JP4593198B2 - Touch panel and method for manufacturing touch panel - Google Patents

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Description

本発明はタッチパネルに関し、より詳細には、高分解能位置検出が可能な薄型・小型の表示装置一体型のタッチパネルおよびその製造方法に関する。   The present invention relates to a touch panel, and more particularly to a thin and small display device integrated touch panel capable of detecting a high-resolution position and a manufacturing method thereof.

タッチパネルは情報機器への入力デバイスのひとつであり、銀行のATM(現金自動預払機)のディスプレイなどの表示装置などに広く用いられてきており、画像表示部分と入力部分とをコンパクトに纏めることができるため、省スペース化が求められるPDAなどの携帯装置でも使用されるようになってきている。   A touch panel is one of input devices for information equipment, and has been widely used for display devices such as displays of ATMs (automated teller machines) in banks, and can compactly combine an image display portion and an input portion. Therefore, it is also used in portable devices such as PDAs that require space saving.

このようなタッチパネルは、通常、LCDやEL等の表示装置に重ねて配置され、タッチパネルを指やペンで触れるとその接触が電気信号に変換されて当該接触位置(座標位置)が検出される。このような接触位置検出の方式には、抵抗膜方式、静電容量方式、電磁誘導方式、超音波表面弾性波(SAW:Surface Acoustic Wave)方式などがある。   Such a touch panel is usually arranged so as to overlap with a display device such as an LCD or an EL. When the touch panel is touched with a finger or a pen, the contact is converted into an electric signal, and the contact position (coordinate position) is detected. Such contact position detection methods include a resistive film method, a capacitance method, an electromagnetic induction method, and an ultrasonic surface acoustic wave (SAW) method.

このうち、抵抗膜方式のタッチパネルは、ガラス基板と透明フィルムとの間にスペーサを介在させて隙間を設け、この隙間のX、Y両方向に配線された電気回路を有する構造とされる。そして、透明フィルムを指やペンで触れるとその圧力によってフィルムと基板面上の電極とが接触して電流が流れ、基板面とフィルム面それぞれに設けられた透明電極の抵抗による分圧比を測定することで接触位置が検出される。特許文献1や特許文献2には、このような抵抗膜方式の表示装置一体型タッチパネルが開示されている。   Among these, the resistive film type touch panel has a structure in which a spacer is provided between the glass substrate and the transparent film to provide a gap, and an electric circuit is wired in both the X and Y directions of the gap. Then, when the transparent film is touched with a finger or a pen, the film and the electrode on the substrate surface come into contact with each other due to the pressure, and a current flows, and the partial pressure ratio due to the resistance of the transparent electrode provided on the substrate surface and the film surface is measured. Thus, the contact position is detected. Patent Documents 1 and 2 disclose such a resistive film type display device integrated touch panel.

ところで、携帯情報通信端末の表示手段のカラー化・高性能化に伴って、タッチパネルの光の透過率を高め、反射率を低くすることが求められているが、上述の抵抗膜方式のタッチパネルは透明フィルム/空気層/ガラス基板といった複数の層で構成されるため、これらの各層を光が通過する間に散乱してしまい、その透過率は82%程度となってしまう。このような透過率の低下を防止するために各層の表面をコーティング処理したとしても、透過率は高々86%程度までしか改善されない。
特開2003−243170号公報 特開2003−296032号公報 特開2002−366303号公報 特開2002−342027号公報
By the way, with the colorization and high performance of the display means of the portable information communication terminal, it is required to increase the light transmittance and lower the reflectance of the touch panel. Since it is composed of a plurality of layers such as a transparent film / air layer / glass substrate, light is scattered through each of these layers while its transmittance is about 82%. Even if the surface of each layer is coated to prevent such a decrease in transmittance, the transmittance is improved only to about 86%.
JP 2003-243170 A JP 2003-296032 A JP 2002-366303 A JP 2002-342027 A

これに対して、SAW方式では、表面弾性波を発生させる圧電薄膜トランスデューサを用いて、タッチパネルが押されたときの歪(超音波)をセンサで検出することで接触位置の検出が行われる。すなわち、送信用トランスジューサから発せられた振動によりガラス表面を進行する表面弾性波は最終的に受信用のトランスジューサに伝達されるが、表面弾性波の伝達面であるガラス表面を指などで触れるとその圧力によって当該部分の振動が指などに吸収され、送信から時間比率でエネルギが伝わられなかった位置(すなわち接触位置)が検出される。   On the other hand, in the SAW method, the contact position is detected by detecting a strain (ultrasonic wave) when the touch panel is pressed by using a piezoelectric thin film transducer that generates surface acoustic waves. That is, surface acoustic waves traveling on the glass surface due to vibrations generated from the transmitting transducer are finally transmitted to the receiving transducer, but when the surface of the glass that is the surface acoustic wave transmitting surface is touched with a finger or the like, The vibration of the part is absorbed by the finger or the like by the pressure, and a position where energy is not transmitted from the transmission at a time ratio (that is, a contact position) is detected.

一般に、表示装置にタッチパネルを重ねて配置する構成では、表示装置用の基板とタッチパネル用の基板の双方が必要となるが、複数の基板を用いることとすると、薄膜化・小型化に対する障害となることに加え、各基板の界面反射が表示装置からの光透過率を低下させるためにタッチパネルを通して見る際の表示画面が暗くなるという問題があるが、SAW方式では、タッチパネル基板を1枚板とすることも可能なため、光を通しやすい明るいパネルが得られるという利点があり、透過率98%のタッチパネルも開発されている。特許文献3や特許文献4には、このようなSAW方式の表示装置一体型タッチパネルが開示されている。   In general, in a configuration in which a touch panel is placed on a display device, both a display device substrate and a touch panel substrate are required. However, using a plurality of substrates is an obstacle to thinning and downsizing. In addition, there is a problem that the display screen when viewed through the touch panel becomes dark because the interface reflection of each substrate lowers the light transmittance from the display device. However, in the SAW method, the touch panel substrate is a single plate. Therefore, there is an advantage that a bright panel through which light can easily pass is obtained, and a touch panel having a transmittance of 98% has been developed. Patent Documents 3 and 4 disclose such a SAW-type display device integrated touch panel.

しかしながら、特許文献3に記載されているSAW方式の表示装置一体型タッチパネルは、その基板の一方主面の周辺領域(額縁領域)に連続して設けられるリフレクタをエッチングにより形成し、このリフレクタの外側の基板の4隅にトランスデューサを配置する構成とされている。このため、トランスデューサ部の薄膜化が難しく、基板サイズの小型化にも限界があるというという問題があった。   However, the SAW-type display device integrated touch panel described in Patent Document 3 is formed by etching a reflector provided continuously in a peripheral region (frame region) on one main surface of the substrate, and the outside of the reflector. The transducers are arranged at the four corners of the substrate. For this reason, there is a problem that it is difficult to reduce the thickness of the transducer part and there is a limit to the reduction in the size of the substrate.

また、特許文献4に記載されているSAW方式の表示装置一体型タッチパネルは、矩形の基板の一方主面の一本の長辺および一本の短辺に沿ってアレイ状に配置されたトランスデューサから表面弾性波を発信させ、これらの辺に対向する長辺および短辺に沿ってアレイ状に配置されたトランスデューサで表面弾性波を受信する構成とされている。トランスデューサをこのように配置する場合には、接触位置検出の分解能は各辺に配置されるトランスデューサの幅で決まってしまい、接触位置検出の高分解能化は困難であるという問題がある。   In addition, the SAW-type display device integrated touch panel described in Patent Document 4 includes transducers arranged in an array along one long side and one short side of one main surface of a rectangular substrate. Surface acoustic waves are transmitted, and the surface acoustic waves are received by transducers arranged in an array along the long and short sides facing these sides. When the transducers are arranged in this way, the resolution of contact position detection is determined by the width of the transducers arranged on each side, and there is a problem that it is difficult to increase the resolution of contact position detection.

本発明は、かかる問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、高分解能位置検出が可能な薄型・小型の表示装置一体型のタッチパネルおよびその製造方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a thin and small touch panel integrated with a display device capable of detecting a high-resolution position and a manufacturing method thereof.

本発明は、かかる課題を解決するために、請求項1に記載の発明は、タッチパネルであって、単一の非圧電基板の一方主面に設けられたSAWタッチパネルと、前記非圧電基板の他方主面に設けられた有機EL表示部とを備え、前記SAWタッチパネルは、表面弾性波を励振する発信用トランスデューサと、表面弾性波を受信する受信用トランスデューサとを、前記非圧電基板の周縁部に備え、前記励振素子から前記受信素子へ伝播する表面弾性波の、前記受信素子での受信結果に基づいて、前記非圧電基板の一方主面上の接触位置を検出するものであり、前記発信用および受信用トランスデューサは何れも、薄膜状の圧電体の一方主面に設けられた「く」の字型の櫛形電極と他方主面に設けられた平板ベタ電極とを備え、前記櫛型電極が前記非圧電基板の周縁部に沿って連続配置され、前記非圧電基板の周縁部の一部領域に、前記SAWタッチパネルと前記有機EL表示部とを接続するための第1端子部が集約して設けられ、前記非圧電基板の周縁部の他の一部領域に、外部機器と接続するための第2端子部が集約して設けられ、前記第1端子部は、前記非圧電基板の一方主面及び前記非圧電基板の他方主面に設けられ、前記第2端子部は、前記非圧電基板の他方主面に設けられていることを特徴とする。 In order to solve this problem, the present invention provides a touch panel, which is a touch panel provided on one main surface of a single non-piezoelectric substrate and the other of the non-piezoelectric substrates. An organic EL display unit provided on a main surface, and the SAW touch panel includes a transmitting transducer for exciting a surface acoustic wave and a receiving transducer for receiving the surface acoustic wave at a peripheral portion of the non-piezoelectric substrate. And detecting a contact position on one main surface of the non-piezoelectric substrate based on a reception result of the surface acoustic wave propagating from the excitation element to the reception element at the reception element. Each of the receiving transducers includes a "<"-shaped comb-shaped electrode provided on one main surface of the thin film piezoelectric body and a flat plate electrode provided on the other main surface, the comb-shaped electrode being in front It is successively arranged along the periphery of the non-piezoelectric substrate, wherein a partial area of the peripheral portion of the non-piezoelectric substrate, provided the first terminal portion is aggregated for connecting the said SAW touch the organic EL display unit And a second terminal portion for connecting to an external device is provided collectively in another partial region of the peripheral portion of the non-piezoelectric substrate, and the first terminal portion is provided on one main surface of the non-piezoelectric substrate. And the second terminal portion is provided on the other main surface of the non-piezoelectric substrate .

請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のタッチパネルにおいて、前記薄膜状の圧電体は、AlNまたはZnOであることを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the touch panel according to the first aspect, the thin film piezoelectric body is AlN or ZnO.

請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載のタッチパネルにおいて、前記有機EL表示部は、透明電極上に設けられ且つ薄膜トランジスタで駆動される、赤(R)、緑(G)、および青(B)の各色の光を発光する3つの領域で1つの画素が構成されているフルカラー表示部であることを特徴とする。   A third aspect of the present invention is the touch panel according to the first or second aspect, wherein the organic EL display unit is provided on a transparent electrode and driven by a thin film transistor, wherein red (R), green (G), And a blue (B) full-color display portion in which one pixel is composed of three regions emitting light of each color.

請求項4に記載の発明は、請求項3に記載のタッチパネルにおいて、前記発光領域の構成部材は、発光ポリマであることを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the touch panel according to the third aspect, the constituent member of the light emitting region is a light emitting polymer.

請求項5に記載の発明は、請求項1乃至4の何れかに記載のタッチパネルにおいて、前記第1端子部は、前記非圧電基板の一方主面及び前記非圧電基板の他方主面の、同じ領域に設けられ、前記一方主面に設けられた第1端子部と、前記他方主面に設けられた第1端子部と、を接続する異方性導電部材を有することを特徴とする。 The invention according to claim 5 is the touch panel according to any one of claims 1 to 4, wherein the first terminal portion is the same on one main surface of the non-piezoelectric substrate and the other main surface of the non-piezoelectric substrate. It has an anisotropic conductive member which is provided in a field and which connects the 1st terminal part provided in the above-mentioned one principal surface, and the 1st terminal part provided in the above-mentioned other principal surface .

請求項6に記載の発明は、請求項5に記載のタッチパネルにおいて、前記第2端子部は、フレキシブル基板またはフレキシブルケーブルと接続されるための端子であることを特徴とする。 A sixth aspect of the present invention is the touch panel according to the fifth aspect, wherein the second terminal portion is a terminal to be connected to a flexible substrate or a flexible cable .

請求項7に記載の発明は、請求項1乃至6の何れかに記載のタッチパネルにおいて、前記非圧電基板は、ガラス板、石英板、もしくは硬質プラスチック板であることを特徴とする。   The invention described in claim 7 is the touch panel according to any one of claims 1 to 6, wherein the non-piezoelectric substrate is a glass plate, a quartz plate, or a hard plastic plate.

請求項8に記載の発明は、請求項3乃至7の何れかに記載のタッチパネルにおいて、前記透明電極の構成材料は、ITOまたは透明導電ポリマ材であることを特徴とする。   The invention described in claim 8 is the touch panel according to any one of claims 3 to 7, wherein the constituent material of the transparent electrode is ITO or a transparent conductive polymer material.

請求項9に記載の発明は、請求項3乃至8の何れかに記載のタッチパネルにおいて、前記薄膜トランジスタの構成材料は、ポリマ材であることを特徴とする。   The invention according to claim 9 is the touch panel according to any one of claims 3 to 8, wherein the constituent material of the thin film transistor is a polymer material.

請求項10に記載の発明は、タッチパネルの製造方法において、単一の非圧電基板の一方主面にSAWタッチパネルを形成する第1のステップと、前記非圧電基板の他方主面に有機EL表示部を形成する第2のステップとを備え、前記第1のステップは、表面弾性波を励振する発信用トランスデューサと、表面弾性波を受信する受信用トランスデューサとを、前記非圧電基板の周縁部に形成するサブステップを備え、該サブステップは、前記非圧電基板の表面所定領域に短絡電極パターンを形成するステップと、前記短絡電極パターン上に圧電体を形成してパターニングするステップと、前記パターニングされた圧電体上に櫛型電極を形成するするステップと、前記櫛型電極に接続されるバス電極を形成するステップと、前記非圧電基板の周縁部に集約され、前記非圧電基板の一方主面及び前記非圧電基板の他方主面の、同じ領域に設けられた第1端子部を、異方性導電部材を用いて接続するステップと、前記非圧電基板の周縁部の他の一部領域に集約され、前記非圧電基板の他方主面に設けられている第2端子部を、フレキシブル基板またはフレキシブルケーブルと接続するステップと、を備えていることを特徴とする。 According to a tenth aspect of the present invention, in the touch panel manufacturing method, a first step of forming a SAW touch panel on one main surface of a single non-piezoelectric substrate, and an organic EL display unit on the other main surface of the non-piezoelectric substrate. And forming a transmitting transducer for exciting the surface acoustic wave and a receiving transducer for receiving the surface acoustic wave at the periphery of the non-piezoelectric substrate. The sub-step comprising: forming a short-circuit electrode pattern on a predetermined region of the surface of the non-piezoelectric substrate; forming and patterning a piezoelectric body on the short-circuit electrode pattern; a step of forming the interdigital transducer on the piezoelectric element, and forming the bus electrode connected to the comb-shaped electrodes, the peripheral of the non-piezoelectric substrate Connecting the first terminal portions provided in the same region of the one main surface of the non-piezoelectric substrate and the other main surface of the non-piezoelectric substrate using an anisotropic conductive member; and Connecting a second terminal portion, which is aggregated in another partial region of the peripheral portion of the non-piezoelectric substrate and provided on the other main surface of the non-piezoelectric substrate, with a flexible substrate or a flexible cable . It is characterized by that.

請求項11に記載の発明は、請求項10に記載のタッチパネルの製造方法において、前記第2のステップは、前記非圧電基板の裏面所定領域に透明電極パターンを形成するステップを備えていることを特徴とする。   According to an eleventh aspect of the present invention, in the touch panel manufacturing method according to the tenth aspect, the second step includes a step of forming a transparent electrode pattern in a predetermined region on the back surface of the non-piezoelectric substrate. Features.

請求項12に記載の発明は、請求項10または11に記載のタッチパネルの製造方法において、前記第2のステップは、前記非圧電基板の裏面所定領域に前記有機EL表示部駆動用の薄膜トランジスタを形成するステップを備えていることを特徴とする。   A twelfth aspect of the present invention is the touch panel manufacturing method according to the tenth or eleventh aspect, wherein the second step is to form a thin film transistor for driving the organic EL display section in a predetermined back surface area of the non-piezoelectric substrate. It is characterized by having a step to do.

請求項13に記載の発明は、請求項10乃至12の何れかに記載のタッチパネルの製造方法において、前記第2のステップは、インクジェット法、スタンピング法、またはスクリーン印刷法の何れかの方法により実行されるものであることを特徴とする。   A thirteenth aspect of the present invention is the touch panel manufacturing method according to any one of the tenth to twelfth aspects, wherein the second step is performed by any one of an ink jet method, a stamping method, and a screen printing method. It is characterized by being.

請求項14に記載の発明は、請求項11乃至13の何れかに記載のタッチパネルの製造方法において、前記透明電極パターンの形成温度は、250℃以下であることを特徴とする。   The invention described in claim 14 is the method for manufacturing a touch panel according to any one of claims 11 to 13, wherein the formation temperature of the transparent electrode pattern is 250 ° C. or less.

請求項15に記載の発明は、請求項14に記載のタッチパネルの製造方法において、前記透明電極パターンは透明導電ポリマ材で形成され、該透明導電ポリマ材の乾燥は130〜140℃で実行されることを特徴とする。   According to a fifteenth aspect of the present invention, in the touch panel manufacturing method according to the fourteenth aspect, the transparent electrode pattern is formed of a transparent conductive polymer material, and the transparent conductive polymer material is dried at 130 to 140 ° C. It is characterized by that.

請求項16に記載の発明は、請求項12乃至15の何れかに記載のタッチパネルの製造方法において、前記薄膜トランジスタの形成温度は、250℃以下であることを特徴とする。   According to a sixteenth aspect of the present invention, in the touch panel manufacturing method according to any one of the twelfth to fifteenth aspects, the formation temperature of the thin film transistor is 250 ° C. or lower.

請求項17に記載の発明は、請求項10乃至16の何れかに記載のタッチパネルの製造方法において、前記第2のステップに先立ち、前記SAWタッチパネルの面を保護するための保護フィルムを張る第3のステップを備えていることを特徴とする。   According to a seventeenth aspect of the present invention, in the touch panel manufacturing method according to any one of the tenth to sixteenth aspects, prior to the second step, a third protective film is provided to protect the surface of the SAW touch panel. It is characterized by comprising the following steps.

請求項18に記載の発明は、請求項17に記載のタッチパネルの製造方法において、前記保護フィルムは、ストリップマスクであることを特徴とする。   According to an eighteenth aspect of the present invention, in the touch panel manufacturing method according to the seventeenth aspect, the protective film is a strip mask.

本発明によれば、表示装置とタッチパネルとを同一基板に作り込むこととしたので、高分解能位置検出が可能な薄型・小型の表示装置一体型のタッチパネルを提供することが可能となる。   According to the present invention, since the display device and the touch panel are formed on the same substrate, it is possible to provide a thin and small display device integrated touch panel capable of detecting a high resolution position.

以下に、図面を参照して、本発明を実施するための形態について説明する。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.

図1および図2は、本発明の表示装置一体型タッチパネルの構成を説明するための平面概略図(図1)および図1のA−Aに沿う断面概略図(図2)である。図1および図2を参照すると、ガラス基板1の一方主面(表面)は、その面上にX軸方向に延在する送信用トランスデューサ2a、2bとY軸方向に延在する受信用トランスデューサ3a、3bとが設けられたSAWタッチパネルとされ、ガラス基板1の他方主面(裏面)には有機EL表示部(OELD)4が一体的に形成されて表示装置一体型タッチパネルとされている。ガラス基板1の表面のトランスデューサが形成されている額縁領域で囲まれた領域が接触位置検出領域となる。なお、基板は表面弾性波の伝播が可能な矩形状の非圧電基板であればガラス基板である必要はなく、石英板や硬質プラスチック板などであってもよい。   1 and 2 are a schematic plan view (FIG. 1) and a schematic cross-sectional view (FIG. 2) along AA in FIG. 1 for explaining the configuration of the display device-integrated touch panel of the present invention. Referring to FIGS. 1 and 2, one main surface (surface) of the glass substrate 1 has transmission transducers 2a and 2b extending in the X-axis direction on the surface and a receiving transducer 3a extending in the Y-axis direction. 3b, and an organic EL display unit (OELD) 4 is integrally formed on the other main surface (back surface) of the glass substrate 1 to form a display device integrated touch panel. A region surrounded by a frame region where a transducer on the surface of the glass substrate 1 is formed becomes a contact position detection region. The substrate need not be a glass substrate as long as it is a rectangular non-piezoelectric substrate capable of propagating surface acoustic waves, and may be a quartz plate or a hard plastic plate.

送信用トランスデューサ2a、2bは電気信号をSAWに変換し、受信用トランスデューサ3a、3bはSAWを電気信号に変換するためのもので、これらの送信用トランスディーサ2a、2bおよび受信用トランスディーサ3a、3bは、例えばAlNやZnOなどからなる薄膜状の圧電体の一方主面に櫛形電極を形成し、他方主面に平板のベタ電極を形成して構成されている。すなわち、トランスデューサ2a、2b、3a、3bは、圧電薄膜を電極と単極性の櫛型電極で挟み込むSPT(Single Phase Transducer)電極構造を有しており、「く」の字型の櫛型電極を連続して配置したシェブロン形の電極構成とされている。このような電極構成とすることで、同一面内に1つの電気的配線のみを設ければよいこととなる。   The transmitting transducers 2a and 2b convert electrical signals into SAWs, and the receiving transducers 3a and 3b convert SAWs into electrical signals. These transmitting transducers 2a and 2b and receiving transducers 3a and 3b are configured by forming a comb-shaped electrode on one main surface of a thin film piezoelectric body made of, for example, AlN or ZnO and forming a flat solid electrode on the other main surface. That is, each of the transducers 2a, 2b, 3a, and 3b has an SPT (Single Phase Transducer) electrode structure in which a piezoelectric thin film is sandwiched between an electrode and a unipolar comb-shaped electrode. It is a chevron type electrode configuration arranged continuously. With such an electrode configuration, only one electrical wiring needs to be provided in the same plane.

送信用トランスデューサ2a、2bが備えている櫛形電極と平板電極との間に交流電圧の信号を印加すると、図1中に図示したように、励振された表面弾性波がガラス基板1の2つの対角方向に伝播されて受信トランスデューサ3a、3bが備えている圧電素子により受信される。   When an AC voltage signal is applied between the comb-shaped electrode and the flat plate electrode included in the transmitting transducers 2a and 2b, the excited surface acoustic waves are converted into two pairs of the glass substrate 1 as shown in FIG. Propagated in the angular direction and received by the piezoelectric elements provided in the receiving transducers 3a and 3b.

図3は、このようなSAWタッチパネルにおける接触位置検出の原理を説明するための図で、例えば、時刻t=tで駆動信号が出力されて送信用トランスジューサ2a、2bからSAWが発せられると、そのSAWはガラス基板1の表面を表面弾性波が進行して最終的に受信用トランスジューサ3a、3bに伝達されて電気信号に変換される。このとき、ガラス基板1の表面の特定の位置を指やペンなどで触れていると、当該接触部分の振動(エネルギ)は指やペンなどに吸収されるため接触による信号の欠落として認識される。この信号欠落が生じる時刻(t=t)駆動信号の出力時刻(t=t)との時間差(Δt=t−t)から、SAWエネルギが伝達されなかったガラス基板1の表面上の座標位置(すなわち接触位置)が検出される。 FIG. 3 is a diagram for explaining the principle of contact position detection in such a SAW touch panel. For example, when a drive signal is output at time t = t 0 and a SAW is emitted from the transmission transducers 2a and 2b, In the SAW, surface acoustic waves travel on the surface of the glass substrate 1 and are finally transmitted to the receiving transducers 3a and 3b to be converted into electric signals. At this time, if a specific position on the surface of the glass substrate 1 is touched with a finger or a pen, the vibration (energy) of the contact portion is absorbed by the finger or the pen, so that it is recognized as a lack of signal due to the contact. . From the time difference (Δt = t 1 −t 0 ) with respect to the time (t = t 1 ) when the signal is lost (t = t 1 ) and the output time (t = t 0 ) of the drive signal, the surface of the glass substrate 1 where the SAW energy has not been transmitted The coordinate position (that is, the contact position) is detected.

図4は、本発明の表示装置一体型タッチパネルが備えている有機EL表示部4の画素の構成を説明するための断面模式図である。この図では、青(B)、緑(G)、および赤(R)の3つ発光領域で構成される単一画素の領域が図示されている。   FIG. 4 is a schematic cross-sectional view for explaining a pixel configuration of the organic EL display unit 4 provided in the display device-integrated touch panel of the present invention. In this figure, a region of a single pixel composed of three light emitting regions of blue (B), green (G), and red (R) is shown.

有機EL表示部4の画素は、ガラス基板1の表面の接触位置検出領域に対応する裏面領域に周期的に配列されて設けられている。単一画素の形成領域には、アンダーコート層として、例えば、ガラス層5が設けられており、このガラス層5の上には、例えば、チャネル及びソース・ドレインが形成されたポリシリコン層などの半導体層、ゲート絶縁膜、及びゲート電極が順次積層されて構成されたトップゲート型の薄膜トランジスタ(以下、TFTという)6が設けられている。   The pixels of the organic EL display unit 4 are periodically arranged in the back region corresponding to the contact position detection region on the surface of the glass substrate 1. In the single pixel formation region, for example, a glass layer 5 is provided as an undercoat layer. On the glass layer 5, for example, a polysilicon layer in which a channel and source / drain are formed, or the like. A top gate type thin film transistor (hereinafter referred to as TFT) 6 is provided which is formed by sequentially stacking a semiconductor layer, a gate insulating film, and a gate electrode.

ITOなどの透明電極層7aおよび層間絶縁層7bにはコンタクトホール8が形成されており、このコンタクトホール8を介して、アノード9がTFT6のソース・ドレインに電気的に接続されている。層間絶縁層7b相互間において露出されているアノード9の上には、青、緑、および赤のそれぞれの画素に対応する有機発光層(発光ポリマ層)10が設けられている。なお、有機発光層10には、アノード9から有機発光層10へ正孔注入を行わせるための導電性有機物層を含ませるようにしてもよい。これら各画素は画素間絶縁壁11によって互いに離隔され、その上面には反射電極12が形成されて1つの画素が構成されている。   A contact hole 8 is formed in the transparent electrode layer 7 a such as ITO and the interlayer insulating layer 7 b, and the anode 9 is electrically connected to the source / drain of the TFT 6 through the contact hole 8. An organic light emitting layer (light emitting polymer layer) 10 corresponding to each of blue, green, and red pixels is provided on the anode 9 exposed between the interlayer insulating layers 7b. The organic light emitting layer 10 may include a conductive organic material layer for injecting holes from the anode 9 to the organic light emitting layer 10. These pixels are separated from each other by an inter-pixel insulating wall 11, and a reflective electrode 12 is formed on the upper surface to constitute one pixel.

トランスデューサが備える櫛形電極及び平板電極は、発振回路や受信レベル検出回路などの外部回路に接続されるが、その接続にはフレキシブル基板(FPC)やフレキシブルケーブルが好適に用いられる。本発明の表示装置一体型タッチパネルは、一枚のガラス基板表面に所定の材料を積層してタッチパネルを構成した構造のため、接続端子も任意の位置に配置することが容易であり、額縁領域の一部に集めることができる。   The comb electrode and the plate electrode included in the transducer are connected to an external circuit such as an oscillation circuit or a reception level detection circuit, and a flexible substrate (FPC) or a flexible cable is preferably used for the connection. The display device integrated touch panel of the present invention has a structure in which a predetermined material is laminated on the surface of a single glass substrate to configure the touch panel. Therefore, the connection terminals can be easily arranged at any position, Can be collected in part.

図5(a)は本発明の表示装置一体型タッチパネルにフレキシブル基板などを接続した状態を説明するための断面概略図であり、図5(b)および図5(c)はそれぞれ、ガラス基板1のタッチパネル側の面に設けられた配線パターン用の接続用パッド18の様子およびガラス基板1の有機EL表示部側の面に設けられた配線パターン用の接続用パッド19とFPC接続用パッド20の様子を示している。   FIG. 5A is a schematic cross-sectional view for explaining a state in which a flexible substrate or the like is connected to the display device integrated touch panel of the present invention. FIG. 5B and FIG. Of the wiring pattern connection pads 18 provided on the surface of the touch panel side and the wiring pattern connection pads 19 and the FPC connection pads 20 provided on the surface of the glass substrate 1 on the organic EL display side. It shows a state.

図5(a)を参照すると、FPC21はガラス基板1の有機EL表示部側の面の一方端部領域に設けられたFPC接続用パッド20に接続され、これに対向する他方端部に設けられた接続用パッド18および19は、異方性導電部材23を介して電気的に接続された状態でガラス基板保持部材22に固定されている。   Referring to FIG. 5A, the FPC 21 is connected to the FPC connection pad 20 provided in one end region of the surface of the glass substrate 1 on the organic EL display portion side, and is provided at the other end facing the FPC connection pad 20. The connecting pads 18 and 19 are fixed to the glass substrate holding member 22 in an electrically connected state via the anisotropic conductive member 23.

すなわち、ガラス基板1の有機EL表示部側の面に設けられたFPC接続用パッド20は額縁領域の一辺に集約して設けられ、これにより外部機器との電気的接続を狭いスペースで可能としている。同様に、タッチパネル側の面に設けられた接続用パッド18と有機EL表示部側の面に設けられた接続用パッド19とは何れも、ガラス基板1の一方の額縁領域の表面と裏面の対応する箇所に集約して設けられ、これにより電気的接続に要するスペースが極めて狭いもので充分な配置とされている。   That is, the FPC connection pads 20 provided on the surface of the glass substrate 1 on the side of the organic EL display unit are provided on one side of the frame area, thereby enabling electrical connection with an external device in a narrow space. . Similarly, both the connection pad 18 provided on the surface on the touch panel side and the connection pad 19 provided on the surface on the organic EL display unit side correspond to the front and back surfaces of one frame region of the glass substrate 1. Therefore, the space required for electrical connection is extremely narrow and the arrangement is sufficient.

通常はタッチパネル用接続端子は8個であるので、ガラス基板1のタッチパネル側表面の端部近くに配置した8箇所の接続用パッド18と、裏面に形成した8箇所の接続用パッド19とを異方性導電部材23を用いて導通させ、ガラス基板1の裏面にまとめて配置したFPC接続パッド20とFPC21とを接続すれば、FPC21との接続回数は1回で済ませることが可能となる。
Usually, since there are eight touch panel connection terminals, the eight connection pads 18 arranged near the end of the touch panel side surface of the glass substrate 1 are different from the eight connection pads 19 formed on the back surface. If the FPC connection pad 20 and the FPC 21 arranged together on the back surface of the glass substrate 1 are connected using the isotropic conductive member 23, the number of connection with the FPC 21 can be reduced to one.

本発明の表示装置一体型タッチパネルは、以下のようにして作製することができる。   The display device-integrated touch panel of the present invention can be manufactured as follows.

図6は、本発明の表示装置一体型タッチパネルの製造プロセスの一例を説明するための工程概念図である。先ず、ガラス基板1の裏面の各画素形成領域に予めTFT(不図示)を形成したガラス基板1(TFT形成済ガラス基板)を準備してその裏面に透明電極層7aとしてITOを形成する(ステップS101)。このガラス基板1の表面にアルミニウム層13をスパッタ成膜し(ステップS102)、これをフォトリソグラフィーとエッチングにより短絡電極パターンを形成する(ステップS103)。これに続き、ガラス基板1の表面に圧電材料であるZnO膜14をスパッタ成膜し(ステップS104)、これをフォトリソグラフィーとエッチングにより短絡電極パターン上のZnO膜14のみが残るように加工して圧電パターンを形成する(ステップS105)。   FIG. 6 is a process conceptual diagram for explaining an example of the manufacturing process of the display device-integrated touch panel of the present invention. First, a glass substrate 1 (TFT-formed glass substrate) in which TFTs (not shown) are formed in advance on each pixel formation region on the back surface of the glass substrate 1 is prepared, and ITO is formed on the back surface thereof as a transparent electrode layer 7a (step) S101). An aluminum layer 13 is formed by sputtering on the surface of the glass substrate 1 (step S102), and a short-circuit electrode pattern is formed by photolithography and etching (step S103). Subsequently, a ZnO film 14 that is a piezoelectric material is formed by sputtering on the surface of the glass substrate 1 (step S104), and this is processed by photolithography and etching so that only the ZnO film 14 on the short-circuit electrode pattern remains. A piezoelectric pattern is formed (step S105).

この圧電パターンの上に櫛型電極15をスクリーン印刷により形成し(ステップS106)、さらに櫛型電極15の所定位置とこの櫛型電極15に近接するガラス基板1上の所定位置にバス電極16a、16bをスクリーン印刷により形成する(ステップS107)。上記のステップS102〜S107の一連の工程により、ガラス基板1の表面にSAWタッチパネルが作製される。   A comb-shaped electrode 15 is formed on the piezoelectric pattern by screen printing (step S106), and the bus electrode 16a is formed at a predetermined position of the comb-shaped electrode 15 and a predetermined position on the glass substrate 1 adjacent to the comb-shaped electrode 15. 16b is formed by screen printing (step S107). A SAW touch panel is produced on the surface of the glass substrate 1 by the series of steps S102 to S107.

上記SAWタッチパネルの作製に続いて、ガラス基板1の裏面の透明電極層7a上に、スクリーン印刷にて各画素を離隔するための画素間絶縁壁11を形成し(ステップS108)、当該画素間絶縁壁11で区画された画素形成領域にインクジェット印刷により正孔注入層17を設け(ステップS109)、さらに正孔注入層17上に青、緑、および赤の光を発光する発光ポリマをインクジェット印刷(もしくはスタンピングなど)により塗布して有機発光層10を形成する(ステップS110)。そして、最後にカソード層である反射電極11をスクリーン印刷して有機EL表示部が完成する(ステップS111)。   Following the production of the SAW touch panel, an inter-pixel insulating wall 11 is formed on the transparent electrode layer 7a on the back surface of the glass substrate 1 to separate each pixel by screen printing (step S108). A hole injection layer 17 is provided by ink jet printing in the pixel formation region defined by the wall 11 (step S109), and a light emitting polymer that emits blue, green, and red light is further ink jet printed on the hole injection layer 17 ( Alternatively, the organic light-emitting layer 10 is formed by coating by stamping or the like (step S110). Finally, the reflective electrode 11 as the cathode layer is screen-printed to complete the organic EL display unit (step S111).

なお、好ましくは、上記ステップS108以降の有機EL表示部作製工程に先立ち、SAWタッチパネルに傷や汚れなどがつくことを防止するために、SAWタッチパネル面を保護フィルムなどにより被覆しておく。この場合の保護フィルムとしては、比較的弱い粘着力の粘着フィルムや、あるいはストリップマスクを印刷・乾燥させたフィルムなどを用いることができる。   Preferably, the SAW touch panel surface is covered with a protective film or the like in order to prevent the SAW touch panel from being scratched or soiled prior to the organic EL display section manufacturing process after step S108. As the protective film in this case, an adhesive film having a relatively weak adhesive force, a film obtained by printing and drying a strip mask, or the like can be used.

また、上記製造プロセス例では、圧電材料であるZnOの成膜に先立ってITOの成膜を行っているが、これらの成膜の順序を逆にしてもよい。すなわち、ガラス基板1の表面にステップS102〜S107の手順でSAWタッチパネルを作製した後に、ガラス基板1の裏面の画素形成領域に相当する箇所にITOなどの材料で透明電極パターンを形成するようにしてもよい。この場合には、既に形成されたトランスデューサが高温に曝されてSAWの発信/受信特性が劣化することを避けるために、250℃以下の低温で透明電極パターンが形成される。また、ITOに換えて、低温処理が可能な透明導電ポリマを用いて透明電極パターンを形成するようにしてもよい。この場合、透明導電ポリマ材の乾燥は130〜140℃で実行され、極めて低温で透明電極パターンが形成できる。   Further, in the above manufacturing process example, the ITO film is formed prior to the formation of the ZnO which is the piezoelectric material, but the order of these film formations may be reversed. That is, after the SAW touch panel is manufactured on the surface of the glass substrate 1 by the procedure of steps S102 to S107, a transparent electrode pattern is formed with a material such as ITO at a position corresponding to the pixel formation region on the back surface of the glass substrate 1. Also good. In this case, the transparent electrode pattern is formed at a low temperature of 250 ° C. or lower in order to prevent the already formed transducer from being exposed to a high temperature to deteriorate the SAW transmission / reception characteristics. Further, instead of ITO, the transparent electrode pattern may be formed using a transparent conductive polymer that can be processed at a low temperature. In this case, the transparent conductive polymer material is dried at 130 to 140 ° C., and a transparent electrode pattern can be formed at an extremely low temperature.

さらに、上記製造プロセス例では、ガラス基板1としてTFT形成済ガラス基板を用いることとしたが、ベアのガラス基板1の裏面に250℃以下の低温でTFTを形成するようにしてもよい。この場合のTFT形成用材料としてポリマ材を用いることとすれば、低温処理が可能となるというメリットがある。   Furthermore, in the manufacturing process example described above, a TFT-formed glass substrate is used as the glass substrate 1. However, TFTs may be formed on the back surface of the bare glass substrate 1 at a low temperature of 250 ° C. or lower. If a polymer material is used as the TFT forming material in this case, there is a merit that low-temperature processing is possible.

以上説明したように、本発明によれば、表示装置とタッチパネルとを同一基板に作り込むこととしたので、高分解能位置検出が可能な薄型・小型の表示装置一体型のタッチパネルを提供することが可能となる。   As described above, according to the present invention, since the display device and the touch panel are formed on the same substrate, it is possible to provide a thin and small display device integrated touch panel capable of high-resolution position detection. It becomes possible.

以上本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。   Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to the specific embodiments, and various modifications and changes can be made within the scope of the gist of the present invention described in the claims. It can be changed.

本発明の表示装置一体型タッチパネルの構成を説明するための平面概略図である。It is a plane schematic diagram for demonstrating the structure of the display apparatus integrated touch panel of this invention. 本発明の表示装置一体型タッチパネルの構成を説明するための断面概略図である。It is a cross-sectional schematic diagram for demonstrating the structure of the display apparatus integrated touch panel of this invention. SAWタッチパネルにおける接触位置検出の原理を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the principle of the contact position detection in a SAW touch panel. 本発明の表示装置一体型タッチパネルが備えている有機EL表示部の構成を説明するための断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram for demonstrating the structure of the organic electroluminescent display part with which the display apparatus integrated touch panel of this invention is provided. 本発明の表示装置一体型タッチパネルにフレキシブル基板などを接続した状態を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the state which connected the flexible substrate etc. to the display apparatus integrated touch panel of this invention. 本発明の表示装置一体型タッチパネルの製造プロセスを説明するための工程概念図である。It is a process conceptual diagram for demonstrating the manufacturing process of the display apparatus integrated touch panel of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 ガラス基板
2a、2b 送信用トランスデューサ
3a、3b 受信用トランスデューサ
4 有機EL表示部
5 ガラス層
6 薄膜トランジスタ
7a 透明電極層
7b 層間絶縁層
8 コンタクトホール
9 アノード
10 有機発光層
11 画素間絶縁壁
12 反射電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass substrate 2a, 2b Transmitting transducer 3a, 3b Receiving transducer 4 Organic EL display part 5 Glass layer 6 Thin-film transistor 7a Transparent electrode layer 7b Interlayer insulating layer 8 Contact hole 9 Anode 10 Organic light emitting layer 11 Interpixel insulating wall 12 Reflective electrode

Claims (18)

単一の非圧電基板の一方主面に設けられたSAWタッチパネルと、前記非圧電基板の他方主面に設けられた有機EL表示部とを備え、
前記SAWタッチパネルは、表面弾性波を励振する発信用トランスデューサと、表面弾性波を受信する受信用トランスデューサとを、前記非圧電基板の周縁部に備え、前記励振素子から前記受信素子へ伝播する表面弾性波の、前記受信素子での受信結果に基づいて、前記非圧電基板の一方主面上の接触位置を検出するものであり、
前記発信用および受信用トランスデューサは何れも、薄膜状の圧電体の一方主面に設けられた「く」の字型の櫛形電極と他方主面に設けられた平板ベタ電極とを備え、前記櫛型電極が前記非圧電基板の周縁部に沿って連続配置され
前記非圧電基板の周縁部の一部領域に、前記SAWタッチパネルと前記有機EL表示部とを接続するための第1端子部が集約して設けられ、
前記非圧電基板の周縁部の他の一部領域に、外部機器と接続するための第2端子部が集約して設けられ、
前記第1端子部は、前記非圧電基板の一方主面及び前記非圧電基板の他方主面に設けられ、
前記第2端子部は、前記非圧電基板の他方主面に設けられていることを特徴とするタッチパネル。
A SAW touch panel provided on one main surface of a single non-piezoelectric substrate, and an organic EL display unit provided on the other main surface of the non-piezoelectric substrate,
The SAW touch panel includes a transmitting transducer for exciting a surface acoustic wave and a receiving transducer for receiving a surface acoustic wave at a peripheral portion of the non-piezoelectric substrate, and the surface elasticity propagating from the excitation element to the receiving element. Detecting a contact position on one main surface of the non-piezoelectric substrate based on a reception result of the wave at the receiving element;
Each of the transmitting and receiving transducers includes a "<"-shaped comb-shaped electrode provided on one main surface of a thin-film piezoelectric body and a flat plate electrode provided on the other main surface. A mold electrode is continuously disposed along the peripheral edge of the non-piezoelectric substrate ;
A first terminal portion for connecting the SAW touch panel and the organic EL display portion is collectively provided in a partial region of the peripheral portion of the non-piezoelectric substrate,
A second terminal portion for connecting to an external device is provided collectively in another partial region of the peripheral portion of the non-piezoelectric substrate,
The first terminal portion is provided on one main surface of the non-piezoelectric substrate and the other main surface of the non-piezoelectric substrate,
The touch panel, wherein the second terminal portion is provided on the other main surface of the non-piezoelectric substrate .
前記薄膜状の圧電体は、AlNまたはZnOであることを特徴とする請求項1に記載のタッチパネル。 The touch panel according to claim 1, wherein the thin film piezoelectric body is AlN or ZnO. 前記有機EL表示部は、透明電極上に設けられ且つ薄膜トランジスタで駆動される、赤(R)、緑(G)、および青(B)の各色の光を発光する3つの領域で1つの画素が構成されているフルカラー表示部であることを特徴とする請求項1または2に記載のタッチパネル。 The organic EL display unit is provided on a transparent electrode and is driven by a thin film transistor. One pixel is formed by three regions emitting light of each color of red (R), green (G), and blue (B). The touch panel according to claim 1, wherein the touch panel is a configured full-color display unit. 前記発光領域の構成部材は、発光ポリマであることを特徴とする請求項3に記載のタッチパネル。 The touch panel as set forth in claim 3, wherein the constituent member of the light emitting region is a light emitting polymer. 前記第1端子部は、前記非圧電基板の一方主面及び前記非圧電基板の他方主面の、同じ領域に設けられ、
前記一方主面に設けられた第1端子部と、前記他方主面に設けられた第1端子部と、を接続する異方性導電部材を有することを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載のタッチパネル。
The first terminal portion is provided in the same region of one main surface of the non-piezoelectric substrate and the other main surface of the non-piezoelectric substrate,
5. The anisotropic conductive member for connecting the first terminal portion provided on the one main surface and the first terminal portion provided on the other main surface, respectively. 6. The touch panel as described in Crab.
前記第2端子部は、フレキシブル基板またはフレキシブルケーブルと接続されるための端子であることを特徴とする請求項5に記載のタッチパネル。 The touch panel as set forth in claim 5, wherein the second terminal portion is a terminal to be connected to a flexible substrate or a flexible cable . 前記非圧電基板は、ガラス板、石英板、もしくは硬質プラスチック板であることを特徴とする請求項1乃至6の何れかに記載のタッチパネル。 The touch panel according to claim 1, wherein the non-piezoelectric substrate is a glass plate, a quartz plate, or a hard plastic plate. 前記透明電極の構成材料は、ITOまたは透明導電ポリマ材であることを特徴とする請求項3乃至7の何れかに記載のタッチパネル。 The touch panel according to claim 3, wherein the constituent material of the transparent electrode is ITO or a transparent conductive polymer material. 前記薄膜トランジスタの構成材料は、ポリマ材であることを特徴とする請求項3乃至8の何れかに記載のタッチパネル。 9. The touch panel according to claim 3, wherein the constituent material of the thin film transistor is a polymer material. 単一の非圧電基板の一方主面にSAWタッチパネルを形成する第1のステップと、前記非圧電基板の他方主面に有機EL表示部を形成する第2のステップとを備え、
前記第1のステップは、表面弾性波を励振する発信用トランスデューサと、表面弾性波を受信する受信用トランスデューサとを、前記非圧電基板の周縁部に形成するサブステップを備え、
該サブステップは、
前記非圧電基板の表面所定領域に短絡電極パターンを形成するステップと、
前記短絡電極パターン上に圧電体を形成してパターニングするステップと、
前記パターニングされた圧電体上に櫛型電極を形成するするステップと、
前記櫛型電極に接続されるバス電極を形成するステップと、
前記非圧電基板の周縁部に集約され、前記非圧電基板の一方主面及び前記非圧電基板の他方主面の、同じ領域に設けられた第1端子部を、異方性導電部材を用いて接続するステップと、
前記非圧電基板の周縁部の他の一部領域に集約され、前記非圧電基板の他方主面に設けられている第2端子部を、フレキシブル基板またはフレキシブルケーブルと接続するステップと、を備えていることを特徴とするタッチパネルの製造方法。
A first step of forming a SAW touch panel on one main surface of a single non-piezoelectric substrate, and a second step of forming an organic EL display unit on the other main surface of the non-piezoelectric substrate,
The first step includes a sub-step of forming a transmitting transducer for exciting a surface acoustic wave and a receiving transducer for receiving the surface acoustic wave at a peripheral portion of the non-piezoelectric substrate,
The substep is:
Forming a short-circuit electrode pattern on a predetermined region of the surface of the non-piezoelectric substrate;
Forming and patterning a piezoelectric body on the short-circuit electrode pattern; and
Forming a comb electrode on the patterned piezoelectric body;
Forming a bus electrode connected to the comb electrode;
Using the anisotropic conductive member, the first terminal portion that is concentrated on the peripheral portion of the non-piezoelectric substrate and is provided in the same region of the one main surface of the non-piezoelectric substrate and the other main surface of the non-piezoelectric substrate is used. Connecting, and
Connecting a second terminal portion that is aggregated in another partial region of the peripheral portion of the non-piezoelectric substrate and provided on the other main surface of the non-piezoelectric substrate to a flexible substrate or a flexible cable. A method for manufacturing a touch panel, comprising:
前記第2のステップは、前記非圧電基板の裏面所定領域に透明電極パターンを形成するステップを備えていることを特徴とする請求項10に記載のタッチパネルの製造方法。 The touch panel manufacturing method according to claim 10, wherein the second step includes a step of forming a transparent electrode pattern in a predetermined area on the back surface of the non-piezoelectric substrate. 前記第2のステップは、前記非圧電基板の裏面所定領域に前記有機EL表示部駆動用の薄膜トランジスタを形成するステップを備えていることを特徴とする請求項10または11に記載のタッチパネルの製造方法。 12. The method of manufacturing a touch panel according to claim 10, wherein the second step includes a step of forming a thin film transistor for driving the organic EL display unit in a predetermined back surface region of the non-piezoelectric substrate. . 前記第2のステップは、インクジェット法、スタンピング法、またはスクリーン印刷法の何れかの方法により実行されるものであることを特徴とする請求項10乃至12の何れかに記載のタッチパネルの製造方法。 The touch panel manufacturing method according to claim 10, wherein the second step is performed by any one of an inkjet method, a stamping method, and a screen printing method. 前記透明電極パターンの形成温度は、250℃以下であることを特徴とする請求項11乃至13の何れかに記載のタッチパネルの製造方法。 The method for manufacturing a touch panel according to claim 11, wherein the formation temperature of the transparent electrode pattern is 250 ° C. or less. 前記透明電極パターンは透明導電ポリマ材で形成され、該透明導電ポリマ材の乾燥は130〜140℃で実行されることを特徴とする請求項14に記載のタッチパネルの製造方法。 The method of claim 14, wherein the transparent electrode pattern is formed of a transparent conductive polymer material, and the transparent conductive polymer material is dried at 130 to 140 ° C. 前記薄膜トランジスタの形成温度は、250℃以下であることを特徴とする請求項12乃至15の何れかに記載のタッチパネルの製造方法。 The method for manufacturing a touch panel according to claim 12, wherein a formation temperature of the thin film transistor is 250 ° C. or less. 前記第2のステップに先立ち、前記SAWタッチパネルの面を保護するための保護フィルムを張る第3のステップを備えていることを特徴とする請求項10乃至16の何れかに記載のタッチパネルの製造方法。 The touch panel manufacturing method according to any one of claims 10 to 16, further comprising a third step of applying a protective film for protecting the surface of the SAW touch panel prior to the second step. . 前記保護フィルムは、ストリップマスクであることを特徴とする請求項17に記載のタッチパネルの製造方法。 The touch panel manufacturing method according to claim 17, wherein the protective film is a strip mask.
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