する。このとき、散乱光は干渉しあい、しかも粒子はブラウン運動により動いているため、散乱光の干渉による強度もゆらぎを生じている。このゆらぎを測定して自己相関関数を求める。
具体的には、まず、干渉光強度の時間変化を検出する(干渉光強度‐時間の関係)。
続いて、それぞれの散乱角θに対応して、検出した干渉光強度の時間変化をフーリエ変換し、パワースペクトルを求める(パワーと周波数の関係)。
さらに、パワースペクトルのピーク値を原点として変調周波数付近のみ抽出し、それをフーリエ変換して時間相関関数(図4参照)を求める。求めた時間相関関数に対して指数関数を重ね合わせ、一致する指数関数G=Aexp(−Γτ)を求める。ここで、Γは速度定数、τは時間である。
さらに、各散乱角θによる速度定数Γと散乱ベクトルqとの関係:Γ=qD(Dは拡散係数)より、各散乱角θによる拡散係数(並進拡散係数)を求める。ここで、qはq=(4πn/λ)sin(θ/2)であり、θは散乱角、nは溶媒の屈折率、λは照射光の波長である。このとき、分散液Sに異なる粒径の微粒子が存在している場合には、微粒子の径に対応した異なる並進拡散係数Dが得られる。
またさらに、ストークス・アインシュタインの式:D=kT/3πηdより微粒子の径dを求める。ここで、kはボルツマン定数、Tは分散液の絶対温度、ηは溶媒の粘度、dは粒径である。
<Data processing and analysis methods>
The fine particles S 2 in the dispersion S is irradiated with light emitted from the low coherence light source, the scattered light by changing the θ scattering angle of the scattered light with respect to the irradiation direction detecting photons of the scattered light. At this time, the scattered light interferes, and the particles are moved by Brownian motion, so that the intensity due to the interference of the scattered light also fluctuates. This fluctuation is measured to obtain an autocorrelation function.
Specifically, first, a temporal change in the interference light intensity is detected (interference light intensity-time relationship).
Subsequently, corresponding to each scattering angle θ, the temporal change of the detected interference light intensity is Fourier transformed to obtain a power spectrum (relationship between power and frequency).
Further, only the vicinity of the modulation frequency is extracted with the peak value of the power spectrum as the origin, and is subjected to Fourier transform to obtain a time correlation function (see FIG. 4). An exponential function is superimposed on the obtained time correlation function to obtain a matching exponential function G = Aexp (−Γτ). Here, Γ is a rate constant, and τ is time.
Furthermore, the diffusion coefficient (translational diffusion coefficient) for each scattering angle θ is obtained from the relationship between the rate constant Γ and the scattering vector q for each scattering angle θ: Γ = q 2 D (D is a diffusion coefficient). Here, q is q = (4πn / λ) sin (θ / 2), θ is the scattering angle, n is the refractive index of the solvent, and λ is the wavelength of the irradiation light. At this time, when fine particles having different particle diameters are present in the dispersion S, different translational diffusion coefficients D corresponding to the fine particle diameters are obtained.
Further, the diameter d of the fine particles is obtained from the Stokes-Einstein equation: D = k B T / 3πηd. Here, k B is the Boltzmann constant, T is the absolute temperature of the dispersion, η is the viscosity of the solvent, and d is the particle size.

上述したように、速度定数と散乱ベクトルの2乗の値が1次関数で近似される場合の1次関数の係数が並進拡散係数Dになる(図5参照)。速度定数と散乱ベクトルの2乗の値の関係が曲線になる場合(図5参照)には、並進拡散以外の拡散モード(例えば、回転拡散モード、内部運動モード、共同拡散モード、等になる。   As described above, the translational diffusion coefficient D is the coefficient of the linear function when the square value of the rate constant and the scattering vector is approximated by a linear function (see FIG. 5). When the relationship between the rate constant and the square value of the scattering vector is a curve (see FIG. 5), a diffusion mode other than translational diffusion (for example, rotational diffusion mode, internal motion mode, joint diffusion mode, etc.) is set.

上記マッハツェンダー型干渉計3における光路長分解の方法はタイムドメイン型とする。上記光散乱光の光路長分解とは、試料により生じた散乱光の中から、特定の光路長で散乱した光を検出する機能である。詳しく言うならば、単散乱光がメインの光路長の短い領域と多重散乱光がメインの光路長が長い領域の区別するための機能である。かつ、セルと分散液、もしくはファイバ端面と分散液の界面近傍で生じた散乱光と界面から離れた深部で生じた散乱光の区別を行うことができる機能である。このように光路長分解の方法にタイムドメイン型を採用することにより、分光器やイメージング素子が不要になり、かつ時間分解能に優れる。一方、フーリエドメイン型では、分光器、イメージング素子(ライン型検出器も含む)が必要になるため高価であり、かつ時間分解能も優れない。   The optical path length resolution method in the Mach-Zehnder interferometer 3 is a time domain type. The optical path length decomposition of the light scattered light is a function of detecting light scattered by a specific optical path length from the scattered light generated by the sample. More specifically, single scattered light is a function for distinguishing between a region having a short main optical path length and multiple scattered light being a region having a long main optical path length. In addition, it is a function capable of distinguishing between the scattered light generated in the vicinity of the interface between the cell and the dispersion liquid, or the fiber end face and the dispersion liquid, and the scattered light generated in the deep part away from the interface. By adopting the time domain type in the optical path length decomposition method as described above, a spectroscope and an imaging element are not required, and the time resolution is excellent. On the other hand, the Fourier domain type is expensive because a spectroscope and an imaging element (including a line type detector) are required, and the time resolution is not excellent.

本発明の動的光散乱測定装置1及び動的光散乱測定法の実施形態は、前記実施形態に限定されるものではない。例えば、光ファイバを用いた干渉計以外で、空間伝播型の干渉計を用いることもできる。その他、種々の変更を施すことが可能である。   Embodiments of the dynamic light scattering measurement apparatus 1 and the dynamic light scattering measurement method of the present invention are not limited to the above embodiments. For example, in addition to the interferometer using an optical fiber, a space propagation type interferometer can be used. Various other changes can be made.

また、本発明の好ましい実施形態によれば、以下のようなことが可能になる。
上述の動的光散乱測定装置1は、高濃度かつナノメートルオーダーの微粒子Sを含有する分散液Sにおける測定に適用することが好ましい。この動的光散乱測定装置1によれば、粒径100nm未満の微粒子が含有され(実際的には10nm以上である)、微粒子の濃度が高い分散液において、極めて高い精度で粒径測定を簡便に行うことができるのみでなく、粒径100nm未満の微粒子と、粒径100nm以上の粒子を含んだ多分散状態の分散液において、広い粒径測定、もしくはそれらの散乱係数の測定と算出、及び並進拡散係数の算出が可能になる。なお多分散状態とは、典型的には、互いに異なる粒径をもつ微粒子Sが分散液S中に存在し、その粒径分布において2つ以上のピークを示す状態を言う。ただし、広い粒径範囲にブロードに粒径分布が存在したものでもよく、これも多分散に含みうる。
Further, according to a preferred embodiment of the present invention, the following becomes possible.
Dynamic light scattering measurement apparatus 1 described above is preferably applied to the measurement of high concentration and dispersion S containing fine particles S 2 of nanometer order. According to the dynamic light scattering measurement apparatus 1, fine particles having a particle size of less than 100 nm are contained (actually, 10 nm or more), and the particle size can be easily measured with extremely high accuracy in a dispersion having a high concentration of fine particles. In a polydispersed dispersion containing fine particles having a particle size of less than 100 nm and particles having a particle size of 100 nm or more, and measurement and calculation of a wide particle size, or their scattering coefficient, and Translational diffusion coefficient can be calculated. Note The polydispersity state, typically, microparticles S 2 with different particle sizes are present in the dispersion S together refers to a state indicating the two or more peaks in its particle size distribution. However, a broad particle size distribution may exist in a wide particle size range, and this may be included in polydispersion.

また、参照光強度と散乱光強度を適切な強度比に合わせるために、マッハツェンダー型干渉計3における第1光カプラー31の分岐比を調整することで、このような調整をしなかった場合に対して約10〜100倍以上の感度向上を達成することができる。   Further, when such adjustment is not performed by adjusting the branching ratio of the first optical coupler 31 in the Mach-Zehnder interferometer 3 in order to adjust the reference light intensity and the scattered light intensity to an appropriate intensity ratio. On the other hand, the sensitivity improvement of about 10 to 100 times or more can be achieved.

さらに、カラーフィルタやインクジェット用インクといった顔料を含有する分散液において、微粒子を高い濃度で含有する条件下(濃度は特に限定されないが、例えば0.0001〜50質量%、好ましくは、0.001〜50質量%、さらに好ましくは0.01〜30質量%)での凝集状態の定量化が可能となり、さらに、それを利用した品質管理及び工程管理が可能となる。また、測定対象として、無機粒子、有機粒子を選ばず、記録媒体等に用いられる磁性粒子や、医療・生物学(バイオテクノロジー)分野等に用いられる各種粒子など、広範な分野において、微粒子を高い濃度で含有する条件下における挙動評価に展開可能な光散乱解析に適用できる。さらに、微粒子に限らず、多重散乱や場所間差が生じる溶液中のゲル構造や高分子構造の解析に適用可能である。   Furthermore, in a dispersion containing a pigment such as a color filter or an ink jet ink, under conditions containing fine particles at a high concentration (the concentration is not particularly limited, for example, 0.0001 to 50% by mass, preferably 0.001 to 50% by mass, more preferably 0.01 to 30% by mass), and the state of aggregation can be quantified, and further, quality control and process control using it can be performed. In addition, inorganic particles and organic particles are not subject to measurement. Magnetic particles used in recording media and various particles used in medical / biological (biotechnology) fields, etc. It can be applied to light scattering analysis that can be developed for behavioral evaluation under conditions of concentration. Furthermore, the present invention is not limited to fine particles, and can be applied to analysis of gel structures and polymer structures in solutions that cause multiple scattering and differences between places.

以上のような動的光散乱測定装置1を使用し、分散液Sに分散された微粒子Sの動的特性を測定する本発明の動的光散乱測定法は、分散液S中で、微粒子Sに光を照射する光照射部36と、各散乱角の散乱光を集光する集光部37とで測定することを特徴とし、より簡便に、かつ、高い精度で測定をすることが可能である。なお、微粒子Sの動的特性とは、微粒子Sの分散液S中でのブラウン運動により特定される特性であり、粒径やその分布等を含む。 The dynamic light scattering measurement method of the present invention for measuring the dynamic characteristics of the fine particles S 2 dispersed in the dispersion S using the dynamic light scattering measurement apparatus 1 as described above is the same as that in the dispersion S. a light irradiation unit 36 for irradiating light to S 2, the scattered light of the scattering angle and characterized by measuring at a condensing section 37 for condensing light, more conveniently, and make a measurement with high accuracy Is possible. Note that the dynamic characteristics of the fine particles S 2, a characteristic that is specified by the Brownian motion in the dispersion S of particulate S 2, including the particle size and its distribution, and the like.

以下に本発明について実施例に基づきさらに詳細に説明するが、本発明がこれにより限定して解釈されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on examples, but the present invention is not construed as being limited thereto.

[光学系の製作]
図1に示した装置構成図に基づき、光学系を作製した。そして試料となる分散液Sをセル11に入れて測定した。
[Production of optical system]
An optical system was fabricated based on the apparatus configuration diagram shown in FIG. Then, the dispersion S as a sample was put in the cell 11 and measured.

[ポリスチレン懸濁液(分散液)の作製]
市販のポリスチレン懸濁液を購入して、粒径は透過型電子顕微鏡で評価を行った。懸濁液Aに含まれたポリスチレン粒子の平均粒径99nm、懸濁液Bは平均粒径99nmと755nmとの試料を質量比25:1で混合したものを用いた。ポリスチレン粒子の濃度はいずれも10質量%であった。
[Preparation of polystyrene suspension (dispersion)]
A commercially available polystyrene suspension was purchased and the particle size was evaluated with a transmission electron microscope. The polystyrene particles contained in the suspension A had an average particle size of 99 nm, and the suspension B was prepared by mixing samples having an average particle size of 99 nm and 755 nm at a mass ratio of 25: 1. The concentration of polystyrene particles was 10% by mass.

(実施例)
前記動的光散乱測定装置(図1の構成を有する装置)を用いて、前記ポリスチレン懸濁液A(実施例1)、前記ポリスチレン懸濁液B(実施例2)をそれぞれ下記の測定手順にて粒子の粒径に関する測定を行った。ファイバ端面F4bと測定点Pの距離+ファイバ端面F5bと測定点Pの距離が約100μmになるようにセッティングし、d=dscaとなるように散乱光の光路長もしくは参照光の光路長を調整し、パワースペクトルを測定した。その後、前述した方法により、時間相関関数を求め、並進拡散係数を求めて、粒径分布について解析した。
(Example)
Using the dynamic light scattering measuring apparatus (apparatus having the configuration of FIG. 1), the polystyrene suspension A (Example 1) and the polystyrene suspension B (Example 2) are respectively subjected to the following measurement procedures. Thus, the particle size of the particles was measured. The distance between the fiber end face F 4b and the measurement point P + the distance between the fiber end face F 5b and the measurement point P is set to about 100 μm, and the optical path length of the scattered light or the reference light so that d = d sca The power spectrum was measured. Thereafter, the time correlation function was determined by the method described above, the translational diffusion coefficient was determined, and the particle size distribution was analyzed.

実施例1のポリスチレン懸濁液Aの測定結果を図6に示し、ポリスチレン懸濁液Bの測定結果を図7に示した。その結果、図6に示すように、各散乱角θによる速度定数Γと散乱ベクトルqとの関係:Γ=qDから、並進拡散であることが解析され、並進拡散係数Dからストークス・アインシュタインの式により粒径が100nmであることが求められた。なお、180°の場合は、特開2012-032308号公報に開示されたマッハツェンダー型の干渉計を備えた動的光散乱測定装置を用いて後方散乱光を測定した。また、実施例2の図7に示すように、各散乱角θによる速度定数Γと散乱ベクトルqとの関係:Γ=qDから、原点を通る2本の近似直線が得られたことから、2種類の粒径99nmと粒径755nmの並進拡散であることが解析された。このように、並進拡散係数から粒径を求めることが可能であることがわかった。また後方散乱のみの測定よりも信頼性の向上が図れた。 The measurement result of the polystyrene suspension A of Example 1 is shown in FIG. 6, and the measurement result of the polystyrene suspension B is shown in FIG. As a result, as shown in FIG. 6, from the relationship between the rate constant Γ and the scattering vector q depending on each scattering angle θ: Γ = q 2 D, it is analyzed that it is translational diffusion, and from the translational diffusion coefficient D, Stokes Einstein The particle diameter was determined to be 100 nm by the formula of In the case of 180 °, the backscattered light was measured using a dynamic light scattering measurement apparatus equipped with a Mach-Zehnder interferometer disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2012-032308. Further, as shown in FIG. 7 of Example 2, two approximate lines passing through the origin were obtained from the relationship between the rate constant Γ and the scattering vector q depending on each scattering angle θ: Γ = q 2 D. Two types of translational diffusion with a particle size of 99 nm and a particle size of 755 nm were analyzed. Thus, it was found that the particle size can be obtained from the translational diffusion coefficient. In addition, the reliability was improved compared to the measurement using only backscattering.

1 動的光散乱測定装置
2 低コヒーレンス光源
3 マッハツェンダー型干渉計
4 光検出器
5 データ処理解析部
6 信号伝送線
7 角度可変部
70 定盤
71 第1ステージ
72 第2ステージ
73 回転機構
74 載置部
75 載置台
31 第1光カプラー
32,33 コリメーターレンズ
34 位相変調器
35 第2光カプラー
36 光照射部
37 受光部
〜F 光ファイバ
4a 光照射部端部(光ファイバ端部)
4b 光照射面(光ファイバ端面)
5a 受光部端部(光ファイバ端部)
5b 受光面(光ファイバ端面)
光(照射光)
光(散乱光)
P 散乱位置(測定点)
S 分散液(試料)
媒体
微粒子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Dynamic light-scattering measuring apparatus 2 Low coherence light source 3 Mach-Zehnder interferometer 4 Photo detector 5 Data processing analysis part 6 Signal transmission line 7 Angle variable part 70 Surface plate 71 First stage 72 Second stage 73 Rotation mechanism 74 portion 75 mounting table 31 first optical coupler 32, 33 the collimator lens 34 phase modulator 35 second optical coupler 36 the light irradiation portion 37 light receiving portion F 1 to F 6 optical fibers F 4a light irradiating unit end (optical fiber end Part)
F 4b light irradiation surface (end face of optical fiber)
F 5a light receiving end (optical fiber end)
F 5b light receiving surface (end face of optical fiber)
L 1 light (irradiation light)
L 2 light (scattered light)
P Scattering position (measurement point)
S dispersion (sample)
S 1 medium S 2 fine particles

Claims (7)

低コヒーレンス光を使用するマッハツェンダー型干渉計を用いて分散液に分散された微粒子の動的特性を測定する動的光散乱測定法であり、前記マッハツェンダー型干渉計は、低コヒーレンス光源から第1の光ファイバで導いた前記低コヒーレンス光を第1光カプラーで分岐し、分岐した一方の低コヒーレンス光を第2、第3の光ファイバにより位相変調部を通して参照光として第2光カプラーに導き、前記第1光カプラーで分岐した他方の低コヒーレンス光を第4の光ファイバで導いて光照射部から前記分散液中照射し、かつ、前記分散液中で前記微粒子により散乱された光を複数の異なる散乱角ごとに、前記光照射部に対して角度可変に設置された受光部で受光して第5の光ファイバにより散乱光として前記第2光カプラーに導き、前記第2光カプラーで前記参照光と前記散乱光とを結合するものであり、各散乱角の散乱光の時間相関関数から並進拡散モードを選択して求めることを特徴とする動的光散乱測定法。 A dynamic light scattering measurement method for measuring dynamic characteristics of fine particles dispersed in a dispersion using a Mach-Zehnder interferometer that uses low-coherence light. The low-coherence light guided by one optical fiber is branched by a first optical coupler, and one of the branched low-coherence lights is guided to a second optical coupler as reference light through a phase modulator by the second and third optical fibers. The other low-coherence light branched by the first optical coupler is guided by a fourth optical fiber to irradiate the dispersion from the light irradiator , and the light scattered by the fine particles in the dispersion for each of a plurality of different scattering angles, and scattered light by the fifth optical fiber is received by the installed light receiving unit in a variable angle led to the second optical coupler to said light irradiating section, before Second in the optical coupler is intended to couple the scattered light and the reference light, a dynamic light scattering measuring method and obtaining by selecting the translational diffusion mode from the time correlation function of the scattered light of each scattering angle . 前記マッハツェンダー型干渉計の光路長分解の方法がタイムドメイン型であることを特徴とする請求項1記載の動的光散乱測定法。   2. The dynamic light scattering measurement method according to claim 1, wherein the optical path length resolution method of the Mach-Zehnder interferometer is a time domain type. 前記各散乱角の散乱光強度を測定し、前記各散乱角の角度依存性に基づいて求めた前記複数種の拡散モードから前記並進拡散モードを帰属させ、粒径分布の計測及び拡散運動の計測を可能とすることを特徴とする請求項1または2記載の動的光散乱測定法。   The scattered light intensity at each scattering angle is measured, and the translational diffusion mode is assigned from the plurality of types of diffusion modes determined based on the angle dependency of each scattering angle, thereby measuring the particle size distribution and measuring the diffusion motion. The dynamic light scattering measurement method according to claim 1, wherein: 低コヒーレンス光源と、分散液中の微粒子に該分散液中で低コヒーレンス光を照射する光照射部と前記分散液中で前記微粒子により散乱された光を受光する受光部とを有するマッハツェンダー型干渉計と、前記散乱された光を複数の異なる散乱角で受光するように前記受光部を移動させる角度可変部と、前記微粒子の動的特性を前記散乱角ごとの散乱光の時間相関関数から並進拡散モードを選択して求めるデータ処理解析部を備え
前記マッハツェンダー型干渉計は、前記低コヒーレンス光源から第1の光ファイバで導いた前記低コヒーレンス光を分岐する第1光カプラーと、前記第1光カプラーから第2の光ファイバで導いた分岐した一方の光の位相を変調して参照光とする位相変調部と、前記位相変調器から第3の光ファイバで前記参照光が導かれる第2光カプラーと、前記第1光カプラーで分岐した他方の光を前記分散液中に導く第4の光ファイバと、前記第4の光ファイバで導いた光を前記分散液中に照射する前記光照射部と、前記光照射部に対して前記角度可変部により角度可変に設置されていて前記分散液中で前記微粒子により散乱された光を複数の異なる散乱角ごとに受光する前記受光部と、前記受光部で受光した散乱光を前記第2光カプラーに導く第5の光ファイバとを有し、前記第2光カプラーで前記参照光と前記散乱光とを結合することを特徴とする動的光散乱測定装置。
Mach-Zehnder type interference having a low coherence light source, a light irradiation unit for irradiating fine particles in the dispersion with low coherence light in the dispersion, and a light receiving unit for receiving light scattered by the fine particles in the dispersion An angle variable unit that moves the light receiving unit so as to receive the scattered light at a plurality of different scattering angles, and the dynamic characteristics of the fine particles are translated from the time correlation function of the scattered light for each scattering angle. a data processing and analyzing unit for determining to select a spreading mode,
The Mach-Zehnder interferometer includes a first optical coupler that branches the low-coherence light guided from the low-coherence light source by a first optical fiber, and a branched light that is guided from the first optical coupler by a second optical fiber. A phase modulation unit that modulates the phase of one of the lights to obtain reference light, a second optical coupler that guides the reference light from the phase modulator through a third optical fiber, and the other branched by the first optical coupler A fourth optical fiber for guiding the light into the dispersion, the light irradiating part for irradiating the light guided by the fourth optical fiber into the dispersion, and the angle variable with respect to the light irradiating part. A light receiving portion that is installed at a variable angle by the light receiving portion and receives light scattered by the fine particles in the dispersion liquid at a plurality of different scattering angles; and the second optical coupler that receives the scattered light received by the light receiving portion. 5th leading to And a fiber, a dynamic light scattering measuring apparatus characterized that you couple the scattered light and the reference light in the second optical coupler.
前記マッハツェンダー型干渉計の光路長分解の方法がタイムドメイン型であることを特徴とする請求項記載の動的光散乱測定装置。 5. The dynamic light scattering measurement apparatus according to claim 4, wherein the optical path length decomposition method of the Mach-Zehnder interferometer is a time domain type. 前記光照射部及び前記受光部はともに光ファイバからなり、前記角度可変部は、前記光照射部の第1光ファイバの照射面と前記受光部の第2光ファイバの受光面とが前記分散液中の測定点を中心に前記光照射部と前記受光部とを相対的に回転可能とすることを特徴とする請求項4または5に記載の動的光散乱測定装置。 The light irradiating unit and the light receiving unit are both made of an optical fiber, and the angle variable unit includes a dispersion liquid in which an irradiation surface of the first optical fiber of the light irradiation unit and a light receiving surface of the second optical fiber of the light receiving unit are included in the dispersion liquid. 6. The dynamic light scattering measurement apparatus according to claim 4 , wherein the light irradiation unit and the light receiving unit are relatively rotatable around a measurement point inside. 前記第1光ファイバの照射面側端部及び前記第2光ファイバの受光面側端部は、各光ファイバのコアを除いて斜めに切り落とされた形状を成していることを特徴とする請求項記載の動的光散乱測定装置。 The irradiation surface side end portion of the first optical fiber and the light receiving surface side end portion of the second optical fiber have a shape cut off obliquely except for the core of each optical fiber. Item 7. The dynamic light scattering measurement device according to Item 6 .
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