JP5478874B2 - 基板、基板保持装置、解析装置、プログラム、検出システム、半導体デバイス、表示装置、および半導体製造装置 - Google Patents
基板、基板保持装置、解析装置、プログラム、検出システム、半導体デバイス、表示装置、および半導体製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5478874B2 JP5478874B2 JP2008307823A JP2008307823A JP5478874B2 JP 5478874 B2 JP5478874 B2 JP 5478874B2 JP 2008307823 A JP2008307823 A JP 2008307823A JP 2008307823 A JP2008307823 A JP 2008307823A JP 5478874 B2 JP5478874 B2 JP 5478874B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- coil
- resonator
- resonance frequency
- electromotive force
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67248—Temperature monitoring
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K11/00—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00
- G01K11/22—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using measurement of acoustic effects
- G01K11/26—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using measurement of acoustic effects of resonant frequencies
- G01K11/265—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using measurement of acoustic effects of resonant frequencies using surface acoustic wave [SAW]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/32—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using change of resonant frequency of a crystal
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32917—Plasma diagnostics
- H01J37/32935—Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
なお、以下の実施形態における構成要素は適宜、既存の構成要素などとの置き換えが可能であり、また、他の既存の構成要素との組合せを含む様々なバリエーションが可能である。したがって、以下の実施形態の記載をもって、特許請求の範囲に記載された発明の内容を限定するものではない。
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体製造システム1の構成を示す図である。半導体製造システム1は、半導体製造装置2および解析装置3を備える。
図11は、本発明の第2実施形態に係る基板保持装置7Aの断面図である。基板保持装置7Aは、図6に示した本発明の第1実施形態に係る基板保持装置7とは、プローブコイル6の設けられる位置が異なる。その他の構成については、本発明の第1実施形態と同様であり、説明を省略する。
図12は、本発明の第3実施形態に係る基板保持装置7Bの断面図である。基板保持装置7Bは、図6に示した本発明の第1実施形態に係る基板保持装置7や、図11に示した本発明の第2実施形態に係る基板保持装置7Aとは、プローブコイル6の設けられる位置が異なる。その他の構成については、本発明の第1実施形態と同様であり、説明を省略する。
図13は、本発明の第4実施形態に係るウエハWAおよびプローブコイル6Aの正面図である。ウエハWAは、図2に示した本発明の第1実施形態に係るウエハWとは、共振器5だけでなくコイルアンテナ8も載置される点が異なる。また、プローブコイル6Aは、図7に示した本発明の第1実施形態に係るプローブコイル6と比べて、形状が異なる。その他の構成については、本発明の第1実施形態と同様であり、説明を省略する。
図14は、本発明の第5実施形態に係るウエハWBの正面図である。ウエハWBは、図2に示した本発明の第1実施形態に係るウエハWとは、載置されるものが異なる。その他の構成については、本発明の第1実施形態と同様であり、説明を省略する。
WW・・・載置面
1・・・半導体製造システム
2・・・半導体製造装置
3・・・解析装置
5・・・共振器
6、6A・・・コイル
7、7A、7B・・・基板保持装置
8、8A・・・コイルアンテナ
9・・・SAW共振器
52・・・キャパシタ
53・・・インダクタ
71・・・静電チャック
Claims (14)
- センサ部が設けられた基板であって、
前記センサ部は、
表面または表面近くの内部に少なくとも1巻きのコイルと、
アンテナ部と、を備え、
前記基板に蓄積された電荷量に応じた電流を前記コイルに流し、
前記アンテナ部は、前記コイルと磁界結合するとともに、当該アンテナ部が配置される面を含む平面上に設けられたプローブコイルと磁界結合することを特徴とする基板。 - 前記コイルは、スパイラル状またはヘリカル状に形成されることを特徴とする請求項1に記載の基板。
- 前記アンテナ部は、前記コイルの周辺、直上、または直下に配置されることを特徴とする請求項1または2に記載の基板。
- 前記センサ部は、共振器を備え、
前記共振器は、前記コイルおよびキャパシタを含んで構成されるLCタンク回路であり、
前記基板に蓄積された電荷量に応じて前記コイルに流れる電流の向きと、前記アンテナ部に生じる起電力の向きとは、前記共振器の共振周波数に応じて変化することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の基板。 - センサ部が設けられた基板であって、
前記センサ部は、
SAW共振器と、
前記SAW共振器に電気的に接続されたアンテナ部と、を備え、
前記基板に蓄積された電荷量に応じた電流であって、前記SAW共振器の共振周波数に応じて向きの変化するものを、前記アンテナ部に流し、
前記アンテナ部は、当該アンテナ部が配置される面を含む平面上に設けられたプローブコイルと磁界結合することを特徴とする基板。 - 請求項1から3のいずれかに記載の基板を保持する基板保持装置であって、
前記プローブコイルを備え、
前記プローブコイルには、前記アンテナ部に起電力が生じて電流が流れることにより当該アンテナ部の周りに磁界が発生すると、当該磁界の強さに応じた起電力が生じることを備えることを特徴とする基板保持装置。 - 請求項4に記載の基板を保持する基板保持装置であって、
前記プローブコイルを備え、
前記プローブコイルには、前記アンテナ部に前記共振器の共振周波数に応じて向きの変化する起電力が生じて電流が流れることにより、当該アンテナ部の周りに前記共振器の共振周波数に応じて向きの変化する磁界が発生すると、当該磁界の強さに応じた起電力であって、前記共振器の共振周波数に応じて向きの変化するものが生じることを備えることを特徴とする基板保持装置。 - 請求項5に記載の基板を保持する基板保持装置であって、
前記プローブコイルを備え、
前記プローブコイルには、前記アンテナ部に前記SAW共振器の共振周波数に応じて向きの変化する電流が流れることにより、当該アンテナ部の周りに前記SAW共振器の共振周波数に応じて向きの変化する磁界が発生すると、当該磁界の強さに応じた起電力であって、前記SAW共振器の共振周波数に応じて向きの変化するものが生じることを備えることを特徴とする基板保持装置。 - 請求項1から8のいずれかに記載のプローブコイルに生じる起電力に基づいて、前記基板に蓄積された電荷量を解析することを特徴とする解析装置。
- 請求項1から8のいずれかに記載のプローブコイルに生じる起電力に基づいて、前記基板に蓄積された電荷量の解析をコンピュータに実行させるためのプログラム。
- 請求項4に記載の基板と、
請求項7に記載の基板保持装置と、
請求項9に記載の解析装置と、
を備えることを特徴とする検出システム。 - 請求項1から5のいずれかに記載の基板を備えることを特徴とする半導体デバイス。
- 請求項1から5のいずれかに記載の基板を備えることを特徴とする表示装置。
- 請求項6から8のいずれかに記載の基板保持装置を備えることを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008307823A JP5478874B2 (ja) | 2008-12-02 | 2008-12-02 | 基板、基板保持装置、解析装置、プログラム、検出システム、半導体デバイス、表示装置、および半導体製造装置 |
US12/592,219 US8686743B2 (en) | 2008-12-02 | 2009-11-19 | Substrate, substrate holding apparatus, analysis apparatus, program, detection system, semiconductor device, display apparatus, and semiconductor manufacturing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008307823A JP5478874B2 (ja) | 2008-12-02 | 2008-12-02 | 基板、基板保持装置、解析装置、プログラム、検出システム、半導体デバイス、表示装置、および半導体製造装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010135419A JP2010135419A (ja) | 2010-06-17 |
JP2010135419A5 JP2010135419A5 (ja) | 2011-12-15 |
JP5478874B2 true JP5478874B2 (ja) | 2014-04-23 |
Family
ID=42222224
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008307823A Active JP5478874B2 (ja) | 2008-12-02 | 2008-12-02 | 基板、基板保持装置、解析装置、プログラム、検出システム、半導体デバイス、表示装置、および半導体製造装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8686743B2 (ja) |
JP (1) | JP5478874B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8226294B2 (en) * | 2009-08-31 | 2012-07-24 | Arizant Healthcare Inc. | Flexible deep tissue temperature measurement devices |
US8292495B2 (en) | 2010-04-07 | 2012-10-23 | Arizant Healthcare Inc. | Zero-heat-flux, deep tissue temperature measurement devices with thermal sensor calibration |
US8292502B2 (en) | 2010-04-07 | 2012-10-23 | Arizant Healthcare Inc. | Constructions for zero-heat-flux, deep tissue temperature measurement devices |
US9354122B2 (en) | 2011-05-10 | 2016-05-31 | 3M Innovative Properties Company | Zero-heat-flux, deep tissue temperature measurement system |
US9620400B2 (en) | 2013-12-21 | 2017-04-11 | Kla-Tencor Corporation | Position sensitive substrate device |
US11393663B2 (en) * | 2019-02-25 | 2022-07-19 | Tokyo Electron Limited | Methods and systems for focus ring thickness determinations and feedback control |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5466614A (en) * | 1993-09-20 | 1995-11-14 | At&T Global Information Solutions Company | Structure and method for remotely measuring process data |
US5559428A (en) * | 1995-04-10 | 1996-09-24 | International Business Machines Corporation | In-situ monitoring of the change in thickness of films |
US6362737B1 (en) * | 1998-06-02 | 2002-03-26 | Rf Code, Inc. | Object Identification system with adaptive transceivers and methods of operation |
US6111520A (en) * | 1997-04-18 | 2000-08-29 | Georgia Tech Research Corp. | System and method for the wireless sensing of physical properties |
JP3739927B2 (ja) * | 1998-03-04 | 2006-01-25 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 触覚センサと触感検知システム |
US6278379B1 (en) * | 1998-04-02 | 2001-08-21 | Georgia Tech Research Corporation | System, method, and sensors for sensing physical properties |
US6325536B1 (en) | 1998-07-10 | 2001-12-04 | Sensarray Corporation | Integrated wafer temperature sensors |
JP2001242014A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-07 | Tokyo Electron Ltd | 基板の温度測定方法および処理方法 |
JP3632832B2 (ja) * | 2000-04-27 | 2005-03-23 | シャープ株式会社 | シート抵抗測定方法 |
GB0120571D0 (en) * | 2001-08-23 | 2001-10-17 | Transense Technologies Plc | Interrogation of passive sensors |
JP3767817B2 (ja) * | 2002-10-25 | 2006-04-19 | 松下電器産業株式会社 | 温度測定装置 |
US7135852B2 (en) | 2002-12-03 | 2006-11-14 | Sensarray Corporation | Integrated process condition sensing wafer and data analysis system |
US6891380B2 (en) * | 2003-06-02 | 2005-05-10 | Multimetrixs, Llc | System and method for measuring characteristics of materials with the use of a composite sensor |
JP2005277396A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-10-06 | Ebara Corp | 基板処理方法および装置 |
JP2007066110A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Dainippon Printing Co Ltd | 記憶型センサ付共振タグおよび環境保障方法 |
JP2007171047A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Tokyo Electron Ltd | ウェハ型温度センサとこれを用いた温度測定装置、温度測定機能を有する熱処理装置および温度測定方法 |
JP4878291B2 (ja) * | 2006-03-08 | 2012-02-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム、基板表面処理装置、基板表面検査装置、基板表面検査方法及び記憶媒体 |
JP5341381B2 (ja) * | 2008-04-08 | 2013-11-13 | 株式会社福田結晶技術研究所 | 圧電振動子、温度センサ、及び、温度測定方法 |
-
2008
- 2008-12-02 JP JP2008307823A patent/JP5478874B2/ja active Active
-
2009
- 2009-11-19 US US12/592,219 patent/US8686743B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100134122A1 (en) | 2010-06-03 |
US8686743B2 (en) | 2014-04-01 |
JP2010135419A (ja) | 2010-06-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5478874B2 (ja) | 基板、基板保持装置、解析装置、プログラム、検出システム、半導体デバイス、表示装置、および半導体製造装置 | |
JP6683719B2 (ja) | 電流センサのための装置および方法 | |
JP5151032B2 (ja) | 磁界プローブ装置及び磁界プローブ素子 | |
JP5262613B2 (ja) | 光学反射素子 | |
US9312832B2 (en) | High power filter with single adjust for multiple channels | |
JP5017827B2 (ja) | 電磁波発生源探査方法及びそれに用いる電流プローブ | |
US20060114541A1 (en) | Transducer and electronic device | |
JP2012129222A (ja) | プラズマ処理装置 | |
EP2913839A1 (en) | Cryogenic silicon-based surface-electrode trap and method of manufacturing such a trap | |
JP4728405B2 (ja) | 表面処理装置 | |
KR20110018952A (ko) | 복합 무선 주파수 파형에 대한 매칭 회로 | |
JP2007208084A (ja) | プラズマ処理装置 | |
WO2012121821A2 (en) | Micromachined resonant magnetic field sensors | |
CN106353702A (zh) | 一种基于面内伸缩模态谐振器的mems磁场传感器及制备方法 | |
US8698569B2 (en) | MEMS resonator | |
WO2012097384A2 (en) | Micromachined resonant magnetic field sensors | |
KR20140148366A (ko) | 정전용량식 터치패널 | |
KR20150128149A (ko) | 공통 모드 필터 및 그 제조 방법 | |
JP2010135419A5 (ja) | ||
CN207764288U (zh) | 电流检测元件、送电装置及电力传输系统 | |
JP2017026614A (ja) | 誘導ピックオフを有する加速度計 | |
CN117120861A (zh) | 磁场传感器和传感器组件 | |
JP5106816B2 (ja) | 電圧測定装置および電力測定装置 | |
US11171624B2 (en) | Voltage sensor device based on a tunable bulk acoustic wave (BAW) resonator | |
JP2011095523A (ja) | 光学反射素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111031 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111031 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130702 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130829 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131105 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131227 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140212 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5478874 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |