JP4969094B2 - Thermal barrier coating member and production thereof, and gas turbine - Google Patents

Thermal barrier coating member and production thereof, and gas turbine Download PDF

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Description

本発明は、耐久性に優れた遮熱コーティング部材とその製造、及びガスタービンに関するものであり、特に、遮熱コーティング部材のトップコートとして用いられるセラミックス層の構成に関するものである。 The invention, its production and excellent thermal barrier coating member in durability, and relates a gas turbine, in particular, to a structure of a ceramic layer used as a top coat for a thermal barrier coating member.

近年、省エネルギー対策の一つとして、火力発電の熱効率を高めることが検討されている。発電用ガスタービンの発電効率を向上させるためには、ガス入口温度を上昇させることが有効であり、その温度は1500℃程度とされる場合もある。そして、このように発電装置の高温化を実現するためには、ガスタービンを構成する静翼や動翼、あるいは燃焼器の壁材などを耐熱部材で構成する必要がある。しかし、タービン翼の材料は耐熱金属であるが、それでもこのような高温には耐えられないために、この耐熱金属の基材上に金属結合層を介して溶射等の成膜方法によって酸化物セラミックスからなるセラミックス層を積層した遮熱コーティング材(サーマルバリアコーティング、TBC)を形成して高温から保護することが行われており、そのセラミックス層としてはZrO2系の材料、特にY23で部分安定化又は完全安定化したZrO2であるYSZ(イットリア安定化ジルコニア)が、セラミックス材料の中では比較的低い熱伝導率と比較的高い熱膨張率を有しているためによく用いられている。 In recent years, increasing the thermal efficiency of thermal power generation has been studied as one of the energy saving measures. In order to improve the power generation efficiency of the power generation gas turbine, it is effective to raise the gas inlet temperature, and the temperature may be about 1500 ° C. in some cases. And in order to implement | achieve high temperature of an electric power generating apparatus in this way, it is necessary to comprise the stationary blade and moving blade which comprise a gas turbine, or the wall material of a combustor with a heat-resistant member. However, although the material of the turbine blade is a refractory metal, it still cannot withstand such a high temperature. thermal barrier coating formed by laminating a ceramic layer composed of (TBC, TBC) has been carried out to protect from high temperatures to form the material of the ZrO 2 as its ceramic layer, in particular with Y 2 O 3 YSZ (yttria stabilized zirconia), a partially stabilized or fully stabilized ZrO 2 , is often used because of its relatively low thermal conductivity and relatively high coefficient of thermal expansion among ceramic materials. Yes.

しかしながら、上記YSZからなるセラミックス層を備えた遮熱コーティング材によりガスタービンの動翼や静翼などを被覆した場合、ガスタービンの種類によってはタービンの入口温度が1500℃を越える温度に上昇することが考えられるが、このような高温で運転された場合、過酷な運転条件の下ではガスタービンの運転中に上記セラミックス層の一部が剥離し、耐熱性が損なわれるおそれがあった。また、近年、更に効率向上のため、タービン入口温度が1700℃にも達すると考えられており、タービン翼の表面温度は1300℃もの高温になることが予想される。従って、タービン翼の遮熱コーティングには、更に高い耐熱性が要求される状況にある。   However, when a turbine blade or stationary blade of a gas turbine is coated with a thermal barrier coating material having a ceramic layer made of YSZ, the inlet temperature of the turbine rises to a temperature exceeding 1500 ° C. depending on the type of gas turbine. However, when operated at such a high temperature, a part of the ceramic layer may be peeled off during operation of the gas turbine under severe operating conditions, and heat resistance may be impaired. Further, in recent years, it is considered that the turbine inlet temperature reaches 1700 ° C. in order to further improve the efficiency, and the surface temperature of the turbine blade is expected to be as high as 1300 ° C. Therefore, the thermal barrier coating for the turbine blade is required to have higher heat resistance.

上記YSZからなるセラミックス層の剥離の問題は、高温環境下におけるYSZの結晶安定性が十分でなく、大きな熱応力に対して十分な耐久性を有していないことによるものである。特許文献1は、この問題を解決するため、Yb23で安定化したジルコニア層、Yb23とEr23で安定化したジルコニア層ZrO2を用いた遮熱コーティング部材を提案している。
特開2003−160852号公報
The problem of exfoliation of the ceramic layer made of YSZ is due to insufficient crystal stability of YSZ in a high temperature environment and insufficient durability against a large thermal stress. Patent Document 1, this to solve the problem, proposed a thermal barrier coating member using the Yb 2 O 3 stabilized zirconia layer, Yb 2 O 3 and Er 2 O 3 stabilized zirconia layer ZrO 2 ing.
JP 2003-160852 A

本発明は、高温下での使用の際の剥離を抑制でき、しかも高い熱遮蔽効果を有する遮熱コーティング部材とその製造方法、遮熱コーティング材により被覆されたタービン部材、及びガスタービンを提供する。 The present invention can suppress separation during use at a high temperature, moreover thermal coating member and a manufacturing method thereof barrier that have a high heat shielding effect, turbine member coated with thermal barrier coating, and a gas turbine provide.

本発明は、耐熱基材と、該耐熱基材上に形成されたボンドコート層と、該ボンドコート層上に形成されたセラミックス層とを含んでなる遮熱コーティング部材であって、該セラミックス層が一般式AZr(式中、Aは希土類元素を表す。)で表されるセラミックスを含み、厚さ方向に耐熱基材上のボンドコート層を除く全膜の厚さの5〜100%の間隔で縦割れを有する遮熱コーティング部材を提供する。ボンドコート層とセラミックス層との間には、ジルコニア含有層を含み、ジルコニア含有層が気孔率1〜30%を有する。
本発明は、この遮熱コーティング部材を備えるガスタービンを提供する。
また、本発明は、耐熱基材上にボンドコート層を形成するステップと、該ボンドコート層上にAZrのセラミックス層を形成するステップを含む遮熱コーティング部材の製造方法であって、上記セラミックス層形成ステップが、厚さ方向に上記耐熱基材上のボンドコート層以外の全層の厚さの5〜100%の間隔で厚さ方向の縦割れを導入する段階を含む遮熱コーティング部材の製造方法を提供する。ボンドコート層形成ステップと、セラミックス層形成ステップの間には、ジルコニア含有層を形成するステップを含む。ジルコニア含有層形成ステップは、気孔を導入する段階を含む。
The present invention relates to a thermal barrier coating member comprising a heat resistant substrate, a bond coat layer formed on the heat resistant substrate, and a ceramic layer formed on the bond coat layer, the ceramic layer Includes a ceramic represented by the general formula A 2 Zr 2 O 7 (wherein A represents a rare earth element), and has a total thickness of 5 except for the bond coat layer on the heat-resistant substrate in the thickness direction. A thermal barrier coating member having longitudinal cracks at -100% intervals is provided. Between the bond coat layer and the ceramic layer, it comprises a di-zirconia-containing layer, the zirconia-containing layer has a 1% to 30% air porosity.
The present invention provides a gas turbine comprising this thermal barrier coating member.
Further, the present invention is a method for producing a thermal barrier coating member, comprising: forming a bond coat layer on a heat resistant substrate; and forming a ceramic layer of A 2 Zr 2 O 7 on the bond coat layer. The ceramic layer forming step includes a step of introducing longitudinal cracks in the thickness direction at intervals of 5 to 100% of the thickness of all layers other than the bond coat layer on the heat-resistant substrate in the thickness direction. A method for manufacturing a thermal coating member is provided. A bond coat layer formed step, between the ceramic layer formation step includes a step of forming a di-zirconia-containing layer. Zirconia-containing layer formation step includes a stage of introducing the air hole.

本発明によれば、優れた耐熱性と、熱サイクル耐久性を備えた遮熱コーティング部材を提供できる。これらをガスタービンに用いれば、信頼性の高いガスタービンを構成することができる。 The present invention can provide a superior heat resistance, a thermal barrier coating having a thermal cycle durability. If these are used for a gas turbine, a highly reliable gas turbine can be configured.

本発明に用いる耐熱基材としては、耐熱合金が挙げられる。耐熱合金としては、例えば、ガスタービン動翼に用いられるCM247L(キャノンマスケゴン社製)であり、ガスタービン静翼に用いられるIN939(インコ社製)が挙げられる。耐熱基材を用いる部品としては、好ましくはガスタービン用部品であり、タービン動翼、タービン静翼、分割環、燃焼器等に用いる部品が挙げられる。求められる耐熱性としては、その用途により異なるが、少なくとも700℃以上に耐えるものが好ましい。   Examples of the heat resistant substrate used in the present invention include a heat resistant alloy. An example of the heat-resistant alloy is CM247L (manufactured by Canon Maskegon) used for gas turbine blades, and IN939 (manufactured by Inco) used for gas turbine stationary blades. The component using the heat-resistant substrate is preferably a gas turbine component, and includes components used for turbine rotor blades, turbine stationary blades, split rings, combustors, and the like. The required heat resistance varies depending on the application, but is preferably resistant to at least 700 ° C. or more.

本発明によれば、耐熱基材上には、ボンドコート層が形成される。
ボンドコート層は、高い耐酸化性を有するとともに、耐熱基材とセラミックス層、又は耐熱基材とジルコニア含有層との熱膨張係数差を小さくして熱応力を緩和することができる。従って、高い耐酸化性による長時間耐久性と優れた熱サイクル耐久性を得ることができ、セラミックス層やジルコニア含有層のボンドコート層からの剥離を防止できる。また、ボンドコート層は、耐熱基材とセラミックス層、又は耐熱基材とジルコニア含有層をより強固に接合させ、遮熱コーティング材の強度の向上にも寄与できる。
According to the present invention, the bond coat layer is formed on the heat resistant substrate.
The bond coat layer has high oxidation resistance and can reduce thermal stress by reducing the difference in thermal expansion coefficient between the heat-resistant substrate and the ceramic layer or between the heat-resistant substrate and the zirconia-containing layer. Accordingly, long-term durability and excellent thermal cycle durability due to high oxidation resistance can be obtained, and peeling of the ceramic layer and the zirconia-containing layer from the bond coat layer can be prevented. In addition, the bond coat layer can more strongly join the heat-resistant substrate and the ceramic layer, or the heat-resistant substrate and the zirconia-containing layer, and can contribute to the improvement of the strength of the thermal barrier coating material.

ボンドコート層は、その上にポーラス層や縦割れを有する層を設ける場合には、耐熱基材の高温酸化、高温腐食を防止するために、耐酸化性、耐食性に優れた材料を用いることが好ましい。また、発生する応力を効率よく緩和するために延性に優れた材料を用いることが好ましい。
ボンドコート層としては、耐食性及び耐酸化性に優れたMCrAlY合金(「M」は金属元素を表す。)が好ましい。「M」は、好ましくは、NiやCo、Fe等の単独の金属元素又はこれらのうち2種以上の組み合わせである。
ボンドコート層の形成方法は、特に限定されず、低圧プラズマ溶射法や、電子ビーム物理蒸着法等を用いることができる。
When a layer having a porous layer or vertical crack is provided on the bond coat layer, a material excellent in oxidation resistance and corrosion resistance should be used in order to prevent high temperature oxidation and high temperature corrosion of the heat resistant substrate. preferable. Moreover, it is preferable to use a material excellent in ductility in order to efficiently relieve the generated stress.
As the bond coat layer, an MCrAlY alloy (“M” represents a metal element) excellent in corrosion resistance and oxidation resistance is preferable. “M” is preferably a single metal element such as Ni, Co, or Fe, or a combination of two or more thereof.
The method for forming the bond coat layer is not particularly limited, and low-pressure plasma spraying, electron beam physical vapor deposition, or the like can be used.

ボンドコート層の厚さは、特に限定されないが、好ましくは0.01〜1mmである。0.01mm未満では耐酸化性が不充分となる場合があり、1mmを超えると皮膜の延性や靱性が不充分となる場合がある。   The thickness of the bond coat layer is not particularly limited, but is preferably 0.01 to 1 mm. If it is less than 0.01 mm, the oxidation resistance may be insufficient, and if it exceeds 1 mm, the ductility and toughness of the film may be insufficient.

本発明によれば、トップコートとして、一般式AZr(式中、Aは希土類元素を表す。)で表されるセラミックス層を形成する。ここで、希土類元素とは、Sc、Y及びランタノイドの15元素を意味する。
一般式AZrで表されるセラミックとしては、好ましくは、LaZr、NdZr、SmZr、GdZr、DyZr、ErZr、YbZr、LuZrが挙げられ、800℃以上における熱伝導率の低さから特に好ましくはSmZrである。
According to the present invention, a ceramic layer represented by the general formula A 2 Zr 2 O 7 (wherein A represents a rare earth element) is formed as a top coat. Here, the rare earth element means 15 elements of Sc, Y and lanthanoid.
The ceramic represented by the general formula A 2 Zr 2 O 7 is preferably La 2 Zr 2 O 7 , Nd 2 Zr 2 O 7 , Sm 2 Zr 2 O 7 , Gd 2 Zr 2 O 7 , Dy 2 Zr. 2 O 7 , Er 2 Zr 2 O 7 , Yb 2 Zr 2 O 7 , and Lu 2 Zr 2 O 7 are mentioned, and Sm 2 Zr 2 O 7 is particularly preferable because of its low thermal conductivity at 800 ° C. or higher. .

Zrを合成する方法としては、粉末混合法、共沈法、アルコキシド法等が知られている。粉末混合法は、A粉とZrO粉をスラリー状態でボールミル等を使用して混合し、スラリーを乾燥した後、粉を熱処理して固相反応法によりAZrを合成し、粉砕して粉を得る方法である。共沈法は、AとZrの塩溶液にアンモニア等の中和剤を添加して水和物沈殿を得た後、熱処理して反応させ、AZrとした後、粉砕して粉を得る方法である。アルコキシド法は、AとZrのアルコキシド有機溶媒に水を添加して水和物沈殿を得た後、熱処理して反応させAZrとした後、粉砕して粉を得る方法である。 Known methods for synthesizing A 2 Zr 2 O 7 include a powder mixing method, a coprecipitation method, an alkoxide method, and the like. In the powder mixing method, A 2 O 3 powder and ZrO 2 powder are mixed in a slurry state using a ball mill or the like, and after drying the slurry, the powder is heat-treated and A 2 Zr 2 O 7 is mixed by a solid phase reaction method. It is a method of synthesizing and pulverizing to obtain powder. In the coprecipitation method, a neutralizing agent such as ammonia is added to a salt solution of A and Zr to obtain a hydrate precipitate, and then reacted by heat treatment to obtain A 2 Zr 2 O 7 and then pulverized. This is a method for obtaining powder. The alkoxide method is a method in which water is added to an alkoxide organic solvent of A and Zr to obtain a hydrate precipitate, which is then heat-treated to react with A 2 Zr 2 O 7 and then pulverized to obtain a powder. .

Zrを含んでなる遮熱コート材料は、例えば、AZr粉と水と分散剤とバインダーのスラリーをスプレードライヤーを用いて球状に造粒し、造粒物を熱処理して得られる。また、AZrの原料混合の段階で得られたスラリーをスプレードライして球状に成形し、熱処理して粉を得ることによりAZrを含んでなる遮熱コート材料とすることもできる。
Zrとして、例えばSmZrを含んでなる遮熱コート用材料は、施工法として溶射法を用いる場合には、好ましくは10〜200μmの粒径に分級し、溶射に適した粒度に調整して用いる。また、電子ビーム物理蒸着法を用いる場合には、焼結インゴットをターゲット材料に用いることができる。
The thermal barrier coating material comprising A 2 Zr 2 O 7 is prepared by, for example, granulating a slurry of A 2 Zr 2 O 7 powder, water, a dispersant, and a binder into a spherical shape using a spray dryer. Obtained by heat treatment. Also, a thermal barrier coating material comprising A 2 Zr 2 O 7 by spray-drying the slurry obtained at the stage of mixing the raw materials of A 2 Zr 2 O 7 to form a sphere and heat-treating it to obtain powder. It can also be.
As A 2 Zr 2 O 7 , for example, a thermal barrier coating material containing Sm 2 Zr 2 O 7 is preferably classified into a particle size of 10 to 200 μm when spraying is used as a construction method. Adjusted to a particle size suitable for use. Moreover, when using an electron beam physical vapor deposition method, a sintered ingot can be used for a target material.

Zr層をボンドコート層の上に形成する方法としては、大気圧プラズマ溶射法、及び電子ビーム物理蒸着法等が挙げられる。
大気圧プラズマ溶射法を用いてAZr層を形成する方法として、例えば、スルザーメテコ社製溶射ガン(例えばF4ガン)を用いて、上述の溶射法に用いる粉末を溶射電流600(A)、溶射距離150(mm)、粉末供給量60(g/min)、Ar/H量;35/7.4(l/min)の代表的条件により成膜することが可能である。
電子ビーム物理蒸着法を用いてAZr層を形成する方法として、例えば、アルデンヌ社製電子ビーム蒸着装置(例えば、TUBA150)を用いて、上述のインゴットをターゲット材料に用い、電子ビーム出力50kW、雰囲気10−4torrの減圧環境、耐熱基材1,000℃の代表的条件で成膜することが可能である。
柱状晶は、ボンドコート表面上で核生成した結晶が優先結晶成長方向に、単結晶状態で成長したもので、耐熱基材に歪が作用した場合にも、結晶が互いに分離することから、高い耐久性を示す。
Examples of the method for forming the A 2 Zr 2 O 7 layer on the bond coat layer include atmospheric pressure plasma spraying and electron beam physical vapor deposition.
As a method of forming the A 2 Zr 2 O 7 layer by using the atmospheric pressure plasma spraying method, for example, using a spray gun (for example, F4 gun) manufactured by Sulzer Metco Co., Ltd., the powder used for the above-mentioned spraying method is sprayed with a current 600 (A ), Spraying distance 150 (mm), powder supply amount 60 (g / min), Ar / H 2 amount; 35 / 7.4 (l / min).
As a method of forming the A 2 Zr 2 O 7 layer by using the electron beam physical vapor deposition method, for example, an electron beam vapor deposition apparatus (for example, TUBA150) manufactured by Ardennes Co., Ltd. is used, and the above-mentioned ingot is used as a target material. It is possible to form a film under a typical condition of an output of 50 kW, a reduced pressure environment of an atmosphere of 10 −4 torr, and a heat resistant substrate of 1,000 ° C.
Columnar crystals are crystals that are nucleated on the surface of the bond coat and grown in a single crystal state in the preferential crystal growth direction, and the crystals are separated from each other even when strain is applied to the heat-resistant substrate. Shows durability.

ジルコニア含有層を用いないときのセラミックス層の厚さは、特に限定されないが、好ましくは0.1〜1mmである。0.1mm未満では遮熱が不充分となる場合があり、1mmを超えると熱サイクルの耐久性が不充分となる場合がある。セラミックス層が気孔や縦割れ亀裂を有する場合は、セラミックス層の厚さは、好ましくは0.1〜1mmである。
セラミックス層としてSmZrを用いる場合は、熱伝導率が低下することから膜厚を下げることができる。S. Bose, Journal of Thermal Spray Technology, vol.6(1), Mar. 1997 pp.99-104には、膜厚が下がると熱サイクル耐久性が向上すると報告されており、同じ遮熱効果を保持しながら薄膜化できるSmZrの高い熱サイクル耐久性を裏付けるものである。このように、SmZrは低い熱伝導性だけでなく、高い熱サイクル耐久性の点からも好ましい。
Although the thickness of the ceramic layer when not using a zirconia content layer is not specifically limited, Preferably it is 0.1-1 mm. If it is less than 0.1 mm, the heat shielding may be insufficient, and if it exceeds 1 mm, the durability of the thermal cycle may be insufficient. When the ceramic layer has pores or vertical cracks, the thickness of the ceramic layer is preferably 0.1 to 1 mm.
When Sm 2 Zr 2 O 7 is used as the ceramic layer, the film thickness can be reduced because the thermal conductivity is lowered. S. Bose, Journal of Thermal Spray Technology, vol.6 (1), Mar. 1997 pp.99-104 reports that thermal cycle durability improves as the film thickness decreases. This supports the high thermal cycle durability of Sm 2 Zr 2 O 7 that can be made thin while being held. Thus, Sm 2 Zr 2 O 7 is preferable not only from low thermal conductivity but also from the viewpoint of high thermal cycle durability.

セラミックス層は、好ましくは、1〜30%の気孔率(セラミックス層内に形成された気孔のセラミックス層に対する体積占有率)を有する。気孔の存在により、セラミックス含有層の遮熱特性を向上させることができるとともに、ヤング率が低下することから熱サイクルに伴いセラミックス層に高い熱応力が作用した場合にもその応力を緩和することができる。従って、熱サイクル耐久性に優れた遮熱コーティング部材とすることができる。
気孔率が1%未満では、緻密であるためヤング率が高くなり、熱応力が高くなった場合に剥離が生じやすくなる。また、気孔率が30%を超えると、ボンドコート又はジルコニア含有層との密着性が不足し、耐久性が低下する場合がある。
The ceramic layer preferably has a porosity of 1 to 30% (volume occupation ratio of pores formed in the ceramic layer to the ceramic layer). The presence of pores can improve the thermal barrier properties of the ceramic-containing layer and reduce the Young's modulus even when high thermal stress acts on the ceramic layer due to the thermal cycle. it can. Therefore, it can be set as the thermal-insulation coating member excellent in thermal cycle durability.
When the porosity is less than 1%, the Young's modulus increases due to the denseness, and peeling tends to occur when the thermal stress increases. On the other hand, if the porosity exceeds 30%, the adhesion with the bond coat or the zirconia-containing layer is insufficient, and the durability may be lowered.

セラミックス層の気孔率は、溶射条件を調節することで容易に制御することができ、適切な気孔率を備えたセラミックス層を形成することができる。調節できる溶射条件としては、溶射電流、プラズマガス流量、溶射距離等が挙げられる。
溶射電流は、例えば、通常の600(A)から400(A)に低下することにより気孔率を5%程度から8%程度にまで増加できる。また、電流を増加することにより気孔率を低下することもできる。
プラズマガス流は、例えば、通常のAr/H量である35/7.4(l/min)から37.3/5.1(l/min)に水素流量割合を増加することにより、気孔率を5%程度から8%程度にまで増加できる。また、水素量を増加すると、気孔率を低下することができる。
溶射距離は、例えば、通常の150mmから210mmに増加させることにより、気孔率を5%程度から8%にまで増加できる。また、溶射距離を短くすることにより、気孔率を低下させることも可能である。更に、これらの組み合わせにより、気孔率を1%程度から最大30%程度の気孔率まで可変することができる。
The porosity of the ceramic layer can be easily controlled by adjusting the thermal spraying conditions, and a ceramic layer having an appropriate porosity can be formed. Thermal spraying conditions that can be adjusted include thermal spray current, plasma gas flow rate, thermal spray distance, and the like.
The thermal spray current can increase the porosity from about 5% to about 8% by decreasing from a normal 600 (A) to 400 (A), for example. Also, the porosity can be lowered by increasing the current.
For example, the plasma gas flow is increased by increasing the hydrogen flow rate from 35 / 7.4 (l / min), which is the usual Ar / H 2 amount, to 37.3 / 5.1 (l / min). The rate can be increased from about 5% to about 8%. Moreover, when the amount of hydrogen is increased, the porosity can be decreased.
The spraying distance can be increased from about 5% to 8% by increasing the spraying distance from the usual 150 mm to 210 mm, for example. It is also possible to reduce the porosity by shortening the spraying distance. Furthermore, by these combinations, the porosity can be varied from about 1% to a maximum of about 30%.

本発明によれば、セラミックス層は、その膜厚方向に延在する複数の縦割れ亀裂を有することが好ましい。この縦割れは、ジルコニア含有層の耐剥離性を向上させるためにジルコニア含有層の成膜時に意図的に導入される。
耐熱基材やボンドコート層に比して熱膨張係数の小さいセラミックス層は、タービンの発停等に伴う熱サイクルが印加された際に、耐熱基材やボンドコート層との熱膨張係数の差による応力が作用するが、セラミックス層に作用する応力を、縦割れがその幅を拡大又は縮小することにより緩和するようになっている。
従って、熱サイクルに伴う膨張収縮による応力はセラミックス層自体にはほとんど作用せず、セラミックス層の剥離が極めて起こり難くなり、熱サイクル耐久性に優れる。
According to the present invention, the ceramic layer preferably has a plurality of vertical cracks extending in the film thickness direction. This vertical crack is intentionally introduced when forming the zirconia-containing layer in order to improve the peel resistance of the zirconia-containing layer.
A ceramic layer with a smaller coefficient of thermal expansion than a heat-resistant substrate or bond coat layer has a difference in coefficient of thermal expansion from that of the heat-resistant substrate or bond coat layer when a thermal cycle accompanying the start / stop of a turbine is applied. However, the stress acting on the ceramic layer is relaxed by increasing or decreasing the width of the vertical crack.
Therefore, the stress due to expansion and contraction accompanying the thermal cycle hardly acts on the ceramic layer itself, the ceramic layer is hardly peeled off, and the thermal cycle durability is excellent.

本発明によれば、溶射粉末を用いて溶射を行う際に、セラミックス層に縦割れを導入することができる。溶射法による成膜は、粉末を溶融又半溶融状態として耐熱基材上に噴射し、耐熱基材表面で急速に冷却凝固させることにより行われる。この耐熱基材表面で凝固される際の温度変化を大きくし、成膜されるセラミックス層に意図的に凝固割れを生じさせることで、セラミックス層に縦割れを導入できる。
セラミックス層に生じた亀裂は、従来の構成の遮熱コーティング材においては、セラミックス層に剥離を生じさせる原因となっていたが、本発明よるセラミックス層に導入された縦割れは、剥離の原因とはならない。これは、縦割れと、熱サイクルにより生じたセラミックス層の亀裂とでは、その周辺の結晶構造が異なることによる。すなわち、熱サイクルにより生じる亀裂は、高温中でZrO2の結晶相がt’相(準安定正方晶相)からt相(正方晶相)及びC相(立方晶)へ変化し、遮熱コーティング材の温度が低下した場合に高温相で安定であるt相が温度の低下によりm相(単斜晶相)及びC相(立方晶)となり、m相が生成される際に体積変化が生じる。この体積変化により形成された亀裂の周辺部には、m相が観測される。従って、熱サイクルによりm相とt相との相転移が繰り返されるため、亀裂は徐々に進展し、最終的にはセラミックス層を剥離させる。
これに対して、本発明によりセラミックス層に導入される縦割れにおいては、その周辺部にm相がほとんど存在しないため、熱サイクル中にセラミックス層内で相転移に伴う体積変化がほとんどなく、熱サイクルに伴う温度変化により縦割れが進展することはほとんどない。従って、この縦割れの導入によりセラミックス層の寿命が短くなることはないものと考えられる。
According to the present invention, longitudinal cracks can be introduced into the ceramic layer when spraying is performed using the spray powder. Film formation by thermal spraying is performed by spraying powder onto a heat-resistant substrate in a molten or semi-molten state and rapidly cooling and solidifying the surface of the heat-resistant substrate. Longitudinal cracks can be introduced into the ceramic layer by increasing the temperature change during solidification on the surface of the heat-resistant substrate and intentionally causing solidification cracks in the formed ceramic layer.
The crack generated in the ceramic layer has caused the ceramic layer to peel in the conventional thermal barrier coating material, but the vertical crack introduced into the ceramic layer according to the present invention is the cause of the peeling. Must not. This is because the peripheral crystal structure is different between the vertical crack and the crack of the ceramic layer caused by the thermal cycle. That is, cracks caused by thermal cycling change the crystal phase of ZrO 2 from a t ′ phase (metastable tetragonal phase) to a t phase (tetragonal phase) and a C phase (cubic crystal) at a high temperature. When the temperature of the material decreases, the t phase, which is stable in the high temperature phase, becomes the m phase (monoclinic phase) and the C phase (cubic) due to the decrease in temperature, and a volume change occurs when the m phase is generated. . The m phase is observed around the crack formed by this volume change. Therefore, since the phase transition between the m phase and the t phase is repeated by the thermal cycle, the crack gradually develops and finally the ceramic layer is peeled off.
On the other hand, in the vertical crack introduced into the ceramic layer according to the present invention, since there is almost no m phase in the peripheral portion thereof, there is almost no volume change due to the phase transition in the ceramic layer during the thermal cycle. Longitudinal cracks hardly develop due to temperature changes accompanying the cycle. Accordingly, it is considered that the introduction of the vertical crack does not shorten the life of the ceramic layer.

縦割れの延在方向は、膜面の法線方向(図示上下方向)に対して±40°以内とされることが好ましい。セラミックス層の面方向の亀裂は、セラミックス層の剥離を引き起こしやすくするため、縦割れの延在する方向は、可能な限りセラミックス層の膜面の法線方向と平行とするのが好ましい。しかし、法線方向に対して±40°以内の傾きであれば、セラミックス層の剥離を防止する効果を十分に得ることができる。
縦割れの延在方向の好ましい範囲は、セラミックス層の膜面の法線方向に対して±20°以下の範囲である。
The extending direction of the vertical cracks is preferably within ± 40 ° with respect to the normal direction (the vertical direction in the figure) of the film surface. In order for the crack in the surface direction of the ceramic layer to easily cause peeling of the ceramic layer, the extending direction of the vertical crack is preferably as parallel as possible to the normal direction of the film surface of the ceramic layer. However, if the inclination is within ± 40 ° with respect to the normal direction, the effect of preventing the ceramic layer from peeling off can be sufficiently obtained.
A preferred range of the extending direction of the vertical crack is a range of ± 20 ° or less with respect to the normal direction of the film surface of the ceramic layer.

セラミックス層における縦割れ同士の間隔(ピッチ)は、耐熱基材上に形成された合計膜の厚さ(但し、ボンドコート層を除く。)5〜100%とすることが好ましい。例えば、セラミックス層の膜厚を0.5mmとするならば、縦割れ同士の間隔は、0.025mm以上0.5mm以下の範囲とすることが好ましい。このような間隔でセラミックス層に縦割れを導入することで、耐剥離性に優れたセラミックス層を備えた遮熱コーティング部材を得ることができる。
ピッチが5%未満であると、下地のボンドコート層又はジルコニア含有層と接着面積が小さくなり、密着力が不足して剥離しやすくなる場合がある。間隔が100%を超えると、亀裂先端での剥離方向への特異応力が増大して剥離を誘発する場合がある。
The interval (pitch) between vertical cracks in the ceramic layer is preferably 5 to 100% of the total film thickness (excluding the bond coat layer) formed on the heat-resistant substrate. For example, if the film thickness of the ceramic layer is 0.5 mm, the interval between the vertical cracks is preferably in the range of 0.025 mm to 0.5 mm. By introducing vertical cracks in the ceramic layer at such intervals, a thermal barrier coating member having a ceramic layer having excellent peel resistance can be obtained.
If the pitch is less than 5%, the bonding area with the underlying bond coat layer or zirconia-containing layer may be small, and adhesion may be insufficient, and peeling may easily occur. When the interval exceeds 100%, the specific stress in the peeling direction at the crack tip may increase and induce peeling.

縦割れを備えたセラミックス層は、例えば、溶射法又は電子ビーム物理蒸着法によるセラミックス層の成膜時に形成することができる。
溶射法により縦割れを備えたセラミックス層を形成する場合、溶射距離(溶射ガンと耐熱基材との距離)を従来ジルコニア層の成膜に用いられていた溶射距離の1/4〜2/3程度にまで近づけるか、あるいは、溶射距離は従来と同程度とし、溶射ガンに入力する電力を従来用いられていた電力の2倍〜25倍程度にまで高めることによりセラミックス層に縦割れを導入することができる。すなわち、溶射によりボンドコート層又はジルコニア含有層を有する耐熱基材に飛来する溶融又は半溶融状態の粒子の温度を高くすることで、耐熱基材上で急冷凝固される際の温度勾配を大きくし、凝固時の収縮により縦割れを導入することができる。この方法によれば、溶射距離及び/又は溶射ガンへの入力電力を調整することで、容易に縦割れの間隔や頻度(縦割れの面積密度)を制御することができ、所望の特性を備えたセラミックス層を形成することができる。これにより、優れた耐剥離性、熱サイクル耐久性を備えた遮熱コーティング部材を容易に形成することができる。
電子ビーム物理蒸着法により縦割れを備えたセラミックス層を形成する場合、例えば、アルデンヌ社製電子ビーム蒸着装置(例えば、TUBA150)を用いて、上述のインゴットをターゲット材料に用い、電子ビーム出力50kW、雰囲気10−4torrの減圧環境、耐熱基材温度1,000℃の代表的条件で、縦割れを備えたセラミック層を容易に形成することができる。
The ceramic layer having vertical cracks can be formed, for example, when the ceramic layer is formed by thermal spraying or electron beam physical vapor deposition.
When a ceramic layer having vertical cracks is formed by a thermal spraying method, the spraying distance (distance between the spraying gun and the heat-resistant substrate) is set to 1/4 to 2/3 of the spraying distance conventionally used for forming a zirconia layer. By introducing a vertical crack in the ceramic layer by increasing the power input to the spray gun to about 2 to 25 times the power conventionally used be able to. That is, by increasing the temperature of the molten or semi-molten particles flying to the heat-resistant substrate having a bond coat layer or zirconia-containing layer by thermal spraying, the temperature gradient during rapid solidification on the heat-resistant substrate is increased. Vertical cracks can be introduced by shrinkage during solidification. According to this method, by adjusting the spray distance and / or the input power to the spray gun, it is possible to easily control the interval and frequency of vertical cracks (area density of vertical cracks) and provide desired characteristics. A ceramic layer can be formed. Thereby, a thermal barrier coating member having excellent peeling resistance and thermal cycle durability can be easily formed.
When a ceramic layer having vertical cracks is formed by electron beam physical vapor deposition, for example, an electron beam vapor deposition apparatus (for example, TUBA150) manufactured by Ardennes is used, the above ingot is used as a target material, an electron beam output of 50 kW, A ceramic layer having vertical cracks can be easily formed under typical conditions of an atmosphere of 10 −4 torr and a heat-resistant substrate temperature of 1,000 ° C.

本発明によれば、トップコートをジルコニア含有層とセラミックス層の二層としてもよい。この場合、耐熱基材の表面から外に向けて、ボンドコート層、ジルコニア含有層、セラミックス層を順次形成することとなる。ジルコニア含有層は、好ましくはジルコニアを部分安定化した層である。ジルコニアを部分安定化することにより、ジルコニアの結晶安定性が向上し、タービン等の高温部品に用いた場合にも熱サイクル中でジルコニアの結晶相が変化し難く、相変態による亀裂及びその進展を防止することができる。従って、優れた耐剥離性を備え、熱サイクル耐久性に優れ、高温部品に好適である。
部分安定化ジルコニアとしては、好ましくは、Yb23とY23とDy23とEr23からなる選ばれる一以上で安定化されたジルコニアである。
Yb23で安定化されたジルコニアの場合、安定化剤であるYb23の含有量は、熱サイクル耐久性の点から、好ましくは8〜27重量%である。
Yb23とEr23とで安定化されたジルコニアの場合、好ましくは、安定化剤であるYb23含有量は0.1〜25重量%、安定化剤であるEr23含有量は0.1〜25重量%であり、Yb23とEr23の含有量の合計が10〜30重量%である。
According to the present invention, the top coat may be a two-layer structure including a zirconia-containing layer and a ceramic layer. In this case, a bond coat layer, a zirconia-containing layer, and a ceramic layer are sequentially formed from the surface of the heat resistant substrate to the outside. The zirconia-containing layer is preferably a layer obtained by partially stabilizing zirconia. By partially stabilizing zirconia, the crystal stability of zirconia is improved, and even when used for high-temperature parts such as turbines, the crystal phase of zirconia is unlikely to change during the thermal cycle, and cracks due to phase transformation and their progress are prevented. Can be prevented. Therefore, it has excellent peeling resistance, excellent thermal cycle durability, and is suitable for high-temperature parts.
The partially stabilized zirconia is preferably zirconia stabilized with one or more selected from Yb 2 O 3 , Y 2 O 3 , Dy 2 O 3 and Er 2 O 3 .
For zirconia stabilized by Yb 2 O 3, the content of Yb 2 O 3 is a stabilizer from the viewpoint of the thermal cycle durability, preferably 8-27 wt%.
In the case of zirconia stabilized with Yb 2 O 3 and Er 2 O 3 , the content of Yb 2 O 3 as a stabilizer is preferably 0.1 to 25% by weight, and Er 2 O as a stabilizer. 3 content is 0.1 to 25% by weight, and the total content of Yb 2 O 3 and Er 2 O 3 is 10 to 30% by weight.

トップコートをジルコニア含有層とセラミックス層の二層とした場合でも、トップコート全体の膜厚を0.1〜1mmとすることが好ましい。この場合、ジルコニア含有層とセラミックス層の各層は、耐熱基材上に設けた合計膜厚(但し、ボンドコート層を除く。)の10〜90%とすることが好ましい。ジルコニア含有層とセラミックス層のいずれか又は両方が、気孔又は縦割れを有する場合であっても同様である。   Even when the top coat is formed of two layers of a zirconia-containing layer and a ceramic layer, the thickness of the entire top coat is preferably 0.1 to 1 mm. In this case, each of the zirconia-containing layer and the ceramic layer is preferably 10 to 90% of the total film thickness (excluding the bond coat layer) provided on the heat-resistant substrate. The same applies even if either or both of the zirconia-containing layer and the ceramic layer have pores or vertical cracks.

ジルコニア含有層は、公知の方法で形成することができる。例えば、Yb23で安定化されたジルコニア含有層は、Yb23粉末とZrO2粉末を混合して溶射粉末を作製し、溶射法により形成することができる。また、Yb23とEr23で安定化されたジルコニア含有層は、Yb23粉末とEr23粉末とZrO2粉末とを混合して溶射粉末を作製し、溶射法により形成できる。これにより、結晶安定性に優れ、耐剥離性に優れた部分安定化ジルコニア層を容易に歩留まり良く製造することができる。溶射法としては、大気圧プラズマ溶射法を挙げられる。溶射法に限らず、電子ビーム物理蒸着法により積層することもできる。 The zirconia-containing layer can be formed by a known method. For example, a stabilized zirconia-containing layer with Yb 2 O 3 may be a thermal spray powder prepared by mixing Yb 2 O 3 powder and ZrO 2 powder is formed by thermal spraying. Further, Yb 2 O 3 and Er stabilized zirconia-containing layer 2 O 3 is a spray powder prepared by mixing Yb 2 O 3 powder and Er 2 O 3 powder and ZrO 2 powder, by spray method Can be formed. Thereby, a partially stabilized zirconia layer excellent in crystal stability and exfoliation resistance can be easily manufactured with high yield. An example of the spraying method is an atmospheric pressure plasma spraying method. Not only the thermal spraying method but also the electron beam physical vapor deposition method can be used for lamination.

大気圧プラズマ溶射を用いる場合は、例えば、ZrO2粉と所定の添加割合のYb23粉を用意し、これらの粉を適当なバインダーや分散剤とともにボールミル中で混合してスラリー状にする。次に、これをスプレードライヤーにより粒状にして乾燥させ、次いで1200〜1600℃に加熱する拡散熱処理により固溶化させて、Yb23が均一に拡散されたZrO2−Yb23の複合粉を得る。そして、この複合粉をボンドコート層上に溶射することによりYbSZ層を得ることができる。
また、ジルコニア含有層の成膜法として電子ビーム物理蒸着法を用いる場合には、所定の組成を有する原料を焼結又は電融固化して得られるインゴットを使用する。
また、Yb23及びEr23により安定化されたジルコニアを用いる場合には、ZrO2粉末と、所定の添加割合のYb23粉、及びEr23粉を用意し、上記と同様の方法でZrO2−(Yb23+Er23)複合粉を作製し、この複合粉を用いて溶射又は電子ビーム物理蒸着を行うことで、ボンドコート層上にYb23及びEr23により安定化されたジルコニア層を形成することができる。
When atmospheric pressure plasma spraying is used, for example, ZrO 2 powder and Yb 2 O 3 powder with a predetermined addition ratio are prepared, and these powders are mixed in a ball mill together with an appropriate binder and dispersant to form a slurry. . Next, this is granulated by a spray dryer, dried, and then solidified by diffusion heat treatment heated to 1200 to 1600 ° C., and Yb 2 O 3 is uniformly diffused in a ZrO 2 —Yb 2 O 3 composite powder. Get. And a YbSZ layer can be obtained by spraying this composite powder on a bond coat layer.
Moreover, when using an electron beam physical vapor deposition method as the film-forming method of a zirconia content layer, the ingot obtained by sintering or electromelting solidifying the raw material which has a predetermined composition is used.
In the case of using a zirconia stabilized by Yb 2 O 3 and Er 2 O 3 is prepared and ZrO 2 powder, a predetermined addition ratio of Yb 2 O 3 powder, and Er 2 O 3 powder, the A ZrO 2 — (Yb 2 O 3 + Er 2 O 3 ) composite powder is prepared by the same method as described above, and thermal spraying or electron beam physical vapor deposition is performed using this composite powder, whereby Yb 2 O 3 is formed on the bond coat layer. And a zirconia layer stabilized by Er 2 O 3 can be formed.

ジルコニア含有層は、好ましくは、1〜30%の気孔率(ジルコニア含有層に対するジルコニア含有層内に形成された気孔の体積占有率)を有する。気孔の存在により、部分安定化ジルコニア含有層の遮熱特性を向上させることができるとともに、熱サイクルに伴いジルコニア含有層に高い熱応力が作用した場合にもその応力を緩和することができる。従って、熱サイクル耐久性に優れた遮熱コーティング部材とすることができる。
気孔率が1%未満では、緻密であるためヤング率が高くなり、熱応力が高くなった場合に剥離が生じやすくなる。また、気孔率が30%を超えると、ボンドコートとの密着性が不足し、耐久性が低下する場合がある。
The zirconia-containing layer preferably has a porosity of 1 to 30% (volume occupation ratio of pores formed in the zirconia-containing layer with respect to the zirconia-containing layer). Due to the presence of the pores, the heat shielding property of the partially stabilized zirconia-containing layer can be improved, and the stress can be relaxed even when a high thermal stress acts on the zirconia-containing layer with a thermal cycle. Therefore, it can be set as the thermal-insulation coating member excellent in thermal cycle durability.
When the porosity is less than 1%, the Young's modulus increases due to the denseness, and peeling tends to occur when the thermal stress increases. On the other hand, if the porosity exceeds 30%, the adhesion with the bond coat may be insufficient and the durability may be lowered.

また、ジルコニア含有層の気孔率は、溶射電流や溶射距離を調節することで容易に制御することができ、適切な気孔率を備えたジルコニア含有層を形成することができる。これにより、耐剥離性に優れた遮熱コーティング部材を得ることができる。
溶射電流は、例えば、通常の600(A)から400(A)に低下することにより気孔率を5%程度から8%程度にまで増加できる。また、電流を増加することにより気孔率を低下することもできる。
プラズマガス流は、例えば、通常のAr/H量である35/7.4(l/min)から37.3/5.1(l/min)に水素流量割合を増加することにより、気孔率を5%程度から8%程度にまで増加できる。また、水素量を増加すると、気孔率を低下することができる。
溶射距離は、例えば、通常の150mmから210mmに増加させることにより、気孔率を5%程度から8%にまで増加できる。また、溶射距離を短くすることにより、気孔率を低下させることも可能である。更に、これらの組み合わせにより、気孔率を1%程度から最大30%程度の気孔率まで可変することができる。
Further, the porosity of the zirconia-containing layer can be easily controlled by adjusting the spraying current and the spraying distance, and a zirconia-containing layer having an appropriate porosity can be formed. Thereby, the thermal barrier coating member excellent in peeling resistance can be obtained.
The thermal spray current can increase the porosity from about 5% to about 8% by decreasing from a normal 600 (A) to 400 (A), for example. Also, the porosity can be lowered by increasing the current.
For example, the plasma gas flow is increased by increasing the hydrogen flow rate from 35 / 7.4 (l / min), which is the usual Ar / H 2 amount, to 37.3 / 5.1 (l / min). The rate can be increased from about 5% to about 8%. Moreover, when the amount of hydrogen is increased, the porosity can be decreased.
The spraying distance can be increased from about 5% to 8% by increasing the spraying distance from the usual 150 mm to 210 mm, for example. It is also possible to reduce the porosity by shortening the spraying distance. Furthermore, by these combinations, the porosity can be varied from about 1% to a maximum of about 30%.

本発明によれば、ジルコニア含有層は、その膜厚方向に延在する複数の縦割れを有することが好ましい。この縦割れは、ジルコニア含有層の耐剥離性を向上させるためにジルコニア含有層の成膜時に意図的に導入される。
耐熱基材やボンドコート層に比して熱膨張係数の小さいジルコニア含有層は、タービンの発停等に伴う熱サイクルが印加された際に、耐熱基材やボンドコート層との熱膨張係数の差による応力が作用するが、縦割れがその幅を拡大又は縮小することによりジルコニア含有層に作用する応力を緩和するようになっている。
従って、熱サイクルに伴う膨張収縮による応力はジルコニア含有層自体にはほとんど作用せず、部分安定化ジルコニア含有層の剥離が極めて起こり難くなり、熱サイクル耐久性に優れる。
According to the present invention, the zirconia-containing layer preferably has a plurality of vertical cracks extending in the film thickness direction. This vertical crack is intentionally introduced when forming the zirconia-containing layer in order to improve the peel resistance of the zirconia-containing layer.
A zirconia-containing layer with a smaller thermal expansion coefficient than a heat-resistant substrate or bond coat layer has a thermal expansion coefficient of Stress due to the difference acts, but the stress acting on the zirconia-containing layer is relaxed by expanding or reducing the width of the vertical crack.
Therefore, the stress due to expansion and contraction accompanying the thermal cycle hardly acts on the zirconia-containing layer itself, and the partially stabilized zirconia-containing layer is hardly peeled off, and the thermal cycle durability is excellent.

本発明によれば、溶射粉末を用いて溶射を行う際に、ジルコニア含有層に縦割れを導入することができる。溶射法による成膜は、粉末を溶融又半溶融状態として耐熱基材上に噴射し、耐熱基材表面で急速に冷却凝固させることにより行われる。この耐熱基材表面で凝固される際の温度変化を大きくし、成膜されるジルコニア含有層に意図的に凝固割れを生じさせることで、ジルコニア含有層に縦割れを導入できる。
ジルコニア含有層に生じた亀裂は、従来の構成の遮熱コーティング材においては、ジルコニア含有層に剥離を生じさせる原因となっていたが、本発明よるジルコニア含有層に導入された縦割れは、剥離の原因とはならない。これは、縦割れと、熱サイクルにより生じたジルコニア含有層の亀裂とでは、その周辺の結晶組織が異なることによる。すなわち、熱サイクルにより生じる亀裂は、高温中でZrO2の結晶相がt’相(準安定正方晶相)からt相(正方晶相)及びC相(立方晶)へ変化し、遮熱コーティング材の温度が低下した場合に高温相において安定であるt相が温度の低下によりm相(単斜晶相)及びC相(立方晶)となり、m相が生成される際に体積変化が生じる。この体積変化により形成された亀裂の周辺部には、m相が観測される。従って、熱サイクルによりm相とt相との相転移が繰り返されるため、亀裂は徐々に進展し、最終的にはジルコニア含有層を剥離させる。
これに対して、本発明によりジルコニア含有層に導入される縦割れにおいては、その周辺部にm相がほとんど存在しないため、熱サイクル中にジルコニア含有層内で相転移に伴う体積変化がほとんどなく、熱サイクルに伴う温度変化により縦割れが進展することはほとんどない。従って、この縦割れの導入によりジルコニア含有層の寿命が短くなることはないものと考えられる。
According to the present invention, longitudinal cracks can be introduced into the zirconia-containing layer when thermal spraying is performed using the thermal spray powder. Film formation by thermal spraying is performed by spraying powder onto a heat-resistant substrate in a molten or semi-molten state and rapidly cooling and solidifying the surface of the heat-resistant substrate. Longitudinal cracks can be introduced into the zirconia-containing layer by increasing the temperature change during solidification on the surface of the heat-resistant substrate and intentionally causing solidification cracks in the formed zirconia-containing layer.
Cracks generated in the zirconia-containing layer were the cause of peeling in the zirconia-containing layer in the conventional thermal barrier coating material, but longitudinal cracks introduced into the zirconia-containing layer according to the present invention were peeled off. It will not be the cause. This is due to the fact that the peripheral cracks are different between the longitudinal cracks and the cracks in the zirconia-containing layer caused by the thermal cycle. That is, cracks caused by thermal cycling change the crystal phase of ZrO 2 from a t ′ phase (metastable tetragonal phase) to a t phase (tetragonal phase) and a C phase (cubic crystal) at a high temperature. When the temperature of the material decreases, the t phase, which is stable in the high temperature phase, becomes the m phase (monoclinic phase) and the C phase (cubic) due to the decrease in temperature, and a volume change occurs when the m phase is generated. . The m phase is observed around the crack formed by this volume change. Therefore, since the phase transition between the m phase and the t phase is repeated by the thermal cycle, the crack gradually develops and finally the zirconia-containing layer is peeled off.
On the other hand, in the vertical crack introduced into the zirconia-containing layer according to the present invention, since there is almost no m phase in the periphery thereof, there is almost no volume change accompanying the phase transition in the zirconia-containing layer during the thermal cycle. Longitudinal cracks rarely develop due to temperature changes accompanying thermal cycles. Therefore, it is considered that the introduction of the vertical crack does not shorten the life of the zirconia-containing layer.

縦割れの延在方向は、膜面の法線方向(図示上下方向)に対して±40°以内とされることが好ましい。ジルコニア含有層の面方向の亀裂は、ジルコニア含有層の剥離を引き起こしやすくするため、縦割れの延在する方向は、可能な限りジルコニア含有層の膜面の法線方向と平行とするのが好ましい。しかし、法線方向に対して±40°以内の傾きであれば、ジルコニア含有層の剥離を防止する効果を十分に得ることができる。
縦割れの延在方向の好ましい範囲は、ジルコニア含有層の膜面の法線方向に対して±20°以内の範囲である。
The extending direction of the vertical cracks is preferably within ± 40 ° with respect to the normal direction (the vertical direction in the figure) of the film surface. In order for the crack in the surface direction of the zirconia-containing layer to easily cause peeling of the zirconia-containing layer, the direction in which the longitudinal crack extends is preferably as parallel as possible to the normal direction of the film surface of the zirconia-containing layer. . However, if the inclination is within ± 40 ° with respect to the normal direction, the effect of preventing peeling of the zirconia-containing layer can be sufficiently obtained.
A preferable range of the extending direction of the vertical cracks is a range within ± 20 ° with respect to the normal direction of the film surface of the zirconia-containing layer.

ジルコニア含有層における縦割れどうしの間隔(ピッチ)は、耐熱基材上に形成された合計膜厚(但し、ボンドコート層を除く。)の5〜100%とすることが好ましい。このような間隔でジルコニア含有層に縦割れを導入することで、耐剥離性に優れたジルコニア含有層を備えた遮熱コーティング材を得ることができる。ピッチが5%未満であると、下地のボンドコート層と接着面積が小さくなり、密着力が不足して剥離しやすくなる場合がある。間隔が100%を超えると、亀裂先端での剥離方向への特異応力が増大して剥離を誘発する場合がある。   The interval (pitch) between vertical cracks in the zirconia-containing layer is preferably 5 to 100% of the total film thickness (excluding the bond coat layer) formed on the heat-resistant substrate. By introducing vertical cracks in the zirconia-containing layer at such intervals, a thermal barrier coating material having a zirconia-containing layer having excellent peel resistance can be obtained. If the pitch is less than 5%, the bonding area with the underlying bond coat layer may be small, and the adhesive force may be insufficient to facilitate peeling. When the interval exceeds 100%, the specific stress in the peeling direction at the crack tip may increase and induce peeling.

縦割れを備えたジルコニア含有層は、例えば、溶射法又は電子ビーム物理蒸着法によるジルコニア含有層の成膜時に形成することができる。
溶射法により縦割れを備えたジルコニア含有層を形成する場合、溶射距離(溶射ガンと耐熱基材との距離)を従来ジルコニア含有層の成膜に用いられていた溶射距離の1/4〜2/3程度にまで近づけるか、あるいは、溶射距離は従来と同程度とし、溶射ガンに入力する電力を従来用いられていた電力の2倍〜25倍程度にまで高めることによりジルコニア含有層に縦割れを導入することができる。すなわち、溶射によりボンドコート層を有する耐熱基材に飛来する溶融又は半溶融状態の粒子の温度を高くすることで、耐熱基材上で急冷凝固される際の温度勾配を大きくし、凝固時の収縮により縦割れを導入することができる。この方法によれば、溶射距離及び/又は溶射ガンへの入力電力を調整することで、容易に縦割れの間隔や頻度(縦割れの面積密度)を制御することができ、所望の特性を備えたジルコニア含有層を形成することができる。これにより、優れた耐剥離性、熱サイクル耐久性を備えた遮熱コーティング部材を容易に形成することができる。
電子ビーム物理蒸着法により縦割れを備えたジルコニア含有層を形成する場合は、例えば、アルデンヌ社製電子ビーム蒸着装置(例えば、TUBA150)を用いて、上述のインゴットをターゲット材料に用い、電子ビーム出力50kW、雰囲気10−4torrの減圧環境、耐熱基材温度1,000℃の代表的条件で、縦割れを備えたジルコニア含有層を容易に形成することができる。
The zirconia-containing layer having vertical cracks can be formed, for example, when the zirconia-containing layer is formed by thermal spraying or electron beam physical vapor deposition.
When forming a zirconia-containing layer having vertical cracks by a thermal spraying method, the spraying distance (distance between the spray gun and the heat-resistant substrate) is 1/4 to 2 of the spraying distance conventionally used for forming the zirconia-containing layer. / 3 or close to the conventional spraying distance, increasing the power input to the spray gun to about 2 to 25 times the power used conventionally, vertical cracks in the zirconia-containing layer Can be introduced. That is, by increasing the temperature of the molten or semi-molten particles flying to the heat resistant substrate having the bond coat layer by thermal spraying, the temperature gradient when rapidly solidified on the heat resistant substrate is increased, Longitudinal cracks can be introduced by shrinkage. According to this method, by adjusting the spray distance and / or the input power to the spray gun, it is possible to easily control the interval and frequency of vertical cracks (area density of vertical cracks) and provide desired characteristics. A zirconia-containing layer can be formed. Thereby, a thermal barrier coating member having excellent peeling resistance and thermal cycle durability can be easily formed.
In the case of forming a zirconia-containing layer having vertical cracks by electron beam physical vapor deposition, for example, an electron beam vapor deposition apparatus (for example, TUBA150) manufactured by Ardennes is used, and the above-mentioned ingot is used as a target material to output an electron beam. A zirconia-containing layer having vertical cracks can be easily formed under typical conditions of a reduced pressure environment of 50 kW, an atmosphere of 10 −4 torr, and a heat resistant substrate temperature of 1,000 ° C.

以下、本発明のいくつかの好ましい実施形態及び参考形態について図面を参照して説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
参考形態として、Sm Zr を含んでなる、好ましくはガスタービン等に用いられる耐熱基材を対象とする遮熱コート材料を提供する。また、Sm Zr 又はGd Zr の焼結体を含んでなる遮熱部材を提供するとともに、耐熱基材と、該耐熱基材上に形成されたボンドコート層と、該ボンドコート層上に形成されたセラミックス層とを含んでなる遮熱コーティング部材であって、該セラミックス層がSm Zr を含む遮熱コーティング部材を提供する。
第1の参考形態は、一般式AZrで表されるセラミックスを用いて焼結体を作成するものである。一般式AZrで表されるセラミックスとしては、SmZrが好ましい。後述の実験例に示すように、800℃以上では熱伝導率が非常に低くなるためである。焼結体は、好ましくはガスタービン部品に用いられる。
一般式AZrで表されるセラミックスを用いることにより、YSZと略同等な線膨張率でありながら、YSZに比べて低熱伝導率となる。例えば、YSZ溶射被膜の熱伝導率は0.74〜2.02W/mKであるが、AZrでは、通常0.3〜1.15W/mKである。
Hereinafter, although several preferable embodiment and reference form of this invention are described with reference to drawings, this invention is not limited to these.
As a reference form, a thermal barrier coating material comprising Sm 2 Zr 2 O 7 and preferably for a heat-resistant substrate used for a gas turbine or the like is provided. It also provides a heat shield comprising a sintered body of Sm 2 Zr 2 O 7 or Gd 2 Zr 2 O 7, and the heat resistant substrate, a bond coat layer formed on the heat resistant substrate, There is provided a thermal barrier coating member comprising a ceramic layer formed on the bond coat layer, wherein the ceramic layer contains Sm 2 Zr 2 O 7 .
In the first reference embodiment, a sintered body is formed using a ceramic represented by the general formula A 2 Zr 2 O 7 . As the ceramic represented by the general formula A 2 Zr 2 O 7 , Sm 2 Zr 2 O 7 is preferable. This is because the thermal conductivity is very low at 800 ° C. or higher, as shown in the experimental examples described later. The sintered body is preferably used for gas turbine parts.
By using the ceramic represented by the general formula A 2 Zr 2 O 7 , the thermal expansion coefficient is lower than that of YSZ, while the coefficient of linear expansion is substantially the same as that of YSZ. For example, the thermal conductivity of the YSZ sprayed coating is 0.74 to 2.02 W / mK, but in A 2 Zr 2 O 7 it is usually 0.3 to 1.15 W / mK.

また、参考形態として、耐熱基材と、該耐熱基材上に形成されたボンドコート層と、該ボンドコート層上に形成されたセラミックス層とを含んでなる遮熱コーティング部材であって、該セラミックス層が一般式A Zr (式中、Aは希土類元素を表す。)で表されるセラミックスを含み、(a)気孔率1〜30%を有する遮熱コーティング部材を提供する。ボンドコート層とセラミックス層との間には、好ましくはジルコニア含有層を含み、ジルコニア含有層が好ましくは(a)気孔率1〜30%、又は(b)厚さ方向にボンドコート層を除く耐熱基材上の全膜の厚さの5〜100%の間隔で縦割れを有する。また、この遮熱コーティング部材を備えるガスタービンを提供する。
第2の参考形態は、図1に示すようにセラミックス層をポーラスとしたものであり、低熱伝導率重視の遮熱コーティング部材が得られる。図1は、耐熱基材21上にボンドコート層22と一般式AZrで表されるセラミックス層24を順次含み、セラミックス層24が気孔24Pを有する遮熱コーティング部材を示す。ボンドコート層22の厚さは0.01〜1mmであり、セラミックス層24の厚さは0.1〜1mmである。セラミックス層24の気孔率は1〜30%である。
第2の参考形態によれば、低熱伝導の遮熱コーティング部材が得られる。
Further, as a reference form, there is provided a thermal barrier coating member comprising a heat resistant substrate, a bond coat layer formed on the heat resistant substrate, and a ceramic layer formed on the bond coat layer, Provided is a thermal barrier coating member in which a ceramic layer includes a ceramic represented by a general formula A 2 Zr 2 O 7 (wherein A represents a rare earth element), and (a) has a porosity of 1 to 30%. A zirconia-containing layer is preferably included between the bond coat layer and the ceramic layer, and the zirconia-containing layer is preferably (a) a porosity of 1 to 30%, or (b) heat resistant excluding the bond coat layer in the thickness direction. It has vertical cracks at intervals of 5 to 100% of the thickness of the entire film on the substrate. Moreover, the gas turbine provided with this thermal barrier coating member is provided.
In the second reference embodiment, as shown in FIG. 1, the ceramic layer is made porous, and a thermal barrier coating member with an emphasis on low thermal conductivity is obtained. FIG. 1 shows a thermal barrier coating member including a bond coat layer 22 and a ceramic layer 24 represented by the general formula A 2 Zr 2 O 7 in this order on a heat-resistant substrate 21, and the ceramic layer 24 has pores 24P. The thickness of the bond coat layer 22 is 0.01 to 1 mm, and the thickness of the ceramic layer 24 is 0.1 to 1 mm. The porosity of the ceramic layer 24 is 1 to 30%.
According to the second reference embodiment, a thermal barrier coating member with low thermal conductivity is obtained.

第3の参考形態は、図2に示すようにセラミックス層とジルコニア含有層をポーラスにしたものであり、低熱伝導で耐久性の良好な遮熱コーティング部材が得られる。図2は、耐熱基材31上にボンドコート層32とジルコニア含有層33と一般式AZrで表されるセラミックス層34を順次含み、ジルコニア含有層33が気孔33Pを有し、セラミックス層34が気孔34Pを有する遮熱コーティング部材を示す。ボンドコート層32の厚さは0.01〜1mmである。ジルコニア含有層33とセラミックス層34との合計の厚さは0.1〜1mmであり、ジルコニア含有層33の厚さはジルコニア含有層33とセラミックス層34の合計厚さの10〜90%であり、セラミックス層34の厚さは耐熱基材31上に形成されたジルコニア含有層33とセラミックス層34の合計厚さの10〜90%である。ジルコニア含有層33とセラミックス層34の気孔率はそれぞれ1〜30%である。
第3の参考形態によれば、ポーラスなジルコニア含有層とセラミックス層により遮熱性が良好であり、コスト的にも有利である。ジルコニア含有層の靱性も期待できる。
In the third reference embodiment, as shown in FIG. 2, a ceramic layer and a zirconia-containing layer are made porous, and a thermal barrier coating member having low thermal conductivity and good durability is obtained. FIG. 2 sequentially includes a bond coat layer 32, a zirconia-containing layer 33, and a ceramic layer 34 represented by the general formula A 2 Zr 2 O 7 on the heat-resistant substrate 31, and the zirconia-containing layer 33 has pores 33P. The ceramic layer 34 shows a thermal barrier coating member having pores 34P. The thickness of the bond coat layer 32 is 0.01 to 1 mm. The total thickness of the zirconia-containing layer 33 and the ceramic layer 34 is 0.1 to 1 mm, and the thickness of the zirconia-containing layer 33 is 10 to 90% of the total thickness of the zirconia-containing layer 33 and the ceramic layer 34. The thickness of the ceramic layer 34 is 10 to 90% of the total thickness of the zirconia-containing layer 33 and the ceramic layer 34 formed on the heat-resistant substrate 31. The porosity of the zirconia-containing layer 33 and the ceramic layer 34 is 1 to 30%, respectively.
According to the third reference embodiment, the heat shielding property is good due to the porous zirconia-containing layer and the ceramic layer, which is advantageous in terms of cost. The toughness of the zirconia-containing layer can also be expected.

第4の参考形態は、図3に示すようにセラミックス層をポーラスとし、ジルコニア含有層に縦割を設けたものであり、低熱伝導であり、かつ高耐久性の遮熱コーティング部材が得られる。図3は、耐熱基材41上にボンドコート層42とジルコニア含有層43と一般式AZrで表されるセラミックス層44を順次含み、ジルコニア含有層43が縦割れ43Cを有し、セラミックス層44が気孔44Pを有する遮熱コーティング部材を示す。ボンドコート層42の厚さは0.01〜1mmである。ジルコニア含有層43とセラミックス層44との合計の厚さは0.1〜1mmであり、ジルコニア含有層43の厚さはジルコニア含有層43とセラミックス層44との合計の厚さの10〜90%であり、セラミックス層44の厚さは耐熱基材41上に形成されたジルコニア含有層43とセラミックス層44との合計の厚さの10〜90%である。ジルコニア含有層43における縦割れ同士の間隔(縦割れピッチ)はジルコニア含有層43とセラミックス層44との合計の厚さの5〜100%であり、縦割れの延在方向は膜面の法線に対して±40以内である。セラミックス層44の気孔率は1〜30%である。
第4の参考形態によれば、ポーラスなセラミックス層により遮熱の効果が得られ、ジルコニア含有層の縦割れ組織により熱サイクル耐久性が得られる。ジルコニア含有層の靱性も期待できる。
In the fourth reference embodiment, as shown in FIG. 3, the ceramic layer is porous, and the zirconia-containing layer is vertically divided, so that a thermal barrier coating member having low thermal conductivity and high durability can be obtained. FIG. 3 includes a bond coat layer 42, a zirconia-containing layer 43, and a ceramic layer 44 represented by the general formula A 2 Zr 2 O 7 in this order on a heat-resistant substrate 41, and the zirconia-containing layer 43 has vertical cracks 43C. The thermal barrier coating member in which the ceramic layer 44 has pores 44P is shown. The thickness of the bond coat layer 42 is 0.01 to 1 mm. The total thickness of the zirconia-containing layer 43 and the ceramic layer 44 is 0.1 to 1 mm, and the thickness of the zirconia-containing layer 43 is 10 to 90% of the total thickness of the zirconia-containing layer 43 and the ceramic layer 44. The thickness of the ceramic layer 44 is 10 to 90% of the total thickness of the zirconia-containing layer 43 and the ceramic layer 44 formed on the heat-resistant substrate 41. The interval (vertical crack pitch) between the vertical cracks in the zirconia-containing layer 43 is 5 to 100% of the total thickness of the zirconia-containing layer 43 and the ceramic layer 44, and the extending direction of the vertical cracks is the normal to the film surface. Is within ± 40 ° . The porosity of the ceramic layer 44 is 1 to 30%.
According to the fourth reference embodiment, a heat shielding effect is obtained by the porous ceramic layer, and thermal cycle durability is obtained by the longitudinal crack structure of the zirconia-containing layer. The toughness of the zirconia-containing layer can also be expected.

本発明は、耐熱基材と、該耐熱基材上に形成されたボンドコート層と、該ボンドコート層上に形成されたセラミックス層とを含んでなる遮熱コーティング部材であって、該セラミックス層が一般式AZr(式中、Aは希土類元素を表す。)で表されるセラミックスを含み、(b)厚さ方向に耐熱基材上のボンドコート層を除く全膜の厚さの5〜100%の間隔で縦割れを有する遮熱コーティング部材を提供する。ボンドコート層とセラミックス層との間には、ジルコニア含有層を含む。ジルコニア含有層好ましくは(a)気孔率1〜30%、又は(b)厚さ方向にボンドコート層を除く耐熱基材上の全膜の厚さの5〜100%の間隔で縦割れを有するが、本発明のジルコニア層は(a)を有する。また、この遮熱コーティング部材を備えるガスタービンを提供する。
第5の参考形態は、図4に示すようにセラミックス層に縦割れを設けたものであり、耐久性を重視した遮熱コーティング部材が得られる。図4は、耐熱基材51上にボンドコート層52と一般式AZrで表されるセラミックス層54を順次含み、セラミックス層54が縦割れ54Cを有する遮熱コーティング部材を示す。ボンドコート層52の厚さは0.01〜1mmである。セラミックス層54の厚さは0.1〜1mmであり、縦割れピッチはセラミックス層54の厚さの5〜100%であり、縦割れの延在方向は膜面の法線に対して±40以内である。
第5の参考形態によれば、セラミックス層の縦割れ組織により熱サイクル耐久性が向上される。
The present invention relates to a thermal barrier coating member comprising a heat resistant substrate, a bond coat layer formed on the heat resistant substrate, and a ceramic layer formed on the bond coat layer, the ceramic layer Includes a ceramic represented by the general formula A 2 Zr 2 O 7 (wherein A represents a rare earth element), and (b) the thickness of the entire film excluding the bond coat layer on the heat-resistant substrate in the thickness direction. A thermal barrier coating member having vertical cracks at intervals of 5 to 100% is provided. Between the bond coat layer and the ceramic layer, including the di-zirconia-containing layer. Zirconia-containing layer is preferably (a) porosity 1% to 30%, or (b) vertical cracks in 5-100% of the spacing of the thickness of the entire film on the heat resistant substrate excluding the thickness direction to the bond coat layer The zirconia layer of the present invention has (a) . Moreover, the gas turbine provided with this thermal barrier coating member is provided.
In the fifth reference embodiment, as shown in FIG. 4, vertical cracks are provided in the ceramic layer, and a thermal barrier coating member in which durability is emphasized is obtained. FIG. 4 shows a thermal barrier coating member including a bond coat layer 52 and a ceramic layer 54 represented by the general formula A 2 Zr 2 O 7 in this order on a heat resistant substrate 51, and the ceramic layer 54 has vertical cracks 54C. The thickness of the bond coat layer 52 is 0.01 to 1 mm. The thickness of the ceramic layer 54 is 0.1 to 1 mm, the vertical crack pitch is 5 to 100% of the thickness of the ceramic layer 54, and the extending direction of the vertical crack is ± 40 with respect to the normal line of the film surface. o .
According to the fifth reference embodiment, the thermal cycle durability is improved by the longitudinal crack structure of the ceramic layer.

第6の参考形態は、図5に示すようにセラミックス層とジルコニア含有層に縦割を設けたものであり、通常の熱伝導で超高耐久を期待できる遮熱コーティング部材を得ることができる。図5は、耐熱基材61上にボンドコート層62とジルコニア含有層63と一般式AZrで表されるセラミックス層64を順次含み、ジルコニア含有層63が縦割れ63Cを有し、セラミックス層64が縦割れ64Cを有する遮熱コーティング部材を示す。ボンドコート層62の厚さは0.01〜1mmである。ジルコニア含有層63とセラミックス層64との合計の厚さは0.1〜1mmであり、ジルコニア含有層63の厚さはジルコニア含有層63とセラミックス層64との合計の厚さの10〜90%であり、セラミックス層64の厚さはジルコニア含有層63とセラミックス層64との合計の厚さの10〜90%である。ジルコニア含有層63とセラミックス層64の縦割れピッチは、それぞれジルコニア含有層63とセラミックス層64との合計の厚さの5〜100%であり、縦割れの延在方向は膜面の法線に対して±40以内である。
第6の参考形態によれば、ジルコニア含有層とセラミックス層の縦割れ組織により熱サイクル耐久性が強化され、ジルコニア含有層の靱性も期待できる。
Reference Embodiment The sixth, which provided Tatewari the ceramic layer and the zirconia-containing layer as shown in FIG. 5, it is possible to obtain a thermal barrier coating member which can be expected to ultra high durability at normal thermal conduction. FIG. 5 sequentially includes a bond coat layer 62, a zirconia-containing layer 63, and a ceramic layer 64 represented by the general formula A 2 Zr 2 O 7 on the heat-resistant substrate 61, and the zirconia-containing layer 63 has a longitudinal crack 63C. The thermal insulation coating member in which the ceramic layer 64 has the longitudinal crack 64C is shown. The thickness of the bond coat layer 62 is 0.01 to 1 mm. The total thickness of the zirconia-containing layer 63 and the ceramic layer 64 is 0.1 to 1 mm, and the thickness of the zirconia-containing layer 63 is 10 to 90% of the total thickness of the zirconia-containing layer 63 and the ceramic layer 64. The thickness of the ceramic layer 64 is 10 to 90% of the total thickness of the zirconia-containing layer 63 and the ceramic layer 64. The longitudinal crack pitch of the zirconia-containing layer 63 and the ceramic layer 64 is 5 to 100% of the total thickness of the zirconia-containing layer 63 and the ceramic layer 64, respectively, and the extending direction of the longitudinal crack is in the normal line of the film surface. On the other hand, it is within ± 40 ° .
According to the sixth reference embodiment, the thermal cycle durability is enhanced by the longitudinal crack structure of the zirconia-containing layer and the ceramic layer, and the toughness of the zirconia-containing layer can also be expected.

参考形態として、耐熱基材と、該耐熱基材上に形成されたボンドコート層と、該ボンドコート層上に形成されたセラミックス層とを含んでなる遮熱コーティング部材であって、該セラミックス層が一般式A Zr (式中、Aは希土類元素を表す。)で表されるセラミックスを含み、(c)柱状晶、を有する遮熱コーティング部材を提供する。ボンドコート層とセラミックス層との間には、好ましくはジルコニア含有層を含み、ジルコニア含有層が好ましくは(a)気孔率1〜30%、又は(b)厚さ方向にボンドコート層を除く耐熱基材上の全膜の厚さの5〜100%の間隔で縦割れを有する。また、この遮熱コーティング部材を備えるガスタービンを提供する。
第7の参考形態は、図6に示すようにEB−PVD(電子ビーム物理蒸着)を用いてセラミックス層を柱状組織としたものであり、非常に高耐久で、かつ低熱伝導率の遮熱コーティング部材を得ることができる。図6は、耐熱基材71上にボンドコート層72と一般式AZrで表されるセラミックス層74を順次含み、セラミックス層74が柱状組織74Lを有する遮熱コーティング部材を示す。ボンドコート層72の厚さは0.01〜1mmである。セラミックス層74の厚さは0.1〜1mmである。
第7の参考形態によれば、セラミックス層の柱状組織の存在により熱サイクル耐久性を向上できる。この場合、熱伝導率は溶射コーティングに比べ劣るが、EB−PVDによって得られるYSZに比べると、20%以上熱伝導率を低減できる。
As a reference form, a thermal barrier coating member comprising a heat resistant substrate, a bond coat layer formed on the heat resistant substrate, and a ceramic layer formed on the bond coat layer, the ceramic layer Provides a thermal barrier coating member comprising a ceramic represented by the general formula A 2 Zr 2 O 7 (wherein A represents a rare earth element) and having (c) columnar crystals. A zirconia-containing layer is preferably included between the bond coat layer and the ceramic layer, and the zirconia-containing layer is preferably (a) a porosity of 1 to 30%, or (b) heat resistant excluding the bond coat layer in the thickness direction. It has vertical cracks at intervals of 5 to 100% of the thickness of the entire film on the substrate. Moreover, the gas turbine provided with this thermal barrier coating member is provided.
In the seventh reference embodiment, as shown in FIG. 6, a ceramic layer is formed into a columnar structure using EB-PVD (electron beam physical vapor deposition), and a thermal barrier coating having very high durability and low thermal conductivity. A member can be obtained. FIG. 6 shows a thermal barrier coating member that sequentially includes a bond coat layer 72 and a ceramic layer 74 represented by the general formula A 2 Zr 2 O 7 on a heat resistant substrate 71, and the ceramic layer 74 has a columnar structure 74L. The thickness of the bond coat layer 72 is 0.01 to 1 mm. The thickness of the ceramic layer 74 is 0.1-1 mm.
According to the seventh reference embodiment, the thermal cycle durability can be improved by the presence of the columnar structure of the ceramic layer. In this case, the thermal conductivity is inferior to thermal spray coating, but the thermal conductivity can be reduced by 20% or more compared to YSZ obtained by EB-PVD.

本発明に係る遮熱コーティング部材は、産業用ガスタービンの動翼や静翼、あるいは燃焼器の内筒や尾筒などの高温部品に適用して有用である。また、産業用ガスタービンに限らず、自動車やジェット機などのエンジンの高温部品の遮熱コーティング膜にも適用することができる。これらの部材に本発明の遮熱コーティング膜を被覆することで、熱サイクル耐久性に優れるガスタービン部材や高温部品を構成することができる。   The thermal barrier coating member according to the present invention is useful when applied to high-temperature parts such as a moving blade and a stationary blade of an industrial gas turbine, or an inner cylinder and a tail cylinder of a combustor. Further, the present invention can be applied not only to industrial gas turbines but also to thermal barrier coating films for high-temperature parts of engines such as automobiles and jet aircraft. By covering these members with the thermal barrier coating film of the present invention, a gas turbine member or a high-temperature component having excellent thermal cycle durability can be configured.

図7と図8は、本発明の遮熱コーティング膜を適用可能なタービン翼(タービン部材)の構成例を示す斜視図である。図7に示すガスタービン動翼140は、ディスク側に固定されるタブテイル141、プラットフォーム142、翼部143等を備えて構成されている。また、図8に示すガスタービン静翼150は、内シュラウド151、外シュラウド152、翼部153等を備えて構成されており、翼部153にはシールフィン冷却孔154、スリット155等が形成されている。   7 and 8 are perspective views showing a configuration example of a turbine blade (turbine member) to which the thermal barrier coating film of the present invention can be applied. The gas turbine rotor blade 140 shown in FIG. 7 includes a tab tail 141, a platform 142, a blade portion 143, and the like that are fixed to the disk side. The gas turbine stationary blade 150 shown in FIG. 8 includes an inner shroud 151, an outer shroud 152, a blade portion 153, and the like. ing.

図7と図8に示すタービン翼140、150を適用可能なガスタービンについて図9を参照して説明する。図9は、本発明に係るガスタービンの部分断面構造を模式的に示す図である。このガスタービン160は、互いに直結された圧縮機161とタービン162とを備える。圧縮機161は、例えば軸流圧縮機として構成されており、大気又は所定のガスを吸込口から作動流体として吸い込んで昇圧させる。この圧縮機161の吐出口には、燃焼器163が接続されており、圧縮機161から吐出された作動流体は、燃焼器163によって所定のタービン入口温度まで加熱される。そして所定温度まで昇温された作動流体がタービン162に供給されるようになっている。図9に示すように、タービン162のケーシング内部には、上述したガスタービン静翼150が、数段(図9では4段)設けられている。また、上述したガスタービン動翼140が、各静翼150と一組の段を形成するように主軸164に取り付けられている。主軸164の一端は、圧縮機161の回転軸165に接続されており、その他端には、図示しない発電機の回転軸が接続されている。   A gas turbine to which the turbine blades 140 and 150 shown in FIGS. 7 and 8 can be applied will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a diagram schematically showing a partial cross-sectional structure of a gas turbine according to the present invention. The gas turbine 160 includes a compressor 161 and a turbine 162 that are directly connected to each other. The compressor 161 is configured, for example, as an axial flow compressor, and sucks air or a predetermined gas as a working fluid from the suction port to increase the pressure. A combustor 163 is connected to the discharge port of the compressor 161, and the working fluid discharged from the compressor 161 is heated to a predetermined turbine inlet temperature by the combustor 163. The working fluid heated to a predetermined temperature is supplied to the turbine 162. As shown in FIG. 9, the gas turbine stationary blade 150 described above is provided in several stages (four stages in FIG. 9) inside the casing of the turbine 162. Further, the gas turbine rotor blade 140 described above is attached to the main shaft 164 so as to form a pair of stages with each stationary blade 150. One end of the main shaft 164 is connected to the rotating shaft 165 of the compressor 161, and the other end is connected to a rotating shaft of a generator (not shown).

このような構成により、燃焼器163からタービン162のケーシング内に高温高圧の作動流体を供給すれば、ケーシング内で作動流体が膨張することにより、主軸164が回転し、このガスタービン160と接続された図示しない発電機が駆動される。すなわち、ケーシングに固定された各静翼150によって圧力降下させられ、これにより発生した運動エネルギーは、主軸164に取り付けられた各動翼140を介して回転トルクに変換される。そして、発生した回転トルクは、回転軸165に伝達され、発電機が駆動される。   With such a configuration, when high-temperature and high-pressure working fluid is supplied from the combustor 163 into the casing of the turbine 162, the working fluid expands in the casing, so that the main shaft 164 rotates and is connected to the gas turbine 160. A generator (not shown) is driven. That is, the pressure is dropped by each stationary blade 150 fixed to the casing, and the kinetic energy generated thereby is converted into rotational torque via each moving blade 140 attached to the main shaft 164. The generated rotational torque is transmitted to the rotating shaft 165, and the generator is driven.

本発明の遮熱コーティング部材を、これらのタービン翼に用いれば、遮熱効果と、耐剥離性に優れたタービン翼となるので、より高い温度環境で使用することができ、また耐久性に優れ、長寿命のタービン翼を実現することができる。また、より高い温度環境において適用可能であることは、作動流体の温度を高められることを意味し、これによりガスタービン効率を向上させることも可能となる。また、本発明の遮熱コーティング部材は、遮熱性に優れるため、冷却用空気流量を低減でき、性能向上に寄与できる。
本発明の遮熱コーティング部材は、ガスタービンに限らず、デーゼルエンジンのピストンクラウンや、ジェットエンジン部品等にも適用可能である。
If the thermal barrier coating member of the present invention is used for these turbine blades, it becomes a turbine blade excellent in thermal barrier effect and peeling resistance, so it can be used in a higher temperature environment and has excellent durability. A long-life turbine blade can be realized. In addition, being applicable in a higher temperature environment means that the temperature of the working fluid can be increased, thereby improving the efficiency of the gas turbine. Moreover, since the thermal barrier coating member of the present invention is excellent in thermal barrier properties, it is possible to reduce the cooling air flow rate and contribute to performance improvement.
The thermal barrier coating member of the present invention can be applied not only to a gas turbine but also to a piston crown of a diesel engine, a jet engine component, or the like.

以下、本発明のいくつかの好ましい実施形態について図面を参照して説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
参考例1〜2
バルク体での熱伝導率を調査するため、AZrのうちSmZr、GdZr又はDyZr焼結体を、ZrO2粉(日本イットリウム製微粉TZ−0であるZrO)とともにSm3粉、Gd3粉又はDy(日本イットリウム製微粉3CシリーズSm粉、Gd3粉又はDy粉)を原料とし、常圧焼結法により、焼結温度1600℃、焼結時間を5時間として製作した。その後、1mm程度の寸法に切り出し、焼結体での熱伝導率をJIS R1611で規定されるレーザーフラッシュ法により測定した。その結果を図10に示す。
Hereinafter, some preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto.
Reference Examples 1-2
In order to investigate the thermal conductivity in the bulk body, Sm 2 Zr 2 O 7 , Gd 2 Zr 2 O 7 or Dy 2 Zr 2 O 3 sintered body of A 2 Zr 2 O 7 was converted into ZrO 2 powder (Japan). Sm 2 O 3 powder, Gd 2 O 3 powder or Dy 2 O 3 (ZrO 2 which is yttrium fine powder TZ-0) (Japan yttrium fine powder 3C series Sm 2 O 3 powder, Gd 2 O 3 powder or Dy 2 O 3 powder) was used as a raw material, and the sintering temperature was 1600 ° C. and the sintering time was 5 hours by atmospheric pressure sintering. Then, it cut out to the dimension of about 1 mm, and measured the thermal conductivity in a sintered compact by the laser flash method prescribed | regulated by JISR1611. The result is shown in FIG.

比較例1
バルク体での比較のため、Yを8重量%含有するYSZ焼結体を参考例1と同様な方法により焼結温度1600℃で製作した。その後、1mm程度の寸法に切り出し、焼結体での熱伝導率をJIS R1611で規定されるレーザーフラッシュ法により測定した。その結果を図10に示す。図10によれば、AZrの結晶構造を持つ材料は、いずれもYSZに比べて熱伝導率が低く、25%以上低減されていることがわかる。
Comparative Example 1
For comparison with a bulk body, a YSZ sintered body containing 8% by weight of Y 2 O 3 was manufactured at a sintering temperature of 1600 ° C. in the same manner as in Reference Example 1. Then, it cut out to the dimension of about 1 mm, and measured the thermal conductivity in a sintered compact by the laser flash method prescribed | regulated by JISR1611. The result is shown in FIG. According to FIG. 10, it can be seen that all the materials having the crystal structure of A 2 Zr 2 O 7 have a lower thermal conductivity than YSZ and are reduced by 25% or more.

参考例3〜4
試料を作製し、熱サイクル寿命の測定を行った。耐熱基材としてNi基耐熱合金を用いたが、その合金組成は、16重量%のCr、8.5重量%のCo、1.75重量%のMo、2.6重量%のW、1.75重量%のTa、0.9重量%のNb、3.4重量%のAl、3.4重量%のTi、及び残部Niであった。耐熱基材の寸法は、厚さ5mmで、直径30mmの円板とした。
耐熱基材の表面をAl23粒でグリッドブラストした後、その上に32重量%のNi、21重量%のCr、8重量%のAl、0.5重量%のY、及び残部Coからなる組成のCoNiCrAlY合金からなるボンドコート層を低圧プラズマ溶射法により0.1mmの厚さで形成した。
このCoNiCrAlYのボンドコート層上に、SmZr又はGdZrを気孔率が10%のポーラス組織となるように、大気プラズマ溶射法により0.5mmの厚さで成膜した。なお、大気圧プラズマ溶射法は、スルザーメテコ社製溶射ガン(F4ガン)を使用し、SmZr(日本イットリウム製微粉3CシリーズSmと日本イットリウム製微粉TZ−0であるZrOを用いて粉末混合法により合成)又はGdZr(日本イットリウム製微粉3CシリーズGdと日本イットリウム製微粉TZ−0であるZrOを用いて粉末混合法により合成)の溶射粉末を用いて溶射電流600(A)、溶射距離150(mm)、粉末供給量60(g/min)、Ar/H量;35/7.4(l/min)の条件により、気孔が含まれた成膜を行った。
成膜したトップコート層の気孔率は、断面ミクロ組織観察の結果を画像解析により、気孔部とセラミックス部とを2値化することにより求めた。
Reference Examples 3-4
A sample was prepared and the thermal cycle life was measured. A Ni-based heat-resistant alloy was used as the heat-resistant substrate, and the alloy composition was 16 wt% Cr, 8.5 wt% Co, 1.75 wt% Mo, 2.6 wt% W, 1. 75 wt% Ta, 0.9 wt% Nb, 3.4 wt% Al, 3.4 wt% Ti, and the balance Ni. The dimensions of the heat-resistant substrate were a disc having a thickness of 5 mm and a diameter of 30 mm.
After grid blasting the surface of the heat-resistant substrate with Al 2 O 3 grains, 32 wt% Ni, 21 wt% Cr, 8 wt% Al, 0.5 wt% Y, and the balance Co A bond coat layer made of a CoNiCrAlY alloy having the following composition was formed to a thickness of 0.1 mm by low-pressure plasma spraying.
On this CoNiCrAlY bond coat layer, Sm 2 Zr 2 O 7 or Gd 2 Zr 2 O 7 is deposited to a thickness of 0.5 mm by an atmospheric plasma spraying method so as to have a porous structure with a porosity of 10%. did. The atmospheric pressure plasma spraying method uses a spray gun (F4 gun) manufactured by Sulzer Metco Co., Ltd., and Sr 2 Zr 2 O 7 (Nitrogen Yttrium fine powder 3C series Sm 2 O 3 and Nitrogen Yttrium fine powder TZ-0 ZrO. 2 ) or Gd 2 Zr 2 O 7 (synthesized by powder mixing method using fine powder 3C series Gd 2 O 3 made by Japanese yttrium and ZrO 2 fine powder TZ-0 made by Japanese yttrium) By using the thermal spraying powder, the pores were varied depending on the conditions of thermal spraying current 600 (A), thermal spraying distance 150 (mm), powder feed amount 60 (g / min), Ar / H 2 amount; 35 / 7.4 (l / min). Was formed.
The porosity of the formed topcoat layer was determined by binarizing the pore portion and the ceramic portion by image analysis of the result of cross-sectional microstructure observation.

参考例5〜6
ボンドコート層の形成までは、参考例3〜4と同様であった。その後、YSZ溶射粉末(スルザーメテコ社製204NS−G、8質量%イットリアと92質量%ジルコニアの配合比)を用いて0.25mmの厚さでYSZ層を気孔率10%のポーラス組織で成膜した。気孔が含まれたYSZ層は、大気圧プラズマ溶射法により、スルザーメテコ社製溶射ガン(F4ガン)を用いて、YSZの溶射粉末を用いて溶射電流600(A)、溶射距離150(mm)、粉末供給量60(g/min)、Ar/H量;35/7.4(l/min)の条件により成膜した。
その後、SmZr(日本イットリウム製微粉3CシリーズSmと日本イットリウム製微粉TZ−0であるZrOを用いて粉末混合法により合成)又はGdZr(日本イットリウム製微粉3CシリーズGdと日本イットリウム製微粉TZ−0であるZrOを用いて粉末混合法により合成)を気孔率が10%のポーラス組織となるよう大気圧プラズマ溶射法で0.25mm成膜した。全体のトップコート層の膜厚は0.5mmであった。気孔が含まれたSmZr及びGdZr層は、スルザーメテコ社製溶射ガン(例えばF4ガン)を用いて、SmZr又はGdZrの溶射粉末を用いて溶射電流600(A)、溶射距離150(mm)、粉末供給量60(g/min)、Ar/H量;35/7.4(l/min)の条件により成膜した。
Reference Examples 5-6
The process until the formation of the bond coat layer was the same as in Reference Examples 3 to 4. Thereafter, a YSZ layer was formed with a porous structure having a porosity of 10% with a thickness of 0.25 mm using YSZ sprayed powder (Sulzer Metco 204NS-G, blending ratio of 8% by weight yttria and 92% by weight zirconia). . The YSZ layer containing pores was sprayed with a spraying current of 600 (A), a spraying distance of 150 (mm) using a spraying powder of YSZ, using a spray gun (F4 gun) manufactured by Sulzer Metco, by atmospheric pressure plasma spraying. powder feed amount 60 (g / min), Ar / H 2 volume; was formed by conditions of 35 / 7.4 (l / min) .
Thereafter, Sm 2 Zr 2 O 7 (synthesized by powder mixing method using fine powder 3C series Sm 2 O 3 made in Japan yttrium and ZrO 2 which is fine powder TZ-0 made in Japan yttrium) or Gd 2 Zr 2 O 7 (Yttrium Japan) Fine powder 3C series Gd 2 O 3 and yttrium Japan fine powder TZ-0 ZrO 2 were synthesized by a powder mixing method) to obtain a porous structure with a porosity of 10% by atmospheric pressure plasma spraying method to 0.25 mm A film was formed. The film thickness of the entire top coat layer was 0.5 mm. The Sm 2 Zr 2 O 7 and Gd 2 Zr 2 O 7 layers containing the pores were sprayed with Sm 2 Zr 2 O 7 or Gd 2 Zr 2 O 7 using a Sulzer Metco spray gun (for example, F4 gun). spraying current 600 using powder (a), spraying distance 150 (mm), a powder supply amount 60 (g / min), Ar / H 2 volume; was formed by conditions of 35 / 7.4 (l / min) .

比較例2
ボンドコート層の形成までは、参考例3〜4と同様であった。その後、YSZ溶射粉末(スルザーメテコ社製204NS−G、8質量%イットリアと92質量%ジルコニアの配合比)を用いて0.5mmの厚さでYSZ層を気孔率10%のポーラス組織となるように、大気圧プラズマ溶射法により成膜した。気孔が含まれたYSZ層は、大気圧プラズマ溶射法により、スルザーメテコ社製溶射ガン(F4ガン)を用いて、YSZの溶射粉末を用いて溶射電流600(A)、溶射距離150(mm)、粉末供給量60(g/min)、Ar/H量;35/7.4(l/min)の条件により成膜した。
Comparative Example 2
The process until the formation of the bond coat layer was the same as in Reference Examples 3 to 4. Then, using a YSZ sprayed powder (Sulzer Metco 204NS-G, blending ratio of 8% by weight yttria and 92% by weight zirconia), the YSZ layer has a porous structure with a porosity of 10% at a thickness of 0.5 mm. The film was formed by atmospheric pressure plasma spraying. The YSZ layer containing pores was sprayed with a spraying current of 600 (A), a spraying distance of 150 (mm) using a spraying powder of YSZ, using a spray gun (F4 gun) manufactured by Sulzer Metco, by atmospheric pressure plasma spraying. powder feed amount 60 (g / min), Ar / H 2 volume; was formed by conditions of 35 / 7.4 (l / min) .

参考例7〜8
ボンドコート層の形成までは、参考例3〜4と同様であった。その後、YSZ溶射粉末(スルザーメテコ社製204NS−G、8質量%イットリアと92質量%ジルコニアの配合比)を用いて0.25mmの厚さでYSZ層を高い入熱条件を用いた大気圧プラズマ溶射法により縦割れ組織で成膜した。YSZ層に縦割れの導入は、溶射距離(溶射ガンと耐熱基材との距離)を従来ジルコニア含有層の成膜に用いられていた溶射距離の150mmから50mmに近づけるか、あるいは、溶射距離は従来と同程度とし、溶射ガン電流を600(A)から700(A)に高めることにより行った。縦割れ間隔は、断面ミクロ組織観察により、0.2mmであった。
その後、SmZr(日本イットリウム製微粉3CシリーズSmと日本イットリウム製微粉TZ−0であるZrOを用いて粉末混合法により合成)又はGdZr(日本イットリウム製微粉3CシリーズGdと日本イットリウム製微粉TZ−0であるZrOを用いて粉末混合法により合成)を気孔率が10%のポーラス組織となるよう大気圧プラズマ溶射法で0.25mm成膜した。全体のトップコートの膜厚は0.5mmであった。気孔が含まれたSmZr及びGdZr層は、スルザーメテコ社製溶射ガン(F4ガン)を用いて、SmZr又はGdZrの溶射粉末を用いて溶射電流600(A)、溶射距離150(mm)、粉末供給量60(g/min)、Ar/H量;35/7.4(l/min)の条件により成膜した。
Reference Examples 7-8
The process until the formation of the bond coat layer was the same as in Reference Examples 3 to 4. Then, using a YSZ spray powder (Sulzer Metco 204NS-G, blending ratio of 8% by weight yttria and 92% by weight zirconia), the YSZ layer is atmospheric pressure plasma sprayed using a high heat input condition with a thickness of 0.25 mm. The film was formed in a vertically cracked structure by the method. For the introduction of vertical cracks in the YSZ layer, the spraying distance (distance between the spraying gun and the heat-resistant substrate) is brought close to the spraying distance of 150 mm to 50 mm, which has been conventionally used for forming the zirconia-containing layer, or the spraying distance is The thermal spray gun current was increased from 600 (A) to 700 (A). The longitudinal crack interval was 0.2 mm by cross-sectional microstructure observation.
Thereafter, Sm 2 Zr 2 O 7 (synthesized by powder mixing method using fine powder 3C series Sm 2 O 3 made in Japan yttrium and ZrO 2 which is fine powder TZ-0 made in Japan yttrium) or Gd 2 Zr 2 O 7 (Yttrium Japan) Fine powder 3C series Gd 2 O 3 and yttrium Japan fine powder TZ-0 ZrO 2 were synthesized by a powder mixing method) to obtain a porous structure with a porosity of 10% by atmospheric pressure plasma spraying method to 0.25 mm A film was formed. The film thickness of the entire top coat was 0.5 mm. The Sm 2 Zr 2 O 7 and Gd 2 Zr 2 O 7 layers containing pores are sprayed powder of Sm 2 Zr 2 O 7 or Gd 2 Zr 2 O 7 using a spray gun (F4 gun) manufactured by Sulzer Metco. The film was formed under the conditions of spraying current 600 (A), spraying distance 150 (mm), powder supply amount 60 (g / min), Ar / H 2 amount; 35 / 7.4 (l / min).

参考例9〜10
ボンドコート層の形成までは、参考例3〜4と同様であった。その後、SmZr(日本イットリウム製微粉3CシリーズSmと日本イットリウム製微粉TZ−0であるZrOを用いて粉末混合法により合成)又はGdZr(日本イットリウム製微粉3CシリーズGdと日本イットリウム製微粉TZ−0であるZrOを用いて粉末混合法により合成)を用いて0.5mmの厚さでSmZr層又はGdZr層を高い入熱条件を用いた大気圧プラズマ溶射法により縦割れ組織で成膜した。SmZr層又はGdZr層への縦割れの導入は、溶射距離(溶射ガンと耐熱基材との距離)を従来ジルコニア含有層の成膜に用いられていた溶射距離の150mmから100mmに近づけるか、あるいは、溶射距離は従来と同程度とし、溶射ガン電流を600(A)から650(A)に高めることにより行った。縦割れ間隔は、断面ミクロ組織観察により、0.2mmであった。
Reference Examples 9-10
The process until the formation of the bond coat layer was the same as in Reference Examples 3 to 4. Thereafter, Sm 2 Zr 2 O 7 (synthesized by powder mixing method using fine powder 3C series Sm 2 O 3 made in Japan yttrium and ZrO 2 which is fine powder TZ-0 made in Japan yttrium) or Gd 2 Zr 2 O 7 (Yttrium Japan) Sm 2 Zr 2 O 7 layer or Gd 2 Zr at a thickness of 0.5 mm using fine powder 3C series Gd 2 O 3 and ZrO 2 which is fine powder TZ-0 made in Japan yttrium by powder mixing method) A 2 O 7 layer was formed with a vertically cracked structure by atmospheric pressure plasma spraying using high heat input conditions. Introducing vertical cracks into the Sm 2 Zr 2 O 7 layer or Gd 2 Zr 2 O 7 layer, the spraying distance (distance between the spray gun and the heat-resistant substrate) is conventionally used to form the zirconia-containing layer. The distance was approached from 150 mm to 100 mm, or the spraying distance was set to the same level as before, and the spray gun current was increased from 600 (A) to 650 (A). The longitudinal crack interval was 0.2 mm by cross-sectional microstructure observation.

参考例11〜12
ボンドコート層の形成までは、参考例3〜4と同様であった。その後、YSZ溶射粉末(スルザーメテコ社製204NS−G、8質量%イットリアと92質量%ジルコニアの配合比)を用いて0.25mmの厚さでYSZ層を高い入熱条件を用いた大気圧プラズマ溶射法により縦割れ組織で成膜した。YSZ層に縦割れの導入は、溶射距離(溶射ガンと耐熱基材との距離)を従来ジルコニア含有層の成膜に用いられていた溶射距離の150mmから50mmに近づけるか、あるいは、溶射距離は従来と同程度とし、溶射ガン電流を600(A)から700(A)に高めることにより行った。縦割れ間隔は、断面ミクロ組織観察により、0.2mmであった。
その後、SmZr(日本イットリウム製微粉3CシリーズSmと日本イットリウム製微粉TZ−0であるZrOを用いて粉末混合法により合成)又はGdZr(日本イットリウム製微粉3CシリーズGdと日本イットリウム製微粉TZ−0であるZrOを用いて粉末混合法により合成)を用いてSmZr層もしくはGdZr層を同様に高い入熱条件を用いた大気圧プラズマ溶射法により0.25mmの厚さで縦割れ組織で成膜した。SmZr層又はGdZr層への縦割れの導入は、溶射距離(溶射ガンと耐熱基材との距離)を従来ジルコニア含有層の成膜に用いられていた溶射距離の150mmから100mmに近づけるか、あるいは、溶射距離は従来と同程度とし、溶射ガン電流を600(A)から650(A)にまで高めることにより行った。縦割れ間隔は、断面ミクロ組織観察により、0.2mmであった。全体のトップコートの膜厚は0.5mmであった。
Reference Examples 11-12
The process until the formation of the bond coat layer was the same as in Reference Examples 3 to 4. Then, using a YSZ spray powder (Sulzer Metco 204NS-G, blending ratio of 8% by weight yttria and 92% by weight zirconia), the YSZ layer is atmospheric pressure plasma sprayed using a high heat input condition with a thickness of 0.25 mm. The film was formed in a vertically cracked structure by the method. For the introduction of vertical cracks in the YSZ layer, the spraying distance (distance between the spraying gun and the heat-resistant substrate) is brought close to the spraying distance of 150 mm to 50 mm, which has been conventionally used for forming the zirconia-containing layer, or the spraying distance is The thermal spray gun current was increased from 600 (A) to 700 (A). The longitudinal crack interval was 0.2 mm by cross-sectional microstructure observation.
Thereafter, Sm 2 Zr 2 O 7 (synthesized by powder mixing method using fine powder 3C series Sm 2 O 3 made in Japan yttrium and ZrO 2 which is fine powder TZ-0 made in Japan yttrium) or Gd 2 Zr 2 O 7 (Yttrium Japan) Sm 2 Zr 2 O 7 layer or Gd 2 Zr 2 O 7 layer in the same manner using fine powder 3C series Gd 2 O 3 and ZrO 2 which is fine powder TZ-0 made by Japan Yttrium) A film having a longitudinal crack structure was formed at a thickness of 0.25 mm by atmospheric pressure plasma spraying using high heat input conditions. Introducing vertical cracks into the Sm 2 Zr 2 O 7 layer or Gd 2 Zr 2 O 7 layer, the spraying distance (distance between the spray gun and the heat-resistant substrate) is conventionally used to form the zirconia-containing layer. The distance was approached from 150 mm to 100 mm, or the spraying distance was set to the same level as before, and the spray gun current was increased from 600 (A) to 650 (A). The longitudinal crack interval was 0.2 mm by cross-sectional microstructure observation. The film thickness of the entire top coat was 0.5 mm.

比較例3
ボンドコート層の形成までは、参考例3〜4と同様であった。その後、YSZ溶射粉末(スルザーメテコ社製204NS−G、8質量%イットリアと92質量%ジルコニアの配合比)を用いて0.5mmの厚さでYSZ層を高い入熱条件を用いた大気圧プラズマ溶射法により縦割れ組織で成膜した。YSZ層に縦割れの導入は、溶射距離(溶射ガンと耐熱基材との距離)を従来ジルコニア含有層の成膜に用いられていた溶射距離の150mmから50mmに近づけるか、あるいは、溶射距離は従来と同程度とし、溶射ガン電流を600(A)から700(A)にまで高めることにより行った。縦割れ間隔は、断面ミクロ組織観察により、0.2mmであった。
Comparative Example 3
The process until the formation of the bond coat layer was the same as in Reference Examples 3 to 4. Then, using a YSZ sprayed powder (Sulzer Metco 204NS-G, blending ratio of 8% by weight yttria and 92% by weight zirconia), the YSZ layer was atmospherically plasma sprayed using a high heat input condition with a thickness of 0.5 mm. The film was formed in a vertically cracked structure by the method. For the introduction of vertical cracks in the YSZ layer, the spraying distance (distance between the spraying gun and the heat-resistant substrate) is brought close to the spraying distance of 150 mm to 50 mm, which has been conventionally used for forming the zirconia-containing layer, or the spraying distance is The thermal spray gun current was increased from 600 (A) to 700 (A). The longitudinal crack interval was 0.2 mm by cross-sectional microstructure observation.

参考例13〜14
ボンドコート層の形成までは、参考例3〜4と同様であった。その後、0.5mmの厚さでSmZr層又はGdZr層を電子ビーム物理蒸着法により柱状組織で成膜した。電子プラズマ物理蒸着法は、アルデンヌ社製電子ビーム蒸着装置(例えば、TUBA150)を用いて、SmZr(日本イットリウム製微粉3CシリーズSmと日本イットリウム製微粉TZ−0であるZrOを用いて粉末混合法により合成)又はGdZr(日本イットリウム製微粉3CシリーズGdと日本イットリウム製微粉TZ−0であるZrOを用いて粉末混合法により合成)の焼結インゴットをターゲット材料に用い、電子ビーム出力50kW、雰囲気10−4torrの減圧環境、耐熱基材温度1,000℃の条件で行った。柱状晶は、直径が50μm以下の柱状晶であった。
Reference Examples 13-14
The process until the formation of the bond coat layer was the same as in Reference Examples 3 to 4. Thereafter, an Sm 2 Zr 2 O 7 layer or a Gd 2 Zr 2 O 7 layer having a thickness of 0.5 mm was formed in a columnar structure by electron beam physical vapor deposition. The electron plasma physical vapor deposition method is Sm 2 Zr 2 O 7 (Yttrium fine powder 3C series Sm 2 O 3 and Yttrium fine powder TZ-0 using an Ardenne electron beam vapor deposition apparatus (for example, TUBA150). ZrO 2 is synthesized by powder mixing method) or Gd 2 Zr 2 O 7 (synthesized by powder mixing method using fine powder 3C series Gd 2 O 3 made by Japanese yttrium and ZrO 2 fine powder TZ-0 made by Japanese yttrium) Was used under the conditions of an electron beam output of 50 kW, a reduced pressure environment of an atmosphere of 10 −4 torr, and a heat-resistant substrate temperature of 1,000 ° C. The columnar crystal was a columnar crystal having a diameter of 50 μm or less.

比較例4
ボンドコート層の形成までは、参考例3〜4と同様であった。その後、0.5mmの厚さでYSZを電子ビーム物理蒸着法により柱状晶組織で成膜した。電子プラズマ物理蒸着法は、アルデンヌ社製電子ビーム蒸着装置(例えば、TUBA150)を用いて、YSZ粉(スルザーメテコ社製204NS−G、8質量%イットリアと92質量%ジルコニアの配合比)を1600℃で5時間の条件で常圧焼結したインゴットをターゲット材料に用い、電子ビーム出力50kW、雰囲気10−4torrの減圧環境、耐熱基材温度1,000℃の条件で行った。柱状晶は、直径が50μm以下の柱状晶であった。
Comparative Example 4
The process until the formation of the bond coat layer was the same as in Reference Examples 3 to 4. Thereafter, YSZ was deposited with a columnar crystal structure by electron beam physical vapor deposition with a thickness of 0.5 mm. The electron plasma physical vapor deposition method uses an Ardenne electron beam vapor deposition apparatus (for example, TUBA150) and YSZ powder (Sulzer Metco 204NS-G, blending ratio of 8% by weight yttria and 92% by weight zirconia) at 1600 ° C. An ingot sintered at atmospheric pressure under conditions of 5 hours was used as a target material, and the conditions were an electron beam output of 50 kW, a reduced pressure environment of an atmosphere of 10 −4 torr, and a heat resistant substrate temperature of 1,000 ° C. The columnar crystal was a columnar crystal having a diameter of 50 μm or less.

熱伝導率の測定
以上により得られた各試料について熱伝導率の測定を行った。熱伝導率は、JIS R 1611に規定されるレーザーフラッシュ法により測定した。
Measurement of thermal conductivity The thermal conductivity of each sample obtained as described above was measured. The thermal conductivity was measured by a laser flash method specified in JIS R 1611.

熱サイクル耐久性の評価
以上により得られた各試料について熱サイクル耐久性の評価を行った。図11は、本実施例において熱サイクル耐久性の評価に用いたレーザ式熱サイクル試験装置の模式断面図である。この図に示すレーザ式熱サイクル試験装置は、本体部133上に配設された試料ホルダ132に、耐熱基材131A上に遮熱コーティング膜131Bが形成された試料131を、遮熱コーティング膜131Bが外側となるように配置し、この試料131に対して炭酸ガスレーザ装置130からレーザ光Lを照射することで試料131を、遮熱コーティング膜131B側から加熱するようになっている。また、レーザ装置130による加熱と同時に本体部133を貫通して本体部133の内部の試料131裏面側と対向する位置に配設された冷却ガスノズル134の先端から吐出されるガス流Fにより試料131をその裏面側から冷却するようになっている。
Evaluation of thermal cycle durability The thermal cycle durability of each sample obtained as described above was evaluated. FIG. 11 is a schematic cross-sectional view of a laser thermal cycle test apparatus used for evaluation of thermal cycle durability in this example. In the laser thermal cycle testing apparatus shown in this figure, a sample 131 in which a thermal barrier coating film 131B is formed on a heat-resistant base material 131A is applied to a sample holder 132 disposed on a main body 133, and a thermal barrier coating film 131B. The sample 131 is heated from the thermal barrier coating film 131B side by irradiating the sample 131 with laser light L from the carbon dioxide laser device 130. In addition, the sample 131 is caused by the gas flow F discharged from the tip of the cooling gas nozzle 134 that passes through the main body 133 simultaneously with the heating by the laser device 130 and faces the back side of the sample 131 inside the main body 133. Is cooled from the back side.

このレーザ式熱サイクル試験装置によれば、容易に試料131内部に温度勾配を形成することができ、ガスタービン部材などの高温部品に適用された場合の使用環境に即した評価を行うことができる。図12(a)は、図10に示す装置により熱サイクル試験に供された試料の温度変化を模式的に示すグラフである。この図に示す曲線A〜Cは、それぞれ図12(b)に示す試料131における温度測定点A〜Cに対応している。図12に示すように、図11に示す装置によれば試料131の遮熱コーティング膜131B表面(A)、遮熱コーティング膜131Bと耐熱基材131Aとの界面(B)、耐熱基材131Aの裏面側(C)の順に温度が低くなるように加熱することができる。
従って、例えば、遮熱コーティング膜131Bの表面を1200℃以上の高温とし、遮熱コーティング膜131Bと耐熱基材131Aとの界面の温度を800〜1000℃とすることで、実機ガスタービンと同様の温度条件とすることができる。なお、本試験装置による加熱温度と温度勾配は、レーザ装置130の出力とガス流Fとを調整することで、容易に所望の温度条件とすることができる。
According to this laser type thermal cycle test apparatus, a temperature gradient can be easily formed inside the sample 131, and evaluation according to the use environment when applied to a high temperature part such as a gas turbine member can be performed. . FIG. 12A is a graph schematically showing a temperature change of a sample subjected to a thermal cycle test by the apparatus shown in FIG. Curves A to C shown in this figure correspond to temperature measurement points A to C in the sample 131 shown in FIG. As shown in FIG. 12, according to the apparatus shown in FIG. 11, the surface (A) of the thermal barrier coating film 131B of the sample 131, the interface (B) between the thermal barrier coating film 131B and the heat resistant substrate 131A, and the heat resistant substrate 131A. It can heat so that temperature may become low in order of a back surface side (C).
Therefore, for example, by setting the surface of the thermal barrier coating film 131B to a high temperature of 1200 ° C. or higher and setting the temperature of the interface between the thermal barrier coating film 131B and the heat resistant base material 131A to 800 to 1000 ° C. It can be a temperature condition. It should be noted that the heating temperature and temperature gradient by the test apparatus can be easily set to desired temperature conditions by adjusting the output of the laser apparatus 130 and the gas flow F.

本例では、図11に示すレーザ式熱サイクル試験装置を用い、最高表面温度(遮熱コーティング膜表面の最高温度)を1500℃とし、最高界面温度(遮熱コーティング膜と耐熱基材との界面の最高温度)を1000℃とする繰り返しの加熱を行った。その際、加熱時間3分、冷却時間3分の繰り返しとした(冷却時の表面温度は100℃以下になるように設定)。この熱サイクル試験において遮熱コーティング膜に剥離が生じた時点でのサイクル数を熱サイクル寿命として表1に併記する。   In this example, the laser type thermal cycle test apparatus shown in FIG. 11 is used, the maximum surface temperature (the maximum temperature of the surface of the thermal barrier coating film) is set to 1500 ° C., and the maximum interface temperature (the interface between the thermal barrier coating film and the heat-resistant substrate). The heating was repeated to 1000 ° C. At that time, the heating time was 3 minutes and the cooling time was 3 minutes (the surface temperature during cooling was set to 100 ° C. or lower). In this thermal cycle test, the number of cycles at the time when peeling occurs in the thermal barrier coating film is also shown in Table 1 as the thermal cycle life.

Figure 0004969094
Figure 0004969094

表1に示すように、本発明の遮熱コーティグ部材は、熱サイクル耐久性に優れ、熱伝導率が低いことが確認された。   As shown in Table 1, it was confirmed that the thermal barrier coating member of the present invention was excellent in thermal cycle durability and low in thermal conductivity.

第2の参考形態である遮熱コーティング部材の模式断面図である。It is a schematic cross section of the thermal barrier coating member which is the 2nd reference form. 第3の参考形態である遮熱コーティング部材の模式断面図である。It is a schematic cross section of the thermal barrier coating member which is the 3rd reference form. 第4の参考形態である遮熱コーティング部材の模式断面図である。It is a schematic cross section of the thermal barrier coating member which is the 4th reference form. 5の参考形態である遮熱コーティング部材の模式断面図である。It is a schematic cross section of the thermal barrier coating member which is the 5th reference form. 6の参考形態である遮熱コーティング部材の模式断面図である。It is a schematic cross section of the thermal barrier coating member which is the 6th reference form. 第7の参考形態である遮熱コーティング部材の模式断面図である。It is a schematic cross section of the thermal barrier coating member which is the 7th reference form. 本発明に係るタービン部材の一例である動翼を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the moving blade which is an example of the turbine member which concerns on this invention. 本発明に係るタービン部材の一例である静翼を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the stationary blade which is an example of the turbine member which concerns on this invention. 図7と図8に示すガスタービン部材を備えたガスタービンの一例を示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows an example of the gas turbine provided with the gas turbine member shown in FIG. 7 and FIG. 温度と熱伝導率の測定結果を示す。The measurement result of temperature and thermal conductivity is shown. 本発明の実施例において用いたレーザ式熱サイクル試験装置の模式断面図である。It is a schematic cross section of the laser type thermal cycle testing apparatus used in the example of the present invention. 図12(a)は、図11に示すレーザ熱サイクル試験装置による熱サイクル試験時の試料の温度履歴を示すグラフであり、図12(b)は、図12(a)の各曲線に対応する試料上の測定点を示す説明図である。12A is a graph showing the temperature history of the sample during the thermal cycle test by the laser thermal cycle test apparatus shown in FIG. 11, and FIG. 12B corresponds to each curve of FIG. 12A. It is explanatory drawing which shows the measurement point on a sample.

符号の説明Explanation of symbols

21 耐熱基材
22 ボンドコート層
24 セラミックス層
24P 気孔
31 耐熱基材
32 ボンドコート層
33 ジルコニア含有層
33P 気孔
34 セラミックス層
34P 気孔
41 耐熱基材
42 ボンドコート層
43 ジルコニア含有層
43C 縦割れ
44 セラミックス層
44P 気孔
51 耐熱基材
52 ボンドコート層
54 セラミックス層
54C 縦割れ
61 耐熱基材
62 ボンドコート層
63 ジルコニア含有層
63C 縦割れ
64 セラミックス層
64C 縦割れ
71 耐熱基材
72 ボンドコート層
74 セラミックス層
74L 柱状晶
140 動翼(タービン部材)
141 タブテイル
142 プラットフォーム
143 翼部
150 静翼(タービン部材)
151 内シュラウド
152 外シュラウド
153 翼部
154 冷却孔
155 スリット
160 ガスタービン
161 圧縮機
162 タービン
163 燃焼器
164 主軸
165 回転軸
130 CO2レーザ装置
131 試料
131A 耐熱基材
131B 遮熱コーティング膜
132 試料ホルダ
133 本体部
134 冷却ガスノズル
21 heat-resistant substrate 22 bond coat layer 24 ceramic layer 24P pores 31 heat-resistant substrate 32 bond coat layer 33 zirconia-containing layer 33P pores 34 ceramic layer 34P pores 41 heat-resistant substrate 42 bond coat layer 43 zirconia-containing layer 43C longitudinal crack 44 ceramic layer 44P Pore 51 Heat-resistant substrate 52 Bond coat layer 54 Ceramic layer 54C Vertical crack 61 Heat-resistant substrate 62 Bond coat layer 63 Zirconia-containing layer 63C Vertical crack 64 Ceramic layer 64C Vertical crack 71 Heat-resistant substrate 72 Bond coat layer 74 Ceramic layer 74L Column shape Akira 140 blade (turbine member)
141 Tabtail 142 Platform 143 Blade 150 Stator blade (turbine member)
151 Inner shroud 152 Outer shroud 153 Blade 154 Cooling hole 155 Slit 160 Gas turbine 161 Compressor 162 Turbine 163 Combustor 164 Main shaft 165 Rotating shaft 130 CO 2 laser device 131 Sample 131A Heat resistant substrate 131B Thermal barrier coating film 132 Sample holder 133 Body 134 Cooling gas nozzle

Claims (7)

耐熱基材と、該耐熱基材上に形成されたボンドコート層と、該ボンドコート層上に形成されたセラミックス層とを含んでなる遮熱コーティング部材であって、該ボンドコート層と該セラミックス層との間に、気孔率1〜30%のジルコニア含有層を更に含み、該セラミックス層が一般式AZr(式中、Aは希土類元素を表す。)で表されるセラミックスを含み厚さ方向に該耐熱基材上のボンドコート層以外の全層の厚さの5〜100%の間隔で縦割れを有する遮熱コーティング部材。 A thermal barrier coating member comprising a heat resistant substrate, a bond coat layer formed on the heat resistant substrate, and a ceramic layer formed on the bond coat layer , wherein the bond coat layer and the ceramic A zirconia-containing layer having a porosity of 1 to 30% is further included between the layers, and the ceramic layer is a ceramic represented by the general formula A 2 Zr 2 O 7 (wherein A represents a rare earth element). A thermal barrier coating member having longitudinal cracks at intervals of 5 to 100% of the thickness of all layers other than the bond coat layer on the heat-resistant substrate in the thickness direction. 上記Aが、LaとNdとSmとGdとDyとErとYbとLuからなる一群から選ばれる請求項1に記載の遮熱コーティング部材。   The thermal barrier coating member according to claim 1, wherein A is selected from the group consisting of La, Nd, Sm, Gd, Dy, Er, Yb, and Lu. 上記Aが、Smである請求項1に記載の遮熱コーティング部材。   The thermal barrier coating member according to claim 1, wherein A is Sm. 上記ボンドコート層の厚さが、0.01〜1mmであり、上記耐熱基材上のボンドコート層以外の全層の厚さが、0.01〜1mmである請求項1〜のいずれかに記載の遮熱コーティング部材。 The thickness of the bond coat layer is a 0.01 to 1 mm, the thickness of all layers except for the bond coat layer on the heat resistant substrate is any one of claims 1 to 3 is 0.01 to 1 mm The thermal barrier coating member according to 1. 請求項1〜のいずれかに記載の遮熱コーティング部材を備えるガスタービン。 Gas turbine with a thermal barrier coating member according to any one of claims 1-4. 耐熱基材上にボンドコート層を形成するステップと、該ボンドコート層の上にAZr(式中、Aは希土類元素を表す。)のセラミックス層を形成するステップを含む遮熱コーティング部材の製造方法であって、上記ボンドコート層形成ステップと、上記セラミックス層形成ステップの間に、ジルコニア含有層を形成するステップであって気孔を導入する段階を含み、上記セラミックス層形成ステップが、厚さ方向に上記耐熱基材上のボンドコート層以外の全層の厚さの5〜100%の間隔で厚さ方向の縦割れを導入する段階を含む遮熱コーティング部材の製造方法。 A heat shield comprising the steps of: forming a bond coat layer on the heat resistant substrate; and forming a ceramic layer of A 2 Zr 2 O 7 (wherein A represents a rare earth element) on the bond coat layer. A method for manufacturing a coating member, comprising: a step of forming a zirconia-containing layer between the bond coat layer forming step and the ceramic layer forming step and introducing pores, wherein the ceramic layer forming step includes: A method for producing a thermal barrier coating member comprising the step of introducing longitudinal cracks in the thickness direction at intervals of 5 to 100% of the thickness of all layers other than the bond coat layer on the heat-resistant substrate in the thickness direction. 上記ボンドコート層の厚さが、0.01〜1mmであり、上記耐熱基材上のボンドコート層以外の全層の厚さが、0.01〜1mmである請求項に記載の遮熱コーティング部材の製造方法。 The heat shield according to claim 6 , wherein the thickness of the bond coat layer is 0.01 to 1 mm, and the thickness of all layers other than the bond coat layer on the heat-resistant substrate is 0.01 to 1 mm. Manufacturing method of coating member.
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5647762B2 (en) * 2007-05-07 2015-01-07 シーメンス アクチエンゲゼルシヤフトSiemens Aktiengesellschaft Layer structure comprising an outer ceramic layer having a pyrochlore phase and a secondary oxide
EP1990330B1 (en) * 2007-05-07 2011-06-29 Siemens Aktiengesellschaft Ceramic powder, ceramic layer and layer system containing a pyrochlorphase and oxides
EP1990328B1 (en) * 2007-05-07 2011-10-26 Siemens Aktiengesellschaft Ceramic powder, ceramic layer and layer system with two pyrochlorphases and oxides
EP2128299B1 (en) * 2008-05-29 2016-12-28 General Electric Technology GmbH Multilayer thermal barrier coating
EP2233450A1 (en) * 2009-03-27 2010-09-29 Alstom Technology Ltd Multilayer thermal protection system and its use
JP5285486B2 (en) * 2009-03-30 2013-09-11 三菱重工業株式会社 Thermal barrier coating material, thermal barrier coating, turbine component and gas turbine
JP5578801B2 (en) * 2009-03-31 2014-08-27 三菱重工業株式会社 Measuring method of physical properties of coating layer
KR101189184B1 (en) * 2009-04-29 2012-10-10 한양대학교 산학협력단 Sintered body for thermal barrier coating, method for manufacturing the same and method for manufacturing double-layered thermal barrier using the same
US9945036B2 (en) * 2011-03-22 2018-04-17 General Electric Company Hot corrosion-resistant coatings and components protected therewith
US20140037970A1 (en) * 2012-08-03 2014-02-06 General Electric Company Reinforced articles and methods of making the same
CN104704200B (en) * 2012-10-05 2016-12-14 西门子公司 For manufacturing the method for the second gas turbine and for the method running gas turbine facility
EP2884048A1 (en) * 2013-12-13 2015-06-17 Siemens Aktiengesellschaft Thermal barrier coating of a turbine blade
US9869188B2 (en) * 2014-12-12 2018-01-16 General Electric Company Articles for high temperature service and method for making
US10934626B2 (en) 2017-04-21 2021-03-02 General Electric Company Segmented environmental barrier coating systems and methods of forming the same
JP7104527B2 (en) * 2018-03-02 2022-07-21 三菱重工業株式会社 Young's modulus distribution calculation method of film and sample holder
KR101888897B1 (en) * 2018-04-03 2018-08-16 성균관대학교산학협력단 Durability design method of thermal barrier coating by control of oxide layer shape and the designed thermal barrier coating sturcture using this method
US10969684B2 (en) 2019-04-03 2021-04-06 General Electric Company Protection and enhancement of thermal barrier coating by lithography

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6258467B1 (en) * 2000-08-17 2001-07-10 Siemens Westinghouse Power Corporation Thermal barrier coating having high phase stability
RU2218451C2 (en) * 1996-12-10 2003-12-10 Сименс Акциенгезелльшафт Article with heat-insulating layer subjected to action of hot gas and method of manufacture of such article
US6177200B1 (en) * 1996-12-12 2001-01-23 United Technologies Corporation Thermal barrier coating systems and materials
US6117560A (en) * 1996-12-12 2000-09-12 United Technologies Corporation Thermal barrier coating systems and materials
JP2000144365A (en) * 1998-11-05 2000-05-26 Toshiba Corp Thermal barrier coating member, production of thermal barrier coating member and high temperature gas turbine using thermal barrier coating member
JP3631982B2 (en) * 2000-06-16 2005-03-23 三菱重工業株式会社 Manufacturing method of thermal barrier coating material
EP1386017B1 (en) * 2001-04-03 2008-05-07 Forschungszentrum Jülich Gmbh Heat insulating layer based on la2 zr2 o7 for high temperatures
CN1557072A (en) * 2001-09-21 2004-12-22 ���˹���Ѷ��� Data communications method and system using buffer size to calculate transmission rate for congestion control
JP2003160852A (en) * 2001-11-26 2003-06-06 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Thermal insulating coating material, manufacturing method therefor, turbine member and gas turbine

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