JP5013058B2 - Defect detection method and apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、欠陥検出方法および装置に関するものである。   The present invention relates to a defect detection method and apparatus.

自動車ボディーのようにプレス加工によって作られる商品または工業製品は、応力が集中するところに割れやかけ等の欠陥が発生し易い。このため従来では、この欠陥を検出するために複数の検査員による目視検査を行っていたが、騒音による環境が良くないこと、また人間固有の検査ミスが発生することから、長年検査の自動化が求められていた。   Products such as automobile bodies that are manufactured by press working or industrial products are prone to defects such as cracks and cracks where stress is concentrated. For this reason, in the past, visual inspections by a plurality of inspectors were performed to detect this defect, but the environment caused by noise was not good, and human-specific inspection errors occurred. It was sought after.

欠陥を検出する装置の例としては、特許文献1に開示された品質検出装置がある。この品質検出装置は、金型を用いてプレス加工を行うときに用いられ、この金型に振動センサを埋設している。なお振動センサは、製品に亀裂等の加工不良が発生し易い部位に近接して埋設している。そして品質検出装置はプレス加工をしたときに、振動センサでモニタした正常な振動共鳴周波数と、振動センサで検知した振動共鳴周波数とを比較して、加工不良が発生したか否かを判断している。   As an example of an apparatus for detecting a defect, there is a quality detection apparatus disclosed in Patent Document 1. This quality detection device is used when press working is performed using a mold, and a vibration sensor is embedded in the mold. Note that the vibration sensor is embedded in the vicinity of a portion where a processing defect such as a crack is likely to occur in the product. The quality detection device compares the normal vibration resonance frequency monitored by the vibration sensor with the vibration resonance frequency detected by the vibration sensor when performing press processing, and determines whether or not a processing defect has occurred. Yes.

また製品の検査方法としては特許文献2に開示された方法があり、次のような構成になっている。まず被検体をインパルスハンマでハンマリングし、このハンマリングによって得られる被検体の振動波形を収集する。次に、収集した振動波形を取り出す。そして取り出した振動波形を高速フーリエ変換処理することにより、被検体の周波数スペクトルを得る。次に、得られた被検体の周波数スペクトルのピーク周波数と、事前に計測しておいた複数の良品における周波数スペクトルのピーク周波数とを比較し、前記被検体のピーク周波数が、良品のピーク周波数の分布内に存在するか否かに基づいて被検体の良否を判定している。
特開平6−328156号公報 特開平9−171008号公報
Further, as a product inspection method, there is a method disclosed in Patent Document 2, which has the following configuration. First, the subject is hammered with an impulse hammer, and the vibration waveform of the subject obtained by the hammering is collected. Next, the collected vibration waveform is taken out. The extracted vibration waveform is subjected to a fast Fourier transform process to obtain a frequency spectrum of the subject. Next, the peak frequency of the obtained frequency spectrum of the subject is compared with the peak frequency of the frequency spectrum of a plurality of non-defective products that have been measured in advance, and the peak frequency of the subject is the peak frequency of the non-defective product. The quality of the subject is determined based on whether or not it exists in the distribution.
JP-A-6-328156 JP-A-9-171008

ところで特許文献1に開示された品質検出装置は、プレス時に大きな振動が短時間に発生することで、それより小さな加工不良に伴って発生する振動が正確に計測できないおそれがある。   By the way, the quality detection apparatus disclosed by patent document 1 may generate | occur | produce a large vibration in a short time at the time of a press, and there exists a possibility that the vibration which generate | occur | produces with the processing defect smaller than it cannot be measured correctly.

また特許文献2に示されている検査方法によれば、検査に人手を介することなく検査を行うことができるようになる。しかし、被検体の形状や生産精度によっては、被検体にバラツキが生じることがある。このような場合、基準となる良品のピーク周波数毎の統計分布が複雑となり、判定誤差を生じるおそれがある。また高速フーリエ変換処理は、短い時間の現象や過渡現象の解析に適さないため、通常の欠陥と異なる欠陥が被検体に生じた場合に対応することができなくなるおそれがある。またインパルスハンマによるハンマリングでは、被検体を加振可能な範囲が限られてしまい、微小な傷の存在を発見する際に用いることができる高周波振動を励起させることが困難であると考えられる。さらにインパルスハンマによるハンマリングは、被検体の形状、構造等によっては、被検体に二次的な欠陥を与える可能性がある。   Further, according to the inspection method disclosed in Patent Document 2, it is possible to perform an inspection without human intervention. However, the subject may vary depending on the shape and production accuracy of the subject. In such a case, the statistical distribution for each peak frequency of the non-defective product that becomes the reference is complicated, and there is a risk of causing a determination error. In addition, since the fast Fourier transform process is not suitable for analyzing short-time phenomena or transient phenomena, it may not be possible to deal with defects that are different from normal defects in the subject. In addition, in the hammering using the impulse hammer, the range in which the subject can be vibrated is limited, and it is considered difficult to excite high-frequency vibrations that can be used when finding the presence of minute flaws. Further, hammering by an impulse hammer may give a secondary defect to the subject depending on the shape and structure of the subject.

なおハンドリングロボットが検出対象物を掴んだ(吸着保持した)状態で、人手を介さずにこれの欠陥検査を短時間で行える欠陥検出装置は今だ産業界にない。   There is still no defect detection device in the industry that can perform a defect inspection in a short time without a human hand while the handling robot is holding (sucking and holding) a detection target.

本発明は、検出対象物を搬送する途中で欠陥の検査を行う欠陥検出方法および装置を提供することを目的とする。   An object of this invention is to provide the defect detection method and apparatus which test | inspect a defect in the middle of conveying a detection target object.

本発明に係る欠陥検出方法は、搬送手段により移動する保持部に検出対象物を吸着保持し、前記保持部に吸着保持された前記検出対象物を前記搬送手段で搬送している途中で、または途中で前記搬送手段を停め、前記保持部に設けられた加振ノズルで前記検出対象物を加振して、前記検出対象物の振動を測定し、この測定結果から特徴量を抽出して予め求めた基準特徴量との相関を求め、欠陥の有無を判定することを特徴としている。また前述した検出対象物を加振するタイミングは、搬送手段が検出対象物を搬送している途中で、または途中で一旦停止したときに加振を開始し、陥の有無の判定が出たときに加振を終了することを特徴としている。 In the defect detection method according to the present invention, the object to be detected is sucked and held by the holding unit that is moved by the conveying unit, and the detection object that is sucked and held by the holding unit is being conveyed by the conveying unit, or The conveyance means is stopped halfway, the detection target is vibrated with a vibration nozzle provided in the holding unit, the vibration of the detection target is measured, and a feature amount is extracted from the measurement result in advance. It is characterized in that a correlation with the obtained reference feature value is obtained and the presence or absence of a defect is determined. The timing for vibrating the detection object described above, the transfer means starts vibrating when the way carrying the detection object, or that once stopped in the middle, leaving the determination of the presence or absence of defects It is characterized by sometimes ending the vibration.

また本発明に係る欠陥検出装置は、検出対象物を吸着保持する保持部を有し、前記保持部を移動させることにより前記検出対象物を搬送する搬送手段と、前記保持部に設けられ、前記検出対象物を加振する加振ノズルと、前記搬送手段で保持した前記検出対象物の移動範囲の少なくとも一部が測定範囲となる振動センサと、前記振動センサで得られた振動波形から特徴量を抽出する線形予測係数算出手段と、前記特徴量と予め求めた基準特徴量との相関を求めて欠陥の有無を調べる判定手段と、を備えたことを特徴としている。そして前述した保持部には、検出対象物に接触するバキュームカップを設け、バキュームカップにこれの内部の空気を吸引する吸引手段を接続したことを特徴としている。 Further, the defect detection apparatus according to the present invention includes a holding unit that holds the detection target by suction , and is provided in the holding unit that transfers the detection target by moving the holding unit. A feature quantity from a vibration nozzle that vibrates a detection target, a vibration sensor in which at least a part of a movement range of the detection target held by the transport unit is a measurement range, and a vibration waveform obtained by the vibration sensor And a determination means for determining the presence / absence of a defect by obtaining a correlation between the feature quantity and a reference feature quantity obtained in advance. The holding unit described above is provided with a vacuum cup that comes into contact with the object to be detected, and suction means for sucking air inside the vacuum cup is connected to the vacuum cup.

また本発明に係る欠陥検出装置は、加振ノズルを保持部に設けたことを特徴としている。また本発明に係る欠陥検出装置は、前記加振ノズルは、気体を噴出して前記検出対象物を加振するものであり、前記搬送手段が配設された工場に気体供給源を設け、この気体供給源と前記加振ノズルとをホースで接続し、このホースにバルブを設けたことを特徴としている。そして前述した検出対象物は、プレス加工された被検体であることを特徴としている。 Moreover, the defect detection apparatus according to the present invention is characterized in that the vibration nozzle is provided in the holding portion. Further, in the defect detection apparatus according to the present invention, the excitation nozzle jets gas to vibrate the detection target, and a gas supply source is provided in a factory in which the transport unit is disposed. The gas supply source and the vibration nozzle are connected by a hose, and a valve is provided on the hose. The detection object described above is a press-processed specimen.

このような欠陥検出方法および装置によれば、検出対象物に内包する割れやニキビ状の突起、くびれ等の欠陥の有無を、検出対象物を搬送する途中で欠陥検出を行える。このため既存の製造ラインに検査工程を容易に追加することができ、検査工程を新設する必要が無い。またハンドリングロボットが検出対象物を吸着保持した状態で欠陥検出を行えるので、短時間で検査を終了でき、また検査員の手を介さないで検査ができるから検査作業の安全面のメリットが大きい。   According to such a defect detection method and apparatus, it is possible to detect a defect in the middle of transporting the detection target object for the presence or absence of a defect such as a crack, acne-like protrusion, or constriction included in the detection target object. For this reason, an inspection process can be easily added to an existing production line, and there is no need to newly establish an inspection process. In addition, since the handling robot can detect the defect while the object to be detected is sucked and held, the inspection can be completed in a short time, and the inspection can be performed without the intervention of the inspector.

またバキュームカップを保持部に配設しているので、ハンドリングロボットは検出対象物の形状等にかかわらず吸着保持でき、また欠陥検出を行える。またハンドリングロボットは、バキュームカップを用いて検出対象物を吸着保持しているので、検出対象物の振動がハンドリングロボットに伝達し、延いては振動センサに伝わることが無いので、検出対象物の欠陥の有無を正確に判定できる。
また加振ノズルから気体を噴射して検出対象物を加振しているので、ハンマリングで起こり得る2次的な欠陥を検出対象物に与えるのを防止できる。
In addition, since the vacuum cup is disposed in the holding portion, the handling robot can be sucked and held regardless of the shape of the object to be detected, and can detect a defect. In addition, since the handling robot uses vacuum cups to attract and hold the detection object, the vibration of the detection object is transmitted to the handling robot and not to the vibration sensor. Presence or absence can be accurately determined.
Moreover, since the detection target is vibrated by jetting gas from the vibration nozzle, it is possible to prevent the detection target from being given secondary defects that may occur due to hammering.

また本発明に係る欠陥検出方法および装置は、従来技術の装置のように検出対象物の支持部やロケット、加振ノズル・振動センサの駆動(前進・後退)が不要なので、構造が簡素になるとともに、検査時間を短縮できる。   Further, the defect detection method and apparatus according to the present invention does not require driving (advancing / retreating) of the support part of the detection object, the rocket, the excitation nozzle / vibration sensor as in the prior art apparatus, and thus the structure is simplified. At the same time, the inspection time can be shortened.

以下に、本発明に係る欠陥検出方法および装置の最良の実施形態について説明する。図1は欠陥検出装置の説明図である。欠陥検出装置10は、ハンドリングロボット12(搬送手段)、気体供給源32、吸引手段42、振動センサ44および制御判定部50等を備えている。このハンドリングロボット12はプレス機械の内外に設備されており、プレス機で加工された検出対象物48を次工程に搬送するときに用いられる。そしてハンドリングロボット12は複数の関節を有しており、ハンドリングロボット12に接続したロボット用制御手段16によってこれらの動作を制御している。   The best embodiment of the defect detection method and apparatus according to the present invention will be described below. FIG. 1 is an explanatory diagram of a defect detection apparatus. The defect detection apparatus 10 includes a handling robot 12 (conveyance means), a gas supply source 32, a suction means 42, a vibration sensor 44, a control determination unit 50, and the like. The handling robot 12 is installed inside and outside the press machine, and is used when the detection object 48 processed by the press machine is transported to the next process. The handling robot 12 has a plurality of joints, and these operations are controlled by the robot control means 16 connected to the handling robot 12.

そしてハンドリングロボット12におけるアーム14の先端部に、バキュームカップ34と加振ノズル26を装着した保持部18を設けている。この保持部18は、それぞれ棒状になっている第1保持手段20、第2保持手段22および第3保持手段24を有している。そして第1保持手段20は縦方向に向いており、基端側をアーム14の先端部に固着し、先端側を前方に向けて延びている。また第2保持手段22は横方向に向いており、その中央部と第1保持手段20の先端側とが固着している。さらに第3保持手段24は縦方向に向いており、その中央部と第2保持手段22の各端部とが固着している。   A holding unit 18 equipped with a vacuum cup 34 and a vibration nozzle 26 is provided at the tip of the arm 14 in the handling robot 12. The holding portion 18 includes first holding means 20, second holding means 22, and third holding means 24 each having a bar shape. And the 1st holding means 20 has faced the vertical direction, the base end side adheres to the front-end | tip part of the arm 14, and the front end side is extended toward the front. Further, the second holding means 22 faces in the lateral direction, and the central portion thereof is fixed to the front end side of the first holding means 20. Furthermore, the 3rd holding means 24 has faced the vertical direction, The center part and each edge part of the 2nd holding means 22 have adhered.

加振ノズル26は、第1保持手段20と第2保持手段22が接続している近傍に設けてある。この加振ノズル26は気体を噴出して検出対象物48を振動させるものであり、気体の噴出口を検出対象物48に向けて保持部18に配設してある。すなわち加振ノズル26の向きを自由に設定できる。また加振ノズル26には、気体を供給するためのホースが接続している。そして、このホースの他端は、バルブ30を介して気体供給源32に接続している。このバルブ30は、ハンドリングロボット12に設けてあり、開閉制御がロボット用制御手段16によって行われている。またバルブ30は、ロボット用制御手段16から信号を入力すると開閉を行うものであればよく、具体的な一例としては電磁バルブ30であればよい。なお図1に示すホースは、一部の記載を省略している。   The vibration nozzle 26 is provided in the vicinity where the first holding means 20 and the second holding means 22 are connected. The vibration nozzle 26 ejects gas to vibrate the detection target object 48, and is arranged in the holding unit 18 with the gas outlet facing the detection target object 48. That is, the direction of the vibration nozzle 26 can be set freely. Further, a hose for supplying gas is connected to the vibration nozzle 26. The other end of this hose is connected to a gas supply source 32 via a valve 30. This valve 30 is provided in the handling robot 12, and opening / closing control is performed by the robot control means 16. Further, the valve 30 may be any one that opens and closes when a signal is input from the robot control means 16. As a specific example, the valve 30 may be the electromagnetic valve 30. A part of the hose shown in FIG. 1 is omitted.

またバキュームカップ34は検出対象物48を吸引保持するために設けてあり、各第3保持手段24の各端部付近に設けてある。図2はバキュームカップの側面図である。バキュームカップ34は胴体部36を有している。この胴体部36の下側には、下方に行くにしたがって側方へ広がるカップ部38を設けている。そして胴体部36およびカップ部38の内部に、下方に向けて開口した凹陥部が設けてある。またこの胴体部36の上側に吸引ホース40が接続してあり、吸引ホース40の他端は図1に示すように吸引手段42に接続してある。そして吸引手段42を用いることにより、この吸引ホース40を介して、前記凹陥部によって形成されている空洞内の空気を吸引できるようになっている。この吸引手段42はロボット用制御手段16に接続している。そしてロボット用制御手段16は制御判定部50に接続している。   The vacuum cup 34 is provided for sucking and holding the detection object 48 and is provided in the vicinity of each end of each third holding means 24. FIG. 2 is a side view of the vacuum cup. The vacuum cup 34 has a body portion 36. A cup portion 38 is provided on the lower side of the body portion 36 so as to expand sideward as it goes downward. A recessed portion that opens downward is provided inside the body portion 36 and the cup portion 38. A suction hose 40 is connected to the upper side of the body portion 36, and the other end of the suction hose 40 is connected to the suction means 42 as shown in FIG. By using the suction means 42, the air in the cavity formed by the recessed portion can be sucked through the suction hose 40. The suction means 42 is connected to the robot control means 16. The robot control means 16 is connected to the control determination unit 50.

また欠陥検出装置10は振動センサ44を有している。振動センサ44は、接触式または非接触式のいずれであってもよいが、図1には非接触式の振動センサ44を示している。なお非接触式の振動センサ44の一例としては、レーザードップラー式振動センサであればよい。そして振動センサ44は、ハンドリングロボット12が吸着保持している検出対象物48が搬送される経路に設けてあればよい。すなわち振動センサ44の測定範囲は、ハンドリングロボット12で検出対象物48を吸着保持して搬送する場合に、この検出対象物48が移動する範囲の少なくとも一部と重なっている。この振動センサ44は制御判定部50に接続している。   Further, the defect detection apparatus 10 has a vibration sensor 44. Although the vibration sensor 44 may be either a contact type or a non-contact type, FIG. 1 shows the non-contact type vibration sensor 44. An example of the non-contact vibration sensor 44 may be a laser Doppler vibration sensor. And the vibration sensor 44 should just be provided in the path | route along which the detection target object 48 which the handling robot 12 adsorbs and holds is conveyed. That is, the measurement range of the vibration sensor 44 overlaps at least a part of the range in which the detection object 48 moves when the detection object 48 is sucked and held by the handling robot 12. The vibration sensor 44 is connected to the control determination unit 50.

図3は制御判定部のブロック図である。制御判定部50は、加振ノズル26から噴出する空気量を制御するための制御表示手段52を備えている。この制御表示手段52から出力される信号は、ロボット用制御手段16を介してバルブ30に入力し、バルブ30の開閉を制御する。なお図3は、ロボット用制御手段16や吸引手段42の記載を省略しているが、制御表示手段52によって吸引手段42やロボット用制御手段16を制御することができる。   FIG. 3 is a block diagram of the control determination unit. The control determination unit 50 includes control display means 52 for controlling the amount of air ejected from the vibration nozzle 26. A signal output from the control display means 52 is input to the valve 30 via the robot control means 16 to control opening and closing of the valve 30. Although illustration of the robot control means 16 and the suction means 42 is omitted in FIG. 3, the suction means 42 and the robot control means 16 can be controlled by the control display means 52.

また制御判定部50は、第1フィルタ54、アナログ/ディジタル(A/D)変換器56、波形切り出し手段58、第2フィルタ60、線形予測係数算出手段62および判定手段64を備えている。そして第1フィルタ54は、振動センサ44に接続している。また制御表示手段52は、A/D変換器56、第2フィルタ60、線形予測係数算出手段62および判定手段64に接続している。   The control determination unit 50 includes a first filter 54, an analog / digital (A / D) converter 56, a waveform cutout unit 58, a second filter 60, a linear prediction coefficient calculation unit 62, and a determination unit 64. The first filter 54 is connected to the vibration sensor 44. The control display unit 52 is connected to the A / D converter 56, the second filter 60, the linear prediction coefficient calculation unit 62, and the determination unit 64.

次に、欠陥検出方法について説明する。ハンドリングロボット12はアーム14を駆動させて、プレス機で加工された検出対象物48の上にバキュームカップ34を置く。そして吸引手段42を動作させて、バキュームカップ34の前記空洞内の空気を吸引する。すると検出対象物48は、バキュームカップ34(ハンドリングロボット12)に吸着保持される。この後、ハンドリングロボット12は検出対象物48を次工程に搬送するが、その搬送途中で一旦停止する。この停止する位置は、振動センサ44が配設されている位置である。すなわち振動センサ44が測定できる範囲内に検出対象物48が停止するように、ハンドリングロボット12を制御する。なお図1に示す場合は、振動センサ44の下方に検出対象物48が停止している。   Next, the defect detection method will be described. The handling robot 12 drives the arm 14 to place the vacuum cup 34 on the detection object 48 processed by the press. Then, the suction means 42 is operated to suck the air in the cavity of the vacuum cup 34. Then, the detection object 48 is attracted and held by the vacuum cup 34 (handling robot 12). Thereafter, the handling robot 12 conveys the detection object 48 to the next process, but temporarily stops during the conveyance. This stop position is a position where the vibration sensor 44 is disposed. That is, the handling robot 12 is controlled so that the detection object 48 stops within the range that the vibration sensor 44 can measure. In the case shown in FIG. 1, the detection object 48 is stopped below the vibration sensor 44.

この後、ロボット用制御手段16は、検査準備完了信号を制御判定部50に出力する。制御判定部50は、この検査準備完了信号を受けると、ロボット用制御手段16を介してバルブ30に加振開始信号を出力する。バルブ30は加振開始信号を受けると開き、気体供給源32から加振ノズル26に気体を供給する。そして加振ノズル26の前記噴出口から検出対象物48に向けて気体を噴出し、検出対象物48を空気加振する。なお、このときハンドリングロボット12は検出対象物48を掴んでいるが、バキュームカップ34を用いて検出対象物48を吸着保持しているので、検出対象物48の振動がハンドリングロボット12に伝わらない。   Thereafter, the robot control means 16 outputs an inspection preparation completion signal to the control determination unit 50. Upon receiving this inspection preparation completion signal, the control determination unit 50 outputs an excitation start signal to the valve 30 via the robot control means 16. The valve 30 opens upon receiving a vibration start signal and supplies gas from the gas supply source 32 to the vibration nozzle 26. Then, gas is ejected from the jet nozzle of the vibration nozzle 26 toward the detection target object 48 to vibrate the detection target object 48 with air. At this time, the handling robot 12 holds the detection object 48, but the detection object 48 is sucked and held using the vacuum cup 34, so that the vibration of the detection object 48 is not transmitted to the handling robot 12.

そして振動センサ44は検出対象物48の振動波形を測定する。図4は欠陥の無い検出対象物を測定したときの振動センサの出力波形である。図5は欠陥の有る検出対象物を測定したときの振動センサの出力波形である。図4および図5に示すように、欠陥の有無にかかわらず振動センサ44の出力波形には殆ど違いが見られない。このような測定結果は制御判定部50に入力する。   The vibration sensor 44 measures the vibration waveform of the detection object 48. FIG. 4 shows an output waveform of the vibration sensor when a detection target having no defect is measured. FIG. 5 shows an output waveform of the vibration sensor when a detection target having a defect is measured. As shown in FIGS. 4 and 5, there is almost no difference in the output waveform of the vibration sensor 44 regardless of the presence or absence of defects. Such a measurement result is input to the control determination unit 50.

制御判定部50に入力した測定結果は、まず第1フィルタ54に入力する。第1フィルタ54は、振動センサ44から入力した振動波形から不要な周波数帯域を除去して、信号と雑音の比(SN比)を高めている。そして雑音を除去した信号は、A/D変換器56に入力する。A/D変換器56は、入力したアナログの信号をディジタルの信号に変換して波形切り出し手段58に出力する。波形切り出し手段58は、入力した信号のうちある時間域における信号を切り出し、第2フィルタ60に出力している。第2フィルタ60は、入力した信号のうち欠陥に起因する振動の周波数帯域のみ通過させて、線形予測係数算出手段62に出力している。   The measurement result input to the control determination unit 50 is first input to the first filter 54. The first filter 54 removes unnecessary frequency bands from the vibration waveform input from the vibration sensor 44 to increase the signal-to-noise ratio (SN ratio). The signal from which noise has been removed is input to the A / D converter 56. The A / D converter 56 converts the input analog signal into a digital signal and outputs it to the waveform cutout means 58. The waveform cutout unit 58 cuts out a signal in a certain time region from the input signal and outputs it to the second filter 60. The second filter 60 passes only the frequency band of vibration caused by the defect in the input signal and outputs it to the linear prediction coefficient calculation means 62.

線形予測係数算出手段62は、入力した信号の特徴量となる線形予測係数を最大エントロピー法に基づいて算出している。この線形予測係数は、数式1のaで表されている係数である。

Figure 0005013058
ここでx(n)は時刻nΔtにおける信号の値、Δtはサンプリング間隔、mはモデル次数である。数式1は、任意の時刻の信号はそれ以前の信号の加重和として表すことを示しており、自己回帰モデルと呼ばれている。 The linear prediction coefficient calculation means 62 calculates a linear prediction coefficient that is a feature amount of the input signal based on the maximum entropy method. This linear prediction coefficient is a coefficient represented by a k in Equation 1.
Figure 0005013058
Here, x (n) is the value of the signal at time nΔt, Δt is the sampling interval, and m is the model order. Formula 1 indicates that a signal at an arbitrary time is expressed as a weighted sum of signals before that, and is called an autoregressive model.

そして線形予測係数を基に、数式2に示すように信号のパワースペクトルを算出することができる。

Figure 0005013058
ここでP(f)は周波数fのスペクトル値、Pmは予測誤差の分散である。 Based on the linear prediction coefficient, the signal power spectrum can be calculated as shown in Equation 2.
Figure 0005013058
Here, P (f) is the spectrum value of the frequency f, and Pm is the variance of the prediction error.

数式2に示すように、スペクトルと線形予測係数に対応関係があり、スペクトルに違いがみられれば線形予測係数に違いがみられるため、線形予測係数を信号の特徴量として利用できることが分かる。また、通常は少数の線形予測係数でスペクトルが計算できるため、特徴量の数が減少する。通常、信号の特徴を識別するためには線形予測係数の個数は20個程度で自己診断が可能なレベルまでになり、波形を基にした自動診断において有効な方法となっている。   As shown in Formula 2, there is a correspondence relationship between the spectrum and the linear prediction coefficient, and if the spectrum is different, the linear prediction coefficient is different, so that the linear prediction coefficient can be used as the signal feature amount. In addition, since the spectrum can be usually calculated with a small number of linear prediction coefficients, the number of feature amounts is reduced. Usually, in order to identify the characteristics of a signal, the number of linear prediction coefficients is about 20 and reaches a level where self-diagnosis is possible, which is an effective method in automatic diagnosis based on a waveform.

図6は欠陥の無い検出対象物の線形予測係数である。図7は欠陥の有る検出対象物の線形予測係数である。ここで図6および図7は、振動センサ44で測定したときの振動波形の先頭から0.5秒経過した時点から1秒間における線形予測係数である。そして図6および図7は、0.1秒毎に計算した線形予測係数を1秒間にわたり計算して示したものである。これらの図からわかるように、欠陥の無い検出対象物48と欠陥の有る検出対象物48とでは、線形予測係数が異なっている。   FIG. 6 shows linear prediction coefficients of a detection target having no defect. FIG. 7 shows linear prediction coefficients of a detection target having a defect. Here, FIG. 6 and FIG. 7 are linear prediction coefficients for 1 second from the time when 0.5 second has elapsed from the head of the vibration waveform measured by the vibration sensor 44. FIG. 6 and FIG. 7 show the linear prediction coefficients calculated every 0.1 second calculated over 1 second. As can be seen from these figures, the linear prediction coefficient differs between the detection object 48 having no defect and the detection object 48 having a defect.

そして線形予測係数は判定手段64に入力する。判定手段64は、線形予測係数算出手段62で得られた線形予測係数(特徴量)と、予め求めた基準線形予測係数(基準特徴量)との相関を求めて欠陥の有無を判定し、この判定結果を出力している。この判定手段64は境界学習型ニューラルネットワークで構築されている。判定方法は、信号に対応する制御出力を得るように識別すべきパターンを入力し、対応する出力を教師パターンと対比することによって修正する学習作業を繰り返し、これ以後は任意の識別パターンを入力することで自動判別するものである。   The linear prediction coefficient is input to the determination means 64. The determination unit 64 determines the presence or absence of a defect by obtaining a correlation between the linear prediction coefficient (feature amount) obtained by the linear prediction coefficient calculation unit 62 and a reference linear prediction coefficient (reference feature amount) obtained in advance. The judgment result is output. This determination means 64 is constructed by a boundary learning type neural network. In the determination method, a pattern to be identified is input so as to obtain a control output corresponding to the signal, a learning operation for correcting the corresponding output by comparing it with a teacher pattern is repeated, and thereafter an arbitrary identification pattern is input. It will be automatically determined.

詳しくは、まず入力ユニット群に複数の学習用入力パターンを入力するとともに、入力した学習用入力パターンに対応した出力ユニット群の出力パターンを予め定めた教師パターンと比較して両者の誤差を求める。次に、この誤差に基づいて各ユニット群を構成しているユニットのしきい値と、各ユニット群を連結している結合素子の重み係数とを補正する操作を繰り返して前記学習用入力パターンを学習させる。   Specifically, first, a plurality of learning input patterns are input to the input unit group, and the output pattern of the output unit group corresponding to the input learning input pattern is compared with a predetermined teacher pattern to obtain an error between them. Next, based on this error, an operation for correcting the threshold values of the units constituting each unit group and the weighting factors of the coupling elements connecting the unit groups is repeated, and the learning input pattern is changed. Let them learn.

次に、任意のパターンを前記入力ユニット群に入力して、前記出力ユニット群の出力パターンと、学習させた入力パターンに対応した出力パターンとを対比する。そして学習データから特徴量の平均値mと標準偏差σを算出し、学習データの一部または全部をm±aσ(aはある実数値)に変更したデータを境界データとする。このようにして作成した境界データを学習データに加えてニューラルネットワークの学習を行う。また実数値aをどのように決めるかについては、正規分布の知識を参考にして求めればよい。これにより、望ましいパターン認識能力を持ったニューラルネットワークが構築される。   Next, an arbitrary pattern is input to the input unit group, and the output pattern of the output unit group is compared with the output pattern corresponding to the learned input pattern. Then, an average value m and a standard deviation σ of feature quantities are calculated from the learning data, and data obtained by changing part or all of the learning data to m ± aσ (a is a real value) is used as boundary data. The neural network is learned by adding the boundary data created in this way to the learning data. In addition, how to determine the real value a may be obtained with reference to knowledge of normal distribution. Thereby, a neural network having a desirable pattern recognition capability is constructed.

図8は判定手段の判定結果である。この図8の横軸は検出対象物48の番号であり、縦軸はニューラルネットワークの出力値(NN出力値)である。境界学習型ニューラルネットワークの出力値は、検出対象物48に欠陥の無い良品であれば大きな値を出力し、検出対象物48に欠陥の有る不良品であれば小さな値を出力するようになっている。図8に示す出力値の大小を比較することにより、検出対象物48に生じた欠陥の有無を判定している。   FIG. 8 shows the determination result of the determination means. The horizontal axis of FIG. 8 is the number of the detection object 48, and the vertical axis is the output value (NN output value) of the neural network. As the output value of the boundary learning type neural network, a large value is output if the detection object 48 is a non-defective product, and a small value is output if the detection object 48 has a defect. Yes. By comparing the magnitudes of the output values shown in FIG. 8, the presence / absence of a defect occurring in the detection object 48 is determined.

制御判定部50において検出対象物48の良否判定が終了すると、制御表示手段52からロボット用制御手段16に良否判定信号を出力する。これによりロボット制御手段は、バルブ30に対して閉じるよう制御信号を出力するとともに、ハンドリングロボット12に対して検出対象物48の搬送再開の移動信号を出力する。そしてハンドリングロボット12は検出対象物48の加振を停止するとともに、検出対象物48を開放位置に搬送する。なお検出対象物48の良否判定の違いによって検出対象物48を開放する位置が異なっている。このためハンドリングロボット12は、良否の違いに応じた位置に検出対象物48を搬送する。そしてハンドリングロボット12の移動が停止すると、ロボット用制御手段16から吸引手段42に吸引停止信号が出力され、吸引を停止する。これによりハンドリングロボット12から検出対象物48を開放し、欠陥検出を終了する。   When the quality determination of the detection object 48 is completed in the control determination unit 50, a quality determination signal is output from the control display means 52 to the robot control means 16. Accordingly, the robot control means outputs a control signal to close the valve 30 and outputs a movement signal for resuming the conveyance of the detection object 48 to the handling robot 12. Then, the handling robot 12 stops the excitation of the detection object 48 and conveys the detection object 48 to the open position. Note that the position where the detection object 48 is opened differs depending on the quality determination of the detection object 48. For this reason, the handling robot 12 conveys the detection object 48 to a position corresponding to the difference in quality. When the movement of the handling robot 12 stops, a suction stop signal is output from the robot control means 16 to the suction means 42 to stop the suction. As a result, the detection object 48 is released from the handling robot 12, and the defect detection ends.

このような欠陥検出方法および装置10によれば、検出対象物48を搬送する途中で欠陥の検査を行っているので、製造ラインに検査工程を新設する必要が無く、工場のスペースの有無に関係なく欠陥検出を行える。すなわち製造ラインの全長を短くできる。またハンドリングロボット12が検出対象物48を吸着保持した状態で欠陥検出を行えるので、短時間で検査を終了でき、また検査員の手を介さないで検査ができるから検査作業の安全面のメリットが大きい。また既存のハンドリングロボット12に加振ノズル26等を追加すれば欠陥検出を行えるので、既存の製造設備への対応が容易である。   According to such a defect detection method and apparatus 10, since the inspection of the defect is performed in the middle of conveying the detection object 48, it is not necessary to newly establish an inspection process in the production line, and it is related to the presence or absence of the factory space. Defect detection. That is, the entire length of the production line can be shortened. In addition, since the handling robot 12 can detect a defect while the object to be detected 48 is sucked and held, the inspection can be completed in a short time, and the inspection can be performed without an inspector's hand. large. Further, if a vibration nozzle 26 or the like is added to the existing handling robot 12, defects can be detected, so that it is easy to deal with existing manufacturing equipment.

また加振ノズル26は、保持部18の任意の位置に取り付けできるので、検出対象物48の形状にかかわらず加振できる。また加振ノズル26に設けられた気体の前記噴出口の向きを任意に調整できるので、検出対象物48の加振方向を自由に設定できる。またバキュームカップ34を第3保持手段24に配設するばかりでなく、保持部18の任意の位置に配設することもでき、またバキュームカップ34と保持部18の距離を自由に設定できるので、ハンドリングロボット12は検出対象物48の形状等にかかわらず吸着保持できる。またハンドリングロボット12は、バキュームカップ34を用いて検出対象物48を吸着保持しているので、検出対象物48の振動がハンドリングロボット12に伝達し、延いては振動センサ44に伝わることが無いので、検出対象物48の欠陥の有無を正確に判定できる。   Further, since the vibration nozzle 26 can be attached to an arbitrary position of the holding unit 18, vibration can be performed regardless of the shape of the detection target object 48. In addition, since the direction of the gas outlet provided in the vibration nozzle 26 can be arbitrarily adjusted, the vibration direction of the detection object 48 can be freely set. In addition, the vacuum cup 34 can be disposed not only in the third holding means 24 but also in an arbitrary position of the holding portion 18, and the distance between the vacuum cup 34 and the holding portion 18 can be freely set. The handling robot 12 can suck and hold regardless of the shape of the detection object 48 or the like. Further, since the handling robot 12 sucks and holds the detection target object 48 using the vacuum cup 34, vibration of the detection target object 48 is transmitted to the handling robot 12 and is not transmitted to the vibration sensor 44. The presence or absence of a defect in the detection object 48 can be accurately determined.

また本実施形態に係る欠陥検出装置10は、従来技術の装置のように検出対象物の支持部やロケット、加振ノズル・振動センサの駆動(前進・後退)が不要なので、構造が簡素になる。   Further, the defect detection apparatus 10 according to the present embodiment does not require driving (advancing / retreating) of the detection object support section, rocket, excitation nozzle / vibration sensor as in the prior art apparatus, and thus the structure is simplified. .

また欠陥検出方法および装置10は、検出対象物48に向けて気体を噴射して加振している。このため加振ノズル26の前記噴出口の径や気体圧、加振時間を調整することで、安定的かつ高周波までの振動を検出対象物48に加えることができる。また高周波までの振動を振動センサ44が捉えることで、振動センサ44の出力の情報量が増大し、より正確に欠陥の有無を判定できる。またハンマリングで起こり得る2次的な欠陥を検出対象物48に与えるのを防止できる。   In addition, the defect detection method and apparatus 10 injects gas toward the detection object 48 and vibrates. For this reason, by adjusting the diameter, gas pressure, and vibration time of the jet nozzle of the vibration nozzle 26, stable and high-frequency vibration can be applied to the detection object 48. In addition, since the vibration sensor 44 captures vibrations up to a high frequency, the information amount of the output of the vibration sensor 44 increases, and the presence or absence of a defect can be determined more accurately. Further, it is possible to prevent the detection object 48 from being given secondary defects that may occur due to hammering.

また欠陥検出方法および装置10は、振動センサ44の出力の特徴量として線形予測係数を用いている。このため振幅値を評価基準とする方法や高速フーリエ変換解析により元信号の周波数特性を算出してその特徴量とする方法と比較すると、より微小な割れ等の欠陥を検出できる。また線形予測係数の計算時間が速いため、短時間に振動センサ44の特徴量を計算できる。また線形予測係数は信号の周波数特性を反映しているため、振幅の変化として生じない微小な欠陥でも変化を捉えることができ、特徴量の抽出能力が向上する。   Further, the defect detection method and apparatus 10 uses a linear prediction coefficient as a feature value of the output of the vibration sensor 44. For this reason, a defect such as a finer crack can be detected as compared with a method using the amplitude value as an evaluation criterion and a method using the frequency characteristic of the original signal calculated by fast Fourier transform analysis to obtain the feature value. In addition, since the calculation time of the linear prediction coefficient is fast, the feature amount of the vibration sensor 44 can be calculated in a short time. Further, since the linear prediction coefficient reflects the frequency characteristics of the signal, the change can be detected even with a minute defect that does not occur as a change in amplitude, and the feature quantity extraction capability is improved.

また欠陥検出方法および装置10は、検出対象物48に生じた欠陥の有無の判定に境界学習型ニューラルネットワークを用いている。このため複数の線形予測係数の特徴量を基に振動センサ44の出力に欠陥の特徴量があるかどうかを判定する方法として、境界学習型ニューラルネットワークは最も適しており、判定精度が向上する。また境界学習型ニューラルネットワークの出力は正規化され、0から1の値をとるため、出力値の大小を基に検出対象物48の欠陥の程度を判定できる。   In addition, the defect detection method and apparatus 10 uses a boundary learning type neural network to determine the presence or absence of a defect that has occurred in the detection object 48. For this reason, the boundary learning type neural network is most suitable as a method for determining whether or not there is a defect feature amount in the output of the vibration sensor 44 based on the feature amounts of a plurality of linear prediction coefficients, and the determination accuracy is improved. Further, since the output of the boundary learning type neural network is normalized and takes a value from 0 to 1, the degree of the defect of the detection object 48 can be determined based on the magnitude of the output value.

なお加振ノズル26に接続しているバルブ30は、ロボット用制御手段16や制御判定部50によって開閉を制御しているので、検出対象物48の欠陥検出が必要ない場合は制御する必要はない。すなわち検出対象物48の欠陥検出が必要ない場合、ハンドリングロボット12は検出対象物48を搬送している途中で一旦停止することなく、そのまま次工程に検出対象物48を搬送することもできる。   Since the valve 30 connected to the vibration nozzle 26 is controlled to be opened and closed by the robot control means 16 and the control determination unit 50, it is not necessary to control when the defect detection of the detection object 48 is not required. . That is, when it is not necessary to detect the defect of the detection target object 48, the handling robot 12 can transfer the detection target object 48 to the next process without stopping once while the detection target object 48 is being transferred.

欠陥検出装置の説明図である。It is explanatory drawing of a defect detection apparatus. バキュームカップの側面図である。It is a side view of a vacuum cup. 制御判定部のブロック図である。It is a block diagram of a control determination part. 欠陥の無い検出対象物を測定したときの振動センサの出力波形である。It is an output waveform of a vibration sensor when a detection target without a defect is measured. 欠陥の有る検出対象物を測定したときの振動センサの出力波形である。It is an output waveform of a vibration sensor when a detection object having a defect is measured. 欠陥の無い検出対象物の線形予測係数である。It is a linear prediction coefficient of the detection target without a defect. 欠陥の有る検出対象物の線形予測係数である。It is a linear prediction coefficient of a detection target with a defect. 判定手段の判定結果である。It is the determination result of a determination means.

符号の説明Explanation of symbols

10………欠陥検出装置、12………ハンドリングロボット、14………アーム、18………保持部、26………加振ノズル、30………バルブ、32………気体供給源、34………バキュームカップ、42………吸引手段、44………振動センサ、48………検出対象物、50………制御判定部、62………線形予測係数算出手段、64………判定手段。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ......... Defect detection apparatus, 12 ......... Handling robot, 14 ......... Arm, 18 ......... Holding part, 26 ......... Excitation nozzle, 30 ......... Valve, 32 ......... Gas supply source, 34 ......... Vacuum cup, 42 ....... Suction means, 44 .... Vibration sensor, 48 .... Detection object, 50 .... Control determination unit, 62 .... Linear prediction coefficient calculation means, 64 .... ... determination means.

Claims (6)

搬送手段により移動する保持部に検出対象物を吸着保持し、
前記保持部に吸着保持された前記検出対象物を前記搬送手段で搬送している途中で、または途中で前記搬送手段を停め、
前記保持部に設けられた加振ノズルで前記検出対象物を加振して、前記検出対象物の振動を測定し、
この測定結果から特徴量を抽出して予め求めた基準特徴量との相関を求め、欠陥の有無を判定する、
ことを特徴とする欠陥検出方法。
The object to be detected is adsorbed and held in a holding unit that is moved by a conveying means,
In the middle of conveying the detection object attracted and held by the holding unit by the conveying means, or stopping the conveying means in the middle,
Exciting the detection object with an excitation nozzle provided in the holding unit, measuring the vibration of the detection object,
Extract the feature value from this measurement result to obtain the correlation with the reference feature value obtained in advance, and determine the presence or absence of defects,
A defect detection method characterized by the above.
前記検出対象物を加振するタイミングは、
前記搬送手段が前記検出対象物を搬送している途中で一旦停止したときに加振を開始し、
陥の有無の判定が出たときに加振を終了する、
ことを特徴とする請求項1に記載の欠陥検出方法。
The timing for vibrating the detection object is as follows:
When vibration is temporarily stopped while the conveying means is conveying the detection target, vibration is started,
To end the cuff when the determination of the presence or absence of defects came out,
The defect detection method according to claim 1.
検出対象物を吸着保持する保持部を有し、前記保持部を移動させることにより前記検出対象物を搬送する搬送手段と、
前記保持部に設けられ、前記検出対象物を加振する加振ノズルと、
前記搬送手段で保持した前記検出対象物の移動範囲の少なくとも一部が測定範囲となる振動センサと、
前記振動センサで得られた振動波形から特徴量を抽出する線形予測係数算出手段と、
前記特徴量と予め求めた基準特徴量との相関を求めて欠陥の有無を調べる判定手段と、
を備えたことを特徴とする欠陥検出装置。
A holding unit that holds the detection target by suction , and a transport unit that transports the detection target by moving the holding unit ;
A vibration nozzle that is provided in the holding unit and vibrates the detection target ;
A vibration sensor in which at least a part of the movement range of the detection object held by the transport means is a measurement range;
Linear prediction coefficient calculation means for extracting a feature value from the vibration waveform obtained by the vibration sensor;
A determination means for examining the presence or absence of a defect by obtaining a correlation between the feature amount and a reference feature amount obtained in advance;
A defect detection apparatus comprising:
前記保持部には、前記検出対象物に接触するバキュームカップを設け、このバキュームカップにこれの内部の空気を吸引する吸引手段を接続したことを特徴とする請求項3に記載の欠陥検出装置。   The defect detection apparatus according to claim 3, wherein the holding unit is provided with a vacuum cup that contacts the detection object, and suction means for sucking air inside the vacuum cup is connected to the vacuum cup. 前記加振ノズルは、気体を噴出して前記検出対象物を加振するものであり、前記搬送手段が配設された工場に気体供給源を設け、この気体供給源と前記加振ノズルとをホースで接続し、このホースにバルブを設けたことを特徴とする請求項3または4のいずれかに記載の欠陥検出装置。 The vibration nozzle is for jetting gas to vibrate the detection target. A gas supply source is provided in a factory in which the conveying means is disposed, and the gas supply source and the vibration nozzle are provided. connect a hose, the defect detection apparatus according to claim 3 or 4, characterized in that a valve to the hose. 前記検出対象物は、プレス加工された被検体であることを特徴とする請求項3ないしのいずれかに記載の欠陥検出装置。 The detection object, the defect detection apparatus according to any one of claims 3 to 5, characterized in that a subject is pressing.
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