JP3803908B2 - Luminescence detection camera - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高速度で変化する光の時間的な明るさの変化を計測する発光検出カメラに関する。
【0002】
【従来の技術】
図15は、従来のストリークカメラの構成を示す構成図であり、図16は、従来のストリークカメラに信号が時間がずれて入射した場合のMCP上の結像位置を示す説明図であり、図17は、従来のストリークカメラに信号が時間および位置がずれて入射した場合のMCP上の結像位置を示す説明図である。
従来、発光検出カメラであるストリークカメラは、図15に示すようにストリーク管1と、光電面2と、加速電極3と、集束電極4と、偏向電極5と、マイクロチャンネルプレート6(以下、MCP6と称す)と、ホスファー(蛍光面)7が設けられたファイバー8と、偏向電極5に印加する電圧を制御する電圧制御回路9とで構成され、ストリーク管1の内部は、電子が飛翔できるように真空状態となっている。
【0003】
ガラス等で構成されているストリーク管1の前面部から入射された光信号を光電面2で電子に変換し、加速電極3で電子を加速し、集束電極4で電子を集束し、偏向電極5で電子を偏向し、MCP6を用いて電子増倍した後で、ホスファー7に入射し、電子を光に戻し、ファイバー8を介してストリーク管1の後面部から外部に光として出力することにより、ストリーク管1の外部にあるCCD検出器によって読み取り、必要に応じデータ処理を行う。
【0004】
光電面2の中心に信号1と信号2とが、時間がずれて入射した場合、加速電極3と集束電極4とを通過し、偏向電極5に来ると、図16(a)に示すように入射時刻のずれに応じた電圧がかかり、MCP6上の信号1の像および信号2の像は、図16(b)に示すように異なる位置に結像することになり、MCP6は、信号1の像および信号2の像を電子増倍し、ホスファー7に送り出し、ホスファー7は電子を再び光に変換する。
【0005】
図17(a)に示すように光電面2の異なる位置に3つの信号1と信号2と信号3とが、時間がずれて入射した場合、加速電極3と集束電極4とを通過し、偏向電極5に来ると、図17(b)に示すように入射時刻のずれに応じた電圧がかかり、MCP6上の信号1の像、信号2の像および信号3の像は、図17(c)に示すように異なる位置に結像することになり、MCP6は、信号1の像、信号2の像および信号3の像を電子増倍し、ホスファー7に送り出し、ホスファー7は電子を再び光に変換する。
【0006】
図16(b)および図17(c)におけるMCP6上の像の上下方向のずれが信号の入射時間のずれを示し、左右方向のずれが信号の入射位置のずれを表すことになり、ホスファー7の出力は、信号の入射時刻のずれおよび入射位置のずれに応じて上下および左右に位置がずれて出力される。
【0007】
光電面2で光電変換した1つの光電子を検出するために、MCP6で10,000倍程度の大きなゲインをかけて電子増倍を行い、ストリーク管1の外部で十分に検出できる光量でホスファー7を発光させている。
【0008】
図18は、従来のフレーミングカメラの動作を説明する説明図である。
発光検出カメラであるフレーミングカメラは、ストリークカメラの一種であり、構造はストリークカメラと同一である。フレーミングカメラとしての機能は、イメージを時間分解して撮影することであり、偏向電極5の電圧を一定時間同じ電圧に保ち、一定時間を1フレームとしている。図18に示すように一定電圧を段階的に偏向し、各フレームの撮影を行い、飛び飛びの電圧がそれぞれのフレームの位置のずれになり、出力では時間のずれとして読み出す。
【0009】
光電面2上に時間がずれて入射した信号1、信号2および信号3はそれぞれ偏向され、それぞれのフレームに入射し、出力として読み出され、それぞれフレーム1には信号1が、フレーム2には信号2が、そしてフレーム3には信号3が時間分解して取り込まれることになる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術では、光電面2により光電変換された電子を計測するに際し、MCP6における電子増倍が必要となるため、分解能をロスしてしまうとともに、ホスファー7により電子を光に変換する際にさらに分解能をロスしてしまうという問題点があった。
【0011】
さらに、従来技術では、光電面2により光電変換された電子を計測するに際し、MCP6で電子増倍することにより、1つの信号当たりの光量が大きくなり、ゲインを高くしてノイズと切り分けを行う必要があるため、信号出力階調巾が小さくなってしまうという問題点があり、また、一度の読み出しでは、ゲインを固定して読み出すことしかできないため、測定したい現象の中には、明るいところと、暗いところの信号強度比が大きく、明るいところに合わせれば暗いところが、暗いところに合わせれば明るいところが測定できず、信号強度の変化が大きい場合には、明るいところに合わせて読み出し、次に暗い所に合わせて読み出す等の複数の操作が必要となってしまうという問題点があった。
【0012】
さらに、従来技術では、光電面2により光電変換しないと計測することができないため、実際に信号を取り込みながらでないと入射光の位置合わせを行うことができず、また、計測に際して信号を検出できなかった場合に、信号が出ていることを確認することができないため、ストリーク動作の時間の合わせ込み作業が難しいという問題点があった。
【0013】
さらに、従来技術では、光電面2は1種類であるため、異なる種類の光電面を使用して計測を行いたい場合には、複数のストリーク管1を使い分けなければならないという問題点があった。
【0014】
さらに、従来技術では、ストリーク管1は封じ切りのガラス管でできており、光電面2、MCP6、ホスファー7といった損傷を受ける部品が、過大な入射光により、光電面2やMCP6に損傷を受けた場合にも交換することができず、また、部品の交換ができないため、例えば光電面2の種類を変えたい場合には、複数のストリーク管1を使い分けなければならないという問題点があった。
【0015】
本発明は斯かる問題点を鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、光電面により光電変換された電子を計測する際に、電子増倍と電子から光への変換を必要とせず、分解能のロスを低減することができる発光検出カメラを提供する点にある。
【0016】
さらに本発明の目的とするところは、光電面により光電変換された電子を計測するに際し、信号出力階調巾を大きくとることができ、一度の読み出しでゲインを変化させて計測することができ、信号強度の変化が大きい場合にも、一度の操作で計測することができる発光検出カメラを提供する点にある。
【0017】
さらに本発明の目的とするところは、入射される入射光の位置合わせを容易に行うことができ、ストリーク動作の時間の合わせ込み作業を簡単に行うことができ、使い勝手の良い発光検出カメラを提供する点にある。
【0018】
さらに本発明の目的とするところは、1つのストリーク管で異なる種類の光電面を使用して計測を行うことができる発光検出カメラを提供する点にある。
【0019】
さらに本発明の目的とするところは、ストリーク管の内部の部品の交換を行うことができ、保守性と機能の拡張性とを高めることができる発光検出カメラを提供する点にある。
【0020】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決すべく、以下に掲げる構成とした。
請求項1記載の発明の要旨は、光電面により光を電子に変換させ、変換された前記電子をストリーク管内で飛翔させ、飛翔させた前記電子に基づいて光の時間的な明るさの変化を計測する発光検出カメラであって、前記光電面からの前記電子が入射され、入射された前記電子の入射エネルギーに応じた電荷を発生させる前記ストリーク管内に配置された入射エネルギー検出手段と、該入射エネルギー検出手段を冷却する冷却手段と、前記入射エネルギー検出手段から前記電荷を読み取る際のゲインを制御する前記ゲイン制御手段を具備し、一度の読み出しでゲインを変化させて計測させることを特徴とする発光検出カメラに存する。
また請求項2記載の発明の要旨は、光電面により光を電子に変換させ、変換された前記電子をストリーク管内で飛翔させ、飛翔させた前記電子に基づいて光の時間的な明るさの変化を計測する発光検出カメラであって、前記光電面からの前記電子が入射され、入射された前記電子の入射エネルギーに応じた電荷を発生させる前記ストリーク管内に配置された入射エネルギー検出手段と、該入射エネルギー検出手段を冷却する冷却手段とを具備すると共に、前記光電面は、種類の異なる第1光電面と第2光電面とを具備し、光が通過する幅を変えるスリットと、光の前記光電面上の結像位置を変える結像レンズとによって、前記光電面上の光の結像位置を選択させることを特徴とする発光検出カメラに存する。
また請求項3記載の発明の要旨は、光電面により光を電子に変換させ、変換された前記電子をストリーク管内で飛翔させ、飛翔させた前記電子に基づいて光の時間的な明るさの変化を計測する発光検出カメラであって、前記光電面からの前記電子が入射され、入射された前記電子の入射エネルギーに応じた電荷を発生させる前記ストリーク管内に配置された入射エネルギー検出手段と、該入射エネルギー検出手段を冷却する冷却手段とを具備し、前記ストリーク管は、複数の部材が真空封じ切りが可能なタイプのインターフェースにより接続されていることを特徴とする発光検出カメラに存する。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【0022】
(第1の実施の形態)
図1は、本発明に係る発光検出カメラの第1の実施の形態の構成を示す構成図であり、図2は、図1に示す入射エネルギー検出部の構成を示す構成図であり、図3は、図1に示すストリーク管の後面部の構成を示す構成図である。
【0023】
本実施の形態は、ストリーク管1と、光電面2と、加速電極3と、集束電極4と、偏向電極5と、偏向電極5に印加する電圧を制御する電圧制御回路9と、入射エネルギー検出部10と、入射エネルギー検出部10を冷却する冷却部11と、入射エネルギー検出部10からの信号の読み出し制御を行う信号読み出し制御回路12と、ストリーク管1の内部の空気を吸引する真空ポンプ13と、ストリーク管1の内部の真空状態を計測する真空計14とから構成され、ストリーク管1の内部を電子が飛翔できるように真空状態にして発光現象を検出する。
【0024】
入射エネルギー検出部10は、入射された電子を電気信号に変換する半導体チップであり、具体的には、CCD(Charge Coupled Device)、PDA(Photo Diode Array)等が用いられ、ストリーク管1の内部に配置されている。
【0025】
入射エネルギー検出部10としてフルフレームトランスファ型のCCDを用いた例を図2に示す。入射エネルギー検出部10は、イメージエリア15と、読み出しレジスタ16と、出力アンプ17と、ゲイン切り替え制御回路18とから構成される。また、出力アンプ17のゲインは可変にできており、ゲイン切り替え制御回路18により電子数に合わせてゲインを変えることができる。
【0026】
CCDは、10KV程度で加速された電子であれば十分に1つの電子を検出することができ、素子の大きさの小さなものが利用でき、10um以下の分解能を達成することができる。
【0027】
冷却部11は、入射エネルギー検出部10を冷却するための冷却機構であり、図3(a)に示すようにペルチェ素子等で構成された冷却部11をストリーク管1の内部に配置して直接冷却する場合と、図3(b)に示すように液体窒素デュワー等で構成された冷却部11をストリーク管1の外部に配置して熱伝導体(金属)を介して間接冷却する場合とが考えられる。
【0028】
冷却部11をストリーク管1の内部に配置する場合には、入射エネルギー検出部10を直接冷却することができるため、冷却効率が高く、ストリーク管1の後面部を熱伝導率の高い部材で構成し、冷却部11から発せられる熱を逃がす放熱部として使用することにより、さらに冷却効率が高くなる。
【0029】
通常CCDは、常温において暗電流と呼ばれる熱雑音よりきているノイズがあるが、CCDそのものを冷却することで、暗電流を読み出しノイズ程度以下に押さえて信号の読み出し性能を極限に近いところまで出すことができる。
【0030】
なお、CCDの冷却は、ノイズと信号比との関係で決めることであり、十分な性能が得られれば、冷却しなくても十分な性能を確保できる場合もある。例えば、10KVの加速で電子を入射すると、CCDチップの内部に1,500個程度の電子を生ずるが、読み出しノイズや暗電流で、1,500個の電子にするには場合によっては10秒もかかることがあり、この様な場合に露光時間が1秒であれば、冷却不要である。
【0031】
次に、第1の実施の形態の動作について図4を参照して詳細に説明する。
図4は、図2に示すゲイン切り替え制御回路によるゲイン切り替え動作を説明する説明図である。
【0032】
ガラス等で構成されているストリーク管1の前面部から入射された光信号は、光電面2で電子に変換され、変換された電子は、加速電極3で加速され、集束電極4で集束され、偏向電極5で偏向された後で、入射エネルギー検出部10に入射される。
【0033】
入射エネルギー検出部10、すなわちイメージエリア15に電子が入射されると、イメージエリア15の電子が入射された位置に、電子の入射エネルギーに応じた電子が1つ又は複数発生し、発生した電子が電荷として蓄積され、入射エネルギー検出部10からの電荷を読み出す場合、読み出しレジスタ16に、イメージエリア15の電荷をずらしてから(電荷の転送1)、読み出しレジスタ16の電荷を順番に読み出している(電荷の転送2)。なお、読み出しレジスタ16は、他の部分に比べ容量が大きくできていて、複数の素子をまとめて読み出すこと(以下、ビンニングと称す)ができ、多くの電子をあふれることなく出力することができる。
【0034】
入射エネルギー検出部10としてCCDを用いて、ビンニングやCCDチップ上のゲインを変えることにより、信号出力階調巾を変化させる。以下、イメージエリア15の1つの素子の読み出し可能な電子数が150,000とし、読み出しレジスタ16の1つの素子がイメージエリア15の6倍の900,000まで電子数をため込み可能な場合に基づいて信号出力階調巾の変化動作について説明する。
【0035】
図2に示すフルフレームトランスファ型のCCDの場合、素子内部の150,000の電子を65,535対1で読み出し可能であるため、ビンニングという電荷の足し込み処理を行い6素子をまとめて読み出す場合には、900,000電子を65,535対1で読み出すことになり、信号強度としては6倍強いものが測定できる。
【0036】
従って予め信号強度の変化量が予想できる場合、信号の強いところは900,000電子を65,535対1として、暗いところは150,000電子を65,535対1として読み出す設定をすることにより、一度の測定の信号出力階調巾が393,210対1の信号を読み出すことが可能になる。
【0037】
具体的には、図4のように経過時間に応じて明るさ、すなわち信号強度が変化する現象を測定する場合、ゲイン切り替え制御回路18により、信号強度の強い明るいところでは、CCD上のアンプのゲインを低くして読み出し、信号強度の弱い暗いところではゲインを高くして読み出すことにより、一度の測定の信号出力階調巾が393,210対1の信号を読み出すことが可能になる。
【0038】
また、入射エネルギー検出部10としてCCDを用いることにより、検出した信号の蓄積測定を行う。すなわち、イメージエリア15の信号は読み出しレジスタ16に転送されるまで、光信号を電気信号に変えて蓄積している。CCDは内部に信号をため込んで後から読み出す方式のため、増倍がなくても信号を積算することで、信号量を増やす。
【0039】
以上説明したように、第1の実施の形態によれば、光電面2により光電変換された電子を計測するに際し、光電面2により光電変換された電子を入射エネルギー検出部10により直接計測するため、電子の増倍および電子から光への変換を必要とせず、分解能のロスを低減することができるという効果を奏する。
【0040】
さらに第1の実施の形態によれば、光電面2により光電変換された電子を計測するに際し、光電面2により光電変換された電子を入射エネルギー検出部10により直接計測するため、信号出力階調巾を大きくとることができ、信号/ノイズ比の向上を図るために積算処理を行う場合にも信号出力階調巾を確保できる状況で積算できるため、電子の増倍および電子から光への変換が必要な測定では信号がサチレーションしてしまう強度であっても計測を行うことができるという効果を奏する。
【0041】
さらに第1の実施の形態によれば、ゲイン切り替え制御回路18によるゲインの変化とビンニングとによって、電子像の信号出力階調巾を変化させ、暗いところはゲインを高く、明るいところはゲインを低くすることで、信号強度の変化が大きい場合にも、一度の操作で計測することができるという効果を奏する。
【0042】
(第2の実施の形態)
図5は、本発明に係る発光検出カメラの第2の実施の形態の構成を示す構成図であり、図6は、図5に示す光電面を透過した光の入射エネルギー検出部への結像状態を示す説明図であり、図7は、本発明に係る発光検出カメラの第2の実施の形態におけるストリーク動作の時間の合わせ込み方法を説明する説明図である。
【0043】
第2の実施の形態は、光電面2を薄くして光を透過する光透過機能を設けると共に、光電面2を透過した光を入射エネルギー検出部10に結像させる結像レンズ22をストリーク管1の内部に設け、光の入射状況をモニターする点が第1の実施の形態と異なる。なお、結像レンズ22は、ストリーク管1の内部に配置されている電極等が干渉しないように形状を変えて取り付けられている。
【0044】
図6(a)に示すような信号1、信号2および信号3がストリーク管1の前面部から光電面2に入射された場合、入射エネルギー検出部10上には、図6(b)に示すように、電子による結像(信号1の像、信号2の像および信号3の像)と、光による結像(信号1のイメージ像、信号2のイメージ像および信号3のイメージ像)とが得られる。また、入射エネルギー検出部10の面上に結像された時間分解像(電子による結像)と、光電面像(光による結像)とを切り分けて検出する必要があるため、入射エネルギー検出部10の面上にガラスマスク23等の電子は通さず、光を通すものが配置されている。
【0045】
ストリークカメラとして発光検出カメラを用いる場合、ピコからナノ秒の現象を見ることに使用され、マイクロ秒以上の遅い現象にはあまり使用されないが、光電面像(光による結像)を利用することにより、マイクロ秒以上の遅い現象の測定を行う。
【0046】
すなわち入射エネルギー検出部10として図2に示すフルフレームトランスファ型のCCDを用いた場合、イメージエリア15上の電荷の操引速度は、マイクロ秒オーダーのため、そのまま信号を読み出せば測定に用いることができる。
【0047】
また、電圧制御回路9による偏向電極5の制御と、信号読み出し制御回路12による入射エネルギー検出部10から読み出しタイミング制御とを独立に制御させ、ストリーク動作と同時に光電面像(光による結像)のモニターを行い、現象の見たい時間帯をモニターできている等の参考情報を同時に取得する。偏向電極5の偏向電圧を印加するストリーク動作は、時間の合わせ込みが必要で、ずれがあれば信号を検出することができないため、光電面像(光による結像)により現象の初めから終わりまでをモニターさせ、信号が出ていることを確認しながら、ストリーク動作のための時間の合わせ込みを行う。
【0048】
例えば図7のグラフに示すような現象を計測する際に、ストリーク動作の時間の合わせ込みをストリーク取り込み1にした場合には、時間分解像(電子による結像)を検出することができるが、ストリーク動作の時間の合わせ込みをストリーク取り込み2にした場合には、時間分解像(電子による結像)を検出することができない。偏向電極5の偏向時間(ストリーク動作時間)は、ナノ秒程度である。
【0049】
ストリーク動作において時間分解像(電子による結像)が検出できない場合に、時間分解像(電子による結像)のみの検出では、信号自体が出ていないのか、それとも単にストリーク動作のタイミングがずれているだけなのか、分からないが、光電面像(光による結像)により現象の初めから終わりまで(図7のイメージ取り込み時間巾)をミリ秒程度でモニターすることにより、信号が出ていることを確認し、イメージ取り込み時間巾の中でストリーク動作の時間の合わせ込みを行う。
【0050】
以上説明したように、第2の実施の形態によれば、光電面像(光による結像)をモニターすることにより、X線などの見えない光を測定する場合であっても、ストリーク管1の前面部から入射される入射光の位置合わせを容易に行うことができ、さらに、信号が出ていることを確認しながらストリーク動作の時間の合わせ込みができるため、ストリーク動作の時間の合わせ込み作業が行い易いという効果を奏する。
【0051】
さらに、第2の実施の形態によれば、時間分解像(電子による結像)の検出と、光電面像(光による結像)の検出とを同時に行うことにより、同じ現象の異なる測定を同時に行うことが可能になるという効果を奏する。
【0052】
(第3の実施の形態)
図8は、本発明に係る発光検出カメラの第3の実施の形態の光電面の構成を示す構成図であり、図9は、本発明に係る発光検出カメラの第3の実施の形態のストリーク管前面に配置されたスリットと結像レンズとの関係を示す構成図である。
【0053】
第3の実施の形態は、図8(a)に示すように光電面2が第1の光電面201と第2の光電面202とで構成され、図9(a)に示すようにストリーク管1の前面部の前に配置されている入射光の通過する幅のみを変えて信号量を調整するスリット30と、入射光の光電面2上の結像位置を変える結像レンズ31とにより入射光の光電面2上の結像位置を可変にしている。
【0054】
図9(b)に示すようにスリット30を上下に移動させるか、図9(c)に示すように結像レンズ31を上下に移動させることにより、図8(b)および(c)に示すように第1の光電面201もしくは第2の光電面202のいずれかにスリット30から入射した信号を選択的に結像させる。
【0055】
また、光電面2の下に光を透過する部分を設け、当該部分の透過を使って調整を行う場合、ストリーク管1の前面部の前に配置されているスリット30の2枚の刃が2枚独立に動く構成にすると、光電面2の面積と透過部分の面積比を変えられるため、双方の光量の比を調整して双方の信号をうまく取り込むことができる。
【0056】
以上説明したように、第3の実施の形態によれば、信号測定の光学系の設定を変えることなく、スリット30もしくは結像レンズ31を移動させることにより、第1の光電面201と第2の光電面202とを切り替えて使用できるため、第1の光電面201と第2の光電面202とを対象とする信号波長域等が異なる光電面を使用する場合には、1つのストリーク管1で異なる種類の光電面を使用して計測を行うことができ、作業性が向上するという効果を奏する。
【0057】
(第4の実施の形態)
図10は、本発明に係る発光検出カメラの第4の実施の形態の構成を示す構成図である。
【0058】
第4の実施の形態は、ストリーク管1が図10に示すように、加速電極3、集束電極4および偏向電極5が配置されている本体101と、光電面2が配置されている第1の交換部102と、入射エネルギー検出部10が配置されている第2の交換部103とにより構成され、本体101と第1の交換部102および第2の交換部103とを真空封じ切りが可能なタイプのインターフェースであるICFフランジ21により接続する構成となっている。本体101には、ストリーク管1の内部の真空を引くための真空バルブポート25が設けられている。
【0059】
第1の交換部102もしくは第2の交換部103を交換すると、交換作業の際にストリーク管1の内部に多くのガスが付着するため、交換作業後、ある程度の真空度を真空バルブポート25を介して外部のポンプで達成し、真空を真空バルブポート25により封じ切り、本体101に設けられている真空ポンプ13で必要な真空度にコントロールする。なお、ストリーク管1の内部の部品から非常にゆっくりとガスが発生しているので、真空計14により真空度を測定しながら、発生したガスの吸着と必要な真空度の制御を真空ポンプ13を用いて行う。
【0060】
以上説明したように、第4の実施の形態によれば、ストリーク管1を本体101、第1の交換部102および第2の交換部103で構成させ、ICFフランジ21によりそれぞれを接続してから内部を真空状態にできるため、ストリーク管1の内部の部品の交換を行うことができ、保守性と機能の拡張性を高めることができるという効果を奏する。
【0061】
(第5の実施の形態)
図11は、本発明に係る発光検出カメラの第5の実施の形態に用いる保護用電極の構成を示す構成図であり、図12は、図11に示す保護用電極の配置例を示す構成図であり、図13は、図11に示す保護用電極の代わりにCCDを支えているフランジ面を用いる構成を示す構成図である。
【0062】
第5の実施の形態は、図11に示す保護用電極40を図12に示すように入射エネルギー検出部10の前に配置させ、入射エネルギー検出部10の検出面(イメージエリア15)以外の部分を電子の入射方向より見えなくしている。保護用電極40には、開口部41が設けられており、開口部41を通過する電子は、入射エネルギー検出部10の検出面のみに入射するように、開口部41の大きさと、保護用電極40の配置位置が調整されている。
【0063】
図12に示すように保護用電極40と入射エネルギー検出部10とが定電位点に接続されており、保護用電極40と入射エネルギー検出部10との電位を電位調整用抵抗42により調整することにより、保護用電極40の電位を加速電極3から見て電位面に乱れの少ない電圧に調整することができ、電子の入射時の位置ずれを減らせる。電位調整用抵抗42は、場合によっては0オームでも良い。また、保護用電極40の位置は入射エネルギー検出部10のすぐ前にある必要はなく、入射エネルギー検出部10と偏向電極5との間に配置すれば良い。
【0064】
入射エネルギー検出部10としてCCDを使用し、CCDのマウントが金属や帯電の影響が少ない材質の場合には、保護用電極40を設けることは不要であるが、図13に示すようにCCDを支えているフランジ面を保護用電極として使用し、CCDを支えているフランジ面と、第2の交換部103とを定電位点に接続させ、CCDを支えているフランジ面と第2の交換部103との電位を電位調整用抵抗42により調整することにより、フランジ面に入射する電子の排出処理と電位面の調整処理を行うことができる。
【0065】
以上説明したように、第5の実施の形態によれば、保護用電極40を設けることにより、偏向電極5を通過してきた電子が入射エネルギー検出部10(CCD)のセラミック部分に当たり帯電したり、冷却部11(ペルチェ素子)のセラミックに当たって帯電することを防ぐことができるため、帯電による誤操作を防止することができるとともに、保護用電極40の電位を調整することにより、電位面の乱れから来る性能低下を防止することができるという効果を奏する。
【0066】
(第6の実施の形態)
図14は、本発明に係る発光検出カメラの第6の実施の形態に用いるホスファーの配置位置を示す構成図である。
【0067】
第6の実施の形態は、偏向電極5と入射エネルギー検出部10との間にホスファー50を設け、ホスファー50で飛翔してくる電子を光に変換して入射エネルギー検出部10に入射するように構成されている。なお、ホスファー50の代わりにシンチレーター等の電子光子変換材料を用いても良い。
【0068】
ホスファー50は、図14(a)に示すように入射エネルギー検出部10の上に直接塗っても、図14(b)に示すようにファイバープレート51等の間接材を入れ、ファイバープレート51の上に塗っても良い。また、ホスファー50に保護用電極の機能をもたせても良い。
【0069】
ホスファー50を入射エネルギー検出部10の上に直接塗った場合、電子はホスファー50の内部で光に変換され、入射した部分だけが光るため、ホスファー50の厚さを薄くすることで、分解能をそれほど失わず、電子が入射エネルギー検出部10に直接入射することを防ぐことができる。
【0070】
また、ホスファー50を図14(c)に示すようにファイバーレデューサ52の上に塗り、大型のホスファー50の出力像をファイバーレデューサ52により縮小して転送するように構成しても良い。なお、ファイバーレデューサ52は、光ファイバーの束が集まって構成されており、一本一本のファイバーの片面の直径がもう片面に比べて小さくなっており、この比でイメージ全体が縮小されてくる。
【0071】
以上説明したように、第6の実施の形態によれば、ホスファー50を使用することにより、入射エネルギー検出部10の損傷を防ぎ、入射エネルギー検出部10の寿命を延ばすことができ、システムの信頼性を向上することができるという効果を奏する。
【0072】
さらに、第6の実施の形態によれば、ホスファー50に結像された電子像をファイバーレデューサ52により縮小して転送するため、電子像の取りこみサイズが入射エネルギー検出部10の大きさに制限されなくなり、大きな面積の取りこみが小さな入射エネルギー検出部10で可能になるという効果を奏する。
【0073】
なお、本発明が上記各実施形態に限定されず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施形態は適宜変更され得ることは明らかである。また、上記構成部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にすることができる。なお、各図において、同一構成要素には同一符号を付している。
【0074】
【発明の効果】
本発明の発光検出カメラは、光電面により光電変換された電子を計測するに際し、光電面により光電変換された電子を入射エネルギー検出部により直接計測するため、電子の増倍および電子から光への変換を必要とせず、分解能のロスを低減することができるという効果を奏する。
【0075】
さらに、本発明の発光検出カメラは、光電面により光電変換された電子を計測するに際し、光電面により光電変換された電子を入射エネルギー検出部により直接計測するため、信号出力階調巾を大きくとることができ、信号/ノイズ比の向上を図るために積算処理を行う場合にも信号出力階調巾を確保できる状況で積算できるため、電子の増倍および電子から光への変換が必要な測定では信号がサチレーションしてしまう強度であっても計測を行うことができるという効果を奏する。
【0076】
さらに、本発明の発光検出カメラは、ゲイン切り替え制御回路によるゲインの変化とビンニングとによって、電子像の信号出力階調巾を変化させ、暗いところはゲインを高く、明るいところはゲインを低くすることで、信号強度の変化が大きい場合にも、一度の操作で計測することができるという効果を奏する。
【0077】
さらに、本発明の発光検出カメラは、光電面像(光による結像)をモニターすることにより、X線などの見えない光を測定する場合であっても、ストリーク管の前面部から入射される入射光の位置合わせを容易に行うことができ、さらに、信号が出ていることを確認しながらストリーク動作の時間の合わせ込みができるため、ストリーク動作の時間の合わせ込み作業が行い易いという効果を奏する。
【0078】
さらに、本発明の発光検出カメラは、時間分解像(電子による結像)の検出と、光電面像(光による結像)の検出とを同時に行うことにより、同じ現象の異なる測定を同時に行うことが可能になるという効果を奏する。
【0079】
さらに、本発明の発光検出カメラは、信号測定の光学系の設定を変えることなく、スリットもしくは結像レンズを移動させることにより、第1の光電面と第2の光電面とを切り替えて使用できるため、第1の光電面と第2の光電面とを対象とする信号波長域等が異なる光電面を使用する場合には、1つのストリーク管で異なる種類の光電面を使用して計測を行うことができ、作業性が向上するという効果を奏する。
【0080】
さらに、本発明の発光検出カメラは、ストリーク管を本体、第1の交換部および第2の交換部で構成させ、ICFフランジによりそれぞれを接続してから内部を真空状態にできるため、ストリーク管の内部の部品の交換を行うことができ、保守性と機能の拡張性とを高めることができるという効果を奏する。
【0081】
さらに、本発明の発光検出カメラは、保護用電極を設けることにより、偏向電極を通過してきた電子が入射エネルギー検出部(CCD)のセラミック部分に当たり帯電したり、冷却部(ペルチェ素子)のセラミックに当たって帯電することを防ぐことができるため、帯電による誤操作を防止することができるとともに、保護用電極の電位を調整することにより、電位面の乱れから来る性能低下を防止することができるという効果を奏する。
【0082】
さらに、本発明の発光検出カメラは、ホスファーを使用することにより、入射エネルギー検出部の損傷を防ぎ、入射エネルギー検出部の寿命を延ばすことができ、システムの信頼性を向上することができるという効果を奏する。
【0083】
さらに、本発明の発光検出カメラは、ホスファーに結像された電子像をファイバーレデューサにより縮小して転送するため、電子像の取りこみサイズが入射エネルギー検出部の大きさに制限されなくなり、大きな面積の取りこみが小さな入射エネルギー検出部で可能になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る発光検出カメラの第1の実施の形態の構成を示す構成図である。
【図2】図1に示す入射エネルギー検出部の構成を示す構成図である。
【図3】図1に示すストリーク管の後面部の構成を示す構成図である。
【図4】図2に示すゲイン切り替え制御回路によるゲイン切り替え動作を説明する説明図である。
【図5】本発明に係る発光検出カメラの第2の実施の形態の構成を示す構成図である。
【図6】図5に示す光電面を透過した光の入射エネルギー検出部への結像状態を示す説明図である。
【図7】本発明に係る発光検出カメラの第2の実施の形態におけるストリーク動作の時間の合わせ込み方法を説明する説明図である。
【図8】本発明に係る発光検出カメラの第3の実施の形態の光電面の構成を示す構成図である。
【図9】本発明に係る発光検出カメラの第3の実施の形態のストリーク管前面に配置されたスリットと結像レンズとの関係を示す構成図である。
【図10】本発明に係る発光検出カメラの第4の実施の形態の構成を示す構成図である。
【図11】本発明に係る発光検出カメラの第5の実施の形態に用いる保護用電極の構成を示す構成図である。
【図12】図11に示す保護用電極の配置例を示す構成図である。
【図13】図11に示す保護用電極の代わりにCCDを支えているフランジ面を用いる構成を示す構成図である。
【図14】本発明に係る発光検出カメラの第6の実施の形態に用いるホスファーの配置位置を示す構成図である。
【図15】従来のストリークカメラの構成を示す構成図である。
【図16】従来のストリークカメラに信号が時間がずれて入射した場合のMCP上の結像位置を示す説明図である。
【図17】従来のストリークカメラに信号が時間および位置がずれて入射した場合のMCP上の結像位置を示す説明図である。
【図18】従来のフレーミングカメラの動作を説明する説明図である。
【符号の説明】
1 ストリーク管
2 光電面
3 加速電極
4 集束電極
5 偏向電極
6 マイクロチャンネルプレート(MCP)
7 ホスファー(蛍光面)
8 ファイバー
9 電圧制御回路
10 入射エネルギー検出部
11 冷却部
12 信号読み出し制御回路
13 真空ポンプ
14 真空計
15 イメージエリア
16 読み出しレジスタ
17 出力アンプ
18 ゲイン切り替え制御回路
21 ICFフランジ
22 結像レンズ
23 ガラスマスク
25 真空バルブポート
30 スリット
31 結像レンズ
40 保護用電極
41 開口部
42 電位調整用抵抗
50 ホスファー
51 ファイバープレート
52 ファイバーレデューサ
101 本体
102 第1の交換部
103 第2の交換部
201 第1の光電面
202 第2の光電面
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a light emission detection camera that measures a change in temporal brightness of light changing at a high speed.
[0002]
[Prior art]
FIG. 15 is a configuration diagram showing a configuration of a conventional streak camera, and FIG. 16 is an explanatory diagram showing an imaging position on the MCP when signals are incident on the conventional streak camera with a time lag. 17 is an explanatory diagram showing an imaging position on the MCP when a signal is incident on a conventional streak camera with a time and a position shifted.
Conventionally, a streak camera, which is a light emission detection camera, has a streak tube 1, a photocathode 2, an acceleration electrode 3, a focusing electrode 4, a deflection electrode 5, and a microchannel plate 6 (hereinafter referred to as MCP 6) as shown in FIG. 15. And a fiber 8 provided with a phosphor (phosphor surface) 7 and a voltage control circuit 9 for controlling the voltage applied to the deflection electrode 5 so that electrons can fly inside the streak tube 1. It is in a vacuum state.
[0003]
An optical signal incident from the front portion of the streak tube 1 made of glass or the like is converted into electrons by the photocathode 2, accelerated by the acceleration electrode 3, focused by the focusing electrode 4, and deflected by the deflection electrode 5. After deflecting the electrons with the MCP 6 and multiplying the electrons with the MCP 6, the electrons enter the phosphor 7, return the electrons to light, and output the light from the rear surface portion of the streak tube 1 through the fiber 8 to the outside as Reading is performed by a CCD detector outside the streak tube 1, and data processing is performed as necessary.
[0004]
When the signals 1 and 2 are incident on the center of the photocathode 2 with a time lag, when passing through the accelerating electrode 3 and the focusing electrode 4 and coming to the deflection electrode 5, as shown in FIG. A voltage corresponding to the shift of the incident time is applied, and the signal 1 image and the signal 2 image on the MCP 6 are formed at different positions as shown in FIG. The image and the image of signal 2 are electron multiplied and sent to the phosphor 7, which again converts the electrons into light.
[0005]
As shown in FIG. 17A, when three signals 1, 2, and 3 are incident on the photocathode 2 at different positions, they pass through the acceleration electrode 3 and the focusing electrode 4 and are deflected. When coming to the electrode 5, as shown in FIG. 17 (b), a voltage corresponding to the shift in the incident time is applied, and the signal 1 image, the signal 2 image and the signal 3 image on the MCP 6 are shown in FIG. 17 (c). The MCP 6 multiplies the image of the signal 1, the image of the signal 2 and the image of the signal 3 and sends them to the phosphor 7. The phosphor 7 converts the electrons into light again. Convert.
[0006]
In FIG. 16B and FIG. 17C, the vertical shift of the image on the MCP 6 indicates a shift in the signal incident time, and the horizontal shift indicates a shift in the incident position of the signal. Are output with their positions shifted vertically and horizontally according to the shift in the incident time of the signal and the shift in the incident position.
[0007]
In order to detect one photoelectron photoelectrically converted by the photocathode 2, the MCP 6 applies a gain of about 10,000 times to perform electron multiplication, and the phosphor 7 can be detected with an amount of light that can be sufficiently detected outside the streak tube 1. The light is emitted.
[0008]
FIG. 18 is an explanatory diagram for explaining the operation of a conventional framing camera.
A framing camera which is a light emission detection camera is a kind of streak camera, and has the same structure as the streak camera. The function as a framing camera is to take an image by time-resolving and keeping the voltage of the deflection electrode 5 at the same voltage for a certain time, and the certain time is one frame. As shown in FIG. 18, a constant voltage is deflected step by step, and each frame is photographed. The skipped voltage becomes a shift in the position of each frame, and is read as a time shift in output.
[0009]
Signals 1, 2, and 3 that are incident on the photocathode 2 with a time lag are deflected, enter the respective frames, and are read out as outputs. The signal 2 and the signal 3 are captured in the frame 3 in a time-resolved manner.
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the prior art, when measuring the electrons photoelectrically converted by the photocathode 2, electron multiplication in the MCP 6 is required, so that the resolution is lost and the phosphor 7 converts the electrons into light. Furthermore, there was a problem that the resolution was lost.
[0011]
Furthermore, in the prior art, when measuring the electrons photoelectrically converted by the photocathode 2, it is necessary to separate the noise by increasing the amount of light per signal by multiplying the electrons by the MCP 6 and increasing the gain. Therefore, there is a problem that the signal output gradation width becomes small, and since reading can only be performed with a fixed gain in one reading, the phenomenon to be measured is a bright place, If the signal intensity ratio in the dark place is large and the dark place is adjusted to the bright place, the bright place cannot be measured if it is set to the dark place, and if the change in the signal intensity is large, the signal is read according to the bright place and then to the dark place. There is a problem that a plurality of operations such as reading together are required.
[0012]
Furthermore, in the prior art, since measurement cannot be performed without photoelectric conversion by the photocathode 2, incident light alignment cannot be performed unless signals are actually captured, and signals cannot be detected during measurement. In this case, since it is not possible to confirm that a signal is being output, there is a problem that it is difficult to adjust the streak operation time.
[0013]
Furthermore, in the prior art, since there is only one type of photocathode 2, there is a problem that a plurality of streak tubes 1 must be used properly when measurement is to be performed using different types of photocathodes.
[0014]
Furthermore, in the prior art, the streak tube 1 is made of a sealed glass tube, and damaged parts such as the photocathode 2, MCP6, and phosphor 7 are damaged by the excessive incident light. In this case, replacement is not possible, and parts cannot be replaced. For example, when the type of the photocathode 2 is to be changed, a plurality of streak tubes 1 must be used properly.
[0015]
The present invention has been made in view of such problems, and its object is to require electron multiplication and electron to light conversion when measuring electrons photoelectrically converted by a photocathode. In addition, the present invention is to provide a light emission detection camera capable of reducing loss of resolution.
[0016]
Further, an object of the present invention is that when measuring electrons photoelectrically converted by the photocathode, it is possible to increase the signal output gradation width, and measure by changing the gain by one reading, The present invention is to provide a light emission detection camera that can be measured by a single operation even when a change in signal intensity is large.
[0017]
Furthermore, an object of the present invention is to provide an easy-to-use luminescence detection camera that can easily align incident light and can easily adjust the streak operation time. There is in point to do.
[0018]
A further object of the present invention is to provide a light emission detection camera capable of performing measurement using different types of photocathode with one streak tube.
[0019]
A further object of the present invention is to provide a luminescence detection camera that can replace the internal components of the streak tube and can improve maintainability and expandability of functions.
[0020]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, the present invention has the following configuration.
The gist of the invention described in claim 1 is that light is converted into electrons by a photocathode, the converted electrons are caused to fly in a streak tube, and a temporal change in brightness of light is based on the emitted electrons. A light emission detection camera for measuring, wherein the electron from the photocathode is incident and incident energy detection means disposed in the streak tube for generating a charge according to the incident energy of the incident electron, and the incident Cooling means for cooling the energy detection means; The gain control means for controlling the gain when reading the electric charge from the incident energy detection means is provided, and the gain is changed and measured by one reading. It exists in the light emission detection camera characterized by this.
The gist of the invention of claim 2 is as follows: A light emission detection camera for converting light into electrons by a photocathode, causing the converted electrons to fly in a streak tube, and measuring a change in temporal brightness of light based on the emitted electrons, Incident energy detection means arranged in the streak tube that receives the electrons from the photocathode and generates charges according to the incident energy of the incident electrons, and cooling means for cooling the incident energy detection means. In addition, the photocathode comprises a first photocathode and a second photocathode of different types, a slit that changes a width through which light passes, and an image that changes an imaging position of light on the photocathode. A light emission detection camera, wherein a light imaging position on the photocathode is selected by a lens Exist.
The gist of the invention of claim 3 is as follows: A light emission detection camera for converting light into electrons by a photocathode, causing the converted electrons to fly in a streak tube, and measuring a change in temporal brightness of light based on the emitted electrons, Incident energy detection means arranged in the streak tube that receives the electrons from the photocathode and generates charges according to the incident energy of the incident electrons, and cooling means for cooling the incident energy detection means. And the streak tube has a plurality of members connected by an interface of a type that can be vacuum sealed. Exist.
[0021]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0022]
(First embodiment)
FIG. 1 is a configuration diagram showing the configuration of the first embodiment of the light emission detection camera according to the present invention, and FIG. 2 is a configuration diagram showing the configuration of the incident energy detection unit shown in FIG. These are block diagrams which show the structure of the rear surface part of the streak tube shown in FIG.
[0023]
The present embodiment includes a streak tube 1, a photocathode 2, an acceleration electrode 3, a focusing electrode 4, a deflection electrode 5, a voltage control circuit 9 for controlling a voltage applied to the deflection electrode 5, and incident energy detection. Unit 10, cooling unit 11 that cools incident energy detection unit 10, signal readout control circuit 12 that performs readout control of signals from incident energy detection unit 10, and vacuum pump 13 that sucks air inside streak tube 1 And a vacuum gauge 14 for measuring the vacuum state inside the streak tube 1, and the light emission phenomenon is detected by making a vacuum state so that electrons can fly inside the streak tube 1.
[0024]
The incident energy detection unit 10 is a semiconductor chip that converts incident electrons into an electrical signal. Specifically, a CCD (Charge Coupled Device), a PDA (Photo Diode Array), or the like is used, and the interior of the streak tube 1 is used. Is arranged.
[0025]
An example in which a full frame transfer type CCD is used as the incident energy detection unit 10 is shown in FIG. The incident energy detection unit 10 includes an image area 15, a read register 16, an output amplifier 17, and a gain switching control circuit 18. Further, the gain of the output amplifier 17 can be made variable, and the gain can be changed by the gain switching control circuit 18 according to the number of electrons.
[0026]
The CCD can sufficiently detect one electron as long as it is accelerated at about 10 KV, and a device having a small element size can be used, and a resolution of 10 μm or less can be achieved.
[0027]
The cooling unit 11 is a cooling mechanism for cooling the incident energy detection unit 10. As shown in FIG. 3A, the cooling unit 11 composed of a Peltier element or the like is arranged inside the streak tube 1 and directly The case where it cools, and the case where the cooling part 11 comprised by the liquid nitrogen dewar etc. is arrange | positioned outside the streak pipe | tube 1 as shown in FIG.3 (b), and it cools indirectly via a heat conductor (metal). Conceivable.
[0028]
When the cooling unit 11 is disposed inside the streak tube 1, the incident energy detection unit 10 can be directly cooled, so that the cooling efficiency is high, and the rear surface portion of the streak tube 1 is configured with a member having high thermal conductivity. In addition, the cooling efficiency is further increased by using it as a heat radiating part that releases heat generated from the cooling part 11.
[0029]
Normally, CCD has noise that is more than thermal noise called dark current at normal temperature, but by cooling the CCD itself, the dark current is reduced to less than the reading noise level and the signal reading performance is brought to the limit. be able to.
[0030]
The cooling of the CCD is determined by the relationship between the noise and the signal ratio. If sufficient performance is obtained, sufficient performance may be ensured without cooling. For example, when electrons are incident at an acceleration of 10 KV, about 1,500 electrons are generated inside the CCD chip. However, in order to obtain 1,500 electrons due to readout noise or dark current, it may take as long as 10 seconds. In such a case, if the exposure time is 1 second, cooling is not necessary.
[0031]
Next, the operation of the first embodiment will be described in detail with reference to FIG.
FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining a gain switching operation by the gain switching control circuit shown in FIG.
[0032]
An optical signal incident from the front portion of the streak tube 1 made of glass or the like is converted into electrons on the photocathode 2, and the converted electrons are accelerated by the acceleration electrode 3 and focused by the focusing electrode 4. After being deflected by the deflection electrode 5, it is incident on the incident energy detection unit 10.
[0033]
When electrons are incident on the incident energy detection unit 10, that is, the image area 15, one or a plurality of electrons corresponding to the incident energy of the electrons are generated at the position where the electrons are incident on the image area 15, and the generated electrons are When reading out charges from the incident energy detection unit 10 accumulated as charges, the charges in the image area 15 are shifted to the read register 16 (charge transfer 1), and the charges in the read register 16 are read in order ( Charge transfer 2). Note that the read register 16 has a larger capacity than the other parts, can read a plurality of elements together (hereinafter referred to as binning), and can output many electrons without overflowing.
[0034]
A CCD is used as the incident energy detection unit 10 to change the signal output gradation width by changing the binning or gain on the CCD chip. Hereinafter, based on the case where the number of electrons that can be read from one element in the image area 15 is 150,000 and one element in the read register 16 can accumulate the number of electrons up to 900,000, which is six times the image area 15. The operation of changing the signal output gradation width will be described.
[0035]
In the case of the full frame transfer type CCD shown in FIG. 2, since 150,000 electrons inside the device can be read out at 65,535 to 1, a charge addition process called binning is performed and 6 devices are read out collectively. In this case, 900,000 electrons are read out at 65,535 to 1, and a signal strength that is six times stronger can be measured.
[0036]
Therefore, when the amount of change in signal intensity can be predicted in advance, by setting to read out 900,000 electrons as 65,535-to-1 for a strong signal and 150,000 electrons as 65,535-to-1 for a dark place, It becomes possible to read out a signal whose signal output gradation width of one measurement is 393, 210 to 1.
[0037]
Specifically, when measuring the phenomenon that the brightness, that is, the signal intensity changes according to the elapsed time as shown in FIG. 4, the gain switching control circuit 18 causes the amplifier on the CCD to be used in a bright place where the signal intensity is strong. Reading with a low gain and reading with a high gain in a dark place where the signal intensity is weak makes it possible to read a signal with a signal output gradation width of 393, 210 to 1 for one measurement.
[0038]
In addition, by using a CCD as the incident energy detection unit 10, accumulation measurement of the detected signal is performed. That is, the signal in the image area 15 is stored by converting the optical signal into an electric signal until it is transferred to the read register 16. Since the CCD stores a signal inside and reads it later, the signal amount is increased by integrating the signals without multiplication.
[0039]
As described above, according to the first embodiment, when the electrons photoelectrically converted by the photocathode 2 are measured, the electrons photoelectrically converted by the photocathode 2 are directly measured by the incident energy detection unit 10. This eliminates the need for electron multiplication and electron-to-light conversion, thereby reducing the resolution loss.
[0040]
Further, according to the first embodiment, when measuring electrons photoelectrically converted by the photocathode 2, the electrons photoelectrically converted by the photocathode 2 are directly measured by the incident energy detection unit 10, so that the signal output gradation The width can be increased, and even when integration processing is performed to improve the signal / noise ratio, integration can be performed in a situation where the signal output gradation width can be secured, so that electron multiplication and conversion from electron to light are possible. However, it is possible to perform measurement even if the signal has an intensity that causes saturation.
[0041]
Further, according to the first embodiment, the signal output gradation width of the electronic image is changed by the gain change and binning by the gain switching control circuit 18, and the gain is increased in a dark place and the gain is lowered in a bright place. As a result, even when the change in the signal intensity is large, the measurement can be performed with a single operation.
[0042]
(Second Embodiment)
FIG. 5 is a block diagram showing the configuration of the second embodiment of the light emission detection camera according to the present invention, and FIG. 6 shows the image of the light transmitted through the photocathode shown in FIG. FIG. 7 is an explanatory diagram illustrating a method for adjusting the streak operation time in the second embodiment of the light emission detection camera according to the present invention.
[0043]
In the second embodiment, the photocathode 2 is thinned to provide a light transmission function for transmitting light, and an imaging lens 22 for imaging the light transmitted through the photocathode 2 on the incident energy detection unit 10 is provided as a streak tube. 1 is different from the first embodiment in that it is provided inside 1 and monitors the incident state of light. The imaging lens 22 is attached in a different shape so that electrodes and the like arranged inside the streak tube 1 do not interfere with each other.
[0044]
When signals 1, 2 and 3 as shown in FIG. 6 (a) are incident on the photocathode 2 from the front surface portion of the streak tube 1, the incident energy detection unit 10 is shown in FIG. 6 (b). As described above, image formation by electrons (signal 1 image, signal 2 image and signal 3 image) and light image formation (signal 1 image image, signal 2 image image and signal 3 image image) are performed. can get. Moreover, since it is necessary to separate and detect the time-resolved image (image formation by electrons) imaged on the surface of the incident energy detection unit 10 and the photocathode image (image formation by light), the incident energy detection unit On the surface 10, a glass mask 23 or the like that does not transmit electrons but transmits light is disposed.
[0045]
When using a luminescence detection camera as a streak camera, it is used to see the phenomenon of nanoseconds from pico, and is not often used for slow phenomena of microseconds or more, but by using photocathode images (image formation by light) Measure slow phenomena over microseconds.
[0046]
That is, when the full-frame transfer type CCD shown in FIG. 2 is used as the incident energy detection unit 10, the charge operation speed on the image area 15 is on the order of microseconds. Can do.
[0047]
Further, the control of the deflection electrode 5 by the voltage control circuit 9 and the readout timing control from the incident energy detection unit 10 by the signal readout control circuit 12 are independently controlled, and the photocathode image (image formation by light) is simultaneously performed with the streak operation. Monitor and obtain reference information at the same time, such as being able to monitor the time zone where you want to see the phenomenon. The streak operation for applying the deflection voltage of the deflection electrode 5 requires time adjustment and the signal cannot be detected if there is a deviation. Therefore, from the beginning to the end of the phenomenon by the photocathode image (image formation by light). Monitor the time and adjust the time for the streak operation while confirming that the signal is output.
[0048]
For example, when measuring the phenomenon as shown in the graph of FIG. 7, when the streak operation time adjustment is set to streak capture 1, a time-resolved image (image formation by electrons) can be detected. When the streak operation time adjustment is set to streak capture 2, a time-resolved image (image formation by electrons) cannot be detected. The deflection time (streak operation time) of the deflection electrode 5 is about nanoseconds.
[0049]
If the time-resolved image (image formation by electrons) cannot be detected in the streak operation, the detection of only the time-resolved image (image formation by electrons) does not output the signal itself, or the streak operation timing is shifted. I don't know if this is the case, but the fact that the signal is being output by monitoring the phenomenon from the beginning to the end of the phenomenon (image capture time width in Fig. 7) in milliseconds by the photocathode image (image formation by light). Check and adjust the streak operation time within the image capture time range.
[0050]
As described above, according to the second embodiment, the streak tube 1 can be used even when measuring invisible light such as X-rays by monitoring the photocathode image (image formation by light). It is easy to align the incident light incident from the front part of the slab, and furthermore, it is possible to adjust the streak operation time while confirming that a signal is being output. There is an effect that the work is easy to perform.
[0051]
Furthermore, according to the second embodiment, by simultaneously detecting a time-resolved image (image formation by electrons) and a photocathode image (image formation by light), different measurements of the same phenomenon can be performed simultaneously. There is an effect that it becomes possible to perform.
[0052]
(Third embodiment)
FIG. 8 is a block diagram showing the configuration of the photocathode of the third embodiment of the luminescence detection camera according to the present invention, and FIG. 9 shows the streak of the third embodiment of the luminescence detection camera according to the present invention. It is a block diagram which shows the relationship between the slit arrange | positioned in the tube front surface, and an imaging lens.
[0053]
In the third embodiment, the photocathode 2 includes a first photocathode 201 and a second photocathode 202 as shown in FIG. 8A, and a streak tube as shown in FIG. 9A. 1 is incident by a slit 30 that is arranged in front of the front surface portion 1 and adjusts the signal amount by changing only the width of incident light passing therethrough and an imaging lens 31 that changes the imaging position of the incident light on the photoelectric surface 2. The imaging position of the light on the photocathode 2 is variable.
[0054]
8B and 8C, the slit 30 is moved up and down as shown in FIG. 9B, or the imaging lens 31 is moved up and down as shown in FIG. 9C. As described above, the signal incident from the slit 30 is selectively imaged on either the first photocathode 201 or the second photocathode 202.
[0055]
Further, when a portion that transmits light is provided below the photocathode 2 and adjustment is performed using the transmission of the portion, the two blades of the slit 30 disposed in front of the front portion of the streak tube 1 are two. If it is configured to move independently, the ratio of the area of the photocathode 2 and the area of the transmissive portion can be changed, so that both signals can be successfully captured by adjusting the ratio of the quantity of light of both.
[0056]
As described above, according to the third embodiment, by moving the slit 30 or the imaging lens 31 without changing the setting of the optical system for signal measurement, the first photocathode 201 and the second photocathode 201 are moved. The photocathode 202 of the first photocathode 201 and the second photocathode 202 can be switched and used. When using photocathodes with different signal wavelength ranges for the first photocathode 201 and the second photocathode 202, one streak tube 1 is used. Thus, measurement can be performed using different types of photocathodes, and the workability is improved.
[0057]
(Fourth embodiment)
FIG. 10 is a block diagram showing the configuration of the fourth embodiment of the light emission detection camera according to the present invention.
[0058]
In the fourth embodiment, as shown in FIG. 10, the streak tube 1 includes a main body 101 in which the acceleration electrode 3, the focusing electrode 4 and the deflection electrode 5 are disposed, and the first in which the photocathode 2 is disposed. The exchange unit 102 and the second exchange unit 103 in which the incident energy detection unit 10 is arranged can be vacuum-sealed between the main body 101, the first exchange unit 102, and the second exchange unit 103. It is configured to be connected by an ICF flange 21 which is a type interface. The main body 101 is provided with a vacuum valve port 25 for drawing a vacuum inside the streak tube 1.
[0059]
If the first replacement unit 102 or the second replacement unit 103 is replaced, a large amount of gas adheres to the inside of the streak tube 1 during the replacement operation. Therefore, after the replacement operation, the vacuum valve port 25 has a certain degree of vacuum. The vacuum is closed by the vacuum valve port 25 and is controlled to a required degree of vacuum by the vacuum pump 13 provided in the main body 101. Since the gas is generated very slowly from the components inside the streak tube 1, the vacuum pump 13 controls the adsorption of the generated gas and the necessary degree of vacuum while measuring the vacuum with the vacuum gauge 14. To do.
[0060]
As described above, according to the fourth embodiment, the streak tube 1 is constituted by the main body 101, the first replacement part 102, and the second replacement part 103, and each is connected by the ICF flange 21. Since the inside can be evacuated, the components inside the streak tube 1 can be exchanged, and there is an effect that the maintainability and the expandability of functions can be improved.
[0061]
(Fifth embodiment)
FIG. 11 is a configuration diagram showing a configuration of the protective electrode used in the fifth embodiment of the light emission detection camera according to the present invention, and FIG. 12 is a configuration diagram showing an arrangement example of the protective electrode shown in FIG. FIG. 13 is a block diagram showing a configuration in which a flange surface supporting the CCD is used instead of the protective electrode shown in FIG.
[0062]
In the fifth embodiment, the protective electrode 40 shown in FIG. 11 is arranged in front of the incident energy detection unit 10 as shown in FIG. 12, and the portion other than the detection surface (image area 15) of the incident energy detection unit 10 is arranged. Is invisible from the incident direction of electrons. The protective electrode 40 is provided with an opening 41, and the size of the opening 41 and the protective electrode so that electrons passing through the opening 41 are incident only on the detection surface of the incident energy detection unit 10. The arrangement position of 40 is adjusted.
[0063]
As shown in FIG. 12, the protective electrode 40 and the incident energy detection unit 10 are connected to a constant potential point, and the potential between the protective electrode 40 and the incident energy detection unit 10 is adjusted by the potential adjustment resistor 42. As a result, the potential of the protective electrode 40 can be adjusted to a voltage with less disturbance on the potential surface when viewed from the acceleration electrode 3, and the positional deviation when electrons are incident can be reduced. In some cases, the potential adjusting resistor 42 may be 0 ohms. Further, the position of the protective electrode 40 does not have to be immediately in front of the incident energy detection unit 10, and may be disposed between the incident energy detection unit 10 and the deflection electrode 5.
[0064]
When a CCD is used as the incident energy detection unit 10 and the CCD mount is made of a material that is less affected by metal or charging, it is not necessary to provide the protective electrode 40. However, as shown in FIG. The flange surface supporting the CCD is connected to a constant potential point and the flange surface supporting the CCD is connected to the constant potential point. Is adjusted by the potential adjusting resistor 42, the discharge process of electrons incident on the flange surface and the adjustment process of the potential surface can be performed.
[0065]
As described above, according to the fifth embodiment, by providing the protective electrode 40, electrons passing through the deflection electrode 5 hit the ceramic part of the incident energy detection unit 10 (CCD) and are charged. Since it is possible to prevent charging by hitting the ceramic of the cooling unit 11 (Peltier element), it is possible to prevent erroneous operation due to charging, and by adjusting the potential of the protective electrode 40, performance resulting from disturbance of the potential surface There exists an effect that a fall can be prevented.
[0066]
(Sixth embodiment)
FIG. 14 is a configuration diagram showing the arrangement positions of the phosphors used in the sixth embodiment of the light emission detection camera according to the present invention.
[0067]
In the sixth embodiment, a phosphor 50 is provided between the deflection electrode 5 and the incident energy detection unit 10 so that electrons flying by the phosphor 50 are converted into light and incident on the incident energy detection unit 10. It is configured. Instead of the phosphor 50, an electron photon conversion material such as a scintillator may be used.
[0068]
Even if the phosphor 50 is applied directly on the incident energy detection unit 10 as shown in FIG. 14A, an indirect material such as a fiber plate 51 is put on the fiber plate 51 as shown in FIG. It may be applied to. Further, the phosphor 50 may be provided with a function of a protective electrode.
[0069]
When the phosphor 50 is applied directly on the incident energy detection unit 10, electrons are converted into light inside the phosphor 50, and only the incident part emits light. Therefore, by reducing the thickness of the phosphor 50, the resolution is reduced to a great extent. Without being lost, it is possible to prevent electrons from directly entering the incident energy detection unit 10.
[0070]
Alternatively, the phosphor 50 may be applied on the fiber reducer 52 as shown in FIG. 14C so that the output image of the large phosphor 50 is reduced by the fiber reducer 52 and transferred. The fiber reducer 52 is composed of bundles of optical fibers, and the diameter of one side of each fiber is smaller than that of the other side, and the overall image is reduced by this ratio.
[0071]
As described above, according to the sixth embodiment, by using the phosphor 50, it is possible to prevent damage to the incident energy detection unit 10 and extend the life of the incident energy detection unit 10. The effect that it can improve property is produced.
[0072]
Furthermore, according to the sixth embodiment, since the electronic image formed on the phosphor 50 is reduced and transferred by the fiber reducer 52, the size of the captured electronic image is limited to the size of the incident energy detection unit 10. There is an effect that a large area can be taken in by the small incident energy detection unit 10.
[0073]
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and it is obvious that the embodiments can be appropriately changed within the scope of the technical idea of the present invention. In addition, the number, position, shape, and the like of the constituent members are not limited to the above-described embodiment, and can be set to a suitable number, position, shape, and the like in practicing the present invention. In each figure, the same numerals are given to the same component.
[0074]
【The invention's effect】
In the light emission detection camera of the present invention, when measuring the electrons photoelectrically converted by the photocathode, the electrons photoelectrically converted by the photocathode are directly measured by the incident energy detection unit. There is an effect that loss of resolution can be reduced without requiring conversion.
[0075]
Furthermore, when measuring the electrons photoelectrically converted by the photocathode, the light emission detection camera of the present invention directly measures the electrons photoelectrically converted by the photocathode by the incident energy detector, so that the signal output gradation width is increased. In addition, even when integration processing is performed to improve the signal / noise ratio, it is possible to perform integration in a situation where the signal output gradation width can be secured, so measurement that requires electron multiplication and conversion from electron to light is required. Then, even if it is the intensity | strength which a signal saturates, there exists an effect that it can measure.
[0076]
Furthermore, the light emission detection camera of the present invention changes the signal output gradation width of the electronic image by changing the gain and binning by the gain switching control circuit, and increases the gain in a dark place and lowers the gain in a bright place. Thus, even when the change in the signal intensity is large, an effect is obtained that the measurement can be performed by one operation.
[0077]
Furthermore, the light emission detection camera of the present invention is incident from the front portion of the streak tube even when measuring invisible light such as X-rays by monitoring the photocathode image (image formation by light). The incident light can be easily aligned, and the streak operation time can be adjusted while confirming that a signal is being output. This makes it easy to adjust the streak operation time. Play.
[0078]
Furthermore, the luminescence detection camera of the present invention simultaneously performs different measurements of the same phenomenon by simultaneously detecting a time-resolved image (image formation by electrons) and a photocathode image (image formation by light). There is an effect that becomes possible.
[0079]
Furthermore, the light emission detection camera of the present invention can be used by switching the first photocathode and the second photocathode by moving the slit or the imaging lens without changing the setting of the optical system for signal measurement. Therefore, when using a photocathode with different signal wavelength ranges for the first photocathode and the second photocathode, measurement is performed using different types of photocathodes with one streak tube. This is advantageous in that workability is improved.
[0080]
Furthermore, in the light emission detection camera of the present invention, since the streak tube is constituted by the main body, the first replacement part and the second replacement part, and the inside can be evacuated after being connected by the ICF flange, The internal parts can be exchanged, and there is an effect that the maintainability and the expandability of functions can be improved.
[0081]
Furthermore, in the light emission detection camera of the present invention, by providing a protective electrode, electrons passing through the deflecting electrode hit the ceramic part of the incident energy detection part (CCD) and are charged or hit the ceramic of the cooling part (Peltier element). Since charging can be prevented, erroneous operation due to charging can be prevented, and by adjusting the potential of the protective electrode, it is possible to prevent performance deterioration caused by disturbance of the potential surface. .
[0082]
Furthermore, the use of the phosphor in the luminescence detection camera of the present invention prevents damage to the incident energy detection unit, extends the life of the incident energy detection unit, and improves the system reliability. Play.
[0083]
Furthermore, since the light emission detection camera of the present invention transfers the electronic image formed on the phosphor after being reduced by the fiber reducer, the size of the captured electronic image is not limited by the size of the incident energy detector, and the There is an effect that the acquisition is possible with a small incident energy detector.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram showing a configuration of a first embodiment of a light emission detection camera according to the present invention.
FIG. 2 is a configuration diagram illustrating a configuration of an incident energy detection unit illustrated in FIG. 1;
3 is a configuration diagram showing a configuration of a rear surface portion of the streak tube shown in FIG. 1. FIG.
4 is an explanatory diagram for explaining a gain switching operation by the gain switching control circuit shown in FIG. 2;
FIG. 5 is a configuration diagram showing a configuration of a second embodiment of a light emission detection camera according to the present invention;
6 is an explanatory diagram showing a state of image formation on an incident energy detection unit of light transmitted through the photocathode shown in FIG. 5;
FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining a method for adjusting the streak operation time in the second embodiment of the light emission detection camera according to the present invention;
FIG. 8 is a configuration diagram showing a configuration of a photocathode of a third embodiment of the light emission detection camera according to the present invention.
FIG. 9 is a configuration diagram showing a relationship between a slit arranged on the front surface of a streak tube and an imaging lens in a third embodiment of the light emission detection camera according to the present invention.
FIG. 10 is a configuration diagram showing a configuration of a fourth embodiment of a light emission detection camera according to the present invention.
FIG. 11 is a configuration diagram showing a configuration of a protective electrode used in a fifth embodiment of the light emission detection camera according to the present invention;
12 is a configuration diagram showing an example of arrangement of the protective electrodes shown in FIG.
13 is a configuration diagram showing a configuration in which a flange surface supporting a CCD is used instead of the protective electrode shown in FIG.
FIG. 14 is a configuration diagram showing the arrangement positions of phosphors used in a sixth embodiment of the light emission detection camera according to the present invention.
FIG. 15 is a configuration diagram showing a configuration of a conventional streak camera.
FIG. 16 is an explanatory diagram showing an imaging position on the MCP when signals are incident on a conventional streak camera with a time lag.
FIG. 17 is an explanatory diagram showing an image formation position on the MCP when a signal is incident on a conventional streak camera with a time and position shifted.
FIG. 18 is an explanatory diagram for explaining the operation of a conventional framing camera.
[Explanation of symbols]
1 Streak tube
2 Photocathode
3 Accelerating electrode
4 Focusing electrode
5 Deflection electrodes
6 Microchannel plate (MCP)
7 Phosphor (phosphor screen)
8 Fiber
9 Voltage control circuit
10 Incident energy detector
11 Cooling unit
12 Signal readout control circuit
13 Vacuum pump
14 Vacuum gauge
15 Image area
16 Read register
17 Output amplifier
18 Gain switching control circuit
21 ICF flange
22 Imaging lens
23 Glass mask
25 Vacuum valve port
30 slits
31 Imaging lens
40 Protective electrode
41 opening
42 Resistance adjustment resistor
50 Phosphor
51 Fiber plate
52 Fiber Reducer
101 body
102 1st exchange part
103 2nd exchange part
201 First photocathode
202 second photocathode

Claims (3)

光電面により光を電子に変換させ、変換された前記電子をストリーク管内で飛翔させ、飛翔させた前記電子に基づいて光の時間的な明るさの変化を計測する発光検出カメラであって、
前記光電面からの前記電子が入射され、入射された前記電子の入射エネルギーに応じた電荷を発生させる前記ストリーク管内に配置された入射エネルギー検出手段と、
該入射エネルギー検出手段を冷却する冷却手段と
前記入射エネルギー検出手段から前記電荷を読み取る際のゲインを制御する前記ゲイン制御手段を具備し、
一度の読み出しでゲインを変化させて計測させることを特徴とする発光検出カメラ。
A light emission detection camera that converts light into electrons by a photocathode, causes the converted electrons to fly in a streak tube, and measures a change in temporal brightness of light based on the electrons that have been caused to fly,
Incident energy detection means disposed in the streak tube that receives the electrons from the photocathode and generates a charge corresponding to the incident energy of the incident electrons.
Cooling means for cooling the incident energy detection means ;
Comprising the gain control means for controlling the gain when reading the charge from the incident energy detection means;
A light emission detection camera characterized in that a gain is changed by one reading and measurement is performed .
光電面により光を電子に変換させ、変換された前記電子をストリーク管内で飛翔させ、飛翔させた前記電子に基づいて光の時間的な明るさの変化を計測する発光検出カメラであって、A light emission detection camera that converts light into electrons by a photocathode, causes the converted electrons to fly in a streak tube, and measures a temporal change in light brightness based on the electrons that have been caused to fly,
前記光電面からの前記電子が入射され、入射された前記電子の入射エネルギーに応じた電荷を発生させる前記ストリーク管内に配置された入射エネルギー検出手段と、  Incident energy detection means disposed in the streak tube that receives the electrons from the photocathode and generates charges according to the incident energy of the incident electrons;
該入射エネルギー検出手段を冷却する冷却手段とを具備すると共に、  Cooling means for cooling the incident energy detection means,
前記光電面は、種類の異なる第1光電面と第2光電面とを具備し、  The photocathode comprises a first photocathode and a second photocathode of different types,
光が通過する幅を変えるスリットと、  A slit that changes the width that light passes through;
光の前記光電面上の結像位置を変える結像レンズとによって、前記光電面上の光の結像位置を選択させることを特徴とする発光検出カメラ。  An emission detection camera, wherein an imaging position of light on the photocathode is selected by an imaging lens that changes an imaging position of light on the photocathode.
光電面により光を電子に変換させ、変換された前記電子をストリーク管内で飛翔させ、飛翔させた前記電子に基づいて光の時間的な明るさの変化を計測する発光検出カメラであって、A light emission detection camera that converts light into electrons by a photocathode, causes the converted electrons to fly in a streak tube, and measures a temporal change in light brightness based on the electrons that have been caused to fly,
前記光電面からの前記電子が入射され、入射された前記電子の入射エネルギーに応じた電荷を発生させる前記ストリーク管内に配置された入射エネルギー検出手段と、  Incident energy detection means disposed in the streak tube that receives the electrons from the photocathode and generates charges according to the incident energy of the incident electrons;
該入射エネルギー検出手段を冷却する冷却手段とを具備し、  Cooling means for cooling the incident energy detection means,
前記ストリーク管は、複数の部材が真空封じ切りが可能なタイプのインターフェースにより接続されていることを特徴とする発光検出カメラ。  The streak tube has a plurality of members connected by an interface of a type that can be vacuum-sealed.
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