JP5219056B1 - Taping unit and electronic component inspection device - Google Patents
Taping unit and electronic component inspection device Download PDFInfo
- Publication number
- JP5219056B1 JP5219056B1 JP2012196593A JP2012196593A JP5219056B1 JP 5219056 B1 JP5219056 B1 JP 5219056B1 JP 2012196593 A JP2012196593 A JP 2012196593A JP 2012196593 A JP2012196593 A JP 2012196593A JP 5219056 B1 JP5219056 B1 JP 5219056B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- unit
- inspection
- transfer path
- transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L21/6836—Wafer tapes, e.g. grinding or dicing support tapes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
- H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
【課題】テーピング不良を低減し、電子部品の除去、排出、及び再充填を効率よく行う。
【解決手段】テーピングユニット1は、移送部10と、外観検査部20と、保持部30とを備える。移送部10は、収容位置P1でポケットUに収容された電子部品Dを移送路Lに沿って移送する。外観検査部20は、収容位置P1より移送方向下流側の検査位置P2に配置され、移送される電子部品Dの検査を行う。保持部30は、移送路Lの上方の収容位置P1と検査位置P2との間で直線状に移動する。保持部30は、外観検査部20の検査結果に応じて検査位置P2に位置するポケットUから電子部品Dを除去する。さらに、収容位置P1に位置するポケットUから電子部品Dを取り出し保持し、検査位置P2に位置するポケットUにその取り出した電子部品Dを収容する。
【選択図】図2The present invention reduces taping defects and efficiently removes, discharges, and refills electronic components.
A taping unit includes a transfer unit, an appearance inspection unit, and a holding unit. The transfer unit 10 transfers the electronic component D accommodated in the pocket U at the accommodation position P1 along the transfer path L. The appearance inspection unit 20 is disposed at an inspection position P2 on the downstream side in the transfer direction from the housing position P1, and inspects the electronic component D to be transferred. The holding unit 30 moves linearly between the accommodation position P1 above the transfer path L and the inspection position P2. The holding unit 30 removes the electronic component D from the pocket U located at the inspection position P <b> 2 according to the inspection result of the appearance inspection unit 20. Further, the electronic component D is taken out and held from the pocket U located at the accommodation position P1, and the taken-out electronic component D is accommodated in the pocket U located at the inspection position P2.
[Selection] Figure 2
Description
本発明は、キャリアテープに電子部品を収容し、外観検査を行って不良品を除去し良品を再充填するテーピングユニット及びテーピングユニットを備えた電子部品検査装置に関する。 The present invention relates to a taping unit that accommodates an electronic component in a carrier tape, performs an appearance inspection to remove defective products, and refills non-defective products, and an electronic component inspection apparatus including the taping unit.
半導体素子等の電子部品は、ダイシング、マウンティング、ボンディング、及びシーリング等の各組み立て工程を経て個片に分離された後、各種検査等の工程が行われる。この工程は、一般的にはテストハンドラーと呼ばれる電子部品検査装置で行われる。これは、メインテーブルを回転させ、搬送部の電子部品を吸着ノズル等の保持手段で保持し、各検査装置に対して搬送して検査を行うものである。検査を終えた電子部品は、テーピングユニットにおいてキャリアテープのポケットUに収容される。 Electronic components such as semiconductor elements are separated into individual pieces through various assembly processes such as dicing, mounting, bonding, and sealing, and then various processes such as inspection are performed. This process is generally performed by an electronic component inspection apparatus called a test handler. In this method, the main table is rotated, the electronic components of the transport unit are held by a holding unit such as a suction nozzle, and transported to each inspection apparatus for inspection. The electronic component that has been inspected is accommodated in the pocket U of the carrier tape in the taping unit.
電子部品を収容したキャリアテープは巻き取りモータによって巻き取られるが、その前に外観検査を行う。外観検査は、電子部品がポケットに正しい方向で収容されていない、収容された電子部品に傷がある、ポケットが空である、等の不良を検出するためのものである。検査の方法としては、スプロケットを用いてキャリアテープを間欠的に移送し、移送路上に電子部品を撮像するカメラを配置して電子部品を撮像する。カメラの撮像画像から不良が検出された場合には、吸着ノズル等の除去手段を用いて電子部品をポケットから取り除く。そして、キャリアテープを移送方向とは逆方向に移送し、空のポケットUを電子部品の収容位置に戻して新たな電子部品を収容する(例えば、特許文献1参照)。 The carrier tape containing the electronic components is taken up by a take-up motor, but before that, an appearance inspection is performed. The appearance inspection is for detecting defects such as an electronic component not stored in the pocket in the correct direction, a scratch on the stored electronic component, or an empty pocket. As an inspection method, the carrier tape is intermittently transferred using a sprocket, and a camera for imaging the electronic component is arranged on the transfer path to image the electronic component. When a defect is detected from the captured image of the camera, the electronic component is removed from the pocket using a removing means such as a suction nozzle. Then, the carrier tape is transported in the direction opposite to the transport direction, and the empty pocket U is returned to the electronic component housing position to accommodate a new electronic component (see, for example, Patent Document 1).
キャリアテープの移送は、キャリアテープに設けられたスプロケット穴に、回転するスプロケットの突起が貫通することによって行われる。ここで、穴と突起の間に隙間があると、逆方向への移送でガタつきが生じ、ポケットの位置が収容する電子部品からずれてしまう可能性がある。そのため、特に小型の電子部品の場合は、そのようなガタつきを防ぐために穴と突起が隙間なく係合するように調整したり、逆方向への移送の際にテーピングユニット自体を動かす機構が必要となる場合もある。また、キャリアテープを逆方向に移送する際にキャリアテープに巻き込みが起きてテーピングユニットの動作不良が発生する可能性がある。 The carrier tape is transported by the sprocket protrusion rotating through the sprocket hole provided in the carrier tape. Here, if there is a gap between the hole and the protrusion, the movement in the reverse direction may cause backlash, and the position of the pocket may deviate from the electronic component to be accommodated. Therefore, especially in the case of small electronic components, in order to prevent such rattling, a mechanism for adjusting the hole and the protrusion so that there is no gap, or a mechanism for moving the taping unit itself when transporting in the reverse direction is required. It may become. Further, when the carrier tape is transported in the reverse direction, the carrier tape may be entangled and malfunction of the taping unit may occur.
さらには、検査位置が収容位置から離れている場合、逆方向への移送距離が長くなる。そうなると、すでに電子部品を収容したキャリアテープがスプロケットの位置まで戻り、下向きになって中身の電子部品が脱落してしまう可能性もある。 Furthermore, when the inspection position is away from the storage position, the transfer distance in the reverse direction becomes long. If this happens, the carrier tape that already contains the electronic components may return to the position of the sprocket and face down, causing the contents of the electronic components to fall off.
そこで、収容位置近傍とカメラの下の移送路直上に複数のプリズムを配置して、電子部品の像をこれらのプリズムを介してカメラに導く構成とすることで、収容位置と外観検査位置を近づけてキャリアテープの逆方向への移送距離を最小限にすることが考えられる。 Therefore, by arranging a plurality of prisms in the vicinity of the storage position and directly above the transfer path under the camera, the image of the electronic component is guided to the camera via these prisms, so that the storage position and the appearance inspection position are brought close to each other. Thus, it is conceivable to minimize the transfer distance of the carrier tape in the reverse direction.
しかしながら、この方法でも依然としてテーピングユニットの逆方向への移送は必要である。さらに、電子部品の撮像のためには電子部品に照射する照明装置が必要となるが、移送路直上にプリズムを配置しているため十分なスペースが取れず、照明装置も小型化してしまう。これによって十分な光量の確保ができず、精密な外観検査が難しくなるという問題があった。例えば、影が落ちた箇所の外観検査が困難となったり、画像処理によってもクラックを判別できなかったりするおそれがあった。 However, this method still requires a reverse transfer of the taping unit. Furthermore, an illumination device that irradiates the electronic component is required for imaging the electronic component. However, since a prism is disposed immediately above the transfer path, a sufficient space cannot be obtained, and the illumination device is also downsized. As a result, a sufficient amount of light cannot be ensured, and there is a problem that precise visual inspection becomes difficult. For example, it may be difficult to inspect the appearance of a shadowed portion, or the crack may not be determined by image processing.
本発明は、上記のような問題点を解決するために提案されたもので、テーピングユニットの外観検査において、検査結果に応じた不良部品の除去及び良品の再充填を、キャリアテープを逆方向へ移送せずに行うことによって、テーピング不良の発生の可能性を低減し、信頼性の高いテーピングユニット及び電子部品検査装置を提供することを目的とする。 The present invention has been proposed to solve the above-described problems. In the appearance inspection of the taping unit, removal of defective parts and refilling of non-defective products according to the inspection results are performed in the reverse direction of the carrier tape. An object of the present invention is to provide a highly reliable taping unit and electronic component inspection apparatus that reduce the possibility of occurrence of a taping failure by carrying out without transferring.
本発明に係るテーピングユニットは、長手方向に複数の収容部を並べたキャリアテープに電子部品を収容して移送路上を移送するものであり、以下を備えるものである。
(a)移送路上の収容位置に位置する収容部に電子部品が収容されたキャリアテープを移送路に沿って移送する移送部
(b)収容位置より移送方向下流側の検査位置に配置され、移送部によって当該検査位置に移送された電子部品の検査を行う外観検査部
(c)移送路の上方を、収容位置と検査位置との間で直線状に移動し、外観検査部の検査結果に応じて検査位置に位置する収容部から電子部品を除去して排出し、収容位置に位置する収容部から電子部品を取り出し保持し、検査位置に位置する収容部に保持している電子部品を収容する保持部
A taping unit according to the present invention accommodates an electronic component on a carrier tape in which a plurality of accommodating portions are arranged in the longitudinal direction and transports it on a transport path, and includes the following.
(A) A transfer unit for transferring a carrier tape containing electronic components in a storage unit located at a storage position on the transfer path along the transfer path. (B) A transfer unit disposed at an inspection position downstream in the transfer direction from the storage position. Appearance inspection unit that inspects the electronic components transferred to the inspection position by the unit (c) Moves linearly between the storage position and the inspection position above the transfer path, and according to the inspection result of the appearance inspection unit The electronic component is removed from the housing portion located at the inspection position and discharged, the electronic component is taken out from the housing portion located at the housing position and held, and the electronic component held in the housing portion located at the inspection position is housed. Holding part
また、収容位置と検査位置との間に排出位置を設け、検査位置に位置する収容部から電子部品を除去した保持部がこの排出位置に移動し、電子部品を排出する。 In addition , a discharge position is provided between the storage position and the inspection position, and the holding unit from which the electronic component has been removed from the storage part positioned at the inspection position moves to this discharge position, and the electronic component is discharged .
本発明の一態様によれば、外観検査部は、検査位置の移送路上方に設けられ検査位置に移送された電子部品を撮像する撮像装置と、撮像装置と垂直方向に間隔を空けて移送路直上に配置され検査位置に移送された電子部品を照射する照明装置とを含む。照明装置に移送路と移送路上方とを連通する開口部を設け、保持部が撮像装置と照明装置との間からこの開口部を介して移送路に向かって下降し、検査位置に位置する電子部品を収容部から除去する。 According to one aspect of the present invention, the appearance inspection unit includes an imaging device that is provided above the inspection position transfer path and images an electronic component that has been transferred to the inspection position, and a transfer path that is spaced apart from the imaging apparatus in the vertical direction. And an illuminating device that irradiates an electronic component that is arranged immediately above and transferred to the inspection position. The illumination device is provided with an opening that communicates the transfer path and the upper portion of the transfer path, and the holding unit descends from between the imaging device and the illumination device toward the transfer path via the opening, and the electron located at the inspection position Remove the part from the housing.
本発明の一態様によれば、照明装置は、複数のLEDが移送路を囲むように円環状に配置されているものであっても良い。 According to one aspect of the present invention, the lighting device may be one in which a plurality of LEDs are arranged in an annular shape so as to surround the transfer path.
本発明の一態様によれば、保持部は、電子部品を保持する保持機構と当該保持機構を駆動する駆動部とを含む。保持機構には電子部品に接触した際に保持機構を上方に付勢する付勢部材を設けても良い。 According to one aspect of the present invention, the holding unit includes a holding mechanism that holds the electronic component and a drive unit that drives the holding mechanism. The holding mechanism may be provided with a biasing member that biases the holding mechanism upward when contacting the electronic component.
本発明の一態様によれば、収容位置と検査位置との間に保持部が電子部品の移送中に待機する待機位置を設けても良い。 According to one aspect of the present invention, a standby position where the holding unit waits during transfer of the electronic component may be provided between the storage position and the inspection position.
さらに、上記テーピングユニットを備えた電子部品検査装置も、本発明の一態様である。 Furthermore, an electronic component inspection apparatus including the taping unit is also an aspect of the present invention.
本発明によれば、移送路の上方を直線状に移動する保持部を用いることで、電子部品の除去、排出、及び再充填を効率よく行うことができ、さらにキャリアテープの逆方向への移送によるテーピング不良を低減した信頼性の高いテーピングユニット及び電子部品検査装置を提供することができる。 According to the present invention, by using the holding portion that moves linearly above the transfer path, it is possible to efficiently remove, discharge, and refill electronic components, and further transfer the carrier tape in the reverse direction. It is possible to provide a highly reliable taping unit and electronic component inspection apparatus in which taping defects due to the above are reduced.
以下、本発明の実施形態に係るテーピングユニット及び電子部品検査装置の実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of a taping unit and an electronic component inspection apparatus according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
(第1の実施形態)
(構成)
本実施形態のテーピングユニット1の全体的な構成を、図1及び図2を参照して説明する。なお、図2の模式図は、わかりやすくするために構成の一部を簡略化及び拡大して表示している。
(First embodiment)
(Constitution)
The overall configuration of the
テーピングユニット1は、電子部品検査装置における各種工程処理の一つを行うユニットである。テーピングユニット1において、様々な検査工程を経た電子部品DがキャリアテープTに収容され、移送路L上を移送されて梱包される。電子部品Dは、電子部品検査装置のメインテーブルに設けられた搬送手段の吸着ノズル111によってテーピングユニット1に搬送され、キャリアテープTに収容される。電子部品Dは電気製品に使用される部品であって、半導体素子が含まれる。半導体素子としては、トランジスタや集積回路が挙げられる。さらに半導体以外の電子部品として、チップコンデンサ、チップ抵抗、インダクタ、フィルタ、アイソレータ等も含まれる。キャリアテープTは、テープにエンボス加工を施してポケットUを設けたもので、長手方向に電子部品Dの収容部となる複数のポケットUが並んでいる。
The
テーピングユニット1は、大別して、移送部10と、外観検査部20と、保持部30とを備える。移送部10は、収容位置P1でポケットUに収容された電子部品Dを移送路Lに沿って移送する。外観検査部20は、収容位置P1より移送方向下流側の検査位置P2に配置され、移送される電子部品Dの検査を行う。保持部30は、移送路Lの上方の収容位置P1と検査位置P2との間で直線状に移動する。保持部30は、外観検査部20の検査結果に応じて検査位置P2に位置するポケットUから電子部品Dを除去する。さらに、収容位置P1に位置するポケットUから電子部品Dを取り出し保持し、検査位置P2に位置するポケットUにその取り出した電子部品Dを収容する。
The
以下、各構成を詳説する。
移送部10は、テーピングユニット1の本体部1a上に設けられたガイドレール11と、本体部1aの端部に設けられたスプロケット12と、スプロケット12を駆動する不図示のモータを有する。
Hereinafter, each configuration will be described in detail.
The
ガイドレール11は本体部1a上を装置長手方向に延びる。不図示の収納部からキャリアテープTが引き出され、スプロケット12を介してこのガイドレール11に導かれる。スプロケット12は、例えば、中心部をモータの回転軸が挿通しており、モータの駆動によって回転するものである。スプロケット12の周面には等間隔で突起が設けられている。また、キャリアテープTには、図示しないスプロケット穴が設けられている。スプロケット12が回転されると、この突起がキャリアテープTのスプロケット穴に貫通してキャリアテープTをガイドレール11に沿って移動させる。
The
本実施形態において「移送路L」とは、このガイドレール11上に形成され、スプロケット12によるキャリアテープTの移動によって実現される電子部品Dが移送される通路を意味する。また、「移送方向」とは、スプロケット12によってキャリアテープTが巻き出される方向であり、すなわち電子部品Dがガイドレール11上を不図示の巻き取りモータに向かって進む方向を意味する。
In the present embodiment, the “transfer path L” means a path formed on the
移送部10はこの移送路Lに沿って、キャリアテープTのポケットUに収容された電子部品Dを、移送方向へ移送する。この移送路Lの移送方向上流側に電子部品Dの収容位置P1が設けられている。この収容位置P1に、電子部品検査装置の吸着ノズル111が停止し、先端に吸着された電子部品Dが離脱されて収容位置P1に位置しているキャリアテープTのポケットUに収容される。
The
一方、移送路Lの収容位置P1より移送方向下流側には、電子部品Dの外観検査を行う位置である検査位置P2が設けられている。移送部10は、収容位置P1でポケットUに収容された電子部品Dをこの検査位置P2まで移送する。検査位置P2には外観検査部20が配置されている。
On the other hand, an inspection position P2 that is a position for performing an appearance inspection of the electronic component D is provided on the downstream side in the transfer direction from the accommodation position P1 of the transfer path L. The
外観検査部20は、検査位置P2の移送路L上方に設けられ検査位置P2に移送された電子部品Dを撮像する撮像装置21と、撮像装置21と垂直方向に間隔を空けて移送路L直上に配置され、検査位置P2に移送された電子部品Dに照明を照射する照明装置22とを含む。
The
撮像装置21は移送路L上方に配置されたカメラ本体21aと、カメラ本体21aから下方に延びるレンズ21bとを備える。レンズ21bは、検査位置P2に位置するポケットUに臨んでいる。また、レンズ21bの先端に照明装置22による照明をさらに補強するために、レンズ先端照明21cを取り付けても良い。ガイドレール11の脇には、スタンド24が本体部1aから立設し、撮像装置21は、このスタンド24の先端に取り付けられたブラケット23に支持されている。
The
照明装置22は、ガイドレール11の直上に載置されたリング型照明である。図3に示すように、このリング型照明には、複数の砲弾型LED22aが円環状をなし、更に高さ方向に多段に並ぶように配置され、検査位置P2に位置する電子部品Dを取り囲んでいる。照明装置22の中央には移送路Lと移送路Lの上方とを連通する開口部22bが設けられている。この開口部22bによって、移送路L上の電子部品Dの像が、移送路L上方の撮像装置21まで届く。
The
図2に示すように、撮像装置21は不良検出部40に接続されている。カメラが撮像した画像は不良検出部40に送信される。不良検出部40は撮像画像から電子部品Dの不良の有無を判定し、不良が検出された場合には不良検出信号を不図示の制御装置へ送信する。なお、「不良」とは、電子部品の外観に傷がある場合のみならず、電子部品がポケットU1に正しい方向又は正しい位置で収容されていない、あるいは表裏が正しい向きで収容されていない場合も含む。
As shown in FIG. 2, the
保持部30は、電子部品Dを保持する保持機構としてチャック31と、チャック31を支持しかつ移送方向及び移送方向と逆の方向に移動させ、さらに上下方向に移動させる駆動部32とを有する。
The holding
チャック31は、例えば、真空吸着機構のものを用いることができる。チャック31は真空の発生により先端部で電子部品Dを吸着保持し、真空破壊により離脱させる。チャック31にはバネ(不図示)が組み込まれ、チャック31の先端部分が電子部品Dに接触した際に、チャック31全体を上方に付勢する付勢部材として作用する。これによって電子部品Dに与えられる衝撃が緩和される。また、チャック31には下限位置調整機構(不図示)が設けられており、電子部品Dの厚みの違いに対応してチャック31が下降する下限位置が調整される。下限位置調整機構は、例えば、ストッパボルト又はマイクロメータとナット等によって構成することができる。
As the
駆動部32は、チャック31に連結された気圧式又は油圧式のシリンダ機構が用いられている。駆動部32としてはその他の駆動源も使用可能であり、例えばシリンダ装置以外のモータ装置も使用可能である。
The
外観検査部20の検査結果に応じて、駆動部32が駆動し、保持部30を移送路L上方の、収容位置P1と検査位置P2との間で直線状に移動させる。保持部30は収容位置P1及び検査位置P2で停止してさらに上下方向に移動し、チャック31によって電子部品Dの吸着保持及び離脱を行う。
The
収容位置P1と検査位置P2との間には待機位置P3が設けられているが、チャック31はキャリアテープT移送時にはこの待機位置P3で停止して待機する。
A standby position P3 is provided between the storage position P1 and the inspection position P2, but the
保持部30全体の大きさは、検査位置P2に移動した際に、撮像装置21と照明装置22との間の空間に入り、これらの装置に干渉しない大きさとなっている。また、チャック31は少なくとも先端部が照明装置22の開口部22bに入る大きさであり、先端部が開口部22bに入った状態で先端が電子部品Dに接触する長さとなっている。
The overall size of the holding
待機位置P3には、さらに排出ビン50が設けられている。排出ビン50は、待機位置P3で停止している保持部30の下に配置され、保持部30から離脱した電子部品Dはこの排出ビン50に収容される。すなわち、待機位置P3は電子部品Dの排出位置でもある。排出ビン50は、自重落下により不良の電子部品Dを排出するものであっても良く、あるいは真空吸引によって確実に不良の電子部品Dを吸引して排出するものであっても良い。この待機位置P3には、さらにチャック31が電子部品Dを保持しているか否かを検出するセンサ(不図示)が取り付けられている。
A
移送部10、外観検査部20、保持部30、不良検出部40及びセンサはそれぞれ不図示の制御装置に接続されている。制御装置は移送部10や保持部30の移送速度や停止・駆動のタイミングを制御し、外観検査部20の撮像装置21の撮像タイミングを制御する。さらに、不良検出部40から送信された不良検出信号に基づいて、保持部30を駆動させる。
The
(作用)
本実施形態のテーピングユニット1の作用を、図4のフローチャートに沿って説明する。また、各ステップにおけるテーピングユニット1の動作については、電子部品検査装置のメインテーブルの動作と関連させて、図5〜図11を参照して説明する。
(Function)
The operation of the
(ステップS01)
図5に示すように、電子部品検査装置のメインテーブルMが旋回し、外周に設けられた搬送手段の吸着ノズル111に保持された電子部品D1が、テーピングユニット1の収容位置P1に搬送される。電子部品D1は、真空破壊により吸着ノズル111から離脱して収容位置P1に位置するキャリアテープTのポケットU1に収容される。なお、このとき保持部30は収容位置P1と検査位置P2の間の待機位置P3に位置している。
(Step S01)
As shown in FIG. 5, the main table M of the electronic component inspection apparatus turns, and the electronic component D1 held by the
(ステップS02)
図6に示すように、移送部10のスプロケット12が回転してキャリアテープTが移送方向へ進行し、収容位置P1において電子部品D1を収容したポケットU1は移送方向下流の検査位置P2まで移動する。
(Step S02)
As shown in FIG. 6, the
(ステップS03)
検査位置P2まで移送された電子部品D1は、外観検査部20によって外観検査が行われる。具体的には、電子部品D1に照明装置22の照明が照射される。電子部品D1の像は照明装置22の開口部22bを介して撮像装置21に届き、撮像装置21によって撮像される。撮像結果は、不良検出部40に送信される。不良検出部40は、電子部品がポケットU1に正しい方向又は正しい位置で収容されていない、表裏が正しい向きで収容されていない、あるいは電子部品の外観に傷がある等の不良を検出する。
(Step S03)
The
(ステップS04)
ステップS03において、不良検出部40が不良を検出しなかった場合(ステップS03:No)、キャリアテープTを移送方向へさらに進行し、隣のポケットに収容された電子部品が順次検査位置P2に移送され、外観検査部20によって外観検査が行われる。
(Step S04)
In step S03, when the defect detection unit 40 does not detect a defect (step S03: No), the carrier tape T is further advanced in the transfer direction, and the electronic components accommodated in the adjacent pockets are sequentially transferred to the inspection position P2. Then, the
(ステップS05)
ステップS03において電子部品D1になんらかの不良が検出された場合(ステップS03:Yes)、不良検出部40から制御装置へ不良検出信号が送信される。制御装置はキャリアテープTの移送を停止し、メインテーブルMの回転も停止する。図7に示すように、このとき収容位置P1に位置するキャリアテープTのポケットU2には、電子部品D2が収容されている。ここで、待機位置P3に位置していた保持部30が検査位置P2まで移動し、撮像装置21と照明装置22との間に入って停止する。
(Step S05)
If any defect is detected in the electronic component D1 in step S03 (step S03: Yes), a defect detection signal is transmitted from the defect detection unit 40 to the control device. The control device stops the transfer of the carrier tape T and stops the rotation of the main table M. As shown in FIG. 7, the electronic component D2 is accommodated in the pocket U2 of the carrier tape T located at the accommodating position P1 at this time. Here, the holding
(ステップS06)
図8に示すように、検査位置P2に停止した保持部30は、照明装置22の開口部22bを通って移送路Lに向かって下降する。保持部30のチャック31は、検査位置P2のポケットU1に収容された電子部品D1に接触すると、真空の発生により電子部品D1を吸着保持する。電子部品D1を保持した状態で保持部30は上昇して、電子部品D1はポケットU1から除去される。
(Step S06)
As shown in FIG. 8, the holding
(ステップS07)
図9に示すように、保持部30は除去した電子部品D1を保持しながら、移送方向と逆方向に移動して、収容位置P1と検査位置P2との間に設けられた待機位置P3で停止する。ここでチャック31は真空破壊により電子部品D1を離脱させる。チャック31から離脱した電子部品D1は、保持部30の下に配置されている排出ビン50に排出される。待機位置P3に設けられたセンサでチャック31の先端の電子部品D1の有無が検出され、電子部品D1が正しく排出されたか確認される。
(Step S07)
As shown in FIG. 9, the holding
(ステップS08)
図10に示すように、電子部品D1を排出した保持部30は、さらに移送方向と逆方向に移動して、収容位置P1で停止する。この際に、メインテーブルMは搬送方向へ1/2ピッチ回転する。これによって、搬送手段が収容位置P1に移動した保持部30に干渉することを回避する。収容位置P1において保持部30は移送路Lに向かって下降する。保持部30のチャック31は、収容位置P1のポケットU2に収容された電子部品D2に接触すると、電子部品D2を吸着保持する。電子部品D2を保持した状態で保持部30が上昇して、電子部品D2はポケットU2から取り出される。
(ステップS09)
(Step S08)
As shown in FIG. 10, the holding
(Step S09)
図11に示すように、電子部品D2を保持した保持部30は移送方向へ移動して、検査位置P2で停止する。また、メインテーブルMを1/2ピッチ搬送方向と逆方向に回転させ、退避させた吸着ノズル111を元の位置に戻す。検査位置P2に停止した保持部30は、照明装置22の開口部22bを通って移送路Lに向かって下降する。所定の位置まで下降すると、保持部30のチャック31は真空破壊により電子部品D2を離脱させる。チャック31から離脱した電子部品D2は、検査位置P2に位置する空のポケットU1に収容される。このようにして、不良の電子部品D1が除去されたポケットU1には、電子部品が再充填される。再充填後、保持部30は待機位置P3に戻る。
As shown in FIG. 11, the holding
その後、再びステップS03に戻り、外観検査部20によって収容された電子部品D2の外観検査が行われる。不良が検出されなかった場合は、キャリアテープTを進行させ、次部品の検査に移る。また、メインテーブルMの回転も再開する。
Then, it returns to step S03 again and the external appearance test | inspection of the electronic component D2 accommodated by the external appearance test |
なお、再充填した電子部品D2についても不良が検出された場合には、保持部30を用いて再び不良の電子部品D2の除去と新たな電子部品の再充填を行う。このとき、収容位置P1のポケットU2には新たな電子部品Dを収容させておく必要があるが、これはメインテーブルMを搬送方向に1ピッチ回転させて行っても良い。
(効果)
If a defect is detected in the refilled electronic component D2, the holding
(effect)
(1)本実施形態のテーピングユニット1は、移送路Lの上方の、収容位置P1と検査位置P2との間で直線状に移動する保持部30を設け、この保持部30が外観検査部20の検査結果に応じて検査位置P2に位置するキャリアテープTのポケットU1から電子部品D1を除去し、収容位置P1に位置するポケットU2から電子部品D2を取り出し保持し、検査位置P2に位置するポケットU1に保持している電子部品D2を収容させる。
(1) The
これによって、電子部品Dの除去及び再充填のためにキャリアテープTを逆方向に移送する必要がなく、キャリアテープTの弾みや巻き込みによる動作不良や、電子部品Dの脱落を低減することができ、信頼性の高いテーピングユニット1を提供することができる。また、保持部30が移送路Lを外れることなく直線的に移動するため、電子部品Dの除去及び再充填を効率的に行うことができる。これによって、外観検査部20を収容位置P1から離して、照明装置を配置するスペースを大きく確保することが可能となり、さまざまな電子部品の種類や大きさに適応した外観検査を行うことができる、利便性の高いテーピングユニットを提供することができる。
As a result, it is not necessary to transfer the carrier tape T in the reverse direction for removing and refilling the electronic component D, and it is possible to reduce malfunctions caused by bounce and entrainment of the carrier tape T and dropping of the electronic component D. A highly
(2)また、保持部30は、検査位置P2で除去した電子部品を収容位置P1と検査位置P2との間に設けた排出位置で排出する。これによって、電子部品排出のために、保持部30が移送路L上から外れた位置に移動する動作が必要なく、除去、排出及び再充填の動作を直線状の移動を保ったまま効率よく行うことができる。
(2) The holding
(3)外観検査部20として、撮像装置21を検査位置P2の移送路L上方に設け、照明装置22を撮像装置21と間隔を空けて移送路L直上に配置した。また、照明装置22には、移送路Lと移送路L上方とを連通する開口部22bを設けた。そして保持部30は、撮像装置21と照明装置22との間に入り、開口部22bを介して移送路Lに向かって下降し、検査位置P2に位置する電子部品DをポケットUから除去する。
(3) As the
このように、撮像装置21と照明装置22を分離し、さらに移送路L直上の照明装置22には開口部22bを設けたことによって、保持部30を用いた電子部品Dの除去のために外観検査部20を退避させる必要がなくより効率よく外観検査を行うことができる。また外観検査部20の退避のための機構を設ける必要がないため、装置の大型化を回避することができる。さらに、電子部品Dに対して移送路L直上で照明を照射することができるため、より正確な外観検査が可能となる。一方で照明装置22には開口部22bを設けているため、移送路L直上に配置していながら、移送路Lの上方に設けられた撮像装置21が電子部品Dを撮像可能となる。
As described above, the
(4)照明装置22は、複数のLEDが移送路Lを囲むように円環状に配置されたリング型照明を使用している。これによって、中央の開口部22bを確保するとともに、移送路Lに偏りなく照射して、ポケットU内の影の発生を防止できるため、簡易な構造で正確な検査が可能となる。
(4) The
(5)収容位置P1と検査位置P2との間に保持部30が電子部品Dの移送中に待機する待機位置P3が設けられている。そのため、外観検査時には直線状に移動のみで、速やかに収容位置P1及び検査位置P2に移動することができる。
(5) A standby position P3 where the holding
(6)保持部30の電子部品Dを保持するチャック31には、電子部品Dに接触した際にチャック31を上方に付勢するバネが設けられている。これによって、電子部品Dに接触した際に電子部品Dにかかる衝撃が緩和されるため、再充填する電子部品Dの品質を良好に保つことができる。
(6) The
(7)保持部30が収容位置P1のポケットUから電子部品Dを取り出す際に、テーピングユニット1が設けられた停止位置に位置するメインテーブルMの吸着ノズル111を、搬送経路に沿った順方向又は逆方向に移動して退避させる。これによって、吸着ノズル111が保持部30に干渉することがなく、保持部30を移送路Lの収容位置P1に移動させることができ、確実に電子部品Dの取出しを行うことができる。
(7) When the holding
(第2の実施形態)
第1の実施形態で示したテーピングユニット1の、電子部品検査装置への適用例を示す。図12の(a)は、電子部品検査装置の上面図、(b)は電子部品検査装置の側面図である。
(Second Embodiment)
The application example to the electronic component inspection apparatus of the
電子部品検査装置100は、搬送機構及び各種の工程処理機構を備えている。搬送機構は、メインテーブルMを含んで構成される。メインテーブルMは、下方に配置されたダイレクトドライブモータ101の駆動軸で中心が支持されている。このメインテーブルMは、ダイレクトドライブモータ101の駆動に伴って間欠的に所定角度回転する。
The electronic
メインテーブルMの外周端には、電子部品Dを保持する複数の搬送手段110がメインテーブルMの外周に沿って等間隔離間して取り付けられている。メインテーブルMを回転させることで電子部品Dは外周方向に搬送される。搬送手段110の配置間隔は、メインテーブルMの1ピッチの回転角度と等しい。
A plurality of conveying
搬送手段110は、電子部品Dを吸着及び離脱させる吸着ノズル111を備える。この吸着ノズル111は、メインテーブルMの外周部に取り付けられた支持部112によって、その下端をメインテーブルMの下面に突出させるように支持されている。
The
搬送手段110の各停止位置Sには、ノズル駆動部113が配置されている。ノズル駆動部113は、具体的にはモータであり、操作ロッド114を上下動させる。操作ロッド114は、吸着ノズル111の頭部に接触し、押圧力を付与して吸着ノズル111を下方に押し下げる。
A
このような電子部品検査装置100は、図示しない搬送制御部を備え、ダイレクトドライブモータ101、吸着ノズル111を昇降させるノズル駆動部113、真空発生装置、及び各種の工程処理ユニットに電気信号を送出することで、これらの動作タイミングを制御している。すなわち、搬送制御部は、制御プログラムを格納するROM、CPU、及びドライバを備え、制御プログラムに従い、インターフェースを介して各駆動機構に各タイミングで動作信号を出力している。なお、この搬送制御部は、テーピングユニット1の制御装置と同一のものでもよく、または制御装置と送受信が可能な別個の制御部であってもよい。
Such an electronic
各種の工程処理機構は、メインテーブルMを取り囲んで外周方向に等間隔離間して配置されている。配置間隔は、メインテーブルMの1ピッチの回転角度と同一若しくは整数倍に等しい。各種の工程処理機構としては、メインテーブルMの回転方向に順に、例えば、パーツフィーダ102、マーキングユニット103、外観検査ユニット104、テストコンタクトユニット105、分類ソートユニット106、姿勢補正ユニット107、テーピングユニット1が配置される。
Various process processing mechanisms surround the main table M and are arranged at equal intervals in the outer circumferential direction. The arrangement interval is the same as or equal to an integral multiple of the rotation angle of one pitch of the main table M. As various process processing mechanisms, for example, the
以上のような電子部品検査装置100において、テーピングユニット1の収容位置P1は、搬送手段110の停止位置Sにある。停止位置Sにおいて、搬送手段110の吸着ノズル111から、真空破壊により離脱した電子部品Dは、収容位置P1に位置するポケットUに収容される。そして、上述の実施形態で説明したように、検査位置P2で不良の有無が検査された後、巻き取りモータへ送られる。
In the electronic
メインテーブルMは、基本は1ピッチの回転角度で回転しているが、回転角度は適宜調整可能である。例えば、上述したように、テーピングユニット1の保持部30が収容位置P1に移動する際にはメインテーブルを1/2ピッチ順方向又は逆方向に回転させることで、収容位置P1から搬送手段110を退避させ、保持部30への干渉を避けることができる。
(その他の実施形態)
The main table M basically rotates at a rotation angle of 1 pitch, but the rotation angle can be adjusted as appropriate. For example, as described above, when the holding
(Other embodiments)
(1)上述の実施形態では保持部30全体が上下に移動するような構成にしたが、保持機構であるチャック31を伸縮自在に構成し、チャック31の伸縮によって電子部品Dの取出し及び収容を行うようにしてもよい。
(1) In the above-described embodiment, the
(2)上述の実施形態では、保持部30の保持機構として真空吸着機構で電子部品Dを吸着保持するチャック31を用いたが、これに限られない。例えば電子部品を挟持する機械式チャック機構や静電吸着機構、ベルヌーイチャック機構を用いることができる。
(2) In the above-described embodiment, the
(3)上述の実施形態では、照明装置22として複数の砲弾型LED22aが全体として円環状になるように配置されたリング型照明を用いたが、これに限られない。移送路L上の電子部品Dに十分な光が照射され、さらに保持機構が照明装置22に干渉されることなく電子部品Dの取出しと収容を行えるものであればよい。例えば、矩形やその他の多角形状の照明装置や、基端部から立ち上がり内側に向かって張り出すドーム型の照明装置を用いても良い。また、複数の照明装置を間隔を設けて検査位置P2の周りに配置したものでも良い。この場合「開口部」とは、複数の照明装置の間に形成され、移送路Lと移送路Lの上方とを連通する空間であっても良い。
(3) In the above-described embodiment, the ring-type illumination in which the plurality of bullet-
(4)上述の実施形態では、保持部30の待機位置P3と、排出ビン50が設けられた電子部品Dの排出位置を同位置としたが、これに限られない。収容位置P1と検査位置P2との間で、保持部30が直線状に移動する範囲であれば、別々の位置に設けても良い。
(4) In the above-described embodiment, the standby position P3 of the holding
(5)本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。 (5) The present invention is not limited to the above-described embodiment as it is, and can be embodied by modifying the constituent elements without departing from the scope of the invention in the implementation stage. In addition, various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of components disclosed in the embodiment. For example, some components may be deleted from all the components shown in the embodiment. Furthermore, constituent elements over different embodiments may be appropriately combined.
1 テーピングユニット
1a 本体部
10 移送部
11 ガイドレール
12 スプロケット
20 外観検査部
21 撮像装置
21a カメラ本体
21b レンズ
21c レンズ先端照明
22 照明装置
22a 砲弾型LED
22b 開口部
23 ブラケット
24 スタンド
30 保持部
31 チャック(保持機構)
32 駆動部
40 不良検出部
50 排出ビン
100 電子部品検査装置
101 ダイレクトドライブモータ
102 パーツフィーダ
103 マーキングユニット
104 外観検査ユニット
105 テストコンタクトユニット
106 分類ソートユニット
107 姿勢補正ユニット
110 搬送手段
111 吸着ノズル
112 支持部
113 ノズル駆動部
114 操作ロッド
D,D1,D2 電子部品
L 移送路
M メインテーブル
P1 収容位置
P2 検査位置
P3 待機位置/排出位置
T キャリアテープ
S 停止位置
DESCRIPTION OF
32 drive unit 40
Claims (8)
移送路上の収容位置に位置する収容部に電子部品が収容された前記キャリアテープを移送路に沿って移送する移送部と、
前記収容位置より移送方向下流側の検査位置に配置され、前記移送部によって当該検査位置に移送された電子部品の検査を行う外観検査部と、
前記移送路の上方を、前記収容位置と前記検査位置との間で直線状に移動し、前記外観検査部の検査結果に応じて前記検査位置に位置する収容部から電子部品を除去し、前記収容位置に位置する収容部から電子部品を取り出し保持し、前記検査位置に位置する収容部に保持している電子部品を収容する保持部と、を有し、
前記保持部は、前記検査位置に位置する収容部から電子部品を除去し、当該電子部品を保持して前記収容位置と前記検査位置との間に設けられた排出位置に移動して、前記電子部品を前記排出位置に設けられた排出部に排出することを特徴とするテーピングユニット。 A taping unit that accommodates an electronic component in a carrier tape in which a plurality of accommodating portions are arranged in the longitudinal direction and moves on a transfer path,
A transfer section for transferring the carrier tape, in which electronic components are stored in a storage section located at a storage position on the transfer path, along the transfer path;
An appearance inspection unit that is arranged at an inspection position downstream of the housing position in the transfer direction and inspects an electronic component transferred to the inspection position by the transfer unit;
The upper part of the transfer path is moved linearly between the accommodation position and the inspection position, and electronic components are removed from the accommodation part located at the inspection position according to the inspection result of the appearance inspection part, A holding part for taking out and holding the electronic component from the receiving part located in the receiving position, and holding the electronic part held in the receiving part located in the inspection position ;
The holding unit removes an electronic component from the storage unit located at the inspection position, holds the electronic component, moves to a discharge position provided between the storage position and the inspection position, and features and to ruthenate over keeping unit to discharge the component discharge portion provided in the discharge position.
前記照明装置には、前記移送路と移送路上方とを連通する開口部が設けられ、
前記保持部は、前記撮像装置と前記照明装置との間から前記照明装置の開口部を介して前記移送路に向かって下降し、前記検査位置に位置する電子部品を収容部から除去することを特徴とする請求項1記載のテーピングユニット。 The appearance inspection unit is provided above the transfer path of the inspection position and picks up an image of an electronic component transferred to the inspection position, and is disposed immediately above the transfer path with a space in the vertical direction from the imaging apparatus. An illumination device for irradiating the electronic component transferred to the inspection position,
The lighting device is provided with an opening that communicates the transfer path and the upper transfer path.
The holding unit descends toward the transfer path from between the imaging device and the illumination device through the opening of the illumination device, and removes the electronic component located at the inspection position from the housing unit. claim 1 Symbol placement of the taping unit, characterized.
前記電子部品の各種の工程処理に対する搬送経路と、
前記電子部品を保持し、前記搬送経路に沿って間欠移動して搬送する搬送手段と、
前記搬送手段の停止位置の一つに設けられ、前記搬送手段によって搬送された電子部品を、長手方向に複数の収容部を並べたキャリアテープに電子部品を収容して移送路上を移送するテーピングユニットと、を備え、
前記搬送手段は、前記テーピングユニットが設けられた停止位置において、保持する電子部品を前記テーピングユニットの移送路上の収容位置に位置する収容部に収容し、
前記テーピングユニットは、
前記搬送手段によって収容部に収容された電子部品を前記移送路に沿って移送する移送部と、
前記収容位置より移送方向下流側の検査位置に配置され、前記移送部によって当該検査位置に移送された電子部品の検査を行う外観検査部と、
前記移送路の上方を、前記収容位置と前記検査位置との間で直線状に移動し、前記外観検査部の検査結果に応じて前記検査位置に位置する収容部から電子部品を除去して排出し、前記収容位置に位置する収容部から電子部品を取り出し保持し、前記検査位置に位置する収容部に保持している電子部品を収容する保持部と、を有し、
前記保持部は、前記検査位置に位置する収容部から電子部品を除去し、当該電子部品を保持して前記収容位置と前記検査位置との間に設けられた排出位置に移動して、前記電子部品を前記排出位置に設けられた排出部に排出することを特徴とする電子部品検査装置。An electronic component inspection apparatus that performs various process processes while conveying electronic components,
A transport path for various processes of the electronic component;
Transport means for holding the electronic component and intermittently moving along the transport path;
A taping unit that is provided at one of the stop positions of the transport means and that transports the electronic components transported by the transport means on a transport path by housing the electronic components in a carrier tape in which a plurality of housing portions are arranged in the longitudinal direction. And comprising
The conveying means accommodates the electronic component to be held in the accommodating portion located at the accommodating position on the transfer path of the taping unit at the stop position where the taping unit is provided,
The taping unit is
A transfer unit for transferring the electronic component stored in the storage unit by the transfer means along the transfer path;
An appearance inspection unit that is arranged at an inspection position downstream of the housing position in the transfer direction and inspects an electronic component transferred to the inspection position by the transfer unit;
It moves linearly between the accommodation position and the inspection position above the transfer path, and removes and discharges electronic components from the accommodation part located at the inspection position according to the inspection result of the appearance inspection part. And holding and holding the electronic component from the housing portion located at the housing position, and housing the electronic component held in the housing portion located at the inspection position ,
The holding unit removes an electronic component from the storage unit located at the inspection position, holds the electronic component, moves to a discharge position provided between the storage position and the inspection position, and electronic component inspecting apparatus electrostatic you characterized by discharging the component discharge portion provided in the discharge position.
前記照明装置には、前記移送路と移送路上方とを連通する開口部が設けられ、
前記保持部は、前記撮像装置と前記照明装置との間から前記照明装置の開口部を介して前記移送路に向かって下降し、前記検査位置に位置する電子部品を収容部から除去することを特徴とする請求項6記載の電子部品検査装置。 The appearance inspection unit is provided above the transfer path of the inspection position and picks up an image of an electronic component transferred to the inspection position, and is disposed immediately above the transfer path with a space in the vertical direction from the imaging apparatus. An illumination device for irradiating the electronic component transferred to the inspection position,
The lighting device is provided with an opening that communicates the transfer path and the upper transfer path.
The holding unit descends toward the transfer path from between the imaging device and the illumination device through the opening of the illumination device, and removes the electronic component located at the inspection position from the housing unit. electronic component testing apparatus according to claim 6 Symbol mounting features.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012196593A JP5219056B1 (en) | 2012-09-06 | 2012-09-06 | Taping unit and electronic component inspection device |
KR1020130105483A KR20140032323A (en) | 2012-09-06 | 2013-09-03 | Taping unit and electronic part inspection apparatus |
CN201310397841.6A CN103476236B (en) | 2012-09-06 | 2013-09-04 | Braid unit and electronic component check device |
MYPI2013701576A MY154043A (en) | 2012-09-06 | 2013-09-04 | Taping unit and electronic component inspection apparatus |
TW102131909A TWI571188B (en) | 2012-09-06 | 2013-09-05 | Taping unit and electronic parts inspecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012196593A JP5219056B1 (en) | 2012-09-06 | 2012-09-06 | Taping unit and electronic component inspection device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5219056B1 true JP5219056B1 (en) | 2013-06-26 |
JP2014052269A JP2014052269A (en) | 2014-03-20 |
Family
ID=48778711
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012196593A Expired - Fee Related JP5219056B1 (en) | 2012-09-06 | 2012-09-06 | Taping unit and electronic component inspection device |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5219056B1 (en) |
KR (1) | KR20140032323A (en) |
CN (1) | CN103476236B (en) |
MY (1) | MY154043A (en) |
TW (1) | TWI571188B (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104459511A (en) * | 2014-12-30 | 2015-03-25 | 常州银河电器有限公司 | Braid diode screening and detecting device |
JP2019526447A (en) * | 2016-07-20 | 2019-09-19 | バリー−ヴェーミラー ペイパーシステムズ インコーポレイテッド | Device for attaching data carrier to carrier web |
CN114563352A (en) * | 2022-04-27 | 2022-05-31 | 深圳市标谱半导体科技有限公司 | Light source installation component and braid detection device |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104890923A (en) * | 2014-03-07 | 2015-09-09 | 深圳市三一联光智能设备股份有限公司 | Automatic material taking and replacing device of braiding machine |
TWI541169B (en) * | 2014-06-30 | 2016-07-11 | All Ring Tech Co Ltd | Method and device for conveying material |
JP5835825B1 (en) * | 2014-11-19 | 2015-12-24 | 上野精機株式会社 | Carrier tape traveling device and electronic component conveying device |
JP2016156715A (en) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | セイコーエプソン株式会社 | Electronic component conveyance device and electronic component inspection device |
CN105957819B (en) * | 2016-06-30 | 2018-11-16 | 南通康比电子有限公司 | Diode braid appearance test tooling and its method |
CN107719738A (en) * | 2016-08-11 | 2018-02-23 | 深圳安博电子有限公司 | One kind carrier band heat-sealing device |
JP6796363B2 (en) * | 2016-10-05 | 2020-12-09 | 株式会社Fuji | Parts mounting machine |
JP6926579B2 (en) * | 2017-03-27 | 2021-08-25 | Tdk株式会社 | Parts packing device |
EP3610500B1 (en) * | 2017-04-11 | 2021-03-31 | Mühlbauer GmbH & Co. KG. | Component reception apparatus with optical sensor |
CN108169608A (en) * | 2017-12-13 | 2018-06-15 | 格力电器(武汉)有限公司 | A kind of braid component detection device |
CN108033050B (en) * | 2017-12-27 | 2019-10-22 | 福建省将乐县长兴电子有限公司 | A kind of crystal oscillator packing machine |
CN110435957A (en) * | 2019-08-22 | 2019-11-12 | 广东利扬芯片测试股份有限公司 | Integrated circuit surveys volume all-in-one machine from carrier band is moved |
Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04267711A (en) * | 1991-02-23 | 1992-09-24 | Dainippon Printing Co Ltd | Electronic component taping device |
JPH06144407A (en) * | 1992-07-21 | 1994-05-24 | Rohm Co Ltd | Filling charger in taping of electronic parts |
JPH0733109A (en) * | 1993-04-28 | 1995-02-03 | Kooei:Kk | Transfer device for small part, etc. |
JPH07329915A (en) * | 1994-06-10 | 1995-12-19 | Rohm Co Ltd | Continuous taping apparatus for electronic parts |
JPH1159615A (en) * | 1997-08-26 | 1999-03-02 | Seiwa Sangyo Kk | Taping equipment for electronic parts |
JP2001018911A (en) * | 1999-07-08 | 2001-01-23 | Rohm Co Ltd | Continuously taping apparatus for electronic component |
JP2001091583A (en) * | 1999-07-27 | 2001-04-06 | Lucent Technol Inc | System and cassette for testing semiconductor chip |
JP2001228098A (en) * | 2000-02-14 | 2001-08-24 | Sony Corp | Inspection/taping device |
JP2004090955A (en) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Shibuya Kogyo Co Ltd | Taping apparatus |
JP2004315000A (en) * | 2003-04-14 | 2004-11-11 | Ueno Seiki Kk | Taping apparatus for electronic component and taping method |
JP2005035607A (en) * | 2003-07-15 | 2005-02-10 | New Japan Radio Co Ltd | Semiconductor device storage apparatus |
JP2005035553A (en) * | 2003-07-16 | 2005-02-10 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | Manufacturing method for carrier tape |
JP2007022574A (en) * | 2005-07-14 | 2007-02-01 | Ueno Seiki Kk | Taping apparatus for semiconductor device |
JP2011020696A (en) * | 2009-07-14 | 2011-02-03 | Tesetsuku:Kk | Method for storing electronic component and apparatus for storing electronic component |
JP2012516813A (en) * | 2009-02-03 | 2012-07-26 | イスメカ セミコンダクター ホールディング エス アー | Method and apparatus for filling an electronic component into a carrier tape |
JP2012184029A (en) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | Taping apparatus |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6634159B1 (en) * | 1999-09-20 | 2003-10-21 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Taping apparatus for electronic components |
JP4297350B2 (en) * | 2003-04-28 | 2009-07-15 | Tdk株式会社 | Chip component conveying method and apparatus, and appearance inspection method and apparatus |
WO2005100215A1 (en) * | 2004-04-13 | 2005-10-27 | Tdk Corporation | Chip component carrying method and system, and visual inspection method and system |
US20060075631A1 (en) * | 2004-10-05 | 2006-04-13 | Case Steven K | Pick and place machine with improved component pick up inspection |
JP4676879B2 (en) * | 2005-12-29 | 2011-04-27 | ヤマハ発動機株式会社 | Transport machine, mounting machine, printing machine and inspection machine |
CN101989535B (en) * | 2009-08-05 | 2013-09-18 | 深圳市远望工业自动化设备有限公司 | All-in-one machine of semiconductor device for testing, sorting, marking and braiding and one-stop processing method |
JP5685420B2 (en) * | 2010-11-16 | 2015-03-18 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | Chip part packaging apparatus, chip part packaging method and cover tape |
-
2012
- 2012-09-06 JP JP2012196593A patent/JP5219056B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-09-03 KR KR1020130105483A patent/KR20140032323A/en not_active Application Discontinuation
- 2013-09-04 MY MYPI2013701576A patent/MY154043A/en unknown
- 2013-09-04 CN CN201310397841.6A patent/CN103476236B/en not_active Expired - Fee Related
- 2013-09-05 TW TW102131909A patent/TWI571188B/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04267711A (en) * | 1991-02-23 | 1992-09-24 | Dainippon Printing Co Ltd | Electronic component taping device |
JPH06144407A (en) * | 1992-07-21 | 1994-05-24 | Rohm Co Ltd | Filling charger in taping of electronic parts |
JPH0733109A (en) * | 1993-04-28 | 1995-02-03 | Kooei:Kk | Transfer device for small part, etc. |
JPH07329915A (en) * | 1994-06-10 | 1995-12-19 | Rohm Co Ltd | Continuous taping apparatus for electronic parts |
JPH1159615A (en) * | 1997-08-26 | 1999-03-02 | Seiwa Sangyo Kk | Taping equipment for electronic parts |
JP2001018911A (en) * | 1999-07-08 | 2001-01-23 | Rohm Co Ltd | Continuously taping apparatus for electronic component |
JP2001091583A (en) * | 1999-07-27 | 2001-04-06 | Lucent Technol Inc | System and cassette for testing semiconductor chip |
JP2001228098A (en) * | 2000-02-14 | 2001-08-24 | Sony Corp | Inspection/taping device |
JP2004090955A (en) * | 2002-08-30 | 2004-03-25 | Shibuya Kogyo Co Ltd | Taping apparatus |
JP2004315000A (en) * | 2003-04-14 | 2004-11-11 | Ueno Seiki Kk | Taping apparatus for electronic component and taping method |
JP2005035607A (en) * | 2003-07-15 | 2005-02-10 | New Japan Radio Co Ltd | Semiconductor device storage apparatus |
JP2005035553A (en) * | 2003-07-16 | 2005-02-10 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | Manufacturing method for carrier tape |
JP2007022574A (en) * | 2005-07-14 | 2007-02-01 | Ueno Seiki Kk | Taping apparatus for semiconductor device |
JP2012516813A (en) * | 2009-02-03 | 2012-07-26 | イスメカ セミコンダクター ホールディング エス アー | Method and apparatus for filling an electronic component into a carrier tape |
JP2011020696A (en) * | 2009-07-14 | 2011-02-03 | Tesetsuku:Kk | Method for storing electronic component and apparatus for storing electronic component |
JP2012184029A (en) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | Taping apparatus |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104459511A (en) * | 2014-12-30 | 2015-03-25 | 常州银河电器有限公司 | Braid diode screening and detecting device |
JP2019526447A (en) * | 2016-07-20 | 2019-09-19 | バリー−ヴェーミラー ペイパーシステムズ インコーポレイテッド | Device for attaching data carrier to carrier web |
CN114563352A (en) * | 2022-04-27 | 2022-05-31 | 深圳市标谱半导体科技有限公司 | Light source installation component and braid detection device |
CN114563352B (en) * | 2022-04-27 | 2022-07-19 | 深圳市标谱半导体科技有限公司 | Light source installation component and braid detection device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103476236A (en) | 2013-12-25 |
KR20140032323A (en) | 2014-03-14 |
CN103476236B (en) | 2017-11-14 |
TWI571188B (en) | 2017-02-11 |
MY154043A (en) | 2015-04-27 |
JP2014052269A (en) | 2014-03-20 |
TW201412207A (en) | 2014-03-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5219056B1 (en) | Taping unit and electronic component inspection device | |
TWI467631B (en) | Method and device for filling carrier tapes with electronic components | |
JP5674060B2 (en) | Electronic component transfer device and taping unit | |
JP5633950B2 (en) | Taping unit, electronic component accommodation method, and electronic component inspection apparatus | |
JP5544461B1 (en) | Attitude correction device, electronic component transfer device, and electronic component transfer device | |
JP2009166003A (en) | Parts sorting apparatus and apparatus for inspecting and sorting characteristics of electronic parts using this apparatus | |
TWI513520B (en) | A transfer apparatus and a method of for transferring electronic devices, and a test handler | |
JP2008285179A (en) | Taping device and method for controlling the same | |
JP5765864B2 (en) | Electronic component transfer device and taping unit | |
JP2012116528A (en) | Taping unit and electronic component inspection device | |
JP6164623B1 (en) | Electronic component moving device and electronic component conveying device | |
TWI555687B (en) | Electronic component handling device | |
KR20180083557A (en) | Device handler | |
JP2013257316A (en) | Device and method for removing tested semiconductor devices | |
JP5835758B1 (en) | Appearance inspection device | |
JP5800378B1 (en) | Electronic component conveyor | |
KR101360111B1 (en) | Classifying device of parts and device for characteristic-inspection/classification of electronic parts | |
JP5342374B2 (en) | Electronic component mounting device | |
JP6356245B2 (en) | Inspection method | |
JP5548843B2 (en) | Electronic component inspection device and tray transfer device | |
KR101646974B1 (en) | Apparatus for packing bare chip | |
JP2010241592A (en) | Non-vibration type part feeder | |
JP2010129605A (en) | Electronic component disposal box, electronic component mounting device, and electronic component mounting method | |
JP2017105618A (en) | Processing unit and electronic component conveyance device | |
KR910006470B1 (en) | System for arranging chip in series |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160315 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5219056 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |