JP5415147B2 - Disk drive and its clearance measurement method - Google Patents

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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Description

本発明はディスク・ドライブ及びそのクリアランス測定方法に関し、特に、複数の要因により変化するクリアランスを測定する方法に関する。   The present invention relates to a disk drive and a clearance measuring method thereof, and more particularly, to a method of measuring a clearance that changes due to a plurality of factors.

ディスク・ドライブとして、光ディスク、光磁気ディスク、あるいはフレキシブル磁気ディスクなどの様々な態様のディスクを使用する装置が知られているが、その中で、ハードディスク・ドライブ(HDD)は、コンピュータ・システムの他、動画像記録再生装置やカーナビゲーション・システムなど、多くの電子機器において使用されている。   As a disk drive, devices using various types of disks such as an optical disk, a magneto-optical disk, and a flexible magnetic disk are known. Among them, a hard disk drive (HDD) is a computer system. It is used in many electronic devices such as a moving image recording / reproducing apparatus and a car navigation system.

HDDで使用される磁気ディスクは、同心円状に形成された複数のデータ・トラックと複数のサーボ・トラックとを有している。各サーボ・トラックはアドレス情報を有する複数のサーボ・セクタから構成される。また、各データ・トラックには、ユーザ・データを含む複数のデータ・セクタから構成されている。円周方向に離間するサーボ・セクタの間に、データ・セクタが記録されている。揺動するアクチュエータに支持されたヘッド・スライダのヘッド素子部が、サーボ・セクタ内のアドレス情報に従って所望のデータ・セクタにアクセスすることによって、データ・セクタへのデータ書き込み及びデータ・セクタからのデータ読み出しを行うことができる。   A magnetic disk used in the HDD has a plurality of data tracks and a plurality of servo tracks formed concentrically. Each servo track is composed of a plurality of servo sectors having address information. Each data track is composed of a plurality of data sectors including user data. Data sectors are recorded between servo sectors spaced apart in the circumferential direction. The head element portion of the head slider supported by the oscillating actuator accesses the desired data sector according to the address information in the servo sector, thereby writing data to the data sector and data from the data sector. Reading can be performed.

磁気ディスクの記録密度を向上するには、磁気ディスク上を浮上するヘッド素子部と磁気ディスクとの間のクリアランス(間隔)及びその変化を小さくすることが重要である。このため、クリアランスを調整するいくつかの機構が提案されている。そのうちの一つは、ヘッド・スライダにヒータを備え、そのヒータでヘッド素子部を加熱することよってクリアランスを調整する。本明細書において、これをTFC(Thermal Flyheight Control)と呼ぶ。TFCは、ヒータに電流を供給して発熱させ、熱膨張によってヘッド素子部を突出させる。これによって、磁気ディスクとヘッド素子部との間のクリアランスを小さくする。この他、ピエゾ素子やクーロン力を使用してヘッド素子部と磁気ディスクとの間のクリアランスを調整する手法が知られている。   In order to improve the recording density of the magnetic disk, it is important to reduce the clearance (interval) between the head element portion that floats on the magnetic disk and the magnetic disk and the change thereof. For this reason, several mechanisms for adjusting the clearance have been proposed. One of them is provided with a heater in the head slider, and the clearance is adjusted by heating the head element portion with the heater. In this specification, this is called TFC (Thermal Flyheight Control). The TFC supplies a current to the heater to generate heat, and causes the head element portion to protrude by thermal expansion. As a result, the clearance between the magnetic disk and the head element portion is reduced. In addition, there is known a method of adjusting the clearance between the head element portion and the magnetic disk using a piezo element or a Coulomb force.

クリアランスは、温度変化に応じて変化するほか、気圧(高度)の変化に応じて変化する。リード/ライトにおけるクリアランス設定値が5nm以上である場合には、高度変化によるクリアランス変化は、クリアランス・マージンにより対応することができる。しかし、リード/ライトにおいて2あるいは3nm以下のクリアランスしか存在しない場合、温度変化に加えて、気圧の変化に応じてクリアランスを調整することが要求される(例えば、特許文献1を参照)。   The clearance changes according to a change in temperature and also changes according to a change in atmospheric pressure (altitude). When the clearance setting value in read / write is 5 nm or more, the clearance change due to the altitude change can be dealt with by the clearance margin. However, when there is only a clearance of 2 or 3 nm or less in read / write, it is required to adjust the clearance according to a change in atmospheric pressure in addition to a change in temperature (see, for example, Patent Document 1).

TFCは、温度の低下に応じてヒータ・パワーを増加して熱膨張によってヘッド素子部を突出させ、温度低下によるクリアランスの増加を補償する。温度が上昇する場合は逆にヒータ・パワーを減少させ、クリアランスの減少を補償する。また、高度が上昇して気圧が低下すると、スライダの浮上高が低下する。このため、気圧の低下によりヘッド素子部と磁気ディスクとの間のクリアランスも減少する。従って、温度が一定であれば、TFCは気圧の低下に従って突出量を小さくする。   The TFC compensates for an increase in clearance due to a decrease in temperature by increasing the heater power in response to a decrease in temperature and causing the head element portion to protrude by thermal expansion. If the temperature rises, the heater power is decreased to compensate for the decrease in clearance. Further, when the altitude increases and the atmospheric pressure decreases, the flying height of the slider decreases. For this reason, the clearance between the head element portion and the magnetic disk also decreases due to the decrease in the atmospheric pressure. Therefore, if the temperature is constant, the TFC reduces the protrusion amount as the atmospheric pressure decreases.

HDDの動作は温度に大きく依存するため、一般的なHDDは、温度を検出する回路である温度センサを有している。HDDは、クリアランス調整に温度センサの検出温度を使用することができる。同様に、気圧を検出する手段の一つとして、気圧センサ(高度センサ)が知られている。しかし、気圧センサを使用することはHDDの部材点数の増加となり、また、HDDのコストも大きく増加する。上述のように気圧変化に従いクリアランスが変化するため、HDDは、クリアランス変化により気圧変化を測定することができる。   Since the operation of the HDD greatly depends on the temperature, a general HDD has a temperature sensor which is a circuit for detecting the temperature. The HDD can use the temperature detected by the temperature sensor for clearance adjustment. Similarly, an atmospheric pressure sensor (altitude sensor) is known as one of means for detecting atmospheric pressure. However, the use of the pressure sensor increases the number of HDD members, and the cost of the HDD greatly increases. Since the clearance changes according to the change in atmospheric pressure as described above, the HDD can measure the change in atmospheric pressure by the change in clearance.

HDDは、温度センサによる検出温度と、クリアランス変化から算出した気圧情報とによってクリアランス調整を行う。HDDは、定期的にクリアランス(の変化)を測定、確認することが好ましい。例えば、HDDは、起動時にクリアランスの測定を行い、それから現在の気圧(高度)を算出する。   The HDD adjusts the clearance based on the temperature detected by the temperature sensor and the atmospheric pressure information calculated from the clearance change. The HDD preferably measures and confirms the clearance (change) periodically. For example, the HDD measures the clearance at startup and calculates the current atmospheric pressure (altitude) therefrom.

クリアランスを測定するためのいくつかの手法が知られている。その中で有効な手法の一つは、ヘッド素子部のリード信号の振幅からクリアランス(クリアランス変化)を特定する。一般に、クリアランスが小さくなるとリード信号の信号強度が大きくなり、クリアランスが大きくなるとリード信号の信号強度が小さくなる。この信号強度変化を参照することで、クリアランス(クリアランス変化)を測定することができる。比較的正確なクリアランス測定方法として、リード信号の周波数成分の分解能(レゾリューション)からクリアランスを特定する方法が知られている(例えば、特許文献2を参照)。   Several techniques are known for measuring clearance. One of the effective methods is to specify the clearance (clearance change) from the amplitude of the read signal of the head element portion. In general, the signal strength of the read signal increases as the clearance decreases, and the signal strength of the read signal decreases as the clearance increases. By referring to this signal intensity change, the clearance (clearance change) can be measured. As a relatively accurate clearance measurement method, a method of specifying the clearance from the resolution (resolution) of the frequency component of the read signal is known (for example, see Patent Document 2).

レゾリューションは、リード信号における特定の低周波信号と高周波信号の比で表すことができ、リード信号の信号強度によるクリアランス測定方法の一つである。クリアランスが小さくなると、リード信号の高周波成分の振幅が低周波成分の振幅と比較して大きくなり、レゾリューションが高くなる。反対に、クリアランスが大きくなると、リード信号の高周波成分の振幅が低周波成分の振幅と比較して小さくなり、レゾリューションが低くなる。特許文献2は、さらに、異なる半径位置におけるクリアランス測定値の比を算出することで、クリアランス専用データを使用することなく、クリアランスの変化を特定する方法を開示している。   The resolution can be expressed by a ratio of a specific low frequency signal to a high frequency signal in the read signal, and is one of clearance measuring methods based on the signal strength of the read signal. When the clearance decreases, the amplitude of the high frequency component of the read signal increases compared to the amplitude of the low frequency component, and the resolution increases. On the other hand, when the clearance increases, the amplitude of the high frequency component of the read signal becomes smaller than the amplitude of the low frequency component, resulting in low resolution. Patent Document 2 further discloses a method of specifying a change in clearance by calculating a ratio of measured clearance values at different radial positions without using clearance-dedicated data.

特開2008−47241号公報JP 2008-47241 A 特開2004−111022号公報JP 2004-111022 A

しかし、発明者らは、上述のような気圧の変化による比較的ゆっくりとしたクリアランス変化に加え、ヘッド・スライダをランプから磁気ディスクに移動(ロード)した直後において、時間の経過と共にクリアランスが変化することを見出した。そのクリアランス変化の速さは、気圧によるクリアランス変化と比較して、ずっと速い。具体的には、クリアランスは、ロード後の数分間において時間の経過と共に徐々に減少し、そして、特定の値に収束する。   However, the inventors change the clearance as time elapses immediately after the head slider is moved (loaded) from the ramp to the magnetic disk in addition to the relatively slow clearance change due to the change in atmospheric pressure as described above. I found out. The speed of the clearance change is much faster than the clearance change due to atmospheric pressure. Specifically, the clearance gradually decreases with the passage of time in a few minutes after loading, and converges to a specific value.

このクリアランス変化はスライダの付着物によるものであると考えられる。クリアランスは、スライダへの磁気ディスク上の潤滑剤の付着によって変化する。一般に、ヘッド・スライダの磁気ディスクに対向する浮上面に潤滑剤が広く薄く付着すると、付着した潤滑剤の表面が新たな浮上面として作用し、スライダ本体が上昇する。このため、ヘッド素子部と磁気ディスクとの間のクリアランスが増加する。   This change in clearance is considered to be due to slider deposits. The clearance varies depending on the adhesion of the lubricant on the magnetic disk to the slider. In general, when the lubricant adheres widely and thinly to the air bearing surface facing the magnetic disk of the head slider, the surface of the adhering lubricant acts as a new air bearing surface, and the slider body rises. For this reason, the clearance between the head element portion and the magnetic disk increases.

しかし、ヘッド・スライダが磁気ディスク上を浮上している間に、浮上面における高い空気圧によって、浮上面上の液体付着物はスライダの側面(主にトレーリング端面)へと徐々に移動し、浮上面上の付着物が減少する。浮上面上の付着物が減少すると、スライダの浮上高が減少し、それと共にヘッド素子部と磁気ディスクとの間のクリアランスも減少する。浮上面の付着物の減少が終了して付着物量が一定となると、クリアランスも一定値において安定する。   However, while the head slider floats on the magnetic disk, liquid deposits on the air bearing surface gradually move to the side of the slider (mainly the trailing end surface) due to high air pressure on the air bearing surface. Deposits on the surface are reduced. When the amount of deposits on the flying surface decreases, the flying height of the slider decreases, and the clearance between the head element unit and the magnetic disk also decreases. When the reduction of deposits on the air bearing surface is completed and the deposit amount becomes constant, the clearance is stabilized at a constant value.

図4は、ヘッド・スライダがランプから磁気ディスク上に移動(ロード)してからの経過時間と、ヘッド素子部と磁気ディスクとの間のクリアランス変化(スライダの浮上高変化に相当)との関係を示す測定結果である。図4は、3つのヘッド・スライダの測定データを示している。X軸の時間単位は分であり、Y軸はクリアランスの変化(nm)を示している。ロードのタイミングが開始時間(0分)である。クリアランスはロード直後から急激に減少し、その後、一定値に収束している。クリアランアスの減少速度は、ロード直後が大きく、その後徐々に小さくなっている。この0秒から一定値に収束するまでクリアランス変化は、磁気ディスク上を浮上しているヘッド・スライダの付着物の移動によるクリアランス変化と考えられる。   FIG. 4 shows the relationship between the elapsed time after the head slider moves (loads) from the ramp onto the magnetic disk and the change in the clearance between the head element and the magnetic disk (corresponding to the change in the flying height of the slider). It is the measurement result which shows. FIG. 4 shows measurement data of three head sliders. The time unit on the X axis is minutes, and the Y axis indicates the change in clearance (nm). The load timing is the start time (0 minutes). Clearance decreases sharply immediately after loading and then converges to a constant value. The decrease rate of clear run is large immediately after loading and then gradually decreases. The change in clearance from 0 seconds until it converges to a constant value is considered to be a change in clearance due to the movement of the adhering matter on the head slider floating on the magnetic disk.

一般に、気圧は、HDDの起動後に大きく変化することはない。起動後にそのような変化が起きる場合も、クリアランスに影響するレベルの変化は、数十分あるいは数時間のタイム・スパンで起きる。これに対して、付着物を起因とするクリアランス変化はロードから数分の範囲で起きるものであり、これらの間には、時間に対する変化率の大きさの差異が存在する。   In general, the atmospheric pressure does not change greatly after the HDD is started. Even if such a change occurs after start-up, the change in level affecting the clearance occurs over a time span of tens of minutes or hours. On the other hand, the clearance change caused by the deposit occurs within a few minutes from the load, and there is a difference in the rate of change with time.

典型的に、HDDは、起動時(ロード後すぐ)の初期設定処理において、クリアランスの測定を行い、その測定値に応じてその後のクリアランス制御を行う。HDDは起動後にできるだけ早くレディ状態となることが要求されており、初期設定処理に許されている時間は限られている。付着物によるクリアランス変化は数分の間続くため、クリアランスが一定になるまで待つことはできない。すなわちHDDは、付着物によるクリアランス変化が重畳されている期間内にクリアランス測定を終了し、その情報だけで、付着物によるクリアランス変化がなくなった後までのクリアランス制御を行うことが必要となる。   Typically, the HDD measures the clearance in the initial setting process at startup (immediately after loading), and performs subsequent clearance control according to the measured value. The HDD is required to be ready as soon as possible after startup, and the time allowed for the initial setting process is limited. The clearance change due to deposits continues for several minutes, so it cannot wait until the clearance becomes constant. That is, it is necessary for the HDD to complete the clearance measurement within a period in which the clearance change due to the deposit is superimposed, and to perform the clearance control until the clearance change due to the deposit disappears only by the information.

上述のようにクリアランスは、付着物による比較的急激な変化と、気圧による比較的ゆっくりとした変化(起動後は実質無変化)とを示す。しかし従来のクリアランス測定方法では、それら二種類のクリアランス変化の合算分を測定することしかできず、それぞれの寄与度を特定することはできなかった。   As described above, the clearance shows a relatively abrupt change due to the deposit and a relatively slow change due to the atmospheric pressure (substantially no change after activation). However, the conventional clearance measurement method can only measure the sum of these two types of clearance changes, and cannot determine the degree of contribution of each.

より高精度なクリアランス測定を行うためには、クリアランス測定において、上記二種類の寄与度(異なる要因によるそれぞれのクリアランス変化量)を特定する(切り分ける)ことができる技術が望まれる。   In order to perform more accurate clearance measurement, a technique that can specify (separate) the above two types of contributions (respective clearance change amounts due to different factors) in clearance measurement is desired.

本発明の一態様のディスク・ドライブは、データを記憶するディスクと、前記ディスク上を浮上するヘッド・スライダと、前記ヘッド・スライダを前記ディスクで移動する移動機構と、前記ヘッド・スライダと前記ディスクとの間のクリアランスを異なる半径位置において測定し、それらの測定結果と予め設定されている係数とを使用して、前記ヘッド・スライダのクリアランス変化における異なる要因の寄与分を算出する、コントローラとを有する。これにより、クリアランス測定の結果から、異なる要因によるクリアランス変化量をそれぞれ特定することができる。   A disk drive according to an aspect of the present invention includes a disk that stores data, a head slider that floats on the disk, a moving mechanism that moves the head slider with the disk, the head slider, and the disk A controller for calculating the contribution of different factors in the clearance change of the head slider using the measurement result and a preset coefficient, Have. As a result, the clearance change amount due to different factors can be specified from the clearance measurement result.

好ましくは、前記ディスク・ドライブは前記ヘッド・スライダと前記ディスクとの間のクリアランスを調整する機構を有し、前記コントローラは前記算出した寄与分に応じて、前記機構により前記ヘッド・スライダのクリアランスを制御する。これにより、より高精度のクリアランス制御を行うことができる。   Preferably, the disk drive has a mechanism for adjusting a clearance between the head slider and the disk, and the controller controls the clearance of the head slider by the mechanism according to the calculated contribution. Control. Thereby, more accurate clearance control can be performed.

好ましい構成において、前記コントローラは起動時における初期設定処理において前記異なる半径位置におけるクリアランス測定と前記算出を行い、前記クリランスは前記異なる要因の内の第1の要因によって前記クリアランス測定時において変化中であり、前記異なる要因の内の第2の要因によって前記クリアランス測定時に変化していない。これにより、性質の異なる二つの要因によるクリアランス変化量を効果的に切り分けることができる。さらに、好ましい構成において、前記第1の要因は前記ヘッド・スライダ上の付着物であり、前記第2の要因は気圧である。これにより、付着物と気圧とによるクリアランス変化量を効果的に切り分けることができる。   In a preferred configuration, the controller performs the clearance measurement and the calculation at the different radial positions in the initial setting process at start-up, and the clearance is changing at the time of the clearance measurement due to a first factor among the different factors. The second factor among the different factors does not change during the clearance measurement. Thereby, the amount of clearance change due to two factors having different properties can be effectively separated. Furthermore, in a preferred configuration, the first factor is a deposit on the head slider, and the second factor is an atmospheric pressure. Thereby, the amount of clearance change due to the deposit and the atmospheric pressure can be effectively separated.

好ましい構成において、前記ディスク・ドライブは前記ヘッド・スライダと前記ディスクとの間のクリアランスを調整する機構を有し、前記コントローラは、前記付着物によるクリアランス変化を補償してクリアランス変化における気圧変化の寄与分を算出し、前記初期設定処理後において、前記算出した寄与分に応じて前記ヘッド・スライダのクリアランスを前記調整機構により制御する。これにより、気圧変化に応じたクリアランス制御をより高精度に行うことができる。   In a preferred configuration, the disk drive has a mechanism for adjusting a clearance between the head slider and the disk, and the controller compensates for a clearance change due to the deposit and contributes to a change in atmospheric pressure in the clearance change. Minutes are calculated, and after the initial setting process, the clearance of the head slider is controlled by the adjusting mechanism in accordance with the calculated contributions. Thereby, the clearance control according to the atmospheric pressure change can be performed with higher accuracy.

好ましい構成において、前記コントローラは、前記算出した前記付着物の寄与分と予め設定されている係数とを使用して、前記測定後の前記付着物によるクリアランス変化を推定して前記ヘッド・スライダのクリアランスを前記調整機構により制御する。これにより、付着物によるクリアランス変化に応じたクリアランス制御をより高精度に行うことができる。   In a preferred configuration, the controller uses the calculated contribution of the deposit and a coefficient set in advance to estimate a clearance change due to the deposit after the measurement to thereby determine the clearance of the head slider. Is controlled by the adjusting mechanism. Thereby, the clearance control according to the clearance change by a deposit | attachment can be performed with high precision.

好ましい構成において、前記コントローラは、前記異なる半径位置における測定データを前記ヘッド・スライダで読み出し、その読み出した信号のレゾリューションを使用して前記クリアランスを測定し、前記異なる半径位置におけるレゾリューションの測定に異なる周波数の信号成分を使用する。これにより、測定データの劣化によるクリアランス寄与分を算出することができる。   In a preferred configuration, the controller reads the measurement data at the different radial positions with the head slider, measures the clearance using the resolution of the read signal, and determines the resolution at the different radial positions. Use signal components of different frequencies for measurement. As a result, the clearance contribution due to the degradation of the measurement data can be calculated.

本発明の他の態様は、ディスク・ドライブにおけるヘッド・スライダとディスクとの間のクリアランス測定方法である。この方法は、ヘッド・スライダを第1の半径位置に位置決めする。前記第1の半径位置においてクリアランスを測定する。前記ヘッド・スライダを第2の半径位置に位置決めする。前記第2の半径位置においてクリアランスを測定する。前記第1及び第2の半径位置における測定結果と予め設定されている係数とを使用して、前記ヘッド・スライダのクリアランス変化における異なる要因の寄与分を算出する。これにより、クリアランス測定の結果から、異なる要因によるクリアランス変化量をそれぞれ特定することができる。
さらに、前記算出した寄与分に応じて、前記ヘッド・スライダのクリアランスを制御することが好ましい。これにより、より高精度のクリアランス制御を行うことができる。
Another aspect of the present invention is a method for measuring a clearance between a head slider and a disk in a disk drive. This method positions the head slider at a first radial position. The clearance is measured at the first radial position. The head slider is positioned at a second radial position. The clearance is measured at the second radial position. Using the measurement results at the first and second radial positions and a preset coefficient, the contribution of different factors in the change in the clearance of the head slider is calculated. As a result, the clearance change amount due to different factors can be specified from the clearance measurement result.
Furthermore, it is preferable to control the clearance of the head slider according to the calculated contribution. Thereby, more accurate clearance control can be performed.

好ましい構成において、起動時における初期設定処理において前記異なる半径位置におけるクリアランス測定と前記算出を行い、前記クリランスは、前記異なる要因の内の第1の要因によって前記クリアランス測定時において変化中であり、前記異なる要因の内の第2の要因によって前記クリアランス測定時に変化していない。これにより、性質の異なる二つの要因によるクリアランス変化量を効果的に切り分けることができる。   In a preferred configuration, the clearance measurement at the different radial positions and the calculation are performed in the initial setting process at the time of startup, and the clearance is changing at the time of the clearance measurement due to a first factor among the different factors, It does not change during the clearance measurement due to a second factor among the different factors. Thereby, the amount of clearance change due to two factors having different properties can be effectively separated.

好ましい構成において、前記第1の要因は前記ヘッド・スライダ上の付着物であり、前記第2の要因は気圧である。これにより、付着物と気圧とによるクリアランス変化量を効果的に切り分けることができる。   In a preferred configuration, the first factor is a deposit on the head slider, and the second factor is atmospheric pressure. Thereby, the amount of clearance change due to the deposit and the atmospheric pressure can be effectively separated.

好ましくは、さらに、前記ヘッド・スライダを第3の半径位置に位置決めし、前記第3の半径位置においてクリアランスを測定し、前記第1、第2及び第3の半径位置における測定結果と予め設定されている係数とを使用して、前記ヘッド・スライダのクリアランス変化における異なる要因の寄与分を算出する。これにより、少なくとも3つの異なる要因によるクリアランス変化量をそれぞれ特定することができる。   Preferably, the head slider is positioned at a third radial position, a clearance is measured at the third radial position, and the measurement results at the first, second and third radial positions are preset. The contribution of different factors in the change in the clearance of the head slider is calculated. Thereby, the amount of clearance change due to at least three different factors can be specified respectively.

好ましい構成において、前記付着物によるクリアランス変化を補償してクリアランス変化における気圧変化の寄与分を算出し、前記初期設定処理後において、前記算出した寄与分に応じて前記ヘッド・スライダのクリアランスを前記調整機構により制御する。これにより、気圧変化に応じたクリアランス制御をより高精度に行うことができる。   In a preferred configuration, the clearance change due to the deposit is compensated to calculate a contribution of atmospheric pressure change in the clearance change, and after the initial setting process, the head slider clearance is adjusted according to the calculated contribution Control by mechanism. Thereby, the clearance control according to the atmospheric pressure change can be performed with higher accuracy.

好ましい構成において、前記算出した前記付着物の寄与分と予め設定されている係数とを使用して、前記測定後の前記付着物によるクリアランス変化を推定して前記ヘッド・スライダのクリアランスを前記調整機構により制御する、これにより、付着物によるリアランス変化に応じてクリアランス制御をより高精度に行うことができる。   In a preferred configuration, the calculated contribution of the deposit and a coefficient set in advance are used to estimate a clearance change due to the deposit after the measurement, thereby adjusting the clearance of the head slider by the adjustment mechanism. Thus, the clearance control can be performed with higher accuracy in accordance with the change in the balance caused by the deposit.

好ましい構成において、前記異なる半径位置における測定データを前記ヘッド・スライダで読み出し、その読み出した信号のレゾリューションを使用して前記クリアランスを測定し、前記異なる半径位置におけるレゾリューションの測定に異なる周波数の信号成分を使用する。これにより、測定データの劣化によるクリアランス寄与分を算出することができる。   In a preferred configuration, the measurement data at the different radial positions is read by the head slider, the clearance is measured using the resolution of the read signal, and the different frequencies are used for measuring the resolution at the different radial positions. The signal component of is used. As a result, the clearance contribution due to the degradation of the measurement data can be calculated.

本発明によれば、クリアランス測定の結果から、異なる要因によるクリアランス変化量をそれぞれ特定することができる。   According to the present invention, the amount of clearance change due to different factors can be specified from the result of clearance measurement.

本実施形態において、HDDの全体構成を模式的に示すブロック図である。In this embodiment, it is a block diagram which shows typically the whole structure of HDD. 本実施形態において、TFCのためのヒータを備えたヘッド・スライダの構成を模式的示す断面図である。In this embodiment, it is sectional drawing which shows typically the structure of the head slider provided with the heater for TFC. 本実施形態において、2変数によるクリアランス変化を測定する処理の流れを示すフローチャートである。In this embodiment, it is a flowchart which shows the flow of the process which measures the clearance change by two variables. ヘッド・スライダがランプから磁気ディスク上に移動してからの経過時間と、ヘッド素子部と磁気ディスクとの間のクリアランス変化との関係を示す測定結果である。It is a measurement result which shows the relationship between the elapsed time after a head slider moves on a magnetic disk from a lamp | ramp, and the clearance change between a head element part and a magnetic disk.

以下に、本発明を適用した実施の形態を説明する。説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略及び簡略化がなされている。又、各図面において、同一要素には同一の符号が付されており、説明の明確化のため、必要に応じて重複説明は省略されている。以下においては、ディスク・ドライブの一例であるハードディスク・ドライブ(HDD)に本発明を適用した実施形態を説明する。   Embodiments to which the present invention is applied will be described below. For clarity of explanation, the following description and drawings are omitted and simplified as appropriate. Moreover, in each drawing, the same code | symbol is attached | subjected to the same element and the duplication description is abbreviate | omitted as needed for clarification of description. In the following, an embodiment in which the present invention is applied to a hard disk drive (HDD) which is an example of a disk drive will be described.

本形態のHDDは、ヘッド素子部と磁気ディスクとの間のクリアランス測定にその特徴を有している。また、好ましい態様において、HDDは、上記の測定結果に応じてクリアランス制御を行う。本形態のHDDは、クリアランス測定結果から、クリアランス変化における複数の異なる要因の寄与度を算出する。クリアランスの時間に対する変化は、要因によって異なる。クリアランスは、特定の要因によって(相対的に)急速に変化し、他の特定の要因によって(相対的に)ゆっくりと変化する。   The HDD of this embodiment is characterized by measuring the clearance between the head element portion and the magnetic disk. In a preferred embodiment, the HDD performs clearance control according to the measurement result. The HDD according to this embodiment calculates the contributions of a plurality of different factors in the clearance change from the clearance measurement result. The change of clearance with time varies depending on factors. Clearance changes rapidly (relatively) by certain factors and slowly (relatively) by other specific factors.

例えば、ロード後のスライダ上の付着物によるクリアランス変化は急速である。一方、気圧変化(によるクリアランス変化)はゆっくりであり、一般のHDDの制御において、起動後におけるクリアランス変化(気圧変化)は生じないと見なすことができる。このように、クリアランス変化をもたらす異なる要因によるそれぞれの寄与分を算出(特定)することで、クリアランス変化をもたらした要素(気圧や付着物)の変化を特定することができる。   For example, the clearance change due to the deposit on the slider after loading is rapid. On the other hand, the change in atmospheric pressure (change in clearance) is slow, and it can be considered that the change in clearance (change in atmospheric pressure) after startup does not occur in general HDD control. In this way, by calculating (specifying) the respective contributions due to different factors that cause the clearance change, it is possible to specify changes in the elements (atmospheric pressure and deposits) that cause the clearance change.

また、HDDがクリアランスを制御する場合、HDDはクリアランス変化の要因に応じて高精度のクリアランス制御を行うことができる。なお、特定の要因の寄与分の算出は、制御に使用するためにその値を明示的に算出するほか、他の要因の寄与分の算出における演算に一つの要因による寄与分が含まれている場合も含む。例えば、一つの要因によるクリアランス変化(寄与分)を直接的に算出する演算において、他の要因によるクリアランス変化をクリアランス測定価から除去することは、その他の要因によるクリアランス変化を間接的に特定(算出)している。   Further, when the HDD controls the clearance, the HDD can perform high-accuracy clearance control according to the cause of the clearance change. In addition to calculating the contribution of a specific factor, the value is explicitly calculated for use in control, and the calculation for calculating the contribution of another factor includes the contribution of one factor. Including cases. For example, in a calculation that directly calculates the clearance change (contribution) due to one factor, removing the clearance change due to another factor from the clearance measurement value indirectly identifies (calculates) the clearance change due to the other factor. )doing.

本形態のHDDは、磁気ディスク上の異なる半径位置(トラック)においてリード素子により磁気ディスク上のデータを読み出し、そのリード信号からそれぞれの半径位置におけるクリアランスを測定する。さらに、HDDは、それらの測定値から、異なる要因によるクリアランス変化量をそれぞれ特定する。本形態のクリアランス測定のより具体的な方法は後述する。   The HDD of this embodiment reads data on a magnetic disk by a read element at different radial positions (tracks) on the magnetic disk, and measures the clearance at each radial position from the read signal. Further, the HDD identifies the amount of clearance change due to different factors from these measured values. A more specific method of clearance measurement of this embodiment will be described later.

上述のように、好ましい態様において、HDDはクリアランスを調整する仕組みを有している。クリアランスを調整する仕組みの一つは、ヘッド・スライダに形成されたヒータを有している。HDDは、スライダ上のヒータからの発熱を制御することで、ヘッド素子部と磁気ディスクとの間のクリアランスを制御することができる。以下においては、このクリアランス調整機構を有するHDDについて詳細に説明を行う。また、このようなスライダ上のヒータを使用するクリアランス制御をTFC(Thermal Fly height Control)と呼ぶ。本発明は、ピエゾ素子やクーロン力を使用したクリアランス調整の仕組みを有するHDDにも適用することができる。   As described above, in a preferred embodiment, the HDD has a mechanism for adjusting the clearance. One mechanism for adjusting the clearance has a heater formed on the head slider. The HDD can control the clearance between the head element unit and the magnetic disk by controlling the heat generated from the heater on the slider. Hereinafter, the HDD having this clearance adjustment mechanism will be described in detail. Such clearance control using the heater on the slider is referred to as TFC (Thermal Fly height Control). The present invention can also be applied to an HDD having a clearance adjustment mechanism using a piezoelectric element or Coulomb force.

本形態のクリアランス測定及びその測定結果応じたクリアランス制御について詳細に説明を行う前に、HDDの全体構成を説明する。図1は、HDD1の全体構成を模式的に示すブロック図である。HDD1は、エンクロージャ10内に、データを記憶するディスクである磁気ディスク11を有している。スピンドル・モータ14(SPM)は、磁気ディスク11を所定の角速度で回転する。磁気ディスク11の各記録面に対応して、磁気ディスク11にアクセスするヘッド・スライダ12が設けられている。アクセスは、リード及びライトの上位概念である。各ヘッド・スライダ12は、磁気ディスク11上を浮上するスライダと、スライダ上に形成され磁気信号と電気信号との間の変換を行うヘッド素子部とを備えている。   Before describing in detail the clearance measurement of this embodiment and the clearance control according to the measurement result, the overall configuration of the HDD will be described. FIG. 1 is a block diagram schematically showing the overall configuration of the HDD 1. The HDD 1 has a magnetic disk 11 that is a disk for storing data in the enclosure 10. The spindle motor 14 (SPM) rotates the magnetic disk 11 at a predetermined angular velocity. Corresponding to each recording surface of the magnetic disk 11, a head slider 12 for accessing the magnetic disk 11 is provided. Access is a superordinate concept of read and write. Each head slider 12 includes a slider that floats on the magnetic disk 11 and a head element portion that is formed on the slider and converts between a magnetic signal and an electric signal.

本形態のヘッド・スライダ12は、熱によってヘッド素子部を膨張・突出させ、磁気ディスク11との間のクリアランスを調整するTFCのためのヒータを備えている。ヘッド・スライダ12の構造については、後に図2を参照して説明する。一つもしくは複数のヘッド・スライダ12はアクチュエータ16の先端部に固定されている。アクチュエータ16はボイス・コイル・モータ(VCM)15に連結され、揺動軸を中心に揺動することによって、ヘッド・スライダ12を回転する磁気ディスク11上においてその半径方向に移動する。アクチュエータ16とVCM15とは、ヘッド・スライダ12の移動機構である。   The head slider 12 of this embodiment includes a TFC heater that expands and protrudes the head element portion by heat and adjusts the clearance with the magnetic disk 11. The structure of the head slider 12 will be described later with reference to FIG. One or a plurality of head sliders 12 are fixed to the tip of the actuator 16. The actuator 16 is connected to a voice coil motor (VCM) 15 and moves in the radial direction on the magnetic disk 11 rotating the head slider 12 by swinging about a swing shaft. The actuator 16 and the VCM 15 are moving mechanisms for the head slider 12.

エンクロージャ10の外側に固定された回路基板20上には、回路素子が実装されている。モータ・ドライバ・ユニット22は、HDC/MPU23からの制御データに従って、SPM14及びVCM15を駆動する。RAM24は、リード・データ及びライト・データを一時的に格納するバッファとして機能する。エンクロージャ10内のアーム電子回路(AE:Arm Electronics)13は、複数のヘッド・スライダ12の中から磁気ディスク11へのアクセスを行うヘッド・スライダ12を選択し、その再生信号を増幅してリード・ライト・チャネル(RWチャネル)21に送る。また、RWチャネル21からの記録信号を選択したヘッド・スライダ12に送る。AE13は、さらに、選択したヘッド・スライダ12のヒータへ電力を供給し、その電力量を調節する調節回路として機能する。   Circuit elements are mounted on the circuit board 20 fixed to the outside of the enclosure 10. The motor driver unit 22 drives the SPM 14 and the VCM 15 according to control data from the HDC / MPU 23. The RAM 24 functions as a buffer that temporarily stores read data and write data. An arm electronic circuit (AE: Arm Electronics) 13 in the enclosure 10 selects the head slider 12 that accesses the magnetic disk 11 from among the plurality of head sliders 12, amplifies the reproduction signal, Send to the write channel (RW channel) 21. Further, the recording signal from the RW channel 21 is sent to the selected head slider 12. The AE 13 further functions as an adjustment circuit that supplies power to the heater of the selected head slider 12 and adjusts the amount of power.

RWチャネル21は、リード処理において、AE13から供給されたリード信号を一定の振幅となるように増幅し、取得したリード信号からデータを抽出し、デコード処理を行う。読み出されるデータは、ユーザ・データとサーボ・データとを含む。デコード処理されたリード・ユーザ・データ及びサーボ・データは、HDC/MPU23に転送される。また、RWチャネル21は、ライト処理において、HDC/MPU23から転送されたライト・データをコード変調し、更にコード変調されたライト・データをライト信号に変換してAE13に与える。   In the read process, the RW channel 21 amplifies the read signal supplied from the AE 13 so as to have a constant amplitude, extracts data from the acquired read signal, and performs a decoding process. The data to be read includes user data and servo data. The decoded read user data and servo data are transferred to the HDC / MPU 23. In the write process, the RW channel 21 code-modulates the write data transferred from the HDC / MPU 23, further converts the code-modulated write data into a write signal, and supplies the write signal to the AE 13.

コントローラの一例であるHDC/MPU23は、リード/ライト処理制御、コマンド実行順序の管理、サーボ信号を使用したヘッド・スライダ12のポジショニング制御(サーボ制御)、ホスト51との間のインターフェース制御、ディフェクト管理、エラーが発生した場合のエラー対応処理など、データ処理に関する必要な処理及びHDD1の全体制御を実行する。特に、本形態のHDC/MPU23は、異なる半径位置のデータ・トラックにおいてクリアランスの測定を行い、その測定結果に応じてクリアランス制御(TFC)を行う。クリアランスの測定及び制御において、HDC/MPU23は、温度センサ17の検出温度を利用する。   The HDC / MPU 23, which is an example of a controller, performs read / write processing control, command execution order management, positioning control (servo control) of the head slider 12 using servo signals, interface control with the host 51, and defect management. Necessary processing related to data processing such as error handling processing when an error occurs and overall control of the HDD 1 are executed. In particular, the HDC / MPU 23 of this embodiment measures the clearance in the data tracks at different radial positions and performs clearance control (TFC) according to the measurement result. In the measurement and control of the clearance, the HDC / MPU 23 uses the temperature detected by the temperature sensor 17.

図2は、ヘッド・スライダ12の空気流出端面(トレーリング側端面)121近傍の構成を示す断面図である。スライダ123はヘッド素子部122を支持する。ヘッド素子部122は、リード素子32とライト素子31とを有している。ライト素子31は、ライト・コイル311を流れる電流で磁極312間に磁界を生成し、磁気データを磁気ディスク11に書き込む。リード素子32は磁気異方性を有する磁気抵抗素子32aを備え、磁気ディスク11からの磁界によって変化する抵抗値によって磁気データを読み出す。   FIG. 2 is a cross-sectional view showing a configuration in the vicinity of the air outflow end surface (trailing side end surface) 121 of the head slider 12. The slider 123 supports the head element unit 122. The head element unit 122 includes a read element 32 and a write element 31. The write element 31 generates a magnetic field between the magnetic poles 312 with a current flowing through the write coil 311 and writes magnetic data to the magnetic disk 11. The read element 32 includes a magnetoresistive element 32 a having magnetic anisotropy, and reads out magnetic data by a resistance value that changes due to a magnetic field from the magnetic disk 11.

ヘッド素子部122は、スライダ123を構成するAlTiC基板に薄膜形成プロセスにより形成される。磁気抵抗素子32aは磁気シールド33a、33bによって挟まれており、ライト・コイル311は絶縁膜313で囲まれている。ライト素子31とリード素子32の周囲にアルミナなどの保護膜34が形成されている。ライト素子31及びリード素子32の近傍にはヒータ124が存在する。パーマロイなどを使用した薄膜抵抗体を蛇行させてヒータ124を形成することができる。   The head element portion 122 is formed on the AlTiC substrate constituting the slider 123 by a thin film formation process. The magnetoresistive element 32 a is sandwiched between magnetic shields 33 a and 33 b, and the write coil 311 is surrounded by an insulating film 313. A protective film 34 such as alumina is formed around the write element 31 and the read element 32. A heater 124 exists in the vicinity of the write element 31 and the read element 32. The heater 124 can be formed by meandering a thin film resistor using permalloy or the like.

AE13がヒータ124に電流を流すと、ヒータ124の熱によってヘッド素子部122の近傍が突出変形する。例えば、非加熱時において、ヘッド・スライダ12のABS面35はS1で示される形状であり、ヘッド素子部122と磁気ディスクとの間の距離であるクリアランスはC1で示されている。ヒータ124加熱時における突出形状S2を、破線で示す。ヘッド素子部122が磁気ディスク11に近づき、このときのクリアランスC2はクリアランスC1よりも小さい。なお、図2は概念図であり、寸法関係は正確ではない。ヘッド素子部122の突出量やクリアランスは、ヒータ124に供給するヒータ・パワー値に従って変化する。   When the AE 13 passes a current through the heater 124, the vicinity of the head element portion 122 is deformed by the heat of the heater 124. For example, when not heated, the ABS surface 35 of the head slider 12 has a shape indicated by S1, and a clearance, which is a distance between the head element portion 122 and the magnetic disk, is indicated by C1. The protruding shape S2 when the heater 124 is heated is indicated by a broken line. The head element portion 122 approaches the magnetic disk 11, and the clearance C2 at this time is smaller than the clearance C1. FIG. 2 is a conceptual diagram, and the dimensional relationship is not accurate. The protrusion amount and clearance of the head element portion 122 change according to the heater power value supplied to the heater 124.

好ましい構成において、HDC/MPU23は、温度変化のほか、気圧変化(高度変化ァ)に応じてクリアランスを調整する。好ましい構成において、HDD1は、温度センサ17を有しており、気圧センサを有していない。これにより、部品点数を低減する。HDC/MPU23は、設計に従った規定のタイミングでクリアランス測定を行うことで、気圧(気圧変化)を測定する。   In a preferred configuration, the HDC / MPU 23 adjusts the clearance according to a change in pressure (altitude change) in addition to a change in temperature. In a preferred configuration, the HDD 1 has a temperature sensor 17 and does not have an atmospheric pressure sensor. Thereby, the number of parts is reduced. The HDC / MPU 23 measures the atmospheric pressure (atmospheric pressure change) by measuring the clearance at a specified timing according to the design.

具体的には、HDC/MPU23は、起動時の初期設定処理において、クリアランスを測定する。また、HDC/MPU23は、起動されてから規定時間が経過した後に、クリアランス測定を行ってもよい。HDC/MPU23は、初期設定処理後においては、パフォーマンスが低下しないように、アイドリング期間(コマンド処理から開放されている期間)にクリアランス測定を行うことが好ましい。   Specifically, the HDC / MPU 23 measures the clearance in the initial setting process at startup. Further, the HDC / MPU 23 may perform the clearance measurement after a specified time has elapsed since being activated. The HDC / MPU 23 preferably performs a clearance measurement during an idling period (a period in which the command process is released) so that the performance does not deteriorate after the initial setting process.

上述のように、ヘッド素子部122と磁気ディスク11との間のクリアランスは、スライダ123の付着物の付着状態に応じて変化する。従って、HDC/MPU23は、クリアランス測定において、気圧によるクリアランス変化と付着物の状態によるクリアランス変化とを切り分け、それぞれを特定することが必要となる。このため、HDC/MPU23は、異なる半径位置のトラックにおいて、クリアランスを測定する。クリアランス測定を付着物によるクリアランス変化中に行うことができ、初期設定処理の時間を短縮することができる。   As described above, the clearance between the head element portion 122 and the magnetic disk 11 changes according to the attached state of the attached matter on the slider 123. Therefore, in the clearance measurement, the HDC / MPU 23 needs to identify the clearance change due to the atmospheric pressure and the clearance change due to the state of the deposit, and specify each. For this reason, the HDC / MPU 23 measures the clearance in tracks at different radial positions. The clearance measurement can be performed during the clearance change due to the deposit, and the time for the initial setting process can be shortened.

HDC/MPU23は、異なる半径位置におけるクリアランス測定の測定結果から、付着物によるクリアランス変化と気圧によるクリアランス変化(クリアランス変化における寄与分)のそれぞれを直接的あるいは間接的に特定する。この方法は、気圧変化に対するクリアランス変化の感度及び/もしくは、付着物の状態変化によるクリアランス変化の感度が、半径位置によって変化することを利用している。本明細書において、クリアランスの測定は、クリアランスの値の測定に加え、クリアランス変化量の測定を含む。基準値を決めることで、クリアランス変化量からクリアランスの値を決定することができる。   The HDC / MPU 23 directly or indirectly specifies the clearance change due to the deposit and the clearance change due to the atmospheric pressure (contribution to the clearance change) from the measurement results of the clearance measurement at different radial positions. This method utilizes the fact that the sensitivity of the clearance change with respect to the atmospheric pressure change and / or the sensitivity of the clearance change due to the change in the state of the deposit changes depending on the radial position. In this specification, the measurement of clearance includes measurement of a clearance change amount in addition to measurement of a clearance value. By determining the reference value, the clearance value can be determined from the clearance change amount.

異なる半径位置におけるクリアランス測定により、気圧変化によるクリアランス変化と付着物の状態変化(付着状態と付着量の双方を含む)によるクリアランス変化を特定する方法について、具体的に説明する。気圧変化によるスライダ浮上高の変化量は、半径位置によって変化するとする。また、付着物によるスライダ浮上高の変化量も半径位置によって変化するとする。以下において、基準状態からのクリアランス変化を考える。基準状態は、例えば、1気圧、30℃の環境条件において、付着物が浮上面に存在していない、つまり付着物によるスライダ浮上高への影響がない、状態である。   A specific description will be given of a method for identifying a clearance change due to a change in atmospheric pressure and a change in clearance due to a change in the state of an attached matter (including both the attached state and the attached amount) by measuring clearances at different radial positions. It is assumed that the amount of change in the slider flying height due to the change in atmospheric pressure changes depending on the radial position. In addition, it is assumed that the amount of change in the flying height of the slider due to the deposits also changes depending on the radial position. In the following, the change in clearance from the reference state will be considered. The reference state is a state in which, for example, the deposit does not exist on the flying surface under the environmental conditions of 1 atm and 30 ° C., that is, the deposit does not affect the flying height of the slider.

特定の内周側半径位置において、基準状態からの気圧変化Δpによるスライダ浮上高の変化量ΔFAiは、数式1で表すことができる
ΔFAi=Ai×Δp (数式1)
ここで、Aiは、上記特定の内周側半径位置におけるスライダ浮上高の気圧変化に対する感度を表しており、その符号は、通常、負である。これは、他のデータ・トラックにおいて同様である。この値は、HDD1の設計において測定により予め定められ、HDD1に設定登録されている。具体的には、HDD1内の磁気ディスク11やEEPROMなどの不揮発性記憶媒体に記憶されている。
The change amount ΔFAi of the slider flying height due to the atmospheric pressure change Δp from the reference state at a specific inner radius side position can be expressed by Equation 1. ΔFAi = Ai × Δp (Equation 1)
Here, Ai represents the sensitivity of the slider flying height to the atmospheric pressure change at the specific inner peripheral radius position, and the sign thereof is usually negative. This is the same for other data tracks. This value is predetermined by measurement in the design of the HDD 1 and is registered in the HDD 1. Specifically, it is stored in a nonvolatile storage medium such as a magnetic disk 11 or an EEPROM in the HDD 1.

また、上記特定の内周側半径位置において、基準状態からの付着物の状態変化Δlによるスライダ浮上高の変化量ΔFLiは、数式2で表すことができる。ここで、Δlは浮上面上の付着物の量(厚み)と見なすことができ、以下、Δlを浮上面の付着物の量(厚み)として説明する。
ΔFLi=Li×Δl (数式2)
ここで、Liは、上記特定の内周側半径位置におけるスライダ浮上高の付着物量の変化に対する感度を表しており、その符号は、通常、正である。これは、他のデータ・トラックにおいて同様である。この値は、HDD1の設計において、測定により予め定められ、HDD1内の不揮発性記憶媒体に記憶されている。
Further, the amount of change ΔFLi in the slider flying height due to the state change Δl of the deposit from the reference state at the specific inner peripheral radius position can be expressed by Equation 2. Here, Δl can be regarded as the amount (thickness) of deposits on the air bearing surface. Hereinafter, Δl will be described as the amount (thickness) of deposits on the air bearing surface.
ΔFLi = Li × Δl (Formula 2)
Here, Li represents the sensitivity of the slider flying height to the change in the amount of adhering matter at the specific inner radius side, and the sign thereof is usually positive. This is the same for other data tracks. This value is predetermined by measurement in the design of the HDD 1 and stored in a nonvolatile storage medium in the HDD 1.

次に、特定の外周側半径位置において、基準状態からの気圧変化Δpによるスライダ浮上高の変化量FAoは、数式3で表すことができる
ΔFAo=Ao×Δp (数式3)
ここで、Aoは、上記特定の外周側半径位置におけるスライダ浮上高の気圧変化に対する感度を表している。この値は、HDD1の設計において、測定により予め定められHDD1に設定登録されている。
Next, the change amount FAo of the slider flying height due to the atmospheric pressure change Δp from the reference state at a specific outer radius side position can be expressed by Equation 3 ΔFAo = Ao × Δp (Equation 3)
Here, Ao represents the sensitivity of the slider flying height to the atmospheric pressure change at the specific outer radius side position. This value is predetermined by measurement and set and registered in the HDD 1 in the design of the HDD 1.

また、上記特定の外周側半径位置において、基準状態からの浮上面上の付着物量の変化Δlによるスライダ浮上高の変化量ΔFLoは、数式4で表すことができる。
ΔFLo=Lo×Δl (数式4)
ここで、Loは、上記特定の外周側半径位置におけるスライダ浮上高の付着物状態変化に対する感度を表している。この値は、HDD1の設計において、測定により予め定められ、HDD1内の不揮発性記憶媒体に予め記憶されている。
Further, the change amount ΔFLo of the slider flying height due to the change Δl in the amount of deposit on the flying surface from the reference state at the specific outer radius side can be expressed by Equation 4.
ΔFLo = Lo × Δl (Formula 4)
Here, Lo represents the sensitivity of the slider flying height at the specific outer radius side to the change in the state of the deposit. This value is predetermined by measurement in the design of the HDD 1 and stored in advance in a nonvolatile storage medium in the HDD 1.

内周側半径位置におけるクリアランス変化量の測定値ΔFiは(ΔFAi+ΔFLi)であり、外周側半径位置におけるクリアランス変化量の測定値ΔFoは(ΔFAo+ΔFLo)である。HDC/MPU23は、これらの値を得ることができる。HDC/MPU23は、測定値と数式1〜数式4から、ΔpとΔlを算出することができる。具体的には、ΔpとΔlとは、以下の数式5、数式6で表される。
Δp=(Li×ΔFo−Lo×ΔFi)/(LiAo−LoAi) (数式5)
Δl=(Ao×ΔFi−Ai×ΔFo)/(AoLi−AiLo) (数式6)
The measured value ΔFi of the clearance change amount at the inner radius side position is (ΔFAi + ΔFLi), and the measured value ΔFo of the clearance change amount at the outer radius side position is (ΔFAo + ΔFLo). The HDC / MPU 23 can obtain these values. The HDC / MPU 23 can calculate Δp and Δl from the measured values and Equations 1 to 4. Specifically, Δp and Δl are expressed by Equations 5 and 6 below.
Δp = (Li × ΔFo−Lo × ΔFi) / (LiAo−LoAi) (Formula 5)
Δl = (Ao × ΔFi−Ai × ΔFo) / (AoLi−AiLo) (Formula 6)

数式1〜数式6を参照した上記説明において、温度によるクリアランス変化は考慮されていない。HDC/MPU23は、温度によるクリアランス変化を補償することが必要である。具体的には、HDC/MPU23は温度検出器17の検出温度を使用して、温度変化によるクリアランス変化を算出し、さらに、その値を測定したクリアランス変化から差し引く補正をすることで、温度によるクリアランス変化を補償することができる。   In the above description with reference to Equations 1 to 6, the change in clearance due to temperature is not considered. The HDC / MPU 23 needs to compensate for a change in clearance due to temperature. Specifically, the HDC / MPU 23 uses the temperature detected by the temperature detector 17 to calculate the clearance change due to the temperature change, and further corrects the clearance due to the temperature by performing a correction to be subtracted from the measured clearance change. Changes can be compensated.

あるいは、HDC/MPU23は、温度変化によるクリアランス変化を補償するように、TFCによってクリアランスを調整してもよい。HDD1の不揮発性記憶媒体には、温度検出器17の検出温度に対応したヒータ・パワー値を算出するための数式(係数を含む)が予め設定登録さされており、HDC/MPU23は、その数式と温度検出器17の検出温度とからヒータ・パワー値を決定する。   Alternatively, the HDC / MPU 23 may adjust the clearance by TFC so as to compensate the clearance change due to the temperature change. In the nonvolatile storage medium of the HDD 1, mathematical formulas (including coefficients) for calculating the heater power value corresponding to the temperature detected by the temperature detector 17 are preset and registered. The HDC / MPU 23 stores the mathematical formulas. The heater power value is determined from the detected temperature of the temperature detector 17.

HDC/MPU23は、そのヒータ・パワー値をヒータ124に与えた状態で、クリアランスを測定する。あるいは、HDC/MPU23は、TFCによる補償と補正計算による補償の双方を使用してもよい。より正確なクリアランス測定のためはクリアランスが小さいことが好ましいので、TFCによる(温度によるクリアランス変化の少なくとも一部の)補償を利用することが好ましい。   The HDC / MPU 23 measures the clearance with the heater power value applied to the heater 124. Alternatively, the HDC / MPU 23 may use both TFC compensation and compensation calculation compensation. Since it is preferable that the clearance is small for more accurate clearance measurement, it is preferable to use compensation by TFC (at least part of the clearance change due to temperature).

数式1〜数式6から理解されるように、ΔpとΔlとを算出するためには、Ao/AiとLo/Liとが異なる値であることが必要である。これら4つの係数は。ヘッド・スライダ12のデザインによって決定される。従って、Ao/AiとLo/Liとが異なる値となるように、ヘッド・スライダ12をデザインする。   As understood from Equations 1 to 6, in order to calculate Δp and Δl, it is necessary that Ao / Ai and Lo / Li have different values. These four factors. It is determined by the design of the head slider 12. Therefore, the head slider 12 is designed so that Ao / Ai and Lo / Li have different values.

スライダ浮上高の付着物量の変化に対する感度は、異なる半径位置においてもほぼ同じであることが多く、Lo/Liは実質1に近い。従ってそのような場合には、スライダ浮上高の気圧変化に対する感度が、異なる半径位置において大きく異なるように、ヘッド・スライダ12をデザインすることが好ましい。   The sensitivity of the slider flying height to changes in the amount of deposits is often the same at different radial positions, and Lo / Li is substantially close to 1. Therefore, in such a case, it is preferable to design the head slider 12 so that the sensitivity of the slider flying height to the atmospheric pressure change is greatly different at different radial positions.

クリアランスを測定するいくつかの方法があり、本発明はいずれのクリアランス測定方法を使用することもできる。好ましいクリアランス測定方法は、ヘッド・スライダ12が読み出した信号の振幅を使用する。リード信号振幅を使用するクリアランス測定方法の中で、レゾリューションを使用するものが測定精度の点において好ましい。以下において、レゾリューションを使用してクリアランスを測定する例を説明する。レゾリューションは、リード信号における特定の低周波信号と高周波信号の比で表すことができる。クリアランスが小さくなると、リード信号の高周波成分の振幅が大きくなり、レゾリューションが高くなる。   There are several ways to measure clearance, and the present invention can use any clearance measurement method. A preferred clearance measurement method uses the amplitude of the signal read by the head slider 12. Among the clearance measurement methods using the read signal amplitude, the one using resolution is preferable in terms of measurement accuracy. Hereinafter, an example in which the clearance is measured using the resolution will be described. The resolution can be expressed as a ratio of a specific low frequency signal and high frequency signal in the read signal. When the clearance is reduced, the amplitude of the high-frequency component of the read signal is increased and the resolution is increased.

レゾリューションに適当な線形変換を施すことにより、クリアランスをレゾリューションの一次関数で表すことができる。典型的には、レゾリューションとクリアランスとを結びつける一次関数は、個々のヘッド・スライダ12毎に異なる。各ヘッド・スライダ12のレゾリューションとクリアランスとの間の関係は、HDD1の製造におけるテスト工程において特定し、その関係に応じた制御パラメータをHDD1の不揮発性記憶媒体(磁気ディスク11あるいはEEPROM)に登録する。   By applying an appropriate linear transformation to the resolution, the clearance can be expressed as a linear function of the resolution. Typically, the linear function that links the resolution and the clearance is different for each head slider 12. The relationship between the resolution and the clearance of each head slider 12 is specified in a test process in manufacturing the HDD 1, and control parameters corresponding to the relationship are stored in the nonvolatile storage medium (magnetic disk 11 or EEPROM) of the HDD 1. sign up.

次に、起動時の初期設定処理におけるクリアランス測定について、図3のフローチャートを参照してより具体的に説明する。HDC/MPU23は、上記数式1〜数式6の関係を利用して、気圧によるクリアランス変化量と付着物の状態によるクリアランス変化の一方もしくは双方を特定する。HDC/MPU23は、以下の説明する処理と同様の処理を、初期設定処理後の規定のタイミングで行ってもよい。   Next, the clearance measurement in the initial setting process at the time of activation will be described more specifically with reference to the flowchart of FIG. The HDC / MPU 23 specifies one or both of the clearance change amount due to the atmospheric pressure and the clearance change due to the state of the deposit using the relationship of the above Equations 1 to 6. The HDC / MPU 23 may perform processing similar to the processing described below at a specified timing after the initial setting processing.

図3に示すように、電源がONされてHDD1が起動されると、HDC/MPU23は、起動時の初期設定処理を開始する(S11)。その処理の中で、HDC/MPU23は、一つのヘッド・スライダ12を選択し(S12)、アクチュエータ16をモータ・ドライバ・ユニット22を介して制御して、そのヘッド・スライダ12を規定の第1の半径位置(データ・トラック)に移動し、そこで位置決めする(S13)。HDC/MPU23は、その第1の半径位置において、ヘッド素子部122と磁気ディスク11との間のクリアランスを測定する(S14)。具体的には、HDC/MPU23は、ヘッド・スライダ12を使用してデータ・トラック上のレゾリューション測定用のデータを読み出し、そのレゾリューションから第1の半径位置におけるクリアランスを算出する。   As shown in FIG. 3, when the power is turned on and the HDD 1 is activated, the HDC / MPU 23 starts an initial setting process at the time of activation (S11). During the processing, the HDC / MPU 23 selects one head slider 12 (S12), controls the actuator 16 via the motor driver unit 22, and controls the head slider 12 to the prescribed first slider. Is moved to a radial position (data track) and positioned there (S13). The HDC / MPU 23 measures the clearance between the head element unit 122 and the magnetic disk 11 at the first radial position (S14). Specifically, the HDC / MPU 23 reads the resolution measurement data on the data track using the head slider 12 and calculates the clearance at the first radial position from the resolution.

全てのヘッド・スライダ12によって、それぞれの第1半径位置におけるクリアランス測定を終了していない場合(S15におけるN)、HDC/MPU23は他のヘッド・スライダ12を選択し(ヘッド・スイッチ)(S12)、そのヘッド・スライダ12の第1の半径位置に位置決めする(S13)。HDC/MPU23は、さらに、その第1の半径位置において、クリアランスを測定する(S14)。   When the clearance measurement at each first radial position has not been completed by all the head sliders 12 (N in S15), the HDC / MPU 23 selects another head slider 12 (head switch) (S12). The head slider 12 is positioned at the first radial position (S13). The HDC / MPU 23 further measures the clearance at the first radial position (S14).

HDC/MPU23は、上述のように、レゾリューション測定値からクリアランスを算出する。第1の半径位置のサーボ・アドレス(半径位置)は、記録面(ヘッド・スライダ12)毎に異なっていてもよく、同じであってもよい。処理効率の点からは、各記録面の第1の半径位置が近いことが好ましく、同一であることがさらに好ましい。   The HDC / MPU 23 calculates the clearance from the resolution measurement value as described above. The servo address (radius position) of the first radial position may be different for each recording surface (head slider 12), or may be the same. From the viewpoint of processing efficiency, the first radial position of each recording surface is preferably close, and more preferably the same.

全てのヘッド・スライダ12によって、第1半径位置におけるクリアランス測定を終了している場合(S15におけるY)、HDC/MPU23は、一つのヘッド・スライダ12を選択して(S16)、第1半径位置と異なる第2の半径位置(データ・トラック)にそのヘッド・スライダ12(アクチュエータ16)を移動し、そこに位置決めする(S17)。   When the clearance measurement at the first radial position has been completed by all the head sliders 12 (Y in S15), the HDC / MPU 23 selects one head slider 12 (S16), and the first radial position is reached. The head slider 12 (actuator 16) is moved to a second radial position (data track) different from the above and positioned there (S17).

HDC/MPU23は、第2の半径位置において、シークに使用したヘッド・スライダ12のヘッド素子部122と磁気ディスク11との間のクリアランスを測定する(S18)。具体的には、HDC/MPU23は、ヘッド・スライダ12を使用してデータ・トラック上のレゾリューション測定用のデータを読み出し、そのレゾリューションから第2の半径位置におけるクリアランスを算出する。   The HDC / MPU 23 measures the clearance between the head element portion 122 of the head slider 12 used for seeking and the magnetic disk 11 at the second radial position (S18). Specifically, the HDC / MPU 23 reads the resolution measurement data on the data track using the head slider 12 and calculates the clearance at the second radial position from the resolution.

全てのヘッド・スライダ12によって、それぞれの第2半径位置におけるクリアランス測定を終了していない場合(S19におけるN)、HDC/MPU23は他のヘッド・スライダ12を選択し(ヘッド・スイッチ)(S16)、そのヘッド・スライダ12の第2の半径位置に位置決めする(S17)。HDC/MPU23は、さらに、その第2の半径位置において、レゾリューションを使用してクリアランスを測定する(S18)。第2の半径位置のサーボ・アドレス(半径位置)は、記録面(ヘッド・スライダ12)毎に異なっていてもよく、同じであってもよい。処理効率の点からは、各記録面の第2の半径位置が近いことが好ましく、同一であることがさらに好ましい。   If all the head sliders 12 have not finished the clearance measurement at the second radial position (N in S19), the HDC / MPU 23 selects another head slider 12 (head switch) (S16). Then, the head slider 12 is positioned at the second radial position (S17). The HDC / MPU 23 further measures the clearance using the resolution at the second radial position (S18). The servo address (radial position) of the second radial position may be different for each recording surface (head slider 12), or may be the same. From the viewpoint of processing efficiency, the second radial position of each recording surface is preferably close, and more preferably the same.

全てのヘッド・スライダ12によって、第2半径位置におけるクリアランス測定を終了している場合(S19におけるY)、HDC/MPU23は、測定の結果から、各ヘッド・スライダ12における、気圧変化による基準状態からのクリアランス変化量と付着物による基準状態からのクリアランス変化量とを算出する(S20)。HDC/MPU23は、上記数式5と数式6とからこれらを算出することができる。   When the clearance measurement at the second radial position has been completed by all the head sliders 12 (Y in S19), the HDC / MPU 23 determines from the reference state due to the change in atmospheric pressure in each head slider 12 from the measurement result. The clearance change amount and the clearance change amount from the reference state due to the deposit are calculated (S20). The HDC / MPU 23 can calculate these from Equation 5 and Equation 6.

HDC/MPU23は、一つのヘッド・スライダ12のみを使用したクリアランス測定から気圧変化を求めることができる。しかし、好ましくは、HDC/MPU23は、複数のヘッド・スライダ12の測定結果から、基準状態からの気圧変化を算出する。具体的には、HDC/MPU23は、全てのヘッド・スライダ12による気圧の測定値の平均値を使用する、あるいは、最大値と最小値を除いた測定値の平均値を使用する。その後、HDC/MPU23は、特定した気圧及び付着物の状態に応じて、クリアランス制御を行う。   The HDC / MPU 23 can obtain the change in atmospheric pressure from the clearance measurement using only one head slider 12. However, preferably, the HDC / MPU 23 calculates the change in atmospheric pressure from the reference state from the measurement results of the plurality of head sliders 12. Specifically, the HDC / MPU 23 uses the average value of the measured pressure values of all the head sliders 12, or uses the average value of the measured values excluding the maximum value and the minimum value. Thereafter, the HDC / MPU 23 performs clearance control according to the specified atmospheric pressure and the state of the deposit.

HDC/MPU23は、シークのための時間を短縮するため、上述のように第1の半径位置において全てのヘッド・スライダ12のクリアランス測定を行った後、第2の半径位置に移動して全てのヘッド・スライダ12のクリアランス測定を行鵜ことが好ましい。設計によっては、HDC/MPU23は、選択したヘッド・スライダ12の第1半径位置と第2半径位置のクリアランス測定を行った後に、次のヘッド・スライダ12を選択して第1半径位置と第2半径位置のクリアランス測定を行ってもよい。   The HDC / MPU 23 measures the clearance of all the head sliders 12 at the first radial position as described above in order to shorten the time for seeking, and then moves to the second radial position to move all the sliders to the second radial position. It is preferable to measure the clearance of the head slider 12. Depending on the design, the HDC / MPU 23 performs the clearance measurement between the first radial position and the second radial position of the selected head slider 12, and then selects the next head slider 12 to select the first radial position and the second radial position. You may measure the clearance of a radial position.

上述のように、本形態のHDC/MPU23は、温度及び気圧に応じたTFCを行う。一般のHDD1の制御において、起動後における異なるタイミングのクリアランス測定の間には、気圧は変化しない。HDC/MPU23は、クリアランス測定において特定した(基準状態のデフォルト値からの)気圧変化量に応じて、それによるクリアランス変化を補償するようにヒータ・パワーを増減する。   As described above, the HDC / MPU 23 of the present embodiment performs TFC according to temperature and atmospheric pressure. In the control of the general HDD 1, the atmospheric pressure does not change during the clearance measurement at different timings after activation. The HDC / MPU 23 increases or decreases the heater power so as to compensate for the change in clearance according to the amount of change in atmospheric pressure (from the default value in the reference state) specified in the clearance measurement.

基準状態のデフォルト気圧が1気圧である場合、使用環境における気圧は、その値以下であることが一般的である。スライダ浮上高は、気圧低下により下がるため、HDC/MPU23はヒータ・パワーを減少させて、突出量を小さくする。気圧変化に対するクリアランス変化の感度が半径位置や気温などの値によって変化する場合、補償量はそれらの値によって変化する。   When the default atmospheric pressure in the reference state is 1 atmospheric pressure, the atmospheric pressure in the use environment is generally equal to or lower than that value. Since the slider flying height decreases due to a decrease in atmospheric pressure, the HDC / MPU 23 decreases the heater power to reduce the protrusion amount. When the sensitivity of the clearance change with respect to the atmospheric pressure changes depending on values such as the radial position and the air temperature, the compensation amount changes depending on those values.

高精度のクリアランス制御のためには、HDC/MPU23は、付着物の状態(浮上面上の付着物量)に応じてクリアランス制御を行うことが好ましい。HDC/MPU23は、付着物によるクリアランスの変化中にクリアランス測定を行っており、付着物によるクリアランス変化はクリアランス測定後にも続く。その変化は、図4に示すように、指数関数で近似することができる。   For high-accuracy clearance control, the HDC / MPU 23 preferably performs clearance control according to the state of the deposit (the amount of deposit on the air bearing surface). The HDC / MPU 23 performs the clearance measurement during the change of the clearance due to the deposit, and the clearance change due to the deposit continues even after the clearance measurement. The change can be approximated by an exponential function as shown in FIG.

付着物によるクリアランス変化量、つまり、浮上面上の付着物量Δl(基準状態で0)は、時間に対して指数関数的に減少する。具体的には、クリアランス測定後の付着物量(基準状態からの付着物量の変化)Δlは、その測定値Δl_mを使用して、Δl=Δl_m×exp(−time/T)と表すことができる。timeは測定からの経過時間、Tは減衰の時定数である。HDC/MPU23は、測定値と上記数式から算出したΔlによって、クリアランス測定後の付着物によるクリアランス変化を推定し、推定したクリアランス変化を補償するように、ヒータ・パワーを制御する。時定数Tが温度や半径位置によって変化する場合、補償量もそれらに応じて変化する。   The amount of change in clearance due to deposits, that is, the amount of deposits Δl on the air bearing surface (0 in the reference state) decreases exponentially with time. Specifically, the amount of deposit Δl (change in the amount of deposit from the reference state) Δl after the clearance measurement can be expressed as Δl = Δl_m × exp (−time / T) using the measured value Δl_m. time is the elapsed time from the measurement, and T is the time constant of attenuation. The HDC / MPU 23 estimates the clearance change due to the deposit after the clearance measurement based on the measured value and Δl calculated from the above formula, and controls the heater power so as to compensate the estimated clearance change. When the time constant T changes depending on the temperature and the radial position, the compensation amount also changes accordingly.

HDC/MPU23は、付着物に応じたクリアランス制御において、上記指数関数に代えて、一次関数や階段関数などの近似式を使用してもよい。また、付着物に応じたクリアランス制御が複雑であり、そのクリアランス変化量が大きくない場合には、HDD1は気圧変化に応じたクリアランス制御のみを行ってもよい。   The HDC / MPU 23 may use an approximate expression such as a linear function or a step function instead of the exponential function in the clearance control according to the deposit. Further, when the clearance control according to the attached matter is complicated and the clearance change amount is not large, the HDD 1 may perform only the clearance control according to the atmospheric pressure change.

上述のクリアランス測定は、気圧変化と浮上面の付着物量の変化という二つの変数(二つの変数によるクリアランス変化)を個別に求めるために、二つの異なる半径位置においてクリアランスを測定している。求める変数が3以上存在する場合、3以上の半径位置においてクリアランスを測定することが必要である。ここで、3変数のクリアランス測定の例として、気圧と付着物に加え、クリアランス測定のためのディスク上のデータの劣化の影響を考慮したクリランス測定を説明する。   In the above-described clearance measurement, the clearance is measured at two different radial positions in order to individually obtain two variables (change in clearance due to two variables), that is, a change in atmospheric pressure and a change in the amount of deposit on the air bearing surface. When there are three or more variables to be obtained, it is necessary to measure the clearance at three or more radial positions. Here, as an example of three-variable clearance measurement, clearance measurement in consideration of the influence of deterioration of data on the disk for clearance measurement will be described in addition to atmospheric pressure and deposits.

レゾリューションを測定するために、測定用のデータが磁気ディスク上に記録されている。測定用のデータには、熱減磁の問題がある。磁気ディスク11上の磁化方向は、熱エネルギーによる変化する。そのため、HDD1の動作時間が長くなると、測定用データ列における各データの磁化方向が変化し、読み出した信号振幅も変化してしまう。   In order to measure the resolution, data for measurement is recorded on the magnetic disk. The measurement data has a problem of thermal demagnetization. The magnetization direction on the magnetic disk 11 changes due to thermal energy. Therefore, when the operation time of the HDD 1 becomes longer, the magnetization direction of each data in the measurement data string changes, and the read signal amplitude also changes.

レゾリューションは低周波信号振幅と高周波信号振幅の比で表すことができる。低周波信号振幅と高周波信号振幅が熱減磁により同様に減少すれば、レゾリューションの値は不変である。しかし、熱減磁の影響は、データ列の周波数によって異なる。具体的には、一般に、記録磁化が面内方向にある場合は高周波の振幅がより大きく減少し、記録磁化が面に垂直な場合は低周波の振幅がより大きく減少する。そのため、HDC/MPU23によるクリアランス測定値は、熱減磁によって、実際のクリアランスよりも大きくなる。   The resolution can be expressed by the ratio of the low frequency signal amplitude to the high frequency signal amplitude. If the low-frequency signal amplitude and the high-frequency signal amplitude are similarly reduced by thermal demagnetization, the resolution value remains unchanged. However, the influence of thermal demagnetization varies depending on the frequency of the data string. Specifically, in general, when the recording magnetization is in the in-plane direction, the high-frequency amplitude decreases more greatly, and when the recording magnetization is perpendicular to the surface, the low-frequency amplitude decreases more. Therefore, the clearance measured value by the HDC / MPU 23 becomes larger than the actual clearance due to thermal demagnetization.

気圧変化及び付着物状態変化の影響に加え、測定データの熱減磁による影響を(直接的あるいは間接的に)算出するため、HDC/MPU23は、三つの異なる半径位置において、クリアランスの測定を行う。具体的なクリアランス測定方法は、図3を参照して説明した処理フローに対して、さらに、3つ目の半径位置におけるクリアランス測定が追加される。HDC/MPU23は、以下の数式で表される関係を利用する。測定データの熱減磁によるクリアランス測定値の変化量をΔFZとする。HDC/MPU23は、内周側データ・トラック(内周側半径位置)、外周側データ・トラック(外周側半径位置)、そしてそれらの間の中間データ・トラック(中間内周側半径位置)の3つのデータ・トラックにおいてクリアランス測定を行う。   In order to calculate (directly or indirectly) the influence of thermal demagnetization of measurement data in addition to the influence of atmospheric pressure change and deposit state change, HDC / MPU 23 measures clearance at three different radial positions. . As a specific clearance measuring method, a clearance measurement at the third radial position is further added to the processing flow described with reference to FIG. The HDC / MPU 23 uses the relationship represented by the following mathematical formula. Let ΔFZ be the amount of change in the clearance measurement value due to thermal demagnetization of the measurement data. The HDC / MPU 23 includes an inner data track (inner peripheral radial position), an outer data track (outer radial position), and an intermediate data track (intermediate inner radial position) therebetween. Make clearance measurements on two data tracks.

内周側データ・トラックにおいて、基準状態からの気圧変化Δpによるスライダ浮上高の変化量ΔFAiと、基準状態からの付着量の変化Δlによるスライダ浮上高の変化量ΔFLiは、上記の数式1と数式2とで表すことができる。基準状態からの熱減磁の量Δzによるクリアランス測定値の変化量(見かけの増減)ΔFZiは、次の数式7で表される。
ΔFZi=Zi×Δz (数式7)
In the inner data track, the slider fly height change ΔFAi due to the atmospheric pressure change Δp from the reference state, and the slider fly height change ΔFLi due to the adhesion amount change Δl from the reference state are expressed by Equation 1 and Equation 1 above. 2 can be expressed. The amount of change in the clearance measurement value (apparent increase / decrease) ΔFZi due to the amount of thermal demagnetization Δz from the reference state is expressed by the following Equation 7.
ΔFZi = Zi × Δz (Formula 7)

Ziは、上記内周側データ・トラックにおけるクリアランス測定値の熱減磁に対する感度を表しており、その符号は、通常、負である。これは、他のデータ・トラックにおいて同様である。この値は、HDD1の設計において、測定により予め定められ、HDD1の不揮発性記憶媒体内に設定登録されている。ここで、クリアランス測定値に影響が現れる熱減磁は、高温状態における時間の対数関数で近似できる。従って、熱減磁の量Δzは時間の対数関数で表すことができ、三つのデータ・トラックの全てに共通である。一般に、熱減磁の量Δzは、起動後のクリアランス測定間に期間内では変化しない。   Zi represents the sensitivity to the thermal demagnetization of the clearance measurement value in the inner circumference data track, and its sign is usually negative. This is the same for other data tracks. This value is predetermined by measurement in the design of the HDD 1 and is registered in the nonvolatile storage medium of the HDD 1. Here, the thermal demagnetization that affects the measured clearance value can be approximated by a logarithmic function of time in a high temperature state. Thus, the amount of thermal demagnetization Δz can be expressed as a logarithmic function of time and is common to all three data tracks. In general, the amount of thermal demagnetization Δz does not change within a period between clearance measurements after activation.

次に、中間データ・トラックにおいて、基準状態からの気圧変化Δp、付着量変化Δl、熱減磁量Δzのそれぞれによるクリアランス測定値の変化は、以下の数式8〜数式10で表わされる。
ΔFAm=Am×Δp (数式8)
ΔFLm=Lm×Δl (数式9)
ΔFZm=Zm×Δz (数式10)
mは中間のデータ・トラックを示すサフィックスである。ここで、Am、Lm、Zmは、上記中間データ・トラックにおけるクリアランス測定値の気圧変化、付着量変化そして熱減磁量に対する感度を表している。この値は、HDD1の設計において、測定により予め定められ、HDD1に設定登録されている。
Next, in the intermediate data track, the change in the clearance measurement value due to the atmospheric pressure change Δp, the adhesion amount change Δl, and the thermal demagnetization amount Δz from the reference state is expressed by the following Equations 8 to 10.
ΔFAm = Am × Δp (Formula 8)
ΔFLm = Lm × Δl (Formula 9)
ΔFZm = Zm × Δz (Formula 10)
m is a suffix indicating an intermediate data track. Here, Am, Lm, and Zm represent the sensitivity to the atmospheric pressure change, adhesion amount change, and thermal demagnetization amount of the clearance measurement value in the intermediate data track. This value is predetermined by measurement in the design of the HDD 1 and is registered in the HDD 1.

最後に、外周側データ・トラックにおいて、基準状態からの気圧変化Δp、付着量変化Δlのそれぞれによるクリアランス測定値の変化は、上記数式3及び数式4で表される。基準状態からの熱減磁量Δzによるクリアランス測定値の変化量(見かけの増減)ΔFZoは、次の数式11で表される。
ΔFZo=Zo×Δz (数式11)
ここで、Zoは、上記外周側データ・トラックにおけるクリアランス測定値の熱減磁量に対する感度を表している。この値は、HDD1の設計において、測定により予め定められ、HDD1の不揮発性記憶媒体内に設定登録されている。
Finally, in the outer data track, the change in the clearance measurement value due to the change in pressure Δp and the change in adhesion amount Δl from the reference state is expressed by the above Equations 3 and 4. The amount of change in the clearance measurement value (apparent increase / decrease) ΔFZo due to the thermal demagnetization amount Δz from the reference state is expressed by the following Expression 11.
ΔFZo = Zo × Δz (Formula 11)
Here, Zo represents the sensitivity to the amount of thermal demagnetization of the clearance measurement value in the outer circumferential data track. This value is predetermined by measurement in the design of the HDD 1 and is registered in the nonvolatile storage medium of the HDD 1.

数式1〜数式4及び数式7〜数式11から、内周、中間、外周の各データ・トラックにおけるクリアランス変化測定値ΔFi、ΔFm、ΔFoは、それぞれ、以下の数式12〜数式14で表される。
ΔFi=AiΔp+LiΔl+ZiΔz (数式12)
ΔFm=AmΔp+LmΔl+ZmΔz (数式13)
ΔFo=AoΔp+LoΔl+ZoΔz (数式14)
From Equations 1 to 4 and Equations 7 to 11, the clearance change measured values ΔFi, ΔFm, and ΔFo in the inner, intermediate, and outer data tracks are expressed by Equations 12 to 14 below, respectively.
ΔFi = AiΔp + LiΔl + ZiΔz (Formula 12)
ΔFm = AmΔp + LmΔl + ZmΔz (Formula 13)
ΔFo = AoΔp + LoΔl + ZoΔz (Formula 14)

数式12〜数式14は、三つの変数Δp、Δl、Δzを含む三元連立方程式であり、HDC/MPU23は、これら数式から各変数Δp、Δl、Δzを算出することができる。各数式の右辺の係数が、この方程式を解ける関係を有することは、上記二つの変数の例と同様である。測定データの熱減磁(によるレゾリューション測定値への影響)は、典型的には、記録面上の半径位置には依存しないが、その記録周波数(レゾリューション算出の信号周波数)に依存する。つまり、三つの測定データ・トラックにおけるレゾリューション測定の周波数が異なる場合、係数Zi、Zm、Zoが異なる値となる。   Expressions 12 to 14 are ternary simultaneous equations including three variables Δp, Δl, and Δz, and the HDC / MPU 23 can calculate the variables Δp, Δl, and Δz from these expressions. The coefficient on the right side of each equation has a relationship that can solve this equation, as in the above two variables. The thermal demagnetization of measurement data (the effect on the resolution measurement value) typically does not depend on the radial position on the recording surface, but depends on the recording frequency (signal frequency for resolution calculation). To do. That is, when the resolution measurement frequencies in the three measurement data tracks are different, the coefficients Zi, Zm, and Zo have different values.

HDC/MPU23は、熱減磁によるクリアランス測定値への影響を補償する。HDC/MPU23は、各データ・トラックにおけるクリアランス測定値から、熱減磁による変化分(ZiΔz、ZmΔz、ZoΔz)を除去するように、クリアランス測定値を補正する。これにより、HDC/MPU23は、気圧及び付着物による実際のクリアランス変化を特定することができる。あるいは、熱減磁量Δzが閾値よりも大きい場合に、HDC/MPU23は、新たな測定用データを磁気ディスク11に書き込んでもよい。その後のクリアランス測定は、新たに書き込んだ測定用データを利用する。   The HDC / MPU 23 compensates for the influence on the clearance measurement value due to thermal demagnetization. The HDC / MPU 23 corrects the clearance measurement value so as to remove the variation (ZiΔz, ZmΔz, ZoΔz) due to thermal demagnetization from the clearance measurement value in each data track. Thereby, the HDC / MPU 23 can specify the actual clearance change due to the atmospheric pressure and the deposits. Alternatively, when the thermal demagnetization amount Δz is larger than the threshold value, the HDC / MPU 23 may write new measurement data on the magnetic disk 11. Subsequent clearance measurement uses newly written measurement data.

以上、本発明を好ましい実施形態を例として説明したが、本発明が上記の実施形態に限定されるものではない。当業者であれば、上記の実施形態の各要素を、本発明の範囲において容易に変更、追加、変換することが可能である。本発明によるクリアランス測定の結果は、HDD内におけるクリアランス制御と異なる処理に利用してもよい。例えば、HDC/MPU23は、クリアランス測定により直接的に特定した気圧変化が閾値を超える場合に、リード/ライト処理を行うことなく、アクチュエータを待機位置に維持してもよい。   As mentioned above, although this invention was demonstrated taking preferable embodiment as an example, this invention is not limited to said embodiment. A person skilled in the art can easily change, add, and convert each element of the above-described embodiment within the scope of the present invention. The result of clearance measurement according to the present invention may be used for processing different from clearance control in the HDD. For example, the HDC / MPU 23 may maintain the actuator at the standby position without performing the read / write process when the change in atmospheric pressure directly specified by the clearance measurement exceeds the threshold value.

上述において、クリアランス変化の要因が2つの例と3つの例とを説明したが、それ以上の要因によるクリアランス変化の寄与度を算出してもよい。しかし、処理精度の点からは、3以下の要因内で寄与度を算出することが好ましく、2要因に限定することが最も好ましい。上述の好ましい例は、気圧、付着物そしてクリアランス測定データの三つの要因を取り扱っている。本発明は、これら以外の要因のよるクリアランス変化の測定に適用することができる。その中で、付着物によるクリアランス変化と気圧によるクリアランス変化のように、クリアランス測定後にダイナミックに変化する要素と実質的に変化しないスタティックな要素とを区別するために、本発明は特に有用である。   In the above description, two examples and three examples of the cause of the clearance change have been described. However, the degree of contribution of the clearance change due to more factors may be calculated. However, from the viewpoint of processing accuracy, it is preferable to calculate the contribution degree within three or less factors, and it is most preferable to limit to two factors. The preferred example described above deals with three factors: barometric pressure, deposits and clearance measurement data. The present invention can be applied to measurement of clearance change due to factors other than these. Among them, the present invention is particularly useful for distinguishing between elements that change dynamically after clearance measurement and static elements that do not change substantially, such as clearance changes due to deposits and clearance changes due to atmospheric pressure.

上記例は、気圧と付着物の組み合わせ、そしてそれらに測定データの熱減磁を加えた三つの要素の組み合わせを測定の対象としている。HDDの設計によって、これらの内の任意の二つの組み合わせによるクリアランス測定に本発明を適用することができる。例えば、筐体が完全密閉されたHDDにおいてはクリアランスに対する気圧変化による影響は存在しないため、付着物と測定データの熱減磁によるクリアランス測定に、本発明を適用することができる。   In the above example, a combination of atmospheric pressure and deposits, and a combination of three elements obtained by adding thermal demagnetization of measurement data to the combination are measured. Depending on the design of the HDD, the present invention can be applied to clearance measurement by any two of these combinations. For example, in an HDD in which the housing is completely sealed, there is no influence due to a change in atmospheric pressure on the clearance. Therefore, the present invention can be applied to the clearance measurement by thermal demagnetization of the deposit and measurement data.

本発明は、ピエゾ素子などのTFC以外のクリアランス調整機構を有するディスク・ドライブ装置に適用することができる。上述のように、リード信号、特にレゾリューションを使用して気圧変化を測定することが好ましいが、SPM電流などの他の動作パラメータを使用して気圧変化を測定してもよい。本発明は、リード素子のみを備えるヘッド・スライダを実装するHDDに、あるいは、HDD以外のディスク・ドライブ装置に適用してもよい。   The present invention can be applied to a disk drive apparatus having a clearance adjustment mechanism other than TFC such as a piezo element. As described above, it is preferable to measure the change in atmospheric pressure using a read signal, particularly resolution, but other operational parameters such as SPM current may be used to measure the atmospheric pressure change. The present invention may be applied to an HDD on which a head slider having only a read element is mounted, or to a disk drive device other than the HDD.

1 ハードディスク・ドライブ、10 エンクロージャ、11 磁気ディスク
12 ヘッド・スライダ、14 スピンドル・モータ、15 ボイス・コイル・モータ
16 アクチュエータ、20 回路基板、21 リード・ライト・チャネル
22 モータ・ドライバ・ユニット、23 ハードディスク・コントローラ/MPU
24 RAM、31 ライト素子、32 リード素子、32a 磁気抵抗素子
33a、b シールド、34 保護膜、51 ホスト、121 トレーリング側端面
122 ヘッド素子部、123 スライダ、124 ヒータ、311 ライト・コイル
312 磁極、313 絶縁膜
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Hard disk drive, 10 Enclosure, 11 Magnetic disk 12 Head slider, 14 Spindle motor, 15 Voice coil motor 16 Actuator, 20 Circuit board, 21 Read / write channel 22 Motor driver unit, 23 Hard disk drive Controller / MPU
24 RAM, 31 Write element, 32 Read element, 32a Magnetoresistive element 33a, b Shield, 34 Protective film, 51 Host, 121 Trailing side end face 122 Head element part, 123 Slider, 124 Heater, 311 Write coil 312 Magnetic pole, 313 Insulating film

Claims (15)

データを記憶するディスクと、
前記ディスク上を浮上するヘッド・スライダと、
前記ヘッド・スライダを前記ディスクで移動する移動機構と、
前記ヘッド・スライダと前記ディスクとの間のクリアランスを異なる半径位置において測定し、それらの測定結果と予め設定されている係数とを使用して、前記ヘッド・スライダのクリアランス変化における異なる要因の寄与分を算出する、コントローラと、
を有するディスク・ドライブ。
A disk for storing data;
A head slider floating above the disk;
A moving mechanism for moving the head slider with the disk;
The clearance between the head slider and the disk is measured at different radial positions, and the measurement results and preset coefficients are used to determine the contribution of different factors in the head slider clearance change. Calculating the controller,
Disk drive with.
前記ディスク・ドライブは、前記ヘッド・スライダと前記ディスクとの間のクリアランスを調整する調整機構を有し、
前記コントローラは、前記算出した寄与分に応じて、前記調整機構により前記ヘッド・スライダのクリアランスを制御する、
請求項1に記載のディスク・ドライブ。
The disk drive has an adjusting mechanism that adjust the clearance between the head slider disc,
Said controller, in response to contributions that the calculated, to control the clearance of the head slider by prior Symbol adjustment Organization,
The disk drive of claim 1.
前記コントローラは、起動時における初期設定処理において前記異なる半径位置におけるクリアランス測定と前記算出を行い、
前記クリアランスは、前記異なる要因の内の第1の要因によって前記クリアランス測定時において変化中であり、前記異なる要因の内の第2の要因によって前記クリアランス測定時に変化していない、
請求項1に記載のディスク・ドライブ。
The controller performs the clearance measurement and the calculation at the different radial positions in the initial setting process at startup,
The clearance is changing during the clearance measurement due to a first factor among the different factors, and is not changing during the clearance measurement due to a second factor among the different factors,
The disk drive of claim 1.
前記第1の要因は前記ヘッド・スライダ上の付着物であり、前記第2の要因は気圧である、
請求項3に記載のディスク・ドライブ。
The first factor is a deposit on the head slider, and the second factor is atmospheric pressure.
The disk drive according to claim 3.
前記ディスク・ドライブは、前記ヘッド・スライダと前記ディスクとの間のクリアランスを調整する調整機構を有し、
前記コントローラは、前記ヘッド・スライダ上の付着物によるクリアランス変化を補償してクリアランス変化における気圧変化の寄与分を算出し、前記初期設定処理後において、前記算出した寄与分に応じて前記ヘッド・スライダのクリアランスを前記調整機構により制御する、
請求項3に記載のディスク・ドライブ。
The disk drive has an adjusting mechanism that adjust the clearance between the head slider disc,
The controller compensates for a clearance change due to deposits on the head slider and calculates a contribution of atmospheric pressure change in the clearance change, and after the initial setting process, the head slider according to the calculated contribution The clearance is controlled by the adjusting mechanism,
The disk drive according to claim 3.
前記コントローラは、前記算出した前記付着物の寄与分と予め設定されている係数とを使用して、前記測定後の前記付着物によるクリアランス変化を推定して前記ヘッド・スライダのクリアランスを前記調整機構により制御する、
請求項5に記載のディスク・ドライブ。
The controller uses the calculated contribution of the deposit and a preset coefficient to estimate a change in clearance due to the deposit after the measurement, thereby adjusting the clearance of the head slider by the adjustment mechanism. Controlled by
The disk drive of claim 5.
前記コントローラは、
前記異なる半径位置における測定データを前記ヘッド・スライダで読み出し、その読み出した信号のレゾリューションを使用して前記クリアランスを測定し、
前記異なる半径位置におけるレゾリューションの測定に異なる周波数の信号成分を使用する、
請求項1に記載のディスク・ドライブ。
The controller is
Read the measurement data at the different radial positions with the head slider, measure the clearance using the resolution of the read signal,
Using signal components of different frequencies to measure resolution at the different radial positions;
The disk drive of claim 1.
ディスク・ドライブにおけるヘッド・スライダとディスクとの間のクリアランス測定方法であって、
ヘッド・スライダを第1の半径位置に位置決めし、
前記第1の半径位置においてクリアランスを測定し、
前記ヘッド・スライダを第2の半径位置に位置決めし、
前記第2の半径位置においてクリアランスを測定し、
前記第1及び第2の半径位置における測定結果と予め設定されている係数とを使用して、前記ヘッド・スライダのクリアランス変化における異なる要因の寄与分を算出する、
方法。
A method for measuring a clearance between a head slider and a disk in a disk drive,
Positioning the head slider at the first radial position;
Measuring the clearance at the first radial position;
Positioning the head slider at a second radial position;
Measuring the clearance at the second radial position;
Using the measurement results at the first and second radial positions and a preset coefficient, the contribution of different factors in the clearance change of the head slider is calculated.
Method.
さらに、前記算出した寄与分に応じて、前記ヘッド・スライダのクリアランスを制御する、
請求項8に記載の方法。
Furthermore, according to the calculated contribution, the clearance of the head slider is controlled.
The method of claim 8.
起動時における初期設定処理において前記異なる半径位置におけるクリアランス測定と前記算出を行い、
前記クリアランスは、前記異なる要因の内の第1の要因によって前記クリアランス測定時において変化中であり、前記異なる要因の内の第2の要因によって前記クリアランス測定時に変化していない、
請求項8に記載の方法。
In the initial setting process at start-up, the clearance measurement and the calculation at the different radial positions are performed,
The clearance is changing during the clearance measurement due to a first factor among the different factors, and is not changing during the clearance measurement due to a second factor among the different factors,
The method of claim 8.
前記第1の要因は前記ヘッド・スライダ上の付着物であり、前記第2の要因は気圧である、
請求項10に記載の方法。
The first factor is a deposit on the head slider, and the second factor is atmospheric pressure.
The method of claim 10.
さらに、前記ヘッド・スライダを第3の半径位置に位置決めし、
前記第3の半径位置においてクリアランスを測定し、
前記第1、第2及び第3の半径位置における測定結果と予め設定されている係数とを使用して、前記ヘッド・スライダのクリアランス変化における異なる要因の寄与分を算出する、
請求項10に記載の方法。
Further, the head slider is positioned at a third radial position,
Measuring the clearance at the third radial position;
Using the measurement results at the first, second, and third radial positions and preset coefficients, the contribution of different factors in the clearance change of the head slider is calculated.
The method of claim 10.
前記ヘッド・スライダ上の付着物によるクリアランス変化を補償してクリアランス変化における気圧変化の寄与分を算出し、前記初期設定処理後において、前記算出した寄与分に応じて前記ヘッド・スライダのクリアランスを制御する、
請求項10に記載の方法。
Compensation for clearance change due to deposits on the head slider and calculating the contribution of atmospheric pressure change in the clearance change, and after the initial setting process, the clearance of the head slider is controlled according to the calculated contribution. Control
The method of claim 10.
前記算出した前記付着物の寄与分と予め設定されている係数とを使用して、前記測定後の前記付着物によるクリアランス変化を推定して前記ヘッド・スライダのクリアランスを前記調整機構により制御する、
請求項13に記載の方法。
Using the calculated contribution of the deposit and a preset coefficient, the clearance change due to the deposit after the measurement is estimated, and the clearance of the head slider is controlled by the adjustment mechanism.
The method of claim 13.
前記異なる半径位置における測定データを前記ヘッド・スライダで読み出し、その読み出した信号のレゾリューションを使用して前記クリアランスを測定し、
前記異なる半径位置におけるレゾリューションの測定に異なる周波数の信号成分を使用する、
請求項8に記載の方法。
Read the measurement data at the different radial positions with the head slider, measure the clearance using the resolution of the read signal,
Using signal components of different frequencies to measure resolution at the different radial positions;
The method of claim 8.
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