JP4865614B2 - RFID chip and antenna with improved range - Google Patents

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Description

本発明は、rfid(無線周波数識別)チップとアンテナ技術の分野に関連する。より詳しく述べると、本発明は、関連のrf問合せ・読取りデバイスと通信の範囲が改良されたrfidチップとアンテナに関連する。   The present invention relates to the field of rfid (radio frequency identification) chips and antenna technology. More particularly, the present invention relates to an associated rf query and read device and an rfid chip and antenna with improved communication range.

一般的なrfidチップとアンテナはともに、開示内容が参考として取り入れられている、2000年11月28日発行の特許文献1に図示され、記載されているもののようなIDタグに組み込まれているのが普通である。概してIDタグは、開示内容が参考として取り入れられている2002年4月16日発行の特許文献2に開示されているようなポリエチレンテレフタレート(PET)基板などの肉薄基板に取り付けられるか封入されたアンテナとrfidチップとを有する。アンテナは通常、小型ループアンテナまたはダイポールアンテナであり、rfidチップにオーム接続されなければならない。通常のループアンテナは、いくつかの周知の方法のいずれか一つで形成されるマルチターンの平面オーム導体である。このような技術の一つは、上記のPET基板などの適切な基板への銀ペースト印刷である。ループアンテナを形成する別の周知の技術は、ペンシルヴェニア州のRCD Technology Corporation of Bethlehemで実施されている基板への銅堆積である。コイルのサイズ(コイル直径と厚さ)とターン数は、IDタグの物理的サイズへの制約を含む特定用途の要件により決定される。アンテナの機能は、RFIDチップと、ホストCPU、ユーザ読取ステーションなどの外部問合せ・読取りデバイスとの間の電磁伝達を提供することと、さらに外部デバイスからRFIDチップへの電力の誘導伝達を可能にしてrfidチップ内の能動回路素子に電力を供給することである。   Both a general rfid chip and an antenna are incorporated into an ID tag such as that shown and described in US Pat. Is normal. In general, an ID tag is an antenna that is attached to or enclosed in a thin substrate such as a polyethylene terephthalate (PET) substrate as disclosed in US Pat. And rfid chip. The antenna is typically a small loop antenna or a dipole antenna and must be ohmically connected to the rfid chip. A typical loop antenna is a multi-turn planar ohmic conductor formed by any one of several well-known methods. One such technique is silver paste printing on a suitable substrate such as the PET substrate described above. Another well-known technique for forming loop antennas is copper deposition on a substrate implemented at the RCD Technology Corporation of Bethlehem, Pennsylvania. The coil size (coil diameter and thickness) and the number of turns are determined by the specific application requirements, including constraints on the physical size of the ID tag. The function of the antenna provides electromagnetic transmission between the RFID chip and an external inquiry / reading device such as a host CPU, user reading station, etc., and also allows inductive transfer of power from the external device to the RFID chip. It is to supply power to the active circuit elements in the rfid chip.

現在、多種類の市販rfidチップが知られており、各々がrfid集積回路に共通して見られる標準的な内部機能部品を有する。このような標準的部品は、RFアナログセクションと、CPUと、ROMと、EEPROM(非特許文献1の図9.1.1:RFID応答器ICブロック線図を参照)とを含む。rfidチップは、外部デバイスによって問い合わされるとアンテナを介して電力を受け取り、ISO 14443プロトコルまたはISO 15693プロトコルなどの標準的プロトコルを用いて外部デバイスと通信する。IDタグを物体に設置する前に、装着される物体を特定する情報が、rfidチップに組み込まれたROM(リードオンリメモリ)に書き込まれる。いったんこの情報がROMに書き込まれると、問合せデバイスによる上書きまたは書き換えは不可能である。rfidチップは、外部問合せ・読取りデバイスによって問い合わされ、外部デバイスに情報を供給するだけである、つまりROMに記憶された情報を変更できない。   Currently, a wide variety of commercially available rfid chips are known, each having standard internal functional components commonly found in rfid integrated circuits. Such standard components include an RF analog section, a CPU, a ROM, and an EEPROM (see FIG. 9.1.1: RFID transponder IC block diagram of Non-Patent Document 1). The rfid chip receives power via the antenna when queried by the external device and communicates with the external device using a standard protocol such as the ISO 14443 protocol or the ISO 15693 protocol. Before installing the ID tag on the object, information for identifying the object to be mounted is written in a ROM (read only memory) incorporated in the rfid chip. Once this information is written to ROM, it cannot be overwritten or rewritten by the interrogation device. The rfid chip is queried by an external query and read device and only supplies information to the external device, i.e. it cannot change the information stored in the ROM.

rfidチップとアンテナとを有する上述のタイプのIDタグは、物体追跡に非常に有益で、この種の多様な用途に現在使用されている。この技術の用途は理論上ではさらに多くが可能であるが、サイズとコストの制約によりこれまで実用化は制限されていた。現在、装着予定の個々の物体のコストよりもかなり低いコストで超小型rfidチップとアンテナが生産されるため、改良された半導体バッチ処理技術によってこのような制約が最近解消されている。例えば、日本国東京のHitachi,LTD.は、チップサイズが0.4mm×0.4mmで、当時販売されていたrfidチップの価格の少なくとも3分の1以下の価格であるmuシリーズrfidチップとアンテナを2004年に発売した。他の半導体メーカーは、その先例となる競合製品に追従している。   An ID tag of the type described above having an rfid chip and an antenna is very useful for object tracking and is currently used in a variety of such applications. Although this technology can be used more theoretically, its practical use has been limited so far due to size and cost constraints. Such restrictions have recently been overcome by improved semiconductor batch processing technology, as ultra-small rfid chips and antennas are now produced at a cost much lower than the cost of the individual objects to be mounted. For example, Hitachi, LTD. Released a mu series rfid chip and antenna in 2004 with a chip size of 0.4 mm x 0.4 mm and at least one-third the price of the rfid chip sold at that time. Other semiconductor manufacturers are following their precedent competitive products.

図1は、ともに基板15に取り付けられる要素であるrfidチップ12と単独の個別アンテナ14とを有する先行技術IDタグ10の平面図である。rfidチップ12は機能的rfidデバイスに必要とされる通常の回路構成を含む集積回路であり、単独で製作されるデバイスである。これらの集積回路デバイスは一般的に、当該技術の熟練者にはよく周知のバッチ処理技術を用いて製造される。概して、基本デバイス設計の多数のコピーが大型半導体ウェハ上で作成され、その後、個々のチップが相互に分離されて他の個別部品と組み合わされる。   FIG. 1 is a plan view of a prior art ID tag 10 having an rfid chip 12 and a single individual antenna 14 that are both elements attached to a substrate 15. The rfid chip 12 is an integrated circuit that includes the normal circuit configuration required for a functional rfid device and is a device that is fabricated independently. These integrated circuit devices are typically manufactured using batch processing techniques well known to those skilled in the art. In general, multiple copies of the basic device design are made on a large semiconductor wafer, after which individual chips are separated from each other and combined with other individual parts.

図1のIDタグ10では、他の個別部品はアンテナ14であり、これにより、rfidチップ12の回路構成は外部問合せデバイスと通信できるとともに、rfidチップ12へエネルギーを電磁伝達して、ここに含まれる電子回路構成に電力を供給することができる。rfアンテナの有効動作範囲はコイルエリアに直接関係し、できる限り広い有効動作範囲を設けるため、アンテナ14はrfidチップ12よりもはるかに広いエリアを占めるマルチターンコイルであると理想的である。アンテナ14は一般的に、後で基板15に接着される単独で形成された個別コイルと、コイル形成中に基板15に直接堆積される金属層のいずれかである。   In the ID tag 10 of FIG. 1, another individual component is an antenna 14, whereby the circuit configuration of the rfid chip 12 can be communicated with an external inquiry device, and energy is electromagnetically transmitted to the rfid chip 12 and included therein. Power can be supplied to the electronic circuit configuration. The effective operating range of the rf antenna is directly related to the coil area, and the antenna 14 is ideally a multi-turn coil that occupies a much larger area than the rfid chip 12 in order to provide the widest possible operating range. The antenna 14 is typically either a separately formed individual coil that is later bonded to the substrate 15 or a metal layer that is directly deposited on the substrate 15 during coil formation.

図1のIDタグ10は一般的に、最初にrfidチップ12とアンテナ14とを個別部品として製作し、部品12,14を基板15に取り付け、アンテナ14をrfidチップ12に電気接続することによって構成される。このためrfidチップ12には、アンテナ14の自由端部18,19が接合される二つのオーム接続パッド16,17が製作される。   The ID tag 10 of FIG. 1 is generally constructed by first manufacturing the rfid chip 12 and the antenna 14 as separate parts, attaching the parts 12 and 14 to the substrate 15 and electrically connecting the antenna 14 to the rfid chip 12. Is done. Therefore, two ohmic connection pads 16 and 17 to which the free ends 18 and 19 of the antenna 14 are joined are manufactured on the rfid chip 12.

IDタグ10の製作プロセスは単純で簡単に見えるが、実際にはこのプロセスを高い反復精度で実施するのは困難である。この困難さは主として、rfidチップ上の接続パッドの寸法が小さいことと、プロセスの接合ステップに先立って、アンテナ14の自由端部18,19がパッド16,17に正確に位置決めされる必要があることと、アンテナ端部と接続パッドとの間に正確な機械的オーム接合が行われる必要があることによる。図1に見られるタイプのIDタグの生産コストは、rfidチップ12が3分の1、アンテナ14が3分の1、組立が3分の1であると概算される。rfidチップの物理的サイズが縮小すると、正しく機能するIDタグの組立の困難さと組立コストがこれに応じて高くなる。   Although the manufacturing process of the ID tag 10 looks simple and easy, in practice it is difficult to carry out this process with high repeatability. This difficulty is mainly due to the small dimensions of the connection pads on the rfid chip and the free ends 18, 19 of the antenna 14 need to be accurately positioned on the pads 16, 17 prior to the process bonding step. And the need for an accurate mechanical ohmic connection between the antenna end and the connection pad. The production cost of an ID tag of the type seen in FIG. 1 is estimated to be one third for the rfid chip 12, one third for the antenna 14, and one third for assembly. As the physical size of the rfid chip is reduced, the difficulty and cost of assembling a correctly functioning ID tag will increase accordingly.

図2は、単独rfidチップとアンテナ部品とを有するIDタグを組み立てる際の困難さを緩和するため当該技術で行われている最新方法の一つを示す。同図に見られるように、基板25上に一体的に形成されたrfidチップ22とアンテナ24とがIDタグ20に製作される。チップ製作プロセス中にはアンテナ24はrfidチップ22とともに形成されるため、rfidチップ22とアンテナ24の自由端部との間にはオーム接続が自動的に形成される。この「コイルオンチップ」方法は、コストの高い接合ステップとこれに関連する困難さを解消する。   FIG. 2 shows one of the latest methods used in the art to alleviate the difficulty in assembling an ID tag having a single rfid chip and antenna component. As can be seen in the figure, the rfid chip 22 and the antenna 24 integrally formed on the substrate 25 are manufactured in the ID tag 20. Since the antenna 24 is formed with the rfid chip 22 during the chip fabrication process, an ohmic connection is automatically formed between the rfid chip 22 and the free end of the antenna 24. This “coil-on-chip” method eliminates costly bonding steps and associated difficulties.

「コイルオンチップ」解決法は、確かにIDタグ組立プロセスにおける個別部品の接合に関連する問題を緩和するが、この技術にしたがって製作されるIDタグの有効動作範囲に厳しい制限を加える。「コイルオンチップ」IDタグは、集積回路バッチ処理技術を用いて製作されるが、アンテナのサイズは生産されるダイのサイズに著しく制限される。例えば、市販の「コイルオンチップ」IDタグの公表動作範囲は3.0mmの最大距離に制限される。これはある特殊な用途には適しているが、IDタグについて現在想定される用途の大部分についてはこのような狭い動作範囲は不適切である。   While the “coil-on-chip” solution does indeed alleviate the problems associated with joining individual parts in the ID tag assembly process, it places severe restrictions on the effective operating range of ID tags fabricated according to this technology. “Coil-on-chip” ID tags are fabricated using integrated circuit batch processing techniques, but the size of the antenna is significantly limited to the size of the die produced. For example, the published operating range of commercially available “coil-on-chip” ID tags is limited to a maximum distance of 3.0 mm. While this is suitable for some special applications, such a narrow operating range is inappropriate for most of the applications currently envisioned for ID tags.

「コイルオンチップ」IDタグの動作範囲を拡大しようとする試みの一つは、開示内容が参考として取り入れられている「一体型アンテナを有する無線周波数識別応答器」という2001年7月31日発行の特許文献3に開示されている。この引例の教示によれば、rfidチップの上または下に取り付けられたチップにアンテナが形成される。アンテナは、rfidチップの本体面と平行な軸を持つ螺旋コイルをともに構成するいくつかのコイルターンを有する。アンテナコイルのインダクタンスとIDタグの動作範囲とを増大させるため、アンテナチップには高透磁率層が形成される。この構造は確かに「コイルオンチップ」IDタグの動作範囲を広げるが、いくつかの追加処理ステップを必要とし、製作コストが上昇し、収率に影響する可能性があり、範囲の比較的狭いアンテナしか得られない。   One of the attempts to expand the operating range of the “coil-on-chip” ID tag is “Radio Frequency Identification Responder with Integrated Antenna” issued July 31, 2001, whose disclosure is incorporated by reference. Patent Document 3 of Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-228707. According to the teaching of this reference, an antenna is formed on a chip mounted above or below the rfid chip. The antenna has several coil turns that together form a helical coil having an axis parallel to the body surface of the rfid chip. In order to increase the inductance of the antenna coil and the operating range of the ID tag, a high permeability layer is formed on the antenna chip. Although this structure certainly extends the operating range of “coil-on-chip” ID tags, it requires several additional processing steps, which can increase manufacturing costs and affect yield, and is relatively narrow in scope. Only an antenna can be obtained.

ゆえに、現在の「コイルオンチップ」RFIDタグは、関連する問合せ・読取デバイスとの有効動作範囲が制限されるという深刻な短所を依然として備えているのである。   Thus, current “coil-on-chip” RFID tags still have serious disadvantages that limit the effective operating range with the associated interrogation and reading device.

米国特許第6,154,137号US Pat. No. 6,154,137 米国特許第6,373,708 B1号US Pat. No. 6,373,708 B1 米国特許第6,268,796号US Pat. No. 6,268,796 1999年IEEE国際固体素子回路会議 広報0−7803−5129−0/991999 IEEE International Solid State Circuit Conference Public Relations 0-7803-5129-0 / 99

本発明は、同等の寸法を持つ周知のIDタグよりも動作範囲が拡大された「コイルオンチップ」RFIDタグを提供するための方法とシステムを含む。   The present invention includes a method and system for providing a “coil-on-chip” RFID tag that has an extended operating range over known ID tags of comparable dimensions.

装置面における本発明は、基板と、基板上に一体的に形成されるrfidチップとアンテナの組合せとを含むRFIDタグとを備えている。rfidチップは、基板の面と基本的に平行な本体面を有する。   The present invention on the device side includes a substrate and an RFID tag including a combination of an rfid chip and an antenna formed integrally on the substrate. The rfid chip has a body surface that is basically parallel to the surface of the substrate.

アンテナは、rfidチップの本体面に対して鋭角に配置された回転軸を包囲する中央開口部を有する複数層の導電性ターンを有するコイルと、コイルの中央開口部に位置決めされる透磁材料のコアとを含む。好適な実施態様では、コイルは少なくとも二層を備える基本的に螺旋状の構造を持ち、鋭角はほぼ90度であり、コアは環状である。   The antenna includes a coil having a multi-layered conductive turn having a central opening surrounding a rotation axis disposed at an acute angle with respect to the main surface of the rfid chip, and a magnetically permeable material positioned in the central opening of the coil. Including the core. In a preferred embodiment, the coil has an essentially helical structure with at least two layers, the acute angle is approximately 90 degrees, and the core is annular.

プロセス面における本発明は、
(a)基板を用意するステップと、
(b)前記基板にrfid集積回路とアンテナコイルとを同時に形成するステップであって、該コイルが、該rfid集積回路の前記本体面に対して鋭角を成す回転軸を備える中央開口部を有するマルチターン多層コイルとして形成される、ステップと、
(c)前記コイルの前記中央開口部に位置決めされるように透磁性材料のコアを設けるステップと、
を含む、RFIDタグを作成する方法を含む。
The present invention in terms of process
(A) preparing a substrate;
(B) simultaneously forming an rfid integrated circuit and an antenna coil on the substrate, wherein the coil has a central opening having a rotation axis that forms an acute angle with the body surface of the rfid integrated circuit. A step formed as a turn multilayer coil;
(C) providing a core of magnetically permeable material so as to be positioned in the central opening of the coil;
Including a method of creating an RFID tag.

形成するステップ(b)と設けるステップ(c)とは同時に実施される。形成するステップ(b)は、rfid集積回路の本体面に対してほぼ90度の角度を成す回転軸を備えるコイルを形成するステップを含むことが好ましい。コアは環状体として形成される。   The forming step (b) and the providing step (c) are performed simultaneously. Forming step (b) preferably includes forming a coil with a rotation axis that forms an angle of approximately 90 degrees with the body surface of the rfid integrated circuit. The core is formed as an annular body.

本発明は、「コイルオンチップ」IDタグの長所をすべて実現しながら、周知のデバイスよりもはるかに広い動作範囲を提供する。この動作範囲の拡大は、周知の「コイルオンチップ」IDタグの10倍の大きさであると概算される。   The present invention provides a much wider operating range than known devices while realizing all the advantages of a “coil-on-chip” ID tag. This expansion of the operating range is estimated to be ten times as large as the known “coil-on-chip” ID tag.

さて図面を参照すると、図3は、本発明の好適な実施形態の上面図であり、図4は、好適な実施形態の多数のコイルターンと多数コイル層とを示し、かつアンテナの透磁性層とを示す図3の4−4線における断面図である。これらの図に見られるように、RFIDタグ30は、rfidチップ32と多層に配置されたマルチターンアンテナコイル34とを含む。そのコイルは、比較的高い透磁率を持つ材料で製作されて中央に配置された薄膜コア36を備えている。rfidチップ32とコイル34とコア36とは、すべて基板37に支承されている。rfidチップ32は、基板37の主要支持面と平行な面とされた本体面を有する。多層マルチターンアンテナコイル34は、rfidチップ32の本体面に対して鋭角、好ましくは約90度の向きを持つ中央回転軸38を有する。   Referring now to the drawings, FIG. 3 is a top view of the preferred embodiment of the present invention, and FIG. 4 shows the multiple coil turns and multiple coil layers of the preferred embodiment, and the magnetically permeable layer of the antenna. 4 is a cross-sectional view taken along line 4-4 of FIG. As seen in these figures, the RFID tag 30 includes an rfid chip 32 and a multi-turn antenna coil 34 arranged in multiple layers. The coil comprises a thin film core 36 made of a material having a relatively high magnetic permeability and arranged in the center. The rfid chip 32, the coil 34, and the core 36 are all supported on the substrate 37. The rfid chip 32 has a main body surface that is parallel to the main support surface of the substrate 37. The multi-layer multi-turn antenna coil 34 has a central rotation shaft 38 having an acute angle with respect to the main surface of the rfid chip 32, preferably about 90 degrees.

図4において最もよく分かるように、薄膜コア36は、コイル34の層とターンの内部の範囲において基板37の上面からコイル34の上面まで上向きに延びる環状体として形成されている。薄膜コア36は、比較的高い透磁率という性質を持つ多くの周知の材料のいずれか一つから形成されればよい。このような材料の一つは、ニッケル81%と鉄19%で構成されるニッケル鉄合金である。当該技術の熟練者には他の適切な材料が思い浮かぶだろう。コア36の目的は、コイル34の品質係数、ゆえにIDタグ30の動作範囲を向上させることである。   As best seen in FIG. 4, the thin film core 36 is formed as an annular body extending upward from the upper surface of the substrate 37 to the upper surface of the coil 34 in the range of the layers and turns of the coil 34. The thin film core 36 may be made of any one of many well-known materials having the property of relatively high magnetic permeability. One such material is a nickel iron alloy comprised of 81% nickel and 19% iron. Other suitable materials will occur to those skilled in the art. The purpose of the core 36 is to improve the quality factor of the coil 34 and hence the operating range of the ID tag 30.

コイル34を多層にし、かつそれぞれをマルチターンとするとともに、コイル34の回転軸が配置される方向におけるコイル34の空間的向きをrfidチップ32の本体面に対して鋭角、図では基本的に90度とすることによっても、IDタグ30の動作範囲は改善される。   The coils 34 are multi-layered and each is multi-turned, and the spatial orientation of the coil 34 in the direction in which the rotation axis of the coil 34 is arranged is an acute angle with respect to the main body surface of the rfid chip 32, basically 90 in the figure. The operating range of the ID tag 30 is also improved by setting the degree.

IDタグ30は、「コイルオンチップ」IDタグを製造するための周知の技術を用いて製作される。ゆえに、周知の堆積、マスキング、ドーピング、エッチング技術を用いて、数層のrfidチップ32と多層マルチターンコイル34とコア36とを同時に作ることができる。   The ID tag 30 is fabricated using well-known techniques for manufacturing “coil-on-chip” ID tags. Thus, several layers of rfid chip 32, multi-layer multiturn coil 34 and core 36 can be made simultaneously using well-known deposition, masking, doping and etching techniques.

特定の好適な実施形態に関して本発明を説明したが、発明の趣旨を逸脱せずに、多様な変形、代替構造、同等物を採用してもよい。例えば、コイル34を二層のマルチターンを持つコイルとして図示し説明したが、所望であれば、三層以上を持つマルチターンコイルも容易に実現できる。さらに上記のように、説明した特定材料以外の材料でコア36を製作してもよい。そのため、上記は本発明を限定するものと解釈されるべきでなく、本発明は添付クレームにより規定される。   Although the invention has been described with respect to particular preferred embodiments, various modifications, alternative constructions, and equivalents may be employed without departing from the spirit of the invention. For example, although the coil 34 has been illustrated and described as a coil having two layers of multi-turn, a multi-turn coil having three or more layers can be easily realized if desired. Further, as described above, the core 36 may be made of a material other than the specific material described. Therefore, the above should not be construed as limiting the invention, which is defined by the appended claims.

rfidチップとセパレートアンテナとを有する先行技術IDタグの平面図である。It is a top view of a prior art ID tag having an rfid chip and a separate antenna. rfidチップと一体形成アンテナとを有する先行技術IDタグの平面図である。FIG. 6 is a plan view of a prior art ID tag having an rfid chip and an integrally formed antenna. 本発明によるrfidチップと一体形成アンテナとを有するIDタグの平面図である。FIG. 4 is a plan view of an ID tag having an rfid chip and an integrally formed antenna according to the present invention. 多層マルチターンアンテナコイルを示す図3の4−4線における断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line 4-4 of FIG. 3 showing a multilayer multi-turn antenna coil.

符号の説明Explanation of symbols

30 タグ、32 RFIDチップコア、34 コイル、36 コア、37 基板、38 回転軸   30 tags, 32 RFID chip cores, 34 coils, 36 cores, 37 substrates, 38 rotation axes

Claims (7)

上面を有する基板と、
前記基板の前記上面に一体的に形成されたrfidチップとアンテナとの組合せと、
を含み
前記アンテナが、前記基板に対して角度を成して配置された回転軸を包囲する中央開口部を有する複数層の導電ターンを有するコイルを含み、
前記各層が複数の導電ターンを含み、
前記コイルの前記中央開口部に位置決めされ、前記基板の前記上面から、前記複数層のコイルの最上層における前記中央開口部へ延びる透磁材料のコアを含み
前記コイルが、少なくとも2層を備える基本的に螺旋状の構造を持ち、
前記コアが、内部が空洞の薄膜コアである、RFIDタグ。
A substrate having an upper surface ;
A combination of an rfid chip and an antenna integrally formed on the upper surface of the substrate;
It includes,
The antenna includes a coil having a plurality of layers of conductive turns having a central opening surrounding a rotation axis disposed at an angle to the substrate;
Each layer includes a plurality of conductive turns;
A core of magnetically permeable material positioned in the central opening of the coil and extending from the top surface of the substrate to the central opening in the top layer of the multi-layer coil ;
The coil has a basically helical structure with at least two layers;
An RFID tag , wherein the core is a thin film core having a hollow inside .
前記角度がほぼ90度である請求項1の発明。 The invention of claim 1 wherein said angle is approximately 90 degrees. 前記コアが環状である請求項1の発明。The invention of claim 1 wherein the core is annular. (a)上面を有する基板を用意するステップと、(A) providing a substrate having an upper surface;
(b)前記基板にrfid集積回路とアンテナコイルとを同時に形成するステップであって、前記コイルが、前記基板に対して角度を成す回転軸を持つ中央開口部を有する多層のマルチターンコイルとして形成され、前記各層が複数の導電ターンを含むステップと、  (B) simultaneously forming an rfid integrated circuit and an antenna coil on the substrate, wherein the coil is formed as a multi-layer multi-turn coil having a central opening having a rotation axis that forms an angle with the substrate. Each of the layers includes a plurality of conductive turns;
(c)前記コイルの前記中央開口部に位置決めされ、前記基板の前記上面から、前記多層の前記コイルの最上層における前記中央開口部へ延びる透磁性材料のコアを設けるステップと、  (C) providing a core of magnetically permeable material positioned in the central opening of the coil and extending from the upper surface of the substrate to the central opening in the uppermost layer of the multilayer;
を含み、前記コイルが、少なくとも2層を備える基本的に螺旋状の構造として形成され、前記コアが内部が空洞の薄膜コアとして形成される、RFIDタグの作成方法。The coil is formed as a basically spiral structure comprising at least two layers, and the core is formed as a thin film core having a hollow inside.
前記形成するステップ(b)と前記設けるステップ(c)とが同時に実施される請求項4の方法。The method of claim 4, wherein said forming step (b) and said providing step (c) are performed simultaneously. 前記形成するステップ(b)が、前記基板の前記上面に対してほぼ90度の角度を成す回転軸を持つ前記コイルを形成するステップを含む請求項4の方法。The method of claim 4, wherein said forming step (b) includes forming said coil having a rotational axis that is at an angle of approximately 90 degrees to said upper surface of said substrate. 前記コアが環状体として形成される請求項4の方法。The method of claim 4, wherein the core is formed as an annulus.
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