JP4524151B2 - Substrate with light-shielding film for plasma display and plasma display using the same - Google Patents

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本発明は、情報表示端末や平面型テレビなどに用いられるプラズマディスプレイパネル(以下、「PDP」とも称す)に関し、特に、高コントラストを実現するためのプラズマディスプレイ用遮光膜付基板及び、プラズマディスプレイに関する。   The present invention relates to a plasma display panel (hereinafter also referred to as “PDP”) used for information display terminals, flat-screen televisions, and the like, and more particularly to a substrate with a light-shielding film for plasma display and a plasma display for realizing high contrast. .

PDPは、対向する一対の基板(前面基板及び背面基板)間に密封したガスの放電によって発生した紫外線により蛍光体層を発光させて画像を表示するディスプレイである。
このPDPは、放電形式により直流型と交流型に分類され、また、電極の形態により対向電極型と面放電型に大別される。この中で、交流面放電型が輝度、発光効率の点で優れており、広く使用されている。このようなPDPの一例は、「プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法」として開示している(例えば、特許文献1参照。)。
The PDP is a display that displays an image by causing a phosphor layer to emit light by ultraviolet rays generated by discharge of a gas sealed between a pair of opposing substrates (a front substrate and a back substrate).
This PDP is classified into a direct current type and an alternating current type according to a discharge type, and is roughly divided into a counter electrode type and a surface discharge type according to the form of an electrode. Among these, the AC surface discharge type is excellent in terms of luminance and luminous efficiency, and is widely used. An example of such a PDP is disclosed as “Plasma Display Panel and Method for Manufacturing the Same” (for example, see Patent Document 1).

PDPで用いられる蛍光体は、反射率が非常に高い白色の粉末である。従って室内や屋外の光(外光)がパネルに入射すると、主に蛍光体粉末によって30%〜50%程度は反射され、コントラストや色純度が著しく損なわれる。このためパネル面に透過率40〜80%程度のNDフィルターを配置する方法もあるが、パネルの発光も遮るため、パネル輝度が低下するという欠点がある。   The phosphor used in the PDP is a white powder having a very high reflectance. Accordingly, when indoor or outdoor light (external light) is incident on the panel, the phosphor powder is mainly reflected by about 30% to 50%, and contrast and color purity are significantly impaired. For this reason, there is a method of disposing an ND filter having a transmittance of about 40 to 80% on the panel surface. However, since the panel emits light, the panel brightness is lowered.

パネル輝度をできるだけ減らさずに、外光の反射を押さえる方法として、カラーフィルターを用いる方法がある。これは赤、緑、青(以下、R、G、Bとも記す)の各放電セルの発光色に対応して、表示面側に赤、緑、青の光を透過するカラーフィルターを形成するものである。   There is a method using a color filter as a method for suppressing reflection of external light without reducing the panel luminance as much as possible. This forms a color filter that transmits red, green, and blue light on the display surface side corresponding to the emission color of each discharge cell of red, green, and blue (hereinafter also referred to as R, G, and B). It is.

さらに、コントラストを向上させるために、放電セル間に黒色の遮光膜が形成される。これは表示面の外光反射を低減する役割を果たす。この遮光膜は、通常は鉄、クロム、ニッケル、コバルト等の金属酸化物粉末と低融点鉛ガラスなどからなるペーストを厚膜印刷することで形成される。また、カラーフィルターを用いると輝度が低下するという欠点があるので、カラーフィルターを用いずに遮光膜のみを用いるものもある。   Furthermore, in order to improve contrast, a black light-shielding film is formed between the discharge cells. This serves to reduce external light reflection on the display surface. This light-shielding film is usually formed by thick-film printing a paste made of a metal oxide powder such as iron, chromium, nickel or cobalt and low melting point lead glass. In addition, since there is a disadvantage that the luminance is lowered when a color filter is used, there are some that use only a light shielding film without using a color filter.

従来、高い遮光性を有する遮光膜を作製するには、金属を用いることが考えられ、例えば、金属薄膜を蒸着法やスパッタリング法により作製し、該金属薄膜の上にフォトレジストを塗布し、次いで表示装置用遮光膜付基板用パターンをもつフォトマスクを用いてフォトレジスト層を露光現像し、その後露出した金属薄膜をエッチングし、最後に金属薄膜上のレジスト層を剥離することにより形成する方法が挙げられる(例えば、非特許文献1を参照)。   Conventionally, in order to produce a light shielding film having high light shielding properties, it is considered to use a metal. For example, a metal thin film is produced by vapor deposition or sputtering, and a photoresist is applied on the metal thin film, A method of forming by exposing and developing a photoresist layer using a photomask having a pattern for a substrate with a light-shielding film for a display device, etching the exposed metal thin film, and finally peeling off the resist layer on the metal thin film. (For example, refer nonpatent literature 1).

この方法は、金属薄膜を用いるため、膜厚が小さくても高い遮光効果が得られる反面、蒸着法やスパッタリング法という真空成膜工程やエッチング工程が必要となり、コストが高くなるという問題がある。また、金属膜であるため反射率が高く、強い外光の下では表示コントラストが低いという問題もある。これに対しては低反射クロム膜(金属クロムと酸化クロムの2層からなるもの等)を用いるという手段があるが、更にコストアップとなることは否めない。そして、この方法で最もよく用いられるクロムは、環境負荷が大きいという欠点を有する。   Since this method uses a metal thin film, a high light-shielding effect can be obtained even if the film thickness is small, but there is a problem that a vacuum film forming process or an etching process such as a vapor deposition method or a sputtering method is required and the cost is increased. In addition, since it is a metal film, there is a problem that the reflectance is high and the display contrast is low under strong external light. For this, there is a means of using a low-reflective chromium film (such as one composed of two layers of metal chromium and chromium oxide), but it cannot be denied that the cost is further increased. And the chromium used most by this method has the fault that environmental impact is large.

一方、反射率の低い遮光膜付基板を得るためにカーボンブラックを用いて表示装置用遮光膜を形成する技術がある(特許文献2参照)。これは、カーボンブラックを含有する感光性樹脂組成物を基板に塗布して乾燥したものを露光、現像したものである。   On the other hand, there is a technique for forming a light-shielding film for a display device using carbon black in order to obtain a substrate with a light-shielding film having a low reflectance (see Patent Document 2). This is one obtained by exposing and developing a photosensitive resin composition containing carbon black applied to a substrate and drying.

しかし、カーボンブラックは、金属微粒子に比べ単位塗布量あたりの光学濃度が低いため、高い遮光性、光学濃度を確保すると必然的に膜厚が大きくなる。このため、遮光膜部分で段差が生じ、セルに組む際に段差の影響が出ないような設計上の配慮が必要となる。また遮光膜を設けた後から赤、青、緑色などの画素を形成する場合も、表面が凹凸になりやすい。これらの段差を解消するには、基板表面を研磨して平滑性を確保する、表面に平坦化層を設けるなどの方法もあるが、コストアップとなる。   However, since the carbon black has a lower optical density per unit coating amount than the metal fine particles, the film thickness inevitably increases if a high light shielding property and optical density are ensured. For this reason, there is a step in the light shielding film portion, and it is necessary to consider the design so that the step is not affected when assembled in the cell. In addition, when the pixels such as red, blue, and green are formed after the light shielding film is provided, the surface tends to be uneven. In order to eliminate these steps, there are methods such as polishing the substrate surface to ensure smoothness and providing a planarizing layer on the surface, but this increases the cost.

また、無電解メッキを用いて、ニッケルなどの金属を膜中に生成させる遮光膜の形成方法が開示されている(特許文献3参照)。この方法もメッキ工程を含むので、金属スパッタ膜を用いる方法同様、製造の環境負荷が大きい。   Further, a method for forming a light shielding film is disclosed in which a metal such as nickel is generated in the film using electroless plating (see Patent Document 3). Since this method also includes a plating step, the environmental burden of manufacturing is large as in the method using a metal sputtered film.

また、無電解メッキを用いてニッケルなどの金属の硫化物を膜中に生成させる遮光膜の形成方法が開示されている(特許文献4参照)。この方法もメッキ工程を含むので金属スパッタ膜を用いる方法同様製造の環境負荷が大きい。
特開平11−135023号公報 特開昭62−9301号公報 特開平5−241016号公報 特開平7−218715号公報 「カラーTFT液晶ディスプレイ」共立出版(株)、1997年4月10日、第218〜220頁
Further, a method for forming a light-shielding film is disclosed in which a metal sulfide such as nickel is generated in the film using electroless plating (see Patent Document 4). Since this method also includes a plating step, the environmental burden of manufacturing is large as in the method using a metal sputtered film.
JP 11-1335023 A JP-A-62-9301 JP-A-5-241016 JP-A-7-218715 “Color TFT LCD”, Kyoritsu Shuppan Co., Ltd., April 10, 1997, pp. 218-220

本発明は、上述のような問題に鑑みなされたものであり、その目的は、環境負荷が小さく、薄層で高遮光性を有し、かつ観察者側から見た時に反射率の低い遮光膜付基板を提供することである。
また、本発明は、環境負荷が小さく、薄膜で高遮光性を有し、かつ観察者側から見たときに反射率の低いプラズマディスプレイ用の遮光膜付基板を提供することであり、更に、それを用いたプラズマディスプレイを提供することである。
The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a light-shielding film having a low environmental load, a thin layer and high light-shielding properties, and a low reflectance when viewed from the observer side. It is to provide an attached substrate.
Further, the present invention is to provide a substrate with a light-shielding film for a plasma display having a low environmental load, a thin film having a high light-shielding property, and a low reflectance when viewed from the observer side. It is to provide a plasma display using the same.

上記目的は、下記の本発明により達成される。
<1> 基板と、該基板の少なくとも一方の側の、少なくとも一部に遮光膜を有す、プラズマディスプレイ用遮光膜付基板であって、該遮光膜が、金属微粒子を含有する樹脂層を含み、該遮光膜の555nmにおける厚さ1μmあたりのODが3から20であり、前記金属微粒子が、平均粒径が異なる金属微粒子を2種以上含み、かつその平均粒径の差が10nm以上であることを特徴とするプラズマディスプレイ用遮光膜付基板。
The above object is achieved by the present invention described below.
<1> A substrate with a light-shielding film for a plasma display having a light-shielding film on at least a part of at least one side of the substrate, the light-shielding film comprising a resin layer containing metal fine particles The light shielding film has an OD of 3 to 20 at a thickness of 555 nm of 3 to 20 , the metal fine particles contain two or more kinds of metal fine particles having different average particle diameters, and the difference between the average particle diameters is 10 nm or more . A substrate with a light-shielding film for a plasma display.

> <1>記載のプラズマディスプレイ用遮光膜付基板を用いたプラズマディスプレイ。 <2><1> Symbol plasma display using a plasma shielding film substrate with a display mounting.

本発明によれば、環境負荷が小さく、薄膜で高遮光性を有し、かつ観察者側から見た時に反射率の低い遮光膜付基板を提供することができる。
また、本発明は、環境負荷が小さく、薄膜で高遮光性を有し、かつ観察者側から見たときに反射率の低いプラズマディスプレイ用の遮光膜付基板を提供することができ、更に、それを用いたプラズマディスプレイを提供することができる。
According to the present invention, it is possible to provide a light-shielding film-attached substrate that has a low environmental load, is thin, has high light-shielding properties, and has low reflectance when viewed from the observer side.
In addition, the present invention can provide a substrate with a light-shielding film for a plasma display having a low environmental load, a thin film and high light-shielding properties, and a low reflectance when viewed from the observer side. A plasma display using the plasma display can be provided.

本発明のプラズマディスプレイ用遮光膜付基板は、基板と、該基板の少なくとも一方の側の、少なくとも一部に遮光膜を有し、該遮光膜が金属微粒子を含有する樹脂層を含み、該遮光膜の555nmにおける厚さ1μmあたりの光学濃度(OD)が3から20であり、前記金属微粒子が、平均粒径が異なる金属微粒子を2種以上含み、かつその平均粒径の差が10nm以上であることを特徴とする。 The substrate with a light-shielding film for plasma display of the present invention has a light-shielding film on at least a part of the substrate and at least one side of the substrate, and the light-shielding film includes a resin layer containing metal fine particles. The optical density (OD) per 1 μm thickness at 555 nm of the film is 3 to 20 , the metal fine particles contain two or more kinds of metal fine particles having different average particle diameters, and the difference between the average particle diameters is 10 nm or more . It is characterized by being.

基板に遮光膜を有し、該遮光膜が金属微粒子を含有する樹脂層を含み、遮光膜の555nmにおける厚さ1μmあたりの光学濃度(OD)を前記範囲であり、前記金属微粒子が、平均粒径が異なる金属微粒子を2種以上含み、かつその平均粒径の差が10nm以上とすることより、環境負荷が小さく、薄膜で高遮光性を有し、かつ観察者側から見た時に反射率の低いプラズマディスプレイ用遮光膜付基板を提供することができるものである。 Substrate has a light shielding film includes a resin layer light-shielding film containing metal fine particles is within the above range the optical density (OD) per thickness 1μm in 555nm of the light shielding film, the metal fine particles, average Since it contains two or more types of metal fine particles with different particle diameters and the difference in average particle diameter is 10 nm or more, the environmental load is small, the film is thin and highly light-shielding, and it is reflected when viewed from the observer side It is possible to provide a substrate with a light-shielding film for a plasma display with a low rate.

《プラズマディスプレイ用遮光膜付基板》
本発明のプラズマディスプレイ(以下、「PD」ともいう。)用遮光膜付基板は、基板と該基板の少なくとも一方の側の少なくとも一部に遮光膜を有する。
《Substrate with light shielding film for plasma display》
The substrate with a light-shielding film for a plasma display (hereinafter also referred to as “PD”) of the present invention has a light-shielding film on at least a part of the substrate and at least one side of the substrate.

<遮光膜>
前記遮光膜は、金属微粒子を含有する樹脂層を含むが、更に光吸収層を有することが好ましい。
本発明の遮光膜「ブラックマトリックス(BMともいう)」はプラズマディスプレイに使用することが特に望ましい。
遮光膜の厚みは0.2から0.9μm、より好ましくは0.3から0.6μm、最も好ましいのは0.4から0.5μmの範囲が望ましい。厚みが0.2μm未満になると遮光性が低下し、厚みが0.9μmを超えるとこの後設ける赤、青、緑の画素の表面が平滑にならず色むらが発生する場合がある。
可視光域での該遮光膜の光学濃度(OD)は好ましくは3.0以上7.0以下、より好ましくは3.5以上6.5以下、最も好ましくは4以上6以下である。光学濃度が3未満になるとコントラストが低下し、表示品位が低下し、またバックライトによる額縁部分の透け、等が問題となる場合があり、7.0以上だと膜厚が厚くなる場合がある。
<Light shielding film>
The light shielding film includes a resin layer containing metal fine particles, but preferably further includes a light absorption layer.
The light shielding film “black matrix (also referred to as BM)” of the present invention is particularly preferably used for a plasma display.
The thickness of the light shielding film is preferably in the range of 0.2 to 0.9 μm, more preferably 0.3 to 0.6 μm, and most preferably 0.4 to 0.5 μm. When the thickness is less than 0.2 μm, the light-shielding property is lowered. When the thickness exceeds 0.9 μm, the surface of red, blue, and green pixels to be subsequently provided may not be smooth and color unevenness may occur.
The optical density (OD) of the light-shielding film in the visible light region is preferably 3.0 or more and 7.0 or less, more preferably 3.5 or more and 6.5 or less, and most preferably 4 or more and 6 or less. When the optical density is less than 3, the contrast is lowered, the display quality is deteriorated, and there is a case where the frame portion is transparent due to the backlight. When the optical density is 7.0 or more, the film thickness may be increased. .

この光学濃度(OD)範囲を実現するためには、波長555nmにおける光学濃度(OD)が厚さ1μmあたり3から20とする必要があり、より好ましくは4から15、最も好ましくは8から12である。   In order to realize this optical density (OD) range, the optical density (OD) at a wavelength of 555 nm needs to be 3 to 20 per 1 μm thickness, more preferably 4 to 15, most preferably 8 to 12. is there.

前記遮光膜は、一般的にカラーフィルターに要求される耐熱性、耐光性、耐薬品性、表面の平滑性、硬度などの性能が求められ、これらの要求性能についてはたとえば「カラーフィルターの成膜技術とケミカルズ(渡辺 順次監修、株式会社シーエムシー、1998年発行)」の189ページ、「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男著 工業調査会 1994年発行)」の117ページに記載されている。必要な性能は従来公知の遮光膜同様、顔料/バインダー比、バインダー種、露光や熱処理条件などで制御することができる。   The light-shielding film is required to have performances such as heat resistance, light resistance, chemical resistance, surface smoothness, and hardness generally required for a color filter. Page 189 of "Technology and Chemicals (supervised sequentially by Watanabe, CMC Co., Ltd., published in 1998)" and page 117 of "Next-generation liquid crystal display technology (published by Tatsuo Uchida, Industrial Research Committee, 1994)". The required performance can be controlled by the pigment / binder ratio, binder type, exposure and heat treatment conditions, etc., as in the known light-shielding film.

(金属微粒子を含有する樹脂層)
以下、前記金属微粒子を含有する樹脂層について説明する。
該樹脂層は、金属微粒子とともに樹脂を含有するが、本発明の金属微粒子を含有する樹脂層は、カーボンブラックや顔料と異なり、光を反射させて遮光することで高い遮蔽効率を実現していると考えられる層である。これにより遮光膜の膜厚を薄くすることができる。また 基板側(ディスプレーとしての観察者の側)から入射した光は、光吸収層を経て漏れた光を反射して基板側に戻すが、本発明の金属微粒子を含有する層内部の金属微粒子の表面プラズモンによる吸収(吸収係数が10E7前後)で、反射を減らすことができる。また、光吸収層を基板と金属微粒子を含有する層との間に設けている場合は、光吸収層を経て漏れた光を反射して基板側に戻し、光吸収層の厚みを薄くすることができる。
このように光を反射する性質と光を吸収する性質を併せ持っていることで、反射率がアルミの鏡面(可視光域で99%以上)などより低いにもかかわらず、高い遮蔽力を有すると同時に、観察者側からの光の反射をある程度押さえ、観察者側からの光を実用上許容できるレベルまで反射防止できると考えられる。さらに、比較的薄い光吸収層を設けることにより顕著な効果を奏する。
(Resin layer containing fine metal particles)
Hereinafter, the resin layer containing the metal fine particles will be described.
The resin layer contains a resin together with the metal fine particles. However, unlike the carbon black and the pigment, the resin layer containing the metal fine particles of the present invention realizes a high shielding efficiency by reflecting and shielding light. It is considered a layer. Thereby, the film thickness of the light shielding film can be reduced. The light incident from the substrate side (observer side as a display) reflects the light leaked through the light absorption layer and returns to the substrate side. However, the metal fine particles inside the layer containing the metal fine particles of the present invention Reflection can be reduced by absorption by surface plasmons (absorption coefficient is around 10E7). If the light absorption layer is provided between the substrate and the layer containing metal fine particles, the light leaking through the light absorption layer is reflected back to the substrate side, and the thickness of the light absorption layer is reduced. Can do.
By having both the property of reflecting light and the property of absorbing light in this way, it has a high shielding power even though the reflectivity is lower than the mirror surface of aluminum (99% or more in the visible light range). At the same time, it is considered that reflection of light from the observer side can be suppressed to some extent, and light from the observer side can be prevented from being reflected to a practically acceptable level. Furthermore, a remarkable effect can be obtained by providing a relatively thin light absorption layer.

また、前記金属微粒子を含有する層の反射率は、同一金属であれば、金属微粒子の膜中濃度が高いほど高くなる。   In addition, the reflectance of the layer containing the metal fine particles increases as the concentration of the metal fine particles in the film increases with the same metal.

また、本発明は環境負荷を小さくする事が目的であるから、金属微粒子を含有する層として、エッチング工程が必要となるような、金属スパッタ、イオンプレーテング、金属蒸着などにより形成された金属膜は不適当である。   In addition, since the object of the present invention is to reduce the environmental load, a metal film formed by metal sputtering, ion plating, metal deposition, or the like that requires an etching process as a layer containing metal fine particles. Is inappropriate.

―金属微粒子―
該金属微粒子が、平均粒径が異なる金属微粒子を2種以上含み、かつその平均粒径の差が10nm以上であることが好ましい。
本発明で用いられる金属微粒子は特に限定されず、いかなるものを用いてもよい。ここで「金属」とは「岩波理化学辞典(第5版、岩波書店 1998年発行)の「金属」444ページに記載されたものをいう。
本発明では、該金属がナノ粒子を形成することが好ましく、ナノ粒子を形成する金属としては、この中で周期表の第3属から第13属の金属が好ましい。これらのうち、銀、ニッケル、コバルト、鉄、銅、パラジウム、金、白金、スズ、亜鉛、アルミニウム、タングステン、チタン、又はクロムが好ましく、金、銀、銅、アルミニウムがより好ましい。
銀を用いたときの遮光膜(金属膜)における反射率は、400nm付近より立ち上がり、500nmでは90%以上の反射率となる。反射率は化合物で異なるが、金、銀、アルミニウムなど可視光領域で高い反射率を持つものが好適に用いられる。とりわけ、コスト、安定性の点銀が好ましい。銀としてはコロイド銀が最も好ましい。
金属微粒子の製造には、上記金属を2種以上組み合わせて用いてもよく、合金として用いることも可能である。
―Metal fine particles―
The metal fine particles preferably include two or more kinds of metal fine particles having different average particle diameters, and the difference in the average particle diameters is preferably 10 nm or more.
The metal fine particles used in the present invention are not particularly limited, and any fine particles may be used. Here, the term “metal” refers to that described in “Metal” on page 444 of “Iwanami Physical and Chemical Dictionary (5th edition, published by Iwanami Shoten 1998)”.
In the present invention, the metal preferably forms a nanoparticle, and the metal forming the nanoparticle is preferably a metal belonging to Group 3 to Group 13 of the periodic table. Among these, silver, nickel, cobalt, iron, copper, palladium, gold, platinum, tin, zinc, aluminum, tungsten, titanium, or chromium is preferable, and gold, silver, copper, and aluminum are more preferable.
The reflectance of the light-shielding film (metal film) when using silver rises from around 400 nm, and the reflectance is 90% or more at 500 nm. Although the reflectance varies depending on the compound, a material having a high reflectance in the visible light region such as gold, silver, and aluminum is preferably used. In particular, silver for cost and stability is preferred. As silver, colloidal silver is most preferable.
In the production of metal fine particles, two or more of the above metals may be used in combination, or may be used as an alloy.

金属微粒子は市販のものを用いることができる他、金属イオンの化学的還元法(脂肪酸銀の熱還元性金属微粒子)、無電解メッキ法、金属の蒸発法等により調製することが可能である。
例えば、銀微粒子(コロイド銀)の場合は、従来から知られている方法、例えば米国特許第2,688,601号明細書に開示されているゼラチン水溶液中で可溶性銀塩をハイドロキノンによって還元する方法、ドイツ特許第1,096,193号明細書に記載されている難溶性銀塩をヒドラジンによって還元する方法、米国特許第2,921,914号明細書に記載されているタンニン酸により銀に還元する方法のごとく銀イオンを溶液中で化学的に還元する方法や、特開平5−134358号公報に記載されている無電解メッキによって銀粒子を形成する方法、バルク金属をヘリウムなどの不活性ガス中で蒸発させ、溶媒でコールドトラップするガス中蒸発法等の方法を用いることが可能である。また、Wiley & Sons, New York, 1933年発行、Weiser著の Colloidal Elements に記載されたCarey Leのデキストリン還元法による黄色コロイド銀の調製方法を用いてもよい。
As the metal fine particles, commercially available ones can be used, and the metal fine particles can be prepared by a chemical reduction method of metal ions (heat-reducible metal fine particles of fatty acid silver), an electroless plating method, a metal evaporation method, or the like.
For example, in the case of silver fine particles (colloidal silver), a conventionally known method, for example, a method of reducing a soluble silver salt with hydroquinone in an aqueous gelatin solution disclosed in US Pat. No. 2,688,601. , A method of reducing a sparingly soluble silver salt described in German Patent 1,096,193 with hydrazine, reduced to silver with tannic acid described in US Pat. No. 2,921,914 A method of chemically reducing silver ions in a solution, a method of forming silver particles by electroless plating described in JP-A-5-134358, and an inert gas such as helium as a bulk metal. It is possible to use a method such as a gas evaporation method in which the solvent is evaporated in the inside and cold trapped with a solvent. Alternatively, a method for preparing yellow colloidal silver by the dextrin reduction method of Carey Le described in Wiley & Sons, New York, 1933, Colloidal Elements by Weiser may be used.

本発明における金属微粒子としては、前記有機金属化合物の熱還元性金属微粒子を原料として用いることも好ましい。ここで、本明細書において、有機金属化合物とは、金属を含有する有機化合物の総称を意味するものである。
用いられる有機金属化合物としては、特に制限されず、またいずれの市販品も使用できる。例えばオレイン酸塩、ナフテン酸塩、オクチル酸塩、ステアリン酸塩、安息香酸塩、パラトイルイル酸塩、n−デカン酸塩等の脂肪酸金属塩、イゾプロポキシド、エトキシド等の金属アルコキシド、上記金属のアセチルアセトン錯塩が挙げられる。これらの中でも、特にオレイン酸塩、パラトイルイル酸塩、ステアリン酸塩、又はn−デカン酸塩等の脂肪酸金属塩、金属エトキシド、或いは金属アセテルアセトネート等がより好ましく、脂肪酸金属塩がさらに好ましく、直鎖脂肪酸金属塩が特に好ましく、炭素数は通常6〜30程度、より好ましくは10〜18である。
また、有機金属化合物は、単独で又は2種以上併用することができる。有機金属化合物の金属も特に制限されず、最終製品の用途に応じて適宜選択することができる。
As the metal fine particles in the present invention, it is also preferable to use the heat-reducible metal fine particles of the organometallic compound as a raw material. Here, in this specification, an organometallic compound is a generic name for organic compounds containing metals.
The organometallic compound used is not particularly limited, and any commercially available product can be used. For example, fatty acid metal salts such as oleate, naphthenate, octylate, stearate, benzoate, paratoyl ylate, n-decanoate, metal alkoxides such as izopropoxide and ethoxide, acetylacetone of the above metals Examples include complex salts. Among these, fatty acid metal salts such as oleate, paratoyl ylate, stearate, or n-decanoate, metal ethoxide, metal acetoacetonate, and the like are more preferable, and fatty acid metal salts are more preferable. Straight chain fatty acid metal salts are particularly preferable, and the number of carbon atoms is usually about 6 to 30, and more preferably 10 to 18.
The organometallic compounds can be used alone or in combination of two or more. The metal of the organometallic compound is not particularly limited, and can be appropriately selected according to the use of the final product.

有機金属化合物の金属成分としては、該有機金属化合物に由来するものであれば特に限定されないが、前期の金属微粒子を構成する金属が好ましい。
本発明における金属成分としては、これらの金属単体、これらの金属混合物、或いはこれらの金属の合金などのあらゆる状態を包含する。
有機金属化合物の金属成分については、例えばそれより得られる超微粒子を金属コーティング膜用に用いる場合は、その金属成分が多くの成分として金属コーティング膜を形成することになるので、その用途等に応じて適宜選択すれば良い。
なお、例えば昇華性があり、急激に分解する等の特性を有する有機金属化合物であっても、昇華性を抑えるために高沸点の溶剤を加える等の工夫により有効に使用することができる。
また、本発明における金属微粒子は、例えば2種以上の金属を含む有機金属化合物を予め混合することによって合金型の超微粒子として調整することも可能である。
原料として有機金属化合物の形態は特に制限されず、粉末状、液状等のいずれのものであっても良い。
The metal component of the organometallic compound is not particularly limited as long as it is derived from the organometallic compound, but the metal constituting the metal fine particles of the previous period is preferable.
The metal component in the present invention includes all states such as a simple substance of these metals, a mixture of these metals, or an alloy of these metals.
Regarding the metal component of the organometallic compound, for example, when ultrafine particles obtained from it are used for a metal coating film, the metal component forms a metal coating film as many components. May be selected as appropriate.
For example, even an organometallic compound that has sublimation properties and decomposes rapidly can be effectively used by adding a high-boiling solvent to suppress sublimation properties.
In addition, the metal fine particles in the present invention can be prepared as alloy-type ultrafine particles, for example, by mixing in advance an organometallic compound containing two or more kinds of metals.
The form of the organometallic compound as a raw material is not particularly limited, and any form such as powder or liquid may be used.

本発明の金属微粒子の形状には特に制限はなく、球状(断面が円、楕円)、不定形、板状、針状、さらに正6面体や正8面体(ナノロッド、ディスク、ファイバー、リング)などの多面体でもよいが、中でも球状が好ましい。   The shape of the metal fine particle of the present invention is not particularly limited, and is spherical (cross section is circle, ellipse), indeterminate, plate, needle, regular hexahedron or regular octahedron (nanorod, disk, fiber, ring), etc. Although a polyhedron may be used, a spherical shape is preferable.

本発明における金属微粒子の平均粒径は、1〜5000nmの範囲が好ましいが、2〜500nmの範囲がより好ましく、2〜200nmの範囲が更に好ましい。平均粒径が1nmの粒子は、生成が難しく、また、金属プラズモンによる吸収が大きくなり、全体にフラットな吸収でなくなり、該平均粒径の金属微粒子を用いて作製されたカラーフィルターは、その特性上、視野で茶褐色に見える点で、好ましくない場合がある。また5000nmを超えると粒子を分散した分散物の安定性が低下して、遮光性が悪化する場合がある。
なおここで言う「粒径」とは粒子の電子顕微鏡写真画像を同面積の円とした時の直径を言う。また「数平均粒径」とは多数の粒子について上記の粒径を求め、この100個平均値を言う。
The average particle size of the metal fine particles in the present invention is preferably in the range of 1 to 5000 nm, more preferably in the range of 2 to 500 nm, and still more preferably in the range of 2 to 200 nm. Particles having an average particle diameter of 1 nm are difficult to produce, and absorption by metal plasmons is large, so that the absorption is not flat as a whole. A color filter produced using metal fine particles having the average particle diameter has its characteristics. On top, it may be unfavorable in that it looks brown in the field of view. On the other hand, if it exceeds 5000 nm, the stability of the dispersion in which the particles are dispersed may be lowered, and the light shielding property may be deteriorated.
The term “particle size” as used herein refers to the diameter when the electron micrograph image of the particle is a circle of the same area. The “number average particle diameter” refers to the average value of 100 particles obtained from the above-mentioned particle diameters of a large number of particles.

―金属微粒子の形成方法―
本発明の金属微粒子の形成方法には特に制限はない。代表的な方法には以下のものがある。
(1)公知の方法で作製した有機金属化合物の還元などにより、金属化合物の粒子を形成する方法。(特開平10−183207)
(2)気相法、液相法などの金属を蒸発させる公知の方法で。
その他、金属微粒子の形成方法については例えば「超微粒子の技術と応用における最新動向II(住ベテクノリサーチ株式会社 2002年発行)」に記載されている
―Formation method of metal fine particles―
There is no restriction | limiting in particular in the formation method of the metal microparticle of this invention. Typical methods include the following.
(1) A method of forming metal compound particles by reduction of an organometallic compound prepared by a known method. (Japanese Patent Laid-Open No. 10-183207)
(2) A known method for evaporating metal such as a gas phase method or a liquid phase method.
In addition, a method for forming metal fine particles is described in, for example, “Latest Trends in Technology and Application of Ultrafine Particles II (issued by Sumibe Techno Research Corporation 2002)”

本発明における前期遮光膜は、後述の着色組成物を用いることにより形成することができる。
該着色組成物により形成した場合、遮光膜の膜厚1μmあたりの光学濃度が3以上20以下とする必要がある。
The light-shielding film in the present invention can be formed by using a coloring composition described later.
When formed with the coloring composition, the optical density per 1 μm of the thickness of the light shielding film needs to be 3 or more and 20 or less.

また、カラーフィルター作製の際、加熱工程時、金属微粒子が融着するのを防止することを考慮すると、前記着色組成物における金属微粒子の含有量は、形成される遮光膜に含まれる金属微粒子の含有量が10〜90質量%、好ましくは10〜80質量%程度になるように調節することが好ましい。   Further, when preparing the color filter, considering that the metal fine particles are prevented from being fused during the heating step, the content of the metal fine particles in the colored composition is the same as that of the metal fine particles contained in the formed light shielding film. It is preferable to adjust the content to be about 10 to 90% by mass, preferably about 10 to 80% by mass.

前記金属微粒子は平均粒径の差が10nm以上異なる2種以上の金属微粒子を含有することが好ましい。ここで平均粒径とは、透過型電子顕微鏡(TEM)による観察により、50個の粒径を測定し、その平均を算出したものをいう。この平均粒径の差は、好ましくは、10〜500nmであり、更に好ましくは、30〜250nmである。平均粒径の異なる3種以上の金属微粒子を含有する場合は、まず近接する2種の平均粒径と含有量比から、2種混合後の金属微粒子の平均粒径を換算し、残り1種の金属微粒子との差が10nm以上であればよい。
平均粒径の差が、10nm未満であると、黒色(無彩色)が得られ難い。
本発明の着色組成物に用いる金属微粒子の平均粒径は、遮光膜の光学濃度(OD)の観点から、1〜500nm、特に60〜250nmであることが好ましく、特に70〜200nmであることが好ましい。
The metal fine particles preferably contain two or more kinds of metal fine particles having a difference in average particle size of 10 nm or more. Here, the average particle diameter means a value obtained by measuring 50 particle diameters by observation with a transmission electron microscope (TEM) and calculating the average. The difference in the average particle diameter is preferably 10 to 500 nm, and more preferably 30 to 250 nm. When three or more kinds of metal fine particles having different average particle diameters are contained, the average particle diameter of the metal fine particles after mixing the two kinds is first converted from the two adjacent average particle diameters and the content ratio, and the remaining one kind The difference from the metal fine particles may be 10 nm or more.
If the difference in average particle diameter is less than 10 nm, it is difficult to obtain black (achromatic color).
From the viewpoint of the optical density (OD) of the light shielding film, the average particle size of the metal fine particles used in the colored composition of the present invention is preferably 1 to 500 nm, particularly preferably 60 to 250 nm, and particularly preferably 70 to 200 nm. preferable.

―コアシェル微粒子―
前記金属微粒子は少なくとも、金属及び/又は金属化合物からなる2重構造を有するコアシェル微粒子であることが好ましい。
該コアシェル粒子のコアとシェルは、いずれの成分であってもよいが、表面のシェルと内部のコアの成分は異なることが好ましく、表面に金属化合物からなるシェルを有し、内部に金属からなるコアを有することが、作製のし易さの点で好ましい。
―Core shell fine particles―
The metal fine particles are preferably core-shell fine particles having a double structure composed of at least a metal and / or a metal compound.
The core and shell of the core-shell particle may be any component, but the surface shell and the inner core component are preferably different, have a shell made of a metal compound on the surface, and have a metal inside. Having a core is preferable in terms of ease of manufacture.

本発明の金属微粒子、いわゆるナノ粒子内部のコアを形成する金属としては、周期表の第3属から第13属の金属が好ましい。これらのうち銀、ニッケル、クロム、銅、パラジウム、金、白金、アルミニウム、タングステン、又はチタンは好ましく、とりわけ銀がコスト、安定性の点から特に好ましい。   As the metal fine particles of the present invention, that is, the metal that forms the core inside the nanoparticle, metals of Group 3 to Group 13 of the periodic table are preferable. Among these, silver, nickel, chromium, copper, palladium, gold, platinum, aluminum, tungsten, or titanium is preferable, and silver is particularly preferable from the viewpoint of cost and stability.

本発明で言う前記「金属化合物」とは、金属と該金属以外の元素とからなる化合物である。該金属が前記金属と同義であり、好ましい例も同様である。
該金属と他の元素との化合物としては、金属の酸化物、硫化物、硫酸塩、炭酸塩などが挙げられ、中でも金属硫化物は色調や微粒子形成のしやすさから特に好ましい。
金属化合物の具体例としては、酸化銅(II)、酸化マンガン、硫化鉄、硫化銀などがある。このうち硫化銀は色調、微粒子形成のしやすさや安定性の観点から特に好ましい。
The “metal compound” referred to in the present invention is a compound comprising a metal and an element other than the metal. This metal is synonymous with the said metal, and its preferable example is also the same.
Examples of the compound of the metal and other elements include metal oxides, sulfides, sulfates, carbonates, etc. Among them, metal sulfides are particularly preferable because of their color tone and ease of forming fine particles.
Specific examples of the metal compound include copper (II) oxide, manganese oxide, iron sulfide, and silver sulfide. Among these, silver sulfide is particularly preferable from the viewpoints of color tone, ease of fine particle formation, and stability.

シェルを形成する金属化合物を構成する金属とコアを形成する金属は同種であっても異なる種類であってもよいが、粒子形成のし易さから同種であることが望ましい。   The metal constituting the metal compound forming the shell and the metal forming the core may be of the same type or different types, but the same type is desirable in terms of ease of particle formation.

本発明におけるコアシェル微粒子の形状には特に制限はない。必ずしも真球でなく、回転楕円形、不定形、さらに正6面体や正8面体など多面体でも良い。
本発明におけるコアシェル粒子の数平均粒径は、1〜5000nmの範囲が好ましいが、2〜500nmの範囲がより好ましく、2〜200nmの範囲が更に好ましい。平均粒径が1nmの粒子は、生成が難しく、また、金属プラズモンによる吸収が大きくなり、全体にフラットな吸収でなくなり、該平均粒径の金属微粒子を用いて作製されたカラーフィルターは、その特性上、視野で茶褐色に見える点で、好ましくない場合がある。また5000nmを超えると粒子を分散した分散物の安定性が低下して、遮光性が悪化する場合がある。
なおここで言う「粒径」とは粒子の電子顕微鏡写真画像を同面積の円とした時の直径を言う。また「数平均粒径」とは多数の粒子について上記の粒径を求め、この100個平均値を言う。
There is no restriction | limiting in particular in the shape of the core-shell fine particle in this invention. It is not necessarily a true sphere, and may be a spheroid, an indefinite shape, or a polyhedron such as a regular hexahedron or a regular octahedron.
The number average particle size of the core-shell particles in the present invention is preferably in the range of 1 to 5000 nm, more preferably in the range of 2 to 500 nm, and still more preferably in the range of 2 to 200 nm. Particles having an average particle diameter of 1 nm are difficult to produce, and absorption by metal plasmons is large, so that the absorption is not flat as a whole. A color filter produced using metal fine particles having the average particle diameter has its characteristics. On top, it may be unfavorable in that it looks brown in the field of view. On the other hand, if it exceeds 5000 nm, the stability of the dispersion in which the particles are dispersed may be lowered, and the light shielding property may be deteriorated.
The term “particle size” as used herein refers to the diameter when the electron micrograph image of the particle is a circle of the same area. The “number average particle diameter” refers to the average value of 100 particles obtained from the above-mentioned particle diameters of a large number of particles.

本発明のコアシェル粒子のコア半径とシェルの厚みの比については特に制限はない。シェルの重量の粒子重量の占める割合は、0.05〜0.95、より好ましくは0.08〜0.92の範囲が望ましい。内部金属に対し、表面の金属化合物が0.2〜250質量%であることが好ましい。
シェルの重量比が大きすぎると遮光性が悪化し、逆に小さすぎると光の反射率が大きくなり好ましくない。
There is no restriction | limiting in particular about ratio of the core radius of the core-shell particle of this invention, and the thickness of a shell. The proportion of the shell weight to the particle weight is desirably 0.05 to 0.95, more preferably 0.08 to 0.92. It is preferable that the surface metal compound is 0.2 to 250 mass% with respect to the internal metal.
When the weight ratio of the shell is too large, the light shielding property is deteriorated. On the other hand, when the shell is too small, the light reflectance is undesirably increased.

―コアシェル粒子の形成方法―
前記コアシェル粒子の形成方法には特に制限はない。代表的な方法は以下のが挙げられる。
-Formation method of core-shell particles-
There is no restriction | limiting in particular in the formation method of the said core-shell particle. Typical methods include the following.

(1)公知の方法で作製した金属微粒子の表面に酸化、硫化なごにより、金属化合物のシェルを形成する方法。例えば、金属微粒子を水などの分散媒に分散させて、硫化ナトリウムや硫化アンモニウムなどの硫化物を添加する方法がある、また、金属微粒子を硫化水素やオゾンなどのガスと接触させて表面を硫化、または酸化させる方法等がある。これらの方法で粒子の表面が硫化、または酸化されてコアシェルが形成される。 (1) A method of forming a metal compound shell on the surface of a metal fine particle produced by a known method by oxidation or sulfuration. For example, there is a method in which metal fine particles are dispersed in a dispersion medium such as water, and sulfides such as sodium sulfide and ammonium sulfide are added. In addition, metal fine particles are contacted with a gas such as hydrogen sulfide or ozone to sulfidize the surface. Or a method of oxidizing. By these methods, the surface of the particles is sulfided or oxidized to form a core shell.

(2)金属微粒子を形成する過程で、連続的に表面に金属化合物と内部の金属の量比を調整するには、金属硫化物の場合、添加する硫化物の量を制御する方法が好ましい。
用いる金属微粒子は、前記公知の方法として、特開平10−183207号公報、「超微粒子の技術と応用における最新動向II(住ベテクノリサーチ株式会社 2002年発行)」等に記載の方法、気相法、液相法などの金属を蒸発させるなどの方法により作製することができる。
(2) In the process of forming metal fine particles, in order to continuously adjust the amount ratio of the metal compound and the internal metal on the surface, in the case of metal sulfide, a method of controlling the amount of sulfide to be added is preferable.
As the known metal fine particles, the method described in JP-A No. 10-183207, “Latest Trends in Technology and Application of Ultrafine Particles II (issued by Sumibe Techno Research Co., Ltd. 2002)”, etc. can be used. It can be produced by a method such as evaporation of a metal such as a liquid phase method.

本発明においては、金属微粒子は、分散されていることが望ましい。存在状態は特に限定されないが、金属微粒子が安定な分散状態で存在していることが好ましく、例えば、コロイド状態であることがより好ましい。コロイド状態の場合には、例えば、金属微粒子が実質的に球形の微粒子状態で分散されていることが好ましい。   In the present invention, it is desirable that the metal fine particles are dispersed. Although the presence state is not particularly limited, it is preferable that the metal fine particles exist in a stable dispersed state, for example, a colloidal state is more preferable. In the colloid state, for example, it is preferable that the metal fine particles are dispersed in a substantially spherical fine particle state.

ここでは、分散剤として、チオール基含有化合物、アミノ酸またはその誘導体、ペプチド化合物、多糖類及び多糖類由来の天然高分子、合成高分子及びこれらに由来するゲルなどを用いることができる。
ここで用いるチオール基含有化合物の種類は特に限定されず、1個又は2個以上のチオール基を有する化合物であればいかなるものでもよい。
Here, as the dispersant, a thiol group-containing compound, an amino acid or a derivative thereof, a peptide compound, a polysaccharide, a natural polymer derived from a polysaccharide, a synthetic polymer, a gel derived from these, or the like can be used.
The kind of the thiol group-containing compound used here is not particularly limited and may be any compound as long as it has one or more thiol groups.

チオール基含有化合物としては、例えば、アルキルチオール類(例えば、メチルメルカプタン、エチルメルカプタンなど)、アリールチオール類(例えば、チオフェノール、チオナフトール、ベンジルメルカプタンなど)、アミノ酸又はその誘導体(例えば、システイン、グルタチオンなど)、ペプチド化合物(例えば、システイン残基を含むジペプチド化合物、トリペプチド化合物、テトラペプチド化合物、5以上のアミノ酸残基を含むオリゴペプチド化合物など)、又は蛋白質(例えば、メタロチオネインやシステイン残基が表面に配置された球状蛋白質など)などを挙げることができるが、これらに限定されることはない。   Examples of the thiol group-containing compound include alkyl thiols (eg, methyl mercaptan, ethyl mercaptan, etc.), aryl thiols (eg, thiophenol, thionaphthol, benzyl mercaptan, etc.), amino acids or derivatives thereof (eg, cysteine, glutathione). Etc.), peptide compounds (eg, dipeptide compounds containing cysteine residues, tripeptide compounds, tetrapeptide compounds, oligopeptide compounds containing 5 or more amino acid residues), or proteins (eg, metallothionein or cysteine residues) And the like, but are not limited thereto.

また、分散液には、親水性高分子、界面活性剤、防腐剤、安定化剤などを適宜配合してもよい。親水性高分子としては、水に溶解でき、希薄状態において実質的に溶液状態を維持できるものであればいかなるものを用いてもよい。例えば、ゼラチン、コラーゲン、カゼイン、フィブロネクチン、ラミニン、エラスチンなどのタンパク質及びタンパク質由来の物質;セルロース、デンプン、アガロース、カラギーナン、デキストラン、デキストリン、キチン、キトサン、ペクチン、マンナンなどの多糖類及び多糖類由来の物質などの天然高分子;ポバール、ポリアクリルアミド、ポリアクリル酸ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリスチレンスルホン酸、ポリアリルアミンなどの合成高分子;又はこれらに由来するゲルなどを用いることができる。ゼラチンを用いる場合には、ゼラチンの種類は特に限定されず、例えば、牛骨アルカリ処理ゼラチン、豚皮膚アルカリ処理ゼラチン、牛骨酸処理ゼラチン、牛骨フタル化処理ゼラチン、豚皮膚酸処理ゼラチンなどを用いることができる。   In addition, hydrophilic polymers, surfactants, preservatives, stabilizers, and the like may be appropriately added to the dispersion. As the hydrophilic polymer, any polymer may be used as long as it can be dissolved in water and can substantially maintain a solution state in a diluted state. For example, proteins and protein-derived substances such as gelatin, collagen, casein, fibronectin, laminin, and elastin; derived from polysaccharides and polysaccharides such as cellulose, starch, agarose, carrageenan, dextran, dextrin, chitin, chitosan, pectin, mannan Natural polymers such as substances; synthetic polymers such as poval, polyacrylamide, poly (vinyl pyrrolidone acrylate), polyethylene glycol, polystyrene sulfonic acid, polyallylamine; or gels derived therefrom can be used. When gelatin is used, the type of gelatin is not particularly limited, and examples thereof include beef bone alkali-treated gelatin, pig skin alkali-treated gelatin, beef bone acid-treated gelatin, beef bone phthalated gelatin, and pig skin acid-treated gelatin. Can be used.

―コアシェル金属微粒子分散組成物―
前記コアシェル粒子は、コアシェル微粒子が分散したコアシェル金属微粒子分散組成物(以下、「粒子分散組成物」とも言う。)として遮光膜作製に用いることができる。
該粒子分散組成物の分散媒としては特に制限はなく、水、トルエン、キシレン、メチルイソブチルケトン、アセトン、メチルアルコール、n−プロピルアルコール、i−プルピルアルコールなどの種々のものを用いることができる。
-Core shell metal fine particle dispersion composition-
The core-shell particles can be used for the production of a light-shielding film as a core-shell metal fine particle dispersion composition in which core-shell fine particles are dispersed (hereinafter also referred to as “particle dispersion composition”).
The dispersion medium of the particle dispersion composition is not particularly limited, and various materials such as water, toluene, xylene, methyl isobutyl ketone, acetone, methyl alcohol, n-propyl alcohol, i-propyl alcohol can be used. .

前記粒子分散組成物におけるコアシェル粒子濃度は0.01〜70質量%、より好ましくは0.1〜30質量%の範囲が望ましい。濃度が0.01質量%未満になると必要な粒子を得るための組成物の量が多くなり不利である。また濃度が70質量%を超えると組成物の安定性が低下する。
本発明の粒子分散組成物には、コアシェル粒子、分散媒以外に分散剤、界面活性剤などを添加してもよい。
The core-shell particle concentration in the particle dispersion composition is preferably 0.01 to 70% by mass, more preferably 0.1 to 30% by mass. If the concentration is less than 0.01% by mass, the amount of the composition for obtaining the necessary particles increases, which is disadvantageous. On the other hand, if the concentration exceeds 70% by mass, the stability of the composition decreases.
In addition to the core-shell particles and the dispersion medium, a dispersant, a surfactant and the like may be added to the particle dispersion composition of the present invention.

―焼結性粒子―
本発明に用いられる金属微粒子は、粒径をある程度揃えた場合は、熱処理工程で粒子同士をある割合で融着させることができ、これらの粒子群は金属膜に近い性質となって光を反射し効率的に光を遮蔽することができる。また、粒径に分布を持たせた場合や10nm以下の超微粒子を用いた場合など、熱処理なしでもある程度の金属膜的反射を得ることが出来る。
このようなことから、本発明における金属微粒子が上記のような性質を示す焼結性粒子であることが好ましい。
即ち、該焼結性粒子とは、粒子径がナノメートル単位になることによる、融点降下の現象は久保効果として一般的に知られている。今回用いる粒子も例外ではなく10nm付近の金属微粒子となることにより、その金属微粒子及び表面の融点降下によりお互いの金属微粒子同士が融着するようになるような現象を起こす粒子のことをいう。
また、バルク金属の融点が高いほど、焼結粒子径が大きくなり不利となる。金や銀は融点が1000℃近辺なので好適に用いることが出来る。
このように、粒子同士が焼結することにより、金属内の自由電子の電子移動距離が長くなる為よりバルク的な性質に変化し反射率が増加(バルク金属に近づく)するものと考えられる。
―Sinterable particles―
When the metal fine particles used in the present invention have a certain particle size, the particles can be fused to each other at a certain ratio in the heat treatment process, and these particle groups are close to the metal film and reflect light. Thus, light can be shielded efficiently. In addition, a certain degree of metal film-like reflection can be obtained without heat treatment such as when the particle size is distributed or when ultrafine particles of 10 nm or less are used.
For this reason, the metal fine particles in the present invention are preferably sinterable particles exhibiting the above properties.
That is, with the sinterable particles, the phenomenon of melting point drop due to the particle size being in the nanometer unit is generally known as the Kubo effect. The particles used this time are not exceptions, and are particles that cause a phenomenon in which the metal fine particles and the metal fine particles are fused with each other due to the melting point drop of the surface by becoming metal fine particles of around 10 nm.
Moreover, the higher the melting point of the bulk metal, the larger the sintered particle diameter, which is disadvantageous. Gold or silver has a melting point of around 1000 ° C. and can be preferably used.
Thus, it is considered that when the particles are sintered, the electron transfer distance of the free electrons in the metal becomes longer, so that the bulk property is changed and the reflectance is increased (approaching the bulk metal).

本発明における金属微粒子を含有する層中の金属微粒子の体積分立は、金属により若干異なるが、「(金属体積/層体積)×100=金属体積率(%)」で求める。例えば、金属微粒子を含有する層中の金属微粒子の体積率は、比重10.5として金属銀の体積を求め、金属微粒子を含有する層の全体積で除した割合となる。
前記金属微粒子を含有する層中の金属微粒子の体積率(%)は、金属により若干異なるが、好ましくは30〜95%、より好ましくは40〜94%、最も好ましくは50〜93%である。体積率が30%未満になると、金属微粒子を含有する層における必要な反射率(遮光に必要な反射率)が得られなくなり、更に。黄色味をおびてくることがあり、90%を超えると、フォトリソ時の現像性が悪くなり、塗布膜が脆くなり、ピンホール故障や傷故障が起き易くなる傾向がある。また、全体の膜厚を薄くするという狙いから、あるいは粒子同士の融着を促進する狙いからも30%〜95%が好ましい。
The volume fraction of the metal fine particles in the layer containing the metal fine particles in the present invention is slightly different depending on the metal, but is determined by “(metal volume / layer volume) × 100 = metal volume ratio (%)”. For example, the volume ratio of the metal fine particles in the layer containing the metal fine particles is a ratio obtained by obtaining the volume of metal silver with a specific gravity of 10.5 and dividing by the total volume of the layer containing the metal fine particles.
The volume fraction (%) of the metal fine particles in the layer containing the metal fine particles is slightly different depending on the metal, but is preferably 30 to 95%, more preferably 40 to 94%, and most preferably 50 to 93%. When the volume ratio is less than 30%, the necessary reflectance (reflectance necessary for light shielding) in the layer containing metal fine particles cannot be obtained, and further. If it exceeds 90%, the developability during photolithography tends to be poor, the coating film becomes brittle, and pinhole failure or scratch failure tends to occur. Also, 30% to 95% is preferable from the aim of reducing the overall film thickness or from the purpose of promoting fusion between particles.

―遮光膜作製用着色組成物―
前記遮光膜作製用着色組成物は、前記金属微粒子を含有し、その他として分散剤、分散媒を含有することが好ましい。さらに、該組成物は感光性を有することが好ましい。該金属微粒子は前記コアシェル微粒子分散組成物として用いることが好ましい。
感光性を付与するためには、前記着色組成物に感光性樹脂組成物が添加される。以下、着色組成物とは感光性樹脂組成物を含んだ状態を言う場合もある。
感光性樹脂組成物は、金属微粒子を含んでいない感光性の樹脂の組成物を意味し、アルカリ可溶性バインダーポリマー、エチレン性不飽和二重結合を有する光の照射によって付加重合するモノマー、光重合開始剤等を含有することにより作製できる。
―Coloring composition for light shielding film production―
It is preferable that the colored composition for preparing a light shielding film contains the metal fine particles, and additionally contains a dispersant and a dispersion medium. Furthermore, the composition preferably has photosensitivity. The metal fine particles are preferably used as the core-shell fine particle dispersion composition.
In order to impart photosensitivity, a photosensitive resin composition is added to the colored composition. Hereinafter, the colored composition may refer to a state containing a photosensitive resin composition.
The photosensitive resin composition means a photosensitive resin composition that does not contain fine metal particles. An alkali-soluble binder polymer, a monomer that undergoes addition polymerization upon irradiation with light having an ethylenically unsaturated double bond, photopolymerization initiation It can be produced by containing an agent or the like.

感光性樹脂組成物は、アルカリ水溶液現像可能なものと、有機溶剤で現像可能なものがあるが、安全性と現像液のコストの点で、アルカリ水溶液現像可能なものが好ましい。
用いられる感光性樹脂としては、光、電子線などの放射線を受容する部分が硬化するネガ型でも、放射線未受容部が硬化するポジ型のいずれでもよい。
Photosensitive resin compositions include those that can be developed with an aqueous alkali solution and those that can be developed with an organic solvent, but those that can be developed with an aqueous alkaline solution are preferred in terms of safety and the cost of the developer.
The photosensitive resin used may be either a negative type in which a part that receives radiation such as light or an electron beam is cured, or a positive type in which a radiation non-accepting part is cured.

前記ポジ型感光性樹脂には、ノボラック系の樹脂が挙げられる。
例えば、特開平7−43899号公報記載のアルカリ可溶性ノボラック樹脂系を使用することができる。
また、特開平6−148888号公報記載の、ポジ型感光性樹脂層、即ち、該公報記載のアルカリ可溶性樹脂と感光剤として1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルと該公報記載の熱硬化剤の混合物を含む感光性樹脂層を用いる事ができる。
また特開平5−262850号公報記載の組成物も活用可能である。
Examples of the positive photosensitive resin include novolac resins.
For example, an alkali-soluble novolak resin system described in JP-A-7-43899 can be used.
Further, a positive photosensitive resin layer described in JP-A-6-148888, that is, an alkali-soluble resin described in the publication and a 1,2-naphthoquinonediazide sulfonic acid ester as a photosensitive agent and a thermosetting agent described in the publication. A photosensitive resin layer containing a mixture can be used.
A composition described in JP-A-5-262850 can also be used.

ネガ型感光性樹脂としては、ネガ型ジアゾ樹脂とバインダーからなる感光性樹脂、光重合性組成物、アジド化合物とバインダーとからなる感光性樹脂組成物、桂皮酸型感光性樹脂組成物等が挙げられる。
その中でも特に好ましいのは光重合開始剤、光重合性モノマーおよびバインダーを基本構成要素として含む感光性樹脂である。
該感光性樹脂層には、特開平11−133600号公報記載の「重合性化合物B」「重合開始剤C」「界面活性剤」「接着助剤」や、その他の組成物が利用できる。
例えば、ネガ型感光性樹脂で、アルカリ水溶液現像可能な感光性樹脂は、主成分としてカルボン酸基含有のバインダー(前述のアルカリ可溶な熱可塑性樹脂等)と光の照射によって付加重合することのできるエチレン性不飽和二重結合含有モノマーと光重合開始剤を含んでいる。
Examples of the negative photosensitive resin include a photosensitive resin composed of a negative diazo resin and a binder, a photopolymerizable composition, a photosensitive resin composition composed of an azide compound and a binder, and a cinnamic acid type photosensitive resin composition. It is done.
Among them, a photosensitive resin containing a photopolymerization initiator, a photopolymerizable monomer, and a binder as basic components is particularly preferable.
For the photosensitive resin layer, "polymerizable compound B", "polymerization initiator C", "surfactant", "adhesion aid" described in JP-A-11-133600, and other compositions can be used.
For example, a negative photosensitive resin that can be developed in an aqueous alkali solution can be subjected to addition polymerization by irradiation with light with a binder containing a carboxylic acid group as a main component (such as the aforementioned alkali-soluble thermoplastic resin). It contains an ethylenically unsaturated double bond-containing monomer and a photopolymerization initiator.

本発明の遮光膜付基板は、遮光膜作製用着色組成物(以下、着色組成物)を前記基板上に塗布することにより作製することができる。
該着色組成物における金属微粒子の粒子濃度は、0.01から70質量%、より好ましくは0.1から40質量%の範囲が望ましい。濃度が0.01質量%未満になると必要な粒子の塗布量得るために使用する感光性樹脂組成物の量が多くなり、均一に塗布できない、乾燥負荷がかかるなどの問題がおきる場合があり、また濃度が70質量%を超えると感光性樹脂組成物の保存安定性が低下する場合がある。
The substrate with a light-shielding film of the present invention can be produced by applying a colored composition for producing a light-shielding film (hereinafter referred to as a colored composition) on the substrate.
The particle concentration of the metal fine particles in the coloring composition is desirably in the range of 0.01 to 70% by mass, more preferably 0.1 to 40% by mass. When the concentration is less than 0.01% by mass, the amount of the photosensitive resin composition used to obtain the required coating amount of the particles increases, and there may be problems such as being unable to apply uniformly and applying a drying load. On the other hand, when the concentration exceeds 70% by mass, the storage stability of the photosensitive resin composition may be lowered.

本発明における感光性樹脂組成物には、溶媒の他に、分散剤、界面活性剤などを添加してもよい。     In addition to the solvent, a dispersant, a surfactant and the like may be added to the photosensitive resin composition in the present invention.

該分散剤としてはポリビニルアルコール、アクリルアミド、ポリアクリル酸ナトリウム、アルギン酸ナトリウム、アクリルアミド/アクリル酸共重合物、スチレン/無水マレイン酸共重合体などの公知の分散剤を使用できる。また、ステアリン酸銀のような脂肪族銀化合物も公的に用いることが出来る。分散剤については例えば「顔料分散技術、技術情報協会(株)(1999年発行)」に記載されている。
界面活性剤としてはアニオン系、カチオン系、ノニオン系、ベタイン系の公知の界面活性剤を使用できるが、このうちアニオン系界面活性剤が安定性の観点から好ましい。
好ましいアニオン系界面活性剤の例として、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、ジオクチルスルホ琥珀酸ナトリウム、オレイン酸ナトリウムなどが挙げられる。界面活性剤については例えば「新版 界面活性剤ハンドブック(吉田 時行、新藤 信一、大垣 忠義、山中 樹好編、光学図書(株)、昭和62年発行)」に記載されている。更に界面活性剤として、C815SO2N(C25)(CH2O)14H、C817SO3Li、C715COONH4、C817SO2(C25)C24OPO(OH)2、F110、F113、F176PF、F117、F780(いずれも大日本インキ化学工業(株)製オリゴマータイプフッ素系界面活性剤)などのフッ素系界面活性剤も好ましい
As the dispersant, known dispersants such as polyvinyl alcohol, acrylamide, sodium polyacrylate, sodium alginate, acrylamide / acrylic acid copolymer, styrene / maleic anhydride copolymer can be used. In addition, aliphatic silver compounds such as silver stearate can also be used publicly. The dispersant is described in, for example, “Pigment Dispersion Technology, Technical Information Association Co., Ltd.” (issued in 1999).
As the surfactant, known anionic, cationic, nonionic or betaine surfactants can be used, and among these, anionic surfactants are preferred from the viewpoint of stability.
Examples of preferable anionic surfactants include sodium dodecylbenzenesulfonate, sodium lauryl sulfate, sodium dioctylsulfosuccinate, sodium oleate and the like. Surfactants are described in, for example, “New Edition Surfactant Handbook (Tokiyuki Yoshida, Shinichi Shindo, Tadayoshi Ogaki, Kazuyoshi Yamanaka, Optical Book Co., Ltd., published in 1987)”. Further, as a surfactant, C 8 F 15 SO 2 N (C 2 H 5 ) (CH 2 O) 14 H, C 8 F 17 SO 3 Li, C 7 F 15 COONH 4 , C 8 F 17 SO 2 (C 2 H 5) C 2 H 4 OPO (OH) 2, F110, F113, F176PF, F117, F780 ( both produced by Dainippon Ink & Chemicals Co. oligomers fluoropolymer surfactant) fluorinated surfactants, such as Is also preferable

―顔料微粒子―
本発明の遮光膜には、光を吸収する性質が要求されるため、さらに顔料微粒子を含有することができる。
該顔料微粒子としては、光吸収性物質(黒色顔料、顔料、染料)が挙げられる。その例としては、好ましくは、カーボンブラック、顔料の混合物、さらにマンガン、コバルト、鉄、銅の少なくとも一種類の金属元素を含有する酸化物複合化合物などがあげられる。より好ましくはカーボンブラック、さらにマンガン、コバルト、鉄、銅の少なくとも一種類の金属元素を含有する酸化物複合化合物、最も好ましくはカーボンブラックである。カーボンブラックは、適宜表面処理して用いられる。
―Pigment fine particles―
Since the light-shielding film of the present invention is required to absorb light, it can further contain fine pigment particles.
Examples of the pigment fine particles include light absorbing substances (black pigments, pigments, dyes). Examples thereof preferably include carbon black, a mixture of pigments, and an oxide composite compound containing at least one metal element of manganese, cobalt, iron and copper. More preferred are carbon black, oxide composite compounds containing at least one metal element of manganese, cobalt, iron and copper, and most preferred is carbon black. Carbon black is used after being appropriately surface-treated.

前記反射率は、本発明において目の感度のピーク波長付近の555nmでの反射率を用いる。
具体的な測定方法は、法線に対し5°傾いた方向から光を入射させ、法線と反対側の反射方向(角度法線に対して5°)で光の強度を計測して入射強度I0と反射強度Iの比率「(I/I0)×100(%)」より計算する。但し、基板表面の反射の影響がある場合は、予め基板を測定し、基板の反射を差し引いた値を用いる。また、金属微粒子を含有する層の反射率は、基板上に単独で形成後、基板と反対の側から測定する。
金属微粒子を含有する層の反射率は、金属微粒子同士が電子の受け渡しができる程度に接近するか、接触するほど高くなる傾向がある。例えば、小さく揃った粒径(10nm)の物は、200℃前後の比較的低い熱処理温度でも粒子同士が融着し反射率が高くなる。また大小様々な粒径の混合物(2から80nm)では、粒子同士が膜形成の段階で接近または接触し反射率が高い傾向がある。
本発明における金属微粒子を含有する層の反射率は、波長555nmにおいて、好ましくは30%から90%、より好ましくは40%から80%、最も好ましくは50%から70%である。この範囲以下では、充分な遮蔽力が得られないことがあり、この範囲以上では、金属粒子の添加量が増えすぎてフォトリソ法によるパターニングが困難となる場合がある。
本発明における遮光膜の基板側から測定した場合の、波長555nmにおける反射率が0.01〜6%であることが好ましく、明室コントラストを高くする観点より0.1〜1.5%、特に0.7〜1.0%が好ましい。
As the reflectance, the reflectance at 555 nm near the peak wavelength of eye sensitivity is used in the present invention.
The specific measurement method is that light is incident from a direction inclined by 5 ° with respect to the normal, and the intensity of the light is measured in the reflection direction opposite to the normal (5 ° with respect to the angle normal). It is calculated from the ratio “(I / I 0 ) × 100 (%)” of I 0 and reflection intensity I. However, when there is an influence of the reflection on the substrate surface, the value obtained by subtracting the reflection of the substrate is measured in advance. The reflectance of the layer containing metal fine particles is measured from the side opposite to the substrate after being formed alone on the substrate.
The reflectance of the layer containing metal fine particles tends to increase as the metal fine particles come close to each other or can contact each other. For example, in a small and uniform particle size (10 nm), the particles are fused to each other even at a relatively low heat treatment temperature of about 200 ° C., and the reflectance is high. Further, in a mixture of various sizes (2 to 80 nm), the particles tend to approach or come into contact with each other at the stage of film formation and have a high reflectance.
The reflectance of the layer containing fine metal particles in the present invention is preferably 30% to 90%, more preferably 40% to 80%, and most preferably 50% to 70% at a wavelength of 555 nm. Below this range, sufficient shielding power may not be obtained, and above this range, the amount of metal particles added may increase so that patterning by photolithography may be difficult.
When measured from the substrate side of the light-shielding film in the present invention, the reflectance at a wavelength of 555 nm is preferably 0.01 to 6%, more preferably 0.1 to 1.5% from the viewpoint of increasing bright room contrast. 0.7 to 1.0% is preferable.

(光吸収層)
前記遮光膜が、少なくとも2層の樹脂層からなり、該樹脂層のうち少なくとも1層が前記金属微粒子を含有する層である、該樹脂層のうち少なくとも1層が光吸収層であることが好ましい。
前記金属微粒子を含有する層(以下、「光反射層」ともいう。)が波長555nmにおける反射率が30〜90%であるとき、波長555nmにおける光吸収層の光学濃度(OD)が0.3〜3.0であることが好ましい。
(Light absorption layer)
It is preferable that the light shielding film is composed of at least two resin layers, at least one of the resin layers is a layer containing the metal fine particles, and at least one of the resin layers is a light absorption layer. .
When the layer containing the metal fine particles (hereinafter also referred to as “light reflecting layer”) has a reflectance of 30 to 90% at a wavelength of 555 nm, the optical density (OD) of the light absorbing layer at a wavelength of 555 nm is 0.3. It is preferable that it is -3.0.

本発明における光吸収層は、光吸収機能を有し、基板側から観察した時の反射を低減する役割を持つ層である。
該光吸収層を樹脂層全体の最も基板側に設けた場合は、基板−樹脂層界面での反射も抑制する。この光吸収層には、低反射黒色膜又は均質複合低反射黒色膜が用いられる。
その膜厚は均質組成膜では0.05から0.6μmが好ましく、さらに0.1から0.3μmが総膜厚の観点より好ましい。0.05μmより薄いと光吸収の効果がなくなるおそれがあり、0.6μmより厚いとカラーフィルター形成時に支障が生じる恐れがある。
また、光学濃度(OD)が0.3から3.0の範囲であり、好ましくは0.5から1.2であり、最も好ましくは0.6から1.0の範囲である。
この目的のため、本発明における光吸収層は、光吸収性物質(黒色顔料、顔料、染料)を含有することが好ましい。
The light absorption layer in the present invention is a layer having a light absorption function and reducing the reflection when observed from the substrate side.
When the light absorption layer is provided on the most substrate side of the entire resin layer, reflection at the substrate-resin layer interface is also suppressed. For this light absorption layer, a low reflection black film or a homogeneous composite low reflection black film is used.
The thickness of the homogeneous composition film is preferably 0.05 to 0.6 μm, and more preferably 0.1 to 0.3 μm from the viewpoint of the total film thickness. If it is thinner than 0.05 μm, the light absorption effect may be lost, and if it is thicker than 0.6 μm, there is a possibility that trouble may occur when forming a color filter.
The optical density (OD) is in the range of 0.3 to 3.0, preferably 0.5 to 1.2, and most preferably in the range of 0.6 to 1.0.
For this purpose, the light absorbing layer in the present invention preferably contains a light absorbing substance (black pigment, pigment, dye).

該光吸収性物質の例としては、好ましくは、カーボンブラック、顔料の混合物、さらにマンガン、コバルト、鉄、銅の少なくとも一種類の金属元素を含有する酸化物複合化合物などがあげられる。より好ましくはカーボンブラック、さらにマンガン、コバルト、鉄、銅の少なくとも一種類の金属元素を含有する酸化物複合化合物、最も好ましくはカーボンブラックである。カーボンブラックは、適宜表面処理して用いられる。   Examples of the light absorbing material preferably include carbon black, a mixture of pigments, and an oxide composite compound containing at least one metal element of manganese, cobalt, iron, and copper. More preferred are carbon black, oxide composite compounds containing at least one metal element of manganese, cobalt, iron and copper, and most preferred is carbon black. Carbon black is used after being appropriately surface-treated.

本発明の光吸収層に用いられる光吸収性物質(着色材料)は、前記樹脂層中に実質的に均一に分散されていることが好ましく、5μm以下の粒径、好ましくは1μm以下の粒径である。カラーフィルターの作製に当たっては、0.5μm以下の粒径のものが特に好ましい。
好ましいブラック顔料(黒顔料)もしくは染料の例は次の通りである。モノライト・ファースト・ブラックB(C.I.ピグメント・ブラック1)及びカーボンブラック、マンガンやコバルトの酸化物Mn34、Co34、や鉄、銅などの金属酸化物等が挙げられる。
The light-absorbing substance (coloring material) used in the light-absorbing layer of the present invention is preferably substantially uniformly dispersed in the resin layer, and preferably has a particle size of 5 μm or less, preferably 1 μm or less. It is. In producing a color filter, a particle size of 0.5 μm or less is particularly preferable.
Examples of preferred black pigments (black pigments) or dyes are as follows. Monolite First Black B (CI Pigment Black 1) and carbon black, manganese and cobalt oxides Mn 3 O 4 and Co 3 O 4 , and metal oxides such as iron and copper .

これら顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、ニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル、等の公知の分散機が挙げられる。   The disperser used when dispersing these pigments is not particularly limited, and examples thereof include known dispersers such as a kneader, roll mill, atrider, super mill, dissolver, homomixer, and sand mill.

該光吸収層の光学濃度は、光反射層濃度との兼ね合いで決まる。光吸収層は光反射層からの反射光の反射を防止させる効果と光吸収の両方の効果があるが、光吸収層は外光の吸収が2回行われるので、通常の単層膜よりも薄くてすむ利点がある。通常、光吸収層の光学濃度は3以下が好ましい。特に好ましい態様としては、金属微粒子を含有する層の金属微粒子濃度を70%以上とし、光の反射率を400nmから800nmの範囲で70%以上とさせることにより、光吸収層の光学濃度を低く設定可能となる。   The optical density of the light absorption layer is determined by the balance with the light reflection layer density. The light absorption layer has both an effect of preventing reflection of reflected light from the light reflection layer and an effect of light absorption. However, since the light absorption layer absorbs external light twice, it is more than a normal single layer film. There is an advantage of being thin. Usually, the optical density of the light absorbing layer is preferably 3 or less. As a particularly preferable aspect, the optical density of the light absorption layer is set low by setting the metal fine particle concentration of the layer containing the metal fine particles to 70% or more and the light reflectivity to 70% or more in the range of 400 nm to 800 nm. It becomes possible.

本発明における光吸収層は、フォトリソなど環境負荷の小さな方法でパターン状に形成する必要があり、これに必要な樹脂成分を含有する組成物によって形成される。この樹脂成分については後述する。   The light absorption layer in the present invention needs to be formed in a pattern by a method having a small environmental load such as photolithography, and is formed by a composition containing a resin component necessary for this. This resin component will be described later.

なお、本発明における光吸収層を、最も基板に近い側に転写法で形成する場合は、本発明における光吸収層を形成するための転写材料が、少なくとも150℃以下の温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましく、熱可塑性であることが好ましい。
公知の光重合性組成物を用いた層の大部分はこの性質を有するが、公知層の一部は、熱可塑性結合剤の添加あるいは相溶性の可塑剤の添加によって更に改質することができる。
When the light absorption layer in the present invention is formed on the side closest to the substrate by a transfer method, the transfer material for forming the light absorption layer in the present invention is softened or tacky at a temperature of 150 ° C. or less. And is preferably thermoplastic.
Most of the layers using known photopolymerizable compositions have this property, but some of the known layers can be further modified by the addition of thermoplastic binders or compatible plasticizers. .

―樹脂成分―
本発明における光吸収層の素材としては、公知の、例えば特開平3−282404に記載されている感光性樹脂がすべて使用できる。
具体的には、ネガ型ジアゾ樹脂とバインダーからなる感光性樹脂層、光重合性組成物、アジド化合物とバインダーとからなる感光性樹脂組成物、桂皮酸型感光性樹脂組成物等が挙げられる。その中でも特に好ましいのは光重合性樹脂である。その光重合性樹脂は光重合開始剤、光重合性モノマーまたはオリゴマー、およびバインダーを基本構成要素として含むことが好ましい。
また、ここで述べた樹脂成分は、感光性樹脂組成物を基板に直接塗布する場合にも、塗布膜が安定に基板に密着する意味で好ましい。
更に、ここで述べた樹脂成分は、本発明の金属微粒子を含有する層や補助層にも用いることができる。
光吸収層は、観察者側から見た時の反射を抑制する事が目的で形成されるから、金属微粒子を含有する層に対して観察者側に位置するよう設ける。逆に設けた場合は、この目的を達成できない。
―Resin component―
As the material for the light absorption layer in the present invention, all known photosensitive resins described in, for example, JP-A-3-282404 can be used.
Specific examples include a photosensitive resin layer composed of a negative diazo resin and a binder, a photopolymerizable composition, a photosensitive resin composition composed of an azide compound and a binder, and a cinnamic acid type photosensitive resin composition. Among these, a photopolymerizable resin is particularly preferable. The photopolymerizable resin preferably contains a photopolymerization initiator, a photopolymerizable monomer or oligomer, and a binder as basic components.
Moreover, the resin component described here is preferable in the sense that the coating film is stably adhered to the substrate even when the photosensitive resin composition is directly applied to the substrate.
Furthermore, the resin component described here can also be used for a layer containing metal fine particles of the present invention and an auxiliary layer.
Since the light absorption layer is formed for the purpose of suppressing reflection when viewed from the viewer side, the light absorption layer is provided so as to be positioned on the viewer side with respect to the layer containing metal fine particles. If provided in reverse, this purpose cannot be achieved.

(補助層)
本発明における補助層とは、以下に記述するいずれかの1以上の機能を有する層であり、耐衝撃性、耐薬品性、耐溶剤性の観点から、遮光画像層中に設けることが好ましい。
該遮光膜は、感光性の補助層を用いてフォトリソ的方法でパターニングして、基板上の少なくとも一部に遮光膜を形成しても良いが、金属微粒子の表面プラズモンによる吸収に、波長依存性があることを利用して、比較的光遮蔽力の弱い波長域を露光波長として利用することで、金属微粒子を含有する層そのものに光重合系を含ませフォトリソ的方法でパターニングすることが可能である。
より具体的には、たとえば365nmの吸収領域を使用する光硬化システムの場合、光反射率がその付近で低いことが要求される。銀の場合は、300nm付近の反射率が50%以下となるため、365nmの吸収領域を使用する光硬化システムに好適に用いられる。
この反射特性は金属の種類により異なるので、露光波長により金属の種類を適宜選択する。
(Auxiliary layer)
The auxiliary layer in the present invention is a layer having one or more functions described below, and is preferably provided in the light-shielding image layer from the viewpoint of impact resistance, chemical resistance, and solvent resistance.
The light-shielding film may be patterned by a photolithographic method using a photosensitive auxiliary layer to form a light-shielding film on at least a part of the substrate, but the wavelength dependence on the absorption of metal fine particles by surface plasmons By using a wavelength region with relatively weak light shielding power as an exposure wavelength, it is possible to include a photopolymerization system in the layer containing metal fine particles and pattern it by a photolithographic method. is there.
More specifically, for example, in the case of a photocuring system using an absorption region of 365 nm, the light reflectance is required to be low in the vicinity thereof. In the case of silver, since the reflectance near 300 nm is 50% or less, it is suitably used for a photocuring system using an absorption region of 365 nm.
Since this reflection characteristic varies depending on the type of metal, the type of metal is appropriately selected according to the exposure wavelength.

1.基板と、本発明における樹脂層(光吸収層)との間の密着力を増すために、この界面に形成される層
2.基板と、本発明における樹脂層との間、または本発明における樹脂層と本発明における別の樹脂層との間、に設けられ界面での反射を防止する層
3.光反射層と光吸収層との間の密着力を増すために、この界面に設けられる層
4.本発明における樹脂層上を保護するために設けられる層
5.本発明における樹脂層をフォトリソによりパターニングするために設けられる層
1. 1. A layer formed at this interface in order to increase the adhesion between the substrate and the resin layer (light absorbing layer) in the present invention. 2. Layer which is provided between the substrate and the resin layer in the present invention or between the resin layer in the present invention and another resin layer in the present invention to prevent reflection at the interface 3. A layer provided at this interface in order to increase the adhesion between the light reflecting layer and the light absorbing layer. 4. Layer provided for protecting the resin layer on the present invention. Layer provided for patterning the resin layer in the present invention by photolithography

本発明における補助層を用いた具体的な層構成の例としては、基板側より、光吸収層/光反射層/補助層、光吸収層/補助層/光反射層/補助層、補助層/光吸収層/光反射層/補助層などが挙げられるが、特に限定されるものではない。   Examples of a specific layer configuration using the auxiliary layer in the present invention include, from the substrate side, a light absorbing layer / light reflecting layer / auxiliary layer, a light absorbing layer / auxiliary layer / light reflecting layer / auxiliary layer, an auxiliary layer / Examples of the light absorbing layer / light reflecting layer / auxiliary layer include, but are not particularly limited to.

<転写材料>
本発明における転写材料は、仮支持体の上に少なくとも1層の転写層を有する材料である。本発明の転写材料はさらに必要に応じて、熱可塑性樹脂層、中間層、中間層、剥離層などを設けてもよい。特に熱可塑性樹脂層、中間層は転写層の転写性や感度改良に有効である。
前記転写層は、少なくとも2層の樹脂層であり、該樹脂層が少なくとも1層の金属微粒子を含有する層(光反射層)と、すくなくとも1層の光吸収層を有することが好ましい。
いかに転写材料について詳細に説明する。
<Transfer material>
The transfer material in the present invention is a material having at least one transfer layer on a temporary support. The transfer material of the present invention may further be provided with a thermoplastic resin layer, an intermediate layer, an intermediate layer, a release layer, etc., if necessary. In particular, the thermoplastic resin layer and the intermediate layer are effective for improving the transferability and sensitivity of the transfer layer.
The transfer layer is preferably at least two resin layers, and the resin layer preferably includes at least one layer containing metal fine particles (light reflecting layer) and at least one light absorbing layer.
The transfer material will be described in detail.

(仮支持体)
前記仮支持体としては、ポリエステル、ポリスチレン等の公知の仮支持体を利用できる。中でも2軸延伸したポリエチレンテレフタレートは強度、寸法安定性、耐薬品性、コストの観点から好ましい。仮支持体の厚みは15から200μm、より好ましくは30から150μmの範囲が望ましい。厚みが大きすぎるとコスト上不利であり、厚みが小さすぎると塗布後の乾燥工程やラミネーション工程の熱により仮支持体が変形するという不都合を生じる。
また、可撓性を有し、加圧若しくは加圧及び加熱下においても著しい変形、収縮若しくは伸びを生じないことが必要である。そのような仮支持体の例としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等を挙げることができ、中でも2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
(Temporary support)
As the temporary support, a known temporary support such as polyester or polystyrene can be used. Among these, biaxially stretched polyethylene terephthalate is preferable from the viewpoints of strength, dimensional stability, chemical resistance, and cost. The thickness of the temporary support is desirably 15 to 200 μm, more preferably 30 to 150 μm. If the thickness is too large, it is disadvantageous in terms of cost. If the thickness is too small, there is a disadvantage that the temporary support is deformed by the heat of the drying process or lamination process after coating.
Further, it is necessary to be flexible and not to cause significant deformation, contraction or elongation even under pressure or under pressure and heating. Examples of such a temporary support include a polyethylene terephthalate film, a cellulose triacetate film, a polystyrene film, a polycarbonate film, etc. Among them, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film is particularly preferable.

(転写層)
本発明における転写材料の転写層は、前述の遮光膜作成用着色組成物から形成されることが好ましく、また、感光性樹脂組成物であることが好ましく、必要に応じてポリマー、モノマー、重合開始剤、重合禁止剤、界面活性剤、顔料などを添加して得られた塗布液を仮支持体に塗布して得られる。
本発明の転写層は感光性を付与したものであることが好ましい。
該転写層は、アルカリ水溶液現像可能なものと、有機溶剤で現像可能なものがあるが、安全性と現像液のコストの点で、アルカリ水溶液現像可能なものが好ましい。アルカリ水溶液現像可能な光重合性組成物は、主成分としてカルボン酸基含有のバインダーと多官能アクリルモノマーと光重合開始剤を含んでいる。
(Transfer layer)
The transfer layer of the transfer material in the present invention is preferably formed from the above-described coloring composition for forming a light-shielding film, and is preferably a photosensitive resin composition. If necessary, a polymer, a monomer, and a polymerization start It is obtained by applying a coating liquid obtained by adding an agent, a polymerization inhibitor, a surfactant, a pigment and the like to a temporary support.
The transfer layer of the present invention preferably has a photosensitivity.
The transfer layer can be developed with an aqueous alkali solution, and can be developed with an organic solvent. In view of safety and the cost of the developer, the transfer layer is preferably an aqueous alkaline solution developable. The photopolymerizable composition that can be developed in an alkaline aqueous solution contains a carboxylic acid group-containing binder, a polyfunctional acrylic monomer, and a photopolymerization initiator as main components.

―多官能アクリルモノマー―
本発明で用いる多官能アクリルモノマーとしては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、1,4−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリレート類が好ましい。
-Multifunctional acrylic monomer-
Polyfunctional acrylic monomers used in the present invention include ethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, 1,3-butanediol di (meth) acrylate, tetramethylene glycol di (meth) acrylate, propylene (Meth) acrylates such as glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, 1,4-hexanediol di (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate Are preferred.

―バインダー―
カルボン酸基含有バインダーとしては、アクリル酸、メタクリル酸等の不飽和有機酸化合物とメチルアクリレート、エチルアクリレート、ベンジルメタクリレート等の不飽和有機酸エステル化合物の共重合体が好ましい。
-binder-
As the carboxylic acid group-containing binder, a copolymer of an unsaturated organic acid compound such as acrylic acid or methacrylic acid and an unsaturated organic acid ester compound such as methyl acrylate, ethyl acrylate or benzyl methacrylate is preferable.

―光重合開始剤―
光重合開始剤としては、ハロメチルオキサジアゾール系化合物またはハロメチル−s−トリアジン系化合物を含有する組成物を挙げることができる。
-Photopolymerization initiator-
As a photoinitiator, the composition containing a halomethyl oxadiazole type compound or a halomethyl-s-triazine type compound can be mentioned.

―溶媒―
本発明における前記感光性樹脂組成物は、溶媒を含むことが好ましい。この溶媒としては特に制限はなく水、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセトン、メチルアルコール、n−プロピルアルコール、i−プルピルアルコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロヘキサノール、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム等種々のものを用いることができる。
-solvent-
The photosensitive resin composition in the present invention preferably contains a solvent. This solvent is not particularly limited, and water, toluene, xylene, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, acetone, methyl alcohol, n-propyl alcohol, i-propyl alcohol, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, cyclohexanone, cyclohexane Various things such as hexanol, ethyl lactate, methyl lactate, caprolactam can be used.

(熱可塑性樹脂層)
本発明の転写材料には熱可塑性樹脂層を設けることができる。
熱可塑性樹脂層を構成する樹脂としては、アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリエステル、ポリウレタン、ゴム系樹脂、酢酸ビニル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂およびこれらの共重合体等をあげる事ができる。
熱可塑性樹脂層に用いる成分としては、特開平5−72724号公報に記載されている有機高分子物質が好ましく、ヴイカーVicat法(具体的にはアメリカ材料試験法エーエステーエムデーASTMD1235によるポリマー軟化点測定法)による軟化点が約80℃以下の有機高分子物質より選ばれることが特に好ましい。具体的には、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、エチレンと酢酸ビニル或いはそのケン化物の様なエチレン共重合体、エチレンとアクリル酸エステル或いはそのケン化物、ポリ塩化ビニル、塩化ビニルと酢酸ビニル及びそのケン化物の様な塩化ビニル共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン共重合体、ポリスチレン、スチレンと(メタ)アクリル酸エステル或いはそのケン化物の様なスチレン共重合体、ポリビニルトルエン、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル或いはそのケン化物の様なビニルトルエン共重合体、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アクリル酸エステル共重合体、酢酸ビニル共重合体ナイロン、共重合ナイロン、N−アルコキシメチル化ナイロン、N−ジメチルアミノ化ナイロンの様なポリアミド樹脂等の有機高分子が挙げられる。
(Thermoplastic resin layer)
The transfer material of the present invention can be provided with a thermoplastic resin layer.
Examples of the resin constituting the thermoplastic resin layer include acrylic resins, polystyrene resins, polyesters, polyurethanes, rubber resins, vinyl acetate resins, polyolefin resins, and copolymers thereof.
As the component used for the thermoplastic resin layer, organic polymer substances described in JP-A-5-72724 are preferable, and the polymer softening point according to the Viker Vicat method (specifically, the American Material Testing Method ASTM D1 ASTM D1235). It is particularly preferable that the softening point by the measurement method is selected from organic polymer substances having a temperature of about 80 ° C. or less. Specifically, polyolefins such as polyethylene and polypropylene, ethylene copolymers such as ethylene and vinyl acetate or saponified products thereof, ethylene and acrylic acid esters or saponified products thereof, polyvinyl chloride, vinyl chloride and vinyl acetate and saponified products thereof. Vinyl chloride copolymer such as fluoride, polyvinylidene chloride, vinylidene chloride copolymer, polystyrene, styrene copolymer such as styrene and (meth) acrylic acid ester or saponified product thereof, polyvinyl toluene, vinyl toluene and (meta ) Vinyl toluene copolymer such as acrylic ester or saponified product thereof, poly (meth) acrylic ester, (meth) acrylic ester copolymer such as butyl (meth) acrylate and vinyl acetate, vinyl acetate copolymer Combined nylon, copolymer nylon, N-alkoxyme Le nylon, and organic polymeric polyamide resins such as N- dimethylamino nylon.

これらの樹脂は以下のように2種類(樹脂Aと樹脂B)を混合して用いる事がこのましい。樹脂Aとしては重量平均分子量が5万〜50万で、且つガラス転移温度(Tg)が0から140℃の範囲、更に好ましくは重量平均分子量が6万から20万で、且つガラス転移温度(Tg)が30から110℃の範囲の樹脂が好ましい。これらの樹脂の具体例としては、特開昭63−147159号明細書に記載されたメタクリル酸/2一エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メチルメタクリレート共重合体を挙げることができる。   These resins are preferably used by mixing two types (resin A and resin B) as follows. The resin A has a weight average molecular weight of 50,000 to 500,000 and a glass transition temperature (Tg) in the range of 0 to 140 ° C., more preferably a weight average molecular weight of 60,000 to 200,000, and a glass transition temperature (Tg). ) Is preferably in the range of 30 to 110 ° C. Specific examples of these resins include methacrylic acid / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methyl methacrylate copolymers described in JP-A-63-147159.

樹脂Bとしては重量平均分子量が3千から3万で、且つガラス転移温度(Tg)が30から170℃の範囲、更に好ましくは重量平均分子量が4千から2万で、且つガラス転移温度(Tg)が60から140℃の範囲の樹脂が好ましい。好ましい具体例として特開平5−241340号明細書に記載のスチレン/(メタ)アクリル酸共重合体が挙げられる。   The resin B has a weight average molecular weight of 3,000 to 30,000 and a glass transition temperature (Tg) in the range of 30 to 170 ° C., more preferably a weight average molecular weight of 4,000 to 20,000 and a glass transition temperature (Tg). ) Is preferably in the range of 60 to 140 ° C. Preferable specific examples include styrene / (meth) acrylic acid copolymers described in JP-A-5-241340.

熱可塑性樹脂層を構成する樹脂Aの重量平均分子量が5万未満、又はガラス転移温度(Tg)が0℃未満では、レチキュレーションの発生や、転写中に熱可塑性樹脂が周囲にはみ出して仮支持体を汚染する。樹脂Aの重量平均分子量が50万を越え、又はガラス転移温度(Tg)が140℃を越えるとラミネート適性が低下する。
熱可塑性樹脂の厚みは1から50μm、より好ましくは2から20μmの範囲が望ましい。厚みが1μm未満であるとラミネート適性が低下し、50μmを超えるとコスト、製造適性の観点から好ましくない。
本発明の熱可塑性樹脂層の塗布液としてはこの層を構成する樹脂を溶解する限り特に制限なく使用でき、例えばメチルエチルケトン、n−プロパノール、i−プロパノール等を使用できる。
When the weight average molecular weight of the resin A constituting the thermoplastic resin layer is less than 50,000 or the glass transition temperature (Tg) is less than 0 ° C., the thermoplastic resin protrudes to the surroundings during the occurrence of reticulation or transfer. Contaminates the support. When the weight average molecular weight of the resin A exceeds 500,000 or the glass transition temperature (Tg) exceeds 140 ° C., the suitability for lamination deteriorates.
The thickness of the thermoplastic resin is desirably 1 to 50 μm, more preferably 2 to 20 μm. When the thickness is less than 1 μm, the suitability for lamination is deteriorated, and when it exceeds 50 μm, it is not preferable from the viewpoint of cost and production suitability.
The coating liquid for the thermoplastic resin layer of the present invention can be used without particular limitation as long as the resin constituting this layer is dissolved, and for example, methyl ethyl ketone, n-propanol, i-propanol and the like can be used.

(中間層<酸素遮断層>)
本発明における転写材料において、熱可塑性樹脂層と転写層の間に、塗布時の両層の層混合を防止するためのアルカリ可溶な中間層(以下、「酸素遮断層」ともいう。)を設けることが好ましい。
中間層を構成する樹脂としてはアルカリ可溶であれば特に制限はない。このような樹脂の例としては、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリビニルピロリドン系樹脂、セルロース系樹脂、アクリルアミド系樹脂、ポリエチレンオキサイド系樹脂、ゼラチン、ビニルエーテル系樹脂、ポリアミド樹脂およびこれらの共重合体を挙げることができる。また、ポリエステルのように通常はアルカリ可溶性でない樹脂にカルボキシル基やスルホン酸基を持つモノマーを共重合してアルカリ可溶性にした樹脂も用いることができる。
これらの中で好ましいものはポリビニルアルコールである。ポリビニルアルコールとしては鹸化度が80%以上のものが好ましく、83から98%のものがさらに好ましい。
(Intermediate layer <oxygen barrier layer>)
In the transfer material of the present invention, an alkali-soluble intermediate layer (hereinafter also referred to as “oxygen barrier layer”) for preventing layer mixing of both layers during coating is provided between the thermoplastic resin layer and the transfer layer. It is preferable to provide it.
The resin constituting the intermediate layer is not particularly limited as long as it is alkali-soluble. Examples of such resins include polyvinyl alcohol resins, polyvinyl pyrrolidone resins, cellulose resins, acrylamide resins, polyethylene oxide resins, gelatin, vinyl ether resins, polyamide resins and copolymers thereof. it can. Further, a resin which is made alkali-soluble by copolymerizing a monomer having a carboxyl group or a sulfonic acid group with a resin which is not usually alkali-soluble, such as polyester, can also be used.
Of these, polyvinyl alcohol is preferred. The polyvinyl alcohol preferably has a saponification degree of 80% or more, more preferably 83 to 98%.

中間層を構成する樹脂は2種類以上を混合して使用することが好ましく、特にポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとを混合して使用することが好ましい。両者の質量比はポリビニルピロリドン/ポリビニルアルコール=1/99から75/25が好ましく、さらに好ましくは10/90から50/50の範囲内である。上記質量比が1/99未満であると中間層の面状の悪化や、中間層上に塗設する光吸収層との密着不良といった問題が生じる場合がある。また、上記質量比が75/25を超えると中間層の酸素遮断性が低下して感度が低下する場合がある。   It is preferable to use a mixture of two or more resins constituting the intermediate layer, and it is particularly preferable to use a mixture of polyvinyl alcohol and polyvinyl pyrrolidone. The mass ratio of the two is preferably polyvinylpyrrolidone / polyvinyl alcohol = 1/99 to 75/25, more preferably in the range of 10/90 to 50/50. If the mass ratio is less than 1/99, problems such as deterioration of the surface state of the intermediate layer and poor adhesion with the light absorption layer coated on the intermediate layer may occur. Moreover, when the said mass ratio exceeds 75/25, the oxygen barrier property of an intermediate | middle layer falls and a sensitivity may fall.

中間層の厚みは0.1から5μmが好ましく、0.5から3μmの範囲内がさらに好ましい。上記厚みが0.1μm未満であると酸素遮断性が低下する場合があり、上記厚みが5μmを超えると現像時の中間層除去時間が増大してしまう。   The thickness of the intermediate layer is preferably from 0.1 to 5 μm, more preferably from 0.5 to 3 μm. If the thickness is less than 0.1 μm, the oxygen barrier property may be lowered. If the thickness exceeds 5 μm, the intermediate layer removal time during development increases.

中間層の塗布溶媒としては上記の樹脂を溶解することができれば特にその他の限定はないが、水を用いるのが好ましく、水に上述の水混和性有機溶剤を混合した混合溶媒も好ましい。中間層の塗布溶媒として好ましい具体例としては、次のようなものがある。水、水/メタノール=90/10、水/メタノール70/30、水/メタノール=55/45、水/エタノール=70/30、水/1−プロパノール=70/30、水/アセトン=90/10、水/メチルエチルケトン=95/5である。これらの比は質量比を表わす。   The application solvent for the intermediate layer is not particularly limited as long as it can dissolve the above-mentioned resin, but water is preferably used, and a mixed solvent obtained by mixing the above-mentioned water-miscible organic solvent with water is also preferable. Specific examples of preferable coating solvents for the intermediate layer include the following. Water, water / methanol = 90/10, water / methanol 70/30, water / methanol = 55/45, water / ethanol = 70/30, water / 1-propanol = 70/30, water / acetone = 90/10 Water / methyl ethyl ketone = 95/5. These ratios represent mass ratios.

(感光性樹脂転写材料の作製方法)
本発明における感光性樹脂転写材料は、仮支持体上に熱可塑性樹脂層の添加剤を溶解した塗布液(熱可塑性樹脂層用塗布液)を塗布し、乾燥することにより熱可塑性樹脂層を設け、その後熱可塑性樹脂層上に熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤からなる中間層材料の溶液を塗布、乾燥し、その後感光性樹脂層を、中間層を溶解しない溶剤で塗布、乾燥して設けることにより作製することができる。
また、前記の仮支持体上に熱可塑性樹脂層及び中間層を設けたシート、及び保護フィルム上に感光性樹脂層を設けたシートを用意し、中間層と感光性樹脂層が接するように相互に貼り合わせることによっても、更には、前記の仮支持体上に熱可塑性樹脂層を設けたシート、及び保護フィルム上に感光性樹脂層及び中間層を設けたシートを用意し、熱可塑性樹脂層と中間層が接するように相互に貼り合わせることによっても、作製することができる。
(Method for producing photosensitive resin transfer material)
In the photosensitive resin transfer material in the present invention, a thermoplastic resin layer is provided by applying a coating solution (a coating solution for a thermoplastic resin layer) in which an additive for a thermoplastic resin layer is dissolved on a temporary support, followed by drying. Then, an intermediate layer material solution made of a solvent that does not dissolve the thermoplastic resin layer is applied on the thermoplastic resin layer and dried, and then the photosensitive resin layer is applied and dried with a solvent that does not dissolve the intermediate layer. Can be produced.
In addition, a sheet provided with the thermoplastic resin layer and the intermediate layer on the temporary support and a sheet provided with the photosensitive resin layer on the protective film are prepared, and the intermediate layer and the photosensitive resin layer are in contact with each other. In addition, a sheet provided with a thermoplastic resin layer on the temporary support and a sheet provided with a photosensitive resin layer and an intermediate layer on a protective film are also prepared, and a thermoplastic resin layer is prepared. Can also be produced by bonding them so that the intermediate layer is in contact with each other.

(保護フィルム)
該感光性樹脂層は、貯蔵の際汚染や損傷に対して保護するために、仮支持体に相対する側に薄い被覆シートを有する事が出来る。被覆シートは仮支持体と同じかまたは類似の材料からなっても良いが、感光性樹脂層から容易に分離されねばならない。被覆シート材料としては例えばシリコーン紙、ポリオレフィンもしくはポリテトラフルオルエチレンシートが適当である。被覆シートの厚みは約5から100μmであるのが好ましい。特に好ましくは10から30μm厚のポリエチレンまたはポリプロピレンフィルムである。
(Protective film)
The photosensitive resin layer can have a thin cover sheet on the side facing the temporary support to protect against contamination and damage during storage. The cover sheet may be made of the same or similar material as the temporary support, but it must be easily separated from the photosensitive resin layer. As the covering sheet material, for example, silicone paper, polyolefin or polytetrafluoroethylene sheet is suitable. The thickness of the covering sheet is preferably about 5 to 100 μm. Particularly preferred is a polyethylene or polypropylene film having a thickness of 10 to 30 μm.

(塗布、乾燥)
本発明で前記着色組成物を塗布するには、公知の塗布装置等によって行うことができる。
塗布方法としては特に制限はない。例えば特開平5−224011号公報記載のスピンコート法、特開平9−323472号公報記載のダイコート法などを用いることができる。また、例えば「コーティング工学(原崎 勇次著、朝倉書店、昭和47年発行)」に記載されている方法も用いることができる。
この中でも、本発明においては、液が吐出する部分にスリット状の穴を有するスリット状ノズルを用いた塗布装置(スリットコータ)によって行うことが好ましい。
具体的には、特開2004−89851号公報、特開2004−17043号公報、特開2003−170098号公報、特開2003−164787号公報、特開2003−10767号公報、特開2002−79163号公報、特開2001−310147号公報等に記載のスリット状ノズル、及びスリットコーターが好適に用いられる。
これらのノズルやコーターにより仮支持体、または基板に、前記着色組成物を塗布することにより、仮支持体においては転写層、基板においては感光性樹脂層を形成することができる。
乾燥後の膜厚は0.2から0.9μm、より好ましくは0.3から0.6μm、最も好ましくは0.4から0.5μmの範囲が望ましい。厚みが0.2μm未満になると形成された遮光膜の遮光性が低下し、厚みが0.9μmを超えると遮光膜形成後に設ける赤、青、緑の画素の表面が平滑にならず色むらが発生する。
(Coating, drying)
In order to apply the colored composition in the present invention, it can be performed by a known coating apparatus or the like.
There is no restriction | limiting in particular as a coating method. For example, a spin coating method described in JP-A-5-224011, a die coating method described in JP-A-9-323472, or the like can be used. Further, for example, a method described in “Coating Engineering (Yuji Harasaki, Asakura Shoten, published in 1972)” can also be used.
Among these, in this invention, it is preferable to carry out by the coating device (slit coater) using the slit-shaped nozzle which has a slit-shaped hole in the part which discharges a liquid.
Specifically, JP-A-2004-89851, JP-A-2004-17043, JP-A-2003-170098, JP-A-2003-164787, JP-A-2003-10767, JP-A-2002-79163. Slit nozzles and slit coaters described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-310147 and the like are preferably used.
By applying the coloring composition to a temporary support or a substrate with these nozzles or coaters, a transfer layer can be formed on the temporary support, and a photosensitive resin layer can be formed on the substrate.
The film thickness after drying is desirably 0.2 to 0.9 μm, more preferably 0.3 to 0.6 μm, and most preferably 0.4 to 0.5 μm. When the thickness is less than 0.2 μm, the light shielding property of the formed light shielding film is deteriorated. When the thickness exceeds 0.9 μm, the surface of red, blue, and green pixels provided after the light shielding film is formed is not smooth and color unevenness occurs. appear.

《遮光膜付基板の作製方法》
<転写材料を用いた遮光膜付基板の作成方法>
本発明の遮光膜付基板は、仮支持体上に転写層(遮光層)を設けた転写材料を、転写層(遮光層)が基板と接するように積層し、転写材料と基板との積層体から仮支持体を剥離し、その後遮光膜用フォトマスクを介して該感光性遮光層を露光、現像することにより得ることができる。
以下、本発明における転写材料(感光性樹脂転写材料)を基板に転写する方法について詳細に述べる。
<< Method of manufacturing substrate with light-shielding film >>
<Method for producing substrate with light-shielding film using transfer material>
The substrate with a light-shielding film of the present invention is formed by laminating a transfer material provided with a transfer layer (light-shielding layer) on a temporary support so that the transfer layer (light-shielding layer) is in contact with the substrate, and a laminate of the transfer material and the substrate. The temporary support is peeled from the substrate, and then the photosensitive light-shielding layer is exposed and developed through a photomask for a light-shielding film.
Hereinafter, a method for transferring the transfer material (photosensitive resin transfer material) in the present invention to the substrate will be described in detail.

仮支持体上の少なくとも2層の樹脂層を有する転写層を基板に転写する工程である。
転写は、転写層(光反射層及び/または光吸収層)と基板を密着させてラミネートする方法が好ましい。ラミネートは公知の方法を用いることができる。例えばラミネーター、真空ラミネーターなどを使い60から150℃程度の温度、0.2から20Pa程度の圧力、0.05から10m/分程度のライン速度の範囲で行うことができる。本発明ではラミネートの後、仮支持体を剥離することが好ましい。
In this step, the transfer layer having at least two resin layers on the temporary support is transferred to the substrate.
The transfer is preferably performed by laminating the transfer layer (light reflection layer and / or light absorption layer) and the substrate in close contact. A known method can be used for laminating. For example, a laminator, a vacuum laminator or the like can be used at a temperature of about 60 to 150 ° C., a pressure of about 0.2 to 20 Pa, and a line speed of about 0.05 to 10 m / min. In the present invention, it is preferable to peel off the temporary support after lamination.

(他の色の形成)
また、本発明によりカラーフィルターを形成するには、基板上に感光性樹脂層を形成し、露光して現像することを色の数だけ繰り返す方法など、公知の方法によって製造することができる。尚、必要に応じて、その境界を遮光膜で区分した構造とすることもできる。
上記の製造方法において、基板上に上記感光性樹脂層を形成する方法としては、(a)上記の各着色感光性樹脂組成物を公知の塗布装置等によって塗布する方法、及び(b)前述の感光性樹脂転写材料を用い、ラミネーターによって貼り付ける方法などが挙げられる。
(Formation of other colors)
Further, in order to form a color filter according to the present invention, it can be produced by a known method such as a method in which a photosensitive resin layer is formed on a substrate, and exposure and development are repeated by the number of colors. If necessary, the boundary may be divided by a light shielding film.
In the above production method, the method for forming the photosensitive resin layer on the substrate includes: (a) a method of applying each of the colored photosensitive resin compositions by a known coating apparatus; and (b) the above-described method. Examples thereof include a method of using a photosensitive resin transfer material and affixing with a laminator.

―ラミネーターによる貼り付け―
前述の感光性樹脂転写材料を用い、フィルム状に形成した感光性樹脂層を、後述する基板上に加熱及び/又は加圧したローラー又は平板で圧着又は加熱圧着することによって、貼り付けることができる。具体的には、特開平7−110575号公報、特開平11−77942号公報、特開2000−334836号公報、特開2002−148794号公報に記載のラミネーター及びラミネート方法が挙げられるが、低異物の観点で、特開平7−110575号公報に記載の方法を用いるのが好ましい。
-Pasting with a laminator-
Using the above-mentioned photosensitive resin transfer material, the photosensitive resin layer formed in a film shape can be attached by pressure bonding or thermocompression bonding with a roller or flat plate heated and / or pressurized on a substrate described later. . Specific examples include laminators and laminating methods described in JP-A-7-110575, JP-A-11-77942, JP-A-2000-334836, and JP-A-2002-148794. From this point of view, it is preferable to use the method described in JP-A-7-110575.

(基板)
本発明に使用される基板としては、例えば、透明基板が用いられ、表面に酸化ケイ素皮膜を有するソーダガラス板、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス板等の公知のガラス板、或いは、プラスチックフィルム等を挙げることができる。
また、上記基板は、予めカップリング処理を施しておくことにより、前期着色組成物、又は感光性樹脂転写材料との密着を良好にすることができる。該カップリング処理としては、特開2000−39033号公報に記載の方法が好適に用いられる。
(substrate)
As a substrate used in the present invention, for example, a transparent substrate is used, and a known glass plate such as a soda glass plate having a silicon oxide film on its surface, a low expansion glass, a non-alkali glass, a quartz glass plate, or a plastic A film etc. can be mentioned.
Moreover, the said board | substrate can make favorable adhesion | attachment with a coloring composition or a photosensitive resin transfer material by performing a coupling process previously. As the coupling treatment, a method described in JP 2000-39033 A is preferably used.

(中間層、酸素遮断層)
本発明を実施するには、感光性樹脂層上に更に酸素遮断機能のある中間層を設けた状態で露光することができる。これにより、露光感度をアップすることができる。材料としては既に<感光性樹脂転写材料>の(中間層)の項において説明したものと同様のものが挙げられる。
(Intermediate layer, oxygen barrier layer)
In carrying out the present invention, the exposure can be carried out in a state in which an intermediate layer having an oxygen blocking function is further provided on the photosensitive resin layer. Thereby, exposure sensitivity can be improved. Examples of the material include those already described in the section of (Interlayer) of <Photosensitive resin transfer material>.

(パターン露光)
本発明の遮光膜作製における露光は次のように行うことが好ましい。
露光に使用される光源は、遮光性の転写層の感光性に応じて選択される。例えば、超高圧水銀灯、キセノン灯、カーボンアーク灯、アルゴンレーザー等の公知の光源を使用
することができる。特開平6−59119号公報に記載のように、400nm以上の波長の光透過率が2%以下である光学フィルター等を併用しても良い。
露光方法は、基板全面を1回で露光する一括露光でもよいし、基板を分割して何回かに分けて露光する分割露光でもよい。更に、レーザーを用いて基板表面をスキャンしながら行う露光方法でもよい。
(Pattern exposure)
The exposure in the production of the light shielding film of the present invention is preferably performed as follows.
The light source used for exposure is selected according to the photosensitivity of the light-shielding transfer layer. For example, a known light source such as an ultra-high pressure mercury lamp, a xenon lamp, a carbon arc lamp, or an argon laser can be used. As described in JP-A-6-59119, an optical filter having a light transmittance of 2% or less at a wavelength of 400 nm or more may be used in combination.
The exposure method may be batch exposure in which the entire surface of the substrate is exposed at once, or may be divided exposure in which the substrate is divided and exposed in several times. Furthermore, the exposure method performed while scanning the substrate surface using a laser may be used.

(現像)
前記パターン露光後の樹脂層(転写層)を現像し、未露光部分うぃ除去する工程である。
現像液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液を使用するが、さらに、水と混和性の有機溶剤を少量添加したものを用いても良い。適当なアルカリ性物質としては、アルカリ金属水酸化物類(例、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム)、アルカリ金属炭酸塩類(例、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム)、アルカリ金属重炭酸塩類(例、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム)、アルカリ金属ケイ酸塩類(例、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム)、アルカリ金属メタケイ酸塩類(例、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム)、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類(例えばテトラメチルアンモニウムヒドロキシド)または燐酸三ナトリウムを挙げることができる。アルカリ性物質の濃度は、0.01質量%から30質量%であり、pHは8から14が好ましい。また、必要に応じて転写層の酸化等の性質に応じて例えば、現像液のpH等を変化させて、本発明の膜状脱離による現像を行なえるように調整することができる。
上記水と混和性のある適当な有機溶剤としては、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドンを挙げることができる。水と混和性の有機溶剤の濃度は、0.1から30質量%が一般的である。
(developing)
In this step, the resin layer (transfer layer) after the pattern exposure is developed and unexposed portions are removed.
As the developer, a dilute aqueous solution of an alkaline substance is used, but a developer added with a small amount of an organic solvent miscible with water may also be used. Suitable alkaline substances include alkali metal hydroxides (eg, sodium hydroxide, potassium hydroxide), alkali metal carbonates (eg, sodium carbonate, potassium carbonate), alkali metal bicarbonates (eg, sodium bicarbonate). , Potassium bicarbonate), alkali metal silicates (eg, sodium silicate, potassium silicate), alkali metal metasilicates (eg, sodium metasilicate, potassium metasilicate), triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, Mention may be made of morpholine, tetraalkylammonium hydroxides (for example tetramethylammonium hydroxide) or trisodium phosphate. The concentration of the alkaline substance is 0.01 to 30% by mass, and the pH is preferably 8 to 14. Further, according to the properties such as oxidation of the transfer layer, for example, the pH of the developer can be changed to adjust the transfer layer so that the development by the film-like detachment can be performed.
Suitable organic solvents miscible with water include methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether. Benzyl alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam and N-methylpyrrolidone. The concentration of the water-miscible organic solvent is generally 0.1 to 30% by mass.

現像液には、さらに公知の界面活性剤を添加することができる。界面活性剤の濃度は0.01から10質量%が好ましい。
現像液は、浴液としても、あるいは噴霧液としても用いることができる。転写層の未硬化部分を固形状(好ましくは膜状)で除去するには、現像液中に回転ブラシで擦るか湿潤スポンジで擦るなどの方法、あるいは現像液を噴霧した際の噴霧圧を利用する方法が好ましい。現像液の温度は、通常室温付近から40℃の範囲が好ましい。現像処理の後に水洗工程を入れることも可能である。
熱可塑性樹脂層の処理液と感光性樹脂層の現像液が同一である必要はなく、処方が異なっていても良い。
A known surfactant can be further added to the developer. The concentration of the surfactant is preferably from 0.01 to 10% by mass.
The developer can be used as a bath solution or a spray solution. In order to remove the uncured portion of the transfer layer in a solid form (preferably a film form), use a method such as rubbing with a rotating brush or wet sponge in the developer, or spray pressure when the developer is sprayed. Is preferred. The temperature of the developer is usually preferably in the range of about room temperature to 40 ° C. It is also possible to put a water washing step after the development processing.
The processing solution for the thermoplastic resin layer and the developing solution for the photosensitive resin layer do not need to be the same, and the formulations may be different.

(ベーク)
現像工程の後、必要に応じて加熱処理を行ってもよい。この処理により、露光により硬化した感光性遮光膜を加熱して硬化を進め、耐溶剤性や耐アルカリ性を高めることができる。加熱方法は、現像後の基板を電気炉、乾燥器等の中で加熱する方法、赤外線ランプで加熱する方法などが挙げられる。加熱温度や加熱時間は、感光性遮光膜の組成や厚みによるが、120℃から250℃で10から300分間、より好ましくは、180から240℃で30から200分間の範囲が好ましい。
(Bake)
You may heat-process as needed after a image development process. By this treatment, the photosensitive light-shielding film cured by exposure can be heated to proceed with curing, and the solvent resistance and alkali resistance can be enhanced. Examples of the heating method include a method of heating the substrate after development in an electric furnace, a drier, etc., a method of heating with an infrared lamp, and the like. The heating temperature and heating time depend on the composition and thickness of the photosensitive light-shielding film, but are preferably in the range of 120 to 250 ° C. for 10 to 300 minutes, more preferably 180 to 240 ° C. for 30 to 200 minutes.

(ポスト露光)
また、現像工程の後、加熱処理をする前に、硬化促進のため露光を行ってもよい。この露光も前述の1回目の露光と同様の方法で行うことができる。
(Post exposure)
In addition, after the development step and before the heat treatment, exposure may be performed to accelerate curing. This exposure can also be performed by the same method as the first exposure described above.

(パターニング)
本発明では、画素の形状を得ることをパターニングと呼び上記のように、感光性樹脂層の、露光、現像により行われる。このようなパターニング方法はフォトリソグラフィーまたはフォトリソと呼ぶ。
(Patterning)
In the present invention, obtaining the shape of the pixel is called patterning and is performed by exposure and development of the photosensitive resin layer as described above. Such a patterning method is called photolithography or photolithography.

<着色組成物(感光性樹脂組成物を含む)を用いた遮光膜の製造方法>
本発明における前記着色組成物(感光性樹脂組成物を含む)を用いた遮光膜の製造方法について述べる。
まず、前記着色組成物(感光性樹脂組成物を含む)を基板上に塗布、乾燥し樹脂層を形成する、続いて、該樹脂層に露光マスクを用いて画像パターンを露光する。画像パターンの露光後の樹脂層を現像して未露光部分を除去して遮光膜を基板上に形成する。
ここで、基板、露光、現像等については、前記転写材料を用いた場合に記載した内容と同じである。また、塗布、乾燥については転写材料の作製方法における条件等を採用することができる。
本発明における着色組成物に含まれる感光性樹脂組成物は、目的に応じて種々用途に用いられるが、好適には前記遮光膜、前記遮光膜付基板、前記転写材料、後述のカラーフィルター、及び表示装置におけるBMに用いられる。
<Method for producing light-shielding film using colored composition (including photosensitive resin composition)>
A method for producing a light-shielding film using the colored composition (including the photosensitive resin composition) in the present invention will be described.
First, the colored composition (including the photosensitive resin composition) is applied onto a substrate and dried to form a resin layer. Subsequently, the resin layer is exposed to an image pattern using an exposure mask. The exposed resin layer of the image pattern is developed to remove the unexposed portions, and a light shielding film is formed on the substrate.
Here, the substrate, exposure, development, and the like are the same as those described when the transfer material is used. Moreover, about the application | coating and drying, the conditions in the manufacturing method of a transfer material are employable.
The photosensitive resin composition contained in the colored composition in the present invention is used for various purposes depending on the purpose, and preferably the light shielding film, the substrate with the light shielding film, the transfer material, a color filter described later, and Used for BM in a display device.

《カラーフィルター》
本発明におけるカラーフィルターは、基板上に着色層からなり、互いに異なる色を呈する2以上の画素郡を有し、該画素郡を構成する各画素は互いに前記遮光膜で隔離されていることが好ましい。
該基板は、光透過性基板であることが好ましく、前述の通りである。
該カラーフィルターは前記PD遮光膜付基板を用いて形成されることが好ましく、該遮光膜は前記着色組成物もしくは、前記転写材料を用いて形成されることが好ましい。
本発明におけるカラーフィルター層は、青色フィルターと、緑色フィルターと、赤色フィルターの1種以上を用いることが好ましい。3色独立発光式の場合は設けなくてよい。
該カラーフィルターはプラズマディスプレイ(PD)に用いられるカラーフィルターであることが好ましい。
カラーフィルター層には、液晶ディスプレイ等で用いられているカラーフィルターを用いてもよいが、蛍光体の発光する光に合わせてカラーフィルターの特性を調整し、取り出し効率・色純度を最適化すればよい。 また、光吸収するような短波長の光をカットできるカラーフィルターを用いることが好ましい。
このようなカラーフィルターを用いてフルカラーのディスプレイを得ようとする場合、カラーフィルター通過後の色が、NTSC標準、あるいは現行のCRTの色度座標に調整すればよい。このような色度座標は、一般的な色度座標測定器、例えばトプコン社製のSR−1等を用いて測定できる。
"Color filter"
The color filter according to the present invention is preferably composed of a colored layer on a substrate, having two or more pixel groups exhibiting different colors, and each pixel constituting the pixel group is isolated from each other by the light shielding film. .
The substrate is preferably a light transmissive substrate, as described above.
The color filter is preferably formed using the PD light-shielding film-coated substrate, and the light-shielding film is preferably formed using the colored composition or the transfer material.
The color filter layer in the present invention preferably uses at least one of a blue filter, a green filter, and a red filter. In the case of the three-color independent light emitting type, it is not necessary to provide it.
The color filter is preferably a color filter used in a plasma display (PD).
The color filter layer may be a color filter used in liquid crystal displays, but if the characteristics of the color filter are adjusted according to the light emitted by the phosphor and the extraction efficiency and color purity are optimized. Good. Further, it is preferable to use a color filter that can cut light having a short wavelength that absorbs light.
In order to obtain a full color display using such a color filter, the color after passing through the color filter may be adjusted to the NTSC standard or the chromaticity coordinates of the current CRT. Such chromaticity coordinates can be measured using a general chromaticity coordinate measuring instrument, such as SR-1 manufactured by Topcon Corporation.

<プラズマディスプレイ(PD)>
本発明のプラズマディスプレイとは、例えば特開2003−203575号公報や特開平9−283030号公報に記載されているプラズマディスプレイの製造方法に基づき製造される。
なお、本発明におけるプラズマディスプレイは、遮光膜のみ、または遮光膜を備えたカラーフィルター層を有する場合がある。
<Plasma display (PD)>
The plasma display of the present invention is manufactured based on a method for manufacturing a plasma display described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2003-203575 and 9-283030.
The plasma display in the present invention may have only a light shielding film or a color filter layer provided with the light shielding film.

以下、実施例、参考例及び比較例により本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。なお、特に断らない限り、「部」、「%」はそれぞれ「質量部」、「質量%」を意味する。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example , a reference example, and a comparative example demonstrate this invention further more concretely, this invention is not limited to these Examples at all. Unless otherwise specified, “part” and “%” mean “part by mass” and “% by mass”, respectively.

(実施例1)
遮光膜付基板の作製
(銀分散スラリーの製造)
ゼラチン112gに、蒸留水3,488gを添加し、そして得られた混合物を約47℃まで加熱してゼラチンを溶解した。これに、酢酸カルシウム4.0g及びホウ化水素カリウム2.0gを添加した。その直後に、蒸留水1.0Lに溶解した硝酸銀6.0gを、急速に攪拌しながら添加した。蒸留水を添加して、最終重量を5.0kgに調整した。次いで生成物をゲル化温度近くまで冷却し、そして小さな穴を通過させて冷却した水の中へ入れ、それにより非常に微細なヌードルを形成した。これらのヌードル(線状のスラリー)を、現場で青色銀を生成するための増幅触媒として供給した。便宜上及びヌードルが溶融塊を形成するのを防ぐために、水を用いてヌードルを希釈して水1対ヌードル3のヌードルスラリーを作製した。
ホウ化水素還元銀核650gに、蒸留水81gに溶解したモノスルホン酸ヒドロキノンカリウム6.5g及びKCl 0.29gを添加した。ヌードルスラリーを約6℃まで冷却した。別々の容器に、以下の2種の溶液A及びBを製造した。
Example 1
Production of substrate with light-shielding film (production of silver-dispersed slurry)
3,488 g of distilled water was added to 112 g of gelatin, and the resulting mixture was heated to about 47 ° C. to dissolve the gelatin. To this, 4.0 g of calcium acetate and 2.0 g of potassium borohydride were added. Immediately thereafter, 6.0 g of silver nitrate dissolved in 1.0 L of distilled water was added with rapid stirring. Distilled water was added to adjust the final weight to 5.0 kg. The product was then cooled to near the gelation temperature and passed through a small hole into the cooled water, thereby forming a very fine noodle. These noodles (linear slurries) were supplied as amplification catalysts for producing blue silver on site. For convenience and to prevent the noodle from forming a molten mass, the noodle was diluted with water to make a noodle slurry of water 1 to noodle 3.
6.5 g of potassium hydroquinone monosulfonate and 0.29 g of KCl dissolved in 81 g of distilled water were added to 650 g of borohydride-reduced silver nuclei. The noodle slurry was cooled to about 6 ° C. The following two types of solutions A and B were prepared in separate containers.

A 亜硫酸ナトリウム(無水) 19.5部
重亜硫酸ナトリウム(無水) 0.98部
蒸留水 122.0部
A Sodium sulfite (anhydrous) 19.5 parts Sodium bisulfite (anhydrous) 0.98 parts Distilled water 122.0 parts

B 硝酸銀 9.75部
蒸留水溶液 122.0部
B Silver nitrate 9.75 parts Distilled aqueous solution 122.0 parts

上記A及びBを混合して、攪拌を続けると消失する白色沈殿を形成させた。次いで直ちに、この混合物を短時間で(5分間以内)急速に攪拌しながら上記ヌードルスラリーに添加した。温度を10℃に維持し、そしてすべての可溶性銀塩が核の上に還元されるまで、約80分間増幅を進行させた。得られた青色スラリー微粒子を、ナイロンメッシュバック中でスラリーを介して水道水を通過させ、そして約30分間洗浄水がバックを通過するようにして洗浄したので、すべての塩を洗い流した。
ゲルスラリーに分散させた洗浄した青色銀を、溶融した場合に1.5重量%の濃度の銀を有する青色銀分散体が得られるように、生成物の重量が412gになるまで脱水した。
The above A and B were mixed, and a white precipitate disappearing when stirring was continued. Immediately, this mixture was then added to the noodle slurry with rapid stirring in a short time (within 5 minutes). The temperature was maintained at 10 ° C. and amplification was allowed to proceed for about 80 minutes until all soluble silver salt was reduced onto the nuclei. The resulting blue slurry particulates were passed through the slurry in a nylon mesh bag through the slurry and washed for about 30 minutes with the wash water passing through the bag, so all the salt was washed away.
The washed blue silver dispersed in the gel slurry was dewatered until the weight of the product was 412 g so that when melted, a blue silver dispersion having a concentration of 1.5 wt% silver was obtained.

(銀微粒子の作製)
上記の如くして得られた銀分散スラリー5000gに、分散剤(ラピゾールB−90、日本油脂(株)製)25gとパパイン5重量%水溶液1000gを添加し37℃で24時間保存した。
この液を2000rpmで5分間遠心分離し、銀微粒子を沈降させた。上澄み液を除いた後蒸留水で洗浄して酵素で分解されたゼラチン分解物を除去した。
次いで銀微粒子沈降物をメチルアルコールで洗浄してから乾燥させた。約85gの銀微粒子の凝集物が得られた。この凝集物73.5gとソルスパース20000(アビシア(株)製 分散剤)1.05gメチルエチルケトン16.4gを混合した。これをビーズ分散機(ジルコニアビーズ0.3mm)を用いて平均粒径100nmの銀微粒子分散液A−1を得た。
(Preparation of silver fine particles)
To 5000 g of the silver dispersion slurry obtained as described above, 25 g of a dispersant (Lapisol B-90, manufactured by NOF Corporation) and 1000 g of a papain 5% by weight aqueous solution were added and stored at 37 ° C. for 24 hours.
This solution was centrifuged at 2000 rpm for 5 minutes to precipitate silver fine particles. After removing the supernatant, it was washed with distilled water to remove the gelatin degradation product decomposed by the enzyme.
Next, the silver fine particle precipitate was washed with methyl alcohol and then dried. An aggregate of about 85 g of silver fine particles was obtained. 73.5 g of this aggregate and 1.05 g of Solsperse 20000 (dispersant manufactured by Avicia Co., Ltd.) and 16.4 g of methyl ethyl ketone were mixed. This was used to obtain a silver fine particle dispersion A-1 having an average particle diameter of 100 nm using a bead disperser (zirconia beads 0.3 mm).

同様の方法で平均粒径90nmの銀微粒子分散液A−2を得た。   A silver fine particle dispersion A-2 having an average particle size of 90 nm was obtained in the same manner.

(仮支持体の作製)
厚さ75 μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて、乾燥厚みが5μmになるように下記の処方Cからなる熱可塑性樹脂層塗布液を塗布し、100℃で3分間乾燥させた。
次に下記の処方Dから成る中間層塗布液を上記で作製した熱可塑性樹脂層の上に乾燥厚みが1.5μmになるように塗布し、100℃で3分間乾燥させた。
(Preparation of temporary support)
On a polyethylene terephthalate film temporary support having a thickness of 75 μm, a thermoplastic resin layer coating solution having the following formulation C is applied using a slit nozzle so that the dry thickness is 5 μm. Let dry for minutes.
Next, an intermediate layer coating solution having the following formulation D was applied on the thermoplastic resin layer prepared above so as to have a dry thickness of 1.5 μm, and dried at 100 ° C. for 3 minutes.

C:熱可塑性樹脂層塗布液処方
メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=54/12/5/29の共重合体(数平均分子量80000) 58部
スチレン/アクリル酸=70/30の共重合体(数平均分子量7000) 136部
BPE−500(新中村化学株製 多官能アクリレート) 90部
F780F(大日本インキ化学工業(株)製 フッ素系界面活性剤20%) 1部
メチルエチルケトン 541部
1−メトキシ−2−プロパノール 63部
メチルアルコール 111部
C: Thermoplastic resin layer coating solution formulation Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid = 54/12/5/29 copolymer (number average molecular weight 80,000) 58 parts Styrene / acrylic acid = 70/30 Copolymer (number average molecular weight 7000) 136 parts BPE-500 (polyfunctional acrylate made by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) 90 parts F780F (fluorine surfactant 20% made by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) 1 part methyl ethyl ketone 541 1-methoxy-2-propanol 63 parts methyl alcohol 111 parts

D:中間層(保護層)塗布液の処方
ポリビニルアルコール(クラレ(株)製 PVA205) 3.0部
ポリビニルピロリドン(GAFコーポレーション(株)製 PVP−K30)1.3部
蒸留水 50.7部
メチルアルコール 45.0部
D: Prescription of coating solution for intermediate layer (protective layer) Polyvinyl alcohol (PVA205 manufactured by Kuraray Co., Ltd.) 3.0 parts Polyvinylpyrrolidone (PVP-K30 manufactured by GAF Corporation) 1.3 parts Distilled water 50.7 parts Methyl Alcohol 45.0 parts

(転写材料の作製)
上記で得られた仮支持体の上に、下記Eの処方より得られる塗布液を膜厚が0.6μmになるように上記で作製した中間層の上に塗布して、100℃で3分間乾燥して、転写材料を作製した。
(Production of transfer material)
On the temporary support obtained above, the coating solution obtained from the following formula E is applied on the intermediate layer prepared as described above so that the film thickness becomes 0.6 μm, and at 100 ° C. for 3 minutes. It dried and produced the transfer material.

E:感光性樹脂層塗布液の処方
銀微粒子分散液A−1(100nm) 20.0部
銀微粒子分散液A−2(90nm) 20.0部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 28.6部
メチルエチルケトン 37.6部
界面活性剤(F176PF(20%)) 0.2部
ヒドロキノンモノメチルエーテル 0.001部
ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(モル比=73/27、分子量30000) 2.1部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
金属微粒子の体積分率の和が0.126になるよう添加
ビス[4−[N−[4−(4、6−ビストリクロロメチル−s−トリアジン−2−イル)フェニル]カルバモイル]フェニル]セバケート 0.1部
E: Formulation of photosensitive resin layer coating solution Silver fine particle dispersion A-1 (100 nm) 20.0 parts Silver fine particle dispersion A-2 (90 nm) 20.0 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 28.6 parts
Methyl ethyl ketone 37.6 parts Surfactant (F176PF (20%)) 0.2 parts Hydroquinone monomethyl ether 0.001 part benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (molar ratio = 73/27, molecular weight 30000) 2.1 parts di Pentaerythritol hexaacrylate Added bis [4- [N- [4- (4,6-bistrichloromethyl-s-triazin-2-yl) phenyl] carbamoyl so that the sum of the volume fractions of the metal fine particles is 0.126 ] Phenyl] sebacate 0.1 part

(転写材料を用いた転写による遮光膜付基板の作製)
上記転写材料を用いて以下の方法で遮光膜付基板を作製した。
(転写)
転写材料の感光性樹脂層面を透明ガラス基板(厚さ1.1mm)にラミネーター(大成ラミネータ(株)製VP−II)を用いて加圧(0.8Pa)、加熱(130℃)して貼り合わせ、続いて仮支持体と熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体のみを除去した。転写材料が保護シートを有する場合は該シートを剥離した後、前記操作を行う。
(Production of substrate with light-shielding film by transfer using transfer material)
A substrate with a light shielding film was produced by the following method using the transfer material.
(Transcription)
The photosensitive resin layer surface of the transfer material is attached to a transparent glass substrate (thickness 1.1 mm) by applying pressure (0.8 Pa) and heating (130 ° C.) using a laminator (VP-II manufactured by Taisei Laminator Co., Ltd.). Subsequently, peeling was performed at the interface between the temporary support and the thermoplastic resin layer, and only the temporary support was removed. When the transfer material has a protective sheet, the operation is performed after the sheet is peeled off.

(露光)
続いて、上記で得られた転写材料に、超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機(日立電子エンジニアリング社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該感光性材料の間の距離を200μmに設定し、塗布面側から露光量70mJ/cm2でパターン露光した。該垂直に立てた状態とは、該感光材料の熱可塑性樹脂層面が、マスク側となるようにマスクと平行に垂直に立てることを意味する。
(exposure)
Subsequently, a substrate and a mask (quartz exposure mask having an image pattern) were vertically set on the transfer material obtained above by a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi Electronics Engineering) having an ultrahigh pressure mercury lamp. In this state, the distance between the exposure mask surface and the photosensitive material was set to 200 μm, and pattern exposure was performed at an exposure amount of 70 mJ / cm 2 from the coated surface side. The vertically standing state means that the thermoplastic resin layer surface of the photosensitive material stands vertically in parallel with the mask so as to be on the mask side.

(現像)
1%トリエタノールアミン水溶液で熱可塑性樹脂及び、中間層を除去した。この際、感光性樹脂層は実質的に現像されていなかった。
次に、純水をシャワーノズルにて噴霧して、該樹脂層の表面を均一に湿らせた後、KOH系現像液(KOH、ノニオン界面活性剤含有、商品名:CDK−1、富士フイルムアーチ)にて23℃80秒、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像しパターニング画像を得た。
引き続き、超純水を、超高圧洗浄ノズルにて9.8MPaの圧力で噴射して残渣除去を行い、遮光膜を得た。引き続き、220℃で40分間熱処理して、遮光膜付基板を得た。
(developing)
The thermoplastic resin and the intermediate layer were removed with a 1% triethanolamine aqueous solution. At this time, the photosensitive resin layer was not substantially developed.
Next, pure water is sprayed with a shower nozzle to uniformly wet the surface of the resin layer, and then a KOH developer (KOH, containing nonionic surfactant, product names: CDK-1, Fuji Film Arch) ) At 23 ° C. for 80 seconds and a flat nozzle pressure of 0.04 MPa for shower development to obtain a patterning image.
Subsequently, ultrapure water was sprayed at a pressure of 9.8 MPa with an ultrahigh pressure washing nozzle to remove the residue, thereby obtaining a light shielding film. Then, it heat-processed for 40 minutes at 220 degreeC, and obtained the board | substrate with a light shielding film.

(実施例2〜5)
実施例1の銀微粒子分散液の代わりに、表1に示す銀微粒子分散液 の混合液を使用した以外は実施例1と同様に実施した。
(Examples 2 to 5)
It carried out like Example 1 except having used the liquid mixture of the silver fine particle dispersion shown in Table 1 instead of the silver fine particle dispersion of Example 1.

(実施例6)
実施例1の銀微粒子分散液A−2(90nm)の代わりに、塩化金酸水溶液の水面をバーナーの炎で処理して調製した金微粒子分散液 (90nm)を使用した以外は実施例1と同様に実施した。
(Example 6)
Instead of the silver fine particle dispersion A-2 (90 nm) of Example 1, a gold fine particle dispersion (90 nm) prepared by treating the water surface of a chloroauric acid aqueous solution with a burner flame was used. It carried out similarly.

(実施例7)
実施例1の銀微粒子分散液A−2(90nm)の代わりに、パラジウム微粒子分散液(90nm)を使用した以外は実施例1と同様に実施した。
(Example 7)
It implemented similarly to Example 1 except having used palladium fine particle dispersion (90 nm) instead of silver fine particle dispersion A-2 (90 nm) of Example 1. FIG.

(実施例8〜14)
実施例1〜7と同様の処方で、感光層塗布液、保護層塗布液(中間層塗布液の処方と同じ)を作製した。
(感光材料の作製)
ガラス基板にスピンコーターを用いて膜厚が0.6μmになるように上記の処方Eからなる感光層塗布液を塗布して100℃で5分間乾燥した。次いでこの上にスピンコーターを用いて上記の処方Dからなる保護層塗布液を乾燥膜厚が1.5μmになるように塗布して100℃で5分間乾燥した。
(感光材料を用いた液レジによる遮光膜付基板の作製)
上記で得られた感光材料に、実施例1と同様の露光、現像処理を行い、遮光膜付基板を得た。
(Examples 8 to 14)
A photosensitive layer coating solution and a protective layer coating solution (same as the formulation of the intermediate layer coating solution) were prepared in the same manner as in Examples 1-7.
(Production of photosensitive material)
A photosensitive layer coating solution having the above formulation E was applied to a glass substrate using a spin coater so as to have a film thickness of 0.6 μm, and dried at 100 ° C. for 5 minutes. Next, a protective layer coating solution having the above-mentioned formulation D was applied onto this using a spin coater so that the dry film thickness was 1.5 μm, and dried at 100 ° C. for 5 minutes.
(Preparation of substrate with light-shielding film by liquid registration using photosensitive material)
The photosensitive material obtained above was exposed and developed in the same manner as in Example 1 to obtain a substrate with a light-shielding film.

(実施例15〜21)
実施例8〜14において保護層をつけずに、かつ露光量を70mJ/cm2から500mJ/cm2変更した以外は実施例8〜14と同様に実施した。その結果、実施例8〜14と同様な結果を得た。
(Examples 15 to 21)
Without a protective layer in Example 8 to 14, and except that the exposure amount was changed 500 mJ / cm 2 from 70 mJ / cm 2 was performed in the same manner as in Example 8-14. As a result, the same results as in Examples 8 to 14 were obtained.

参考
(コアシェル銀微粒子分散液の作製/アセトン系)
200gの銀微粒子のアセトン分散物(平均粒径30nm、濃度2.5質量%)にポリマーP−1(ビニルピロリドン/酢酸ビニル=60/40(質量比)共重合体、重量平均分子量5000)を0.95g添加して、30分間攪拌した。
次いで攪拌しながら、濃度7.2質量%の硫化ナトリウム水溶液を金属の硫化率が10%になるように添加した。硫化ナトリウム水溶液添加後、そのまま30分間攪拌を続けた。このようにして、硫化銀のシェルを持つ銀コアシェル微粒子を作製した。
なお、ここでいう「硫化率」とは、金属微粒子のうち硫化されている割合で、硫化率0%は全く硫化されていない状態、100%は粒子全体が完全に硫化物になっている状態を表す。なお、硫化ナトリウム水溶液添加時の液温は23℃であった。
( Reference Example 1 )
(Preparation of core-shell silver fine particle dispersion / acetone)
Polymer P-1 (vinyl pyrrolidone / vinyl acetate = 60/40 (mass ratio) copolymer, weight average molecular weight 5000) was added to 200 g of an acetone dispersion of silver fine particles (average particle size 30 nm, concentration 2.5 mass%). 0.95 g was added and stirred for 30 minutes.
Next, with stirring, an aqueous sodium sulfide solution having a concentration of 7.2% by mass was added so that the sulfidation rate of the metal was 10%. After addition of the aqueous sodium sulfide solution, stirring was continued for 30 minutes. In this way, silver core-shell fine particles having a silver sulfide shell were produced.
The “sulfidation rate” here is the ratio of metal fine particles that are sulfided, the sulfurization rate of 0% is not sulfided at all, and 100% is the state that the entire particle is completely sulfided. Represents. In addition, the liquid temperature at the time of sodium sulfide aqueous solution addition was 23 degreeC.

これらのコアシェル微粒子について、次の方法により評価を行った。
[平均粒径測定]
微粒子100個をFE−SEM(日立(株)製F−900)で撮影した。倍率は30000倍である、各々の撮影画像において、これと等しい塩の直径を求め、これをその粒子直径とした。100個の粒子について求めた直径を平均して粒子の平均粒径(平均直径)とした。
These core-shell fine particles were evaluated by the following method.
[Average particle size measurement]
100 fine particles were photographed with FE-SEM (F-900 manufactured by Hitachi, Ltd.). In each photographed image having a magnification of 30000 times, a salt diameter equal to this was determined and used as the particle diameter. The diameters obtained for 100 particles were averaged to obtain the average particle diameter (average diameter) of the particles.

[シェル重量比]
粒子中のシェルの重量比は、粒子中の銀とイオウのモル数から計算により求めた。両者のモル数は、ポリエチレンテレフタレート仮支持体の上に、粒子分散液をスピンコート塗布した試料を蛍光X線分析装置Type3370E(理学(株)製)を用いた蛍光X線分析で求めた。イオウと銀のモル数をそれぞれms、mAとすると、シェルのAg2Sのモル数はms、コアのAgのモル数はmA−2msになる。
従って、シェルとコアの重量比は、(ms/247.8):(mA−2ms/107.9)になる。
[Shell weight ratio]
The weight ratio of the shell in the particles was calculated from the number of moles of silver and sulfur in the particles. The number of moles of both was determined by fluorescent X-ray analysis using a fluorescent X-ray analyzer Type 3370E (manufactured by Rigaku Corporation) on a sample obtained by spin-coating a particle dispersion on a polyethylene terephthalate temporary support. If the number of moles of sulfur and silver is ms and mA, respectively, the number of moles of Ag 2 S in the shell is ms, and the number of moles of Ag in the core is mA-2 ms.
Therefore, the weight ratio of the shell to the core is (ms / 247.8) :( mA-2 ms / 107.9).

(感光性転写塗布液の作製)
上記で作製した銀微粒子分散液に下記の処方Fからなる添加剤を添加して、感光性転写層塗布液とした。
(Preparation of photosensitive transfer coating solution)
An additive comprising the following formulation F was added to the silver fine particle dispersion prepared above to prepare a photosensitive transfer layer coating solution.

F:感光性塗布液の処方
微粒子分散液 159.6部
ポリマーP−2 0.19部
F780F(大日本インキ化学工業(株)製フッ素系界面活性剤20%) 0.03部
ヒドロキノンモノメチルエーテル 0.0001部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 0.19部
ビス[4−[N−[4−(4,6−ビストリクロロメチル−s−トリアジン−2−イル)フェニル]カルバモイル]フェニル]セバケート 0.001部
(ポリマーP−2:ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=60/40(wt/wt)、数平均分子量(35000)
F: Prescription fine particle dispersion of photosensitive coating liquid 159.6 parts Polymer P-2 0.19 part F780F (Dainippon Ink & Chemicals, Inc., 20% fluorine-based surfactant) 0.03 parts hydroquinone monomethyl ether 0 .0001 parts dipentaerythritol hexaacrylate 0.19 parts bis [4- [N- [4- (4,6-bistrichloromethyl-s-triazin-2-yl) phenyl] carbamoyl] phenyl] sebacate 0.001 part (Polymer P-2: benzyl methacrylate / methacrylic acid = 60/40 (wt / wt), number average molecular weight (35000)

(転写材料を用いた転写による遮光膜付基板の作製)
実施例1と同様の方法で作製した仮支持体上に、上記Fの処方より得られる感光性塗布液を光学濃度が3.8になるようにスリットコーターを用いて塗布し、100℃で3分間乾燥し、転写材料を作製した。
続いて、実施例1と同様の方法で転写、露光、現像処理を行い、遮光膜付基板を得た。
(Production of substrate with light-shielding film by transfer using transfer material)
On the temporary support produced by the same method as in Example 1, the photosensitive coating solution obtained from the above formula F was applied using a slit coater so that the optical density was 3.8. The transfer material was produced by drying for a minute.
Subsequently, transfer, exposure, and development processes were performed in the same manner as in Example 1 to obtain a substrate with a light shielding film.

参考
硫化率を30%に変更する以外は、参考と同様に実施した。
( Reference Example 2 )
Except for changing the sulfide ratio 30% was likewise actual subjected Reference Example 1.

参考
硫化率を50%に変更する以外は、参考と同様に実施した。
( Reference Example 3 )
Except for changing the sulfide ratio of 50% was likewise actual subjected Reference Example 1.

参考
硫化率を70%に変更する以外は、参考と同様に実施した。
( Reference Example 4 )
Except for changing the sulfide ratio 70%, it was similarly actual subjected Reference Example 1.

参考
銀粒子の代わりに、パラジウム微粒子(平均粒径15mm、濃度10質量%)を用いる以外は参考と同様に同様に実施した。
( Reference Examples 5 to 8 )
Instead of the silver particles, palladium fine particles except for using (average particle diameter 15 mm, density 10 wt%) was subjected Real similarly in the same manner as in Example 1-4.

参考16
(感光材料の作製)
ガラス基板にスピンコーターを用いて上記の参考と同様の処方からなる感光性塗布液を光学濃度(OD)が3.8になるように塗布し、100℃で3分間乾燥した。次いでこの上に、上記の処方Dからなる中間層塗布液を乾燥膜厚が1.5μmになるように塗布して100℃で3分間乾燥した。
( Reference Examples 9 to 16 )
(Production of photosensitive material)
Using a spin coater, a photosensitive coating solution having the same formulation as in Reference Examples 1 to 8 was applied to a glass substrate so that the optical density (OD) was 3.8, and dried at 100 ° C. for 3 minutes. Next, an intermediate layer coating solution composed of the above-mentioned formulation D was coated thereon so as to have a dry film thickness of 1.5 μm and dried at 100 ° C. for 3 minutes.

(感光材料を用いた液レジによる遮光膜付基板の作製)
上記で得られた感光材料に、実施例1と同様の露光、現像処理を行い、遮光膜付基板を得た。
(Preparation of substrate with light-shielding film by liquid registration using photosensitive material)
The photosensitive material obtained above was exposed and developed in the same manner as in Example 1 to obtain a substrate with a light-shielding film.

参考17
遮光膜付基板の作製
実施例1と同様の方法で仮支持体を作製し、さらにその上に下記処方Gより得られる金属微粒子を内部に含有する層塗布液を光学濃度が3.4になるように、実施例1と同様の方法で作製した中間層の上にスリットコーターを用いて塗布し、さらにその上に下記処方Hより得られる光吸収層を光学濃度が0.6となるように塗布し、100℃で3分間乾燥した。
こうして仮支持体と熱可塑性樹脂層、酸素遮断膜、金属微粒子を含有する層と光吸収層が一体となったフィルムを作製し、その上に保護フィルム(厚さ12μmのポリプロピレンフィルム)を圧着させ、感光性樹脂転写材料とした。これを用いて露光量を300mJ/cm2に変化させた以外は、実施例1と同様の方法で、遮光膜付基板を得た。
( Reference Example 17 )
Production of substrate with light-shielding film A temporary support was produced in the same manner as in Example 1, and the optical density of the layer coating solution containing metal fine particles obtained from the following formulation G was 3.4 on the temporary support. As described above, a slit coater was applied on the intermediate layer produced in the same manner as in Example 1, and a light absorption layer obtained from the following formulation H was further applied thereon so that the optical density was 0.6. It was applied and dried at 100 ° C. for 3 minutes.
In this way, a film in which the temporary support, the thermoplastic resin layer, the oxygen barrier film, the layer containing metal fine particles and the light absorption layer are integrated is prepared, and a protective film (polypropylene film having a thickness of 12 μm) is pressure-bonded thereon. A photosensitive resin transfer material was obtained. A substrate with a light-shielding film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the exposure amount was changed to 300 mJ / cm 2 using this.

G:金属微粒子を含有する層塗布液の処方
G−1液* 10部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(2.5%トルエン希釈溶液) 0.19部
ビス[4−[N−[4−(4,6−ビストリクロロメチル−s−トリアジン−2−イル)フェニル]カルバモイル]フェニル]セバケート(0.2%トルエン希釈溶液)0.1部
F780F(大日本インキ化学工業(株)製フッ素系界面活性剤20%)0.2%トルエン希釈溶液 0.14部
ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=60/40(wt/wt)、数平均分子量35000、2.5%MEK希釈溶液 0.4部
G: Formulation of layer coating solution containing fine metal particles G-1 solution * 10 parts dipentaerythritol hexaacrylate (2.5% toluene diluted solution) 0.19 parts bis [4- [N- [4- (4 6-bistrichloromethyl-s-triazin-2-yl) phenyl] carbamoyl] phenyl] sebacate (0.2% toluene diluted solution) 0.1 part F780F (Dainippon Ink & Chemicals, Inc. fluorine-based surfactant) 20%) 0.2% toluene diluted solution 0.14 parts benzyl methacrylate / methacrylic acid = 60/40 (wt / wt), number average molecular weight 35000, 2.5% MEK diluted solution 0.4 parts

*G−1液は、ステアリン酸銀を熱還元して得られた銀粒子濃度30wt%の銀粒子含有のヘプタン分散物(平均粒径30nm、分布5〜50nm、大研化学工業株式会社製NAG−09)にトルエンを4倍量加えて30分間攪拌したものである。このときのG−1液の固形分に対する金属銀の占める体積(率)は60%である。 * G-1 solution is a heptane dispersion containing silver particles having a silver particle concentration of 30 wt% obtained by thermal reduction of silver stearate (average particle size 30 nm, distribution 5 to 50 nm, NAG manufactured by Daiken Chemical Co., Ltd. -09), 4 times the amount of toluene was added and stirred for 30 minutes. The volume (ratio) which metal silver occupies with respect to solid content of G-1 liquid at this time is 60%.

H:光吸収層塗布液の処方
ベンジルルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(モル比=73/27、粘度=0.12、重量平均分子量38000) 37.9部
ペンタエリスリトールテトラアクリレート 29.1部
ビス[4−[N−[4−(4,6−ビストリクロロメチル−s−トリアジン−2−イル)フェニル]カルバモイル]フェニル]セバケート 1.7部
カーボンブラック(黒色) (NIPX35、デグサ社製) 30.1部
メチルセロソルブアセテート 560部
メチルエチルケトン 280部
H: Formulation of coating solution for light absorption layer Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (molar ratio = 73/27, viscosity = 0.12, weight average molecular weight 38000) 37.9 parts pentaerythritol tetraacrylate 29.1 parts
Bis [4- [N- [4- (4,6-bistrichloromethyl-s-triazin-2-yl) phenyl] carbamoyl] phenyl] sebacate 1.7 parts carbon black (black) (NIPX35, manufactured by Degussa) 30.1 parts methyl cellosolve acetate 560 parts methyl ethyl ketone 280 parts

参考18
参考17において、光吸収層の光学濃度を1.2になるように膜厚を変更した以外は、同じ処方、工程で遮光膜付基板を作製した。
( Reference Example 18 )
In Reference Example 17 , a substrate with a light-shielding film was produced in the same formulation and process except that the film thickness was changed so that the optical density of the light absorption layer was 1.2.

参考19
参考17において、金属微粒子を含有する層のバインダー、モノマー、開始剤を含まない処方に変更することにより、処方Gの金属体積率を90%に変更した以外は同じ処方、工程で遮光膜付基板を作製した。
( Reference Example 19 )
In Reference Example 17 , with the same formulation and process except that the metal volume fraction of formulation G was changed to 90% by changing to a formulation that does not contain binder, monomer, and initiator of the layer containing metal fine particles. A substrate was produced.

参考20
参考17において、光吸収層作製における処方Hの顔料カーボンブラック(黒色)をナノテックMn酸化物(シーアイ化成株式会社製)に変更した以外は同じ処方、工程で、遮光膜付基板を作製した。
( Reference Example 20 )
In Reference Example 17 , a substrate with a light-shielding film was produced in the same formulation and process except that the pigment carbon black (black) of the formulation H in the production of the light absorption layer was changed to nanotech Mn oxide (manufactured by C-I Kasei Co., Ltd.).

参考21
参考17において、中間層塗布液を塗布しない以外は同様の処方、工程で遮光膜付基板を作製した。
( Reference Example 21 )
In Reference Example 17 , a substrate with a light-shielding film was produced in the same formulation and process except that the intermediate layer coating solution was not applied.

参考22
参考17において、作製された遮光膜付基板に、下記処方Iからなる補助層用塗布液を12μmポリプロピレンフィルム上にスリットコーターを用いて塗布し、光学濃度が0.6となるように膜厚を調整し、100℃で3分間乾燥した膜を、ラミネーターを用いて貼り合わせた。
これを用いて、参考17と同様の方法で、露光、現像し、補助層付遮光膜付基板を作製した。
( Reference Example 22 )
In Reference Example 17 , an auxiliary layer coating solution having the following formulation I was applied on a 12 μm polypropylene film using a slit coater to the prepared substrate with a light-shielding film, and the film thickness was adjusted to an optical density of 0.6. The film dried for 3 minutes at 100 ° C. was bonded using a laminator.
Using this, exposure and development were performed in the same manner as in Reference Example 17 to produce a substrate with a light shielding film with an auxiliary layer.

I:補助層用塗布液の処方
ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(モル比=73/27、粘度=0.12)
37.9部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 29.1部
ビス[4−[N−[4−(4,6−ビストリクロロメチル−s−トリアジン−2−イル)フェニル]カルバモイル]フェニル]セバケート 1.7部
カーボンブラック(黒色) 30.1部
メチルセロソルブアセテート 560部
メチルエチルケトン 280部
I: Prescription of coating liquid for auxiliary layer benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (molar ratio = 73/27, viscosity = 0.12)
37.9 parts dipentaerythritol hexaacrylate 29.1 parts bis [4- [N- [4- (4,6-bistrichloromethyl-s-triazin-2-yl) phenyl] carbamoyl] phenyl] sebacate 1.7 Parts carbon black (black) 30.1 parts methyl cellosolve acetate 560 parts methyl ethyl ketone 280 parts

参考23
参考17において、前記参考19の方法と同様にして、処方Gからなる光反射層の金属体積率を90%とし、光学濃度が4.4になるように膜厚を変更した以外は、同様の処方、工程で遮光膜付基板を作製した。
( Reference Example 23 )
In Reference Example 17 , in the same manner as in Reference Example 19 , except that the metal volume ratio of the light reflecting layer consisting of the prescription G was 90%, and the film thickness was changed so that the optical density was 4.4. A substrate with a light-shielding film was prepared by the same formulation and process.

参考24
参考17において、処方Gの大研化学製NAG−09をAgナノメタルインクAg1T(真空冶金(株)製、30wt%、平均粒径5nm、分布2〜10nm)に変更した。また、銀層単独のベーク前は黄褐色をしており、ベーク後に銀鏡が発生するため、反射率はベーク後に測定した。それ以外は同様の処方、工程で遮光膜付基板を作製した。
( Reference Example 24 )
In Reference Example 17 , NAG-09 manufactured by Daiken Chemical Co., Ltd. in Formula G was changed to Ag nanometal ink Ag1T (manufactured by Vacuum Metallurgical Co., Ltd., 30 wt%, average particle size 5 nm, distribution 2 to 10 nm). In addition, the silver layer had a yellowish brown color before baking, and a silver mirror was generated after baking. Therefore, the reflectance was measured after baking. Other than that, a substrate with a light-shielding film was prepared in the same formulation and process.

参考25
(感光材料の作製)
参考17において、塗布法を変更した。ガラス基板にスリットコーターを用いて乾燥膜厚が0.2μmになるように、上記の処方Gからなる金属微粒子を含有する層塗布液を塗布して、この上に、上記の処方Hからなる光吸収層塗布液を塗布し、100℃で5分間乾燥した。次いでこの上に、上記の処方Dからなる中間層塗布液を乾燥膜厚が1.6になるように塗布して100℃で5分間乾燥した。
( Reference Example 25 )
(Production of photosensitive material)
In Reference Example 17 , the coating method was changed. A layer coating solution containing metal fine particles composed of the above-mentioned prescription G is applied to a glass substrate using a slit coater so that the dry film thickness becomes 0.2 μm, and the light composed of the above-mentioned prescription H is applied thereon. The absorbent layer coating solution was applied and dried at 100 ° C. for 5 minutes. Next, an intermediate layer coating solution composed of the above-mentioned formulation D was coated thereon so as to have a dry film thickness of 1.6 and dried at 100 ° C. for 5 minutes.

(感光材料を用いた液レジによる遮光膜付基板の作製)
上記で得られた感光材料に、参考17と同様の露光、現像処理を行い、遮光膜付基板を得た。
(Preparation of substrate with light-shielding film by liquid registration using photosensitive material)
The light-sensitive material obtained above was subjected to the same exposure and development treatment as in Reference Example 17 to obtain a substrate with a light-shielding film.

(比較例1)
実施例1の感光層塗布液処方を下記の黒色レジスト塗布液に変えた以外は実施例1と同様にして比較例1を実施したが、ODが極端に低く、使用に耐えなかった。
黒色レジスト塗布液:
・CFP−FF−775B(C.I.PB15:6分散液
富士フイルムオーリン(株)製) 4.50部
・CFP−FF−293Y(C.I.PY139分散液
富士フイルムオーリン(株)製) 3.37部
・CFP−FF−802V(C.I.PV23分散液
富士フイルムオーリン(株)製) 4.16部
・CFP−FF−949K(カーボンブラック分散液
富士フイルムオーリン(株)製) 11.9 部
・MMPG−AC(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)
18.9部
・メチルエチルケトン 52.0部
・ヒドロキノンモノメチルエーテル 0.0022部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 4.85部
・ビス〔4−〔N−〔4−(4,6−ビストリクロロメチル−s−トリアジン−2−イル)フェニル〕カルバモイル〕フェニル〕セバケート 0.238部
・下記の共重合体 (メチルイソブチルケトン30重量%溶液) 0.065部
(Comparative Example 1)
Comparative Example 1 was carried out in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive layer coating solution formulation of Example 1 was changed to the following black resist coating solution, but the OD was extremely low and it was not durable.
Black resist coating solution:
-CFP-FF-775B (CI PB15: 6 dispersion manufactured by Fuji Film Orin Co., Ltd.) 4.50 parts-CFP-FF-293Y (CI PY139 dispersion liquid manufactured by Fuji Film Orin Co., Ltd.) 3.37 parts CFP-FF-802V (CI. PV23 dispersion manufactured by Fujifilm Aurin Co., Ltd.) 4.16 parts CFP-FF-949K (carbon black dispersion manufactured by Fujifilm Olin Co., Ltd.) 11 .9 parts MMPG-AC (propylene glycol monomethyl ether acetate)
18.9 parts, methyl ethyl ketone 52.0 parts, hydroquinone monomethyl ether 0.0022 parts, dipentaerythritol hexaacrylate 4.85 parts, bis [4- [N- [4- (4,6-bistrichloromethyl-s- Triazin-2-yl) phenyl] carbamoyl] phenyl] sebacate 0.238 parts, the following copolymer (methyl isobutyl ketone 30 wt% solution) 0.065 parts

Figure 0004524151
Figure 0004524151

参考26
実施例1の感光層塗布液処方において銀微粒子分散液A−2の代わりに銀微粒子分散液A−5(93nm)を用いた以外は実施例1と同様に実施したが、ブラックマトリックスの色相は青に変化し、実用使用で障害になる程度に色相のずれがあるものであった。
( Reference Example 26 )
Although, except for using the fine silver particle dispersion liquid A-5 (93nm) instead of the silver particle dispersion liquid A-2 in the photosensitive layer coating liquid formulation of Example 1 was subjected real in the same manner as in Example 1, the hue of the black matrix Changed to blue, and there was a hue shift to the extent that it would be an obstacle to practical use.

参考27
参考において、硫化率を0%に変更する以外は、参考と同様の処方、工程で遮光膜付基板を作製した。
( Reference Example 27 )
In Reference Example 1 , a substrate with a light-shielding film was produced in the same formulation and process as Reference Example 1 except that the sulfurization rate was changed to 0%.

参考28
参考において、硫化率を100%に変更する以外は、参考と同様の処方、工程で遮光膜付基板を作製した。
( Reference Example 28 )
In Reference Example 1 , a substrate with a light-shielding film was produced by the same formulation and process as Reference Example 1 , except that the sulfidation rate was changed to 100%.

参考29
参考において、銀粒子の代わりに、パラジウム粒子(平均粒径15mm、濃度10質量%)を用い、硫化率を0%に変更した以外は、参考と同様の処方、工程で遮光膜付基板を作製した。
( Reference Example 29 )
In Reference Example 1 , a light-shielding film was prepared in the same formulation and process as Reference Example 1 , except that palladium particles (average particle size 15 mm, concentration 10% by mass) were used instead of silver particles, and the sulfide ratio was changed to 0%. A substrate was prepared.

参考30
参考において、銀粒子の代わりに、パラジウム粒子(平均粒径15mm、濃度10質量%)を用い、硫化率を100%に変更した以外は、参考と同様の処方、工程で遮光膜付基板を作製した。
( Reference Example 30 )
In Reference Example 1 , instead of silver particles, palladium particles (average particle size 15 mm, concentration 10% by mass) were used, and the light shielding film was prepared in the same formulation and process as Reference Example 1 except that the sulfurization rate was changed to 100%. A substrate was prepared.

参考3134
参考2627の塗布方法を、参考16と同様の方法に変更した以外は、参考2627と同様の処方で遮光膜付基板を作製した。
(Reference Examples 31 to 34)
A substrate with a light-shielding film was produced in the same manner as in Reference Examples 26 to 27 , except that the coating method of Reference Examples 26 to 27 was changed to the same method as in Reference Examples 9 to 16 .

(比較例2)
参考17において、金属微粒子を含有する層を作製しない以外は同様の処方、工程で遮光膜付基板を作製した。
(Comparative Example 2)
In Reference Example 17 , a substrate with a light-shielding film was produced in the same formulation and process except that a layer containing metal fine particles was not produced.

参考35
参考17において、光吸収層を作製しない以外は同様の処方、工程で遮光膜付基板を作製した。
( Reference Example 35 )
In Reference Example 17 , a substrate with a light-shielding film was produced in the same formulation and process except that no light absorption layer was produced.

《評価》
上記により得られた58個のサンプルについて以下の評価を行った。結果を表1〜3表5〜7に示した。
<Evaluation>
About 58 pieces of samples obtained by the above was subjected to the following evaluation. The results are shown in Tables 1 to 3 and Tables 5 to 7.

Figure 0004524151
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Figure 0004524151
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Figure 0004524151
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<膜厚測定>
膜厚は非接触式表面粗さ計P−10(TENCOR社製)を用いて測定した。
<Film thickness measurement>
The film thickness was measured using a non-contact type surface roughness meter P-10 (manufactured by TENCOR).

<光学濃度測定>
膜の光学濃度は以下の方法で測定した。ガラス基板上に塗設された遮光膜の555nm光学濃度を、分光光度計(島津製作所、UV−2100)を用いて測定した(OD)。別途ガラス基板の光学濃度を同様の方法で測定した(OD0)。ODからOD0を差し引いた値を膜の光学濃度とした。
<Optical density measurement>
The optical density of the film was measured by the following method. The optical density of the light-shielding film coated on the glass substrate was measured using a spectrophotometer (Shimadzu Corporation, UV-2100) (OD). Separately, the optical density of the glass substrate was measured by the same method (OD 0 ). The value obtained by subtracting OD 0 from OD was defined as the optical density of the film.

<色調測定>
試料をガラス基板側(塗布膜の形成されている面の反対側)から目視観察した。
<Color tone measurement>
The sample was visually observed from the glass substrate side (the side opposite to the surface on which the coating film was formed).

<反射率測定>
日本分光(株)製スペクトロフォトメーターV−560と組み合わせた、日本分光(株)製絶対反射率測定装置ARV−474を用いてガラス基板側(塗布膜の形成されている面の反対側)の絶対反射率を測定した。測定角度は5度、波長は555nmである。なお、反射率の測定は、参考24以外はベーク前後どちらでも良い。
<Reflectance measurement>
Using an absolute reflectance measuring device ARV-474 manufactured by JASCO Corporation in combination with a spectrophotometer V-560 manufactured by JASCO Corporation. Absolute reflectance was measured. The measurement angle is 5 degrees and the wavelength is 555 nm. The reflectance may be measured before and after baking except for Reference Example 24 .

<銀体積率測定>
銀体積は銀の比重を10.5として計算し、(銀体積/全体体積)*100=銀体積%で計算をおこなった。
<Silver volume fraction measurement>
The silver volume was calculated assuming that the specific gravity of silver was 10.5, and the calculation was performed by (silver volume / total volume) * 100 = silver volume%.

(実施例22
(カラーフィルターの作製:転写法)
実施例1と同様の方法で遮光膜付基板を作製し、これを用いて以下の方法で遮光膜付カラーフィルターを作製した。
実施例1と同様の方法で仮支持体を4枚作製し、これら仮支持体上に、下記表4の組成からなる赤色、青色、および緑色の3色の感光性樹脂層用塗布液を、それぞれ異なる仮支持体の中間層の上に塗布し、乾燥して乾燥層厚2.0μmの感光性樹脂層を形成した。
さらに上記感光性樹脂層の上にポリプロピレン(厚さ12μm)の保護シートを圧着し、赤色、青色、および緑色感光性転写材料を作製した。
この感光性転写材料を用いて、以下の方法で遮光膜付カラーフィルターを作製した。
赤色感光性転写材料の保護シートを剥離し、感光性樹脂層面を透明ガラス基板(厚さ1.1mm)にラミネーター(大成ラミネータ(株)製VP−II)を用いて加圧(0.8kg/cm2)、加熱(130℃)して貼り合わせ、続いて仮支持体と熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体を除去した。次に所定のフォトマスクを介して露光し、1%トリエタノールアミン水溶液で熱可塑性樹脂層及び中間層を除去した。この際、感光性樹脂層は実質的に現像されていなかった。次いで、1%炭酸ナトリウム水溶液で感光性樹脂層を現像して不要部を除去し、ガラス基板上に赤色画素パターンを形成した。次いで、赤色画素パターンが形成されたガラス基板上に、緑色感光性転写材料を上記と同様にして貼り合わせ、剥離、露光、現像を行ない、緑色画素パターンを形成した。同様の工程を青色感光性転写材料で繰り返し、遮光膜付基板上にカラーフィルターを形成した。
これらの工程において、仮支持体は熱可塑性樹脂層からの申し分の無い剥離性を示し、得られたカラーフィルターは画素の欠落がなく、下地との密着性が良好で、更に汚れも無かった。
(Example 22 )
(Production of color filter: transfer method)
A substrate with a light-shielding film was produced by the same method as in Example 1, and a color filter with a light-shielding film was produced by the following method.
Four temporary supports were prepared in the same manner as in Example 1. On these temporary supports, three coating solutions for photosensitive resin layers of red, blue and green having the composition shown in Table 4 below were prepared. It apply | coated on the intermediate | middle layer of a respectively different temporary support body, and it dried and formed the photosensitive resin layer with a dry layer thickness of 2.0 micrometers.
Further, a protective sheet of polypropylene (thickness: 12 μm) was pressure-bonded on the photosensitive resin layer to prepare red, blue, and green photosensitive transfer materials.
Using this photosensitive transfer material, a color filter with a light shielding film was produced by the following method.
The protective sheet of the red photosensitive transfer material is peeled off, and the photosensitive resin layer surface is pressurized to a transparent glass substrate (thickness: 1.1 mm) using a laminator (VP-II manufactured by Taisei Laminator Co., Ltd.) (0.8 kg / cm2) and heating (130 ° C.) for bonding, followed by peeling at the interface between the temporary support and the thermoplastic resin layer, and the temporary support was removed. Next, it exposed through the predetermined photomask, and removed the thermoplastic resin layer and the intermediate | middle layer with 1% triethanolamine aqueous solution. At this time, the photosensitive resin layer was not substantially developed. Next, the photosensitive resin layer was developed with a 1% aqueous sodium carbonate solution to remove unnecessary portions, and a red pixel pattern was formed on the glass substrate. Next, a green photosensitive transfer material was bonded to the glass substrate on which the red pixel pattern was formed in the same manner as described above, and peeling, exposure, and development were performed to form a green pixel pattern. The same process was repeated with the blue photosensitive transfer material to form a color filter on the substrate with the light shielding film.
In these steps, the temporary support exhibited satisfactory peelability from the thermoplastic resin layer, and the resulting color filter had no missing pixels, good adhesion to the ground, and no stains.

(実施例23
(カラーフィルターの作製:液レジ法)
実施例1と同様の方法でカラーフィルター用の遮光膜付基板を作製し、これを用いて以下の方法で遮光膜付カラーフィルターを作製した。
遮光膜付き基板上に、下記表4の処方を有する、赤色の感光性樹脂組成物を該遮光膜付き基板に塗布し、100℃、3分間で乾燥させた。
続いて、実施例1と同様の方法で露光、現像し赤色パターン画像を作製した。
更に、前記赤色の感光性樹脂組成物の代わりに、下記表4の緑色の感光性樹脂組成物を用いる以外は、前記赤色パターン画像の作製方法と同等な作業を繰り返し、前記赤色パターン画像上に緑色パターン画像を作製した。
続いて、前記赤色の感光性樹脂組成物の代わりに、下記表4の青色の感光性樹脂組成物を用いる以外は、前記赤色パターン画像の作製方法と同等な作業を繰り返し、前記緑パターン画像上に青色パターン画像を作製した。
(Example 23 )
(Production of color filter: Liquid cash register method)
A substrate with a light-shielding film for a color filter was produced by the same method as in Example 1, and a color filter with a light-shielding film was produced by the following method.
On the substrate with a light shielding film, a red photosensitive resin composition having the formulation shown in Table 4 below was applied to the substrate with a light shielding film and dried at 100 ° C. for 3 minutes.
Subsequently, exposure and development were performed in the same manner as in Example 1 to produce a red pattern image.
Further, except for using the green photosensitive resin composition in the following Table 4 instead of the red photosensitive resin composition, the same operation as that for the red pattern image is repeated, and the red pattern image is formed on the red pattern image. A green pattern image was produced.
Subsequently, in place of the red photosensitive resin composition, the same operation as that for the red pattern image was repeated except that the blue photosensitive resin composition shown in Table 4 below was used. A blue pattern image was prepared.

(実施例24
<プラズマディスプレイの作製>
実施例1で作製した遮光膜付基板を用いて、特開2003−203575号公報に示されているようなプラズマディスプレイを作製した。
下部ガラス基板と、下部ガラス基板上に絶縁層を形成した。その絶縁層上の所定部分にアドレス電極を形成した。該アドレス電極及び絶縁層上の全面に下部誘電層を形成した。さらに各放電セルを分離するために、下部誘電層上に所定間隔で形成させた隔壁と、それらの隔壁上に実施例1で作製した遮光膜を形成した。
それら遮光膜及び各隔壁の側面及び下部誘電層上の上面に、所定の厚さに形成され、紫外線が印加されると、赤、緑及び青色の各可視光を放出する蛍光層を形成した。各隔壁の上方に下部ガラス基板と所定間隔を置いて平行に上部ガラス基板を付着させた。さらに、アドレス電極と直交するように上部ガラス基板上の所定部分にサステイン電極を形成した。該サステイン電極上の所定部分にバス電極を形成し、それらバス電極、サステイン電極及び上部ガラス基板上の全ての面に上部誘電層を形成した。また、上部誘電層を保護するために上部誘電層上の全ての面に保護層を形成して、プラズマディスプレイを作製した。
その結果、PD表示装置のコントラストが良好になって解像度が向上するため、高精細な画像が得ることができた。
(Example 24 )
<Production of plasma display>
A plasma display as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-203575 was produced using the substrate with a light-shielding film produced in Example 1.
A lower glass substrate and an insulating layer were formed on the lower glass substrate. Address electrodes were formed on predetermined portions on the insulating layer. A lower dielectric layer was formed on the entire surface of the address electrode and the insulating layer. Further, in order to separate each discharge cell, barrier ribs formed at a predetermined interval on the lower dielectric layer, and a light-shielding film prepared in Example 1 were formed on the barrier ribs.
Fluorescent layers were formed on the side surfaces of the light-shielding films and the barrier ribs and on the upper surface of the lower dielectric layer to have a predetermined thickness and emit visible light of red, green, and blue when ultraviolet light is applied. An upper glass substrate was attached in parallel to the lower glass substrate at a predetermined interval above each partition wall. Further, a sustain electrode was formed on a predetermined portion on the upper glass substrate so as to be orthogonal to the address electrode. Bus electrodes were formed on predetermined portions on the sustain electrodes, and upper dielectric layers were formed on all surfaces of the bus electrodes, the sustain electrodes, and the upper glass substrate. In addition, in order to protect the upper dielectric layer, a protective layer was formed on all surfaces on the upper dielectric layer to produce a plasma display.
As a result, the contrast of the PD display device was improved and the resolution was improved, so that a high-definition image could be obtained.

(実施例25
<プラズマディスプレイの作製>
実施例22で作製した遮光膜付カラーフィルターを用いて、特開2001−325887号公報に示されているようなプラズマディスプレイを作製した。
まず、ソーダライムガラスの透明基板から成る前面基板上に、走査電極及び共通電極を形成した。この時、走査電極及び共通電極は、画面の行方向に、交互に且つ平行に配列した。走査電極及び共通電極は、銀の金属電極a、bと、ITO(Indium Tin Oxide)の透明電極a、bとから成り、走査電極及び共通電極は、それぞれ亜鉛含有フリットガラスから成る誘電体層で覆った。
誘電体層の内部には、実施例22で作製した遮光膜付カラーフィルターを挟み、誘電体層はMgO(酸化マグネシウム)から成る保護層で覆った。
また、背面基板は、前面基板と同様にソーダライムガラスの透明基板から成り、その背面基板上の単位セルの中央に位置する部分に亜鉛含有フリットガラスから成る突出部を形成し、さらに銀から成るデータ電極が、走査電極及び共通電極と直交するように画面の列方向に沿って、突出部の上及び間を通って配列した。データ電極を、亜鉛含有フリットガラスから成る誘電体層で覆い、鉛含有フリットガラスから成る波状隔壁を、画面の列方向に沿って、隣接する突出部の間にあたる誘電体層上に形成した。ここで、単位セルは画面の列方向において、交互に画面の行方向にずれた配置となり、行方向の3つの単位セルで1画素を構成するようにした。
その後、誘電体層表面と波状隔壁側面に、赤色、緑色、青色の3原色の発光が得られる蛍光体R、G、Bがそれぞれ交互に塗布した。赤用蛍光体として(Y,Ga)BO3:Eu、緑用蛍光体として、Zn2SiO4:Mn、青用蛍光体として、BaMgAl1423:Euをそれぞれ用いた。
前面基板と背面基板とは、走査電極及び共通電極とデータ電極とが直交するように、又、遮光膜と波状隔壁とが重なるように対向して一体に組み立て、各波状隔壁間の放電空間内には、放電により紫外線を発生する紫外線発生用ガスを封入してプラズマディスプレーを作製した。紫外線発生用ガスとしては、NeとXeとの混合ガスを用いた。
観察した結果、鮮明な画像を表示することができ、色再現性の向上及びコントラストが向上した。
(Example 25 )
<Production of plasma display>
A plasma display as disclosed in JP-A-2001-325887 was produced using the color filter with a light-shielding film produced in Example 22 .
First, a scanning electrode and a common electrode were formed on a front substrate made of a soda lime glass transparent substrate. At this time, the scanning electrodes and the common electrodes were arranged alternately and in parallel in the row direction of the screen. The scan electrode and the common electrode are made of silver metal electrodes a and b and ITO (Indium Tin Oxide) transparent electrodes a and b. The scan electrode and the common electrode are dielectric layers made of zinc-containing frit glass, respectively. Covered.
The dielectric layer was covered with a color filter with a light-shielding film produced in Example 22 , and the dielectric layer was covered with a protective layer made of MgO (magnesium oxide).
The back substrate is made of a transparent substrate of soda lime glass like the front substrate, and a protrusion made of zinc-containing frit glass is formed at the center of the unit cell on the back substrate, and further made of silver. The data electrodes were arranged on and between the protrusions along the screen column direction so as to be orthogonal to the scan electrodes and the common electrode. The data electrode was covered with a dielectric layer made of zinc-containing frit glass, and a corrugated partition wall made of lead-containing frit glass was formed on the dielectric layer between adjacent protrusions along the column direction of the screen. Here, the unit cells are alternately arranged in the row direction of the screen in the column direction of the screen, and one unit pixel is constituted by three unit cells in the row direction.
Thereafter, phosphors R, G, and B capable of emitting light of three primary colors of red, green, and blue were alternately applied to the surface of the dielectric layer and the side surface of the wavy partition wall. (Y, Ga) BO 3 : Eu was used as the red phosphor, Zn 2 SiO 4 : Mn was used as the green phosphor, and BaMgAl 14 O 23 : Eu was used as the blue phosphor.
The front substrate and the rear substrate are integrally assembled so that the scanning electrode, the common electrode, and the data electrode are orthogonal to each other, and the light shielding film and the corrugated barrier ribs overlap each other. A plasma display was prepared by enclosing an ultraviolet ray generating gas that generates ultraviolet rays by electric discharge. As the ultraviolet ray generating gas, a mixed gas of Ne and Xe was used.
As a result of observation, a clear image could be displayed, and the color reproducibility was improved and the contrast was improved.

Claims (2)

基板と、該基板の少なくとも一方の側の、少なくとも一部に遮光膜を有す、プラズマディスプレイ用遮光膜付基板であって、該遮光膜が、金属微粒子を含有する樹脂層を含み、該遮光膜の555nmにおける厚さ1μmあたりのODが3から20であり、前記金属微粒子が、平均粒径が異なる金属微粒子を2種以上含み、かつその平均粒径の差が10nm以上であることを特徴とするプラズマディスプレイ用遮光膜付基板。   A substrate with a light-shielding film for a plasma display having a light-shielding film on at least a part of at least one side of the substrate, the light-shielding film including a resin layer containing metal fine particles, The OD per 1 μm thickness at 555 nm of the film is 3 to 20, the metal fine particles contain two or more kinds of metal fine particles having different average particle diameters, and the difference between the average particle diameters is 10 nm or more A substrate with a light-shielding film for a plasma display. 請求項1に記載のプラズマディスプレイ用遮光膜付基板を用いたプラズマディスプレイ。 The plasma display using the board | substrate with the light shielding film for plasma displays of Claim 1 .
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