JP4640731B2 - Cutting device operation system - Google Patents
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Description
本発明は、切削装置を遠隔操作できるようにした切削装置オペレーションシステムに関するものである。 The present invention relates to a cutting device operation system in which the cutting device to be remotely operated.
各種の加工装置においては、加工にあたり、予め種々の条件を設定する必要がある。例えば、切削ブレードを備えた切削装置を使用して、複数のデバイスがストリートによって区画されて形成されたウェーハを高速回転する切削ブレードによりダイシングして個々のデバイスに分割する場合を例にとると、切削すべきストリートと切削ブレードとを精密に位置合わせしてそのストリートを切削し、更に、ストリート間隔ずつ切削ブレードをインデックス送りしながらストリートを次々と切削していくために、切削すべきストリートと切削ブレードとの位置合わせを行う作業、ストリート間隔を求める作業が必要である。ストリートと切削ブレードとの位置合わせは、撮像により取得した2つの画像のパターンマッチングにより行うため、マッチングの基準となる画像を予め取得しておく必要があり、ウェーハのどの部分を撮像して基準画像とするかという条件を決定しなければならない。基準画像の決定にあたっては、デバイスの表面に形成された回路の一部をマッチング対象のキーパターンとして選出する必要があり、キーパターンとしてどの部分を使用するかを判断する必要がある。かかる判断は、ストリート間隔の算出にも影響するものである(例えば特許文献1参照)。 In various processing apparatuses, it is necessary to set various conditions in advance for processing. For example, when using a cutting machine equipped with a cutting blade, a wafer formed by dividing a plurality of devices by streets is diced by a cutting blade rotating at high speed and divided into individual devices. The street to be cut and the cutting blade are precisely aligned to cut the street, and further, the street to be cut and the cutting are performed in order to cut the street one after another while indexing the cutting blade at intervals of the street. Work to align with the blade and work to find the street interval are required. Since the alignment of the street and the cutting blade is performed by pattern matching of two images acquired by imaging, it is necessary to acquire an image as a reference for matching in advance. The condition of whether or not is to be determined. In determining the reference image, it is necessary to select a part of the circuit formed on the surface of the device as a key pattern to be matched, and it is necessary to determine which part is used as the key pattern. Such a determination also affects the calculation of the street interval (see, for example, Patent Document 1).
また、加工装置においては、装置を構成する部品に破損や磨耗等が生じていると、所望の加工が困難となるため、部品の破損や消耗の度合いを判断して適切なタイミングで部品の交換や調整を行う必要がある。上記切削装置の例では、切削ブレードに欠けや磨耗が生じていると、デバイスの品質を低下させるおそれがあるため、切削によりストリートに形成された切削溝を含む加工領域や切削ブレードの刃先を撮像して取得した画像から、切削ブレードをドレッシングすべきか、交換すべきかという判断をする必要がある(例えば特許文献2参照)。更には、切削溝の画像からは切削ブレードのドレッシングや交換が必要ないと判断した場合でも、切削ブレードの回転速度等の加工条件の調整が必要になる場合もある。 Also, in a processing device, if the parts that make up the device are damaged or worn, the desired processing becomes difficult, so the degree of damage or wear of the component is judged and the part is replaced at an appropriate timing. It is necessary to make adjustments. In the example of the above cutting device, if the cutting blade is chipped or worn, the quality of the device may be degraded. Therefore, the processing region including the cutting groove formed in the street by cutting and the cutting edge of the cutting blade are imaged. Thus, it is necessary to determine whether the cutting blade should be dressed or replaced from the acquired image (see, for example, Patent Document 2). Furthermore, even when it is determined from the image of the cutting groove that dressing or replacement of the cutting blade is not necessary, it may be necessary to adjust processing conditions such as the rotational speed of the cutting blade.
しかし、加工装置における加工条件の設定や調整においては、熟練した技術や判断が必要となる場合があり、納入先のオペレータが単独ではできないこともある。例えば、上記切削装置の例では、ウェーハからキーパターンとなる特徴点を的確に選出したり、画面表示された切削溝の形状等から切削ブレードのドレッシングや交換の必要性を判断したり、その他の加工条件を適正に調整したりする必要があり、いずれも熟練を要する作業であるため、ユーザー側のオペレータのみで行うのは困難である。このような状況下においては、加工装置メーカーの技術者が加工装置のユーザー側に出向いて作業を行う必要性が生じ、ユーザー側にとってもメーカー側にとっても生産性が低下するという問題がある。 However, in the setting and adjustment of the processing conditions in the processing apparatus, skilled techniques and judgments may be required, and the delivery destination operator may not be able to do it alone. For example, in the example of the above-mentioned cutting apparatus, the feature points to be the key pattern are accurately selected from the wafer, the necessity of dressing or replacement of the cutting blade is judged from the shape of the cutting groove displayed on the screen, etc. It is necessary to appropriately adjust the processing conditions, and since all of them are skilled work, it is difficult to perform only by the operator on the user side. Under such circumstances, there is a need for an engineer of the processing apparatus manufacturer to go to the user side of the processing apparatus to perform work, and there is a problem that productivity is reduced for both the user and the manufacturer.
そこで、本発明が解決しようとする課題は、加工装置の操作において、ユーザー側のオペレータのみではできないような熟練した技術や判断を要する作業が必要な場合においても、メーカー側の技術者をユーザー側に派遣したりすることなく、生産性良く作業を進行させるようにすることである。 Therefore, the problem to be solved by the present invention is that the manufacturer's engineer is assigned to the user's side even when the operation of the processing apparatus requires skilled techniques and judgments that cannot be performed only by the user's operator. It is to make the work progress with high productivity without dispatching to Japan.
本発明は、被加工物を保持する保持手段と、保持手段に保持された被加工物を切削加工する切削ブレードを備えた切削手段と、保持手段に保持された被加工物を撮像する撮像手段と、撮像手段により取得した画像を表示する表示手段と、保持手段、切削手段、撮像手段及び表示手段を制御する制御手段とを少なくとも備えた切削装置と、通信回線を介して切削装置と接続可能な端末装置とを備えた切削装置オペレーションシステムに関するもので、切削装置は、固有のIDを記憶するメモリを備え、端末装置から入力されたIDとメモリに記憶された固有のIDとが等しい場合には端末装置と接続し、切削装置には、撮像手段により取得した画像を端末装置に送信する画像情報送信手段と、端末装置から送信される操作情報を受信して制御手段に転送する操作情報受信手段とを備え、端末装置は、通信回線から画像情報を受信する画像情報受信手段と、画像情報受信手段が受信した画像情報を画面表示する受信表示手段と、通信回線を介して切削装置を遠隔操作するための操作情報の入力に用いられる遠隔操作手段と、遠隔操作手段から入力された操作情報を切削装置に送信する操作情報送信手段とを備え、制御手段が、操作情報受信手段において受信した操作情報にしたがって保持手段、切削手段、撮像手段または表示手段のいずれかを制御し、被加工物を切削する前に切削装置から端末装置に送信される被加工物の画像は、アライメントに用いるキーパターンを含む画像であり、切削中または切削後に切削装置から端末装置に送信される被加工物の画像は、切削により形成された切削溝を含む画像である切削装置オペレーションシステムである。 The present invention relates to a holding means for holding a workpiece, a cutting means having a cutting blade for cutting the workpiece held by the holding means, and an imaging means for imaging the workpiece held by the holding means. And a cutting device comprising at least a display means for displaying an image acquired by the image pickup means, a holding means, a cutting means , a control means for controlling the image pickup means and the display means, and the cutting apparatus can be connected via a communication line a terminal device and relates to a cutting device operating system including a cutting device is provided with a memory for storing a unique ID, if a unique ID stored in the ID memory, which is inputted from the terminal device is equal to is connected to the terminal device, the cutting device, controls the hand image acquired by the imaging means and the image information transmitting means for transmitting to the terminal apparatus receives the operation information transmitted from the terminal device The terminal device includes an image information receiving unit that receives image information from the communication line, a reception display unit that displays the image information received by the image information receiving unit, and a communication line. Remote operation means used for inputting operation information for remotely operating the cutting apparatus via the operation means, and operation information transmission means for transmitting operation information input from the remote operation means to the cutting apparatus. According to the operation information received by the information receiving means, one of the holding means, the cutting means , the imaging means or the display means is controlled, and the workpiece image transmitted from the cutting device to the terminal device before cutting the workpiece. Is an image including a key pattern used for alignment, and the image of the workpiece transmitted from the cutting device to the terminal device during or after cutting is formed by cutting. A cutting device operating system is an image that includes a cutting groove.
本発明では、切削装置の撮像手段によって取得した画像情報を端末装置の受信表示手段に表示させ、端末装置の遠隔操作手段から送信される操作情報によって切削装置の制御手段が保持手段、切削手段、撮像手段及び表示手段のいずれかを制御することができるため、端末装置側において、切削装置の必要な部分の画像を見ながら、加工条件を設定したり調整したりすることができる。したがって、切削装置のオペレータのみでは対応できないような熟練を要する作業を端末装置側の技術者が行うことができるため、生産性が向上する。また、切削装置側では熟練した専門家を必要とせず、端末装置側の専門家によって高度な技術を提供することができる。 In the present invention, the image information acquired by the imaging means of the cutting device is displayed on the receiving display unit of the terminal device, control means holding means of the cutting device by the operation information transmitted from the remote control means of the terminal device, cutting means, Since either the imaging unit or the display unit can be controlled, the processing conditions can be set or adjusted while viewing the image of the necessary part of the cutting device on the terminal device side. Accordingly, the technician on the terminal device side can perform an operation that requires skill that cannot be handled only by the operator of the cutting device, so that productivity is improved. Moreover, the cutting device side does not require a skilled expert, and a high-level technology can be provided by the expert on the terminal device side.
切削装置の撮像手段が被加工物を撮像してその画像を端末装置の受信表示手段に表示させることにより、端末装置側の技術者が、被加工物の状態に応じて加工条件を判断することができる。 The image pickup means of the cutting device picks up the workpiece and displays the image on the reception display means of the terminal device, so that the technician on the terminal device side determines the processing conditions according to the state of the workpiece. Can do.
被加工物の画像がアライメントに用いるキーパターンを含む画像であるため、端末装置側の技術者が、アライメントのためのキーパターンの選出を行うことができる。 Since the image of the workpiece is an image including a key pattern to be used for alignment, technology of the terminal apparatus side, it is possible to perform the selection of key patterns for alignment.
被加工物の画像が切削により形成された切削溝を含む画像であるため、切削溝の状態に基づく切削ブレードのドレッシングや交換の判断を端末装置側の技術者が行うことができる。 Since the image of the workpiece is an image including a cutting groove formed by cutting, the determination of the dressing or replacement cutting blade based on the state of the cut groove can engineer the terminal device side is performed.
図1に示す加工装置オペレーションシステム1は、1又は2以上の加工装置2a、2b、2c、・・・と、1又は2以上の端末装置3a、3b、3c、・・・と、任意の加工装置と端末装置3とを接続する通信回線4とから構成される。
1 includes one or
端末装置3a、3b、3c、・・・としては、例えばパーソナルコンピュータを用いることができ、通信回線4としては、例えばインターネットを用いることができる。
As the
図2に示す加工装置オペレーションシステム1は、1台の加工装置2と1台の端末装置3とが通信回線4を介して接続された場合の機能を示したもので、加工装置2は、被加工物を保持する保持手段20と、保持手段20に保持された被加工物を加工する加工手段21と、保持手段20に保持された被加工物を撮像する撮像手段22と、撮像手段22により取得した画像を表示する表示手段23と、保持手段20、加工手段21、撮像手段22及び表示手段23を制御することができる制御手段24と、制御手段24に対する指示や操作の内容の入力に使用する操作手段25とを備えており、操作手段25からオペレータが入力した内容にしたがって、被加工物の撮像や加工、表示処理等が行われる。
The processing
加工装置2は、撮像手段22によって取得した画像情報を通信回線4に送信する画像情報送信手段26を備えている。また、通信回線4から操作情報を受信する操作情報受信手段27を備え、受信した操作情報は制御手段24に転送され、転送された操作情報にしたがって保持手段20、加工手段21、撮像手段22または表示手段23のいずれかを制御することができる。
The
端末装置3は、通信回線4から画像情報を受信する画像情報受信手段30と、画像情報受信手段30が受信した画像情報を画面表示する受信表示手段31と、加工装置2を遠隔操作するための指示や操作の内容を入力するのに用いる遠隔操作手段32と、遠隔操作手段32から入力された操作情報を通信回線4に送信する操作情報送信手段33とを備えており、加工装置2の画像情報送信手段26から送信された画像情報を画像情報受信手段30において受信し、その画像情報を受信表示手段31に表示させることができる。また、遠隔操作手段32から入力され操作情報送信手段33によって送信された操作情報は、加工装置2の操作情報受信手段27によって受信され、制御手段24に転送されて保持手段20、加工手段21、撮像手段22及び表示手段23の制御に供される。すなわち、端末装置3では、遠隔操作手段32の操作により加工装置2を制御し、加工装置2において撮像された画像を受信表示手段31に表示させることができる。
The
以下では、加工装置2の例として、図3に示す切削装置2について説明する。図3に示す切削装置2は、ウェーハをダイシングして個々のデバイスに分割することができる装置であり、その前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段25が設けられている。また、装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段22によって撮像された画像が表示される表示手段23を備えている。
Below, the
図4に示すように、ダイシング対象のウェーハWの表面においては、第一のストリートS1と第二のストリートS2とが直交して形成されており、第一のストリートS1と第二のストリートS2とに区画されて複数のデバイスDが形成されている。ウェーハWは、ダイシングテープTに貼着される。ダイシングテープTの外周縁部には環状のフレームFが貼着され、ウェーハWがダイシングテープTを介してフレームFと一体になって支持された状態となり、ウェーハカセット28に複数収容される。
As shown in FIG. 4, on the surface of the wafer W to be diced, the first street S1 and the second street S2 are formed orthogonally, and the first street S1 and the second street S2 A plurality of devices D are formed. The wafer W is attached to the dicing tape T. An annular frame F is attached to the outer peripheral edge of the dicing tape T, and the wafer W is supported by being integrated with the frame F via the dicing tape T, and a plurality of wafers W are accommodated in the
図3に示すように、ウェーハカセット28の−Y方向側には、ウェーハカセット28から加工前のウェーハWを搬出するとともに、加工後のウェーハをウェーハカセット28に搬入する搬出入手段29が配設されている。ウェーハカセット28と搬出入手段29との間には、搬出入対象のウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域34が設けられており、仮置き領域34には、ウェーハWを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段35が配設されている。
As shown in FIG. 3, on the −Y direction side of the
仮置き領域34の近傍には、ウェーハWと一体になったフレームFを吸着して搬送する搬送手段36が配設されており、搬送手段36の可動域には保持手段20が配設されている。保持手段20は、X軸方向に移動可能であると共に回転可能となっている。
In the vicinity of the
保持手段20のX軸方向の移動経路の上方には、ウェーハWの切削すべきストリートを検出するアライメント手段37が配設されている。アライメント手段37には、ウェーハWの表面を撮像する撮像手段22を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段22によって取得された画像は、表示手段23に表示させることができる。
Above the movement path of the holding means 20 in the X-axis direction, an alignment means 37 for detecting a street to be cut of the wafer W is disposed. The
アライメント手段37の+X方向側には、保持手段20に保持されたウェーハWに対して切削加工を施す加工手段21が配設されている。加工手段21にはアライメント手段37が固定されており、両者が連動する構成となっている。加工手段21は、回転可能なスピンドル210の先端に切削ブレード211が装着されて構成され、Y軸方向及びZ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード211は撮像手段22のX軸方向の延長線上に位置している。
On the + X direction side of the
ウェーハカセット28に収容されたウェーハWは、搬出入手段29によってフレームFが挟持され、搬出入手段29が−Y方向に移動し、仮置き領域34においてその挟持が解除されることにより、仮置き領域34に載置される。そして、位置合わせ手段35が互いに接近する方向に移動することにより、ウェーハWが一定の位置に位置付けられる。
The wafer W accommodated in the
次に、搬送手段36によってフレームFが吸着され、搬送手段36が旋回することによりフレームFと一体になったウェーハWが保持手段20に搬送され、保持される。そして、保持手段20が+X方向に移動してウェーハWがアライメント手段37の直下に位置付けられる。
Next, the frame F is adsorbed by the transfer means 36, and the transfer means 36 rotates to transfer the wafer W integrated with the frame F to the holding means 20 and hold it. Then, the holding
アライメント手段37が切削すべきストリートを検出するアライメントの際のパターンマッチングに用いる画像は、切削前に予め取得しておく必要がある。そこで、ウェーハWがアライメント手段37の直下に位置付けられると、撮像手段22がウェーハWの表面を撮像し、取得した画像を表示手段23に表示させる。切削装置2のオペレータは、操作手段25を操作することにより、撮像手段22をゆっくりと移動させながら、必要に応じて保持手段20も移動させて、パターンマッチングのターゲットとなるキーパターンを探す。
The image used for pattern matching at the time of alignment in which the
表示手段23においては、例えば図5に示すように、デバイスに形成された複雑な回路パターンが表示される。キーパターンは、その複雑な回路パターンから、各デバイスに1つしかなく、パターンマッチングに適した特徴的形状の部分を選定しなければならないため、加工装置ユーザーのオペレータにとって、キーパターンの選定作業には困難が伴う。そこで、このような場合は、図2に示した通信回線4を通じて例えばメーカーの端末装置3と接続することができる。図1に示したように、加工装置が複数ある場合には、各加工装置内のメモリ等に固有のIDが記憶されており、端末装置3では、接続の際に図2に示した遠隔操作手段32からIDを入力する。切削装置2の制御手段24では、操作情報受信手段27を介して受信したIDと自身のメモリ等に記憶されたIDとが等しい場合に、その加工装置と端末装置とを接続する。
In the display means 23, for example, as shown in FIG. 5, a complicated circuit pattern formed in the device is displayed. Since there is only one key pattern for each device from the complicated circuit pattern, it is necessary to select a characteristic shape part suitable for pattern matching. Is difficult. Therefore, in such a case, it is possible to connect to, for example, the manufacturer's
図2を参照して説明すると、切削装置2と端末装置3とが接続されると、切削装置2の撮像手段22によって撮像され表示手段23に表示された画像(例えば図5の画像)が、端末装置3の受信表示手段31にも表示される。また、端末装置3における遠隔操作手段32から入力された操作情報は、通信回線4を介して切削装置2の制御手段24に転送され、制御手段24は、その操作情報にしたがって撮像手段22を動作させることができる。したがって、端末装置3のオペレータである加工装置メーカーの技術者は、遠隔操作手段32を操作して撮像手段22を動作させることにより、ウェーハWの表面の所望の領域の画像を受信表示手段31に表示させることができ、受信表示手段31に表示された内容を見ながら、自らの経験等に基づいて適切なキーパターンを選定することができる。加工装置メーカーの技術者が、例えば図5におけるキーパターンPをアライメント用のキーパターンとして決めると、遠隔操作手段32において一定の操作をすることによりその操作情報が切削装置2の制御手段24に転送され、そのキーパターンPを含む画像が切削装置2のアライメント手段37に備えたメモリに記憶される。また、そのキーパターンPとストリートS1、S2の中心線との距離を座標値等によって求め、その値もメモリに記憶させておく。
Referring to FIG. 2, when the
更に、遠隔操作手段32の操作により撮像手段22を移動させることにより、隣り合うストリートとストリートとの間隔(ストリート間隔)を座標値等によって求め、ストリート間隔の値についてもアライメント手段37のメモリに記憶させておく。 Further, by moving the image pickup means 22 by operating the remote control means 32, an interval between adjacent streets (street interval) is obtained by a coordinate value or the like, and the street interval value is also stored in the memory of the alignment means 37. Let me.
このようにして、遠隔地にいる加工装置メーカーの技術者がキーパターンを設定することにより、その後はウェーハWのストリートの切削を自動的に行うことができる。具体的には、ウェーハWのストリートを切削する前に、記憶させたキーパターンの画像と実際に撮像手段22により撮像されて取得した画像とのパターンマッチングをアライメント手段37にて行う。そして、マッチングした時は、キーパターンとストリートの中心線との距離分だけ加工手段21をY軸方向に移動させることにより、切削しようとするストリートと切削ブレード211との位置合わせを行う。
In this way, the technician of the processing equipment manufacturer in the remote place sets the key pattern, and thereafter, the street of the wafer W can be automatically cut. Specifically, before cutting the street of the wafer W, the
切削しようとするストリートと切削ブレード211との位置合わせが行われた状態で、保持手段20をX軸方向に移動させると共に、切削ブレード211を高速回転させながら加工手段21を下降させると、位置合わせされたストリートが切削される。また、メモリに記憶させたストリート間隔ずつ加工手段21をY軸方向にインデックス送りしながら切削を行うことにより、同方向のストリートS1がすべて切削される。更に、保持手段20を90度回転させてから上記と同様の切削を行うと、ストリートS2もすべて切削され、個々のデバイスDに分割される。
When the street to be cut and the
切削中または切削後には、撮像手段22が切削により形成された切削溝を撮像し、切削溝の形状を示す画像から切削ブレード211の欠けや磨耗の有無や程度を推測し、交換の必要性を判断する必要があるが、加工装置2のユーザーではかかる判断が困難である。そこで、キーパターン選出の場合と同様に、加工装置2と端末装置3とを接続し、例えば図6に示すように、第一のストリートS1に形成された切削溝Gを含む画像を画像情報送信手段26から端末装置3に送信して受信表示手段31に表示させると、加工装置メーカーの熟練した技術者が、切削ブレード211のドレッシングや交換が必要かどうかを判断することができる。そして、その技術者が加工装置のオペレータと連絡をとり、そのオペレータが技術者の指示にしたがって対処することにより、最適な加工条件でウェーハを加工することができる。
During or after cutting, the imaging means 22 images the cutting grooves formed by cutting, estimates the presence or degree of chipping or wear of the
1:加工装置オペレーションシステム
2(2a、2b、2c、・・・):加工装置(切削装置)
20:保持手段
21:加工手段
210:スピンドル 211:切削ブレード
22:撮像手段 23:表示手段 24:制御手段 25:操作手段
26:画像情報送信手段 27:操作情報受信手段
28:ウェーハカセット 29:搬出入手段
34:仮置き領域 35:位置合わせ手段 36:搬送手段
3(3a、3b、3c、・・・):端末装置
30:画像情報受信手段 31:受信表示手段 32:遠隔操作手段
33:操作情報送信手段 34:仮置き領域 35:位置合わせ手段
36:搬送手段 37:アライメント手段
4:通信回線
W:ウェーハ
S1:第一のストリート S2:第二のストリート D:デバイス
P:キーパターン G:切削溝
T:ダイシングテープ F:フレーム
1: Processing device operation system 2 (2a, 2b, 2c,...): Processing device (cutting device)
20: Holding means 21: Processing means 210: Spindle 211: Cutting blade 22: Imaging means 23: Display means 24: Control means 25: Operating means 26: Image information transmitting means 27: Operation information receiving means 28: Wafer cassette 29: Unloading Input means 34: Temporary placement area 35: Positioning means 36: Transport means 3 (3a, 3b, 3c,...): Terminal device 30: Image information receiving means 31: Reception display means 32: Remote operation means 33: Operation Information transmitting means 34: Temporary placement area 35: Positioning means 36: Transfer means 37: Alignment means 4: Communication line W: Wafer S1: First street S2: Second street D: Device P: Key pattern G: Cutting Groove T: Dicing tape F: Frame
Claims (1)
該切削装置は、固有のIDを記憶するメモリを備え、該端末装置から入力されたIDと該メモリに記憶された固有のIDとが等しい場合には該端末装置と接続し、
該切削装置には、該撮像手段により取得した画像を該端末装置に送信する画像情報送信手段と、該端末装置から送信される操作情報を受信して該制御手段に転送する操作情報受信手段とを備え、
該端末装置は、該通信回線から画像情報を受信する画像情報受信手段と、該画像情報受信手段が受信した画像情報を画面表示する受信表示手段と、該通信回線を介して該切削装置を遠隔操作するための操作情報の入力に用いられる遠隔操作手段と、該遠隔操作手段から入力された操作情報を該切削装置に送信する操作情報送信手段とを備え、該制御手段は、該操作情報受信手段において受信した操作情報にしたがって該保持手段、該切削手段、該撮像手段または該表示手段のいずれかを制御し
被加工物を切削する前に該切削装置から該端末装置に送信される被加工物の画像は、アライメントに用いるキーパターンを含む画像であり、切削中または切削後に該切削装置から該端末装置に送信される被加工物の画像は、切削により形成された切削溝を含む画像である、切削装置オペレーションシステム。 A holding means for holding the workpiece; a cutting means having a cutting blade for cutting the workpiece held by the holding means; an imaging means for imaging the workpiece held by the holding means; A cutting device comprising at least a display means for displaying an image acquired by the imaging means, the holding means, the cutting means , the imaging means and a control means for controlling the display means; A cutting device operation system comprising a cutting device and a connectable terminal device,
The cutting device includes a memory for storing a unique ID, and when the ID input from the terminal device is equal to the unique ID stored in the memory, the cutting device is connected to the terminal device,
The cutting apparatus includes an image information transmitting unit that transmits an image acquired by the imaging unit to the terminal device, and an operation information receiving unit that receives the operation information transmitted from the terminal device and transfers the operation information to the control unit. With
The terminal device includes: an image information receiving unit that receives image information from the communication line; a reception display unit that displays the image information received by the image information receiving unit; and the cutting device remotely via the communication line. Remote operation means used for inputting operation information for operation, and operation information transmission means for transmitting operation information input from the remote operation means to the cutting apparatus , the control means receiving the operation information the holding means according to the operation information received in means, said cutting means to control either the imaging means or said display means
An image of the workpiece transmitted from the cutting device to the terminal device before cutting the workpiece is an image including a key pattern used for alignment, and the cutting device transmits the image to the terminal device during or after cutting. The cutting apparatus operation system , wherein the transmitted image of the workpiece is an image including a cutting groove formed by cutting .
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