JP3162410B2 - 光波長フィルタの駆動方法 - Google Patents

光波長フィルタの駆動方法

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JP3162410B2 JP5742791A JP5742791A JP3162410B2 JP 3162410 B2 JP3162410 B2 JP 3162410B2 JP 5742791 A JP5742791 A JP 5742791A JP 5742791 A JP5742791 A JP 5742791A JP 3162410 B2 JP3162410 B2 JP 3162410B2
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    • H01S5/06821Stabilising other output parameters than intensity or frequency, e.g. phase, polarisation or far-fields

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、所定波長の光を増幅し
て出力する光波長フィルタに関し、特に所定波長の高速
光信号を低歪で増幅して出力するように光波長フィルタ
を駆動する方法に関する。
【0002】通信において、時間を分割し、かつ時間成
分を独立に扱い、多重化すると、取扱える通信容量は増
大する。光通信においては、さらに光の波長における自
由度がある。波長分割・多重技術を時分割・多重技術と
組合わせると、光通信、光交換、光情報処理において、
取扱える信号容量は極めて大きなものとなる。このため
には、超高速の時分割・多重信号を選択的に透過させる
波長フィルタが必要となる。
【0003】
【従来の技術】半導体レーザ型構造は、閾値電流以下で
動作させる時、光波長フィルタとして機能させることが
できる。
【0004】図5に、従来の技術の例を示す。図5
(A)は、半導体レーザ型光波長フィルタを概略的に示
す。たとえば、n型InP単結晶で形成されたn型半導
体基板51の上に、n型InGaAsPで形成されたn
側クラッド層52をエピタキシャルに成長し、その上
に、たとえばi型InGaAsPで形成されたi型活性
層53をエピタキシャルに成長し、その上に、たとえば
p型InGaAsPで形成されたp側クラッド層54を
形成し、その上にp型InPで形成されたp型半導体層
55を形成して、ダイオード構造を構成する。n型半導
体基板51上に、n側電極56を形成し、p型半導体層
55上に、p側電極57を形成して、ダイオード構造に
電流を注入できるようにする。この構造は、半導体レー
ザと同様の構造であり、左右両端部を鏡面として作用さ
せること、ないしはn型半導体基板51とn側クラッド
層52との界面に回折格子を形成すること等により、所
定波長で発振する半導体レーザが構成される。p側電極
57からn側電極56に向けて閾値以上の電流を流す
と、活性層53内の光は増幅され、発振してレーザ光と
なって出射する。バイアス電流Ibを閾値以下にする
と、レーザ発振は生じないが、i型活性層53は誘導放
出を行なう機能を有する。このような状態の半導体レー
ザ型構造に入射光I1を入射すると、i型活性層53内
では同一波長の光が誘導放出され、増幅された出力光I
2が出射する。
【0005】半導体レーザ構造に波長選択性を設けてお
くと、入射光I1のうち、条件に適合する波長成分のみ
が増幅されて、出力光I1を構成する。
【0006】ところで、バイアス電流Ibを流している
状態において、i型活性層53内には励起されたキャリ
アが形成されている。ここに入射光が進入し、誘導放出
が起きると、i型活性層53内のキャリアが消費され
る。入力光の強度は強ければ強いほど、i型活性層53
内のキャリアの消費は大きくなる。キャリアの数が減少
すると、半導体層の屈折率が増大し、半導体レーザ型構
造の特性が長波長側に移行する。
【0007】図5(B)に、このような光増幅利得の変
化を示す。図5(B)において、横軸は波長λを示し、
縦軸は光増幅利得を示す。入力光の強度が低い時には、
光増幅利得はg1のような特性を有するとする。入力光
の強度が増大し、i型活性層53内でのキャリアの消費
が増えると、光増幅利得は曲線g2で示すように、長波
長側に移行し、そのピークが下がる。入力光の強度がさ
らに増大すると、光増幅利得はg3のように、さらにピ
ークが下がり、ピーク全体が長波長側に移行する。
【0008】すなわち、光強度が変化する入力光に対し
て、半導体レーザ型構造は可変利得をもって信号増幅を
行なうことになる。
【0009】図5(C)は、光入出力のアイパターンを
示す。入力光信号は、図5(C)上段の曲線S1に示す
ように101010、もしくは破線S2で示すように、
010101であるとする。この信号が半導体レーザ型
構造で増幅され、出力光となって出射する。しかしなが
ら、入力光信号の強度が高くなると、図5(B)で示す
ように、光増幅利得特性は利得が減少し、特性が長波長
側に移動する。このため、入力光強度の強いところで増
幅光信号に歪が生じ、図5(C)下段の出力曲線s3、
またはs4で示すように信号波形は歪む。
【0010】従来、光通信においては、数100MHz
以下の光信号を用いていた。この場合、出力光パルスの
立上がり部分に、波形歪が発生しても、パルス幅に比べ
て波形歪の生じる時間が短いために、図5(C)で示す
ようなアイパターンの開口部が小さくなることは少なか
った。ところが、信号速度が1GHz以上になり、パル
ス幅が狭くなると、出力光の立上がり部分の波形歪が直
接アイパターンの開口部を著しく小さくすることになり
得る。波形歪は信号周波数が高くなればなるほど、その
影響が大きい。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
半導体レーザ型光波長フィルタは、入力光強度に対して
光増幅利得が変化する。この光増幅利得の変化により、
出力光信号波形に歪が生じる。光信号が高速信号になれ
ばなるほど、光増幅歪の影響は大きくなり、信号誤り率
が増大する。
【0012】本発明の目的は、高速パルス信号に対して
もその出力光信号波形の歪を低減することのできる半導
体レーザ型の波長フィルタの駆動方法を提供することで
ある。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明の光フィルタの駆
動方法は、複数波長の入力光信号のうち、所定の波長の
光を増幅するための半導体レーザダイオード型の光波長
フィルタの駆動方法であって、入出力信号のパワーを、
光波長フィルタの光増幅利得のピーク値が入力光強度が
0の場合の光増幅利得のピーク値に比べて約1/2に減
少する光パワーよりも小さくなるように制御すること
と、光波長フィルタのEL状態での共振ピーク波長と、
該共振ピーク波長における光増幅利得とを比較して光増
幅利得が約1/2に減少する光パワーの状態での光増幅
利得のピーク波長との間に前記所定波長があるように前
記所定波長ないし前記光波長フィルタのパラメータを制
御することを特徴とする。
【0014】
【作用】半導体レーザダイオード型光波長フィルタの光
増幅利得は、入力光信号のパワーの増大と共に減少す
る。入力光信号のパワーを、入力光強度が0の場合の光
増幅利得のピーク値に比べて光増幅利得が約1/2に減
少する光パワーよりも小さくなるように制御することに
より、光増幅利得の変化の幅が抑制される。
【0015】さらに、増幅する光信号の波長を、光波長
フィルタのEL状態での共振ピーク波長と、該共振ピー
ク波長における光増幅利得とを比較して、光増幅利得は
約1/2に減少する光パワーの状態での光増幅利得のピ
ーク波長との間に選択することにより、光増幅利得の高
い状態で、光波長フィルタを動作させることができる。
【0016】これらの条件を満たすように、光波長フィ
ルタを駆動することにより、出力光信号に生じる波形歪
を低減することができる。
【0017】このため、高速光信号の処理が可能とな
る。
【0018】
【実施例】図1を参照して、本発明の実施例を説明す
る。図1(A)は、光波長フィルタの構成を概略的に示
す断面図である。
【0019】光信号として、1.5μm帯の光を扱う場
合を例として説明する。i型InGaAsP等で形成さ
れた活性層1は、よりバンドギャップの広いn型InG
aAsP等で形成され、クラッド層として作用するn型
半導体領域2および、同様に広いバンドギャップを有す
るp型InGaAsP等で形成され、p型クラッド層と
して作用するp型半導体領域3に挾まれて、光導波路を
構成している。n型半導体領域2上にはn側電極4が形
成され、p型半導体領域3上にはp側電極5が形成され
ている。これらの電極を通じて、バイアス電流Ibが印
加される。このバイアス電流Ibは、閾値電流Ithと
ほぼ等しいが、わずかに低い値に保たれる。たとえば、
バイアス電流Ibは、閾値電流Ithの95〜100%
に設定される。もし、バイアス電流Ibが閾値電流を越
えると、光導波路構造は半導体レーザとして機能し、レ
ーザ発振を行なうようになる。
【0020】バイアス電流Ibを閾値電流直前の値に保
ち、活性層1の一端から複数波長の成分を有する入力光
信号を入射する。たとえば、入力光信号として波長λ
1、λ2の光を与える。半導体レーザ構造10が発振直
前の状態に保持されているため、入射光波長が半導体レ
ーザ構造の利得領域にあれば、入射光は増幅される。こ
こで、波長λ1が光増幅利得が高い波長範囲にあり、波
長λ2はその範囲外にあるとする。すると、波長λ1の
成分は活性層1を通る間に増幅され、出力光成分は波長
λ1の成分Pout(λ1)が、波長λ2の成分Pou
t(λ2)よりも著しく大きくなる。すなわち、出力光
をみた時、波長λ1の成分のみが透過したので同様とな
る。 このようにして、増幅機能を有する光波長フィル
タは作用する。なお、半導体レーザ構造に波長選択性を
持たせるためには、両端面を鏡面としてファブリペロー
型共振器を形成するか、活性層1近傍に回折格子等の波
長選択構造を形成すればよい。
【0021】このような半導体レーザ型光波長フィルタ
の利得特性は、図1(B)に示すように、ある波長を中
心としたピーク状となる。
【0022】図1(B)において、横軸は波長を表わ
し、縦軸は光増幅利得をdBで表わす。
【0023】入射光のない状態で、半導体レーザ構造に
閾値直前の電流を流し、電界ルミネッセンス(EL発
光)をさせた時のピーク波長をλELとする。すなわち、
特性G1は入力光強度が0の場合の光増幅利得特性を示
す。入力光強度を増大していくと、光増幅利得のピーク
は次第に下がり、ピーク波長は次第に長波長側に移行す
る。光増幅利得のピーク値が光入力信号強度0の時のピ
ーク値の3dB下になった時の特性を、G2で示す。す
なわち、特性G2の状態では光増幅利得がEL時の約1
/2となっている。この状態を飽和状態とし、この時の
光増幅利得が最大になる波長をλsat とする。種々の実
験、検討の結果、以下のことがわかった。
【0024】入力光信号の波長を、λELよりも短波長に
選ぶと、光強度が増大した時の光増幅利得の減少が激し
く、波形歪が大きくなる。また、入力光信号の波長をλ
satよりも長波長に選ぶと、入力光信号レベルが低い場
合の光増幅利得が極めて小さくなってしまう。
【0025】また、光入力信号の強度をG2よりも大き
な強度にすると、光増幅利得のピーク値が小さくなりす
ぎる。したがって、光入力信号のパワーは曲線G2以下
とし、増幅する光信号の波長はλELとλsat の間に選ぶ
のがよい。特に、λELとλsat の中央部、約1/3の幅
の領域とすることにより、入力光信号のパワーが変化し
ても光増幅利得があまり変化しないようにすることがで
きる。
【0026】以下、本発明のより具体的な実施例を図
2、図3を参照して説明する。図2(A)は、光波長フ
ィルタの構成を示す。n型InP基板18の上に、干渉
縞を利用して回折格子20を形成した後、目的とする波
長よりもバンドギャップ波長の短いn型InGaAsP
ガイド層12をエピタキシャルに成長し、その上にギャ
ップ波長約1.5μmのi型InGaAsP活性層11
をエピタキシャルに成長する。その後、メサエッチング
を行ない、側面をp型InP層13で埋め込む。中間部
分にn型InP領域19を形成し、さらにその上部をp
型InP層13で埋め込む。その後、オーミック電極を
形成するためのp型InGaAsP層21を形成した
後、表面にSiO2 等の絶縁膜22を形成し、活性層上
部に開口を設け、p側電極15を形成する。なお、n型
InP基板裏面には、n側電極14を形成する。
【0027】このようにして、分布帰還型(DFB)レ
ーザ構造を形成する。なお、回折格子20を組込むこと
によって、共振器を形成しているので、活性層両端面に
は反射防止膜を形成することが好ましい。
【0028】図2(A)に示す構造を有する光波長フィ
ルタの特性を、図2(B)に示す。図2(B)におい
て、横軸は入力光がない状態でのEL発光の共振ピーク
波長を0とし、そこからの波長差をオングストロームで
表わす。また、縦軸は光増幅利得をdBで表わす。な
お、バイアス電流Ibとして閾値電流Ithの0.98
に相当する電流を流す。入力光信号のパワーを0.1μ
W、1μW、10μWに変化させた時の光増幅利得を曲
線G1、G2、G3で示す。曲線G2のピーク利得は曲
線G1のピーク利得の3dB下になっており、図1
(B)の特性と対応している。
【0029】図2(B)から明らかなように、入力光信
号のパワーが増大すると、光増幅利得のピーク値は明ら
かに減少を続け、さらにピーク位置は長波長側に移行す
る。これは光増幅に伴う波長フィルタの活性層内でのキ
ャリア密度の減少による。波形歪を抑制しつつ、入力光
信号を増幅するには、利得ピーク波長の変動を小さくし
なければならない。これを行なうには、入力光パワーに
上限を設けることが必要である。また、利得ピーク波長
がわずかに変動しても光増幅利得の変動が少ない波長領
域に入力信号光の波長を設定することが必要である。こ
れらの条件を満たす領域は、曲線G2以下の光入力パワ
ーおよび、曲線G1のピーク位置と曲線G2のピーク位
置の間の波長である。なお、曲線G1は光入力信号が
0.1μWの時の特性であるが、光入力が0に極めて近
い状態でもほぼ同様の形状を示すと仮定した。なお、入
力光信号が“0”の状態でも入力光信号に若干パワーが
存在するように選択することもよい。たとえば、入力光
パワーを図2(B)の場合、0.05μWから1μWの
間で変化するように選択する。
【0030】このように設定することにより、5GB/
secの高速光信号が波形歪をほとんど伴わずに波長フ
ィルタから出力できた。
【0031】図3は、種々の条件における出力信号波形
を示すグラフである。図はテーブルの形式となっている
が、横方向にEL波長からの波長差を取り、縦方向に光
入力信号のパワーを取っている。波長差に関して、0.
0オングストロームと0.3オングストロームは上述の
条件にあうものであり、入力光パワーの0.5μWと
1.0μWは上述の条件に合うものである。すなわち、
上段および右側の波形が選択条件外の波形であり、左下
部の4つの波形が選択された条件内の波形である。たと
えば、光入力信号のパワー1.0μW、波長差0.6オ
ングストロームの場合の波形はかなり歪の少ない良好な
波形にみえるが、この条件で光入力信号のパワーが減少
すると、特性の変化により、0.5μW、波長差0.6
オングストロームの波形にみるように光増幅利得が著し
く小さくなってしまうため、光フィルタとして機能しな
くなる。
【0032】また、上段の図からわかるように、光入力
信号のパワーがある程度以上大きくなると、波形歪は著
しくなる。信号増幅は、低いレベルからある一定のレベ
ルまでの信号を増幅できることが重要であり、波長差
0.6オングストロームの場合、この条件を満たさな
い。
【0033】このように、上述の条件を満足させること
によって、光波長フィルタの出力として得られる光信号
の波形歪を低減できることが明らかであろう。
【0034】図4は、本発明の他の実施例を示す。本実
施例においては、半導体レーザ型構造の光波長フィルタ
を作成後、目的とする光の波長を可変に制御できる構造
を示す。p型基板31の上に、i型チューニング層32
を形成し、その上にn型領域33を形成し、さらにその
上にi型活性領域34を形成する。この活性領域34の
上に、p型領域35を形成し、活性層34を挾んでpn
ダイオード構造を構成する。また、中間のn型領域33
に接するように両側に広いn型領域36を配置し、中間
のn型領域33からの電流の通路を形成する。中間のn
型領域33は、また、チューニング領域32を挾んで下
側のp型基板31とpnダイオード構造を形成する。こ
の下側のpnダイオード構造に電流を流すと、チユーニ
ング領域32の屈折率は変化する。このチューニング領
域32の屈折率の変化により、実効的に活性層34内に
分布する光の感じる屈折率が変化する。この屈折率変化
によって増幅波長を調整することができる。なお、増幅
できる光の波長を選択するために、構造中のいずれかの
部分に回折格子を組込んだり、両端面を鏡面としてキャ
ビティを構成することもできる。
【0035】なお、図中37、38は、p側電極、39
はn側電極を示す。本構成の場合、2つのpnダイオー
ドが形成され、一方のダイオードは増幅すべき波長をチ
ューニングするのに用いることができる。
【0036】なお、半導体レーザダイオード型光波長フ
ィルタの温度を制御することにより、物質のバンドギャ
ップ、屈折率を制御し、増幅すべき光信号の波長を調整
することもできる。図4の構造と温度調整とを組合わせ
ることもできる。
【0037】以上実施例に沿って本発明を説明したが、
本発明はこれらに制限されるものではない。たとえば、
種々の変更、改良、組合わせ等が可能なことは当業者に
自明であろう。
【0038】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
半導体レーザダイオード型の光波長フィルタの光増幅利
得の変化を抑制することができる。このため、高速パル
ス光信号に対しても出力波形の歪が抑制される。
【0039】また、出力光信号の誤り率特性の劣化を防
止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す。図1(A)は光波長フ
ィルタの概略断面図、図1(B)は利得特性を示すグラ
フである。
【図2】本発明の実施例を示す。図2(A)は光波長フ
ィルタの構成を示す斜視図、図2(B)は特性を示すグ
ラフである。
【図3】図2の光波長フィルタの出力信号波形の例を示
すグラフである。
【図4】本発明の他の実施例を示す概略断面図である。
【図5】従来の技術を示す。図5(A)は半導体レーザ
型光波長フィルタの概略断面図、図5(B)はその特性
を示すグラフ、図5(C)は入出力アイパターンを示す
グラフである。
【符号の説明】
1 活性層 2 n型半導体領域 3 p型半導体領域 4、5 電極 G 光増幅利得 λ 波長 P 光信号のパワー
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/015 502 H01S 5/00 - 5/50

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数波長の入力光信号のうち、所定の波
    長の光を増幅するための半導体レーザダイオード型の光
    波長フィルタの駆動方法であって、 入出力信号のパワーを、光波長フィルタの光増幅利得の
    ピーク値が入力光強度が0の場合の光増幅利得のピーク
    値に比べて約1/2に減少する光パワーよりも小さくな
    るように制御することと、 光波長フィルタのEL状態での共振ピーク波長と、該共
    振ピーク波長における光増幅利得とを比較して光増幅利
    得が約1/2に減少する光パワーの状態での光増幅利得
    のピーク波長との間に前記所定波長があるように前記所
    定波長ないし前記光波長フィルタのパラメータを制御す
    ることを特徴とする光波長フィルタの駆動方法。
  2. 【請求項2】 前記光波長フィルタのパラメータが光波
    長フィルタの動作温度である請求項1記載の光波長フィ
    ルタの駆動方法。
  3. 【請求項3】 前記光波長フィルタのパラメータが電流
    によって制御される前記光波長フィルタ内の半導体領域
    の屈折率である請求項1記載の光波長フィルタの駆動方
    法。
  4. 【請求項4】 さらに、前記光波長フィルタに閾値直前
    の順電流を注入し、EL状態に駆動することを含む請求
    項1〜3のいずれかに記載の光波長フィルタの駆動方
    法。
  5. 【請求項5】 前記波長フィルタが主にInP/InG
    aAsP系材料で形成され、回折格子を形成したヘテロ
    界面を有し、前記所定の波長が1.5μm帯または1.
    3μm帯の波長である請求項1〜4のいずれかに記載の
    光波長フィルタの駆動方法。
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