JP4766885B2 - Wavelength fluctuation measuring device - Google Patents

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Description

本発明は、レーザ波長の制御装置に利用する。特に、半導体レーザの波長を高精度に設定または波長の掃引を高速かつ高精度に行うための励起電流制御に利用するに適する。   The present invention is used for a laser wavelength control device. In particular, it is suitable for use in excitation current control for setting the wavelength of a semiconductor laser with high accuracy or performing wavelength sweeping at high speed and with high accuracy.

大容量WDM伝送システムにおいては、送信器から出力される多数の光波長を光周波数上に均等に並べる必要がある。このため、制御回路により波長を安定化させ、出力される波長の揺らぎを抑えることが重要となる。   In a large-capacity WDM transmission system, it is necessary to arrange a large number of optical wavelengths output from a transmitter evenly on the optical frequency. For this reason, it is important to stabilize the wavelength by the control circuit and suppress the fluctuation of the output wavelength.

また、伝送路で使用される光学部品や光ファイバの群速度分散、PMDの波長依存性もシステム設計上で重要である。これらの光学特性の測定のためには、測定器から出力されるプローブ光の波長を精度良く安定化させるだけでなく、測定の過程で波長を変更させる必要がある。   In addition, the optical component used in the transmission path, the group velocity dispersion of the optical fiber, and the wavelength dependence of PMD are also important in system design. In order to measure these optical characteristics, it is necessary not only to stabilize the wavelength of the probe light output from the measuring instrument with high accuracy, but also to change the wavelength during the measurement process.

レーザ光の波長の変動量をモニタする従来技術としては、以下の方法が挙げられる。
1)エタロンやガス等、特定の波長を吸収する媒質を利用する構成
レーザの出力の一部を分岐して上記媒質に入射する。上記媒質の出力強度をモニタすることにより、波長揺らぎの情報を得る。レーザ出力の強度揺らぎによる影響をキャンセルするため、上記媒質入力前の光強度も併せてモニタする(例えば、特許文献1、非特許文献1参照)。
2)参照用レーザ光とのビートをモニタする構成
レーザの出力の一部を分岐して、波長が充分安定している参照用レーザ光の出力と合波した後に受光し、両者の干渉によるビート成分をモニタする。ビート成分の周波数により、レーザ出力の波長揺らぎの情報を得る(例えば、特許文献2参照)。
3)周期的に光路長が変化する干渉計を利用する構成
レーザの出力の一部を分岐して干渉計に入力する。干渉計は2光束に分岐するタイプであり、かつその光路長差は変調される。干渉計の出力は波長と光路長差に依存するが、光路長差の変動量とその周期が既知であればレーザの波長の変動量をモニタできる(例えば、特許文献3参照)。
As a conventional technique for monitoring the fluctuation amount of the wavelength of the laser beam, the following method can be cited.
1) Configuration using a medium that absorbs a specific wavelength such as etalon or gas A part of the output of the laser is branched and incident on the medium. By monitoring the output intensity of the medium, information on wavelength fluctuation is obtained. In order to cancel the influence due to the intensity fluctuation of the laser output, the light intensity before the medium input is also monitored (see, for example, Patent Document 1 and Non-Patent Document 1).
2) Configuration for monitoring the beat with the reference laser beam A part of the output of the laser is branched, combined with the output of the reference laser beam having a sufficiently stable wavelength, and then received, and the beat due to interference between the two Monitor ingredients. Information on the wavelength fluctuation of the laser output is obtained from the frequency of the beat component (see, for example, Patent Document 2).
3) Configuration using an interferometer whose optical path length changes periodically. Part of the laser output is branched and input to the interferometer. The interferometer is of a type that splits into two light beams, and its optical path length difference is modulated. The output of the interferometer depends on the wavelength and the optical path length difference, but if the fluctuation amount of the optical path length difference and its period are known, the fluctuation amount of the laser wavelength can be monitored (for example, see Patent Document 3).

Elec.Lett.Vol.16P.709Elec. Lett. Vol. 16P. 709 特開平8−316559号公報JP-A-8-316559 特開平7−58397号公報JP-A-7-58397 特開2001−27512号公報JP 2001-27512 A

しかしながら、これらの構成には以下の問題点がある。第1の方法では、レーザの波長によっては、レーザ光が媒質に殆ど吸収されてしまう。一方、受光器はそれ自体がノイズを有するため、吸収の大きな波長領域ではモニタの精度が下がってしまう。また、吸収(または消光)の大きさと波長に対して線形ではないため、波長の変動量を正確に求めることは困難である。   However, these configurations have the following problems. In the first method, depending on the wavelength of the laser, the laser light is almost absorbed by the medium. On the other hand, since the optical receiver itself has noise, the accuracy of the monitor is lowered in the wavelength region where the absorption is large. Further, since it is not linear with respect to the magnitude of absorption (or extinction) and the wavelength, it is difficult to accurately determine the amount of wavelength variation.

第2の方法では、安定化しようとするレーザと参照用のレーザとの波長間隔が広くなると、両者のビート成分の周波数も高くなり、広帯域な検出手段が必要になってしまう。また、2つのレーザの干渉強度は偏波状態に強く依存してしまう。   In the second method, when the wavelength interval between the laser to be stabilized and the reference laser is widened, the frequency of the beat component of both becomes high, and a broadband detection means is required. Further, the interference intensity of the two lasers strongly depends on the polarization state.

第3の方法では、光路長を正確かつ高速に変調する必要がある。特許文献3では、位相変調器により光路長を周期的に変更する構成が記載されているが、レーザの波長揺らぎがこの変調周期よりも速い場合は揺らぎを検出することができない。また、光路長の周期的変動の再現性が低いと、検出結果にも誤差が生じてしまう。   In the third method, it is necessary to modulate the optical path length accurately and at high speed. Patent Document 3 describes a configuration in which the optical path length is periodically changed by a phase modulator. However, when the wavelength fluctuation of the laser is faster than this modulation period, the fluctuation cannot be detected. In addition, if the reproducibility of the periodic variation of the optical path length is low, an error also occurs in the detection result.

本発明は、このような背景の下に行われたものであり、レーザの絶対波長や偏波に依存せずに精度よく、レーザの出力波長の変動量をモニタ可能であり、かつ、位相変調器の変調速度に制限を受けることなく、高速にレーザの出力波長の変動量をモニタ可能である波長変動測定装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made under such a background, and can accurately monitor the fluctuation amount of the output wavelength of the laser without depending on the absolute wavelength or the polarization of the laser, and can perform phase modulation. An object of the present invention is to provide a wavelength fluctuation measuring apparatus capable of monitoring the fluctuation amount of the output wavelength of the laser at high speed without being limited by the modulation speed of the optical device.

本発明は、レーザ光の波長変動を測定する波長変動測定装置であって、本発明の特徴とするところは、波長の安定した参照光源と、測定対象のレーザ光と前記参照光源の出力とを合波する合波手段と、前記合波手段の出力に接続され、片方の光路に波長シフタを有する2光束の干渉計と、前記2光束の干渉計の出力から測定対象のレーザ光のみを選択的に取り出す第一の波長選択手段と、前記2光束の干渉計の出力から前記参照光源の出力のみを選択的に取り出す第二の波長選択手段と、前記第一の波長選択手段の出力を光電気変換する第一の光電気変換手段と、前記第二の波長選択手段の出力を光電気変換する第二の光電気変換手段と、前記第一の光電気変換手段の出力と前記第二の光電気変換手段の出力とに接続された位相比較器とを有し、前記参照光は、測定対象となるレーザ光との相互干渉が実質的に無視できる程度に離れた波長に設定され、前記波長シフタは測定対象のレーザ光(キャリア周波数f0)と参照光(キャリア周波数fref)の両者のキャリア周波数をΔfだけ変化させ、前記干渉計は、キャリア周波数f0およびf0+Δfの光を干渉させると共に、キャリア周波数frefおよびfref+Δfの光を干渉させ、前記位相比較器は、前記第一および第二の光電気変換手段からそれぞれ入力された2つの入力信号の持つΔfの周波数成分について位相比較を行い、位相差に応じた信号を出力する手段を備えたところにある。 The present invention is a wavelength fluctuation measuring apparatus for measuring the wavelength fluctuation of a laser beam. The feature of the present invention is that a reference light source having a stable wavelength, a laser beam to be measured, and an output of the reference light source are provided. Selects only the laser beam to be measured from the combining means for combining, the two-beam interferometer connected to the output of the combining means and having a wavelength shifter in one optical path, and the output of the two-beam interferometer First wavelength selection means for taking out the output, second wavelength selection means for selectively taking out only the output of the reference light source from the output of the interferometer of the two light fluxes, and the output of the first wavelength selection means as light First photoelectric conversion means for electrical conversion, second photoelectric conversion means for photoelectric conversion of the output of the second wavelength selection means, output of the first photoelectric conversion means and the second A phase comparator connected to the output of the photoelectric conversion means. The reference light, interference between the measured laser light is set to a wavelength apart to substantially negligible, the wavelength shifter is to be measured laser beam (carrier frequency f 0) and the reference beam ( The carrier frequency f ref ) is changed by Δf, and the interferometer causes the carrier frequencies f 0 and f 0 + Δf to interfere with each other, and causes the carrier frequencies f ref and f ref + Δf to interfere with each other. The phase comparator includes means for comparing the phases of the Δf frequency components of the two input signals respectively input from the first and second photoelectric conversion means and outputting a signal corresponding to the phase difference. There is.

あるいは、本発明は、レーザ光の波長変動を測定する波長変動測定装置であって、本発明の特徴とするところは、波長の安定した参照光源と、測定対象のレーザ光と前記参照光源の出力とを合波する合波手段と、前記合波手段に接続され、一方の光路に第一の波長シフタを有し、他方の光路に第二の波長シフタを有する2光束の干渉計と、前記2光束の干渉計の出力から測定対象のレーザ光のみを選択的に取り出す第一の波長選択手段と、前記2光束の干渉計の出力から前記参照光源の出力のみを選択的に取り出す第二の波長選択手段と、前記第一の波長選択手段の出力を光電気変換する第一の光電気変換手段と、前記第二の波長選択手段の出力を光電気変換する第二の光電気変換手段と、前記第一の光電気変換手段の出力と前記第二の光電気変換手段の出力とに接続された位相比較器とを有し、前記参照光は、測定対象となるレーザ光との相互干渉が実質的に無視できる程度に離れた波長に設定され、前記第一の波長シフタは測定対象のレーザ光(キャリア周波数f0)と参照光(キャリア周波数fref)との両者のキャリア周波数をΔf1だけ変化させ、前記第二の波長シフタは測定対象のレーザ光(キャリア周波数f0)と参照光(キャリア周波数fref)の両者のキャリア周波数をΔf2だけ変化させ、前記干渉計は、キャリア周波数f0+Δf1およびf0+Δf2の光を干渉させると共に、キャリア周波数fref+Δf1およびfref+Δf2の光を干渉させ、前記位相比較器は、2つの入力信号の持つΔf=Δf1−Δf2の周波数成分について位相比較を行い、位相差に応じた信号を出力する手段を備えたところにある。 Alternatively, the present invention is a wavelength variation measuring apparatus for measuring wavelength variation of a laser beam, and the present invention is characterized by a reference light source having a stable wavelength, a laser beam to be measured, and an output of the reference light source A two-beam interferometer connected to the multiplexing means, having a first wavelength shifter in one optical path, and having a second wavelength shifter in the other optical path; A first wavelength selecting means for selectively extracting only the laser beam to be measured from the output of the two-beam interferometer; and a second for selectively extracting only the output of the reference light source from the output of the two-beam interferometer. A wavelength selection means, a first photoelectric conversion means for photoelectrically converting the output of the first wavelength selection means, and a second photoelectric conversion means for photoelectrically converting the output of the second wavelength selection means; , The output of the first photoelectric conversion means and the second photoelectric A phase comparator connected to the output of the conversion means, and the reference light is set to a wavelength separated so that mutual interference with the laser light to be measured is substantially negligible, The wavelength shifter changes the carrier frequency of both the laser beam to be measured (carrier frequency f 0 ) and the reference beam (carrier frequency f ref ) by Δf 1 , and the second wavelength shifter The carrier frequencies of both the carrier frequency f 0 ) and the reference light (carrier frequency f ref ) are changed by Δf 2 , and the interferometer causes the light of the carrier frequencies f 0 + Δf 1 and f 0 + Δf 2 to interfere with each other and the carrier frequency The light of f ref + Δf 1 and f ref + Δf 2 is caused to interfere, and the phase comparator performs phase comparison on the frequency components of Δf = Δf 1 −Δf 2 of the two input signals, and outputs a signal corresponding to the phase difference. There is a means to output the number.

あるいは、本発明は、レーザ光の波長変動を測定する波長変動測定装置であって、本発明の特徴とするところは、測定対象のレーザ光を第一のポートに入力し、このレーザ光を第三および第四のポートにそれぞれ分岐出力する第一のカップラと、この第一のカップラの前記第三および第四のポートに光路がそれぞれ接続され、片方の光路に波長シフタを有する2光束の干渉計と、波長の安定した参照光源と、この参照光源の参照光を第六のポートに入力し、この参照光を第七および第八のポートにそれぞれ分岐出力する第二のカップラとを有し、前記第七および第八のポートは前記干渉計の2つの光路にそれぞれ接続され、前記干渉計内では、前記測定対象のレーザ光と前記参照光とが逆方向に進行し、前記第一のカップラの前記第四および第三のポートからそれぞれ入力された前記参照光は合波されて第二のポートから出力され、前記第二のカップラの前記第七および第八のポートからそれぞれ入力された前記測定対象のレーザ光は合波されて第五のポートから出力され、前記第五のポートの出力を光電気変換する第一の光電気変換手段と、前記第二のポートの出力を光電気変換する第二の光電気変換手段と、前記第一の光電気変換手段の出力と前記第二の光電気変換手段の出力とに接続された位相比較器とを有し、前記波長シフタは測定対象のレーザ光(キャリア周波数f0)と参照光(キャリア周波数fref)の両者のキャリア周波数をΔfだけ変化させ、前記干渉計は、キャリア周波数f0およびf0+Δfの光を干渉させると共に、キャリア周波数frefおよびfref+Δfの光を干渉させ、前記位相比較器は、前記第一および第二の光電気変換手段からそれぞれ入力された2つの入力信号の持つΔfの周波数成分について位相比較を行い、位相差に応じた信号を出力する手段を備えたところにある。 Alternatively, the present invention is a wavelength variation measuring apparatus for measuring the wavelength variation of a laser beam. The feature of the present invention is that a laser beam to be measured is input to a first port, and this laser beam is A first coupler that branches and outputs to each of the third and fourth ports, and an optical path connected to the third and fourth ports of the first coupler, and interference of two light beams having a wavelength shifter on one of the optical paths A reference light source having a stable wavelength, and a second coupler for inputting the reference light of the reference light source to the sixth port and branching and outputting the reference light to the seventh and eighth ports, respectively. The seventh and eighth ports are respectively connected to two optical paths of the interferometer, and the laser light to be measured and the reference light travel in opposite directions in the interferometer, The fourth of the coupler and The reference beams input from the three ports are combined and output from the second port, and the laser beams to be measured input from the seventh and eighth ports of the second coupler are A first photoelectric conversion means that is combined and output from the fifth port and photoelectrically converts the output of the fifth port; and a second photoelectric converter that photoelectrically converts the output of the second port And a phase comparator connected to the output of the first photoelectric conversion means and the output of the second photoelectric conversion means, and the wavelength shifter is a laser beam (carrier frequency) to be measured. f 0 ) and the reference light (carrier frequency f ref ) are changed by Δf, and the interferometer causes light of carrier frequencies f 0 and f 0 + Δf to interfere with each other, and the carrier frequencies f ref and f ref + Δf The phase comparator performs phase comparison on the frequency components of Δf of the two input signals respectively input from the first and second photoelectric conversion means, and outputs a signal corresponding to the phase difference There is a means to do.

あるいは、本発明は、レーザ光の波長変動を測定する波長変動測定装置であって、本発明の特徴とするところは、測定対象のレーザ光を第一のポートに入力し、このレーザ光を第三および第四のポートにそれぞれ分岐出力する第一のカップラと、この第一のカップラの前記第三および第四のポートに光路がそれぞれ接続され、一方の光路に第一の波長シフタを有し、他方の光路に第二の波長シフタを有する2光束の干渉計と、波長の安定した参照光源と、この参照光源の参照光を第六のポートに入力し、この参照光を第七および第八のポートにそれぞれ分岐出力する第二のカップラとを有し、前記第七および第八のポートは前記干渉計の2つの光路にそれぞれ接続され、前記干渉計内では、前記測定対象のレーザ光と前記参照光とが逆方向に進行し、前記第一のカップラの前記第四および第三のポートからそれぞれ入力された前記参照光は合波されて第二のポートから出力され、前記第二のカップラの前記第七および第八のポートからそれぞれ入力された前記測定対象のレーザ光は合波されて第五のポートから出力され、前記第五のポートの出力を光電気変換する第一の光電気変換手段と、前記第二のポートの出力を光電気変換する第二の光電気変換手段と、前記第一の光電気変換手段の出力と前記第二の光電気変換手段の出力とに接続された位相比較器とを有し、前記第一の波長シフタは測定対象のレーザ光(キャリア周波数f0)と参照光(キャリア周波数fref)との両者のキャリア周波数をΔf1だけ変化させ、前記第二の波長シフタは測定対象のレーザ光(キャリア周波数f0)と参照光(キャリア周波数fref)の両者のキャリア周波数をΔf2だけ変化させ、前記干渉計は、キャリア周波数f0+Δf1およびf0+Δf2の光を干渉させると共に、キャリア周波数fref+Δf1およびfref+Δf2の光を干渉させ、前記位相比較器は、2つの入力信号の持つΔf=Δf1−Δf2の周波数成分について位相比較を行い、位相差に応じた信号を出力する手段を備えたところにある。 Alternatively, the present invention is a wavelength variation measuring apparatus for measuring the wavelength variation of a laser beam. The feature of the present invention is that a laser beam to be measured is input to a first port, and this laser beam is A first coupler that branches and outputs to each of the third and fourth ports; an optical path connected to the third and fourth ports of the first coupler; and a first wavelength shifter on one of the optical paths. , A two-beam interferometer having a second wavelength shifter in the other optical path, a reference light source having a stable wavelength, and the reference light of this reference light source are input to the sixth port, and the reference light is supplied to the seventh and seventh light sources. A second coupler that branches and outputs to each of the eight ports, and the seventh and eighth ports are respectively connected to two optical paths of the interferometer, and the laser light to be measured in the interferometer And the reference light in the opposite direction The reference lights input from the fourth and third ports of the first coupler are combined and output from the second port, and the seventh and eighth of the second coupler are combined. A first photoelectric conversion means for combining the laser beams to be measured, which are respectively input from the first port, and output from the fifth port, and photoelectrically converting the output of the fifth port; A second photoelectric conversion means for photoelectrically converting the output of the first port; and a phase comparator connected to the output of the first photoelectric conversion means and the output of the second photoelectric conversion means. The first wavelength shifter changes the carrier frequencies of both the laser light (carrier frequency f 0 ) and the reference light (carrier frequency f ref ) to be measured by Δf 1 , and the second wavelength shifter measures Target laser beam (carrier frequency 0) and the carrier frequency of both the reference light (carrier frequency f ref) is changed by Delta] f 2, wherein the interferometer causes interference light of the carrier frequency f 0 + Delta] f 1 and f 0 + Delta] f 2, the carrier frequency f ref The light of + Δf 1 and f ref + Δf 2 is caused to interfere, and the phase comparator performs phase comparison on the frequency components of Δf = Δf 1 −Δf 2 of the two input signals and outputs a signal corresponding to the phase difference. There is a means.

また、前記干渉計は、少なくとも片方の光路に可変ディレイを有し、前記可変ディレイは、前記干渉計の2つの光路長の差Δτを0ではない任意の値に設定する手段を備えることができる。   The interferometer has a variable delay in at least one of the optical paths, and the variable delay can include means for setting a difference Δτ between two optical path lengths of the interferometer to an arbitrary value other than 0. .

また、前記第一および第二の光電気変換手段は、それぞれ第一および第二のリミッタ回路を有し、前記第一および第二のリミッタ回路は、測定対象となるレーザ光および参照光源の光強度に関わらず、前記Δfの周波数成分の振幅を一定とする手段を備えることができる。   The first and second photoelectric conversion units have first and second limiter circuits, respectively, and the first and second limiter circuits are laser light to be measured and light of a reference light source. Regardless of the intensity, means for making the amplitude of the frequency component of Δf constant can be provided.

また、本発明は、前述した本発明の波長変動測定装置が複数並列に配置され、複数の前記波長変動測定装置は、一つの参照光源を共有し、個々の前記波長変動測定装置は、前記Δfは等しいが前記Δτが互いに異なる多段波長変動測定装置である。   Further, in the present invention, a plurality of the wavelength fluctuation measuring apparatuses of the present invention described above are arranged in parallel, the plurality of wavelength fluctuation measuring apparatuses share one reference light source, and each of the wavelength fluctuation measuring apparatuses has the Δf. Are the multi-stage wavelength variation measuring apparatuses having the same Δτ but different Δτ.

あるいは、本発明は、前述した本発明の波長変動測定装置が複数並列に配置され、複数の前記波長変動測定装置は、一つの参照光源および波長シフタを共有し、個々の前記波長変動測定装置は、前記Δfは等しいが前記Δτが互いに異なる多段波長変動測定装置である。   Alternatively, in the present invention, a plurality of the wavelength variation measuring devices of the present invention described above are arranged in parallel, the plurality of wavelength variation measuring devices share one reference light source and a wavelength shifter, and each of the wavelength variation measuring devices is The multi-stage wavelength variation measuring apparatus is the same Δf but different Δτ.

次に、図1を参照して本発明の作用を説明する。図1は本発明の波長変動測定装置の基本構成を示す図である。光入力端子1には、測定対象となる光を入力する。以下、この測定対象となる光のキャリア周波数をf0と表記する。Ref光源2は、波長が時間によらず一定に保たれた光源を用いる。以下、このRef光源2の出力のキャリア周波数をfrefと表記する。f0とfrefとは、相互に干渉しない程度に充分離れた値にしておく。 Next, the operation of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a diagram showing a basic configuration of a wavelength variation measuring apparatus according to the present invention. Light to be measured is input to the optical input terminal 1. Hereinafter, the carrier frequency of the light to be measured is expressed as f 0 . The Ref light source 2 uses a light source whose wavelength is kept constant regardless of time. Hereinafter, the carrier frequency of the output of the Ref light source 2 is expressed as f ref . f 0 and f ref are set to values sufficiently separated so as not to interfere with each other.

両者は第1のカップラC1の第1ポート♯1および第2ポート♯2にそれぞれ入力されて合波されたのち第3ポート♯3および第4ポート♯4にそれぞれ分岐され、第2のカップラC2の第7ポート♯7および第8ポート♯8にそれぞれ入力されて再び合波される。このとき、第4ポート♯4から出力される片方の分岐は波長シフタ3を経由する。第二のカップラC2の出力は2つの第5ポート♯5および第6ポート♯6にそれぞれ分岐され、片方の第5ポート♯5の出力はfrefを遮断する光BRF(Band
Rejection Filter)4を経て第1のO/Eコンバータ5に入射し、他方の第6ポート♯6の出力はfrefのみを通過させる光BPF6を経て第二のO/Eコンバータ7に入射する。
Both are input to the first port # 1 and the second port # 2 of the first coupler C1, are combined, and then branched to the third port # 3 and the fourth port # 4, respectively. Are respectively input to the seventh port # 7 and the eighth port # 8 and multiplexed again. At this time, one branch output from the fourth port # 4 passes through the wavelength shifter 3. The second output of coupler C2 of is branched to two fifth port ♯5 and sixth port # 6, the output of the fifth port ♯5 of one light BRF (Band for blocking f ref
The light enters the first O / E converter 5 through the Rejection Filter 4, and the output of the other sixth port # 6 enters the second O / E converter 7 through the optical BPF 6 that passes only f ref .

ここで、波長シフタ3のシフト量をΔfとする。前述のようにf0とfrefとは相互に干渉しないが、f0とf0+Δfは干渉するため、第1のO/Eコンバータ5の出力I0はΔfで周期的に強度が変動する。時間tの関数で表すと、
0=[exp{2πif0(t−τ1−τ3)}+exp{2πi・(f0+Δf)(t−τ2−τ3)+iπk0/2}]×[位相共役項]
=1+cos[2π{Δf(t−τ2−τ3)+f0(τ1−τ2)}+k1π/2]
ここでkiはカップラの分岐の組み合わせで決まる整数であり、τiは各分岐における遅延時間を表す(図1参照)。振幅を表す係数は略した。一方、第2のO/Eコンバータ7の出力Irefについても同様の議論が成り立つ。
Here, the shift amount of the wavelength shifter 3 is assumed to be Δf. As described above, f 0 and f ref do not interfere with each other, but f 0 and f 0 + Δf interfere with each other, so that the output I 0 of the first O / E converter 5 periodically varies in intensity with Δf. . Expressed as a function of time t,
I 0 = [exp {2πif 0 (t-τ 1 -τ 3)} + exp {2πi · (f 0 + Δf) (t-τ 2 -τ 3) + iπk 0/2}] × [ phase conjugation section]
= 1 + cos [2π {Δf (t−τ 2 −τ 3 ) + f 01 −τ 2 )} + k 1 π / 2]
Here, ki is an integer determined by a combination of coupler branches, and τi represents a delay time in each branch (see FIG. 1). The coefficient representing the amplitude was omitted. On the other hand, the same argument holds for the output I ref of the second O / E converter 7.

ref=1+cos[2π{Δf(t−τ2 *−τ4 *)+fref(τ1 *−τ2 *)}+k2π/2]
と表される。ただし、群速度分散を考慮し、各分岐の遅延時間をτi*と表記している。第1のO/Eコンバータ5の出力と第2のO/Eコンバータ7の出力とは、位相比較器8に入力される。
I ref = 1 + cos [2π {Δf (t−τ 2 * −τ 4 * ) + f ref1 * −τ 2 * )} + k 2 π / 2]
It is expressed. However, in consideration of group velocity dispersion, the delay time of each branch is expressed as τi * . The output of the first O / E converter 5 and the output of the second O / E converter 7 are input to the phase comparator 8.

位相比較器8は、Δfの周波数で振動する2つの信号の位相差を検出し、位相差に応じた直流信号を出力する。I0とIrefとの位相差Δφは上記の式より
Δφ=2πΔf(τ3−τ4 *+τ2−τ2 *)+2πfref(τ1 *−τ2 *)−2πf0(τ1−τ2)+(k2−k1)π/2[rad]…(式1)
となり、時間tに依存しない。なお、波長分散が無視できる場合は式1は
Δφ=2πΔf(τ3−τ4)+2π(fref−f0)(τ1−τ2)+(k2−k1)π/2[rad]
と簡略化される。
The phase comparator 8 detects a phase difference between two signals that vibrate at a frequency of Δf, and outputs a DC signal corresponding to the phase difference. The phase difference Δφ between I 0 and I ref is calculated from the above equation: Δφ = 2πΔf (τ 3 −τ 4 * + τ 2 −τ 2 * ) + 2πf ref1 * −τ 2 * ) − 2πf 01 − τ 2 ) + (k 2 −k 1 ) π / 2 [rad] (Equation 1)
And does not depend on time t. When chromatic dispersion is negligible, Equation 1 can be expressed as Δφ = 2πΔf (τ 3 −τ 4 ) + 2π (f ref −f 0 ) (τ 1 −τ 2 ) + (k 2 −k 1 ) π / 2 [rad ]
And simplified.

各遅延時間およびRef光源2の出力frefが時間によらず一定であれば、位相差は
Δφ=−2πf0(τ1−τ2)+定数 …(式2)
となるから、f0の揺らぎは位相差の変化となって現れる。位相比較器8によりΔφを検出することにより、測定対象となる光の波長揺らぎを検出することができる。また、波長掃引のために意図的にf0を変更した場合も、f0の変化量を正確に検出することができる。波長シフトは音響光学素子で容易に実現可能である。光路長や波長シフトの値は一定でよく、周期的に変調をかける必要がない。
If each delay time and the output f ref of the Ref light source 2 are constant regardless of time, the phase difference is Δφ = −2πf 01 −τ 2 ) + constant (Expression 2)
Therefore, the fluctuation of f 0 appears as a change in phase difference. By detecting Δφ by the phase comparator 8, it is possible to detect the wavelength fluctuation of the light to be measured. Even when f 0 is intentionally changed for wavelength sweeping, the amount of change in f 0 can be accurately detected. The wavelength shift can be easily realized with an acoustooptic device. The values of the optical path length and wavelength shift may be constant, and there is no need to periodically modulate.

図9に、実験による検証結果を示す。Ref用光源は1550nm、測定対象の光源は1570nm近傍にセットしてある。音響光学素子により波長シフトを行い、Δf=55MHzとした。(a)に、実験開始時のI0とIrefとを示す。どちらの波形も、理論どおり周波数55MHz、周期18nsecのビートを示している。 FIG. 9 shows the result of verification by experiment. The light source for Ref is set to 1550 nm, and the light source to be measured is set to around 1570 nm. Wavelength shift was performed by an acousto-optic device, and Δf = 55 MHz. (A) shows I 0 and I ref at the start of the experiment. Both waveforms show beats with a frequency of 55 MHz and a period of 18 nsec as theoretically.

(b)に、測定対象の光源の波長を微調した直後のI0とIrefとを示す。波長の変動に伴いI0とIrefの位相差Δφは変化して行くため、オシロスコープ上ではI0のピークの位置が画面左にシフトし、収束点近傍で数秒間振動する。 (B) shows I 0 and I ref immediately after fine tuning of the wavelength of the light source to be measured. Since the phase difference Δφ between I 0 and I ref changes as the wavelength changes, the position of the I 0 peak shifts to the left of the screen on the oscilloscope and vibrates for several seconds near the convergence point.

数分後、測定対象の光源の波長が安定した時点での波形を(c)に示す。(a)の状態と比較すると、ピークの位置は8nsec、位相に換算して3radの変動が生じた。これはキャリア周波数に対して120MHzの変動に相当している。   After a few minutes, the waveform when the wavelength of the light source to be measured is stabilized is shown in (c). Compared with the state of (a), the peak position was 8 nsec, and a change of 3 rads in terms of phase occurred. This corresponds to a fluctuation of 120 MHz with respect to the carrier frequency.

本発明によれば、レーザの絶対波長や偏波に依存せずに精度よく、レーザの出力波長の変動量をモニタ可能であり、かつ、位相変調器の変調速度に制限を受けることなく、高速にレーザの出力波長の変動量をモニタ可能である。   According to the present invention, the fluctuation amount of the output wavelength of the laser can be accurately monitored without depending on the absolute wavelength and polarization of the laser, and the high speed without being limited by the modulation speed of the phase modulator. In addition, the fluctuation amount of the output wavelength of the laser can be monitored.

(第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態を図2を参照して説明する。図2は第1の実施形態の波長変動測定装置の構成図である。
(First embodiment)
A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a configuration diagram of the wavelength variation measuring apparatus according to the first embodiment.

第1の実施形態は、図2に示すように、レーザ光の波長変動を測定する波長変動測定装置であって、第1の実施形態の特徴とするところは、波長の安定したRef光源2と、半導体レーザ10から出力される測定対象のレーザ光とRef光源2の出力とを合波する第1のカップラC1と、第1のカップラC1の出力に接続され、片方の光路に波長シフタとしての音響光学素子11を有する2光束の干渉計と、この2光束の干渉計の出力から測定対象のレーザ光のみを選択的に取り出す第一の波長選択手段としての光BRF4と、前記2光束の干渉計の出力からRef光源2の出力のみを選択的に取り出す第二の波長選択手段としての光BPF6と、光BRF4の出力を光電気変換する第1のO/Eコンバータ5と、光BPF6の出力を光電気変換する第2のO/Eコンバータ7と、O/Eコンバータ5の出力とO/Eコンバータ7の出力とに接続された位相比較器8とを有し、前記参照光は、測定対象となるレーザ光との相互干渉が実質的に無視できる程度に離れた波長に設定され、音響光学素子11は測定対象のレーザ光(キャリア周波数f0)と参照光(キャリア周波数fref)の両者のキャリア周波数をΔfだけ変化させ、前記干渉計は、キャリア周波数f0およびf0+Δfの光を干渉させると共に、キャリア周波数frefおよびfref+Δfの光を干渉させ、位相比較器8は、O/Eコンバータ5および7からそれぞれ入力された2つの入力信号の持つΔfの周波数成分について位相比較を行い、位相差に応じた信号を出力する手段を備えたところにある。 As shown in FIG. 2, the first embodiment is a wavelength fluctuation measuring apparatus for measuring the wavelength fluctuation of laser light. The first embodiment is characterized by a ref light source 2 having a stable wavelength and a ref light source 2 having a stable wavelength. The first coupler C1 that combines the laser beam to be measured output from the semiconductor laser 10 and the output of the Ref light source 2 is connected to the output of the first coupler C1 and is connected to one optical path as a wavelength shifter. A two-beam interferometer having an acousto-optic element 11, a light BRF 4 as first wavelength selection means for selectively extracting only the laser beam to be measured from the output of the two-beam interferometer, and the interference between the two beams The optical BPF 6 as the second wavelength selection means for selectively extracting only the output of the Ref light source 2 from the output of the meter, the first O / E converter 5 for photoelectrically converting the output of the optical BRF 4, and the output of the optical BPF 6 The photoelectric A second O / E converter 7 for conversion, and a phase comparator 8 connected to the output of the O / E converter 5 and the output of the O / E converter 7, and the reference light is to be measured. The wavelength is set so that mutual interference with the laser beam is substantially negligible, and the acoustooptic device 11 is a carrier of both the laser beam (carrier frequency f 0 ) and the reference beam (carrier frequency f ref ) to be measured. The frequency is changed by Δf, and the interferometer causes the light of the carrier frequencies f 0 and f 0 + Δf to interfere with each other, and causes the lights of the carrier frequencies f ref and f ref + Δf to interfere. There is provided means for comparing the phases of the frequency components of Δf of the two input signals respectively input from the converters 5 and 7 and outputting a signal corresponding to the phase difference.

また、前記干渉計は、少なくとも片方の光路に可変ディレイ12を有し、可変ディレイ12は、前記干渉計の2つの光路長の差Δτを0ではない任意の値に設定する手段を備える。   The interferometer has a variable delay 12 on at least one of the optical paths, and the variable delay 12 includes means for setting a difference Δτ between two optical path lengths of the interferometer to an arbitrary value other than zero.

また、O/Eコンバータ5および7は、それぞれ第1および第2のリミッタアンプ16および17を有し、この第1および第2のリミッタアンプ16および17は、測定対象となるレーザ光および参照光源の光強度に関わらず、前記Δfの周波数成分の振幅を一定とする手段を備える。   The O / E converters 5 and 7 have first and second limiter amplifiers 16 and 17, respectively. The first and second limiter amplifiers 16 and 17 are a laser beam and a reference light source to be measured. Means for making the amplitude of the frequency component of Δf constant regardless of the light intensity.

以下では、第1の実施形態をさらに詳細に説明する。ここでは半導体レーザ10の出力光の波長変動をモニタするものとする。半導体レーザ10の出力は第3のカップラC3により一部分岐されて、第1のカップラC1の第1ポート♯1に入力される。   Hereinafter, the first embodiment will be described in more detail. Here, the wavelength variation of the output light of the semiconductor laser 10 is monitored. The output of the semiconductor laser 10 is partially branched by the third coupler C3 and input to the first port # 1 of the first coupler C1.

Ref光源2の出力は第1のカップラC1の第2ポート♯2に入力される。Ref光源2の波長は1μm程度とする。半導体レーザ10の出力の波長が1.5μm〜1.6μmであれば、Ref光源2との干渉は実質的に無視できる。   The output of the Ref light source 2 is input to the second port # 2 of the first coupler C1. The wavelength of the Ref light source 2 is about 1 μm. If the wavelength of the output of the semiconductor laser 10 is 1.5 μm to 1.6 μm, the interference with the Ref light source 2 can be substantially ignored.

半導体レーザ10の出力およびRef光源2の出力はそれぞれ第1のカップラC1の第1ポート♯1および第2ポート♯2にそれぞれ入力されて合波された後に第3ポート♯3および第4ポート♯4にそれぞれ分岐され、片方の第4ポート♯4の出力は音響光学素子11によってΔfの波長シフトを受け、他方の第3ポート♯3の出力は可変ディレイ12によって遅延を受けた後、第2のカップラC2の第7ポート♯7および第8ポートにそれぞれ入力されて合波される。   The output of the semiconductor laser 10 and the output of the Ref light source 2 are respectively input to the first port # 1 and the second port # 2 of the first coupler C1, and then combined, and then the third port # 3 and the fourth port # 4, the output of one of the fourth ports # 4 is subjected to a wavelength shift of Δf by the acoustooptic device 11, and the output of the other third port # 3 is delayed by the variable delay 12, and then the second Are respectively input to the seventh port # 7 and the eighth port of the coupler C2.

第2のカップラC2の第5ポート♯5および第6ポート♯6の2つの出力は、作用の項で説明した光BRFと光BPFとにそれぞれ入力された後、第一のO/Eコンバータ5および第2のO/Eコンバータ7に入力される。作用の項で説明したとおり、各O/Eコンバータ5および7の出力は周波数Δfの正弦波であり、それらの位相差は式2となるが、位相差Δφとf0の比例関係は、可変ディレイ12により光路長τ1を変更することによって調整可能である。一例として
τ1−τ2=5nsec
とすると、f0が100MHz増加したときにΔφはπ減少する。温度変動によるτ1−τ2の変動をさけるため、第1のカップラC1から第2のカップラC2に至る干渉計の部分はヒータ13で一定の温度に保つ。
The two outputs of the fifth port # 5 and the sixth port # 6 of the second coupler C2 are input to the optical BRF and optical BPF described in the section of operation, respectively, and then the first O / E converter 5 And input to the second O / E converter 7. As described in the section of operation, the outputs of the O / E converters 5 and 7 are sine waves having a frequency Δf, and the phase difference between them is expressed by Equation 2, but the proportional relationship between the phase difference Δφ and f 0 is variable. The delay 12 can be adjusted by changing the optical path length τ 1 . As an example, τ 1 −τ 2 = 5 nsec
Then, Δφ decreases by π when f 0 increases by 100 MHz. In order to avoid the variation of τ 1 −τ 2 due to the temperature variation, the portion of the interferometer from the first coupler C 1 to the second coupler C 2 is kept at a constant temperature by the heater 13.

本発明の目的は、波長の変動をモニタすることにあるが、半導体レーザ10またはRef光源2に不規則な強度揺らぎがある場合には、式1にも強度変調成分が現れ、誤差要因となる。これを避けるために、各O/Eコンバータの出力は第1のBPF14および第2のBPF15に入力され、Δfの周波数成分のみが第1のリミッタアンプ16および第2のリミッタアンプ17に入力され、位相比較器8に入力される。   An object of the present invention is to monitor wavelength fluctuations. However, when the semiconductor laser 10 or the Ref light source 2 has irregular intensity fluctuations, an intensity modulation component also appears in Equation 1 and becomes an error factor. . In order to avoid this, the output of each O / E converter is input to the first BPF 14 and the second BPF 15, and only the frequency component of Δf is input to the first limiter amplifier 16 and the second limiter amplifier 17, Input to the phase comparator 8.

位相比較器8の出力が半導体レーザ10の波長変動情報となり、これをモニタすることにより、半導体レーザ10の波長揺らぎをモニタできる。本発明の応用例として、波長変動情報が時間によらず一定になるように半導体レーザ10の励起電流を励起電流制御回路9により調整すれば、半導体レーザ10の出力波長は一定になる。また、波長変動情報が時間と共にコンスタントに増加するように半導体レーザ10の励起電流を励起電流制御回路9により調整すれば、半導体レーザ10の出力波長は連続的に掃引される。その際の信号の流れを図2の細線に示す。   The output of the phase comparator 8 becomes the wavelength variation information of the semiconductor laser 10, and by monitoring this, the wavelength fluctuation of the semiconductor laser 10 can be monitored. As an application example of the present invention, if the excitation current of the semiconductor laser 10 is adjusted by the excitation current control circuit 9 so that the wavelength variation information becomes constant regardless of time, the output wavelength of the semiconductor laser 10 becomes constant. If the excitation current of the semiconductor laser 10 is adjusted by the excitation current control circuit 9 so that the wavelength variation information constantly increases with time, the output wavelength of the semiconductor laser 10 is continuously swept. A signal flow at this time is shown by a thin line in FIG.

(第2の実施形態)
本発明の第2の実施形態を図3を参照して説明する。図3は第2の実施形態の構成図である。ここでは、第1の実施形態に記載された光BPF6および光BRF4に代えて、WDMカップラCWを用いている。測定対象となる半導体レーザ10の出力光とRef光とは、WDMカップラCWによってそれぞれ分岐され、それぞれ第1のO/Eコンバータ5と第2のO/Eコンバータ7とに入力される。他の動作は第1の実施形態と同様であるので説明は省略する。
(Second Embodiment)
A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a configuration diagram of the second embodiment. Here, a WDM coupler CW is used instead of the optical BPF 6 and the optical BRF 4 described in the first embodiment. The output light and Ref light of the semiconductor laser 10 to be measured are branched by the WDM coupler CW and input to the first O / E converter 5 and the second O / E converter 7, respectively. Since other operations are the same as those in the first embodiment, description thereof will be omitted.

(第3の実施形態)
本発明の第3の実施形態を図4を参照して説明する。図4は第3の実施形態の構成図である。
(Third embodiment)
A third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a configuration diagram of the third embodiment.

第3の実施形態は、図4に示すように、レーザ光の波長変動を測定する波長変動測定装置であって、第3の実施形態の特徴とするところは、波長の安定したRef光源2と、半導体レーザ10から出力される測定対象のレーザ光とRef光源2の出力とを合波する第1のカップラC1と、第1のカップラC1に接続され、一方の光路に第一の波長シフタとしての音響光学素子11−1を有し、他方の光路に第二の波長シフタとしての音響光学素子11−2を有する2光束の干渉計と、この2光束の干渉計の出力から測定対象のレーザ光のみを選択的に取り出す第一の波長選択手段としてのWDMカップラCWの第13ポート♯13と、前記2光束の干渉計の出力からRef光源2の出力のみを選択的に取り出す第二の波長選択手段としてのWDMカップラCWの第14ポート♯14と、第13ポート♯13の出力を光電気変換する第1のO/Eコンバータ5と、第14ポート♯14の出力を光電気変換する第2のO/Eコンバータ7と、第1のO/Eコンバータ5の出力とO/Eコンバータ7の出力とに接続された位相比較器8とを有し、前記参照光は、測定対象となるレーザ光との相互干渉が実質的に無視できる程度に離れた波長に設定され、音響光学素子11−1は測定対象のレーザ光(キャリア周波数f0)と参照光(キャリア周波数fref)との両者のキャリア周波数をΔf1だけ変化させ、音響光学素子11−2は測定対象のレーザ光(キャリア周波数f0)と参照光(キャリア周波数fref)の両者のキャリア周波数をΔf2だけ変化させ、前記干渉計は、キャリア周波数f0+Δf1およびf0+Δf2の光を干渉させると共に、キャリア周波数fref+Δf1およびfref+Δf2の光を干渉させ、位相比較器8は、2つの入力信号の持つΔf=Δf1−Δf2の周波数成分について位相比較を行い、位相差に応じた信号を出力する手段を備えたところにある。 As shown in FIG. 4, the third embodiment is a wavelength fluctuation measuring apparatus that measures the wavelength fluctuation of laser light. The third embodiment is characterized by a Ref light source 2 having a stable wavelength and The first coupler C1 that combines the laser beam to be measured output from the semiconductor laser 10 and the output of the Ref light source 2 is connected to the first coupler C1, and the first wavelength shifter is connected to one optical path. A two-beam interferometer having an acousto-optic element 11-1 and an acousto-optic element 11-2 as a second wavelength shifter on the other optical path, and a laser to be measured from the output of the two-beam interferometer A second wavelength for selectively extracting only the output of the Ref light source 2 from the thirteenth port # 13 of the WDM coupler CW as the first wavelength selecting means for selectively extracting only the light and the output of the interferometer of the two beams. W as a selection means The first O / E converter 5 for photoelectrically converting the output of the 14th port # 14, the 13th port # 13 of the M coupler CW, and the second O / E for photoelectrically converting the output of the 14th port # 14. And an E converter 7 and a phase comparator 8 connected to the output of the first O / E converter 5 and the output of the O / E converter 7, and the reference light is a laser light to be measured. The wavelength is set so that mutual interference can be substantially ignored, and the acoustooptic device 11-1 has carrier frequencies of both the laser light (carrier frequency f 0 ) and the reference light (carrier frequency f ref ) to be measured. Is changed by Δf 1 , and the acoustooptic device 11-2 changes the carrier frequencies of both the laser light (carrier frequency f 0 ) and the reference light (carrier frequency f ref ) to be measured by Δf 2 , and the interferometer , Carrier frequency 0 + Delta] f 1 and causes interference of light f 0 + Delta] f 2, the optical carrier frequency f ref + Δf 1 and f ref + Delta] f 2 is the interference, the phase comparator 8, Delta] f = Delta] f 1 with the two input signals -Δf There is a means for performing phase comparison on the two frequency components and outputting a signal corresponding to the phase difference.

また、前記干渉計は、少なくとも片方の光路に可変ディレイ12を有し、可変ディレイ12は、前記干渉計の2つの光路長の差Δτを0ではない任意の値に設定する手段を備える。   The interferometer has a variable delay 12 on at least one of the optical paths, and the variable delay 12 includes means for setting a difference Δτ between two optical path lengths of the interferometer to an arbitrary value other than zero.

また、O/Eコンバータ5および7は、それぞれ第1および第2のリミッタアンプ16および17を有し、この第1および第2のリミッタアンプ16および17は、測定対象となるレーザ光および参照光源の光強度に関わらず、前記Δfの周波数成分の振幅を一定とする手段を備える。   The O / E converters 5 and 7 have first and second limiter amplifiers 16 and 17, respectively. The first and second limiter amplifiers 16 and 17 are a laser beam and a reference light source to be measured. Means for making the amplitude of the frequency component of Δf constant regardless of the light intensity.

以下では、第3の実施形態をさらに詳細に説明する。ここでは2つの音響光学素子11−1、11−2を用い、第2の実施形態に記載された第1のカップラC1の第3ポート♯3および第4ポート♯4の2つの出力のそれぞれに配置している。   In the following, the third embodiment will be described in more detail. Here, two acoustooptic elements 11-1 and 11-2 are used, and each of the two outputs of the third port # 3 and the fourth port # 4 of the first coupler C1 described in the second embodiment is used. It is arranged.

第1および第2の音響光学素子11−1、11−2は、周波数シフトの量が異なるものとする。第1の音響光学素子11−1の周波数シフトがΔf1、第2の音響光学素子11−2の周波数シフトがΔf2であるとすると、各O/Eコンバータ5および7からそれぞれ出力される波形は周波数Δf1−Δf2の絶対値となる。 The first and second acoustooptic elements 11-1 and 11-2 are different in the amount of frequency shift. Frequency shift Delta] f 1 of the first acoustooptic device 11-1, when the frequency shift of the second acoustooptic device 11-2 is assumed to be Delta] f 2, waveform outputted from each O / E converter 5 and 7 Is the absolute value of the frequency Δf 1 −Δf 2 .

一般に音響光学素子11−1、11−2の周波数シフト量は数十〜数百MHz程度であり、このシフト量の調整は困難であるが、本実施形態のように複数の音響光学素子11−1、11−2を組み合わせることによりO/Eコンバータ5および7の出力の周波数を数百kHz程度に下げることが可能であり、低速な位相比較器やロックインアンプでも波長変動情報を得ることが可能となる。   In general, the frequency shift amount of the acoustooptic elements 11-1 and 11-2 is about several tens to several hundreds of MHz, and it is difficult to adjust the shift amount. By combining 1 and 11-2, the output frequency of the O / E converters 5 and 7 can be lowered to about several hundred kHz, and wavelength fluctuation information can be obtained even with a low-speed phase comparator or lock-in amplifier. It becomes possible.

(第4の実施形態)
本発明の第4の実施形態を図5を参照して説明する。図5は第4の実施形態の構成図である。
(Fourth embodiment)
A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a configuration diagram of the fourth embodiment.

第4の実施形態は、図5に示すように、レーザ光の波長変動を測定する波長変動測定装置であって、第4の実施形態の特徴とするところは、半導体レーザ10から出力される測定対象のレーザ光を第1ポート♯1に入力し、このレーザ光を第3および第4ポート♯3、♯4にそれぞれ分岐出力する第1のカップラC1と、この第1のカップラC1の第3および第4ポート♯3、♯4に光路がそれぞれ接続され、片方の光路に波長シフタとしての音響光学素子11を有する2光束の干渉計と、波長の安定したRef光源2と、このRef光源2の参照光を第6ポート♯6に入力し、この参照光を第7および第8ポート♯7、♯8にそれぞれ分岐出力する第2のカップラC2とを有し、第7および第8ポート♯7、♯8は前記干渉計の2つの光路にそれぞれ接続され、前記干渉計内では、前記測定対象のレーザ光と前記参照光とが逆方向に進行し、第1のカップラC1の第3および第4ポート♯3、♯4からそれぞれ入力された前記参照光は合波されて第2ポート♯2から出力され、第2のカップラC2の第7および第8ポート♯7、♯8からそれぞれ入力された前記測定対象のレーザ光は合波されて第5ポート♯5から出力され、第5ポート♯5の出力を光電気変換する第1のO/Eコンバータ5と、第2ポート♯2の出力を光電気変換する第2のO/Eコンバータ7と、O/Eコンバータ5の出力とO/Eコンバータ7の出力とに接続された位相比較器8とを有し、音響光学素子11は測定対象のレーザ光(キャリア周波数f0)と参照光(キャリア周波数fref)の両者のキャリア周波数をΔfだけ変化させ、前記干渉計は、キャリア周波数f0およびf0+Δfの光を干渉させると共に、キャリア周波数frefおよびfref+Δfの光を干渉させ、位相比較器8は、O/Eコンバータ5および7からそれぞれ入力された2つの入力信号の持つΔfの周波数成分について位相比較を行い、位相差に応じた信号を出力する手段を備えたところにある。 As shown in FIG. 5, the fourth embodiment is a wavelength variation measuring apparatus that measures the wavelength variation of laser light. The fourth embodiment is characterized by a measurement output from the semiconductor laser 10. A target laser beam is input to the first port # 1, and the laser beam is branched and output to the third and fourth ports # 3 and # 4, respectively, and a third coupler C1 of the first coupler C1 is provided. In addition, an optical path is connected to each of the fourth ports # 3 and # 4, and a two-beam interferometer having an acoustooptic element 11 as a wavelength shifter on one optical path, a Ref light source 2 having a stable wavelength, and the Ref light source 2 And the second coupler C2 for branching and outputting the reference light to the seventh and eighth ports # 7 and # 8, respectively, and the seventh and eighth ports # 6 and # 6. 7 and # 8 are the two optical paths of the interferometer In the interferometer, the laser light to be measured and the reference light travel in opposite directions and are respectively input from the third and fourth ports # 3 and # 4 of the first coupler C1. The reference light is combined and output from the second port # 2, and the laser light to be measured input from the seventh and eighth ports # 7 and # 8 of the second coupler C2 is combined. The first O / E converter 5 that outputs from the fifth port # 5 and photoelectrically converts the output of the fifth port # 5, and the second O / E converter that photoelectrically converts the output of the second port # 2 7 and a phase comparator 8 connected to the output of the O / E converter 5 and the output of the O / E converter 7, and the acoustooptic device 11 refers to the laser beam (carrier frequency f 0 ) to be measured. Both carriers of light (carrier frequency f ref ) The frequency is changed by Δf, and the interferometer causes the light of the carrier frequencies f 0 and f 0 + Δf to interfere with each other, and causes the lights of the carrier frequencies f ref and f ref + Δf to interfere. There is provided means for comparing the phases of the frequency components of Δf of the two input signals respectively input from the converters 5 and 7 and outputting a signal corresponding to the phase difference.

また、前記干渉計は、少なくとも片方の光路に可変ディレイ12を有し、可変ディレイ12は、前記干渉計の2つの光路長の差Δτを0ではない任意の値に設定する手段を備える。   The interferometer has a variable delay 12 in at least one of the optical paths, and the variable delay 12 includes means for setting a difference Δτ between two optical path lengths of the interferometer to an arbitrary value other than zero.

また、O/Eコンバータ5および7は、それぞれ第1および第2のリミッタアンプ16および17を有し、この第1および第2のリミッタアンプ16および17は、測定対象となるレーザ光および参照光源の光強度に関わらず、前記Δfの周波数成分の振幅を一定とする手段を備える。   The O / E converters 5 and 7 have first and second limiter amplifiers 16 and 17, respectively. The first and second limiter amplifiers 16 and 17 are a laser beam and a reference light source to be measured. Means for making the amplitude of the frequency component of Δf constant regardless of the light intensity.

以下では、第4の実施形態をさらに詳細に説明する。ここでは、半導体レーザ10の出力光の波長変動をモニタするものとする。半導体レーザ10の出力は第3のカップラC3により一部分岐されて、第1のカップラC1の第1ポート♯1に入力される。   Hereinafter, the fourth embodiment will be described in more detail. Here, the wavelength variation of the output light of the semiconductor laser 10 is monitored. The output of the semiconductor laser 10 is partially branched by the third coupler C3 and input to the first port # 1 of the first coupler C1.

半導体レーザ10の出力は第1のカップラC1により分岐され、片方は第4ポート♯4から出力されて音響光学素子11によってΔfの波長シフトを受け、他方は第3ポート♯3から出力されて可変ディレイ12によって遅延を受けた後、第2のカップラC2の第7ポート♯7および第8ポート♯8にそれぞれ入力されて合波され、第5ポート♯5から出力されて第1のO/Eコンバータ5に入力される。   The output of the semiconductor laser 10 is branched by the first coupler C1, one of which is output from the fourth port # 4 and subjected to a wavelength shift of Δf by the acoustooptic device 11, and the other is output from the third port # 3 and is variable. After being delayed by the delay 12, the signals are input to the seventh port # 7 and the eighth port # 8 of the second coupler C2 and multiplexed, and output from the fifth port # 5 to be output to the first O / E. Input to the converter 5.

一方、Ref光源2から出力された参照光は、第2のカップラC2の第6ポート♯6に入力される。参照光は第2のカップラC2により分岐され、片方は第8ポート♯8から出力されて音響光学素子11によってΔfの波長シフトを受け、他方は第7ポート♯7から出力されて可変ディレイ12によって遅延を受けた後、第1のカップラC1の第3ポート♯3および第4ポート♯4にそれぞれ入力されて合波され、第2ポート♯2から出力されて第2のO/Eコンバータ7に入力される。各光源への光流入は、第1および第2のアイソレータ18、19によって阻止される。   On the other hand, the reference light output from the Ref light source 2 is input to the sixth port # 6 of the second coupler C2. The reference light is branched by the second coupler C2, one of which is output from the eighth port # 8 and subjected to a wavelength shift of Δf by the acousto-optic element 11, and the other is output from the seventh port # 7 by the variable delay 12. After receiving the delay, the signals are input to the third port # 3 and the fourth port # 4 of the first coupler C1 and multiplexed, output from the second port # 2, and supplied to the second O / E converter 7. Entered. Inflow of light into each light source is blocked by the first and second isolators 18 and 19.

この構成では、測定対象の光と参照光とが干渉計内を逆進するため、両者の波長が比較的近い場合でも相互干渉を殆ど無視できる。また、両者を切り分ける波長分離手段を省略することができる。これにより、第1または第2の実施形態と等価な構成を実現することができる。第4の実施形態の動作は、第1または第2の実施形態と同様に説明することができるので、ここでは動作の説明は省略する。   In this configuration, since the light to be measured and the reference light travel backward in the interferometer, mutual interference can be almost ignored even when the wavelengths of both are relatively close. Further, the wavelength separation means for separating the two can be omitted. Thereby, the structure equivalent to 1st or 2nd embodiment is realizable. Since the operation of the fourth embodiment can be described in the same manner as the first or second embodiment, the description of the operation is omitted here.

(第5の実施形態)
本発明の第5の実施形態を図6を参照して説明する。図6は第5の実施形態の構成図である。
(Fifth embodiment)
A fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a block diagram of the fifth embodiment.

第5の実施形態は、図6に示すように、レーザ光の波長変動を測定する波長変動測定装置であって、第5の実施形態の特徴とするところは、半導体レーザ10から出力される測定対象のレーザ光を第1ポート♯1に入力し、このレーザ光を第3および第4ポート♯3、♯4にそれぞれ分岐出力する第1のカップラC1と、この第1のカップラC1の第3および第4ポート♯3、♯4に光路がそれぞれ接続され、一方の光路に第一の波長シフタとしての音響光学素子11−1を有し、他方の光路に第二の波長シフタとしての音響光学素子11−2を有する2光束の干渉計と、波長の安定したRef光源2と、このRef光源2の参照光を第6ポート♯6に入力し、この参照光を第7および第8ポート♯7、♯8にそれぞれ分岐出力する第2のカップラC2とを有し、第7および第8ポート♯7、♯8は前記干渉計の2つの光路にそれぞれ接続され、前記干渉計内では、前記測定対象のレーザ光と前記参照光とが逆方向に進行し、第1のカップラC1の第3および第4ポート♯3、♯4からそれぞれ入力された前記参照光は合波されて第2ポート♯2から出力され、第2のカップラC2の第7および第8ポート♯7、♯8からそれぞれ入力された前記測定対象のレーザ光は合波されて第5ポート♯5から出力され、第5ポート♯5の出力を光電気変換する第1のO/Eコンバータ5と、第2ポート♯2の出力を光電気変換する第2のO/Eコンバータ7と、O/Eコンバータ5の出力とO/Eコンバータ7の出力とに接続された位相比較器8とを有し、音響光学素子11−1は測定対象のレーザ光(キャリア周波数f0)と参照光(キャリア周波数fref)との両者のキャリア周波数をΔf1だけ変化させ、音響光学素子11−2は測定対象のレーザ光(キャリア周波数f0)と参照光(キャリア周波数fref)の両者のキャリア周波数をΔf2だけ変化させ、前記干渉計は、キャリア周波数f0+Δf1およびf0+Δf2の光を干渉させると共に、キャリア周波数fref+Δf1およびfref+Δf2の光を干渉させ、位相比較器8は、2つの入力信号の持つΔf=Δf1−Δf2の周波数成分について位相比較を行い、位相差に応じた信号を出力する手段を備えたところにある。 As shown in FIG. 6, the fifth embodiment is a wavelength variation measuring apparatus that measures the wavelength variation of laser light. The feature of the fifth embodiment is a measurement output from the semiconductor laser 10. A target laser beam is input to the first port # 1, and the laser beam is branched and output to the third and fourth ports # 3 and # 4, respectively, and a third coupler C1 of the first coupler C1 is provided. The optical paths are respectively connected to the fourth ports # 3 and # 4, the acoustooptic element 11-1 as the first wavelength shifter is provided in one optical path, and the acoustooptics as the second wavelength shifter is provided in the other optical path. A two-beam interferometer having an element 11-2, a Ref light source 2 having a stable wavelength, and reference light from the Ref light source 2 are input to the sixth port # 6, and the reference light is input to the seventh and eighth ports # 6. 7 and # 8 are branched to the second output. The seventh and eighth ports # 7 and # 8 are connected to two optical paths of the interferometer, respectively, and the laser light to be measured and the reference light are reversed in the interferometer. The reference lights traveling in the direction and inputted from the third and fourth ports # 3 and # 4 of the first coupler C1 are combined and outputted from the second port # 2, and the second coupler C2 The laser beams to be measured input from the seventh and eighth ports # 7 and # 8 are combined and output from the fifth port # 5, and the first output for photoelectric conversion of the output of the fifth port # 5 is performed. O / E converter 5, second O / E converter 7 for photoelectrically converting the output of second port # 2, and the output of O / E converter 5 and the output of O / E converter 7. A phase comparator 8 and an acoustooptic device 11-1 is a measurement object. Referring to the carrier frequency of both the laser light (the carrier frequency f 0) and the reference beam (carrier frequency f ref) is changed by Delta] f 1, acousto-optic device 11-2 of the measurement target laser light (carrier frequency f 0) the carrier frequency of both the light (the carrier frequency f ref) is changed by Delta] f 2, wherein the interferometer causes interference light of the carrier frequency f 0 + Delta] f 1 and f 0 + Delta] f 2, the carrier frequency f ref + Delta] f 1 and f The light of ref + Δf 2 is caused to interfere, and the phase comparator 8 includes means for performing phase comparison on the frequency components of Δf = Δf 1 −Δf 2 of the two input signals and outputting a signal corresponding to the phase difference. By the way.

また、前記干渉計は、少なくとも片方の光路に可変ディレイ12を有し、可変ディレイ12は、前記干渉計の2つの光路長の差Δτを0ではない任意の値に設定する手段を備える。   The interferometer has a variable delay 12 on at least one of the optical paths, and the variable delay 12 includes means for setting a difference Δτ between two optical path lengths of the interferometer to an arbitrary value other than zero.

また、O/Eコンバータ5および7は、それぞれ第1および第2のリミッタアンプ16および17を有し、この第1および第2のリミッタアンプ16および17は、測定対象となるレーザ光および参照光源の光強度に関わらず、前記Δfの周波数成分の振幅を一定とする手段を備える。   The O / E converters 5 and 7 have first and second limiter amplifiers 16 and 17, respectively. The first and second limiter amplifiers 16 and 17 are a laser beam and a reference light source to be measured. Means for making the amplitude of the frequency component of Δf constant regardless of the light intensity.

以下では、第5の実施形態をさらに詳細に説明する。ここでは、半導体レーザ10の出力光の波長変動をモニタするものとする。半導体レーザ10の出力は第3のカップラC3により一部分岐されて、第1のカップラC1の第1ポート♯1に入力される。   Hereinafter, the fifth embodiment will be described in more detail. Here, the wavelength variation of the output light of the semiconductor laser 10 is monitored. The output of the semiconductor laser 10 is partially branched by the third coupler C3 and input to the first port # 1 of the first coupler C1.

半導体レーザ10の出力は第1のカップラC1により分岐され、片方は第4ポート♯4から出力されて音響光学素子11−2によってΔf2の波長シフトを受け、他方は第3ポート♯3から出力されて音響光学素子11−1によってΔf1の波長シフトを受けると共に、可変ディレイ12によって遅延を受けた後、第2のカップラC2の第7ポート♯7および第8ポート♯8にそれぞれ入力されて合波され、第5ポート♯5から出力されて第1のO/Eコンバータ5に入力される。 The output of the semiconductor laser 10 is branched by the first coupler C1, one of which is output from the fourth port # 4 and subjected to a wavelength shift of Δf 2 by the acoustooptic device 11-2, and the other is output from the third port # 3. Then, after being subjected to a wavelength shift of Δf1 by the acoustooptic device 11-1 and being delayed by the variable delay 12, they are respectively input to the seventh port # 7 and the eighth port # 8 of the second coupler C2. Is output from the fifth port # 5 and input to the first O / E converter 5.

一方、Ref光源2から出力された参照光は、第2のカップラC2の第6ポート♯6に入力される。参照光は第2のカップラC2により分岐され、片方は第8ポート♯8から出力されて音響光学素子11−2によってΔf2の波長シフトを受け、他方は第7ポート♯7から出力されて可変ディレイ12によって遅延を受けると共に、音響光学素子11−1によってΔf1の波長シフトを受を受けた後、第1のカップラC1の第3ポート♯3および第4ポート♯4にそれぞれ入力されて合波され、第2ポート♯2から出力されて第2のO/Eコンバータ7に入力される。各光源への光流入は、第1および第2のアイソレータ18、19によって阻止される。 On the other hand, the reference light output from the Ref light source 2 is input to the sixth port # 6 of the second coupler C2. The reference light is branched by the second coupler C2, one of which is output from the eighth port # 8 and subjected to a wavelength shift of Δf 2 by the acoustooptic device 11-2, and the other is output from the seventh port # 7 and is variable. After receiving a delay by the delay 12 and receiving a wavelength shift of Δf 1 by the acoustooptic device 11-1, it is inputted to the third port # 3 and the fourth port # 4 of the first coupler C 1, respectively. Is output from the second port # 2 and input to the second O / E converter 7. Inflow of light into each light source is blocked by the first and second isolators 18 and 19.

この構成では、測定対象の光と参照光とが干渉計内を逆進するため、両者の波長が比較的近い場合でも相互干渉を殆ど無視できる。また、両者を切り分ける波長分離手段を省略することができる。これにより、第3の実施形態と等価な構成を実現することができる。第4の実施形態の動作は、第3の実施形態と同様に説明することができるので、ここでは動作の説明は省略する。   In this configuration, since the light to be measured and the reference light travel backward in the interferometer, mutual interference can be almost ignored even when the wavelengths of both are relatively close. Further, the wavelength separation means for separating the two can be omitted. Thereby, a configuration equivalent to the third embodiment can be realized. Since the operation of the fourth embodiment can be described in the same manner as the third embodiment, the description of the operation is omitted here.

(第6の実施形態)
本発明の第6の実施形態を図7を参照して説明する。図7は第6の実施形態の構成図である。
(Sixth embodiment)
A sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a configuration diagram of the sixth embodiment.

図7に示すように、第2または第3の実施形態で説明した波長変動測定装置が複数並列に配置され、これら複数の波長変動測定装置はそれぞれ2光束の干渉計を有し、また、これら複数の波長変動測定装置は、一つのRef光源2を共有している。   As shown in FIG. 7, a plurality of wavelength fluctuation measuring apparatuses described in the second or third embodiment are arranged in parallel, each of the plurality of wavelength fluctuation measuring apparatuses has a two-beam interferometer, and these The plurality of wavelength variation measuring apparatuses share one Ref light source 2.

全ての干渉計は、波長シフタである音響光学素子11−1、11−2、11−3を少なくとも1つの光路に有し、また、全ての干渉計は、可変ディレイ12−1、12−2を少なくとも1つの光路に有する。   All interferometers have acousto-optic elements 11-1, 11-2, 11-3 which are wavelength shifters in at least one optical path, and all interferometers have variable delays 12-1, 12-2. In at least one optical path.

第6の実施形態においては、波長シフタによって生ずる干渉計内の2つの光路での差周波Δfは、全ての干渉計で等しくなければならない。1つの干渉計に複数の波長シフトとしての音響光学素子11−1(Δf1)、11−2(Δf2)があってもよいが、合波される段階において2つの光路の差周波(Δf1−Δf2)は、音響光学素子11−3によって生ずる波長シフトΔf3と等しくなければならない。 In the sixth embodiment, the difference frequency Δf between the two optical paths in the interferometer caused by the wavelength shifter must be equal for all interferometers. One interferometer may include acoustooptic elements 11-1 (Δf 1 ) and 11-2 (Δf 2 ) as a plurality of wavelength shifts, but at the stage of being combined, the difference frequency (Δf 1− Δf 2 ) must be equal to the wavelength shift Δf 3 caused by the acousto-optic element 11-3.

また、第6の実施形態においては、各干渉計で生じる2つの光路の遅延時間差は全て異なる値でなければならない。すなわち、図7の♯17から♯9に至る遅延時間をτ1、♯18から♯10に至る遅延時間をτ2、♯19から♯21に至る遅延時間をτ1′、♯20から♯22に至る遅延時間をτ2′とした場合に、τ1−τ2とτ1′−τ2′とが異なる値となるようにΔτaおよびΔτbを設定する。 Further, in the sixth embodiment, the delay time differences between the two optical paths generated in each interferometer must be different values. That is, the delay time from # 17 to # 9 in FIG. 7 is τ 1 , the delay time from # 18 to # 10 is τ 2 , the delay time from # 19 to # 21 is τ 1 ′, and # 20 to # 22. Δτa and Δτb are set so that τ 1 −τ 2 and τ 1 ′ −τ 2 ′ have different values when the delay time to reach τ 2 ′.

以下では、第6の実施形態をさらに詳細に説明する。ここでは、第2または3の実施形態に記載した干渉計部分を2つ用意している。1つは、第6−1のカップラC6−1で分岐し、第7−1のカップラC7−1で合波される2光束の干渉計であり、他の一つは、第6−2のカップラC6−2で分岐し、第7−2のカップラC7−2で合波される2光束の干渉計である。   Hereinafter, the sixth embodiment will be described in more detail. Here, two interferometer portions described in the second or third embodiment are prepared. One is a two-beam interferometer that is branched by the 6-1 coupler C6-1 and combined by the 7-1 coupler C7-1, and the other is the 6-2th This is a two-beam interferometer that is branched by a coupler C6-2 and combined by a seventh-second coupler C7-2.

これらの干渉計は、音響光学素子11−1、11−2、11−3を有すると共に、第1の可変ディレイ12−1および第2の可変ディレイ12−2を有している。作用の項で説明したとおり、各O/Eコンバータ5−1、7−1および5−2、7−2の出力は周波数Δfの正弦波であり、それらの位相差は式2となるが、位相差が2πを越えると、変動量の判定は不可能になる。すなわち、f0の変動が1/(τ1−τ2)を越えると測定が不可能になる。干渉計の遅延時間差(τ1−τ2)を小さくすると測定可能な範囲は広がる。しかし、f0の揺らぎを精密に測定するためには、Δφとf0の比例係数(τ1−τ2)を大きく取らねばならない。 These interferometers have acoustooptic elements 11-1, 11-2, 11-3, and also have a first variable delay 12-1 and a second variable delay 12-2. As described in the section of operation, the outputs of the respective O / E converters 5-1, 7-1 and 5-2, 7-2 are sine waves having a frequency Δf, and their phase difference is expressed by Equation 2. If the phase difference exceeds 2π, the variation amount cannot be determined. That is, if the fluctuation of f 0 exceeds 1 / (τ 1 −τ 2 ), measurement becomes impossible. When the delay time difference (τ 1 −τ 2 ) of the interferometer is reduced, the measurable range is expanded. However, in order to precisely measure the fluctuation of f 0 is must take a large proportional coefficient of Δφ and f 0 (τ 1 -τ 2) .

第6の実施形態では、第6−1のカップラC6−1で分岐し、第7−1のカップラC7−1で合波される干渉計においては2つの光路の時間差を小さくとり、逆に、第6−2のカップラC6−2で分岐し、第7−2のカップラC7−2で合波される干渉計においては2つの光路の時間差を大きく取る。   In the sixth embodiment, in the interferometer branched by the 6-1 coupler C6-1 and combined by the 7-1 coupler C7-1, the time difference between the two optical paths is made small, and conversely, In the interferometer branched by the 6-2 coupler C6-2 and combined by the 7-2 coupler C7-2, the time difference between the two optical paths is set large.

干渉計の出力は、それぞれ第1のWDMカップラCW−1および第2のWDMカップラCW−2に入力され、第2または第3の実施形態と同様にして、第1の波長変動情報と第2の波長変動情報とを得る。これら2つの波長変動情報を組み合わせることにより、精密さを損なうことなく波長の測定可能領域を広げることができる。
なお、Ref光をポート♯14−1および♯14−2から入射し、第2のO/Eコンバータ7−1および第4のO/Eコンバータ7−2をそれぞれポート♯15、♯16に接続することにより、測定対象となるレーザ光と参照光とが干渉計内で互いに逆向きに進むように構成してもよい。
The outputs of the interferometers are input to the first WDM coupler CW-1 and the second WDM coupler CW-2, respectively, and the first wavelength variation information and the second WDM coupler CW-2 are input in the same manner as in the second or third embodiment. Wavelength fluctuation information. By combining these two wavelength variation information, it is possible to widen the wavelength measurable range without losing precision.
Ref light is incident from ports # 14-1 and # 14-2, and second O / E converter 7-1 and fourth O / E converter 7-2 are connected to ports # 15 and # 16, respectively. By doing so, the laser beam to be measured and the reference beam may be configured to travel in opposite directions within the interferometer.

(第7の実施形態)
本発明の第7の実施形態を図8を参照して説明する。図8は第7の実施形態の構成図である。
(Seventh embodiment)
A seventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a configuration diagram of the seventh embodiment.

第7の実施形態は、図8に示すように、第2または第3の実施形態で説明した波長変動測定装置が複数並列に配置され、複数の波長変動測定装置は、一つのRef光源2および波長シフタである音響光学素子11−2を共有している。第7の実施形態においては、各干渉計で生じる2つの光路の遅延時間差は全て異なる値でなければならない。   In the seventh embodiment, as shown in FIG. 8, a plurality of wavelength variation measuring devices described in the second or third embodiment are arranged in parallel, and the plurality of wavelength variation measuring devices include one Ref light source 2 and The acousto-optic element 11-2 which is a wavelength shifter is shared. In the seventh embodiment, the delay time differences between the two optical paths generated in each interferometer must all be different values.

すなわち、図8の♯26から♯9に至る遅延時間をτ1、♯27から♯10に至る遅延時間をτ2、♯28から♯21に至る遅延時間をτ1′、♯27から♯20に至る遅延時間をτ2′とした場合に、τ1−τ2とτ1′−τ2′とが異なる値となるようにΔτaおよびΔτbを設定する。 That is, the delay time from # 26 to # 9 in FIG. 8 is τ 1 , the delay time from # 27 to # 10 is τ 2 , the delay time from # 28 to # 21 is τ 1 ′, and # 27 to # 20. Δτa and Δτb are set so that τ 1 −τ 2 and τ 1 ′ −τ 2 ′ have different values when the delay time to reach τ 2 ′.

すなわち、第7の実施形態は、第8のカップラC8と第9のカップラC9との間に一つの音響光学素子11−2を備えることにより、二つの干渉計で一つの波長シフタを共有することができる。   That is, in the seventh embodiment, by providing one acousto-optic element 11-2 between the eighth coupler C8 and the ninth coupler C9, two interferometers share one wavelength shifter. Can do.

これにより、第6の実施形態で説明したように、全ての干渉計において、2つの光路の差周波はΔfでなければならないという条件を一つの音響光学素子11−2を二つの干渉計で共有することにより容易に満たすことができる利点がある。
なお、第6および第7の実施形態では、第2または第3の実施形態における干渉計を2つ並列に配列することにより、2つの波長変動情報を組み合わせる例を説明したが、干渉計を3以上の複数並列に配列し、3以上の波長変動情報を組み合わせることもできる。
Thus, as described in the sixth embodiment, in all interferometers, the condition that the difference frequency between the two optical paths must be Δf is shared by the two interferometers. By doing, there is an advantage that can be easily satisfied.
In the sixth and seventh embodiments, the example in which two pieces of wavelength variation information are combined by arranging two interferometers in the second or third embodiment in parallel has been described. A plurality of the above-described plurality of wavelength variation information may be combined in parallel.

本発明によれば、レーザ光源の波長揺らぎを高速かつ高精度に検出可能であり、これにより、大容量WDM伝送システムにおいて、送信器から出力される多数の光波長を光周波数上に均等に並べるために波長を安定化させ、出力される波長の揺らぎを抑えることができる。また、伝送路で使用される光学部品や光ファイバの群速度分散、PMDの波長依存性などの光学特性を精度良く測定することができる。   According to the present invention, it is possible to detect the wavelength fluctuation of the laser light source at high speed and with high accuracy, and thereby, in a large-capacity WDM transmission system, a large number of optical wavelengths output from the transmitter are evenly arranged on the optical frequency. Therefore, the wavelength can be stabilized, and the fluctuation of the output wavelength can be suppressed. In addition, it is possible to accurately measure optical characteristics such as optical velocity and group velocity dispersion of optical components and optical fibers used in the transmission path, and PMD wavelength dependency.

本発明の基本構成の波長変動測定装置を示す図。The figure which shows the wavelength fluctuation measuring apparatus of the basic composition of this invention. 第1の実施形態の波長変動測定装置を示す図。The figure which shows the wavelength variation measuring apparatus of 1st Embodiment. 第2の実施形態の波長変動測定装置を示す図。The figure which shows the wavelength variation measuring apparatus of 2nd Embodiment. 第3の実施形態の波長変動測定装置を示す図。The figure which shows the wavelength variation measuring apparatus of 3rd Embodiment. 第4の実施形態の波長変動測定装置を示す図。The figure which shows the wavelength variation measuring apparatus of 4th Embodiment. 第5の実施形態の波長変動測定装置を示す図。The figure which shows the wavelength variation measuring apparatus of 5th Embodiment. 第6の実施形態の波長変動測定装置を示す図。The figure which shows the wavelength variation measuring apparatus of 6th Embodiment. 第7の実施形態の波長変動測定装置を示す図。The figure which shows the wavelength variation measuring apparatus of 7th Embodiment. 本発明の効果の検証結果を示す図。The figure which shows the verification result of the effect of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 光入力端子
2 Ref光源
3 波長シフタ
4 光BRF
5 第1のO/Eコンバータ
6 光BPF
7 第2のO/Eコンバータ
8 位相比較器
9 励起電流制御回路
10 半導体レーザ
11、11−1〜3 音響光学素子
12、12−1、12−2 可変ディレイ
13 ヒータ
14、14−1、14−2、15、15−1、15−2 BPF
16、16−1、16−2、17、17−1、17−2 リミッタアンプ
18、19 アイソレータ
C1〜C9 カップラ
CW、CW−1、CW−2 WDMカップラ
♯1〜♯26 ポート
1 Optical input terminal 2 Ref light source 3 Wavelength shifter 4 Optical BRF
5 First O / E converter 6 Optical BPF
7 Second O / E converter 8 Phase comparator 9 Excitation current control circuit 10 Semiconductor laser 11, 11-1 to 3 Acousto-optic element 12, 12-1, 12-2 Variable delay 13 Heater 14, 14-1, 14 -2, 15, 15-1, 15-2 BPF
16, 16-1, 16-2, 17, 17-1, 17-2 Limiter amplifiers 18, 19 Isolators C1-C9 couplers CW, CW-1, CW-2 WDM couplers # 1- # 26 ports

Claims (8)

レーザ光の波長変動を測定する波長変動測定装置であって、
波長の安定した参照光を出力する参照光源と、
入力される測定対象のレーザ光と前記参照光とを合波する合波手段と、
前記合波手段の出力に接続され、片方の光路に波長シフタを有する2光束の干渉計と、
前記2光束の干渉計の出力から前記測定対象のレーザ光のみを選択的に取り出す第一の波長選択手段と、
前記2光束の干渉計の出力から前記参照光のみを選択的に取り出す第二の波長選択手段と、
前記第一の波長選択手段の出力を光電気変換する第一の光電気変換手段と、
前記第二の波長選択手段の出力を光電気変換する第二の光電気変換手段と、
前記第一の光電気変換手段の出力と前記第二の光電気変換手段の出力とに接続された位相比較器と
を有し、
前記参照光は、前記測定対象レーザ光との相互干渉が実質的に無視できる程度に離れた波長に設定され、
前記波長シフタは、前記測定対象のレーザ光(キャリア周波数f0)と前記参照光(キャリア周波数fref)の両者のキャリア周波数をΔfだけ変化させ、
前記干渉計は、キャリア周波数f0およびf0+Δfの光を干渉させると共に、キャリア周波数frefおよびfref+Δfの光を干渉させ、
前記位相比較器は、前記第一および第二の光電気変換手段からそれぞれ入力された2つの入力信号の持つΔfの周波数成分について位相比較を行い、位相差に応じた信号を出力する手段を備えた
ことを特徴とする波長変動測定装置。
A wavelength fluctuation measuring device for measuring the wavelength fluctuation of laser light,
A reference light source that outputs a reference light having a stable wavelength;
Multiplexing means for multiplexing the input laser beam to be measured and the reference light ;
A two-beam interferometer connected to the output of the multiplexing means and having a wavelength shifter in one optical path;
A first wavelength selection means for extracting from the output of the interferometer of the two beams selectively only the laser beam of the measurement object,
A second wavelength selection means for extracting from the output of the interferometer of the two beams selectively to only the reference light,
First photoelectric conversion means for photoelectric conversion of the output of the first wavelength selection means;
Second photoelectric conversion means for photoelectrically converting the output of the second wavelength selection means;
A phase comparator connected to the output of the first photoelectric conversion means and the output of the second photoelectric conversion means;
The reference light, interference between the laser beam of the measurement target is set to a wavelength apart to substantially negligible,
Wherein the wavelength shifter, the carrier frequency of both of the measurement target of the laser beam (the carrier frequency f 0) and the reference light (carrier frequency f ref) is changed by Delta] f,
The interferometer causes light of carrier frequencies f 0 and f 0 + Δf to interfere, and causes light of carrier frequencies f ref and f ref + Δf to interfere,
The phase comparator includes means for comparing the phases of the Δf frequency components of the two input signals respectively input from the first and second photoelectric conversion means and outputting a signal corresponding to the phase difference. A wavelength fluctuation measuring device characterized by that.
レーザ光の波長変動を測定する波長変動測定装置であって、
波長の安定した参照光を出力する参照光源と、
入力される測定対象のレーザ光と前記参照光とを合波する合波手段と、
前記合波手段に接続され、一方の光路に第一の波長シフタを有し、他方の光路に第二の波長シフタを有する2光束の干渉計と、
前記2光束の干渉計の出力から前記測定対象のレーザ光のみを選択的に取り出す第一の波長選択手段と、
前記2光束の干渉計の出力から前記参照光のみを選択的に取り出す第二の波長選択手段と、
前記第一の波長選択手段の出力を光電気変換する第一の光電気変換手段と、
前記第二の波長選択手段の出力を光電気変換する第二の光電気変換手段と、
前記第一の光電気変換手段の出力と前記第二の光電気変換手段の出力とに接続された位相比較器と
を有し、
前記参照光は、測定対象となるレーザ光との相互干渉が実質的に無視できる程度に離れた波長に設定され、
前記第一の波長シフタは、前記測定対象のレーザ光(キャリア周波数f0)と前記参照光(キャリア周波数fref)との両者のキャリア周波数をΔf1だけ変化させ、
前記第二の波長シフタは、前記測定対象のレーザ光(キャリア周波数f0)と前記参照光(キャリア周波数fref)の両者のキャリア周波数をΔf2だけ変化させ、
前記干渉計は、キャリア周波数f0+Δf1およびf0+Δf2の光を干渉させると共に、キャリア周波数fref+Δf1およびfref+Δf2の光を干渉させ、
前記位相比較器は、2つの入力信号の持つΔf=Δf1−Δf2の周波数成分について位相比較を行い、位相差に応じた信号を出力する手段を備えた
ことを特徴とする波長変動測定装置。
A wavelength fluctuation measuring device for measuring the wavelength fluctuation of laser light,
A reference light source that outputs a reference light having a stable wavelength;
Multiplexing means for multiplexing the input laser beam to be measured and the reference light ;
A two-beam interferometer connected to the multiplexing means and having a first wavelength shifter in one optical path and a second wavelength shifter in the other optical path;
A first wavelength selection means for extracting from the output of the interferometer of the two beams selectively only the laser beam of the measurement object,
A second wavelength selection means for extracting from the output of the interferometer of the two beams selectively to only the reference light,
First photoelectric conversion means for photoelectric conversion of the output of the first wavelength selection means;
Second photoelectric conversion means for photoelectrically converting the output of the second wavelength selection means;
A phase comparator connected to the output of the first photoelectric conversion means and the output of the second photoelectric conversion means;
The reference light is set to a wavelength that is far enough that mutual interference with the laser light to be measured is substantially negligible,
Wherein the first wavelength shifter, the carrier frequency of both said measured laser beam (carrier frequency f 0) and the reference light (carrier frequency f ref) is changed by Delta] f 1,
Said second wavelength shifter, the carrier frequency of both of the measurement target of the laser beam (the carrier frequency f 0) and the reference light (carrier frequency f ref) is changed by Delta] f 2,
The interferometer causes light of carrier frequencies f 0 + Δf 1 and f 0 + Δf 2 to interfere, and causes light of carrier frequencies f ref + Δf 1 and f ref + Δf 2 to interfere,
The phase comparator comprises means for comparing the phases of the frequency components of Δf = Δf 1 −Δf 2 of the two input signals and outputting a signal corresponding to the phase difference. .
レーザ光の波長変動を測定する波長変動測定装置であって、
測定対象のレーザ光を第一のポートに入力し、このレーザ光を第三および第四のポートにそれぞれ分岐出力する第一のカップラと、
この第一のカップラの前記第三および第四のポートに光路がそれぞれ接続され、片方の光路に波長シフタを有する2光束の干渉計と、
波長の安定した参照光を出力する参照光源と、
の参照光を第六のポートに入力し、前記参照光を第七および第八のポートにそれぞれ分岐出力する第二のカップラと
を有し、
前記第七および第八のポートは前記干渉計の2つの光路にそれぞれ接続され、
前記干渉計内では、前記測定対象のレーザ光と前記参照光とが逆方向に進行し、
前記第一のカップラの前記第三および第四のポートからそれぞれ入力された前記参照光は合波されて第二のポートから出力され、
前記第二のカップラの前記第七および第八のポートからそれぞれ入力された前記測定対象のレーザ光は合波されて第五のポートから出力され、
前記第五のポートの出力を光電気変換する第一の光電気変換手段と、
前記第二のポートの出力を光電気変換する第二の光電気変換手段と、
前記第一の光電気変換手段の出力と前記第二の光電気変換手段の出力とに接続された位相比較器と
を有し、
前記波長シフタは、前記測定対象のレーザ光(キャリア周波数f0)と前記参照光(キャリア周波数fref)の両者のキャリア周波数をΔfだけ変化させ、
前記干渉計は、キャリア周波数f0およびf0+Δfの光を干渉させると共に、キャリア周波数frefおよびfref+Δfの光を干渉させ、
前記位相比較器は、前記第一および第二の光電気変換手段からそれぞれ入力された2つの入力信号の持つΔfの周波数成分について位相比較を行い、位相差に応じた信号を出力する手段を備えた
ことを特徴とする波長変動測定装置。
A wavelength fluctuation measuring device for measuring the wavelength fluctuation of laser light,
A first coupler for inputting a laser beam to be measured to the first port, and branching and outputting the laser beam to the third and fourth ports;
A two-beam interferometer having optical paths connected to the third and fourth ports of the first coupler and having a wavelength shifter in one of the optical paths;
A reference light source that outputs a reference light having a stable wavelength;
Enter the participation illumination of this to the sixth port, and a second coupler for branching outputs the reference light to the seventh and eighth ports,
The seventh and eighth ports are respectively connected to two optical paths of the interferometer;
In the interferometer, the laser beam to be measured and the reference light travel in opposite directions,
The reference lights input from the third and fourth ports of the first coupler are combined and output from the second port,
The laser beams to be measured input from the seventh and eighth ports of the second coupler are combined and output from the fifth port,
First photoelectric conversion means for photoelectric conversion of the output of the fifth port;
Second photoelectric conversion means for photoelectrically converting the output of the second port;
A phase comparator connected to the output of the first photoelectric conversion means and the output of the second photoelectric conversion means;
Wherein the wavelength shifter, the carrier frequency of both of the measurement target of the laser beam (the carrier frequency f 0) and the reference light (carrier frequency f ref) is changed by Delta] f,
The interferometer causes light of carrier frequencies f 0 and f 0 + Δf to interfere, and causes light of carrier frequencies f ref and f ref + Δf to interfere,
The phase comparator includes means for comparing the phases of the Δf frequency components of the two input signals respectively input from the first and second photoelectric conversion means and outputting a signal corresponding to the phase difference. A wavelength fluctuation measuring device characterized by that.
レーザ光の波長変動を測定する波長変動測定装置であって、
測定対象のレーザ光を第一のポートに入力し、このレーザ光を第三および第四のポートにそれぞれ分岐出力する第一のカップラと、
この第一のカップラの前記第三および第四のポートに光路がそれぞれ接続され、一方の光路に第一の波長シフタを有し、他方の光路に第二の波長シフタを有する2光束の干渉計と、
波長の安定した参照光を出力する参照光源と、
の参照光を第六のポートに入力し、前記参照光を第七および第八のポートにそれぞれ分岐出力する第二のカップラと
を有し、
前記第七および第八のポートは前記干渉計の2つの光路にそれぞれ接続され、
前記干渉計内では、前記測定対象のレーザ光と前記参照光とが逆方向に進行し、
前記第一のカップラの前記第三および第四のポートからそれぞれ入力された前記参照光は合波されて第二のポートから出力され、
前記第二のカップラの前記第七および第八のポートからそれぞれ入力された前記測定対象のレーザ光は合波されて第五のポートから出力され、
前記第五のポートの出力を光電気変換する第一の光電気変換手段と、
前記第二のポートの出力を光電気変換する第二の光電気変換手段と、
前記第一の光電気変換手段の出力と前記第二の光電気変換手段の出力とに接続された位相比較器と
を有し、
前記第一の波長シフタは、前記測定対象のレーザ光(キャリア周波数f0)と前記参照光(キャリア周波数fref)との両者のキャリア周波数をΔf1だけ変化させ、
前記第二の波長シフタは、前記測定対象のレーザ光(キャリア周波数f0)と前記参照光(キャリア周波数fref)の両者のキャリア周波数をΔf2だけ変化させ、
前記干渉計は、キャリア周波数f0+Δf1およびf0+Δf2の光を干渉させると共に、キャリア周波数fref+Δf1およびfref+Δf2の光を干渉させ、
前記位相比較器は、2つの入力信号の持つΔf=Δf1−Δf2の周波数成分について位相比較を行い、位相差に応じた信号を出力する手段を備えた
ことを特徴とする波長変動測定装置。
A wavelength fluctuation measuring device for measuring the wavelength fluctuation of laser light,
A first coupler for inputting a laser beam to be measured to the first port, and branching and outputting the laser beam to the third and fourth ports;
A two-beam interferometer having optical paths connected to the third and fourth ports of the first coupler, having a first wavelength shifter in one optical path, and a second wavelength shifter in the other optical path When,
A reference light source that outputs a reference light having a stable wavelength;
Enter the participation illumination this to a sixth port, and a second coupler for branching outputs the reference light to the seventh and eighth ports,
The seventh and eighth ports are respectively connected to two optical paths of the interferometer;
In the interferometer, the laser beam to be measured and the reference light travel in opposite directions,
The reference lights input from the third and fourth ports of the first coupler are combined and output from the second port,
The laser beams to be measured input from the seventh and eighth ports of the second coupler are combined and output from the fifth port,
First photoelectric conversion means for photoelectric conversion of the output of the fifth port;
Second photoelectric conversion means for photoelectrically converting the output of the second port;
A phase comparator connected to the output of the first photoelectric conversion means and the output of the second photoelectric conversion means;
Wherein the first wavelength shifter, the carrier frequency of both said measured laser beam (carrier frequency f 0) and the reference light (carrier frequency f ref) is changed by Delta] f 1,
Said second wavelength shifter, the carrier frequency of both of the measurement target of the laser beam (the carrier frequency f 0) and the reference light (carrier frequency f ref) is changed by Delta] f 2,
The interferometer causes interference light of the carrier frequency f 0 + Δf 1 and f 0 + Δf 2, by interference light of carrier frequency f ref + .DELTA.f1 and f ref + Δf 2,
The phase comparator comprises means for comparing the phases of the frequency components of Δf = Δf 1 −Δf 2 of the two input signals and outputting a signal corresponding to the phase difference. .
前記干渉計は、少なくとも片方の光路に可変ディレイを有し、
前記可変ディレイは、前記干渉計の2つの光路長の差Δτを0ではない任意の値に設定する手段を備えた
請求項1ないし4のいずれかに記載の波長変動測定装置。
The interferometer has a variable delay in at least one optical path,
5. The wavelength variation measuring apparatus according to claim 1, wherein the variable delay includes means for setting a difference Δτ between two optical path lengths of the interferometer to an arbitrary value other than 0. 6.
前記第一および第二の光電気変換手段は、それぞれ第一および第二のリミッタ回路を有し、
前記第一および第二のリミッタ回路は、前記入力される測定対象レーザ光の光強度および前記参照光源の光強度に関わらず、前記Δfの周波数成分の振幅を一定とする手段を備えた
請求項1ないし4のいずれかに記載の波長変動測定装置。
The first and second photoelectric conversion means have first and second limiter circuits, respectively.
Wherein said first and second limiter circuits, which regardless of the light intensity of the light intensity and the reference light source of the laser light to be measured which is the input, comprising means for a constant amplitude of the frequency components of the Δf Item 5. The wavelength fluctuation measuring device according to any one of Items 1 to 4.
請求項1ないし6のいずれかに記載の波長変動測定装置が複数並列に配置され、
複数の前記波長変動測定装置は、一つの参照光源を共有し、
個々の前記波長変動測定装置は、前記Δfは等しいが前記干渉計の2つの光路長の差Δτが互いに異なる
多段波長変動測定装置。
A plurality of wavelength variation measuring devices according to claim 1 are arranged in parallel,
The plurality of wavelength variation measuring devices share one reference light source,
Each of the wavelength fluctuation measuring apparatuses is a multistage wavelength fluctuation measuring apparatus in which Δf is equal, but a difference Δτ between two optical path lengths of the interferometers is different from each other.
請求項1ないし6のいずれかに記載の波長変動測定装置が複数並列に配置され、
複数の前記波長変動測定装置は、一つの参照光源および波長シフタを共有し、
個々の前記波長変動測定装置は、前記Δfは等しいが前記干渉計の2つの光路長の差Δτが互いに異なる
多段波長変動測定装置。
A plurality of wavelength variation measuring devices according to claim 1 are arranged in parallel,
The plurality of wavelength variation measuring devices share one reference light source and a wavelength shifter,
Each of the wavelength fluctuation measuring apparatuses is a multistage wavelength fluctuation measuring apparatus in which Δf is equal, but a difference Δτ between two optical path lengths of the interferometers is different from each other.
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