JP5312971B2 - Particle compression tester and sample table for particle compression tester - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a particle compression testing machine capable of obtaining a test result excellent in repeatability while using a simple configuration, and to provide a sample table for the particle compression testing machine. <P>SOLUTION: The particle compression testing machine includes: the sample table 2 for setting a particulate sample S thereon; an indentor 3 disposed above the sample table 2 so as to be vertically movable; a load applying means for applying a load to the indentor 3 and pressing the indentor 3 on a surface of the sample S; a test force detecting means for detecting a test force applied to the sample S when pressing the indentor 3 on the surface of the sample S by using the load applying means; and a displacement detecting means for detecting a displacement of the indentor 3. The sample table 2 has a setting part 21 which is composed of a depressed area in a curved surface shape on its setting surface for the sample S. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、粒子圧縮試験機及び粒子圧縮試験機用試料台に関する。   The present invention relates to a particle compression tester and a sample stage for a particle compression tester.

粒径０．１〜数百μｍ程度の粒子状の試料の機械的強度を評価する試験として、粒子圧縮試験機を用いた粒子圧縮試験が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
この粒子圧縮試験は、粒子圧縮試験機に取り付けられた平面圧子により試料に荷重を負荷し、荷重の増加に伴う試料の変位量（押込み深さ）を測定して変位量と荷重との関係から、試料の硬さ等の物性値を測定するものである。 A particle compression test using a particle compression tester is known as a test for evaluating the mechanical strength of a particulate sample having a particle size of about 0.1 to several hundred μm (see, for example, Patent Document 1).
In this particle compression test, a sample is loaded with a flat indenter attached to a particle compression tester, and the amount of displacement (indentation depth) of the sample as the load increases is measured. Measure physical properties such as sample hardness.

図９（ａ）（ｂ）に、粒子圧縮試験により得られる荷重負荷曲線の一例を示す。なお、図９（ａ）（ｂ）において、縦軸は試料に負荷した荷重（試験力）であり、横軸は試料の変位量（押込み深さ）である。
具体的に、図９（ａ）は、試料Ａ、Ｂを同一条件で圧縮した一例であり、例えば、得られた最大変位量の差から、試料Ａ、Ｂの機械的性質の差異を定性的に判断することができる。また、図９（ｂ）は、変位量が急激に変化する点まで試料Ａ、Ｂに負荷する荷重を漸増させた一例であり、この変位量の急激な変化から試料の降伏点や破壊強度に関する情報を得ることができる。 FIGS. 9A and 9B show examples of load / load curves obtained by the particle compression test. 9A and 9B, the vertical axis represents the load (test force) applied to the sample, and the horizontal axis represents the amount of displacement of the sample (indentation depth).
Specifically, FIG. 9A is an example in which the samples A and B are compressed under the same conditions. For example, the difference in mechanical properties of the samples A and B is qualitatively determined from the difference in the obtained maximum displacement. Can be judged. FIG. 9B shows an example in which the load applied to the samples A and B is gradually increased up to a point where the displacement amount changes abruptly, and the yield point and fracture strength of the sample are determined from the sudden change in the displacement amount. Information can be obtained.

ところで、このような粒子状試料の圧縮試験においては、試料が球形であるため試料台に載置された試料の固定が難しいという問題がある。即ち、試験機のＸＹステージの作動により試料台の試料が転がってしまい、位置決めした試料を的確に狙えないことがあったり、複数の試料が密着してしまい、試料１つずつを試験できなかったりすることがある。
また、複数の試料を一度に圧縮する方法も考えられるが、これは常に同数の試料を圧縮できるものではないため再現性に乏しい。 By the way, in the compression test of such a particulate sample, since the sample is spherical, there is a problem that it is difficult to fix the sample placed on the sample stage. In other words, the sample on the sample table rolls due to the operation of the XY stage of the testing machine, and it may not be possible to accurately aim at the positioned sample, or a plurality of samples may be in close contact with each other, so that one sample cannot be tested one by one There are things to do.
A method of compressing a plurality of samples at a time is also conceivable, but this is not always reproducible because the same number of samples cannot be compressed.

こうした問題の対策として、例えば、図１０に示すように、試料を載置する試料台８１に、試料の粒径より僅かに幅の大きいガイド部８２、８２を設けることで試料が転がるのを防止する方法が提案されている（例えば、非特許文献１参照。）。
また、試料台８１と試料とを接着により固定する方法も考えられる（例えば、非特許文献２参照。）。 As a countermeasure against such a problem, for example, as shown in FIG. 10, the sample is prevented from rolling by providing guide portions 82 and 82 having a width slightly larger than the particle size of the sample on the sample stage 81 on which the sample is placed. Have been proposed (see Non-Patent Document 1, for example).
A method of fixing the sample table 81 and the sample by bonding is also conceivable (for example, see Non-Patent Document 2).

特開２００８−１１６３４９号公報JP 2008-116349 A

SHIMADZU CUSTOMER SUPPORT CENTER NEWS for MATERIAL TESTING No.73SHIMADZU CUSTOMER SUPPORT CENTER NEWS for MATERIAL TESTING No.73 東陽テクニカ ナノテクノロジー製品 製品別メニューToyo Technica Nanotechnology Products Menu

しかしながら、試料台８１にガイド部材８２、８２を設ける方法は、試料がガイド部材８２、８２に接触する場合（図１１（ａ）参照。）と、接触しない場合（図１１（ｂ）参照。）と、が想定されるため、試験結果のばらつきの要因となる恐れがある。つまり、物性の測定実験において、できるだけ同一条件で試験を行なうことが重要であることを考慮すると好ましくないという問題があった。また、この試料台８１にガイド部材８２、８２を設ける方法は、粒径が異なる試料に対しては、異なる寸法のガイド部材を用意しなければならず、設定上手間がかかるという問題があった。
また、接着により固定する方法は、使用する接着剤の量のばらつき、試料への巻き込みや湿潤等が想定されるため、常時同一の状態で固定することは極めて困難であるとともに、こうした影響を除去した接着方法を実現するためには高価な設備が必要であるので工業的ではなく、更に接着剤が試料を汚損してしまう可能性も高い、という問題があった。 However, the method of providing the guide members 82 and 82 on the sample table 81 includes the case where the sample contacts the guide members 82 and 82 (see FIG. 11A) and the case where the sample does not contact (see FIG. 11B). Therefore, there is a risk that it may cause variation in test results. That is, in the physical property measurement experiment, there is a problem that it is not preferable considering that it is important to perform the test under the same conditions as much as possible. Further, the method of providing the guide members 82, 82 on the sample stage 81 has a problem that it takes time and effort to prepare guide members having different dimensions for samples having different particle sizes. .
In addition, since the method of fixing by bonding is assumed to be a variation in the amount of adhesive used, entanglement or wetting in the sample, it is extremely difficult to always fix in the same state, and this effect is eliminated. In order to realize the bonding method, expensive equipment is required, which is not industrial, and there is a high possibility that the adhesive may contaminate the sample.

本発明の課題は、簡便な構成でありながら、再現性の良い試験結果を得ることができる粒子圧縮試験機及び粒子圧縮試験機用試料台を提供することである。   An object of the present invention is to provide a particle compression tester and a sample stage for a particle compression tester that can obtain a test result with good reproducibility while having a simple configuration.

前記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、
粒子状の試料を載置するための試料台と、
前記試料台の上方に上下移動可能に備えられた圧子と、
前記圧子に荷重を負荷し、前記圧子を試料の表面に押し付ける荷重負荷手段と、
前記荷重負荷手段により前記圧子を試料の表面に押し付けた時の試料に負荷される試験力を検出する試験力検出手段と、
前記圧子の変位を検出する変位検出手段と、
を備えた粒子圧縮試験機において、
前記試料台は、試料の載置面に、試料に対して大きな曲率半径を有する曲面形状の窪みからなる載置部を備えることを特徴とする。 In order to solve the above problem, the invention according to claim 1 is:
A sample stage for placing a particulate sample;
An indenter provided above the sample stage so as to be movable up and down;
A load-loading means for applying a load to the indenter and pressing the indenter against a surface of a sample;
A test force detecting means for detecting a test force applied to the sample when the indenter is pressed against the surface of the sample by the load loading means;
Displacement detecting means for detecting displacement of the indenter;
In a particle compression tester equipped with
The sample stage is provided with a mounting portion made of a curved recess having a large radius of curvature with respect to the sample on the sample mounting surface.

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の粒子圧縮試験機において、
前記試料台は、試料の載置面に前記載置部を複数備えていることを特徴とする。 The invention according to claim 2 is the particle compression tester according to claim 1,
The sample stage is provided with a plurality of placement units on the sample placement surface.

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の粒子圧縮試験機において、
前記複数の載置部の載置面は、それぞれ異なる曲率を有することを特徴とする。 The invention according to claim 3 is the particle compression tester according to claim 2,
The mounting surfaces of the plurality of mounting units have different curvatures.

請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載の粒子圧縮試験機において、
前記圧子の先端部は、凸又は凹の曲面形状であることを特徴とする。 The invention according to claim 4 is the particle compression tester according to any one of claims 1 to 3,
The tip portion of the indenter has a convex or concave curved shape.

請求項５に記載の発明は、請求項１〜４の何れか一項に記載の粒子圧縮試験機において、
前記載置部に載置された試料を載置面に吸着固定するためのエアー吸着手段を備えていることを特徴とする。 The invention according to claim 5 is the particle compression tester according to any one of claims 1 to 4,
An air adsorbing means for adsorbing and fixing the sample placed on the placing portion to the placing surface is provided.

請求項６に記載の発明は、請求項１〜４の何れか一項に記載の粒子圧縮試験機において、
前記載置部に載置された試料を載置面に吸着固定するための静電気力を発生させる静電気力発生手段を備えていることを特徴とする。 The invention according to claim 6 is the particle compression tester according to any one of claims 1 to 4,
It is characterized by comprising electrostatic force generating means for generating an electrostatic force for adsorbing and fixing the sample placed on the placing portion to the placing surface.

請求項７に記載の発明は、請求項１〜４の何れか一項に記載の粒子圧縮試験機において、
前記載置部に載置された試料を載置面に吸着固定するための電磁力を発生させる電磁力発生手段を備えていることを特徴とする。 The invention according to claim 7 is the particle compression tester according to any one of claims 1 to 4,
An electromagnetic force generating means for generating an electromagnetic force for attracting and fixing the sample placed on the placing portion to the placing surface is provided.

請求項８に記載の発明は、
上下移動可能に備えられた圧子により、粒子状の試料に荷重を負荷して圧縮試験を行う粒子圧縮試験機に用いられる粒子圧縮試験機用試料台において、
試料を載置する載置面に、試料に対して大きな曲率半径を有する曲面形状の窪みからなる載置部を備えることを特徴とする。 The invention according to claim 8 provides:
In a sample table for a particle compression tester used in a particle compression tester that performs a compression test by applying a load to a particulate sample by an indenter that is movable up and down,
The mounting surface on which the sample is mounted is provided with a mounting portion made of a curved recess having a large radius of curvature with respect to the sample .

請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の粒子圧縮試験機用試料台において、
試料の載置面に、前記載置部を複数備えていることを特徴とする。 The invention according to claim 9 is the sample stage for the particle compression tester according to claim 8,
The sample mounting surface is provided with a plurality of the mounting units described above.

請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の粒子圧縮試験機用試料台において、
前記複数の載置部の載置面は、それぞれ異なる曲率を有することを特徴とする。 The invention according to claim 10 is the sample table for the particle compression tester according to claim 9,
The mounting surfaces of the plurality of mounting units have different curvatures.

本発明によれば、試料台は、試料を載置する載置面に、試料に対して大きな曲率半径を有する曲面形状の窪みからなる載置部を備える構成である。このため、試料を載置部に置くだけで試料の位置決めができるとともに試料の転がりが防止され、常時、同一条件で試料を保持することができる。
また、常時同一条件で試料を保持することができるため、粒子圧縮試験機において、安定した試験結果、ばらつきの少ない試験結果を得ることができる。
よって、簡便な構成でありながら、再現性の良い試験結果を得ることができる。 According to this invention, a sample stand is a structure provided with the mounting part which consists of a hollow of the curved shape which has a big curvature radius with respect to a sample in the mounting surface which mounts a sample. For this reason, it is possible to position the sample only by placing the sample on the mounting portion, to prevent the sample from rolling, and to always hold the sample under the same conditions.
In addition, since the sample can always be held under the same conditions, a stable test result and a test result with little variation can be obtained in the particle compression tester.
Therefore, it is possible to obtain a test result with good reproducibility while having a simple configuration.

第１実施形態の粒子圧縮試験機の試験機本体を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the test machine main body of the particle | grain compression tester of 1st Embodiment. 第１実施形態の粒子圧縮試験機の制御構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the control structure of the particle | grain compression tester of 1st Embodiment. 第１実施形態の粒子圧縮試験機の試料台及び圧子を示す拡大断面図であり、（ａ）は試料に荷重を負荷していない状態、（ｂ）は試料に荷重を負荷している状態を示している。It is an expanded sectional view which shows the sample stand and indenter of the particle | grain compression tester of 1st Embodiment, (a) is the state which is not applying the load to a sample, (b) is the state which is applying the load to the sample. Show. 第１実施形態の粒子圧縮試験機の試料台を示す平面図である。It is a top view which shows the sample stand of the particle | grain compression tester of 1st Embodiment. 圧子の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of an indenter. エアー吸着手段の変形例である静電気力発生手段を示す図である。It is a figure which shows the electrostatic force generation means which is a modification of an air adsorption | suction means. エアー吸着手段の変形例である電磁力発生手段を示す図である。It is a figure which shows the electromagnetic force generation means which is a modification of an air adsorption | suction means. 第２実施形態の粒子圧縮試験機の試料台を示す拡大断面図であり、（ａ）はそれぞれ異なる曲率（曲率半径）を有する３つの載置部を備えた試料台、（ｂ）は全て同一の曲率（曲率半径）を有する３つの載置部を備えた試料台を示している。It is an expanded sectional view which shows the sample stand of the particle | grain compression tester of 2nd Embodiment, (a) is a sample stand provided with three mounting parts which each have a different curvature (curvature radius), (b) is all the same. The sample stand provided with the three mounting parts which have the following curvature (curvature radius) is shown. 粒子圧縮試験により得られる荷重負荷曲線の一例である。It is an example of the load load curve obtained by a particle | grain compression test. 従来の技術を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the prior art. 従来の技術を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the prior art.

以下、図を参照して、本発明に係る粒子圧縮試験機について、詳細に説明する。
なお、本発明に係る粒子圧縮試験機は、圧子に負荷する荷重（試験力）と、圧子の変位量（押込み深さ）とを連続してモニター可能な計装化押込み試験機である。
また、本発明の粒子圧縮試験機に適用する試料は、例えば金属やセラミックスの粉末などの、粒径が０．１〜数１００μｍ程度の粒子状の試料である。 Hereinafter, the particle compression tester according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
The particle compression tester according to the present invention is an instrumented indentation tester capable of continuously monitoring a load (test force) applied to an indenter and a displacement amount (indentation depth) of the indenter.
The sample applied to the particle compression tester of the present invention is a particulate sample having a particle size of about 0.1 to several 100 μm, such as metal or ceramic powder.

［第１実施形態］
図１は、第１実施形態における粒子圧縮試験機１００の試験機本体１を示す概略構成図であり、図２は、粒子圧縮試験機１００の制御構成を示すブロック図である。また、図３は、粒子圧縮試験機１００の試料台２及び圧子３を示す拡大断面図であり、（ａ）は試料Ｓに荷重を負荷していない状態、（ｂ）は試料Ｓに荷重を負荷している状態を示している。また、図４は、粒子圧縮試験機１００の試料台２を示す平面図である。 [First Embodiment]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a test machine main body 1 of a particle compression tester 100 in the first embodiment, and FIG. 2 is a block diagram showing a control configuration of the particle compression tester 100. 3 is an enlarged cross-sectional view showing the sample stage 2 and the indenter 3 of the particle compression tester 100. FIG. 3A shows a state in which no load is applied to the sample S, and FIG. It shows the state of loading. FIG. 4 is a plan view showing the sample stage 2 of the particle compression tester 100.

粒子圧縮試験機１００は、図１、図２に示すように、試料Ｓに試験力を付与する試験機本体１と、試験機本体１の各部を制御する制御部２００と、表示部３００と、操作部４００等を備えて構成されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the particle compression tester 100 includes a tester main body 1 that applies a test force to the sample S, a control unit 200 that controls each part of the tester main body 1, a display unit 300, An operation unit 400 is provided.

試験機本体１は、試料Ｓが載置される試料台２と、試料Ｓに荷重を負荷する圧子３と、圧子３を先端に有する圧子軸３ａを一端側に備え、他端側にフォースモータ４を備える荷重レバー５と、荷重レバー５の移動量を検出する変位センサ６等を備えている。   The testing machine main body 1 is provided with a sample stage 2 on which a sample S is placed, an indenter 3 for applying a load to the sample S, and an indenter shaft 3a having an indenter 3 at the tip, and a force motor at the other end. 4 and a displacement sensor 6 for detecting the amount of movement of the load lever 5.

試料台２は、その上面（載置面）に載置された試料Ｓが、試験測定中にずれないように保持するものである。
具体的には、試料台２の載置面には、図３、図４に示すように、曲面形状の窪みからなる載置部２１が設けられている。載置部２１は、試料Ｓに対して十分に大きな曲率半径Ｒを有しており、この載置部２１に試料Ｓが載置された場合、載置部２１の中心点Ｐにおいて試料Ｓが支持され、試料Ｓの不用意な転がりによる位置ずれが防止されるようになっている。
試料台２は、ＸＹＺステージ２ａに搭載されており、ＸＹＺステージ２ａによって上下方向、左右方向、前後方向に移動されて、圧子３に対する試料Ｓの位置を調整可能になっている。 The sample stage 2 holds the sample S placed on its upper surface (mounting surface) so that it does not shift during test measurement.
Specifically, as shown in FIGS. 3 and 4, a mounting portion 21 made of a curved recess is provided on the mounting surface of the sample stage 2. The placement unit 21 has a sufficiently large radius of curvature R with respect to the sample S. When the sample S is placed on the placement unit 21, the sample S is located at the center point P of the placement unit 21. It is supported, and the position shift due to inadvertent rolling of the sample S is prevented.
The sample stage 2 is mounted on the XYZ stage 2a, and is moved in the vertical direction, the horizontal direction, and the front-rear direction by the XYZ stage 2a, so that the position of the sample S with respect to the indenter 3 can be adjusted.

また、試料台２には、載置部２１に載置された試料Ｓを載置面に吸着固定するためのエアー吸着手段としてのエアー吸引装置２２が設けられている。
具体的には、試料台２の載置部２１には、図４に示すように、中心点Ｐの周囲に複数の吸引孔２２ａが設けられている。吸引孔２２ａには接続路（図示省略）が接続されており、この接続路は、例えばソレノイドバルブのような切換弁を介して、例えば真空ポンプ等の負圧を発生するエアー吸引装置２２に接続自在かつ大気圧に解放自在に構成されている。すなわち、吸引孔２２ａは負圧状態又は大気圧に開放した状態に切換え自在となっており、吸引孔２２ａを負圧状態に切換えると、試料Ｓを試料台２の載置部２１に吸着固定することができるようになっている。 Further, the sample stage 2 is provided with an air suction device 22 as an air suction means for sucking and fixing the sample S placed on the placement unit 21 to the placement surface.
Specifically, as shown in FIG. 4, a plurality of suction holes 22 a are provided around the center point P in the mounting portion 21 of the sample stage 2. A connection path (not shown) is connected to the suction hole 22a, and this connection path is connected to an air suction device 22 that generates a negative pressure, such as a vacuum pump, via a switching valve such as a solenoid valve. It is configured to be free and open to atmospheric pressure. That is, the suction hole 22a can be switched to a negative pressure state or a state opened to the atmospheric pressure. When the suction hole 22a is switched to the negative pressure state, the sample S is adsorbed and fixed to the mounting portion 21 of the sample stage 2. Be able to.

圧子３は、その先端が平面形状の平面圧子であり、試料台２の上方に上下移動可能に備えられている。圧子３は、この圧子３に荷重を負荷することのできるフォースモータ４及び荷重レバー５に連動して鉛直下方に変位し、試料台２上の試料Ｓに対して圧縮負荷を加える。   The indenter 3 is a planar indenter having a planar shape at its tip, and is provided above the sample stage 2 so as to be movable up and down. The indenter 3 is displaced vertically downward in conjunction with a force motor 4 and a load lever 5 that can apply a load to the indenter 3, and applies a compressive load to the sample S on the sample stage 2.

荷重レバー５は、略中央部において回動軸５ａによって回動可能に軸支されており、一端の下面側に圧子軸３ａを介して圧子３を備えている。また、荷重レバー５の他端の上面側にフォースモータ４を備えている。
フォースモータ４は、フォースコイル４ａとマグネット４ｂとにより構成されており、マグネット４ｂがつくる磁界と、フォースコイル４ａに流れる電流との電磁誘導に応じて発生する力を駆動力として用い、荷重レバー５を回動させて、荷重レバー５の一端側を押し下げたり、押し上げたりする。 The load lever 5 is pivotally supported by a pivot shaft 5a at a substantially central portion, and includes an indenter 3 on the lower surface side of one end via an indenter shaft 3a. A force motor 4 is provided on the upper surface side of the other end of the load lever 5.
The force motor 4 includes a force coil 4a and a magnet 4b, and uses a force generated according to electromagnetic induction between a magnetic field generated by the magnet 4b and a current flowing through the force coil 4a as a driving force. Is rotated and the one end side of the load lever 5 is pushed down or pushed up.

そして、フォースモータ４の駆動によって、荷重レバー５の一端側を押し下げるようにして、圧子３に荷重を負荷し、その圧子３を試料Ｓの表面に押し付けることが可能になっている。
つまり、フォースモータ４と荷重レバー５とが協働し、荷重負荷手段として、圧子３に荷重を負荷し、圧子３を試料Ｓの表面に押し付けるようになっている。
なお、制御部２００が、フォースモータ４のフォースコイル４ａに流す電流量を無段階に調整することによって、フォースモータ４は無段階の駆動力を出力し、荷重レバー５を介して圧子３に無段階の荷重（試験力）を負荷することができる。 Then, by driving the force motor 4, one end side of the load lever 5 is pushed down, a load is applied to the indenter 3, and the indenter 3 can be pressed against the surface of the sample S.
That is, the force motor 4 and the load lever 5 cooperate to load the indenter 3 as a load loading means and press the indenter 3 against the surface of the sample S.
The control unit 200 adjusts the amount of current flowing through the force coil 4 a of the force motor 4 in a stepless manner, so that the force motor 4 outputs a stepless driving force and does not pass through the load lever 5 to the indenter 3. A stage load (test force) can be applied.

変位センサ６は、荷重レバー５の一端側の上面に設けられた被検知部６ａと、その被検知部６ａとの距離（間隔）を検出するセンサ部６ｂとにより構成されており、回動する荷重レバー５の一端側の変位量を検出可能なセンサである。
そして、変位センサ６は、荷重レバー５が回動した際の、その一端側の変位を検出するようにして、荷重レバー５の一端側に設けられている圧子３の変位を検出することができる。
つまり、変位センサ６は、変位検出手段の一部として、圧子３の変位を検出する。
なお、変位センサ６は、検出した荷重レバー５の一端側の変位（圧子３の変位）に基づく圧子変位信号を制御部２００に出力する。 The displacement sensor 6 includes a detected portion 6a provided on the upper surface on one end side of the load lever 5, and a sensor portion 6b that detects a distance (interval) between the detected portion 6a and rotates. It is a sensor that can detect the amount of displacement on one end side of the load lever 5.
The displacement sensor 6 can detect the displacement of the indenter 3 provided on one end side of the load lever 5 so as to detect the displacement on one end side when the load lever 5 rotates. .
That is, the displacement sensor 6 detects the displacement of the indenter 3 as a part of the displacement detection means.
The displacement sensor 6 outputs an indenter displacement signal based on the detected displacement on the one end side of the load lever 5 (displacement of the indenter 3) to the control unit 200.

表示部３００は、例えば、液晶表示パネルであって、制御部２００から入力される表示信号に従って、試験結果等、各種表示画面の表示処理を行う。   The display unit 300 is a liquid crystal display panel, for example, and performs display processing of various display screens such as test results according to a display signal input from the control unit 200.

操作部４００は、例えば、キーボードなどの操作キー群であって、ユーザにより操作されると、その操作に伴う操作信号を制御部２００に出力する。なお、操作部４００は、必要に応じてマウスやタッチパネルなどのポインティングデバイスや、リモートコントローラなど、その他の操作装置を備えるようにしてもよい。
そして、この操作部４００は、ユーザが試料Ｓの粒子圧縮試験を行う指示入力を行う際に操作される。また、操作部４００は、ユーザが試料Ｓの表面に押し付ける荷重の設定を行う際に操作される。 The operation unit 400 is a group of operation keys such as a keyboard, for example, and outputs an operation signal associated with the operation to the control unit 200 when operated by a user. Note that the operation unit 400 may include other operation devices such as a pointing device such as a mouse and a touch panel, a remote controller, and the like as necessary.
The operation unit 400 is operated when the user inputs an instruction to perform a particle compression test of the sample S. The operation unit 400 is operated when the user sets a load to be pressed against the surface of the sample S.

制御部２００は、図２に示すように、ＣＰＵ２１０と、ＲＡＭ２２０と、記憶部２３０を備えている。そして、制御部２００は、システムバスなどを介して、ＸＹＺステージ２ａ、フォースモータ４、変位センサ６、表示部３００、操作部４００、エアー吸引装置２２、等と接続している。   As illustrated in FIG. 2, the control unit 200 includes a CPU 210, a RAM 220, and a storage unit 230. The control unit 200 is connected to the XYZ stage 2a, the force motor 4, the displacement sensor 6, the display unit 300, the operation unit 400, the air suction device 22, and the like via a system bus or the like.

ＣＰＵ２１０は、例えば、記憶部２３０に記憶されている粒子圧縮試験機用の各種処理プログラムに従って、各種制御処理を行う。   CPU210 performs various control processing according to the various processing programs for particle | grain compression test machines memorize | stored in the memory | storage part 230, for example.

ＲＡＭ２２０は、例えば、ＣＰＵ２１０によって実行される処理プログラムなどを展開するためのプログラム格納領域や、入力データや処理プログラムが実行される際に生じる処理結果などを格納するデータ格納領域などを備えている。   The RAM 220 includes, for example, a program storage area for developing a processing program executed by the CPU 210, a data storage area for storing processing results generated when the input data and the processing program are executed, and the like.

記憶部２３０は、例えば、粒子圧縮試験機１００で実行可能なシステムプログラムや、そのシステムプログラムで実行可能な各種処理プログラム、これら各種処理プログラムを実行する際に使用されるデータ、ＣＰＵ２１０によって演算処理された各種処理結果のデータなどを記憶する。なお、プログラムは、コンピュータが読み取り可能なプログラムコードの形で記憶部２３０に記憶されている。   The storage unit 230 is, for example, a system program that can be executed by the particle compression tester 100, various processing programs that can be executed by the system program, data used when executing these various processing programs, and arithmetic processing by the CPU 210. Data of various processing results is stored. The program is stored in the storage unit 230 in the form of a computer readable program code.

具体的には、記憶部２３０は、例えば、試験力検出プログラム２３１、変位検出プログラム２３２、等を記憶している。   Specifically, the storage unit 230 stores, for example, a test force detection program 231 and a displacement detection program 232.

試験力検出プログラム２３１は、例えば、ＣＰＵ２１０に、圧子３を試料Ｓの表面に押し付けた際の試料Ｓに負荷される試験力を検出する機能を実現させるプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ２１０は、試験力検出プログラム２３１を実行することにより、フォースモータ４のフォースコイル４ａに所定の荷重に応じた電流を供給しフォースモータ４を動作させる。そして、そのフォースモータ４の駆動で荷重レバー５を回動させて、圧子３が試料Ｓに対して所定の荷重を負荷して押し込むようになっており、この際、ＣＰＵ２１０は、圧子３に負荷された荷重を、試料Ｓに負荷される試験力として検出する。
ＣＰＵ２１０は、かかる試験力検出プログラム２３１を実行することで、試験力検出手段として機能する。 The test force detection program 231 is, for example, a program that causes the CPU 210 to realize a function of detecting a test force applied to the sample S when the indenter 3 is pressed against the surface of the sample S.
Specifically, the CPU 210 executes the test force detection program 231 to supply a current corresponding to a predetermined load to the force coil 4a of the force motor 4 to operate the force motor 4. Then, the load lever 5 is rotated by driving the force motor 4 so that the indenter 3 applies a predetermined load to the sample S and pushes it in. At this time, the CPU 210 applies a load to the indenter 3. The applied load is detected as a test force applied to the sample S.
The CPU 210 functions as a test force detection unit by executing the test force detection program 231.

変位検出プログラム２３２は、例えば、ＣＰＵ２１０に、圧子３の変位を検出する機能を実現させるプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ２１０は、変位検出プログラム２３２を実行することにより、変位センサ６に、荷重レバー５が回動した際の一端側の変位を検出させることにより、荷重レバー５の一端側に設けられている圧子３の変位を検出させる。
ＣＰＵ２１０は、かかる変位検出プログラム２３２を実行することで、変位センサ６と共に変位検出手段として機能する。 The displacement detection program 232 is a program that causes the CPU 210 to realize a function of detecting the displacement of the indenter 3, for example.
Specifically, the CPU 210 executes the displacement detection program 232 to cause the displacement sensor 6 to detect the displacement on one end side when the load lever 5 rotates, thereby providing the one end side of the load lever 5. The displacement of the indenter 3 is detected.
The CPU 210 functions as a displacement detection unit together with the displacement sensor 6 by executing the displacement detection program 232.

次に、粒子圧縮試験機１００による試料Ｓに対する粒子圧縮試験について、図３を用いて説明する。
かかる粒子圧縮試験を実行するにあたり、ユーザは、圧子軸３ａに圧子３を取り付け、試料台２の載置部２１に試料Ｓを載せ、ＸＹＺステージ２ａにより試料台２の位置調整を行う。すなわち、図３（ａ）に示すように、試料Ｓの真上に圧子３が位置するように試料台２の位置調整を行う。このとき、試料Ｓは試料台２の載置部２１の中心点Ｐに位置するようになるため、試料Ｓと圧子３との位置が調整後にずれることがない。
また、ユーザは、圧子３を試料Ｓの表面に押し付ける荷重の設定を入力部３００に入力し、測定を開始する。
圧縮試験が開始されると、ＣＰＵ２１０は、フォースモータ４及び荷重レバー５により圧子３に対して荷重の負荷を開始する。すなわち、図３（ｂ）に示すように、試料Ｓの上方から圧子３が試料Ｓに対して荷重の負荷を開始する。そして、ＣＰＵ２１０は、所定の速度で圧子３に負荷する荷重を増加させて圧子３と試料台２との間で試料Ｓ（１個）を圧縮し、圧縮荷重の増加に伴う圧縮変位（変位量）の変化を測定して圧縮変位が急激に増加した時点の圧縮荷重を崩壊荷重とする。即ち、試料Ｓが完全に崩壊する時点の荷重値が圧縮強度となる。
この圧縮試験中、試料Ｓは試料台２の載置部２１の中心点Ｐに常時固定されることとなる。 Next, a particle compression test on the sample S by the particle compression tester 100 will be described with reference to FIG.
In executing such a particle compression test, the user attaches the indenter 3 to the indenter shaft 3a, places the sample S on the mounting portion 21 of the sample stage 2, and adjusts the position of the sample stage 2 by the XYZ stage 2a. That is, as shown in FIG. 3A, the position of the sample stage 2 is adjusted so that the indenter 3 is positioned right above the sample S. At this time, since the sample S comes to be positioned at the center point P of the mounting portion 21 of the sample stage 2, the positions of the sample S and the indenter 3 do not shift after adjustment.
In addition, the user inputs a setting of a load for pressing the indenter 3 against the surface of the sample S to the input unit 300 and starts measurement.
When the compression test is started, the CPU 210 starts loading the indenter 3 with the force motor 4 and the load lever 5. That is, as shown in FIG. 3B, the indenter 3 starts loading the sample S from above the sample S. Then, the CPU 210 increases the load applied to the indenter 3 at a predetermined speed and compresses the sample S (one piece) between the indenter 3 and the sample stage 2, and compressive displacement (displacement amount) accompanying the increase in the compression load. ) Is measured, and the compression load at the time when the compression displacement suddenly increases is defined as the collapse load. That is, the load value at the time when the sample S completely collapses becomes the compressive strength.
During this compression test, the sample S is always fixed to the center point P of the mounting portion 21 of the sample stage 2.

以上のように、本第１実施形態の粒子圧縮試験機１００によれば、試料台２が試料Ｓの載置面に曲面形状の窪みからなる載置部２１を備えた構成となっているため、試料Ｓは載置部２１の内部に保持されることとなり、粒子状の試料Ｓが載置部２１の外に転がるのを防止することができ、常時、同一条件で試料を保持することができる。
また、常時同一条件で試料を保持することができるため、粒子圧縮試験機において、安定した試験結果、ばらつきの少ない試験結果を得ることができる。
また、試料Ｓは載置部２１の中心点Ｐで支持されることとなるので、試料台２上の試料Ｓの位置決めを自然に行うことができる。
よって、簡便な構成でありながら、再現性の良い試験結果を得ることができる。 As described above, according to the particle compression testing machine 100 of the first embodiment, the sample stage 2 has a configuration in which the mounting surface 21 including the concave portion of the curved surface is provided on the mounting surface of the sample S. The sample S is held inside the placement unit 21, and the particulate sample S can be prevented from rolling out of the placement unit 21, and the sample can be always held under the same conditions. it can.
In addition, since the sample can always be held under the same conditions, a stable test result and a test result with little variation can be obtained in the particle compression tester.
Further, since the sample S is supported at the center point P of the mounting portion 21, the sample S on the sample stage 2 can be positioned naturally.
Therefore, it is possible to obtain a test result with good reproducibility while having a simple configuration.

なお、上記実施形態においては、先端面が平面形状の圧子を用いたが、この平面圧子３の代わりに、図５（ａ）（ｂ）に示すように、その先端形状が凸又は凹の曲面形状となるよう構成された圧子３Ａ、３Ｂを用いることとしても良い。
これら圧子３Ａ、３Ｂの先端の曲面形状は、試料Ｓに対して十分に大きい曲率半径をするように構成されている。
このように構成した場合、圧子３Ａ、３Ｂは、平面圧子３と比較して、試料Ｓとの接触面積を小さくできるため、試験の精度をより向上させることができる。 In the above embodiment, an indenter having a flat tip surface is used. Instead of the flat indenter 3, a curved surface having a convex or concave tip shape as shown in FIGS. Indenters 3A and 3B configured to have a shape may be used.
The curved shapes of the tips of the indenters 3A and 3B are configured to have a sufficiently large curvature radius with respect to the sample S.
When configured in this way, the indenters 3A and 3B can reduce the contact area with the sample S as compared with the flat indenter 3, so that the accuracy of the test can be further improved.

（変形例１）
次に、変形例１として、第１実施形態の変形例について図６を参照して説明する。
変形例１の基本的構成は第１実施形態と同様であるが、変形例１の粒子圧縮試験機１００ａは、第１実施形態のエアー吸引装置２２の代わりに、静電気力発生手段としての静電気力発生装置２３を備えている。
すなわち、静電気力発生装置２３により静電気力を発生させ、この静電気力により載置部２１と試料Ｓとを吸着させる構成となっている。 (Modification 1)
Next, as a first modification, a modification of the first embodiment will be described with reference to FIG.
The basic configuration of the first modification is the same as that of the first embodiment, but the particle compression tester 100a of the first modification is an electrostatic force as an electrostatic force generating means instead of the air suction device 22 of the first embodiment. A generator 23 is provided.
That is, an electrostatic force is generated by the electrostatic force generator 23 and the mounting portion 21 and the sample S are adsorbed by the electrostatic force.

具体的には、静電気力発生装置２３は、例えば、試料台２に、誘電体内部に２枚の金属電極が埋設された基板を備え、両電極間に電圧を印加することで静電気力を発生させる、いわゆる静電チャック等を用いることができる。
つまり、この静電気力発生装置２３は、金属電極を包囲する誘電体において誘電分極現象が起こり、これにより試料Ｓとの間に静電気力が生じ、基板に試料Ｓが吸着されることとなる。
なお、他の静電気力発生手段として、例えばポリメタクリル酸メチル、ポリエチレン等の高絶縁体又は上述の絶縁体を互いに接触又は摩擦したり、絶縁体と導体とを接触又は摩擦する等して静電気力を発生させてもよい。或いは、コロナ放電により静電気力を発生させたり、紫外線、Ｘ線、電子ビーム、イオンビーム等の照射により静電気力を発生させてもよい。 Specifically, the electrostatic force generation device 23 includes, for example, a substrate in which two metal electrodes are embedded in a dielectric on the sample stage 2, and generates an electrostatic force by applying a voltage between both electrodes. A so-called electrostatic chuck or the like can be used.
That is, in the electrostatic force generator 23, a dielectric polarization phenomenon occurs in the dielectric surrounding the metal electrode, whereby an electrostatic force is generated between the sample S and the sample S is adsorbed on the substrate.
In addition, as another means for generating electrostatic force, for example, a high insulator such as polymethyl methacrylate or polyethylene, or the above-mentioned insulator is brought into contact with or rubbed with each other, or an insulator and a conductor are brought into contact or rubbed with each other. May be generated. Alternatively, an electrostatic force may be generated by corona discharge, or an electrostatic force may be generated by irradiation with ultraviolet rays, X-rays, an electron beam, an ion beam, or the like.

（変形例２）
次に、変形例２として、第１実施形態の変形例について図７を参照して説明する。
変形例２の基本的構成は第１実施形態と同様であるが、変形例２の粒子圧縮試験機１００ｂは、第１実施形態のエアー吸引装置２２の代わりに、電磁力発生手段としての電磁力発生装置２４を備えている。
すなわち、電磁力発生装置２４により電磁力を発生させ、この電磁力により載置部２１と試料Ｓとを吸着させる構成となっている。
具体的には、電磁力発生装置２４は、例えば、磁極用鋼材に巻いたコイルに電流を通して磁石とし、電流を切って磁力をなくす原理を応用した、多数の電磁石をＳ極とＮ極が交互となるように並べてその間を非磁性体で囲んだいわゆる角テ−ブル型チャック等を用いることができる。 (Modification 2)
Next, as a second modification, a modification of the first embodiment will be described with reference to FIG.
The basic configuration of Modification 2 is the same as that of the first embodiment, but the particle compression tester 100b of Modification 2 is an electromagnetic force as electromagnetic force generation means instead of the air suction device 22 of the first embodiment. A generator 24 is provided.
That is, an electromagnetic force is generated by the electromagnetic force generator 24 and the mounting portion 21 and the sample S are attracted by this electromagnetic force.
Specifically, the electromagnetic force generator 24 is configured such that, for example, a magnet that passes a current through a coil wound around a steel for magnetic poles is used as a magnet, and a large number of electromagnets are applied alternately to S poles and N poles by applying the principle of cutting off the current and eliminating the magnetic force. A so-called square table type chuck or the like in which the two are arranged so as to be surrounded by a nonmagnetic material can be used.

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について第１実施形態と異なる点を中心に説明し、同じ箇所には第１実施形態と同一の符号を付して説明を省略する。
本実施形態の粒子圧縮試験機２００は、試料台２の試料Ｓの載置面に、３つの載置部２１ａ、２１ｂ、２１ｃを備えて構成されている。
図８（ａ）（ｂ）は、粒子圧縮試験機２００の試料台２を示す拡大断面図である。
３つの載置部２１ａ、２１ｂ、２１ｃは、図８（ａ）に示すように、それぞれ異なる曲率（曲率半径）を有するように構成しても良いし、図８（ｂ）に示すように、全て同一の曲率（曲率半径）を有するように構成しても良い。 [Second Embodiment]
Next, the second embodiment of the present invention will be described with a focus on differences from the first embodiment, and the same portions will be denoted by the same reference numerals as those of the first embodiment and description thereof will be omitted.
The particle compression tester 200 of the present embodiment is configured to include three placement portions 21a, 21b, and 21c on the placement surface of the sample S of the sample stage 2.
8A and 8B are enlarged cross-sectional views showing the sample stage 2 of the particle compression tester 200. FIG.
The three placement portions 21a, 21b, and 21c may be configured to have different curvatures (curvature radii) as shown in FIG. 8A, or as shown in FIG. You may comprise so that all may have the same curvature (curvature radius).

図８（ａ）に示すように、３つの載置部２１ａ、２１ｂ、２１ｃがそれぞれ異なる曲率（曲率半径）を有する場合、試料Ｓの粒径に応じて載置部を選択できるようになっている。
一方、図８（ｂ）に示すように、３つの載置部２１ａ、２１ｂ、２１ｃが全て同一の曲率（曲率半径）を有する場合、複数の試料Ｓに対して同時に荷重を負荷することができるようになっている。
なお、本実施形態においては、試料台２に３つの載置部２１ａ、２１ｂ、２１ｃを備えた例について説明しているが、載置部の数はこれに限定されるものではい。 As shown in FIG. 8A, when the three placement portions 21a, 21b, and 21c have different curvatures (curvature radii), the placement portion can be selected according to the particle size of the sample S. Yes.
On the other hand, as shown in FIG. 8B, when all of the three mounting portions 21a, 21b, and 21c have the same curvature (curvature radius), a load can be applied to a plurality of samples S simultaneously. It is like that.
In the present embodiment, an example in which the sample stage 2 is provided with the three placement portions 21a, 21b, and 21c has been described. However, the number of placement portions is not limited thereto.

以上のように、本実施形態の粒子圧縮試験機２００によれば、第１実施形態と同様の効果が得られるのは勿論のこと、試料台２における試料Ｓの載置面に載置部を複数備えているため、測定試験に応じて適した試料台の態様が選択可能となり、ユーザの使い勝手を向上させることができる。
すなわち、複数の載置部が同一の曲率（曲率半径）を有する場合、常に同数の複数の試料を一度に圧縮できるため再現性がよく、精度の高い測定試験を行うことができる。
また、複数の載置部がそれぞれ異なる曲率（曲率半径）を有する場合、試料Ｓの粒径に応じて載置部を選択することができ、より精度の高い測定試験を行うことができる。 As described above, according to the particle compression tester 200 of the present embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained, and the mounting portion is provided on the mounting surface of the sample S on the sample stage 2. Since a plurality of specimens are provided, it is possible to select a suitable sample stage according to the measurement test, thereby improving user convenience.
That is, when a plurality of placement parts have the same curvature (curvature radius), the same number of samples can always be compressed at a time, so that a reproducible and highly accurate measurement test can be performed.
Further, when the plurality of placement portions have different curvatures (curvature radii), the placement portion can be selected according to the particle size of the sample S, and a more accurate measurement test can be performed.

なお、上記実施形態以外にも、例えば、試料台２の試料Ｓの載置面に、３つの載置部２１ａ、２１ｂ、２１ｃを複数列設けるように構成することもできる。   In addition to the above-described embodiment, for example, the mounting surface of the sample S of the sample stage 2 may be configured to provide a plurality of mounting portions 21a, 21b, and 21c in a plurality of rows.

１００、１００ａ、１００ｂ 粒子圧縮試験機
２ 試料台
２１、２１ａ〜２１ｃ 載置部
２２ エアー吸引装置（エアー吸着手段）
２３ 静電気力発生装置（静電気力発生手段）
２４ 電磁力発生装置（電磁力発生手段）
３ 圧子
４ フォースモータ（荷重負荷手段）
５ 荷重レバー（荷重負荷手段）
６ 変位センサ（変位検出手段）
２００ 制御部
２１０ ＣＰＵ
２２０ ＲＡＭ
２３０ 記憶部
２３１ 試験力検出プログラム（試験力検出手段）
２３２ 変位検出プログラム（変位検出手段）
Ｐ 中心点
Ｓ 試料 100, 100a, 100b Particle compression tester 2 Sample stage 21, 21a-21c Placement part 22 Air suction device (air adsorption means)
23 Electrostatic force generator (electrostatic force generator)
24 Electromagnetic force generator (electromagnetic force generating means)
3 Indenter 4 Force motor (loading means)
5 Load lever (load load means)
6 Displacement sensor (displacement detection means)
200 control unit 210 CPU
220 RAM
230 storage unit 231 test force detection program (test force detection means)
232 Displacement detection program (displacement detection means)
P Center point S Sample

Claims (10)

粒子状の試料を載置するための試料台と、
前記試料台の上方に上下移動可能に備えられた圧子と、
前記圧子に荷重を負荷し、前記圧子を試料の表面に押し付ける荷重負荷手段と、
前記荷重負荷手段により前記圧子を試料の表面に押し付けた時の試料に負荷される試験力を検出する試験力検出手段と、
前記圧子の変位を検出する変位検出手段と、
を備えた粒子圧縮試験機において、
前記試料台は、試料の載置面に、試料に対して大きな曲率半径を有する曲面形状の窪みからなる載置部を備えることを特徴とする粒子圧縮試験機。 A sample stage for placing a particulate sample;
An indenter provided above the sample stage so as to be vertically movable;
A load-loading means for applying a load to the indenter and pressing the indenter against a surface of a sample;
A test force detecting means for detecting a test force applied to the sample when the indenter is pressed against the surface of the sample by the load loading means;
Displacement detecting means for detecting displacement of the indenter;
In a particle compression tester equipped with
The sample stage is provided with a placing portion made of a curved depression having a large radius of curvature with respect to the sample on the placing surface of the sample . 前記試料台は、試料の載置面に前記載置部を複数備えていることを特徴とする請求項１に記載の粒子圧縮試験機。   The particle compression tester according to claim 1, wherein the sample stage includes a plurality of the placement units on the sample placement surface. 前記複数の載置部の載置面は、それぞれ異なる曲率を有することを特徴とする請求項２に記載の粒子圧縮試験機。   The particle compression tester according to claim 2, wherein the mounting surfaces of the plurality of mounting units have different curvatures. 前記圧子の先端部は、凸又は凹の曲面形状であることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の粒子圧縮試験機。   The particle compression tester according to any one of claims 1 to 3, wherein the tip portion of the indenter has a convex or concave curved surface shape. 前記載置部に載置された試料を載置面に吸着固定するためのエアー吸着手段を備えていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の粒子圧縮試験機。   The particle compression tester according to any one of claims 1 to 4, further comprising an air adsorbing means for adsorbing and fixing the sample placed on the placing portion to the placing surface. 前記載置部に載置された試料を載置面に吸着固定するための静電気力を発生させる静電気力発生手段を備えていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の粒子圧縮試験機。   5. The apparatus according to claim 1, further comprising an electrostatic force generation unit configured to generate an electrostatic force for attracting and fixing the sample placed on the placement unit to the placement surface. Particle compression tester. 前記載置部に載置された試料を載置面に吸着固定するための電磁力を発生させる電磁力発生手段を備えていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の粒子圧縮試験機。   5. The electromagnetic force generating means for generating an electromagnetic force for attracting and fixing the sample placed on the placement portion to the placement surface is provided. 5. Particle compression tester. 上下移動可能に備えられた圧子により、粒子状の試料に荷重を負荷して圧縮試験を行う粒子圧縮試験機に用いられる粒子圧縮試験機用試料台において、
試料を載置する載置面に、試料に対して大きな曲率半径を有する曲面形状の窪みからなる載置部を備えることを特徴とする粒子圧縮試験機用試料台。 In a sample table for a particle compression tester used in a particle compression tester that performs a compression test by applying a load to a particulate sample by an indenter that is movable up and down,
A sample stage for a particle compression tester, comprising: a mounting surface comprising a curved recess having a large radius of curvature with respect to a sample on a mounting surface on which the sample is mounted. 試料の載置面に、前記載置部を複数備えていることを特徴とする請求項８に記載の粒子圧縮試験機用試料台。   The sample stage for a particle compression tester according to claim 8, wherein the sample mounting surface includes a plurality of the mounting units described above. 前記複数の載置部の載置面は、それぞれ異なる曲率を有することを特徴とする請求項９に記載の粒子圧縮試験機用試料台。   The sample table for a particle compression tester according to claim 9, wherein the mounting surfaces of the plurality of mounting units have different curvatures.
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