JP4470576B2 - 搬送システム - Google Patents
搬送システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP4470576B2 JP4470576B2 JP2004143982A JP2004143982A JP4470576B2 JP 4470576 B2 JP4470576 B2 JP 4470576B2 JP 2004143982 A JP2004143982 A JP 2004143982A JP 2004143982 A JP2004143982 A JP 2004143982A JP 4470576 B2 JP4470576 B2 JP 4470576B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shelf
- transport
- storage means
- foup
- carry
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
本発明の保管手段は、搬送物を載置するための棚を複数含んでおり、懸垂型搬送台車によって搬送物を直接搬入及び搬出することが可能であってもよい。これによると、懸垂型搬送台車によって搬送物を直接搬入及び搬出することができるため、より早く保管手段の搬送物へアクセスすることができる。
図1は、半導体工場内に備えられた本実施の形態に係るOHT搬送システム1の軌道レイアウト図である。図1に示すように、複数の半導体製造装置5(5a-1、5b-1・・・)をそれぞれ備えるベイ15a〜15n(半導体処理工程を構成する点線で囲んだ領域)が複数備えられて構成されている。各ベイ15a〜15n内の各半導体製造装置5は、各工程内軌道12a〜12nで連結されている。さらに、各工程内軌道12a〜12nは、分岐軌道11a〜11nを介して工程間軌道10に連結されている。また、ベイ15b内の工程内軌道12bは、工程内分岐軌道14を介して分岐環状軌道13に連結されている。
次に、本発明の第2の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。本実施の形態にかかる搬送システムは、棚装置6が対向に配置されており、ストッカを設置していない点、工程間軌道が、工程内軌道12と分岐環状軌道13とに連結し、直下に棚装置6が配置されている点が、第1の実施の形態と相違している。以下、その相違点について説明する。尚、第1の実施の形態と同様の部材には、同じ符号を付して説明は省略する。
4 ストッカ
5 半導体製造装置
6 棚装置
10 工程間軌道
12 工程内軌道
13 分岐環状軌道
15 ベイ
16 搬送台車
20 FOUP
Claims (11)
- 複数の搬送物を載置するための棚を含む保管手段と、
前記搬送物が搬入される搬入ポートと前記搬送物が搬出される搬出ポートとを有し、前記搬送物に処理を施すための処理装置と、
前記保管手段及び/又は前記処理装置に搬入及び/又は搬出される搬送物を搭載して搬送する複数の懸垂型搬送台車と、
前記懸垂型搬送台車が走行移動可能であって、少なくとも1つの前記処理装置の前記搬入ポート及び前記搬出ポートの直上を通過するように配置されているとともに、閉ループの軌道を形成する主走行路と、
前記懸垂型搬送台車が走行移動可能であって、前記主走行路から分岐して、前記主走行路にある処理装置とは異なる、少なくとも1つの前記処理装置の前記搬入ポート及び前記搬出ポートの直上を通過するように配置され、少なくとも1つの前記保管手段の前記棚の直上を通過するように配置されているとともに、前記主走行路に合流する分岐走行路とを備えていることを特徴とする搬送システム。 - 前記分岐走行路は、閉ループの軌道を形成していることを特徴とする請求項1に記載の搬送システム。
- 前記保管手段が、
前記保管手段を移動させる移動手段を有していることを特徴とする請求項1又は2に記載の搬送システム。 - 前記保管手段が、
前記移動手段による移動を禁止する移動禁止手段を有していることを特徴とする請求項3に記載の搬送システム。 - 前記保管手段は、前記棚を複数含んでおり、前記懸垂型搬送台車によって前記搬送物を直接搬入及び搬出することが可能であることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の搬送システム。
- 前記保管手段において、
前記棚は、少なくとも一方向にスライド可能であることを特徴とする請求項5に記載の搬送システム。 - 前記保管手段が
スライド後の突出した前記棚が前記分岐走行路の直下に位置するように、前記分岐走行路を挟んで対向配置されていることを特徴とする請求項6に記載の搬送システム。 - 前記主走行路及び/又は前記分岐走行路に接続し、スライド前の状態にある前記保管手段の棚の少なくとも一つに前記搬送物を載置できるように、対向配置された前記保管手段の少なくとも何れか一方の直上に敷設された、前記懸垂型搬送台車が走行する工程間走行路を有していることを特徴とする請求項7に記載の搬送システム。
- 前記保管手段は、前記搬送物を前記保管手段に搬入及び/又は搬出するための専用懸垂型搬送台車を備えていることを特徴とする請求項1〜8の何れか1項に記載の搬送システム。
- 前記懸垂型搬送台車が、前記搬送物を前記保管手段へ搬入し、且つ、前記専用懸垂型搬送台車が、前記搬送物を前記保管手段から搬出することを特徴とする請求項9に記載の搬送システム。
- 一定台数以上の前記専用懸垂型搬送台車が、前記分岐走行路を常に走行していることを特徴とする請求項9又は10に記載の搬送システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004143982A JP4470576B2 (ja) | 2003-05-20 | 2004-05-13 | 搬送システム |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003141367 | 2003-05-20 | ||
JP2004143982A JP4470576B2 (ja) | 2003-05-20 | 2004-05-13 | 搬送システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005001886A JP2005001886A (ja) | 2005-01-06 |
JP4470576B2 true JP4470576B2 (ja) | 2010-06-02 |
Family
ID=34106399
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004143982A Expired - Fee Related JP4470576B2 (ja) | 2003-05-20 | 2004-05-13 | 搬送システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4470576B2 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4915051B2 (ja) | 2005-03-28 | 2012-04-11 | ムラテックオートメーション株式会社 | 自動搬送システム |
JP5152700B2 (ja) * | 2005-05-16 | 2013-02-27 | 村田機械株式会社 | 高処理量amhsのためのモジュール式ターミナル |
KR20140091768A (ko) * | 2005-11-07 | 2014-07-22 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 반도체 작업대상물 공정처리 시스템 |
CN101490833B (zh) * | 2006-05-11 | 2013-08-14 | 布鲁克斯自动化公司 | 容量减少的载物台,传送,加载端口,缓冲系统 |
CN101578700B (zh) | 2006-08-18 | 2012-11-14 | 布鲁克斯自动化公司 | 容量减少的载物台,传送,装载端口,缓冲系统 |
JP4688824B2 (ja) | 2007-01-12 | 2011-05-25 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム及び天井走行車システムの周囲の処理装置の搬出入方法 |
JP2009096610A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Asyst Technologies Japan Inc | 保管庫セット及び保管庫付き搬送システム |
JP5303893B2 (ja) * | 2007-10-18 | 2013-10-02 | 村田機械株式会社 | 保管庫 |
JP5181809B2 (ja) * | 2008-04-30 | 2013-04-10 | 村田機械株式会社 | 加工処理システム及び搬送方法 |
JP5458563B2 (ja) * | 2008-12-11 | 2014-04-02 | 村田機械株式会社 | 保管庫及び入出庫方法 |
JP5083278B2 (ja) * | 2009-06-15 | 2012-11-28 | 村田機械株式会社 | 装置前自動倉庫 |
JP5440871B2 (ja) * | 2010-08-20 | 2014-03-12 | 株式会社ダイフク | 容器保管設備 |
JP5316907B2 (ja) * | 2011-03-17 | 2013-10-16 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP5700255B2 (ja) | 2012-03-27 | 2015-04-15 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備及び物品搬送設備 |
JP6048686B2 (ja) * | 2014-09-25 | 2016-12-21 | 村田機械株式会社 | 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法 |
CN105599955B (zh) * | 2016-01-04 | 2018-01-30 | 北京中丽制机工程技术有限公司 | 丝饼包膜输送循环系统 |
JP2018095381A (ja) * | 2016-12-12 | 2018-06-21 | 株式会社山崎屋 | 配膳システム |
CN110475730B (zh) * | 2017-04-06 | 2022-03-15 | 美商美国大福公司 | 包括垂直传送设备的存储系统 |
CN110422636A (zh) * | 2019-08-25 | 2019-11-08 | 德清金瑞机械设备有限公司 | 一种公路用护栏的生产线 |
TWI714472B (zh) * | 2020-03-12 | 2020-12-21 | 力晶積成電子製造股份有限公司 | 晶圓載具運輸系統 |
-
2004
- 2004-05-13 JP JP2004143982A patent/JP4470576B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005001886A (ja) | 2005-01-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4470576B2 (ja) | 搬送システム | |
JP6202199B6 (ja) | 搬送システム及び搬送方法 | |
JP4337683B2 (ja) | 搬送システム | |
JP6048686B2 (ja) | 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法 | |
JP6690497B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
JP4636379B2 (ja) | 懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法並びに装置 | |
KR100556221B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 캐리어를 운반하는 장치 | |
WO2016039023A1 (ja) | 一時保管システムと、これを用いた搬送システム、及び一時保管方法 | |
JP2007096140A (ja) | 懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法並びに装置 | |
JPWO2015174181A6 (ja) | 搬送システム及び搬送方法 | |
JP2008510673A (ja) | 搬送システム | |
JP2005150129A (ja) | 移載装置及び移載システム | |
KR102206058B1 (ko) | 반송 시스템 | |
JPH09315521A (ja) | ストッカへの搬送システム | |
JP2008019017A (ja) | 物品収納装置 | |
JP2007287877A (ja) | 搬送システム | |
JP2005243729A (ja) | 搬送システム | |
JP5549757B2 (ja) | 搬送システム | |
WO2017043234A1 (ja) | 搬送システム及び搬送方法 | |
JP4127138B2 (ja) | 搬送システム | |
JP5729415B2 (ja) | 搬送システム及び搬送方法 | |
JP2017088316A (ja) | 自動倉庫システム | |
JP7323059B2 (ja) | 搬送車システム | |
JP2000124284A (ja) | 搬送装置 | |
JP7310713B2 (ja) | 物品搬送設備 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070109 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090910 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090915 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20091023 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091106 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20091106 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20091106 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20091117 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20091117 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100209 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100222 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140312 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |