JP5803137B2 - Light source device and projector - Google Patents

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Description

本発明は、光源装置およびプロジェクターに関するものである。   The present invention relates to a light source device and a projector.

従来、プロジェクターにおいては、光源として超高圧水銀ランプなどの放電ランプが用いられるのが一般的であった。ところが、この種の放電ランプは、寿命が比較的短い、瞬時点灯が難しい、ランプから放射される紫外線が液晶ライトバルブを劣化させる、等の課題がある。そこで、放電ランプに代わる方式の光源を用いた投射型画像表示装置が提案されている。   Conventionally, in a projector, a discharge lamp such as an ultra-high pressure mercury lamp is generally used as a light source. However, this type of discharge lamp has problems such as a relatively short life, difficulty in instantaneous lighting, and ultraviolet light emitted from the lamp deteriorates the liquid crystal light bulb. In view of this, a projection type image display apparatus using a light source instead of a discharge lamp has been proposed.

このような光源として、蛍光を利用して白色光を形成する方式のものが知られている。例えば、紫外線を射出するLEDを用いて蛍光体を照明することにより、発光光(蛍光)として白色光を取り出す光源装置が提案されている(特許文献1参照)。   As such a light source, a method of forming white light using fluorescence is known. For example, a light source device that extracts white light as emitted light (fluorescence) by illuminating a phosphor using an LED that emits ultraviolet light has been proposed (see Patent Document 1).

しかし、特許文献1の装置では、LEDは単位面積あたりの光エネルギーが小さいため、発光光の光量を増大させるために多くのLEDを並べて配置する必要がある。すると複数のLED全体を光源として考えた場合、従来のプロジェクター光源と比べてエテンデュー(光源の発光面積と集光可能な立体角の積で与えられるパラメーター)が大きくなるため、光利用効率が低下してしまう。   However, in the apparatus of Patent Document 1, since the light energy per unit area of the LED is small, it is necessary to arrange many LEDs side by side in order to increase the amount of emitted light. Then, when considering a plurality of LEDs as the light source, the etendue (a parameter given by the product of the light emitting area of the light source and the condensing solid angle) is larger than that of a conventional projector light source, so that the light use efficiency decreases. End up.

そこで、LEDに代わる高出力の光源としてレーザー光源を用いた光源装置が提案されている(例えば特許文献2,3参照)。特許文献2,3の光源装置では、蛍光体を励起させる励起光(青色光)の光源であるレーザー光源と、光の三原色に対応する複数の色光を発する蛍光体と、を有している。そして、複数種の蛍光体を円板上に周方向に種類毎に領域を分けて蛍光膜として配置し、円板を回転させながら複数の蛍光膜にレーザー光を照射することにより、発せられる蛍光を時間毎に異ならせる構成としている。これにより、複数の色光が時間積分され、混色することで白色光を射出する光源装置としている。   Therefore, a light source device using a laser light source as a high output light source instead of the LED has been proposed (for example, see Patent Documents 2 and 3). The light source devices of Patent Documents 2 and 3 include a laser light source that is a light source of excitation light (blue light) that excites the phosphor, and a phosphor that emits a plurality of color lights corresponding to the three primary colors of light. Fluorescence emitted by irradiating a plurality of phosphors with laser light while rotating the disc while arranging the phosphors of a plurality of types on the disc in the circumferential direction and dividing the region for each type. Is different for each hour. Thus, a light source device that emits white light by time-integrating a plurality of color lights and mixing the colors is obtained.

特開2005−274957号公報JP 2005-274957 A 特開2009−277516号公報JP 2009-277516 A 米国特許第7547114号明細書US Pat. No. 7,547,114

しかしながら、特許文献2,3の装置では、エテンデューを小さくすることは可能である一方で次のような問題がある。   However, while the devices of Patent Documents 2 and 3 can reduce the etendue, there are the following problems.

第1に、光源装置が励起光として青色光を射出するレーザー光源を用い、当該青色光と蛍光体で発せられる色光(蛍光)とを混色して白色光とする構成の場合、蛍光はランバーシアンに散乱するのに対し、レーザー光である青色光は直進性が強くあまり拡散しない(散乱度が小さい)ため、異なる拡散状態の光を発することになる。すると、形成された白色光を拡大しスクリーンに照射したときに色ムラ(輝度ムラ)が生じてしまう。なお、ランバーシアンとは、発光強度の観測角に対する分布が、観測角のcos(余弦)に比例する発光分布のことである。   First, when the light source device uses a laser light source that emits blue light as excitation light, and the blue light and color light (fluorescence) emitted from the phosphor are mixed to form white light, the fluorescence is Lambertian. In contrast, the blue light, which is a laser beam, is highly linear and does not diffuse so much (the degree of scattering is small), and therefore emits light in different diffusion states. Then, when the formed white light is enlarged and irradiated on the screen, color unevenness (luminance unevenness) occurs. Lambertian is a light emission distribution in which the distribution of the emission intensity with respect to the observation angle is proportional to the observation angle cos (cosine).

また第2に、蛍光体から発せられる蛍光は全方位に射出されるため、レーザー光照射により発光した蛍光は、蛍光膜内を面内方向に伝播した上で蛍光膜の外に射出される。したがって、蛍光膜に照射されるレーザー光のスポット径が小さくても、発せられる蛍光のスポット径は拡大し、エテンデューを増大させてしまう。   Second, since the fluorescence emitted from the phosphor is emitted in all directions, the fluorescence emitted by the laser light irradiation is emitted outside the phosphor film after propagating in the phosphor film in the in-plane direction. Therefore, even if the spot diameter of the laser light irradiated to the fluorescent film is small, the spot diameter of the emitted fluorescence is enlarged and the etendue is increased.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、上記の課題のうち少なくとも一つを解決し、色ムラが小さく光の利用効率が高い光源装置を提供することを目的とする。また、このような光源装置を有し、高品質な画像表示が可能なプロジェクターを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and it is an object of the present invention to solve at least one of the above-described problems and to provide a light source device with low color unevenness and high light utilization efficiency. It is another object of the present invention to provide a projector having such a light source device and capable of displaying a high-quality image.

上記の課題を解決するため、本発明の光源装置は、可視光領域の励起光を射出するレーザー光源と、前記励起光の一部を透過させるとともに、前記励起光によって励起されて可視光領域の蛍光を発する発光素子と、を備え、前記発光素子は、光透過性を有する基材と、該基材の内部に含まれる複数の蛍光体粒子と、該基材の内部に含まれる光透過性を有する複数のフィラー粒子と、を含む発光層を有し、前記複数の蛍光体粒子および前記複数のフィラー粒子の総体積が、前記発光層の体積の35%以上45%以下であり、前記複数の蛍光体粒子および前記複数のフィラー粒子の屈折率が、前記基材の材料の屈折率に対して1.2倍以上であり、前記発光層の膜厚が、前記複数の蛍光体粒子の平均粒子径の10倍以下の厚さであることを特徴とする。
上記の課題を解決するため、本発明の光源装置は、可視光領域の励起光を射出するレーザー光源と、前記励起光の一部を透過させるとともに、前記励起光によって励起されて可視光領域の蛍光を発する発光素子と、を備え、前記発光素子は、光透過性を有する基材と、該基材の内部に含まれる複数の蛍光体粒子と、該基材の内部に含まれる光透過性を有する複数のフィラー粒子と、を含む発光層を有することを特徴とする。
In order to solve the above problems, a light source device according to the present invention includes a laser light source that emits excitation light in a visible light region and a part of the excitation light that is transmitted and excited by the excitation light in the visible light region. A light-emitting element that emits fluorescence, and the light-emitting element includes a light-transmitting base material, a plurality of phosphor particles included in the base material, and a light-transmitting property included in the base material. a light-emitting layer including a plurality of filler particles, a with the total volume of the plurality of phosphor particles and the plurality of filler particles, Ri 45% der less than 35% of the volume of the light-emitting layer, wherein The refractive index of the plurality of phosphor particles and the plurality of filler particles is 1.2 times or more the refractive index of the material of the base material, and the film thickness of the light emitting layer is that of the plurality of phosphor particles. and wherein 10 times the thickness of der Rukoto an average particle size That.
In order to solve the above problems, a light source device according to the present invention includes a laser light source that emits excitation light in a visible light region and a part of the excitation light that is transmitted and excited by the excitation light in the visible light region. A light-emitting element that emits fluorescence, and the light-emitting element includes a light-transmitting base material, a plurality of phosphor particles included in the base material, and a light-transmitting property included in the base material. And a plurality of filler particles having a light emitting layer.

この構成によれば、光源装置から射出される光は、励起光と蛍光とが混色した色の光となる。その際、励起光は、発光層内において蛍光体粒子やフィラー粒子の表面で一部が反射・屈折することで散乱し拡散する。そのため、直進性が高い励起光は、フィラー粒子を含まない場合よりも大きく拡散して広がるため、蛍光の広がりに近づく。また、蛍光体粒子から等方的に発せられる蛍光も、発光層内の蛍光体粒子やフィラー粒子の表面で一部が反射・屈折することで散乱され、光源装置の射出面の方向へ進行する蛍光の成分が増加する。そのため、フィラー粒子を含まない場合と比較して、蛍光が光源装置の射出面と平行な方向に発光層内を進行する平面視における距離を抑制することができ、発せられる蛍光のスポット径の拡大を抑制することができる。結果として、色ムラが抑制され光の利用効率が高い光源装置とすることが可能となる。   According to this configuration, the light emitted from the light source device is light having a color in which excitation light and fluorescence are mixed. At that time, the excitation light is scattered and diffused by being partially reflected and refracted on the surface of the phosphor particles and filler particles in the light emitting layer. For this reason, excitation light having high straightness is more diffused and spread than when filler particles are not included, and thus approaches the spread of fluorescence. In addition, fluorescence emitted isotropically from the phosphor particles is scattered by being partially reflected and refracted on the surfaces of the phosphor particles and filler particles in the light emitting layer, and proceeds toward the exit surface of the light source device. The fluorescence component increases. Therefore, compared with the case where filler particles are not included, the distance in a plan view in which the fluorescence travels in the light emitting layer in a direction parallel to the emission surface of the light source device can be suppressed, and the spot diameter of the emitted fluorescence is increased. Can be suppressed. As a result, it is possible to obtain a light source device in which color unevenness is suppressed and light utilization efficiency is high.

本発明においては、前記複数のフィラー粒子の平均粒子径は、前記励起光を幾何光学散乱させる大きさであることが望ましい。
この構成によれば、フィラー粒子においては、励起光、および励起光よりも長波長の蛍光は、後方散乱が生じにくくなる。そのため、光の利用効率が高い光源装置とすることが可能となる。
In the present invention, it is desirable that an average particle diameter of the plurality of filler particles is a size for geometrically optically scattering the excitation light.
According to this configuration, in the filler particles, backscattering is less likely to occur in the excitation light and fluorescence having a longer wavelength than the excitation light. Therefore, a light source device with high light utilization efficiency can be obtained.

本発明においては、前記複数のフィラー粒子の平均粒子径は、5μm以上であることが望ましい。
この構成によれば、効果的に幾何光学散乱を生じさせ、後方散乱を抑制することが可能となる。
In the present invention, the average particle diameter of the plurality of filler particles is preferably 5 μm or more.
According to this configuration, it is possible to effectively cause geometric optical scattering and suppress backscattering.

本発明においては、前記複数の蛍光体粒子の平均粒子径は、前記励起光を幾何光学散乱させる大きさであることが望ましい。
この構成によれば、フィラー粒子と同様に蛍光体粒子においても、励起光、および励起光よりも長波長の蛍光は、後方散乱が生じにくくなる。そのため、光の利用効率が高い光源装置とすることが可能となる。
In the present invention, it is desirable that an average particle diameter of the plurality of phosphor particles is a size for geometrically optically scattering the excitation light.
According to this configuration, in the phosphor particles as well as the filler particles, backscattering is less likely to occur in the excitation light and fluorescence having a longer wavelength than the excitation light. Therefore, a light source device with high light utilization efficiency can be obtained.

本発明においては、前記複数の蛍光体粒子の平均粒子径は、5μm以上であることが望ましい。
この構成によれば、効果的に幾何光学散乱を生じさせ、後方散乱を抑制することが可能となる。
In the present invention, the average particle diameter of the plurality of phosphor particles is preferably 5 μm or more.
According to this configuration, it is possible to effectively cause geometric optical scattering and suppress backscattering.

本発明においては、前記発光層の膜厚が、前記複数の蛍光体粒子の平均粒子径の10倍以下の厚さであることが望ましい。
この構成によれば、発せられる蛍光のスポット径拡大を抑制することができる。
In the present invention, it is desirable that the film thickness of the light emitting layer is not more than 10 times the average particle diameter of the plurality of phosphor particles.
According to this configuration, it is possible to suppress an increase in the spot diameter of the emitted fluorescence.

本発明においては、前記複数のフィラー粒子は、前記基材の屈折率よりも大きい屈折率を有する材料からなることが望ましい。
この構成によれば、フィラー粒子表面での全反射が抑制されるため、後方散乱光を低減し、光の利用効率を高めることができる。
In the present invention, the plurality of filler particles are preferably made of a material having a refractive index larger than that of the substrate.
According to this configuration, since the total reflection on the filler particle surface is suppressed, the backscattered light can be reduced and the light utilization efficiency can be increased.

本発明においては、前記複数のフィラー粒子は、前記基材の屈折率の1.2倍以上1.3倍以下である屈折率を有する材料からなることが望ましい。
この構成によれば、励起光の後方散乱を抑制しつつ効果的に前方散乱を促進して、色ムラを抑制することができる。また、蛍光の散乱を効果的に促進して、エテンデューの増加を抑制し、光の利用効率を高めることができる。
In the present invention, the plurality of filler particles are preferably made of a material having a refractive index that is 1.2 times or more and 1.3 times or less of the refractive index of the substrate.
According to this configuration, it is possible to effectively promote forward scattering while suppressing backscattering of excitation light, and suppress color unevenness. Further, it is possible to effectively promote the scattering of fluorescence, suppress the increase in etendue, and increase the light utilization efficiency.

本発明においては、前記複数の蛍光体粒子は、前記基材の屈折率よりも大きい屈折率を有する材料からなることが望ましい。
この構成によれば、蛍光体粒子表面での全反射が抑制されるため、後方散乱光を低減し、光の利用効率を高めることができる。
In the present invention, the plurality of phosphor particles are preferably made of a material having a refractive index larger than that of the substrate.
According to this configuration, since total reflection on the surface of the phosphor particles is suppressed, backscattered light can be reduced and light utilization efficiency can be increased.

本発明においては、前記複数の蛍光体粒子は、前記基材の屈折率の1.2倍以上1.3倍以下である屈折率を有する材料からなることが望ましい。
この構成によれば、励起光の後方散乱を抑制しつつ効果的に前方散乱を促進して、色ムラを抑制することができる。また、蛍光の散乱を効果的に促進して、エテンデューの増加を抑制し、光の利用効率を高めることができる。
In the present invention, the plurality of phosphor particles are preferably made of a material having a refractive index that is 1.2 times or more and 1.3 times or less of the refractive index of the base material.
According to this configuration, it is possible to effectively promote forward scattering while suppressing backscattering of excitation light, and suppress color unevenness. Further, it is possible to effectively promote the scattering of fluorescence, suppress the increase in etendue, and increase the light utilization efficiency.

本発明においては、前記複数の蛍光体粒子および前記複数のフィラー粒子の総体積が、前記発光層の体積の35%以上45%以下であることが望ましい。
この構成によれば、励起光の前方散乱光に係る配光特性が十分な特性となり、また、後方散乱光も少なくなるため、色ムラがなく光の利用効率が高い光源装置を提供することが可能となる。また、発せられる蛍光のスポット径拡大を抑制することができる。
In the present invention, it is desirable that the total volume of the plurality of phosphor particles and the plurality of filler particles is 35% to 45% of the volume of the light emitting layer.
According to this configuration, the light distribution characteristic related to the forward scattered light of the excitation light is sufficient, and the back scattered light is also reduced. Therefore, it is possible to provide a light source device that has no color unevenness and high light use efficiency. It becomes possible. Moreover, the expansion of the spot diameter of the emitted fluorescence can be suppressed.

本発明においては、前記発光素子は、前記発光層において前記励起光が入射する側の面に、前記励起光を透過し前記蛍光を反射する波長選択膜を有することが望ましい。
この構成によれば、蛍光の後方散乱光を前方に反射することができるため、光の利用効率が高い光源装置を提供することが可能となる。
In the present invention, it is preferable that the light emitting element has a wavelength selection film that transmits the excitation light and reflects the fluorescence on a surface of the light emitting layer on which the excitation light is incident.
According to this configuration, since the fluorescent backscattered light can be reflected forward, it is possible to provide a light source device with high light utilization efficiency.

本発明においては、前記基材の形成材料が、樹脂組成物であることが望ましい。
この構成によれば、発光層の形成や加工が容易となる。
In the present invention, the base material is preferably a resin composition.
According to this configuration, the light emitting layer can be easily formed and processed.

本発明においては、前記基材の形成材料が、無機材料からなることが望ましい。
この構成によれば、発光層の形成後に真空プロセスにおいて修飾することが可能となるため、発光層の表面に、反射防止膜や波長選択膜など種々の機能構造を形成しやすくなり、設計自由度が高くなる。
In the present invention, it is desirable that the base material is made of an inorganic material.
According to this configuration, since it is possible to modify in the vacuum process after the formation of the light emitting layer, it becomes easy to form various functional structures such as an antireflection film and a wavelength selection film on the surface of the light emitting layer, and the degree of freedom in design. Becomes higher.

また、本発明のプロジェクターは、上述の光源装置と、前記光源装置から射出される光を変調する光変調素子と、前記光変調素子によって変調された光を投写する投写光学系と、を備えることを特徴とする。
この構成によれば、上述の光源装置を有するため、被投射面における色ムラが抑制されて高品質な画像表示が可能なプロジェクターを提供することができる。
According to another aspect of the invention, there is provided a projector comprising: the light source device described above; a light modulation element that modulates light emitted from the light source apparatus; and a projection optical system that projects light modulated by the light modulation element. It is characterized by.
According to this configuration, since the above-described light source device is provided, it is possible to provide a projector capable of displaying high-quality images while suppressing color unevenness on the projection surface.

第1実施形態の光源装置およびプロジェクターを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the light source device and projector of 1st Embodiment. 光源装置および発光層の発光特性を示すグラフである。It is a graph which shows the light emission characteristic of a light source device and a light emitting layer. 発光素子の概略説明図である。It is a schematic explanatory drawing of a light emitting element. 偏光変換素子の概略説明図である。It is a schematic explanatory drawing of a polarization conversion element. 発光層の内部での光の挙動を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the behavior of the light inside a light emitting layer. 第2実施形態の光源装置を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the light source device of 2nd Embodiment. 実施例で使用する測定装置の説明図である。It is explanatory drawing of the measuring apparatus used in an Example. 実施例で使用する測定装置の説明図である。It is explanatory drawing of the measuring apparatus used in an Example. 実施例で使用する測定装置の説明図である。It is explanatory drawing of the measuring apparatus used in an Example. 実施例の測定結果を示すグラフである。It is a graph which shows the measurement result of an Example.

[第1実施形態]
以下、図1〜図5を参照しながら、本発明の第1実施形態に係る光源装置およびプロジェクターについて説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法や比率などは適宜異ならせてある。
[First Embodiment]
The light source device and projector according to the first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. In all the drawings below, the dimensions and ratios of the constituent elements are appropriately changed in order to make the drawings easy to see.

図1は、本実施形態の光源装置100およびプロジェクターPJを示す模式図である。図に示すようにプロジェクターPJは、光源装置100、色分離光学系200、液晶ライトバルブ(光変調素子)400R,400G,400B、色合成素子500、投写光学系600を含んでいる。   FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a light source device 100 and a projector PJ according to the present embodiment. As shown in the figure, the projector PJ includes a light source device 100, a color separation optical system 200, liquid crystal light valves (light modulation elements) 400R, 400G, and 400B, a color composition element 500, and a projection optical system 600.

プロジェクターPJは、概略すると以下のように動作する。光源装置100から射出された光は、色分離光学系200により複数の色光に分離される。色分離光学系200により分離された複数の色光は、それぞれ対応する液晶ライトバルブ400R,400G,400Bに入射して変調される。液晶ライトバルブ400R,400G,400Bにより変調された複数の色光は、色合成素子500に入射して合成される。色合成素子500により合成された光は、投写光学系600により壁やスクリーン等のスクリーンSCRに拡大投写され、フルカラーの投写画像が表示される。以下、プロジェクターPJの各構成要素について説明する。   The projector PJ generally operates as follows. The light emitted from the light source device 100 is separated into a plurality of color lights by the color separation optical system 200. The plurality of color lights separated by the color separation optical system 200 are incident on the corresponding liquid crystal light valves 400R, 400G, and 400B and modulated. A plurality of color lights modulated by the liquid crystal light valves 400R, 400G, and 400B are incident on the color synthesis element 500 and synthesized. The light synthesized by the color synthesizing element 500 is enlarged and projected by a projection optical system 600 onto a screen SCR such as a wall or a screen, and a full-color projection image is displayed. Hereinafter, each component of the projector PJ will be described.

光源装置100は、レーザー光源10、集光光学系20、発光素子30、コリメート光学系60、レンズアレイ120,130、偏光変換素子140、重畳レンズ150がこの順に配置された構成になっている。   The light source device 100 has a configuration in which a laser light source 10, a condensing optical system 20, a light emitting element 30, a collimating optical system 60, lens arrays 120 and 130, a polarization conversion element 140, and a superimposing lens 150 are arranged in this order.

レーザー光源10は、後述する発光素子30が備える蛍光物質を励起させる励起光として、青色(発光強度のピーク:約445nm、図2(a)参照)のレーザー光を射出する。図2(a)において、符号Bで示すのは、レーザー光源10が励起光として射出する色光成分である。なお、レーザー光源10は、複数(図では3つ)備えることとしても良く、1つだけレーザー光源を用いることとしても良い。また、後述する蛍光物質を励起させることができる波長の光であれば、445nm以外のピーク波長を有する色光を射出するレーザー光源であっても構わない。   The laser light source 10 emits blue (light emission intensity peak: about 445 nm, see FIG. 2A) laser light as excitation light for exciting a fluorescent material included in the light emitting element 30 described later. In FIG. 2A, reference numeral B denotes a color light component emitted from the laser light source 10 as excitation light. Note that a plurality of laser light sources 10 (three in the drawing) may be provided, or only one laser light source may be used. In addition, a laser light source that emits colored light having a peak wavelength other than 445 nm may be used as long as it has a wavelength that can excite a fluorescent material to be described later.

集光光学系20は、複数の凸レンズである第1レンズ22と、複数の第1レンズ22を介した光が共通して入射する凸レンズである第2レンズ24と、を備えている。集光光学系20は、レーザー光源10から射出されるレーザー光の光線軸上に配置され、複数のレーザー光源10から射出された励起光を集光する。   The condensing optical system 20 includes a first lens 22 that is a plurality of convex lenses, and a second lens 24 that is a convex lens through which light through the plurality of first lenses 22 is incident in common. The condensing optical system 20 is disposed on the beam axis of the laser light emitted from the laser light source 10 and condenses the excitation light emitted from the plurality of laser light sources 10.

発光素子30は、レーザー光源10から射出される励起光(青色光)の一部を透過させるとともに、残部を吸収し黄色(発光強度のピーク:約550nm、図2(b)参照)の蛍光に変換する機能を有する。   The light emitting element 30 transmits a part of the excitation light (blue light) emitted from the laser light source 10 and absorbs the remaining part to give yellow (emission intensity peak: about 550 nm, see FIG. 2B) fluorescence. Has a function to convert.

図3は、発光素子30の概略説明図であり、図3(a)は平面図、図3(b)は図3(a)の線分A−Aにおける矢視断面図、図3(c)は発光素子30が有する発光層42の模式図である。   3A and 3B are schematic explanatory views of the light emitting element 30. FIG. 3A is a plan view, FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 3A, and FIG. ) Is a schematic diagram of a light emitting layer 42 included in the light emitting element 30.

図3(a)に示すように、発光素子30は、円板40と、円板40上において周方向に連続して形成された単一の発光層42とを有し、さらに図3(b)に示すように円板40と発光層42との間に設けられた波長選択膜44を有している。発光素子30は、円板40の発光層42が形成されていない側が集光光学系20側に面するように配置され、また、集光光学系20により集光される励起光の焦点位置が発光層42と重なるように配置されている。例えば、円形の発光素子30の直径は50mmであり、平面視で発光素子30の中心から約22.5mm離れた位置に励起光が入射するように発光素子30が設けられている。   As shown in FIG. 3A, the light-emitting element 30 includes a disc 40 and a single light-emitting layer 42 continuously formed on the disc 40 in the circumferential direction. ), A wavelength selection film 44 provided between the disc 40 and the light emitting layer 42 is provided. The light emitting element 30 is disposed so that the side of the disc 40 on which the light emitting layer 42 is not formed faces the condensing optical system 20 side, and the focal position of the excitation light condensed by the condensing optical system 20 is It arrange | positions so that the light emitting layer 42 may overlap. For example, the diameter of the circular light emitting element 30 is 50 mm, and the light emitting element 30 is provided so that excitation light is incident at a position about 22.5 mm away from the center of the light emitting element 30 in plan view.

円板40は、励起光である青色光を透過する物質を形成材料としており、例えば、石英ガラス、水晶、サファイア(単結晶コランダム)、透明樹脂などを用いることができる。これらの中では、励起光による加熱で変形しないように無機物である石英ガラス、水晶、サファイアが好適に用いられる。   The disk 40 is made of a material that transmits blue light, which is excitation light, and can be made of, for example, quartz glass, quartz, sapphire (single crystal corundum), transparent resin, or the like. Among these, quartz glass, quartz, and sapphire, which are inorganic materials, are preferably used so as not to be deformed by heating with excitation light.

発光層42は、レーザー光源10から射出される励起光(青色光)の一部を透過させるとともに、残部を吸収し黄色(発光強度のピーク:約550nm、図2(b)参照)の蛍光に変換する。発光層42から射出される光は、青色の励起光と黄色の蛍光とが混色することで白色光を形成している。なお、図2(b)において符号Rで示した成分は、発光層42が射出する黄色光のうち赤色光として利用可能な色光成分であり、符号Gで示した成分は、同様に緑色光として利用可能な色光成分である。発光層42の構成については後に詳述する。   The light emitting layer 42 transmits a part of the excitation light (blue light) emitted from the laser light source 10 and absorbs the remaining part to produce yellow fluorescence (peak of emission intensity: about 550 nm, see FIG. 2B). Convert. The light emitted from the light emitting layer 42 forms white light by mixing blue excitation light and yellow fluorescence. 2B is a color light component that can be used as red light in the yellow light emitted from the light emitting layer 42. Similarly, the component indicated by G is green light. Available color light components. The configuration of the light emitting layer 42 will be described in detail later.

波長選択膜44は、青色光を透過し、青色光よりも長波長の光(例えば、480nmよりも長波長の光)を反射する波長選択性を有している。このような波長選択膜44は、例えば誘電体多層膜によって形成されている。青色光である励起光は波長選択膜44を透過し、発光層42を照射する。   The wavelength selection film 44 has wavelength selectivity that transmits blue light and reflects light having a longer wavelength than blue light (for example, light having a longer wavelength than 480 nm). Such a wavelength selection film 44 is formed of, for example, a dielectric multilayer film. Excitation light, which is blue light, passes through the wavelength selection film 44 and irradiates the light emitting layer 42.

さらに図3(c)に示すように、発光層42は、光透過性を有する基材421と、蛍光を発する複数の蛍光体粒子422と、光透過性を有する粒子状の物質である複数のフィラー粒子423と、を有している。   Further, as shown in FIG. 3C, the light emitting layer 42 includes a light-transmitting base material 421, a plurality of fluorescent particles 422 emitting fluorescence, and a plurality of light-transmitting particulate substances. Filler particles 423.

基材421の内部には、複数の蛍光体粒子422および複数のフィラー粒子423が含まれている。基材421の形成材料としては、光透過性を有する樹脂材料(樹脂組成物)を用いることができ、中でも高い耐熱性を有するシリコーン樹脂(屈折率:約1.4)を好適に用いることができる。   The substrate 421 includes a plurality of phosphor particles 422 and a plurality of filler particles 423. As a material for forming the substrate 421, a resin material (resin composition) having optical transparency can be used, and among them, a silicone resin having a high heat resistance (refractive index: about 1.4) is preferably used. it can.

なお、用いる樹脂材料は、前述のように励起光である青色光を透過する物質であれば、2種以上の樹脂材料を混合した組成物(樹脂組成物)であってもよい。さらに、蛍光体粒子422、フィラー粒子423の他に、例えば、機械的強度向上を目的とした添加材が含まれた組成物であってもかまわない。   The resin material to be used may be a composition (resin composition) in which two or more kinds of resin materials are mixed as long as it is a substance that transmits blue light as excitation light as described above. Further, in addition to the phosphor particles 422 and filler particles 423, for example, a composition containing an additive for the purpose of improving mechanical strength may be used.

蛍光体粒子422は、図1に示すレーザー光源10から射出される励起光を吸収し蛍光を発する粒子状の蛍光物質である。例えば、蛍光体粒子422には、波長が約445nmの青色光によって励起されて蛍光を発する物質が含まれており、レーザー光源10が射出する励起光の一部を、図2(b)に示すように、赤色の波長帯域から緑色の波長帯域までを含む光に変換して射出する。このような蛍光体粒子422として、平均粒径が1μmから数十μm程度のものが高い発光効率を示すことが知られている。蛍光体粒子422としては、通常知られたYAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)系蛍光体を用いることができる。例えば、平均粒径が10μmの(Y,Gd)(Al,Ga)12:Ceで示される組成のYAG系蛍光体(屈折率:約1.8)を用いることができる。 The phosphor particles 422 are particulate fluorescent substances that absorb excitation light emitted from the laser light source 10 shown in FIG. 1 and emit fluorescence. For example, the phosphor particle 422 contains a substance that emits fluorescence when excited by blue light having a wavelength of about 445 nm, and a part of the excitation light emitted by the laser light source 10 is shown in FIG. As described above, the light is converted into light including the red wavelength band to the green wavelength band and emitted. As such phosphor particles 422, those having an average particle diameter of about 1 μm to several tens of μm are known to exhibit high luminous efficiency. As the phosphor particles 422, a commonly known YAG (yttrium, aluminum, garnet) phosphor can be used. For example, a YAG phosphor having a composition represented by (Y, Gd) 3 (Al, Ga) 5 O 12 : Ce having an average particle diameter of 10 μm (refractive index: about 1.8) can be used.

なお、蛍光体粒子422の形成材料は、1種であっても良く、2種以上の形成材料を用いて形成されている粒子を混合したものを蛍光体粒子422として用いることとしても良い。   Note that the material for forming the phosphor particles 422 may be one type, or a mixture of particles formed using two or more types of forming materials may be used as the phosphor particles 422.

フィラー粒子423は、発光層42に入射する励起光および蛍光体粒子422から発せられる蛍光を拡散させる機能を有している。フィラー粒子423の形成材料としては、光透過性を有する粒子状物質であれば、樹脂材料や無機材料など広範な種類の材料を用いることができる。なかでも、高い耐熱性を有する無機材料を好適に用いることができ、例えば平均粒径が10μmのAl(屈折率:約1.8)を用いることができる。 The filler particles 423 have a function of diffusing excitation light incident on the light emitting layer 42 and fluorescence emitted from the phosphor particles 422. As a forming material of the filler particles 423, a wide variety of materials such as a resin material and an inorganic material can be used as long as they are particulate substances having light transmittance. Among them, an inorganic material having high heat resistance can be suitably used. For example, Al 2 O 3 (refractive index: about 1.8) having an average particle diameter of 10 μm can be used.

複数の蛍光体粒子422および複数のフィラー粒子423の総体積は、発光層42の体積の35%〜45%になるように調製されている。蛍光体粒子422の体積は、必要とする蛍光の強度や蛍光の波長により設定され、フィラー粒子423の量は、総体積が発光層42の体積の35%〜45%になるように調製されている。ここで、発光層42の体積とは、複数の蛍光体粒子422の総体積と複数のフィラー粒子423の総体積と基材421の体積との和である。   The total volume of the plurality of phosphor particles 422 and the plurality of filler particles 423 is prepared to be 35% to 45% of the volume of the light emitting layer 42. The volume of the phosphor particles 422 is set according to the required fluorescence intensity and fluorescence wavelength, and the amount of the filler particles 423 is adjusted so that the total volume is 35% to 45% of the volume of the light emitting layer 42. Yes. Here, the volume of the light emitting layer 42 is the sum of the total volume of the plurality of phosphor particles 422, the total volume of the plurality of filler particles 423, and the volume of the base material 421.

図1に戻って、発光素子30は円板40の中心にモーター50が接続され、円板40の中心を通る法線を回転軸として回転可能に設けられている。モーター50は、発光素子30を使用時において例えば7500rpmで回転させる。この場合、発光素子30上の励起光が照射される領域(ビームスポット)は、約18m/秒で移動する。すなわち、モーター50は、発光素子30上におけるビームスポットの位置を変位させる位置変位手段として機能する。これにより、励起光が発光素子30上の同一の位置を照射し続けないため、照射位置の熱劣化を防止し、装置を長寿命化することができる。   Returning to FIG. 1, the light emitting element 30 is provided with a motor 50 connected to the center of the disc 40 and is rotatable about a normal passing through the center of the disc 40 as a rotation axis. The motor 50 rotates the light emitting element 30 at, for example, 7500 rpm when in use. In this case, the region (beam spot) irradiated with the excitation light on the light emitting element 30 moves at about 18 m / second. That is, the motor 50 functions as a position displacement unit that displaces the position of the beam spot on the light emitting element 30. Thereby, since excitation light does not continue irradiating the same position on the light emitting element 30, thermal degradation of the irradiation position can be prevented and the life of the apparatus can be extended.

コリメート光学系60は、発光素子30からの光の広がりを抑える第1レンズ62と、第1レンズ62から入射される光を略平行化する第2レンズ64とを備え、全体として発光素子30から射出された光を平行化するものである。第1レンズ62と第2レンズ64とは凸レンズで構成されている。   The collimating optical system 60 includes a first lens 62 that suppresses the spread of light from the light emitting element 30 and a second lens 64 that substantially collimates the light incident from the first lens 62. It collimates the emitted light. The first lens 62 and the second lens 64 are configured as convex lenses.

レンズアレイ120,130は、コリメート光学系60から射出された光の輝度分布を均一化するものである。レンズアレイ120は、複数の第1小レンズ122を含んでおり、レンズアレイ130は複数の第2小レンズ132を含んでいる。第1小レンズ122は、第2小レンズ132と1対1で対応している。コリメート光学系60から射出された光は、複数の第1小レンズ122に空間的に分かれて入射する。第1小レンズ122は、入射した光を対応する第2小レンズ132に結像させる。これにより、複数の第2小レンズ132の各々に、二次光源像が形成される。なお、第1小レンズ122,第2小レンズ132の外形形状は、液晶ライトバルブ400R,400G,400Bの画像形成領域の外形形状と略相似形となっている。   The lens arrays 120 and 130 make the luminance distribution of the light emitted from the collimating optical system 60 uniform. The lens array 120 includes a plurality of first small lenses 122, and the lens array 130 includes a plurality of second small lenses 132. The first small lens 122 has a one-to-one correspondence with the second small lens 132. The light emitted from the collimating optical system 60 is spatially divided and incident on the plurality of first small lenses 122. The first small lens 122 causes the incident light to form an image on the corresponding second small lens 132. Thereby, a secondary light source image is formed on each of the plurality of second small lenses 132. The outer shapes of the first small lens 122 and the second small lens 132 are substantially similar to the outer shapes of the image forming areas of the liquid crystal light valves 400R, 400G, and 400B.

偏光変換素子140は、レンズアレイ120,130から射出された光Lの偏光状態を揃えるものである。図4に示すように、偏光変換素子140は、複数の偏光変換セル141を含んでいる。偏光変換セル141は、第2小レンズ132と1対1で対応している。第2小レンズ132に形成された二次光源像からの光Lは、この第2小レンズ132に対応する偏光変換セル141の入射領域142に入射する。   The polarization conversion element 140 aligns the polarization state of the light L emitted from the lens arrays 120 and 130. As shown in FIG. 4, the polarization conversion element 140 includes a plurality of polarization conversion cells 141. The polarization conversion cell 141 has a one-to-one correspondence with the second small lens 132. The light L from the secondary light source image formed on the second small lens 132 enters the incident region 142 of the polarization conversion cell 141 corresponding to the second small lens 132.

偏光変換セル141の各々には、入射領域142に対応させて、偏光ビームスプリッタ膜143(以下、PBS膜143と称する)及び位相差板145が設けられている。入射領域142に入射した光Lは、PBS膜143によりPBS膜143に対するP偏光L1とS偏光L2とに分離される。P偏光L1、S偏光L2の一方の偏光(ここではS偏光L2)は、反射部材144で反射した後、位相差板145に入射する。位相差板145に入射したS偏光L2は、位相差板145により偏光状態が他方の偏光(ここではP偏光L1)の偏光状態に変換されてP偏光L3になり、P偏光L1とともに射出される。   Each polarization conversion cell 141 is provided with a polarization beam splitter film 143 (hereinafter referred to as a PBS film 143) and a phase difference plate 145 corresponding to the incident region 142. The light L incident on the incident region 142 is separated by the PBS film 143 into P-polarized light L1 and S-polarized light L2 with respect to the PBS film 143. One of the P-polarized light L1 and the S-polarized light L2 (here, S-polarized light L2) is reflected by the reflecting member 144 and then enters the phase difference plate 145. The S-polarized light L2 that has entered the phase difference plate 145 is converted into the polarization state of the other polarization (here, P-polarized light L1) by the phase difference plate 145, becomes P-polarized light L3, and is emitted together with the P-polarized light L1. .

重畳レンズ150は、偏光変換素子140から射出された光を被照明領域にて重畳させるものである。光源装置100から射出された光は、空間的に分割された後、重畳されることにより輝度分布が均一化されて光線軸100ax周りの軸対称性が高められる。   The superimposing lens 150 superimposes the light emitted from the polarization conversion element 140 in the illuminated area. The light emitted from the light source device 100 is spatially divided and then superimposed, whereby the luminance distribution is made uniform and the axial symmetry around the light axis 100ax is enhanced.

色分離光学系200は、ダイクロイックミラー210、ダイクロイックミラー220、ミラー230、ミラー240、ミラー250、フィールドレンズ300R、フィールドレンズ300G,フィールドレンズ300B、リレーレンズ260、リレーレンズ270を含んでいる。ダイクロイックミラー210、ダイクロイックミラー220は、例えばガラス表面に誘電体多層膜を積層したものである。ダイクロイックミラー210、ダイクロイックミラー220は、所定の波長帯域の色光を選択的に反射させ、それ以外の波長帯域の色光を透過させる特性を有している。ここでは、ダイクロイックミラー210が緑色光と青色光とを反射させ、ダイクロイックミラー220が緑色光を反射させる。   The color separation optical system 200 includes a dichroic mirror 210, a dichroic mirror 220, a mirror 230, a mirror 240, a mirror 250, a field lens 300R, a field lens 300G, a field lens 300B, a relay lens 260, and a relay lens 270. The dichroic mirror 210 and the dichroic mirror 220 are obtained by, for example, laminating a dielectric multilayer film on a glass surface. The dichroic mirror 210 and the dichroic mirror 220 have a characteristic of selectively reflecting color light in a predetermined wavelength band and transmitting color light in other wavelength bands. Here, the dichroic mirror 210 reflects green light and blue light, and the dichroic mirror 220 reflects green light.

光源装置100から射出された光Lは、ダイクロイックミラー210に入射する。光Lのうちの赤色光Rは、ダイクロイックミラー210を通ってミラー230に入射し、ミラー230で反射してフィールドレンズ300Rに入射する。赤色光Rは、フィールドレンズ300Rにより平行化された後に、液晶ライトバルブ400Rに入射する。   The light L emitted from the light source device 100 enters the dichroic mirror 210. The red light R of the light L enters the mirror 230 through the dichroic mirror 210, is reflected by the mirror 230, and enters the field lens 300R. The red light R is collimated by the field lens 300R and then enters the liquid crystal light valve 400R.

光Lのうちの緑色光Gと青色光Bとは、ダイクロイックミラー210で反射して、ダイクロイックミラー220に入射する。緑色光Gは、ダイクロイックミラー220で反射してフィールドレンズ300Gに入射する。緑色光Gは、フィールドレンズ300Gにより平行化された後に、液晶ライトバルブ400Gに入射する。   Green light G and blue light B in the light L are reflected by the dichroic mirror 210 and enter the dichroic mirror 220. The green light G is reflected by the dichroic mirror 220 and enters the field lens 300G. The green light G is collimated by the field lens 300G and then enters the liquid crystal light valve 400G.

ダイクロイックミラー220を通った青色光Bは、リレーレンズ260を通りミラー240で反射した後、リレーレンズ270を通りミラー250で反射してフィールドレンズ300Bに入射する。青色光Bは、フィールドレンズ300Bにより平行化された後に、液晶ライトバルブ400Bに入射する。   The blue light B that has passed through the dichroic mirror 220 passes through the relay lens 260 and is reflected by the mirror 240, then passes through the relay lens 270, is reflected by the mirror 250, and enters the field lens 300B. The blue light B is collimated by the field lens 300B and then enters the liquid crystal light valve 400B.

液晶ライトバルブ400R,液晶ライトバルブ400G,液晶ライトバルブ400Bは、例えば透過型の液晶ライトバルブ等の光変調装置により構成される。液晶ライトバルブ400R,液晶ライトバルブ400G,液晶ライトバルブ400Bは、画像情報を含んだ画像信号を供給するPC等の信号源(図示略)と電気的に接続されている。液晶ライトバルブ400R,液晶ライトバルブ400G,液晶ライトバルブ400Bは、供給された画像信号に基づいて、入射光を画素ごとに変調して画像を形成する。液晶ライトバルブ400R,液晶ライトバルブ400G,液晶ライトバルブ400Bは、それぞれ赤色画像、緑色画像、青色画像を形成する。液晶ライトバルブ400R,液晶ライトバルブ400G,液晶ライトバルブ400Bにより変調された光(形成された画像)は、色合成素子500に入射する。   The liquid crystal light valve 400R, the liquid crystal light valve 400G, and the liquid crystal light valve 400B are configured by a light modulation device such as a transmissive liquid crystal light valve. The liquid crystal light valve 400R, the liquid crystal light valve 400G, and the liquid crystal light valve 400B are electrically connected to a signal source (not shown) such as a PC that supplies an image signal including image information. The liquid crystal light valve 400R, the liquid crystal light valve 400G, and the liquid crystal light valve 400B modulate the incident light for each pixel based on the supplied image signal to form an image. The liquid crystal light valve 400R, the liquid crystal light valve 400G, and the liquid crystal light valve 400B form a red image, a green image, and a blue image, respectively. The light (formed image) modulated by the liquid crystal light valve 400R, the liquid crystal light valve 400G, and the liquid crystal light valve 400B enters the color composition element 500.

色合成素子500は、ダイクロイックプリズム等により構成される。ダイクロイックプリズムは、4つの三角柱プリズムが互いに貼り合わされた構造になっている。三角柱プリズムにおいて貼り合わされる面は、ダイクロイックプリズムの内面になる。ダイクロイックプリズムの内面に、赤色光が反射し緑色光が透過するミラー面と、青色光が反射し緑色光が透過するミラー面とが互いに直交して形成されている。ダイクロイックプリズムに入射した緑色光は、ミラー面を通ってそのまま射出される。ダイクロイックプリズムに入射した赤色光、青色光は、ミラー面で選択的に反射あるいは透過して、緑色光の射出方向と同じ方向に射出される。このようにして3つの色光(画像)が重ね合わされて合成され、合成された色光が投写光学系600によってスクリーンSCRに拡大投写される。   The color composition element 500 is configured by a dichroic prism or the like. The dichroic prism has a structure in which four triangular prisms are bonded to each other. The surface to be bonded in the triangular prism becomes the inner surface of the dichroic prism. On the inner surface of the dichroic prism, a mirror surface that reflects red light and transmits green light and a mirror surface that reflects blue light and transmits green light are formed orthogonal to each other. The green light incident on the dichroic prism is emitted as it is through the mirror surface. The red light and blue light incident on the dichroic prism are selectively reflected or transmitted by the mirror surface and emitted in the same direction as the emission direction of the green light. In this way, the three color lights (images) are superimposed and combined, and the combined color light is enlarged and projected onto the screen SCR by the projection optical system 600.

次に、図5を用いて発光層42の内部での光の挙動について説明する。図5は、発光層42の内部での光の挙動を示す模式図であり、図5(a)は、ある蛍光体粒子422aに照射された励起光である青色レーザー光(青色光Lb)について、図5(b)は、蛍光体粒子422aで発せられる蛍光Lyについて、それぞれ挙動を例示した図である。また、図中で青色光Lbまたは蛍光Lyを示す矢印の長さは、各光の光量を表している。   Next, the behavior of light inside the light emitting layer 42 will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a schematic diagram showing the behavior of light inside the light emitting layer 42. FIG. 5A shows the blue laser light (blue light Lb) that is the excitation light irradiated to a certain phosphor particle 422a. FIG. 5B is a diagram illustrating the behavior of the fluorescence Ly emitted from the phosphor particles 422a. Moreover, the length of the arrow which shows the blue light Lb or fluorescence Ly in the figure represents the light quantity of each light.

(青色光)
図5(a)に示すように、蛍光体粒子422aに照射されたにも関わらず吸収されなかった青色光Lbのうち、一部は蛍光体粒子422aの表面で反射され、残りは蛍光体粒子422aの内部を透過する。蛍光体粒子422の屈折率は、周りの基材421の屈折率と異なるため、蛍光体粒子422aを透過する光は、蛍光体粒子422aの表面で屈折し、該反射した成分と合わせて青色光Lbの散乱に寄与する。
(Blue light)
As shown in FIG. 5A, a part of the blue light Lb that is not absorbed despite being irradiated on the phosphor particles 422a is reflected on the surface of the phosphor particles 422a, and the rest is phosphor particles. It penetrates the inside of 422a. Since the refractive index of the phosphor particles 422 is different from the refractive index of the surrounding base material 421, the light transmitted through the phosphor particles 422a is refracted on the surface of the phosphor particles 422a and combined with the reflected component is blue light. It contributes to the scattering of Lb.

このとき、蛍光体粒子422やフィラー粒子423の平均粒径(10μm)は、青色光Lbの波長(約445nm)に比べて10倍以上大きいため、蛍光体粒子422やフィラー粒子423で生じる散乱は幾何光学散乱となる。幾何光学散乱は、後方散乱が前方散乱と比較して非常に小さくなる特徴を有するため、発光層42に入射した青色光Lbが後方に向けて反射または屈折することによって損失する確率は小さい。   At this time, since the average particle diameter (10 μm) of the phosphor particles 422 and the filler particles 423 is 10 times or more larger than the wavelength of the blue light Lb (about 445 nm), the scattering generated in the phosphor particles 422 and the filler particles 423 is Geometric optical scattering. Since geometrical optical scattering has a feature that backscattering is much smaller than forward scattering, the probability that the blue light Lb incident on the light emitting layer 42 is lost by being reflected or refracted backward is small.

青色光Lbのうち前方に散乱した成分は、他の蛍光体粒子422やフィラー粒子423に当たる度に屈折・反射を繰り返す。その際、青色光Lbは、蛍光体粒子422に当たる度にその一部は蛍光体粒子422に吸収され、蛍光Lyに変換されるか熱に変わる。   The component scattered forward of the blue light Lb is repeatedly refracted and reflected every time it hits another phosphor particle 422 or filler particle 423. At that time, each time the blue light Lb hits the phosphor particles 422, a part of the blue light Lb is absorbed by the phosphor particles 422 and converted into fluorescence Ly or changed into heat.

ここで、発光層42内にフィラー粒子423が無かった場合、発光層42の内部で散乱する青色光Lbは、蛍光体粒子422に照射される際の蛍光Lyや熱への変換により減少する。対して、発光層42に入射する青色光Lbの光線軸方向に透過する成分は、蛍光体粒子422に照射されない成分、すなわち蛍光Lyや熱への変換により減少しない成分を含む。そのため、発光層42を透過した後の青色光Lbの配光特性は、入射光の光線軸方向に強度が大きく、放射角が非常に小さい、という特徴を持つ。   Here, when there is no filler particle 423 in the light emitting layer 42, the blue light Lb scattered inside the light emitting layer 42 decreases due to the conversion to fluorescence Ly or heat when the phosphor particles 422 are irradiated. On the other hand, the component that is transmitted in the light axis direction of the blue light Lb incident on the light emitting layer 42 includes a component that is not irradiated onto the phosphor particles 422, that is, a component that does not decrease due to conversion to fluorescence Ly or heat. For this reason, the light distribution characteristics of the blue light Lb after passing through the light emitting layer 42 are characterized in that the intensity is high in the direction of the optical axis of the incident light and the radiation angle is very small.

これに対し本実施形態では、発光層42に青色光Lbを吸収せず反射・屈折のみを生じさせるフィラー粒子423を添加している。フィラー粒子423で散乱する青色光Lb(図中、符号αで示す)は減少しないことから、入射光の光線軸方向に射出される青色光Lbの強度を低下させ、拡散する青色光Lbの増大に寄与することができる。
また、フィラー粒子423の平均粒径を青色光Lbの波長(約445nm)の10倍以上にすることにより、フィラー粒子423による散乱は幾何光学散乱となる。そのため、光の利用効率をさらに高めることができる。
蛍光体粒子422の平均粒径が後方散乱の前方散乱に対する割合に及ぼす影響が、フィラー粒子423の平均粒径が後方散乱の前方散乱に対する割合に及ぼす影響と同様であることは言うまでもない。
In contrast, in the present embodiment, filler particles 423 that do not absorb the blue light Lb and cause only reflection / refraction are added to the light emitting layer 42. Since the blue light Lb scattered by the filler particles 423 (indicated by symbol α in the figure) does not decrease, the intensity of the blue light Lb emitted in the direction of the light axis of the incident light is reduced, and the diffused blue light Lb is increased. Can contribute.
Further, when the average particle diameter of the filler particles 423 is set to 10 times or more the wavelength of the blue light Lb (about 445 nm), the scattering by the filler particles 423 becomes geometric optical scattering. Therefore, the light utilization efficiency can be further increased.
Needless to say, the influence of the average particle diameter of the phosphor particles 422 on the ratio of the back scattering to the forward scattering is the same as the influence of the average particle diameter of the filler particles 423 on the ratio of the back scattering to the forward scattering.

さらに、レーザー光である青色光Lbは、可干渉性を有するために、変調された画像がスクリーン投影される際に、スクリーン上にスペックルノイズといわれる干渉縞を生じ、映像の品質を著しく劣化させるおそれがある。しかし、本実施形態では、青色光Lbがフィラー粒子423で散乱し、さらに、フィラー粒子423が包埋されている発光層42は、円板40の法線周りに回転している。そのため、発光層42を透過する青色光Lbは動的な光散乱が加えられ、映像のスペックルノイズが低減する効果も得られる。   Furthermore, since the blue light Lb, which is a laser beam, has coherence, when the modulated image is projected on the screen, interference fringes called speckle noise are generated on the screen, and the quality of the image is remarkably deteriorated. There is a risk of causing. However, in the present embodiment, the blue light Lb is scattered by the filler particles 423, and the light emitting layer 42 in which the filler particles 423 are embedded rotates around the normal line of the disk 40. For this reason, the blue light Lb transmitted through the light emitting layer 42 is subjected to dynamic light scattering, and an effect of reducing speckle noise of an image can be obtained.

(黄色光)
発光層42に入射した青色光Lbのうち、発光層42内部の蛍光体粒子422に照射された成分の一部は蛍光体粒子422に吸収され、一部が熱に変わる。残りの成分は蛍光体粒子422を構成する蛍光体の電子を励起する。そして、励起された電子が基底状態に戻る際に、蛍光Lyが放出される。蛍光Lyは青色光Lbよりも長波長の光である。発光した蛍光Lyは、蛍光体粒子422から全方位に等方的に放射される。
(Yellow light)
In the blue light Lb incident on the light emitting layer 42, a part of the component irradiated to the phosphor particles 422 inside the light emitting layer 42 is absorbed by the phosphor particles 422, and a part thereof is changed into heat. The remaining components excite the electrons of the phosphor constituting the phosphor particle 422. Then, when the excited electrons return to the ground state, fluorescence Ly is emitted. The fluorescence Ly is light having a longer wavelength than the blue light Lb. The emitted fluorescence Ly is isotropically emitted from the phosphor particles 422 in all directions.

発光層42内で発光した蛍光Lyは、励起光の青色光Lbと異なり、発光点である蛍光体粒子422aから全方位に等方的な配光特性で発光する。発光層42と不図示の円板40との間には、黄色を反射する波長選択膜44が存在するため、後方に向けて射出される蛍光Lyは前方に向けて反射される。しかし一方で、蛍光Lyは、外部から指向性を持って入射される青色光Lbとは異なり、蛍光体粒子422aから全方位に射出されるため、発光層42の内部を面内方向に伝播しやすく、発光層42の外側に出て行きにくい。   Unlike the blue light Lb of excitation light, the fluorescence Ly emitted in the light emitting layer 42 emits light with isotropic light distribution characteristics in all directions from the phosphor particles 422a that are light emitting points. Since the wavelength selection film 44 that reflects yellow exists between the light emitting layer 42 and the disk 40 (not shown), the fluorescence Ly emitted toward the rear is reflected toward the front. However, unlike the blue light Lb incident with directivity from the outside, the fluorescence Ly is emitted from the phosphor particles 422a in all directions, and therefore propagates in the in-plane direction inside the light emitting layer 42. It is easy to go out of the light emitting layer 42 easily.

本実施形態の発光素子30では、蛍光体粒子422やフィラー粒子423は、基材421よりも屈折率が高いため、蛍光Lyは蛍光体粒子422やフィラー粒子423の表面で全反射し難く、各粒子の内部を通過して屈折によって散乱され、光路が変化する機会を持つ。蛍光Lyが発光層42の内部を面内方向に伝播すると、蛍光体粒子422の表面やフィラー粒子423の表面で反射および屈折して光路が変化する確率が高くなる。そのため、発光層42の面内方向に蛍光Lyが伝播するにつれて、発光層42の外に向かう成分(図中、符号αで示す)が増加する。言い換えれば、発光層42の面内方向に蛍光Lyが伝播するにつれて、発光層42の内部を面内方向に伝播する成分が減少する。   In the light emitting element 30 of this embodiment, since the phosphor particles 422 and the filler particles 423 have a higher refractive index than the base material 421, the fluorescence Ly is difficult to totally reflect on the surfaces of the phosphor particles 422 and the filler particles 423. It has the opportunity to change the optical path through the inside of the particle and scattered by refraction. If the fluorescence Ly propagates in the light emitting layer 42 in the in-plane direction, the probability that the optical path changes due to reflection and refraction on the surface of the phosphor particles 422 and the surface of the filler particles 423 increases. Therefore, as the fluorescence Ly propagates in the in-plane direction of the light emitting layer 42, the component (indicated by the symbol α in the drawing) that goes out of the light emitting layer 42 increases. In other words, as the fluorescence Ly propagates in the in-plane direction of the light-emitting layer 42, the component that propagates in the in-plane direction through the inside of the light-emitting layer 42 decreases.

すなわち、発光層42内にフィラー粒子423を加えることで、蛍光Lyの散乱源を増やし、発光層42の外に向かう成分を増加させることにより、蛍光Lyが発光層42の内部を面内方向に伝播する平面視における距離を短くすることができる。その結果、蛍光Lyが射出されるスポット径を小さくすることができる。   That is, by adding filler particles 423 in the light emitting layer 42, the number of fluorescent Ly scattering sources is increased, and by increasing the amount of components going out of the light emitting layer 42, the fluorescence Ly moves in the in-plane direction inside the light emitting layer 42. It is possible to shorten the distance in plan view to propagate. As a result, the spot diameter from which the fluorescence Ly is emitted can be reduced.

なお、発光層42の内部を面内方向に伝播する蛍光Lyを完全に除去することはできないため、発光層42上の蛍光Lyのスポット径は、青色光のビームスポット径よりも大きくなってしまう。発光層42における蛍光Lyのスポット径の拡大は、発光層42の膜厚を薄くすること、および蛍光体粒子422およびフィラー粒子423の濃度を高くすることで抑えることができる。例えば、発光層42の厚さを100μmとし、複数の蛍光体粒子422の総体積を発光層42の体積の30%とし、複数のフィラー粒子423の総体積を発光層42の体積の10%としたとき、蛍光Lyのスポット径は70μm程度となる。   Since the fluorescence Ly propagating in the in-plane direction inside the light emitting layer 42 cannot be completely removed, the spot diameter of the fluorescence Ly on the light emitting layer 42 becomes larger than the beam spot diameter of the blue light. . The increase in the spot diameter of the fluorescence Ly in the light emitting layer 42 can be suppressed by reducing the film thickness of the light emitting layer 42 and increasing the concentrations of the phosphor particles 422 and the filler particles 423. For example, the thickness of the light emitting layer 42 is 100 μm, the total volume of the plurality of phosphor particles 422 is 30% of the volume of the light emitting layer 42, and the total volume of the plurality of filler particles 423 is 10% of the volume of the light emitting layer 42. Then, the spot diameter of the fluorescence Ly is about 70 μm.

(粒子の添加量)
ここで、発光層42中の蛍光体粒子422やフィラー粒子423の濃度を上げていくと、青色光Lbが蛍光体粒子422またはフィラー粒子423に当たる確率がさらに増える。すると、波長選択膜44側に反射・屈折する青色光Lbが増加し、前方に射出されない光を増やす結果につながってしまう。
(Addition amount of particles)
Here, when the concentration of the phosphor particles 422 and the filler particles 423 in the light emitting layer 42 is increased, the probability that the blue light Lb hits the phosphor particles 422 or the filler particles 423 further increases. Then, the blue light Lb reflected / refracted toward the wavelength selection film 44 side increases, leading to a result of increasing the light not emitted forward.

実験の結果、複数の蛍光体粒子422および複数のフィラー粒子423の総体積が、発光層42の体積の35%以上であるときに、発光層42を透過する青色光Lbの配光特性が(cosθ)に比例する特性を有することが分かった。発光層42を透過する青色光Lbこのような特性を有する場合、図1に示すコリメート光学系60によって効率的に青色光Lbを受光できるようになり、スクリーン上での青色光Lbの均一化に寄与することができる。 As a result of the experiment, when the total volume of the plurality of phosphor particles 422 and the plurality of filler particles 423 is 35% or more of the volume of the light emitting layer 42, the light distribution characteristics of the blue light Lb transmitted through the light emitting layer 42 are ( It has been found that it has a characteristic proportional to cosθ) 5 . Blue light Lb transmitted through the light emitting layer 42 When having such characteristics, the collimating optical system 60 shown in FIG. 1 can efficiently receive the blue light Lb, and the blue light Lb on the screen can be made uniform. Can contribute.

逆に複数の蛍光体粒子422および複数のフィラー粒子423の総体積が過多である場合、後方散乱が増え、発光層42から前方に射出される青色光Lbや蛍光Lyの量が減ってしまう。実験では、複数の蛍光体粒子422および複数のフィラー粒子423の総体積が、発光層42全体の体積の45%を超えるときに、発光層42に入射する青色光の全量に対する、後方散乱する青色光の光量の割合が5%を超えることが分かった。したがって、複数の蛍光体粒子422および複数のフィラー粒子423の総体積が、発光層42全体の体積の35%以上45%以下となるように、フィラー粒子423の添加量を決定することが好ましい。   Conversely, when the total volume of the plurality of phosphor particles 422 and the plurality of filler particles 423 is excessive, backscattering increases and the amount of blue light Lb and fluorescence Ly emitted forward from the light emitting layer 42 decreases. In the experiment, when the total volume of the plurality of phosphor particles 422 and the plurality of filler particles 423 exceeds 45% of the total volume of the light emitting layer 42, the blue color that is back-scattered with respect to the total amount of blue light incident on the light emitting layer 42. It was found that the ratio of the amount of light exceeded 5%. Therefore, it is preferable to determine the addition amount of the filler particles 423 so that the total volume of the plurality of phosphor particles 422 and the plurality of filler particles 423 is 35% or more and 45% or less of the total volume of the light emitting layer 42.

(粒子の屈折率)
また、発光層42による青色光Lbの後方散乱量は、発光層42の内部に含まれる粒子の屈折率に影響されることが分かった。例えば、フィラー粒子423にZrOやTiOのような屈折率が2を超える高屈折率材料を用いた場合、後方散乱量は10%を超える。また、発光層42の内部に含まれる粒子の屈折率が基材421の材料の屈折率に対して1.3倍よりも大きくなると、後方散乱量は大きく増大することがわかった。また、発光層42の内部に含まれる粒子の屈折率が基材421の材料の屈折率に対して1.2倍よりも小さくなると、後方散乱量は小さくなるが、屈折率差が十分ではなく、目的とする光の散乱を生じさせることが難しくなることがわかった。
(Refractive index of particles)
It was also found that the amount of blue light Lb backscattered by the light emitting layer 42 is affected by the refractive index of the particles contained in the light emitting layer 42. For example, when a high refractive index material having a refractive index exceeding 2 such as ZrO or TiO 2 is used for the filler particles 423, the backscattering amount exceeds 10%. Further, it has been found that when the refractive index of the particles contained in the light emitting layer 42 is larger than 1.3 times the refractive index of the material of the base material 421, the backscattering amount is greatly increased. Further, when the refractive index of the particles contained in the light emitting layer 42 is smaller than 1.2 times the refractive index of the material of the base material 421, the backscattering amount is reduced, but the refractive index difference is not sufficient. It was found that it was difficult to cause the desired light scattering.

したがって、蛍光体粒子422の屈折率やフィラー粒子423の屈折率が、基材421の材料の屈折率に対して1.2倍以上かつ1.3倍以下であれば、青色光Lbの後方散乱を小さく抑えつつ効果的に前方散乱を促進して、色ムラを抑制することができる。また、蛍光Lyの光の散乱を効果的に促進して、エテンデューの増加を抑制し、光の利用効率を高めることができる。   Therefore, if the refractive index of the phosphor particles 422 and the refractive index of the filler particles 423 are 1.2 times or more and 1.3 times or less than the refractive index of the material of the base material 421, the blue light Lb is backscattered. The forward scattering can be effectively promoted while suppressing the unevenness, and the color unevenness can be suppressed. Further, it is possible to effectively promote the scattering of the light of the fluorescence Ly, suppress the increase in etendue, and increase the light utilization efficiency.

(発光層の膜厚)
発光層42の膜厚が薄いほど、発光層42の膜厚方向に足し合わせた蛍光体粒子422の量は、発光層42の位置によるばらつきが大きい。このことは、発光層42の膜厚が薄いほど、青色光Lbが発光層42を膜厚方向に通過する際に青色光Lbが照射される蛍光体粒子422の量は、発光層42の位置によるばらつきが大きいということを意味する。その結果、射出光に含まれる青色光Lbと蛍光Lyとの割合の発光層42の面内でのばらつきが大きくなる。したがって、発光層42が薄いほど、蛍光Lyのスポット径の拡大を抑えることができるものの、一方で発光層42から射出される光の色度を制御し難くなる。
(Film thickness of the light emitting layer)
As the light emitting layer 42 is thinner, the amount of the phosphor particles 422 added in the thickness direction of the light emitting layer 42 varies more depending on the position of the light emitting layer 42. This is because as the film thickness of the light emitting layer 42 is thinner, the amount of the phosphor particles 422 irradiated with the blue light Lb when the blue light Lb passes through the light emitting layer 42 in the film thickness direction depends on the position of the light emitting layer 42. It means that the variation by is large. As a result, the variation in the plane of the light emitting layer 42 of the ratio of the blue light Lb and the fluorescence Ly contained in the emitted light increases. Therefore, as the light emitting layer 42 is thinner, the increase in the spot diameter of the fluorescence Ly can be suppressed, but on the other hand, it becomes difficult to control the chromaticity of light emitted from the light emitting layer 42.

また、蛍光体粒子422の平均粒径の略5倍程度まで発光層42を薄くすると、膜厚制御を行うことが極端に困難になり、同様に射出光の色度を制御しにくくなる。   Further, if the light emitting layer 42 is thinned to about 5 times the average particle diameter of the phosphor particles 422, it becomes extremely difficult to control the film thickness, and similarly it becomes difficult to control the chromaticity of the emitted light.

これに対し本実施形態では、発光層42の厚さを100μmにすることによって、xy色度図における色度バラツキをΔx、Δyともに0.02以内に抑えている。   On the other hand, in this embodiment, by setting the thickness of the light emitting layer 42 to 100 μm, the chromaticity variation in the xy chromaticity diagram is suppressed to within 0.02 for both Δx and Δy.

以上のような構成の光源装置100によれば、直進性が高い青色光Lb(励起光)は発光層42の内部において蛍光体粒子422やフィラー粒子423の表面で一部が反射・屈折することで散乱し拡散する。そのため、直進性が高い励起光は、フィラー粒子423を含まない場合よりも大きく拡散して広がり、蛍光Lyの広がりに近づく。   According to the light source device 100 configured as described above, the blue light Lb (excitation light) having high straightness is partially reflected and refracted on the surface of the phosphor particles 422 and the filler particles 423 inside the light emitting layer 42. Scatter and diffuse with Therefore, the excitation light having high straightness is diffused and spreads more than when the filler particles 423 are not included, and approaches the spread of the fluorescence Ly.

また、蛍光体粒子422から等方的に発せられる蛍光も、発光層42の内部において蛍光体粒子422やフィラー粒子423の表面で一部が反射・屈折することで散乱され、光源装置100の射出面の方向へ進行する蛍光の成分が増加する。そのため、フィラー粒子423を含まない場合と比較して、蛍光Lyが光源装置100の射出面と平行な方向に発光層42の内部を伝播する平面視における距離を抑制することができ、発せられる蛍光Lyのスポット径の拡大を抑制することができる。   Further, the fluorescence emitted isotropically from the phosphor particles 422 is also scattered by being partially reflected and refracted on the surfaces of the phosphor particles 422 and filler particles 423 inside the light emitting layer 42, and emitted from the light source device 100. The fluorescence component traveling in the direction of the surface increases. Therefore, compared with the case where the filler particles 423 are not included, the distance in a plan view in which the fluorescence Ly propagates in the light emitting layer 42 in the direction parallel to the emission surface of the light source device 100 can be suppressed, and the emitted fluorescence Expansion of the spot diameter of Ly can be suppressed.

その結果、発光層42を透過した青色光Lbの配光特性と発光層42から射出される蛍光Lyの配光特性との相違に起因する色ムラが抑制され、光の利用効率が高い光源装置100とすることが可能となる。   As a result, the color unevenness due to the difference between the light distribution characteristic of the blue light Lb transmitted through the light emitting layer 42 and the light distribution characteristic of the fluorescence Ly emitted from the light emitting layer 42 is suppressed, and the light source device has high light use efficiency. 100 is possible.

また、以上のような構成のプロジェクターPJによれば、被投射面における色ムラが抑制されて高品質な画像表示が可能なプロジェクターPJとすることができる。   Further, according to the projector PJ having the above-described configuration, it is possible to obtain a projector PJ that can suppress color unevenness on the projection surface and display a high-quality image.

なお、本実施形態においては、発光素子30に青色の励起光を照射し、黄色の蛍光が発せられることとして説明したが、これに限らず、種々の色の励起光と蛍光との組み合わせを適宜選択することができる。   In the present embodiment, the light emitting element 30 is irradiated with blue excitation light, and yellow fluorescence is emitted. However, the present invention is not limited to this, and combinations of excitation light and fluorescence of various colors are appropriately used. You can choose.

また、本実施形態においては、モーター50を用いて発光素子30を回転運動させ、青色光の集光位置が同一箇所にならないようにすることとしたが、これに限らない。例えば電歪素子のような振動素子を発光素子30に取り付け、発光層42に面方向に平行な方向に振動させることにより、集光位置を変位させる構成とすることもできる。   In the present embodiment, the light emitting element 30 is rotationally moved using the motor 50 so that the blue light condensing position does not become the same location, but this is not restrictive. For example, a condensing position can be displaced by attaching a vibration element such as an electrostrictive element to the light emitting element 30 and vibrating the light emitting layer 42 in a direction parallel to the surface direction.

[第2実施形態]
図6は、本発明の第2実施形態に係る光源装置の説明図であり、第2実施形態の光源装置が有する発光素子の説明図である。図6(a)は側面図、図6(b)は発光素子70の概略断面図である。本実施形態において第1実施形態と共通する構成要素については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
[Second Embodiment]
FIG. 6 is an explanatory diagram of a light source device according to the second embodiment of the present invention, and is an explanatory diagram of a light emitting element included in the light source device of the second embodiment. FIG. 6A is a side view, and FIG. 6B is a schematic cross-sectional view of the light emitting element 70. In this embodiment, the same code | symbol is attached | subjected about the component which is common in 1st Embodiment, and detailed description is abbreviate | omitted.

図6(a)(b)に示すように、発光素子70は、内部に蛍光体粒子とフィラー粒子とが分散した円板71と、円板71における青色光Lbの入射面に設けられた波長選択膜72と、円板71における光L(青色光Lbと蛍光Lyとが混色した光)の射出面に設けられた反射防止膜73と、を有している。なお、本実施形態では、円板71が、第1実施形態の発光素子30における円板40と発光層42との機能を兼ねている。   As shown in FIGS. 6A and 6B, the light-emitting element 70 includes a disk 71 in which phosphor particles and filler particles are dispersed, and a wavelength provided on the incident surface of the blue light Lb in the disk 71. A selection film 72 and an antireflection film 73 provided on an emission surface of light L (light in which blue light Lb and fluorescence Ly are mixed) in the circular plate 71 are included. In the present embodiment, the disc 71 also functions as the disc 40 and the light emitting layer 42 in the light emitting element 30 of the first embodiment.

円板71は、図6(b)に示すように、光透過性を有する基材711と、蛍光を発する複数の蛍光体粒子422と、光透過性を有する粒子状の物質である複数のフィラー粒子423と、を有している。   As shown in FIG. 6B, the disk 71 includes a light-transmitting base material 711, a plurality of fluorescent particles 422 that emit fluorescence, and a plurality of fillers that are particulate materials having light-transmitting properties. Particles 423.

基材711は、光透過性を有する無機材料を用いることができ、例えば、ホウ珪酸ガラス(屈折率:約1.5)のような光学ガラスを好適に用いることができる。   The base material 711 can use an inorganic material having optical transparency, and for example, optical glass such as borosilicate glass (refractive index: about 1.5) can be preferably used.

波長選択膜72は、第1実施形態の発光素子30が有する波長選択膜44と同様の構成のものを用いることができる。波長選択膜72は、青色光を透過し、青色光よりも長波長の光(例えば、480nmよりも長波長の光)を反射する波長選択性を有している。   As the wavelength selection film 72, a film having the same configuration as that of the wavelength selection film 44 included in the light emitting element 30 of the first embodiment can be used. The wavelength selection film 72 has wavelength selectivity that transmits blue light and reflects light having a longer wavelength than blue light (for example, light having a longer wavelength than 480 nm).

反射防止膜73は、円板71から射出される光を効率的に外部に射出可能とするために、円板71と空気層との界面における反射を抑制する機能を有している。反射防止膜73としては、通常知られた構成のものを採用することができ、例えば、SiO、TiO、ニオブ酸などの誘電体を原料として、真空プロセスにおいて誘電体多層膜を形成することにより形成することができる。 The antireflection film 73 has a function of suppressing reflection at the interface between the disk 71 and the air layer so that the light emitted from the disk 71 can be efficiently emitted to the outside. The antireflection film 73 can be formed of the generally known configuration, for example, SiO 2, TiO 2, a dielectric such as niobate as a raw material, to form a dielectric multilayer film in a vacuum process Can be formed.

このように、発光素子70では、円板71の表面に波長選択膜72や反射防止膜73が設けられている。第1実施形態の発光素子30が有する発光層42は、蛍光体粒子やフィラー粒子を包埋する基材421として樹脂材料(樹脂組成物)を採用していたため、形成が容易であるという利点を有する反面、基材421が真空プロセスで損傷するおそれがあるため、発光層42の形成後に誘電体多層膜を形成することは困難であった。   As described above, in the light emitting element 70, the wavelength selection film 72 and the antireflection film 73 are provided on the surface of the disk 71. The light emitting layer 42 included in the light emitting device 30 of the first embodiment employs a resin material (resin composition) as the base material 421 for embedding phosphor particles and filler particles, and therefore has an advantage that it is easy to form. On the other hand, since the base material 421 may be damaged by a vacuum process, it is difficult to form a dielectric multilayer film after the light emitting layer 42 is formed.

しかし、発光素子70では、円板71において蛍光体粒子やフィラー粒子を包埋する基材711が無機材料であるため、真空プロセスで損傷することなく、円板71の形成後に誘電体多層膜を設けることができ、円板71の両面に波長選択膜72と反射防止膜73とを設けることができる。   However, in the light emitting element 70, since the base material 711 for embedding the phosphor particles and filler particles in the disk 71 is an inorganic material, the dielectric multilayer film is formed after the disk 71 is formed without being damaged by a vacuum process. The wavelength selection film 72 and the antireflection film 73 can be provided on both surfaces of the disc 71.

このような発光素子70は、例えば、次のようにして製造する。
まず、基材711となるガラス材料をフリット(粉体状)材として、蛍光体粒子422およびフィラー粒子423と混合する。これらの混合は、乾式或いは湿式のいずれの方法も採用することができる。
Such a light emitting element 70 is manufactured as follows, for example.
First, the glass material used as the base material 711 is mixed with the phosphor particles 422 and the filler particles 423 as a frit (powdered) material. These mixing methods can employ either a dry method or a wet method.

次いで、混合した粉体を、例えば、室温から50℃までの温度条件でプレスを行って押し固め、板状に加工した後、フリット材のガラスが熔ける温度で焼成を行い、フリット材、蛍光体粒子422、フィラー粒子423の混合物を焼結させる。これにより、蛍光体粒子422およびフィラー粒子423が内部に均一に分散した板材が得られる。この板材を円形に加工して、円板71を製造する。   Next, the mixed powder is pressed and hardened under a temperature condition of, for example, room temperature to 50 ° C., processed into a plate shape, and then fired at a temperature at which the glass of the frit material is melted. A mixture of particles 422 and filler particles 423 is sintered. Thereby, a plate material in which the phosphor particles 422 and the filler particles 423 are uniformly dispersed therein is obtained. The plate 71 is manufactured by processing this plate into a circle.

次いで、得られる焼結体について、両面を研磨して表面を平坦化するとともに、全体を目的の厚みに近づける。発光素子70においては、円板71が薄いほど全体が軽量化され、駆動のための動力も少なくて済むことから好ましい。しかし一方で、薄すぎると発光素子70全体の強度を確保することが困難となる。そのため、円板71の材料である焼結体の厚みは、100μm以上500μm以下、より好ましくは100μm以上300μm以下程度にする。   Next, both sides of the obtained sintered body are polished to flatten the surface, and the whole is brought close to the target thickness. In the light emitting element 70, the thinner the disc 71 is, the lighter the whole is and the less the driving power is preferable. However, if it is too thin, it is difficult to ensure the strength of the entire light emitting element 70. Therefore, the thickness of the sintered body that is the material of the disc 71 is set to about 100 μm to 500 μm, more preferably about 100 μm to 300 μm.

次いで、目的の円板形状となるように、例えば砥粒ホーン加工等を行う。その後、加工された円板の両表面に鏡面化加工を行い、一方の面には波長選択膜72を形成し、他方の面には反射防止膜73を形成することにより、目的とする発光素子70を得ることができる。   Next, for example, abrasive horn processing or the like is performed so as to obtain a target disk shape. Thereafter, both surfaces of the processed disk are mirror-finished, a wavelength selection film 72 is formed on one surface, and an antireflection film 73 is formed on the other surface, so that a target light emitting element is formed. 70 can be obtained.

以上のような発光素子70を有する光源装置においても、上述の光源装置100と同様に、円板71を透過した青色光Lbの配光特性と円板71から射出される蛍光Lyの配光特性との相違に起因する色ムラが抑制され、光の利用効率が高い光源装置とすることが可能となる。   In the light source device having the light emitting element 70 as described above, similarly to the light source device 100 described above, the light distribution characteristic of the blue light Lb transmitted through the disk 71 and the light distribution characteristic of the fluorescence Ly emitted from the disk 71. Color unevenness due to the difference from the above is suppressed, and a light source device with high light utilization efficiency can be obtained.

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。   The preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but it goes without saying that the present invention is not limited to such examples. Various shapes, combinations, and the like of the constituent members shown in the above-described examples are examples, and various modifications can be made based on design requirements and the like without departing from the gist of the present invention.

以下、モデルサンプルを用いて測定した実施例を示し、本発明を具体的に説明する。なお、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples measured using model samples. In addition, this invention is not limited by these Examples.

実施例では、シリコーン樹脂と発光体粒子(YAG:Ce)とフィラー粒子とを混合した混合物を、ガラス板上に設けられた波長選択膜44の上に塗布し、シリコーン樹脂を硬化させることにより、上記実施形態における発光素子のモデルサンプルを作製した。   In the embodiment, a mixture of silicone resin, phosphor particles (YAG: Ce) and filler particles is applied onto the wavelength selection film 44 provided on the glass plate, and the silicone resin is cured, A model sample of the light emitting element in the above embodiment was manufactured.

(配光特性の評価方法)
図7に示すような配光測定システム1000(光源配光測定システムIS−LI、CYBERNET SYSTEMS社製)を用いた。
モデルサンプルSを、内部が反射材質でコーティングされたドーム1100の壁面に配置し、レーザー光源1200から射出され平行化レンズ1300で平行化された励起光MBを、スリット1400を介してモデルサンプルSに照射した。モデルサンプルSにおいては、ガラス板SA側から発光層SBに励起光MBを照射し、ドーム1100内に設けられた不図示の測定プローブで透過光の配光分布を測定した。
(Evaluation method of light distribution characteristics)
A light distribution measurement system 1000 (light source light distribution measurement system IS-LI, manufactured by CYBERNET SYSTEMS) as shown in FIG. 7 was used.
The model sample S is arranged on the wall surface of the dome 1100 coated with a reflective material, and the excitation light MB emitted from the laser light source 1200 and collimated by the collimating lens 1300 is applied to the model sample S through the slit 1400. Irradiated. In the model sample S, the light emitting layer SB was irradiated with the excitation light MB from the glass plate SA side, and the distribution of transmitted light was measured with a measurement probe (not shown) provided in the dome 1100.

測定においては、まず透過光の全光について配光分布を測定し、次いで等色関数の青色光のフィルターを介して透過光の配光分布を測定して、これらの差分から透過光に含まれる青色光の配光分布を求めた。   In the measurement, first, the light distribution of all transmitted light is measured, and then the light distribution of the transmitted light is measured through a blue light filter of a color matching function, and the difference is included in the transmitted light. The light distribution of blue light was determined.

(後方散乱率の測定方法)
図8に示す測定装置2000を用いた。
モデルサンプルSを、内部が反射材質でコーティングされた積分球2100の壁面に配置し、レーザー光源2200から射出され導波路2300により導かれる励起光をモデルサンプルSに照射した。モデルサンプルSにおいては、ガラス板SA側から発光層SBに励起光を照射し、積分球2100内に設けられた測定プローブ2400で後方散乱光の量を測定した。バッフル2500は、モデルサンプルSの後方散乱光が直接測定プローブに入射しないように遮光するためのものである。
(Measurement method of backscattering rate)
A measuring apparatus 2000 shown in FIG. 8 was used.
The model sample S was placed on the wall surface of the integrating sphere 2100 whose interior was coated with a reflective material, and the model sample S was irradiated with excitation light emitted from the laser light source 2200 and guided by the waveguide 2300. In the model sample S, the light emitting layer SB was irradiated with excitation light from the glass plate SA side, and the amount of backscattered light was measured with the measurement probe 2400 provided in the integrating sphere 2100. The baffle 2500 is for shielding the backscattered light of the model sample S from being directly incident on the measurement probe.

測定においては、後方散乱光の光量を測定し、照射する励起光の光量で除算することで、後方散乱率を求めた。   In the measurement, the amount of backscattered light was measured, and the backscattering rate was obtained by dividing by the amount of excitation light irradiated.

(発光層における蛍光の広がりの測定方法)
図9に示す測定装置3000を用いた。
レーザー光源3100から射出され平行化レンズ3200で平行化された励起光MBを、スリット3300の手前に配置したモデルサンプルSに照射した。モデルサンプルSにおいては、ガラス板SA側から発光層SBに励起光MBを照射した。透過光は、青色光を反射するダイクロイックミラー3400を透過させた後に、減光フィルターを備えた撮像装置3500で撮像し、モデルサンプルS上の蛍光のスポット径を測定した。
(Measurement method of fluorescence spread in the light emitting layer)
A measuring device 3000 shown in FIG. 9 was used.
Excitation light MB emitted from the laser light source 3100 and collimated by the collimating lens 3200 was applied to the model sample S arranged in front of the slit 3300. In the model sample S, the light emitting layer SB was irradiated with the excitation light MB from the glass plate SA side. The transmitted light was transmitted through a dichroic mirror 3400 that reflects blue light, and then imaged with an imaging device 3500 having a neutral density filter, and the spot diameter of the fluorescence on the model sample S was measured.

同様に、モデルサンプルSとダイクロイックミラー3400とを用いず、励起光を直接撮像装置3500で撮像し、励起光のスポット径を測定した。   Similarly, the excitation light was directly imaged by the imaging device 3500 without using the model sample S and the dichroic mirror 3400, and the spot diameter of the excitation light was measured.

(フィラーの粒子径)
フィラーの粒子径が互いに異なる複数のモデルサンプルを作製し、後方散乱との関係について測定した。測定条件を表1に示し、測定結果を表2に示す。表中、蛍光体粒子の体積比は、作製した発光層全体の体積に対する複数の蛍光体粒子の総体積の比であり、フィラー粒子の体積比は、作製した発光層全体の体積に対する複数のフィラー粒子の総体積の比である。
(Filler particle size)
A plurality of model samples having different filler particle diameters were prepared, and the relationship with backscattering was measured. Measurement conditions are shown in Table 1, and measurement results are shown in Table 2. In the table, the volume ratio of the phosphor particles is the ratio of the total volume of the plurality of phosphor particles to the volume of the entire produced light emitting layer, and the volume ratio of the filler particles is the plurality of fillers to the volume of the entire produced light emitting layer. It is the ratio of the total volume of particles.

Figure 0005803137
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Figure 0005803137
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測定の結果、フィラー径が5μmよりも小さいと、後方散乱率が増加する傾向にあることが分かった。そのため、フィラー径が5μm以上であれば、光の利用効率が高い光源装置100とすることが可能となる。
ここでは、フィラー粒子423の径と後方散乱率との関係について説明したが、蛍光体粒子422の径と後方散乱率との関係についても、同様な結果が得られる。
As a result of the measurement, it was found that the backscattering rate tends to increase when the filler diameter is smaller than 5 μm. Therefore, if the filler diameter is 5 μm or more, the light source device 100 with high light utilization efficiency can be obtained.
Although the relationship between the diameter of the filler particle 423 and the backscattering rate has been described here, the same result can be obtained for the relationship between the diameter of the phosphor particle 422 and the backscattering rate.

(フィラーの添加率)
フィラーの添加率が互いに異なる複数のモデルサンプルを作製し、各物性値との関係について測定した。測定条件を表3に示す。
(Filler addition rate)
A plurality of model samples having different filler addition rates were prepared, and the relationship with each physical property value was measured. Table 3 shows the measurement conditions.

Figure 0005803137
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図10は、フィラーの添加率を変更した場合の青色光の配光分布について示すグラフである。図に示すように、フィラー濃度が高いほど青色光は拡散する傾向があることが分かる。また、フィラーの濃度が5%より少ないと配光特性が(cosθ)のカーブより若干小さくなることが分かった。なお、フィラーの濃度が5%の場合、複数の蛍光体粒子422および複数のフィラー粒子423の総体積は、発光層42全体の体積の35%である。 FIG. 10 is a graph showing a light distribution of blue light when the filler addition rate is changed. As shown in the figure, it can be seen that the higher the filler concentration is, the more blue light tends to diffuse. It was also found that when the filler concentration is less than 5%, the light distribution characteristic is slightly smaller than the curve of (cos θ) 5 . When the filler concentration is 5%, the total volume of the plurality of phosphor particles 422 and the plurality of filler particles 423 is 35% of the total volume of the light emitting layer 42.

また下表4には、フィラーの添加率を変更した場合の後方散乱率の測定結果を示す。表に示す結果からは、フィラーの濃度が15%を超えると、後方散乱率が5%を超えて増加する傾向にあることが分かった。なお、フィラーの濃度が15%の場合、複数の蛍光体粒子422および複数のフィラー粒子423の総体積は、発光層42全体の体積の45%である。従って、複数の蛍光体粒子422および複数のフィラー粒子423の総体積は、発光層42全体の体積の35%以上45%以下であることが好ましい。   Table 4 below shows the measurement results of the backscattering rate when the addition rate of the filler is changed. From the results shown in the table, it was found that when the filler concentration exceeds 15%, the backscattering rate tends to increase beyond 5%. When the filler concentration is 15%, the total volume of the plurality of phosphor particles 422 and the plurality of filler particles 423 is 45% of the total volume of the light emitting layer 42. Therefore, the total volume of the plurality of phosphor particles 422 and the plurality of filler particles 423 is preferably 35% or more and 45% or less of the entire volume of the light emitting layer 42.

Figure 0005803137
Figure 0005803137

(フィラーの屈折率)
フィラーの屈折率が互いに異なる複数のモデルサンプルを作製し、後方散乱率との関係について測定した。測定条件を表5に、測定結果を表6に、幾何光学散乱のレイトレーシングシミュレーションにより求めたシミュレーション結果を表7にそれぞれ示す。
(Refractive index of filler)
A plurality of model samples having different refractive indexes of the fillers were produced, and the relationship with the backscattering rate was measured. Table 5 shows the measurement conditions, Table 6 shows the measurement results, and Table 7 shows the simulation results obtained by the ray tracing simulation of geometric optical scattering.

Figure 0005803137
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Figure 0005803137
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Figure 0005803137
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測定の結果、フィラー粒子の屈折率がおよそ2を超えると、後方散乱率が増加する傾向にあることが分かった。シミュレーション結果からもフィラー粒子の屈折率が基材の屈折率の1.3倍よりも高くなると、後方散乱率が5%を超えて増加する傾向が見て取れる。
ここでは、フィラー粒子423の屈折率と後方散乱率との関係について説明したが、蛍光体粒子422の屈折率と後方散乱率との関係についても、同様な結果が得られる。
As a result of the measurement, it was found that when the refractive index of the filler particles exceeds about 2, the backscattering rate tends to increase. From the simulation results, it can be seen that when the refractive index of the filler particles is higher than 1.3 times the refractive index of the substrate, the backscattering rate tends to increase by more than 5%.
Here, the relationship between the refractive index of the filler particles 423 and the backscattering rate has been described, but the same result can be obtained for the relationship between the refractive index of the phosphor particles 422 and the backscattering rate.

(発光層の膜厚)
発光層の膜厚が互いに異なる複数のモデルサンプルを作製し、スポット径との関係について測定した。測定条件は表5と同様である。表8に、蛍光のスポット径の拡大量と発光層42の膜厚との関係を示す。
(Film thickness of the light emitting layer)
A plurality of model samples having different light emitting layer thicknesses were prepared, and the relationship with the spot diameter was measured. The measurement conditions are the same as in Table 5. Table 8 shows the relationship between the amount of increase in the fluorescent spot diameter and the film thickness of the light emitting layer 42.

Figure 0005803137
Figure 0005803137

表8に示すように、膜厚が増加すると、励起光のスポット径と比べて蛍光のスポット径が大きくなる傾向にあることが分かった。したがって、発光層42の膜厚が、蛍光体粒子422の平均粒子径の10倍以下の厚さであれば、発せられる蛍光のスポット径の拡大を抑制することができる。   As shown in Table 8, it was found that as the film thickness increased, the fluorescent spot diameter tended to be larger than the excitation light spot diameter. Therefore, if the film thickness of the light emitting layer 42 is 10 times or less the average particle diameter of the phosphor particles 422, the increase in the spot diameter of the emitted fluorescence can be suppressed.

10…レーザー光源、30,70…発光素子(発光手段)、42…発光層、44,72…波長選択膜、71…円板(発光層)、100…光源装置、400R,400G,400B…液晶ライトバルブ(光変調素子)、421,711…基材、422…蛍光体粒子、423…フィラー粒子、600…投写光学系、Ly…蛍光(蛍光)、Lb…青色光(励起光)、PJ…プロジェクター、 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Laser light source, 30, 70 ... Light emitting element (light emission means), 42 ... Light emitting layer, 44, 72 ... Wavelength selection film | membrane, 71 ... Disc (light emitting layer), 100 ... Light source device, 400R, 400G, 400B ... Liquid crystal Light valve (light modulation element), 421, 711 ... base material, 422 ... phosphor particle, 423 ... filler particle, 600 ... projection optical system, Ly ... fluorescence (fluorescence), Lb ... blue light (excitation light), PJ ... projector,

Claims (10)

可視光領域の励起光を射出するレーザー光源と、
前記励起光の一部を透過させるとともに、前記励起光によって励起されて可視光領域の蛍光を発する発光素子と、を備え、
前記発光素子は、光透過性を有する基材と、該基材の内部に含まれる複数の蛍光体粒子と、該基材の内部に含まれる光透過性を有する複数のフィラー粒子と、を含む発光層を有し、
前記複数の蛍光体粒子および前記複数のフィラー粒子の総体積が、前記発光層の体積の35%以上45%以下であり、
前記複数の蛍光体粒子および前記複数のフィラー粒子の屈折率が、前記基材の材料の屈折率に対して1.2倍以上であり、
前記発光層の膜厚が、前記複数の蛍光体粒子の平均粒子径の10倍以下の厚さであることを特徴とする光源装置。
A laser light source that emits excitation light in the visible light region;
A light-emitting element that transmits a part of the excitation light and emits fluorescence in the visible light region when excited by the excitation light.
The light-emitting element includes a light-transmitting base material, a plurality of phosphor particles contained in the base material, and a plurality of light-transmitting filler particles contained in the base material. Having a light emitting layer,
The total volume of the plurality of phosphor particles and the plurality of filler particles, Ri 45% der less than 35% of the volume of the light-emitting layer,
The refractive index of the plurality of phosphor particles and the plurality of filler particles is 1.2 times or more with respect to the refractive index of the material of the base material,
Thickness of the light-emitting layer, the light source and wherein an average 10 times or less in thickness der Rukoto the particle diameter of the plurality of phosphor particles.
前記複数のフィラー粒子の平均粒子径と前記複数の蛍光体粒子の平均粒子径のうち少なくとも一方は、前記励起光を幾何光学散乱させる大きさであることを特徴とする請求項1に記載の光源装置。   2. The light source according to claim 1, wherein at least one of an average particle diameter of the plurality of filler particles and an average particle diameter of the plurality of phosphor particles has a size for geometrically optically scattering the excitation light. apparatus. 前記複数のフィラー粒子の平均粒子径は、5μm以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の光源装置。   3. The light source device according to claim 1, wherein an average particle diameter of the plurality of filler particles is 5 μm or more. 前記複数の蛍光体粒子の平均粒子径は、5μm以上であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の光源装置。   4. The light source device according to claim 1, wherein an average particle diameter of the plurality of phosphor particles is 5 μm or more. 5. 前記複数のフィラー粒子は、前記基材の屈折率1.3倍以下である屈折率を有する材料からなることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の光源装置。 It said plurality of filler particles, a light source device according to any one of claims 1 to 4, characterized in that it consists of a material having a refractive index of 1.3 times the refractive index of the substrate. 前記複数の蛍光体粒子は、前記基材の屈折率1.3倍以下である屈折率を有する材料からなることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の光源装置。 Wherein the plurality of phosphor particles, the light source device according to any one of claims 1 5, characterized in that it consists of a material having a refractive index of 1.3 times the refractive index of the substrate. 前記発光素子は、前記発光層において前記励起光が入射する側の面に、前記励起光を透過し前記蛍光を反射する波長選択膜を有することを特徴とする請求項1からのいずれか1項に記載の光源装置。 The light emitting device, the surface where the excitation light in said light emitting layer is incident, any one of claims 1 to 6, characterized in that a wavelength selective film that reflects the fluorescence transmitted through the excitation light The light source device according to item. 前記基材の形成材料が、樹脂組成物であることを特徴とする請求項1からのいずれか1項に記載の光源装置。 Forming material of said substrate, a light source device according to any one of claims 1 to 7, characterized in that the resin composition. 前記基材の形成材料が、無機材料からなることを特徴とする請求項1からのいずれか1項に記載の光源装置。 Forming material of said substrate, a light source device according to any one of claims 1, characterized in that it consists of an inorganic material 7. 請求項1からのいずれか1項の光源装置と、
前記光源装置から射出された光を、前記発光素子から射出された蛍光と、前記発光素子を透過した前記励起光の一部と、に分離する色分離光学系と、
前記色分離光学系によって分離された前記励起光の一部を含む複数の色光それぞれに対応する複数の光変調素子と、
前記光変調素子によって変調された光を投写する投写光学系と、を備えることを特徴とするプロジェクター。
A light source device according to any one of claims 1 to 9 ,
A color separation optical system that separates the light emitted from the light source device into fluorescence emitted from the light emitting element and a part of the excitation light transmitted through the light emitting element;
A plurality of light modulation elements corresponding to a plurality of color lights each including a part of the excitation light separated by the color separation optical system;
And a projection optical system that projects the light modulated by the light modulation element.
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