JP4619393B2 - Program method for ferroelectric memory device - Google Patents

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Description

本発明は、強誘電体メモリ装置のプログラム方法に関し、特に、出力信号を外部から印加された信号によりプログラムすることができるプログラマブルレジスタ装置を利用し、駆動電源に連結されたキャパシタの容量を調節するスイッチのオン・オフを制御することによりレファレンス電圧のレベルを調節することができ、前記プログラマブルレジスタ装置をリダンダントアドレスプログラム用スイッチのオン・オフ制御装置に用いるリダンダントアドレスディコーダを含む強誘電体メモリ装置のプログラム方法に関する。   The present invention relates to a method for programming a ferroelectric memory device, and more particularly, to adjust the capacitance of a capacitor connected to a driving power source by using a programmable register device that can program an output signal by a signal applied from outside. A ferroelectric memory device including a redundant address decoder, wherein the reference voltage level can be adjusted by controlling on / off of the switch, and the programmable register device is used as an on / off control device of a redundant address program switch. It relates to the programming method.

一般に、強誘電体メモリ、すなわち、FRAM(Ferroelectric Random Access Memory)はDRAM(Dynamic Random Access Memory)ほどのデータ処理速度を有し、電源のオフ時にもデータが保存される特性のため次世代記憶素子として注目されている。
FRAMは、DRAMと殆ど類似した構造を有する記憶素子であり、キャパシタの材料に強誘電体を用いて強誘電体の特性である高い残留分極を利用したものである。このような残留分極特性により電界を除去してもデータが消失されないのである。
In general, a ferroelectric memory, that is, a FRAM (Ferroelectric Random Access Memory) has a data processing speed as high as that of a DRAM (Dynamic Random Access Memory), and can store data even when the power is turned off. It is attracting attention as.
The FRAM is a memory element having a structure almost similar to that of a DRAM, and uses a ferroelectric material as a capacitor material and utilizes high remanent polarization which is a characteristic of the ferroelectric material. Even if the electric field is removed by such remanent polarization characteristics, data is not lost.

図1は、一般的な強誘電体のヒステリシスループを示す図である。図1に示されているように、電界により誘起された分極は電界を除去しても残留分極又は分極の存在により消滅せず、一定量(d、a状態)を保持していることが分かる。強誘電体メモリセルは、d、a状態をそれぞれ1、0に対応させて記憶素子に応用したものである。   FIG. 1 is a diagram showing a hysteresis loop of a general ferroelectric substance. As shown in FIG. 1, it can be seen that the polarization induced by the electric field does not disappear due to the residual polarization or the presence of polarization even when the electric field is removed, and maintains a certain amount (d, a state). . The ferroelectric memory cell is applied to a memory element with the d and a states corresponding to 1 and 0, respectively.

図2は、強誘電体メモリの単位セルを示す図である。図2に示されているように、一方向にビットラインBLが形成され、ビットラインと交差する方向にワードラインWLが形成され、ワードラインに一定の間隔を置いてワードラインと同一の方向にプレートラインPLが形成され、ゲートはワードラインに連結され、ソースはビットラインに連結されるようにトランジスタT1が形成され、2つの端子のうち第1の端子がトランジスタT1のドレインに連結され、第2の端子はプレートラインに連結されるように強誘電体キャパシタFC1が形成される(例えば、特許文献1参照)。   FIG. 2 is a diagram showing a unit cell of the ferroelectric memory. As shown in FIG. 2, a bit line BL is formed in one direction, a word line WL is formed in a direction crossing the bit line, and the word line is spaced in the same direction as the word line. The plate line PL is formed, the transistor T1 is formed such that the gate is connected to the word line, the source is connected to the bit line, the first terminal of the two terminals is connected to the drain of the transistor T1, and the first The ferroelectric capacitor FC1 is formed so that the terminal 2 is connected to the plate line (see, for example, Patent Document 1).

このような強誘電体メモリ素子のデータ入出力動作は、次の通りである。図3(a)は、強誘電体メモリ素子のライト動作を示すタイミング図である。図3(b)は、リードモード動作を示すタイミング図である。
図3(a)に示されているライト動作を説明すると、外部から印加されるチップイネーブル信号CSBpadがハイからローに活性化され、同時にライトイネーブル信号WEBpadをハイからローに印加するとライトモードが開始される。次いで、ライトモードでアドレスディコーディングが開始されると、該当ワードラインに印加されるパルスが「ロー」から「ハイ」に遷移してセルが選択される。
選択されたセルにロジック値「1」を書き込むためには、ビットラインに「ハイ」信号を印加してプレートラインには「ロー」信号を印加し、セルにロジック値「0」を書き込むためには、ビットラインに「ロー」信号を印加してプレートラインには「ハイ」信号を印加する。
The data input / output operation of such a ferroelectric memory device is as follows. FIG. 3A is a timing chart showing a write operation of the ferroelectric memory element. FIG. 3B is a timing chart showing the read mode operation.
Explaining the write operation shown in FIG. 3A, the chip enable signal CSBpad applied from the outside is activated from high to low, and at the same time, the write mode starts when the write enable signal WEBpad is applied from high to low. Is done. Next, when address decoding is started in the write mode, a pulse applied to the corresponding word line transitions from “low” to “high” to select a cell.
In order to write a logic value “1” to the selected cell, a “high” signal is applied to the bit line, a “low” signal is applied to the plate line, and a logic value “0” is written to the cell. Applies a “low” signal to the bit line and a “high” signal to the plate line.

次に、図3(b)に示されているリード動作を説明する。外部でチップイネーブル信号CSBpadを「ハイ」から「ロー」に活性化させると、該当ワードラインが選択される前に全てのビットラインはイコライズ信号により「ロー」電圧に等電位化される。
そして、各ビットラインを非活性化させた後アドレスをディコーティングし、ディコーディングされたアドレスにより該当ワードラインでは「ロー」信号が「ハイ」信号に遷移されて該当セルを選択する。選択されたセルのプレートラインに「ハイ」信号を印加し、強誘電体メモリに貯蔵されたロジック値「1」に相応するデータQsを破壊する。若し、強誘電体メモリにロジック値「0」が貯蔵されていれば、それに相応するデータQnsは破壊されない。
このように破壊されたデータと破壊されていないデータは、前述のヒステリシスループの原理により互いに異なる値を出力することになり、センスアンプはロジック値「1」又は「0」を感知することになる。すなわち、データが破壊された場合は図1のヒステリシスループでのようにdからfに変化する場合に該当し、データが破壊されない場合はaからfに変化する場合に該当する。
したがって、一定時間が経過した後センスアンプがイネーブルされると、データが破壊された場合は増幅されてロジック値「1」を出力し、データが破壊されない場合は増幅されてロジック値「0」を出力する。このように、センスアンプでデータを増幅した後は元のデータに復元しなければならないので、該当ワードラインに「ハイ」信号を印加した状態でプレートラインを「ハイ」から「ロー」に非活性化させる。
特開平11−121705号公報
Next, the read operation shown in FIG. 3B will be described. When the chip enable signal CSBpad is externally activated from “high” to “low”, all the bit lines are equipotentialized to “low” voltage by the equalize signal before the corresponding word line is selected.
Then, after deactivating each bit line, the address is decoded, and the “low” signal is changed to the “high” signal in the corresponding word line according to the decoded address to select the corresponding cell. A “high” signal is applied to the plate line of the selected cell, and the data Qs corresponding to the logic value “1” stored in the ferroelectric memory is destroyed. If the logic value “0” is stored in the ferroelectric memory, the corresponding data Qns is not destroyed.
The data thus destroyed and the data not destroyed are outputted with different values according to the above-described hysteresis loop principle, and the sense amplifier senses a logic value “1” or “0”. . That is, the case where the data is destroyed corresponds to the case where the data changes from d to f as in the hysteresis loop of FIG. 1, and the case where the data is not destroyed corresponds to the case where the data changes from a to f.
Therefore, when the sense amplifier is enabled after a certain time has elapsed, if the data is destroyed, it is amplified and outputs a logic value “1”, and if the data is not destroyed, it is amplified and the logic value “0” is output. Output. In this way, after the data is amplified by the sense amplifier, it must be restored to the original data, so the plate line is deactivated from “high” to “low” with the “high” signal applied to the corresponding word line. Make it.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-121705

従来のレファレンス電圧発生装置は、生産と同時に出力電圧のレベルが固定されるという問題点があり、さらに、従来の金属/ポリシリコン配線等を利用したリダンダンシー処理方法ではヒューズをレーザカッティング等の手段を利用して物理的に除去するので、間違って処理された場合は再び復旧することができないという問題点があった。   The conventional reference voltage generator has a problem that the level of the output voltage is fixed at the same time as production. Furthermore, in the conventional redundancy processing method using metal / polysilicon wiring, a means such as laser cutting of the fuse is used. Since it is physically removed by using it, there is a problem that it cannot be recovered again if it is handled by mistake.

本発明は、前述のような従来の技術の問題点を解決するためになされたもので、出力信号を外部から印加された信号によりプログラムすることができ、電源がなくてもプログラム結果が保持されるプログラマブルレジスタ装置を利用し、駆動電源に連結されたキャパシタの容量を調節するスイッチのオン・オフを制御することにより、レファレンス電圧のレベルを調節することができるレファレンス発生装置を開示する。
さらに、スイッチとこれを制御するプログラマブルレジスタ装置をリダンダンシー処理に導入し、ソフトウェア的な方法でリダンダントアドレスディコーダをプログラムすることによりプログラムが間違った場合も容易に復旧することができるようにする。
The present invention has been made to solve the above-described problems of the prior art. The output signal can be programmed by an externally applied signal, and the program result is retained even without a power source. A reference generating device capable of adjusting the level of a reference voltage by controlling on / off of a switch that adjusts the capacitance of a capacitor connected to a driving power source using a programmable register device is disclosed.
Furthermore, a switch and a programmable register device that controls the switch are introduced into the redundancy process, and the redundant address decoder is programmed by a software method so that even if the program is wrong, it can be easily recovered.

上記課題を解決するため、出力信号のレベルを外部から印加された信号によりプログラムすることができ、電源がなくてもプログラム結果が保持されるプログラマブルレジスタ装置を利用し、駆動電源に連結されたキャパシタの容量を調節するスイッチのオン・オフを制御することにより、レファレンス電圧のレベルを調節するレファレンス発生装置、及び前記プログラマブルレジスタ装置をリダンダントアドレスプログラム用スイッチのオン・オフ制御装置に用いるリダンダントディコーダを含む強誘電体メモリ装置のプログラム方法は、信号入力部に入力された信号をディコーディングする第1の段階、前記ディコーディングの結果、所定のプログラムモードを示す場合に前記プログラムモードに対応するプログラムモード動作信号を活性化し、前記信号入力部を非活性化する第2の段階、及び前記プログラムモード動作信号に応えてプログラムモードを行う第3の段階を含むことが望ましい。   In order to solve the above problems, the level of the output signal can be programmed by an externally applied signal, and a capacitor connected to a driving power source using a programmable register device that retains a program result without a power source. A reference generator for adjusting the level of a reference voltage by controlling on / off of a switch that adjusts the capacity of the memory, and a redundant decoder that uses the programmable register device as an on / off control device for a switch for a redundant address program A method for programming a ferroelectric memory device includes: a first step of decoding a signal input to a signal input unit; a program mode corresponding to the program mode when a predetermined program mode is indicated as a result of the decoding Activate the operation signal However, it is desirable to include a third step of performing a second step of deactivating the signal input unit, and a program mode in response to the program mode operation signal.

また、前記プログラムモードは、ローリダンダンシープログラムモード、カラムリダンダンシープログラムモード及びレファレンスレベルプログラムモードを含むことが望ましい。   The program modes may include a row redundancy program mode, a column redundancy program mode, and a reference level program mode.

また、ローリダンダンシープログラムモードは、チップイネーブル信号が非活性化されてライトイネーブル信号が非活性化された状態で、出力イネーブル信号がN回トグリングしたとき活性化されることが望ましい。   The low redundancy program mode is preferably activated when the output enable signal toggles N times while the chip enable signal is deactivated and the write enable signal is deactivated.

また、前記カラムリダンダンシープログラムモードは、チップイネーブル信号が非活性化されてライトイネーブル信号が活性化された状態で、出力イネーブル信号がN回トグリングしたとき活性化されることが望ましい。   The column redundancy program mode is preferably activated when the output enable signal toggles N times while the chip enable signal is deactivated and the write enable signal is activated.

また、前記レファレンスプログラムモードは、チップイネーブル信号が非活性化されて出力イネーブル信号が活性化された状態で、ライトイネーブル信号がN回トグリングしたとき活性化されることが望ましい。   The reference program mode is preferably activated when the write enable signal toggles N times while the chip enable signal is deactivated and the output enable signal is activated.

本発明では、レファレンス発生装置にプログラマブルレジスタ装置を適用してレファレンス電圧を多様に調節することができ、プログラマブルレジスタ装置をリダンダントディコーダをプログラムするためのスイッチのオン・オフを制御する手段に用い、リダンダントセルのアドレスを間違ってディコーディングするとしても再び救済することができるので、チップの信頼性及び収率を高めることができるようになる。   In the present invention, the reference voltage can be variously adjusted by applying a programmable register device to the reference generator, and the programmable register device is used as a means for controlling on / off of a switch for programming a redundant decoder. Even if the address of the redundant cell is erroneously decoded, it can be remedied again, so that the reliability and yield of the chip can be improved.

以下、図面を参照して本発明に係る実施の形態に対し詳しく説明する。
図4は、本発明に係る強誘電体メモリ装置の全体的な概略図である。
レファレンス電圧発生部は、センス増幅器にレファレンス電圧を提供する。センス増幅器は、リード動作時にセルアレイのビットラインから出力された電圧とレファレンス電圧を比べ、セルデータの論理レベルに該当するデータをデータI/Oバッファを介して出力する。センス増幅器は、ライト動作時にデータI/Oバッファから入力された信号の電圧とレファレンス電圧を比べて入力された信号に該当するデータをセルのビットラインに提供する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 4 is an overall schematic diagram of a ferroelectric memory device according to the present invention.
The reference voltage generator provides a reference voltage to the sense amplifier. The sense amplifier compares the voltage output from the bit line of the cell array with the reference voltage during the read operation, and outputs data corresponding to the logic level of the cell data via the data I / O buffer. The sense amplifier compares the voltage of the signal input from the data I / O buffer with the reference voltage during the write operation and provides data corresponding to the input signal to the bit line of the cell.

図5は、図4に示されているセルアレイ構造を示す図である。
セルアレイで各カラムは、メインビットラインプールアップ制御部、セルアレイ、カラム選択制御部、カラムリダンダンシーセルアレイ、ローリダンダンシーセルアレイ及び所定の臨界電圧と感知された電源電圧を比べ、前記比較結果に基づき駆動電圧のレベルを調節することができる駆動電圧発生部(図示省略)を含む。
前記セルアレイは、1つ又は2つ以上のメインビットライン負荷制御部と複数のサブセルブロックを含む。
FIG. 5 shows the cell array structure shown in FIG.
Each column in the cell array compares the main bit line pool up control unit, the cell array, the column selection control unit, the column redundancy cell array, the row redundancy cell array, and a predetermined critical voltage with the detected power supply voltage, and determines the driving voltage based on the comparison result. A drive voltage generator (not shown) that can adjust the level is included.
The cell array includes one or more main bitline load control units and a plurality of subcell blocks.

それぞれの構成要素に対しては、以下で説明する。
図6は、メインビットラインプールアップ制御部を示す図である。
メインビットラインプールアップ制御部は、ゲートに制御信号MBPUCが連結され、ソースにVPP又はVCCが連結され、ドレインがメインビットラインと連結されるPMOSトランジスタで構成されている。
メインビットラインプールアップ制御部は、「プリチャージ」時にメインビットラインを「ハイ」レベルにプールアップさせる役割を果たす。
Each component will be described below.
FIG. 6 is a diagram illustrating a main bit line pool up control unit.
The main bit line pool up control unit includes a PMOS transistor having a gate connected to a control signal MBPUC, a source connected to VPP or VCC, and a drain connected to the main bit line.
The main bit line pool up control unit plays a role of pooling up the main bit line to a “high” level during “precharge”.

図7は、メインビットライン負荷制御部を示す図である。
メインビットライン負荷制御部は、ゲートに制御信号MBLCが入力され、ソースはVPP又はVCCと連結され、ドレインはメインビットラインと連結されるPMOSトランジスタで構成されている。
制御信号MBLCが活性化された場合、メインビットライン負荷制御部はメインビットラインMBLの負荷の役割を果たす。メインビットラインMBLの感知電圧は、メインビットラインMBLの負荷抵抗と電流レベルにより決定される。
メインビットライン負荷制御部は、各メインビットラインに1つ又は2つ以上連結される。2つ以上のメインビットライン負荷制御部が連結される場合、それぞれのメインビットライン負荷制御部は複数のサブセルブロック毎に均一に配置される。
FIG. 7 is a diagram illustrating a main bit line load control unit.
The main bit line load control unit includes a PMOS transistor having a gate to which a control signal MBLC is input, a source connected to VPP or VCC, and a drain connected to the main bit line.
When the control signal MBLC is activated, the main bit line load controller serves as a load for the main bit line MBL. The sense voltage of the main bit line MBL is determined by the load resistance and current level of the main bit line MBL.
One or more main bit line load control units are connected to each main bit line. When two or more main bitline load control units are connected, each main bitline load control unit is uniformly arranged for each of a plurality of subcell blocks.

図8は、本発明に係るカラム選択制御部を示す図である。
カラム選択制御部は、カラム選択制御信号CSN、CSPによりオン・オフされ、メインビットラインMBLとデータバスを連結するスイッチで構成されている。
FIG. 8 is a diagram showing a column selection control unit according to the present invention.
The column selection control unit is configured by a switch that is turned on / off by column selection control signals CSN and CSP and connects the main bit line MBL and the data bus.

図9は、本発明に係るメインビットライン負荷制御部とサブセルブロックを示す図である。
サブセルブロックは、それぞれワードラインWL<m>及びプレートラインPL<m>に連結された複数の単位メモリセルが共通に連結されたサブビットラインSBL、ゲートにサブビットラインSBLの第1端が連結され、ドレインがメインビットラインMBLに連結された電流調節用NMOSトランジスタN1、ゲートに制御信号MBSWが連結され、ドレインが電流調節用NMOSトランジスタN1のソースに連結され、ソースが接地されているNMOSトランジスタN2、ゲートに制御信号SBPDが連結され、ドレインがサブビットラインSBLの第2端に連結され、ソースが接地されているNMOSトランジスタN3、ゲートに制御信号SBSW2が連結され、ドレインがサブビットラインSBLの第2端に連結され、ソースが制御信号SBPUに連結されるNMOSトランジスタN4、及びゲートに制御信号SBSW1が連結され、ドレインがメインビットラインMBLに連結され、ソースがサブビットラインSBLの第2端に連結されるNMOSトランジスタN5で構成されている。
FIG. 9 is a diagram illustrating a main bitline load control unit and a subcell block according to the present invention.
The sub cell block includes a sub bit line SBL in which a plurality of unit memory cells connected to a word line WL <m> and a plate line PL <m> are commonly connected, and a first end of the sub bit line SBL is connected to a gate. A current adjusting NMOS transistor N1 having a drain connected to the main bit line MBL; a control signal MBSW connected to the gate; a drain connected to the source of the current adjusting NMOS transistor N1; and a source grounded. N2, the gate is connected to the control signal SBPD, the drain is connected to the second end of the sub bit line SBL, the source is connected to the grounded NMOS transistor N3, the gate is connected to the control signal SBSW2, and the drain is connected to the sub bit line SBL. Connected to the second end of the The NMOS transistor N4 is connected to the control signal SBPU, and the control signal SBSW1 is connected to the gate, the drain is connected to the main bit line MBL, and the source is connected to the second end of the sub bit line SBL. Has been.

特定のセルに接近する場合、特定のセルを含むサブセルブロックに含まれたNMOSトランジスタN5のみ活性化させることにより、メインビットラインには1つのサブビットラインだけが連結される。したがって、ビットライン駆動負荷は1つのサブビットラインSBLの駆動負荷の水準に減少する。   When approaching a specific cell, only one sub bit line is connected to the main bit line by activating only the NMOS transistor N5 included in the sub cell block including the specific cell. Accordingly, the bit line driving load is reduced to the level of the driving load of one sub bit line SBL.

サブビットラインSBLは、プールダウンNMOSトランジスタN3の制御信号であるSBPD信号が活性化されると、サブビットラインSBLの電位をグラウンドレベルにプールダウンする。
SBPU信号は、サブビットラインSBLに供給する電源電圧を調整する信号である。低電圧で「ハイ」電圧が必要な場合、VCC電圧より高い電圧を生成して供給する。
SBSW1、SBSW2は、SBPUとサブビットラインSBLとの間の信号の流れを調整する制御信号である。サブビットラインSBLには複数の単位セル等が連結されている。
When the SBPD signal, which is a control signal for the pool down NMOS transistor N3, is activated, the sub bit line SBL pools down the potential of the sub bit line SBL to the ground level.
The SBPU signal is a signal for adjusting the power supply voltage supplied to the sub bit line SBL. When a “high” voltage is required at a low voltage, a voltage higher than the VCC voltage is generated and supplied.
SBSW1 and SBSW2 are control signals for adjusting the signal flow between the SBPU and the sub bit line SBL. A plurality of unit cells are connected to the sub bit line SBL.

サブビットラインSBLは、NMOSトランジスタN1のゲートに連結されてメインビットラインMBLのセンシング電圧を調節する。NMOSトランジスタN1のソース端子は、ゲートに制御信号MBSWが連結されるNMOSトランジスタN2のドレインに連結される。   The sub bit line SBL is connected to the gate of the NMOS transistor N1 to adjust the sensing voltage of the main bit line MBL. The source terminal of the NMOS transistor N1 is connected to the drain of the NMOS transistor N2 whose gate is connected to the control signal MBSW.

図10は、本発明に係るレファレンス電圧発生部に含まれてレファレンス電圧REF(n)を出力するための回路の構成図である。
レファレンス電圧発生部はゲートが接地され、ソースは陽の電源VCCに連結されたPMOSトランジスタP1、ゲートが接地され、ソースは陽の電源VCCに連結され、ドレインはPMOSトランジスタP1のドレインと連結されたPMOSトランジスタP2、ゲートにはレファレンスレベル制御信号REFSNが入力され、ドレインはPMOSトランジスタP1のドレインと連結されたNMOSトランジスタN1、ゲートは陽の電源VCCと連結され、ドレインはNMOSトランジスタN1のソースと連結され、ソースは接地されたNMOSトランジスタN2、ゲートには制御信号MBLPU_CONが入力され、ソースは陽の電源VCCに連結されたPMOSトランジスタP3、PMOSトランジスタP1のドレインとPMOSトランジスタP3のドレインとの間に連結されたオン状態のスイッチS1、及びPMOSトランジスタP3のドレインとグラウンドとの間に連結されたキャパシタC1を含み、レファレンス電圧REF(n)はPMOSトランジスタP3のドレインから出力される。
FIG. 10 is a configuration diagram of a circuit for outputting the reference voltage REF (n) included in the reference voltage generator according to the present invention.
The reference voltage generator has a gate grounded, a source connected to the positive power supply VCC, a PMOS transistor P1, a gate grounded, a source connected to the positive power supply VCC, and a drain connected to the drain of the PMOS transistor P1. The reference level control signal REFSN is input to the PMOS transistor P2, the gate, the NMOS transistor N1 connected to the drain of the PMOS transistor P1, the gate connected to the positive power supply VCC, and the drain connected to the source of the NMOS transistor N1. The source is connected to the grounded NMOS transistor N2, the gate is supplied with the control signal MBLPU_CON, the source is connected to the positive power supply VCC, the PMOS transistor P3, the PMOS transistor P1 drain and the PMOS transistor. An on-state switch S1 connected between the drain of the transistor P3 and a capacitor C1 connected between the drain of the PMOS transistor P3 and the ground, and the reference voltage REF (n) is derived from the drain of the PMOS transistor P3. Is output.

レファレンス電圧発生部は、本発明に係るサブセルブロックと類似する動作条件を具現するため、サブセルブロックの各構成要素に対応する構成要素を含む。
2つのPMOSトランジスタP1、P2はメインビットライン負荷制御部に対応し、PMOSトランジスタP3はメインビットラインプールアップ制御部に対応する。NMOSトランジスタN2は、サブセルブロックのNMOSトランジスタ、図9に示すN2に対応する。サブビットラインSBLのセンシング電圧は、レファレンスレベル制御信号REFSNに該当するものであり、NMOSトランジスタN1は図9に示すサブセルブロックのNMOSトランジスタN1に対応する。スイッチS1は、各ブロックのカラム選択制御部に対応する。全ての素子の大きさは、サブセルブロックの対応する部分の大きさと同一に成るように構成され、RC遅延を調整するためNMOSキャパシタ素子C1を追加する。
The reference voltage generator includes constituent elements corresponding to the constituent elements of the subcell block in order to implement operating conditions similar to those of the subcell block according to the present invention.
The two PMOS transistors P1 and P2 correspond to a main bit line load control unit, and the PMOS transistor P3 corresponds to a main bit line pool up control unit. The NMOS transistor N2 corresponds to the NMOS transistor of the subcell block, N2 shown in FIG. The sensing voltage of the sub bit line SBL corresponds to the reference level control signal REFSN, and the NMOS transistor N1 corresponds to the NMOS transistor N1 of the sub cell block shown in FIG. The switch S1 corresponds to the column selection control unit of each block. All the elements are configured to have the same size as the corresponding part of the subcell block, and an NMOS capacitor element C1 is added to adjust the RC delay.

図11は、図10に示されているレファレンス電圧出力部に提供されるレファレンスレベル制御信号REFSNを生成するためのレファレンスプログラム部を示す図である。
レファレンスプログラム部は、電源電圧をポンピングして駆動電圧REF_PLを提供する駆動電圧部(図示省略)、ゲートに制御信号REF_EQが入力され、ソースが接地されているNMOSトランジスタ114、NMOSトランジスタ114のドレインと前記駆動電圧発生部の出力ラインとの間に連結された複数の強誘電体キャパシタ111、及びNMOSトランジスタ114のドレインと駆動電圧発生部の出力ラインとの間の容量(Capacitance)を調節する容量調節部112を含む。
FIG. 11 is a diagram illustrating a reference program unit for generating a reference level control signal REFSN provided to the reference voltage output unit illustrated in FIG.
The reference program unit is a drive voltage unit (not shown) that pumps the power supply voltage to provide the drive voltage REF_PL, the gate of the control signal REF_EQ is input, the source is grounded, the NMOS transistor 114, the drain of the NMOS transistor 114, A plurality of ferroelectric capacitors 111 connected to the output line of the driving voltage generator, and a capacitance adjustment that adjusts the capacitance between the drain of the NMOS transistor 114 and the output line of the driving voltage generator. Part 112 is included.

容量調節部112は、NMOSトランジスタ114のドレインと駆動電圧発生部の出力ラインとの間に直列に連結された強誘電体キャパシタと、スイッチ113の対を複数個備えている。
スイッチは、プログラマブルレジスタ装置によりオン・オフが制御されるが、プログラマブルレジスタ装置の出力は入力信号を制御してプログラムすることができ、プログラムの結果は電源がなくても保持されて再び読み出すことができる。
プログラマブルレジスタ装置の入力信号を制御することにより、駆動電圧部の出力ラインREF_PLとNMOSトランジスタ114との間の容量を調節することになり、これによってレファレンスレベル制御信号REFSNを調節する。レファレンス電圧は、レファレンスレベル制御信号REFSNにより調節される。
The capacitance adjustment unit 112 includes a plurality of pairs of a ferroelectric capacitor and a switch 113 connected in series between the drain of the NMOS transistor 114 and the output line of the drive voltage generation unit.
The switch is controlled on and off by the programmable register device, but the output of the programmable register device can be programmed by controlling the input signal, and the result of the program can be retained and read again without power it can.
By controlling the input signal of the programmable register device, the capacitance between the output line REF_PL of the driving voltage unit and the NMOS transistor 114 is adjusted, thereby adjusting the reference level control signal REFSN. The reference voltage is adjusted by a reference level control signal REFSN.

図12は、図11に示されているレファレンスプログラム部に駆動電圧REF_PLを供給する駆動電圧発生部を示す回路図である。
駆動電圧発生部は、電源電圧が所定の電圧以下であれば電源電圧をポンピングして出力する電源電圧ポンピング部121、及び外部の制御信号REF_PL_CONに応えて前記電源電圧ポンピング部から出力されたレベルの電圧又はグラウンドレベルの電圧を出力するレベルシフター部122を含む。
FIG. 12 is a circuit diagram illustrating a drive voltage generation unit that supplies the drive voltage REF_PL to the reference program unit illustrated in FIG. 11.
The driving voltage generator has a level output from the power supply voltage pumping unit 121 in response to an external control signal REF_PL_CON and a power supply voltage pumping unit 121 that pumps and outputs the power supply voltage if the power supply voltage is equal to or lower than a predetermined voltage. A level shifter 122 that outputs a voltage or a ground level voltage is included.

電源電圧ポンピング部121は、電源電圧が所定のレベル以下の場合活性化される制御信号VCC_Limitと電源電圧ポンピングを指示する制御信号REFVPP_CONが全て活性化された場合「ロー」信号を出力するNANDゲート、入力部がNANDゲートの出力部と連結されて奇数個のインバータで構成されたインバータチェーン、第1の電極がインバータチェーンの出力部と連結されたNMOSキャパシタNC、ソースが陽の電源電圧に連結されてドレインがNMOSキャパシタの第2の電極と連結されたPMOSトランジスタP1、ゲートがNANDゲートの出力部と連結され、ソースがNMOSキャパシタの第2の電極と連結され、ドレインがPMOSトランジスタP1のゲートと連結されたPMOSトランジスタP2、及びゲートがNANDゲートの出力部と連結され、ソースが接地され、ドレインがPMOSトランジスタP2のドレインと連結されたNMOSトランジスタN1で構成されている。   The power supply voltage pumping unit 121 is a NAND gate that outputs a “low” signal when the control signal VCC_Limit activated when the power supply voltage is lower than a predetermined level and the control signal REFVPP_CON instructing the power supply voltage pumping are all activated. An inverter chain composed of an odd number of inverters connected to the output part of the NAND gate, an NMOS capacitor NC whose first electrode is connected to the output part of the inverter chain, and a source connected to the positive power supply voltage The PMOS transistor P1 has a drain connected to the second electrode of the NMOS capacitor, a gate connected to the output of the NAND gate, a source connected to the second electrode of the NMOS capacitor, and a drain connected to the gate of the PMOS transistor P1. Connected PMOS transistor P2, Fine gate connected to the output of the NAND gate, the source is grounded, the drain is composed of NMOS transistors N1 connected to the drain of the PMOS transistor P2.

電源電圧VCCが臨界電圧以上の場合、制御信号VCC_Limitは「ロー」レベルになってポンピング動作を抑制する。この信号が「ロー」レベルになるとNANDゲートの出力が「ハイ」になり、トランジスタN1及びトランジスタP1がオンになって出力される電圧はVCCになる。
電源電圧VCCが臨界電圧以下の場合、制御信号VCC_Limitは「ハイ」になり制御信号REFVPP_CONに応じてポンピング動作を行うことになる。
When the power supply voltage VCC is equal to or higher than the critical voltage, the control signal VCC_Limit becomes “low” level to suppress the pumping operation. When this signal becomes “low” level, the output of the NAND gate becomes “high”, the transistor N1 and the transistor P1 are turned on, and the output voltage becomes VCC.
When the power supply voltage VCC is equal to or lower than the critical voltage, the control signal VCC_Limit becomes “high” and the pumping operation is performed according to the control signal REFVPP_CON.

制御信号REF_CONが「ロー」から「ハイ」に遷移すると、NANDゲートの出力は「ハイ」から「ロー」に変化することになる。
インバータチェーンにより、NMOSキャパシタには「ロー」から「ハイ」に遷移するパルスが遅延して伝達される。
NMOSキャパシタに「ハイ」パルスが達するとき、既にトランジスタN1、P1が全てオフされた状態であるのでNMOSキャパシタに両端の電圧ほどポンピングされた電圧が出力される。
When the control signal REF_CON changes from “low” to “high”, the output of the NAND gate changes from “high” to “low”.
Due to the inverter chain, a pulse transitioning from “low” to “high” is delayed and transmitted to the NMOS capacitor.
When the “high” pulse reaches the NMOS capacitor, all of the transistors N1 and P1 are already turned off, so that a voltage pumped to the NMOS capacitor is output to both ends of the NMOS capacitor.

レベルシフター部122は、ソースがNMOSキャパシタの第2の電極と連結されたPMOSトランジスタP3、ゲートがPMOSトランジスタP3のドレインと連結され、ソースがNMOSキャパシタの第2の電極に連結され、ドレインがPMOSトランジスタP3のゲートに連結されたPMOSトランジスタP4、ゲートに外部信号REF_PL_CONが入力され、ドレインが前記PMOSトランジスタP3のドレインと連結され、ソースが接地されたNMOSトランジスタN2、ゲートに外部信号REF_PL_CONと逆のレベルの信号が入力され、ドレインがPMOSトランジスタP4のドレインと連結され、ソースが接地されたNMOSトランジスタN3、ゲートがNMOSトランジスタのドレインと連結され、ソースが前記電源電圧ポンピング部の出力ラインに連結されたPMOSトランジスタP5、及びゲートがNMOSトランジスタN2のドレインと連結され、ソースが接地されており、ドレインがPMOSトランジスタP5のドレインと連結されたNMOSトランジスタN4を含む。駆動電圧REF_PLは、NMOSトランジスタN4のドレインから出力される。   The level shifter unit 122 includes a PMOS transistor P3 whose source is connected to the second electrode of the NMOS capacitor, a gate connected to the drain of the PMOS transistor P3, a source connected to the second electrode of the NMOS capacitor, and a drain connected to the PMOS. The PMOS transistor P4 connected to the gate of the transistor P3, the external signal REF_PL_CON is input to the gate, the drain is connected to the drain of the PMOS transistor P3, the source is the grounded NMOS transistor N2, and the gate is opposite to the external signal REF_PL_CON. The level signal is input, the drain is connected to the drain of the PMOS transistor P4, the source is grounded, the NMOS transistor N3, the gate is connected to the drain of the NMOS transistor, and the source is the above-mentioned A PMOS transistor P5 connected to the output line of the source voltage pumping unit, and an NMOS transistor N4 having a gate connected to the drain of the NMOS transistor N2, a source grounded, and a drain connected to the drain of the PMOS transistor P5. . The drive voltage REF_PL is output from the drain of the NMOS transistor N4.

制御信号REF_PL_CONが「ロー」レベルの場合はトランジスタN3、P3、N4がオンされるので、出力電圧REF_PLは「ロー」になる。制御信号REF_PL_CONが「ハイ」レベルの場合は、トランジスタN2、P4、P5がオンされて出力電圧REF_PLは電源電圧又はポンピングされた電源電圧になる。   When the control signal REF_PL_CON is at the “low” level, the transistors N3, P3, and N4 are turned on, so that the output voltage REF_PL becomes “low”. When the control signal REF_PL_CON is at the “high” level, the transistors N2, P4, and P5 are turned on, and the output voltage REF_PL becomes the power supply voltage or the pumped power supply voltage.

図13は、レファレンス電圧の発生のためのタイミング図である。t1区間では強誘電体キャパシタにレファレンス電荷が充電され、t2区間でレファレンス電圧REF(n)を発生させる。
t2区間ではキャパシタンスによりレファレンスレベル制御信号REFSNのレベルが決定され、レファレンスレベル制御信号REFSNのレベルに従いレファレンス電圧REF(n)のレベルが決定される。
レファレンスレベル制御信号REFSNが大きくなるほど、図10におけるNMOSトランジスタN1を通じて流れる電流が増加するので、PMOSトランジスタP1、P2での電圧降下が大きくなってレファレンス電圧REF(n)が小さくなる。
FIG. 13 is a timing diagram for generating a reference voltage. The reference charge is charged in the ferroelectric capacitor in the period t1, and the reference voltage REF (n) is generated in the period t2.
In the interval t2, the level of the reference level control signal REFSN is determined by the capacitance, and the level of the reference voltage REF (n) is determined according to the level of the reference level control signal REFSN.
As the reference level control signal REFSN increases, the current flowing through the NMOS transistor N1 in FIG. 10 increases, so that the voltage drop in the PMOS transistors P1 and P2 increases and the reference voltage REF (n) decreases.

図14は、本発明に係るプログラマブルレジスタ装置のブロック図である。
本発明に係るプログラマブルレジスタ装置は、第1の増幅器、入力部、貯蔵部及び第2の増幅器で構成されている。
第1の増幅器と第2の増幅器は、制御信号ENP、ENNが活性化された場合に動作する。第1の増幅器と第2の増幅器は、貯蔵部と連結された2つの電極の電圧を一定の値に固定させるか、又は貯蔵部に貯蔵された信号を増幅して外部P_CON、N_CONに出力する役割を果たす。
FIG. 14 is a block diagram of a programmable register device according to the present invention.
The programmable register device according to the present invention includes a first amplifier, an input unit, a storage unit, and a second amplifier.
The first amplifier and the second amplifier operate when the control signals ENP and ENN are activated. The first amplifier and the second amplifier fix the voltages of the two electrodes connected to the storage unit to a certain value, or amplify the signal stored in the storage unit and output the amplified signal to the external P_CON and N_CON. Play a role.

入力部は、制御信号ENWが活性化された場合は入力信号SET、RESETに応じて貯蔵部と連結される2つの電極に一定の電圧を供給することになり、供給された信号は前述のように第1及び第2の増幅器により固定される。しかし、制御信号ENWが非活性化された場合貯蔵部と連結された2つの電極は入力信号SET、RESETと分離される。
貯蔵部は入力された信号を貯蔵して電源のない状態でも保持され、追って貯蔵された信号を出力することができるようにする。本発明では、貯蔵手段として強誘電体キャパシタを用いて電源が遮断された状態でも書き込まれた情報を保持することができるようにする。
When the control signal ENW is activated, the input unit supplies a constant voltage to the two electrodes connected to the storage unit according to the input signals SET and RESET, and the supplied signal is as described above. Are fixed by the first and second amplifiers. However, when the control signal ENW is deactivated, the two electrodes connected to the storage unit are separated from the input signals SET and RESET.
The storage unit stores an input signal and holds the signal without a power source so that the stored signal can be output later. In the present invention, a ferroelectric capacitor is used as a storage means so that written information can be held even when the power is turned off.

図15を参照し、プログラマブルレジスタ装置の各構成要素を詳しく説明する。
第1の増幅器は、ゲートに制御信号ENPが入力されてソースが陽の電源に連結されるPMOSトランジスタP1、ゲートが第1の増幅器の第1の電極に連結され、ソースがPMOSトランジスタP1のドレインに連結され、ドレインが第1の増幅器の第2の電極に連結されたPMOSトランジスタP2、ゲートが第1の増幅器の第2の電極に連結され、ソースがPMOSトランジスタP1のドレインに連結され、ドレインが第1の増幅器の第1の電極に連結されたPMOSトランジスタP3で構成されている。
Each component of the programmable register device will be described in detail with reference to FIG.
The first amplifier has a PMOS transistor P1 whose gate is connected to a positive power source and a source connected to a positive power source, a gate connected to the first electrode of the first amplifier, and a source connected to the drain of the PMOS transistor P1. PMOS transistor P2 having a drain connected to the second electrode of the first amplifier, a gate connected to the second electrode of the first amplifier, a source connected to the drain of the PMOS transistor P1, and a drain. Is composed of a PMOS transistor P3 connected to the first electrode of the first amplifier.

入力部は、ゲートに第1の入力信号SETと制御信号ENWをAND演算した結果が入力され、ドレインは第1の増幅器の第1の電極と連結されてソースが接地されたNMOSトランジスタN3、ゲートに第1入力信号SETと制御信号ENWをNAND演算した結果が入力され、ドレインは第1の増幅器の第2の電極と連結されてソースが陽の電源VCCに連結されたPMOSトランジスタP4、ゲートに第2の入力信号RESETと制御信号ENWをNAND演算した結果が入力され、ドレインは第1の増幅器の第1の電極と連結されてソースが陽の電源VCCに連結されたPMOSトランジスタP5、及びゲートに第2の入力信号RESETと制御信号ENWをAND演算した結果が入力され、ドレインは第1の増幅器の第2の電極と連結されてソースが接地されたNMOSトランジスタN4で構成されている。   The input unit receives an AND operation result of the first input signal SET and the control signal ENW in the gate, the drain is connected to the first electrode of the first amplifier, and the source is grounded in the NMOS transistor N3, the gate The result of NAND operation of the first input signal SET and the control signal ENW is input to the PMOS transistor P4 whose drain is connected to the second electrode of the first amplifier and the source is connected to the positive power supply VCC, and to the gate. The result of NAND operation of the second input signal RESET and the control signal ENW is input, the drain is connected to the first electrode of the first amplifier and the source is connected to the positive power supply VCC, and the gate The result of ANDing the second input signal RESET and the control signal ENW is input to the second electrode, and the drain is connected to the second electrode of the first amplifier. Formation has been the source is an NMOS transistor N4 which is grounded.

貯蔵部は、第1の電極に制御信号CPLが入力され、第2の電極が第1の増幅器の第1の電極と連結された強誘電体キャパシタFC1、第1の電極に制御信号CPLが入力されて第2の電極が第1の増幅器の第2の電極と連結された強誘電体キャパシタFC2、第1の電極が第1の増幅器の第1の電極と連結されて第2の電極が接地された強誘電体キャパシタFC3、及び第1の電極が第1の増幅器の第2の電極と連結されて第2の電極が接地された強誘電体キャパシタFC4で構成されている。   In the storage unit, the control signal CPL is input to the first electrode, the second electrode is connected to the first electrode of the first amplifier, the ferroelectric capacitor FC1, and the control signal CPL is input to the first electrode. The ferroelectric capacitor FC2 in which the second electrode is connected to the second electrode of the first amplifier, the first electrode is connected to the first electrode of the first amplifier, and the second electrode is grounded The ferroelectric capacitor FC3, and the ferroelectric capacitor FC4 having the first electrode connected to the second electrode of the first amplifier and the second electrode grounded.

第2の増幅器は、ゲートが第1の増幅器の第2の電極と連結され、ドレインが第1の増幅器の第1の電極と連結されたNMOSトランジスタN5、ゲートが第1の増幅器の第1の電極と連結され、ドレインが第1の増幅器の第2の電極と連結されたNMOSトランジスタN6、及びゲートに制御信号ENNが入力され、ドレインがNMOSトランジスタN5のソース及びNMOSトランジスタN6のソースと連結され、ソースが接地されたNMOSトランジスタN7で構成されている。
さらに、制御信号EQNがゲートに入力され、ドレインがPMOSトランジスタP2のドレインに連結され、ソースが接地されたNMOSトランジスタN1、及び制御信号EQNがゲートに入力され、ドレインがPMOSトランジスタP3のドレインに連結され、ソースが接地されたNMOSトランジスタN1をさらに含む。
The second amplifier includes an NMOS transistor N5 having a gate connected to the second electrode of the first amplifier, a drain connected to the first electrode of the first amplifier, and a gate connected to the first amplifier of the first amplifier. The NMOS transistor N6 is connected to the electrode, the drain is connected to the second electrode of the first amplifier, and the control signal ENN is input to the gate, and the drain is connected to the source of the NMOS transistor N5 and the source of the NMOS transistor N6. , And an NMOS transistor N7 whose source is grounded.
Further, a control signal EQN is input to the gate, a drain is connected to the drain of the PMOS transistor P2, an NMOS transistor N1 whose source is grounded, and a control signal EQN is input to the gate, and a drain is connected to the drain of the PMOS transistor P3. And an NMOS transistor N1 whose source is grounded.

図16及び図17を参考して、プログラマブルレジスタ装置の動作を説明する。
図16は、本発明に係るプログラム時にプログラマブルレジスタ装置の動作を示すタイミング図である。
所定のプログラムモードが開始されると、プログラムモード動作信号CMD_3が活性化される。このとき、制御信号ENN、ENPを活性化して回路が動作することができるようにし、制御信号EQNを非活性化して入力電圧供給を準備する。
The operation of the programmable register device will be described with reference to FIGS.
FIG. 16 is a timing diagram illustrating the operation of the programmable register device during programming according to the present invention.
When a predetermined program mode is started, the program mode operation signal CMD_3 is activated. At this time, the control signals ENN and ENP are activated so that the circuit can operate, and the control signal EQN is deactivated to prepare for input voltage supply.

制御信号ENW、CPLを活性化すると、入力信号SET、RESETが強誘電体キャパシタに提供される。たとえば、入力信号SETが「ハイ」、入力信号RESETが「ロー」の場合強誘電体キャパシタFC1、FC4に電荷が貯蔵される。
制御信号FNWを「ロー」にすると、入力信号SET、RESETが強誘電体キャパシタFC1、FC2、FC3、FC4から分離される。さらに、制御信号CPLを「ロー」にするとFC1、FC2で電荷量の変動が発生する。
電源が遮断されると、強誘電体キャパシタFC1、FC2、FC3、FC4で電界の再分配が発生するが、本事例では貯蔵された電荷により出力ノードP_CONの電圧が出力ノードN_CONの電圧より低くなる。
When the control signals ENW and CPL are activated, the input signals SET and RESET are provided to the ferroelectric capacitor. For example, when the input signal SET is “high” and the input signal RESET is “low”, charges are stored in the ferroelectric capacitors FC1 and FC4.
When the control signal FNW is set to “low”, the input signals SET and RESET are separated from the ferroelectric capacitors FC1, FC2, FC3, and FC4. Further, when the control signal CPL is set to “low”, fluctuations in the charge amount occur in FC1 and FC2.
When the power supply is cut off, electric field redistribution occurs in the ferroelectric capacitors FC1, FC2, FC3, FC4. In this case, the voltage of the output node P_CON becomes lower than the voltage of the output node N_CON due to the stored charge. .

図17は、本発明に係る強誘電体メモリ装置で電源をオンした場合、プログラム結果をリードする動作を示すタイミング図である。
電源が安定したレベルに達すると、パワーアップ探知パルスPUPが発生する。この信号を利用して制御信号EQN信号を「ハイ」から「ロー」に遷移させ、イコライズを解除したあと制御信号CPL信号を「ハイ」に遷移させると、強誘電体キャパシタFC1、FC2、FC3、FC4に貯蔵されていた電荷が両出力ノードN_CON、P_CON上に電位差を発生させる。本事例では出力ノードN_CONの電圧が高く表れる。
FIG. 17 is a timing diagram showing an operation of reading a program result when the power is turned on in the ferroelectric memory device according to the present invention.
When the power supply reaches a stable level, a power-up detection pulse PUP is generated. When this signal is used to change the control signal EQN signal from “high” to “low” and the equalization is canceled and then the control signal CPL signal is changed to “high”, the ferroelectric capacitors FC1, FC2, FC3, The charges stored in FC4 generate a potential difference on both output nodes N_CON and P_CON. In this example, the voltage of the output node N_CON appears high.

充分な程度の電位差が発生すると、制御信号ENN、ENPをそれぞれ「ハイ」と「ロー」に活性化して第1の増幅器及び第2の増幅器で貯蔵部両端のデータを増幅する。
増幅が完了すると制御信号CPL信号を再び「ロー」に遷移させ、破壊されていた強誘電体キャパシタFC2、FC4の「ハイ」データを再び復旧することになる。このとき、制御信号ENW信号は「ロー」に非活性化されて外部データが再び書き込まれることを防ぐ。
When a sufficient potential difference is generated, the control signals ENN and ENP are activated to “high” and “low”, respectively, and the data at both ends of the storage unit are amplified by the first amplifier and the second amplifier.
When amplification is completed, the control signal CPL signal is changed to “low” again, and the “high” data of the ferroelectric capacitors FC2 and FC4 that have been destroyed are restored again. At this time, the control signal ENW signal is deactivated to “low” to prevent external data from being written again.

図18は、制御信号ENW、CPL信号を発生させるための回路の一例を示す図である。本図は、図16及び図17に示されているように、制御信号ENW、CPLが発生するように構成した回路の一実施例であり、当業者は前述のタイミング図を参考して本回路図の動作に対し容易に理解することができるので、具体的な動作に対する説明は省略する。   FIG. 18 is a diagram showing an example of a circuit for generating control signals ENW and CPL signals. This figure shows an example of a circuit configured to generate the control signals ENW and CPL as shown in FIGS. 16 and 17, and those skilled in the art will be able to refer to this circuit with reference to the timing diagram described above. Since the operation of the figure can be easily understood, a description of the specific operation is omitted.

図19は、出力信号を外部から印加された信号によりプログラムすることができ、電源がなくてもプログラムの結果が保持されるプログラマブルレジスタ装置を利用し、駆動電源に連結されたキャパシタの容量を調節するスイッチのオン・オフを制御することによりレファレンス電圧のレベルを調節することができ、前記プログラマブルレジスタ装置をリダンダントアドレスプログラム用スイッチのオン・オフ制御装置に用いるリダンダントアドレスディコーダを含む強誘電体メモリ装置において、プログラムモードを行うための装置のブロック図である。
これを利用したプログラム処理方法は、信号入力部に入力された信号をディコーディングする第1の段階、前記ディコーディング結果所定のプログラムモードに該当する場合プログラムモード動作信号CMD_1を活性化して信号入力部を非活性化する第2の段階、及び前記プログラムモード動作信号CMD_1によりプログラムモードを行う第3の段階を含む。
In FIG. 19, the output signal can be programmed by a signal applied from the outside, and the capacitance of the capacitor connected to the driving power source is adjusted by using a programmable register device in which the result of the program is held without a power source. A ferroelectric memory including a redundant address decoder, wherein the reference voltage level can be adjusted by controlling on / off of the switch to be used, and the programmable register device is used as an on / off control device for a redundant address program switch It is a block diagram of the apparatus for performing a program mode in an apparatus.
A program processing method using this is a first step of decoding a signal input to a signal input unit, and when the decoding result corresponds to a predetermined program mode, the program mode operation signal CMD_1 is activated to generate a signal input unit. And a third step of performing a program mode by the program mode operation signal CMD_1.

本発明でプログラムモードは、ローリダンダンシープログラムモード、カラムリダンダンシープログラムモード及びレファレンスレベルプログラムモードの3つの部分を含み、その他のプログラムモードは必要によって追加が可能である。本実施の形態でCMD_1はローリダンダンシープログラムモードを活性化し、CMD_2はカラムリダンダンシープログラムモードを活性化し、CMD_3はレファレンスレベルプログラムモードを活性化する。この信号は、さらに信号入力部にフィードバックされ、それぞれの信号が「ハイ」に活性化されるとき信号入力部の入力を遮断することにより安定性を保障する。   In the present invention, the program mode includes three parts, a low redundancy program mode, a column redundancy program mode, and a reference level program mode, and other program modes can be added as necessary. In the present embodiment, CMD_1 activates the low redundancy program mode, CMD_2 activates the column redundancy program mode, and CMD_3 activates the reference level program mode. This signal is further fed back to the signal input section, and the stability is ensured by blocking the input of the signal input section when each signal is activated to “high”.

図20〜図22は、図19のディコーダ部の動作説明図である。
CMD_1は、チップイネーブル信号CEBとライトイネーブル信号WEBを「ハイ」に保持した状態で、出力イネーブル信号OEBのn番目の下降エッジで「ハイ」に活性化される。
CMD_2は、CEBを「ハイ」、WEBを「ロー」に保持した状態で出力イネーブル信号OEBのn番目の下降エッジで「ハイ」に活性化される。
CMD_3は、CEBを「ハイ」、OEBを「ロー」に保持した状態でライトイネーブル信号WEBのn番目の下降エッジで「ハイ」に活性化される。
20 to 22 are explanatory diagrams of the operation of the decoder unit of FIG.
CMD_1 is activated to “high” at the nth falling edge of the output enable signal OEB while the chip enable signal CEB and the write enable signal WEB are held at “high”.
CMD_2 is activated to “high” at the nth falling edge of the output enable signal OEB in a state where CEB is held “high” and WEB is held “low”.
CMD_3 is activated to “high” at the nth falling edge of the write enable signal WEB in a state where CEB is held “high” and OEB is held “low”.

図23〜図25は、それぞれCMD_1〜CMD_3を発生させるための回路構成図である。これは、それぞれn個のフリップフロップと制御素子で構成されている。
図23は、入力信号CEB、OEB、WEBをディコーディングしてローリダンダンシープログラムモードを活性化させるCMD_1信号を活性化する。チップイネーブル信号CEBが「ハイ」であれば、出力イネーブル信号OEBがトグリングするときチップイネーブル信号CEBと出力イネーブル信号OEBを「AND」演算した結果、信号もトグリングすることになる。したがって、出力イネーブル信号OEBがn回トグリングすると、n番目のDフリップフロップの出力はライトイネーブル信号WEBと同一のレベルになる。したがって、ライトイネーブル信号WEBを「ハイ」に印加すると、CMD_1の出力も「ハイ」となるのである。
23 to 25 are circuit configuration diagrams for generating CMD_1 to CMD_3, respectively. This is composed of n flip-flops and control elements.
FIG. 23 activates the CMD_1 signal that activates the low redundancy program mode by decoding the input signals CEB, OEB, and WEB. If the chip enable signal CEB is “high”, when the output enable signal OEB toggles, the result of “AND” operation of the chip enable signal CEB and the output enable signal OEB will also toggle the signal. Therefore, when the output enable signal OEB toggles n times, the output of the nth D flip-flop becomes the same level as the write enable signal WEB. Therefore, when the write enable signal WEB is applied to “high”, the output of CMD_1 also becomes “high”.

図24及び図25に示す回路の動作原理は、図23に記載された回路の動作原理と同一であるので説明を省略する。   The operation principle of the circuit shown in FIGS. 24 and 25 is the same as the operation principle of the circuit shown in FIG.

図26は、図23〜図25に示すDフリップフロップの構成図である。
一般に、Dフリップフロップはクロックのエッジに同期され、入力端に提供された信号をサンプリングして出力する回路である。本回路の動作を簡単に説明すると、次の通りである。
本回路は、クロックの下降エッジに同期されて入力信号dをサンプリングする回路である。マスター部241は、クロックが「ハイ」レベルにある場合マスター部241のスイッチS1を開けて入力信号dをラッチに貯蔵する。このとき、スレイブ部242にあるスイッチS2は閉じられているので、入力信号dがスレイブ部242のラッチまで伝達されない。
クロックが「ロー」に遷移すると、マスター部241のスイッチS1は閉ざされスレイブ部242にあるスイッチS2が開けられることになり、マスター部241のラッチに貯蔵されていたデータがスレイブ部242のラッチに貯蔵され、スレイブ部242のラッチに貯蔵された信号はクロックの次の下降エッジまで引続き出力される。
FIG. 26 is a configuration diagram of the D flip-flop shown in FIGS.
In general, the D flip-flop is a circuit that is synchronized with a clock edge and samples and outputs a signal provided to an input terminal. The operation of this circuit will be briefly described as follows.
This circuit is a circuit that samples the input signal d in synchronization with the falling edge of the clock. When the clock is at the “high” level, the master unit 241 opens the switch S1 of the master unit 241 and stores the input signal d in the latch. At this time, since the switch S2 in the slave unit 242 is closed, the input signal d is not transmitted to the latch of the slave unit 242.
When the clock transitions to “low”, the switch S1 of the master unit 241 is closed and the switch S2 in the slave unit 242 is opened, and the data stored in the latch of the master unit 241 becomes the latch of the slave unit 242. The signal stored and stored in the latch of the slave unit 242 is continuously output until the next falling edge of the clock.

図27(a)及び図27(b)は、出力信号を外部から印加された信号によりプログラムすることができ、電源がなくてもプログラムの結果が保持されるプログラマブルレジスタ装置を利用し、駆動電源に連結されたキャパシタの容量を調節するスイッチのオン・オフを制御することによりレファレンス電圧のレベルを調節することができ、前記プログラマブルレジスタ装置をリダンダントアドレスプログラム用スイッチのオン・オフ制御装置に用いるリダンダントアドレスディコーダを含む強誘電体メモリ装置において、レファレンスレベルを調整してウイーク(weak)セルを探し出して救済する方法を示す図である。   27 (a) and 27 (b) use a programmable register device in which the output signal can be programmed by an externally applied signal and the result of the program is held without a power supply, and the drive power supply The level of the reference voltage can be adjusted by controlling on / off of a switch for adjusting the capacitance of the capacitor connected to the redundant, and the programmable register device is used as a redundant address program switch on / off control device. FIG. 5 is a diagram illustrating a method of finding and repairing a weak cell by adjusting a reference level in a ferroelectric memory device including an address decoder.

本発明に係るウイークセルの救済方法は、レファレンス電圧250を所定の第1のレベルに設ける第1の段階、第1のレベルに設けられたレファレンス電圧を基準に第1のレベルのデータを含むように設けられたセル等のうち、前記レファレンス電圧以下のデータを含むセル等をウイークセル254に処理してリダンダンシープログラムを行う第2の段階、レファレンス電圧250を第1のレベルより低い第2のレベルに設ける第3の段階、第3の段階で第2のレベルに設けられたレファレンス電圧を基準に第2のレベルのデータを含むように設けられたセル等のうちレファレンス電圧以上のデータを含むセル等をウイークセル253に処理してリダンダンシープログラムを行う第4の段階、及びレファレンス電圧を第1のレベル252と第2のレベル251の中央値に設ける第5の段階を含む。   The weak cell relief method according to the present invention includes a first stage in which the reference voltage 250 is provided at a predetermined first level, and includes data at the first level with reference to the reference voltage provided at the first level. The second stage of processing the cells including data below the reference voltage to the weak cells 254 to perform the redundancy program, the reference voltage 250 is set to the second level lower than the first level. Among the cells provided so as to contain the second level data with reference to the reference voltage provided at the second level in the third stage, and the cells including data higher than the reference voltage And the like to the weak cell 253 to perform the redundancy program, and the reference voltage is set to the first level 252 and the second level. A fifth step of providing a median level of 251.

レファレンス電圧のレベルREF(n)は、前述のようにキャパシタンスを調整してレファレンスレベル制御信号REFSNを変更することにより達成される。このとき、キャパシタと直列に連結されたスイッチと、スイッチのオン・オフを制御するプログラマブルレジスタ装置を用いてキャパシタンスを調節することにより、レファレンスレベル制御信号REFSNを調節することができるようになる。   The reference voltage level REF (n) is achieved by adjusting the capacitance and changing the reference level control signal REFSN as described above. At this time, the reference level control signal REFSN can be adjusted by adjusting the capacitance using a switch connected in series with the capacitor and a programmable register device that controls on / off of the switch.

一般に、リダンダンシープログラムはリダンダントアドレスディコーダに付着したヒューズをプログラムする作業である。本発明では、ヒューズの代りにスイッチを用い、スイッチオン・オフを制御する信号としてプログラマブルレジスタ装置の出力を用いる。したがって、スイッチのオン・オフは何時でも再調整することができるようになる。
リダンダンシープログラム作業が全て完了すると、レファレンスレベルが第1のレベルと第2のレベルの中央に位置するよう再プログラムすることにより、最大のセンシングマージンを確保するようにする。
In general, the redundancy program is an operation for programming the fuse attached to the redundant address decoder. In the present invention, a switch is used instead of a fuse, and the output of the programmable register device is used as a signal for controlling switch on / off. Therefore, the on / off of the switch can be readjusted at any time.
When all the redundancy program operations are completed, the maximum sensing margin is ensured by reprogramming so that the reference level is located at the center between the first level and the second level.

本発明の範囲は、前述の実施の形態により限定されず、請求項に記載されたところにより決定される。   The scope of the present invention is not limited by the above-described embodiments, but is determined by what is described in the claims.

ヒステリシス曲線である。It is a hysteresis curve. FRAMセル素子の構成図である。It is a block diagram of a FRAM cell element. (a)は、従来の技術に係る強誘電体メモリ装置の動作タイミング図、(b)は、従来の技術に係る強誘電体メモリ装置の動作タイミング図である。(a) is an operation timing diagram of the ferroelectric memory device according to the prior art, and (b) is an operation timing diagram of the ferroelectric memory device according to the prior art. 本発明に係る強誘電体メモリ装置の概略的な構成図である。1 is a schematic configuration diagram of a ferroelectric memory device according to the present invention. 本発明に係る強誘電体メモリ装置に含まれたセルアレイの構成図である。1 is a configuration diagram of a cell array included in a ferroelectric memory device according to the present invention. FIG. 本発明に係る強誘電体メモリ装置に含まれたメインビットラインプールアップ制御部の構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of a main bit line pool up control unit included in a ferroelectric memory device according to the present invention. 本発明に係る強誘電体メモリ装置に含まれたメインビットライン負荷制御部の構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of a main bit line load control unit included in a ferroelectric memory device according to the present invention. 本発明に係る強誘電体メモリ装置に含まれたカラム選択制御部の構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of a column selection control unit included in a ferroelectric memory device according to the present invention. 本発明に係る強誘電体メモリ装置に含まれたサブセルブロックとメインビットライン負荷制御部の構成図である。3 is a configuration diagram of a sub cell block and a main bit line load control unit included in a ferroelectric memory device according to the present invention; FIG. 本発明に係る強誘電体メモリ装置に含まれたレファレンスレベル発生装置の回路図である。1 is a circuit diagram of a reference level generator included in a ferroelectric memory device according to the present invention. FIG. 本発明に係る強誘電体メモリ装置に含まれたレファレンスキャパシタンス調整部の構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of a reference capacitance adjusting unit included in a ferroelectric memory device according to the present invention. 本発明に係る強誘電体メモリ装置に含まれたレファレンスプログラム部の駆動部の構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram of a drive unit of a reference program unit included in a ferroelectric memory device according to the present invention. 本発明に係る強誘電体メモリ装置に含まれたレファレンス発生装置の動作タイミング図である。FIG. 5 is an operation timing chart of the reference generator included in the ferroelectric memory device according to the present invention. 本発明に係る強誘電体メモリ装置に含まれたプログラマブルレジスタ装置のブロック図である。1 is a block diagram of a programmable register device included in a ferroelectric memory device according to the present invention. FIG. 本発明に係る強誘電体メモリ装置に含まれたプログラマブルレジスタ装置の回路図である。1 is a circuit diagram of a programmable register device included in a ferroelectric memory device according to the present invention. FIG. 本発明に係る強誘電体メモリ装置のプログラム時のプログラマブルレジスタ装置の動作タイミング図である。3 is an operation timing chart of the programmable register device during programming of the ferroelectric memory device according to the present invention. FIG. 本発明に強誘電体メモリ装置のパワーアップモード時のプログラマブルレジスタ装置の動作タイミング図である。3 is an operation timing chart of the programmable register device in the power-up mode of the ferroelectric memory device according to the present invention. FIG. 本発明に係る強誘電体メモリ装置をプログラムする場合、プログラマブルレジスタ装置に入力される制御信号CPL及びENW発生回路の構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram of a control signal CPL and an ENW generation circuit input to a programmable register device when programming a ferroelectric memory device according to the present invention. 本発明に係る強誘電体メモリ装置のプログラムモード設定のための回路のブロック図である。1 is a block diagram of a circuit for setting a program mode of a ferroelectric memory device according to the present invention. FIG. 本発明に係る強誘電体メモリ装置のプログラムモードにおけるディコーディング部の動作タイミング図である。FIG. 10 is an operation timing chart of the decoding unit in the program mode of the ferroelectric memory device according to the present invention. 本発明に係る強誘電体メモリ装置のプログラムモードにおけるディコーディング部の動作タイミング図である。FIG. 10 is an operation timing chart of the decoding unit in the program mode of the ferroelectric memory device according to the present invention. 本発明に係る強誘電体メモリ装置のプログラムモードにおけるディコーディング部の動作タイミング図である。FIG. 10 is an operation timing chart of the decoding unit in the program mode of the ferroelectric memory device according to the present invention. 本発明に係る強誘電体メモリ装置のCommand_1処理部の構成図である。It is a block diagram of a Command_1 processing unit of the ferroelectric memory device according to the present invention. 本発明に係る強誘電体メモリ装置のCommand_2処理部の構成図である。It is a block diagram of a Command_2 processing unit of the ferroelectric memory device according to the present invention. 本発明に係る強誘電体メモリ装置のCommand_3処理部の構成図である。It is a block diagram of a Command_3 processing unit of the ferroelectric memory device according to the present invention. 本発明に係る強誘電体メモリ装置のディコーディング部に含まれたフリップフロップ回路の詳細構成図である。FIG. 3 is a detailed configuration diagram of a flip-flop circuit included in a decoding unit of a ferroelectric memory device according to the present invention. (a)は、本発明に係る強誘電体メモリ装置においてウイーク(weak)セルの救済順序を示す方法図、(b)は、本発明に係る強誘電体メモリ装置においてウイーク(weak)セルの救済順序を示す方法図、(c)は、本発明に係る強誘電体メモリ装置においてウイーク(weak)セルの救済順序を示す方法図である。FIG. 4A is a method diagram illustrating a repair order of weak cells in a ferroelectric memory device according to the present invention, and FIG. 5B is a repair diagram of weak cells in the ferroelectric memory device according to the present invention. FIG. 4C is a method diagram showing a repair order of weak cells in the ferroelectric memory device according to the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

111 強誘電体キャパシタ
112 容量調節部
113 スイッチ
114 NMOSトランジスタ
121 電源電圧ポンピング部
122 レベルシフター部
241 マスター部
242 スレイブ部
250 レファレンス電圧
251 第2のレベル
252 第1のレベル
253、254 ウイークセル
111 Ferroelectric capacitor 112 Capacitance adjustment unit 113 Switch 114 NMOS transistor 121 Power supply voltage pumping unit 122 Level shifter unit 241 Master unit 242 Slave unit 250 Reference voltage 251 Second level 252 First level 253, 254 Weak cell

Claims (2)

出力信号のレベルを外部から印加された信号によりプログラムすることができ、電源がなくてもプログラム結果が保持されるプログラマブルレジスタ装置を利用し、駆動電源に連結されたキャパシタの容量を調節するスイッチのオン・オフを制御することにより、レファレンス電圧のレベルを調節するレファレンス発生装置、及び前記プログラマブルレジスタ装置をリダンダントアドレスプログラム用スイッチのオン・オフ制御装置に用いるリダンダントディコーダを含む強誘電体メモリ装置のプログラム方法において、
信号入力部に入力された信号をディコーディングする第1の段階、
前記ディコーディングの結果、所定のプログラムモードを示す場合に前記プログラムモードに対応するプログラムモード動作信号を活性化し、前記信号入力部を非活性化する第2の段階、及び
前記プログラムモード動作信号に応えてプログラムモードを行う第3の段階を含むことを特徴とする強誘電体メモリ装置のプログラム方法。
The level of the output signal can be programmed by an externally applied signal, and a programmable register device that retains the program result without a power source is used to adjust the capacitance of a capacitor connected to the driving power source. A reference generator for adjusting a reference voltage level by controlling on / off, and a ferroelectric memory device including a redundant decoder using the programmable register device as an on / off control device for a redundant address program switch In the programming method,
A first stage for decoding a signal input to the signal input unit;
A second step of activating a program mode operation signal corresponding to the program mode and deactivating the signal input unit when the predetermined program mode is indicated as a result of the decoding, and responding to the program mode operation signal A program method for a ferroelectric memory device comprising a third step of performing a program mode.
前記プログラムモードは、ローリダンダンシープログラムモード、カラムリダンダンシープログラムモード及びレファレンスレベルプログラムモードを含むことを特徴とする請求項1に記載の強誘電体メモリ装置のプログラム方法。   The method of claim 1, wherein the program mode includes a row redundancy program mode, a column redundancy program mode, and a reference level program mode.
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