JP4680867B2 - Photosensitive resin composition - Google Patents

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Description

本発明は、光照射を含む工程により硬化し、アルカリ現像可能なカラーフィルター基板保護膜用感光性樹脂組成物と、該組成物を用いて形成したカラーフィルター基板保護膜に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition for a color filter substrate protective film, which is cured by a process including light irradiation and can be developed with an alkali, and a color filter substrate protective film formed using the composition.

液晶パネルは、表示側基板と液晶駆動側基板とを対向させ、両者の間に液晶化合物を封入して薄い液晶層を形成し、液晶駆動側基板により液晶層内の液晶配列を電気的に制御して表示側基板の透過光又は反射光の量を選択的に変化させることによって表示を行う。   In a liquid crystal panel, a display side substrate and a liquid crystal driving side substrate are opposed to each other, a liquid crystal compound is sealed between them to form a thin liquid crystal layer, and the liquid crystal alignment in the liquid crystal layer is electrically controlled by the liquid crystal driving side substrate. Then, display is performed by selectively changing the amount of transmitted light or reflected light of the display side substrate.

液晶パネルには、スタティック駆動方式、単純マトリックス方式、アクティブマトリックス方式など種々の駆動方式があるが、近年、パーソナルコンピューターや携帯情報端末などのフラットディスプレーとして、アクティブマトリックス方式の液晶パネルを用いたカラー液晶表示装置が普及してきている。   There are various types of liquid crystal panels such as static drive, simple matrix, and active matrix, but in recent years, color liquid crystal using an active matrix liquid crystal panel as a flat display for personal computers and personal digital assistants. Display devices are becoming popular.

アクティブマトリックス方式の液晶パネルにおけるカラーフィルター保護膜には、画素部に配合される色材の色調に影響を与えないように優れた透明性が求められる。特にカラーフィルターは、液晶パネルを組み立てる途中で高温にさらされ、例えば、ITO膜を形成する工程においては250℃程度で約1時間ほど加熱される。そのため、カラーフィルター保護膜を形成する樹脂には、このような高温の加熱プロセス中に変色し、透明性の低下などの問題を生じないように、耐熱透明性に優れていることが望まれる。
また、表示ムラを抑制するためセルギャップを均一にすることが特に重要であり、カラーフィルター保護膜には高い平坦性が求められる。
The color filter protective film in the active matrix liquid crystal panel is required to have excellent transparency so as not to affect the color tone of the color material blended in the pixel portion. In particular, the color filter is exposed to a high temperature during the assembly of the liquid crystal panel. For example, in the process of forming the ITO film, the color filter is heated at about 250 ° C. for about 1 hour. Therefore, it is desirable that the resin forming the color filter protective film is excellent in heat-resistant transparency so as not to cause discoloration during such a high-temperature heating process and cause problems such as a decrease in transparency.
In addition, it is particularly important to make the cell gap uniform in order to suppress display unevenness, and high flatness is required for the color filter protective film.

これに対し、特許文献−1に、カルボキシル基及び水酸基を有する(メタ)アクリル系共重合体に(メタ)アクリロイルオキシイソシアネート化合物を付加させてエチレン性二重結合を導入し、光硬化性を付与し、耐熱透明性を向上させることが開示されている。
また、特許文献−2に、低分子量のポリマーを使用することで平坦性を向上できる技術が開示されている。
On the other hand, in Patent Document 1, a (meth) acryloyloxyisocyanate compound is added to a (meth) acrylic copolymer having a carboxyl group and a hydroxyl group to introduce an ethylenic double bond, thereby imparting photocurability. And improving heat-resistant transparency.
Patent Document 2 discloses a technique capable of improving flatness by using a low molecular weight polymer.

特開平11−349631号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-349331 特開平9−100338号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-100360

しかしながら、上記の樹脂組成物であっても、耐熱透明性及び平坦性が十分ではないという課題があった。
本発明は、アルカリ現像性が良好で、かつ耐熱透明性、平坦性に優れたカラー基板保護膜を与える感光性樹脂組成物、および該感光性樹脂組成物から得られるカラーフィルター基板保護膜を提供することを課題とする。
However, even with the above resin composition, there is a problem that heat-resistant transparency and flatness are not sufficient.
The present invention provides a photosensitive resin composition that provides a color substrate protective film having good alkali developability, heat resistance transparency, and flatness, and a color filter substrate protective film obtained from the photosensitive resin composition The task is to do.

本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、本発明に到達した。
すなわち本発明は、親水性ポリマー(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン(C)及び光ラジカル重合開始剤(D)を含有し、該ポリシロキサン(C)が下記一般式(1)で表されるシラン化合物(c1)を必須構成単量体とする縮合物である、カラーフィルター基板保護膜用感光性樹脂組成物(Q);及び感光性樹脂組成物を光照射を含む工程により硬化させて形成された、カラーフィルター保護のために設けられた保護膜である。
The inventors of the present invention have arrived at the present invention as a result of intensive studies to solve the above problems.
That is, the present invention contains a hydrophilic polymer (A), a polyfunctional (meth) acrylate monomer (B), a polysiloxane (C) having two or more hydrolyzable alkoxy groups, and a radical photopolymerization initiator (D). The polysiloxane (C) is a condensate containing a silane compound (c1) represented by the following general formula (1) as an essential constituent monomer, and is a photosensitive resin composition for a color filter substrate protective film (Q ); And a protective film provided to protect the color filter, which is formed by curing the photosensitive resin composition by a process including light irradiation.

Figure 0004680867
Figure 0004680867

式中、R1は、アルキル基の炭素数が1〜6の、(メタ)アクリロイロキシアルキル基、グリシドキシアルキル基、メルカプトアルキル基、及びアミノアルキル基からなる群から選ばれる1種以上の有機基、R2は炭素数1〜12の脂肪族飽和炭化水素基または炭素数6〜12の芳香族炭化水素基、R3は炭素数1〜4のアルキル基、mは0または1である。 In the formula, R 1 is one or more selected from the group consisting of a (meth) acryloyloxyalkyl group, a glycidoxyalkyl group, a mercaptoalkyl group, and an aminoalkyl group having 1 to 6 carbon atoms in the alkyl group. R 2 is an aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms, R 3 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and m is 0 or 1. is there.

本発明の感光性樹脂組成物及びそれから得られたカラーフィルター基板保護膜は、以下の効果を奏する。
・感光性樹脂組成物はアルカリ現像性に優れている。
・耐熱透明性に優れる。
・平坦性に優れる。
The photosensitive resin composition of the present invention and the color filter substrate protective film obtained therefrom have the following effects.
-The photosensitive resin composition is excellent in alkali developability.
・ Excellent heat-resistant transparency.
・ Excellent flatness.

本発明の熱硬化性樹脂組成物は、親水性ポリマー(A)[以下において、単に(A)と表記する場合がある]、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)[以下において、単に(B)と表記する場合がある]、2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン(C)[以下において、単にポリシロキサン(C)、もしくは単に(C)と表記する場合がある]、および光ラジカル重合開始剤(D)[以下において、単に(D)と表記する場合がある]を含有し、(C)が特定のポリシロキサンであることにより、耐熱透明性および平坦性に優れた熱硬化性樹脂組成物を提供するものである。
なお、上記及び以下において、例えば「(メタ)アクリレート」などの(メタ)を付した表現は「アクリレートおよび/またはメタクリレート」などを意味する。
The thermosetting resin composition of the present invention comprises a hydrophilic polymer (A) [hereinafter sometimes referred to simply as (A)], a polyfunctional (meth) acrylate monomer (B) [hereinafter referred to simply as (B )], A polysiloxane (C) having two or more hydrolyzable alkoxy groups [hereinafter sometimes simply referred to as polysiloxane (C), or simply (C)], and It contains a photo-radical polymerization initiator (D) [hereinafter, it may be simply expressed as (D)], and (C) is a specific polysiloxane, so that it has excellent heat-resistant transparency and flatness. A curable resin composition is provided.
In the above and the following, for example, the expression with (meth) such as “(meth) acrylate” means “acrylate and / or methacrylate”.

以下において、本発明の熱硬化性樹脂組成物の必須構成成分である(A)〜(D)について、順に説明する。   Hereinafter, (A) to (D), which are essential components of the thermosetting resin composition of the present invention, will be described in order.

本発明における親水性樹脂(A)における親水性の指標はHLBにより規定され、一般にこの数値が大きいほど親水性が高いことを示す。
(A)のHLB値は、(A)の樹脂骨格(例えば、ビニル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂など)によって好ましい範囲が異なるが、好ましくは4〜19、さらに好ましくは5〜18、特に好ましくは6〜17である。4以上であればフォトスペーサの現像を行う際に、現像性がさらに良好であり、19以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好である。なお、本発明におけるHLBは、小田法によるHLB値であり、親水性−疎水性バランス値のことであり、有機化合物の有機性の値と無機性の値との比率から計算することができる。
HLB≒10×無機性/有機性
また、無機性の値及び有機性の値は、文献「界面活性剤の合成とその応用」(槇書店発行、小田、寺村著)の501頁;または、「新・界面活性剤入門」(藤本武彦著、三洋化成工業株式会社発行)の198頁に詳しく記載されている。
The hydrophilicity index in the hydrophilic resin (A) in the present invention is defined by HLB. Generally, the larger this value, the higher the hydrophilicity.
The preferable range of the HLB value of (A) varies depending on the resin skeleton of (A) (for example, vinyl resin, epoxy resin, polyester resin, etc.), but is preferably 4 to 19, more preferably 5 to 18, particularly preferably. 6-17. When it is 4 or more, the developing property is further improved when developing the photo spacer, and when it is 19 or less, the water resistance of the cured product is further improved. In addition, HLB in this invention is an HLB value by the Oda method, is a hydrophilicity-hydrophobicity balance value, and can be calculated from the ratio of the organic value and inorganic value of an organic compound.
HLB≈10 × Inorganic / Organic In addition, the inorganic value and the organic value are described in the document “Surfactant Synthesis and Applications” (published by Tsuji Shoten, Oda, Teramura), page 501; It is described in detail on page 198 of “Introduction to New Surfactants” (Takehiko Fujimoto, published by Sanyo Chemical Industries, Ltd.).

(A)としては、親水性ビニル樹脂(A1)(以下、単に(A1)と表記する場合がある)、親水性エポキシ樹脂(A2)(以下、単に(A2)と表記する場合がある)、親水性ポリエステル樹脂、親水性ポリアミド樹脂、親水性ポリカーボネート樹脂および親水性ポリウレタン樹脂などが挙げられる。(A)は1種で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
これらのうち、感光性樹脂組成物の光硬化反応性の観点と、製造のし易さの観点から、好ましいのは(A1)および(A2)である。
As (A), a hydrophilic vinyl resin (A1) (hereinafter sometimes simply referred to as (A1)), a hydrophilic epoxy resin (A2) (hereinafter sometimes simply referred to as (A2)), Examples include hydrophilic polyester resins, hydrophilic polyamide resins, hydrophilic polycarbonate resins, and hydrophilic polyurethane resins. (A) may be used by 1 type and may use 2 or more types together.
Among these, (A1) and (A2) are preferable from the viewpoint of photocuring reactivity of the photosensitive resin composition and the viewpoint of ease of production.

(A1)としては、親水基をポリマー分子の側鎖および/または末端に有するものが挙げられる。親水基としては、カルボキシル基、水酸基、スルホン酸基、アミノ基、アミド基、ポリエーテル基およびこれらのうちの2種以上の併用などが挙げられる。
(A1)として好ましいのは、アルカリ現像性および耐熱透明性の観点から、カルボキシル基および水酸基から選ばれる1種以上の親水基を有する親水性ビニル樹脂である。
充分な現像性を発揮するためには側鎖に親水基、特にカルボキシル基を有するものが特に好ましい。
Examples of (A1) include those having a hydrophilic group in the side chain and / or terminal of the polymer molecule. Examples of the hydrophilic group include a carboxyl group, a hydroxyl group, a sulfonic acid group, an amino group, an amide group, a polyether group, and a combination of two or more of these.
Preferred as (A1) is a hydrophilic vinyl resin having at least one hydrophilic group selected from a carboxyl group and a hydroxyl group from the viewpoint of alkali developability and heat-resistant transparency.
In order to exhibit sufficient developability, those having a hydrophilic group, particularly a carboxyl group in the side chain are particularly preferred.

(A1)の好ましい製造方法は、親水基を有するビニルモノマー(a)(以下、単に(a)と表記する場合がある)と、必要により疎水基含有ビニルモノマー(b)(以下、単に(b)と表記する場合がある)とをビニル重合する方法である。   A preferred production method of (A1) is a vinyl monomer having a hydrophilic group (a) (hereinafter sometimes simply referred to as (a)) and, if necessary, a hydrophobic group-containing vinyl monomer (b) (hereinafter simply referred to as (b) ) Is sometimes vinyl-polymerized.

親水基を有するビニルモノマー(a)としては、以下の(a1)〜(a7)のビニルモノマーが挙げられる。
(a1)水酸基含有ビニルモノマー:
ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート[2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレートなど]、ポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート[ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレートなど]、アルキロール(メタ)アクリルアミド[N−メチロール(メタ)アクリルアミドなど]、ヒドロキシスチレンおよび2−ヒドロキシエチルプロペニルエーテルなどが挙げられる。
(a1)のうち好ましいのはアルカリ現像性および耐熱透明性の観点からヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、特に2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートである。
Examples of the vinyl monomer (a) having a hydrophilic group include the following vinyl monomers (a1) to (a7).
(A1) Hydroxyl-containing vinyl monomer:
Hydroxyalkyl (meth) acrylate [2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, etc.], polyalkylene glycol mono (meth) acrylate [polyethylene glycol mono (meta ) Acrylate etc.], alkylol (meth) acrylamide [N-methylol (meth) acrylamide etc.], hydroxystyrene and 2-hydroxyethylpropenyl ether.
Among (a1), preferred are hydroxyalkyl (meth) acrylates, particularly 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, from the viewpoints of alkali developability and heat-resistant transparency.

(a2)カルボキシル基含有ビニルモノマー:
不飽和モノカルボン酸[(メタ)アクリル酸、クロトン酸および桂皮酸など]、不飽和多価(2〜4価)カルボン酸[(無水)マレイン酸、イタコン酸、フマル酸およびシトラコン酸など]、不飽和多価カルボン酸アルキル(炭素数1〜10のアルキル基)エステル[マレイン酸モノアルキルエステル、フマル酸モノアルキルエステルおよびシトラコン酸モノアルキルエステルなど]、並びにこれらの塩[アルカリ金属塩(ナトリウム塩およびカリウム塩等)、アルカリ土類金属塩(カルシウム塩およびマグネシウム塩等)、アミン塩およびアンモニウム塩等]が挙げられる。
(a2)のうち好ましいのはアルカリ現像性の観点から不飽和モノカルボン酸、さらに好ましいのは(メタ)アクリル酸である。
(a3)スルホン酸基含有ビニルモノマー:
例えば、ビニルスルホン酸、(メタ)アリルスルホン酸、スチレンスルホン酸、α−メチルスチレンスルホン酸、2−(メタ)アクリロイルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸およびこれらの塩が挙げられる。塩としてはアルカリ金属(ナトリウムおよびカリウム等)塩、アルカリ土類金属(カルシウムおよびマグネシウム等)塩、第1〜3級アミン塩、アンモニウム塩および第4級アンモニウム塩などが挙げられる。
(A2) Carboxyl group-containing vinyl monomer:
Unsaturated monocarboxylic acids [such as (meth) acrylic acid, crotonic acid and cinnamic acid], unsaturated polyvalent (2-4 valent) carboxylic acids [such as (anhydrous) maleic acid, itaconic acid, fumaric acid and citraconic acid], Unsaturated polyvalent carboxylic acid alkyl (alkyl group having 1 to 10 carbon atoms) ester [maleic acid monoalkyl ester, fumaric acid monoalkyl ester, citraconic acid monoalkyl ester, etc.] and salts thereof [alkali metal salt (sodium salt) And potassium salts, etc.), alkaline earth metal salts (calcium salts and magnesium salts, etc.), amine salts and ammonium salts, etc.].
Of (a2), preferred is an unsaturated monocarboxylic acid from the viewpoint of alkali developability, and more preferred is (meth) acrylic acid.
(A3) Sulphonic acid group-containing vinyl monomer:
Examples thereof include vinyl sulfonic acid, (meth) allyl sulfonic acid, styrene sulfonic acid, α-methyl styrene sulfonic acid, 2- (meth) acryloylamido-2-methylpropane sulfonic acid, and salts thereof. Examples of the salt include alkali metal (sodium and potassium) salts, alkaline earth metal (calcium and magnesium) salts, primary to tertiary amine salts, ammonium salts and quaternary ammonium salts.

(a4)アミノ基含有ビニルモノマー:
3級アミノ基含有(メタ)アクリレート[ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレートおよびジエチルアミノエチル(メタ)アクリレートなどのジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート]などが挙げられる。
(a5)アミド基含有ビニルモノマー:
(メタ)アクリルアミド、N−アルキル(炭素数1〜6)(メタ)アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、N,N’−メチレン−ビス(メタ)アクリルアミド、N,N−ジアルキル(炭素数1〜6)またはジアラルキル(炭素数7〜15)(メタ)アクリルアミド(例えば、N,N−ジメチルアクリルアミドおよびN,N−ジベンジルアクリルアミドなど)、メタクリルホルムアミド、N−メチル−N−ビニルアセトアミド、桂皮酸アミドおよび環状アミド(N−ビニルピロリドン、N−アリルピロリドン等)が挙げられる。
(a6)第4級アンモニウム塩基含有ビニルモノマー;
炭素数6〜50(好ましくは8〜20)の第3級アミノ基含有ビニルモノマーの4級化物(4級化剤としては、メチルクロライド、ジメチル硫酸、ベンジルクロライドおよびジメチルカーボネート等)、例えば、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレートの4級化物、ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレートの4級化物、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリルアミドの4級化物およびジエチルアミノエチル(メタ)アクリルアミドの4級化物などが挙げられる。
(a7)ポリエーテル基含有ビニルモノマー:
アルコキシ(アルコキシ基の炭素数1〜8)ポリアルキレン(アルキレン基の炭素数2〜4)グリコールモノ(メタ)アクリレート[メトキシポリエチレングリコール(重合度2〜40)モノ(メタ)アクリレートおよびメトキシポリプロピレングリコール(重合度2〜30)モノ(メタ)アクリレートなど]などが挙げられる。
(A4) Amino group-containing vinyl monomer:
Tertiary amino group-containing (meth) acrylates [dialkylaminoalkyl (meth) acrylates such as dimethylaminoethyl (meth) acrylate and diethylaminoethyl (meth) acrylate)] and the like.
(A5) Amide group-containing vinyl monomer:
(Meth) acrylamide, N-alkyl (C1-6) (meth) acrylamide, diacetone acrylamide, N, N'-methylene-bis (meth) acrylamide, N, N-dialkyl (C1-6) or Diaralkyl (7 to 15 carbon atoms) (meth) acrylamide (for example, N, N-dimethylacrylamide and N, N-dibenzylacrylamide), methacrylformamide, N-methyl-N-vinylacetamide, cinnamic amide and cyclic amide (N-vinylpyrrolidone, N-allylpyrrolidone, etc.).
(A6) a quaternary ammonium base-containing vinyl monomer;
A quaternized product of a tertiary amino group-containing vinyl monomer having 6 to 50 carbon atoms (preferably 8 to 20 carbon atoms, such as methyl chloride, dimethyl sulfate, benzyl chloride and dimethyl carbonate), for example, dimethyl Examples include quaternized products of aminoethyl (meth) acrylate, quaternized products of diethylaminoethyl (meth) acrylate, quaternized products of dimethylaminoethyl (meth) acrylamide, and quaternized products of diethylaminoethyl (meth) acrylamide.
(A7) Polyether group-containing vinyl monomer:
Alkoxy (alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms) polyalkylene (alkylene group having 2 to 4 carbon atoms) glycol mono (meth) acrylate [methoxypolyethylene glycol (degree of polymerization 2 to 40) mono (meth) acrylate and methoxypolypropylene glycol ( Polymerization degree 2-30) mono (meth) acrylate, etc.].

(a)のうち好ましいのは、充分な現像性を付与するという観点から(a1)および(a2)、特に(a2)である。   Of these, (a) is preferably (a1) and (a2), particularly (a2) from the viewpoint of imparting sufficient developability.

疎水基含有ビニルモノマー(b)としては、以下の非イオン性のモノマー(b1)〜(b6)が挙げられる。   Examples of the hydrophobic group-containing vinyl monomer (b) include the following nonionic monomers (b1) to (b6).

(b1)(メタ)アクリル酸エステル;
アルキル基の炭素数1〜20のアルキル(メタ)アクリレート[例えばメチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、n−ヘキシル(メタ)アクリレートおよび2−エチルヘキシル(メタ)アクリレートなど];脂環基含有(メタ)アクリレート[ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、シジクロペンテニル(メタ)アクリレートおよびイソボルニル(メタ)アクリレートなど];
(B1) (meth) acrylic acid ester;
C1-C20 alkyl (meth) acrylate of an alkyl group [for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, n-hexyl (meth) acrylate and 2-ethylhexyl (meth) acrylate, etc.]; alicyclic group-containing (meth) acrylate [dicyclopentanyl (meth) acrylate, sidiclopentenyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, etc. ];

(b2)芳香族炭化水素モノマー;
スチレン骨格を有する炭化水素モノマー[例えばスチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、2,4−ジメチルスチレン、エチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、フェニルスチレン、シクロヘキシルスチレンおよびベンジルスチレン]およびビニルナフタレンなどが挙げられる。
(b3)カルボン酸ビニルエステル;
炭素数4〜50のもの、例えば酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルおよび酪酸ビニルなどが挙げられる。
(b4)ビニルエーテル系モノマー;
炭素数3〜50(好ましくは6〜20)のもの、例えば、ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、ビニルプロピルエーテル、ビニルブチルエーテルなどが挙げられる。
(b5)ビニルケトン系モノマー;
炭素数4〜50のもの、例えば、ビニルメチルケトン、ビニルエチルケトンおよびビニルフェニルケトンなどが挙げられる。
(b6)ハロゲン原子含有モノマー;
炭素数2〜50(好ましくは2〜20)のもの、例えば、塩化ビニル、臭化ビニル、塩化ビニリデン、クロルスチレンおよびブロムスチレンなどが挙げられる。
(B2) an aromatic hydrocarbon monomer;
And hydrocarbon monomers having a styrene skeleton [for example, styrene, α-methylstyrene, vinyltoluene, 2,4-dimethylstyrene, ethylstyrene, isopropylstyrene, butylstyrene, phenylstyrene, cyclohexylstyrene, and benzylstyrene] and vinylnaphthalene. It is done.
(B3) carboxylic acid vinyl ester;
Examples thereof include those having 4 to 50 carbon atoms, such as vinyl acetate, vinyl propionate and vinyl butyrate.
(B4) vinyl ether monomers;
Those having 3 to 50 (preferably 6 to 20) carbon atoms such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, vinyl propyl ether, vinyl butyl ether and the like can be mentioned.
(B5) vinyl ketone monomer;
Examples thereof include those having 4 to 50 carbon atoms, such as vinyl methyl ketone, vinyl ethyl ketone, and vinyl phenyl ketone.
(B6) a halogen atom-containing monomer;
Examples thereof include those having 2 to 50 (preferably 2 to 20) carbon atoms, such as vinyl chloride, vinyl bromide, vinylidene chloride, chlorostyrene and bromostyrene.

(b)のうち好ましいのは、光硬化反応性の観点から(b1)、さらに好ましいのは脂環基含有(メタ)アクリレートである。   Among (b), (b1) is preferable from the viewpoint of photocuring reactivity, and alicyclic group-containing (meth) acrylate is more preferable.

(A1)における、(a)/(b)の仕込みモノマーモル比は、通常10〜100/0〜90、光硬化反応性と現像性の観点から、好ましくは10〜80/20〜90、さらに好ましくは25〜85/15〜75である。   In (A1), the charged monomer molar ratio of (a) / (b) is usually 10 to 100/0 to 90, preferably 10 to 80/20 to 90, more preferably from the viewpoint of photocuring reactivity and developability. Is 25-85 / 15-75.

(A1)は、上記の(a)および必要により(b)を構成単量体とする重合体に、
光硬化反応性を発揮させる目的で、さらに(メタ)アクリロイル基を側鎖に含有させてもよい。
側鎖に(メタ)アクリロイル基を含有させる方法としては、例えば下記の(1)および(2)の方法が挙げられる。
(1);(a)のうちの少なくとも一部にイソシアネート基と反応しうる基(水酸基または1級もしくは2級アミノ基など)を有するモノマーを使用して重合体を製造し、その後(メタ)アクリロイル基とイソシアネート基を有する化合物(アクリロイルエチルイソシアネートなど)を反応させる方法、
(2);(a)のうちの少なくとも一部にエポキシ基と反応しうる基(水酸基、カルボキシル基または1級もしくは2級アミノ基など)を有するモノマーを使用して重合体を製造し、その後(メタ)アクリロイル基とエポキシ基を有する化合物(グリシジルアクリレートなど)を反応させる方法。
(A1) is a polymer having (a) and, if necessary, (b) as a constituent monomer.
For the purpose of exerting photocuring reactivity, a (meth) acryloyl group may be further contained in the side chain.
Examples of the method of incorporating a (meth) acryloyl group in the side chain include the following methods (1) and (2).
(1): A polymer is produced using a monomer having a group capable of reacting with an isocyanate group (such as a hydroxyl group or a primary or secondary amino group) in at least a part of (a), and then (meth) A method of reacting a compound having an acryloyl group and an isocyanate group (such as acryloylethyl isocyanate);
(2); producing a polymer using a monomer having a group capable of reacting with an epoxy group (hydroxyl group, carboxyl group, primary or secondary amino group, etc.) in at least a part of (a); A method of reacting a compound having a (meth) acryloyl group and an epoxy group (such as glycidyl acrylate).

(A1)の数平均分子量(以下、Mnと略記。ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーによる測定値)は、感光性樹脂組成物としての現像性および(メタ)アクリロイル基を含有する場合の光硬化反応性の観点から、好ましくは500〜500,000、さらに好ましくは1,000〜100,000、特に好ましくは3,000〜20,000である。   The number average molecular weight of (A1) (hereinafter abbreviated as Mn. Measured value by gel permeation chromatography) is developability as a photosensitive resin composition and photo-curing reactivity when containing a (meth) acryloyl group. In view of the above, it is preferably 500 to 500,000, more preferably 1,000 to 100,000, and particularly preferably 3,000 to 20,000.

(A1)は、モノマーを必要により溶剤で希釈した後、ラジカル重合開始剤によって重合を行う事で得ることが出来る。溶剤としては、グリコールエーテル類(エチレングリコールモノアルキルエーテルおよびプロピレングリコールモノアルキルエーテルなど)、ケトン類(アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソフ゛チルケトンおよびシクロヘキサノンなど)、およびエステル類(ブチルアセテート、エチレングリコールアルキルエーテルアセテートおよびプロピレングリコールアルキルエーテルアセテートなど)が挙げられる。上記溶剤のうち好ましいのはケトン類およびエステル類である。
溶剤を使用する場合、その使用量は特に限定されないが、モノマーの合計重量に基づいて通常、1〜400%(以下において、特に限定しない限り%は重量%を表す)、好ましくは5〜300%、特に好ましくは10〜200%である。
重合開始剤としては、過酸化物及びアゾ化合物が挙げられる。
過酸化物としては、無機過酸化物(例えば、過酸化水素、過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウムなど)、および有機過酸化物(例えば、過酸化ベンゾイル、ジ−t−ブチルパーオキサイド、クメンヒドロパーオキサイド、ラウリルパーオキシドなど)などが挙げられる。アゾ化合物としては、アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビス(2−メチルブチロニトリル)、アゾビスシアノ吉草酸およびその塩(例えば塩酸塩など)、およびアゾビス(2−アミジノプロパン)ハイドロクロライドなどが挙げられる。好ましいものとしては、アゾ化合物である。重合開始剤の使用量としては、モノマーの合計重量に基づいて、通常、0.0001〜20%が好ましく、さらに好ましくは0.001〜15%、特に好ましくは0.005〜10%である。反応温度および反応時間は、ラジカル重合開始剤の種類により適宜決定される。
(A1) can be obtained by performing polymerization with a radical polymerization initiator after the monomer is diluted with a solvent as necessary. Solvents include glycol ethers (such as ethylene glycol monoalkyl ether and propylene glycol monoalkyl ether), ketones (such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone), and esters (butyl acetate, ethylene glycol alkyl ether acetate and Propylene glycol alkyl ether acetate, etc.). Of the above solvents, ketones and esters are preferred.
When a solvent is used, the amount used is not particularly limited, but is usually 1 to 400% based on the total weight of monomers (in the following, unless otherwise specified,% represents% by weight), preferably 5 to 300%. Especially preferably, it is 10 to 200%.
Examples of the polymerization initiator include peroxides and azo compounds.
Peroxides include inorganic peroxides (eg, hydrogen peroxide, ammonium persulfate, potassium persulfate, sodium persulfate, etc.) and organic peroxides (eg, benzoyl peroxide, di-t-butyl peroxide, Cumene hydroperoxide, lauryl peroxide, etc.). Examples of the azo compound include azobis (2,4-dimethylvaleronitrile), azobisisobutyronitrile, azobis (2-methylbutyronitrile), azobiscyanovaleric acid and its salts (for example, hydrochloride), and azobis (2 -Amidinopropane) hydrochloride and the like. Preferred is an azo compound. As a usage-amount of a polymerization initiator, 0.0001-20% is preferable normally based on the total weight of a monomer, More preferably, it is 0.001-15%, Most preferably, it is 0.005-10%. The reaction temperature and reaction time are appropriately determined depending on the type of radical polymerization initiator.

前述のように(A)の親水性の指標はHLBにより規定されるが、このうちの(A1)のHLB値は、好ましくは9〜19、さらに好ましくは10〜18、特に好ましくは11〜17である。(A1)のHLBが9以上であれば、現像性がさらに良好に発揮できる。   As described above, the hydrophilicity index of (A) is defined by HLB. Of these, the HLB value of (A1) is preferably 9 to 19, more preferably 10 to 18, particularly preferably 11 to 17. It is. If the HLB of (A1) is 9 or more, developability can be further improved.

本発明における(A)のうちの親水性エポキシ樹脂(A2)(以下、単に(A2)と表記する場合がある)は、水酸基、カルボキシル基、スルホン酸基、アミノ基、アミド基またはポリエーテル基等の親水基の1種以上を含むエポキシ樹脂骨格を有するポリマーである。
(A2)のうち好ましいのは、アルカリ現像性と耐熱透明性の観点からカルボキシル基および水酸基から選ばれる1種以上の親水基を有する親水性エポキシ樹脂である。
(A2)は、光硬化反応性の観点から、さらに、分子中に(メタ)アクリロイル基を有する方が好ましい。
The hydrophilic epoxy resin (A2) in the present invention (A) (hereinafter sometimes simply referred to as (A2)) is a hydroxyl group, a carboxyl group, a sulfonic acid group, an amino group, an amide group or a polyether group. It is a polymer having an epoxy resin skeleton containing one or more hydrophilic groups such as.
Among (A2), preferred is a hydrophilic epoxy resin having at least one hydrophilic group selected from a carboxyl group and a hydroxyl group from the viewpoints of alkali developability and heat-resistant transparency.
(A2) preferably further has a (meth) acryloyl group in the molecule from the viewpoint of photocuring reactivity.

分子中に(メタ)アクリロイル基を有する(A2)の好ましい製造法は、エポキシ樹脂(A20)(以下、単に(A20)と表記する場合がある)中のエポキシ基に、(メタ)アクリロイル基含有モノカルボン酸を反応させてエポキシ基を開環させて水酸基を生成させ、該水酸基の一部に多価カルボン酸もしくは多価カルボン酸無水物(e)(以下、単に(e)と表記する場合がある)を反応させる方法である。 A preferred method for producing (A2) having a (meth) acryloyl group in the molecule is the (meth) acryloyl group on the epoxy group in the epoxy resin (A2 0 ) (hereinafter sometimes simply referred to as (A2 0 )). A group-containing monocarboxylic acid is reacted to open a ring of an epoxy group to form a hydroxyl group, and a polyvalent carboxylic acid or a polyvalent carboxylic acid anhydride (e) (hereinafter simply referred to as (e)) is part of the hydroxyl group. Is a method of reacting.

(A20)としては、脂肪族エポキシ樹脂[例えばエポトートYH−300、PG−202、PG−207(いずれも東都化成社製)など]や脂環式エポキシ樹脂[例えばCY−179、CY−177、CY−175(いずれも旭化成エポキシ社製)など]や芳香族エポキシ樹脂[例えば、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、ビスフェノールAエポキシ樹脂、ビフェニール型エポキシ樹脂おおびグリシジル変性ポリビニルフェノールなど]が挙げられる。
(A20)のうち好ましいのは硬化性の観点から芳香族エポキシ樹脂である。
分子中に(メタ)アクリロイル基を有する(A2)の製造に使用される(メタ)アクリロイル基含有モノカルボン酸としては、アクリル酸およびメタクリル酸が挙げられる。
分子中に(メタ)アクリロイル基を有する(A2)の製造に使用される多価カルボン酸および多価カルボン酸無水物(e)としては、前述の(a)のうちの不飽和多価カルボン酸およびそれらの無水物、並びに飽和多価(2〜6価)カルボン酸(例えばシュウ酸、コハク酸、フタル酸、アジピン酸、ドデカン二酸、ドデセニルコハク酸、ペンタデセニルコハク酸およびオクタデセニルコハク酸などの脂肪族飽和多価カルボン酸;テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸およびナフタレンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸)およびそれらの無水物(例えば、無水コハク酸、ドデセニル無水コハク酸、ペンタデセニル無水コハク酸およびオクタデセニル無水コハク酸などの脂肪族飽和多価カルボン酸無水物;無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸無水物およびナフタレンテトラカルボン 酸 無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物)が挙げられる。好ましいのは、反応性及び現像性の観点から飽和多価カルボン酸無水物である。
Examples of (A2 0 ) include aliphatic epoxy resins [eg, Etototo YH-300, PG-202, PG-207 (all manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.)] and alicyclic epoxy resins [eg, CY-179, CY-177. CY-175 (all manufactured by Asahi Kasei Epoxy Co., Ltd.)] and aromatic epoxy resins [eg, phenol novolac epoxy resin, cresol novolac epoxy resin, bisphenol A epoxy resin, biphenyl type epoxy resin and glycidyl modified polyvinylphenol] Can be mentioned.
Among (A2 0 ), an aromatic epoxy resin is preferable from the viewpoint of curability.
Acrylic acid and methacrylic acid are mentioned as a (meth) acryloyl group containing monocarboxylic acid used for manufacture of (A2) which has a (meth) acryloyl group in a molecule | numerator.
As the polyvalent carboxylic acid and polyvalent carboxylic acid anhydride (e) used in the production of (A2) having a (meth) acryloyl group in the molecule, the unsaturated polyvalent carboxylic acid of (a) described above And their anhydrides, and saturated polyvalent (2-6 valent) carboxylic acids such as oxalic acid, succinic acid, phthalic acid, adipic acid, dodecanedioic acid, dodecenyl succinic acid, pentadecenyl succinic acid and octadecenyl Aliphatic saturated polycarboxylic acids such as succinic acid; aromatic polyhydric carboxylic acids such as tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, methyltetrahydrophthalic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid, biphenyltetracarboxylic acid and naphthalenetetracarboxylic acid Acid) and their anhydrides (eg, succinic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, pentadecenyl succinic anhydride) And aliphatic saturated polycarboxylic anhydrides such as octadecenyl succinic anhydride; phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, biphenyltetracarboxylic Aromatic anhydrides such as acid anhydrides and naphthalenetetracarboxylic acid anhydrides). A saturated polycarboxylic acid anhydride is preferable from the viewpoint of reactivity and developability.

分子中に(メタ)アクリロイル基を有する(A2)の製造における、(メタ)アクリル酸/(A20)の仕込み重量比は、好ましいのは分子中に(メタ)アクリロイル基を有する(A2)の(メタ)アクリロイル基の濃度が1.0mmol/g以上となるような(メタ)アクリル酸の仕込み重量比である。アクリル酸/(A20)の重量比は上記の観点から、好ましくは0.072以上/1、さらに好ましくは0.079〜0.72/1である。また、メタクリル酸の重量比は上記の観点から、好ましくは0.092以上/1、さらに好ましくは0.10〜0.92/1である。
(A20)と(メタ)アクリル酸の反応における反応温度は、特に限定されないが、好ましくは70〜110℃である。また、反応時間は、特に限定されないが、好ましくは5〜30時間である。また、必要により触媒(例えば、トリフェニルホスフィンなど)およびラジカル重合禁止剤(ヒドロキノン、p−メトキシフェノールなど)を用いてもよい。
また、(A20)の(メタ)アクリル酸付加物の重量に対する、多価カルボン酸もしくは多価カルボン酸無水物(e)の仕込み当量は、分子中に(メタ)アクリロイル基を有する(A2)の酸価(酸価の測定法は後述)が、好ましくは10〜500mgKOH/gとなるような(e)の仕込み当量であり、例えば、(e)が2価カルボン酸もしくはその無水物である場合、(e)の仕込み当量/(A20)の(メタ)アクリル酸付加物の重量は、上記の観点から、好ましくは0.18〜8.9ミリ当量/g、さらに好ましくは0.53〜7.1ミリ当量/gである。
(A20)の(メタ)アクリル酸付加物と(e)との反応における反応温度は、特に限定されないが、好ましくは70〜110℃である。また、反応時間は、特に限定されないが、好ましくは3〜10時間である。
The preparation weight ratio of (meth) acrylic acid / (A2 0 ) in the production of (A2) having a (meth) acryloyl group in the molecule is preferably (A2) having a (meth) acryloyl group in the molecule. The weight ratio of (meth) acrylic acid is such that the concentration of the (meth) acryloyl group is 1.0 mmol / g or more. From the above viewpoint, the weight ratio of acrylic acid / (A2 0 ) is preferably 0.072 or more / 1, and more preferably 0.079 to 0.72 / 1. The weight ratio of methacrylic acid is preferably 0.092 or more / 1, more preferably 0.10 to 0.92 / 1, from the above viewpoint.
The reaction temperature in the reaction between (A2 0 ) and (meth) acrylic acid is not particularly limited, but is preferably 70 to 110 ° C. The reaction time is not particularly limited, but is preferably 5 to 30 hours. Further, if necessary, a catalyst (for example, triphenylphosphine) and a radical polymerization inhibitor (hydroquinone, p-methoxyphenol, etc.) may be used.
The charged equivalent of the polyvalent carboxylic acid or polyvalent carboxylic acid anhydride (e) with respect to the weight of the (meth) acrylic acid adduct of (A2 0 ) has a (meth) acryloyl group in the molecule (A2) The acid value of (e) is a charge equivalent of (e) such that the acid value is preferably 10 to 500 mgKOH / g. For example, (e) is a divalent carboxylic acid or an anhydride thereof. In this case, the weight of the (e) charged equivalent / (A2 0 ) (meth) acrylic acid adduct is preferably 0.18 to 8.9 meq / g, more preferably 0.53 from the above viewpoint. -7.1 meq / g.
The reaction temperature in the reaction of the (A2 0 ) (meth) acrylic acid adduct and (e) is not particularly limited, but is preferably 70 to 110 ° C. The reaction time is not particularly limited, but is preferably 3 to 10 hours.

(A2)のMnは、感光性樹脂組成物としての現像性および(メタ)アクリロイル基を含有する場合の光硬化反応性の観点から、通常500〜3,000、好ましくは1,000〜2,800、特に好ましくは1,500〜2,500である。   Mn in (A2) is usually 500 to 3,000, preferably 1,000 to 2, from the viewpoint of developability as a photosensitive resin composition and photocuring reactivity when a (meth) acryloyl group is contained. 800, particularly preferably 1,500 to 2,500.

(A2)のHLB値は、好ましくは4〜14、さらに好ましくは5〜13、特に好ましくは6〜12である。(A2)のHLBが4以上であれば、現像性が良好に発揮できる。   The HLB value of (A2) is preferably 4 to 14, more preferably 5 to 13, and particularly preferably 6 to 12. If the HLB of (A2) is 4 or more, the developability can be satisfactorily exhibited.

本発明における親水性樹脂(A)の溶解度パラメーター(以下、SP値という。)は、好ましくは7〜14、さら好ましくは8〜13、特に好ましくは11〜13である。7以上であるとさらに現像性が良好に発揮でき、14以下であると硬化物の耐水性がさらに良好である。   The solubility parameter (hereinafter referred to as SP value) of the hydrophilic resin (A) in the present invention is preferably 7 to 14, more preferably 8 to 13, and particularly preferably 11 to 13. When it is 7 or more, the developability can be further improved, and when it is 14 or less, the water resistance of the cured product is further improved.

本発明におけるSP値は、Fedorsらが提案した下記の文献に記載の方法によって計算されるものである。
「POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE, FEBRUARY,1974,Vol.14,No.2,ROBERT F.FEDORS.(147〜154頁)」
SP値が近いもの同士はお互いに混ざりやすく(分散性が高い)、この数値が離れているものは混ざりにくいことを表す指標である。
The SP value in the present invention is calculated by the method described in the following document proposed by Fedors et al.
"POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE, FEBRUARY, 1974, Vol. 14, No. 2, ROBERT F. FEDORS. (Pp. 147-154)"
Those whose SP values are close to each other are easy to mix with each other (high dispersibility), and those whose numerical values are apart from each other are indicators that are difficult to mix.

(A)は、前述のように、現像性の観点からカルボキシル基を有することが好ましく、カルボキシル基の含有量は酸価で示される。
(A)の酸価は、10mgKOH/g以上であると、現像性がさらに良好に発揮されやすく、500mgKOH/g以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好に発揮できる。
As described above, (A) preferably has a carboxyl group from the viewpoint of developability, and the content of the carboxyl group is indicated by an acid value.
When the acid value of (A) is 10 mgKOH / g or more, developability is more likely to be exhibited, and when it is 500 mgKOH / g or less, the water resistance of the cured product can be further improved.

本発明における酸価はアルカリ性滴定溶液を用いた指示薬滴定法により測定できる。
方法は以下の通りである。
(i)試料約1gを精秤して三角フラスコに入れ、続いて中性メタノール・アセトン溶液[アセトンとメタノールを1:1(容量比)で混合したもの]を加え溶解する。
(ii)フェノールフタレイン指示薬数滴を加え、0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液で滴定する。指示薬の微紅色が30秒続いたときを中和の終点とする。
(iii)次式を用いて決定する。
酸価(KOHmg/g)=(A×f×5.61)/S
ただし、A:0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液のmL数。
f:0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液の力価
S:試料採取量(g)
The acid value in the present invention can be measured by an indicator titration method using an alkaline titration solution.
The method is as follows.
(I) About 1 g of a sample is precisely weighed and placed in an Erlenmeyer flask, and then a neutral methanol / acetone solution (a mixture of acetone and methanol at 1: 1 (volume ratio)) is added and dissolved.
(Ii) Add several drops of phenolphthalein indicator and titrate with 0.1 mol / L potassium hydroxide titration solution. The end point of neutralization is defined as the time when the indicator is slightly red for 30 seconds.
(Iii) Determine using the following equation.
Acid value (KOHmg / g) = (A × f × 5.61) / S
However, A: The number of mL of 0.1 mol / L potassium hydroxide titration solution.
f: Potency of 0.1 mol / L potassium hydroxide titration solution
S: Sampling amount (g)

本発明の感光性樹脂組成物(Q)は、(Q)の固形分重量に基づいて、(A)を好ましくは10〜80%、さらに好ましくは15〜60%、特に好ましくは20〜50%含有する。
10%以上であればさらに良好に現像性を発揮でき、80%以下であれば硬化物の弾性回復特性がさらに良好になる。なお、本発明における「固形分」とは、溶剤以外の成分をいう。
In the photosensitive resin composition (Q) of the present invention, (A) is preferably 10 to 80%, more preferably 15 to 60%, particularly preferably 20 to 50% based on the solid content weight of (Q). contains.
If it is 10% or more, the developability can be further improved, and if it is 80% or less, the elastic recovery property of the cured product is further improved. In the present invention, “solid content” refers to components other than the solvent.

本発明において、感光性樹脂組成物中の1つの成分として用いられる多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)(以下、単に(B)と表記する場合がある)としては、公知の多官能(メタ)アクリレートモノマーであれば、とくに限定されずに用いられ、2官能(メタ)アクリレート(B1)、3官能(メタ)アクリレート(B2)および4〜6官能(メタ)アクリレート(B3)が挙げられる。   In the present invention, the polyfunctional (meth) acrylate monomer (B) (hereinafter sometimes simply referred to as (B)) used as one component in the photosensitive resin composition is a known polyfunctional (meta) The acrylate monomer is not particularly limited, and examples thereof include bifunctional (meth) acrylate (B1), trifunctional (meth) acrylate (B2), and 4-6 functional (meth) acrylate (B3).

2官能(メタ)アクリレート(B1)としては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート(メタクリレートのSP値=12.5、アクリレートのSP値=10.3)、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10−デカンジオールジ(メタ)アクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、2−ブチル−2−エチル−1,3−プロパンジオールジ(メタ)アクリレート、ジメチロール−トリシクロデカンジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート等が例示される。   Examples of the bifunctional (meth) acrylate (B1) include ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, dipropylene glycol di (meth) acrylate, and polyethylene glycol di (meth). Acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate ( SP value of methacrylate = 12.5, SP value of acrylate = 10.3), 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, 1,10-decandiol di (meth) acrylate, 3-methyl-1, -Pentanediol di (meth) acrylate, 2-butyl-2-ethyl-1,3-propanediol di (meth) acrylate, dimethylol-tricyclodecane di (meth) acrylate, di (ethylene oxide adduct of bisphenol A ( Examples include (meth) acrylate, di (meth) acrylate of propylene oxide adduct of bisphenol A, and neopentyl glycol di (meth) acrylate of hydroxypivalate.

3官能(メタ)アクリレート(B2)としては、グリセリントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート(メタクリレートのSP値=12.5、アクリレートのSP値=10.3)、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート(メタクリレートのSP値=12.5、アクリレートのSP値=10.3)、トリメチロールプロパンのエチレンオキサイド付加物のトリ(メタ)アクリレート等が例示される。   As trifunctional (meth) acrylate (B2), glycerin tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate (SP value of methacrylate = 12.5, SP value of acrylate = 10.3), pentaerythritol tri Examples include (meth) acrylate (SP value of methacrylate = 12.5, SP value of acrylate = 10.3), tri (meth) acrylate of ethylene oxide adduct of trimethylolpropane, and the like.

4〜6官能(メタ)アクリレート(B3)としては、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート(メタクリレートのSP値=12.5、アクリレートのSP値=10.3)、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート(メタクリレートのSP値=12.5、アクリレートのSP値=10.3)等が例示される。   As the 4- to 6-functional (meth) acrylate (B3), pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate (methacrylate SP value = 12.5, acrylate SP value = 10.3), Examples include dipentaerythritol hexa (meth) acrylate (SP value of methacrylate = 12.5, SP value of acrylate = 10.3).

(B)のSP値は、後述の(C)のSP値との差を−2.0〜2.0に設定し易いという観点から、好ましくは8〜13、さらに好ましくは9〜13、特に9〜12、とりわけ9.5〜11である。   The SP value of (B) is preferably 8 to 13, more preferably 9 to 13, particularly from the viewpoint of easily setting the difference from the SP value of (C) described later to -2.0 to 2.0. 9-12, especially 9.5-11.

(B)のうち好ましいものは、(B2)及び(B3)、さらに好ましいものは後述する(C)との相溶性の観点から水酸基を含有するポリマーであり、特に好ましくはジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートおよびこれらの併用である。市場から容易に入手できる(B)としては、例えば、アロニックスM−403(東亞合成(株)製)、ライトアクリレートPE−3A(共栄社化学(株)製)、ネオマーDA−600(三洋化成工業(株)製)等が挙げられる。   Among (B), preferred are (B2) and (B3), and more preferred is a polymer containing a hydroxyl group from the viewpoint of compatibility with (C) described later, particularly preferably dipentaerythritol pentaacrylate, Pentaerythritol triacrylate and combinations thereof. As (B) which can be easily obtained from the market, for example, Aronix M-403 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), light acrylate PE-3A (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), neomer DA-600 (Sanyo Chemical Industries ( Etc.).

また、本発明における(B)には、その一部に感光性アクリルオリゴマー(B4)を含んでいてもよい。(B4)としては、Mnが1,000以下であって、カルボキシル基を含有せず、1分子中に2個以上のアクリロイル基を有するウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレートおよびポリエーテルアクリレートなどが挙げられる。
(B)中の(B4)の含有量は好ましくは50%以下、さらに好ましくは30%以下である。
Moreover, (B) in this invention may contain the photosensitive acrylic oligomer (B4) in the one part. Examples of (B4) include urethane acrylate, polyester acrylate, and polyether acrylate having Mn of 1,000 or less and containing no carboxyl group and having two or more acryloyl groups in one molecule.
The content of (B4) in (B) is preferably 50% or less, more preferably 30% or less.

(Q)の固形分の重量に基づく(B)の含有量は、10〜60%が好ましく、さらに好ましくは20〜55%、特に好ましくは25〜52%である。10%以上であれば、硬化物の耐熱透明性がさらに好ましくなり、60%以下であれば、さらに現像性が良好になる。   The content of (B) based on the weight of the solid content of (Q) is preferably 10 to 60%, more preferably 20 to 55%, and particularly preferably 25 to 52%. If it is 10% or more, the heat-resistant transparency of the cured product is further preferable, and if it is 60% or less, the developability is further improved.

本発明において感光性樹脂組成物(Q)中の成分として含まれる2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン(C)は、一般式(1)で表されるシラン化合物(c1)を必須構成単量体とし、そのアルコキシ基[一般式(1)中のOR3]の一部が縮合反応して高分子化した縮合物である。 In the present invention, the polysiloxane (C) having two or more hydrolyzable alkoxy groups contained as a component in the photosensitive resin composition (Q) is a silane compound (c1) represented by the general formula (1). It is a condensate in which a part of the alkoxy group [OR 3 in general formula (1)] is polymerized by condensation reaction as an essential constituent monomer.

Figure 0004680867
Figure 0004680867

式中、R1は、アルキル基の炭素数が1〜6の、(メタ)アクリロイロキシアルキル基、グリシドキシアルキル基、メルカプトアルキル基、及びアミノアルキル基からなる群から選ばれる1種以上の有機基、R2は炭素数1〜12の脂肪族飽和炭化水素基または炭素数6〜12の芳香族炭化水素基、R3は炭素数1〜4のアルキル基、mは0または1である。 In the formula, R 1 is one or more selected from the group consisting of a (meth) acryloyloxyalkyl group, a glycidoxyalkyl group, a mercaptoalkyl group, and an aminoalkyl group having 1 to 6 carbon atoms in the alkyl group. R 2 is an aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms, R 3 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and m is 0 or 1. is there.

1は(c1)の縮合反応工程では反応せずに、縮合反応後もポリシロキサン(C)中に残存し、本発明の感光性樹脂組成物が光硬化および/または熱硬化する際に寄与する官能基である。
1として好ましいものは光硬化性の観点から(メタ)アクリロイロキシアルキル基および熱硬化性の観点からグリシドキシアルキル基である。
R 1 does not react in the condensation reaction step (c1) but remains in the polysiloxane (C) after the condensation reaction, and contributes to the photocuring and / or heat curing of the photosensitive resin composition of the present invention. Functional group.
Preferred as R 1 are a (meth) acryloyloxyalkyl group from the viewpoint of photocurability and a glycidoxyalkyl group from the viewpoint of thermosetting.

2のうち、脂肪族飽和炭化水素基としては、直鎖アルキル基、分岐アルキル基および脂環式飽和炭化水素基が挙げられる。
直鎖アルキル基としては、メチル、エチル、n−プロピル、n−ブチル、n−オクチルおよびn−ドデシル基およびこれらの重水素置換体、分岐アルキル基としてはイソプロピル、イソブチル、sec−ブチルおよび2−エチルヘキシル基など、並びに環式飽和炭化水素基としてはシクロヘキシル基、シクロオクチル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基およびメチルシクロヘキシル基などが挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、アリール基、アラルキル基およびアルキルアリール基が挙げられる。
アリール基としてはフェニル、ビフェニル、ナフチル基およびこれらの重水素、フッ素もしくは塩素の各置換体;アラルキル基としてはトリル、キシリル、メシチルおよびこれらの重水素、フッ素もしくは塩化物;並びに、アルキルアリール基としてはメチルフェニルおよびエチルフェニル基などが挙げられる。
2のうち好ましいのは硬化反応性の観点から直鎖アルキル基、分岐アルキル基およびアリール基、さらに好ましいのは直鎖アルキル基およびアリール基、特に好ましいのはメチル基、エチル基、フェニル基およびこれらの併用である。
3としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基およびsec−ブチル基などが挙げられ、好ましいのは熱硬化反応性の観点からメチル基およびエチル基である。
Among R 2 , examples of the aliphatic saturated hydrocarbon group include a linear alkyl group, a branched alkyl group, and an alicyclic saturated hydrocarbon group.
Examples of linear alkyl groups include methyl, ethyl, n-propyl, n-butyl, n-octyl and n-dodecyl groups and their deuterium substitutes, and examples of branched alkyl groups include isopropyl, isobutyl, sec-butyl and 2- Examples of the ethylhexyl group and the cyclic saturated hydrocarbon group include a cyclohexyl group, a cyclooctyl group, a cyclohexylmethyl group, a cyclohexylethyl group, and a methylcyclohexyl group.
Examples of the aromatic hydrocarbon group include an aryl group, an aralkyl group, and an alkylaryl group.
As aryl groups, phenyl, biphenyl, naphthyl groups and their deuterium, fluorine or chlorine substituents; As aralkyl groups, tolyl, xylyl, mesityl and their deuterium, fluorine or chloride; and as alkylaryl groups Examples include methylphenyl and ethylphenyl groups.
R 2 is preferably a linear alkyl group, branched alkyl group and aryl group from the viewpoint of curing reactivity, more preferably a linear alkyl group and aryl group, particularly preferably a methyl group, an ethyl group, a phenyl group and These are combined.
Examples of R 3 include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, and a sec-butyl group, and a methyl group and an ethyl group are preferable from the viewpoint of thermosetting reactivity. .

一般式(1)において、R1として(メタ)アクリロイロキシアルキル基を有するシラン化合物としては、以下の化合物等が挙げられる。
mが0、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物・・・3−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルトリエトキシシラン、3−アクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−アクリロイロキシプロピルトリエトキシシラン等
mが1、すなわちアルコキシ基を2個有する3官能シラン化合物・・・3−メタクリロイロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−アクリロイロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−アクリロイロキシプロピルメチルジエトキシシラン等
In the general formula (1), examples of the silane compound having a (meth) acryloyloxyalkyl group as R 1 include the following compounds.
m is 0, that is, trifunctional silane compound having three alkoxy groups: 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltriethoxysilane, 3-acryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3- Acryloyloxypropyltriethoxysilane and the like m is 1, that is, a trifunctional silane compound having two alkoxy groups: 3-methacryloyloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropylmethyldiethoxysilane, 3-acrylic Leuoxypropylmethyldimethoxysilane, 3-acryloyloxypropylmethyldiethoxysilane, etc.

1としてグリシドキシアルキル基を有するシラン化合物としては、以下の化合物等が挙げられる。
mが0、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物・・・3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等
mが1、すなわちアルコキシ基を2個有する3官能シラン化合物・・・3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン等
Examples of the silane compound having a glycidoxyalkyl group as R 1 include the following compounds.
m is 0, that is, trifunctional silane compound having 3 alkoxy groups, such as 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, etc. m is 1, that is, 3 having 2 alkoxy groups Functional silane compounds: 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, etc.

1としてメルカプトアルキル基を有するシラン化合物としては、以下の化合物等が挙げられる。
mが0、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物・・・3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリエトキシシラン等
mが1、すなわちアルコキシ基を2個有する3官能シラン化合物・・・3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジエトキシシラン等
Examples of the silane compound having a mercaptoalkyl group as R 1 include the following compounds.
m is 0, that is, a trifunctional silane compound having three alkoxy groups, such as 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltriethoxysilane, etc. m is 1, that is, a trifunctional silane compound having two alkoxy groups. ..3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, 3-mercaptopropylmethyldiethoxysilane, etc.

1としてアミノアルキル基を有するシラン化合物としては、以下の化合物等が挙げられる。
mが0、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物・・・N−2アミノエチルγーアミノプロピルトリメトキシシラン、N−2アミノエチルγーアミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン等
mが1、すなわちアルコキシ基を2個有する3官能シラン化合物・・・N−2アミノエチルγーアミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2アミノエチルγーアミノプロピルメチルジエトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン等
Examples of the silane compound having an aminoalkyl group as R 1 include the following compounds.
m is 0, that is, trifunctional silane compound having three alkoxy groups: N-2 aminoethyl γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-2 aminoethyl γ-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxy Silane, 3-aminopropyltriethoxysilane, etc. m is 1, that is, a trifunctional silane compound having two alkoxy groups: N-2 aminoethyl γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-2 aminoethyl γ-aminopropyl Methyldiethoxysilane, 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, 3-aminopropylmethyldiethoxysilane, etc.

1が(メタ)アクリロイロキシアルキル基又はグリシドキシアルキル基を有するシラン化合物のうちでさらに好ましいのは、アルコキシ基を3個有する(メタ)アクリロイロキシアルキル基含有3官能シラン化合物、およびアルコキシ基を3個有するグリシドキシアルキル基含有3官能シラン化合物であり、特に好ましいのは、3−アクリロイロキシプロピルトリメトキシシランおよび3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランである。 Of the silane compounds in which R 1 has a (meth) acryloyloxyalkyl group or a glycidoxyalkyl group, a (meth) acryloyloxyalkyl group-containing trifunctional silane compound having three alkoxy groups, and A glycidoxyalkyl group-containing trifunctional silane compound having three alkoxy groups, particularly preferably 3-acryloyloxypropyltrimethoxysilane and 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane.

(C)としては、シラン化合物(c1)のみからなる単独縮合重合体、並びに(c1)および(c1)と共縮合可能な1種類以上の他のシラン化合物(c2)の共縮合体が挙げられる。
他のシラン化合物(c2)としては、一般式(2)で表されるシラン化合物が挙げられる。
2 nSi(OR34-n (2)
式中、R2は炭素数1〜12の脂肪族飽和炭化水素基または炭素数6〜12の芳香族炭化水素基であり、R3は炭素数1〜4のアルキル基であり、nは0〜2の整数である。
Examples of (C) include a homocondensation polymer composed only of the silane compound (c1), and a cocondensate of one or more other silane compounds (c2) capable of cocondensing with (c1) and (c1). .
Examples of the other silane compound (c2) include a silane compound represented by the general formula (2).
R 2 n Si (OR 3 ) 4-n (2)
In the formula, R 2 is an aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms, R 3 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and n is 0 It is an integer of ~ 2.

2およびR3は上記で例示したものが挙げられる。
2のうち好ましいのは直鎖アルキル基、分岐アルキル基およびアリール基、さらに好ましいのは直鎖アルキル基およびアリール基、特に好ましいのはメチル基、エチル基、フェニル基およびこれらの併用である。
3として好ましいのはメチル基およびエチル基である。
Examples of R 2 and R 3 include those exemplified above.
Among R 2, a linear alkyl group, a branched alkyl group and an aryl group are preferable, a linear alkyl group and an aryl group are more preferable, and a methyl group, an ethyl group, a phenyl group and a combination thereof are particularly preferable.
R 3 is preferably a methyl group or an ethyl group.

一般式(2)において、nが0、すなわちアルコキシ基を4個有する4官能シラン化合物としては、テトラメトキシシランおよびテトラエトキシシラン等が挙げられる。
nが1、すなわちアルコキシ基を3個有する3官能シラン化合物としては、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、メチルトリメトキシシランおよびメチルトリエトキシシラン等が挙げられる。
nが2、すなわちアルコキシ基を2個有する2官能シラン化合物としては、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルメチルジメトキシシランおよびフェニルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。
ポリシロキサン(C)の均一なネットワークの形成の観点から、これらのうち好ましくは、nが1、すなわち3官能シラン化合物である。
In the general formula (2), examples of the tetrafunctional silane compound in which n is 0, that is, four alkoxy groups include tetramethoxysilane and tetraethoxysilane.
Examples of the trifunctional silane compound in which n is 1, that is, three alkoxy groups include phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, methyltrimethoxysilane, and methyltriethoxysilane.
Examples of the bifunctional silane compound in which n is 2, that is, two alkoxy groups include diphenyldimethoxysilane, diphenyldiethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, phenylmethyldimethoxysilane, and phenylmethyldiethoxysilane. .
Of these, n is preferably 1, that is, a trifunctional silane compound from the viewpoint of forming a uniform network of polysiloxane (C).

他のシラン化合物(c2)の仕込み割合は、光および/または熱硬化反応性の観点から好ましくは(c1)1モルに対し、他のシラン化合物(c2)の合計が0.1〜6.0モル、さらに好ましくは、0.2〜4.0モルが良好である。   The charge ratio of the other silane compound (c2) is preferably from the viewpoint of light and / or thermosetting reactivity, and the total amount of the other silane compound (c2) is preferably 0.1 to 6.0 with respect to 1 mol of (c1). Mole, more preferably 0.2 to 4.0 mol is favorable.

ポリシロキサン(C)は、例えば、乾燥雰囲気下で、シラン化合物(c1)および必要により使用される他のシラン化合物(c2)中に所定量の水および必要により触媒を攪拌しながら20〜100℃で約10分〜60分かけて滴下し、その後副生するアルコールの沸点以下の温度(例えば0〜150℃)で1〜12時間かけて熟成することにより縮合反応して得ることができる。   The polysiloxane (C) is, for example, 20 to 100 ° C. in a dry atmosphere with stirring a predetermined amount of water and, if necessary, the catalyst in the silane compound (c1) and other silane compound (c2) used as necessary. In about 10 minutes to 60 minutes, and then aged for 1 to 12 hours at a temperature below the boiling point of the by-produced alcohol (for example, 0 to 150 ° C.) to obtain a condensation reaction.

縮合反応において添加する水の量をXモル、シラン化合物(c1)および他のシラン化合物(c2)中のアルコキシ基のモル数をYとした場合、X/Yが小さすぎると縮合物の収量と分子量が低下する。一方、X/Yが大きすぎる場合は分子量が大きくなりすぎて保存安定性が低下する傾向にある。このことから、0.1<X/Y<5の範囲、好ましくは0.3<X/Y<3の範囲で行うことが好ましい。添加する水は通常イオン交換水または蒸留水を用いる。また、分子量調整の目的で1個のアルコキシ基を有するシラン化合物を添加することもできる。1個のアルコキシ基を有するシラン化合物としては、例えばフェニルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン等が挙げられる。   When the amount of water added in the condensation reaction is X mol and the number of moles of alkoxy groups in the silane compound (c1) and the other silane compound (c2) is Y, if X / Y is too small, the yield of the condensate The molecular weight decreases. On the other hand, when X / Y is too large, the molecular weight becomes too large and the storage stability tends to decrease. From this, it is preferable to carry out in the range of 0.1 <X / Y <5, preferably in the range of 0.3 <X / Y <3. As the water to be added, ion exchange water or distilled water is usually used. Moreover, the silane compound which has one alkoxy group can also be added for the purpose of molecular weight adjustment. Examples of the silane compound having one alkoxy group include phenyltrimethoxysilane and methyltrimethoxysilane.

縮合反応の触媒としては蟻酸、酢酸、蓚酸、乳酸、マロン酸、クエン酸、酒石酸、リンゴ酸、コハク酸、フマル酸、フタル酸、ピロメリット酸、p―トルエンスルフォン酸、メタンスルフォン酸、トリフルオロ酢酸およびトリフルオロメタンスルフォン酸などの1価、2価もしくは3価の有機酸;塩酸、リン酸、硝酸、フッ酸、臭素酸、塩素酸および過塩素酸などの無機酸;アルカリ金属水酸化物、アルカリ土類水酸化物、第4級アルキルアンモニウムの水酸化物や炭酸塩および1〜3級アミン類などのアルカリ塩;第4級アルキルアンモニウムハロゲン化物;次亜塩素酸ナトリウム;スズ、ジルコニウム、チタニウム、アルミニウムおよび硼素などのケイ素以外の金属のアルコキシドおよびそれらのキレート錯体;などをあげることができ、この中で有機酸、無機酸、金属アルコキシド、金属アルコキシドのキレート化合物など酸性触媒が好ましく、有機酸が特に好ましい。
触媒の添加量は(c1)および(c2)の合計100重量部に対して、0.0001〜10重量部、好ましくは、0.001〜1重量部である。触媒の添加方法は特に規定されないが好ましくは水溶液として加える。また、好ましい反応温度は20℃〜100℃である。
Condensation reaction catalysts include formic acid, acetic acid, succinic acid, lactic acid, malonic acid, citric acid, tartaric acid, malic acid, succinic acid, fumaric acid, phthalic acid, pyromellitic acid, p-toluenesulfonic acid, methanesulfonic acid, trifluoro Monovalent, divalent or trivalent organic acids such as acetic acid and trifluoromethanesulfonic acid; inorganic acids such as hydrochloric acid, phosphoric acid, nitric acid, hydrofluoric acid, bromic acid, chloric acid and perchloric acid; alkali metal hydroxides; Alkaline earth hydroxides, quaternary alkylammonium hydroxides and carbonates and alkali salts such as primary to tertiary amines; quaternary alkylammonium halides; sodium hypochlorite; tin, zirconium, titanium , Alkoxides of metals other than silicon such as aluminum and boron, and their chelate complexes; Organic acid among this, an inorganic acid, a metal alkoxide, an acid catalyst is preferable, chelate compounds of a metal alkoxide, an organic acid is particularly preferred.
The added amount of the catalyst is 0.0001 to 10 parts by weight, preferably 0.001 to 1 part by weight, based on 100 parts by weight of the total of (c1) and (c2). The method for adding the catalyst is not particularly limited, but is preferably added as an aqueous solution. Moreover, preferable reaction temperature is 20 to 100 degreeC.

(C)は、平坦性の観点から、25℃での粘度が好ましくは、1〜200mPa・sであり、さらに好ましくは1〜100mPa・s、最も好ましくは1〜50mPa・sである。   From the viewpoint of flatness, (C) preferably has a viscosity at 25 ° C. of 1 to 200 mPa · s, more preferably 1 to 100 mPa · s, and most preferably 1 to 50 mPa · s.

(C)は、相溶性及び硬化物の耐熱透明性の観点から、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)とのSP値の差が好ましくは−2.0〜2.0、さらに好ましくは−1.0〜1.9、特に好ましくは−0.5〜1.8、最も好ましくは0〜1.7である。
(C)のSP値は、前述の(B)のSP値との差を−2.0〜2.0に設定し易いという観点から、好ましくは7〜13、さらに好ましくは8〜12、特に8〜11、とりわけ8〜10.5である。
From the viewpoint of compatibility and heat-resistant transparency of the cured product, (C) preferably has a difference in SP value from the polyfunctional (meth) acrylate monomer (B) of −2.0 to 2.0, more preferably − It is 1.0 to 1.9, particularly preferably -0.5 to 1.8, and most preferably 0 to 1.7.
The SP value of (C) is preferably 7 to 13, more preferably 8 to 12, especially from the viewpoint that the difference from the SP value of (B) described above can be easily set to -2.0 to 2.0. 8-11, especially 8-10.5.

感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量に基づく(C)の含有量は、1〜50%が好ましく、さらに好ましくは3〜40%、特に好ましくは5〜30%である。5%以上であれば平坦性および耐熱透明性がさらに良好に発揮でき、40%以下であれば相溶性がさらに良好に発揮できる。   The content of (C) based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q) is preferably 1 to 50%, more preferably 3 to 40%, and particularly preferably 5 to 30%. If it is 5% or more, flatness and heat-resistant transparency can be exhibited more satisfactorily, and if it is 40% or less, compatibility can be exhibited more satisfactorily.

感光性樹脂組成物(Q)中の1つの成分として用いられる光ラジカル重合開始剤(D)としては例えば、ベンジルジメチルケタール、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンゾフェノン、メチルベンゾイルフォーメート、イソプロピルチオキサントン、4,4−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、3,3−ジメチル−4−メトキシ−ベンゾフェノン、アントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、tert−ブチルアントラキノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、4−イソプロピル−2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパノン、2−クロロチオキサントン、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントン、ミヒラーズケトン、ベンジル−2,4,6−(トリハロメチル)トリアジン、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9ーアクリジニル)ヘプタン、1,5−ビス(9−アクリジニル)ペンタン、1,3−ビス(9−アクリジニル)プロパン、ジメチルベンジルケタール、トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、トリブロモメチルフェニルスルホン及び2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン等が挙げられる。(D)は1種で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。   Examples of the radical photopolymerization initiator (D) used as one component in the photosensitive resin composition (Q) include benzyl dimethyl ketal, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl. Propan-1-one, benzophenone, methylbenzoylformate, isopropylthioxanthone, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone, 3,3-dimethyl-4-methoxy-benzophenone, anthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone , Tert-butylanthraquinone, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin propyl ether, acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy Cetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 4-isopropyl-2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone 2-chlorothioxanthone, diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, diisopropylthioxanthone, Michler's ketone, benzyl-2,4,6- (trihalomethyl) triazine, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 9 -Phenylacridine, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane, 1,5-bis (9-acridinyl) pentane, 1,3-bis (9-acridinyl) propane, dimethylbenzyl ketal, trimethylbenzoyldiphenylphosphine Sid, tribromomethylphenylsulfone and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) - butan-1-one, and the like. (D) may be used alone or in combination of two or more.

(D)は、市販のものが容易に入手することができ、例えば2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパノンとしては、イルガキュア907、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンとしては、イルガキュア369(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製)等が挙げられる。   (D) can be easily obtained as a commercially available product. For example, as 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone, Irgacure 907, 2-benzyl- Examples of 2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one include Irgacure 369 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals).

感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量に基づく(D)の含有量は、0.01〜10%が好ましく、さらに好ましくは0.05〜7%、特に好ましくは0.1〜57%である。0.01%以上であれば光硬化反応性がさらに良好に発揮でき、10%以下であれば解像度がさらに良好に発揮できる。   The content of (D) based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q) is preferably 0.01 to 10%, more preferably 0.05 to 7%, particularly preferably 0.1 to 57. %. If it is 0.01% or more, the photocuring reactivity can be exhibited more satisfactorily, and if it is 10% or less, the resolution can be further improved.

感光性樹脂組成物(Q)において、(B)および(メタ)アクリロイル基を有する場合の(A)の合計重量に対する(D)の含有量は、光硬化性の観点から、0.02〜20%であることが好ましく、さらに0.05〜10%であることが好ましい。   In the photosensitive resin composition (Q), the content of (D) relative to the total weight of (A) in the case of having (B) and (meth) acryloyl groups is 0.02 to 20 from the viewpoint of photocurability. %, Preferably 0.05 to 10%.

感光性樹脂組成物(Q)は、必要によりさらにその他の成分(E)を含有していてもよい。
(E)としては、無機微粒子(E1)、増感剤(E2)、重合禁止剤(E3)、溶剤(E4)、酸発生剤(E5)、並びにその他の添加剤(E6)(例えば、無機顔料、シランカップリング剤、染料、蛍光増白剤、黄変防止剤、酸化防止剤、消泡剤、消臭剤、芳香剤、殺菌剤、防菌剤及び防かび剤等)が挙げられる。
The photosensitive resin composition (Q) may further contain other components (E) as necessary.
(E) includes inorganic fine particles (E1), sensitizer (E2), polymerization inhibitor (E3), solvent (E4), acid generator (E5), and other additives (E6) (for example, inorganic Pigments, silane coupling agents, dyes, fluorescent brighteners, yellowing inhibitors, antioxidants, antifoaming agents, deodorants, fragrances, bactericides, antibacterial agents, and fungicides.

無機微粒子(E1)としては、金属酸化物および金属塩が使用できる。
金属酸化物としては、例えば、酸化チタン、酸化ケイ素および酸化アルミニウム等が挙げられる。
金属塩としては、例えば、炭酸カルシウムおよび硫酸バリウム等が挙げられる。
これらのうちで、耐熱透明性および耐薬品性の観点から、金属酸化物が好ましく、さらに好ましくは、酸化ケイ素および酸化チタン、特に酸化ケイ素が好ましい。
無機微粒子は、体積平均一次粒子径が1〜200nm、透明性の観点から、好ましくは1〜150nm、さらに好ましくは1〜120nm、特に好ましくは5〜20nmのものである。
As the inorganic fine particles (E1), metal oxides and metal salts can be used.
Examples of the metal oxide include titanium oxide, silicon oxide, and aluminum oxide.
Examples of the metal salt include calcium carbonate and barium sulfate.
Of these, metal oxides are preferable from the viewpoint of heat-resistant transparency and chemical resistance, and silicon oxide and titanium oxide, and particularly silicon oxide are more preferable.
The inorganic fine particles have a volume average primary particle diameter of 1 to 200 nm, preferably from 1 to 150 nm, more preferably from 1 to 120 nm, and particularly preferably from 5 to 20 nm, from the viewpoint of transparency.

感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量に基づく(E1)の含有量は、通常0〜50%、好ましくは1〜45%、特に好ましくは2〜40%である。50%以下であれば現像性がさらに良好に発揮でき、2〜40%であれば、特に耐熱透明性が優れる。   The content of (E1) based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q) is usually 0 to 50%, preferably 1 to 45%, particularly preferably 2 to 40%. If it is 50% or less, the developability can be further improved, and if it is 2 to 40%, the heat-resistant transparency is particularly excellent.

増感剤(E2)としては、ニトロ化合物(例えば、アントラキノン、1,2−ナフトキノン、1,4−ナフトキノン,ベンズアントロン、p,p’−テトラメチルジアミノベンゾフェノン、クロラニル等のカルボニル化合物、ニトロベンゼン、p−ジニトロベンゼン及び2−ニトロフルオレン等)、芳香族炭化水素(例えば、アントラセン及びクリセン等)、硫黄化合物(例えば、ジフェニルジスルフィド等)及び窒素化合物(例えば、ニトロアニリン、2−クロロ−4−ニトロアニリン、5−ニトロ−2−アミノトルエン及びテトラシアノエチレン等)等が用いられる。   As the sensitizer (E2), nitro compounds (for example, anthraquinone, 1,2-naphthoquinone, 1,4-naphthoquinone, benzanthrone, p, p'-tetramethyldiaminobenzophenone, carbonyl compounds such as chloranil, nitrobenzene, p -Dinitrobenzene and 2-nitrofluorene etc.), aromatic hydrocarbons (eg anthracene and chrysene etc.), sulfur compounds (eg diphenyl disulfide etc.) and nitrogen compounds (eg nitroaniline, 2-chloro-4-nitroaniline) , 5-nitro-2-aminotoluene, tetracyanoethylene and the like.

光重合開始剤(D)の重量に基づく増感剤(E2)の含有量は、通常0.1〜100%、好ましくは0.5〜80%、特に好ましくは1〜70%である。   The content of the sensitizer (E2) based on the weight of the photopolymerization initiator (D) is usually 0.1 to 100%, preferably 0.5 to 80%, particularly preferably 1 to 70%.

重合禁止剤(E3)としては、特に限定はなく、通常の反応に使用するものが用いられる。具体的には、ジフェニルヒドラジル、トリ−p−ニトルフェニルメチル、N−(3−N−オキシアニリノ−1,3−ジメチルブチリデン)アニリンオキシド、p−ベンゾキノン、p−tert−ブチルカテコール、ニトロベンゼン、ピクリン酸、ジチオベンゾイルジスルフィド及び塩化銅(II)等が挙げられる。   There is no limitation in particular as a polymerization inhibitor (E3), What is used for normal reaction is used. Specifically, diphenylhydrazyl, tri-p-nitrophenylmethyl, N- (3-N-oxyanilino-1,3-dimethylbutylidene) aniline oxide, p-benzoquinone, p-tert-butylcatechol, nitrobenzene, Examples include picric acid, dithiobenzoyl disulfide, and copper (II) chloride.

感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量に基づく重合禁止剤(E3)の含有量は、0〜1.0%が好ましく、さらに好ましくは0.01〜0.5%、特に好ましくは0.02〜0.1%である。   The content of the polymerization inhibitor (E3) based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q) is preferably 0 to 1.0%, more preferably 0.01 to 0.5%, particularly preferably. 0.02 to 0.1%.

溶剤としては、前述の(A)の製造に使用される溶剤と同様のものが使用できる。溶剤を使用する場合、溶剤の配合量は、特に限定されないが、感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量に基づいて、通常50〜1,000%が好ましく、さらに好ましくは70〜900%、特に好ましくは80〜800%である。なお、溶剤の配合量には前述の(A)および(C)の製造に使用される溶剤も含まれる。   As the solvent, the same solvents as those used in the production of the above (A) can be used. When the solvent is used, the amount of the solvent is not particularly limited, but is preferably 50 to 1,000%, more preferably 70 to 900, based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q). %, Particularly preferably 80 to 800%. In addition, the solvent used for manufacture of the above-mentioned (A) and (C) is also contained in the compounding quantity of a solvent.

酸発生剤(E5)は光又は熱で酸を発生する化合物であり、アルコキシ基の縮合反応の促進のために添加されるものである。
(E5)としては、下記の(i)スルホン化合物、(ii)スルホン酸エステル化合物、(iii)スルホンイミド化合物、(iv)ジスルホニルジアゾメタン(v)ジスルホニルメタンおよび(vi)オニウム塩が挙げられる。
(i)スルホン化合物
フェナシルフェニルスルホン、4−トリスフェナシルスルホン−ケトスルホン、β−スルホニルスルホンおよびこれらのα−ジアゾ化合物等
(ii)スルホン酸エステル化合物
ベンゾイントシレート、ピロガロールトリストリフルオロメタンスルホネート、ピロガロールメタンスルホン酸トリエステル、α−メチロールベンゾイントシレートおよびα−メチロールベンゾインドデシルスルホネート等
(iii)スルホンイミド化合物
N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(p−トルエンスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシイミド、N−(パーフルオロオクタンスルホニルオキシ)ナフチルイミド、N−(ベンゼンスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシイミド、N−(ベンゼンスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプタン−5,6−オキシ−2,3−ジカルボキシイミドおよびN−(ベンゼンスルホニルオキシ)ナフチルイミド等
(iv)ジスルホニルジアゾメタン化合物
ビス(トリフルオロメチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(p−トルエンスルホニル)ジアゾメタン、ビス(2,4−ジメチルベンゼンスルホニル)ジアゾメタン、ビス(1−メチルエチルスルホニル)ジアゾメタンおよびビス(1、4−ジオキサスピロ[4,5]デカン−7−スルホニル)ジアゾメタン等
(v)オニウム塩
スルホニウム塩〔ビス[4−(ジフェニルスルホニオ)フェニル]スルフィドビスヘキサフルオロホスフェート、アリルスルホニウム ヘキサフルオロホスフェート塩等〕、
ヨードニウム塩(ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスフェート等)、ホスホニウム塩(エチルトリフェニルホスホニウムテトラフルオロボレート等)、ジアゾニウム塩(フェニルジアゾニウムヘキサフルオロホスフェート等)、アンモニウム塩(1−ベンジル−2−シアノピリジニウムヘキサフルオロホスフェート等)、およびフェロセン〔(2,4−シクロペンタジエン−1−イル)[(1−メチルエチル)ベンゼン]−Fe(II)ヘキサフルオロホスフェート等〕等
The acid generator (E5) is a compound that generates an acid by light or heat, and is added to accelerate the condensation reaction of the alkoxy group.
Examples of (E5) include the following (i) sulfone compounds, (ii) sulfonic acid ester compounds, (iii) sulfonimide compounds, (iv) disulfonyldiazomethane (v) disulfonylmethane, and (vi) onium salts. .
(I) Sulfone compounds Phenacylphenylsulfone, 4-trisphenacylsulfone-ketosulfone, β-sulfonylsulfone, and α-diazo compounds thereof (ii) Sulfonic acid ester compounds Benzoin tosylate, pyrogallol tristrifluoromethanesulfonate, pyrogallolmethane (Iii) sulfonimide compounds N- (trifluoromethylsulfonyloxy) succinimide, N- (p-toluenesulfonyloxy) bicyclo [2.2] sulfonic acid triester, α-methylolbenzointosylate, α-methylolbenzoindodecylsulfonate, etc. .1] Hept-5-ene-2,3-dicarboximide, N- (perfluorooctanesulfonyloxy) naphthylimide, N- (benzenesulfonyloxy) bishi [2.2.1] Hept-5-ene-2,3-dicarboximide, N- (benzenesulfonyloxy) bicyclo [2.2.1] heptane-5,6-oxy-2,3-di Carboximide and N- (benzenesulfonyloxy) naphthylimide, etc. (iv) Disulfonyldiazomethane compounds Bis (trifluoromethylsulfonyl) diazomethane, bis (phenylsulfonyl) diazomethane, bis (p-toluenesulfonyl) diazomethane, bis (2,4 -Dimethylbenzenesulfonyl) diazomethane, bis (1-methylethylsulfonyl) diazomethane, bis (1,4-dioxaspiro [4,5] decane-7-sulfonyl) diazomethane, etc. (v) onium salts sulfonium salts [bis [4- ( Diphenylsulfonio) phenyl] sulfide bi Suhexafluorophosphate, allylsulfonium hexafluorophosphate salt, etc.)
Iodonium salts (such as diphenyliodonium hexafluorophosphate), phosphonium salts (such as ethyltriphenylphosphonium tetrafluoroborate), diazonium salts (such as phenyldiazonium hexafluorophosphate), ammonium salts (such as 1-benzyl-2-cyanopyridinium hexafluorophosphate) ), And ferrocene [(2,4-cyclopentadien-1-yl) [(1-methylethyl) benzene] -Fe (II) hexafluorophosphate, etc.), etc.

(E5)のうち、好ましいのはスルホンイミド化合物およびジスルホニルジアゾメタン化合物であり、さらに好ましくは、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)スクシンイミド、ビス(フェニルスルホニル)ジアゾメタンである。   Of (E5), a sulfonimide compound and a disulfonyldiazomethane compound are preferable, and N- (trifluoromethylsulfonyloxy) succinimide and bis (phenylsulfonyl) diazomethane are more preferable.

感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量に基づく(E5)の含有量は、10%以下が好ましく、さらに好ましくは0.01〜7%、特に好ましくは0.05〜5%である。0.001%以上であれば加水分解性アルコキシ基の縮合反応性がさらに良好に発揮でき、10%以下であれば耐熱透明性がさらに良好に発揮できる。   The content of (E5) based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q) is preferably 10% or less, more preferably 0.01 to 7%, and particularly preferably 0.05 to 5%. . If it is 0.001% or more, the condensation reactivity of the hydrolyzable alkoxy group can be exhibited more satisfactorily, and if it is 10% or less, the heat-resistant transparency can be exhibited more favorably.

(E)の含有量の合計は、感光性樹脂組成物(Q)の重量に基づいて、通常1,000%以下、好ましくは80〜800%である。   The total content of (E) is usually 1,000% or less, preferably 80 to 800%, based on the weight of the photosensitive resin composition (Q).

本発明の感光性樹脂組成物(Q)は、例えば、プラネタリーミキサーなどの公知の混合装置により、上記の各成分を混合等することにより得ることができる。
また感光性樹脂組成物は、通常、室温で液状であり、その粘度は、25℃で0.1〜10,000mPa・s、好ましくは1〜8,000mPa・sである。
The photosensitive resin composition (Q) of the present invention can be obtained, for example, by mixing the above-described components with a known mixing device such as a planetary mixer.
The photosensitive resin composition is usually liquid at room temperature, and its viscosity is 0.1 to 10,000 mPa · s, preferably 1 to 8,000 mPa · s at 25 ° C.

本発明の感光性樹脂組成物(Q)は、その硬化物の耐熱透明性に優れているので、特にカラーフィルター基板用保護膜の感光性樹脂組成物として適している。   The photosensitive resin composition (Q) of the present invention is particularly suitable as a photosensitive resin composition for a protective film for a color filter substrate because the cured product is excellent in heat-resistant transparency.

以下において本発明のカラーフィルター基板用保護膜について説明する。
本発明のカラーフィルター基板用保護膜は、上記の感光性樹脂組成物(Q)を、光照射を含む工程により硬化させて形成されたカラーフィルター保護のために設けられる保護膜である。
The protective film for a color filter substrate of the present invention will be described below.
The protective film for a color filter substrate of the present invention is a protective film provided for protecting a color filter formed by curing the photosensitive resin composition (Q) by a process including light irradiation.

本発明のカラーフィルター基板用保護膜の好ましい形成工程は、光照射の後、アルカリ現像してパターン形成し、さらにポストベークを行う工程である。
保護膜の形成は、通常、以下の工程で行われる。
A preferred formation step of the protective film for a color filter substrate of the present invention is a step of performing alkali development after light irradiation to form a pattern, and further performing post baking.
The formation of the protective film is usually performed in the following steps.

(1)本発明の感光性樹脂組成物をパターン形成されたガラス基板上に塗布する。
(2)予備乾燥する。
(3)基板にネガフィルムを密着させる。
(4)光照射工程;
多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、(メタ)アクリロイル基を有する場合の親水性ポリマー(A)、および(メタ)アクリロイル基を有する場合の2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン(C)における(メタ)アクリロイル基が光硬化反応する。
(5)アルカリ現像;
パターン形成される。
(6)ポストベーク;
一般式(1)におけるR1として熱反応性基(グリシジル基、メルカプト基、アミノ基など)を有する場合の2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン(C)中の熱反応性基および加水分解性アルコキシ基が熱により反応する。
(1) The photosensitive resin composition of the present invention is applied onto a patterned glass substrate.
(2) Pre-drying.
(3) A negative film is adhered to the substrate.
(4) light irradiation step;
Polyfunctional (meth) acrylate monomer (B), hydrophilic polymer (A) when having (meth) acryloyl group, and polysiloxane having two or more hydrolyzable alkoxy groups when having (meth) acryloyl group The (meth) acryloyl group in (C) undergoes photocuring reaction.
(5) Alkaline development;
A pattern is formed.
(6) Post bake;
Thermally reactive group in polysiloxane (C) having two or more hydrolyzable alkoxy groups when R 1 in formula (1) has a thermally reactive group (glycidyl group, mercapto group, amino group, etc.) And hydrolyzable alkoxy groups react with heat.

カラーフィルター基板用保護膜の塗布・適用方法としては、スピンコーター、スリットコーター、スクリーン印刷機、ロールコーター、カーテンコーターなどで塗布する方法、スプレー、刷毛、ヘラ等で塗る方法、及び浸漬する方法が挙げられる。   As a method of applying and applying the protective film for the color filter substrate, there are a method of applying with a spin coater, slit coater, screen printing machine, roll coater, curtain coater, etc., a method of applying with a spray, a brush, a spatula, etc. Can be mentioned.

カラーフィルター基板用保護膜の膜厚としては、通常0.5〜100μm、好ましくは1〜10μmである。   The thickness of the protective film for the color filter substrate is usually 0.5 to 100 μm, preferably 1 to 10 μm.

予備乾燥は通常60〜90℃で1〜30分行われる。   The preliminary drying is usually performed at 60 to 90 ° C. for 1 to 30 minutes.

光照射には、次のような照射光源が適当である。例えば、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハロゲンランプ、レーザー(アルゴンレーザー、色素レーザー、窒素レーザー、ヘリウムカドミウムレーザー等)等がある。これらのうち、好ましくは高圧水銀灯及び超高圧水銀灯である。   The following irradiation light sources are suitable for light irradiation. For example, there are a low-pressure mercury lamp, a medium-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high pressure mercury lamp, a xenon lamp, a metal halogen lamp, a laser (argon laser, dye laser, nitrogen laser, helium cadmium laser, etc.). Of these, high pressure mercury lamps and ultrahigh pressure mercury lamps are preferred.

現像液としては通常の工業用水、上水、イオン交換水、通常の界面活性剤の水溶液、無機酸、有機酸の水溶液、アルコール系有機溶剤及びその水溶液が挙げられ、これらは単独または併用してもよい。   Examples of the developer include ordinary industrial water, clean water, ion-exchanged water, an aqueous solution of a normal surfactant, an inorganic acid, an aqueous solution of an organic acid, an alcoholic organic solvent, and an aqueous solution thereof. Also good.

界面活性剤としては通常のカチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、非イオン系界面活性剤が使用可能である。
界面活性剤は通常0.01〜2%、好ましくは0.05〜1%の濃度で使用される。
無機酸としてはほう酸、燐酸、塩酸、硫酸等、有機酸としては酢酸、蟻酸、酒石酸、ヒドロキシ酢酸等が挙げられる。
無機酸、有機酸は通常0.1〜10%、好ましくは0.5〜5%の濃度で使用される。
As the surfactant, usual cationic surfactants, anionic surfactants, and nonionic surfactants can be used.
The surfactant is usually used at a concentration of 0.01 to 2%, preferably 0.05 to 1%.
Examples of inorganic acids include boric acid, phosphoric acid, hydrochloric acid, and sulfuric acid, and examples of organic acids include acetic acid, formic acid, tartaric acid, and hydroxyacetic acid.
Inorganic acids and organic acids are usually used at a concentration of 0.1 to 10%, preferably 0.5 to 5%.

アルコール系有機溶剤としては、脂肪族アルコールとしてメタノール、エタノール、n−プロパノール、i-プロパノール、n−ブタノール等)、セロソルブとしてメチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ等、カービトールとしてメチルカービトール、エチルカービトール等が挙げられる。
アルコール系有機溶剤は通常10〜100%、好ましくは20〜50%の濃度で使用される。
Alcohol-based organic solvents include aliphatic alcohols such as methanol, ethanol, n-propanol, i-propanol, and n-butanol), cellosolves such as methyl cellosolve, ethyl cellosolve, and butyl cellosolve, and carbitols such as methyl carbitol and ethyl carbitol Is mentioned.
The alcohol-based organic solvent is usually used at a concentration of 10 to 100%, preferably 20 to 50%.

現像方法としてはシャワー、スプレー、浸漬等の方法が挙げられる。これらのうち好ましくは、シャワーである。   Examples of the developing method include methods such as showering, spraying and dipping. Of these, a shower is preferable.

ポストベーク工程における加熱装置としては、通常の循風乾燥器、電気炉、ガス炉、遠赤外炉等が使用できる。
加熱硬化温度は通常150℃以上、好ましくは180℃〜250℃である。硬化時間は、10分〜120分、好ましくは45分〜90分である。
As a heating device in the post-bake process, a normal air circulation dryer, an electric furnace, a gas furnace, a far infrared furnace, or the like can be used.
The heat curing temperature is usually 150 ° C. or higher, preferably 180 ° C. to 250 ° C. The curing time is 10 minutes to 120 minutes, preferably 45 minutes to 90 minutes.

[実施例]
以下、実施例および製造例を以て本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されない。以下、部は重量部を意味する。
[Example]
EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a manufacture example demonstrate this invention concretely, this invention is not limited to these. Hereinafter, the part means part by weight.

[親水性樹脂(A)の製造]
<製造例A−1>
加熱冷却・攪拌措置、環流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたガラス製コルベンに、イソボルニルメタクリレート50部(33モル%)、2−ヒドロキシエチルメタクリレート30部(33モル%)、メタクリル酸20部(34モル%)、およびシクロヘキサノン150部を仕込み、80℃まで加熱した。系内の気相部分を窒素で置換したのち、あらかじめ作成しておいたアゾビスイソブチロニトリル(V-60:和光純薬製、以下AIBNと称す)5部をシクロヘキサノン50部に溶解した溶液55部を80℃のコルベン中に10分間で滴下し、さらに同温度で3時間反応させ、水酸基とカルボキシル基を有する親水性樹脂(A−1)(Mn:8,800、SP値:11.86、HLB値:11.98、酸価:102mgKOH/g)のシクロヘキサノン溶液を得た(固形分含有量は25%)。なお、MnはGPC測定機器(HLC−8120GPC、東ソー(株)製)、カラム(TSKgel GMHXL2本+TSKgel Multipore HXL−M、東ソ(株)製)を用いて、GPC法により測定されるポリスチレン換算の値として求めた。また、SP値、HLB値、酸価は、前述のようにして求めた。以下の製造例および比較例についても同様の測定法である。
[Production of hydrophilic resin (A)]
<Production Example A-1>
A glass Kolben equipped with a heating / cooling / stirring measure, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen inlet tube, isobornyl methacrylate 50 parts (33 mol%), 2-hydroxyethyl methacrylate 30 parts (33 mol%), methacryl 20 parts (34 mol%) of acid and 150 parts of cyclohexanone were charged and heated to 80 ° C. A solution in which 5 parts of azobisisobutyronitrile (V-60: Wako Pure Chemical Industries, Ltd., hereinafter referred to as AIBN) prepared in advance is dissolved in 50 parts of cyclohexanone after replacing the gas phase part in the system with nitrogen. 55 parts are dropped into Kolben at 80 ° C. over 10 minutes, and further reacted at the same temperature for 3 hours to obtain a hydrophilic resin (A-1) having a hydroxyl group and a carboxyl group (Mn: 8,800, SP value: 11. 86, an HLB value: 11.98, an acid value: 102 mgKOH / g) was obtained (the solid content was 25%). In addition, Mn is GPC measurement equipment (HLC-8120GPC, manufactured by Tosoh Corp.), column (TSKgel GMHXL 2 + TSKgel Multipore HXL-M, manufactured by Toso Corp.), polystyrene conversion measured by GPC method. Obtained as a value. The SP value, HLB value, and acid value were determined as described above. The same measurement method is used for the following production examples and comparative examples.

<製造例A−2>
製造例A−1と同様のコルベンに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂「EOCN−1020」(日本化薬製、エポキシ当量200)200部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート245部を仕込み、110℃まで加熱して均一に溶解させた。続いて、アクリル酸76部(1.07モル部)、トリフェニルホスフィン2部、およびp−メトキシフェノール0.2部を仕込み、110℃にて10時間反応させた。反応物にさらにテトラヒドロ無水フタル酸91部(0.60モル部)を仕込み、さらに90℃5時間反応させ、冷却後にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを加えて固形分含有量を調整し、カルボキシル基およびアクリロイル基を有する親水性樹脂(A−2)(Mn:2,200、SP値:11.26、HLB値:6.42、酸価:91mgKOH/g)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た(固形分含有量は25%)。
<Production Example A-2>
In the same Kolben as in Production Example A-1, 200 parts of a cresol novolac type epoxy resin “EOCN-1020” (manufactured by Nippon Kayaku, epoxy equivalent 200) and 245 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate are charged and heated to 110 ° C. It was dissolved uniformly. Subsequently, 76 parts (1.07 mol part) of acrylic acid, 2 parts of triphenylphosphine, and 0.2 part of p-methoxyphenol were charged and reacted at 110 ° C. for 10 hours. The reaction product was further charged with 91 parts (0.60 mol part) of tetrahydrophthalic anhydride, further reacted at 90 ° C. for 5 hours, and after cooling, propylene glycol monomethyl ether acetate was added to adjust the solid content, and carboxyl group and acryloyl A propylene glycol monomethyl ether acetate solution of a hydrophilic resin (A-2) having a group (Mn: 2,200, SP value: 11.26, HLB value: 6.42, acid value: 91 mgKOH / g) was obtained ( Solids content is 25%).

[2個以上の加水分解性アルコキシ基を有する化合物(C)の製造]
<製造例C−1>
加熱冷却・攪拌措置、環流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたガラス製コルベンに、3−アクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン46部(0.2モル部)、ジフェニルジメトキシシラン160部(0.65モル部)とイオン交換水45g(2.5モル部)と、シュウ酸0.1部(0.001モル部)を仕込み、60℃、6時間の条件で加熱撹拌し、さらにエバポレーターを用いて、加水分解により副生したメタノールを50mmHgの減圧下で2時間かけて除去した。その後、シクロヘキサノンで固形分含有量が25%となるように希釈し、ポリシロキサン(C−1)(Mn:2,100、粘度:20mPa・s、SP値:9.36)のシクロヘキサノン溶液を得た(固形分含有量は25%)。また、粘度は25℃の定温下にてBL型粘度計(東機産業株式会社製)を用いて測定した。以下の製造例および比較例についても同様の測定法である。
[Production of compound (C) having two or more hydrolyzable alkoxy groups]
<Production Example C-1>
In a glass Kolben equipped with a heating / cooling / stirring measure, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introduction pipe, 46 parts (0.2 mole part) 3-acryloyloxypropyltrimethoxysilane, 160 parts diphenyldimethoxysilane (0 .65 mol parts), 45 g (2.5 mol parts) of ion-exchanged water, and 0.1 part (0.001 mol parts) of oxalic acid, and heated and stirred at 60 ° C. for 6 hours. The methanol by-produced by hydrolysis was removed over 2 hours under reduced pressure of 50 mmHg. Thereafter, the solution is diluted with cyclohexanone so that the solid content is 25%, and a cyclohexanone solution of polysiloxane (C-1) (Mn: 2,100, viscosity: 20 mPa · s, SP value: 9.36) is obtained. (The solid content was 25%). The viscosity was measured using a BL type viscometer (manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.) at a constant temperature of 25 ° C. The same measurement method is used for the following production examples and comparative examples.

<製造例C−2>
製造例C−1と同様のコルベンに、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン170部(0.82モル部)、フェニルトリメトキシシラン40部(0.20モル部)、ジフェニルジメトキシシラン30部(0.12モル部)とイオン交換水40g(2.2モル部)と、シュウ酸0.1部(0.001モル部)を仕込み、60℃、6時間の条件で加熱撹拌し、さらにエバポレーターを用いて、加水分解により副生したメタノールを50mmHgの減圧下で2時間かけて除去した。その後、シクロヘキサノンで固形分含有量が25%となるように希釈し、ポリシロキサン(C−2)(Mn:7,800、粘度:70mPa・s、SP値:8.69)のシクロヘキサノン溶液を得た(固形分含有量は25%)。
<Production Example C-2>
In the same Kolben as in Production Example C-1, 170 parts (0.82 mole part) of 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 40 parts (0.20 mole part) of phenyltrimethoxysilane, 30 parts of diphenyldimethoxysilane ( 0.12 mol part), 40 g (2.2 mol parts) of ion-exchanged water, and 0.1 part (0.001 mol part) of oxalic acid, and heated and stirred under conditions of 60 ° C. for 6 hours, and further an evaporator. Was used to remove methanol by-produced by hydrolysis over 2 hours under reduced pressure of 50 mmHg. Thereafter, the solution is diluted with cyclohexanone so that the solid content is 25%, and a cyclohexanone solution of polysiloxane (C-2) (Mn: 7,800, viscosity: 70 mPa · s, SP value: 8.69) is obtained. (The solid content was 25%).

<比較製造例C−1’>
製造例C−1と同様のコルベンに、メチルトリメトキシシラン46部(0.34モル部)、フェニルトリメトキシシラン160部(0.80モル部)とイオン交換水45g(2.5モル部)と、シュウ酸0.1部(0.001モル部)を仕込み、60℃、6時間の条件で加熱撹拌し、さらにエバポレーターを用いて、加水分解により副生したメタノールを50mmHgの減圧下で2時間かけて除去した。その後、シクロヘキサノンで固形分含有量が25%となるように希釈し、比較のポリシロキサン(C−1’)(Mn:9,400、粘度:250mPa・s、SP値:8.49)のシクロヘキサノン溶液を得た(固形分含有量は25%)。
<Comparative Production Example C-1 ′>
In the same Kolben as in Production Example C-1, 46 parts (0.34 mole part) of methyltrimethoxysilane, 160 parts (0.80 mole part) of phenyltrimethoxysilane and 45 g (2.5 mole parts) of ion-exchanged water Then, 0.1 part (0.001 mol part) of oxalic acid was charged, heated and stirred under the conditions of 60 ° C. and 6 hours, and further by using an evaporator, methanol produced as a by-product by hydrolysis was reduced to 2 under a reduced pressure of 50 mmHg. Removed over time. Then, it was diluted with cyclohexanone so that the solid content was 25%, and cyclohexanone of comparative polysiloxane (C-1 ′) (Mn: 9,400, viscosity: 250 mPa · s, SP value: 8.49) A solution was obtained (solid content 25%).

<比較製造例C−2’>
製造例C−1と同様のコルベンに、トリメチルモノメトキシシラン119部(1.14モル部)とイオン交換水45g(2.5モル部)と、シュウ酸0.1部(0.001モル部)を仕込み、60℃、6時間の条件で加熱撹拌し、さらにエバポレーターを用いて、加水分解により副生したメタノールを50mmHgの減圧下で2時間かけて除去した。その後、シクロヘキサノンで固形分含有量が25%となるように希釈し、比較のポリシロキサン(C−2’)(Mn:350、粘度:4mPa・s、SP値:6.75)のシクロヘキサノン溶液を得た(固形分含有量は25%)。
<Comparative Production Example C-2 ′>
In the same Kolben as in Production Example C-1, 119 parts (1.14 mole part) of trimethylmonomethoxysilane, 45 g (2.5 mole part) of ion-exchanged water, and 0.1 part (0.001 mole part) of oxalic acid ), And heated and stirred at 60 ° C. for 6 hours. Further, by using an evaporator, methanol produced as a by-product by hydrolysis was removed under reduced pressure of 50 mmHg over 2 hours. Thereafter, the solution was diluted with cyclohexanone so that the solid content was 25%, and a cyclohexanone solution of comparative polysiloxane (C-2 ′) (Mn: 350, viscosity: 4 mPa · s, SP value: 6.75) was prepared. Obtained (solid content 25%).

<実施例1〜6および比較例1〜4>
[感光性樹脂組成物の製造]
表1の配合部数[それぞれの成分の見かけの重量部、なお( )内は、感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量に基づく各成分の固形分の重量%(小数点以下1桁を四捨五入)]に従い、ガラス製の容器に各原料を仕込み、均一になるまで攪拌し、さらに追加の溶剤(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を添加して実施例の感光性樹脂組成物(Q1)〜(Q6)、および比較例の感光性樹脂組成物(Y1)〜(Y5)を製造した。なお、表1中の略号のうち上記以外のものは以下の通り。
<Examples 1-6 and Comparative Examples 1-4>
[Production of photosensitive resin composition]
Number of blended parts in Table 1 [apparent parts by weight of each component, () indicates the weight% of the solid content of each component based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q) (one decimal place) The raw materials are charged in a glass container and stirred until uniform, and an additional solvent (propylene glycol monomethyl ether acetate) is added to the photosensitive resin compositions (Q1) to (Q1) to (Example). Q6) and the photosensitive resin compositions (Y1) to (Y5) of Comparative Examples were produced. The abbreviations in Table 1 other than the above are as follows.

B−1(多官能(メタ)アクリレート):「ライトアクリレートPE−3A」(SP値:10.30、ペンタエリスリトールトリアクリレート:共栄社化学(株)製)、
C−3’:片末端グリシジル基変性ポリシロキサン(「X−22−173DX」:信越化学工業社製)(粘度:65mPa・s、SP値:6.66)
D−1(光ラジカル重合開始剤):「イルガキュア907」(2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン:チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)、
E−1(光酸発生剤):N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)スクシンイミド
B-1 (polyfunctional (meth) acrylate): “light acrylate PE-3A” (SP value: 10.30, pentaerythritol triacrylate: manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.),
C-3 ′: One-terminal glycidyl group-modified polysiloxane (“X-22-173DX”: manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) (viscosity: 65 mPa · s, SP value: 6.66)
D-1 (photo radical polymerization initiator): “Irgacure 907” (2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one: manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd. ),
E-1 (photoacid generator): N- (trifluoromethylsulfonyloxy) succinimide

Figure 0004680867
評価方法および評価結果
(1)現像性・・・感光性樹脂組成物(Q1)〜(Q6)、および(Y1)〜(Y5)を、それぞれガラス基板上に仕上り膜厚が5μmになるようにスピンコートし、25℃で5分間乾燥し、高圧水銀灯を用い露光量100mJので露光後、その後1%炭酸ナトリウム水溶液を用いて30秒間現像を行い、現像性を評価した。結果を表1に示す。評価基準は以下の通りである。
◎:目視により残留物無し。
○:目視により残留物わずかにあり。
△:目視により残留物が多い。
Figure 0004680867
Evaluation Method and Evaluation Results (1) Developability: photosensitive resin compositions (Q1) to (Q6) and (Y1) to (Y5) are each finished on a glass substrate so that the finished film thickness is 5 μm. The film was spin-coated, dried at 25 ° C. for 5 minutes, exposed using a high-pressure mercury lamp at an exposure amount of 100 mJ, and then developed using a 1% aqueous sodium carbonate solution for 30 seconds to evaluate the developability. The results are shown in Table 1. The evaluation criteria are as follows.
A: There is no residue visually.
○: There is a slight residue visually.
Δ: There are many residues by visual inspection.

(2)塗膜性能・・・感光性樹脂組成物をパターン形成されたガラス基板上に全面塗布し、80℃で20分間乾燥した。次いで、この基板にネガフィルムを密着させ、高圧水銀灯を用い露光量100mJので露光後、1%炭酸ナトリウム水溶液で現像処理してパターンを形成した。次に、この基板を150℃で60分間熱硬化して、硬化塗膜を有する評価基板を作製し、評価基板の全光線透過率および評価基板を加熱処理後の耐熱透明性を評価した。 (2) Coating film performance: The photosensitive resin composition was applied on the entire surface of the patterned glass substrate and dried at 80 ° C. for 20 minutes. Next, a negative film was brought into close contact with this substrate, exposed using a high pressure mercury lamp at an exposure amount of 100 mJ, and developed with a 1% aqueous sodium carbonate solution to form a pattern. Next, this substrate was thermally cured at 150 ° C. for 60 minutes to prepare an evaluation substrate having a cured coating film, and the total light transmittance of the evaluation substrate and the heat-resistant transparency after the heat treatment of the evaluation substrate were evaluated.

(A)全光線透過率・・・2mm厚、40mm角試験板を用い、曇度計[日本電色工業(株)製]を使用し、JIS K7105(1981年)に準拠して測定した。 (A) Total light transmittance: Measured according to JIS K7105 (1981) using a haze meter [manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.] using a 2 mm thick, 40 mm square test plate.

(B)耐熱透明性・・・硬化塗膜を有する評価基板を250℃×1hr熱処理し、400nm、540nmの波長光の透過率を測定した。
(透過率計:島津製作所社製 UV2400PC)
(B) Heat-resistant transparency: An evaluation substrate having a cured coating film was heat-treated at 250 ° C. for 1 hr, and the transmittance of light having wavelengths of 400 nm and 540 nm was measured.
(Transmissivity meter: UV2400PC manufactured by Shimadzu Corporation)

(C)平坦性・・・触針式膜厚計(DEKTAK3030ST)を用いて保護膜表面の膜厚を測定し(測定長1000μm)、下記式で平坦化率を求めた。
平坦化率(%)=B/A×100
A・・・(最大膜厚値−最小膜厚値)μm (保護膜形成前)
B・・・(最大膜厚値−最小膜厚値)μm (保護膜形成後)
(C) Flatness: The thickness of the surface of the protective film was measured using a stylus type film thickness meter (DEKTAK3030ST) (measurement length: 1000 μm), and the flattening rate was determined by the following formula.
Flattening rate (%) = B / A × 100
A ... (maximum film thickness value-minimum film thickness value) μm (before protective film formation)
B ... (maximum film thickness value-minimum film thickness value) μm (after protective film formation)

Figure 0004680867
Figure 0004680867

表1および表2から判るように、本発明の感光性樹脂組成物を用いることにより、現像性が良好でありかつ耐熱透明性に優れたカラーフィルター基板保護膜を形成することができる。   As can be seen from Tables 1 and 2, by using the photosensitive resin composition of the present invention, a color filter substrate protective film having good developability and excellent heat-resistant transparency can be formed.

本発明の感光性樹脂組成物は、カラーフィルター基板用保護膜に好適に使用できる。
さらに、その他にも各種のレジスト材料、例えば、TFT基板用保護膜、プリント配線板用フォトソルダーレジスト、感光性レジストフィルム、感光性樹脂凸版、スクリーン版、光接着剤またはハードコート剤などの用途の感光性樹脂組成物として好適である。
さらに、金属(例えば、鉄、アルミニウム、チタン、銅等)、プラスチック(例えば、ポリカーボネート、ポリエチレンテルフタラート、ポリ(メタ)アクリレート)、紙、ガラス、ゴム及び木材等の各種材料に対するコーティング剤、塗料、印刷インキ及び接着剤としても使用でき、成型材料等としても応用できる。
The photosensitive resin composition of this invention can be used conveniently for the protective film for color filter substrates.
In addition to various resist materials, such as protective films for TFT substrates, photo solder resists for printed wiring boards, photosensitive resist films, photosensitive resin relief plates, screen plates, photoadhesives or hard coat agents, etc. It is suitable as a photosensitive resin composition.
Furthermore, coating agents for various materials such as metals (for example, iron, aluminum, titanium, copper, etc.), plastics (for example, polycarbonate, polyethylene terephthalate, poly (meth) acrylate), paper, glass, rubber and wood, paints, It can also be used as a printing ink and an adhesive, and can also be applied as a molding material.

Claims (7)

親水性ポリマー(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン(C)及び光ラジカル重合開始剤(D)を含有し、該ポリシロキサン(C)が下記一般式(1)で表されるシラン化合物(c1)を必須構成単量体とする縮合物である、カラーフィルター基板保護膜用感光性樹脂組成物(Q)。
Figure 0004680867
[式中、R1は、アルキル基の炭素数が1〜6の、(メタ)アクリロイロキシアルキル基、グリシドキシアルキル基、メルカプトアルキル基、及びアミノアルキル基からなる群から選ばれる1種以上の有機基、R2は炭素数1〜12の脂肪族飽和炭化水素基または炭素数6〜12の芳香族炭化水素基、R3は炭素数1〜4のアルキル基、mは0または1である。]
Containing a hydrophilic polymer (A), a polyfunctional (meth) acrylate monomer (B), a polysiloxane (C) having two or more hydrolyzable alkoxy groups, and a photoradical polymerization initiator (D), A photosensitive resin composition (Q) for a color filter substrate protective film, wherein (C) is a condensate containing a silane compound (c1) represented by the following general formula (1) as an essential constituent monomer.
Figure 0004680867
[Wherein, R 1 is one selected from the group consisting of a (meth) acryloyloxyalkyl group, a glycidoxyalkyl group, a mercaptoalkyl group, and an aminoalkyl group, wherein the alkyl group has 1 to 6 carbon atoms. The above organic group, R 2 is an aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms, R 3 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and m is 0 or 1 It is. ]
(c1)が、一般式(1)におけるR1が(メタ)アクリロイロキシアルキル基であるシラン化合物であるシラン化合物である請求項1記載の感光性樹脂組成物(Q)。 The photosensitive resin composition (Q) according to claim 1, wherein (c1) is a silane compound in which R 1 in the general formula (1) is a (meth) acryloyloxyalkyl group. ポリシロキサン(C)の粘度が25℃で1〜200mPa・sである請求項1又は2記載の熱硬化性樹脂組成物(Q)。 The thermosetting resin composition (Q) according to claim 1 or 2, wherein the polysiloxane (C) has a viscosity of 1 to 200 mPa · s at 25 ° C. 多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)と2個以上の加水分解性アルコキシ基を有する化合物(C)との溶解度パラメーターの差が−2.0〜2.0である請求項1〜3いずれか記載の感光性樹脂組成物(Q)。 The difference in solubility parameter between the polyfunctional (meth) acrylate monomer (B) and the compound (C) having two or more hydrolyzable alkoxy groups is -2.0 to 2.0. The photosensitive resin composition (Q) described. ポリシロキサン(C)の含有量が、熱硬化性樹脂組成物(Q)の固形分の重量に基づいて5〜30重量%である請求項1〜4のいずれか記載の感光性樹脂組成物(Q)。 5. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the content of the polysiloxane (C) is 5 to 30% by weight based on the weight of the solid content of the thermosetting resin composition (Q). Q). 請求項1〜5のいずれか記載の感光性樹脂組成物を、光照射を含む工程により硬化させて形成された、カラーフィルター保護のために設けられた保護膜。 A protective film provided for protecting a color filter, which is formed by curing the photosensitive resin composition according to claim 1 through a process including light irradiation. 光照射を含む工程が、光照射の後、アルカリ現像してパターン形成し、さらにポストベークを行うことを特徴とする工程である請求項6記載の保護膜。 The protective film according to claim 6, wherein the step including light irradiation is a step in which after light irradiation, alkali development is performed to form a pattern, and further post-baking is performed.
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