JP5007280B2 - Method for producing optical waveguide for touch panel and optical waveguide for touch panel obtained thereby - Google Patents

Method for producing optical waveguide for touch panel and optical waveguide for touch panel obtained thereby Download PDF

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Description

本発明は、タッチパネル用光導波路の製法およびそれによって得られたタッチパネル用光導波路に関するものである。 The present invention relates to a method for manufacturing an optical waveguide for a touch panel and an optical waveguide for a touch panel obtained thereby.

タッチパネルは、指や専用のペン等で液晶ディスプレイ等の画面に直接触れることにより、機器を操作等する入力装置である。そのタッチパネルの構成は、操作内容等を表示するディスプレイと、このディスプレイの画面での上記指等の触れ位置(座標)を検知する検知手段とを備えている。そして、その検知手段で検知した触れ位置を示す情報が信号として送られ、その触れ位置に表示された操作等が行われるようになっている。このようなタッチパネルを用いた機器としては、金融機関のATM,駅の券売機,携帯ゲーム機等があげられる。   A touch panel is an input device for operating a device by directly touching a screen such as a liquid crystal display with a finger or a dedicated pen. The configuration of the touch panel includes a display that displays operation contents and the like, and a detection unit that detects a touch position (coordinates) of the finger or the like on the screen of the display. Then, information indicating the touch position detected by the detection means is sent as a signal, and an operation or the like displayed at the touch position is performed. Examples of devices using such a touch panel include ATMs at financial institutions, ticket vending machines at stations, and portable game machines.

上記タッチパネルにおける指等の触れ位置の検知手段として、光導波路を用いたものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。すなわち、そのタッチパネルは、光導波路を四角形のディスプレイの画面周縁部に設置したものとなっている。そして、そのディスプレイの画面の一側部に設置された光出射側の光導波路の出射部から、多数の光が、ディスプレイの画面と平行にかつ他側部に向かって出射され、それらの出射光が、他側部に設置された光入射側の光導波路の入射部に入射するようになっている。これら光導波路により、ディスプレイの画面上において、出射光が格子状に走っている状態にする。この状態で、指でディスプレイの画面に触れると、その指が出射光の一部を遮断するため、その遮断された部分を、光入射側の光導波路で感知することにより、上記指が触れた部分の位置を検知することができる。   As a means for detecting a touch position of a finger or the like on the touch panel, one using an optical waveguide has been proposed (for example, see Patent Document 1). That is, the touch panel has an optical waveguide installed on the peripheral edge of the screen of a square display. Then, a large number of lights are emitted from the emission part of the optical waveguide on the light emission side installed on one side of the display screen toward the other side in parallel with the display screen. However, it is made to enter into the incident part of the optical waveguide of the light-incidence side installed in the other side part. With these optical waveguides, the emitted light runs in a grid pattern on the display screen. In this state, when the finger touches the screen of the display, the finger blocks a part of the emitted light, and the finger touches the blocked part by sensing the blocked part with the light incident side optical waveguide. The position of the part can be detected.

一方、光導波路から直接空気中に出射した光は放射状に発散する。この状態では、光伝送効率が低く、上記指が触れた位置を正確に検知することはできない。そこで、光伝送効率を高めた光伝送装置が提案されている(例えば、特許文献2参照)。この従来の光伝送装置を模式的に図7(a),(b)に示す。この光伝送装置は、光導波路10とレンズ体20とからなっている。上記レンズ体20は、光導波路10を載置する載置面部21と、この載置面部21の先端縁部に突出形成された、厚肉の帯状レンズ22とを備えている。この帯状レンズ22のレンズ面(図示の右側部の面)は、外側に向かって反る側断面視円弧状〔図7(b)参照〕に形成されている。また、上記光導波路10は、アンダークラッド層12,コア13,オーバークラッド層14がこの順で積層されたものとなっており、上記コア13の先端部が平面視半円状のレンズ部130に形成され、外部に露出している。このレンズ部130のレンズ面(先端面)は、外側に向かって反る平面視円弧状〔図7(a)参照〕に形成されている。このような光伝送装置では、コア13から出射する光Sは、コア13の先端部のレンズ部130を通過する際に、平面視半円状のレンズ部130の屈折作用により、上記載置面部21の載置面に平行な方向(横方向)の発散が抑制される。その後、その光Sは、上記レンズ体20の帯状レンズ22を通過する際に、側断面視円弧状の帯状レンズ22の屈折作用により、上記載置面部21に直角な方向(縦方向)の発散が抑制される。このような、光伝送効率が高い光伝送装置をタッチパネル用光導波路として用いると、タッチパネルにおいて、指が触れた位置を正確に検知することができる。
US2004/0201579A1 特開2003−4960号公報
On the other hand, light emitted directly from the optical waveguide into the air diverges radially. In this state, the light transmission efficiency is low, and the position touched by the finger cannot be accurately detected. Therefore, an optical transmission device with improved optical transmission efficiency has been proposed (see, for example, Patent Document 2). This conventional optical transmission apparatus is schematically shown in FIGS. 7 (a) and 7 (b). This optical transmission device includes an optical waveguide 10 and a lens body 20. The lens body 20 includes a placement surface portion 21 on which the optical waveguide 10 is placed, and a thick belt-like lens 22 that is formed to protrude from the tip edge portion of the placement surface portion 21. The lens surface (the surface on the right side in the figure) of the belt-like lens 22 is formed in an arc shape in a side sectional view (see FIG. 7B) that warps outward. The optical waveguide 10 has an under-cladding layer 12, a core 13, and an over-cladding layer 14 laminated in this order. The tip of the core 13 is formed into a lens portion 130 having a semicircular shape in plan view. Formed and exposed to the outside. The lens surface (tip surface) of the lens unit 130 is formed in a circular arc shape in plan view (see FIG. 7A) that warps outward. In such an optical transmission device, when the light S emitted from the core 13 passes through the lens portion 130 at the distal end portion of the core 13, due to the refraction action of the semicircular lens portion 130 in plan view, the placement surface portion described above. Divergence in a direction (lateral direction) parallel to the mounting surface 21 is suppressed. Thereafter, when the light S passes through the belt-like lens 22 of the lens body 20, the light S diverges in a direction (longitudinal direction) perpendicular to the placement surface portion 21 due to the refracting action of the belt-like lens 22 having an arcuate side view. Is suppressed. When such an optical transmission device with high optical transmission efficiency is used as an optical waveguide for a touch panel, the position touched by a finger on the touch panel can be accurately detected.
US2004 / 0201579A1 JP 2003-4960 A

しかしながら、上記従来の光伝送装置では、光導波路10のコア13先端部のレンズ部130とレンズ体20の帯状レンズ22とを正確に位置合わせした状態で、光導波路10とレンズ体20とを接着する必要がある。もし、その位置合わせが正確に行われなければ、光出射側における光Sの発散抑制が適正に行われず、ディスプレイの画面に触れた指の位置を正確に検知することができない。しかし、その正確な位置合わせは、精密さが要求されることから難しく、その達成には、手間と時間とを要する。   However, in the above conventional optical transmission device, the optical waveguide 10 and the lens body 20 are bonded together in a state where the lens portion 130 at the tip of the core 13 of the optical waveguide 10 and the belt-like lens 22 of the lens body 20 are accurately aligned. There is a need to. If the alignment is not performed accurately, the divergence suppression of the light S on the light emission side is not performed properly, and the position of the finger touching the display screen cannot be detected accurately. However, the precise alignment is difficult because precision is required, and it takes time and effort to achieve it.

本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、光導波路とレンズ体との位置合わせが不要であるタッチパネル用光導波路の製法およびそれによって得られたタッチパネル用光導波路の提供をその目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a method for manufacturing an optical waveguide for a touch panel that does not require alignment between the optical waveguide and a lens body, and an optical waveguide for a touch panel obtained thereby . To do.

上記の目的を達成するため、本発明は、基体の表面にパターン形成されたコアと、このコアを被覆した状態で型成形により形成されたオーバークラッド層とを備え、タッチパネルのディスプレイの画面周縁部に沿って設置され、光を出射するコアの端部が上記ディスプレイの画面の一側部に位置決めされ、その出射光を入射するコアの端部が上記ディスプレイの画面の他側部に位置決めされ、上記光を出射するコアの端部が上記オーバークラッド層の欠損凹部において外気に露呈した状態で第1レンズ部に形成され、その第1レンズ部におけるレンズ面が外側に向かって反る平面視円弧状に形成され、上記第1レンズ部のレンズ面と隙間をあけて対向する上記オーバークラッド層の部分が上記第1レンズ部に対応する第2レンズ部形成され、その第2レンズ部におけるレンズ面が外側に向かって反る側断面視円弧状に形成されているタッチパネル用光導波路を製造する方法であって、上記オーバークラッド層の型成形に用いる成形型が、照射線を透過させる材料からなり、上記オーバークラッド層の表面形状に対応する型面を有する凹部が形成され、その凹部の一側部が上記第2レンズ部のレンズ曲面形状に形成されており、上記オーバークラッド層の形成が、下記の(a)〜(d)の工程を経由して行われるタッチパネル用光導波路の製法を第1の要旨とする。
(a)上記基体の表面に、上記コアを被覆した状態でオーバークラッド層形成用の未硬化の感光性樹脂層を形成する工程。
(b)上記コアの第1レンズ部に対応するよう上記成形型の上記凹部のレンズ曲面形状部分を配置した状態で、上記感光性樹脂層に対し上記成形型の上記凹部をプレスしてその凹部の開口面を上記基体の表面に密着させる工程。
(c)上記欠損凹部形成予定部に対応する上記成形型の表面部分に遮光用マスクを載置し、その状態で、上記成形型を通して上記感光性樹脂層を照射線で露光し、その露光部分を硬化させてオーバークラッド層に形成する工程。
(d)脱型後、現像により、上記感光性樹脂層の、上記遮光用マスクに対応する未露光部分を除去して上記欠損凹部を形成し、その欠損凹部から上記コアの第1レンズ部を外気に露呈させる工程。
In order to achieve the above object, the present invention comprises a core patterned on the surface of a substrate and an overcladding layer formed by molding in a state of covering the core, and a screen peripheral portion of a touch panel display The end of the core that emits light is positioned on one side of the screen of the display, the end of the core that receives the emitted light is positioned on the other side of the display screen , end of the core for emitting the light is formed on the first lens section while exposed to the outside air Te deficiency recess smell of the over cladding layer, in plan view which bulges lens surface at the first lens unit toward the outside is formed in a circular arc shape, the portion of the over cladding layer facing at a lens surface and the gap of the first lens portion is formed in the second lens unit corresponding to the first lens unit A method of lens surface at the second lens unit to produce a side sectional view arcuately been formed filter touch panel optical waveguide which bulges outwardly, the mold used for the molding of the over cladding layer A concave portion having a mold surface corresponding to the surface shape of the overcladding layer is formed, and one side portion of the concave portion is formed in the curved surface shape of the second lens portion. The manufacturing method of the optical waveguide for a touch panel in which the formation of the over cladding layer is performed through the following steps (a) to (d) is a first gist.
(A) A step of forming an uncured photosensitive resin layer for forming an overcladding layer on the surface of the substrate in a state where the core is covered.
(B) The concave portion of the molding die is pressed by pressing the concave portion of the molding die against the photosensitive resin layer in a state where the curved surface portion of the concave portion of the molding die is disposed so as to correspond to the first lens portion of the core. A step of closely contacting the opening surface of the substrate to the surface of the substrate.
(C) A light-shielding mask is placed on the surface portion of the molding die corresponding to the defective recess formation scheduled portion, and in that state, the photosensitive resin layer is exposed with irradiation rays through the molding die, and the exposed portion Is a process of forming an overcladding layer by curing.
(D) After demolding, the unexposed portion of the photosensitive resin layer corresponding to the light shielding mask is removed by development to form the defective recess, and the first lens portion of the core is formed from the defective recess. The process of exposing to the outside air.

また、本発明は、上記タッチパネル用光導波路の製法により得られたタッチパネル用光導波路であって、基体の表面にパターン形成されたコアと、このコアを被覆した状態で型成形により形成された感光性樹脂製のオーバークラッド層とを備え、光を出射するコアの端部が第1レンズ部に形成され、その第1レンズ部におけるレンズ面が外側に向かって反る平面視円弧状に形成され、上記コアの第1レンズ部に対応する上記オーバークラッド層の部分が、現像による除去跡である欠損凹部に形成され、その欠損凹部において上記第1レンズ部が外気に露呈し、上記第1レンズ部のレンズ面と隙間をあけて対向する上記オーバークラッド層の部分が上記第1レンズ部に対応する第2レンズ部が形成され、その第2レンズ部におけるレンズ面が外側に向かって反る側断面視円弧状に形成されているタッチパネル用光導波路を第2の要旨とする。 Further, the present invention is an optical waveguide for a touch panel obtained by the above-described method for manufacturing an optical waveguide for a touch panel, wherein the core is patterned on the surface of the substrate, and the photosensitive is formed by molding in a state of covering the core. a sexual resin of the over-cladding layer, the ends of the core for emitting light is formed in the first lens unit, the lens surface is formed in plan view an arc shape which bulges outwardly in the first lens unit A portion of the overcladding layer corresponding to the first lens portion of the core is formed in a defective concave portion that is a removal mark by development, and the first lens portion is exposed to the outside air in the defective concave portion, and the first lens A portion of the over clad layer facing the lens surface of the portion with a gap is formed to form a second lens portion corresponding to the first lens portion, and the lens surface in the second lens portion is outside. The touch panel optical waveguide which is formed on a side cross section arc shape bulges to the second aspect.

本発明者は、前記課題を解決すべく、コアの端部を第1レンズ部に形成し、その後、オーバークラッド層を形成する際に、そのオーバークラッド層の一部分として、第2レンズ部を、上記第1レンズ部の前方に形成することを着想した。このようにすると、コアとオーバークラッド層とは元々一体であることから、本発明のタッチパネル用光導波路は、オーバークラッド層が形成された時点で、コア端部の第1レンズ部とオーバークラッド層の一部分である第2レンズ部とが、位置合わせされた状態となる。 In order to solve the above problems, the inventor forms an end of the core in the first lens unit, and then forms the second lens unit as a part of the over cladding layer when forming the over cladding layer. It was conceived to be formed in front of the first lens part. In this case, since the core and the over clad layer are originally integrated, the optical waveguide for a touch panel according to the present invention has the first lens portion and the over clad layer at the core end when the over clad layer is formed. The second lens portion which is a part of the second lens portion is aligned.

本発明のタッチパネル用光導波路の製法では、光を出射するコアの端部、外側に向かって反る平面視円弧状のレンズ面を有する第1レンズ部に形成、その第1レンズ部のレンズ面と隙間をあけて、外側に向かって反る側断面視円弧状のレンズ面を有する第2レンズ部、オーバークラッド層の一部分として形成ている。このため、本発明のタッチパネル用光導波路の製法では、オーバークラッド層を形成した時点で、コア端部の第1レンズ部とオーバークラッド層の一部分からなる第2レンズ部とを、自動的に位置合わせした状態にすることができる。このため、上記第1レンズ部と第2レンズ部との位置合わせ作業を不要にすることができ、生産性を向上させることができる。 In the method for manufacturing an optical waveguide for a touch panel according to the present invention, an end portion of a core that emits light is formed in a first lens portion having a lens surface having a circular arc shape in plan view that warps outward, and the first lens portion. open the lens surface and the gap, the second lens unit having a side section view an arcuate lens surface which bulges outwardly, is formed as part of the over cladding layer. Therefore, in the method of the touch panel optical waveguide of the present invention, at the time of forming the over cladding layer, and a second lens unit consisting of a portion of the first lens portion of the core end portion and the over cladding layer, automatically It can be in an aligned state. For this reason, the alignment operation | work with the said 1st lens part and a 2nd lens part can be made unnecessary, and productivity can be improved.

また、上記第1レンズ部、第2レンズ部側の端面に向かうにつれて徐々に拡幅して略扇形状をなし、その略扇形状における円弧面部上記レンズ面に形成る場合には、上記第1レンズ部の根元部から拡幅部に入ってきた光が、その拡幅部の形状に沿って、略均一に拡がり、端面のレンズ面には、光が略均一に到達する。このため、上記第1レンズ部のレンズ面からは、幅広の光を、その幅方向で光の強度を略均一にした状態で、出射することができる。その結果、タッチパネルにおいて、ディスプレイの画面に触れた指の位置が所定の位置から少しずれたとしても、上記幅広の光により、その指が触れた部分の位置を、適正に検知することができる。 Further, the first lens unit, a substantially fan shape gradually widened toward the end face of the second lens portion, the circular surface at the substantially fan-shaped when you formed on the lens surface, the The light that has entered the widened portion from the base portion of the first lens portion spreads substantially uniformly along the shape of the widened portion, and the light reaches the lens surface of the end face substantially uniformly. For this reason, wide light can be emitted from the lens surface of the first lens portion in a state where the light intensity is substantially uniform in the width direction. As a result, even if the position of the finger touching the display screen slightly deviates from a predetermined position on the touch panel, the position of the portion touched by the finger can be properly detected by the wide light.

さらに、上記出射された光を入射するコアの端部が上記オーバークラッド層の他の欠損凹部において外気に露呈した状態で第3レンズ部に形成され、その第3レンズ部におけるレンズ面が外側に向かって反る平面視円弧状に形成され、上記第3レンズ部のレンズ面と隙間をあけて対向する上記オーバークラッド層の部分が上記第3レンズ部に対応する第4レンズ部形成され、その第4レンズ部におけるレンズ面が外側に向かって反る側断面視円弧状に形成されている上記タッチパネル用光導波路を製造する方法であって、上記オーバークラッド層の型成形に用いる成形型が、照射線を透過させる材料からなり、上記オーバークラッド層の表面形状に対応する型面を有する凹部が形成され、その凹部の他側部が上記第4レンズ部のレンズ曲面形状に形成されており、上記オーバークラッド層の形成が、下記の(e)〜(h)の工程を経由して行われる場合には、光出射側の上記第1および第2レンズ部と同様、オーバークラッド層を形成した時点で、第3レンズ部と第4レンズ部とを、自動的に位置合わせした状態にすることができ、生産性を向上させることができる。
(e)上記基体の表面に、上記コアを被覆した状態でオーバークラッド層形成用の未硬化の感光性樹脂層を形成する工程。
(f)上記コアの第3レンズ部に対応するよう上記成形型の上記凹部の上記第4レンズ部のレンズ曲面形状部分を配置した状態で、上記感光性樹脂層に対し上記成形型の上記凹部をプレスしてその凹部の開口面を上記基体の表面に密着させる工程。
(g)上記他の欠損凹部形成予定部に対応する上記成形型の表面部分に遮光用マスクを載置し、その状態で、上記成形型を通して上記感光性樹脂層を照射線で露光し、その露光部分を硬化させてオーバークラッド層に形成する工程。
(h)脱型後、現像により、上記感光性樹脂層の、上記遮光用マスクに対応する未露光部分を除去して上記他の欠損凹部を形成し、その欠損凹部から上記コアの第3レンズ部を外気に露呈させる工程。
Further, formed in the third lens unit in a state where the end portion is exposed to the outside air Te other defects recess smell above Kio over bar cladding layer of the core entering the emitted light, the lens surface at the third lens unit It is formed in plan view an arc shape which bulges outwardly, formed in the fourth lens unit portion of the over cladding layer facing at a lens surface and gaps of the third lens unit corresponds to the third lens unit A method for manufacturing the optical waveguide for a touch panel, wherein the lens surface of the fourth lens portion is formed in an arc shape in a side sectional view that warps outward, and is used for molding the over clad layer The mold is made of a material that transmits radiation, a recess having a mold surface corresponding to the surface shape of the over cladding layer is formed, and the other side of the recess is the lens curved surface of the fourth lens unit. Jo to have been formed, the formation of the over cladding layer, when it is performed via the process of the following (e) ~ (h), as well as the light emitting side of the first and second lens portions When the over clad layer is formed, the third lens portion and the fourth lens portion can be automatically aligned, and productivity can be improved.
(E) A step of forming an uncured photosensitive resin layer for forming an overclad layer on the surface of the base body in a state of covering the core.
(F) The concave portion of the molding die with respect to the photosensitive resin layer in a state where the lens curved surface shape portion of the fourth lens portion of the concave portion of the molding die is disposed so as to correspond to the third lens portion of the core. And pressing the opening surface of the recess into close contact with the surface of the substrate.
(G) A light-shielding mask is placed on the surface portion of the mold corresponding to the other defective recess formation scheduled portion, and in that state, the photosensitive resin layer is exposed with irradiation rays through the mold, A step of curing the exposed portion to form an overcladding layer.
(H) After demolding, by development, the unexposed portion of the photosensitive resin layer corresponding to the light-shielding mask is removed to form the other defective concave portion, and the third lens of the core is formed from the defective concave portion. The process of exposing the part to the outside air.

また、上記第3レンズ部、第4レンズ部側の端面に向かうにつれて徐々に拡幅して略扇形状をなし、その略扇形状における円弧面部上記レンズ面に形成る場合には、上記第3レンズ部のレンズ面が幅広になっているため、その第3レンズ部のレンズ面では光を入射し易くなっている。このため、光伝送効率を向上させることができ、タッチパネルにおいて、ディスプレイの画面に触れた指の位置をより正確に検知することができる。 Further, the third lens unit, when the fourth gradually widening toward the end surface of the lens portion a substantially fan shape, that form a circular surface at the substantially fan shape to the lens surface, the Since the lens surface of the third lens portion is wide, it is easy for light to enter the lens surface of the third lens portion. For this reason, light transmission efficiency can be improved and the position of the finger touching the screen of the display can be detected more accurately on the touch panel.

本発明のタッチパネル用光導波路は、上記タッチパネル用光導波路の製法により得られるため、コアの端面から出射された光の発散が抑制され、ディスプレイの画面に触れた指の位置を正確に検知することができる。 Touch panel optical waveguide of the present invention, because produced by a production method of the optical waveguide for the touch panel, it is suppressed divergence of the light emitted from the end face of the core, to accurately detect the position of a finger having touched the display screen of the display be able to.

つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。   Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1(a)〜(c)は、本発明のタッチパネル用光導波路の第1の実施の形態を示している。この実施の形態のタッチパネル用光導波路W1 は、図1(a)に示すように、平面視四角形の枠状に形成されている。その四角形の枠状を構成する一方のL字形部分が、光出射側の光導波路部分Aであり、他方のL字形部分が、光入射側の光導波路部分Bである。上記タッチパネル用光導波路W1 は、四角形の枠状に形成されたアンダークラッド層(基体)2の表面の所定部分に、光の通路である複数のコア3A,3Bが、上記各L字形部分の外側端縁部の所定部分a,bから、そのL字形部分の内側〔ディスプレイ11(図2参照)の画面側〕端縁部に、等間隔に並列状態で延びたパターンに形成されている。また、光出射側の光導波路部分Aに形成されたコア3Aの数と、光入射側の光導波路部分Bに形成されたコア3Bの数とは、同数になっている。さらに、光出射側のコア3Aの端面と、光入射側のコア3Bの端面とは、対面した状態になっている。そして、図1(b)〔図1(a)の丸部Cの拡大図〕,図1(c)〔図1(b)のX−X断面図〕に示すように、この実施の形態では、上記光出射側のコア3Aの端部は、略扇形状の第1レンズ部31に形成され、光入射側のコア3Bが第3レンズ部(33)に形成されている。これらの形状等は同一であるため、図1(b),(c)では、第1レンズ部31,第3レンズ部(33)を併せて記載している(他の部分も同様である)。すなわち、これら第1および第3レンズ部31(33)は、端面(図示の右側端面)に向かうにつれて徐々に拡幅して略扇形状をなし、その略扇形状における円弧面部が外側に向かって反る平面視円弧状のレンズ面31a(33a)に形成されている。上記第1および第3レンズ部31(33)を含むコア3A(3B)は、均一高さに形成されている。そして、上記第1および第3レンズ部31(33)を除くコア3A(3B)部分を被覆するように、上記アンダークラッド層2の表面に、オーバークラッド層4が均一高さに形成されており、上記第1および第3レンズ部31(33)は、上記オーバークラッド層4の端部4bから突出して外気に露呈した状態になっている。さらに、上記第1レンズ部31のレンズ面31aと隙間をあけて、上記オーバークラッド層4の一部分である延長部からなる第2レンズ部42が、上記第1レンズ部31の形成列に沿って帯状に、上記アンダークラッド層2の表面に形成されている。同様に、上記第3レンズ部(33)のレンズ面(33a)と隙間をあけて、上記オーバークラッド層4の他の延長部からなる第4レンズ部(44)が、上記第3レンズ部33の形成列に沿って帯状に、上記アンダークラッド層2の表面に形成されている。上記第2および第4レンズ部42(44)の端面(図示の右側端面)は、外側に向かって反る側断面視円弧状のレンズ面42a(44a)に形成されている。なお、図1(a)では、コア3A,3Bを実線および鎖線で示しており、その実線および鎖線の太さがコア3A,3Bの太さを示しているとともに、コア3A,3Bの数を略して図示している。 1A to 1C show a first embodiment of an optical waveguide for a touch panel according to the present invention. As shown in FIG. 1A, the touch panel optical waveguide W 1 of this embodiment is formed in a rectangular frame shape in plan view. One L-shaped part constituting the quadrangular frame shape is an optical waveguide part A on the light emitting side, and the other L-shaped part is an optical waveguide part B on the light incident side. The touch panel optical waveguide W 1 has a plurality of cores 3A and 3B, which are light paths, on predetermined portions of the surface of the undercladding layer (substrate) 2 formed in a rectangular frame shape. It is formed in a pattern extending from the predetermined portions a and b of the outer edge portion to the inner edge of the L-shaped portion [screen side of the display 11 (see FIG. 2)] in parallel at equal intervals. In addition, the number of cores 3A formed in the light output side optical waveguide portion A and the number of cores 3B formed in the light incident side optical waveguide portion B are the same. Furthermore, the end surface of the light emitting side core 3A and the end surface of the light incident side core 3B are in a state of facing each other. In this embodiment, as shown in FIG. 1 (b) [enlarged view of the round portion C in FIG. 1 (a)] and FIG. 1 (c) [XX sectional view in FIG. 1 (b)]. The end portion of the light emitting side core 3A is formed in the substantially fan-shaped first lens portion 31, and the light incident side core 3B is formed in the third lens portion (33). Since these shapes and the like are the same, in FIGS. 1B and 1C, the first lens portion 31 and the third lens portion 33 are described together (the same applies to other portions). . That is, the first and third lens portions 31 (33) gradually widen toward the end face (the right end face in the figure) to form a substantially fan shape, and the arcuate surface portion of the substantially fan shape is curved outward. The lens surface 31a (33a) has a circular arc shape in plan view. The core 3A (3B) including the first and third lens portions 31 (33) is formed to have a uniform height. An over clad layer 4 is formed at a uniform height on the surface of the under clad layer 2 so as to cover the core 3A (3B) portion excluding the first and third lens portions 31 (33). The first and third lens portions 31 (33) protrude from the end 4b of the over clad layer 4 and are exposed to the outside air. Further, a second lens portion 42 formed of an extension portion that is a part of the over clad layer 4 with a gap from the lens surface 31 a of the first lens portion 31 extends along the formation row of the first lens portion 31. A band is formed on the surface of the under cladding layer 2. Similarly, a fourth lens portion (44) formed of another extension portion of the over clad layer 4 with a gap from the lens surface (33a) of the third lens portion (33) is formed in the third lens portion 33. Are formed on the surface of the under-cladding layer 2 in the form of a band along the formation row. The end surfaces (right end surfaces in the drawing) of the second and fourth lens portions 42 (44) are formed as lens surfaces 42a (44a) having a circular arc shape in a side sectional view that warps outward. In FIG. 1A, the cores 3A and 3B are indicated by solid lines and chain lines, and the thicknesses of the solid lines and chain lines indicate the thicknesses of the cores 3A and 3B, and the numbers of the cores 3A and 3B are indicated. The illustration is omitted.

上記四角形の枠状のタッチパネル用光導波路W1 は、図2に示すように、タッチパネル10の四角形のディスプレイ11の画面を囲むようにして、その画面周縁部の四角形に沿って設置される。そして、上記光出射側の光導波路部分Aの外側端縁部の所定部分aでは、コア3Aに発光素子等の光源(図示せず)が接続され、光入射側の光導波路部分Bの外側端縁部の所定部分bでは、コア3Bに受光素子等の検出器(図示せず)が接続される。図2では、図1(a)同様、コア3A,3Bを実線および鎖線で示しており、その実線および鎖線の太さがコア3A,3Bの太さを示しているとともに、コア3A,3Bの数を略して図示している。また、図2では、理解し易くするため、多数の光のうちの一部の光Sのみを示している。 As shown in FIG. 2, the quadrangular frame-shaped optical waveguide for touch panel W 1 is installed along the quadrangle at the periphery of the screen so as to surround the screen of the quadrangular display 11 of the touch panel 10. Then, at a predetermined portion a at the outer edge of the optical waveguide portion A on the light emitting side, a light source (not shown) such as a light emitting element is connected to the core 3A, and the outer end of the optical waveguide portion B on the light incident side. At a predetermined portion b at the edge, a detector (not shown) such as a light receiving element is connected to the core 3B. In FIG. 2, as in FIG. 1A, the cores 3 </ b> A and 3 </ b> B are indicated by solid lines and chain lines, and the thicknesses of the solid lines and chain lines indicate the thicknesses of the cores 3 </ b> A and 3 </ b> B. The numbers are abbreviated. Further, in FIG. 2, only a part of the light S among many lights is shown for easy understanding.

そして、図3(a)〔平面図〕,図3(b)〔図3(a)のX−X断面図〕に示すように、光出射側の光導波路部分Aでは、コア3Aの端部から出射する光Sは、その端部の第1レンズ部31の略扇形状の形状により、その略扇形状の拡幅部の形状に沿って、略均一に拡がる。さらに、その光Sは、第1レンズ部31の、レンズ面31a形状(平面視円弧状)に起因する屈折作用により、光Sの進行方向に対して横方向(左右方向)〔図3(a)参照〕の発散が抑制される。そして、その光Sは、上記レンズ面31aに対応する幅広の状態で、第1レンズ部31のレンズ面31aから外気部分に出射される。このとき、光Sは、外気部分に出射されることにより、第1レンズ部31と上記外気部分との屈折率の差から、上記発散が抑制され易くなっている。つづいて、その光Sは、第2レンズ部42の背面(レンズ面42aと反対側の面)42bから第2レンズ部42に入射し、その第2レンズ部42の、レンズ面42a形状(側断面視円弧状)に起因する屈折作用により、光Sの進行方向に対して縦方向(上下方向)〔図3(b)参照〕の発散が抑制される。そして、その光Sは、第2レンズ部42のレンズ面42aから出射される。すなわち、光出射側では、上記2つのレンズ部(第1レンズ部31および第2レンズ部42)の屈折作用により、光Sの進行方向に対して横方向ないし縦方向の発散が抑制された状態で、光Sが、上記第2レンズ部42のレンズ面42aから出射し、上記ディスプレイ11(図2参照)の画面に沿って進む。   As shown in FIG. 3A [plan view] and FIG. 3B [XX sectional view of FIG. 3A], in the optical waveguide portion A on the light emitting side, the end portion of the core 3A The light S emitted from the light spreads substantially uniformly along the shape of the substantially fan-shaped widened portion due to the substantially fan-shaped shape of the first lens portion 31 at the end thereof. Further, the light S is transverse (left and right) with respect to the traveling direction of the light S due to the refracting action caused by the shape of the lens surface 31a (circular arc in plan view) of the first lens unit 31 [FIG. )]] Is suppressed. And the light S is radiate | emitted from the lens surface 31a of the 1st lens part 31 to an external air part in the wide state corresponding to the said lens surface 31a. At this time, since the light S is emitted to the outside air portion, the divergence is easily suppressed from the difference in refractive index between the first lens portion 31 and the outside air portion. Subsequently, the light S enters the second lens unit 42 from the back surface (surface opposite to the lens surface 42 a) 42 b of the second lens unit 42, and the shape (side) of the lens surface 42 a of the second lens unit 42. Divergence in the vertical direction (vertical direction) [see FIG. 3B] with respect to the traveling direction of the light S is suppressed by the refraction action caused by the arc shape in cross section. Then, the light S is emitted from the lens surface 42 a of the second lens unit 42. That is, on the light emitting side, the divergence in the horizontal direction or the vertical direction with respect to the traveling direction of the light S is suppressed by the refracting action of the two lens parts (the first lens part 31 and the second lens part 42). Thus, the light S is emitted from the lens surface 42a of the second lens unit 42 and travels along the screen of the display 11 (see FIG. 2).

他方、光入射側の光導波路部分Bでは、上記ディスプレイ11(図2参照)の画面上を進んできた光Sは、図3(a),(b)に示す方向とは逆の方向に進む。すなわち、その光Sは、第4レンズ部(44)のレンズ面(44a)から入射し、その第4レンズ部(44)の、レンズ面(44a)形状(側断面視円弧状)に起因する屈折作用により、光Sの進行方向に対して縦方向でさらに絞って集束される。そして、その光Sは、第4レンズ部(44)の背面〔レンズ面(44a)と反対側の面〕(44b)から外気部分に出射される。このとき、光Sは、外気部分に出射されることにより、第4レンズ部(44)と上記外気部分との屈折率の差から、集束され易くなっている。つづいて、その光Sは、第3レンズ部(33)の略扇形状の形状により、幅広になっているレンズ面(33a)から、効率よく第3レンズ部(33)に入射する。そして、その光Sは、第3レンズ部(33)の、レンズ面(33a)形状(平面視円弧状)に起因する屈折作用により、光Sの進行方向に対して横方向でさらに絞って集束される。すなわち、光入射側では、上記2つのレンズ部〔第4レンズ部(44)および第3レンズ部(33)〕の屈折作用により、光Sの進行方向に対して縦方向ないし横方向で集束した状態で、光Sが、コア(3B)の奥方向に進む。なお、この実施の形態では、光入射側に、光Sを絞って集束させる上記第3および第4レンズ部(33),(44)が形成されているため、光出射側の第1および第2レンズ部31,42において光を絞った状態で出射しなくても、光伝送効率を向上させることができる。   On the other hand, in the optical waveguide portion B on the light incident side, the light S that has traveled on the screen of the display 11 (see FIG. 2) travels in a direction opposite to the direction shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b). . That is, the light S is incident from the lens surface (44a) of the fourth lens portion (44), and is caused by the shape of the lens surface (44a) of the fourth lens portion (44) (circular shape in a side sectional view). Due to the refracting action, the light S is focused further in the longitudinal direction with respect to the traveling direction of the light S. And the light S is radiate | emitted from the back surface [surface on the opposite side to a lens surface (44a)] (44b) of a 4th lens part (44) to an external air part. At this time, the light S is easily focused due to the difference in refractive index between the fourth lens portion (44) and the outside air portion by being emitted to the outside air portion. Subsequently, the light S efficiently enters the third lens portion (33) from the wide lens surface (33a) due to the substantially fan-shaped shape of the third lens portion (33). The light S is further focused in the lateral direction with respect to the traveling direction of the light S by the refraction action caused by the lens surface (33a) shape (arc shape in plan view) of the third lens portion (33). Is done. That is, on the light incident side, the light is focused in the vertical direction or the horizontal direction with respect to the traveling direction of the light S by the refractive action of the two lens parts [the fourth lens part (44) and the third lens part (33)]. In the state, the light S travels in the depth direction of the core (3B). In this embodiment, since the third and fourth lens portions (33) and (44) for converging and focusing the light S are formed on the light incident side, the first and first lens portions on the light emitting side are formed. Even if the two lens portions 31 and 42 do not emit light with the light constricted, the light transmission efficiency can be improved.

このような光伝送が、図2に示すタッチパネル用光導波路W1 において行われるため、図2に示すように、タッチパネル10のディスプレイ11の画面上では、光Sが進行方向に対して横方向ないし縦方向の発散を抑制された状態で格子状に走った状態となる(図2では、理解し易くするため、格子をつくる光の一部の光Sのみを示している)。このため、この状態で指でディスプレイ11の画面に触れると、上記指が触れた部分の位置を正確に検知することができる。 Since such light transmission is performed in the optical waveguide W 1 for a touch panel shown in FIG. 2, the light S is transverse to the traveling direction on the screen of the display 11 of the touch panel 10 as shown in FIG. In a state where the vertical divergence is suppressed, the light travels in a lattice shape (in FIG. 2, only a part of the light S forming the lattice is shown for easy understanding). For this reason, when the finger touches the screen of the display 11 in this state, the position of the part touched by the finger can be accurately detected.

このように適正に作用する上記タッチパネル用光導波路W1 は、図1(a)〜(c)において、第1レンズ部31を露呈させている外気部分の幅D1 および第3レンズ部33を露呈させている外気部分の幅(D2 )は、通常、50〜3000μmの範囲内に設定される。また、第1レンズ部31のレンズ面31aと第2レンズ部42との隙間の幅E1 および第3レンズ部33のレンズ面33aと第4レンズ部44との隙間の幅(E2 )は、通常、10〜20000μmの範囲内に設定される。さらに、第1および第3レンズ部31,33の略扇形状の拡幅部の中心角度(テーパ角度)α1 (α3 )は、通常、5°〜50°の範囲内に設定される。 The optical waveguide for touch panel W 1 that operates properly in this way includes the width D 1 of the outside air part that exposes the first lens part 31 and the third lens part 33 in FIGS. 1A to 1C. The width (D 2 ) of the exposed outside air portion is usually set within a range of 50 to 3000 μm. The width E 1 of the gap between the lens surface 31a of the first lens portion 31 and the second lens portion 42 and the width (E 2 ) of the gap between the lens surface 33a of the third lens portion 33 and the fourth lens portion 44 are as follows. Usually, it is set within a range of 10 to 20000 μm. Furthermore, the central angle (taper angle) α 13 ) of the substantially fan-shaped widened portions of the first and third lens portions 31 and 33 is normally set within a range of 5 ° to 50 °.

また、図2に示す上記タッチパネル10において、ディスプレイ11の画面により多くの操作情報等を表示する場合には、指位置の検知性をより精密にする必要がある。その場合、上記光伝送において、光出射側から出射される光Sの発散抑制をより適正化するとともに、光入射側における光Sの集束もより適正化し、光伝送効率をより向上させることが行われる。そのためには、上記第1〜第4レンズ部31,42,33,44の寸法は、つぎのように設定される。すなわち、図1(a)〜(c)において、コア3A,3Bの高さHが下記(a)の範囲内である場合に対して、上記第1レンズ部31のレンズ面31aの曲率中心M1 から上記第2レンズ部42のレンズ面42aの曲率中心M2 までの距離L1 が下記(b)の範囲内に設定され、上記第1レンズ部31のレンズ面31aの曲率半径R1 が下記(c)の範囲内に設定され、上記第2レンズ部42のレンズ面42aの曲率半径R2 が下記(d)の範囲内に設定される。また、上記第3レンズ部33のレンズ面33aの曲率中心(M3 )から上記第4レンズ部44のレンズ面44aの曲率中心(M4 )までの距離(L2 )が下記(e)の範囲内に設定され、上記第3レンズ部33のレンズ面33aの曲率半径(R3 )が下記(f)の範囲内に設定され、上記第4レンズ部44のレンズ面44aの曲率半径(R4 )が下記(g)の範囲内に設定される。下記(a)〜(g)は、本発明者が実験を繰り返し行って求めた範囲である。
(a) 10μm≦H ≦ 100μm
(b)400μm<L1 <10000μm
(c) 50μm<R1 < 6000μm
(d)300μm<R2 <10000μm
(e)400μm<L2 <10000μm
(f) 50μm<R3 < 6000μm
(g)300μm<R4 <10000μm
Further, in the touch panel 10 shown in FIG. 2, when a large amount of operation information or the like is displayed on the screen of the display 11, it is necessary to make the finger position detectability more precise. In that case, in the optical transmission, the suppression of the divergence of the light S emitted from the light emitting side is made more appropriate, and the focusing of the light S on the light incident side is also made more appropriate, thereby improving the light transmission efficiency. Is called. For this purpose, the dimensions of the first to fourth lens portions 31, 42, 33, 44 are set as follows. That is, in FIGS. 1A to 1C, when the height H of the cores 3A and 3B is within the range of the following (a), the center of curvature M of the lens surface 31a of the first lens portion 31 is described. distance L 1 from 1 to the center of curvature M 2 of the lens surface 42a of the second lens unit 42 is set within the following range (b), the radius of curvature R 1 of the lens surface 31a of the first lens portion 31 is set within the following range (c), the radius of curvature R 2 of the lens surface 42a of the second lens unit 42 is set within the following range (d). The distance (L 2 ) from the center of curvature (M 3 ) of the lens surface 33a of the third lens portion 33 to the center of curvature (M 4 ) of the lens surface 44a of the fourth lens portion 44 is as shown in (e) below. The radius of curvature (R 3 ) of the lens surface 33a of the third lens portion 33 is set within the range of (f) below, and the radius of curvature (R of the lens surface 44a of the fourth lens portion 44 is set within the range. 4 ) is set within the range of (g) below. The following (a) to (g) are ranges obtained by the present inventor through repeated experiments.
(A) 10 μm ≦ H ≦ 100 μm
(B) 400 μm <L 1 <10000 μm
(C) 50 μm <R 1 <6000 μm
(D) 300 μm <R 2 <10000 μm
(E) 400 μm <L 2 <10000 μm
(F) 50 μm <R 3 <6000 μm
(G) 300 μm <R 4 <10000 μm

これにより、図3において、光出射側の光導波路部分Aでは、第2レンズ部42のレンズ面42aから出射される光Sの発散抑制がより適正化され、その出射光Sを、平行光ないし平行光に近い状態、すなわち、拡がり過ぎず、かつ、絞られ過ぎない状態にすることができる。その結果、光入射側の光導波路部分Bでは、第4レンズ部44における光入射領域の広さをより適正にすることができる。そして、その光入射側では、第4レンズ部44のレンズ面44aに入射した光Sがより適正に集束され、その入射光Sの全部ないし大部分をコア3B内に伝播させることができる。   Thereby, in FIG. 3, in the optical waveguide portion A on the light exit side, the divergence suppression of the light S emitted from the lens surface 42a of the second lens portion 42 is made more appropriate, and the emitted light S is converted into parallel light or It is possible to achieve a state close to parallel light, that is, a state where the light does not expand too much and is not excessively focused. As a result, in the optical waveguide portion B on the light incident side, the width of the light incident region in the fourth lens portion 44 can be made more appropriate. On the light incident side, the light S incident on the lens surface 44a of the fourth lens portion 44 is more appropriately focused, and all or most of the incident light S can be propagated into the core 3B.

なお、上記四角形の枠状のタッチパネル用光導波路W1 の寸法等は、図2に示すように、タッチパネル10のディスプレイ11の大きさに対応するよう設定すればよく、例えば、枠状の縦と横の長さは、それぞれ30〜300mm程度、枠幅は、50μm〜2mm程度に設定される。また、光Sを出射するコア3A(光Sを入射するコア3B)の数も、ディスプレイ11の画面に表示される操作内容の数等によって対応するよう設定すればよく、例えば、20〜100本程度に設定される。 Note that the dimensions and the like of the rectangular frame-shaped touch panel optical waveguide W 1 may be set to correspond to the size of the display 11 of the touch panel 10 as shown in FIG. The horizontal length is set to about 30 to 300 mm, respectively, and the frame width is set to about 50 μm to 2 mm. The number of cores 3A that emit light S (cores 3B that receive light S) may be set according to the number of operation contents displayed on the screen of the display 11, for example, 20 to 100 cores. Set to degree.

つぎに、上記タッチパネル用光導波路W1 の製造方法の一例について説明する。なお、この説明において参照する図4(a)〜(d)ないし図5(a)〜(d)は、図1(a)〜(c)に示す、第1〜第4レンズ部31,42,33,44およびその周辺部分を中心にその製造方法を図示している。また、これらの形状等は、光出射側と光入射側とで同一であるため、それらを併せて記載している。 Next, an example of a method for manufacturing the touch panel optical waveguide W 1 will be described. 4A to 4D to 5A to 5D referred to in this description are the first to fourth lens portions 31 and 42 shown in FIGS. 1A to 1C. , 33, 44 and their peripheral parts are illustrated. Further, since these shapes and the like are the same on the light emitting side and the light incident side, they are also described.

まず、上記タッチパネル用光導波路W1 を製造する際に用いる平板状の基台1〔図4(a)参照〕を準備する。この基台1の形成材料としては、例えば、ガラス,石英,シリコン,樹脂,金属等があげられる。また、基台1の厚みは、例えば、20μm〜5mmの範囲内に設定される。 First, a flat plate-like base 1 [refer to FIG. 4 (a)] to be used in producing the optical waveguide W 1 for the touch panel. Examples of the material for forming the base 1 include glass, quartz, silicon, resin, metal, and the like. Moreover, the thickness of the base 1 is set in the range of 20 micrometers-5 mm, for example.

ついで、図4(a)に示すように、上記基台1上の所定領域に、アンダークラッド層2の形成材料である、感光性樹脂が溶媒に溶解しているワニスを塗布する。上記感光性樹脂としては、例えば、感光性エポキシ樹脂等があげられる。上記ワニスの塗布は、例えば、スピンコート法,ディッピング法,キャスティング法,インジェクション法,インクジェット法等により行われる。そして、それを50〜120℃×10〜30分間の加熱処理により乾燥させる。これにより、アンダークラッド層2に形成される感光性樹脂層2aを形成する。   Next, as shown in FIG. 4A, a varnish in which a photosensitive resin, which is a forming material of the under cladding layer 2, is dissolved in a solvent is applied to a predetermined region on the base 1. Examples of the photosensitive resin include a photosensitive epoxy resin. The varnish is applied by, for example, a spin coating method, a dipping method, a casting method, an injection method, an ink jet method, or the like. And it is dried by heat processing of 50-120 degreeC x 10-30 minutes. Thereby, the photosensitive resin layer 2a formed in the under clad layer 2 is formed.

つぎに、上記感光性樹脂層2aを照射線により露光する。上記露光用の照射線としては、例えば、可視光,紫外線,赤外線,X線,α線,β線,γ線等が用いられる。好適には、紫外線が用いられる。紫外線を用いると、大きなエネルギーを照射して、大きな硬化速度を得ることができ、しかも、照射装置も小型かつ安価であり、生産コストの低減化を図ることができるからである。紫外線の光源としては、例えば、低圧水銀灯,高圧水銀灯,超高圧水銀灯等があげられ、紫外線の照射量は、通常、10〜10000mJ/cm2 の範囲内に設定される。 Next, the photosensitive resin layer 2a is exposed with an irradiation beam. For example, visible light, ultraviolet rays, infrared rays, X-rays, α-rays, β-rays, γ-rays, etc. are used as the exposure radiation. Preferably, ultraviolet rays are used. This is because when ultraviolet rays are used, a large curing rate can be obtained by irradiating large energy, and the irradiation device is also small and inexpensive, and the production cost can be reduced. Examples of the ultraviolet light source include a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, and an ultrahigh-pressure mercury lamp, and the irradiation amount of the ultraviolet light is usually set within a range of 10 to 10,000 mJ / cm 2 .

上記露光後、光反応を完結させるために、加熱処理を行う。この加熱処理は、通常、80〜250℃×10秒〜2時間の範囲内で行う。これにより、上記感光性樹脂層2aをアンダークラッド層2に形成する。アンダークラッド層2(感光性樹脂層2a)の厚みは、通常、1〜50μmの範囲内に設定される。   After the exposure, heat treatment is performed to complete the photoreaction. This heat treatment is usually performed within a range of 80 to 250 ° C. × 10 seconds to 2 hours. Thereby, the photosensitive resin layer 2 a is formed on the under cladding layer 2. The thickness of the under clad layer 2 (photosensitive resin layer 2a) is usually set within a range of 1 to 50 μm.

ついで、図4(b)に示すように、上記アンダークラッド層2の表面に、コア3A(3B)に形成される感光性樹脂層3aを形成する。この感光性樹脂層3aの形成は、図4(a)で説明した、アンダークラッド層2に形成される感光性樹脂層2aの形成方法と同様にして行われる。なお、このコア3A(3B)の形成材料は、上記アンダークラッド層2および後記のオーバークラッド層4〔図1(c)参照〕の形成材料よりも屈折率が大きい材料が用いられる。この屈折率の調整は、例えば、上記アンダークラッド層2,コア3A(3B),オーバークラッド層4の各形成材料の種類の選択や組成比率を調整して行うことができる。   Next, as shown in FIG. 4B, a photosensitive resin layer 3 a formed on the core 3 </ b> A (3 </ b> B) is formed on the surface of the under cladding layer 2. The formation of the photosensitive resin layer 3a is performed in the same manner as the method for forming the photosensitive resin layer 2a formed on the under cladding layer 2 described with reference to FIG. The material for forming the core 3A (3B) is a material having a higher refractive index than the material for forming the under cladding layer 2 and the over cladding layer 4 described later (see FIG. 1C). The adjustment of the refractive index can be performed, for example, by selecting the type of each forming material of the under cladding layer 2, the core 3A (3B), and the over cladding layer 4 and adjusting the composition ratio.

つぎに、上記感光性樹脂層3aの上方に、コア3A(3B)のパターン〔第1および第3レンズ部31(33)を含む〕に対応する開口パターンが形成されている露光マスクを配置し、この露光マスクを介して上記感光性樹脂層3aを照射線により露光した後、加熱処理を行う。この露光および加熱処理は、図4(a)で説明したアンダークラッド層2の形成方法と同様にして行われる。   Next, an exposure mask having an opening pattern corresponding to the pattern of the core 3A (3B) [including the first and third lens portions 31 (33)] is disposed above the photosensitive resin layer 3a. Then, the photosensitive resin layer 3a is exposed to radiation through the exposure mask, and then heat treatment is performed. This exposure and heat treatment are performed in the same manner as the formation method of the under cladding layer 2 described with reference to FIG.

つづいて、現像液を用いて現像を行うことにより、図4(c)に示すように、上記感光性樹脂層3a〔図4(b)参照〕における未露光部分を溶解させて除去し、アンダークラッド層2上に残存した感光性樹脂層3aをコア3A(3B)のパターンに形成する。上記現像は、例えば、浸漬法,スプレー法,パドル法等が用いられる。また、現像液としては、例えば、有機系の溶媒,アルカリ系水溶液を含有する有機系の溶媒等が用いられる。このような現像液および現像条件は、感光性樹脂組成物の組成によって、適宜選択される。   Subsequently, development is performed using a developing solution to dissolve and remove the unexposed portion in the photosensitive resin layer 3a (see FIG. 4B) as shown in FIG. The photosensitive resin layer 3a remaining on the cladding layer 2 is formed in a pattern of the core 3A (3B). For the development, for example, an immersion method, a spray method, a paddle method, or the like is used. As the developer, for example, an organic solvent, an organic solvent containing an alkaline aqueous solution, or the like is used. Such a developing solution and development conditions are appropriately selected depending on the composition of the photosensitive resin composition.

上記現像後、コア3A(3B)のパターンに形成された残存感光性樹脂層3aの表面等に残存する現像液を加熱処理により除去する。この加熱処理は、通常、80〜120℃×10〜30分間の範囲内で行われる。これにより、上記コア3A(3B)のパターンに形成された残存感光性樹脂層3aを、コア3A(3B)〔第1および第3レンズ部31(33)を含む〕に形成する。コア3A(3B)(感光性樹脂層3a)の厚み(高さ)は、通常、10〜100μmの範囲内に設定され、コア3A(3B)の幅〔第1および第3レンズ部31(33)の略扇形状の拡幅部以外〕は、通常、8〜50μmの範囲内に設定される。   After the development, the developer remaining on the surface of the remaining photosensitive resin layer 3a formed in the pattern of the core 3A (3B) is removed by heat treatment. This heat treatment is usually performed within a range of 80 to 120 ° C. × 10 to 30 minutes. Thus, the remaining photosensitive resin layer 3a formed in the pattern of the core 3A (3B) is formed on the core 3A (3B) [including the first and third lens portions 31 (33)]. The thickness (height) of the core 3A (3B) (photosensitive resin layer 3a) is usually set within a range of 10 to 100 μm, and the width of the core 3A (3B) [first and third lens portions 31 (33). ) Other than the substantially fan-shaped widened portion] is usually set within a range of 8 to 50 μm.

そして、図4(d)に示すように、そのコア3A(3B)を被覆するように、上記アンダークラッド層2の表面に、オーバークラッド層4に形成される感光性樹脂を塗布し、感光性樹脂層(未硬化)4aを形成する。このオーバークラッド層4に形成される感光性樹脂としては、例えば、上記アンダークラッド層2と同様の感光性樹脂があげられる。   And as shown in FIG.4 (d), the photosensitive resin formed in the over clad layer 4 is apply | coated to the surface of the said under clad layer 2 so that the core 3A (3B) may be coat | covered, and photosensitivity is carried out. A resin layer (uncured) 4a is formed. Examples of the photosensitive resin formed on the over clad layer 4 include the same photosensitive resin as that of the under clad layer 2.

ついで、図5(a)に示すように、オーバークラッド層4を四角形の枠状にプレス成形するための成形型20を準備する。この成形型20は、紫外線等の照射線を透過させる材料(例えば石英)からなり、上記第2および第4レンズ部42(44)を含むオーバークラッド層4の表面形状と同形状の型面21からなる凹部が形成されている。そして、図5(b)に示すように、上記成形型20の型面(凹部)21が上記コア3A(3B)に対して所定位置に位置決めされるよう、上記感光性樹脂層4aに対して成形型20をプレスし、その感光性樹脂層4aをオーバークラッド層4の形状に成形する。つぎに、オーバークラッド層4が形成されない部分〔上記第1および第3レンズ部31(33)が外気に露呈する部分〕に対応する、上記成形型20の表面部分に遮光用マスク25を載置し、その状態で、上記成形型20を通して紫外線等の照射線を露光する。その後、加熱処理を行う。この露光および加熱処理は、図4(a)で説明したアンダークラッド層2の形成方法と同様にして行われる。そして、脱型した後、現像液を用いて現像を行う。これにより、図5(c)に示すように、上記感光性樹脂層4aにおける未露光部分(上記遮光用マスク25に対応する部分)を溶解させて除去し、上記第1および第3レンズ部31(33)を外気に露呈させる。上記現像後、加熱処理する。この現像および加熱処理は、図4(c)で説明したコア3A(3B)の形成方法と同様にして行われる。これにより、四角形の枠状のオーバークラッド層4〔第2および第4レンズ部42(44)を含む〕を得る。オーバークラッド層4の高さは、通常、50〜2000μmの範囲内に設定される。   Next, as shown in FIG. 5A, a forming die 20 for press-molding the over clad layer 4 into a rectangular frame shape is prepared. The mold 20 is made of a material (for example, quartz) that transmits radiation such as ultraviolet rays, and the mold surface 21 has the same shape as the surface shape of the overcladding layer 4 including the second and fourth lens portions 42 (44). The recessed part which consists of is formed. And as shown in FIG.5 (b), with respect to the said photosensitive resin layer 4a, the mold surface (concave part) 21 of the said shaping | molding die 20 is positioned in a predetermined position with respect to the said core 3A (3B). The molding die 20 is pressed, and the photosensitive resin layer 4 a is molded into the shape of the over clad layer 4. Next, the shading mask 25 is placed on the surface portion of the mold 20 corresponding to the portion where the overcladding layer 4 is not formed (the portion where the first and third lens portions 31 (33) are exposed to the outside air). In this state, an irradiation beam such as ultraviolet rays is exposed through the mold 20. Thereafter, heat treatment is performed. This exposure and heat treatment are performed in the same manner as the formation method of the under cladding layer 2 described with reference to FIG. And after demolding, it develops using a developing solution. As a result, as shown in FIG. 5C, the unexposed portion (the portion corresponding to the light shielding mask 25) in the photosensitive resin layer 4a is dissolved and removed, and the first and third lens portions 31 are removed. (33) is exposed to the outside air. After the development, heat treatment is performed. This development and heat treatment are performed in the same manner as the formation method of the core 3A (3B) described with reference to FIG. As a result, a rectangular frame-shaped over clad layer 4 [including the second and fourth lens portions 42 (44)] is obtained. The height of the over clad layer 4 is usually set in the range of 50 to 2000 μm.

このようにして、オーバークラッド層4の延長部として第2および第4レンズ部42(44)が形成されるため、オーバークラッド層4が形成された時点で、コア3A(3B)端部の第1および第3レンズ部31(33)と、オーバークラッド層4の延長部からなる第2および第4レンズ部42(44)とが、位置決めされた状態となる。また、アンダークラッド層2とオーバークラッド層4とが同じ形成材料の場合は、アンダークラッド層2とオーバークラッド層4とは、その接触部分で同化する。   Thus, since the second and fourth lens portions 42 (44) are formed as an extension of the over clad layer 4, the first portion of the end of the core 3A (3B) is formed when the over clad layer 4 is formed. The first and third lens portions 31 (33) and the second and fourth lens portions 42 (44) formed by extending the over clad layer 4 are positioned. When the under clad layer 2 and the over clad layer 4 are made of the same material, the under clad layer 2 and the over clad layer 4 are assimilated at the contact portion.

その後、図5(d)に示すように、刃型を用いた打ち抜き等により、基台1とともにアンダークラッド層2等を四角形の枠状に切断する。これにより、基台1の表面に、上記アンダークラッド層2,コア3A(3B)およびオーバークラッド層4〔第2および第4レンズ部42(44)を含む〕からなる、四角形の枠状のタッチパネル用光導波路W1 が製造される。そして、このタッチパネル用光導波路W1 は、上記基台1から剥離されて使用される〔図1(c)参照〕。 Thereafter, as shown in FIG. 5D, the undercladding layer 2 and the like together with the base 1 are cut into a rectangular frame shape by punching using a blade die. Thus, a rectangular frame-shaped touch panel comprising the under cladding layer 2, the core 3A (3B) and the over cladding layer 4 (including the second and fourth lens portions 42 (44)) on the surface of the base 1 The optical waveguide W 1 for manufacturing is manufactured. Then, the touch panel optical waveguide W 1 is used by being peeled off from the base 1 [see FIG. 1 (c)].

なお、上記第1の実施の形態では、コア3A,3B端部の第1および第3レンズ部31,33を、端面に向かうにつれて徐々に拡幅する略扇形状に形成したが、タッチパネル用光導波路W1 として光出射側と光入射側との間で適正に光伝送を行うことができれば、上記第1および第3レンズ部31,33を均一幅で形成してもよい。 In the first embodiment, the first and third lens portions 31 and 33 at the ends of the cores 3A and 3B are formed in a substantially fan shape that gradually widens toward the end face. if it is possible to perform proper optical transmission between the light emitting side and the light incidence side as W 1, it may be formed the first and third lens portions 31 and 33 with a uniform width.

また、上記第1の実施の形態では、第2および第4レンズ部42,44を帯状に形成したが、各第1レンズ部31に対してそれぞれ1片の第2レンズ部42を形成するようにして、第2および第4レンズ部42,44を複数の片状に形成してもよい。   In the first embodiment, the second and fourth lens portions 42 and 44 are formed in a band shape, but one piece of the second lens portion 42 is formed for each first lens portion 31. Thus, the second and fourth lens portions 42 and 44 may be formed in a plurality of pieces.

図6(a),(b)は、本発明のタッチパネル用光導波路の第2の実施の形態を示している。この実施の形態のタッチパネル用光導波路W2 は、光入射側の光導波路部分B1 には、上記第3および第4レンズ部33,44〔図1(a)〜(c)参照〕が形成されていず、光入射側のコア3Bの端面がオーバークラッド層4の端面から露出している。それ以外の部分は、上記第1の実施の形態と同様であり、同様の部分には、同じ符号を付している。 FIGS. 6A and 6B show a second embodiment of the optical waveguide for a touch panel according to the present invention. In the optical waveguide for touch panel W 2 of this embodiment, the third and fourth lens portions 33 and 44 (see FIGS. 1A to 1C) are formed in the optical waveguide portion B 1 on the light incident side. In other words, the end surface of the core 3 </ b> B on the light incident side is exposed from the end surface of the over cladding layer 4. Other parts are the same as those of the first embodiment, and the same reference numerals are given to the same parts.

この実施の形態でも、上記第1の実施の形態と同様に、光出射側の光導波路部分Aの第2レンズ部42からは、光Sの進行方向に対して横方向ないし縦方向の発散が抑制されて出射される。この実施の形態では、光伝送効率を向上させる観点から、光入射側のコア3Bの端面に光が集束した状態で入射するよう、光出射側の第1および第2レンズ部31,42において光を絞って出射させることが好ましい。そして、この実施の形態でも、タッチパネル10(図2参照)において、ディスプレイ11の画面に触れた指の位置を正確に検知することができる。   In this embodiment as well, similar to the first embodiment, the second lens portion 42 of the optical waveguide portion A on the light emitting side emits a divergence in the horizontal direction or the vertical direction with respect to the traveling direction of the light S. Suppressed and emitted. In this embodiment, from the viewpoint of improving the light transmission efficiency, the light is emitted from the first and second lens portions 31 and 42 on the light emitting side so that the light is focused on the end face of the core 3B on the light incident side. It is preferable to squeeze out the light. Also in this embodiment, the position of the finger touching the screen of the display 11 can be accurately detected on the touch panel 10 (see FIG. 2).

なお、上記各実施の形態では、感光性樹脂を用いてアンダークラッド層2を形成したが、これに代えて、アンダークラッド層2として作用する樹脂フィルムを準備し、それをそのままアンダークラッド層2として用いてもよい。また、アンダークラッド層2に代えて、金属フィルム(金属材),金属薄膜(金属材)が表面に形成された基板等を、コア3A,3Bがその表面に形成される基体として用いてもよい。   In each of the above embodiments, the under clad layer 2 is formed using a photosensitive resin. Instead, a resin film acting as the under clad layer 2 is prepared, and the under clad layer 2 is used as it is. It may be used. Further, instead of the under-cladding layer 2, a substrate having a metal film (metal material) or a metal thin film (metal material) formed on the surface may be used as a base on which the cores 3A and 3B are formed. .

また、上記各実施の形態では、タッチパネル用光導波路W1 ,W2 を四角形の枠状としたが、その四角形の枠状のタッチパネル用光導波路W1 ,W2 を構成する2つのL字形の光導波路部分A,B,B1 を別体にしてもよい。その製造方法としては、上記四角形の枠状に切断するのに代えて、2つのL字形に切断すればよい。 In each of the above-described embodiments, the touch panel optical waveguides W 1 and W 2 have a rectangular frame shape. However, the two L-shaped optical waveguides W 1 and W 2 constituting the rectangular frame-shaped touch panel optical waveguides W 1 and W 2 are formed. The optical waveguide portions A, B, and B 1 may be separated. As a manufacturing method thereof, it may be cut into two L-shapes instead of cutting into the rectangular frame shape.

また、上記各実施の形態では、上記基台1からタッチパネル用光導波路W1 ,W2 を剥離して使用したが、剥離することなく、基台1の表面に形成された状態で使用してもよい。 In each of the above embodiments, the touch panel optical waveguides W 1 and W 2 are peeled from the base 1 and used in a state where they are formed on the surface of the base 1 without being peeled off. Also good.

つぎに、実施例について説明する。但し、本発明は、実施例に限定されるわけではない。   Next, examples will be described. However, the present invention is not limited to the examples.

〔アンダークラッド層およびオーバークラッド層の形成材料〕
脂環骨格を含むエポキシ樹脂(アデカ社製、EP4080E)(成分A)100重量部と、光酸発生剤(サンアプロ社製、CPI−200K)(成分B)2重量部とを混合することにより、アンダークラッド層およびオーバークラッド層の形成材料を調製した。
[Formation material of under clad layer and over clad layer]
By mixing 100 parts by weight of an epoxy resin containing an alicyclic skeleton (manufactured by Adeka, EP4080E) (component A) and 2 parts by weight of a photoacid generator (manufactured by San Apro, CPI-200K) (component B), Materials for forming the under cladding layer and the over cladding layer were prepared.

〔コアの形成材料〕
フルオレン骨格を含むエポキシ樹脂(大阪ガスケミカル社製、オグソールEG)(成分C)40重量部と、多官能フルオレンエポキシ(ナガセケムテックス社製、EX−1040)(成分D)30重量部と、1,3,3−トリス{4−〔2−(3−オキセタニル)〕ブトキシフェニル}ブタン(成分E)30重量部、上記成分B:1重量部を乳酸エチル40.8重量部に溶解することにより、コアの形成材料を調製した。
[Core forming material]
Epoxy resin containing fluorene skeleton (Osaka Gas Chemical Co., Ltd., Ogsol EG) (component C) 40 parts by weight, polyfunctional fluorene epoxy (manufactured by Nagase ChemteX, EX-1040) (component D) 30 parts by weight, 1 , 3,3-tris {4- [2- (3-oxetanyl)] butoxyphenyl} butane (component E) 30 parts by weight and component B: 1 part by weight in 40.8 parts by weight of ethyl lactate A core forming material was prepared.

〔タッチパネル用光導波路の作製〕
図6(a),(b)に示す第2の実施の形態のタッチパネル用光導波路(光入射側に第3および第4レンズ部が形成されていないもの)をつぎのようにして作製した。すなわち、まず、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム〔160mm×160mm×188μm(厚み)〕の表面に、上記アンダークラッド層の形成材料をアプリケーターにより塗布した後、2000mJ/cm2 の紫外線照射による露光を行った。つづいて、100℃×15分間の加熱処理を行うことにより、アンダークラッド層を形成した。このアンダークラッド層の厚みを接触式膜厚計で測定すると20μmであった。また、このアンダークラッド層の、波長830nmにおける屈折率は、1.510であった。
[Production of optical waveguide for touch panel]
An optical waveguide for a touch panel according to the second embodiment shown in FIGS. 6A and 6B (where the third and fourth lens portions are not formed on the light incident side) was produced as follows. That is, first, the under clad layer forming material was applied to the surface of a polyethylene naphthalate (PEN) film [160 mm × 160 mm × 188 μm (thickness)] with an applicator, and then exposed to 2000 mJ / cm 2 of ultraviolet rays. It was. Subsequently, an under clad layer was formed by performing heat treatment at 100 ° C. for 15 minutes. The thickness of the under cladding layer was 20 μm when measured with a contact-type film thickness meter. The refractive index of this under cladding layer at a wavelength of 830 nm was 1.510.

ついで、上記アンダークラッド層の表面に、上記コアの形成材料をアプリケーターにより塗布した後、100℃×15分間の乾燥処理を行った。つぎに、その上方に、コアのパターン(第1レンズ部を含む)と同形状の開口パターンが形成された合成石英系のクロムマスク(露光マスク)を、下記の表1(実施例1〜3)に示す第1レンズ部の寸法に対応して準備した。そして、上記クロムマスクを介して、プロキシミティ露光法にて4000mJ/cm2 の紫外線照射による露光を行った後、80℃×15分間の加熱処理を行った。つぎに、γ−ブチロラクトン水溶液を用いて現像することにより、未露光部分を溶解除去した後、120℃×30分間の加熱処理を行うことにより、コアを形成した。コアの厚み(高さ)および幅(第1レンズ部の略扇形状の拡幅部以外)は、下記の表1(実施例1〜3)に示す値とした。上記各寸法は、SEM(電子顕微鏡)で測定した。また、このコアの、波長830nmにおける屈折率は、1.592であった。 Next, the core forming material was applied to the surface of the undercladding layer by an applicator, followed by drying at 100 ° C. for 15 minutes. Next, a synthetic quartz-based chromium mask (exposure mask) having an opening pattern having the same shape as the core pattern (including the first lens portion) formed thereon is shown in Table 1 below (Examples 1 to 3). ) And corresponding to the dimensions of the first lens part shown in FIG. And after performing the exposure by 4000 mJ / cm < 2 > ultraviolet irradiation by the proximity exposure method through the said chromium mask, the heat processing for 80 degreeC x 15 minutes were performed. Next, development was performed using a γ-butyrolactone aqueous solution to dissolve and remove unexposed portions, and then a heat treatment was performed at 120 ° C. for 30 minutes to form a core. The thickness (height) and width (other than the substantially fan-shaped widened portion of the first lens portion) of the core were values shown in Table 1 (Examples 1 to 3) below. Each said dimension was measured with SEM (electron microscope). The refractive index of this core at a wavelength of 830 nm was 1.592.

Figure 0005007280
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そして、コアを被覆するように、上記アンダークラッド層の表面に、オーバークラッド層の形成材料をアプリケーターにより塗布した。つぎに、オーバークラッド層形成用の石英製成形型を、下記の表2(実施例1〜3)に示す第2レンズ部のレンズ面の曲率半径(R2 )に対応して準備した。これら成形型には、オーバークラッド層の表面形状(第2レンズ部を含む)と同形状の型面からなる凹部が形成されている。そして、第1レンズ部のレンズ面の曲率中心から第2レンズ部のレンズ面の曲率中心までの距離(L1 )が下記の表2に示す値となるよう、上記成形型をプレスした。つぎに、オーバークラッド層が形成されない部分(第1レンズ部が外気に露呈する部分)に対応する、上記成形型の表面部分に遮光用マスクを載置した。そして、上記成形型を通して、2000mJ/cm2 の紫外線照射による露光を行った後、80℃×15分間の加熱処理を行った。その後、脱型した。つぎに、γ−ブチロラクトン水溶液を用いて現像することにより、未露光部分を溶解除去した後、120℃×30分間の加熱処理を行った。これにより、第2レンズ部を含むオーバークラッド層を得た。このオーバークラッド層の高さをマイクロスコープ(キーエンス社製)で測定すると、その高さは1000μmであった。また、このオーバークラッド層の、波長830nmにおける屈折率は、1.510であった。なお、光出射側における第1レンズ部を露呈させている外気部分の幅(D1 )および第1レンズ部のレンズ面と第2レンズ部との隙間の幅(E1 )は、下記の表2に併せて表記した。 And the formation material of the over clad layer was apply | coated to the surface of the said under clad layer with the applicator so that a core might be coat | covered. Next, a quartz mold for forming the overcladding layer was prepared corresponding to the radius of curvature (R 2 ) of the lens surface of the second lens portion shown in Table 2 (Examples 1 to 3) below. These molding dies are formed with a concave portion having a mold surface having the same shape as the surface shape of the overcladding layer (including the second lens portion). Then, the mold was pressed so that the distance (L 1 ) from the center of curvature of the lens surface of the first lens unit to the center of curvature of the lens surface of the second lens unit was a value shown in Table 2 below. Next, a light shielding mask was placed on the surface portion of the mold corresponding to a portion where the over clad layer was not formed (a portion where the first lens portion was exposed to the outside air). And after exposing by 2000 mJ / cm < 2 > ultraviolet irradiation through the said shaping | molding die, the heat processing for 80 degreeC x 15 minutes were performed. Thereafter, the mold was removed. Next, development was performed using a γ-butyrolactone aqueous solution to dissolve and remove the unexposed portion, and then a heat treatment was performed at 120 ° C. for 30 minutes. As a result, an over clad layer including the second lens portion was obtained. When the height of the over clad layer was measured with a microscope (manufactured by Keyence Corporation), the height was 1000 μm. Further, the refractive index of the over cladding layer at a wavelength of 830 nm was 1.510. The width (D 1 ) of the outside air portion exposing the first lens portion on the light emitting side and the width (E 1 ) of the gap between the lens surface of the first lens portion and the second lens portion are as follows: This is shown together with 2.

Figure 0005007280
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そして、刃型を用いた打ち抜きにより、上記PENフィルムとともに、2つのL字形の光導波路部分に切断し、PENフィルム付きL字形光導波路部分(外形寸法:66.3mm×70.0mm、L字形の線幅:10mm)を2つ得た。   Then, it is cut into two L-shaped optical waveguide portions together with the PEN film by punching using a blade mold, and an L-shaped optical waveguide portion with a PEN film (external dimensions: 66.3 mm × 70.0 mm, L-shaped Two line widths: 10 mm) were obtained.

〔評価〕
得られた2つのPENフィルム付きL字形光導波路部分を、ガラスエポキシ基板の表面に対向させ、四角形の枠状になるよう配置した。そして、対峙する光出射側のコアと光入射側のコアの光軸が一致するよう、マイクロスコープを用いて位置合わせを行った。そして、光出射側のL字形光導波路部分の外側端縁部の所定部分に、発光素子として、波長850nmの光を出射するVCSEL(Optwell社製)を、紫外線硬化型接着剤を介して連結した。また、光入射側のL字形光導波路部分の外側端縁部の所定部分に、受光素子として、CMOSリニアセンサーアレイ(TAOS社製)を、紫外線硬化型接着剤を介して連結した。そして、上記受光素子の制御部を、フレキシブルプリント基板を介して、USB型取り込みユニット(ナショナルインスツルメンツ社製)に接続し、さらに、USBポートを介して、コンピュータに接続した。そして、上記発光素子から強度2mWの光(波長850nm)を発光させ、タッチパネルとしての動作評価を実施した。
[Evaluation]
The obtained two L-shaped optical waveguide portions with PEN film were arranged to face the surface of the glass epoxy substrate so as to form a square frame. Then, alignment was performed using a microscope so that the optical axes of the opposed light emitting side core and the light incident side core coincide. Then, a predetermined portion of the outer edge portion of the L-shaped optical waveguide portion of the light emitting side, a light-emitting element, a VCSEL (Opt o well Ltd.) for emitting light having a wavelength of 850 nm, through the ultraviolet curing adhesive Connected. A CMOS linear sensor array (manufactured by TAOS) was connected as a light receiving element to a predetermined portion of the outer edge of the L-shaped optical waveguide portion on the light incident side via an ultraviolet curable adhesive. And the control part of the said light receiving element was connected to the USB type | mold taking-in unit (made by National Instruments) via the flexible printed circuit board, and also connected to the computer via the USB port. Then, light having an intensity of 2 mW (wavelength 850 nm) was emitted from the light emitting element, and operation evaluation as a touch panel was performed.

その結果、上記実施例1〜3では、いずれも、上記発光素子から発光された光は、光出射側のL字形光導波路部分を通過し、座標入力領域を格子状に横切った後、光入射側のL字形光導波路部分を通過し、最終的に上記受光素子に到達することを確認できた。さらに、上記座標入力領域を指で触れたところ、コンピュータ画面に座標が表示され、タッチパネルとして動作することを確認することができた。   As a result, in all of Examples 1 to 3, the light emitted from the light emitting element passes through the L-shaped optical waveguide portion on the light exit side, crosses the coordinate input region in a lattice shape, and then enters the light. It was confirmed that it passed through the L-shaped optical waveguide portion on the side and finally reached the light receiving element. Furthermore, when the coordinate input area was touched with a finger, the coordinates were displayed on the computer screen, and it was confirmed that the coordinate input area was operated as a touch panel.

本発明のタッチパネル用光導波路の第1の実施の形態を模式的に示し、(a)はその平面図であり、(b)は(a)の丸部Cで囲ったコアの端部の拡大図であり、(c)は(b)のX−X断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The 1st Embodiment of the optical waveguide for touchscreens of this invention is shown typically, (a) is the top view, (b) is an expansion of the edge part of the core enclosed by the round part C of (a). It is a figure, (c) is XX sectional drawing of (b). 上記タッチパネル用光導波路を用いたタッチパネルを模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the touchscreen using the said optical waveguide for touchscreens. 上記タッチパネル用光導波路における光の出射状態を模式的に示し、(a)はその平面図であり、(b)は(a)のX−X断面図である。The light emission state in the said optical waveguide for touchscreens is shown typically, (a) is the top view, (b) is XX sectional drawing of (a). (a)〜(d)は、上記タッチパネル用光導波路の製造方法を模式的に示す説明図である。(A)-(d) is explanatory drawing which shows typically the manufacturing method of the said optical waveguide for touchscreens. (a)〜(d)は、上記タッチパネル用光導波路の製造方法の続きを模式的に示す説明図である。(A)-(d) is explanatory drawing which shows typically the continuation of the manufacturing method of the said optical waveguide for touchscreens. 本発明のタッチパネル用光導波路の第2の実施の形態を模式的に示し、(a)はその平面図であり、(b)は(a)の丸部C1 で囲った光入射側のコアの端部の拡大断面図である。A second embodiment of the touch panel optical waveguide of the present invention schematically shown, (a) is a its plan view, (b) the light incident side of the core surrounded by a circle portion C 1 of the (a) It is an expanded sectional view of the edge part. 従来の光伝送装置を模式的に示し、(a)はその平面図であり、(b)は(a)のX−X断面図である。The conventional optical transmission apparatus is shown typically, (a) is the top view, (b) is XX sectional drawing of (a).

符号の説明Explanation of symbols

3A,3B コア
4 オーバークラッド層
31 第1レンズ部
33 第3レンズ部
42 第2レンズ部
44 第4レンズ部
31a,33a,42a,44a レンズ面
3A, 3B Core 4 Overclad layer 31 1st lens part 33 3rd lens part 42 2nd lens part 44 4th lens part 31a, 33a, 42a, 44a Lens surface

Claims (6)

基体の表面にパターン形成されたコアと、このコアを被覆した状態で型成形により形成されたオーバークラッド層とを備え、タッチパネルのディスプレイの画面周縁部に沿って設置され、光を出射するコアの端部が上記ディスプレイの画面の一側部に位置決めされ、その出射光を入射するコアの端部が上記ディスプレイの画面の他側部に位置決めされ、上記光を出射するコアの端部が上記オーバークラッド層の欠損凹部において外気に露呈した状態で第1レンズ部に形成され、その第1レンズ部におけるレンズ面が外側に向かって反る平面視円弧状に形成され、上記第1レンズ部のレンズ面と隙間をあけて対向する上記オーバークラッド層の部分が上記第1レンズ部に対応する第2レンズ部形成され、その第2レンズ部におけるレンズ面が外側に向かって反る側断面視円弧状に形成されているタッチパネル用光導波路を製造する方法であって、上記オーバークラッド層の型成形に用いる成形型が、照射線を透過させる材料からなり、上記オーバークラッド層の表面形状に対応する型面を有する凹部が形成され、その凹部の一側部が上記第2レンズ部のレンズ曲面形状に形成されており、上記オーバークラッド層の形成が、下記の(a)〜(d)の工程を経由して行われることを特徴とするタッチパネル用光導波路の製法
(a)上記基体の表面に、上記コアを被覆した状態でオーバークラッド層形成用の未硬化の感光性樹脂層を形成する工程。
(b)上記コアの第1レンズ部に対応するよう上記成形型の上記凹部のレンズ曲面形状部分を配置した状態で、上記感光性樹脂層に対し上記成形型の上記凹部をプレスしてその凹部の開口面を上記基体の表面に密着させる工程。
(c)上記欠損凹部形成予定部に対応する上記成形型の表面部分に遮光用マスクを載置し、その状態で、上記成形型を通して上記感光性樹脂層を照射線で露光し、その露光部分を硬化させてオーバークラッド層に形成する工程。
(d)脱型後、現像により、上記感光性樹脂層の、上記遮光用マスクに対応する未露光部分を除去して上記欠損凹部を形成し、その欠損凹部から上記コアの第1レンズ部を外気に露呈させる工程。
A core that is patterned on the surface of the substrate and an overcladding layer that is formed by molding in a state of covering the core, and is disposed along the peripheral edge of the screen of the touch panel display and emits light. The end is positioned on one side of the display screen, the end of the core that receives the emitted light is positioned on the other side of the display screen, and the end of the core that emits the light is over the in a state where the missing recesses odor Te was exposed to the outside air of the cladding layer formed on the first lens unit, the lens surface at the first lens portion is formed in plan view an arc shape which bulges outwardly, the first lens unit portion of the over cladding layer facing at a lens surface and a gap is formed in the second lens unit corresponding to the first lens unit, the lens surface at the second lens unit A method of manufacturing a filter touch panel optical waveguide is formed in a side cross-sectional arc-shape bulges on the side, the mold used for the molding of the over cladding layer is made of a material permeable to the radiation A concave portion having a mold surface corresponding to the surface shape of the over clad layer is formed, and one side portion of the concave portion is formed in the lens curved surface shape of the second lens portion. The manufacturing method of the optical waveguide for touchscreens characterized by performing through the process of following (a)-(d) .
(A) A step of forming an uncured photosensitive resin layer for forming an overcladding layer on the surface of the substrate in a state where the core is covered.
(B) The concave portion of the molding die is pressed by pressing the concave portion of the molding die against the photosensitive resin layer in a state where the curved surface portion of the concave portion of the molding die is disposed so as to correspond to the first lens portion of the core. A step of closely contacting the opening surface of the substrate to the surface of the substrate.
(C) A light-shielding mask is placed on the surface portion of the molding die corresponding to the defective recess formation scheduled portion, and in that state, the photosensitive resin layer is exposed with irradiation rays through the molding die, and the exposed portion Is a process of forming an overcladding layer by curing.
(D) After demolding, the unexposed portion of the photosensitive resin layer corresponding to the light shielding mask is removed by development to form the defective recess, and the first lens portion of the core is formed from the defective recess. The process of exposing to the outside air.
上記第1レンズ部、第2レンズ部側の端面に向かうにつれて徐々に拡幅して略扇形状をなし、その略扇形状における円弧面部上記レンズ面に形成る請求項1記載のタッチパネル用光導波路の製法 The first lens unit, a gradually widening to a substantially fan shape, a touch panel of the circular surface according to claim 1, wherein you formed on the lens surface in the substantially fan shape toward the end face of the second lens portion Manufacturing method of optical waveguide. 上記出射された光を入射するコアの端部が上記オーバークラッド層の他の欠損凹部において外気に露呈した状態で第3レンズ部に形成され、その第3レンズ部におけるレンズ面が外側に向かって反る平面視円弧状に形成され、上記第3レンズ部のレンズ面と隙間をあけて対向する上記オーバークラッド層の部分が上記第3レンズ部に対応する第4レンズ部形成され、その第4レンズ部におけるレンズ面が外側に向かって反る側断面視円弧状に形成されている請求項1または2記載のタッチパネル用光導波路を製造する方法であって、上記オーバークラッド層の型成形に用いる成形型が、照射線を透過させる材料からなり、上記オーバークラッド層の表面形状に対応する型面を有する凹部が形成され、その凹部の他側部が上記第4レンズ部のレンズ曲面形状に形成されており、上記オーバークラッド層の形成が、下記の(e)〜(h)の工程を経由して行われる請求項1または2記載のタッチパネル用光導波路の製法
(e)上記基体の表面に、上記コアを被覆した状態でオーバークラッド層形成用の未硬化の感光性樹脂層を形成する工程。
(f)上記コアの第3レンズ部に対応するよう上記成形型の上記凹部の上記第4レンズ部のレンズ曲面形状部分を配置した状態で、上記感光性樹脂層に対し上記成形型の上記凹部をプレスしてその凹部の開口面を上記基体の表面に密着させる工程。
(g)上記他の欠損凹部形成予定部に対応する上記成形型の表面部分に遮光用マスクを載置し、その状態で、上記成形型を通して上記感光性樹脂層を照射線で露光し、その露光部分を硬化させてオーバークラッド層に形成する工程。
(h)脱型後、現像により、上記感光性樹脂層の、上記遮光用マスクに対応する未露光部分を除去して上記他の欠損凹部を形成し、その欠損凹部から上記コアの第3レンズ部を外気に露呈させる工程。
Formed in the third lens unit in a state of being exposed to the outside air Te other defects recess smell the emitted end the upper Kio over bar cladding layer of the core which light enters the lens surface at the third lens unit is on the outside It headed formed in a planar arc-shaped warp, part of the over cladding layer facing at a lens surface and gaps of the third lens portion is formed in the fourth lens unit corresponding to the third lens unit, 3. The method of manufacturing an optical waveguide for a touch panel according to claim 1, wherein a lens surface of the fourth lens portion is formed in an arc shape in a side sectional view that warps outward. A molding die used for molding is made of a material that transmits radiation, a recess having a mold surface corresponding to the surface shape of the over clad layer is formed, and the other side of the recess is formed by the fourth lens unit. Lens curved shape is formed, the formation of the over cladding layer, the step according to claim 1 or 2 Preparation of optical waveguide for a touch panel according performed via the following (e) ~ (h).
(E) A step of forming an uncured photosensitive resin layer for forming an overclad layer on the surface of the base body in a state of covering the core.
(F) The concave portion of the molding die with respect to the photosensitive resin layer in a state where the lens curved surface shape portion of the fourth lens portion of the concave portion of the molding die is disposed so as to correspond to the third lens portion of the core. And pressing the opening surface of the recess into close contact with the surface of the substrate.
(G) A light-shielding mask is placed on the surface portion of the mold corresponding to the other defective recess formation scheduled portion, and in that state, the photosensitive resin layer is exposed with irradiation rays through the mold, A step of curing the exposed portion to form an overcladding layer.
(H) After demolding, by development, the unexposed portion of the photosensitive resin layer corresponding to the light-shielding mask is removed to form the other defective concave portion, and the third lens of the core is formed from the defective concave portion. The process of exposing the part to the outside air.
上記第3レンズ部、第4レンズ部側の端面に向かうにつれて徐々に拡幅して略扇形状をなし、その略扇形状における円弧面部上記レンズ面に形成る請求項3記載のタッチパネル用光導波路の製法 The third lens unit, a gradually widening to a substantially fan shape, a touch panel of the circular surface according to claim 3, wherein you formed on the lens surface in the substantially fan shape toward the end face of the fourth lens portion Manufacturing method of optical waveguide. 上記基体が、アンダークラッド材または金属材からなる請求項1〜4のいずれか一項に記載のタッチパネル用光導波路の製法The substrate, the under cladding material or any method of the optical waveguide for the touch panel according to one of Motomeko 1-4 ing a metallic material. 上記請求項1記載のタッチパネル用光導波路の製法により得られたタッチパネル用光導波路であって、基体の表面にパターン形成されたコアと、このコアを被覆した状態で型成形により形成された感光性樹脂製のオーバークラッド層とを備え、光を出射するコアの端部が第1レンズ部に形成され、その第1レンズ部におけるレンズ面が外側に向かって反る平面視円弧状に形成され、上記コアの第1レンズ部に対応する上記オーバークラッド層の部分が、現像による除去跡である欠損凹部に形成され、その欠損凹部において上記第1レンズ部が外気に露呈し、上記第1レンズ部のレンズ面と隙間をあけて対向する上記オーバークラッド層の部分が上記第1レンズ部に対応する第2レンズ部が形成され、その第2レンズ部におけるレンズ面が外側に向かって反る側断面視円弧状に形成されていることを特徴とするタッチパネル用光導波路 A touch panel optical waveguide produced by a production method of the claim 1 Symbol placement touch panel optical waveguide, the core is patterned on the surface of the substrate, the photosensitive formed by molding in a state as to cover the cores a sexual resin of the over-cladding layer, the ends of the core for emitting light is formed in the first lens unit, the lens surface is formed in plan view an arc shape which bulges outwardly in the first lens unit A portion of the overcladding layer corresponding to the first lens portion of the core is formed in a defective concave portion that is a removal mark by development, and the first lens portion is exposed to the outside air in the defective concave portion, and the first lens A portion of the over clad layer facing the lens surface of the portion with a gap is formed to form a second lens portion corresponding to the first lens portion, and the lens surface in the second lens portion is outside Headed warped sectional side view touch panel optical waveguide, characterized in that it is formed in a circular arc shape.
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