JP3366864B2 - Transparent conductive film - Google Patents

Transparent conductive film

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JP3366864B2
JP3366864B2 JP25856998A JP25856998A JP3366864B2 JP 3366864 B2 JP3366864 B2 JP 3366864B2 JP 25856998 A JP25856998 A JP 25856998A JP 25856998 A JP25856998 A JP 25856998A JP 3366864 B2 JP3366864 B2 JP 3366864B2
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layer
film
conductive layer
metal
conductive
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博十志 佐藤
和裕 野田
修二 古川
功太郎 谷村
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Gunze Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、タッチパネルなど
に用いられる透明導電性フィルムに関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a transparent conductive film used for a touch panel or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】パーソナル デジタル アシスタント
(PDA)、並びにサブノートパソコンに代表される携
帯用情報末端では、一般的に、携帯性と使いやすさが重
視されることから液晶ディスプレイなどの表示装置上に
入力装置として例えば抵抗膜式タッチパネルが配置され
ている。そして、タッチパネル上を指やペンで押圧する
ことで、入力が図られ、押圧位置はX−Y座標として確
認される。
2. Description of the Related Art In portable information terminals represented by personal digital assistants (PDAs) and sub-notebook computers, portability and ease of use are generally important, so that they are displayed on a display device such as a liquid crystal display. For example, a resistive touch panel is arranged as an input device. Then, by pressing the touch panel with a finger or a pen, an input is made, and the pressed position is confirmed as XY coordinates.

【0003】ところで、上記抵抗膜式タッチパネルの入
力操作が行われるタッチ側基板には、片面若しくは両面
に表面保護を目的とした光硬化型アクリル樹脂層を形成
したフィルム状の透明性を有するポリエチレンテレフタ
ラート又はポリカーボネートが用いられ、一方、ディス
プレイ側基板には、ポリエチレンテレフタラート、ポリ
カーボネート、ソーダライムガラス又は強化ガラスが用
いられる。そして、各基板の片面には、透明導電層とし
てインジウム・錫酸化物(以下、ITOと記載する。)
の薄膜が形成される。
By the way, the touch-side substrate on which the input operation of the resistive film type touch panel is carried out has a film-like transparent polyethylene terephthale film having a photo-curing acrylic resin layer formed on one or both sides for the purpose of surface protection. Talate or polycarbonate is used, while polyethylene terephthalate, polycarbonate, soda lime glass or tempered glass is used for the display side substrate. Then, on one surface of each substrate, indium tin oxide (hereinafter referred to as ITO) is formed as a transparent conductive layer.
Thin film is formed.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】タッチパネルに関して
は、可視光領域における高い透明性(殊に、波長550
nm付近の光透過率が高いこと)が要求されるが、これ
に対しては、タッチ側の導電層を形成するフィルム及び
ディスプレイ側の導電層を形成するフィルムと透明導電
層との間への適当な金属酸化物(以下、「アンダーコー
ト層」と呼ぶ。)を挿入する技術が知られている。即
ち、各基板と透明導電層との間に例えば、酸化珪素、酸
化珪素−酸化錫系の金属酸化物層を挿入し、電極、金属
酸化物層、フィルムと屈折率が例えばそれぞれ交互に変
化するように設計することにより、透明性の向上を図る
という技術である。この技術は、詳述はしないがタッチ
パネル内の特に空気と接する部位で光の反射率が高くな
ることが光透過率を下げる大きな要因であることから極
めて意義深い。
The touch panel has a high transparency in the visible light region (especially, a wavelength of 550).
(a high light transmittance in the vicinity of nm) is required. For this, a film forming the conductive layer on the touch side and a film forming the conductive layer on the display side and the transparent conductive layer are provided. A technique for inserting an appropriate metal oxide (hereinafter, referred to as “undercoat layer”) is known. That is, for example, a silicon oxide or silicon oxide-tin oxide-based metal oxide layer is inserted between each substrate and the transparent conductive layer, and the electrodes, the metal oxide layer, the film, and the refractive index are alternately changed. The technology is designed to improve transparency. Although not described in detail, this technique is extremely significant because the fact that the reflectance of light increases in the touch panel, particularly in the portion in contact with air, is a major factor of reducing the light transmittance.

【0005】ところで、ここでこのアンダーコート層と
フィルム基板との密着性が問題となる。
By the way, here, the adhesion between the undercoat layer and the film substrate becomes a problem.

【0006】そこで、本発明は、アンダーコート層とフ
ィルム基板との密着性に優れたタッチパネルなどに用い
られる透明導電性フィルムを提供することを目的として
いる。
[0006] Therefore, an object of the present invention is to provide a transparent conductive film used for a touch panel or the like having excellent adhesion between the undercoat layer and the film substrate.

【0007】上記目的を達成するために、本発明の透明
導電性フィルムは、導電層形成フィルムと、導電層と、
導電層形成フィルムと導電層との間に形成された金属酸
化物からなるとともに光学的特性の異なる2層からなる
層で、透明導電性フィルム全体の光透過率を設ける前と
比べて高めるためのアンダーコート層(導電性を有する
ものを除く)と、前記アンダーコート層と導電層形成フ
ィルムとの間に形成された前記金属酸化物に含まれる単
一の金属元素又は前記金属酸化物に含まれる少なくとも
1種を含む2種以上の金属元素の合金からなる金属層と
を備えている。
In order to achieve the above object, the transparency of the present invention
The conductive film, a conductive layer forming film, a conductive layer,
Consists of a metal oxide formed between the conductive layer-forming film and the conductive layer, and also consists of two layers with different optical properties
Layer, before providing the light transmittance of the entire transparent conductive film and
Undercoat layer for improving the conductivity (having conductivity
And a single metal element contained in the metal oxide formed between the undercoat layer and the conductive layer forming film, or two or more kinds containing at least one kind contained in the metal oxide. And a metal layer made of an alloy of the above metal elements.

【0008】これにより、アンダーコート層と導電層形
成フィルムとの密着性を向上させ、導電層の脱落等を防
止することができる。
This makes it possible to improve the adhesion between the undercoat layer and the conductive layer forming film and prevent the conductive layer from falling off.

【0009】前記金属層には、シリコン、チタン、錫及
び亜鉛からなる群から選ばれた金属を用いることが好ま
しい。
The metal layer is preferably made of a metal selected from the group consisting of silicon, titanium, tin and zinc.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】[実施の形態]以下、本発明に係
る透明導電性フィルムをタッチパネルに適応した場合の
実施の形態ついて具体的に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION [Embodiment] An embodiment in which the transparent conductive film according to the present invention is applied to a touch panel will be specifically described below.

【0011】*構成について 図1は、実施の形態に係るタッチパネル1の構造を示す
分解図であり、図2は、組立後のX−X線矢視断面図で
ある。
* Regarding Configuration FIG. 1 is an exploded view showing the structure of the touch panel 1 according to the embodiment, and FIG. 2 is a sectional view taken along the line XX after assembly.

【0012】タッチパネル1は、抵抗膜式のタッチパネ
ルであって、図1に示すように、タッチ側基板10と、
ディスプレイ側基板20とが、スペーサ30を介し空気
層31を形成する状態で対設されて構成されている。
The touch panel 1 is a resistive film type touch panel, and as shown in FIG.
The display-side substrate 20 and the display-side substrate 20 are arranged so as to face each other in a state of forming an air layer 31 via a spacer 30.

【0013】タッチ側基板10は、タッチパネル1にお
いて操作者からの指や機器を用いた入力を受け付ける側
の面状部材であり、可撓性と耐熱性とに優れるとともに
透明性の高い素材からなり、両面にハードコート層11
が形成された導電層形成部材12と、当該ハードコート
層11の一の表面11aにアンダーコート層13を介し
て形成され、パネル中央部に位置する導電層14と、こ
のアンダーコート層13と導電層形成部材12とを密着
させる密着層15とからなる。導電層14の対向する2
側辺には電極141、142が設けられている。そし
て、導電層形成部材12の端部には図示しないコネクタ
が接続される、コネクタ電極143、144が形成さ
れ、このコネクタ電極143、144と前記電極14
1、142との間が配線パターン145,146で接続
されている。
The touch side substrate 10 is a planar member on the side of the touch panel 1 that receives an input from an operator using a finger or a device, and is made of a material having excellent flexibility and heat resistance and high transparency. , Hard coat layer 11 on both sides
And the conductive layer forming member 12 formed with the undercoat layer 13 formed on the one surface 11a of the hard coat layer 11 via the undercoat layer 13, and the undercoat layer 13 and the conductive layer 14. It is composed of an adhesion layer 15 that adheres to the layer forming member 12. Two facing conductive layers 14
Electrodes 141 and 142 are provided on the sides. Then, connector electrodes 143, 144 to which a connector (not shown) is connected are formed at the ends of the conductive layer forming member 12, and the connector electrodes 143, 144 and the electrode 14 are formed.
The wiring patterns 145 and 146 are connected between the first and the second wirings 142.

【0014】ディスプレイ側基板20は、両面にハード
コート層21が形成された支持部材22と、当該ハード
コート層21の一の表面21aに導電層形成部材23及
びアンダーコート層24を介して形成され、パネル中央
部に位置する導電層25と、アンダーコート層24と導
電層形成部材23とを密着させる密着層26とかなる。
導電層形成部材23は、接着層27を介してハードコー
ト層21の表面に接着されている。導電層25の対向す
る2側辺であって、前記導電層14に形成された電極1
41,142の対向方向と直交する方向の側辺には、電
極251、252が形成されている。そして、導電層形
成部材23の端部には、前記同様、コネクタと接続され
る一対のコネクタ電極253、254が形成され、更
に、このコネクタ電極253、254と前記電極25
1、252とを接続する配線パターン255,256が
形成されている。また、導電層25の表面には例えば、
光硬化型のアクリル樹脂からなるドット状のスペーサ3
0(高さ10μm程度、直径10〜50μm)が所定間
隔(数mm間隔)を置いて配されている。
The display side substrate 20 is formed on a support member 22 having hard coat layers 21 formed on both sides thereof, and a conductive layer forming member 23 and an undercoat layer 24 on one surface 21a of the hard coat layer 21. The conductive layer 25 located in the central portion of the panel and the adhesion layer 26 that adheres the undercoat layer 24 and the conductive layer forming member 23 to each other.
The conductive layer forming member 23 is adhered to the surface of the hard coat layer 21 via the adhesive layer 27. The electrodes 1 formed on the conductive layer 14 on the two opposite sides of the conductive layer 25.
Electrodes 251 and 252 are formed on the sides of 41 and 142 in the direction orthogonal to the facing direction. Then, a pair of connector electrodes 253 and 254, which are connected to the connector, are formed at the end portions of the conductive layer forming member 23, and further, the connector electrodes 253 and 254 and the electrode 25 are formed.
Wiring patterns 255 and 256 for connecting 1 and 252 are formed. Further, on the surface of the conductive layer 25, for example,
Dot-shaped spacer 3 made of photocurable acrylic resin
Zeros (height: about 10 μm, diameter: 10 to 50 μm) are arranged at predetermined intervals (several mm intervals).

【0015】上記タッチ側基板10とディスプレイ側基
板20とは、導電層14と導電層25とが平行に対向す
る状態でそれらの周縁部で接着剤40により接着され
る。
The touch-side substrate 10 and the display-side substrate 20 are bonded to each other by an adhesive 40 at their peripheral portions in a state where the conductive layers 14 and 25 face each other in parallel.

【0016】*ハードコート層について ハードコート層は、光硬化型のシリコーン系、アクリル
系、セルロース系、メラミン系或はウレタン系の樹脂を
母材(導電層形成部材12、支持部材22)に塗布し、
次いで、紫外線を照射することによりの面全面に取着さ
せることで形成される厚み数μmの薄層である。
* About the hard coat layer The hard coat layer is formed by applying a photo-curing type silicone, acrylic, cellulose, melamine or urethane type resin to the base material (conductive layer forming member 12, support member 22). Then
Then, a thin layer having a thickness of several μm is formed by irradiating with ultraviolet rays and attaching the entire surface.

【0017】ハードコート層11を形成した導電層形成
部材12の表面の硬度は、摩擦に対する耐久性、透明導
電層の密着性、適度な剛性を導電層に付与する観点か
ら、鉛筆硬度測定法でH以上にすることが好ましく、3
H以上がより好ましい。
The hardness of the surface of the conductive layer forming member 12 on which the hard coat layer 11 is formed is determined by a pencil hardness measuring method from the viewpoint of durability against friction, adhesion of the transparent conductive layer, and appropriate rigidity to the conductive layer. It is preferably H or more and 3
More than H is more preferable.

【0018】なお、このハードコート層11は、設けた
方がパネル自体の耐久性が向上するので好ましいが、も
ちろんなくても構わない。
It is preferable to provide the hard coat layer 11 because the durability of the panel itself is improved, but it is not necessary to provide it.

【0019】また、導電層形成部材23の表面にもこの
ようなハードコート層を形成することもできる。
Also, such a hard coat layer can be formed on the surface of the conductive layer forming member 23.

【0020】*導電層14及び25について 導電層14及び25は、透明性でしかも導電性を有する
金属酸化物である。導電層14及び25には、ITO、
酸化インジウム、アンチモン添加酸化錫、フッ素添加酸
化錫、アルミニウム添加酸化亜鉛、カリウム添加酸化亜
鉛、シリコン添加酸化亜鉛、或は酸化亜鉛−酸化錫系、
酸化インジウム−酸化錫系、酸化亜鉛−酸化インジウム
−酸化マグネシウム系金属酸化物を用いることができ
る。
* About the conductive layers 14 and 25 The conductive layers 14 and 25 are transparent and conductive metal oxides. The conductive layers 14 and 25 have ITO,
Indium oxide, antimony-added tin oxide, fluorine-added tin oxide, aluminum-added zinc oxide, potassium-added zinc oxide, silicon-added zinc oxide, or zinc oxide-tin oxide system,
Indium oxide-tin oxide-based and zinc oxide-indium oxide-magnesium oxide-based metal oxides can be used.

【0021】導電層14及び25のパネルの中央部に位
置するというパターンは、アンダーコート層13及び2
4上全面に導電性の膜を形成した後、ウェットエッチン
グにより形成する。
The pattern in which the conductive layers 14 and 25 are located in the central portion of the panel has a pattern of the undercoat layers 13 and 2.
4 is formed by wet etching after forming a conductive film on the entire surface.

【0022】次いで、銀インクや銀とカーボンとの混合
インクを用いて塗布印刷により電極141,142、1
43、144、251、252、253、配線パターン
145、146、255、256を形成する。
Next, the electrodes 141, 142, 1 are formed by coating printing using a silver ink or a mixed ink of silver and carbon.
43, 144, 251, 252, 253, and wiring patterns 145, 146, 255, 256 are formed.

【0023】*アンダーコート層13、24、密着層1
5、26について アンダーコート層13(24)は、導電層14(25)
に近い順に屈折率がそれぞれ異なる金属酸化物からなる
絶縁性の2つの層、13a(24a)、13b(24
b)を備える。ここで、導電層及びアンダーコート層
(上下の2層)は、それぞれの層の屈折率が順に、高、
低、高となるように設計し、これらの積層された構造物
での光透過率がより高くなるようにしてある。
* Undercoat layers 13 and 24, adhesion layer 1
5 and 26, the undercoat layer 13 (24) is the conductive layer 14 (25)
Two insulating layers 13a (24a) and 13b (24) made of metal oxides having different refractive indices in the order of
b). Here, the conductive layer and the undercoat layer (upper and lower two layers) have higher refractive indexes in order,
It is designed to be low and high so that the light transmittance of these laminated structures is higher.

【0024】層13b(24b)は、密着層15(2
6)を介して、ハードコート層11(導電層形成部材2
3)に密着している。密着層15(26)は、金属元素
単一又は2種以上の金属元素の合金からなる金属層であ
り、シリコン、チタン、錫又は亜鉛の元素単一、或いは
これらの合金により形成することが好ましい。
The layer 13b (24b) is the adhesion layer 15 (2
6) via the hard coat layer 11 (conductive layer forming member 2).
It is in close contact with 3). The adhesion layer 15 (26) is a metal layer composed of a single metal element or an alloy of two or more metal elements, and is preferably formed of a single element of silicon, titanium, tin or zinc, or an alloy thereof. .

【0025】密着層15及び25の厚みは、従来から一
般的に用いられていた酸化珪素(SiOx;X≦2)から
なる密着層よりも薄く、10Å〜50Åに設定すること
が望ましい。これは、50Åを超えると、光透過率が落
ち、アンダーコート層を介在させる意義がなくなるから
であり、一方、10Åよりも薄いと、十分な密着性が得
られないからである。
The thickness of the adhesion layers 15 and 25 is preferably thinner than the adhesion layer made of silicon oxide (SiO x ; X≤2) which has been generally used in the past, and is preferably set to 10Å to 50Å. This is because if it exceeds 50 Å, the light transmittance is lowered, and the significance of interposing the undercoat layer is lost. On the other hand, if it is less than 10 Å, sufficient adhesion cannot be obtained.

【0026】密着層15及び26は、従来から一般的な
スパッタリング法、抵抗蒸着法、電子ビーム蒸着法など
の真空薄膜化技術を適応して形成することができる。
The adhesion layers 15 and 26 can be formed by applying a vacuum thinning technique such as a conventional general sputtering method, resistance vapor deposition method, electron beam vapor deposition method.

【0027】また、アンダーコート層13及び24を形
成する金属酸化物には、酸化珪素、酸化チタン、酸化
錫、酸化錫−酸化ハフニウム系、酸化珪素−酸化錫系、
酸化亜鉛−酸化錫系、酸化錫−酸化チタン系等を用いる
ことができる。このような屈折率の異なる層を設けるこ
とによって、パネル自体の光透過率をより向上させるこ
とができる。
The metal oxides forming the undercoat layers 13 and 24 include silicon oxide, titanium oxide, tin oxide, tin oxide-hafnium oxide type, silicon oxide-tin oxide type, and
A zinc oxide-tin oxide type, a tin oxide-titanium oxide type, or the like can be used. By providing such layers having different refractive indexes, the light transmittance of the panel itself can be further improved.

【0028】このアンダーコート層13及び24もスパ
ッタリング法、抵抗蒸着法、電子ビーム蒸着法などの真
空薄膜化技術を適応して形成することができるが、スパ
ッタリング法によって2種類以上の金属の酸化物から構
成されたアンダーコート層13、24の各層を形成する
場合、それら金属の単体をスパッタリングする原料とす
るよりも、それら金属の合金を原料として用いた方がス
パッタ効率が向上するので同じ膜厚に設定する場合に生
産性が向上するので望ましい。
The undercoat layers 13 and 24 can also be formed by applying a vacuum thinning technique such as a sputtering method, a resistance vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method or the like, but an oxide of two or more kinds of metals can be formed by the sputtering method. When forming each of the undercoat layers 13 and 24 composed of, the sputtering efficiency is improved when an alloy of these metals is used as a raw material than when a simple substance of those metals is used as a raw material for sputtering. When set to, it is desirable because productivity is improved.

【0029】*接着層27について 接着層27は、粘着剤と可塑剤との混合物からなる所定
の厚み(例えば、5〜100μm)の薄層である。粘着
剤としては例えば、ゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤、
シリコーン系粘着剤等を用いることができる。
* About Adhesive Layer 27 The adhesive layer 27 is a thin layer made of a mixture of an adhesive and a plasticizer and having a predetermined thickness (for example, 5 to 100 μm). Examples of the adhesive include a rubber-based adhesive, an acrylic-based adhesive,
A silicone adhesive or the like can be used.

【0030】押圧による入力操作が行われたときに、デ
ィスプレイ側の導電層25にも押圧は伝わり、当該導電
層25の一部は凹形状に弾性変形する。この弾性変形が
繰り返し行われれば、最悪は導電層自体の復元性が失わ
れてしまう。こうなれば、導電層25の表面に凹部が残
ったままになり、タッチパネルを用いた入力操作が適切
に行われなくなってしまう。ここで、接着層27は、導
電層25に弾性を付与する役割を果たし、このような問
題を回避するのに寄与する。
When an input operation by pressing is performed, the pressing is also transmitted to the conductive layer 25 on the display side, and a part of the conductive layer 25 is elastically deformed into a concave shape. If this elastic deformation is repeated, in the worst case, the restorability of the conductive layer itself is lost. In this case, the recess remains on the surface of the conductive layer 25, and the input operation using the touch panel cannot be performed properly. Here, the adhesive layer 27 plays a role of imparting elasticity to the conductive layer 25 and contributes to avoiding such a problem.

【0031】*導電層形成部材12、支持部材22及び
導電層形成部材23について 導電層形成部材12及び23には、ポリオレフィン系樹
脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリメチルメタクリラー
トなどのアクリル樹脂、ポリエチレンテレフタラート等
の素材からなる透明性シートを用いることができる。
* Conductive Layer Forming Member 12, Support Member 22, and Conductive Layer Forming Member 23 The conductive layer forming members 12 and 23 include polyolefin resin, polycarbonate resin, acrylic resin such as polymethylmethacrylate, and polyethylene terephthalate. A transparent sheet made of such materials as described above can be used.

【0032】支持部材22には、ガラス基板、ポリカー
ボネート又はポリメチルメタクリラートなどのアクリル
樹脂基板、ポリオレフィン系樹脂基板を用いることがで
きる。
As the support member 22, a glass substrate, an acrylic resin substrate such as polycarbonate or polymethylmethacrylate, or a polyolefin resin substrate can be used.

【0033】ただし、落下などによる耐衝性や軽量性を
考慮すると、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリラ
ートなどのアクリル樹脂、ポリエチレンテレフタラート
又はポリオレフィン系樹脂基板を用いることが好まし
く、又耐熱性をも考慮するとポリカーボネート、ポリオ
レフィン系樹脂がより好ましい。
However, considering impact resistance and lightness due to dropping, it is preferable to use an acrylic resin such as polycarbonate or polymethylmethacrylate, polyethylene terephthalate or a polyolefin resin substrate, and also considering heat resistance. Polycarbonate and polyolefin resin are more preferable.

【0034】*アンダーコート層とハードコート層及び
導電層形成部材との密着性が向上する理由 上記したように密着層をシリコンなどの金属で形成すれ
ば、金属のもつ反応性ゆえに、当該密着層形成後でもそ
れ自体には反応性が残るので、金属層自体が接触するア
ンダーコート層、ハードコート層及び導電層形成部材と
化学的に結合する。このことは、金属元素単一であろう
と金属元素複数からなる合金であろうと同様である。こ
れに対して、従来の酸化珪素の場合、密着層自体の反応
性に乏しい。従って、密着層をシリコンなどの金属で形
成すれば、アンダーコート層とハードコート層、導電層
形成部材との高い密着性が得られるものと考えられる。
* The reason why the adhesion between the undercoat layer and the hard coat layer and the conductive layer forming member is improved. If the adhesion layer is made of a metal such as silicon as described above, the adhesion layer has a reactivity due to the metal. Since the metal layer itself remains reactive even after formation, it chemically bonds with the undercoat layer, the hard coat layer and the conductive layer forming member with which the metal layer contacts. This is the same whether it is a single metal element or an alloy composed of a plurality of metal elements. On the other hand, in the case of conventional silicon oxide, the adhesion layer itself has poor reactivity. Therefore, it is considered that when the adhesion layer is formed of a metal such as silicon, high adhesion between the undercoat layer, the hard coat layer and the conductive layer forming member can be obtained.

【0035】*その他 以上説明した実施の形態に限定されず、以下の変形例が
考えられる。
* Others The present invention is not limited to the embodiments described above, and the following modifications are possible.

【0036】(1) 上記構成ではアンダーコート層
は、複数層に形成したが、これは1層(酸化珪素など)
であっても無論構わない。
(1) In the above structure, the undercoat layer is formed in a plurality of layers, but this is one layer (silicon oxide or the like).
Of course, it doesn't matter.

【0037】(2) 上記パネル構成では、導電層形成
部材23には樹脂を用いたが、これに限定されず、ガラ
スをはじめとする無機系の材料を用いて構成し、これに
直接ITO等の導電層を形成し、これと予め密着層を形成
した支持部材と貼り合わせた構成とすることもできる。
この場合、ガラス製の導電層形成部材23は、アンダー
コート層を兼用することになる。
(2) In the above panel structure, the conductive layer forming member 23 is made of resin, but not limited to this, it is made of an inorganic material such as glass, and ITO or the like is directly applied to the member. It is also possible to form a conductive layer and to attach it to a support member on which an adhesive layer is formed in advance.
In this case, the conductive layer forming member 23 made of glass also serves as the undercoat layer.

【0038】[実施例]上記した実施の形態に基づい
て、下記表1に示すような導電層形成部材、導電層、ア
ンダーコート層及び密着層とからなる透明導電性フィル
ムを作製した。
[Example] Based on the above-mentioned embodiment, a transparent conductive film comprising a conductive layer forming member, a conductive layer, an undercoat layer and an adhesion layer as shown in Table 1 below was produced.

【0039】[0039]

【表1】 フィルム、、は実施例に係る透明導電性フィルム
であり、フィルム、、は比較例である。
[Table 1] Films are transparent conductive films according to the examples, and films are comparative examples.

【0040】すなわち、フィルムは、導電層形成部材
にはポリエチレンテレフタラート(PET)を用い、密着
層は厚み10Åのシリコン膜で、アンダーコート層は厚
み500の酸化珪素膜で、導電層は厚み300ÅのITO
の膜でそれぞれ構成されている。
That is, in the film, polyethylene terephthalate (PET) was used for the conductive layer forming member, the adhesion layer was a silicon film having a thickness of 10Å, the undercoat layer was a silicon oxide film having a thickness of 500, and the conductive layer was a thickness of 300Å. ITO
It is composed of each film.

【0041】フィルムは、導電層形成部材にはフィル
ム同様にポリエチレンテレフタラート(PET)を用
い、密着層は厚み10Åのシリコン膜で、導電層は厚み
300ÅのITOの膜で構成している。そして、アンダー
コート層は2層で構成し、導電層形成部材寄り側には厚
み600Åの酸化亜鉛−酸化錫系の膜を配し、その上層
には、厚み450Åの酸化珪素の膜を配した。
Like the film, polyethylene terephthalate (PET) is used for the conductive layer forming member of the film, the adhesion layer is made of a silicon film having a thickness of 10 Å, and the conductive layer is made of an ITO film having a thickness of 300 Å. The undercoat layer is composed of two layers, a zinc oxide-tin oxide based film having a thickness of 600Å is arranged on the side closer to the conductive layer forming member, and a silicon oxide film having a thickness of 450Å is arranged as an upper layer. .

【0042】フィルムは、密着層が亜鉛と錫の合金で
構成されてある以外はフィルムと同様の構成である。
The film has the same structure as the film except that the adhesion layer is made of an alloy of zinc and tin.

【0043】フィルムは、密着層がシリコンと錫の合
金で構成されてある以外はフィルムと同様の構成であ
る。
The film has the same structure as the film, except that the adhesion layer is composed of an alloy of silicon and tin.

【0044】フィルムは、フィルムの構成におい
て、密着層が配されていないフィルムである。
The film is a film in which the adhesion layer is not arranged in the film structure.

【0045】フィルムは、フィルム〜の構成にお
いて、密着層が配されていないフィルムである。
The film is a film in which the adhesion layer is not provided in the constitutions of film to.

【0046】なお、各フィルム〜の550nmの波
長の可視光透過率は、表1の最右欄に記したように、フ
ィルムが90.5%、フィルムが90.7%、フィ
ルムが95.1%、フィルムが95.2%、フィル
ムが94.8%、フィルムが95.0%に設定され
ており、中でも、フィルム〜では、アンダーコート
層を2層にすることにより1層の場合よりも光透過率を
より高く設定し、フィルムの透明性の向上を図ってあ
る。
The visible light transmittances of the wavelengths of 550 nm of the respective films are, as described in the rightmost column of Table 1, 90.5% for the film, 90.7% for the film, and 95.1 for the film. %, The film is set to 95.2%, the film is set to 94.8%, and the film is set to 95.0%. Above all, in the case of film, by forming the undercoat layer into two layers, it is more than in the case of one layer. The light transmittance is set higher to improve the transparency of the film.

【0047】以上のような構成のフィルム〜を用い
て、以下の実験を行い、それらの特性を調べた。
The following experiments were carried out using the films having the above-mentioned structures to examine their characteristics.

【0048】実験1(アルカリ耐性実験);2%NaC水
溶液(25℃下)に作製した各フィルムを所定時間(5
分間、15分間、5時間、15時間)、侵漬放置し、水
洗した後、テープ剥離試験を行ったもののITO電極表面
を顕微鏡観察し、加えてITO電極表面の抵抗値をも測定
した。
Experiment 1 (alkali resistance experiment): Each film prepared in a 2% aqueous solution of NaCl (under 25 ° C.) was subjected to a predetermined time (5
(15 minutes, 15 minutes, 5 hours, 15 hours), after immersion, and after washing with water, the tape peeling test was performed, and the ITO electrode surface was observed under a microscope and the resistance value of the ITO electrode surface was also measured.

【0049】テープ剥離試験では、粘着性を有するテー
プを透明導電性フィルムのITO電極側に貼り付け、これ
を引き剥がすという操作を1回だけ行う。
In the tape peeling test, an adhesive tape is attached to the ITO electrode side of the transparent conductive film, and this is peeled off only once.

【0050】実験2(高温多湿耐性実験);この実験で
は、作製した各フィルムを温度80℃、湿度90%とい
う高温で多湿の環境下に所定時間(24時間、120時
間、500時間)放置したのち、前記テープ剥離試験を
行ったもののITO電極表面を顕微鏡観察し、加えてITO電
極表面の抵抗値をも測定した。
Experiment 2 (high temperature and high humidity resistance experiment): In this experiment, each of the produced films was left in a high temperature and high humidity environment of 80 ° C. and 90% humidity for a predetermined time (24 hours, 120 hours, 500 hours). After that, the ITO electrode surface of the tape peeling test was observed under a microscope, and the resistance value of the ITO electrode surface was also measured.

【0051】これらの実験1及び2により導電層形成部
材であるPETフィルムと密着層との密着性を評価する。
By the experiments 1 and 2, the adhesion between the PET film, which is a conductive layer forming member, and the adhesion layer is evaluated.

【0052】実験の結果;実験1及び2の結果を下記表
2に示した。
Results of Experiments; Results of Experiments 1 and 2 are shown in Table 2 below.

【0053】[0053]

【表2】 なお、この表で、顕微鏡観察の結果の欄に、○、△、×
という記号が付してあるが、これらは、導電層の表面状
態の変化の程度の違いを表すものであり、○は変化な
し、△は導電層は剥離していないが表面にクラックが発
生しているもの、×は導電層が剥離しているものを表
す。また、抵抗値は、初期値(フィルムは320Ω/
単位面積、フィルムは300Ω/単位面積、フィルム
は302Ω/単位面積、フィルムは310Ω/単位
面積、フィルムは305Ω/単位面積、フィルムは
298Ω/単位面積である。)に対する変化率で表して
いる。
[Table 2] In addition, in this table, in the column of the result of the microscope observation, ○, △, ×
These symbols represent the difference in the degree of change in the surface state of the conductive layer. ○ indicates no change, and △ indicates that the conductive layer is not peeled but cracks occur on the surface. The symbol x indicates that the conductive layer is peeled off. In addition, the resistance value is the initial value (320Ω /
Unit area, film: 300Ω / unit area, film: 302Ω / unit area, film: 310Ω / unit area, film: 305Ω / unit area, film: 298Ω / unit area. ).

【0054】この表に示す結果を観て明らかなように、
密着層を配していない、比較例に係るフィルム、
は、アルカリ耐性実験において、あまりよい結果は得ら
れなかった。すなわち、これらのフィルムでは、5分間
アルカリ水溶液に侵漬しただけで、顕微鏡観察の結果、
導電層表面にはクラックが発生しており、5時間アルカ
リ水溶液に侵漬したものであれば、導電層は明らかに剥
離していた。また、導電層の表面抵抗値は、侵漬する時
間が長くなるのつれて、抵抗値の上昇が認められ、双方
ともに、15時間の侵漬では、測定不可能な程度にま
で、上昇していた。
As is apparent from the results shown in this table,
A film according to a comparative example, which is not provided with an adhesion layer,
Did not give very good results in the alkali tolerance experiment. That is, with these films, as a result of microscopic observation, the film was immersed in an alkaline aqueous solution for 5 minutes.
A crack was generated on the surface of the conductive layer, and if it was immersed in an alkaline aqueous solution for 5 hours, the conductive layer was clearly peeled off. In addition, the surface resistance of the conductive layer increased as the immersion time became longer, and both of them increased to such an extent that they could not be measured after 15 hours of immersion. It was

【0055】これに対して、実施例に係るフィル
及びでは、良好な結果が得られた。すなわち、15
時間アルカリ水溶液に侵漬した場合にも、フィルム及
びでクラックの発生が認められた程度で剥離は観察さ
れず、抵抗値は、15時間経過しても最大で初期値の
1.13倍にしかなっていなかった。
[0055] On the other hand, the fill-time according to the first embodiment,
In and, good results were obtained. That is, 15
Even when immersed in an alkaline aqueous solution for a period of time, peeling was not observed to the extent that cracks were found in the film and the resistance value was only 1.13 times the initial value even after 15 hours. It wasn't.

【0056】次に、高温多湿耐性実験の結果を観てみる
と、比較例に係るフィルム、は、あまりよい結果は
得られなかった。すなわち、これらのフィルムでは、1
20時間で、顕微鏡観察の結果、導電層表面にはクラッ
クが発生しており、高温多湿環境におく時間が長くなる
つれて、抵抗値の上昇が認められ、500時間では、初
期抵抗値の4倍付近に達していた。
Next, looking at the results of the high temperature and high humidity resistance experiment, the film according to the comparative example did not give very good results. That is, in these films
As a result of microscopic observation at 20 hours, a crack was generated on the surface of the conductive layer, and an increase in the resistance value was observed as the time of keeping in the high temperature and high humidity environment was increased. At 500 hours, the initial resistance value was 4%. It was almost double.

【0057】これに対して、実施例に係るフィル
及びでは、良好な結果が得られた。すなわち、50
0時間、高温多湿環境においた場合にも、すべてのフィ
ルムで変形は認められず、抵抗値は、500時間でも最
大で初期値の1.15倍にしかなっていなかった。
[0057] On the other hand, the fill-time according to the first embodiment,
In and, good results were obtained. That is, 50
Even when the film was placed in a high temperature and high humidity environment for 0 hours, no deformation was observed in all the films, and the resistance value was 500 times maximum, which was 1.15 times the initial value.

【0058】これらの実験結果は、実施例に係るフィル
、及びは、比較例に係るフィルム及びに比
べ、導電層の密着性が極めて高いことを表し、従って、
金属で構成した密着層の有効性を示すものである。
The results of these experiments are shown in
And , and, as compared with the film according to the comparative example, and shows that the adhesion of the conductive layer is very high, therefore,
This shows the effectiveness of the adhesion layer made of metal.

【0059】なお、比較例に係るフィルムよりもフィ
ルムの方が、アルカリ耐性実験及び高温多湿耐性試験
双方において抵抗値の上昇率が小さかった。これは、フ
ィルムに配した、アンダーコート層の一層がPETフィ
ルムとの密着性向上に若干ではあるが貢献していること
を示すものである。
The rate of increase of the resistance value of the film was smaller than that of the film of the comparative example in both the alkali resistance test and the high temperature and high humidity resistance test. This indicates that one layer of the undercoat layer provided on the film slightly contributes to the improvement of the adhesion to the PET film.

【0060】以上説明してきたように本発明の透明導電
性フィルムは、導電層形成フィルムと、導電層と、導電
層形成フィルムと導電層との間に形成された金属酸化物
からなるとともに光学的特性の異なる2層からなる層
で、透明導電性フィルム全体の光透過率を設ける前と比
べて高めるためのアンダーコート層(導電性を有するも
のを除く)と、前記アンダーコート層と導電層形成フィ
ルムとの間に形成された前記金属酸化物に含まれる単一
の金属元素又は前記金属酸化物に含まれる少なくとも1
種を含む2種以上の金属元素の合金からなる金属層とを
備えている。
As described above, the transparent conductive material of the present invention
The conductive film, a conductive layer forming film, a conductive layer, a layer composed of a metal oxide formed between the conductive layer forming film and the conductive layer and two layers having different optical characteristics
Therefore, compared with before setting the light transmittance of the entire transparent conductive film.
Undercoat layer to increase overall
And a single metal element contained in the metal oxide formed between the undercoat layer and the conductive layer forming film or at least 1 contained in the metal oxide.
And a metal layer made of an alloy of two or more kinds of metal elements including seeds.

【0061】これにより、アンダーコート層と透明導電
性フィルムとの密着性を向上させ、導電層の脱落等を防
止することができる。
This makes it possible to improve the adhesion between the undercoat layer and the transparent conductive film and prevent the conductive layer from falling off.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施の形態に係る透明導電性フィルムを適応し
たタッチパネルの分解図である。
FIG. 1 is an exploded view of a touch panel to which a transparent conductive film according to an embodiment is applied.

【図2】前記タッチパネルの断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the touch panel.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 タッチパネル 10 タッチ側基板 11 ハードコート層 12 導電層形成部材 13 アンダーコート層 14 導電層 15 密着層 20 ディスプレイ側基板 21 ハードコート層 22 支持部材 23 導電層形成部材 24 アンダーコート層 25 導電層 26 密着層 27 接着層 30 スペーサ 31 空気層 40 接着剤 141,142 電極 143、144 コネクタ電極 145,146 配線パターン 251,252 電極 253,254 コネクタ電極 255,256 配線パターン 1 touch panel 10 Touch side substrate 11 Hard coat layer 12 Conductive layer forming member 13 Undercoat layer 14 Conductive layer 15 Adhesion layer 20 Display side board 21 Hard coat layer 22 Support member 23 Conductive layer forming member 24 Undercoat layer 25 Conductive layer 26 Adhesion layer 27 Adhesive layer 30 spacers 31 Air layer 40 adhesive 141,142 electrodes 143, 144 Connector electrode 145,146 Wiring pattern 251,252 electrodes 253,254 Connector electrode 255,256 wiring pattern

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷村 功太郎 滋賀県守山市森川原町163番地 グンゼ 株式会社 研究開発部内 (56)参考文献 特開 平9−24574(JP,A) 特開 平4−28114(JP,A) 特開 平8−267645(JP,A) 特開 平10−323932(JP,A) 特開 平11−20076(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B32B 1/00 - 35/00 H01B 5/14 EUROPAT(QUESTEL) WPI/L(QUESTEL)─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Kotaro Tanimura, 163 Morikawahara-cho, Moriyama-shi, Shiga Gunze Co., Ltd. Research and Development Department (56) Reference JP 9-24574 (JP, A) JP 4-28114 (JP, A) JP 8-267645 (JP, A) JP 10-323932 (JP, A) JP 11-20076 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7) , DB name) B32B 1/00-35/00 H01B 5/14 EUROPAT (QUESTEL) WPI / L (QUESTEL)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 導電層形成フィルムと、導電層と、導電
層形成フィルムと導電層との間に形成された金属酸化物
からなるとともに光学的特性の異なる2層からなる層
で、透明導電性フィルム全体の光透過率を設ける前と比
べて高めるためのアンダーコート層(導電性を有するも
のを除く)と、前記アンダーコート層と導電層形成フィ
ルムとの間に形成された前記金属酸化物に含まれる単一
の金属元素又は前記金属酸化物に含まれる少なくとも1
種を含む2種以上の金属元素の合金からなる金属層とを
備えることを特徴とする透明導電性フィルム。
1. A layer composed of a conductive layer forming film, a conductive layer, and a metal oxide formed between the conductive layer forming film and the conductive layer, and two layers having different optical characteristics.
Therefore, compared with before setting the light transmittance of the entire transparent conductive film.
Undercoat layer to increase overall
And a single metal element contained in the metal oxide formed between the undercoat layer and the conductive layer forming film or at least 1 contained in the metal oxide.
A transparent conductive film, comprising a metal layer made of an alloy of two or more metal elements including a seed.
【請求項2】前記アンダーコート層は、光屈折率が異な
る2つの層により構成され、当該光屈折率が低い層が光
屈折率が高い層よりも導電層に近い位置にあることを特
徴とする請求項1に記載の透明導電性フィルム。
2. The undercoat layer is composed of two layers having different photorefractive indexes, and the layer having the low photorefractive index is closer to the conductive layer than the layer having the high photorefractive index. The transparent conductive film according to claim 1.
【請求項3】前記金属層は、シリコン、チタン、スズ及
び亜鉛からなる群から選ばれた金属からなることを特徴
とする請求項1又は2に記載の透明導電性フィルム。
3. The transparent conductive film according to claim 1, wherein the metal layer is made of a metal selected from the group consisting of silicon, titanium, tin and zinc.
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JP2006196200A (en) * 2005-01-11 2006-07-27 Idemitsu Kosan Co Ltd Transparent electrode and its manufacturing method
WO2006075506A1 (en) * 2005-01-11 2006-07-20 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Transparent electrode and method for fabricating same
US20060275558A1 (en) * 2005-05-17 2006-12-07 Pecorini Thomas J Conductively coated substrates derived from biaxially-oriented and heat-set polyester film
JP5786403B2 (en) * 2011-03-29 2015-09-30 凸版印刷株式会社 Transparent conductive laminate and touch panel using the same
JP2014211663A (en) 2011-09-02 2014-11-13 シャープ株式会社 Touch panel and method of manufacturing touch panel
US20230228913A1 (en) * 2020-11-30 2023-07-20 Dexerials Corporation Optical laminate and article
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