JP3112996B2 - Surface acoustic wave filter - Google Patents

Surface acoustic wave filter

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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波フィルタに関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface acoustic wave filter.

【0002】弾性表面波を利用したデバイスとして、弾
性表面波共振子、弾性表面波フィルタ、弾性表面波遅延
デバイス等が知られている。このうち弾性表面波フィル
タは、弾性表面波が伝搬する圧電結晶からなるチップ
と、このチップ上に形成された電気−弾性表面波のエネ
ルギー変換を行うための入力側トランスデューサと、入
力側トランスデューサにより励振された弾性表面波を電
気信号に変換する出力側トランスデューサとを備えて構
成される。この種の弾性表面波フィルタは、その通過帯
域の中心周波数の安定性が良好であることから、高精度
な電圧制御発振器の構成要素としてよく使用される。
As devices utilizing surface acoustic waves, surface acoustic wave resonators, surface acoustic wave filters, surface acoustic wave delay devices, and the like are known. Among them, the surface acoustic wave filter is a chip made of a piezoelectric crystal in which a surface acoustic wave propagates, an input transducer for converting energy of an electro-surface acoustic wave formed on the chip, and an excitation by the input transducer. And an output-side transducer for converting the generated surface acoustic wave into an electric signal. This type of surface acoustic wave filter is often used as a component of a high-precision voltage-controlled oscillator because of its good stability of the center frequency of its pass band.

【0003】[0003]

【従来の技術】図3は弾性表面波フィルタを備えた従来
の電圧制御発振器(VCO)のブロック図である。この
VCOは弾性表面波フィルタ2と位相調整器4と増幅器
6を直列接続して発振ループを形成し、増幅器6の出力
端から発振信号を取り出すように構成されている。位相
調整器4により信号位相を調整することにより、所望の
発振周波数を得ることができる。
2. Description of the Related Art FIG. 3 is a block diagram of a conventional voltage controlled oscillator (VCO) provided with a surface acoustic wave filter. The VCO is configured to form an oscillation loop by connecting the surface acoustic wave filter 2, the phase adjuster 4, and the amplifier 6 in series, and to take out an oscillation signal from the output terminal of the amplifier 6. By adjusting the signal phase with the phase adjuster 4, a desired oscillation frequency can be obtained.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来のVCOにおいて
は、発振周波数を可変にするために位相調整器が必要で
あり、この位相調整器は発振周波数やその可変範囲によ
っては大規模な回路になっているのが現状である。この
ため、位相調整器が不要なVCOが要望されている。通
過帯域の中心周波数が可変な弾性表面波フィルタを実現
することができるとすれば、上述の課題が達成されると
考えられる。
In the conventional VCO, a phase adjuster is required to make the oscillation frequency variable, and this phase adjuster becomes a large-scale circuit depending on the oscillation frequency and its variable range. That is the current situation. Therefore, there is a demand for a VCO that does not require a phase adjuster. If it is possible to realize a surface acoustic wave filter in which the center frequency of the pass band is variable, it is considered that the above-described problem is achieved.

【0005】本発明はこのような事情に鑑みて創作され
たもので、通過帯域の中心周波数が可変な弾性表面波フ
ィルタの提供を目的としている。また、この弾性表面波
フィルタを用いて位相調整器が不要なVCOを提供する
こともこの発明の目的である。
The present invention has been made in view of such circumstances, and has as its object to provide a surface acoustic wave filter having a variable center frequency in a pass band. It is another object of the present invention to provide a VCO that does not require a phase adjuster using the surface acoustic wave filter.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波フィ
ルタは、圧電結晶からなるチップと、該チップの表面側
に形成された入力側トランスデューサ及び出力側トラン
スデューサと、該入力側トランスデューサに信号を与え
る第1及び第2の共通電極並びに上記出力側トランスデ
ューサから信号を取り出す第3及び第4の共通電極と、
上記チップの裏面側に上記第1乃至第4の共通電極と対
向するように形成されたDCバイアス用電極と、該DC
バイアス用電極と上記第1及び第3の共通電極又は上記
第2及び第4の共通電極との間に接続された可変DC電
源と、上記第1及び第2の共通電極間に接続された入力
側インダクタ並びに上記第3及び第4の共通電極間に接
続された出力側インダクタと、上記第1又は第2の共通
電極と信号入力端子との間に接続された入力側キャパシ
タ及び上記第3又は第4の共通電極と信号出力端子との
間に接続された出力側キャパシタとを備えて構成され
る。
A surface acoustic wave filter according to the present invention comprises a chip made of a piezoelectric crystal, an input transducer and an output transducer formed on the surface of the chip, and a signal supplied to the input transducer. First and second common electrodes to be applied and third and fourth common electrodes for extracting signals from the output-side transducer;
A DC bias electrode formed on the back side of the chip so as to face the first to fourth common electrodes;
A variable DC power supply connected between the bias electrode and the first and third common electrodes or the second and fourth common electrodes, and an input connected between the first and second common electrodes A side inductor and an output inductor connected between the third and fourth common electrodes; an input capacitor connected between the first or second common electrode and a signal input terminal; and the third or fourth common electrode. An output-side capacitor connected between the fourth common electrode and the signal output terminal is provided.

【0007】本発明の電圧制御発振器は、本発明の弾性
表面波フィルタの上記信号入力端子及び信号出力端子を
それぞれ増幅器の出力端子及び入力端子に接続して構成
される。
A voltage controlled oscillator according to the present invention is configured by connecting the signal input terminal and the signal output terminal of the surface acoustic wave filter according to the present invention to an output terminal and an input terminal of an amplifier, respectively.

【0008】[0008]

【作用】圧電結晶からなるチップにDCバイアスを印加
することにより、チップの圧電定数等の物理定数を変化
することができる。チップの物理定数が変化すると弾性
表面波の伝搬速度が変化し、これに伴って通過帯域の中
心周波数も変化する。
The physical constant such as the piezoelectric constant of the chip can be changed by applying a DC bias to the chip made of the piezoelectric crystal. When the physical constant of the chip changes, the propagation speed of the surface acoustic wave changes, and accordingly, the center frequency of the pass band also changes.

【0009】本発明の構成において、第1及び第2の共
通電極間に入力側インダクタを接続し、第3及び第4の
共通電極間に出力側インダクタを接続しているのは、D
Cバイアス用電極と第1乃至第4の共通電極との間にバ
イアス電圧を印加する上で、第1乃至第4の共通電極を
概略同電位にする要求があるからである。即ち、インダ
クタを設けないで上記要求を満足させようとすると、第
1の共通電極と第3の共通電極が短絡し或いは第2の共
通電極と第4の共通電極が短絡することとなり、信号の
入力或いは信号の出力が困難になるから、上述のように
共通電極間にインダクタを接続しているものである。
In the structure of the present invention, the input inductor is connected between the first and second common electrodes, and the output inductor is connected between the third and fourth common electrodes.
This is because, when a bias voltage is applied between the C bias electrode and the first to fourth common electrodes, the first to fourth common electrodes are required to have substantially the same potential. That is, if the above requirement is satisfied without providing the inductor, the first common electrode and the third common electrode are short-circuited, or the second common electrode and the fourth common electrode are short-circuited, and the signal Since input or signal output becomes difficult, an inductor is connected between the common electrodes as described above.

【0010】また、本発明の構成において、第1又は第
2の共通電極と信号入力端子との間に入力側キャパシタ
を接続し、第3又は第4の共通電極と信号出力端子との
間に出力側キャパシタを接続しているのは、DCバイア
スが外部回路に影響を及ぼすことを防止するためであ
る。
In the configuration of the present invention, an input-side capacitor is connected between the first or second common electrode and the signal input terminal, and an input capacitor is connected between the third or fourth common electrode and the signal output terminal. The reason why the output side capacitor is connected is to prevent the DC bias from affecting the external circuit.

【0011】[0011]

【実施例】以下本発明の望ましい実施例を説明する。図
1は本発明の実施例を示す弾性表面波フィルタの構成図
である。水晶等の圧電結晶からなるチップ10の表面側
には、複数のくし型電極12をインターディジタル上に
組み合わせてなるIDT(インターディジタルトランス
デューサ)が2組形成されており、その一方は入力側ト
ランスデューサ14、他方は出力側トランスデューサ1
6である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 is a configuration diagram of a surface acoustic wave filter showing an embodiment of the present invention. Two sets of IDTs (interdigital transducers) each formed by combining a plurality of interdigital electrodes 12 in an interdigital manner are formed on the surface side of a chip 10 made of a piezoelectric crystal such as quartz, one of which is an input transducer 14. , The other is the output transducer 1
6.

【0012】入力側トランスデューサ14のそれぞれの
くし型電極12は1つ置きに第1の共通電極18と第2
の共通電極20に接続されている。また、出力側トラン
スデューサ16のそれぞれのくし型電極12は1つ置き
に第3の共通電極22と第4の共通電極24に接続され
ている。
Each of the comb electrodes 12 of the input transducer 14 is alternately provided with a first common electrode 18 and a second common electrode 18.
Are connected to the common electrode 20. Further, every other comb-shaped electrode 12 of the output-side transducer 16 is connected to the third common electrode 22 and the fourth common electrode 24 every other one.

【0013】くし型電極12及び共通電極18,20,
22,24は、適当なマスクを介してアルミニウムをチ
ップ10上に蒸着又はスパッタリングすることにより形
成されている。くし型電極12のピッチpと励振される
弾性表面波の波長λの間には、p=λ/2の関係があ
る。
The comb electrodes 12 and the common electrodes 18, 20,
22 and 24 are formed by depositing or sputtering aluminum on the chip 10 through a suitable mask. There is a relationship of p = λ / 2 between the pitch p of the comb-shaped electrode 12 and the wavelength λ of the surface acoustic wave excited.

【0014】チップ10の裏面側には、第1乃至第4の
共通電極18,20,22,24と対向するようにDC
バイアス用電極26が同じくアルミニウムから形成され
ている。
On the back side of the chip 10, a DC is provided so as to face the first to fourth common electrodes 18, 20, 22 and 24.
The bias electrode 26 is also formed of aluminum.

【0015】28は第1の共通電極18と信号入力端子
30の間に設けられた入力側キャパシタ、32は第1の
共通電極18と第2の共通電極20の間に設けられた入
力側インダクタ、34は第3の共通電極22と信号出力
端子36の間に設けられた出力側キャパシタ、38は第
3の共通電極22と第4の共通電極24の間に設けられ
た出力側インダクタである。
Reference numeral 28 denotes an input-side capacitor provided between the first common electrode 18 and the signal input terminal 30, and 32 denotes an input-side inductor provided between the first common electrode 18 and the second common electrode 20. , 34 are output-side capacitors provided between the third common electrode 22 and the signal output terminal 36, and 38 is an output-side inductor provided between the third common electrode 22 and the fourth common electrode 24. .

【0016】DCバイアス用電極26と第2及び第4の
共通電極20,24との間には可変DC電源40が接続
されており、この構成によって、DCバイアス用電極2
6と第1乃至第4の共通電極18,20,22,24と
の間に所望のDCバイアスを与え得るようになってい
る。可変DC電源40は、DCバイアス用電極26と第
1及び第3の共通電極18,22との間に設けられても
よい。
A variable DC power supply 40 is connected between the DC bias electrode 26 and the second and fourth common electrodes 20 and 24. With this configuration, the DC bias electrode 2
A desired DC bias can be applied between the first common electrode 6 and the first to fourth common electrodes 18, 20, 22, 24. The variable DC power supply 40 may be provided between the DC bias electrode 26 and the first and third common electrodes 18 and 22.

【0017】可変DC電源40によりDCバイアス電圧
を変化させると、これに応じてチップ10の圧電定数が
変化する。これにより弾性表面波の伝搬速度が変化し、
f=v/2pで与えられる共振周波数を変化させて、こ
の弾性表面波フィルタの通過帯域の中心周波数を変化さ
せることができる。ここで、vは弾性表面波の伝搬速
度、pはくし型電極のピッチ、fは共振周波数である。
When the DC bias voltage is changed by the variable DC power supply 40, the piezoelectric constant of the chip 10 changes accordingly. This changes the propagation speed of the surface acoustic wave,
By changing the resonance frequency given by f = v / 2p, the center frequency of the pass band of the surface acoustic wave filter can be changed. Here, v is the propagation speed of the surface acoustic wave, p is the pitch of the comb-shaped electrodes, and f is the resonance frequency.

【0018】入力側及び出力側にインダクタ32,38
を設けているので、高周波信号の入出力を行いつつ、第
1乃至第4の共通電極18,20,22,24をほぼ同
電位にしてこれらの共通電極とDCバイアス用電極26
とにより有効にDCバイアスを印加し得る。また、キャ
パシタ28,34を設けているので、DCバイアスが図
示しない外部回路に影響を与える恐れがない。
On the input side and the output side, inductors 32 and 38 are provided.
Is provided, the first to fourth common electrodes 18, 20, 22, and 24 are set to substantially the same potential while inputting / outputting a high-frequency signal, and these common electrodes and the DC bias electrode 26 are turned on.
Thus, a DC bias can be effectively applied. Further, since the capacitors 28 and 34 are provided, there is no possibility that the DC bias affects an external circuit (not shown).

【0019】ここで、入力側及び出力側におけるキャパ
シタ及びインダクタはハイパスフィルタ型をなしている
ので、これを入出力部のインピーダンスマッチング回路
と兼用することができる。即ち、インダクタ32,38
のインダクタンス及びキャパシタ28,34のキャパシ
タンスをインピーダンスマッチング回路の回路定数に応
じて設定しておくことによって、この弾性表面波フィル
タの損失特性を改善することができる。
Here, since the capacitors and inductors on the input side and the output side are of a high-pass filter type, they can be used also as the impedance matching circuit of the input / output section. That is, the inductors 32 and 38
By setting the inductance of the surface acoustic wave filter and the capacitance of the capacitors 28 and 34 according to the circuit constant of the impedance matching circuit, the loss characteristics of the surface acoustic wave filter can be improved.

【0020】図2は図1に示された弾性表面波フィルタ
を用いて構成されるVCO(電圧制御発振器)のブロッ
ク図である。このVCOは、図1に示された弾性表面波
フィルタ42の信号入力端子30及び信号出力端子36
をそれぞれ増幅器44の出力端子及び入力端子に接続
し、増幅器44の出力端子から発振信号を得るようにし
て構成されている。
FIG. 2 is a block diagram of a VCO (voltage controlled oscillator) constructed using the surface acoustic wave filter shown in FIG. This VCO is connected to the signal input terminal 30 and the signal output terminal 36 of the surface acoustic wave filter 42 shown in FIG.
Are connected to the output terminal and the input terminal of the amplifier 44, respectively, and an oscillation signal is obtained from the output terminal of the amplifier 44.

【0021】この構成によると、従来構成のように位相
調整器は備えられていないが、可変DC電源40(図
1)によりDCバイアスを変化させることによって、所
要の発振周波数を得ることができる。また、DCバイア
スの安定性に応じた周波数安定性を得ることができる。
According to this configuration, a phase adjuster is not provided unlike the conventional configuration, but a required oscillation frequency can be obtained by changing the DC bias by the variable DC power supply 40 (FIG. 1). Further, frequency stability according to the stability of the DC bias can be obtained.

【0022】このように本実施例によると、構成が簡単
で小型化に適し且つ高安定な電圧制御発振器の提供が可
能になる。
As described above, according to the present embodiment, it is possible to provide a highly stable voltage controlled oscillator which is simple in structure, suitable for miniaturization.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
通過帯域の中心周波数が可変な弾性表面波フィルタの提
供が可能になるという効果を奏する。また、この弾性表
面波フィルタを用いて、構成が簡単で小型化に適し且つ
高安定な電圧制御発振器を実現することができる。
As described above, according to the present invention,
There is an effect that it is possible to provide a surface acoustic wave filter in which the center frequency of the pass band is variable. Further, by using this surface acoustic wave filter, it is possible to realize a highly stable voltage controlled oscillator which is simple in configuration, suitable for miniaturization.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例を示す弾性表面波フィルタの構
成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of a surface acoustic wave filter according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示された弾性表面波フィルタを用いて構
成される電圧制御発振器のブロック図である。
FIG. 2 is a block diagram of a voltage controlled oscillator configured using the surface acoustic wave filter shown in FIG.

【図3】従来の電圧制御発振器のブロック図である。FIG. 3 is a block diagram of a conventional voltage controlled oscillator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 チップ 14 入力側トランスデューサ 16 出力側トランスデューサ 18,20,22,24 共通電極 26 DCバイアス用電極 40 可変DC電源 10 chip 14 input side transducer 16 output side transducer 18, 20, 22, 24 common electrode 26 electrode for DC bias 40 variable DC power supply

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉澤 景晴 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 特開 平3−201611(JP,A) 特開 昭47−31557(JP,A) 米国特許4636678(US,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03H 9/25 H03B 5/24 H03B 5/32 H03H 9/64 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Kageharu Yoshizawa 1015 Ueodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture Inside Fujitsu Limited (56) References JP-A-3-201611 (JP, A) JP-A-47- 31557 (JP, A) US Patent 4,636,678 (US, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H03H 9/25 H03B 5/24 H03B 5/32 H03H 9/64

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 圧電結晶からなるチップと、 該チップの表面側に形成された入力側トランスデューサ
及び出力側トランスデューサと、 該入力側トランスデューサに信号を与える第1及び第2
の共通電極並びに上記出力側トランスデューサから信号
を取り出す第3及び第4の共通電極と、 上記チップの裏面側に上記第1乃至第4の共通電極と対
向するように形成されたDCバイアス用電極と、 該DCバイアス用電極と上記第1及び第3の共通電極又
は上記第2及び第4の共通電極との間に接続された可変
DC電源と、 上記第1及び第2の共通電極間に接続された入力側イン
ダクタ並びに上記第3及び第4の共通電極間に接続され
た出力側インダクタと、 上記第1又は第2の共通電極と信号入力端子との間に接
続された入力側キャパシタ及び上記第3又は第4の共通
電極と信号出力端子との間に接続された出力側キャパシ
タとを備え 上記入力側及び出力側インダクタのインダクタンス並び
に上記入力側及び出力側キャパシタのキャパシタンスは
インピーダンスマッチング回路の回路定数を満足するよ
うに設定されていること を特徴とする弾性表面波フィル
タ。
1. A chip made of a piezoelectric crystal, an input-side transducer and an output-side transducer formed on a surface side of the chip, and a first and a second part for giving a signal to the input-side transducer.
And a third and a fourth common electrode for extracting a signal from the output side transducer and a DC bias electrode formed on the back surface of the chip so as to face the first to fourth common electrodes. A variable DC power supply connected between the DC bias electrode and the first and third common electrodes or the second and fourth common electrodes; and a variable DC power supply connected between the first and second common electrodes. The input-side inductor and the output-side inductor connected between the third and fourth common electrodes; the input-side capacitor connected between the first or second common electrode and the signal input terminal; third or a connected output side capacitor between the fourth common electrode and the signal output terminal, the inductance arrangement of the input side and output side inductor
The capacitance of the input and output capacitors is
Satisfies the circuit constants of the impedance matching circuit
A surface acoustic wave filter characterized by being set as follows .
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JP3387469B2 (en) 2000-01-18 2003-03-17 株式会社村田製作所 Surface acoustic wave device and surface acoustic wave filter
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