JP4821206B2 - Photosensitive coloring composition for color filter and color filter - Google Patents

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Description

本発明は、感光性着色組成物に関し、特に液晶表示装置や固体撮像素子に用いられるカラーフィルターにおいて、着色層およびブラックマトリックスなどの形成に有用な感光性着色組成物に関する。また、本発明は、該感光性着色組成物を用いて形成されるカラーフィルターに関する。   The present invention relates to a photosensitive coloring composition, and more particularly to a photosensitive coloring composition useful for forming a colored layer, a black matrix, and the like in a color filter used in a liquid crystal display device or a solid-state imaging device. The present invention also relates to a color filter formed using the photosensitive coloring composition.

液晶ディスプレイをカラー化するために、透明基板上にR(レッド)、G(グリーン)、B(ブルー)の3色の画素を、ライン状またはモザイク状に配置したカラーフィルターが用いられている。例えば、現在広く普及しているTFT(薄膜トランジスター)カラー液晶ディスプレイは、カラーフィルターが形成された透明ガラス基板とTFTが形成された透明ガラス基板の間に液晶を封入したパネルと、バックライトと称される光源から構成される。バックライトから発する光が液晶パネルを通る際、その透過率を液晶への印加電圧により制御することにより、画像が表示される。また、これまでは遮光部を形成するためにクロム系の材料が用いられてきたが環境面への配慮から樹脂ブラックマトリクスがよく用いられている。   In order to colorize a liquid crystal display, a color filter is used in which pixels of three colors R (red), G (green), and B (blue) are arranged in a line shape or a mosaic shape on a transparent substrate. For example, a TFT (thin film transistor) color liquid crystal display that is widely used at present is called a backlight in which a liquid crystal is sealed between a transparent glass substrate on which a color filter is formed and a transparent glass substrate on which a TFT is formed. The light source is made up of. When light emitted from the backlight passes through the liquid crystal panel, an image is displayed by controlling the transmittance by the voltage applied to the liquid crystal. In the past, a chromium-based material has been used to form the light shielding portion, but a resin black matrix is often used in consideration of environmental considerations.

従来、アクリル系感光性着色組成物を用いてカラーフィルターを作製する方法は多々提案されており、中でも、顔料とアクリル系樹脂、反応性モノマー、光重合開始剤、を含むネガティブタイプ(露光部硬化型)の感光性着色組成物が広く知られている。このような感光性組成物の硬化は、紫外線照射により光重合開始剤が分解あるいは活性化されてフリーラジカルを生成することによって開始され、このフリーラジカルが近傍に存在するエチレン性不飽和化合物を活性化してラジカル重合が行われることによって進行する。このようなネガ型感光性組成物を用いてカラーフィルターを形成する際には、通常基板上に顔料を含有するネガ型感光性組成物を塗布し、フォトマスクを介して紫外線を照射した後、現像して、紫外線非照射部を現像液で溶解することにより、画素パターンを形成する。   Conventionally, many methods for producing a color filter using an acrylic photosensitive coloring composition have been proposed. Among them, a negative type (exposed portion curing) including a pigment, an acrylic resin, a reactive monomer, and a photopolymerization initiator. Type) photosensitive coloring compositions are widely known. Curing of such a photosensitive composition is initiated by decomposing or activating the photopolymerization initiator by ultraviolet irradiation to generate free radicals, which activate the ethylenically unsaturated compounds present in the vicinity. It progresses when it is converted to radical polymerization. When forming a color filter using such a negative photosensitive composition, usually after applying a negative photosensitive composition containing a pigment on a substrate and irradiating ultraviolet rays through a photomask, The pixel pattern is formed by developing and dissolving the ultraviolet non-irradiated portion with a developer.

しかしながら、このようなネガ型感光性組成物からカラーフィルターを形成しようとすると、アルカリ現像液を用いて現像する際に、放射線の照射により硬化した画素部分がアルカリ現像液により膨張し、得られる画素パターンの分解能が低下したり、画素パターンが変形することがあった。また、画素パターンの密着強度が現像により低下してしまい、画素アレイの形成後に画素パターンが基板から剥離するという欠点もあった。さらに、マスクサイズの設計通りにパターンを形成しようとしても、照射光がマスクの回折により粗雑なパターンとなりやすく、高精度の画素アレイを製造することが困難であった。そのため、微細な画素アレイを形成する場合であっても、高精度でかつ基板との密着強度に優れ、穏和な露光条件下においても画素アレイを形成しうるネガ型の感光性着色組成物の開発が望まれていた。   However, when trying to form a color filter from such a negative photosensitive composition, when developing with an alkali developer, the pixel portion cured by irradiation with radiation expands with the alkali developer, resulting in a pixel. In some cases, the resolution of the pattern is lowered or the pixel pattern is deformed. In addition, the adhesion strength of the pixel pattern is reduced by development, and there is a disadvantage that the pixel pattern is peeled off from the substrate after the pixel array is formed. Furthermore, even if an attempt is made to form a pattern according to the mask size design, the irradiation light tends to be a rough pattern due to the diffraction of the mask, making it difficult to manufacture a highly accurate pixel array. Therefore, even when forming a fine pixel array, development of a negative photosensitive coloring composition that is highly accurate and has excellent adhesion strength to the substrate and can form a pixel array even under mild exposure conditions. Was desired.

従来のカラーフィルタを製造する感光性着色組成物としては、アルカリ可溶性樹脂、エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤、着色剤を主成分とする感光性着色組成物に、チオホスファイト化合物を0.01〜20質量%含有することにより、感度を向上させる方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。また、透明樹脂、色素などを主成分とする感光性着色組成物に、オキシム系の光重合開始剤を含有することにより、感度を向上させ、露光時間を短縮する方法が提案されている(例えば、特許文献2参照)。   As a photosensitive coloring composition for producing a conventional color filter, a thiophosphite compound is added to a photosensitive coloring composition mainly composed of an alkali-soluble resin, an ethylenically unsaturated compound, a photopolymerization initiator, and a coloring agent. A method of improving sensitivity by containing 0.01 to 20% by mass has been proposed (for example, see Patent Document 1). In addition, a method for improving sensitivity and shortening the exposure time by including an oxime-based photopolymerization initiator in a photosensitive coloring composition mainly composed of a transparent resin, a pigment and the like has been proposed (for example, , See Patent Document 2).

しかしながら、上記のような感光性着色組成物を用いてパターニングすると、画素がマスクサイズに対して太るという問題が生じ、露光条件に関わらず高精細な画素アレイを設計通りに得ることは困難であった。また、現像条件を強くした場合には、画素の欠けや剥がれなどの問題が発生し、広い現像マージンを持った感光性着色組成物の開発が望まれていた。
露光量の変化に対するパターン形状のばらつきの対策としては、感光性着色組成物にヒンダードフェノール系酸化防止剤が使用されている例(例えば、特許文献3参照)や、リン酸系酸化防止剤が使用されている例(例えば、特許文献4参照)が提案されている。しかしながら、これらの組成物を使用した場合、露光量または露光照度を一定以上に上げた場合に生ずるパターンの太りは改善できるものの、露光ギャップを広げた場合に生じる画素の太りに対する効果は不十分であった。また、これらの酸化防止剤を用いた場合には感度の低下を引き起こしやすく、画素の欠けや剥がれが発生するおそれがあった。
However, patterning using the photosensitive coloring composition as described above causes a problem that the pixels become thicker than the mask size, and it is difficult to obtain a high-definition pixel array as designed regardless of the exposure conditions. It was. Further, when the development conditions are strengthened, problems such as pixel chipping and peeling occur, and the development of a photosensitive coloring composition having a wide development margin has been desired.
Examples of countermeasures against variations in pattern shape with respect to changes in exposure dose include examples in which hindered phenolic antioxidants are used in photosensitive coloring compositions (see, for example, Patent Document 3), and phosphoric acid antioxidants. An example in use (see, for example, Patent Document 4) has been proposed. However, when these compositions are used, the pattern thickness that occurs when the exposure amount or exposure illuminance is raised above a certain level can be improved, but the effect on the pixel thickness that occurs when the exposure gap is widened is insufficient. there were. Further, when these antioxidants are used, the sensitivity is likely to be lowered, and there is a possibility that the pixel is chipped or peeled off.

酸化防止剤と類似の働きを示すものとして、重合禁止剤が、ゲル化防止などの保存安定性の改善や、ポリマー製造時における重合反応の抑制などに使用できることが知られている。例えば、ハイドロキノン系の重合禁止剤を含有する着色組成物が提案されて(例えば、特許文献5参照)おり、熱硬化タイプの組成物のゲル化防止に効果があるとされる。ポリマー製造時に使用される例としては、ラジカル重合性基含有イソシアネート化合物を主鎖の酸性官能基に反応させてアミド結合させる際に、ラジカル重合性基の反応抑制にフェノール系およびホスファイト系の重合禁止剤が使用されている(例えば、特許文献6参照)。   It is known that a polymerization inhibitor can be used for improving storage stability such as prevention of gelation and suppressing a polymerization reaction during the production of a polymer, as having a function similar to that of an antioxidant. For example, a coloring composition containing a hydroquinone-based polymerization inhibitor has been proposed (see, for example, Patent Document 5), and is said to be effective in preventing gelation of a thermosetting type composition. Examples of polymers used in polymer production include phenol-based and phosphite-based polymerization for suppressing radical-polymerizable groups when reacting amide bonds by reacting radical-polymerizable group-containing isocyanate compounds with acidic functional groups in the main chain. Inhibitors are used (see, for example, Patent Document 6).

しかし、これら重合禁止剤を感光性着色組成物に添加することは、これまであまり詳細に検討されてこなかった。
一方、画素の高精細化を図る方法として、酸性基含有モノマーを用いることが提案されている(例えば、特許文献7参照)。しかし、これらのものを用いただけでは、満足のいく露光マージン、現像マージンを得ることは難しく、高感度でありながら高精細な画素アレイを設計通りに形成することができる感光性着色組成物の開発が切望されていた。
特開平5−255419号公報 特開2005−99488号公報 特開2002−22925号公報 特開2003−25524号公報 特開平7−228811号公報 特開2001−106765号公報 特開2004−287232号公報
However, the addition of these polymerization inhibitors to the photosensitive coloring composition has not been studied in detail so far.
On the other hand, it has been proposed to use an acidic group-containing monomer as a method for achieving high definition of pixels (see, for example, Patent Document 7). However, it is difficult to obtain satisfactory exposure and development margins using only these materials, and development of photosensitive coloring compositions that can form high-definition pixel arrays as designed while maintaining high sensitivity. Was anxious.
JP-A-5-255419 JP 2005-99488 A JP 2002-22925 A JP 2003-25524 A Japanese Patent Laid-Open No. 7-228811 JP 2001-106765 A JP 2004-287232 A

本発明は、かかる従来技術の欠点に鑑み創案なされたもので、その目的とするところは、高精細なパターンを高感度でかつ、露光条件にばらつきが生じた場合でも設計通りに形成でき、実用的に有利なカラーフィルター用着色組成物を提供せんとするものである。   The present invention was devised in view of the shortcomings of the prior art, and the object of the present invention is that a high-definition pattern can be formed as designed even when the exposure conditions vary with high sensitivity and practical use. It is an object of the present invention to provide a coloring composition for an advantageous color filter.

上記課題を解決するため、本発明は次の構成を有する。すなわち、
(1)少なくとも顔料、アクリル系樹脂、反応性モノマー、光重合開始剤、重合禁止剤、および有機溶剤を含有するカラーフィルター用感光性着色組成物において、重合禁止剤がヒドロキノン系あるいはカテコール系の重合禁止剤であって、かつ、反応性モノマーが下記構造式(1)で表されるものを含有し、さらに光重合開始剤として、下記構造式(2)で表される化合物を含有することを特徴とするカラーフィルター用感光性着色組成物。

Figure 0004821206
(式中、nは1〜4の整数を表し、−R は−Hもしくは−CH を表し、−X−は−O−、−O(CH CH O−、または−O(CH CH CH O−を表し、−Y−は炭素数1〜8のアルキレン基、ならびにそれぞれ置換されていても良いフェニレン基、シクロヘキシレン基、およびシクロヘキシレン基の一部が不飽和結合である基、からなる群から選ばれる基を表す。但し、mは1〜8の整数を表す。)
Figure 0004821206
(式中、Arは置換されていても良いアリール基を表し、R は炭素数1〜6のアルキル基を表す)
(2)前記反応性モノマー全体の酸価が5〜50mgKOH/gであるものを含有することを特徴とする(1)に記載のカラーフィルター用感光性着色組成物。
(3)前記重合禁止剤が顔料を除く固形分量に対して、0.1〜3質量%含まれることを特徴とする(1)または(2)に記載のカラーフィルター用感光性着色組成物。
(4)前記重合禁止剤として、下記構造式(3)または(4)で表される化合物を含有することを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載のカラーフィルター用感光性着色組成物。
Figure 0004821206
(式中、R 、R 、R 、はそれぞれ独立に水素原子もしくは炭素数1〜10のアルキル基、脂環式基を表す)
(5)任意の色数で各色別に所望のパターン状に設けられた着色層からなる画素を有するカラーフィルターにおいて、該着色層が(1)〜(4)のいずれかに記載のカラーフィルター用感光性着色組成物により形成される着色膜を含有することを特徴とするカラーフィルター。 In order to solve the above problems, the present invention has the following configuration. That is,
(1) In a photosensitive color composition for a color filter containing at least a pigment, an acrylic resin, a reactive monomer, a photopolymerization initiator, a polymerization inhibitor, and an organic solvent, the polymerization inhibitor is a hydroquinone-based or catechol-based polymerization. It is an inhibitor, and the reactive monomer contains one represented by the following structural formula (1), and further contains a compound represented by the following structural formula (2) as a photopolymerization initiator. A photosensitive coloring composition for a color filter.
Figure 0004821206
(Wherein, n represents an integer of 1 to 4, -R 1 represents -H or -CH 3, -X- is -O -, - O (CH 2 CH 2) m O-, or -O (CH 2 CH 2 CH 2 ) m O—, wherein —Y— is an alkylene group having 1 to 8 carbon atoms, and a phenylene group, a cyclohexylene group, and a part of the cyclohexylene group, each of which may be substituted. Represents a group selected from the group consisting of a group that is an unsaturated bond, provided that m represents an integer of 1 to 8.)
Figure 0004821206
(In the formula, Ar represents an optionally substituted aryl group, and R 2 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms)
(2) The photosensitive coloring composition for color filters as described in (1), wherein the total reactive monomer has an acid value of 5 to 50 mgKOH / g.
(3) The photosensitive coloring composition for color filters according to (1) or (2), wherein the polymerization inhibitor is contained in an amount of 0.1 to 3% by mass based on the solid content excluding the pigment.
(4) The photosensitizer for a color filter according to any one of (1) to (3), wherein the polymerization inhibitor contains a compound represented by the following structural formula (3) or (4): Coloring composition.
Figure 0004821206
(In the formula, R 3 , R 4 and R 5 each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, or an alicyclic group)
(5) A color filter having a pixel composed of a colored layer provided in a desired pattern for each color with an arbitrary number of colors, wherein the colored layer is a photosensitive material for a color filter according to any one of (1) to (4). A color filter comprising a colored film formed from a conductive coloring composition.

本発明の感光性着色組成物を用いることにより、高精細なパターンを高感度でかつ、露光条件にばらつきが生じた場合でも設計通りに形成でき、実用的に有利なカラーフィルター用着色組成物を得ることができる。   By using the photosensitive coloring composition of the present invention, a high-definition pattern can be formed as designed even when there is variation in exposure conditions with high sensitivity. Obtainable.

本発明の感光性着色組成物に用いられる顔料としては、有機顔料、無機顔料等を用いることができるが、耐熱性、透明性の面から有機顔料が好ましい。中でも透明性が高く、耐光性、耐熱性、耐薬品性に優れたものが好ましい。代表的な有機顔料の具体的な例をカラ−インデックス(CI)ナンバ−で示すと、次のようなものが好ましく使用されるが、いずれもこれらに限定されるものではない。   As the pigment used in the photosensitive coloring composition of the present invention, an organic pigment, an inorganic pigment, or the like can be used, but an organic pigment is preferable from the viewpoint of heat resistance and transparency. Among them, those having high transparency and excellent light resistance, heat resistance, and chemical resistance are preferable. When specific examples of typical organic pigments are represented by color index (CI) numbers, the following are preferably used, but they are not limited to these.

黄色顔料の例としては、ピグメントイエロ−(以下PYと略す)12、13、17、20、24、83、86、93、95、109、110、117、125、129、137、138、139、147、148、150、153、154、166、168、185などが使用される。   Examples of yellow pigments include pigment yellow (hereinafter abbreviated as PY) 12, 13, 17, 20, 24, 83, 86, 93, 95, 109, 110, 117, 125, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 153, 154, 166, 168, 185, etc. are used.

また、オレンジ色顔料の例としては、ピグメントオレンジ(以下POと略す)13、36、38、43、51、55、59、61、64、65、71などが使用される。   Examples of orange pigments include pigment orange (hereinafter abbreviated as PO) 13, 36, 38, 43, 51, 55, 59, 61, 64, 65, 71, and the like.

また、赤色顔料の例としては、ピグメントレッド(以下PRと略す)9、48、97、122、123、144、149、166、168、177、179、180、192、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、254などが使用される。   Examples of red pigments include pigment red (hereinafter abbreviated as PR) 9, 48, 97, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 177, 179, 180, 192, 209, 215, 216, 217. 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 254, etc. are used.

また、紫色顔料の例としては、ピグメントバイオレット(以下PVと略す)19、23、29、30、32、37、40、50などが使用される。   Examples of purple pigments include pigment violet (hereinafter abbreviated as PV) 19, 23, 29, 30, 32, 37, 40, 50, and the like.

また、青色顔料の例としては、ピグメントブル−(以下PBと略す)15、15:3、15:4、15:6、22、60、64などが使用される。   Examples of blue pigments include pigment blue (hereinafter abbreviated as PB) 15, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 22, 60, 64, and the like.

また、緑色顔料の例としては、ピグメントグリ−ン(以下PGと略す)7、10、36、などが使用される。   Examples of green pigments include pigment green (hereinafter abbreviated as PG) 7, 10, 36, and the like.

これらの顔料は、必要に応じて、ロジン処理、酸性基処理、塩基性処理などの表面処理がされていてもかまわず、耐光性や耐溶剤性を損なわない程度に染料を含むことができる。   These pigments may be subjected to surface treatment such as rosin treatment, acidic group treatment, basic treatment and the like, if necessary, and can contain a dye to such an extent that the light resistance and solvent resistance are not impaired.

上記顔料は、例えばカラ−フィルタ−のR(レッド)、G(グリーン)、B(ブルー)3色の画素が、CRT(陰極線管)蛍光体の色度特性、バックライトや液晶ディスプレイに用いる液晶特性に合うように、数色組み合わせて調色され使用することもできる。
R(レッド)の場合を例にあげると、PR−254とPR−177の組合せ、PR−254とPY−138の組合せ、PR−254とPY−139の組合せ、PR−209とPO−38の組合せ等で色度が調色される。
The pigment is, for example, a color filter R (red), G (green), or B (blue) three-color pixel, chromaticity characteristics of a CRT (cathode ray tube) phosphor, liquid crystal used in a backlight or a liquid crystal display. To match the characteristics, it is possible to mix and use several colors.
Taking the case of R (red) as an example, a combination of PR-254 and PR-177, a combination of PR-254 and PY-138, a combination of PR-254 and PY-139, a combination of PR-209 and PO-38 The chromaticity is adjusted by combination or the like.

G(グリーン)の場合は、PG−7やPG−36と上記黄色顔料、例えば、PY−17、PY−83の組合せやPY−138の組合せ、PY−139の組合せ、PY−150の組合せ等で色度が調色される。   In the case of G (green), PG-7, PG-36 and the above yellow pigment, for example, PY-17, PY-83, PY-138, PY-139, PY-150, etc. To adjust the chromaticity.

B(ブルー)の場合は、PB15:3やPB:15:6と紫色顔料、例えばPV−19やPV−23の組み合わせで調色される。   In the case of B (blue), the color is adjusted by a combination of PB15: 3 or PB: 15: 6 and a purple pigment such as PV-19 or PV-23.

また、樹脂ブラックマトリクスに使用される顔料は、使用する有機溶剤および水に不溶であり遮光剤としての役割を果たすものであれば、特に限定されない。有機顔料としてピグメントブラック7の他、カーボンブラック、黒鉛、酸化鉄、酸化マンガン、チタンブラックなどが遮光剤として使用され、さらに表面処理を好ましく行うことができる。また、必要に応じて、これら遮光剤を混合して用いることもでき、他の色の顔料を添加することもできる。これら遮光剤のなかでも、少ない使用量で高い遮光性を得られることから、チタンブラックを含むことが好ましい。
本発明の感光性着色組成物は顔料を用い、分散機を用いて溶液中に均一に分散することが好ましい。顔料の分散方法に特に限定はなく、ボールミル、サンドグラインダー、3本ロールミル、高速度衝撃ミル、ビーズミルなど、公知の方法が使用できる。メディアを用いたビーズミルは微細な顔料を分散できるため好ましく用いられ、高精細なパターンを形成するのに好適である。
The pigment used in the resin black matrix is not particularly limited as long as it is insoluble in the organic solvent and water used and plays a role as a light shielding agent. In addition to pigment black 7 as an organic pigment, carbon black, graphite, iron oxide, manganese oxide, titanium black and the like are used as a light shielding agent, and surface treatment can be preferably performed. If necessary, these light-shielding agents can be mixed and used, and pigments of other colors can be added. Among these light-shielding agents, titanium black is preferably included because high light-shielding properties can be obtained with a small amount of use.
The photosensitive coloring composition of the present invention preferably uses a pigment and is uniformly dispersed in a solution using a disperser. The method for dispersing the pigment is not particularly limited, and known methods such as a ball mill, a sand grinder, a three-roll mill, a high speed impact mill, and a bead mill can be used. A bead mill using media is preferably used because it can disperse fine pigments, and is suitable for forming a high-definition pattern.

分散機を用いて顔料を分散させる工程としては、顔料と、アクリル系ポリマー、反応性モノマー、光重合開始剤、有機溶剤、および重合禁止剤を直接、分散機に投入し感光性着色組成物を得ることもできるが、生産性および設備面の簡便さの観点から、顔料、有機溶剤、好ましくはアクリル系ポリマー、好ましくはさらに分散剤を含有する顔料分散液としてあらかじめ調整しておくことが好ましい。   As a step of dispersing the pigment using a disperser, the pigment, an acrylic polymer, a reactive monomer, a photopolymerization initiator, an organic solvent, and a polymerization inhibitor are directly added to the disperser, and a photosensitive coloring composition is prepared. Although it can be obtained, it is preferable to prepare in advance as a pigment dispersion containing a pigment, an organic solvent, preferably an acrylic polymer, and preferably a dispersant, from the viewpoint of productivity and ease of equipment.

有機溶剤としては、特に限定されるものではなく、例えばメチルセロソルブ、エチルセロソルブ、メチルカルビトール、エチルカルビトール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールブチルエチルエーテルなどの(ポリ)アルキレングリコールエーテル系溶剤、あるいは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、アセト酢酸エチル、メチル―3―メトキシプロピオネート、エチル−3−エトキシプロピオネート、メトキシブチルアセテート、3―メチル―3―メトキシブチルアセテートなどの脂肪族エステル類、あるいは、エタノール、ブタノール、イソプロパノール、3―メチル―3―メトキシブタノールなどの脂肪族アルコール類、シクロペンタノン、シクロヘキサノンなどのケトン類を用いることができ、これらの単独、あるいは2種類以上の混合溶剤も好ましく用いることができる。またこれら以外の溶剤との混合も好ましく用いられる。   The organic solvent is not particularly limited, for example, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, methyl carbitol, ethyl carbitol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, (Poly) alkylene glycol ether solvents such as diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, diethylene glycol butyl ethyl ether, or propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, ethyl acetoacetate, methyl-3-methoxypropio , Ethyl-3-ethoxypropionate, methoxybut Aliphatic esters such as rubacetate and 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, or aliphatic alcohols such as ethanol, butanol, isopropanol and 3-methyl-3-methoxybutanol, and ketones such as cyclopentanone and cyclohexanone These can be used, and these alone or two or more kinds of mixed solvents can also be preferably used. Mixing with other solvents is also preferably used.

使用できるアクリル系樹脂としては、特に限定はないが、不飽和カルボン酸とエチレン性不飽和化合物の共重合体を好ましく用いることができる。不飽和カルボン酸の例としては、例えばアクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、あるいは酸無水物などがあげられる。   The acrylic resin that can be used is not particularly limited, but a copolymer of an unsaturated carboxylic acid and an ethylenically unsaturated compound can be preferably used. Examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides.

これらは単独で用いても良いが、他の共重合可能なエチレン性不飽和化合物と組み合わせて用いても良い。共重合可能なエチレン性不飽和化合物としては、具体的には、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、アクリル酸n−プロピル、アクリル酸イソプロピル、メタクリル酸nープロピル、メタクリル酸イソプロピル、アクリル酸n−ブチル、メタクリル酸n−ブチル、アクリル酸sec−ブチル、メタクリル酸sec−ブチル、アクリル酸イソ−ブチル、メタクリル酸イソ−ブチル、アクリル酸tert−ブチル、メタクリル酸tert−ブチル、アクリル酸n−ペンチル、メタクリル酸n−ペンチル、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸アルキルエステル、スチレン、p−メチルスチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチレン、α−メチルスチレンなどの芳香族ビニル化合物、アミノエチルアクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロルアクリロニトリルなどのシアン化ビニル化合物、1,3−ブタジエン、イソプレンなどの脂肪族共役ジエン、それぞれ末端にアクリロイル基、あるいはメタクリロイル基を有するポリスチレン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリブチルアクリレート、ポリブチルメタクリレート、ポリシリコーンなどのマクロモノマーなどがあげられるが、これらに限定されるものではない。   These may be used alone or in combination with other copolymerizable ethylenically unsaturated compounds. Specific examples of the copolymerizable ethylenically unsaturated compound include methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-propyl methacrylate, and methacrylic acid. Isopropyl, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl acrylate, sec-butyl methacrylate, iso-butyl acrylate, iso-butyl methacrylate, tert-butyl acrylate, tert-butyl methacrylate, N-pentyl acrylate, n-pentyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, and other unsaturated carboxylic acid alkyl esters, styrene, p-methyls Rene, aromatic vinyl compounds such as o-methylstyrene, m-methylstyrene and α-methylstyrene, unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters such as aminoethyl acrylate, unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate, Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate and vinyl propionate, vinyl cyanide compounds such as acrylonitrile, methacrylonitrile, and α-chloroacrylonitrile, aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene and isoprene, acryloyl groups at the terminals, Alternatively, macromonomers such as polystyrene, polymethyl acrylate, polymethyl methacrylate, polybutyl acrylate, polybutyl methacrylate, and polysilicone having a methacryloyl group And the like, but is not limited to these.

また、側鎖にエチレン性不飽和基を付加したアクリル系樹脂を用いると、加工の際の感度がよくなるので好ましく用いることができる。エチレン性不飽和基としては、ビニル基、アリル基、アクリル基、メタクリル基のようなものがある。このような側鎖をアクリル系(共)重合体に付加させる方法としては、アクリル系(共)重合体のカルボキシル基や水酸基などを有する場合には、これらにエポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸またはメタクリル酸クロライドを付加反応させる方法が一般的である。その他、イソシアネートを利用してエチレン性不飽和基を有する化合物を付加させることもできる。
主鎖に対して付加することのできる不飽和基を有するエポキシ化合物としては、グリシジル基あるいは脂環式エポキシ基を有するエチレン性不飽和化合物が挙げられる。
Further, when an acrylic resin having an ethylenically unsaturated group added to the side chain is used, it can be preferably used because the sensitivity during processing is improved. Examples of ethylenically unsaturated groups include vinyl groups, allyl groups, acrylic groups, and methacrylic groups. As a method for adding such a side chain to an acrylic (co) polymer, when it has a carboxyl group or a hydroxyl group of an acrylic (co) polymer, an ethylenically unsaturated compound having an epoxy group therein In general, an addition reaction of acrylic acid or methacrylic acid chloride is used. In addition, a compound having an ethylenically unsaturated group can be added using isocyanate.
Examples of the epoxy compound having an unsaturated group that can be added to the main chain include an ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or an alicyclic epoxy group.

特に限定されるわけではないが、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート、アリルグリシジルエーテル、α−エチルアクリル酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、(イソ)クロトン酸グリシジルエーテル、N−(3,5−ジメチル−4−グリシジル)ベンジルアクリルアミド、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレートや特開2002−12607号公報記載のエポキシ化合物などがあげられる。特にメタクリル酸および/またはアクリル酸とメタクリル酸メチル、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、スチレンから選ばれた3〜4元共重合体にグリシジルメタクリレートを付加したものは、感度および現像性が良好であるため好ましく用いられる。   Although not particularly limited, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, allyl glycidyl ether, glycidyl α-ethyl acrylate, crotonyl glycidyl ether, (iso) crotonic acid glycidyl ether, N- (3,5-dimethyl-4-l Examples thereof include glycidyl) benzylacrylamide, (3,4-epoxycyclohexyl) methyl (meth) acrylate, and epoxy compounds described in JP-A No. 2002-12607. In particular, those obtained by adding glycidyl methacrylate to a 3-4 quaternary copolymer selected from methacrylic acid and / or acrylic acid and methyl methacrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, benzyl methacrylate, and styrene have good sensitivity and developability. Therefore, it is preferably used.

これらの不飽和基を有するエポキシ化合物の付加量は、アクリル共重合体のカルボキシル基に対して0.05〜0.8当量の範囲が好ましく、さらに好ましくは0.1〜0.6当量である。エポキシ化合物の付加量が0.05当量未満では現像許容幅が狭いうえ、パターンエッジの切れが悪くなりやすく、またこの付加量が0.8当量より大きい場合は、未露光部の現像液溶解性が低下したり塗膜硬度が低くなりやすく、実用性のあるカラーフィルターが得られにくい。   The addition amount of the epoxy compound having an unsaturated group is preferably in the range of 0.05 to 0.8 equivalent, more preferably 0.1 to 0.6 equivalent, relative to the carboxyl group of the acrylic copolymer. . When the addition amount of the epoxy compound is less than 0.05 equivalent, the allowable development width is narrow and the pattern edge is likely to be cut off. When the addition amount is more than 0.8 equivalent, the solubility of the developer in the unexposed area is dissolved. Or the coating film hardness tends to be low, and a practical color filter is difficult to obtain.

主鎖に対して不飽和基を有するエポキシ化合物を付加する際には触媒を使用することが好ましく、具体的には、トリエチルアミン、ジメチルブチルアミン、ジメチルベンジルアミン、ジエチルベンジルアミン、エチレンジアミン、ジメチルアミノピリジンなどの3級アミン、ドデシルトリメチルアンモニウムクロライド、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド、テトラメチルアンモニムクロライド、テトラエチルアンモニウムブロマイドなどの4級アンモニウム塩、テトラメチル尿素、テトラメチルグアニジン、ピリジン、トリフェニルフォスフィンなどを単独、または組み合わせて用いることができる。これらの中でも特にジメチルベンジルアミンを用いることが付加反応の容易さの点から好ましい。   When adding an epoxy compound having an unsaturated group to the main chain, it is preferable to use a catalyst. Specifically, triethylamine, dimethylbutylamine, dimethylbenzylamine, diethylbenzylamine, ethylenediamine, dimethylaminopyridine, etc. A quaternary ammonium salt such as tertiary amine, dodecyltrimethylammonium chloride, triethylbenzylammonium chloride, tetramethylammonium chloride, tetraethylammonium bromide, tetramethylurea, tetramethylguanidine, pyridine, triphenylphosphine alone, or They can be used in combination. Of these, dimethylbenzylamine is particularly preferred from the viewpoint of the ease of the addition reaction.

かかる方法により製造された側鎖に不飽和基を持つアクリルポリマーは、さらにイオン交換法や再沈殿により精製することもできる。再沈殿の方法としては、かかるバインダー樹脂溶液を水、または種々の有機溶媒と混合することで沈殿させて粉末品とすることができる。   The acrylic polymer having an unsaturated group in the side chain produced by such a method can be further purified by an ion exchange method or reprecipitation. As a method of reprecipitation, the binder resin solution can be precipitated by mixing with water or various organic solvents to form a powder product.

本発明におけるバインダー樹脂の平均分子量Mw(ゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定し、標準ポリスチレンによる検量線を用いて換算したもの)は、3千〜20万が好ましく、さらに好ましくは9千〜10万である。3千未満では十分な硬化膜強度が得られず、また、20万を超えると現像性が悪化するため、好ましくない。また、適度なアルカリ現像性を得るためには、酸価は50〜200(mgKOH/g)であることが好ましく、70〜150(mgKOH/g)がより好ましい。   The average molecular weight Mw (measured by gel permeation chromatography and converted using a standard polystyrene calibration curve) of the binder resin in the present invention is preferably 3,000 to 200,000, more preferably 9000 to 100,000. is there. If it is less than 3,000, sufficient cured film strength cannot be obtained, and if it exceeds 200,000, developability deteriorates, which is not preferable. Moreover, in order to obtain moderate alkali developability, the acid value is preferably 50 to 200 (mgKOH / g), more preferably 70 to 150 (mgKOH / g).

分散剤としては、公知のものが使用でき、顔料誘導体や高分子分散剤などと呼ばれることもある。顔料誘導体としては、例えば顔料骨格のアルキルアミン変性体やカルボン酸誘導体、スルホン酸誘導体などを挙げることができ、シナジストとして顔料の湿潤や微細顔料の安定化に有効である。これら顔料誘導体の中でも、有機顔料のスルホン酸誘導体は微細顔料の安定化に効果が大きく、好ましく用いられる。高分子分散剤としては、通常、カラーフィルター用に使用されるものであれば、特に限定されず、ポリエステル、ポリアルキルアミン、ポリアリルアミン、ポリイミン、ポリアミド、ポリウレタン、ポリアクリレート、ポリイミド、ポリアミドイミド、などのポリマー、またはこれらの共重合体など、種々のものを単独、または混合して用いることができる。これら高分子分散剤の中でも、アミン価および酸価を持ったものが好ましく、具体的には、固形分換算のアミン価が5〜200であり酸価が1〜100であるものが好ましい。これら分散剤を用いることで、顔料分散液ひいては感光性着色組成物の保存安定性が向上するため、好ましく用いられる。   As the dispersant, a known one can be used, and it is sometimes called a pigment derivative or a polymer dispersant. Examples of the pigment derivative include a modified alkylamine of a pigment skeleton, a carboxylic acid derivative, and a sulfonic acid derivative. As a synergist, the pigment derivative is effective for wetting the pigment and stabilizing the fine pigment. Among these pigment derivatives, sulfonic acid derivatives of organic pigments are highly effective for stabilizing fine pigments and are preferably used. The polymer dispersant is not particularly limited as long as it is usually used for a color filter, and is not limited to polyester, polyalkylamine, polyallylamine, polyimine, polyamide, polyurethane, polyacrylate, polyimide, polyamideimide, etc. Various polymers such as these polymers or copolymers thereof can be used alone or in admixture. Among these polymer dispersants, those having an amine value and an acid value are preferable, and specifically, those having an amine value in terms of solid content of 5 to 200 and an acid value of 1 to 100 are preferable. By using these dispersants, the storage stability of the pigment dispersion and thus the photosensitive coloring composition is improved, so that it is preferably used.

かかる方法によって顔料分散液を調整した後、アクリル系樹脂、反応性モノマー、光重合開始剤、重合禁止剤、その他添加剤等を混合した希釈ワニスを用意し、顔料分散液と混合することで、感光性着色組成物を得ることができる。   After preparing the pigment dispersion by such a method, preparing a diluted varnish mixed with an acrylic resin, a reactive monomer, a photopolymerization initiator, a polymerization inhibitor, other additives, etc., and mixing with the pigment dispersion, A photosensitive coloring composition can be obtained.

アクリル系樹脂としては、上記のものが使用でき、また、顔料分散液にあらかじめ含有されている場合は、同じものであっても異なっていても良い。
反応性モノマーとしては、下記構造式(1)で表されるものを含有することが好ましい。
As the acrylic resin, those described above can be used, and when they are previously contained in the pigment dispersion, they may be the same or different.
As a reactive monomer, it is preferable to contain what is represented by following Structural formula (1).

Figure 0004821206
Figure 0004821206

(式中、nは1〜4の整数を表し、−Rは−Hもしくは−CHを表し、−X−は−O−、−O(CHCHO−、または−O(CHCHCHO−を表し、−Y−は炭素数1〜8のアルキレン基、ならびにそれぞれ置換されていても良いフェニレン基、シクロヘキシレン基、およびシクロヘキシレン基の一部が不飽和結合である基、からなる群から選ばれる基を表す。但し、mは1〜8の整数を表す。)
これら、構造式(1)で表される反応性モノマーとしては、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートや、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートのエチレンオキサイド変性物、プロピレンオキサイド変性物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートのオリゴマーなどを、無水コハク酸、無水1−ドデセニルコハク酸、無水マレイン酸、無水グルタル酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラメチレン無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、無水テトラクロロフタル酸、無水テトラブロモフタル酸、無水クロレンディク酸、無水トリメリット酸等の酸無水物を、N,N−ジメチルベンジルアミン、トリエチルアミン、トリブチルアミン、トリエチレンジアミン、ベンジルトリメチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリエチルアンモニウムブロマイド、テトラメチルアンモニウムブロマイド、セチルトリメチルアンモニウムブロマイド、酸化亜鉛等の触媒の存在下、60〜110℃で1〜20時間反応させることにより得る事ができる。
(Wherein, n represents an integer of 1 to 4, -R 1 represents -H or -CH 3, -X- is -O -, - O (CH 2 CH 2) m O-, or -O (CH 2 CH 2 CH 2 ) m O—, wherein —Y— is an alkylene group having 1 to 8 carbon atoms, and a phenylene group, a cyclohexylene group, and a part of the cyclohexylene group, each of which may be substituted. Represents a group selected from the group consisting of a group that is an unsaturated bond, provided that m represents an integer of 1 to 8.)
These reactive monomers represented by the structural formula (1) include dipentaerythritol penta (meth) acrylate, ethylene oxide modified products of dipentaerythritol penta (meth) acrylate, propylene oxide modified products, dipentaerythritol penta (Meth) acrylate oligomers, succinic anhydride, 1-dodecenyl succinic anhydride, maleic anhydride, glutaric anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, tetramethylene anhydride Maleic acid, tetrahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, endomethylenetetrahydrophthalic anhydride, methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride, tetrachlorophthalic anhydride, tetrabromophthalic anhydride, Acid anhydrides such as water chlorendic acid, trimellitic anhydride, N, N-dimethylbenzylamine, triethylamine, tributylamine, triethylenediamine, benzyltrimethylammonium chloride, benzyltriethylammonium bromide, tetramethylammonium bromide, cetyltrimethylammonium bromide It can be obtained by reacting at 60 to 110 ° C. for 1 to 20 hours in the presence of a catalyst such as zinc oxide.

反応性モノマーは2種類以上を混合して用いることもでき、上記の他に、例えば、ビスフェノールAジグリシジルエーテル(メタ)アクリレート、ポリ(メタ)アクリレートカルバメート、変性ビスフェノールAエポキシ(メタ)アクリレート、アジピン酸1,6−ヘキサンジオール(メタ)アクリル酸エステル、無水フタル酸プロピレンオキサイド(メタ)アクリル酸エステル、トリメリット酸ジエチレングリコール(メタ)アクリル酸エステル、ロジン変性エポキシジ(メタ)アクリレート、アルキッド変性(メタ)アクリレートのようなオリゴマー、あるいはトリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリアクリルホルマール、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ビスフェノキシエタノールフルオレンジアクリレート、ジシクロペンタンジエニルジアクリレート、もしくはこれらのアルキル変性物、アルキルエーテル変性物やアルキルエステル変性物などを用いることができる。   Two or more types of reactive monomers can be mixed and used. In addition to the above, for example, bisphenol A diglycidyl ether (meth) acrylate, poly (meth) acrylate carbamate, modified bisphenol A epoxy (meth) acrylate, adipine Acid 1,6-hexanediol (meth) acrylic acid ester, propylene oxide phthalate anhydride (meth) acrylic acid ester, trimellitic acid diethylene glycol (meth) acrylic acid ester, rosin-modified epoxy di (meth) acrylate, alkyd-modified (meth) Oligomers such as acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, bisphenol A diglycidyl ether di (meth) acrylate, Methylolpropane tri (meth) acrylate, tetratrimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, triacryl formal, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol Penta (meth) acrylate, bisphenoxyethanol full orange acrylate, dicyclopentanedienyl diacrylate, or an alkyl modified product, an alkyl ether modified product, an alkyl ester modified product, or the like thereof can be used.

これら反応性モノマー、2種類以上を混合して用いた場合は反応性モノマー全体での酸価は5〜50mgKOH/gであるものが好ましく、10〜40mgKOH/gであるものがさらに好ましい。酸価が5mgKOH/gより低いと、アルカリ現像液に対する親和性が低く現像残渣などの原因となるため好ましくなく、酸価が50mgKOH/gより高いと、逆に現像液に対する親和性が高すぎてパターンの欠けや剥がれなどが起きやすいため、好ましくない。   When these reactive monomers are used as a mixture of two or more, the acid value of the whole reactive monomer is preferably 5 to 50 mgKOH / g, more preferably 10 to 40 mgKOH / g. If the acid value is lower than 5 mgKOH / g, it is not preferable because the affinity for the alkaline developer is low and causes a development residue. If the acid value is higher than 50 mgKOH / g, the affinity for the developer is too high. This is not preferable because chipping or peeling of the pattern is likely to occur.

これら反応性モノマーのうち、上記構造式(1)で表されるものが、好ましくは10〜95質量%、より好ましくは20〜90質量%含むものが好ましい。これらの範囲内では適宜、反応性モノマーを混合することにより、高精細なパターンを広い現像マージンを持って形成することができる。   Among these reactive monomers, those represented by the structural formula (1) are preferably contained in an amount of 10 to 95% by mass, more preferably 20 to 90% by mass. Within these ranges, a high-definition pattern can be formed with a wide development margin by appropriately mixing reactive monomers.

光重合開始剤としては、ベンゾフェノン系化合物、アセトフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、イミダゾール系化合物、ベンゾチアゾール系化合物、ベンゾオキサゾール系化合物、トリアジン系化合物、リン系化合物あるいはチタネート等の無機系光重合開始剤など公知のものが使用できる。   As photopolymerization initiators, inorganic photopolymerization initiators such as benzophenone compounds, acetophenone compounds, thioxanthone compounds, imidazole compounds, benzothiazole compounds, benzoxazole compounds, triazine compounds, phosphorus compounds or titanates A publicly known thing can be used.

例えば、ベンゾフェノン、N,N’−テトラエチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン、4−メトキシ−4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシイソブチルフェノン、チオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−(4−メチル)ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2,3−ジクロロアントラキノン、3−クロル−2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、1,4−ナフトキノン、9,10−フェナントラキノン、1,2−ベンゾアントラキノン、1,4−ジメチルアントラキノン、2−フェニルアントラキノン、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、4−(p−メトキシフェニル)−2,6−ジ−(トリクロロメチル)−s−トリアジンなどがあげられる。
また、下記構造式(2)で表されるものも、感度の向上が見込めるため好ましく用いられる。
For example, benzophenone, N, N′-tetraethyl-4,4′-diaminobenzophenone, 4-methoxy-4′-dimethylaminobenzophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isobutyl ether, benzyldimethyl Ketal, α-hydroxyisobutylphenone, thioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-1 -One, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2- (4-methyl) benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl)- Butano -1, t-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2,3-dichloroanthraquinone, 3-chloro-2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 1,4-naphthoquinone, 9,10-phenanthraquinone, 1 , 2-Benzanthraquinone, 1,4-dimethylanthraquinone, 2-phenylanthraquinone, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 4- (P-methoxyphenyl) -2,6-di- (trichloromethyl) -s-triazine and the like.
Further, those represented by the following structural formula (2) are also preferably used since an improvement in sensitivity can be expected.

Figure 0004821206
Figure 0004821206

(式中、Arは置換されていても良いアリール基を表し、Rは炭素数1〜6のアルキル基を表す)
具体的には、Arとして2−メチルベンジル基、Rとしてエチル基であるエタノン,1−9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル)]−,1−(O−アセチルオキシム)(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製“CGI242”)が挙げられる。
さらに芳香族、脂肪族の第3級アミンなどの増感助剤を添加すると、さらに感度を向上させることができ好ましい。また、これらの光重合開始剤は2種類以上を併用して用いることもできる。光重合開始剤の添加量としては、特に限定はないが、感光性着色組成物全固形分に対して、好ましくは2〜30質量%、より好ましくは5〜25質量%である。
本発明で用いる重合禁止剤としては、下記構造式(3)で表されるヒドロキノン系のもの、および(4)で表されるカテコール系のものである。
(In the formula, Ar represents an optionally substituted aryl group, and R 2 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms)
Specifically, 2-methylbenzyl group as Ar, ethanone an ethyl group as R 2, 1- [9- ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H- carbazol-3-yl)] -, 1 -(O-acetyloxime) (“CGI242” manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.).
Further, it is preferable to add a sensitizing aid such as an aromatic or aliphatic tertiary amine because the sensitivity can be further improved. Moreover, these photoinitiators can also be used in combination of 2 or more types. Although there is no limitation in particular as the addition amount of a photoinitiator, Preferably it is 2-30 mass% with respect to the photosensitive coloring composition total solid, More preferably, it is 5-25 mass%.
The polymerization inhibitor used in the present invention is a hydroquinone type represented by the following structural formula (3) and a catechol type represented by (4).

Figure 0004821206
Figure 0004821206

(式中、R、R、R、はそれぞれ独立に水素原子もしくは炭素数1〜10のアルキル基、脂環式基を表す)
より具体的には、式(3)で表されるものとしては、ヒドロキノン、tert−ブチルヒドロキノン、2,5−ビス(1,1,3,3−テトラメチルブチル)ヒドロキノン、2,5−ビス(1,1−ジメチルブチル)ヒドロキノンなどが挙げられ、式(4)で表されるものとしては、カテコール、tert−ブチルカテコールなどが挙げられる。
これら重合禁止剤の添加量は、顔料を除く固形分量に対して、好ましくは0.1〜3質量%、より好ましくは0.2〜2質量%である。添加量が0.1質量%より少ない場合は、画素の太りを軽減する効果が小さいため好ましくなく、3質量%を超える場合は、感度の低下によりパターンの剥がれが発生しやすいため好ましくない。これら重合禁止剤は、2種類以上を混合して使用こともできる。なお、ここでいう顔料を除く固形分とは、顔料および顔料誘導体を除く固形分であって、有機溶剤を除く、アクリル系樹脂、高分子分散剤、反応性モノマー、光重合開始剤、その他添加剤などを含む、樹脂分および低分子化合物の総量である。具体的には、感光性着色組成物を、2000〜40,000倍の重力加速度を持つ遠心分離機に1〜60分間、例えば20,000倍の重量加速度で10分間処理し、顔料成分を沈降させた後、沈降分を除いた溶液を常圧中、もしくは減圧中で、40℃〜200℃で10分〜24時間、例えば150℃で60分間加熱し有機溶媒成分を気化、乾燥させることで測定することができる。
(In the formula, R 3 , R 4 and R 5 each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, or an alicyclic group)
More specifically, as represented by the formula (3), hydroquinone, tert-butylhydroquinone, 2,5-bis (1,1,3,3-tetramethylbutyl) hydroquinone, 2,5-bis Examples include (1,1-dimethylbutyl) hydroquinone, and examples of the compound represented by the formula (4) include catechol and tert-butylcatechol.
The addition amount of these polymerization inhibitors is preferably 0.1 to 3% by mass, more preferably 0.2 to 2% by mass, based on the solid content excluding the pigment. If the amount added is less than 0.1% by mass, the effect of reducing the thickness of the pixel is small, which is not preferable. If the amount exceeds 3% by mass, the pattern is likely to peel off due to a decrease in sensitivity, which is not preferable. Two or more of these polymerization inhibitors can be mixed and used. Here, the solid content excluding pigment refers to the solid content excluding pigments and pigment derivatives, excluding organic solvents, acrylic resins, polymer dispersants, reactive monomers, photopolymerization initiators, and other additions It is the total amount of the resin component and the low molecular weight compound including the agent. Specifically, the photosensitive coloring composition is treated in a centrifuge having a gravitational acceleration of 2000 to 40,000 times for 1 to 60 minutes, for example, at a weight acceleration of 20,000 times for 10 minutes, and the pigment component is precipitated. Then, the solution from which the sediment has been removed is heated at 40 ° C. to 200 ° C. for 10 minutes to 24 hours, for example, at 150 ° C. for 60 minutes, to evaporate and dry the organic solvent component under normal pressure or reduced pressure. Can be measured.

上記以外のヒンダードフェノール系や、リン系、イオウ系、アミン系などの重合禁止剤もしくは酸化防止剤は、画素がマスクサイズに対して太り、設計通りの高精細なパターンが形成できない傾向があり、また、分解物や未反応物が塗膜中に残存することに起因すると推定される電気的信頼性の悪化が見られるため好ましくない。なお、重合禁止剤と酸化防止剤は一般的には使用方法が異なるものであるが、実際には酸化防止剤の役割を果たす重合禁止剤が存在するなど、名称の違いについては重要ではなく、本発明の感光性着色組成物は上記特定の構造の重合禁止剤を含有するものである。
重合禁止剤は一般的に、熱や光もしくはラジカル開始剤などによって発生したラジカルによる重合を禁止もしくは停止する作用を示し、一般的には熱硬化性樹脂のゲル化防止やポリマー製造時の重合停止などに使用される。
Other hindered phenols, phosphorus-based, sulfur-based, and amine-based polymerization inhibitors or antioxidants tend to be thicker than the mask size and fail to form high-definition patterns as designed. In addition, it is not preferable because degradation of electrical reliability presumed to be caused by decomposition products and unreacted materials remaining in the coating film is observed. In general, polymerization inhibitors and antioxidants are used in different ways, but there are actually polymerization inhibitors that play the role of antioxidants, and the difference in names is not important. The photosensitive coloring composition of this invention contains the polymerization inhibitor of the said specific structure.
Polymerization inhibitors generally have the effect of inhibiting or stopping polymerization caused by radicals generated by heat, light, radical initiators, etc., and generally prevent gelation of thermosetting resins and stop polymerization during polymer production. Used for etc.

本発明の感光性着色組成物においては、露光工程において照射した光により光重合開始剤が反応し、ラジカルを発生させることで塗膜の硬化が開始される。発生したラジカルにより、感光性着色組成物中の反応性モノマー、およびアクリル系樹脂の不飽和基を介して重合反応が進行し、露光部近傍のみが硬化する。   In the photosensitive coloring composition of the present invention, the photopolymerization initiator reacts with the light irradiated in the exposure step, and radicals are generated to start curing of the coating film. Due to the generated radicals, the polymerization reaction proceeds via the reactive monomer in the photosensitive coloring composition and the unsaturated group of the acrylic resin, and only the vicinity of the exposed portion is cured.

露光工程においては、硬化前の塗膜成分もしくは工程通過時に塗膜上に混入する粉塵などによりマスクを汚染することがあるため、マスクと塗膜との間には露光ギャップを設定することが好ましい。露光ギャップは、広い方がマスクの汚染が回避できるため、通常50μm以上、好ましくは100μm以上、より好ましくは200μm以上である。ところが、露光ギャップを広げた場合、露光時の光は、マスクを回折することにより、塗膜上においては実際のマスクサイズよりも平面上に拡がった領域に照射されてしまう。結果として、画素は設計よりも太いサイズとなってしまうが、本発明の構成とすることで、画素の太りを著しく軽減でき高精細なパターンを形成する場合には特に好ましい。   In the exposure process, the mask may be contaminated with coating film components before curing or dust mixed on the coating film when passing through the process, so it is preferable to set an exposure gap between the mask and the coating film. . A wider exposure gap can avoid contamination of the mask, and is usually 50 μm or more, preferably 100 μm or more, and more preferably 200 μm or more. However, when the exposure gap is widened, the light at the time of exposure irradiates a region spread on a plane more than the actual mask size on the coating film by diffracting the mask. As a result, the size of the pixel is larger than that of the design. However, the configuration of the present invention is particularly preferable in the case of forming a high-definition pattern that can significantly reduce the thickness of the pixel.

本発明の感光性着色組成物は、その他添加剤を含有していてもよい。例えば、有機溶剤、アクリル系樹脂以外の高分子化合物、密着改良剤や界面活性剤、有機酸、有機アミノ化合物、硬化剤などが挙げられる。   The photosensitive coloring composition of the present invention may contain other additives. Examples thereof include organic solvents, polymer compounds other than acrylic resins, adhesion improvers and surfactants, organic acids, organic amino compounds, and curing agents.

有機溶剤としては、公知のもの、例えば上記顔料分散液に記載のものなど使用でき、顔料分散液に含有されるものと同じものであっても異なっていても良い。
高分子化合物としては、アクリル樹脂、アルキド樹脂、メラミン樹脂、ポリビニルアルコール、ポリエステル、ポリエーテル、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリイミド前駆体など種々のものを用いることができる。
As the organic solvent, known solvents such as those described in the pigment dispersion can be used, and they may be the same as or different from those contained in the pigment dispersion.
As the polymer compound, various materials such as acrylic resin, alkyd resin, melamine resin, polyvinyl alcohol, polyester, polyether, polyamide, polyamideimide, polyimide, polyimide precursor, and the like can be used.

密着改良剤は、塗膜の基板への密着性を向上させる目的で、好ましく添加することができる。例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどのシランカップリング剤が挙げられる。   The adhesion improving agent can be preferably added for the purpose of improving the adhesion of the coating film to the substrate. For example, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-amino Propyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3- Examples include silane coupling agents such as chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane.

界面活性剤は、感光性着色組成物の塗布性、および着色層の表面の均一性を良好にする目的で、あるいは、顔料の分散性を良好にする目的で添加することができる。かかる界面活性剤の添加量は、顔料に対して、好ましくは0.001〜10質量%、さらに好ましくは0.01〜1質量%であるのがよい。添加量がこの範囲より少ないと、塗布性、着色膜表面の均一性の改良、あるいは顔料分散性の改良の効果が小さく、多すぎると逆に塗布性が不良となったり、顔料の凝集が起こる場合があるため好ましくない。具体的には、ラウリル硫酸アンモニウム、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸トリエタノールアミンなどの陰イオン界面活性剤、ステアリルアミンアセテート、ラウリルトリメチルアンモニウムクロライドなどの陽イオン界面活性剤、ラウリルジメチルアミンオキサイド、ラウリルカルボキシメチルヒドロキシエチルイミダゾリウムベタインなどの両性界面活性剤、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ソルビタンモノステアレートなどの非イオン界面活性剤、フッ素系界面活性剤やシリコン系界面活性剤などがあげられる。   The surfactant can be added for the purpose of improving the coating property of the photosensitive coloring composition and the uniformity of the surface of the colored layer, or for the purpose of improving the dispersibility of the pigment. The amount of the surfactant added is preferably 0.001 to 10% by mass, more preferably 0.01 to 1% by mass, based on the pigment. If the added amount is less than this range, the effect of improving the coating property, the uniformity of the colored film surface, or the pigment dispersibility is small, and if it is too much, the coating property is poor or the pigment is aggregated. Since there are cases, it is not preferable. Specifically, anionic surfactants such as ammonium lauryl sulfate and polyoxyethylene alkyl ether sulfate triethanolamine, cationic surfactants such as stearylamine acetate and lauryltrimethylammonium chloride, lauryldimethylamine oxide, laurylcarboxymethylhydroxy Examples include amphoteric surfactants such as ethylimidazolium betaine, nonionic surfactants such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, and sorbitan monostearate, fluorine-based surfactants, and silicon-based surfactants. .

かかる方法により得られた感光性着色組成物は、さらに遠心機、濾過器などを用いて粗大粒子や粉塵などの不純物を除去することも好ましく行われる。   The photosensitive coloring composition obtained by such a method is also preferably subjected to removal of impurities such as coarse particles and dust using a centrifuge, a filter or the like.

本発明の感光性着色組成物において、顔料は、通常、感光性着色組成物の全固形分中に5〜80質量%、好ましくは10〜60質量%の範囲で用いられる。顔料の量が5%より少ないと色純度が低く好ましくなく、60質量%より多いと現像不良やパターンの剥がれが起こりやすいため好ましくない。   In the photosensitive coloring composition of the present invention, the pigment is usually used in the range of 5 to 80% by mass, preferably 10 to 60% by mass in the total solid content of the photosensitive coloring composition. If the amount of the pigment is less than 5%, the color purity is low, which is not preferable.

次に、本発明の感光性着色組成物を用いたカラーフィルターの製造方法の例を説明する。感光性着色組成物を基板上に塗布する方法としては、スピンコーター、バーコーター、ブレードコーター、ロールコーター、ダイコーター、スクリーン印刷法などで基板に塗布する方法、基板を着色組成物中に浸漬する方法、着色組成物を基板に噴霧するなどの種々の方法を用いることができる。   Next, the example of the manufacturing method of the color filter using the photosensitive coloring composition of this invention is demonstrated. As a method of applying the photosensitive coloring composition on the substrate, a method of applying to the substrate by a spin coater, a bar coater, a blade coater, a roll coater, a die coater, a screen printing method, or the like, or immersing the substrate in the coloring composition Various methods, such as a method and spraying a coloring composition on a substrate, can be used.

また、かかる基板としては、通常、ソーダガラス、無アルカリガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラスなどの透明基板や、シリコン、ガリウム−ひ素などの半導体基板などが用いられるが、特にこれらに限定されない。なお、かかる基板上に本発明の感光性着色組成物を塗布する場合、シランカップリング剤などの接着助剤で基板表面を処理しておくと、着色膜と基板の接着力を向上させることができる。   In addition, as such a substrate, a transparent substrate such as soda glass, non-alkali glass, borosilicate glass, or quartz glass, or a semiconductor substrate such as silicon or gallium-arsenide is usually used, but is not particularly limited thereto. When applying the photosensitive coloring composition of the present invention on such a substrate, if the substrate surface is treated with an adhesion aid such as a silane coupling agent, the adhesion between the colored film and the substrate can be improved. it can.

上記により、基板上に本発明の感光性着色組成物を塗布した後、風乾、減圧乾燥、加熱乾燥などにより有機溶剤を除去し、塗膜を形成する。とくに減圧乾燥工程を設けた後、オーブンあるいはホットプレートで追加の加熱乾燥することにより、対流によって生じる塗布欠点が解消され収率が向上する。減圧乾燥は常温〜100℃、5秒〜10分、気圧500〜5Pa、より好ましくは気圧100〜10Paの範囲で行うのが好ましい。加熱乾燥はオーブン、ホットプレートなどを使用し、50〜120℃の範囲で10秒〜30分行うのが好ましい。この後、必要に応じて塗膜上に酸素遮断膜を設けても良い。   After applying the photosensitive coloring composition of the present invention on the substrate as described above, the organic solvent is removed by air drying, reduced pressure drying, heat drying or the like to form a coating film. In particular, after providing a vacuum drying step, additional heating and drying in an oven or a hot plate eliminates coating defects caused by convection and improves the yield. The drying under reduced pressure is preferably performed in the range of normal temperature to 100 ° C., 5 seconds to 10 minutes, atmospheric pressure 500 to 5 Pa, more preferably atmospheric pressure 100 to 10 Pa. Heat drying is preferably performed using an oven, a hot plate or the like at a temperature of 50 to 120 ° C. for 10 seconds to 30 minutes. Thereafter, an oxygen barrier film may be provided on the coating film as necessary.

次に、露光を行う。該感光性着色組成物の塗膜上にマスクを設置し、超高圧水銀灯、ケミカル灯、高圧水銀灯等を用いて、紫外線等により選択的に露光する。露光量は365nmにおける放射照度の時間積分値で表され、特に限定されるわけではないが、好ましくは10mJ/cm〜200mJ/cm、より好ましくは20mJ/cm〜100mJ/cmである。10mJ/cmより小さい場合は透明樹脂層のパターンが硬化不足のために現像時に剥がれてしまうことがあるため好ましくなく、200mJ/cmより大きい場合はタクトタイムが長くなり生産効率が悪いため好ましくない。 Next, exposure is performed. A mask is placed on the coating film of the photosensitive coloring composition and selectively exposed to ultraviolet rays or the like using an ultrahigh pressure mercury lamp, a chemical lamp, a high pressure mercury lamp or the like. Exposure is represented by the time-integrated values of irradiance at 365 nm, but are not particularly limited, is preferably 10mJ / cm 2 ~200mJ / cm 2 , more preferably 20mJ / cm 2 ~100mJ / cm 2 . If it is less than 10 mJ / cm 2, the pattern of the transparent resin layer may be peeled off during development due to insufficient curing, and if it is greater than 200 mJ / cm 2, it is preferable because the tact time becomes long and the production efficiency is poor. Absent.

本発明の感光性着色組成物は、露光ギャップを拡げた場合に生ずるマスクの回折光による影響を著しく軽減できるため、好ましい。露光装置の照射光の平行度を示す指標であるコリメーションアングルをθ、マスク下面と塗膜上面との距離である露光ギャップをHとすると、露光領域の幅はマスク幅に対して、2×H×tanθ広くなることが知られている。つまり、露光ギャップHが大きくなればなるほど、回折光の影響が大きくなり、設計通りの線幅の画素を形成することが困難となる。本発明の感光性着色組成物を用いて、線幅50μmのフォトマスクを介して露光ギャップ100μmで露光したときの線幅と露光ギャップ300μmで露光したときの線幅の差を5μm以下とすることができ、設計通りの高精細なパターンを形成することが出来るため、好ましい。   The photosensitive coloring composition of the present invention is preferable because the influence of the diffracted light of the mask that occurs when the exposure gap is widened can be remarkably reduced. When the collimation angle that is an index indicating the parallelism of the irradiation light of the exposure apparatus is θ and the exposure gap that is the distance between the mask lower surface and the coating film upper surface is H, the width of the exposure region is 2 × H with respect to the mask width. × tan θ is known to be wide. That is, the greater the exposure gap H, the greater the influence of diffracted light, making it difficult to form pixels with the designed line width. Using the photosensitive coloring composition of the present invention, the difference between the line width when exposed at an exposure gap of 100 μm and the line width when exposed at an exposure gap of 300 μm through a photomask having a line width of 50 μm is set to 5 μm or less. This is preferable because a high-definition pattern as designed can be formed.

ついでアルカリ性現像液で現像を行う。アルカリ性現像液に用いるアルカリ性物質としては特に限定はしないが、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア水等の無機アルカリ類、エチルアミン、n−プロピルアミン等の1級アミン類、ジエチルアミン、ジ−n−プロピルアミン等の2級アミン類、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン等の3級アミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)等のテトラアルキルアンモニウムヒドロキシド類、コリン等の4級アンモニウム塩、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、ジエチルアミノエタノール等のアルコールアミン類、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ[4,3,0]−5−ノナン、モルホリン等の環状アミン類などの有機アルカリ類等が挙げられる。   Next, development is performed with an alkaline developer. Although it does not specifically limit as an alkaline substance used for an alkaline developing solution, For example, inorganic alkalis, such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, aqueous ammonia, ethylamine, n- Primary amines such as propylamine, secondary amines such as diethylamine and di-n-propylamine, tertiary amines such as triethylamine and methyldiethylamine, and tetraalkylammonium hydroxides such as tetramethylammonium hydroxide (TMAH) , Quaternary ammonium salts such as choline, triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, dimethylaminoethanol, diethylaminoethanol and other alcohol amines, pyrrole, piperidine, 1,8-dia Bicyclo [5,4,0] -7-undecene, 1,5-diazabicyclo [4,3,0] -5-nonane, organic alkalis such as cyclic amines such as morpholine, and the like.

これら現像液のアルカリ性物質の濃度は特に限定されるわけではないが、通常0.01〜50質量%、好ましくは0.05〜5質量%である。また、現像液は作業環境、廃現像液処理の点から、アルカリ水溶液の水系現像液が好ましい。アルカリ水溶液の水系現像液を用いる場合、現像液にエタノール、γーブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドン等の水溶性有機溶剤を適宜加えても良い。   The concentration of the alkaline substance in the developer is not particularly limited, but is usually 0.01 to 50% by mass, preferably 0.05 to 5% by mass. The developer is preferably an aqueous aqueous developer in terms of working environment and waste developer treatment. In the case of using an aqueous alkaline aqueous developer, a water-soluble organic solvent such as ethanol, γ-butyrolactone, dimethylformamide, or N-methyl-2-pyrrolidone may be appropriately added to the developer.

現像方式は浸漬法、スプレー法、パドル法等を用いるが特に限定しない。また、現像後適宜純水などによる洗浄工程を加えても良い。
ここで、現像液として非イオン系界面活性剤などの界面活性剤を0.01〜1質量%添加したアルカリ性現像液を使用すると、より良好なパターンが得られるため好ましい。
The development method uses an immersion method, a spray method, a paddle method or the like, but is not particularly limited. Moreover, you may add the washing process by a pure water etc. suitably after image development.
Here, it is preferable to use an alkaline developer added with 0.01 to 1% by mass of a surfactant such as a nonionic surfactant as the developer because a better pattern can be obtained.

得られた着色組成物の塗膜パターンは、その後、加熱処理することによってパターンニングされた着色画素となる。加熱処理は通常、空気中、窒素雰囲気中、あるいは、真空中などで、150〜300℃、好ましくは180〜250℃の温度のもとで、0.25〜5時間、連続的または段階的に行われる。   The coating film pattern of the obtained colored composition then becomes a colored pixel patterned by heat treatment. The heat treatment is usually performed in air, in a nitrogen atmosphere, or in a vacuum at 150 to 300 ° C, preferably 180 to 250 ° C, continuously or stepwise for 0.25 to 5 hours. Done.

上記方法で任意の色数について逐次着色パターンを形成せしめると、所望のパターン状に設けられた着色層からなる画素を有する液晶表示装置用カラーフィルターが作製できる。ここで着色組成物のパターニング順序は限定されない。また、色数は任意だが、RGBの3色、もしくは樹脂ブラックマトリクスを加えた4色が好ましい。
また必要に応じて、ブラックマトリックス、保護膜、透明電導膜等を形成することができる。これらを形成する位置、形成順序、形成方法などは、特に限定されない。一例として、基板上にブラックマトリックスを形成し、その上に着色層、さらにその上に保護膜、さらにその上に透明導電膜を形成するなどの構成が挙げられる。
When a colored pattern is sequentially formed for an arbitrary number of colors by the above method, a color filter for a liquid crystal display device having a pixel composed of a colored layer provided in a desired pattern can be produced. Here, the patterning order of the coloring composition is not limited. Although the number of colors is arbitrary, three colors of RGB or four colors including a resin black matrix are preferable.
Moreover, a black matrix, a protective film, a transparent conductive film, etc. can be formed as needed. The position where these are formed, the order of formation, the formation method, and the like are not particularly limited. As an example, a black matrix is formed on a substrate, a colored layer is formed thereon, a protective film is further formed thereon, and a transparent conductive film is formed thereon.

以下、実施例を用いて本発明を更に詳しく説明するが、これによって本発明の範囲は何ら制限されるものではない。
(パターン作製方法)
感光性着色組成物を、無アルカリガラス(日本電気硝子(株)製、OA10:50mm×70mm、厚さ0.7mm)基板表面上に、スピンコーター(ミカサ(株)製、1H−D2型)を用いて塗布したのち、90℃のイナートオーブン(ダバイエスペック(株)製、PERFECTOVEN PV−210)内で10分間加熱乾燥(プリベイク)を行い、膜厚2.00μmの塗膜を形成した。その後、この基板を室温に冷却したのち、露光機(ユニオン光学(株)製、紫外線露光機PEM−6M、コリメーションアングルθ=2°、i線(365nm)照度=40mW/cm)を用い、フォトマスク(HOYA(株)製、ネガマスク、ストライプ設計線幅50μm)を介して、j線:313nm、i線:365nm、h線:405nmおよびg線:436nmの各波長を含む紫外線で所定の露光量で露光した。
EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated in more detail using an Example, the scope of the present invention is not restrict | limited at all by this.
(Pattern preparation method)
The photosensitive coloring composition is spin-coated (Mikasa Co., Ltd., 1H-D2 type) on a non-alkali glass (manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., OA10: 50 mm × 70 mm, thickness 0.7 mm) substrate surface. Then, the film was dried by heating (prebaking) for 10 minutes in an inert oven (manufactured by Davai Speck Co., Ltd., PERFECTOVEN PV-210) at 90 ° C. to form a coating film having a thickness of 2.00 μm. Then, after cooling this substrate to room temperature, using an exposure machine (Union Optics Co., Ltd., UV exposure machine PEM-6M, collimation angle θ = 2 °, i-line (365 nm) illuminance = 40 mW / cm 2 ), Through a photomask (manufactured by HOYA Co., Ltd., negative mask, stripe design line width 50 μm), predetermined exposure with ultraviolet rays including wavelengths of j-line: 313 nm, i-line: 365 nm, h-line: 405 nm, and g-line: 436 nm Exposed in quantity.

次に、水酸化カリウムを0.05質量%とエマルゲンA−60(花王(株)製)を1.67質量%含む23℃の水溶液を現像液に用い、基板を自動現像装置(ミカサ(株)製、AD−2000)で所定の時間シャワー現像したのち、純水で洗浄し、風乾した。さらに220℃のイナートオーブン(ダバイエスペック(株)製、HIGHTEMPOVEN PV−110)内で30分間加熱乾燥(ポストベイク)を行い、基板上に各色カラーフィルターを作製した。   Next, an aqueous solution at 23 ° C. containing 0.05% by mass of potassium hydroxide and 1.67% by mass of Emulgen A-60 (manufactured by Kao Corporation) was used as a developing solution, and the substrate was used as an automatic developing device (Mikasa Corporation). ), AD-2000), and after developing for a predetermined time, washed with pure water and air-dried. Furthermore, heat drying (post-baking) was performed for 30 minutes in an inert oven (manufactured by Davai Espec Co., Ltd., HIGHTEMPOVEN PV-110) at 220 ° C., and each color filter was produced on the substrate.

(評価方法)
1.感度
上記のパターン作製方法に従って、50μmストライプパターンのフォトマスクを介して200mJ/cmを最大露光量として、露光ギャップ300μmで随時露光量を下げて露光していき、60秒現像後にパターン表面の荒れや剥がれが生じない範囲の最低露光量を最低必要露光量とした。最低必要露光量が小さいほど感度は高く、好適である。
○:最低必要露光量が40mJ/cm以下のもの。
△:最低必要露光量が40mJ/cmより大きく100mJ/cm未満のもの。
×:最低必要露光量が100mJ/cm以上のもの。
(Evaluation methods)
1. Sensitivity According to the pattern preparation method described above, exposure is performed with a maximum exposure amount of 200 mJ / cm 2 through a photomask with a 50 μm stripe pattern, an exposure gap of 300 μm, and the exposure amount is reduced as needed. The minimum exposure amount in a range where no peeling occurred was defined as the minimum required exposure amount. The smaller the minimum required exposure amount, the higher the sensitivity and the better.
◯: The minimum required exposure amount is 40 mJ / cm 2 or less.
△: Minimum required exposure amount 40 mJ / cm 2 greater than 100 mJ / cm 2 less than one.
X: The minimum required exposure amount is 100 mJ / cm 2 or more.

2.露光マージン
上記のパターン作製方法に従って、50μmストライプパターンのフォトマスクを介して50mJ/cmの露光量で露光ギャップ100μm、および300μmで露光した。現像時間は60秒として、形成したカラーフィルターパターンの形状について、光学顕微鏡(オリンパス販売(株)製BH3−MJL、およびケイエスオリンパス(株)製XD200)を用いて画素形状の観察および画素幅の測定を行った。露光ギャップ100μmの場合の画素幅と露光ギャップ300μmの場合の画素幅を比較し、その差を求めた。露光ギャップの違いによる画素幅の変化が小さいものは、露光マージンが広く、高精細なパターンを作製するのに好適である。
○:露光ギャップ100μmと300μmの画素幅の差が3μm以下のもの。
△:露光ギャップ100μmと300μmの画素幅の差が3より大きく5μm未満のもの。
×:露光ギャップ100μmと300μmの画素幅の差が5μm以上のもの。
2. Exposure Margin According to the above pattern production method, exposure was performed with an exposure gap of 100 μm and 300 μm through a photomask with a 50 μm stripe pattern at an exposure amount of 50 mJ / cm 2 . The development time is 60 seconds, and the shape of the formed color filter pattern is observed with an optical microscope (BH3-MJL manufactured by Olympus Sales Co., Ltd. and XD200 manufactured by KS Olympus Co., Ltd.) and the pixel width is measured. Went. The pixel width in the case of the exposure gap of 100 μm and the pixel width in the case of the exposure gap of 300 μm were compared, and the difference was obtained. A pixel whose change in pixel width due to the difference in exposure gap is small is suitable for producing a high-definition pattern with a wide exposure margin.
A: The difference in pixel width between the exposure gap of 100 μm and 300 μm is 3 μm or less.
Δ: Difference in pixel width between exposure gaps of 100 μm and 300 μm is greater than 3 and less than 5 μm.
X: The difference of the pixel width of exposure gap 100 micrometers and 300 micrometers is 5 micrometers or more.

2.現像マージン
上記のパターン作製方法に従って、50μmストライプパターンのフォトマスクを介して50mJ/cmの露光量で露光ギャップ300μmで露光した。現像時間は60秒、および120秒として、形成したカラーフィルターパターンの形状について、光学顕微鏡(オリンパス販売(株)製BH3−MJL、およびケイエスオリンパス(株)製XD200)を用いて画素形状の観察および画素幅の測定を行った。現像時間60秒の場合の画素幅と現像時間120秒の場合の画素幅を比較し、その差を求めた。現像時間の違いによる画素幅の変化が小さいものは、現像マージンが広く、高精細なパターンを作製するのに好適である。
○:現像時間60秒と露光時間120秒の画素幅の差が3μm以下のもの。
△:現像時間60秒と露光時間120秒の画素幅の差が3より大きく5μm未満のもの。
×:現像時間60秒と露光時間120秒の画素幅の差が5μm以上のもの。
2. Development Margin According to the above pattern production method, exposure was performed with an exposure gap of 300 μm through a photomask with a 50 μm stripe pattern at an exposure amount of 50 mJ / cm 2 . The development time was 60 seconds and 120 seconds, and the shape of the formed color filter pattern was observed using a light microscope (BH3-MJL manufactured by Olympus Sales Co., Ltd. and XD200 manufactured by KS Olympus Co., Ltd.) The pixel width was measured. The pixel width when the development time was 60 seconds and the pixel width when the development time was 120 seconds were compared, and the difference was obtained. A small change in pixel width due to a difference in development time is suitable for producing a high-definition pattern with a wide development margin.
A: The difference in pixel width between the development time of 60 seconds and the exposure time of 120 seconds is 3 μm or less.
Δ: Difference in pixel width between the development time of 60 seconds and the exposure time of 120 seconds is greater than 3 and less than 5 μm.
X: The difference in pixel width between the development time of 60 seconds and the exposure time of 120 seconds is 5 μm or more.

(酸価の測定)
アクリル系樹脂もしくは反応性モノマーを精秤し、精製水/アセトンの混合溶媒に溶解した後、フェノールフタレインを指示薬として0.1N KOH水溶液で滴定し、酸価を測定した。なお、反応性モノマーが2種類以上の混合物の場合は、あらかじめ混合したものを用意し、反応性モノマー全体の酸価として求めた。
(Measurement of acid value)
The acrylic resin or reactive monomer was precisely weighed and dissolved in a purified water / acetone mixed solvent, and then titrated with 0.1N KOH aqueous solution using phenolphthalein as an indicator to measure the acid value. In addition, when the reactive monomer was a mixture of two or more kinds, a mixture prepared in advance was prepared, and the acid value of the entire reactive monomer was obtained.

(アクリル系樹脂の合成例)
1000ccの4つ口フラスコに3−メトキシ−3−メチル−ブタノール150gを仕込み、これを90℃に保ち、窒素シール、撹拌を行いながらメタクリル酸メチル30g、スチレン30g、メタクリル酸40gにn−ドデシルメルカプタン1.1g、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル1.2gを混合して滴下ロートで30分かけて滴下した。この後4時間反応を続けた後、窒素シールをやめ、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.1g、ジメチルベンジルアミン0.4gを加えた。グリシジルメタクリレート33gを30分かけて滴下し、さらに90℃で3時間撹拌することで反応を行った。室温に戻した後、精製水/アセトンの混合溶剤に滴下することで再沈殿させ、濾過、乾燥することにより平均分子量Mw4万、酸価115mgKOH/gの粉末状のアクリル系樹脂(ポリマーAとする)を得た。
(Synthesis example of acrylic resin)
In a 1000 cc four-necked flask, 150 g of 3-methoxy-3-methyl-butanol was charged, kept at 90 ° C., sealed with nitrogen, stirred and stirred with 30 g of methyl methacrylate, 30 g of styrene, and 40 g of methacrylic acid with n-dodecyl mercaptan. 1.1 g and 1.2 g of 2,2′-azobisisobutyronitrile were mixed and added dropwise using a dropping funnel over 30 minutes. Thereafter, the reaction was continued for 4 hours, then the nitrogen sealing was stopped, and 0.1 g of hydroquinone monomethyl ether and 0.4 g of dimethylbenzylamine were added. Reaction was performed by adding 33 g of glycidyl methacrylate dropwise over 30 minutes and further stirring at 90 ° C. for 3 hours. After returning to room temperature, it is re-precipitated by dropping it into a mixed solvent of purified water / acetone, filtered and dried to obtain a powdery acrylic resin (polymer A) having an average molecular weight Mw of 40,000 and an acid value of 115 mgKOH / g. )

実施例1
顔料としてピグメントレッド254とピグメントレッド177の80/20(重量比)混合物を14重量部、高分子分散剤として“Disperbyk”2001(ビックケミージャパン(株)製、46質量%)を9重量部、ポリマーAを4重量部、有機溶剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(以下PGMEAとする)73重量部を混合した後、ジルコニアビーズが充填されたミル型分散機を用いて分散し、顔料分散液を得た。
次に、この顔料分散液100重量部に対し、ポリマーAを10重量部、反応性モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートおよびジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物と無水コハク酸との反応物であり、構造式(1)で−Rは−H、n=1、−X−は−O−、−Y−はエチレン基で表されるものを含有する酸価30のTO−1382(東亞合成(株)製)を12重量部、光重合開始剤として構造式(2)でArとして2−メチルベンジル基、Rとしてエチル基で表されるエタノン,1−9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル)]−,1−(O−アセチルオキシム)(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製 CGI242、以下CGI242とする)を2重量部、2−(4−メチル)ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製 CGI113、以下CGI113とする)を6重量部、密着改良剤として3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学(株)製 KBM503、以下KBM503とする)を1.7重量部、界面活性剤としてメガファックR−08(大日本化学工業(株)製、以下R−08とする)を0.1重量部、重合禁止剤として2,5−ビス(1,1,3,3−テトラメチルブチル)ヒドロキノン(和光純薬工業(株)製、以下DOHQとする)0.2重量部(色材を除く固形分に対して0.5質量%)、および有機溶剤としてPGMEA100重量部を混合して、感光性着色組成物を調製した。パターン感度、露光マージン、現像マージンの評価結果を表1に示す。全ての評価項目において良好な結果であり、高精細なパターンを広プロセスマージンで作製することができた。
Example 1
14 parts by weight of an 80/20 (weight ratio) mixture of Pigment Red 254 and Pigment Red 177 as a pigment, and 9 parts by weight of “Disperbyk” 2001 (produced by Big Chemie Japan Co., Ltd., 46% by mass) as a polymer dispersant; After 4 parts by weight of polymer A and 73 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate (hereinafter referred to as PGMEA) were mixed as an organic solvent, the mixture was dispersed using a mill-type disperser filled with zirconia beads. Obtained.
Next, with respect to 100 parts by weight of this pigment dispersion, 10 parts by weight of polymer A as a reactive monomer is a reaction product of a mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate and succinic anhydride, In formula (1), -R 1 is -H, n = 1, -X- is -O-, and -Y- is an ethylene group having an acid value of 30 TO-1382 (Toagosei Co., Ltd.) )), 12 parts by weight of Etanone represented by the structural formula (2) as Ar as a 2-methylbenzyl group as Ar and an ethyl group as R 2 as a photopolymerization initiator , 1- [ 9-ethyl-6- (2- methylbenzoyl) -9H- carbazol-3-yl)] -, 1- (O- acetyloxime) a (Ciba Specialty Chemicals Corp. CGI242, hereinafter referred to as CGI242) 6 parts by weight of 2- (4-methyl) benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 (CGI113 manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd., hereinafter referred to as CGI113) Parts, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane (KBM503 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., hereinafter referred to as KBM503) as a weight improver, 1.7 parts by weight as a surfactant, Megafac R-08 (Dainippon Chemical Industry ( Co., Ltd., hereinafter referred to as R-08), 0.1 parts by weight, 2,5-bis (1,1,3,3-tetramethylbutyl) hydroquinone (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) as a polymerization inhibitor , Hereinafter referred to as DOHQ) 0.2 parts by weight (0.5% by mass with respect to the solid content excluding the coloring material), and 100 parts by weight of PGMEA as an organic solvent are mixed for photosensitive coloring. The Narubutsu was prepared. Table 1 shows the evaluation results of pattern sensitivity, exposure margin, and development margin. Good results were obtained for all evaluation items, and high-definition patterns could be produced with a wide process margin.

実施例2
重合禁止剤としてtert−ブチルカテコール(和光純薬工業(株)製、以下TBCとする)を0.4重量部(色材を除く固形分に対して1質量%)、反応性モノマーとしてTO−1382を6重量部、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートおよびジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物(日本化薬(株)製“カヤキュア”DPHA、以下DPHAとする)を6重量部加えた以外は実施例1と同様にして感光性着色組成物を調整した。なお、このときの反応性モノマー全体の酸価は15であった。評価結果を表1に示す。全ての評価項目について良好な結果であり、高精細なパターンを広プロセスマージンで作製することができた。
Example 2
As a polymerization inhibitor, tert-butylcatechol (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., hereinafter referred to as TBC) is 0.4 parts by weight (1% by mass with respect to the solid content excluding the coloring material), and TO- is used as the reactive monomer. Example 1 except that 6 parts by weight of 1382 and 6 parts by weight of a mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate (“Kayacure” DPHA manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., hereinafter referred to as DPHA) were added. Thus, a photosensitive coloring composition was prepared. In addition, the acid value of the whole reactive monomer at this time was 15. The evaluation results are shown in Table 1. Good results were obtained for all evaluation items, and high-definition patterns could be produced with a wide process margin.

実施例3
重合禁止剤としてTBCを0.04重量部(色材を除く固形分に対して0.1質量%)、反応性モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートおよびジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物と無水コハク酸との反応物であり、構造式(1)で−Rは−H、n=1、−X−は−O−、−Y−はエチレン基で表されるものを含有するTO−2349(東亞合成(株)製)を2.4重量部、DPHAを9.6重量部、加えた以外は実施例1と同様にして感光性着色組成物を調整した。なお、このときの反応性モノマー全体の酸価は13であった。評価結果を表1に示す。感度については良好であった。露光マージン、現像マージンについては、露光ギャップ300μmで若干太く、現像時間120秒では若干細くなっていたが、ほぼ良好な結果であった。
Example 3
0.04 parts by weight of TBC as a polymerization inhibitor (0.1% by mass based on solid content excluding colorant), and a mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate as a reactive monomer and succinic anhydride In the structural formula (1), -R 1 is -H, n = 1, -X- is -O-, and -Y- is an ethylene group. A photosensitive coloring composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that 2.4 parts by weight of Toagosei Co., Ltd. and 9.6 parts by weight of DPHA were added. In addition, the acid value of the whole reactive monomer at this time was 13. The evaluation results are shown in Table 1. The sensitivity was good. Although the exposure margin and the development margin were slightly thick at the exposure gap of 300 μm and slightly narrowed at the development time of 120 seconds, the results were almost satisfactory.

参考例1
重合禁止剤として2,5−ビス(1,1,−ジメチルブチル)ヒドロキノン(和光純薬工業(株)製、以下DHHQとする)を0.8重量部(色材を除く固形分に対して2質量%)、反応性モノマーとしてTO−1382を8.4重量部、DPHAを3.6重量部、光重合開始剤としてCGI113を8重量部を加えた以外は実施例1と同様にして感光性着色組成物を調整した。なお、このときの反応性モノマー全体の酸価は21であった。評価結果を表1に示す。感度についてはやや劣っていたが、露光マージン、現像マージンについては、良好な結果であり、高精細なパターンを広プロセスマージンで作製することができた。
Reference example 1
2,5-bis (1,1, -dimethylbutyl) hydroquinone (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., hereinafter referred to as DHHQ) as a polymerization inhibitor is 0.8 parts by weight (based on the solid content excluding the coloring material) 2% by mass), sensitized in the same manner as in Example 1 except that 8.4 parts by weight of TO-1382 as a reactive monomer, 3.6 parts by weight of DPHA, and 8 parts by weight of CGI113 as a photopolymerization initiator were added. The coloring composition was adjusted. In addition, the acid value of the whole reactive monomer at this time was 21. The evaluation results are shown in Table 1. Although the sensitivity was slightly inferior, the exposure margin and the development margin were satisfactory, and a high-definition pattern could be produced with a wide process margin.

実施例
顔料としてピグメントグリーン36とピグメントイエロー150の65/35(重量比)混合物を14重量部、高分子分散剤として“Disperbyk”2001を9重量部、ポリマーAを4重量部、有機溶剤として、PGMEA73重量部を混合した後、ジルコニアビーズが充填されたミル型分散機を用いて分散し、顔料分散液を得た。
次に、この顔料分散液100重量部に対し、ポリマーAを10重量部、反応性モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートおよびジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物と無水コハク酸との反応物であり、構造式(1)で−Rは−H、n=1、−X−は−O−、−Y−はエチレン基で表されるものを含有する酸価27のTO−2348(東亞合成(株)製)を12重量部、光重合開始剤としてCGI242を8重量部、密着改良剤としてKBM503を1.7重量部、界面活性剤としてR−08を0.1重量部、重合禁止剤としてTBC0.6重量部(色材を除く固形分に対して1.5質量%)、および有機溶剤としてPGMEA100重量部を混合して、感光性着色組成物を調製した。パターン感度、露光マージン、現像マージンの評価結果を表1に示す。全ての評価項目において良好な結果であり、高精細なパターンを広プロセスマージンで作製することができた。
Example 4
14 parts by weight of a 65/35 (weight ratio) mixture of Pigment Green 36 and Pigment Yellow 150 as a pigment, 9 parts by weight of “Disperbyk” 2001 as a polymer dispersant, 4 parts by weight of Polymer A, and 73 weights of PGMEA as an organic solvent After mixing the parts, the mixture was dispersed using a mill type disperser filled with zirconia beads to obtain a pigment dispersion.
Next, with respect to 100 parts by weight of this pigment dispersion, 10 parts by weight of polymer A as a reactive monomer is a reaction product of a mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate and succinic anhydride, In formula (1), -R 1 is -H, n = 1, -X- is -O-, and -Y- is an ethylene group having an acid value of 27 TO-2348 (Toagosei Co., Ltd.) )), 12 parts by weight of CGI242 as a photopolymerization initiator, 1.7 parts by weight of KBM503 as an adhesion improver, 0.1 part by weight of R-08 as a surfactant, TBC0 as a polymerization inhibitor .6 parts by weight (1.5% by mass with respect to the solid content excluding the coloring material) and 100 parts by weight of PGMEA as an organic solvent were mixed to prepare a photosensitive coloring composition. Table 1 shows the evaluation results of pattern sensitivity, exposure margin, and development margin. Good results were obtained for all evaluation items, and high-definition patterns could be produced with a wide process margin.

参考例2
顔料としてピグメントブルー15:6とピグメントバイオレット23の96/4(重量比)混合物を14重量部、高分子分散剤として“Disperbyk”2001を9重量部、ポリマーAを4重量部、有機溶剤として、PGMEA73重量部を混合した後、ジルコニアビーズが充填されたミル型分散機を用いて分散し、顔料分散液を得た。
次に、この顔料分散液100重量部に対し、ポリマーAを10重量部、反応性モノマーとしてTO−1382を12重量部、光重合開始剤として2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製“イルガキュア”907、以下IC907とする)6重量部、2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬(株)製、“カヤキュア”DETX−S、以下DETXとする)2重量部、密着改良剤としてKBM503を1.7重量部、界面活性剤としてR−08を0.1重量部、重合禁止剤としてTBC0.1重量部(色材を除く固形分に対して0.25質量%)、および有機溶剤としてPGMEA100重量部を混合して、感光性着色組成物を調製した。評価結果を表1に示す。現像時間が120秒と長い場合には、若干線幅が細くなっていたが、高精細なパターンを広プロセスマージンで作製することができた。
Reference example 2
Pigment Blue 15: 6 as pigment and 96/4 (weight ratio) mixture of Pigment Violet 23, 14 parts by weight as polymer dispersant “Disperbyk” 2001, 4 parts by weight of polymer A, as organic solvent, After mixing 73 parts by weight of PGMEA, the mixture was dispersed using a mill type disperser filled with zirconia beads to obtain a pigment dispersion.
Next, 10 parts by weight of polymer A, 12 parts by weight of TO-1382 as a reactive monomer, and 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl as a photopolymerization initiator with respect to 100 parts by weight of this pigment dispersion ] 2-morpholinopropan-1-one ("Irgacure" 907 manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd., hereinafter referred to as IC907), 6 parts by weight, 2,4-diethylthioxanthone (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., " Kayacure “DETX-S” (hereinafter referred to as “DETX”) 2 parts by weight, KBM503 as an adhesion improver 1.7 parts by weight, surfactant R-08 0.1 parts by weight, polymerization inhibitor TBC 0.1 parts by weight A photosensitive coloring composition was prepared by mixing 100 parts by weight of PGMEA as an organic solvent (0.25% by mass with respect to the solid content excluding the coloring material). The evaluation results are shown in Table 1. When the development time was as long as 120 seconds, the line width was slightly narrowed, but a high-definition pattern could be produced with a wide process margin.

実施例
遮光剤としてカーボンブラックとチタンブラックの50/50(重量比)混合物を20重量部、ポリマーAを10重量部、有機溶剤としてPGMEA70重量部を混合した後、ジルコニアビーズが充填されたミル型分散機を用いて分散し、顔料分散液を得た。
次に、この顔料分散液100重量部に対し、TO−2348を10重量部、光重合開始剤としてCGI242を10重量部、密着改良剤としてKBM503を1.5重量部、界面活性剤としてR−08を0.1重量部、重合禁止剤としてTBC0.1重量部(色材を除く固形分に対して0.3質量%)、および有機溶剤としてPGMEA100重量部を混合して、感光性着色組成物を調製した。感度、現像マージンについては良好であった。露光ギャップ300μmで若干太くなっていたが、ほぼ良好な結果であった。
Example 5
Mill type disperser filled with 20 parts by weight of a 50/50 (weight ratio) mixture of carbon black and titanium black as a light-shielding agent, 10 parts by weight of polymer A and 70 parts by weight of PGMEA as an organic solvent, and then filled with zirconia beads To obtain a pigment dispersion.
Next, 10 parts by weight of TO-2348, 10 parts by weight of CGI242 as a photopolymerization initiator, 1.5 parts by weight of KBM503 as an adhesion improver, and R-- as a surfactant with respect to 100 parts by weight of this pigment dispersion 0.1 parts by weight of 08, 0.1 parts by weight of TBC as a polymerization inhibitor (0.3% by mass with respect to the solid content excluding the coloring material), and 100 parts by weight of PGMEA as an organic solvent were mixed to form a photosensitive coloring composition. A product was prepared. The sensitivity and development margin were good. Although the exposure gap was slightly thick at 300 μm, the result was almost satisfactory.

比較例1
重合禁止剤としてDHHQを0.04重量部(色材を除く固形分に対して0.1質量%)、反応性モノマーとして酸価0のDPHAを12重量部加えた以外は実施例1と同様にして感光性着色組成物を調整した。感度は良好であったが、露光ギャップや現像時間を変えた場合の画素幅のばらつきが大きく、高精細なパターンを作製することが困難であった。
Comparative Example 1
As in Example 1, except that 0.04 parts by weight of DHHQ as a polymerization inhibitor (0.1% by mass with respect to the solid content excluding the colorant) and 12 parts by weight of DPHA having an acid value of 0 as a reactive monomer were added. Thus, a photosensitive coloring composition was prepared. Although the sensitivity was good, there was a large variation in pixel width when the exposure gap and development time were changed, and it was difficult to produce a high-definition pattern.

比較例2
重合禁止剤としてTBCを2重量部(色材を除く固形分に対して5質量%)、反応性モノマーとして酸価0のDPHAを12重量部、光重合開始剤としてCGI113を8重量部加えた以外は実施例1と同様にして感光性着色組成物を調整した。感度が不足しており、パターン表面の剥がれが観察された。
Comparative Example 2
2 parts by weight of TBC as a polymerization inhibitor (5% by mass based on solid content excluding colorant), 12 parts by weight of DPHA having an acid value of 0 as a reactive monomer, and 8 parts by weight of CGI 113 as a photopolymerization initiator were added. Except for the above, a photosensitive coloring composition was prepared in the same manner as in Example 1. The sensitivity was insufficient, and peeling of the pattern surface was observed.

比較例3
重合禁止剤の添加無し、反応性モノマーとしてTO−1382を12重量部加えた以外は実施例6と同様にして感光性着色組成物を調整した。感度がやや不足しており、パターン表面の膜荒れが見られた。また、露光ギャップを広げた場合には、画素幅は太くなってしまい、高精細なパターンを作製することが困難であった。
Comparative Example 3
A photosensitive coloring composition was prepared in the same manner as in Example 6 except that no polymerization inhibitor was added and 12 parts by weight of TO-1382 was added as a reactive monomer. The sensitivity was slightly insufficient, and film roughness on the pattern surface was observed. In addition, when the exposure gap is widened, the pixel width becomes large, and it is difficult to produce a high-definition pattern.

Figure 0004821206
Figure 0004821206

Claims (5)

少なくとも顔料、アクリル系樹脂、反応性モノマー、光重合開始剤、重合禁止剤、および有機溶剤を含有するカラーフィルター用感光性着色組成物において、重合禁止剤がヒドロキノン系あるいはカテコール系の重合禁止剤であって、かつ、反応性モノマーが下記構造式(1)で表されるものを含有し、さらに光重合開始剤として、下記構造式(2)で表される化合物を含有することを特徴とするカラーフィルター用感光性着色組成物。
Figure 0004821206
(式中、nは1〜4の整数を表し、−Rは−Hもしくは−CHを表し、−X−は−O−、−O(CHCHO−、または−O(CHCHCHO−を表し、−Y−は炭素数1〜8のアルキレン基、ならびにそれぞれ置換されていても良いフェニレン基、シクロヘキシレン基、およびシクロヘキシレン基の一部が不飽和結合である基、からなる群から選ばれる基を表す。但し、mは1〜8の整数を表す。)
Figure 0004821206
(式中、Arは置換されていても良いアリール基を表し、R は炭素数1〜6のアルキル基を表す)
In a photosensitive coloring composition for a color filter containing at least a pigment, an acrylic resin, a reactive monomer, a photopolymerization initiator, a polymerization inhibitor, and an organic solvent, the polymerization inhibitor is a hydroquinone or catechol polymerization inhibitor. And the reactive monomer contains a compound represented by the following structural formula (1), and further contains a compound represented by the following structural formula (2) as a photopolymerization initiator. Photosensitive coloring composition for color filters.
Figure 0004821206
(Wherein, n represents an integer of 1 to 4, -R 1 represents -H or -CH 3, -X- is -O -, - O (CH 2 CH 2) m O-, or -O (CH 2 CH 2 CH 2 ) m O—, wherein —Y— is an alkylene group having 1 to 8 carbon atoms, and a phenylene group, a cyclohexylene group, and a part of the cyclohexylene group, each of which may be substituted. Represents a group selected from the group consisting of a group that is an unsaturated bond, provided that m represents an integer of 1 to 8.)
Figure 0004821206
(In the formula, Ar represents an optionally substituted aryl group, and R 2 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms)
前記反応性モノマー全体の酸価が5〜50mgKOH/gであるものを含有することを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルター用感光性着色組成物。 2. The photosensitive coloring composition for a color filter according to claim 1, wherein the reactive monomer has an acid value of 5 to 50 mg KOH / g as a whole. 前記重合禁止剤が顔料を除く固形分量に対して、0.1〜3質量%含まれることを特徴とする請求項1または2に記載のカラーフィルター用感光性着色組成物。 The photosensitive coloring composition for a color filter according to claim 1 or 2, wherein the polymerization inhibitor is contained in an amount of 0.1 to 3% by mass based on the solid content excluding the pigment. 前記重合禁止剤として、下記構造式(3)または(4)で表される化合物を含有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のカラーフィルター用感光性着色組成物。The photosensitive coloring composition for a color filter according to any one of claims 1 to 3, comprising a compound represented by the following structural formula (3) or (4) as the polymerization inhibitor.
Figure 0004821206
Figure 0004821206
(式中、R(Wherein R 3 、R, R 4 、R, R 5 、はそれぞれ独立に水素原子もしくは炭素数1〜10のアルキル基、脂環式基を表す)And each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, or an alicyclic group).
任意の色数で各色別に所望のパターン状に設けられた着色層からなる画素を有するカラーフィルターにおいて、該着色層が請求項1〜4のいずれかに記載のカラーフィルター用感光性着色組成物により形成される着色膜を含有することを特徴とするカラーフィルター。In the color filter which has the pixel which consists of a colored layer provided in the desired pattern form for each color by arbitrary colors, this colored layer is by the photosensitive coloring composition for color filters in any one of Claims 1-4. A color filter comprising a colored film to be formed.
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