JP4370369B2

JP4370369B2 - Gasket filter

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Publication number: JP4370369B2
Application number: JP34089398A
Authority: JP
Inventors: 忠弘大見; 英二出田; 信一池田; 明弘森本; 克典米華
Original assignee: Fujikin Inc
Current assignee: Fujikin Inc
Priority date: 1998-12-01
Filing date: 1998-12-01
Publication date: 2009-11-25
Anticipated expiration: 2018-12-01
Also published as: JP2000167318A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、２つの継手部材の突き合わせ端面間に配置されて、シール性を確保するとともに、フィルタ機能をも果たすガスケットフィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
弁部分から流体が洩れる主原因となるごみの進入を防止するため、また、オリフィス等単一の細孔が流路の場合に、細孔の目詰りを防止するため、その手前にガスケットフィルタが設置されている。
【０００３】
従来、ガスケットフィルタとしては、金属繊維を焼結することにより形成されたものや金網を積層することにより形成されたものが知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のガスケットフィルタは、流される流体にとって不純物となる水分などが排除されなければならない半導体製造装置において使用される場合に、不純物が付着し得る表面積が大きく、フィルタ内部の微小空間に捕らえられた水分が抜けにくいという問題があった。また、ガスケットフィルタに表面処理を施して、耐食性や水分除去性を向上させる必要があるが、従来のものは表面処理が施しにくいという問題があった。
【０００５】
この発明の目的は、付着した水分がとれやすくしかも表面処理が施しやすいガスケットフィルタを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
この発明によるガスケットフィルタは、円環状の金属製ガスケット本体と、これに一体的に設けられたフィルタとを備えており、フィルタが、金属製円板状体に多数の孔があけられることにより形成されており、ガスケット本体の一端面に、フィルタの外径よりも径が大きい環状の大径凹所が設けられて、大径凹所に、径が大径凹所の径よりも小さくフィルタの外径にほぼ等しいフィルタ収納凹所が設けられており、フィルタは、大径凹所の開口側からフィルタ収納凹所に嵌められているものである。
【０００７】
この発明のガスケットフィルタによると、フィルタが金属製円板状体に多数の孔をあけたものであるから、表面処理が簡単にでき、しかも、従来のものに比べて、不純物が付着し得る表面積が小さくなりかつフィルタ内部に微小空間が存在しないので、付着した水分がとれやすくなる。また、開口面積を求めることが容易であるので、これに基づいて簡単に圧力損失を予測することができ、両端面が共に平坦であるので、シール性向上のための鏡面研磨が容易にできる。しかも、配管継手のガスケットの代わりに設置することができるので、フィルタのスペースが省略でき、また、構造的にシンプルであり、製造コストを安くすることができる。
【０００８】
金属製円板状体に孔をあけるには、機械加工、エッチング、レーザー加工、放電加工、プレス加工などによることが可能である。金属製円板状体の厚さが２０〜１００μｍであり、孔の径がこの厚さと同程度かこれより大きいときには、エッチング加工が好ましい。
【０００９】
ガスケット本体とフィルタとは、溶接により一体とされることが好ましい。溶接方法としては、抵抗溶接、ＹＡＧレーザー溶接などが可能である。フィルタの厚みが５０μｍ以上の場合には、上記のどの溶接方法も可能であるが、フィルタの厚みが３０μｍ程度の場合には、材料の表面張力により直接レーザー溶接はできないため、抵抗溶接とすればよい。また、フィルタの厚みが３０μｍ程度の場合には、以下の１から３のような構成にすることもできる。
【００１０】
１．ガスケット本体の一端面に、フィルタの厚みよりも深いフィルタ収納凹所が設けられて、この底面にフィルタが載せられるとともに、フィルタ収納凹所の周面に沿うように挿入された押圧リングが、フィルタの周縁部をフィルタ収納凹所の底面に密接させており、ガスケット本体と押圧リングとが溶接されている。このようにすると、フィルタがガスケット本体と押圧リングとによって挟持されるので、ガスケット本体と押圧リングとを溶接すればよく、この溶接は簡単に行える。
【００１１】
２．フィルタが、円板部と、これの周縁から径方向に突出した少なくとも１つの突出部とを有しており、ガスケット本体に、フィルタの円板部を納める凹所と、凹所周縁部に沿って設けられた環状突起と、環状突起に設けられてフィルタの突出部を納める切欠き部とが形成されている。このようにすると、環状突起の切欠き部とフィルタの突出部とが嵌まり合うことにより、位置決めがなされてガスケット本体に対するフィルタの移動が抑えられる。この場合に、フィルタがガスケット本体内にプレスで圧入されることにより、フィルタの突出部がかしめられてガスケット本体の切欠き部に納められており、フィルタとガスケット本体とが溶接されていることが好ましい。このようにすると、かしめが仮付けの機能を果たすため、フィルタとガスケット本体との溶接が容易にできる。なお、エッチングにより孔があけられたフィルタは、１枚のシートに多数枚のフィルタが配列された状態で供給され、これをプレスによって１枚ずつ切断するものであることから、フィルタをガスケット本体内にプレスで圧入するさいに、プレスによる切断を合わせて行うことにより、フィルタを切断しておいてこれをガスケット本体にセットする手間が省け、しかも、ガスケット本体に対するフィルタの位置決めもより正確になる。
【００１２】
３．ガスケット本体が、環状の第１半体と環状の第２半体とよりなり、第１半体と第２半体とがフィルタの周縁部を介して突き合わされている。すなわち、ガスケットフィルタが介在される２つの部材同士が互いに引き寄せられるのに伴って、両半体同士が互いに引き寄せられることにより、フィルタが両半体に挟持される構成とし、これにより、溶接を行うことなく、ガスケット本体とフィルタとを一体的に接合することができる。この場合に、第１半体および第２半体の少なくとも一方の突き合わせ面に、フィルタ押さえ用環状突起が設けられていることが好ましい。また、第１半体の突き合わせ面と第２半体の突き合わせ面との間に、流体洩れ確認用のリークポートが形成されているようにすることもできる。
【００１３】
上記のほかに、この発明のガスケットフィルタは、円板状体の周縁部を除く部分にレーザー加工により多数の孔があけられることにより、周縁部がガスケット本体とされるとともに、多数の孔があけられた部分がフィルタとされている構成としてもよい。この場合に、レーザー加工による孔が、円板状体の一端面側に開口した有底孔とされ、円板状体の他端面側が削られることにより、フィルタの孔が他端面側にも開口させられている構成としてもよい。
【００１４】
上記ガスケットフィルタには、表面処理が施されていることが好ましく、表面処理としては、メッキ、電解研磨、クロム不動態処理、フッ化不動態処理などが適している。下地メッキとしてＮｉ−Ｐの無電解メッキをしてからフッ化不動態処理をして、表面にＮｉＦ₂を形成することも可能である。また、Ｎｉ−Ｐの無電解メッキをしてから上にクロムメッキをして、クロム不動態処理の組合せにより耐食性を向上させるということも可能である。そして、孔を大きめにあけておき、メッキにより所要の大きさとすることが可能であり、メッキの厚みにより表面処理後の孔の大きさをコントロールすることができる。この場合に、クロムは０．５μｍ以上の厚さになるとクラックが入るため、Ｎｉ−Ｐの下地メッキにより孔径を調整してから、０．１μｍ程度のクロムメッキをしてクロム不動態処理することが好ましい。
【００１５】
上記ガスケットフィルタを備えた流体制御器であって、入口通路および出口通路が形成されたブロック状本体に、流体の圧力および流量のいずれかを検出するセンサと、センサからの信号に基づいて流体の流路の開閉度を制御するアクチュエータとが取り付けられ、本体の入口通路に通じる導入通路を有する通路ブロックが本体に突き合わせられており、本体の入口通路と通路ブロックの導入通路との突き合わせ部に上記のガスケットフィルタが装着されているものは、半導体製造用などの流体制御装置を構成する部材として有用である。
【００１６】
また、金属製円板状体に多数の孔がエッチングによりあけられることにより形成されているフィルタは、上記ガスケットフィルタを構成するものとして有用である。
【００１７】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、図１の左右を左右というものとする。また、同図の紙面表側を前、紙面裏側を後というものとする。
【００１８】
図１は、この発明のガスケットフィルタが使用される流体制御装置の１例を示している。この流体制御装置(1) は、半導体製造装置等において用いられるもので、マスフローコントローラ(2) と、マスフローコントローラ(2) の左方に設けられた入口側遮断開放部(3) と、マスフローコントローラ(2) の右方に設けられた出口側遮断開放部(4) とよりなる。
【００１９】
マスフローコントローラ(2) の下部左面には、下面に開口する入口通路(5a)を有する直方体状左方張出ブロック（第１流体制御部材）(5) が設けられ、同右面には、下面に開口する出口通路(6a)を有する直方体状右方張出ブロック（第２流体制御部材）(6) が設けられている。両張出ブロック(5)(6)は、横からのねじによりマスフローコントローラ(2) の本体に固定されている。
【００２０】
入口側遮断開放部(3) は、上段に配置された４つの流体制御部材(7)(8)(9)(10) と、下段に配置された５つの直方体状継手(11)(12)(13)(14)(15)とよりなる。
【００２１】
入口側遮断開放部(3) の左端に配置された第３流体制御部材(7) は、下向きの入口通路(16a) および出口通路(16b) を有するブロック状本体(16)に一体的に設けられかつこれらの通路(16a)(16b)同士の連通を遮断開放する第１開閉弁(17)よりなる。
【００２２】
入口側遮断開放部(3) の左端から２番目に配置された第４流体制御部材(8) は、下向きの入口通路(18a) および出口通路(18b) を有しかつ上面左部に傾斜面が形成されている略直方体ブロック状本体(18)と、本体(18)傾斜面に設けられかつ入口通路(18a) と出口通路(18b) との連通部に配置されて圧力を調整するプレッシャーレギュレータ(19)と、本体(18)右上面の平坦部に設けられかつ出口通路(18b) に通じる通路を介して流体圧を測定する圧力センサ(20)とよりなる。本体(18)の入口通路(18a) には、フィルター(21)が設けられている。
【００２３】
入口側遮断開放部(3) の左端から３番目に配置された第５流体制御部材(9) は、１つの直方体ブロック状本体(22)に一体的に設けられた第２および第３開閉弁(23)(24)よりなる。本体(22)には、左端部に設けられた下向きの第１入口通路(22a) と、第１入口通路(22a) に第２開閉弁(23)を介して連通する右向きの出口通路(22b) と、出口通路(22b) に第３開閉弁(24)を介して連通する下向きの第２入口通路(22c) とが設けられている。
【００２４】
入口側遮断開放部(3) の左端から４番目に配置された第６流体制御部材(10)は、１つの直方体通路ブロックよりなる。第６流体制御部材(10)には、一端が第５流体制御部材本体(22)の出口通路(22b) に通じ、他端が下方に開口している連通路(10a) が設けられている。
【００２５】
入口側遮断開放部(3) の左端に配置された第１継手(11)には、第３流体制御部材本体(16)の入口通路(16a) に通じかつ左方に開口するＬ字状上流側連通路(11a) と、第３流体制御部材本体(16)の出口通路(16b) に通じかつ右方に開口するＬ字状下流側連通路(11b) とが設けられている。第１継手(11)の左面には、上流側連通路(11a) に通じる第１入口管接続部(25)が設けられている。
【００２６】
上流側遮断開放部(3) の左端から２番目に配置された第２継手(12)には、第１継手(11)の出口通路(11b) と第４流体制御部材本体(18)の入口通路(18a) とを連通するＬ字状上流側連通路(12a) と、一端が第４流体制御部材本体(18)の出口通路(18b) に通じかつ他端が右方に開口するＬ字状下流側連通路(12b) とが設けられている。
【００２７】
上流側遮断開放部(3) の左端から３番目に配置された第３継手(13)には、第２継手(12)の出口通路(12b) と第５流体制御部材本体(22)の第１入口通路(22a) とを連通するＬ字状連通路(13a) が設けられている。
【００２８】
上流側遮断開放部(3) の左端から４番目に配置された第４継手(14)には、一端が第５流体制御部材本体(22)の第２入口通路(22c) に通じ、他端が後方に開口する連通路(14a) が設けられている。第４継手(14)の後面には、連通路(14a) に通じる第２入口管接続部（図示略）が設けられている。
【００２９】
上流側遮断開放部(3) の左端から５番目に配置された第５継手(15)には、一端が第６流体制御部材(10)の連通路(10a) 出口に通じ、他端がマスフローコントローラ(2) の左方張出ブロック(5) の入口通路(5a)に通じているＶ字状連通路(15a) が設けられている。
【００３０】
下流側遮断開放部(4) は、上段に配置された第７流体制御部材(26)と、下段に配置された第６および第７の直方体状継手(27)(28)とよりなる。第７流体制御部材(26)は、下向きの入口通路(29a) および出口通路(29b) を有するブロック状本体(29)に一体的に設けられかつこれらの通路(29a)(29b)同士の連通を遮断開放する第４開閉弁(30)よりなる。下流側遮断開放部(4) の左方に配置された第６継手(27)には、一端がマスフローコントローラ(2) の右方張出ブロック(6) の出口通路(6a)に通じ、他端が第７流体制御部材本体(29)の入口通路(29a) に通じているＶ字状連通路(27a) が設けられている。下流側遮断開放部(4) の右方に配置された第７継手(28)には、一端が第７流体制御部材本体(29)の出口通路(29b) に通じ、他端が後方に開口する連通路(28a) が設けられている。第７継手(28)の後面には、連通路(28a) に通じる出口管接続部（図示略）が設けられている。
【００３１】
流体制御部材同士(5)(6)(7)(8)(9)(10)(26) の連通部、継手(11)(12)(13)(14)(15)同士の連通部および流体制御部材(5)(6)(7)(8)(9)(10)(26) と継手(11)(12)(13)(14)(15)との連通部には、それぞれシール部(33)が設けられている。
【００３２】
流体制御部材(5)(6)(7)(8)(9)(10)(26) の下面はすべて面一とされるとともに、各継手(11)(12)(13)(14)(15)の上面同士も面一とされ、継手(11)(12)(13)(14)(15)(27)(28)が基板(31)に固定され、各流体制御部材(5)(6)(7)(8)(9)(10)(26) が、上方からのねじ(32)により継手(11)(12)(13)(14)(15)(27)(28)に固定されている。
【００３３】
こうして、第１継手(11)の第１入口管接続部(25)および第４継手(14)の第２入口管接続部からそれぞれ異なる流体が導入され、これらの流体が適宜切り換えらてマスフローコントローラ(2) を経て第７継手(28)の出口管接続部から排出される流体制御装置(1) が構成されている。
【００３４】
上記流体制御装置(1) において、各シール部(33)にはガスケットが配置されるが、マスフローコントローラ(2) などは目詰りを起こしやすい流体制御器であるため、これの上流側では、必要に応じて通常のガスケットをこの発明のガスケットフィルタ(41)(51)(61)(81)(91)(92)に置き換え、目詰りの防止が図られる。
【００３５】
この発明の第１実施形態のガスケットフィルタ(41)は、図２に示すように、円環状のガスケット本体(42)と、これに一体的に設けられたフィルタ(43)とよりなる。
【００３６】
フィルタ(43)は、図３に示すように、金属製の薄い円板(44)の周縁部を除く部分に多数の孔(45)がエッチングであけられることにより形成されている。エッチング方法としては、フィルタ(43)の材質と孔(45)の径に応じて、両面エッチングまたは片面エッチングが適宜採用される。両面エッチングの場合、各孔(45)の形状は、図３（ｂ）に示すように、円板(44)の両端面で径が最も大きく、円板(44)の厚みの中央で径が最小となっている。片面エッチングの場合は、図示省略するが、各孔(45)の形状は、表面で径が最も大きく裏面で径が最小となる。
【００３７】
ガスケット本体(42)の一端面には、ガスケット本体(42)と同軸の環状の大径凹所(46)が設けられており、この大径凹所(46)の底面に、これより径が小さいフィルタ収納凹所(47)が設けられている。フィルタ収納凹所(47)は、フィルタ(43)の厚みにほぼ等しい深さとフィルタ(43)の外径にほぼ等しい径を有しており、フィルタ(43)は、このフィルタ収納凹所(47)に嵌め入れられて、ガスケット本体(42)に溶接されている。
【００３８】
溶接方法としては、抵抗溶接やＹＡＧレーザー溶接などが可能である。フィルタ(43)の厚みが５０μｍ以上の場合には、これらのうちのどの溶接方法も可能であるが、フィルタ(43)の厚みが３０μｍ程度の場合には、材料の表面張力により直接レーザー溶接はできないため、抵抗溶接が好ましい。
【００３９】
フィルタ(43)の厚みが３０μｍ程度であり、材料の表面張力によって直接溶接が困難な場合において、ガスケット本体(52)(62)(82)とフィルタ(43)(63)とを一体的に接合する形態を以下に示す。
【００４０】
図４に示す第２実施形態のガスケットフィルタ(51)は、押圧リング(55)を用いて溶接するもので、ガスケット本体(52)の一端面には、ガスケット本体(52)と同軸の環状の大径凹所(53)が設けられており、この大径凹所(53)の底面に、これより径が小さいフィルタ収納凹所(54)が設けられている。フィルタ収納凹所(54)は、フィルタ(43)の厚みよりも深くかつフィルタ(43)の外径にほぼ等しい径を有しており、この底面にフィルタ(43)が載せられている。そして、フィルタ収納凹所(54)の径にほぼ等しい外径を有する押圧リング(55)が、フィルタ収納凹所(54)の周面に沿うように挿入されて、フィルタ(43)の周縁部をフィルタ収納凹所(54)の底面に密接させている。溶接は、ガスケット本体(52)と押圧リング(55)との間で行われている。
【００４１】
図５および図６に示す第３実施形態のガスケットフィルタ(61)は、フィルタ(63)をプレスでかしめておいてから溶接したもので、フィルタ(63)は、図３に示したフィルタ(43)と同一形状の多数の孔(45)付き円板部(64)と、これの周縁から径方向に突出した２つの突出部(65)とよりなる。ガスケット本体(62)には、フィルタ(63)の円板部(64)を納める凹所(66)と、凹所(66)周縁部に沿って設けられた環状突起(67)と、環状突起(67)に設けられてフィルタ(63)の突出部(65)を納める切欠き部(68)とが形成されている。
【００４２】
このガスケットフィルタ(61)のフィルタ(63)は、１枚のシートに多数枚のフィルタ(63)が配置された状態で製造されるものであり、フィルタ(63)の突出部(65)がフィルタ(63)同士を連結させておくブリッジ部となっている。したがって、このブリッジ部を含むようにしてフィルタ(63)を１枚ずつ切断した後で、フィルタ(63)をガスケット本体(62)に載せてプレスによりかしめることにより、フィルタ(63)が容易には離れないようにガスケット本体(62)に取り付けられる。したがって、仮付け溶接を省略することができ、レーザー溶接によりこのガスケットフィルタ(61)を得ることができる。また、図７に示すように、１枚のシート(69)に多数枚のフィルタ(63)が配置された状態でガスケット本体(62)に載せて、プレスにより１枚ずつの切断とかしめとを同時に行うようにしてもよい。この場合に、プレス金型(71)は、内側の切断ポンチ(72)と、ばね(74)により切断ポンチ(72)よりも下方に突出させられた外側の曲げポンチ(73)とを備えた二重構造とされる。そして、ガスケット本体(62)の環状突起(67)の切欠き部(68)にフィルタ(63)の突出部(65)を合わせると、エッチング時に形成された抜き代部分がガスケット本体(62)の環状突起(67)に合わせられ、これにより、シート(69)がガスケット本体(62)に保持される。この状態で、プレスを作動させると、まず、切断ポンチ(72)によりシート(69)からフィルタ(63)が切り離されてガスケット本体(62)に受け止められ、次いで、曲げポンチ(73)によりフィルタ(63)の突出部(63)がかしめられる。これにより、フィルタ(63)が容易には離れないようにガスケット本体(62)に取り付けられ、この状態でレーザー溶接することにより同様のガスケットフィルタ(61)が得られる。図７に示した方法によると、フィルタ(63)をガスケット本体(62)に１枚ずつセットする手間が省かれ、フィルタ(63)のガスケット本体(62)に対する位置決めも精度良く行われる。
【００４３】
図８に示す第４実施形態のガスケットフィルタ(81)は、溶接を不要とするもので、ガスケット本体(82)が、同図の左方に示す環状の第１半体(83)と、同図の右方に示す環状の第２半体(84)とよりなり、第１半体(83)と第２半体(84)とが図３に示したフィルタ(43)の周縁部を介して突き合わされているものである。
【００４４】
第１半体(83)は、フィルタ(43)の周縁部に接している基準突き合わせ面(83a) より径方向外側にあってかつこれよりも後退した後退突き合わせ面(83b) を有している。第２半体(84)は、フィルタ(43)の周縁部に接している基準突き合わせ面(84a) より径方向外側にあってかつこれよりも突出した突出突き合わせ面(84b) を有している。第２半体(84)の基準突き合わせ面(84a) には、フィルタ押さえ用環状突起(85)が設けられている。また、後退突き合わせ面(83b) と突出突き合わせ面(84b) との間に、流体洩れ確認用のリークポート(86)が形成されている。第１半体(83)と第２半体(84)との間には、押さえ代(87)が存在しており、ガスケットフィルタ(81)が介在される２つの部材同士が互いに引き寄せられるのに伴ってこの押さえ代(87)がゼロとなり、ガスケットフィルタ(81)が２つの部材間に挟持される。
【００４５】
図９（ｃ）に示すガスケットフィルタ(91)(92)は、溶接を不要とするとともに、フィルタのエッチング加工も不要とするものである。すなわち、図９（ａ）に示す円板(93)の周縁部を除く部分に、上面側からレーザー加工により多数の有底孔(94)をあけて、同図（ｂ）に示す有底孔(94)付き円板(93)を得た後、この円板(93)を外形加工することにより、周縁部がガスケット本体(95)(98)とされ、多数の孔(97)(100) があけられた部分がフィルタ(96)(99)とされたガスケットフィルタ(91)(92)を形成するものである。下面側から削る際には、(91)のガスケットのように、全面を平坦に削ってもよく、(92)のガスケットのように、ガスケット(92)の全厚みに対するフィルタ(99)の孔(100) を相対的に短くするように、下面が凹状になるように削っても良い。なお、(92)のガスケットは、外形加工を先にして、後から孔(100) を貫通状にあけるようにしてもよい。
【００４６】
なお、上記第１〜第４実施形態の各ガスケットフィルタは、以下のように、流体制御器に内蔵された状態でも使用される。
【００４７】
図１０に示す流体制御器(101) は、入口通路(103) および出口通路(104) が形成された直方体ブロック状本体(102) に、出口通路(104) 内の流体の圧力を検出する圧力センサ(105) と、圧力センサ(105) からの信号に基づいて入口通路(103) の開閉度を制御するピアゾアクチュエータ(106) と、出口通路(104) 近くの温度を検出する温度センサ(112) とが取り付けられ、本体(102) の入口通路(103) に通じる導入通路(108) が形成された導入通路ブロック(107) が本体(102) の入口側の面に突き合わせられており、本体(102) の入口通路(103) と導入通路ブロック(107) の導入通路(108) との突き合わせ部に上記第１から第４までの実施形態のガスケットフィルタ(41)(51)(61)(81)(91)(92)のいずれかが装着されているものである。本体(102) の出口通路(104) にはオリフィス(111) が形成されており、本体(102) の出口側の面には、出口通路(104) に通じる排出通路(110) が形成された排出通路ブロック(109) が突き合わされている。
【００４８】
図１１に示す流体制御器(121) は、マスフローコントローラであって、入口通路(123) および出口通路(124) が形成された直方体ブロック状本体(122) に、入口通路(123) 内の流体の流量を検出する流量センサ(125) と、流量センサ(125) からの信号に基づいて出口通路(124) の開閉度を制御するピアゾアクチュエータ(126) とが取り付けられ、本体(122) の入口通路(123) に通じる導入通路(128) が形成された導入通路ブロック(127) が本体(122) の入口側の面に突き合わせられており、本体(122) の入口通路(123) と導入通路ブロック(127) の導入通路(128) との突き合わせ部に上記第１から第４までの実施形態のガスケットフィルタ(41)(51)(61)(81)(91)(92)のいずれかが装着されているものである。本体(122) の出口通路(124) にはオリフィス(131) が形成されており、本体(122) の出口側の面には、出口通路(124) に通じる排出通路(130) が形成された排出通路ブロック(129) が突き合わされている。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるガスケットフィルタが使用される流体制御装置の１例を示す図である。
【図２】この発明によるガスケットフィルタの第１実施形態の縦断面図である。
【図３】この発明によるガスケットフィルタのフィルタを示す図であり、（ａ）はその正面図、（ｂ）は孔の拡大断面図である。
【図４】この発明によるガスケットフィルタの第２実施形態の縦断面図である。
【図５】この発明によるガスケットフィルタの第３実施形態の縦断面図である。
【図６】同正面図である。
【図７】第３実施形態のガスケットフィルタを製造する装置の概略を示す縦断面図である。
【図８】この発明によるガスケットフィルタの第３実施形態の縦断面図である。
【図９】この発明によるガスケットフィルタの第４実施形態およびその製造過程を示す図である。
【図１０】この発明によるガスケットフィルタを使用した流体制御器の一例を示す図である。
【図１１】この発明によるガスケットフィルタを使用した流体制御器の他の例を示す図である。
【符号の説明】
(41)(51)(61)(81)(91)(92) ガスケットフィルタ
(42)(52)(62)(82)(95)(98) ガスケット本体
(43)(63)(96)(99) フィルタ
(44) 円板
(45)(97)(100) 孔
(46)(53) 大径凹所
(47)(54) フィルタ収納凹所
(55) 押圧リング
(64) 円板部
(65) 突出部
(66) 凹所
(67) 環状突起
(68) 切欠き部
(83) 第１半体
(83a)(83b) 突き合わせ面
(84) 第２半体
(84a)(84b) 突き合わせ面
(85) フィルタ押さえ用環状突起
(86) リークポート
(93) 円板状体
(94) レーザー加工による孔
(101)(121) 流体制御器
(102)(122) ブロック状本体
(103)(123) 入口通路
(104)(124) 出口通路
(105)(125) センサ
(106)(126) アクチュエータ
(107)(127) 通路ブロック
(108)(128) 導入通路[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a gasket filter that is disposed between butted end surfaces of two joint members to ensure sealing performance and also to perform a filter function.
[0002]
[Prior art]
In order to prevent the entry of dust, which is the main cause of fluid leakage from the valve section, and to prevent clogging of the pores when a single pore such as an orifice is a flow path, a gasket filter is placed in front of it. is set up.
[0003]
Conventionally, as the gasket filter, those formed by sintering metal fibers and those formed by laminating a wire mesh are known.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
The conventional gasket filter has a large surface area to which impurities can adhere when trapped in a minute space inside the filter when used in a semiconductor manufacturing apparatus in which moisture that becomes impurities for the fluid to be flowed must be excluded. There was a problem that moisture was difficult to escape. Further, it is necessary to perform surface treatment on the gasket filter to improve the corrosion resistance and moisture removal property. However, the conventional filter has a problem that it is difficult to perform the surface treatment.
[0005]
An object of the present invention is to provide a gasket filter in which adhering moisture is easily removed and surface treatment is easily performed.
[0006]
[Means for Solving the Problems and Effects of the Invention]
This gasket filter according the invention, a metallic gasket body annular, this includes a filter provided integrally with the filter by a number of holes are drilled in the metal disc-shaped body An annular large-diameter recess having a diameter larger than the outer diameter of the filter is provided on one end surface of the gasket body, and the filter is smaller in diameter than the large-diameter recess in the large-diameter recess. is provided with approximately equal filter housing concavity to the outer diameter of the filter, Ru der those fitted from the opening side of the large diameter recess in the filter housing recess.
[0007]
According to the gasket filter of the present invention, since the filter has a large number of holes in a metal disk-like body, the surface treatment can be simplified, and the surface area on which impurities can adhere as compared with the conventional one. Becomes small and there is no minute space inside the filter, so that the attached moisture is easily removed. Further, since it is easy to obtain the opening area, the pressure loss can be easily predicted based on this, and both end faces are flat, so that mirror polishing for improving the sealing property can be easily performed. Moreover, since it can be installed in place of the gasket of the pipe joint, the space for the filter can be omitted, and the structure is simple, and the manufacturing cost can be reduced.
[0008]
In order to make a hole in a metal disk-like body, machining, etching, laser processing, electric discharge processing, press processing, or the like can be performed. Etching is preferable when the thickness of the metal disc-shaped body is 20 to 100 μm and the diameter of the hole is equal to or larger than this thickness.
[0009]
The gasket body and the filter are preferably integrated by welding. As a welding method, resistance welding, YAG laser welding, or the like is possible. When the filter thickness is 50 μm or more, any of the above welding methods can be used. However, when the filter thickness is about 30 μm, direct laser welding cannot be performed due to the surface tension of the material. Good. Moreover, when the thickness of a filter is about 30 micrometers, it can also be set as the following 1 to 3.
[0010]
1. A filter housing recess deeper than the thickness of the filter is provided on one end face of the gasket body, and the filter is placed on the bottom surface. A pressing ring inserted along the peripheral surface of the filter housing recess includes a filter The gasket is closely attached to the bottom surface of the filter housing recess, and the gasket body and the pressing ring are welded. If it does in this way, since a filter is clamped by a gasket main part and a press ring, what is necessary is just to weld a gasket main part and a press ring, and this welding can be performed easily.
[0011]
2. The filter has a disc part and at least one projecting part projecting radially from the peripheral edge of the disc part, and the gasket body is provided with a recess for accommodating the disc part of the filter, along the peripheral part of the recess. And a notch that is provided on the annular projection and accommodates the protruding portion of the filter. If it does in this way, the notch part of an annular protrusion and the protrusion part of a filter will fit, positioning will be made and the movement of the filter with respect to a gasket main body will be suppressed. In this case, when the filter is press-fitted into the gasket body by press, the protruding part of the filter is caulked and placed in the notch part of the gasket body, and the filter and the gasket body are welded. preferable. If it does in this way, since caulking will fulfill the function of temporary attachment, welding with a filter and a gasket main part can be performed easily. Note that a filter with holes formed by etching is supplied in a state where a large number of filters are arranged on one sheet, and this is cut one by one by pressing. When press-fitting with a press, the cutting by the press is also performed, so that the trouble of cutting the filter and setting it on the gasket main body can be saved, and the positioning of the filter with respect to the gasket main body becomes more accurate.
[0012]
3. The gasket body is composed of an annular first half and an annular second half, and the first half and the second half are abutted via the peripheral edge of the filter. That is, as the two members interposing the gasket filter are attracted to each other, the two halves are attracted to each other, whereby the filter is sandwiched between the two halves, thereby performing welding. The gasket main body and the filter can be integrally joined without any problem. In this case, it is preferable that an annular protrusion for holding the filter is provided on at least one abutting surface of the first half and the second half. Also, a leak port for confirming fluid leakage may be formed between the abutting surface of the first half and the abutting surface of the second half.
[0013]
In addition to the above, the gasket filter of the present invention has a plurality of holes formed by laser processing in a portion excluding the peripheral portion of the disk-like body, so that the peripheral portion is made a gasket body and a large number of holes are formed. It is good also as a structure by which the made part is used as the filter. In this case, the hole formed by laser processing is a bottomed hole opened on one end surface side of the disk-shaped body, and the other end surface side of the disk-shaped body is shaved so that the filter hole is also opened on the other end surface side. It is good also as a structure made to do.
[0014]
The gasket filter is preferably subjected to surface treatment, and plating, electropolishing, chromium passivation treatment, fluorination passivation treatment, and the like are suitable as the surface treatment. It is also possible to form NiF ₂ on the surface by subjecting Ni—P to electroless plating as a base plating and then performing a fluorination passivation treatment. It is also possible to improve the corrosion resistance by combining chromium-passive treatment after electroless plating of Ni-P and then chromium plating. And it is possible to make a hole large and to make it into a required size by plating, and the size of the hole after the surface treatment can be controlled by the thickness of the plating. In this case, since chromium cracks when the thickness is 0.5 μm or more, the hole diameter is adjusted by Ni—P base plating, and then chromium passivation is performed by chromium plating of about 0.1 μm. Is preferred.
[0015]
A fluid controller comprising the gasket filter, wherein a block-like body having an inlet passage and an outlet passage is provided with a sensor for detecting either a pressure or a flow rate of the fluid, and a fluid based on a signal from the sensor. An actuator for controlling the degree of opening and closing of the flow path is attached, and a passage block having an introduction passage leading to the inlet passage of the main body is abutted against the main body. Those fitted with the gasket filter are useful as members constituting a fluid control apparatus for semiconductor manufacturing or the like.
[0016]
A filter formed by etching a large number of holes in a metal disk-like body is useful as a component of the gasket filter.
[0017]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following description, the left and right in FIG. Also, the front side of the drawing in the figure is the front and the back side of the drawing is the back.
[0018]
FIG. 1 shows an example of a fluid control device in which the gasket filter of the present invention is used. This fluid control device (1) is used in a semiconductor manufacturing device or the like, and includes a mass flow controller (2), an inlet side shut-off portion (3) provided on the left side of the mass flow controller (2), and a mass flow controller. It consists of an outlet side shut-off part (4) provided on the right side of (2).
[0019]
The lower left surface of the mass flow controller (2) is provided with a rectangular parallelepiped left extending block (first fluid control member) (5) having an inlet passage (5a) that opens to the lower surface. A rectangular parallelepiped right extending block (second fluid control member) (6) having an outlet passage (6a) that opens is provided. Both overhanging blocks (5) and (6) are fixed to the main body of the mass flow controller (2) by screws from the side.
[0020]
The inlet side blocking opening (3) has four fluid control members (7), (8), (9), (10) arranged in the upper stage, and five rectangular joints (11), (12) arranged in the lower stage. (13) (14) (15).
[0021]
The third fluid control member (7) disposed at the left end of the inlet-side blocking / opening portion (3) is provided integrally with the block-shaped body (16) having a downward inlet passage (16a) and an outlet passage (16b). And a first on-off valve (17) that shuts off and opens the communication between the passages (16a) and (16b).
[0022]
The fourth fluid control member (8) arranged second from the left end of the inlet side shut-off part (3) has a downward inlet passage (18a) and an outlet passage (18b), and has an inclined surface on the upper left portion. A substantially rectangular parallelepiped block-shaped main body (18), and a pressure regulator which is provided on the inclined surface of the main body (18) and is arranged in a communication portion between the inlet passage (18a) and the outlet passage (18b) to adjust the pressure (19) and a pressure sensor (20) that measures the fluid pressure through a passage that is provided in a flat portion on the right upper surface of the main body (18) and communicates with the outlet passage (18b). A filter (21) is provided in the inlet passage (18a) of the main body (18).
[0023]
The fifth fluid control member (9) arranged third from the left end of the inlet side shut-off part (3) is a second and third on-off valve provided integrally with one rectangular parallelepiped block body (22). (23) Consists of (24). The main body (22) has a downward first inlet passage (22a) provided at the left end, and a rightward outlet passage (22b) communicating with the first inlet passage (22a) via the second on-off valve (23). ) And a downward second inlet passage (22c) communicating with the outlet passage (22b) via the third on-off valve (24).
[0024]
The sixth fluid control member (10) arranged fourth from the left end of the inlet side blocking / opening portion (3) is composed of one rectangular parallelepiped passage block. The sixth fluid control member (10) is provided with a communication passage (10a) having one end communicating with the outlet passage (22b) of the fifth fluid control member main body (22) and the other end opened downward. .
[0025]
The first joint (11) arranged at the left end of the inlet-side shut-off part (3) has an L-shaped upstream that leads to the inlet passage (16a) of the third fluid control member body (16) and opens to the left. A side communication passage (11a) and an L-shaped downstream communication passage (11b) that opens to the right and communicates with the outlet passage (16b) of the third fluid control member main body (16) are provided. On the left surface of the first joint (11), a first inlet pipe connection portion (25) communicating with the upstream communication passage (11a) is provided.
[0026]
The second joint (12) arranged second from the left end of the upstream shut-off part (3) has an outlet passage (11b) of the first joint (11) and an inlet of the fourth fluid control member body (18). An L-shaped upstream communication passage (12a) communicating with the passage (18a) and an L-shape having one end communicating with the outlet passage (18b) of the fourth fluid control member body (18) and the other end opened to the right. And a downstream communication passage (12b).
[0027]
The third joint (13) arranged third from the left end of the upstream shut-off opening (3) includes the outlet passage (12b) of the second joint (12) and the fifth fluid control member main body (22). An L-shaped communication path (13a) communicating with the one inlet path (22a) is provided.
[0028]
One end of the fourth joint (14) arranged fourth from the left end of the upstream shut-off part (3) communicates with the second inlet passage (22c) of the fifth fluid control member body (22), and the other end. Is provided with a communication passage (14a) that opens rearward. A rear surface of the fourth joint (14) is provided with a second inlet pipe connecting portion (not shown) that communicates with the communication passage (14a).
[0029]
One end of the fifth joint (15) arranged fifth from the left end of the upstream shut-off part (3) is connected to the outlet of the communication passage (10a) of the sixth fluid control member (10), and the other end is mass flow. A V-shaped communication path (15a) communicating with the inlet path (5a) of the left extension block (5) of the controller (2) is provided.
[0030]
The downstream blocking / opening portion (4) includes a seventh fluid control member (26) arranged at the upper stage and sixth and seventh rectangular parallelepiped joints (27) (28) arranged at the lower stage. The seventh fluid control member (26) is provided integrally with the block-shaped main body (29) having the downward inlet passage (29a) and the outlet passage (29b) and communicates between the passages (29a) and (29b). It consists of a fourth on-off valve (30) that shuts off and opens. One end of the sixth joint (27) arranged on the left side of the downstream cutoff opening (4) leads to the outlet passage (6a) of the right extension block (6) of the mass flow controller (2), etc. A V-shaped communication passage (27a) whose end communicates with the inlet passage (29a) of the seventh fluid control member main body (29) is provided. One end of the seventh joint (28) arranged on the right side of the downstream shut-off opening (4) communicates with the outlet passage (29b) of the seventh fluid control member body (29), and the other end opens rearward. A communication path (28a) is provided. On the rear surface of the seventh joint (28), an outlet pipe connecting portion (not shown) that leads to the communication passage (28a) is provided.
[0031]
Communication parts between fluid control members (5) (6) (7) (8) (9) (10) (26), communication parts between joints (11) (12) (13) (14) (15) Seals are provided at the communication parts between the fluid control members (5) (6) (7) (8) (9) (10) (26) and the joints (11) (12) (13) (14) (15). A portion (33) is provided.
[0032]
The bottom surfaces of the fluid control members (5), (6), (7), (8), (9), (10), and (26) are all flush and each joint (11) (12) (13) (14) ( 15) are also flush with each other, and the joints (11) (12) (13) (14) (15) (27) (28) are fixed to the substrate (31), and each fluid control member (5) ( 6) (7) (8) (9) (10) (26) are connected to the joint (11) (12) (13) (14) (15) (27) (28) by the screw (32) from above. It is fixed.
[0033]
In this way, different fluids are introduced from the first inlet pipe connection part (25) of the first joint (11) and the second inlet pipe connection part of the fourth joint (14), and these fluids are switched appropriately so that the mass flow controller is switched. The fluid control device (1) discharged from the outlet pipe connection portion of the seventh joint (28) through (2) is configured.
[0034]
In the fluid control device (1), a gasket is arranged at each seal portion (33), but the mass flow controller (2) and the like are fluid controllers that are prone to clogging. Accordingly, a normal gasket is replaced with the gasket filters (41), (51), (61), (81), (91), and (92) of the present invention to prevent clogging.
[0035]
As shown in FIG. 2, the gasket filter (41) according to the first embodiment of the present invention comprises an annular gasket body (42) and a filter (43) provided integrally therewith.
[0036]
As shown in FIG. 3, the filter (43) is formed by etching a large number of holes (45) in a portion excluding the peripheral portion of the thin metal disk (44). As the etching method, double-sided etching or single-sided etching is appropriately employed depending on the material of the filter (43) and the diameter of the hole (45). In the case of double-sided etching, the shape of each hole (45) has the largest diameter at both end faces of the disk (44) and the diameter at the center of the thickness of the disk (44) as shown in FIG. It is the minimum. In the case of single-sided etching, although not shown, the shape of each hole (45) has the largest diameter on the front surface and the smallest diameter on the back surface.
[0037]
On one end surface of the gasket body (42), the gasket body (42) and large-diameter recess concentric annular (46) is provided on the bottom surface of the large-diameter recess (46), than this diameter A small filter storage recess (47) is provided. The filter housing recess (47) has a depth substantially equal to the thickness of the filter (43) and a diameter substantially equal to the outer diameter of the filter (43), and the filter (43) is provided with the filter housing recess (47). ) And welded to the gasket body (42).
[0038]
As a welding method, resistance welding, YAG laser welding, or the like is possible. When the thickness of the filter (43) is 50 μm or more, any of these welding methods can be used. However, when the thickness of the filter (43) is about 30 μm, direct laser welding is performed due to the surface tension of the material. Resistance welding is preferred because it cannot.
[0039]
When the thickness of the filter (43) is about 30μm and direct welding is difficult due to the surface tension of the material, the gasket body (52) (62) (82) and the filter (43) (63) are joined together. The form to do is shown below.
[0040]
The gasket filter (51) of the second embodiment shown in FIG. 4 is welded by using a pressing ring (55), and an end surface of the gasket body (52) has an annular shape coaxial with the gasket body (52). large diameter recess (53) is provided, on the bottom surface of the large-diameter recess (53), than this diameter is smaller filter housing concavity (54) is provided. The filter housing recess (54) has a diameter deeper than the thickness of the filter (43) and substantially equal to the outer diameter of the filter (43), and the filter (43) is placed on the bottom surface. Then, a pressing ring (55) having an outer diameter substantially equal to the diameter of the filter housing recess (54) is inserted along the peripheral surface of the filter housing recess (54), and the peripheral portion of the filter (43) Is in close contact with the bottom surface of the filter housing recess (54). Welding is performed between the gasket body (52) and the pressing ring (55).
[0041]
The gasket filter (61) of the third embodiment shown in FIGS. 5 and 6 is a filter (63) which is welded after crimping with a press. The filter (63) is a filter (43) shown in FIG. ) And a disk portion (64) with a large number of holes (45) and two projecting portions (65) projecting radially from the periphery thereof. The gasket body (62) has a recess (66) for storing the disc portion (64) of the filter (63), an annular protrusion (67) provided along the peripheral edge of the recess (66), and an annular protrusion. A notch (68) is formed in the (67) to accommodate the protrusion (65) of the filter (63).
[0042]
The filter (63) of the gasket filter (61) is manufactured in a state where a large number of filters (63) are arranged on one sheet, and the protrusion (65) of the filter (63) is formed by the filter (63). (63) It is a bridge part that connects each other. Therefore, after cutting the filter (63) one by one so as to include this bridge part, the filter (63) is easily separated by placing the filter (63) on the gasket body (62) and caulking with a press. It is attached to the gasket body (62) so that there is no. Therefore, tack welding can be omitted, and this gasket filter (61) can be obtained by laser welding. Also, as shown in FIG. 7, a large number of filters (63) are placed on one sheet (69), placed on the gasket body (62), and cut and caulked one by one by a press. You may make it carry out simultaneously. In this case, the press die (71) includes an inner cutting punch (72) and an outer bending punch (73) protruded downward from the cutting punch (72) by a spring (74). A double structure is assumed. Then, when the protrusion (65) of the filter (63) is aligned with the notch (68) of the annular protrusion (67) of the gasket body (62), the removal allowance formed during the etching is removed from the gasket body (62). The sheet (69) is held by the gasket body (62) by being aligned with the annular protrusion (67). When the press is operated in this state, first, the filter (63) is separated from the sheet (69) by the cutting punch (72) and received by the gasket body (62), and then the filter (by the bending punch (73) ( 63) the protrusion (63) is caulked. Thus, the filter (63) is attached to the gasket main body (62) so that it is not easily separated, and a similar gasket filter (61) is obtained by laser welding in this state. According to the method shown in FIG. 7, the trouble of setting the filters (63) on the gasket body (62) one by one is saved, and the positioning of the filter (63) with respect to the gasket body (62) is performed with high accuracy.
[0043]
The gasket filter (81) of the fourth embodiment shown in FIG. 8 does not require welding, and the gasket body (82) is the same as the annular first half (83) shown on the left side of FIG. It consists of the annular second half (84) shown on the right side of the figure, and the first half (83) and the second half (84) pass through the periphery of the filter (43) shown in FIG. It is what has been abutted.
[0044]
The first half (83) has a receding butting surface (83b) that is radially outward from the reference butting surface (83a) that is in contact with the peripheral edge of the filter (43) and that is receded from this. . The second half (84) has a projecting butting surface (84b) that is radially outward from the reference butting surface (84a) that is in contact with the peripheral edge of the filter (43) and protrudes further than this. . A filter pressing annular protrusion (85) is provided on the reference abutting surface (84a) of the second half (84). Further, a leak port (86) for confirming fluid leakage is formed between the receding butting surface (83b) and the projecting butting surface (84b). A holding allowance (87) exists between the first half (83) and the second half (84), and the two members with the gasket filter (81) interposed therebetween are attracted to each other. Along with this, the pressing margin (87) becomes zero, and the gasket filter (81) is sandwiched between the two members.
[0045]
The gasket filters (91) and (92) shown in FIG. 9 (c) do not require welding and do not require filter etching. That is, a number of bottomed holes (94) are formed by laser processing from the upper surface side in the portion excluding the peripheral edge of the disc (93) shown in FIG. 9 (a), and the bottomed holes shown in FIG. After obtaining the disk (93) with (94), by processing the outer shape of this disk (93), the peripheral portion is the gasket body (95) (98), a large number of holes (97) (100) Gasket filters (91) and (92) are formed in which the gaps are formed as filters (96) and (99). When cutting from the lower surface side, the entire surface may be cut flat like the gasket of (91), and the hole of the filter (99) with respect to the total thickness of the gasket (92) like the gasket of (92) ( 100) may be sharpened so that the bottom surface is concave. Note that the gasket (92) may be formed so that the hole (100) is formed in a penetrating manner after the outer shape is processed first.
[0046]
In addition, each gasket filter of the said 1st-4th embodiment is used also in the state incorporated in the fluid controller as follows.
[0047]
A fluid controller (101) shown in FIG. 10 has a rectangular parallelepiped block-shaped body (102) in which an inlet passage (103) and an outlet passage (104) are formed, and detects the pressure of the fluid in the outlet passage (104). A sensor (105), a piazo actuator (106) that controls the degree of opening and closing of the inlet passage (103) based on a signal from the pressure sensor (105), and a temperature sensor (112) that detects the temperature near the outlet passage (104) ) And an introduction passage block (107) in which an introduction passage (108) leading to the inlet passage (103) of the main body (102) is formed is abutted against the surface on the inlet side of the main body (102). The gasket filters (41), (51), (61) of the first to fourth embodiments are arranged at the abutting portion between the inlet passage (103) of (102) and the introduction passage (108) of the introduction passage block (107). 81) (91) (92) is installed. An orifice (111) is formed in the outlet passage (104) of the main body (102), and a discharge passage (110) leading to the outlet passage (104) is formed on the outlet side surface of the main body (102). The discharge passage block (109) is abutted.
[0048]
A fluid controller (121) shown in FIG. 11 is a mass flow controller, and a fluid in the inlet passage (123) is formed in a rectangular parallelepiped block-shaped main body (122) in which an inlet passage (123) and an outlet passage (124) are formed. A flow sensor (125) for detecting the flow rate of the fluid and a piazo actuator (126) for controlling the opening / closing degree of the outlet passage (124) based on a signal from the flow sensor (125) are attached to the inlet of the main body (122). An introduction passage block (127) in which an introduction passage (128) leading to the passage (123) is formed is abutted against the surface on the inlet side of the main body (122), and the inlet passage (123) of the main body (122) and the introduction passage Any one of the gasket filters (41), (51), (61), (81), (91), and (92) of the first to fourth embodiments is disposed at the abutting portion between the block (127) and the introduction passage (128). It is what is installed. An orifice (131) is formed in the outlet passage (124) of the main body (122), and a discharge passage (130) leading to the outlet passage (124) is formed on the outlet side surface of the main body (122). The discharge passage block (129) is abutted.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing an example of a fluid control device in which a gasket filter according to the present invention is used.
FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a first embodiment of a gasket filter according to the present invention.
3A and 3B are views showing a filter of a gasket filter according to the present invention, in which FIG. 3A is a front view thereof, and FIG. 3B is an enlarged sectional view of a hole.
FIG. 4 is a longitudinal sectional view of a second embodiment of a gasket filter according to the present invention.
FIG. 5 is a longitudinal sectional view of a third embodiment of a gasket filter according to the present invention.
FIG. 6 is a front view of the same.
FIG. 7 is a longitudinal sectional view schematically showing an apparatus for manufacturing a gasket filter according to a third embodiment.
FIG. 8 is a longitudinal sectional view of a third embodiment of a gasket filter according to the present invention.
FIG. 9 is a view showing a fourth embodiment of a gasket filter according to the present invention and a manufacturing process thereof.
FIG. 10 is a diagram showing an example of a fluid controller using a gasket filter according to the present invention.
FIG. 11 is a diagram showing another example of a fluid controller using a gasket filter according to the present invention.
[Explanation of symbols]
(41) (51) (61) (81) (91) (92) Gasket filter
(42) (52) (62) (82) (95) (98) Gasket body
(43) (63) (96) (99) Filter
(44) Disc
(45) (97) (100) Hole
(46) (53) Large diameter recess
(47) (54) Filter storage recess
(55) Press ring
(64) Disc part
(65) Protrusion
(66) Recess
(67) Annular projection
(68) Notch
(83) 1st half
(83a) (83b) Butting surface
(84) Second half
(84a) (84b) Butting surface
(85) Annular projection for holding filter
(86) Leak Port
(93) Disc
(94) Hole by laser processing
(101) (121) Fluid controller
(102) (122) Block body
(103) (123) Entrance passage
(104) (124) Exit passage
(105) (125) Sensor
(106) (126) Actuator
(107) (127) Passage block
(108) (128) Introduction passage

Claims

An annular metal gasket main body (42) (52) and a filter (43) provided integrally therewith are provided, and a large number of filters (43) are formed on the metal disk-shaped body (44). Is formed by opening a hole (45), and an annular large-diameter recess (46) having a diameter larger than the outer diameter of the filter (43) on one end face of the gasket body (42) (52). 53) provided in the large-diameter recess (46) (53), the diameter of which is smaller than the diameter of the large-diameter recess (46) (53) and approximately equal to the outer diameter of the filter (43). (47) (54) is provided, and the filter (43) is a gasket filter fitted into the filter housing recesses (47) (54) from the opening side of the large-diameter recesses (46) (53).

2. The gasket filter according to claim 1, wherein the hole (45) of the filter (43) is formed by etching.

The depth of the filter housing recess (47) is substantially equal to the thickness of the gasket body (42), and the gasket body (42) fitted in the filter housing recess (47) and the filter (43) The gasket filter of claim 2 which is directly welded.

The filter housing recess (54) is deeper than the thickness of the filter (43), and the filter (43) is placed on the bottom surface of the filter housing recess (54) and is inserted along the peripheral surface of the filter housing recess (54). The pressed ring (55) has the periphery of the filter (43) in close contact with the bottom surface of the filter housing recess (54), and the gasket body (52) and the pressure ring (55) are welded. Item 2. The gasket filter according to item 2.