JP3937268B2 - レーザー装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は、レーザー光による測定基準線や基準平面を形成することのできるレーザー測量機に係わり、特に、水平基準線及び基準平面のみならず、水平面に対して所定の角度傾斜した基準線や基準平面を形成することのできるレーザー測量機に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の傾斜設定可能な回転レーザー装置には、レーザー投光部が自在に傾斜できる様にジンバル又は球面で支持される構造のものや、垂直軸及び水平軸回りに回転して傾斜設定できる様にレーザー投光部が支持されるものがある。
【0003】
ここで図11に基づいて、レーザー投光部が、球面で支持される構造のものを説明する。レーザー投光部9100は、球面で支持されており、レーザー投光部9100に設けられた回転照射部9200から、レーザー光が基準平面上に回転照射される様に構成されている。なお回転照射部9200は、モータ9250により駆動されている。
【0004】
レーザー投光部9100は、直交する2方向に伸びるアーム9300(1方向は図示せず)をモータ9350により駆動される上下機構で上下させることにより、1方向又は2方向に傾斜可能に構成されている。このレーザー投光部9100は、本体に形成された2個の傾斜センサ9410、9420とにより、整準されている。そしてレーザー投光部9100は、整準された後に所定の方向に傾斜設定される。
【0005】
この傾斜設定は、例えば、設定傾斜角度を直接、又は2個の傾斜センサ9410、9420の出力をモータのパルス数に換算し、演算された角度に基づいて、モータ9350を駆動させることにより設定することができる。なお、適宜の傾斜検出器を採用することができる。そして、レーザー投光部9100を1方向のみ傾斜させれば、所定の方向に対する傾斜面を形成し、レーザー投光部9100を2方向傾斜させれば、複合傾斜面を形成することができる。
【0006】
次に図12に基づいて、より大きな傾斜を設定可能なレーザー投光部9100が垂直軸及び水平軸上で支持される構成を説明する。垂直軸周りに回動する托架部9500と、托架部9500上の水平軸周りに回動するレーザー投光部9100とから構成されている。このレーザー投光部9100上には、回転照射部9200が設けられ、基準平面上にレーザー光を回転照射することができる。そして、レーザー投光部が球面で支持される構成と同様に、適宜の整準手段により整準されている。
【0007】
レーザー投光部9100が垂直軸及び水平軸上で支持される構成では、レーザー投光部9100の回動方向が、傾斜方向と一致する様に托架部を水平軸回りに回転させ、この托架部の回転の後、レーザー投光部9100を垂直軸回りに傾斜させることにより、傾斜設定を行う様に構成されている。
【0008】
なお複合傾斜面は、2方向の傾斜データから複合傾斜角を演算し、演算結果に基づいて決定された方向に傾斜させることにより形成することができる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のレーザー測量機は、傾斜設定装置の回転軸が、理想的な任意の軸を中心に回転する場合には誤差を生じさせることはないが、現実には、円滑に回転させるための軸ガタが必要であり、軸ガタの角度の換算分が傾斜誤差となるという問題点があった。
【0010】
従って、軸ガタによる傾斜誤差を小さくし、傾斜設定精度を高めることのできるレーザー測量機の出現が強く望まれていた。
【0011】
更に、球面で支持される回転レーザー装置は、傾斜を設定するための基本的構造が簡単であるため、比較的精度の高い設定が可能であるが、設定勾配に構造的限界があるため、高勾配の設定には適さないという問題点があった。
【0012】
また、垂直軸及び水平軸上で支持される回転レーザー装置は、高勾配の設定は比較的容易であるが、上述の様に、回転軸に多くの誤差が蓄積されるので、高い工作精度を要求され、コスト高となるという問題点があった。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題に鑑み案出されたもので、鉛直軸周りに回動する托架部と、この托架部に支持され、水平軸周りに回動するレーザー投光部と、該レーザー投光部に設けられ、水平軸と平行な方向にレーザー光を照射させるための光源部と
、前記レーザー投光部に設けられ、基準平面上にレーザー光を回動照射させるための回動照射部と、前記レーザー投光部に設けられ、前記レーザー光を直交する方向に偏向するための第1の偏向手段と、前記回動照射部に設けられ、前記第1の偏向手段からのレーザー光を直交する方向に偏向するための第2の偏向手段とからなり、前記第1の偏向手段は、ミラーから構成されており、このミラーと前記光源部との間に配置されたイメージローテーターを備えており、前記第1の偏向手段と前記第2の偏向手段との光路上に、角倍率縮小手段を設けて構成されている。
【0014】
更に本発明は、鉛直軸周りに回動する托架部と、この托架部に支持され、水平軸周りに回動するレーザー投光部と、該レーザー投光部に設けられ、水平軸と平行な方向にレーザー光を照射させるための光源部と、前記レーザー投光部に設けられ、基準平面上にレーザー光を回動照射させるための回動照射部と、前記レーザー投光部に設けられ、前記レーザー光を直交する方向に偏向するための第1の偏向手段と、前記回動照射部に設けられ、前記第1の偏向手段からのレーザー光を直交する方向に偏向するための第2の偏向手段とからなり、前記第1の偏向手段は、ペンタミラーから構成されており、このペンタミラーと前記光源部との間に配置されたイメージローテーターを備えており、前記第1の偏向手段と前記第2の偏向手段との光路上に、角倍率縮小手段を設けて構成されている。
【0015】
また本発明は、イメージローテーターに代えて、第1の反射ミラーと第2の反射ミラーと第3の反射ミラーとを使用する構成にすることもできる。
【0016】
そして本発明は、鉛直軸周りに回動する托架部と、この托架部に設けられ、水平軸と平行な方向にレーザー光を照射させるための光源部と、前記托架部に支持され、水平軸周りに回動するレーザー投光部と、このレーザー投光部に設けられ基準平面上にレーザー光を回動照射させるための回動照射部と、前記レーザー投光部に設けられ、前記レーザー光を直交する方向に偏向するための第1の偏向手段と、前記回動照射部に設けられ、前記第1の偏向手段からのレーザー光を直交する方向に偏向するための第2の偏向手段とからなり、前記第1の偏向手段は、偏光ビームスプリッタから構成されており、この偏光ビームスプリッタを透過したレーザー光を反射するためのミラーと、このミラーと前記偏光ビームスプリッタとの間に配置された、1/4波長板とイメージローテーターとを備えており、前記第1の偏向手段と前記第2の偏向手段との光路上に、角倍率縮小手段を設けて構成にすることもできる。
【0018】
更に本発明の托架部には、垂直軸周りの回動を検出するための第1の回転角検出部が設けられ、前記レーザー投光部には、水平軸周りの回動を検出するための第2の回転角検出部が設けられている構成にすることもできる。
【0019】
また本発明は、傾斜設定のデータと、前記第1の回転角検出部と、前記第2の回転角検出部との角度検出に基づいて、所定方向の傾斜面にレーザー光を照射する構成にすることもできる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以上の様に構成された本発明は、托架部を鉛直軸周りに回動させ、托架部に支持されたレーザー投光部が、水平軸周りに回動させ、レーザー投光部に設けられた光源部が、水平軸と平行な方向にレーザー光を照射させ、レーザー投光部に設けられた回動照射部が、基準平面上にレーザー光を回動照射させ、レーザー投光部に設けられた第1の偏向手段が、レーザー光を直交する方向に偏向させ、回動照射部に設けられた第2の偏向手段が、第1の偏向手段からのレーザー光を直交する方向に偏向させる様になっており、第1の偏向手段は、ミラーから構成されており、イメージローテーターが、ミラーと光源部との間に配置されており、角倍率縮小手段を、第1の偏向手段と第2の偏向手段との光路上に設けている。
【0021】
また本発明の第1の偏向手段は、ペンタミラーから構成されており、イメージローテーターが、ペンタミラーと光源部との間に配置されており、角倍率縮小手段を、第1の偏向手段と第2の偏向手段との光路上に設けている。
【0022】
そして本発明は、イメージローテーターに代えて、第1の反射ミラーと第2の反射ミラーと第3の反射ミラーとを使用することもできる。
【0023】
更に本発明の第1の偏向手段は、偏光ビームスプリッタから構成されており、ミラーが、偏光ビームスプリッタを透過したレーザー光を反射し、1/4波長板とイメージローテーターとが、ミラーと偏光ビームスプリッタとの間に配置されており、角倍率縮小手段を、第1の偏向手段と第2の偏向手段との光路上に設けている。
【0025】
そして本発明の托架部に、垂直軸周りの回動を検出するための第1の回転角検出部を設け、レーザー投光部に、水平軸周りの回動を検出するための第2の回転角検出部を設けることもできる。
【0026】
更に本発明は、傾斜設定のデータと、第1の回転角検出部と、第2の回転角検出部との角度検出に基づいて、所定方向の傾斜面にレーザー光を照射することもできる。
【0027】
【実施例】
【0028】
本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【0029】
(原理)
【0030】
ここで、本発明の原理について説明する。
【0031】
「傾斜設定装置の回転軸ガタについて」
【0032】
まず、回転軸ガタについて説明する。
【0033】
図4に示す様に、X軸方向に回転軸700が設置されており、第1のベアリング710と第2のベアリング720とにより、回動自在に軸止されている。そして、この回転軸700(X軸)と直交する方向に、レーザー光が照射され、このレーザー照射光軸をZ軸とする。
【0034】
この回転軸700のガタによる光学系の傾斜誤差は、図5に示す様にXZ平面内誤差θ1と、図6に示すXY平面内誤差θ2となる。
【0035】
図5に示す様にXZ平面内誤差θ1 は、回転軸700が、原点を中心にXZ平面内で、角度θ1だけ回転した場合である。この場合には、照射されるレーザー 光は、Z軸から倒れることになる。
【0036】
次に図6に示す様に、XY平面内誤差θ2 は、回転軸700が、原点を中心にXY平面内で、角度θ2だけ回転した場合である。
【0037】
「イメージローテーター960を使用した補正の原理」
【0038】
(1)XZ平面内誤差θ1の補正
【0039】
図7(a)に示す様に、レーザー光源600からのレーザー光が、コリメータレンズ910により平行とされてイメージローテーター960に入射される。そして、イメージローテーター960を通過したレーザー光は、ミラー970に入射される。このミラー970に入射されたレーザー光は、90度偏向され、入射方向と直交するZ軸上に反射される様になっている。
【0040】
そして、このZ軸上には、角倍率縮小手段950が配置されている。本実施例の角倍率縮小手段920は、f1:f2=2:1となっており、XZ平面内誤差 θ1を補正するものである。イメージローテーター960を除き、回転軸700上に構成されている。そして、イメージローテーター960は本体側に固定されている。
【0041】
図7(b)に示す様に、XZ平面内で、本実施例が角度θ1 回転した場合には、イメージローテーター960に入射するレーザー光も、角度θ1だけ傾くことになる。そして、イメージローテーター960は、入射されたレーザー光が屈折し、内部の壁面で1回反射した後、再び屈折した後、外部に射出する様になっている。
【0042】
このイメージローテーター960の入射面と出射面とは、同一角度の傾斜面を有しているので、射出されたレーザー光は、入射角度θ1 とは反対方向に角度
2θ1 だけ傾くことになる。
【0043】
イメージローテーター960を出射したレーザー光は、ミラー970で90度偏向され、Z軸に対して角度2θ1 だけ傾くことになる。
【0044】
そして、Z軸上に配置された角倍率縮小手段950に入射するレーザー光線は、Z軸に対して角度2θ1 、鉛直軸に対して角度2θ1+θ1傾いているが、角倍率縮小手段950により、入射するレーザー光線は逆方向に傾くが、f1:f2=2:1のため、傾きが2θ1 *1/2補正されて、XZ平面内誤差は補正される。
【0045】
(2)XY平面内誤差θ2の補正
【0046】
そして図7(c)に示す様に、XY平面内で、本実施例が角度θ2 回転した場合には、イメージローテーター960に関わらず、角度θ2 だけ傾くことになるが、レーザー光源600とミラー970とは一体であるため、ミラー970の反射面で90度方向に直角に反射される。これにより、XY平面内誤差θ2 はキャンセルされる。
【0047】
「実施例」
【0048】
「第1実施例」
【0049】
本第1実施例のレーザー装置10000は、図1に示す様に、所定の方向に傾斜を設定することのできるレーザー装置本体1000と、このレーザー装置本体1000を水平に載置するための自動整準部2000とから構成されている。レーザー装置本体1000は、自動整準部2000に連結されており、水平方向に回転自在に取り付けられている。
【0050】
レーザー装置本体1000は、図1に示す様に、垂直軸周りに回動して傾斜方向に向けるための托架部1010と、この托架部1010上にあり、鉛直軸に交わる水平軸周りに回動して傾斜を設定するためのレーザー投光部1020とから構成されている。
【0051】
托架部1010は、モータ等の適宜の回動手段から構成された托架部駆動手段8100により回動可能に構成されている。
【0052】
更にレーザー投光部1020も、モータ等の適宜の回動手段から構成されたレーザー投光部駆動手段8200により回動可能に構成されている。
【0053】
またレーザー装置本体1001は、光源部1100と、コリメータレンズ1200と、イメージローテーター1350と、ミラー1360と、角倍率縮小部1400と、回転照射部1500と、傾斜センサ1600と、第1の回転角検出部1700と、第2の回転角検出部1800とが備えられている。
【0054】
光源部1100はレーザー光源であり、本実施例では、半導体レーザーが採用されているが、レーザー光を照射可能である素子であれば、何れの素子を使用することができる。
【0055】
コリメータレンズ1200は、光源部1100からのレーザー光を平行光線とするためのものである。本実施例では、レーザー装置本体1000の水平方向にレーザー光が照射される様に構成されている。
【0056】
なお、レーザー装置本体1000は、光源部1100からのレーザー光の射出方向を中心軸として、回動自在に構成されている。従って、レーザー装置本体1000は、水平方向と直交する面内で回転自在に取り付けられている。
【0057】
イメージローテーター1350は、コリメータレンズ1200を介して入射されたレーザー光を透過し、ミラー1360に入射させるものである。このミラー1360に入射されたレーザー光は、90度偏向され、鉛直上方に反射される様になっている。
【0058】
そして鉛直上方には、角倍率縮小部1400が配置されている。本第1実施例の角倍率縮小部1400は、f1:f2=2:1となっており、XZ平面内誤差 θ1を補正するものである。
【0059】
レーザー装置本体1001が角度θ1 回転した場合には、イメージローテーター1530に入射するレーザー光も、角度θ1だけ傾くことになる。そして、イメージローテーター1530は、入射されたレーザー光が屈折し、内部の壁面で1回反射した後、再び屈折した後、外部に射出する様になっている。このイメージローテーター1530の入射面と出射面とは、同一角度の傾斜面を有しているので、射出されたレーザー光は、入射角度θ1 とは反対方向に角度2θ1 だけ傾くことになる。
【0060】
イメージローテーター1530を出射したレーザー光は、ミラー1360で90度偏向され、Z軸に対して角度2θ1 だけ傾くことになる。
【0061】
そして、鉛直方向に配置された角倍率縮小部1400に入射するレーザー光線は、Z軸に対して角度2θ1 、鉛直軸に対して角度2θ1+θ1傾いているが、角倍率縮小部1400により、入射するレーザー光線は逆方向に傾くが、f1:f2=2:1のため、傾きが2θ1 *1/2補正されて、XZ平面内誤差は補正される。
【0062】
回転照射部1500は、レーザー投光部1020に設けられ、傾斜設定した基準平面上にレーザー光を回転照射させるためのものである。この回転照射部1500には、ペンタプリズム1510が固定されており、回転照射部駆動手段8300により回転可能に構成されている。レーザー光偏角部1300により鉛直上方に反射されたレーザー光は、角倍率縮小部1400を通過した後、ペンタプリズム1510に入射される。
【0063】
ペンタプリズム1510に入射されたレーザー光は、90度偏向されて、レーザー装置本体1000に対して水平方向に反射されると共に、回転ヘッド1500の回転に伴って、水平方向に回転照射される様に構成されている。従って、基準平面内にレーザー光を照射してレーザー基準面を形成することができる。
【0064】
なおペンタプリズム1510は、第2の偏向手段に該当するものである。
【0065】
傾斜センサ1600は、第1の傾斜センサ1610と第2の傾斜センサ1620とから構成されており、レーザー装置本体1000の傾きを検出することができる。この傾斜センサ1600は、傾きを検出することができるものであれば、何れのセンサを採用することができる。本実施例では、気泡管が採用されており、第1の傾斜センサ1610と第2の傾斜センサ1620により、レーザー装置本体1000の水平に対する傾きを検出することができる。
【0066】
傾きを検出する傾斜センサ1600として例えば、図2に示す様な気泡管を用いたセンサが利用できる。このセンサは、気泡管1650の上面に2つの電極1651、1652、下面に電極1653を配置し、気泡1650aが気泡管の傾きに従って移動し、電極1651と電極1653間及び電極1652と電極1653間の静電容量C1、C2 の変化に変換し、これを検出することにより、気泡 管1650の傾きθを求めるものである。
【0067】
第1の回転角検出部1700は、托架部1010の垂直軸周り(水平方向)の回転角度を検出すると共に、傾斜方向の設定を行うためのものである。本実施例ではローター1710が、托架部1010に取り付けられており、このローター1710と対向する位置にステータ1720を配置し、ローター1710とステータ1720との間の回転角を検出する様に構成されている。第1の回転角検出部1700は、托架部1010の水平方向の回転角度を検出することが可能なものであれば、何れのセンサを使用することができる。
【0068】
第2の回転角検出部1800は、レーザー投光部1020に設けられ、水平軸周りの回転角度を検出するためのものである。本実施例ではローター1810が、レーザー投光部1020に取り付けられており、このローター1810と対向する位置にステータ1820を配置し、ローター1810とステータ1820との間の回転角を検出する様に構成されている。第2の回転角検出部1800は、レーザー投光部1020の水平軸周りの回転角度を検出することが可能なものであれば、何れのセンサを使用することができる。
【0069】
次に、図3(a)に基づいて本実施例の電気的構成を説明する。
【0070】
本実施例は、托架部駆動手段8100と、この托架部駆動手段8100を制御駆動するための托架部駆動回路8110と、レーザー投光部駆動手段8200と、このレーザー投光部駆動手段8200を駆動するためのレーザー投光部駆動回路8210と、回転照射部駆動手段8300と、この回転照射部駆動手段8300を駆動するための回転照射部駆動回路8310と、第1の回転角検出部1700と、この第1の回転角検出部1700からの信号を処理するための第1の信号処理回路1730と、第2の回転角検出部1800と、この第2の回転角検出部1800からの信号を処理するための第2の信号処理回路1830と、制御手段6000と、設定手段8500と、自動整準部2000とから構成されている。
【0071】
第1の回転角検出部1700と第2の回転角検出部1800の検出信号に基づき、制御手段6000が、所定の方向にレーザー基準面を作成させる駆動量を演算し、托架部駆動回路8110と、レーザー投光部駆動回路8210と、回転照射部駆動回路8310とを介して、托架部駆動手段8100とレーザー投光部駆動手段8200と回転照射部駆動手段8300とを駆動する様に構成されている。
【0072】
なお、設定手段8500が、所定のレーザー基準面を得るためのデータを設定する様になっている。例えば設定手段8500が、2方向の複合傾斜を設定すれば、制御手段6000が設定データに基づいた演算を行い、所定のレーザー基準面を形成させる。
【0073】
そして設定手段8500は、基準データ設定手段に該当するものである。
【0074】
更に、回転照射部駆動手段8300が第1の駆動手段に該当し、托架部駆動手段8100が第2の駆動手段に該当し、レーザー投光部駆動手段8200が第3の駆動手段に該当するものである。
【0075】
また、自動整準部2000は、第1の傾斜センサ1610と第2の傾斜センサ1620のデータに基づき、制御手段6000が、托架部1010の回転中心を鉛直方向と一致させる様にするものである。詳細は以下に説明する。
【0076】
以上の様に構成されたレーザー装置本体1000は、水平又は鉛直方向にレーザー光線を走査させるものであり、水平出し、心出し、鉛直出し等を行うことができる。即ち、水平面内に走査されるレーザー光線を、測量対象上で検出し、その到達高さから水準測量等を行ったり、鉛直方向にレーザー光線を視光させて、地上の基準点を移行設定させることができる。
【0077】
自動整準部2000は、整準台2100と底板2200とからなっており、整準台2100は、3個の整準ネジ2300、2300、2300により上下動自在に支持されている。
【0078】
次に、自動整準部2000の電気系統を図3(b)に基づいて説明すると、第1の傾斜センサ1610と、第2の傾斜センサ1620と、制御手段6000と、第1のモータ駆動手段7100と、第2のモータ駆動手段7200と、第3のモータ駆動手段7300と、第1のモータ4310と、第2のモータ4320と、第3のモータ4330とからなっている。
【0079】
第1の傾斜センサ1610と第2の傾斜センサ1620とは、直交する2軸方向の傾きを検出する様に設定され、レーザー装置本体1000の傾きを検出するものである。
【0080】
第2の傾斜センサ1620と第1の傾斜センサ1610との検出により、托架部の回転中心を垂直に設定するものである。
【0081】
制御手段6000は、第1の傾斜センサ1610と第2の傾斜センサ1620の出力信号に基づき、整準台2100を基準面に設定するために必要な整準ネジ2300、2300、2300の変位量を演算するものである。即ち、第1の傾斜センサ1610と第2の傾斜センサ1620とが検出した傾き角が、両方とも0度となる様な3個の整準ネジ2300、2300、2300の移動量をそれぞれ計算するものである。
【0082】
制御手段6000は、それぞれの整準ネジ2300、2300、2300の移動量に相当する制御信号を、対応する第1、2、3のモータ駆動手段7100、7200、7300に送出する。第1、2、3のモータ駆動手段7100、7200、7300は、図示せぬコネクタを介して制御手段6000からの制御信号に基ずき、モータ4310、4320、4330を回動させるための電力を発生させる様になっている。
【0083】
モータ4310、4320、4330は、モータ駆動手段7100、7200、7300から供給された電力により整準ネジ2300、2300、2300を回動させ、整準台2100の傾きを修正する。そして、第1の傾斜センサ1610と第2の傾斜センサ1620は、再び整準台2100の傾きを検出し、フィードバック制御を行うことにより、レーザー装置本体1000の鉛直軸を正確に鉛直に整準(基準面に設定)させることができる。なお、任意の2個の整準ネジのみを駆動する様に構成しても、整準が可能である。
【0084】
以上の様に構成された本実施例は、自動整準部2000が採用されているので、観測者が平盤水準器を視認しながら、整準ネジ230、230、230を手動で操作することなく、レーザー装置本体1000の鉛直軸の整準を自動的に行うことができる。
【0085】
「第2実施例」
【0086】
本第2実施例のレーザー装置20000は、図8に示す様に、所定の方向に傾斜を設定することのできるレーザー装置本体1002と、このレーザー装置本体1002を水平に載置するための自動整準部2000とから構成されている。レーザー装置本体1002は、自動整準部2000に対して連結されており、水平方向に回転自在に取り付けられている。
【0087】
またレーザー装置本体1002は、光源部1100と、コリメータレンズ1200と、第1の反射ミラー1351と第2の反射ミラー1352と第3の反射ミラー1353と、ミラー1360と、角倍率縮小部1400と、回転照射部1500と、傾斜センサ1600と、第1の回転角検出部1700と、第2の回転角検出部1800とが備えられている。
【0088】
第1の反射ミラー1351と第2の反射ミラー1352と第3の反射ミラー1353とは、第1実施例のイメージローテーター1350と等価なものである。
【0089】
レーザー装置本体1002が角度θ1 回転した場合には、第1の反射ミラー1351に入射するレーザー光も、角度θ1だけ傾くことになる。そして、第1の反射ミラー1351は、入射されたレーザー光が反射し、第2の反射ミラー1352で反射した後、第3の反射ミラー1353で反射された後、外部に射出する様になっている。
【0090】
第1の反射ミラー1351と第2の反射ミラー1352と第3の反射ミラー1353を経て、出射されたレーザー光は、ミラー1360で90度偏向され、角度2θ1 だけ傾くことになる。
【0091】
そして、鉛直方向に配置された角倍率縮小部1400に入射するレーザー光線は、第1実施例と同様に角度2θ1 傾いているが、角倍率縮小部1400により、傾きが2θ1 *1/2に補正されて、XZ平面内誤差θ1 は補正される。
【0092】
第2実施例のその他の構成、効果、作用等は、第1実施例と同様であるから、説明を省略する。
【0093】
「第3実施例」
【0094】
本第3実施例のレーザー装置30000は、図9に示す様に、所定の方向に傾斜を設定することのできるレーザー装置本体1003と、このレーザー装置本体1003を水平に載置するための自動整準部2000とから構成されている。レーザー装置本体1003は、自動整準部2000に対して連結されており、水平方向に回転自在に取り付けられている。
【0095】
またレーザー装置本体1003は、光源部1100と、コリメータレンズ1200と、イメージローテーター1350と、ペンタミラー1365と、角倍率縮小部1400と、回転照射部1500と、傾斜センサ1600と、第1の回転角検出部1700と、第2の回転角検出部1800とが備えられている。
【0096】
イメージローテーター1350は、コリメータレンズ1200を介して入射されたレーザー光を透過し、ペンタミラー1365に入射させるものである。このペンタミラー1365に入射されたレーザー光は、90度偏向され、鉛直上方に反射される様になっている。
【0097】
そして鉛直上方には、角倍率縮小部1400が配置されている。本第2実施例の角倍率縮小部1400は、f1:f2=2:1となっており、XZ平面内誤差 θ1を補正するものである。
【0098】
レーザー装置本体1003が角度θ1 回転した場合には、イメージローテーター1530に入射するレーザー光も、角度θ1だけ傾くことになる。そして、イメージローテーター1530は、入射されたレーザー光が屈折し、内部の壁面で1回反射した後、再び屈折した後、外部に射出する様になっている。このイメージローテーター1530の入射面と出射面とは、同一角度の傾斜面を有しているので、射出されたレーザー光は、入射角度θ1 とは反対の方向に角度2θ1 だけ傾くことになる。
【0099】
イメージローテーター1530を出射したレーザー光は、ペンタプリズム1365で偏向され、Z軸に対して角度2θ1 だけ傾くことになる。
【0100】
ペンタプリズム1365は、ミラーと異なり、Z軸に対して逆方向に角度2θ1傾けるため「オウレンズ」を使用した角倍率縮小部での補正となる。
【0101】
そして、鉛直方向に配置された角倍率縮小部1400に入射するレーザー光線は、角度2θ1 回転傾いているが、角倍率縮小部1400により、傾きが2θ1 *1/2に補正されて、XZ平面内誤差θ1 は補正される。
【0102】
第3実施例のその他の構成、効果、作用等は、第1〜2実施例と同様であるから、説明を省略する。
【0103】
「第4実施例」
【0104】
本第4実施例のレーザー装置40000は、図10に示す様に、所定の方向に傾斜を設定することのできるレーザー装置本体1004と、このレーザー装置本体1004を水平に載置するための自動整準部2000とから構成されている。レーザー装置本体1004は、自動整準部2000に対して連結されており、水平方向に回転自在に取り付けられている。
【0105】
またレーザー装置本体1004は、他の実施例と異なり、軸の反対側に設けた光源部1100と、コリメータレンズ1200と、偏光ビームスピリッタ1310と、1/4波長板1320と、イメージローテーター1530と、ミラー1325と、角倍率縮小部1400と、回転照射部1500と、傾斜センサ1600と、第1の回転角検出部1700と、第2の回転角検出部1800とが備えられている。
【0106】
偏光ビームスピリッタ1310は、コリメータレンズ1200を介して入射されたレーザー光を透過し、1/4波長板1320を介して、イメージローテーター1530に入射される。そしてイメージローテーター1530から出射されたレーザー光は、ミラー1325で反射され、再び、イメージローテーター1530を通過した後、1/4波長板1320を介して、偏光ビームスピリッタ1310に入射される。
【0107】
偏光ビームスピリッタ1310に入射されたレーザー光は、90度偏向され、鉛直上方に反射される様になっている。
【0108】
そして鉛直上方には、角倍率縮小部1400が配置されている。本第4実施例の角倍率縮小部1400は、f1:f2=4:1となっており、XZ平面内誤差 θ1を補正するものである。即ち、本第5実施例では、イメージローテーター1530を2回通過するため、4θ1となっている。
【0109】
なお本第4実施例では、ミラー1325とレーザー光源等が一体であるため、直角プリズム等を必要としない。
【0110】
【効果】
以上の様に構成された本発明は、鉛直軸周りに回動する托架部と、この托架部に支持され、水平軸周りに回動するレーザー投光部と、該レーザー投光部に設けられ、水平軸と平行な方向にレーザー光を照射させるための光源部と、前記レーザー投光部に設けられ、基準平面上にレーザー光を回動照射させるための回動照射部と、前記レーザー投光部に設けられ、前記レーザー光を直交する方向に偏向するための第1の偏向手段と、前記回動照射部に設けられ、前記第1の偏向手段からのレーザー光を直交する方向に偏向するための第2の偏向手段とからなり、前記第1の偏向手段は、ミラーから構成されており、このミラーと前記光源部との間に配置されたイメージローテーターを備えており、前記第1の偏向手段と前記第2の偏向手段との光路上に、角倍率縮小手段を設ける構成となっているので、球面で支持されるタイプの回転レーザー装置でも、高勾配の設定が可能であり、垂直軸及び水平軸上で支持されるタイプの回転レーザー装置でも、回転軸に多くの誤差が蓄積されることなく、コスト安で高精度のレーザー装置を提供できるという卓越した効果がある。
【0111】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例であるレーザー装置1000を説明する図である。
【図2】傾斜センサ1600を説明する図である。
【図3(a)】本実施例の電気的構成を説明する図である。
【図3(b)】自動整準部2000の電気系統を説明する図である。
【図4】傾斜設定装置の回転軸ガタについて説明する図である。
【図5】XZ平面内誤差θを説明する図である。
【図6】XY平面内誤差θを説明する図である。
【図7】イメージローテーターを利用した補正の原理を説明する図である。
【図8】本発明の第2実施例であるレーザー装置1002を説明する図である。
【図9】本発明の第3実施例であるレーザー装置1003を説明する図である。
【図10】本発明の第4実施例であるレーザー装置1004を説明する図である。
【図11】従来技術を説明する図である。
【図12】従来技術を説明する図である。
【符号の説明】
10000 第1実施例のレーザー装置
20000 第2実施例のレーザー装置
30000 第3実施例のレーサー装置
40000 第4実施例のレーザー装置
1001 第1実施例のレーザー装置本体
1002 第2実施例のレーザー装置本体
1003 第3実施例のレーザー装置本体
1004 第4実施例のレーザー装置本体
1010 托架部
1020 レーザー投光部
1100 光源部
1200 対物レンズ
1300 レーザー光偏角部
1310 偏光ビームスピリッタ
1320 1/4波長板
1325 ミラー
1330 直角プリズム
1350 イメージローテーター
1351 第1の反射ミラー
1352 第2の反射ミラー
1353 第3の反射ミラー
1360 ミラー
1365 ペンタミラー
1400 角倍率縮小部
1500 回転ヘッド
1510 ペンタプリズム
1600 傾斜センサ
1610 第1の傾斜センサ
1620 第2の傾斜センサ
1700 第1の回転角検出部
1710 ローター
1720 ステータ
1730 第1の信号処理回路
1800 第2の回転角検出部
1810 ローター
1820 ステータ
1830 第2の信号処理回路
2000 自動整準部
2100 整準台
2300 整準ネジ
4000 駆動手段
6000 制御手段
8100 托架部駆動手段
8110 托架部駆動回路
8200 レーザー投光部駆動手段
8210 レーザー投光部駆動回路
8300 回転照射部駆動手段
8310 回転照射部駆動回路
8500 設定手段

Claims (6)

  1. 鉛直軸周りに回動する托架部と、この托架部に支持され、 水平軸周りに回動するレーザー投光部と、該レーザー投光部に設けられ、水平軸と平行な方向にレーザー光を照射させるための光源部と、前記レーザー投光部に設けられ、基準平面上にレーザー光を回動照射させるための回動照射部と、前記レーザー投光部に設けられ、前記レーザー光を直交する方向に偏向するための第1の偏向手段と、前記回動照射部に設けられ、前記第1の偏向手段からのレーザー光を直交する方向に偏向するための第2の偏向手段とからなり、前記第1の偏向手段は、ミラーから構成されており、このミラーと前記光源部との間に配置されたイメージローテーターを備えており、前記第1の偏向手段と前記第2の偏向手段との光路上に、角倍率縮小手段を設けたレーザー装置。
  2. 鉛直軸周りに回動する托架部と、この托架部に支持され、 水平軸周りに回動するレーザー投光部と、該レーザー投光部に設けられ、水平軸と平行な方向にレーザー光を照射させるための光源部と、前記レーザー投光部に設けられ、基準平面上にレーザー光を回動照射させるための回動照射部と、前記レーザー投光部に設けられ、前記レーザー光を直交する方向に偏向するための第1の偏向手段と、前記回動照射部に設けられ、前記第1の偏向手段からのレーザー光を直交する方向に偏向するための第2の偏向手段とからなり、前記第1の偏向手段は、ペンタミラーから構成されており、このペンタミラーと前記光源部との間に配置されたイメージローテーターを備えており、前記第1の偏向手段と前記第2の偏向手段との光路上に、角倍率縮小手段を設けたレーザー装置。
  3. イメージローテーターに代えて、第1の反射ミラーと第2の反射ミラーと第3の反射ミラーとを使用する請求項1又は2記載のレーザー装置。
  4. 鉛直軸周りに回動する托架部と、この托架部に設けられ、水平軸と平行な方向にレーザー光を照射させるための光源部と、前記托架部に支持され、水平軸周りに回動するレーザー投光部と、このレーザー投光部に設けられ基準平面上にレーザー光を回動照射させるための回動照射部と、前記レーザー投光部に設けられ、前記レーザー光を直交する方向に偏向するための第1の偏向手段と、前記回動照射部に設けられ、前記第1の偏向手段からのレーザー光を直交する方向に偏向するための第2の偏向手段とからなり、前記第1の偏向手段は、偏光ビームスプリッタから構成されており、この偏光ビームスプリッタを透過したレーザー光を反射するためのミラーと、このミラーと前記偏光ビームスプリッタとの間に配置された、1/4波長板とイメージローテーターとを備えており、前記第1の偏向手段と前記第2の偏向手段との光路上に、角倍率縮小手段を設けたレーザー装置。
  5. 托架部には、垂直軸周りの回動を検出するための第1の回転角検出部が設けられ、前記レーザー投光部には、水平軸周りの回動を検出するための第2の回転角検出部が設けられている請求項1〜4記載の何れか1つであるレーザー装置。
  6. 傾斜設定のデータと、前記第1の回転角検出部と、前記第2の回転角検出部との角度検出に基づいて、所定方向の傾斜面にレーザー光を照射する請求項1〜5記載の何れか1つであるレーザー装置。
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