JP4674555B2 - Surface acoustic wave element and communication device - Google Patents

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Description

本発明は、携帯端末及び各種無線機器等に用いられる弾性表面波素子に関し、特に配線
構成を改良した弾性表面波素子と、それを用いて構成した通信装置に関するものである。
The present invention relates to a surface acoustic wave element used for a mobile terminal, various wireless devices, and the like, and more particularly to a surface acoustic wave element having an improved wiring configuration and a communication apparatus configured using the same.

近年、弾性表面波素子(SAW素子)は通信分野で広く利用され、高性能、小型、量産
性等の優れた特徴を有することから、特に携帯電話、LAN等に多く用いられている。
例えば、図5は従来の弾性表面波素子の一種である縦結合弾性表面波フィルタの構成を
示す平面図であって、セラミックパッケージ50の凹陥部に2段縦接続型の1次−3次縦
結合二重モードSAWフィルタ(以下、縦結合弾性表面波フィルタと称す)を収容し、圧
電基板51上の電極パッドと、セラミックパッケージ50の段差部に設けたボンディング
パッドと、をボンディングワイヤで接続してフィルタを構成する。
圧電基板51の主面上に表面波の伝搬方向に沿って、3つのIDT電極(インターディ
ジタルトランスデューサ)52、53、54を近接配置すると共に、該IDT電極52、
53、54の両側にグレーティング反射器(以下、反射器と称す)55、56を配設して
第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子F1(フィルタ素子F1)を形成する。更に、フィ
ルタ素子F1と平行して、IDT電極57、58、59を配置すると共に、これらのID
T電極57、58、59の両側に反射器60、61を配設して、第2の縦結合弾性表面波
フィルタ素子F2(フィルタ素子F2)を併設する。ここで、IDT電極52、53、5
4及び57、58、59は、それぞれ互いに間挿し合う複数の電極指を有する一対の櫛形
電極より構成されている。
In recent years, surface acoustic wave elements (SAW elements) have been widely used in the communication field, and have been widely used particularly for cellular phones, LANs, and the like because they have excellent characteristics such as high performance, small size, and mass productivity.
For example, FIG. 5 is a plan view showing a configuration of a longitudinally coupled surface acoustic wave filter which is a kind of conventional surface acoustic wave element, and a two-stage longitudinally connected primary-third-order longitudinal longitudinally formed in a recessed portion of the ceramic package 50. A coupled double mode SAW filter (hereinafter referred to as a longitudinally coupled surface acoustic wave filter) is accommodated, and the electrode pad on the piezoelectric substrate 51 and the bonding pad provided on the step portion of the ceramic package 50 are connected by a bonding wire. Configure the filter.
Three IDT electrodes (interdigital transducers) 52, 53, 54 are arranged close to each other along the propagation direction of the surface wave on the main surface of the piezoelectric substrate 51, and the IDT electrodes 52,
Grating reflectors (hereinafter referred to as reflectors) 55 and 56 are disposed on both sides of 53 and 54 to form a first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element F1 (filter element F1). Further, IDT electrodes 57, 58, 59 are arranged in parallel with the filter element F1, and these IDs are also arranged.
Reflectors 60 and 61 are disposed on both sides of the T electrodes 57, 58, and 59, and a second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element F2 (filter element F2) is also provided. Here, the IDT electrodes 52, 53, 5
Reference numerals 4, 57, 58, and 59 are each composed of a pair of comb electrodes having a plurality of electrode fingers that are interleaved with each other.

更に、IDT電極52、53、54に近接して図中上に設けた電極パッド62、63、
64と、セラミックパッケージ50の図中上部の段差部に設けたボンディングパッド65
(接地用)、66(入力用)、67(接地用)と、をそれぞれボンディングワイヤ68、
69、70を用いて接続する。同様に、IDT電極57、58、59に近接して図中下に
設けた電極パッド71、72、73と、セラミックパッケージ50の図中下部の段差部に
設けたボンディングパッド74(接地用)、75(出力用)、76(接地用)と、をそれ
ぞれボンディングワイヤ77、78、79を用いて接続する。そして、圧電基板51の中
央部で、フィルタ素子F1とF2との間に設けた接地用の電極パッド80、81と、ボン
ディングパッド65(接地用)、76(接地用)と、をそれぞれボンディングワイヤ82
、83にて接続して、縦結合弾性表面波フィルタを構成する。この構造のフィルタでは8
本のボンディングワイヤが必要となる。
Further, electrode pads 62, 63, provided on the upper side in the drawing in the vicinity of the IDT electrodes 52, 53, 54,
64 and a bonding pad 65 provided on the stepped portion at the top of the ceramic package 50 in the drawing.
(For grounding), 66 (for input), 67 (for grounding), bonding wire 68,
69 and 70 are used for connection. Similarly, electrode pads 71, 72, 73 provided in the lower part of the figure close to the IDT electrodes 57, 58, 59, and bonding pads 74 (for grounding) provided in a step part at the lower part of the ceramic package 50 in the figure, 75 (for output) and 76 (for grounding) are connected using bonding wires 77, 78, and 79, respectively. Then, the electrode pads 80 and 81 for grounding provided between the filter elements F1 and F2 and the bonding pads 65 (for grounding) and 76 (for grounding) are bonded to the bonding wires at the center of the piezoelectric substrate 51, respectively. 82
, 83 to form a longitudinally coupled surface acoustic wave filter. 8 for this type of filter
A book bonding wire is required.

図6は、特許第3478260号(特許文献1)に開示された縦続接続型SAWフィル
タの平面図で、図5に示したSAWフィルタの配線構造を改良したものである。縦続接続
する各弾性表面波素子(F3、F4)の段間接続部を、並列容量が発生しにくいように構
成したと開示されている。圧電基板102の主面上にIDT電極103、104、105
を近接配置し、これらのIDT電極の両側に反射器を配設して、縦結合弾性表面波フィル
タ素子F3(フィルタ素子F3)を形成する。更に、フィルタ素子F3と平行して、ID
T電極106、107、108を近接配置すると共に、これらの両側に反射器を配設して
、縦結合弾性表面波フィルタ素子F4(フィルタ素子F4)を併設する。
FIG. 6 is a plan view of the cascade connection type SAW filter disclosed in Japanese Patent No. 3478260 (Patent Document 1), which is an improvement of the wiring structure of the SAW filter shown in FIG. It is disclosed that the interstage connection portions of the surface acoustic wave elements (F3, F4) that are connected in cascade are configured so that parallel capacitance is unlikely to occur. IDT electrodes 103, 104, 105 on the main surface of the piezoelectric substrate 102
Are arranged close to each other, and reflectors are arranged on both sides of these IDT electrodes to form a longitudinally coupled surface acoustic wave filter element F3 (filter element F3). Furthermore, in parallel with the filter element F3, the ID
The T electrodes 106, 107, and 108 are disposed close to each other, and reflectors are disposed on both sides thereof, and a longitudinally coupled surface acoustic wave filter element F4 (filter element F4) is also provided.

更に、IDT電極103、104、105の図中上に、接地用の電極パッド109を設
け、該電極パッド109と、IDT電極103、104、105の図中上のそれぞれのバ
スバーと、を配線接続する。同様に、IDT電極106、107、108の図中下に、接
地用の電極パッド110を設け、IDT電極106、107、108の図中下のそれぞれ
のバスバーと、を配線接続する。そして、IDT電極103の図中下のバスバーと、ID
T電極106の図中上のバスバーとを、フィルタ素子F3とF4の間に設けた配線パター
ン111で接続する。同様に、IDT電極105の図中下のバスバーと、IDT電極10
8の図中上のバスバーとを、フィルタ素子F3とF4の間に設けた配線パターン112で
接続する。
Further, an electrode pad 109 for grounding is provided on the IDT electrodes 103, 104, and 105, and the electrode pad 109 and each bus bar on the IDT electrodes 103, 104, and 105 are connected by wiring. To do. Similarly, a grounding electrode pad 110 is provided below the IDT electrodes 106, 107, 108 in the drawing, and the bus bars below the IDT electrodes 106, 107, 108 are connected by wiring. The bus bar at the bottom of the IDT electrode 103 and the ID
The upper bus bar of the T electrode 106 in the figure is connected by a wiring pattern 111 provided between the filter elements F3 and F4. Similarly, the lower bus bar of the IDT electrode 105 and the IDT electrode 10
The upper bus bar in FIG. 8 is connected by a wiring pattern 112 provided between the filter elements F3 and F4.

更に、フィルタ素子F3とF4の間に電極パッド113、114を設け、電極パッド1
13と、IDT電極104の図中下のバスバーとを配線接続すると共に、電極パッド11
4と、IDT107の図中上のバスバーとを配線接続する。そして、電極パッド113と
、パッケージ100の入力用ボンディングパッド115とをボンディングワイヤ116で
接続し、電極パッド114と、パッケージ100の出力用ボンディングパッド117と、
をボンディングワイヤ118で接続する。さらに、電極パッド109と、パッケージ10
0のボンディングパッド119(接地用)、120(接地用)とをそれぞれボンディング
ワイヤ121、122で接続し、電極パッド110と、パッケージ100のボンディング
パッド123(接地用)、124(接地用)と、をそれぞれボンディングワイヤ125、
126で接続して、フィルタ素子F3とF4とを縦続接続した縦結合弾性表面波フィルタ
を構成する。
以上のように、フィルタ素子F3とF4の間に入出力用の電極パッドを配置することに
より、配線パターンとアース端子用の電極パッドとの距離を物理的に離間することができ
るので、段間接続部における並列容量の発生を効果的に抑圧でき、更にボンディングワイ
ヤ本数を減らすことができると開示されている。
Furthermore, electrode pads 113 and 114 are provided between the filter elements F3 and F4, and the electrode pad 1
13 is connected to the lower bus bar of the IDT electrode 104 in the drawing, and the electrode pad 11
4 and the bus bar in the figure of IDT 107 are connected by wiring. Then, the electrode pad 113 and the input bonding pad 115 of the package 100 are connected by a bonding wire 116, and the electrode pad 114 and the output bonding pad 117 of the package 100 are connected.
Are connected by a bonding wire 118. Furthermore, the electrode pad 109 and the package 10
0 bonding pads 119 (for grounding) and 120 (for grounding) are connected by bonding wires 121 and 122, respectively, and electrode pad 110, bonding pads 123 (for grounding) and 124 (for grounding) of package 100, Bonding wire 125,
The longitudinally coupled surface acoustic wave filter is formed by connecting the filter elements F3 and F4 in cascade.
As described above, by arranging the input / output electrode pads between the filter elements F3 and F4, the distance between the wiring pattern and the electrode pad for the ground terminal can be physically separated, so that the interstage It is disclosed that the generation of parallel capacitance in the connecting portion can be effectively suppressed and the number of bonding wires can be further reduced.

また、入力端子と段間に配置した橋絡容量との配線を、反射器を介して行い、ボンディ
ングワイヤを減らしたSAWフィルタの構成法が特開2004−214808公報(特許
文献2)に開示されている。図7は特許文献2に開示されて縦続接続型のSAWフィルタ
の構成を示す概略図であって、圧電基板200の主面上に表面波の伝搬方向に沿って、I
DT電極201、202を近接配置すると共に、該IDT電極201、202の両側に反
射器203、204を配設して、1次−2次縦結合二重モードSAWフィルタ素子f1(
フィルタ素子f1)を形成する。更に、フィルタ素子f1と平行して、IDT電極205
、206を近接配置すると共に、これらの両側に反射器207、208を配設して、1次
−2次縦結合二重モードSAWフィルタf2(フィルタ素子f2)を併設する。
Also, JP-A-2004-214808 (Patent Document 2) discloses a configuration method of a SAW filter in which wiring between an input terminal and a bridging capacitor disposed between stages is performed via a reflector and bonding wires are reduced. ing. FIG. 7 is a schematic diagram showing the configuration of a cascade connection type SAW filter disclosed in Patent Document 2, and is formed along the propagation direction of the surface wave on the main surface of the piezoelectric substrate 200.
The DT electrodes 201 and 202 are arranged close to each other, and the reflectors 203 and 204 are disposed on both sides of the IDT electrodes 201 and 202, so that the primary-secondary longitudinally coupled double mode SAW filter element f1 (
A filter element f1) is formed. Further, the IDT electrode 205 is parallel to the filter element f1.
, 206 are disposed close to each other, and reflectors 207 and 208 are disposed on both sides thereof, and a primary-secondary longitudinally coupled double-mode SAW filter f2 (filter element f2) is also provided.

IDT電極202の図中上のバスバー209と、反射器204の図中上のバスバー21
0とを配線パターン211で接続する。フィルタ素子f1とf2との間の圧電基板200
の中央部の左右に、電極パッド212、213を設けると共に、反射器204の図中下の
バスバー214と、電極パッド212とを配線接続し、IDT電極201の図中下のバス
バーと、IDT電極206の図中上のバスバーとを配線パターン215で接続する。そし
て、電極パッド212と配線パターン215との間に静電容量用の櫛形電極216を、電
極パッド213と配線パターン215との間に静電容量用の櫛形電極217を設ける。こ
のように、フィルタ素子f1とf2とを縦続接続することにより、IDT電極202を入
力、IDT205を出力とした2段縦続接続型の縦結合弾性表面波フィルタが構成でき、
橋絡容量216が形成されると共にボンディングワイヤを減らすことができると開示され
ている。
特許第3478260号 特開2004−214808公報
The bus bar 209 on the IDT electrode 202 in the drawing and the bus bar 21 on the reflector 204 in the drawing.
0 is connected by the wiring pattern 211. Piezoelectric substrate 200 between filter elements f1 and f2
The electrode pads 212 and 213 are provided on the left and right sides of the central portion of the substrate, and the bus bar 214 in the lower part of the reflector 204 and the electrode pad 212 are connected to each other by wiring. The upper bus bar 206 is connected by a wiring pattern 215. A capacitance comb-shaped electrode 216 is provided between the electrode pad 212 and the wiring pattern 215, and a capacitance comb-shaped electrode 217 is provided between the electrode pad 213 and the wiring pattern 215. In this way, by connecting the filter elements f1 and f2 in cascade, a two-stage cascaded longitudinally coupled surface acoustic wave filter having the IDT electrode 202 as an input and the IDT 205 as an output can be configured.
It is disclosed that the bridging capacitance 216 can be formed and bonding wires can be reduced.
Patent No. 3478260 JP 2004-214808 A

しかしながら、図5に示したような従来の配線構造の縦結合弾性表面波フィルタを25
個製造し、−40℃で30分、+125℃で30分の保持を繰り返すヒートサイクル試験
を行ったところ、1000サイクルで断線不良が3個発生し、1500サイクルで新たに
10個が、2000サイクルでさらに6個の断線不良が発生し、最近の仕様に要求される
環境試験を満足することが難しいという問題があった。
また、図6に示したような配線構造の縦結合弾性表面波フィルタは、段間接続部におけ
る並列容量は発生しにくく、広帯域のSAWフィルタに適し、ボンディングワイヤの本数
を削減できるものの、圧電基板102の両端部に設けた電極パッド109、110と、パ
ッケージ100の接地用ボンディングパッド119、120及び123、124と、をそ
れぞれ接続するボンディングワイヤ121、122及び125、126は、入出力用のボ
ンディングワイヤ116、118より短くなり、上記のようなヒートサイクル試験を行う
と、短いボンディングワイヤが断線不良を起こすというおそれがあった。
However, a longitudinally coupled surface acoustic wave filter having a conventional wiring structure as shown in FIG.
When a heat cycle test was repeated, which was repeated for 30 minutes at −40 ° C. and 30 minutes at + 125 ° C., 3 disconnection failures occurred in 1000 cycles, and 10 in 2000 cycles were 2000 cycles. As a result, six disconnection failures occurred, and it was difficult to satisfy environmental tests required for recent specifications.
In addition, the longitudinally coupled surface acoustic wave filter having a wiring structure as shown in FIG. 6 is less likely to generate parallel capacitance at the interstage connection portion, and is suitable for a broadband SAW filter, and can reduce the number of bonding wires. Bonding wires 121, 122, 125, and 126 that connect the electrode pads 109 and 110 provided at both ends of the 102 and the grounding bonding pads 119, 120, 123, and 124 of the package 100, respectively, are input / output bondings. When the heat cycle test is performed as described above, the short bonding wire may cause a disconnection failure.

また、図7に示したような構造の縦結合弾性表面波フィルタは、入力用の電極パッドと
橋絡容量とは、反射器を介して接続され、ボンディングワイヤが1本節約されるものの、
接地用の電極パッドが共通化されていないので、ボンディングワイヤの本数は、低減され
ていないという問題があった。
本発明は、ボンディングワイヤの本数を削減すると共に、入出力用ボンディングワイヤ
と、接地用ボンディングワイヤとが、従来の構造の縦結合弾性表面波フィルタより長くな
るように電極パッドを配置し、ヒートサイクル試験、振動衝撃試験に耐えうる構造の弾性
表面波素子を提供することを目的とする。
In the longitudinally coupled surface acoustic wave filter having the structure shown in FIG. 7, the input electrode pad and the bridging capacitor are connected via a reflector, and one bonding wire is saved.
Since the grounding electrode pads are not shared, there is a problem that the number of bonding wires is not reduced.
The present invention reduces the number of bonding wires and arranges electrode pads so that the input / output bonding wires and the grounding bonding wires are longer than the longitudinally coupled surface acoustic wave filter having a conventional structure, and heat cycle An object of the present invention is to provide a surface acoustic wave device having a structure capable of withstanding a test and a vibration shock test.

本発明は、弾性表面波素子に用いるボンディングワイヤの本数を削減すると共に、ボンディングワイヤの長さを長くし、ヒートサイクル試験に耐用できるようにするため、平面視での大きさが3mm角のパッケージと、
前記パッケージに載置された圧電基板と、
前記圧電基板上に形成され、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された一対の櫛歯電極からなる3つのIDT電極と、前記3つのIDT電極の両側に設けられた一対の反射機とで構成された第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子と、
前記圧電基板上に、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子と平行して形成され、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された一対の櫛歯電極からなる3つのIDT電極と、前記3つのIDT電極の両側に設けられた一対の反射機とで構成された第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子と、
前記基板上に形成され、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの中央に位置する前記IDT電極が有し、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子と反対側に位置する前記櫛歯電極と電気的に接続された第1の入出力用電極パッドと、
前記基板上に形成され、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの中央に位置する前記IDT電極が有し、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子と反対側に位置する前記櫛歯電極と電気的に接続された第2の入出力用電極パッドと、
前記基板上に形成され、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの一方の前記反射機と隣接する前記IDT電極が有し、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子側に位置する前記櫛歯電極と、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子が有する前記一方の反射機と同じ側に位置する前記反射機と隣接する前記IDT電極が有し、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子側に位置する前記櫛歯電極とを電気的に接続する第1の接続用配線パターンと、
前記基板上に形成され、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの他方の前記反射機と隣接する前記IDT電極が有し、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子側に位置する前記櫛歯電極と、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子が有する前記他方の反射機と同じ側に位置する前記反射機と隣接する前記IDT電極が有し、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子側に位置する前記櫛歯電極とを電気的に接続する第2の接続用配線パターンと、
前記基板上に形成され、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの中央に位置する前記IDT電極が有し、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子側に位置する前記櫛歯電極と電気的に接続された第1の接地用電極パッドと、
前記基板上に形成され、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの中央に位置する前記IDT電極が有し、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子側に位置する前記櫛歯電極と電気的に接続された第2の接地用電極パッドと、
前記基板上に形成され、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の前記一方の反射機と、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの前記一方の反射機と隣接する前記IDT電極が有し、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子と反対側に位置する前記櫛歯電極と、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子が有し、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子が有する前記一方の反射機と同じ側に位置する前記反射機と、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子が有する前記一方の反射機と同じ側に位置する反射機と隣接する前記IDT電極が有し、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子と反対側に位置する前記櫛歯電極とを接続する第1の接地用配線パターンと、
前記基板上に形成され、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の前記他方の反射機と、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの前記他方の反射機と隣接する前記IDT電極が有し、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子と反対側に位置する前記櫛歯電極と、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子が有し、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子が有する前記他方の反射機と同じ側に位置する前記反射機と、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子が有する前記他方の反射機と同じ側に位置する反射機と隣接する前記IDT電極が有し、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子と反対側に位置する前記櫛歯電極とを接続する第2の接地用配線パターンと、
前記パッケージに形成され、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子側に、前記弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された3つの第1のボンディングパッドと、
前記パッケージに形成され、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子側に、前記弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された3つの第2のボンディングパッドと、
前記3つの第1のボンディングパッドのうちの中央に位置する第1のボンディングパッドと第1の入出力用電極パッド、前記3つの第1のボンディングパッドのうちの前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の前記一方の反射機側に位置する第1のボンディングパッドと前記第1の接地用電極パッド、前記3つの第1のボンディングパッドのうちの前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の前記他方の反射機側に位置する第1のボンディングパッドと前記第1の接地用配線パターン、前記3つの第2のボンディングパッドのうちの中央に位置する第2のボンディングパッドと第2の入出力用電極パッド、前記3つの第2のボンディングパッドのうちの前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の前記他方の反射機側に位置する第2のボンディングパッドと前記第2の接地用電極パッド、および、前記3つの第1のボンディングパッドのうちの前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の前記一方の反射機側に位置する第2のボンディングパッドと前記第2の接地用配線パターンをそれぞれ電気的に接合する6本のボンディングワイヤと、を有し、
前記第1の入出力用電極パッドおよび前記第2の入出力用電極パッドは、それぞれ、前記IDT電極が配置された領域の前記弾性表面波の伝搬方向に直交する方向の領域以外に配置され、
前記第1の接地用電極パッドおよび前記第2の接地用電極パッドは、それぞれ、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子と前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子との間で、かつ、前記第1の接続用配線パターンと前記第2の接続用配線パターンとの間に配置され、
前記第1の接地用配線パターンおよび前記第2の接地用配線パターンは、それぞれ、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子と前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子との間の領域にて、前記ボンディングワイヤと接続されており、
前記ボンディングワイヤの各々のワイヤ径は、30μmであり、
前記ボンディングワイヤの各々の長さは、580μm以上として、弾性表面波素子を構成することを特徴とする。
このように、弾性表面波素子を構成することにより、ボンディングワイヤの本数を低減できると共に、ボンディングワイヤの長さを長くできるので、ヒートサイクル試験に耐用できる弾性表面波フィルタを実現することができる。
The present invention is to reduce the number of bonding wires to be used for surface acoustic wave devices, to increase the length of the bonding wire, in order to be able to service the heat cycle test, the package is the size in the plan view of 3mm square When,
A piezoelectric substrate placed on the package;
Three IDT electrodes formed on the piezoelectric substrate and including a pair of comb electrodes disposed along the propagation direction of the surface acoustic wave, and a pair of reflectors provided on both sides of the three IDT electrodes A first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element configured;
Three IDT electrodes comprising a pair of comb electrodes formed on the piezoelectric substrate in parallel with the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element and disposed along the propagation direction of the surface acoustic wave; A second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element composed of a pair of reflectors provided on both sides of three IDT electrodes;
The IDT electrode formed on the substrate and positioned at the center of the three IDT electrodes of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element has the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element; A first input / output electrode pad electrically connected to the comb electrode located on the opposite side;
The IDT electrode formed on the substrate and positioned at the center of the three IDT electrodes of the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element has the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element and A second input / output electrode pad electrically connected to the comb electrode located on the opposite side;
The IDT electrode formed on the substrate and adjacent to the reflector of one of the three IDT electrodes of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element has the second longitudinally coupled elastic surface. The comb electrode disposed on the wave filter element side and the one reflection of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element among the three IDT electrodes of the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element The IDT electrode adjacent to the reflector located on the same side as the machine has a first connection to electrically connect the comb electrode located on the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element side Wiring pattern for
The IDT electrode formed on the substrate and adjacent to the other reflector of the three IDT electrodes of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element has the second longitudinally coupled elastic surface. The other reflection of the comb electrode disposed on the wave filter element side and the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element of the three IDT electrodes of the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element The IDT electrode adjacent to the reflector located on the same side as the machine has a second connection for electrically connecting the comb electrode located on the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element side Wiring pattern for
The IDT electrode formed on the substrate and positioned at the center of the three IDT electrodes of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element has the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element side A first grounding electrode pad electrically connected to the comb electrode located in
The IDT electrode formed on the substrate and positioned at the center of the three IDT electrodes of the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element has the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element side A second grounding electrode pad electrically connected to the comb electrode located in
Reflecting one of the reflectors of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element and the one of the three IDT electrodes of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element formed on the substrate. The IDT electrode adjacent to the machine has the comb electrode located on the opposite side of the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element, and the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element, The reflector located on the same side as the one reflector of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element, and the first of the three IDT electrodes of the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element. The IDT electrode adjacent to the reflector located on the same side as the one reflector of the one longitudinally coupled surface acoustic wave filter element is located on the opposite side of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element. The comb electrode and A first ground wiring pattern to be connected,
The other reflector of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element formed on the substrate and the other of the three IDT electrodes of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element. The IDT electrode adjacent to the machine has the comb electrode located on the opposite side of the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element, and the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element, The reflector located on the same side as the other reflector of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element, and the first of the three IDT electrodes of the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element. The IDT electrode adjacent to the reflector located on the same side as the other reflector of the one longitudinally coupled surface acoustic wave filter element is located on the opposite side of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element. The comb electrode and A second ground wiring pattern to be connected,
Three first bonding pads formed in the package and disposed on the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element side along the propagation direction of the surface acoustic wave;
Three second bonding pads formed in the package and disposed on the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element side along the propagation direction of the surface acoustic wave;
The first bonding pad and the first input / output electrode pad located at the center of the three first bonding pads, and the first longitudinally coupled surface acoustic wave of the three first bonding pads. The first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element of the first bonding pad, the first grounding electrode pad, and the three first bonding pads located on the one reflector side of the filter element. The first bonding pad located on the other reflector side, the first grounding wiring pattern, the second bonding pad located in the center of the three second bonding pads, and the second input / output Electrode pad, a second bond located on the other reflector side of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element of the three second bonding pads A second bonding electrode located on the one reflector side of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element among the three first bonding pads. Six bonding wires for electrically bonding the pads and the second grounding wiring pattern, respectively,
The first input / output electrode pad and the second input / output electrode pad are each disposed in a region other than a region orthogonal to the propagation direction of the surface acoustic wave in a region where the IDT electrode is disposed,
The first ground electrode pad and the second ground electrode pad are respectively disposed between the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element and the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element, and , Disposed between the first connection wiring pattern and the second connection wiring pattern,
The first grounding wiring pattern and the second grounding wiring pattern are respectively located in regions between the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element and the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element. Connected to the bonding wire,
The wire diameter of each of the bonding wires is 30 μm,
Each of the bonding wires has a length of 580 μm or more to form a surface acoustic wave device .
Thus, by configuring the surface acoustic wave element, the number of bonding wires can be reduced and the length of the bonding wires can be increased, so that a surface acoustic wave filter that can withstand heat cycle tests can be realized.

また、前記圧電基板上に、静電容量用の櫛形電極を2つ形成し、
一方の前記櫛形電極は、一方のバスバーを前記第1の接続用配線パターンに、他方のバスバーを前記第1の接地用配線パターンに接続し、
他方の前記櫛歯電極は、一方のバスバーを前記第2の接続用配線パターンに、他方のバスバーを前記第2の接地用配線パターンに接続したことを特徴とする。
このように構成することにより、通過域のリップルが小さい平坦なフィルタ特性を有する弾性表面波素子が得られる。
Moreover, two comb-shaped electrodes for capacitance are formed on the piezoelectric substrate,
One of the comb electrodes has one bus bar connected to the first connection wiring pattern, and the other bus bar connected to the first ground wiring pattern,
The other comb-tooth electrode is characterized in that one bus bar is connected to the second connection wiring pattern and the other bus bar is connected to the second ground wiring pattern.
With this configuration, a surface acoustic wave element having a flat filter characteristic with small ripple in the pass band can be obtained.

上記の弾性表面波素子を備えた通信装置を構成することにより、環境試験に耐用できる
通信装置を製作できると共に、性能の良い通信装置とすることが可能となる。
By configuring a communication device including the above-described surface acoustic wave element, a communication device that can withstand environmental tests can be manufactured, and a communication device with good performance can be obtained.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係る弾性
表面波素子の実施の形態の一例を示す平面図であって、セラミックパッケージ1と、圧電
基板2と、該圧電基板2に形成した1次−3次縦結合弾性二重モードSAWフィルタ素子
(以下、縦結合弾性表面波フィルタ素子と称す)と、電極パッド及び配線パターンと、ボ
ンディングワイヤと、図示しない金属蓋と、を備えている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view showing an example of an embodiment of a surface acoustic wave device according to the present invention, in which a ceramic package 1, a piezoelectric substrate 2, and primary-third-order longitudinally coupled elasticity formed on the piezoelectric substrate 2 are shown. A dual mode SAW filter element (hereinafter referred to as a longitudinally coupled surface acoustic wave filter element), an electrode pad and a wiring pattern, a bonding wire, and a metal lid (not shown) are provided.

圧電基板2の主面上に弾性表面波の伝搬方向に沿って3つのIDT電極3、4、5を近
接配置すると共に、該IDT電極3、4、5の両側に反射器6、7を配設して第1の縦結
合弾性表面波フィルタ素子F1を形成する。縦結合弾性表面波フィルタ素子F1と平行し
て圧電基板2上に、IDT電極8、9、10を近接配置し、その両側に反射器11、12
を配設して、第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子F2を併設する。IDT電極3、4、
5及び8、9、10は、それぞれ互いに間挿し合う複数の電極指を有する一対の櫛形電極
から構成される。
Three IDT electrodes 3, 4, 5 are arranged close to each other along the propagation direction of the surface acoustic wave on the main surface of the piezoelectric substrate 2, and reflectors 6, 7 are arranged on both sides of the IDT electrodes 3, 4, 5. And a first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element F1 is formed. The IDT electrodes 8, 9, and 10 are arranged close to each other on the piezoelectric substrate 2 in parallel with the longitudinally coupled surface acoustic wave filter element F1, and the reflectors 11, 12 are arranged on both sides thereof.
And a second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element F2 is also provided. IDT electrodes 3, 4,
Reference numerals 5, 8, 9, and 10 each include a pair of comb-shaped electrodes having a plurality of electrode fingers that are inserted into each other.

反射器7の図中上に位置するバスバーの上部領域である右上隅の圧電基板2上に入出力用電極パッド(第1の入出力用電気パッド)13を設け、該入出力用電極パッド13とIDT電極4の図中上のバスバーとを上に屈曲した入出力用配線パターン14で電気的に接続する。更に、IDT電極5の接地用電極を接続した図中上のバスバーと、反射器7の図中上下のバスバーと、IDT電極10の接地用電極を接続した図中下のバスバーと、反射器12の図中上下のバスバーと、を圧電基板2の図中右端領域に設けた接地用配線パターン(第2の接地用配線パターン)16で電気的に接続する。そして、IDT電極3の接地用電極を接続した図中上のバスバーと、反射器6の図中上下のバスバーと、IDT電極8の接地用電極を接続した図中下のバスバーと、反射器11の図中上下のバスバーと、を圧電基板2の図中左端領域に設けた接地用配線パターン(第1の接地用配線パターン)15で電気的に接続する。 An input / output electrode pad (first input / output electric pad) 13 is provided on the piezoelectric substrate 2 in the upper right corner, which is the upper area of the bus bar located on the upper side of the reflector 7, and the input / output electrode pad 13 is provided. Are electrically connected to the upper bus bar of the IDT electrode 4 by an input / output wiring pattern 14 bent upward. Further, the upper bus bar in the figure to which the grounding electrode of the IDT electrode 5 is connected, the upper and lower bus bars in the figure of the reflector 7, the lower bus bar in the figure to which the grounding electrode of the IDT electrode 10 is connected, and the reflector 12 The upper and lower bus bars in the figure are electrically connected by a grounding wiring pattern (second grounding wiring pattern) 16 provided in the right end region of the piezoelectric substrate 2 in the figure. The upper bus bar in the figure to which the ground electrode of the IDT electrode 3 is connected, the upper and lower bus bars in the figure of the reflector 6, the lower bus bar in the figure to which the ground electrode of the IDT electrode 8 is connected, and the reflector 11 The upper and lower bus bars in the figure are electrically connected by a grounding wiring pattern (first grounding wiring pattern) 15 provided in the left end region of the piezoelectric substrate 2 in the figure.

さらに、反射器11の図中下に位置するバスバーの下部領域である左下隅の圧電基板2上に入出力用電極パッド(第2の入出力用電極パッド)17を設け、該入出力用電極パッド17とIDT電極9の図中下のバスバーとを下に屈曲した入出力用配線パターン18にて電気的に接続する。そして、縦結合弾性表面波フィルタ素子F1とF2との間の中央部領域に接地用電極パッド(第1の接地用電極パッド)19および接地用電極パッド(第2の接地用電極パッド)20を設ける。IDT電極3の図中下のバスバーと、IDT8の図中上のバスバーと、を電気的に接続する接続用配線パターン(第1の接続用配線パターン)21を設けると共に、IDT電極5の図中下のバスバーと、IDT10の図中上のバスバーと、を電気的に接続する接続用配線パターン(第2の接続用配線パターン)22とを設ける。接地用配線パターン15と接続用配線パターン21との間の領域と、接地用配線パターン16と接続用配線パターン22との間の領域と、にそれぞれ静電容量用の一対の櫛形電極23、24を形成し、櫛形電極23のそれぞれのバスバーを接地用配線パターン15と接続用配線パターン21とに接続し、櫛形電極24のそれぞれのバスバーを接地用配線パターン16と接続用配線パターン22とに接続する。 Further, an input / output electrode pad (second input / output electrode pad) 17 is provided on the piezoelectric substrate 2 in the lower left corner, which is the lower region of the bus bar located in the lower part of the reflector 11, and the input / output electrode is provided. The pad 17 and the bus bar on the lower side of the IDT electrode 9 in the figure are electrically connected by an input / output wiring pattern 18 bent downward. Then, a grounding electrode pad (first grounding electrode pad) 19 and a grounding electrode pad (second grounding electrode pad) 20 are provided in the central region between the longitudinally coupled surface acoustic wave filter elements F1 and F2. Provide. A connection wiring pattern (first connection wiring pattern) 21 is provided to electrically connect the lower bus bar of the IDT electrode 3 in the drawing and the upper bus bar of the IDT 8 in the drawing, and the IDT electrode 5 in the drawing. A connection wiring pattern (second connection wiring pattern) 22 that electrically connects the lower bus bar and the upper bus bar of the IDT 10 in the drawing is provided. A pair of comb-shaped electrodes 23 and 24 for capacitance are respectively provided in a region between the grounding wiring pattern 15 and the connection wiring pattern 21 and a region between the grounding wiring pattern 16 and the connection wiring pattern 22. , Each bus bar of the comb-shaped electrode 23 is connected to the grounding wiring pattern 15 and the connection wiring pattern 21, and each bus bar of the comb-shaped electrode 24 is connected to the grounding wiring pattern 16 and the connection wiring pattern 22. To do.

さらに、セラミックパッケージ1の段差部に設けた第1のボンディングパッド25(入力用)、26(接地用)、27(接地用)と、入出力用電極パッド13、接地用電極パッド19、接地用配線パターン16と、をこの順にボンディングワイヤ28、29、30で接続する。セラミックパッケージ1の段差部に設けた第2のボンディングパッド31(出力用)、32(接地用)、33(接地用)と、入出力用電極パッド17、接地用配線パターン15、接地用電極パッド20と、をこの順にそれぞれボンディングワイヤ34、35、36で接続する。そして、パッケージ1の上面周縁に形成したメタライズ部37に、図示しない金属蓋を抵抗溶接等で溶接して、縦結合弾性表面波フィルタを構成する。 Further, the first bonding pads 25 (for input), 26 (for grounding), 27 (for grounding) provided on the step portion of the ceramic package 1, the input / output electrode pad 13, the grounding electrode pad 19, and the grounding pad The wiring pattern 16 is connected with bonding wires 28, 29, and 30 in this order. Second bonding pads 31 (for output), 32 (for grounding), 33 (for grounding), input / output electrode pads 17, grounding wiring patterns 15, and grounding electrode pads provided on the stepped portion of the ceramic package 1 20 are connected by bonding wires 34, 35, and 36, respectively, in this order. A longitudinally coupled surface acoustic wave filter is formed by welding a metal lid (not shown) to the metallized portion 37 formed on the periphery of the upper surface of the package 1 by resistance welding or the like.

以上説明したように、本発明の特徴は、入出力用電極パッド13、17を入出力IDT
電極4、9から離して、圧電基板2の上端の隅と、下端の隅との領域に設ける。つまり、
入出力用電極パッドをIDT電極が配置された領域の弾性表面波の伝搬方向と直交する方
向の領域以外に配置することにより、入出力用電極パッド13、17と、セラミックパッ
ケージ1の入出力用ボンディングパッド25、31との長さを長くできると共に、ボンデ
ィングワイヤとIDT電極との接触の防止、またボンディングツールのIDT電極への接
触が防げるようになった点である。これらに加え、縦結合弾性表面波フィルタ素子F1の
反射器6と、縦結合弾性表面波フィルタ素子F2の反射器11と、を配線パターン15で
電気的に接続すると共に、縦結合弾性表面波フィルタ素子F1の反射器7と、縦結合弾性
表面波フィルタ素子F2の反射器12と、を配線パターン16で電気的に接続し、IDT
電極3の接地用電極を接続した上のバスバーと、IDT電極8の接地用電極を接続した下
のバスバーとを電極パターン15に接続し、IDT電極5の接地用電極を接続した上のバ
スバーと、IDT電極10の接地用電極を接続した下のバスバーとを配線パターン16に
接続したことにより、ボンディングワイヤの本数を6本に減らことが出来た点である。こ
のことにより、ボンディングに要する工数を低減し、ボンディングの断線による不良を減
らすことができる。
As described above, the feature of the present invention is that the input / output electrode pads 13 and 17 are connected to the input / output IDT.
Separated from the electrodes 4 and 9, the piezoelectric substrate 2 is provided in a region between the upper corner and the lower corner. That means
The input / output electrode pads 13 and 17 and the input / output electrodes of the ceramic package 1 are arranged by disposing the input / output electrode pads in a region other than the region orthogonal to the propagation direction of the surface acoustic wave in the region where the IDT electrodes are disposed. The lengths of the bonding pads 25 and 31 can be increased, the contact between the bonding wire and the IDT electrode can be prevented, and the contact of the bonding tool with the IDT electrode can be prevented. In addition to these, the reflector 6 of the longitudinally coupled surface acoustic wave filter element F1 and the reflector 11 of the longitudinally coupled surface acoustic wave filter element F2 are electrically connected by a wiring pattern 15, and the longitudinally coupled surface acoustic wave filter is also connected. The reflector 7 of the element F1 and the reflector 12 of the longitudinally coupled surface acoustic wave filter element F2 are electrically connected by the wiring pattern 16, and the IDT
An upper bus bar connected to the ground electrode of the electrode 3 and a lower bus bar connected to the ground electrode of the IDT electrode 8 are connected to the electrode pattern 15 and an upper bus bar connected to the ground electrode of the IDT electrode 5 The number of bonding wires can be reduced to six by connecting the lower bus bar to which the grounding electrode of the IDT electrode 10 is connected to the wiring pattern 16. As a result, the number of man-hours required for bonding can be reduced, and defects due to bonding disconnection can be reduced.

図2は、本発明の縦結合弾性表面波フィルタ25個に、−40℃で30分、+125℃
で30分のヒートサイクル試験を、500サイクルから2000サイクル行った場合のサ
イクル数と発生した不良個数を示した図である。なお、このときの圧電基板は38.7°
LiTaO3基板を用い、パッケージサイズを3mm角とし、縦結合弾性表面波フィルタ
の周波数を300MHz帯、ボンディングワイヤ径を30μmとしている。下の段は、図
5に示した従来構成の縦結合弾性表面波フィルタ25個の試験結果を、比較のために示し
ており、圧電基板、パッケージサイズ、周波数、ワイヤ径などは本発明品と同じにしてい
る。本発明の縦結合弾性表面波フィルタでは、接地用のボンディングワイヤ29、30、
35、36の中で、最も短いボンディングワイヤの長さは、930μmであり、入出力用
のボンディングワイヤ28、34の中で短いボンディングワイヤの長さは、580μmで
あった。比較のため、図5に示した従来の構造の縦結合弾性表面波フィルタでは、接地用
のボンディングワイヤの中で、最も短いボンディングワイヤの長さは、520μmであり
、入出力用のボンディングワイヤの中で短いボンディングワイヤの長さは、470μmで
あった。
FIG. 2 shows 25 longitudinally coupled surface acoustic wave filters according to the present invention, 30 minutes at −40 ° C., + 125 ° C.
It is the figure which showed the cycle number at the time of performing the heat cycle test for 30 minutes by 500 cycles to 2000 cycles, and the number of defects which generate | occur | produced. At this time, the piezoelectric substrate is 38.7 °.
A LiTaO 3 substrate is used, the package size is 3 mm square, the frequency of the longitudinally coupled surface acoustic wave filter is 300 MHz, and the bonding wire diameter is 30 μm. The lower row shows the test results of 25 longitudinally coupled surface acoustic wave filters of the conventional configuration shown in FIG. 5 for comparison. The piezoelectric substrate, package size, frequency, wire diameter, etc. are the same as those of the present invention. It is the same. In the longitudinally coupled surface acoustic wave filter of the present invention, the bonding wires 29, 30 for grounding,
The length of the shortest bonding wire among the wires 35 and 36 was 930 μm, and the length of the short bonding wire among the bonding wires 28 and 34 for input / output was 580 μm. For comparison, in the longitudinally coupled surface acoustic wave filter having the conventional structure shown in FIG. 5, the length of the shortest bonding wire among the grounding bonding wires is 520 μm. Among them, the length of the short bonding wire was 470 μm.

以上のように、ボンディングワイヤを長くした本発明の縦結合弾性表面波フィルタでは
、1000サイクル、1500サイクルでは不良は発生せず、2000サイクルで2個の
断線不良が生じたのみである。従来構造の縦結合弾性表面波フィルタにおいては、ヒート
サイクル試験による不良は、いずれも長さが最も短いボンディングワイヤの接続部が断線
していた。この結果より、ボンディングワイヤを少なくとも580μm以上長くすること
により、ヒートサイクル試験による伸縮の影響を緩和でき、断線不良が減少されることが
分かった。更に、本発明では、接地用の電極パッドを共通化したことにより、従来のボン
ディングワイヤの本数8本から6本に減らすことができ、工数の低減にも寄与している。
As described above, in the longitudinally coupled surface acoustic wave filter of the present invention in which the bonding wire is lengthened, no defect occurs at 1000 cycles and 1500 cycles, and only two disconnection failures occur at 2000 cycles. In the longitudinally coupled surface acoustic wave filter having a conventional structure, the bonding wire connecting portion having the shortest length is broken as a result of the heat cycle test. From this result, it was found that by extending the bonding wire by at least 580 μm or more, the influence of expansion and contraction by the heat cycle test can be alleviated and the disconnection failure is reduced. Furthermore, in the present invention, since the electrode pads for grounding are made common, the number of conventional bonding wires can be reduced from eight to six, which contributes to the reduction of man-hours.

また、セラミックパッケージ1のボンディングパッド25、26、27(31、32、
33)の配列方向と、縦結合弾性表面波フィルタ素子F1、F2のそれぞれのIDT電極
の配列方向と、をほぼ同一方向としたことで、従来の縦結合弾性表面波フィルタの構造に
比べて、ボンディングワイヤの長さを長くすることができた。
Further, the bonding pads 25, 26, 27 (31, 32,
33) and the arrangement direction of the IDT electrodes of the longitudinally coupled surface acoustic wave filter elements F1 and F2 are substantially the same direction, compared with the structure of the conventional longitudinally coupled surface acoustic wave filter, The length of the bonding wire could be increased.

図1に示すセラミックパッケージ1のボンディングパッド26、33の中、少なくとも
1個のボンディングパッドを、入出力用のボンディングパッドとし、該ボンディングパッ
ドに、電極パッド19、20の中、少なくとも1つとボンディングワイヤにて接続するこ
とにより、入出力端子の少なくと一方は平衡型端子とすることができる。
Among the bonding pads 26 and 33 of the ceramic package 1 shown in FIG. 1, at least one bonding pad is used as an input / output bonding pad, and at least one of the electrode pads 19 and 20 and a bonding wire are used as the bonding pad. By connecting at least one of the input / output terminals can be a balanced terminal.

図3は本発明の他の実施例を示すものであり、図面の符号は図1と同じものを用いてい
る。本実施例の特徴は、接地用配線パターン15を反射器6、11と一体化しない点であ
り、同様に接地用配線パターン16は反射器7、12と一体に形成していない。このよう
に接地用配線パターンと反射器とを一体化しなくても本発明の目的は達せられる。
FIG. 3 shows another embodiment of the present invention, and the same reference numerals as those in FIG. 1 are used. The feature of this embodiment is that the grounding wiring pattern 15 is not integrated with the reflectors 6 and 11. Similarly, the grounding wiring pattern 16 is not integrally formed with the reflectors 7 and 12. Thus, the object of the present invention can be achieved without integrating the grounding wiring pattern and the reflector.

図4は、本発明の通信装置のブロック図であって、アンテナ(ANT)と、ANTに接
続されたデュプレクサ(DUP)と、DUPに接続されたアンプ1(ANP1)及びアン
プ2(ANP2)と、ANP1に接続された受信部と、ANP2に接続された送信部と、
シンセサイザー(SYNTH、X、TL)とから構成される。受信部はバンドパスフィル
タ(BPF)40と、ミキサ1(MIX1)と、バンドパスフィルタ(BPF2)42と
、ミキサ2(MIX2)と、IFアンプ(IF AMP)と、復調器(DEM)とからな
る。送信部は音声アンプ(AF AMP)と、変調器(MOD)と、ミキサ3(MIX3
)と、アンプ(AMP)と、バンドパスフィルタ(BPF)41とからなる。本発明の縦
結合弾性表面波フィルタは、図3(b)に示す受信部のBPF40、BPF242と、送
信部のBPF41に適用することにより、通信装置の性能、例えば信頼性、耐環境性等を
向上させることができる。
FIG. 4 is a block diagram of a communication apparatus according to the present invention, which includes an antenna (ANT), a duplexer (DUP) connected to the ANT, an amplifier 1 (ANP1) and an amplifier 2 (ANP2) connected to the DUP. , A receiving unit connected to ANP1, a transmitting unit connected to ANP2,
It is composed of synthesizers (SYNTH, X, TL). A receiver band-pass filter (BPF) 40, a mixer 1 (MIX1), and a bandpass filter (BPF 2) 42, a mixer 2 (MIX2), and IF amplifier (IF AMP), a demodulator (DEM) Consists of. The transmission unit includes an audio amplifier (AF AMP), a modulator (MOD), and a mixer 3 (MIX3
), An amplifier (AMP), and a band-pass filter (BPF) 41. The longitudinally coupled surface acoustic wave filter of the present invention is applied to the BPF 40 and BPF 2 42 of the receiving unit and the BPF 41 of the transmitting unit shown in FIG. Etc. can be improved.

以上、例を挙げて述べてきたが、本発明はパッケージ端子と弾性表面波素子上のパッド
を接続するワイヤ長を延長することにより耐環境性を向上させることを主たる効果として
おり、弾性表面波素子の機能、構成に制限はないことは明らかである。従って、本特許技
術は例示された構成にのみ適用されるものではなく、パッケージに載置される弾性表面波
素子が導電性ワイヤを用いてパッケージ端子と電気的接続を取る弾性表面波素子全般に適
用可能であることは言うまでもない。即ち、弾性表面波共振子、遅延線、フィルタ、及び
フィルタ素子を複数用いる弾性表面波デュプレクサ等に適用できるのは勿論のこと、フィ
ルタ構成として共振子結合型(縦、横)、ラダー型及びトランスバーサル型等にも適用で
きることは明らかである。また、反射器を用いない弾性表面波素子においても本発明を適
用できるのは言うまでもない。
As described above, examples have been described. However, the present invention mainly has the effect of improving the environmental resistance by extending the wire length connecting the package terminal and the pad on the surface acoustic wave element. It is clear that there are no restrictions on the function and configuration of the element. Therefore, the present patent technique is not applied only to the exemplified configuration, and the surface acoustic wave element mounted on the package is generally applied to the surface acoustic wave element that is electrically connected to the package terminal using the conductive wire. Needless to say, it is applicable. That is, the present invention can be applied to a surface acoustic wave duplexer using a plurality of surface acoustic wave resonators, delay lines, filters, and filter elements, as well as a resonator coupling type (vertical, horizontal), ladder type, and transformer as filter configurations. It is clear that it can be applied to the Versal type. Needless to say, the present invention can also be applied to a surface acoustic wave element that does not use a reflector.

本発明に係る縦結合弾性表面波フィルタの構成を示した図。The figure which showed the structure of the longitudinal coupling surface acoustic wave filter which concerns on this invention. 本発明の縦結合弾性表面波フィルタのヒートサイクル試験結果を示した図。The figure which showed the heat cycle test result of the longitudinally coupled surface acoustic wave filter of the present invention. 本発明の別の実施例に係る縦結合弾性表面波フィルタの構成を示した図。The figure which showed the structure of the longitudinal coupling surface acoustic wave filter which concerns on another Example of this invention. 本発明の通信装置の構成を示すブロック図。The block diagram which shows the structure of the communication apparatus of this invention. 従来の縦結合弾性表面波フィルタの構造を示した図。The figure which showed the structure of the conventional longitudinal coupling surface acoustic wave filter. 従来の他の縦結合弾性表面波フィルタの構造を示した図。The figure which showed the structure of the other conventional longitudinally coupled surface acoustic wave filter. 従来の他の縦結合弾性表面波フィルタの構造を示した図。The figure which showed the structure of the other conventional longitudinally coupled surface acoustic wave filter.

符号の説明Explanation of symbols

1 パッケージ、2 圧電基板、3、4、5、8、9、10 IDT電極、6、7、1
1、12 グレーティング反射器、13、17 入力用電極パッド、19、20 接地用
電極パッド、14、18 入力用配線パターン、15、16 接地用配線パターン、21
、22 接続用配線パターン、23、24 容量用櫛形電極、25、26、27、31、
32、33 ボンディングパッド、28、29、30、34、35、36 ボンディング
ワイヤ、37 メタライズ部、F1、F2 縦結合弾性表面波フィルタ素子、ANT ア
ンテナ、DUP デュプレクサ、AMP、AMP1、AMP2 アンプ、SYNTH シ
ンセサイザー、40、41、42 バンドパスフィルタ、MIX1、MIX2、MIX3
ミキサ、IF AMP IFアンプ、DEM 復調器、AF AMP 音声アンプ、M
OD 変調器
1 package, 2 piezoelectric substrate, 3, 4, 5, 8, 9, 10 IDT electrode, 6, 7, 1
1, 12 Grating reflector, 13, 17 Input electrode pad, 19, 20 Ground electrode pad, 14, 18 Input wiring pattern, 15, 16 Ground wiring pattern, 21
, 22 Connection wiring pattern, 23, 24 Capacitor comb electrode, 25, 26, 27, 31,
32, 33 Bonding pad, 28, 29, 30, 34, 35, 36 Bonding wire, 37 Metallized part, F1, F2 Longitudinal surface acoustic wave filter element, ANT antenna, DUP duplexer, AMP, AMP1, AMP2 amplifier, SYNTH synthesizer , 40, 41, 42 Bandpass filter, MIX1, MIX2, MIX3
Mixer, IF AMP IF amplifier, DEM demodulator, AF AMP audio amplifier, M
OD modulator

Claims (3)

平面視での大きさが3mm角のパッケージと、  A 3 mm square package in plan view;
前記パッケージに載置された圧電基板と、  A piezoelectric substrate placed on the package;
前記圧電基板上に形成され、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された一対の櫛歯電極からなる3つのIDT電極と、前記3つのIDT電極の両側に設けられた一対の反射機とで構成された第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子と、  Three IDT electrodes formed on the piezoelectric substrate and including a pair of comb electrodes disposed along the propagation direction of the surface acoustic wave, and a pair of reflectors provided on both sides of the three IDT electrodes A first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element configured;
前記圧電基板上に、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子と平行して形成され、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された一対の櫛歯電極からなる3つのIDT電極と、前記3つのIDT電極の両側に設けられた一対の反射機とで構成された第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子と、  Three IDT electrodes comprising a pair of comb electrodes formed on the piezoelectric substrate in parallel with the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element and disposed along the propagation direction of the surface acoustic wave; A second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element composed of a pair of reflectors provided on both sides of three IDT electrodes;
前記基板上に形成され、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの中央に位置する前記IDT電極が有し、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子と反対側に位置する前記櫛歯電極と電気的に接続された第1の入出力用電極パッドと、  The IDT electrode formed on the substrate and positioned at the center of the three IDT electrodes of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element has the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element; A first input / output electrode pad electrically connected to the comb electrode located on the opposite side;
前記基板上に形成され、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの中央に位置する前記IDT電極が有し、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子と反対側に位置する前記櫛歯電極と電気的に接続された第2の入出力用電極パッドと、  The IDT electrode formed on the substrate and positioned at the center of the three IDT electrodes of the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element has the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element and A second input / output electrode pad electrically connected to the comb electrode located on the opposite side;
前記基板上に形成され、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの一方の前記反射機と隣接する前記IDT電極が有し、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子側に位置する前記櫛歯電極と、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子が有する前記一方の反射機と同じ側に位置する前記反射機と隣接する前記IDT電極が有し、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子側に位置する前記櫛歯電極とを電気的に接続する第1の接続用配線パターンと、  The IDT electrode formed on the substrate and adjacent to the reflector of one of the three IDT electrodes of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element has the second longitudinally coupled elastic surface. The comb electrode disposed on the wave filter element side and the one reflection of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element among the three IDT electrodes of the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element The IDT electrode adjacent to the reflector located on the same side as the machine has a first connection to electrically connect the comb electrode located on the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element side Wiring pattern for
前記基板上に形成され、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの他方の前記反射機と隣接する前記IDT電極が有し、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子側に位置する前記櫛歯電極と、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子が有する前記他方の反射機と同じ側に位置する前記反射機と隣接する前記IDT電極が有し、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子側に位置する前記櫛歯電極とを電気的に接続する第2の接続用配線パターンと、  The IDT electrode formed on the substrate and adjacent to the other reflector of the three IDT electrodes of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element has the second longitudinally coupled elastic surface. The other reflection of the comb electrode disposed on the wave filter element side and the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element of the three IDT electrodes of the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element The IDT electrode adjacent to the reflector located on the same side as the machine has a second connection for electrically connecting the comb electrode located on the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element side Wiring pattern for
前記基板上に形成され、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの中央に位置する前記IDT電極が有し、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子側に位置する前記櫛歯電極と電気的に接続された第1の接地用電極パッドと、  The IDT electrode formed on the substrate and positioned at the center of the three IDT electrodes of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element has the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element side A first grounding electrode pad electrically connected to the comb electrode located in
前記基板上に形成され、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの中央に位置する前記IDT電極が有し、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子側に位置する前記櫛歯電極と電気的に接続された第2の接地用電極パッドと、  The IDT electrode formed on the substrate and positioned at the center of the three IDT electrodes of the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element has the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element side A second grounding electrode pad electrically connected to the comb electrode located in
前記基板上に形成され、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の前記一方の反射機と、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの前記一方の反射機と隣接する前記IDT電極が有し、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子と反対側に位置する前記櫛歯電極と、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子が有し、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子が有する前記一方の反射機と同じ側に位置する前記反射機と、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子が有する前記一方の反射機と同じ側に位置する反射機と隣接する前記IDT電極が有し、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子と反対側に位置する前記櫛歯電極とを接続する第1の接地用配線パターンと、  Reflecting one of the reflectors of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element and the one of the three IDT electrodes of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element formed on the substrate. The IDT electrode adjacent to the machine has the comb electrode located on the opposite side of the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element, and the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element, The reflector located on the same side as the one reflector of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element, and the first of the three IDT electrodes of the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element. The IDT electrode adjacent to the reflector located on the same side as the one reflector of the one longitudinally coupled surface acoustic wave filter element is located on the opposite side of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element. The comb electrode and A first ground wiring pattern to be connected,
前記基板上に形成され、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の前記他方の反射機と、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの前記他方の反射機と隣接する前記IDT電極が有し、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子と反対側に位置する前記櫛歯電極と、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子が有し、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子が有する前記他方の反射機と同じ側に位置する前記反射機と、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子の3つの前記IDT電極のうちの前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子が有する前記他方の反射機と同じ側に位置する反射機と隣接する前記IDT電極が有し、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子と反対側に位置する前記櫛歯電極とを接続する第2の接地用配線パターンと、  The other reflector of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element formed on the substrate and the other of the three IDT electrodes of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element. The IDT electrode adjacent to the machine has the comb electrode located on the opposite side of the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element, and the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element, The reflector located on the same side as the other reflector of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element, and the first of the three IDT electrodes of the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element. The IDT electrode adjacent to the reflector located on the same side as the other reflector of the one longitudinally coupled surface acoustic wave filter element is located on the opposite side of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element. The comb electrode and A second ground wiring pattern to be connected,
前記パッケージに形成され、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子側に、前記弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された3つの第1のボンディングパッドと、  Three first bonding pads formed in the package and disposed on the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element side along the propagation direction of the surface acoustic wave;
前記パッケージに形成され、前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子側に、前記弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された3つの第2のボンディングパッドと、  Three second bonding pads formed in the package and disposed on the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element side along the propagation direction of the surface acoustic wave;
前記3つの第1のボンディングパッドのうちの中央に位置する第1のボンディングパッドと第1の入出力用電極パッド、前記3つの第1のボンディングパッドのうちの前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の前記一方の反射機側に位置する第1のボンディングパッドと前記第1の接地用電極パッド、前記3つの第1のボンディングパッドのうちの前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の前記他方の反射機側に位置する第1のボンディングパッドと前記第1の接地用配線パターン、前記3つの第2のボンディングパッドのうちの中央に位置する第2のボンディングパッドと第2の入出力用電極パッド、前記3つの第2のボンディングパッドのうちの前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の前記他方の反射機側に位置する第2のボンディングパッドと前記第2の接地用電極パッド、および、前記3つの第1のボンディングパッドのうちの前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子の前記一方の反射機側に位置する第2のボンディングパッドと前記第2の接地用配線パターンをそれぞれ電気的に接合する6本のボンディングワイヤと、を有し、  The first bonding pad and the first input / output electrode pad located at the center of the three first bonding pads, and the first longitudinally coupled surface acoustic wave of the three first bonding pads. The first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element of the first bonding pad, the first grounding electrode pad, and the three first bonding pads located on the one reflector side of the filter element. The first bonding pad located on the other reflector side, the first grounding wiring pattern, the second bonding pad located in the center of the three second bonding pads, and the second input / output Electrode pad, a second bond located on the other reflector side of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element of the three second bonding pads A second bonding electrode located on the one reflector side of the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element among the three first bonding pads. Six bonding wires for electrically bonding the pads and the second grounding wiring pattern, respectively,
前記第1の入出力用電極パッドおよび前記第2の入出力用電極パッドは、それぞれ、前記IDT電極が配置された領域の前記弾性表面波の伝搬方向に直交する方向の領域以外に配置され、  The first input / output electrode pad and the second input / output electrode pad are each disposed in a region other than a region orthogonal to the propagation direction of the surface acoustic wave in a region where the IDT electrode is disposed,
前記第1の接地用電極パッドおよび前記第2の接地用電極パッドは、それぞれ、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子と前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子との間で、かつ、前記第1の接続用配線パターンと前記第2の接続用配線パターンとの間に配置され、  The first ground electrode pad and the second ground electrode pad are respectively disposed between the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element and the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element, and , Disposed between the first connection wiring pattern and the second connection wiring pattern,
前記第1の接地用配線パターンおよび前記第2の接地用配線パターンは、それぞれ、前記第1の縦結合弾性表面波フィルタ素子と前記第2の縦結合弾性表面波フィルタ素子との間の領域にて、前記ボンディングワイヤと接続されており、  The first grounding wiring pattern and the second grounding wiring pattern are respectively located in regions between the first longitudinally coupled surface acoustic wave filter element and the second longitudinally coupled surface acoustic wave filter element. Connected to the bonding wire,
前記ボンディングワイヤの各々のワイヤ径は、30μmであり、  The wire diameter of each of the bonding wires is 30 μm,
前記ボンディングワイヤの各々の長さは、580μm以上であることを特徴とする弾性表面波素子。  The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein each of the bonding wires has a length of 580 μm or more.
前記圧電基板上に、静電容量用の櫛形電極を2つ形成し、  Two comb-shaped electrodes for capacitance are formed on the piezoelectric substrate,
一方の前記櫛形電極は、一方のバスバーを前記第1の接続用配線パターンに、他方のバスバーを前記第1の接地用配線パターンに接続し、  One of the comb electrodes has one bus bar connected to the first connection wiring pattern, and the other bus bar connected to the first ground wiring pattern,
他方の前記櫛歯電極は、一方のバスバーを前記第2の接続用配線パターンに、他方のバスバーを前記第2の接地用配線パターンに接続したことを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波素子。  2. The elastic surface according to claim 1, wherein the other comb-tooth electrode has one bus bar connected to the second connection wiring pattern and the other bus bar connected to the second ground wiring pattern. Wave element.
請求項1または2に記載の弾性表面波素子を備えていることを特徴とする通信装置。 A communication apparatus comprising the surface acoustic wave element according to claim 1 .
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