JP3217069B2 - 分光計測定の比較を可能にするための方法と装置組合せ - Google Patents

分光計測定の比較を可能にするための方法と装置組合せ

Info

Publication number
JP3217069B2
JP3217069B2 JP52401497A JP52401497A JP3217069B2 JP 3217069 B2 JP3217069 B2 JP 3217069B2 JP 52401497 A JP52401497 A JP 52401497A JP 52401497 A JP52401497 A JP 52401497A JP 3217069 B2 JP3217069 B2 JP 3217069B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spectrometer
spectrum
measuring
approximation function
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP52401497A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH10510926A (ja
Inventor
メトフェッセル、ジェニファー
Original Assignee
ブラン ウント ロイベ ゲーエムベーハー
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ブラン ウント ロイベ ゲーエムベーハー filed Critical ブラン ウント ロイベ ゲーエムベーハー
Publication of JPH10510926A publication Critical patent/JPH10510926A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3217069B2 publication Critical patent/JP3217069B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/27—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
    • G01N21/274—Calibration, base line adjustment, drift correction
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、同一系列の同タイプの個々の測定装置によ
る、好ましくは近赤外領域の分光計測定の比較を可能に
するための方法ならびに装置組合せに関する。
近赤外分光計は広い範囲で使用されている。これらの
分光計は気体および固体の分析に用いられる。精度に関
する要件が絶えず厳しくなっているので、これらの装置
の正確な較正が特に重要になってきた。その際に特に重
要なのは、ある分光計で得られたある試料の測定値が、
同種の別の分光計で再現可能なことである。
さらにスペクトル測定の精度は、測定試料自体の変化
によって、例えば不均質な材料のコンシステンシまたは
寸法の変化によって損なわれる。粒度の効果を減少させ
るための規格化の方法は、例えばUS−PS5,132,538に記
載されている。
測定装置を標準化するために、自然の（絶対的）標準
を利用することは一般に知られており、例えば気体のス
ペクトル吸収帯を利用して、分光計の波長スケーリング
を較正しようとするものがある。赤外および近赤外スペ
クトル領域では、波長スケールの標準化がこの分野での
最新技術になっている。一方、強度スケールの方はまだ
標準化されていない。試料を「100％」標準試料または
基準試料に対して相対的に測定する。反射測定の場合
は、これは通常「100％」反射体を意味する。透過測定
の場合、これは通常、光線中に試料がないときの信号値
を意味する。さらに「ゼロ信号」は、物理的に光線が検
出器に達するのを妨げることによって測定できる。試料
のこの信号は測定したオフセット信号をによってその後
に補正することができる。
測定したオフセット信号ですでに補正された信号Smと
Srから、Sm/SrがIm/Irに正比例すると想定される。
ただし Smは試料測定時の信号を意味し、 Srは基準試料測定時の信号を意味し、 Imは試料によって反射された、あるいは試料中を透過
した光の真の強度信号であり、 Irは基準試料によって反射された、あるいはその中を
透過した光の真の強度信号である。
実際には分光計の構造は、検出器がその特性曲線の直
線領域で動作するように設計することによって、特にこ
のような状況を考慮に入れている。その際に使用者は、
できる限りImとIrを同一の境界条件のもとで測定しなけ
ればならない。しかし上記のように動作する今日の最新
の分光計も、特定の試料のそれ自体整合性のある反射信
号または透過信号を測定する際にはうまく機能しない場
合が多い。個々の分光計の間の分光感度の（強度スケー
ル上での）差は、同一系列の分光計の場合でさえ極めて
大きいことがある。ある場合には、分光計の感度はIm/I
rに正比例するが、線形比例係数は装置間で互いに異な
ることがある。また別の場合には、Sm/Srは、より複雑
な形でIm/Irと関係し、線形にはならないことがある。
線形比例係数が装置間で異なる理由は、基準試料の反
射の違いや、光学的調節の違いや、試料ホルダの機械的
公差などにあることが知られている。
Sm/SrとIm/Irとが直線関係にならない理由は、検出器
の特性曲線が直線でないか、あるいは試料の反射（透
過）に依存する散乱光が存在するためである可能性があ
る。非直線性の別の理由は屈折率の大きな相違による光
学的境界層での多重反射である可能性がある。非直線性
の効果は試料との接触箇所で特に明確に現れ、また例え
ば石英（屈折率ｎ＝1.45）の代わりにサファイア（ｎ＝
1.75）を窓材料として使用する場合、さらに強くなる。
それでも、多くの応用分野では、サファイア窓は、例え
ばその優れた強度と抵抗力のために必要である。
したがって本発明の根底となる課題は、同じ種類の多
数のスペクトル測定を行う際に得られる精度と再現可能
性を改善することにある。
この課題は、以下の工程段階を特徴とする冒頭に挙げ
た種類の方法によって解決される。
− 同系列の個々の分光計における保証済み標準試料の
公称スペクトルを記憶する、 − 同系列の個々の分光計で標準試料のいくつかの比較
スペクトルを測定する、 − 標準試料の各波長点ごとに公称スペクトルと比較ス
ペクトルの偏差の近似関数のパラメータを計算する、 − 各波長点ごとにパラメータを装置に記憶する、 − 未知の試料のスペクトルを測定する、 − 近似関数から得られた方程式を適用して、未知の試
料のスペクトル測定値の各波長点ごとの真の値を計算す
る、 − 補正したスペクトルを実際スペクトルとして出力す
る。
したがってこの方法は、装置と、測定評価のための１
組の標準試料と、補正のためのパラメータの計算とを関
連付けている。この方法の利点は、１つの標準から導出
される、絶対的な拡散反射率または吸収係数に基づいて
いるため、特定の親装置から独立していることにある。
親システムはいつでも交換しまたは複製することができ
る。
この方法はさらに、標準試料が適切な方法で定義され
ているならば、あらゆる種類のスペクトル測定、即ち、
透過測定、反射測定あるいは吸収測定に適する。標準試
料は関連する測定範囲をカバーし、安定した物理的特性
を備えていなければならない。
この方法の有利な実施例では、例えば拡散反射率が２
％、10％、20％、40％、50％、60％、80％、99％の８種
類の標準試料を用意する。
装置技術の種類の影響は、近似関数を少なくとも２次
またはそれより高次とすることによって除去することが
できる。
未知試料の測定精度は、各反射率ごとに比較スペクト
ルの測定を最低３回行い、その値を好ましくは各波長点
ごとに平均することにより改善される。
近似関数のパラメータを計算する際に、様々な反射率
をもつ試料のスペクトルを、各波長点ごとの近似関数の
パラメータの計算に援用するようになっている。
近似関数の品質を各波長点における標準偏差または相
関係数の計算によって求めるこの処置によって、常に測
定結果の信頼性の検査が可能となる。
この課題はさらにこの方法を実施するための分光計に
よって解決される。この分光計は複数の公称スペクトル
用の第１のメモリと、様々な標準試料の比較スペクトル
用の第２のメモリを備えており、各波長点ごとのスペク
トルの比較から近似関数のパラメータを求めることがで
きる。
この目的のために、比較スペクトルを標準試料の公称
スペクトルと比較することにより、各波長点ごとに近似
関数のパラメータを計算するためのユニットを備えてい
る。
近似関数の各波長点ごとにパラメータ用の第３のメモ
リを備えているため、見つかった値またはパラメータ
は、装置内でいつでも利用できる。
未知試料のスペクトルを記憶するための第４のメモリ
を備えているため、本来の測定と測定値の処理は互いに
独立に行われる。
未知試料の各波長点ごとに近似関数によって決定され
る方程式により実際値を計算するための計算ユニットを
備えているため、未知試料の「真の」スペクトルの決定
が自動的に行われる。
近似関数の品質を計算するための計算ユニットを備え
ているため、測定および装置の信頼性はいつでも検査す
ることができる。
補正された「真の」スペクトルを実際スペクトルとし
て出力するための出力ユニットが設けられている。
分光計には、分光計の分光測定の比較を可能にするた
めの１組の標準試料が割り当てられるので、同一タイプ
の全系列の装置の測定を比較することができる。
この方法を実施するためのプログラム記憶式制御装置
を備えている場合、この方法は外部の介入なしに進行す
る。この方法の個々の段階は制御装置のプログラム・メ
モリにファイルされている。
この方法は、装置間で異なる感度の影響を回避する。
試料の組成あるいは寸法の相違は、この方法では、ある
いは分光計自体によっては考慮されない。したがって有
利な実施例では、同じタイプの装置では、同じ寸法のホ
ルダに試料が収容され、そのホルダが好ましくはインデ
ックスが付けてあるため、位置の変化も避けることがで
きる。
本発明のその他の詳細、特徴および利点は、図面を参
照した以下の説明から明らかとなろう。唯一の図は、こ
の方法を実施するための本発明による装置のブロック回
路図である。
図はこの方法を実施するための装置のブロック回路図
を示す。その際に近似関数として非直線的依存関係を有
する２次関数を想定している。この装置は公称値スペク
トル用のメモリ１と、比較スペクトル用のメモリ２を備
えている。計算ユニット３は各波長点ごとにそれぞれ１
組のパラメータを有し、これは近似関数の係数を表し、
比較スペクトルを標準試料の公称スペクトルと比較する
ことによって計算される。パラメータの値はメモリ４に
記憶される。さらに未知の試料スペクトルを記憶するた
めのメモリ５が存在する。計算ユニット６によって未知
の試料のスペクトルの各波長点ごとに実際値が計算さ
れ、続いてメモリ７にファイルされ、最後に補正された
スペクトルが実際スペクトルとして出力装置８から出力
される。
次に述べる標準化のための方法は、拡散反射の測定の
ために開発されたもので、光ファイバ・センサとともに
近赤外線分光計を使用する。光ファイバ・センサの尖端
の保護窓は、コランダム製である。測定中、窓は試料に
接触しているか、あるいは試料の極めて近くにある（間
隔約0.1mm）。この場合、Sm/SrとIm/Irの間の関係は、
２次方程式によってよく記述することができる。これは
コランダムと反射体の境界面での多重反射が、はっきり
した２次成分に寄与するためである。
この方法を実施するには、まず２％、10％、20％、40
％、50％、60％、80％、99％の拡散反射率をもつ８個の
標準試料を分光計で測定する。その結果、波長（約450
データ点）に応じて８種の拡散反射スペクトルが得られ
る。８個の標準試料の測定を３回繰り返す。新しい測定
シリーズの前に、基準試料を改めて測定する。
３個の拡散反射スペクトルを各値ごとに平均して平滑
化し、その際にSavitsky−Golayアルゴリズムを使用す
る。この平均化し平滑化したスペクトルが、標準試料の
「測定」値である。
８個の表準試料は予め基準装置で測定しておく。この
装置での測定で、その波長について８個の拡散反射スペ
クトルが得られる。これが「真の」値である。
各波長（ｉ）ごとに８個の「測定」値と８個の「真
の」値がある。理想的な分光計では、「真の」値が「測
定」値と一致するはずである。しかし上述した多数の影
響のため、実際にはそうはならない。ここで考察するケ
ースでは、「測定」値と「真の」値の関係は、下記の２
次関数によって適切に記述することができる。
（１） Ｙ（ｉ）＝Ａ・Ｘ（ｉ）２＋Ｂ・Ｘ（ｉ）＋Ｃ ここでＡは２次係数、Ｂは１次係数、Ｃは一定なゼロ
点偏差（オフセット）である。各係数は近似関数のパラ
メータである。Ｙからまたは「測定」値から、これらは
より大きい実験誤差を有すると想定されるので、ＹはＸ
の関数として記述される。
ソフトウェアは最小２乗偏差法を適用して、「測定」
値と「真の」値との間の最良の２乗近似を与える係数を
計算する。
近似関数のパラメータ、すなわちA,B,Cが既知になる
と、方程式１を使ってＸ（ｉ）値とＹ（ｉ）値の関係を
計算することができる。これらは分光計の分光特性の影
響を考慮に入れるように適合された「補正済み測定」値
である。方程式１は次の形に変形される。
（２） Ｘ（ｉ）２＋ｐ・Ｘ（ｉ）＋ｑ＝０ ただし ｐ＝B/A、ｑ＝［Ｃ−Ｙ（ｉ）］/Aである。
方程式（２）から平方根を求めると、 （３） X2（ｉ）＝−p/2＋［（p/2）２−ｑ］1/2 および （４） X2（ｉ）＝−p/2−［（p/2）２−ｑ］1/2 この問題にとって意味のある根は、期待される実際値
に最も近いものである。コランダム窓を利用する場合、
これは通常方程式（３）で示される根である。しかし例
えば窓なしの光ファイバを使用し、そのため方程式
（４）で示される根が適切となる場合も生じうる。この
ため両方の根を計算する。典型的には一方の根の値は０
から１の間であり、他方の根は約10倍大きい。
２乗近似の品質は、各波長ごとに「真の」値を「補正
済み測定」値に重ねてプロットし、線形回帰を行うこと
によって検査される。完全な近似の場合は相関係数が値
１になる。
２乗近似の品質を調べる別の方法は、「真の」値と
「補正済み測定」値との間の残留誤差の標準偏差として
定義される、各波長ごとの反射の誤差の標準偏差（SE
R）を計算するものである。
ソフトウェアは相関係数と、各波長ごとの反射の標準
偏差を計算する。２乗近似の品質は、分光計の通常の動
作範囲でのみ決定する。標準化については、すべての波
長にわたる相関係数の平均が0.9995以上で、かつ最小相
関係数が0.9990以上である場合、２乗近似が充分良好で
あると見なされる。同様にSERは0.01基準単位以下であ
ることが望ましい。これらの限界値は、同系列のいくつ
かの異なる分光計と、標準化した数組の標準試料を使用
して実験的に求めたものである。したがって、これらの
限界値はこの場合に望ましい標準化の程度を表す。
これらの条件が満たされると直ちに、移植性を実施す
るためのソフトウェアが起動する。後続のすべての測定
値が自動的に補正され、「真の」値を得るために、方程
式３または４が援用される。分光計で行われる測定は、
基準装置で得られる測定と、近似の精度に相当するまた
はノイズ部分などによる残留誤差の範囲内で一致する。
同じ方法を任意の数の分光計に繰り返し適用することが
できるため、標準化した分光計の母集団が得られる。
以下、基準装置と、１組の基準試料の意味を説明す
る。基準装置は１組の基準試料を利用して得られる。こ
の１組の基準試料は、８個の拡散反射ターゲットからな
り、これらのターゲットは２％から99％の範囲をカバー
し、１つの分光計で検定されたものであり、この分光計
はまた、国立度量衡検定局、例えば米国の国立標準局に
よって証明された試料で検定されたものである。測定さ
れる拡散反射の値は、したがってその材料の絶対特性で
ある。これらの値はその１組の標準試料の「真の」値を
表す。
次いで拡散反射する試料を、基準装置で再現可能な形
で利用できるように、個別のホルダに固定する。これが
標準基準試料のセットである。
次にこの標準基準試料のセットを上述のように基準装
置で測定する。以前と同様に２次と１次の係数および各
波長ごとの２乗近似のオフセットを算出する。この場合
も、近似の品質を決定し、分光計の動作波長領域におけ
る残留誤差を決定するために、相関係数と反射の標準誤
差が必要となる。２乗近似が標準化に利用するのに十分
なほど良好であるかどうか決定するのにも同じ判定基準
が援用される。
移植性を実施するための方法の終了後、基準装置で行
われた測定値は、国立度量衡検定局によって決定された
測定値と、基準単位（標準偏差）の±0.01と評価される
残留誤差の範囲内で一致する。
これによって国立度量衡検定局の標準および測定値と
の比較が可能になる。
基準装置がこのようにして標準化された後は、別の１
組の標準試料について「真の」値を直接求めるためにそ
れを利用することができる。
この方法の利点は、この方法が、国立度量衡検定局に
よって証明済みの絶対的な拡散反射に依拠しているた
め、基準試料の固定したセットまたは基準装置によって
左右されない点にある。基準装置も基準試料のセット
も、いつでも取り替えることができ、またいつでも複製
することができる。
移植性の実施は、前記のように特別な標準化した材料
の絶対特性と適切な計算方法を使用して、同系列の様々
な分光計を標準化する一方法である。
適切な１組の標準試料が定義できることを前提とし
て、同じ標準化の方法が、例えば反射、透過あるいは透
過反射など各種の分光計測定に適用することができる。
この１組の標準試料は主要測定領域をカバーし、不変の
物理特性を体現していなければならない。この物理特性
は、独立した物体によって定量化できるものでなければ
ならない。
「測定」値と「真の」値の関係は、分光計の構造が異
なると異なる。したがってここに述べた２次方程式を、
簡単な１次方程式またはより高次の方程式で置き替える
のが適切なこともある。方程式が解析的に解けない場
合、別の数値決定法を使用することができる。使用する
標準試料の数は、関係の複雑さと必要な精度に合わせて
変えることができる。
参照番号リスト １ メモリ（公称スペクトル） ２ メモリ（比較スペクトル） ３ 計算ユニット（近似関数） ４ メモリ（近似関数） ５ メモリ（未知の試料） ６ 計算ユニット ７ メモリ ８ 出力ユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−308930（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−260570（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−43095（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−5240（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−47788（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−83645（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭42−1640（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01J 3/00 - 3/52 G01N 21/00 - 21/01 G01N 21/17 - 21/61 ＥＳＰＡＣＥＮＥＴ

Claims (16)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】特に拡散反射の測定のために、同系列の同
    タイプの多数の個別測定装置による近赤外領域の分光計
    測定の比較を可能にするための方法であって、 − 同系列の個々の分光計中に記憶された複数の標準試
    料の公称スペクトルを記憶する方式段階と、 − 同系列の個々の分光計を用いて、複数の標準試料の
    多数の比較スペクトルを決定する方式段階と、 − 各波長点ごとに複数の標準試料の公称スペクトルか
    らの比較スペクトルの偏差の近似関数のパラメータを計
    算する方式段階と、 − 各波長点ごとのパラメータを装置に記憶する方式段
    階と、 − 未知の試料のスペクトルを測定する方式段階と、 − 近似関数から得られる方程式を用いて、未知の試料
    のスペクトルの測定値の各波長点ごとの真の値を計算す
    る方式段階と、 − 実際スペクトルとして補正済みスペクトルを出力す
    る方式段階とを特徴とする方法。
  2. 【請求項２】前記複数の標準試料は７個を超えることを
    特徴とする、請求の範囲第１項に記載の分光計測定の比
    較を可能にするための方法。
  3. 【請求項３】近似関数が少なくとも２次またはより高次
    であることを特徴とする、請求の範囲第１項または第２
    項に記載の、分光計測定の比較を可能にするための方
    法。
  4. 【請求項４】反射率ごとに比較スペクトルの測定を最低
    ３回行い、その値を平均することを特徴とする、請求の
    範囲第１項、第２項または第３項に記載の分光計測定の
    比較を可能にするための方法。
  5. 【請求項５】様々な反射率の試料のスペクトルが、各波
    長点ごとに、近似関数のパラメータの計算に援用される
    ことを特徴とする、請求の範囲第１項、第２項、第３項
    または第４項に記載の分光計測定の比較を可能にするた
    めの方法。
  6. 【請求項６】近似関数の品質が、標準偏差または各波長
    点での相関係数の計算によって決定されることを特徴と
    する、請求の範囲第１項、第２項、第３項、第４項また
    は第５項に記載の分光計測定の比較を可能にするための
    方法。
  7. 【請求項７】複数の公称スペクトル用の第１のメモリ
    （１）と、様々な標準試料の比較スペクトル用の第２の
    メモリ（２）とを備えることを特徴とする、上記請求の
    範囲のいずれか一項に記載の方法を用いたスペクトル測
    定用の分光計。
  8. 【請求項８】標準試料の公称スペクトルと、比較スペク
    トルとの比較により、各波長点ごとに近似関数のパラメ
    ータを計算するためのユニット（３）を備えることを特
    徴とする、請求の範囲第７項に記載のスペクトル測定の
    ための分光計。
  9. 【請求項９】近似関数の各波長点ごとのパラメータ用の
    第３のメモリ（４）を備えることを特徴とする、請求の
    範囲第７項または第８項に記載のスペクトル測定用の分
    光計。
  10. 【請求項１０】未知の試料のスペクトルを記憶するため
    の第４のメモリ（５）を備えることを特徴とする、請求
    の範囲第７項、第８項または第９項に記載のスペクトル
    測定用の分光計。
  11. 【請求項１１】波長点ごとに近似関数によって決定され
    る未知の試料の方程式によって、実際値を計算するため
    の計算ユニット（６）を備えることを特徴とする、請求
    の範囲第７項、第８項、第９項または第10項に記載のス
    ペクトル測定用の分光計。
  12. 【請求項１２】近似関数の品質を計算するための計算ユ
    ニット（６）を備えることを特徴とする、請求の範囲第
    ７項から第11項のいずれか一項または複数の項に記載の
    スペクトル測定用の分光計。
  13. 【請求項１３】実際スペクトルとして補正済みスペクト
    ルを出力するための出力ユニット（８）を備えることを
    特徴とする、請求の範囲第７項から第12項のいずれか一
    項または複数の項に記載のスペクトル測定用の分光計。
  14. 【請求項１４】分光計の分光計測定の比較を可能にする
    ために用意された１組の標準試料が分光計に割り当てら
    れていることを特徴とする、請求の範囲第７項から第13
    項のいずれか一項または複数の項に記載のスペクトル測
    定用の分光計。
  15. 【請求項１５】この方法を実施するためのプログラム記
    憶式制御装置を備えることを特徴とする、請求の範囲第
    ７項から第14項のいずれか一項または複数の項に記載の
    スペクトル測定用の分光計。
  16. 【請求項１６】同じタイプの装置用の標準試料が同じ寸
    法のホルダに収容されており、このホルダはずれを避け
    るためのインデックスが付けられているため、測定中の
    試料の位置の変化も回避されることを特徴とする、請求
    の範囲第７項から第15項のいずれか一項または複数の項
    に記載のスペクトル測定用の分光計。
JP52401497A 1995-12-27 1996-12-20 分光計測定の比較を可能にするための方法と装置組合せ Expired - Fee Related JP3217069B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19548378A DE19548378A1 (de) 1995-12-27 1995-12-27 Verfahren und Gerätekombination zur Herstellung der Vergleichbarkeit von Spektrometermessungen
DE19548378.2 1995-12-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10510926A JPH10510926A (ja) 1998-10-20
JP3217069B2 true JP3217069B2 (ja) 2001-10-09

Family

ID=7781178

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP52401497A Expired - Fee Related JP3217069B2 (ja) 1995-12-27 1996-12-20 分光計測定の比較を可能にするための方法と装置組合せ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6049082A (ja)
EP (1) EP0812415B1 (ja)
JP (1) JP3217069B2 (ja)
DE (2) DE19548378A1 (ja)
WO (1) WO1997024605A1 (ja)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19810917A1 (de) * 1998-03-13 1999-09-16 Buehler Ag Automatisches Kalibrationsverfahren
JP2001324386A (ja) * 2000-05-15 2001-11-22 Seiko Epson Corp 色度または照度の測定方法、色度または照度測定システム
US6549861B1 (en) 2000-08-10 2003-04-15 Euro-Celtique, S.A. Automated system and method for spectroscopic analysis
AU2001288292A1 (en) 2000-08-21 2002-03-04 Euroceltique S.A. Near infrared blood glucose monitoring system
US7400400B2 (en) * 2001-08-29 2008-07-15 Merck & Co. Inc. Method for monitoring particle size
WO2004069164A2 (en) * 2003-01-30 2004-08-19 Euro Celtique Sa Wireless blood glucose monitoring system
US7336358B2 (en) * 2003-02-24 2008-02-26 August Ninth Analyses, Inc. Method and apparatus for determining particle size and composition of mixtures
EP1836463A1 (en) * 2004-12-21 2007-09-26 FOSS Analytical A/S A method for standardising a spectrometer
JP4660694B2 (ja) * 2005-06-28 2011-03-30 コニカミノルタセンシング株式会社 分光装置の波長校正方法及び分光装置
US7560335B2 (en) 2005-08-30 2009-07-14 Micron Technology, Inc. Memory device transistors
DE102019104066A1 (de) * 2019-02-19 2020-08-20 Carl Zeiss Spectroscopy Gmbh Spektrometersystem und Verfahren zu dessen Prüfung
CN114018856A (zh) * 2020-07-17 2022-02-08 中国石油化工股份有限公司 光谱校正方法
CN114994082A (zh) * 2022-06-28 2022-09-02 深圳市合力泰光电有限公司 一种双精度mark点图形结构及识别方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2509091B2 (de) * 1975-03-03 1977-05-18 Verfahren zur korrektur der abweichung der gemessenen konzentrationsabhaengigkeit der extinktion einer probe von dem durch das lambert-beersche gesetz vorgegebenen verlauf
US4660151A (en) * 1983-09-19 1987-04-21 Beckman Instruments, Inc. Multicomponent quantitative analytical method and apparatus
JPH0746111B2 (ja) * 1988-03-18 1995-05-17 株式会社日立製作所 試料分析方法及びこれを用いた自動分析装置
JPH073365B2 (ja) * 1988-06-08 1995-01-18 大日本クスリーン製造株式会社 顕微分光装置
US5132538A (en) * 1991-05-24 1992-07-21 Nirsystems Incorporated Measuring percentage of protein in whole grain samples
US5463063A (en) * 1993-07-02 1995-10-31 Celgene Corporation Ring closure of N-phthaloylglutamines

Also Published As

Publication number Publication date
EP0812415B1 (de) 2003-11-26
DE59610834D1 (de) 2004-01-08
EP0812415A1 (de) 1997-12-17
JPH10510926A (ja) 1998-10-20
WO1997024605A1 (de) 1997-07-10
US6049082A (en) 2000-04-11
DE19548378A1 (de) 1997-07-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3217069B2 (ja) 分光計測定の比較を可能にするための方法と装置組合せ
EP0800066B1 (en) Precise calibration of wavelengths in a spectrometer
US5251006A (en) Automatic spectrophotometer calibration system
US8119991B2 (en) Method and apparatus for accurate calibration of VUV reflectometer
US5982501A (en) Reflectance measuring device
EP0250959B1 (en) Method of calibrating reflectance measuring devices
JP2002116089A (ja) 高精度波長計
Stone et al. Advice from the CCL on the use of unstabilized lasers as standards of wavelength: the helium–neon laser at 633 nm
Di Benedetto et al. The angular diameter and the effective temperature of Arcturus from Michelson interferometry
WO2007130295A2 (en) Method and apparatus for accurate calibration of a reflectometer by using a relative reflectance measurement
US7399975B2 (en) Method and apparatus for performing highly accurate thin film measurements
JPH06317408A (ja) 偏光解析法を用いて透明層の特性値を決定するための方法
JP3532165B2 (ja) 分光エリプソメータを用いた薄膜計測方法
EP0320477B1 (en) Method for reducing the susceptibility of a measuring instrument to interferences
JP3556183B2 (ja) 基板上の化合物半導体層の組成決定方法
JP2001242075A (ja) 塗布物の光線透過率の測定方法及び塗布物の光線透過率の測定装置
US6614527B2 (en) Spectral bandwidth calibration of an optical spectrum analyzer
US6987566B1 (en) Methods and apparatus for analyzing mirror reflectance
Gran et al. Absolute calibration of silicon photodiodes by purely relative measurements
JP2000105152A (ja) 温度測定方法及びその装置
US20230194416A1 (en) Preparation method for preparing spectrometric determinations of at least one measurand in a target application
Chiu et al. Relative reflectivity uncertainty evaluation for a broadband spectrophotometer system
JPH0510726A (ja) 分光光度計
JP2001201399A (ja) 分光分析器の動作異常判定方法および動作異常判定機能付き分光分析器
Igne et al. 17 Calibration Transfer

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees