JP4597744B2 - 光画像計測装置及び光画像計測方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施形態について説明する。本実施形態は、被測定物体の情報を有する干渉光に含まれる複数の偏光成分をそれぞれ検出することにより、被測定物体の画像を形成するものである。
本発明に係る光画像計測装置の第1の実施形態の構成を図1、2を参照して説明する。図1は本実施形態の光画像計測装置の光学系の概略構成の一例を表し、図2はその制御系の構成の一例を表している。
まず、図1を参照して本実施形態の光画像計測装置の光学系の構成について説明する。同図に示す光画像計測装置1は、低コヒーレントな光ビームを出力する広帯域光源2と、この光ビームの偏光特性を直線偏光に変換する偏光板3と、光ビームを平行光束とするとともに、そのビーム径を拡大する本発明の「拡大手段」を構成するレンズ4、5と、光ビームを信号光Sと参照光Rとに分割するとともに、それらを重畳して重畳光Lを生成するハーフミラー6と、参照光Rの偏光特性を直線偏光から円偏光に変換する波長板7と、参照光Rの進行方向に対して直交する反射面により参照光Rを全反射する参照鏡8と、参照鏡8の反射面の背面に設けられたピエゾ素子9とを含んでいる。
次に、図2に示すブロック図を参照して、光画像計測装置1の制御系の構成について説明する。光画像計測装置1の制御系は、信号処理部20と、CCD21、22と、パルス駆動器2A(及び広帯域光源)と、ピエゾ素子9(及び参照鏡8)と、表示装置50とを含んで構成される。なお、この表示装置50は、本発明の「表示手段」の一例に相当する。
制御部40は、信号処理部20により実行される各種の演算処理や画像処理や動作制御処理等を制御するもので、CPU等によって構成される。特に、制御部40は、パルス駆動器2Aを制御して、広帯域光源2から光ビームを出力する周波数を変更する本発明の「第1の変調周波数変更手段」を構成する。また、制御部40は、ピエゾ素子9を制御することにより、参照鏡8の参照光Rの光路方向への移動や振動を制御する。更に、制御部40は、被測定物体Oを計測して取得した画像や操作画面等を表示装置50に表示させる処理を行う。
断層画像形成部41は、後述の〔計測原理〕に詳述するような演算処理を実行することにより、CCD21、22から出力された検出信号に基づいて被測定物体Oのx−y断層画像(2次元の画像)を形成する。
ス光としてCCD21、22に検出される。断層画像形成部41は、検出信号に含まれる複数の干渉周波数成分のうち、パルス状の重畳光L1、L2の周波数(すなわち、広帯域光源2が光ビームを出力する周波数)に(ほぼ)等しいビート周波数に対応する干渉周波数成分に基づいてx−y断層画像を形成する。
画像記憶部42は、断層画像形成部41により形成されたx−y断層画像Gijを記憶するもので、イメージメモリやハードディスクドライブ等の記憶装置により構成される。画像記憶部42に記憶される情報にはディレクトリが割り振られ、ディレクトリ同士を関連付けることにより、記憶情報を関連付けるようになっている。x−y断層画像Gijは、各計測深度zi毎に関連付けられて記憶される。つまり、深度z1における画像G11〜G1Mが関連付けられ、深度z2における画像G21〜G2Mが関連付けられ、・・・、深度zNにおける画像GN1〜GNMが関連付けられて、画像記憶部42に記憶される。なお、画像記憶部42に対する記憶処理及び関連付け処理は、制御部40によってなされる。
画像処理部43は、断層画像形成部41により形成されたx−y断層画像Gij(i=1〜N、j=1〜M)に基づいて速度分布画像を形成する処理を行う。この速度分布画像としては、例えば、Gi1〜GiMのM枚に基づく深度ziの2次元領域における移動体の速度分布を表す2次元画像や、G11〜GNMのM×N枚に基づく深度z1〜zNの3次元領域における移動体の速度分布を表す3次元画像などが形成される。画像処理部43によるこのような処理の詳細は後述する。
以上のような構成を備えた光画像計測装置1による被測定物体Oの画像の計測処理の一例について説明する。以下、画像計測処理の流れを最初に説明し、次にその計測原理について説明する。
図3、4に示すフローチャートは、光画像計測装置1による計測処理の一例を表す。図3は、被測定物体Oの断層画像を取得する手順の一例を示し、図4は、取得された断層画像に基づいて被測定物体Oの3次元画像を形成する手順の一例を表す。
最初に、図3のフローチャートを参照して、断層画像の取得処理の手順について説明する。
続いて、図4のフローチャートを参照して、取得されたM×N枚のx−y断層画像G11〜GNMに基づく被測定物体Oの3次元画像の形成処理について説明する。
以上では、被測定物体O中における移動体の移動速度の立体的な分布を表す3次元画像を形成したが、ステップS22で形成される深度z1〜zNの2次元画像G1〜GNから、他の分布画像を形成することも可能である。
以下、図1に示す構成の光画像計測装置1による計測の基本原理について説明する。広帯域光源2から出力された光ビームは、偏光板3により上記x軸に対して45°をなす角度方向の直線偏光に変換され、レンズ4、5によってビーム径を拡大され、かつ、平行光束とされてハーフミラー6に入射して信号光Sと参照光Rとに二分される。
以上のような光画像計測装置1によれば、被測定物体O内の移動体の速度の分布を表現する画像の計測において、x−y方向のスキャンを行うことなく各深度のx−y断面の計測を一度に行うことができるので、被測定物体Oの広範囲に亘る計測を迅速に行うことが可能である。
以下、本実施形態の変形例を説明する。
図7は、光画像計測装置1の変形例の構成を示す。同図に記載の光画像計測装置1′は、参照光Rの光路上の周波数シフタ12を除いては、光画像計測装置1と同様の構成を備える。周波数シフタ12は、本発明にいう「周波数シフト手段」を構成し、参照鏡8に反射される前後の参照光Rにそれぞれ周波数シフトを与える。この周波数シフタ12は、例えば電気光学変調器や音響光学変調器などにより構成される。
図8は、本実施形態の第2の変形例の光画像計測装置1″の概略構成を表す。この光画像計測装置1″は、被測定物体Oを計測して取得したx−y断層画像に基づいて3次元画像等を形成するときのx−y断層画像の配列間隔の精度を向上させることにより、高精度の3次元画像等を得ることが可能な構成を備える。なお、本変形例の詳細については、本発明者らによる特願2004−299036号に開示されている。
上記実施形態においては、低コヒーレントな光ビームを周期的に強度変調させるために、パルス駆動器2Aから周期的なパルス信号を出力して広帯域光源2をパルス駆動するに出力をパルス駆動する構成を採用したが、それに限定されるものではない。例えば、低コヒーレントな光ビームを連続的に発することが可能な(広帯域)光源を用いるとともに、出力された連続的な光ビームを周期的に遮断するシャッタを当該光源と偏光板3との間に設けることにより、光ビームの強度を周期的に変調させることができる。このとき、当該シャッタとしては液晶シャッタ等の高速シャッタを用いることができ、信号処理部20(の制御部40)によってシャッタ開閉の周波数が制御されるように構成することが望ましい。
上記実施形態においては、移動体の移動速度の分布を表す画像を取得する処理と同時に被測定物体O自体の表面形態や内部形態の画像を取得する例を説明したが(k=0〜2mにおけるk=0のときに形態画像を取得している)、被測定物体Oの形態画像を個別に取得するようにしてもよい。また、被測定物体Oの形態画像と移動体の移動速度の画像とを合成した画像を形成することができる。例えば、網膜の形態画像に血流速度の分布画像を合成することが可能である。それにより、網膜の形態を詳細に再現した画像を取得することができる。
本発明は、造影剤を用いた光画像計測にも好適に利用される。なお、造影剤を用いた光画像計測については、たとえば特表2001−526650号公報や特表2002−504894号公報などに開示されている。
続いて、本発明の第2の実施形態について説明する。本実施形態は、重畳光に含まれる参照光のサンプリングをシャッタを用いて行うように構成されたものである。
本実施形態の光画像計測装置の構成について説明する。図9は、本実施形態の光画像計測装置の光学系の概略構成の一例を表し、図10は、その制御系の構成の一例を表している。以下、第1の実施形態と同様の構成部分については、同一の符号を付して説明する。
光画像計測装置100は、図9に示すように、低コヒーレントな連続光を出力するSLDや発光ダイオード(LED)等からなる広帯域光源2(光源)と、この光源2からの光ビームを平行光束とするとともにそのビーム径を拡大するレンズ4、5(拡大手段)と、光ビームを信号光Sと参照光Rとに分割するとともに、それらを重畳して重畳光Mを生成するハーフミラー6(光ビーム分割手段、重畳手段)と、全反射鏡からなる参照鏡8(参照物体)と、この参照鏡8を参照光Rに光路方向に移動させるピエゾ素子9とを含んでいる。参照鏡8とピエゾ素子9とは、本発明の「光路長変更手段」を構成している。
次に、図10を参照して、光画像計測装置100の制御系の構成について説明する。
続いて、本実施形態の光画像計測装置100による被測定物体Oの計測処理について説明する。光画像計測装置100は、図3及び図4に示した第1の実施形態とほぼ同様の計測処理を実行する。
本実施形態の光画像計測装置100は、レンズ3、4によってビーム径が拡大された光ビームに基づく重畳光に含まれる干渉光の検出結果に基づいてx−y断層画像を形成するように構成されているので、第1の実施形態と同様に、被測定物体O内の移動体の速度の分布を表現する画像の計測において、x−y方向のスキャンを行うことなく各深度のx−y断面の計測を一度に行うことができ、被測定物体Oの広範囲に亘る計測を迅速に行うことが可能である。
上述の構成においては、本発明の強度変調手段として、光の透過と遮断とを切り換えるシャッタを用いているが、これに限定されるものではない。例えば、液晶シャッタの液晶パネルの表示状態を、光を100%透過させる透過状態と、50%のみ透過させる半透過状態とに切り換えるなど、光の透過率を切り換えることにより、重畳光M1、M2をサンプリングするように構成することができる。
本発明に係る光画像計測装置及び光画像計測方法の他の特徴の一例について、特許請求の範囲に記載の請求項を適宜参照して以下に記載する。
前記第1の変調周波数変更手段は、前記干渉光の前記ビート周波数を含む所定の範囲内で前記強度変調の周波数を変更することを特徴とする請求項2に記載の光画像計測装置。
前記光ビーム出力手段は、
所定の周波数の駆動パルスを出力するパルス駆動手段と、
前記駆動パルスを受けて低コヒーレントな光ビームを前記所定の周波数で出力する光源と、
を含むことを特徴とする請求項1、請求項2又は付記項1に記載の光画像計測装置。
前記光ビーム出力手段は、
低コヒーレントな光ビームを連続的に出力する光源と、
前記出力された前記連続的な前記光ビームを周期的に遮断するシャッタと、
を含むことを特徴とする請求項1、請求項2又は付記項1に記載の光画像計測装置。
前記第2の変調周波数変更手段は、前記干渉光の前記ビート周波数を含む所定の範囲内で前記変調周波数を変更することを特徴とする請求項5に記載の光画像計測装置。
前記強度変調手段は、前記重畳光分割手段により前記複数の光路に分割された前記重畳光の強度を所定の位相差でそれぞれ周期的に変調することを特徴とする請求項6に記載の光画像形成装置。
前記強度変調手段は、前記重畳光を周期的に遮断するシャッタであることを特徴とする請求項4、請求項5、請求項6、付記項4又は付記項5のいずれか一項に記載の光画像計測装置。
前記周波数シフト手段は、前記参照光の光路上に配置されて前記参照光の周波数をシフトさせる周波数シフタを含むことを特徴とする請求項8に記載の光画像計測装置。
前記周波数シフト手段は、前記参照光の光路方向に前記参照物体を振動あるいは移動させることにより前記参照光に周波数シフトを付与することを特徴とする請求項8に記載の光画像計測装置。
前記周波数シフト手段は、前記信号光の前記移動体を経由した部分の前記周波数のシフト量の一部を相殺するように、前記信号光の周波数と前記参照光の周波数とを相対的にシフトさせることを特徴とする請求項8、付記項7又は付記項8に記載の光画像計測装置。
前記被測定物体は、生体組織であり、
前記移動体は、前記生体組織の血管内を流れる血液であり、
前記移動速度は、前記血液の血流速度である、
ことを特徴とする請求粉1ないし請求項8のいずれか一項、あるいは、付記項1ないし付記項9のいずれか一項に記載の光画像計測装置。
前記信号光の前記移動体を経由した部分の前記周波数のシフト量の一部を相殺するように、前記信号光の周波数と前記参照光の周波数とを相対的にシフトさせるステップを更に含むことを特徴とする請求項11ないし請求項17のいずれか一項に記載の光画像計測方法。
2 広帯域光源
2A パルス駆動器
3 偏光板
4、5 レンズ
6 ハーフミラー
7 波長板
8 参照鏡
9 ピエゾ素子
10 結像用レンズ群
11 偏光ビームスプリッタ
12 周波数シフタ
13 ビームスプリッタ
20 信号処理部
21、22 CCD
40 制御部
41 断層画像形成部
42 画像記憶部
43 画像処理部
50 表示装置
61 広帯域光源
62 ハーフミラー
63 固定鏡
64 ガルバノミラー
65 波長フィルタ
66 回折格子
67 1次元光センサアレイ
71、72 シャッタ
80 パルス信号発生器
81、82 位相シフタ
R 参照光
S 信号光
L、M 重畳光
L1 干渉光のS偏光成分を含む重畳光
L2 干渉光のP偏光成分を含む重畳光
M1、M2 重畳光の一部
O 被測定物体
G11〜GNM x−y断層画像
G1〜GN 2次元画像
1000 網膜
1001 視神経乳頭
1002 血管
1003 新生血管
P 血管の任意の位置
V 血管の位置Pにおける血流速度
Claims (17)
- 低コヒーレントな光ビームを周期的に強度変調させて出力する光ビーム出力手段と、
前記出力された光ビームのビーム径を拡大する拡大手段と、
前記光ビームの偏光特性を直線偏光に変換する第1の変換手段と、
前記光ビームを被測定物体を経由する信号光と参照物体を経由する参照光とに分割する光ビーム分割手段と、
直線偏光の前記信号光又は前記参照光の偏光特性を変換する第2の変換手段と、
一方が前記第1の変換手段による直線偏光を、他方が前記第2の変換手段による偏光特性をそれぞれ有する、前記被測定物体内の移動体を経由した部分の周波数がシフトされた前記信号光と、前記参照物体を経由した前記参照光と、を重畳させて、前記周波数のシフト量に応じたビート周波数の干渉光を含む重畳光を生成する重畳手段と、
前記生成された前記重畳光に含まれる前記干渉光の異なる複数の偏光成分をそれぞれ受光して、前記干渉光のビート周波数に対応する干渉周波数成分を含む検出信号を出力する2次元光検出手段と、
前記出力された前記検出信号に含まれる前記干渉周波数成分のうち、前記光ビーム出力手段による前記強度変調の周波数に略等しい前記ビート周波数に対応する前記干渉周波数成分に基づいて、前記移動体の移動速度の分布を表す速度分布画像を形成する画像形成手段と、
を備えることを特徴とする光画像計測装置。 - 前記光ビーム出力手段による前記強度変調の周波数を変更する第1の変調周波数変更手段を更に備え、
前記2次元光検出手段は、前記第1の変調周波数変更手段による前記強度変調の周波数の変更に応じて、異なる周波数で前記強度変調される前記光ビームに基づく前記重畳光をそれぞれ検出して複数の前記検出信号を出力し、
前記画像形成手段は、
前記出力された前記複数の検出信号のそれぞれについて、前記光ビーム出力手段による前記強度変調の周波数に略等しい前記ビート周波数に対応する前記干渉周波数成分に基づく2次元の画像を形成するとともに、
前記形成された複数の前記2次元の画像を合成して2次元の前記速度分布画像を形成する、
ことを特徴とする請求項1に記載の光画像形成装置。 - 前記重畳手段により生成された前記重畳光に含まれる前記干渉光のS偏光成分とP偏光成分とを分離する偏光ビームスプリッタを更に備え、
前記2次元光検出手段は、前記分離された前記S偏光成分及びP偏光成分のそれぞれの光路上に設けられている、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の光画像計測装置。 - 低コヒーレントな光ビームを出力する光源と、
前記出力された光ビームのビーム径を拡大する拡大手段と、
前記ビーム径が拡大された前記光ビームを被測定物体に向かう信号光と参照物体に向かう参照光とに分割する光ビーム分割手段と、
前記被測定物体内の移動体を経由した部分の周波数がシフトされた前記信号光と、前記参照物体を経由した前記参照光とを重畳させて、前記周波数のシフト量に応じたビート周波数の干渉光を含む重畳光を生成する重畳手段と、
前記生成された前記重畳光の強度を周期的に変調する強度変調手段と、
前記強度が変調された前記重畳光を受光して、前記干渉光のビート周波数に対応する干渉周波数成分を含む検出信号を出力する2次元光検出手段と、
前記出力された前記検出信号に含まれる前記干渉周波数成分のうち、前記強度変調手段による前記強度の変調周波数に略等しい前記ビート周波数に対応する前記干渉周波数成分に基づいて、前記移動体の移動速度の分布と表す速度分布画像を形成する画像形成手段と、
を備えることを特徴とする光画像計測装置。 - 前記強度変調手段による前記強度の変調周波数を変更する第2の変調周波数変更手段を更に備え、
前記2次元光検出手段は、前記第2の変調周波数変更手段による前記変調周波数の変更に応じて、異なる周波数で前記強度が変調される前記重畳光をそれぞれ検出して複数の前記検出信号を出力し、
前記画像形成手段は、
前記出力された前記複数の検出信号のそれぞれについて、前記強度変調手段による前記変調周波数に略等しい前記ビート周波数に対応する前記干渉周波数成分に基づく2次元の画像を形成するとともに、
前記形成された複数の前記2次元の画像を合成して2次元の前記速度分布画像を形成する、
ことを特徴とする請求項4に記載の光画像形成装置。 - 前記重畳手段により生成された前記重畳光の光路を複数に分割する重畳光分割手段を更に備え、
前記2次元光検出手段は、前記複数の光路に分割された前記重畳光をそれぞれ受光して検出信号を出力する、
ことを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の光画像計測装置。 - 前記参照光の光路長を変更して前記被測定物体の計測深度を変更する光路長変更手段を更に備え、
前記2次元光検出手段は、前記光路長変更手段による前記光路長の変更に応じて、異なる複数の計測深度に対応する複数の前記検出信号を出力し、
前記画像形成手段は、
前記出力された前記複数の計測深度のそれぞれに対応する前記検出信号に基づいて、前記それぞれの計測深度に対応する2次元の前記速度分布画像を形成するとともに、
前記形成された複数の前記2次元の速度分布画像を前記計測深度の方向に配列し、更に画像処理を施して、3次元の前記速度分布画像を形成する、
ことを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の光画像計測装置。 - 前記信号光の周波数と前記参照光の周波数とを相対的にシフトさせる周波数シフト手段を更に備えていることを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の光画像計測装置。
- 前記画像形成手段により形成された前記速度分布画像を表示する表示手段を更に備えていることを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか一項に記載の光画像計測装置。
- 前記被測定物体は被検眼の網膜及び/又はその下部組織であり、
前記移動体は、前記網膜及び/又はその下部組織の血管内を流通する血液もしくはあらかじめ注入された造影剤を含んだ血液である、
ことを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか一項に記載の光画像計測装置。 - 低コヒーレントな光ビームを周期的に強度変調させて出力する光ビーム出力ステップと、
前記出力された光ビームのビーム径を拡大する拡大ステップと、
前記光ビームの偏光特性を直線偏光に変換する第1の変換ステップと、
前記光ビームを被測定物体を経由する信号光と参照物体を経由する参照光とに分割する光ビーム分割ステップと、
直線偏光の前記信号光又は前記参照光の偏光特性を変換する第2の変換ステップと、
一方が前記第1の変換ステップによる直線偏光を、他方が前記第2の変換ステップによる偏光特性をそれぞれ有する、前記被測定物体内の移動体を経由した部分の周波数がシフトされた前記信号光と、前記参照物体を経由した前記参照光と、を重畳させて、前記周波数のシフト量に応じたビート周波数の干渉光を含む重畳光を生成する重畳ステップと、
前記生成された前記重畳光に含まれる前記干渉光の異なる複数の偏光成分を2次元光検出手段によりそれぞれ受光して、前記干渉光のビート周波数に対応する干渉周波数成分を含む検出信号を出力する検出ステップと、
前記出力された前記検出信号に含まれる前記干渉周波数成分のうち、前記光ビーム出力ステップによる前記強度変調の周波数に略等しい前記ビート周波数に対応する前記干渉周波数成分に基づいて、前記移動体の移動速度の分布を表す速度分布画像を形成する画像形成ステップと、
を含むことを特徴とする光画像計測方法。 - 前記光ビーム出力ステップは、前記強度変調の周波数を変更しつつ前記光ビームを出力し、
前記検出ステップは、前記光ビーム出力ステップによる前記強度変調の周波数の変更に応じて、異なる周波数で前記強度変調される前記光ビームに基づく前記重畳光をそれぞれ検出して複数の前記検出信号を出力し、
前記画像形成ステップは、
前記出力された前記複数の検出信号のそれぞれについて、前記光ビーム出力ステップによる前記強度変調の周波数に略等しい前記ビート周波数に対応する前記干渉周波数に基づく2次元の画像を形成するとともに、
前記形成された複数の前記2次元の画像を合成して2次元の前記速度分布画像を形成する、
ことを特徴とする請求項11に記載の光画像計測方法。 - 低コヒーレントな光ビームを出力するステップと、
前記出力された光ビームのビーム径を拡大する拡大ステップと、
前記ビーム径が拡大された前記光ビームを被測定物体に向かう信号光と参照物体に向かう参照光とに分割する光ビーム分割ステップと、
前記被測定物体内の移動体を経由した部分の周波数がシフトされた前記信号光と、前記参照物体を経由した前記参照光とを重畳させて、前記周波数のシフト量に応じたビート周波数の干渉光を含む重畳光を生成する重畳ステップと、
前記生成された前記重畳光の強度を周期的に変調する強度変調ステップと、
前記強度が変調された前記重畳光を2次元光検出手段により受光して、前記干渉光のビート周波数に対応する干渉周波数成分を含む検出信号を出力する検出ステップと、
前記出力された前記検出信号に含まれる前記干渉周波数成分のうち、前記強度変調ステップによる前記強度の変調周波数に略等しい前記ビート周波数に対応する前記干渉周波数成分に基づいて、前記移動体の移動速度の分布を表す速度分布画像を形成する画像形成ステップと、
を含むことを特徴とする光画像計測方法。 - 前記強度変調ステップは、前記変調周波数を変更しつつ前記重畳光の強度を変調し、
前記検出ステップは、前記変調周波数の変更に応じて、異なる周波数で前記強度が変調される前記重畳光をそれぞれ検出して複数の前記検出信号を出力し、
前記画像形成ステップは、
前記出力された前記複数の検出信号のそれぞれについて、前記強度変調ステップによる前記変調周波数に略等しい前記ビート周波数に対応する前記干渉周波数成分に基づく2次元の画像を形成するとともに、
前記形成された複数の前記2次元の画像を合成して2次元の前記速度分布画像を形成する、
ことを特徴とする請求項13に記載の光画像計測方法。 - 前記参照光の光路長を変更して前記被測定物体の計測深度を変更する光路長変更ステップを更に含み、
前記検出ステップは、前記参照光の光路長の変更に応じて、異なる複数の計測深度に対応する複数の前記検出信号を出力し、
前記画像形成ステップは、
前記出力された前記複数の計測深度のそれぞれに対応する前記検出信号に基づいて、前記それぞれの計測深度に対応する2次元の前記速度分布画像を形成するとともに、
前記形成された複数の前記2次元の速度分布画像を前記計測深度の方向に配列し、更に画像処理を施して、3次元の前記速度分布画像を形成する、
ことを特徴とする請求項11ないし請求項14のいずれか一項に記載の光画像計測方法。 - 前記画像形成ステップにて形成された前記速度分布画像を表示する表示ステップを更に含んでいることを特徴とする請求項11ないし請求項15のいずれか一項に記載の光画像計測方法。
- 前記被測定物体は被検眼の網膜及び/又はその下部組織であり、
前記移動体は、前記網膜及び/又はその下部組織の血管内を流通する血液もしくはあらかじめ注入された造影剤を含む血液である、
ことを特徴とする請求項11ないし請求項16のいずれか一項に記載の光画像計測方法。
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