JP3197007U - Laser oscillator - Google Patents

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洋介 本田
洋介 本田
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Abstract

【課題】光共振器のフィネスを高くしても、共振を安定させることができ、光共振器内にレーザー光を蓄積させることにより、より強いレーザー光を発生可能なレーザー発振装置を提供する。【解決手段】レーザダイオードLDと光アイソレータ3と分波/合波器WDMから構成された励起用のレーザー光源と、レーザー光源からレーザー光が供給されたとき、所望波長のレーザー光を生成するファイバ増幅器と、光共振器と、光共振器とファイバ増幅器との間に介挿され、ファイバ増幅器からのレーザー光を光共振器の一方に導き、逆方向のレーザー光を遮断する光アイソレータと、光共振器の他方から出射されるレーザー光を取り込み、ファイバ増幅器、光アイソレータを介し、光共振器に戻し、共振を促進させる光周回路と、光周回路内のレーザー光を振幅変調する変調器とを備える。【選択図】図2Provided is a laser oscillation device capable of stabilizing resonance even when the finesse of an optical resonator is increased, and generating stronger laser light by accumulating laser light in the optical resonator. An excitation laser light source composed of a laser diode LD, an optical isolator 3, and a demultiplexer / multiplexer WDM, and a fiber that generates laser light having a desired wavelength when the laser light is supplied from the laser light source. An optical isolator that is interposed between the amplifier, the optical resonator, the optical resonator and the fiber amplifier, guides the laser light from the fiber amplifier to one of the optical resonators, and blocks the laser light in the reverse direction; An optical circuit that takes in laser light emitted from the other side of the resonator, returns it to the optical resonator via a fiber amplifier and an optical isolator, and promotes resonance; a modulator that modulates the laser light in the optical circuit; Is provided. [Selection] Figure 2

Description

本考案は、光蓄積共振器を含む自己発振システムを用いて、強いレーザー光を発生することが可能なレーザー発振装置において、パルス動作させることでより高いピーク強度を得ることができるようにしたレーザー発振装置に関する。   The present invention provides a laser oscillator capable of generating a strong laser beam by using a self-oscillation system including an optical storage resonator so that a higher peak intensity can be obtained by operating a pulse. The present invention relates to an oscillation device.

近年、レーザーコンプトン散乱を利用した小型光源装置の開発が行われている。このような光源装置の光源としての強度は、実現可能なレーザー標的の強度に依存する。パルス運転する線形加速器をベースにする場合、レーザー光も高強度のパルスレーザーを用いるか、一時的にバースト増幅して用いる手法がとられる。   In recent years, small light source devices utilizing laser Compton scattering have been developed. The intensity of such a light source device as a light source depends on the intensity of the laser target that can be realized. When a pulsed linear accelerator is used as a base, a high-intensity pulse laser is used as the laser beam, or a method of temporarily amplifying the burst is used.

一方、コンプトン散乱を利用した蓄積リング型装置や超伝導加速器をベースにした連続運転のシステムによってレーザーの平均強度を高めようとすると、連続的に高強度のレーザー標的が必要となる。   On the other hand, if the average intensity of the laser is to be increased by a continuous operation system based on a storage ring type device using a Compton scattering or a superconducting accelerator, a high-intensity laser target is required continuously.

このため、レーザー光と電子を衝突させたときのレーザー逆コンプトン散乱でX線を発生させる従来のX線発生装置(例えば、特許文献1を参照)では、公知の大強度モードロック発振器、例えば500W、10psec/パルス、波長“1064nm”、繰り返し周波数“150MHz”の性能を持つ大強度モードロック発振器と、光蓄積共振器とを持つレーザー発生装置を使用し、強いレーザー光を発生させている。   For this reason, in a conventional X-ray generator (see, for example, Patent Document 1) that generates X-rays by laser inverse Compton scattering when a laser beam and electrons collide, a known high-intensity mode-locked oscillator, for example, 500 W A strong laser beam is generated by using a laser generator having a high-intensity mode-locked oscillator having a performance of 10 psec / pulse, wavelength “1064 nm”, and repetition frequency “150 MHz” and an optical storage resonator.

ここで、光蓄積共振器とは、複数の鏡で光路を閉じた空間にレーザー光を閉じ込める光共振器で、比較的低出力のレーザー光源からの光を実効的に強度増大し、連続的に高強度レーザー光を実現できる有望な技術である。   Here, the optical storage resonator is an optical resonator that confines the laser light in a space in which the optical path is closed by a plurality of mirrors, effectively increasing the intensity of light from a relatively low-power laser light source, and continuously This is a promising technology that can realize high-intensity laser light.

図22は、従来型のレーザー蓄積装置の構成例を示す。レーザー発振器からの出力は独立に用意された外部共振器に蓄積される。光共振器に光が蓄積されるには、光共振器内に定在波が起こる、即ち鏡間隔が半波長の整数倍に合致する条件が満たされなければならない。その共鳴幅は共振器鏡の反射率で決まり、高増大率を得ようと高反射率の鏡を使用する程、狭くなっていく。増大率1000倍の共振器では、共鳴幅は共振器鏡の位置精度にしてサブナノメートルになり、振動などの環境の擾乱で簡単に共鳴状態が失われてしまう。共鳴条件を機械的に制御し、レーザー蓄積状態を維持させるため、共振器鏡をピエゾ駆動にし、高度なフィードバック制御を行うことが必要とされる。現状では、安定に共鳴を維持できる技術的限界は増大率1000倍程度となっている。   FIG. 22 shows a configuration example of a conventional laser storage device. The output from the laser oscillator is stored in an external resonator prepared independently. In order for light to accumulate in the optical resonator, the condition that a standing wave occurs in the optical resonator, that is, the mirror interval matches an integral multiple of a half wavelength must be satisfied. The resonance width is determined by the reflectivity of the resonator mirror, and becomes narrower as a higher reflectivity mirror is used to obtain a higher increase rate. In a resonator with an increase rate of 1000 times, the resonance width becomes sub-nanometer in terms of the position accuracy of the resonator mirror, and the resonance state is easily lost due to environmental disturbances such as vibration. In order to control the resonance conditions mechanically and maintain the laser accumulation state, it is necessary to perform advanced feedback control by piezo driving the resonator mirror. At present, the technical limit for stably maintaining resonance is an increase rate of about 1000 times.

特開2009−16488号公報JP 2009-16488 A

しかしながら、このような従来のレーザー発振装置で使用される大強度モードロック発振器は、非常に高価であることから、レーザー発振装置自体も、高価になってしまうという問題があった。また、従来のレーザー発振装置においては、光共振器の共鳴状態を高精度で制御する高度な技術を必要とするのが難点であり、このことが増大率の技術的な限界を決めることとなる。   However, since the high-strength mode-locked oscillator used in such a conventional laser oscillation apparatus is very expensive, there is a problem that the laser oscillation apparatus itself is also expensive. In addition, in the conventional laser oscillation device, it is difficult to require an advanced technique for controlling the resonance state of the optical resonator with high accuracy, which determines the technical limit of the increase rate. .

さらに、従来のレーザー発振装置では、大強度モードロック発振器で生成されたレーザーパルスを光蓄積共振器に導いて、蓄積させる際、フィードバック制御の精度をかなり高くしないと、安定的に蓄積させることができないという問題があった。また、従来のレーザー発振装置では、1000倍程度の蓄積増幅しかできず、光蓄積共振器内のレーザーパルスエネルギーも100μJ/パルス程度にしかならないという問題があった。   Furthermore, in the conventional laser oscillation device, when the laser pulse generated by the high-intensity mode-locked oscillator is guided to the optical storage resonator and stored, unless the feedback control accuracy is considerably high, the laser pulse can be stored stably. There was a problem that I could not. In addition, the conventional laser oscillation apparatus has a problem that it can only store and amplify about 1000 times, and the laser pulse energy in the optical storage resonator is only about 100 μJ / pulse.

このため、本考案は、光共振器のフィネス(蓄積増幅度)を高くしても、共振を安定させて、光共振機内にレーザー光を蓄積させることにより従来と比較してより強いレーザー光を発生可能なレーザー発振装置を提供することを目的とする。   For this reason, even if the finesse (accumulation amplification factor) of the optical resonator is increased, the present invention stabilizes the resonance and accumulates the laser beam in the optical resonator, so that a stronger laser beam can be obtained compared to the conventional case. It is an object of the present invention to provide a laser oscillation device capable of generating.

本考案のレーザー発振装置は、上記の目的を達成するために、励起用のレーザー光を発生するレーザー光源と、前記レーザー光から所望波長のレーザー光を生成させるためのファイバ増幅器と、前記ファイバ増幅器により生成された前記レーザー光を共振蓄積する光共振器と、前記ファイバ増幅器及び前記光共振器が前記レーザー光を共振させる光周回路として形成され、前記レーザー光を振幅変調するモードロック方式の振幅変調器を前記ファイバ増幅器の入力側に設けたことを特徴とする。   In order to achieve the above object, a laser oscillation apparatus according to the present invention includes a laser light source that generates laser light for excitation, a fiber amplifier that generates laser light having a desired wavelength from the laser light, and the fiber amplifier. An optical resonator that resonates and accumulates the laser light generated by the optical amplifier, and a mode-locked amplitude that amplitude-modulates the laser light, wherein the fiber amplifier and the optical resonator are formed as an optical circuit that resonates the laser light. A modulator is provided on the input side of the fiber amplifier.

本考案は、その第1の実施形態として、励起用のレーザー光を発生するレーザー光源と、前記レーザー光から所望波長のレーザー光を生成させるためのファイバ増幅器と、前記ファイバ増幅器により生成された前記レーザー光を共振蓄積する光共振器と、前記ファイバ増幅器の出力側に配置され、前記レーザー光を前記光共振器の一方に導くと共に、逆方向のレーザー光を遮断する光アイソレータと、前記ファイバ増幅器、前記光共振器及び前記光アイソレータが前記レーザー光を共振させる光周回路として形成され、前記光周回路長に対応した周波数の整数倍に調整された変調信号により前記レーザー光を振幅変調する能動モードロック方式の振幅変調器を前記ファイバ増幅器の入力側に設けたレーザー発振装置を提供する。   As a first embodiment of the present invention, a laser light source for generating excitation laser light, a fiber amplifier for generating laser light of a desired wavelength from the laser light, and the fiber amplifier generated by the fiber amplifier An optical resonator for resonating and accumulating laser light; an optical isolator disposed on the output side of the fiber amplifier for guiding the laser light to one of the optical resonators and blocking reverse laser light; and the fiber amplifier The optical resonator and the optical isolator are formed as an optical circuit for resonating the laser light, and active-modulate the laser light by a modulation signal adjusted to an integral multiple of a frequency corresponding to the optical circuit length. Provided is a laser oscillation device in which a mode-locked amplitude modulator is provided on the input side of the fiber amplifier.

本考案は、その第2の実施形態として、励起用のレーザー光を発生するレーザー光源と、前記レーザー光から所望波長のレーザー光を生成させるためのファイバ増幅器と、前記ファイバ増幅器により生成された前記レーザー光を共振蓄積する光共振器と、前記ファイバ増幅器の出力側に配置され、前記レーザー光を前記光共振器の一方に導くと共に、逆方向のレーザー光を遮断する光アイソレータと、前記ファイバ増幅器、前記光共振器及び前記光アイソレータが前記レーザー光を共振させる光周回路として形成され、前記光アイソレータの出力をモニタリングし、前記光周回路を周回するレーザー光の周波数信号自身により前記レーザー光を振幅変調する再生モードロック方式の振幅変調器を前記ファイバ増幅器の入力側に設けたレーザー発振装置を提供する。   As a second embodiment of the present invention, a laser light source for generating laser light for excitation, a fiber amplifier for generating laser light of a desired wavelength from the laser light, and the fiber amplifier generated by the fiber amplifier An optical resonator for resonating and accumulating laser light; an optical isolator disposed on the output side of the fiber amplifier for guiding the laser light to one of the optical resonators and blocking reverse laser light; and the fiber amplifier The optical resonator and the optical isolator are formed as an optical circuit that resonates the laser light, monitors the output of the optical isolator, and the laser light is transmitted by the frequency signal of the laser light that circulates the optical circuit. A laser having a reproduction mode-locked amplitude modulator for amplitude modulation provided on the input side of the fiber amplifier Providing isolation device.

ここで、前記再生モードロック方式の振幅変調器は、前記ファイバ増幅器からのレーザー光の一部を取り出すためのフォトダイオードと、前記フォトダイオードの出力信号を増幅する第1のRF増幅器と、前記RF増幅器の出力信号の中から成長させたい所望の周波数帯域のRF信号を取り出すためのバンドパスフィルタと、前記バンドパスフィルタを通過したRF信号の位相変調を行う位相変調器と、前記位相変調されたRF信号により当該振幅変調器を駆動する第2のRF増幅器と、を含むことができる。   Here, the reproduction mode lock type amplitude modulator includes a photodiode for extracting a part of the laser light from the fiber amplifier, a first RF amplifier for amplifying an output signal of the photodiode, and the RF A bandpass filter for extracting an RF signal of a desired frequency band to be grown from the output signal of the amplifier, a phase modulator for performing phase modulation of the RF signal that has passed through the bandpass filter, and the phase modulated signal And a second RF amplifier that drives the amplitude modulator with an RF signal.

前記光周回路には、前記レーザー光から所望波長のレーザー光を生成させるための第2のファイバ増幅器が配置される。   A second fiber amplifier for generating laser light having a desired wavelength from the laser light is disposed in the optical circuit.

前記光周回路上には、該光周回路の光路長を微調整するための調整ケーブルを設けることができる。   An adjustment cable for finely adjusting the optical path length of the optical circuit can be provided on the optical circuit.

本考案は、その更に別の実施形態として、光共振器と複数のファイバ増幅器を光周回路に構成してパルス光を発生させるためのレーザー発振装置であって、励起用のレーザー光を発生するレーザー光源と、前記光周回路の光路長に対応した周波数の整数倍であって成長させたい所望周波数の光を振幅変調するモードロック方式の振幅変調器を含み、前記レーザー光源が発生した前記レーザー光を入射して前記所望周波数のパルスレーザー光を出射する第1のファイバ増幅器と、前記第1のファイバ増幅装置から出射された前記パルスレーザー光を共振蓄積する光共振器と、前記パルスレーザー光の波長に対応させる調整ケーブルを有し、前記光共振器から出射された前記パルスレーザー光を増幅する第2のファイバ増幅器と、前記第1のファイバ増幅器からのレーザー光の一部を取り出すための第1のフォトダイオードと、前記第1のフォトダイオードの出力信号を2つに分けるスプリッタと、前記スプリッタからの2つの出力信号の一方を増幅する第1のRF増幅器と、前記第1のRF増幅器の出力信号の中から前記所望周波数のレーザー光のRF信号を取り出すためのバンドパスフィルタと、前記バンドパスフィルタを通過したRF信号の位相変調を行う位相変調器と、前記位相変調されたRF信号により前記振幅変調器を駆動する第2のRF増幅器と、前記スプリッタからの2つの出力信号の他方をモニタリングするための第2のフォトダイオードと、を備え、前記パルスレーザー光は、前記第1のファイバ増幅器、前記光共振器及び前記第2のファイバ増幅器により構成された光周回路を周回することにより自己発振増幅されて前記光共振器に蓄積され、前記調整ケーブルは、前記光周回路において、該光周回路の光路長を微調整するためのケーブルであることを特徴とするレーザー発振装置を提供する。   As another embodiment of the present invention, there is provided a laser oscillation apparatus for generating pulsed light by forming an optical resonator and a plurality of fiber amplifiers in an optical peripheral circuit, and generates laser light for excitation. The laser generated by the laser light source, including a laser light source and a mode-locked amplitude modulator that amplitude-modulates light having a desired frequency that is an integral multiple of the frequency corresponding to the optical path length of the optical circuit and is desired to grow A first fiber amplifier that emits a pulse laser beam having the desired frequency upon entering light; an optical resonator that resonantly accumulates the pulse laser beam emitted from the first fiber amplifier; and the pulse laser beam. A second fiber amplifier for amplifying the pulsed laser light emitted from the optical resonator, and an adjustment cable adapted to the wavelength of A first photodiode for extracting a part of the laser light from the amplifier, a splitter for dividing the output signal of the first photodiode into two, and amplifying one of the two output signals from the splitter A first RF amplifier, a bandpass filter for extracting an RF signal of the laser beam having the desired frequency from the output signal of the first RF amplifier, and phase modulation of the RF signal that has passed through the bandpass filter. A phase modulator to perform, a second RF amplifier to drive the amplitude modulator with the phase-modulated RF signal, a second photodiode to monitor the other of the two output signals from the splitter; The pulsed laser light is composed of the first fiber amplifier, the optical resonator, and the second fiber amplifier. The self-oscillation is amplified by circulating around the optical circuit and accumulated in the optical resonator, and the adjustment cable is a cable for finely adjusting the optical path length of the optical circuit in the optical circuit. A laser oscillation device characterized by the above is provided.

前記光共振器は、所定の間隔で相互に向かい合う2枚の凹面鏡を少なくとも有するフォックス・スミス干渉計タイプの共振器であることが好ましい。   The optical resonator is preferably a Fox Smith interferometer type resonator having at least two concave mirrors facing each other at a predetermined interval.

さらに、前記光共振器は、前記2枚の凹面鏡によって形成される共振器長を前記所望波長のレーザー光に対応させて微調整させるピエゾ調整器を有することが好ましい。   Furthermore, it is preferable that the optical resonator includes a piezo adjuster that finely adjusts the length of the resonator formed by the two concave mirrors in correspondence with the laser light having the desired wavelength.

前記ファイバ増幅器は、Ybがドープされたコアを持つ前記光ファイバにより形成されることが好ましい。   The fiber amplifier is preferably formed by the optical fiber having a core doped with Yb.

また、本考案のレーザー発振装置は、特にレーザーコンプトン散乱を利用した光源用のレーザー光を発生させることを特徴とする。   In addition, the laser oscillation device of the present invention is characterized by generating laser light for a light source using laser Compton scattering.

これにより、本考案に係るレーザー発振装置は、光共振器のフィネスを高くしても、共振を安定させることができると共に、光共振機内にレーザー光を蓄積させて、強いレーザー光を発生させることを可能としたのである。   As a result, the laser oscillation device according to the present invention can stabilize the resonance even if the finesse of the optical resonator is increased, and can generate a strong laser beam by accumulating the laser beam in the optical resonator. Is made possible.

周回発振型光蓄積装置の概念を示す。The concept of a circular oscillation type optical storage device is shown. 本考案の第1の実施形態による周回発振型光蓄積によるレーザー発振装置の構成を示す。1 shows a configuration of a laser oscillation device based on circular oscillation type light accumulation according to a first embodiment of the present invention. 本装置の自由空間部の光学系を調整するときのシステムを示す。The system when adjusting the optical system of the free space part of this apparatus is shown. コート無し共振器鏡で変調器オフでのPD1の信号をスペクトラムアナライザで測定した結果を示す。The result of having measured the signal of PD1 by the spectrum analyzer by the resonator mirror without a coat | court by the modulator off is shown. コート無し共振器鏡で変調器オンでのPD1の信号をスペクトラムアナライザで測定した結果を示す。The result of having measured the signal of PD1 with the spectrum analyzer by the resonator mirror without a coat | court by the modulator ON is shown. コート無し共振器鏡で変調器オンでのPD1の信号のオシロスコープでの観測波形を示す。An oscilloscope observation waveform of the PD1 signal when the modulator is on with an uncoated resonator mirror is shown. 90%反射率の共振器鏡で変調器オフでのPD1の信号をスペクトラムアナライザで測定した結果を示す。The result of having measured the signal of PD1 with the resonator mirror of 90% reflectance in the modulator off by the spectrum analyzer is shown. 本装置による再生モードロックしたときのPD1のスペクトルアナライザ測定によるノイズピークの観測結果を示す。The observation result of the noise peak by the spectrum analyzer measurement of PD1 when the reproduction mode is locked by this apparatus is shown. 本装置による再生モードロックしたときのオシロスコープにてPD1を観測したパルス波形を示す。The pulse waveform which observed PD1 with the oscilloscope when the reproduction | regeneration mode lock by this apparatus is shown is shown. 99%反射率の共振器鏡での変調器オフでのPD1の信号をスペクトラムアナライザで測定した結果を示す。The result of having measured the signal of PD1 with the modulator OFF in the resonator mirror of 99% reflectance with the spectrum analyzer is shown. 99%反射率の共振器鏡で変調器オンでのPD1の信号をスペクトラムアナライザにて測定した結果を示す。The result of having measured the signal of PD1 with the spectrum analyzer by the resonator mirror of 99% reflectance with the modulator on is shown. 99%反射率の共振器鏡で変調器オンでのオシロスコープでPD1を観測したパルス波形を示す。A pulse waveform obtained by observing PD1 with an oscilloscope with a 99% reflectance resonator mirror and a modulator on is shown. レーザー光を振幅変調するのに再生モードロック方式を採用したレーザー発振装置の構成を示す。A configuration of a laser oscillation apparatus adopting a reproduction mode lock method for amplitude modulation of laser light is shown. コート無し共振器鏡で変調器オフでのPD1の信号をスペクトラムアナライザで測定した結果を示す。The result of having measured the signal of PD1 by the spectrum analyzer by the resonator mirror without a coat | court by the modulator off is shown. コート無し共振器鏡で変調器オフでのモニタ信号をオシロスコープで測定した結果を示す。The result of having measured the monitor signal by the oscilloscope by the resonator mirror without a coat with a modulator off is shown. コート無し共振器鏡で変調器オンでのPD1の信号をスペクトラムアナライザで測定した結果を示す。The result of having measured the signal of PD1 with the spectrum analyzer by the resonator mirror without a coat | court by the modulator ON is shown. コート無し共振器鏡で変調器オンでのPD1の信号をオシロスコープで測定した結果を示す。The result of having measured the signal of PD1 with the oscilloscope with the modulator on by the resonator mirror without a coat is shown. 90%反射率の共振器鏡で変調器オフでのPD1の信号をスペクトラムアナライザで測定した結果を示す。The result of having measured the signal of PD1 with the resonator mirror of 90% reflectance in the modulator off by the spectrum analyzer is shown. 90%反射率の共振器鏡で変調器オフでのPD1の信号の波形を示す。The waveform of the PD1 signal when the modulator is off with a 90% reflectivity resonator mirror is shown. 90%反射率の共振器鏡で変調器オンでのPD1の信号をスペクトラムアナライザにて測定した結果を示す。The result of having measured the signal of PD1 by the spectrum analyzer by the resonator mirror of 90% reflectance in the modulator ON is shown. 90%反射率の共振器鏡で変調器オンでのPD1の信号の波形を示す。The waveform of the signal of PD1 when the modulator is on with a resonator mirror of 90% reflectivity is shown. 従来のレーザー蓄積装置の構成を説明している。The configuration of a conventional laser storage device is described.

以下に、添付図面を参照しつつ、本考案をその好適な実施態様に基づいて詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail based on preferred embodiments thereof with reference to the accompanying drawings.

1.本考案の第1の実施形態の説明
図1は、自己発振システムである周回発振型光蓄積装置の概念を説明する図であり、光共振器とレーザー増幅器が全体で一体となってレーザー発振器を構成する点を特徴としている。発振回路そのものが自動的に共鳴条件を追従することになるので、制御をせずとも共鳴状態が続く利点がある。増幅部でのゲインが共振器部を含め周回のロスを上回れば、系は発振状態になり、自動的にレーザー光が光周回路を周回し続けることになる。発振は増幅器の自然放出光ノイズから始まる。ノイズ光のうちたまたま光共振器の共鳴幅に受け入れられたスペクトル成分が光共振器を通過し、以降の種光となって周回の中で増幅されていき、最終的にはレーザー増幅器を励起する全エネルギーは全てこの成分に集約され、増幅部が飽和するところで系は定常状態となる。
1. DESCRIPTION OF THE FIRST EMBODIMENT OF THE INVENTION FIG. 1 is a diagram for explaining the concept of a circular oscillation type optical storage device that is a self-oscillation system, in which an optical resonator and a laser amplifier are integrated as a whole. It is characterized by the configuration points. Since the oscillation circuit itself automatically follows the resonance condition, there is an advantage that the resonance state continues without control. If the gain at the amplifier exceeds the circulation loss including the resonator, the system enters an oscillation state, and the laser light automatically continues to circulate in the optical circuit. Oscillation begins with the spontaneous emission light noise of the amplifier. Spectral components of the noise light that happen to be accepted by the resonance width of the optical resonator pass through the optical resonator, become the seed light thereafter, and are amplified in the loop, eventually exciting the laser amplifier. All of the energy is concentrated in this component, and the system is in a steady state where the amplifier is saturated.

共振器部と増幅部が全体で一体となってレーザー発振器を構成する点が従来方式と異なる。従来方式では振動等によって共鳴条件が外れるのを高速高精度フィードバック技術によって無理矢理に維持していたのに対し、新方式では発振回路そのものが自動的に共鳴条件を追従することになるので、制御をせずとも共鳴状態が続く利点がある。   It differs from the conventional method in that the resonator unit and the amplifying unit are integrated to form a laser oscillator. In the conventional method, the resonance condition is canceled due to vibration or the like by using high-speed and high-accuracy feedback technology, whereas in the new method, the oscillation circuit itself automatically follows the resonance condition. Even if not, there is an advantage that the resonance state continues.

共振器を透過した複雑な光路のロスを補う為には高ゲインの増幅部が必要であり、単一パスで高ゲインの得られるファイバ増幅器がこのシステム開発の要になる。そこで、光蓄積共振器と、高効率ファイバレーザー増幅法との基礎研究によって、自己発振を生じさせた閉光学系(周回発振)の着想に至った。このような高フィネス(finesse)タイプの光共振器においては、共振するレーザー光のみを蓄積するので、光共振器を透過したレーザー光を高効率ファイバレーザー増幅器に戻すことにより、安定なレーザー光増幅と共に、レーザー光蓄積とを実現するものである。   In order to compensate for the loss of a complicated optical path transmitted through the resonator, a high gain amplifying unit is required, and a fiber amplifier capable of obtaining a high gain with a single path becomes the key to the development of this system. Therefore, the basic research of the optical storage resonator and the high-efficiency fiber laser amplification method led to the idea of a closed optical system (circular oscillation) that caused self-oscillation. In such a high finesse type optical resonator, only the resonating laser light is accumulated, so stable laser light amplification is achieved by returning the laser light that has passed through the optical resonator to the high-efficiency fiber laser amplifier. Together with this, laser light accumulation is realized.

そして、高効率ファイバレーザー増幅器によって、光共振器に共鳴したレーザー光を増幅させることができるとともに、安定した増幅で得られたレーザー光を光共振器に蓄積させることができることを確認した。   Then, it was confirmed that the laser beam resonated with the optical resonator can be amplified by the high-efficiency fiber laser amplifier, and the laser beam obtained by stable amplification can be accumulated in the optical resonator.

この際、光共振器に入射するレーザー光のエネルギーの1万倍以上のエネルギーを持つレーザー光が光共振器内に存在しているのを確認した。   At this time, it was confirmed that a laser beam having energy more than 10,000 times the energy of the laser beam incident on the optical resonator was present in the optical resonator.

そして、電子ビームを加速させる加速器の出射路内に、光共振器を配置させ、加速器で十分に加速された電子ビームを出射路に導いて、光共振器内のレーザー光に直接、衝突させ、軟X線からガンマ線ビームまで生成させることができることを確認した。   Then, an optical resonator is arranged in the exit path of the accelerator that accelerates the electron beam, the electron beam sufficiently accelerated by the accelerator is guided to the exit path, and directly collides with the laser light in the optical resonator, It was confirmed that a soft X-ray to a gamma ray beam can be generated.

図2は、本考案の第1の実施例に係るレーザー発振装置を示しており、同図において、右半分の自由空間の光学系には光共振器と、この光共振器を挟んで配置した1組のマッチングレンズ群1及び2と、入出力端にそれぞれは位置した一組のコリメータレンズを具備し、左半分のファイバ光学系には調整ケーブルと、分波/合波器(WDM)と、光アイソレータと、ファイバ増幅器と、振幅変調器とがファイバにて接続されて、自由空間の光学系と閉ループになっている。   FIG. 2 shows a laser oscillation apparatus according to a first embodiment of the present invention. In FIG. 2, an optical resonator and a free space optical system in the right half are arranged with the optical resonator interposed therebetween. A pair of matching lens groups 1 and 2 and a pair of collimator lenses respectively positioned at the input and output ends are provided. The left half of the fiber optical system includes an adjustment cable, a demultiplexer / multiplexer (WDM), The optical isolator, the fiber amplifier, and the amplitude modulator are connected by a fiber to form a closed loop with the free space optical system.

発振条件を満たすためのゲインに余裕を持つために、ファイバ増幅器を2個設けており、何れのファイバ増幅器1、2もYbファイバ増幅器である。Ybファイバは、コアにYbがドープされたダブルクラッドタイプのファイバであり、所定の波長のレーザー光(励起用のレーザー光)が供給されて励起されたとき、これとは異なる波長のレーザー光を発生し供給する。   Two fiber amplifiers are provided in order to have a sufficient gain for satisfying the oscillation condition, and both fiber amplifiers 1 and 2 are Yb fiber amplifiers. A Yb fiber is a double clad type fiber with a core doped with Yb. When a laser beam of a predetermined wavelength (excitation laser beam) is supplied and excited, a Yb fiber emits a laser beam having a different wavelength. Generate and supply.

周回方向を規定するために、光アイソレータ1、2を2ヶ所に挿入している。光アイソレータは、端子に供給されたレーザー光を通過させて端子から出射する。   In order to define the rotating direction, the optical isolators 1 and 2 are inserted in two places. The optical isolator passes the laser beam supplied to the terminal and emits it from the terminal.

励起用のレーザー光を発生するレーザー光源は、レーザーダイオードLDと、光アイソレータ3と、前記した分波/合波器(WDM)とから構成している。レーザーダイオードは、ファイバ増幅器を励起させるのに必要な波長のレーザー光を発生する半導体レーザー素子などによって構成しており、駆動電圧が印加されているとき、レーザー光を発生し、レーザーダイオード→光ファイバ→光アイソレータの端子なる経路で、光アイソレータに供給する。   A laser light source that generates laser light for excitation includes a laser diode LD, an optical isolator 3, and the aforementioned demultiplexer / multiplexer (WDM). The laser diode is composed of a semiconductor laser element that generates laser light having a wavelength necessary to excite the fiber amplifier, and generates laser light when a drive voltage is applied. → Supply to the optical isolator through the path of the optical isolator terminal.

光アイソレータ3は、端子に供給されたレーザー光を通過させて端子から出射させ、また端子に供給されたレーザー光を遮断して、端子から出射しないように構成されており、レーザーダイオードからレーザー光が供給されると、端子に接続された光ファイバを介して、これを取り込み、通過させて、端子から出射し、端子→光ファイバ→分波/合波器の端子なる経路で、分波/合波器に供給する。また、分波/合波器からレーザー光が出射され、これが光ファイバを介して、端子に供給されたとき、これを遮断させて、レーザーダイオードを保護する。   The optical isolator 3 is configured so that the laser beam supplied to the terminal passes through and is emitted from the terminal, and the laser beam supplied to the terminal is blocked and does not exit from the terminal. Is taken in, passed through the optical fiber connected to the terminal, emitted from the terminal, and demultiplexed / multiplexed by a path of terminal → optical fiber → demultiplexer / multiplexer terminal. Supply to the multiplexer. Further, when the laser beam is emitted from the demultiplexer / multiplexer and supplied to the terminal via the optical fiber, it is blocked to protect the laser diode.

分波/合波器は、一方の各端子から第1の波長のレーザー光、第2の波長のレーザー光が入射されたとき、これを合波して、他方の端子から出射し、またこの端子から合波されたレーザー光が入射したとき、これを分波して、当該分波したレーザー光を端子から出射し、これを端子から出射するように構成されており、光アイソレータ3からレーザー光が出力され、これが光ファイバに接続された端子に供給されたとき、このレーザー光を取り込み、端子に接続されたファイバ増幅器2に供給する。また、ファイバ増幅器2からレーザー光が出射され、これが端子に供給されると、このレーザー光を分波して、分派した波長のレーザー光を端子から出射し、分波/合波器の端子→光ファイバ→光アイソレータの端子なる経路で、光アイソレータに供給する。   When a laser beam having a first wavelength and a laser beam having a second wavelength are incident from one of the terminals, the demultiplexer / multiplexer synthesizes and emits the light from the other terminal. When the laser light combined from the terminal is incident, it is demultiplexed, and the demultiplexed laser light is emitted from the terminal and emitted from the terminal. When light is output and supplied to a terminal connected to the optical fiber, the laser light is taken in and supplied to the fiber amplifier 2 connected to the terminal. When the laser light is emitted from the fiber amplifier 2 and supplied to the terminal, the laser light is demultiplexed, and the laser light having the divided wavelength is emitted from the terminal, and the demultiplexer / multiplexer terminal → The optical fiber is supplied to the optical isolator through the path of the optical fiber → optical isolator terminal.

また、光アイソレータ2は、端子に供給されたレーザー光を取り込み、通過させて端子から出射し、また端子に供給されたレーザー光を遮断して、端子から出射しないように構成されており、分波/合波器の端子→光ファイバ→端子なる経路で、分波/合波器から出射されたレーザー光が供給されたとき、これを通過させ、端子→光ファイバ→振幅変調器→ファイバ増幅器1→光アイソレータ1なる経路にて光学系に供給する。また、光アイソレータ1は光学系→光ファイバ→端子なる経路で、光学系からレーザー光が供給されたとき、これを遮断して、レーザー光が分波/合波器に戻らないようにする。   Further, the optical isolator 2 is configured to take in the laser beam supplied to the terminal, pass it and emit it from the terminal, and to block the laser beam supplied to the terminal so as not to emit from the terminal. When the laser beam emitted from the demultiplexer / multiplexer is supplied through the path of the wave / multiplexer terminal → optical fiber → terminal, this is passed through, and the terminal → optical fiber → amplitude modulator → fiber amplifier. 1 → The optical isolator 1 is supplied to the optical system through a path. Also, the optical isolator 1 is cut off when laser light is supplied from the optical system through a path of optical system → optical fiber → terminal so that the laser light does not return to the demultiplexer / multiplexer.

そして、光周回路の光路長には、光周回路の光路長を微調整するための調整ケーブルを設けているが、この調整ケーブルもファイバにて構成している。   The optical path length of the optical circumference circuit is provided with an adjustment cable for finely adjusting the optical path length of the optical circumference circuit, and this adjustment cable is also constituted by a fiber.

調整ケーブルとファイバ増幅器は偏波非保存であるが、変調器以降の偏波保存の系に対して偏光面を合わせる必要がある為、パドル式の偏光コントローラを挿入している。ファイバ系の最後に10%カプラを設置し、周回光の一部(10%)を取り出してフォトダイオード(PD)でモニタしている。アクティブモードロック方式でパルス化を引き起こすために、振幅変調器には、外部から加えるRF信号で駆動するようになっている。   The adjustment cable and the fiber amplifier are nonpolarization-preserving, but a paddle type polarization controller is inserted because the polarization plane needs to be matched to the polarization-maintaining system after the modulator. A 10% coupler is installed at the end of the fiber system, and a part (10%) of the circulating light is taken out and monitored by a photodiode (PD). In order to cause pulsing in the active mode lock system, the amplitude modulator is driven by an RF signal applied from the outside.

マッチングレンズ群1は、コリメータレンズ1を介してファイバと接続され、レーザー光を反射する複数のミラーと、レーザー光の径などを調整するマッチングレンズを備えており、コリメータレンズ1からのレーザー光を取り込み、反射させながら、径、偏向方向などを調整し、電子ビームを加速させる加速器の出射路内に配置された光共振器に入射させる。   The matching lens group 1 is connected to the fiber via the collimator lens 1 and includes a plurality of mirrors that reflect the laser light and a matching lens that adjusts the diameter of the laser light, and the like. While taking in and reflecting, the diameter, the deflection direction, and the like are adjusted, and the electron beam is made incident on an optical resonator arranged in the output path of the accelerator that accelerates the electron beam.

光共振器は、電子ビームを加速させる加速器の出射路内に配置される共振器構造体(図示は省略する)と、反射率が90%以上、曲率半径が250mmの、共振器構造体に取り付けられる凹面鏡と、反射率90%以上、曲率半径が250mmで、レーザー光の波長と対応する距離だけ、凹面鏡と離間され、かつ凹面側が対向するように、共振器構造体に取り付けられる凹面鏡と、凹面鏡の裏面と共振器構造体との間に配置され、印加された電圧に応じて、変形し、凹面鏡の位置、取り付け角度などを調整するピエゾ素子とを備えており、マッチングレンズ群1、マッチングレンズ群2から各凹面鏡の裏面にレーザー光が供給されたとき、各凹面鏡を透過させて、各凹面鏡の間に、これを閉じ込め、蓄積しながら、位相を調整する。また、この動作と並行し、各凹面鏡の間に蓄積している強いレーザー光の一部を各凹面鏡から出射させ、マッチングレンズ群1、マッチングレンズ群2に供給する。   The optical resonator is attached to a resonator structure (not shown) disposed in an exit path of an accelerator that accelerates an electron beam, and a resonator structure having a reflectance of 90% or more and a radius of curvature of 250 mm. A concave mirror that is attached to the resonator structure so that the concave mirror is spaced apart from the concave mirror by a distance corresponding to the wavelength of the laser beam and the concave side faces the concave mirror. And a piezo element which is arranged between the back surface of the substrate and the resonator structure and deforms in accordance with the applied voltage and adjusts the position and mounting angle of the concave mirror, and the like. When laser light is supplied from the group 2 to the back surface of each concave mirror, the phase is adjusted while transmitting through each concave mirror and confining and accumulating it between the concave mirrors. In parallel with this operation, a part of strong laser light accumulated between the concave mirrors is emitted from the concave mirrors and supplied to the matching lens group 1 and the matching lens group 2.

マッチングレンズ群2は、コリメータレンズ2を介してファイバと接続され、レーザー光を反射する複数のミラーと、レーザー光の径を調整するマッチングレンズを備えて、供給されたレーザー光を取り込み、反射させながら、径、偏向方向などを調整し、光共振器に入射させる。また、光共振器から出射されるレーザー光を取り込み、反射させながら、径、偏向方向などを調整し、コリメータレンズ2から出射し、光ファイバを介して、出力カプラの端子に供給する。   The matching lens group 2 is connected to the fiber via the collimator lens 2 and includes a plurality of mirrors that reflect the laser light and a matching lens that adjusts the diameter of the laser light, and captures and reflects the supplied laser light. While adjusting the diameter, deflection direction, etc., the light is incident on the optical resonator. Further, the laser light emitted from the optical resonator is taken in and reflected, and the diameter, the deflection direction, and the like are adjusted, emitted from the collimator lens 2, and supplied to the terminal of the output coupler via the optical fiber.

このように、ファイバから自由空間へはコリメータレンズ1から出射し、マッチング用のレンズの組で調整したうえで、光共振器に入射される。後に述べる調整により、光共振器長は420mm(周波数357MHz)に合わせている。片方の共振器鏡にはマイクロメータステージを取り付け、光共振器長の微調整に使用し、もう片方の光共振器鏡はピエゾ駆動にし、調整の際のスキャンに用いる。光共振器透過後は対称な光学系を通過し、コリメータレンズ2からファイバへ再入力される。途中、ビームサンプラにより一部を反射し、PD2は共振器の反射光をモニタし、PD3は光共振器の透過光をモニタするようになっている。   As described above, the light exits from the fiber to the free space from the collimator lens 1 and is adjusted by a pair of lenses for matching before entering the optical resonator. By adjustment described later, the optical resonator length is adjusted to 420 mm (frequency 357 MHz). A micrometer stage is attached to one resonator mirror and used for fine adjustment of the optical resonator length, and the other optical resonator mirror is piezo-driven and used for scanning during adjustment. After passing through the optical resonator, the light passes through a symmetric optical system and is input again from the collimator lens 2 to the fiber. On the way, a part is reflected by the beam sampler, PD2 monitors the reflected light of the resonator, and PD3 monitors the transmitted light of the optical resonator.

PD1〜PD3で各部をモニタするが、このときモニタするパワーと、光周回路の各部でのパワーとの対応付けが必要となる。その理由は、この装置においての発振波長は1035nm付近であるが、市販の共振器鏡等の各要素の波長と相違する場合には、キャリブレーションを行う必要があるからである。この場合の光周回路のモニタ点としては、ファイバアンプ1を励起して発生したASE光を使って、各部のパワーを測定し、対応付けする。   Each part is monitored by PD1 to PD3, and it is necessary to associate the power to be monitored at this time with the power in each part of the optical circuit. The reason for this is that although the oscillation wavelength in this apparatus is around 1035 nm, calibration is required when it differs from the wavelength of each element such as a commercially available resonator mirror. In this case, as the monitor point of the optical circuit, the ASE light generated by exciting the fiber amplifier 1 is used to measure and associate the power of each part.

上記構成において、自己発振システムのパルス動作を行うための光共振器繰り返し周波数の調整と光周回路の調整について説明する。   In the above configuration, adjustment of the optical resonator repetition frequency and adjustment of the optical circuit for performing the pulse operation of the self-oscillation system will be described.

自由空間部の光学系を決めるために、例えば714MHzモードロックレーザーを用いて調整を行うものとする。まず、光共振器の共振器長を精度良く決めようという狙いである。共振器は、曲率半径250mmの凹面鏡を420mm間隔で向かい合わせた、FSR=357MHzの構成とした。   In order to determine the optical system in the free space, adjustment is performed using, for example, a 714 MHz mode-locked laser. First, the aim is to accurately determine the resonator length of the optical resonator. The resonator has a configuration of FSR = 357 MHz in which concave mirrors having a curvature radius of 250 mm are faced to each other at 420 mm intervals.

図3で示すように、モードロックレーザーからの光をファイバで輸送し、FC/APCコネクタでコリメータに接続して出射する。このとき、光共振器の透過光を見ながら調整し、共鳴を最大にするようにマイクロメータで光共振器長を調整する。マッチングは、ファイバ接続を順方向、逆方向、と切替え、上流側と下流側のマッチングを独立に調整する。順方向から入力し、出射側でファイバに再入力した後の信号を測定し、全体の光学系マッチングを確認する。   As shown in FIG. 3, the light from the mode-locked laser is transported through a fiber, connected to a collimator with an FC / APC connector, and emitted. At this time, the optical resonator length is adjusted with a micrometer so that the resonance is maximized while adjusting the light passing through the optical resonator. In the matching, the fiber connection is switched between the forward direction and the reverse direction, and the matching between the upstream side and the downstream side is adjusted independently. The signal is input from the forward direction and re-input to the fiber on the output side, and the entire optical system matching is confirmed.

次に、光周回路の調整について説明する。光共振器の鏡を、同じ形状の基板でコート無しのものに交換でき、その場合、光共振器長に相当する光路長は経由するが、共鳴現象は起きないようになっている。ここで多少のマッチングのずれについては、ファイバ再入力部の鏡を微調整して回復させることが出来る。これで基本的には単純なリングレーザーの構成になる。振幅変調器はRFオフの状態で、ファイバ増幅器をオンにし、フォトダイオードPD1の信号をスペクトラムアナライザで測定すると、周回の光路長に相当するスーパーモードノイズピークが観測できる。この状態で、ピーク強度を最大にするように、偏光コントローラのパドルの調整と、振幅変調器のDCオフセットの調整を行う。本構成では、周回の基本周波数は6.5MHz程度になっているので、これを目標の357MHzに合わせる為に、基本周波数の55倍のハーモニクスを使う。55番目のピークが357MHzに一致するように、調整ケーブルの長さを調整するが、本例では357.067MHzまで調整が出来る。更に精度を出すためには、ピエゾストレッチャとディレイラインを用いることも考えられる。また、広いスパンで見ると、6.49MHz間隔にスーパーモードノイズピークを確認できる。   Next, adjustment of the optical circuit will be described. The mirror of the optical resonator can be replaced with an uncoated substrate of the same shape, and in this case, the optical path length corresponding to the optical resonator length passes, but the resonance phenomenon does not occur. Here, a slight mismatch in matching can be recovered by finely adjusting the mirror of the fiber re-input portion. This basically results in a simple ring laser configuration. When the fiber amplifier is turned on with the amplitude modulator turned off and the signal of the photodiode PD1 is measured with a spectrum analyzer, a super mode noise peak corresponding to the optical path length of the circuit can be observed. In this state, adjustment of the paddle of the polarization controller and adjustment of the DC offset of the amplitude modulator are performed so as to maximize the peak intensity. In this configuration, since the fundamental frequency of the circulation is about 6.5 MHz, harmonics 55 times the fundamental frequency are used to match this with the target 357 MHz. The length of the adjustment cable is adjusted so that the 55th peak coincides with 357 MHz. In this example, the adjustment can be made up to 357.067 MHz. In order to increase the accuracy, it is also possible to use a piezo stretcher and a delay line. In addition, when viewed in a wide span, super mode noise peaks can be confirmed at intervals of 6.49 MHz.

こうした調整により、光周回路長に対応した周波数の整数倍に調整した357MHzのRF信号を振幅変調器に入力して、パルス発振させると、変調をかけた357MHzの成分が強まり、その他のノイズピークは抑制され、変調の周期でパルス構造が出来上がる。すなわち、繰り返し周波数357MHzに調整した自由空間蓄積共振器を、周回光路長をこの55倍に調整したファイバ増幅器システムに組み込んで発振させた振幅変調を導入した結果、周回光が共振器長に対応する間隔の安定したパルス構造を持ち、同時に蓄積共振器内部で強度増大が起こる。   By such an adjustment, when a 357 MHz RF signal adjusted to an integral multiple of the frequency corresponding to the optical circuit length is input to the amplitude modulator and pulsated, the modulated 357 MHz component becomes stronger and other noise peaks are generated. Is suppressed, and a pulse structure is completed with the period of modulation. That is, as a result of introducing an amplitude modulation in which a free space storage resonator adjusted to a repetition frequency of 357 MHz is incorporated into a fiber amplifier system whose loop optical path length is adjusted to 55 times and oscillated, the circular light corresponds to the resonator length. It has a pulse structure with a stable interval, and at the same time, the intensity increases inside the storage resonator.

この確認は、PD1の信号をスペクトラムアナライザで測定することで、変調をかけた357MHzの成分が強まりパルス化して発振していることを確認できる。   This confirmation can be made by measuring the signal of PD1 with a spectrum analyzer and confirming that the modulated 357 MHz component is strengthened and pulsates and oscillates.

共振器鏡は波長1064nmにおいて、反射率90%、あるいは、99%の仕様になっている。同様にASE光を入射して、透過率を測定した。90%鏡は透過率7.5%、99%鏡は透過率1.3%である、との結果が得られた。この説明では、90%鏡、99%鏡と呼ぶが、実際に共振器透過光パワーから共振器内部でのパワーを見積る際には、測定結果の透過率から算出することになる。   The resonator mirror has a reflectance of 90% or 99% at a wavelength of 1064 nm. Similarly, ASE light was incident and the transmittance was measured. The 90% mirror had a transmittance of 7.5%, and the 99% mirror had a transmittance of 1.3%. In this explanation, they are called 90% mirror and 99% mirror, but when the power inside the resonator is actually estimated from the power transmitted through the resonator, it is calculated from the transmittance of the measurement result.

本装置の実証確認について説明する。光共振器の共振器鏡が、コート無し及び反射率90%と99%であるそれぞれの場合について、振幅変調器をオン及びオフ(振幅変調器へ入力するケーブルをカプラから外したとき)で測定した結果を示す。   The verification of this device will be described. Measured with the amplitude modulator on and off (when the cable to the amplitude modulator is disconnected from the coupler) for each case where the resonator mirror of the optical resonator is uncoated and 90% and 99% reflective The results are shown.

a)コート無し共振器鏡での結果
図4に、変調器オフでのPD1の信号をスペクトラムアナライザで測定した結果を示す。図4(a)によると、357MHz付近にスーパーノイズピークが見られる。また、広いスパンで見る図4(b)の測定によると、6.5MHz間隔でスーパーモードノイズピークが観測できる。
a) Results with an uncoated resonator mirror FIG. 4 shows the results of measuring the PD1 signal with a spectrum analyzer when the modulator is off. According to FIG. 4A, a super noise peak is seen in the vicinity of 357 MHz. In addition, according to the measurement in FIG. 4B, which is observed in a wide span, super mode noise peaks can be observed at intervals of 6.5 MHz.

図5に、変調器オンでのPD1の信号をスペクトラムアナライザの測定結果を示す。図5(a)によると変調をかけた357MHzの成分が強まり、その他のノイズピークは抑制されていることを広いスパンで見る図5(b)は示している。オシロスコープでPD1を観測した図6のパルス波形は変調の周期でパルス構造が出来ていることを示す。   FIG. 5 shows a spectrum analyzer measurement result of the PD1 signal when the modulator is on. FIG. 5B shows that a 357 MHz component subjected to modulation is strengthened and other noise peaks are suppressed according to FIG. The pulse waveform of FIG. 6 obtained by observing PD1 with an oscilloscope indicates that a pulse structure is formed with a modulation period.

b)90%反射率の共振器鏡での結果
図7に、変調器オフでのPD1の信号をスペクトラムアナライザで測定した結果を示す。図7(a)によると357MHz付近にピークが見られ、また、広いスパンで見ても、スーパーモードノイズピークは観測されないことを図7(b)は示す。これは、共振器構造によって、他のピークが抑制される為である。
b) Result with 90% Reflectance Resonator Mirror FIG. 7 shows the result of measuring the signal of PD1 with a spectrum analyzer when the modulator is off. According to FIG. 7A, a peak is seen in the vicinity of 357 MHz, and FIG. 7B shows that no super mode noise peak is observed even in a wide span. This is because other peaks are suppressed by the resonator structure.

図8に、変調器オンでのPD1の信号をスペクトラムアナライザの測定結果を示す。変調をかけた357MHzの成分が強まり、パルス化して発振することを図8(a)及び広いスパンで見る図8(b)は示している。オシロスコープでPD1を観測した図9のパルス波形は、コート無しの場合よりも安定したパルス列が構成されていることを示す。   FIG. 8 shows a measurement result of the spectrum analyzer of the signal of PD1 when the modulator is on. FIG. 8 (a) and FIG. 8 (b) seen in a wide span show that the modulated 357 MHz component becomes stronger and pulsates and oscillates. The pulse waveform of FIG. 9 obtained by observing PD1 with an oscilloscope indicates that a more stable pulse train is formed than in the case of no coating.

c)99%反射率の共振器鏡での結果
図10に、変調器オフでのPD1の信号をスペクトラムアナライザで測定した結果を示す。図10(a)によると357MHz付近にピークが見られ、また、図10(b)は広いスパンで見ても、スーパーモードノイズピークは観測されないことを示す。
c) Result with 99% reflectivity resonator mirror FIG. 10 shows the result of measuring the signal of PD1 with a spectrum analyzer when the modulator is off. According to FIG. 10A, a peak is observed in the vicinity of 357 MHz, and FIG. 10B shows that no super mode noise peak is observed even when viewed in a wide span.

図11に、変調器オンでのPD1の信号をスペクトラムアナライザの測定結果を示す。変調をかけた357MHzの成分が強まり、パルス化して発振することを図11(a)及び広いスパンで見る図11(b)は示している。オシロスコープでPD1を観測した図12のパルス波形は、コート無しの場合よりも安定したパルス列が構成されていることを示す。   FIG. 11 shows the measurement result of the spectrum analyzer for the signal of PD1 when the modulator is on. FIG. 11 (a) and FIG. 11 (b) viewed from a wide span show that the 357 MHz component subjected to modulation becomes stronger and oscillates in a pulsed manner. The pulse waveform of FIG. 12 obtained by observing PD1 with an oscilloscope indicates that a more stable pulse train is formed than in the case of no coating.

2.本考案の第2の実施形態の説明
本考案の第1の実施形態の説明では、レーザー発振器のシステムに外部の信号発生器を用いて強制的に振幅変調を与えることで、ハーモニックパルス化を行った。この方式は、構成が比較的簡単で、発振させるハーモニクスを変更することも容易である。
2. Description of the Second Embodiment of the Present Invention In the description of the first embodiment of the present invention, harmonic pulsing is performed by forcibly applying amplitude modulation to the laser oscillator system using an external signal generator. It was. This system has a relatively simple configuration and can easily change the harmonics to be oscillated.

これに対して、これから述べる第2の実施形態では、外部の変調信号発生器を用いるかわりに、レーザー発振器自体のノイズを電気的に取り出し、振幅変調器を駆動することで、系の基本周波数に正確に一致した変調信号をフィードバックすることが可能である。この方式に依れば、振幅変調器の駆動信号を自らの発振信号から再生して作る、再生モードロック方式を用いることで、発振周波数自体が変動しても、変調信号と周回長との関係は変わらない為に、パルス発振は安定する利点がある。   On the other hand, in the second embodiment to be described, instead of using an external modulation signal generator, the noise of the laser oscillator itself is electrically extracted and the amplitude modulator is driven to obtain the fundamental frequency of the system. It is possible to feed back an exactly matched modulation signal. According to this method, even if the oscillation frequency itself fluctuates, the relationship between the modulation signal and the loop length can be obtained by using the reproduction mode lock method, which is made by reproducing the drive signal of the amplitude modulator from its own oscillation signal. Therefore, pulse oscillation has the advantage of being stable.

図13は、レーザー光を振幅変調するのに再生モードロック方式を採用したレーザー発振装置の構成を示す。図2と同様の構成であるが、レーザー発振器自体のノイズを電気的に取り出して振幅変調器に変調信号をフィードバックするフィードバック回路を具備した点が異なる。   FIG. 13 shows the configuration of a laser oscillation apparatus that employs a reproduction mode lock method to modulate the amplitude of laser light. The configuration is the same as that shown in FIG. 2 except that a feedback circuit for electrically extracting the noise of the laser oscillator itself and feeding back the modulation signal to the amplitude modulator is provided.

このフィードバック回路は、10%ファイバカプラから一部の光を取り出し、フォトダイオード(PD1)でモニタする。PD1の電気信号を増幅し、357MHz±7MHzのバンドパスフィルタ(BPF)により、スーパーモードノイズのうち、成長させたい成分を取り出す。これをフェーズシフタで適宜に位相を調整したうえで、RF増幅器で適当な振幅に増幅し、ファイバ増幅器の入力側に設けている振幅変調器を駆動する。   This feedback circuit extracts part of the light from the 10% fiber coupler and monitors it with a photodiode (PD1). The electric signal of PD1 is amplified, and the component to be grown is extracted from the super mode noise by a band pass filter (BPF) of 357 MHz ± 7 MHz. The phase is appropriately adjusted by a phase shifter, amplified to an appropriate amplitude by an RF amplifier, and an amplitude modulator provided on the input side of the fiber amplifier is driven.

また、光周回路の光路長も、図2の構成と同様に、長さを調整した調整ケーブルを挿入して、基本周波数を6.49MHz、55番目のハーモニクスが蓄積共振器の357MHzと一致するようにしている。   Similarly to the configuration of FIG. 2, the optical path length of the optical circuit is the same as the configuration shown in FIG. 2, and an adjustment cable whose length is adjusted is inserted, the fundamental frequency is 6.49 MHz, and the 55th harmonic matches the 357 MHz of the storage resonator. I am doing so.

そして、PD1の信号をスプリッタで2つに分けて、周回パルス構造をモニタするようにし、また、振幅変調器へ戻す信号も2つに分けて、フィードバック信号をモニタすることができるようにすることで、これらの信号をオシロスコープまたはスペクトラムアナライザで観測することで本システムによる効果を確認できる。   Then, the signal of PD1 is divided into two by a splitter so as to monitor the circulating pulse structure, and the signal returned to the amplitude modulator is also divided into two so that the feedback signal can be monitored. By observing these signals with an oscilloscope or spectrum analyzer, the effect of this system can be confirmed.

本装置の実証確認について説明すると、光共振器の共振器鏡が、コート無し及び反射率90%の共振器鏡を用いた場合について測定を行うものとし、再生モードロックによる効果を確認するために、振幅変調器へ入力するケーブルをコネクタから取り外し、フィードバックループをオープンにした場合と、ループをクローズした場合を比較する。   In order to confirm the verification of this device, it is assumed that the resonator mirror of the optical resonator uses a resonator mirror with no coating and a reflectivity of 90%. Compare the case where the input cable to the amplitude modulator is removed from the connector and the feedback loop is opened, and the case where the loop is closed.

a)コート無し共振器鏡での結果
図14に、変調器オフでのPD1の信号をスペクトラムアナライザで測定した結果を示す。図14(b)によると6.49MHz間隔でスーパーノイズピークが見られ、図14(a)にて357MHz付近に55番目のピークがあることを示す。図15はモニタ信号をオシロスコープで測定したものであり、ノイズは複数の成分から成るためランダムな波形となる。また、広いスパンで見ると、6.5MHz間隔でスーパーモードノイズピークが観測できる。
a) Results with an uncoated resonator mirror FIG. 14 shows the results of measuring the signal of PD1 with a spectrum analyzer when the modulator is off. According to FIG. 14B, super noise peaks are observed at intervals of 6.49 MHz, and FIG. 14A shows that the 55th peak is present in the vicinity of 357 MHz. FIG. 15 shows a monitor signal measured with an oscilloscope. Since noise is composed of a plurality of components, it has a random waveform. In addition, when viewed over a wide span, super mode noise peaks can be observed at intervals of 6.5 MHz.

図16は、変調器オンでのPD1の信号をスペクトラムアナライザの測定結果を示す。図16(a)及びスーパーノイズピークが成長しており、広いスパンで見る図16(b)は他のピークは抑制されていることを示す。オシロスコープでPD1を観測した図17のパルス波形は、図17(a)はパルス構造が生じていることを示し、また、長いスパンで見ても安定にパルス発振していることを図17(b)は示す。   FIG. 16 shows the measurement result of the spectrum analyzer for the signal of PD1 when the modulator is on. FIG. 16A and the super noise peak are growing, and FIG. 16B seen in a wide span shows that other peaks are suppressed. The pulse waveform of FIG. 17 obtained by observing PD1 with an oscilloscope shows that a pulse structure is generated in FIG. 17A, and that a stable pulse oscillation is observed even in a long span. ).

b)90%反射率の共振器鏡での結果
図18に、変調器オフでのPD1の信号をスペクトラムアナライザで測定した結果を示す。図18(a)によると357MHzにスーパーノイズピークが見られ、広いスパンで示す図18(b)はその他のピークは、共振器の効果のために抑制されていることを示す。図19はこのときの波形であるが、ノイズの成分が少ないために、特にBPFの後の信号には、図19(a)で短いスパンで見ると357MHzの波形が見られるが、図19(b)の長いスパンで観測すると不安定に振幅が揺らいでいることを示している。
b) Result with 90% Reflectance Resonator Mirror FIG. 18 shows the result of measuring the PD1 signal with the spectrum analyzer when the modulator is off. According to FIG. 18 (a), a super noise peak is observed at 357 MHz, and FIG. 18 (b) showing a wide span shows that other peaks are suppressed due to the effect of the resonator. FIG. 19 shows a waveform at this time. Since there are few noise components, the signal after BPF, in particular, shows a waveform of 357 MHz when viewed in a short span in FIG. When observed over a long span of b), the amplitude fluctuates unstablely.

図20は、変調器オンでのPD1の信号をスペクトラムアナライザの測定結果を示しており、図20(a)、図20(b)でも発振信号はより鋭くなっていることを示す。図21はこのときの波形であり、図21(a)、図21(b)共にパルス発振が安定していることを示している。   FIG. 20 shows the measurement result of the spectrum analyzer for the signal of PD1 when the modulator is on, and also shows that the oscillation signal is sharper in FIGS. 20 (a) and 20 (b). FIG. 21 shows waveforms at this time, and both FIG. 21A and FIG. 21B show that pulse oscillation is stable.

以上の測定結果は、本考案の装置に依れば、発振のノイズピークから適当なハーモニクスの信号を電気的に取り出し、振幅変調に用いることで、自動的に変調周波数の最適化を行うことができることを示す。よって、発振のノイズピークから適当なハーモニクスの信号を電気的に取り出し、振幅変調に用いることで、自動的に変調周波数の最適化を行うことができパルス発振を安定させることができる。   The above measurement results show that according to the device of the present invention, the modulation frequency can be automatically optimized by electrically extracting an appropriate harmonic signal from the oscillation noise peak and using it for amplitude modulation. Show what you can do. Therefore, by electrically extracting an appropriate harmonic signal from the oscillation noise peak and using it for amplitude modulation, the modulation frequency can be automatically optimized and the pulse oscillation can be stabilized.

以上、本考案を好適な実施態様に関連して説明したが、本考案は上記実施態様に限定されるものでなく、その技術的範囲において、様々な変更又は変形を加えて実施し得ることは言うまでもない。   As mentioned above, although this invention was demonstrated in relation to the preferred embodiment, this invention is not limited to the said embodiment, In the technical scope, it can implement with a various change or deformation | transformation. Needless to say.

本考案は、強いレーザー光を発生させるレーザー装置に関し、特に、光共振器のフィネスを高めた時でも、安定して発振させ得るようにしたレーザーコンプトン散乱を利用した光源用レーザーに関するものであり、しかも振幅変調を導入することでより高いピーク強度を得ることができるため、産業上の利用可能性を有する。
The present invention relates to a laser device that generates strong laser light, and more particularly, to a laser for a light source using laser Compton scattering that can oscillate stably even when the finesse of an optical resonator is increased. In addition, since higher peak intensity can be obtained by introducing amplitude modulation, it has industrial applicability.

Claims (11)

励起用のレーザー光を発生するレーザー光源と、
前記レーザー光から所望波長のレーザー光を生成させるためのファイバ増幅器と、
前記ファイバ増幅器により生成された前記レーザー光を共振蓄積する光共振器と、
前記ファイバ増幅器及び前記光共振器が前記レーザー光を共振させる光周回路として形成され、
前記レーザー光を振幅変調するモードロック方式の振幅変調器を前記ファイバ増幅器の入力側に設けたことを特徴とするレーザー発振装置。
A laser light source that generates laser light for excitation;
A fiber amplifier for generating laser light of a desired wavelength from the laser light;
An optical resonator for resonantly storing the laser light generated by the fiber amplifier;
The fiber amplifier and the optical resonator are formed as an optical circuit for resonating the laser light,
A laser oscillation apparatus, wherein a mode-locked amplitude modulator for amplitude-modulating the laser light is provided on the input side of the fiber amplifier.
前記ファイバ増幅器の出力側に配置され、前記レーザー光を前記光共振器の一方に導くと共に、逆方向のレーザー光を遮断する光アイソレータを更に備え、
前記ファイバ増幅器、前記光共振器及び前記光アイソレータが前記光周回路として形成され、
前記振幅変調器が、前記光周回路長に対応した周波数の整数倍に調整された変調信号により前記レーザー光を振幅変調する能動モードロック方式であることを特徴とする請求項1に記載のレーザー発振装置。
An optical isolator arranged on the output side of the fiber amplifier, guiding the laser light to one of the optical resonators and blocking laser light in the reverse direction;
The fiber amplifier, the optical resonator and the optical isolator are formed as the optical circuit,
2. The laser according to claim 1, wherein the amplitude modulator is an active mode-locking method in which the laser beam is amplitude-modulated by a modulation signal adjusted to an integer multiple of a frequency corresponding to the optical circuit length. Oscillator.
前記ファイバ増幅器の出力側に配置され、前記レーザー光を前記光共振器の一方に導くと共に、逆方向のレーザー光を遮断する光アイソレータを更に備え、
前記ファイバ増幅器、前記光共振器及び前記光アイソレータが前記光周回路として形成され、
前記振幅変調器が、前記光アイソレータの出力をモニタリングし、前記光周回路を周回するレーザー光の周波数信号自体により前記レーザー光を振幅変調する再生モードロック方式であることを特徴とする請求項1に記載のレーザー発振装置。
An optical isolator arranged on the output side of the fiber amplifier, guiding the laser light to one of the optical resonators and blocking laser light in the reverse direction;
The fiber amplifier, the optical resonator and the optical isolator are formed as the optical circuit,
2. The reproduction mode lock system in which the amplitude modulator monitors an output of the optical isolator and amplitude-modulates the laser beam by a frequency signal itself of the laser beam that circulates in the optical circuit. The laser oscillation device described in 1.
前記振幅変調器が、
前記ファイバ増幅器からのレーザー光の一部を取り出すためのフォトダイオードと、
前記フォトダイオードの出力信号を増幅する第1のRF増幅器と、
前記RF増幅器の出力信号の中から成長させたい所望の周波数帯域のRF信号を取り出すためのバンドパスフィルタと、
前記バンドパスフィルタを通過したRF信号の位相変調を行う位相変調器と、
前記位相変調器により位相変調されたRF信号により前記振幅変調器を駆動する第2のRF増幅器と、を含むことを特徴とする請求項3に記載のレーザー発振装置。
The amplitude modulator comprises:
A photodiode for extracting a part of the laser light from the fiber amplifier;
A first RF amplifier for amplifying the output signal of the photodiode;
A bandpass filter for extracting an RF signal of a desired frequency band to be grown from the output signal of the RF amplifier;
A phase modulator that performs phase modulation of the RF signal that has passed through the bandpass filter;
The laser oscillation apparatus according to claim 3, further comprising: a second RF amplifier that drives the amplitude modulator by an RF signal phase-modulated by the phase modulator.
前記光周回路上には、前記レーザー光から所望波長のレーザー光を生成させるための第2のファイバ増幅器が配置されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のレーザー発振装置。   5. The laser oscillation device according to claim 1, wherein a second fiber amplifier for generating laser light having a desired wavelength from the laser light is disposed on the optical circuit. 前記光周回路上に、該光周回路の光路長を微調整するための調整ケーブルを設けたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のレーザー発振装置。   6. The laser oscillation device according to claim 1, wherein an adjustment cable for finely adjusting an optical path length of the optical circuit is provided on the optical circuit. 前記ファイバ増幅器が、
前記光周回路の光路長に対応した周波数の整数倍であって成長させたい所望周波数の光を振幅変調するモードロック方式の前記振幅変調器を含み、前記レーザー光源が発生した前記レーザー光を入射して前記所望周波数のパルスレーザー光を出射する第1のファイバ増幅器と、
前記パルスレーザー光の波長に対応させる調整ケーブルを有し、前記光共振器から出射された前記パルスレーザー光を増幅する第2のファイバ増幅器とからなり、
前記光共振器が、前記第1のファイバ増幅器から出射された前記パルスレーザー光を共振蓄積し、
前記レーザー発振装置が、
前記第1のファイバ増幅器からのレーザー光の一部を取り出すための第1のフォトダイオードと、
前記第1のフォトダイオードの出力信号を2つに分けるスプリッタと、
前記スプリッタからの2つの出力信号の一方を増幅する第1のRF増幅器と、
前記第1のRF増幅器の出力信号の中から前記所望周波数のレーザー光のRF信号を取り出すためのバンドパスフィルタと、
前記バンドパスフィルタを通過したRF信号の位相変調を行う位相変調器と、
前記位相変調器により位相変調されたRF信号により前記振幅変調器を駆動する第2のRF増幅器と、
前記スプリッタからの2つの出力信号の他方をモニタリングするための第2のフォトダイオードと、を更に備え、
前記パルスレーザー光が、前記第1のファイバ増幅器、前記光共振器及び前記第2のファイバ増幅器により構成された前記光周回路を周回することにより自己発振増幅されて前記光共振器に蓄積され、
前記調整ケーブルが、前記光周回路において、該光周回路の光路長を微調整するためのケーブルであることを特徴とする請求項1に記載のレーザー発振装置。
The fiber amplifier is
Including the mode-locked amplitude modulator that modulates the light having a desired frequency that is an integral multiple of the frequency corresponding to the optical path length of the optical circuit, and is incident on the laser light generated by the laser light source A first fiber amplifier for emitting the pulse laser beam having the desired frequency;
An adjustment cable corresponding to the wavelength of the pulse laser beam, and a second fiber amplifier that amplifies the pulse laser beam emitted from the optical resonator;
The optical resonator resonantly accumulates the pulsed laser light emitted from the first fiber amplifier;
The laser oscillation device is
A first photodiode for extracting a portion of the laser light from the first fiber amplifier;
A splitter for dividing the output signal of the first photodiode into two;
A first RF amplifier for amplifying one of the two output signals from the splitter;
A bandpass filter for extracting an RF signal of the laser beam having the desired frequency from the output signal of the first RF amplifier;
A phase modulator that performs phase modulation of the RF signal that has passed through the bandpass filter;
A second RF amplifier that drives the amplitude modulator with an RF signal phase modulated by the phase modulator;
A second photodiode for monitoring the other of the two output signals from the splitter;
The pulsed laser light is self-oscillated and amplified and accumulated in the optical resonator by circulating around the optical circuit constituted by the first fiber amplifier, the optical resonator, and the second fiber amplifier,
The laser oscillation apparatus according to claim 1, wherein the adjustment cable is a cable for finely adjusting an optical path length of the optical circuit in the optical circuit.
前記光共振器が、所定の間隔で相互に向かい合う2枚の凹面鏡を少なくとも有するフォックス・スミス干渉計タイプの共振器であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のレーザー発振装置。   8. The laser oscillation device according to claim 1, wherein the optical resonator is a Fox Smith interferometer type resonator having at least two concave mirrors facing each other at a predetermined interval. . 前記光共振器が、前記2枚の凹面鏡によって形成される共振器長を前記所望波長のレーザー光に対応させて微調整させるピエゾ調整器を有することを特徴とする請求項8に記載のレーザー発振装置。   9. The laser oscillation according to claim 8, wherein the optical resonator includes a piezo adjuster that finely adjusts a resonator length formed by the two concave mirrors in correspondence with the laser light of the desired wavelength. apparatus. 前記ファイバ増幅器が、Ybがドープされたコアを持つ前記光ファイバにより形成されたことを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載のレーザー発振装置。   10. The laser oscillation device according to claim 1, wherein the fiber amplifier is formed of the optical fiber having a core doped with Yb. レーザーコンプトン散乱を利用した光源用のレーザー光を発生させることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載のレーザー発振装置。   11. The laser oscillation apparatus according to claim 1, wherein laser light for a light source using laser Compton scattering is generated.
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