JP3036613B2 - Matrix optical waveguide switch - Google Patents
Matrix optical waveguide switchInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光通信システム等にお
ける半永久的な光路設定・切替に用いられるマトリクス
光導波路スイッチに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a matrix optical waveguide switch used for semi-permanent optical path setting / switching in an optical communication system or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種のマトリクス光導波路スイ
ッチの例として、「光路切替装置」（特願昭６２−２０
４８４５号）や、「マトリクス光導波路スイッチ」（特
願平３−１５０２号）に開示されたものがある。図１は
前者で開示された従来例の構造であり、図２は後者で開
示された従来例の構造である。図１中、１，２はリッジ
型光導波路、３はリッジ型導波路１，２の交差部に設け
られた間隙である。図２中、４は埋め込み型光導波路、
５はクラッド、６は入力信号用コア、７は出力信号用コ
ア、８は溝、９は液溜である。一般に、この種のマトリ
スク光導波路スイッチは、その入力端，出力端にシング
ルモード光ファイバが接続されて使用される。従って、
低接続損失，低反射減衰を実現するため、光導波路のコ
ア幅やコア，クラッドの屈折率は、シングルモード光フ
ァイバの値とほぼ等しい値に形成されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as an example of this type of matrix optical waveguide switch, an "optical path switching device" (Japanese Patent Application No. 62-20 / 1987).
No. 4845) and "Matrix Optical Waveguide Switch" (Japanese Patent Application No. 3-1502). FIG. 1 shows a structure of a conventional example disclosed in the former, and FIG. 2 shows a structure of a conventional example disclosed in the latter. In FIG. 1, reference numerals 1 and 2 denote ridge-type optical waveguides, and reference numeral 3 denotes a gap provided at the intersection of the ridge-type waveguides 1 and 2. In FIG. 2, 4 is a buried optical waveguide,
5 is a clad, 6 is an input signal core, 7 is an output signal core, 8 is a groove, and 9 is a liquid reservoir. Generally, this type of matrix optical waveguide switch is used with a single mode optical fiber connected to its input end and output end. Therefore,
In order to realize low connection loss and low return loss, the core width of the optical waveguide and the refractive index of the core and the cladding are formed to be substantially equal to the value of the single mode optical fiber.
【０００３】これらマトリクス光導波路スイッチの動作
は、以下の通りである。すなわち、図１の例では間隙３
に、図２の例では溝８に、屈折率が導波路コアに近似す
る屈折率整合液を、注入あるいは排出することにより、
光路の切替が行われる。屈折率整合液が、間隙３（図
１）や溝８（図２）に満たされている場合には、その交
差部では、入力光は直進し、屈折率整合液が排出されて
いる場合には、その交差部で入力光は反射され、出力側
のリッジ型導波路２（図１）、あるいは出力信号用コア
７（図２）に導かれる。The operation of these matrix optical waveguide switches is as follows. That is, in the example of FIG.
In the example shown in FIG. 2, a refractive index matching liquid having a refractive index close to that of the waveguide core is injected or discharged into the groove 8, thereby obtaining
Switching of the optical path is performed. When the refractive index matching liquid is filled in the gap 3 (FIG. 1) or the groove 8 (FIG. 2), at the intersection, the input light goes straight, and when the refractive index matching liquid is discharged. The input light is reflected at the intersection, and is guided to the output-side ridge waveguide 2 (FIG. 1) or the output signal core 7 (FIG. 2).
【０００４】しかし、従来のこの種のマトリクス光導波
路スイッチには以下の問題点があった。図３は、図２の
例におけるコアの交差部を拡大した図である。図中、１
１は理想的な位置に形成された溝、１２は実際に形成さ
れた溝である。この種のマトリクス光導波路スイッチの
挿入損失を小さくするためには、屈折率整合液が溝に満
たされている場合の直進挿入損失と、屈折率整合液が排
出されている場合の反射挿入損失を低下させる必要があ
る。直進挿入損失は、屈折率整合液の屈折率を温度変化
等のために完全にコアの屈折率と一致させることが事実
上不可能なために、生じる。この直進挿入損失を低下さ
せるためには、溝の幅ｄを狭くする必要があるが、必要
な溝深さが数１０μｍにもなるため、高度なリソグラフ
ィ技術を用いても、傾きのない溝の幅ｄを１０μｍ以下
にすることは困難である。また、反射挿入損失を低下さ
せるためには、溝を理想的な位置に形成する必要があ
る。理想的な位置とは、言うまでもなく、入力側１のコ
アと溝１１のなす角θと、出力側２のコアと溝１１のな
す角φとが、等しく、入力側１のコアの中心軸と出力側
２のコアの中心軸の交点に溝１１の壁面が形成される位
置である。なお、ここで述べている溝１１の壁面は、物
理的な壁面ではなく、グース−ヘンヒェンシフトを考慮
した仮想面である。コアに対する角度の精密な位置合わ
せは、現状のリソグラフィ技術を用いれば充分に達成さ
れる。しかし、コア中心軸の交点に対する位置合わせｓ
は、高度なリソグラフィ技術を用いても、１μｍ以下の
位置決め精度を信頼性よく達成することは困難である。However, this type of conventional matrix optical waveguide switch has the following problems. FIG. 3 is an enlarged view of the intersection of the cores in the example of FIG. In the figure, 1
1 is a groove formed at an ideal position, and 12 is a groove actually formed. To reduce the insertion loss of this type of matrix optical waveguide switch, the straight insertion loss when the refractive index matching liquid is filled in the groove and the reflection insertion loss when the refractive index matching liquid is discharged are reduced. Need to lower. The straight insertion loss occurs because it is practically impossible to completely match the refractive index of the refractive index matching liquid with the refractive index of the core due to a temperature change or the like. In order to reduce the straight insertion loss, it is necessary to reduce the width d of the groove, but since the required groove depth is several tens of μm, even if advanced lithography technology is used, a groove having no inclination can be formed. It is difficult to reduce the width d to 10 μm or less. Further, in order to reduce the reflection insertion loss, it is necessary to form the groove at an ideal position. Needless to say, the ideal position is that the angle θ between the core on the input side 1 and the groove 11 is equal to the angle φ between the core on the output side 2 and the groove 11 and is equal to the central axis of the core on the input side 1. This is the position where the wall surface of the groove 11 is formed at the intersection of the central axis of the core on the output side 2. The wall surface of the groove 11 described here is not a physical wall surface but a virtual surface in consideration of the Goos-Henchen shift. Precise angular alignment with respect to the core is fully achieved using current lithographic techniques. However, alignment s with respect to the intersection of the core center axis
However, it is difficult to reliably achieve a positioning accuracy of 1 μm or less even by using an advanced lithography technique.
【０００５】従って、従来のマトリクス光導波路スイッ
チの構造では、低挿入損失化は不可能であるという問題
があった。Therefore, the structure of the conventional matrix optical waveguide switch has a problem that it is impossible to reduce the insertion loss.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記従来の
問題点に鑑み、溝幅や、溝位置精度に対する要求条件を
厳しくすることなく、低挿入損失で高性能なマトリクス
光導波路スイッチを実現することを課題とするものであ
る。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-mentioned problems, the present invention realizes a high-performance matrix optical waveguide switch with low insertion loss without strict requirements for groove width and groove position accuracy. The task is to do so.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明のマトリクス光導
波路スイッチは、入力光信号用光導波路の入力側と、出
力光信号用光導波路の出力側とに、光導波路のコア幅、
屈折率の何れか一方または両方を長さ方向に変化させた
光導波路部が形成されていることを特徴とする。A matrix optical waveguide switch according to the present invention includes a core width of an optical waveguide, an input side of an optical waveguide for an input optical signal, and an output side of an optical waveguide for an output optical signal.
An optical waveguide portion in which one or both of the refractive indexes are changed in the length direction is formed.
【０００８】[0008]
【作用】上記構成の本発明のマトリクス光導波路スイッ
チによれば、溝幅や、溝位置精度に対する要求条件を厳
しくすることなく、挿入損失を低下させ、性能の向上を
図ることができる。According to the matrix optical waveguide switch of the present invention having the above-described structure, the insertion loss can be reduced and the performance can be improved without strict requirements for the groove width and groove position accuracy.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００１０】（実施例１）図４は、本発明の第１の実施
例を示す図である。なお、図中、図２で用いた符号と同
一の符号は同一構成要素を示す。図４において、２１
は、入力光信号用光導波路の入力側に設けたコア幅を長
さ方向に変化させた光導波路部であり、２２は、出力光
信号用光導波路の出力側に設けたコア幅を長さ方向に変
化させた光導波路部である。入力側の光導波路部の入力
端のコア幅２１ｄ1 は、接続するファイバのコア幅とほ
ぼ等しく、また、交差部側のコア幅２１ｄ2 は、ファイ
バコアの幅より大きく形成されている。また、出力側の
光導波路部２２の交差部側のコア幅２２ｄ2 は、ファイ
バコアの幅より大きく、出力端のコア幅２２ｄ1 は、接
続するファイバのコア幅とほぼ等しく形成されている。
本実施例のマトリクス光導波路スイッチの入力端と出力
端にシングルモード光ファイバを接続して、レーザ光を
入力端から入射させた場合、入射されたレーザ光のビー
ム径は、光導波路部２１のコア径が大きくなるにつれて
拡大して、交差部へ導かれる。交差部に導かれたレーザ
ビームは所望の交差部で光路交換された後、出力光信号
用光導波路の光導波路部２２に入射する。そして、レー
ザ光のビーム径は、光導波路部２２のコア径が小さくな
るにつれて、徐々に縮小され、光ファイバに出力され
る。(Embodiment 1) FIG. 4 is a diagram showing a first embodiment of the present invention. In the figure, the same reference numerals as those used in FIG. 2 indicate the same components. In FIG.
Is an optical waveguide section in which the core width provided on the input side of the input optical signal optical waveguide is changed in the length direction, and 22 is the core width provided on the output side of the output optical signal optical waveguide. This is an optical waveguide portion changed in the direction. Core width 21d 1 of the input end of the optical waveguide portion of the input side, the core width of the fiber to be connected to the substantially equal, The core width 21d 2 of the cross section side is formed larger than the width of the fiber core. The core width 22 d 2 of the intersection side of the output side of the optical waveguide portion 22 is larger than the width of the fiber core, the core width 22 d 1 of the output terminal, is formed to be almost equal to the core width of the fiber to be connected.
When a single mode optical fiber is connected to the input end and the output end of the matrix optical waveguide switch of the present embodiment, and the laser light is incident from the input end, the beam diameter of the incident laser light is As the core diameter increases, it expands and is guided to the intersection. The laser beam guided to the intersection is subjected to an optical path exchange at a desired intersection, and then enters the optical waveguide portion 22 of the output optical signal optical waveguide. Then, the beam diameter of the laser light is gradually reduced as the core diameter of the optical waveguide section 22 decreases, and is output to the optical fiber.
【００１１】図５は、ビーム径と挿入損失（直進挿入損
失、反射挿入損失）に及ぼすコア径の影響を定性的に説
明するグラフである。ここで、直進挿入損失とは、若干
屈折率が異なる屈折率整合液が注入されるために生じる
損失であり、反射挿入損失とは溝位置が理想位置に対し
て平行移動するために生じる損失である。直進挿入損失
と反射挿入損失とは、定性的には同様の傾向を示すの
で、図５では一つの曲線で代表して示してある。FIG. 5 is a graph qualitatively illustrating the effect of the core diameter on the beam diameter and the insertion loss (straight insertion loss, reflection insertion loss). Here, the straight insertion loss is a loss caused by injection of a refractive index matching liquid having a slightly different refractive index, and the reflection insertion loss is a loss caused by a parallel movement of a groove position with respect to an ideal position. is there. Since the straight insertion loss and the reflection insertion loss show qualitatively similar trends, they are represented by a single curve in FIG.
【００１２】ところで、シングルモード光ファイバのコ
ア径は、ファイバ中を唯一の伝播モードが存在するよう
に選ばれている。この条件は、次式で表される。By the way, the core diameter of a single mode optical fiber is selected so that only one propagation mode exists in the fiber. This condition is expressed by the following equation.
【００１３】[0013]
【数１】Ｖ＝ａｋｎ1 （２Δ）1/2 ＜２．４０５ Ｖ：規格化周波数， ａ：コア径， ｋ：２π／λ， Δ：（ｎ1 −ｎ2 ）／ｎ1 ， ｎ1 ：コアの屈折率， ｎ2 ：クラッドの屈折率 この条件によりコア径の上限（ａ＝ａmax ）が示され
る。V = akn 1 (2Δ) 1/2 <2.405 V: normalized frequency, a: core diameter, k: 2π / λ, Δ: (n 1 −n 2 ) / n 1 , n 1 : Refractive index of core, n 2 : refractive index of cladding These conditions indicate the upper limit of the core diameter (a = a max ).
【００１４】一方、低伝送損失の観点から、ビーム径は
小さいほうが有利であるため、ファイバコア径は、この
上限値に近い値ａ＝ａf ≒ａmax に設定されている。On the other hand, the smaller the beam diameter is, the more advantageous from the viewpoint of low transmission loss, the fiber core diameter is set to a = a f ≒ a max which is close to this upper limit.
【００１５】しかし、従来例と同様に、光導波路のコア
径をファイバコア径と同じに設定した場合、図５からも
明らかなように、ａ＝ａf 近傍で直進挿入損失、反射挿
入損失はともに極大値を取り、マトリクス型光導波路ス
イッチのコア径としては適当ではない。[0015] However, as in the conventional example, if you set the core diameter of the optical waveguide the same as the fiber core diameter, as is apparent from FIG. 5, the rectilinear insertion loss in the neighborhood a = a f, reflective insertion loss Both have maximum values and are not appropriate as the core diameter of the matrix type optical waveguide switch.
【００１６】そこで本実施例では、入力光信号用光導波
路の入力側および出力光信号用光導波路の出力側にコア
幅を長さ方向に変化させた光導波路部２１および２２を
設け、交差部のコア幅を、ａ＝ａs1＞ａf に設定してい
る。このため、交差部におけるビーム径は、ファイバ内
でのビーム径より大きくなり、直進挿入損失、反射挿入
損失は、両者ともコア径がａ＝ａf の時よりも格段に低
下する。Therefore, in the present embodiment, optical waveguide portions 21 and 22 whose core widths are changed in the length direction are provided on the input side of the input optical signal optical waveguide and on the output side of the output optical signal optical waveguide, and the intersections are provided. the core width is set to a = a s1> a f. Therefore, the beam diameter at the intersection is larger than the beam diameter in the fiber, straight insertion loss, reflection insertion loss, core diameter both is much lower than when a = a f.
【００１７】コア径ａ＝ａf は、前に示した唯一の伝播
モードが存在する条件を満足していない場合もありえる
が、交差部の光路長が高々数ｃｍ以下であるため、基本
モード以外の伝播モードが励起されることはなく、重大
な問題とはならない。The core diameter a = a f, the front sole there may be a case where the propagation mode does not satisfy the presence conditions shown in, but since the optical path length of the intersection is at most a few cm or less, than the fundamental mode Is not excited and is not a serious problem.
【００１８】また、ファイバとの接続部のコア幅はファ
イバと等しくしてあるため、接続損失も問題とはならな
い。Also, since the core width of the connection portion with the fiber is equal to that of the fiber, the connection loss does not matter.
【００１９】さらに、光導波路部２１，２２の長さを数
ｍｍ〜数ｃｍにすれば、ビーム径変更による損失もほと
んど無視できる。Furthermore, if the lengths of the optical waveguide sections 21 and 22 are set to several mm to several cm, the loss due to the change of the beam diameter can be almost ignored.
【００２０】以上の結果として、挿入損失の低いマトリ
クス光導波路スイッチが実現できる。As a result, a matrix optical waveguide switch having low insertion loss can be realized.
【００２１】（実施例２）図６は、本発明の第２の実施
例を示す図である。３１は、入力光信号用光導波路の入
力端におけるコア幅が長さ方向に変化した光導波路部で
あり、３２は、出力光信号用光導波路の出力端における
コア幅が長さ方向に変化した光導波路部である。入力側
の光導波路部３１の入力端のコア幅３１ｄ1 は、接続す
るファイバのコア幅とほぼ等しくａ＝ａf に、また、交
差部側のコア幅３１ｄ2 は、ファイバコアの幅より小さ
く、図５に示すａ＝ａs2＜ａf に形成されている。ま
た、出力側の光導波路部３２の交差部側のコア幅３２ｄ
2 は、ファイバコアの幅より小さくａ＝ａs2＜ａf に、
出力端のコア幅３２ｄ1 は、接続するファイバのコア幅
とほぼ等しくａ＝ａf に形成されている。交差部のコア
幅３１ｄ2 ，３２ｄ2 はａ＝ａs2＜ａf に形成されてお
り、図５に示すように、導波路の閉じ込み効果が低下
し、ビーム径が大きくなる。そのため、本実施例によっ
ても、第１の実施例と同様に挿入損失の低いマトリクス
光導波路スイッチが実現できる。(Embodiment 2) FIG. 6 is a diagram showing a second embodiment of the present invention. Numeral 31 denotes an optical waveguide portion in which the core width at the input end of the input optical signal optical waveguide changes in the length direction, and numeral 32 denotes that the core width at the output end of the output optical signal optical waveguide changes in the length direction. This is an optical waveguide section. Core width 31d 1 of the input end of the optical waveguide section 31 on the input side, substantially equal to a = a f the core width of the fiber to be connected, also, the core width 31d 2 of the cross section side is smaller than the width of the fiber core It is formed in a = a s2 <a f shown in FIG. Further, a core width 32d at the intersection of the output side optical waveguide portion 32 is provided.
2, the smaller a = a s2 <a f than the width of the fiber core,
Core width 32d 1 of the output end thereof is formed substantially equal to a = a f the core width of the fiber to be connected. The core widths 31d 2 and 32d 2 at the intersections are formed so that a = a s2 <a f . As shown in FIG. 5, the confinement effect of the waveguide is reduced, and the beam diameter is increased. Therefore, according to the present embodiment, a matrix optical waveguide switch having a low insertion loss can be realized similarly to the first embodiment.
【００２２】（実施例３）本発明の第３の実施例は、入
力光信号用光導波路の入力側および出力信号用光導波路
の出力側におけるコア屈折率を長さ方向に変化させた光
導波路部を持つマトリクス光導波路スイッチである。(Embodiment 3) A third embodiment of the present invention is directed to an optical waveguide in which the core refractive index on the input side of the input optical signal optical waveguide and the output side of the output signal optical waveguide is changed in the longitudinal direction. This is a matrix optical waveguide switch having a portion.
【００２３】入力側の光導波路部の入力端のコア屈折率
は、接続するファイバのコア屈折率ｎf とほぼ等しく、
また、交差部側のコア屈折率は、ファイバコアの屈折率
より小さく、ｎ＝ｎs ＜ｎf に形成されている。また、
出力側の光導波路部の交差部側のコア屈折率は、ファイ
バコアの屈折率より小さく、ｎ＝ｎs ＜ｎf に、出力端
のコア幅は、接続するファイバのコア屈折率ｎf とほぼ
等しく形成されている。なお、ファイバコアの屈折率ｎ
f は、前に述べたファイバ中を唯一の伝播モードが存在
する条件から決定されている。The core refractive index of the input end of the optical waveguide portion of the input side is approximately equal to the core refractive index n f of the fiber to be connected,
The core refractive index of the intersecting side is smaller than the refractive index of the fiber core is formed into n = n s <n f. Also,
Core refractive index of the intersecting portion of the optical waveguide portion of the output side is smaller than the refractive index of the fiber core, the n = n s <n f, the core width of the output end, and a core refractive index n f of the fiber connecting They are formed almost equally. The refractive index n of the fiber core
f is determined from the condition described above where only one propagation mode exists in the fiber.
【００２４】図７は、クラッドの屈折率が１．４６の場
合における、ビーム径と挿入損失に及ぼすコア屈折率の
影響を定性的に示す図である。コア屈折率が高いほどビ
ーム径は小さく、挿入損失は大きくなる。従って、入力
光信号用光導波路に入射されたビームは、入力光信号用
光導波路のコア屈折率を長さ方向に変化させた光導波路
部においては、ビーム径を徐々に広げ、交差部に入射す
る。また、出力光信号用光導波路に入射したビームは、
コア屈折率を長さ方向に変化させた光導波路部において
は、ビーム径を徐々に狭めて最終的にファイバのビーム
径と等しくなる。スイッチ機能を持つ交差部のコア屈折
率は、ファイバのコア屈折率ｎf より小さいｎs に形成
されているため、挿入損失は図７に示すように格段に低
下する。FIG. 7 is a graph qualitatively showing the effect of the core refractive index on the beam diameter and the insertion loss when the cladding refractive index is 1.46. The beam diameter becomes smaller and the insertion loss becomes larger as the core refractive index becomes higher. Therefore, the beam incident on the optical waveguide for input optical signal gradually expands the beam diameter in the optical waveguide portion in which the core refractive index of the optical waveguide for input optical signal is changed in the length direction, and is incident on the intersection. I do. Also, the beam incident on the output optical signal optical waveguide is:
In the optical waveguide portion in which the core refractive index is changed in the length direction, the beam diameter is gradually narrowed and finally becomes equal to the beam diameter of the fiber. Core refractive index of intersection with a switching function, because they are formed in the core refractive index n f is smaller than n s of the fiber, the insertion loss is greatly reduced as shown in FIG.
【００２５】以上説明したように、本実施例によっても
低挿入損失なマトリクス光導波路スイッチが実現でき
る。As described above, according to this embodiment, a matrix optical waveguide switch having low insertion loss can be realized.
【００２６】ここに示した３つの実施例では、入力信号
用光導波路の入力端および出力信号用光導波路の出力端
の光導波路部において、コア幅と屈折率を単独に変化さ
せた例であるが、両者を同時に変化させた場合でも同様
の効果があることは言うまでもない。The three embodiments shown here are examples in which the core width and the refractive index are independently changed at the input end of the input signal optical waveguide and the output end of the output signal optical waveguide. However, needless to say, the same effect can be obtained even when both are changed simultaneously.
【００２７】さらに、本実施例の説明では、交差部にお
ける溝の幅や位置決め精度が与えられた場合に、本発明
によって得られる挿入損失低下に対する効果を述べた
が、必要とされる挿入損失が与えられる場合には、それ
を実現するために必要な溝の幅や位置決め精度に対する
要求条件が緩和されるという効果があることは自明であ
る。Further, in the description of the present embodiment, the effect on the insertion loss reduction obtained by the present invention when the width of the groove at the intersection and the positioning accuracy are given is described. If given, it is obvious that there is an effect that the requirements for the width of the groove and the positioning accuracy required for realizing it are eased.
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によるマト
リクス光導波路スイッチによれば、入力光信号用光導波
路の入力端と、出力光信号用光導波路の出力端とに、光
導波路のコア幅および屈折率の何れか一方または両方を
長さ方向に変化させた光導波路部が形成されているた
め、低挿入損失の低下および性能の向上が実現できる。
また、必要とされる挿入損失が与えられる場合には、加
工精度に対する要求条件が緩和されるため、製造歩留り
の向上も実現できる。As described above, according to the matrix optical waveguide switch of the present invention, the core width of the optical waveguide is provided between the input end of the input optical signal optical waveguide and the output end of the output optical signal optical waveguide. Since one or both of the refractive index and the refractive index are changed in the length direction, a low insertion loss can be reduced and the performance can be improved.
In addition, when a required insertion loss is given, requirements for processing accuracy are relaxed, so that an improvement in manufacturing yield can be realized.
【図１】マトリクス光導波路スイッチの従来例を示す斜
視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a conventional example of a matrix optical waveguide switch.
【図２】マトリクス光導波路スイッチの他の従来例を示
す平面構成図である。FIG. 2 is a plan view showing another conventional example of a matrix optical waveguide switch.
【図３】従来のマトリクス光導波路スイッチのコアの交
差部の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of an intersection of cores of a conventional matrix optical waveguide switch.
【図４】本発明のマトリクス光導波路スイッチの第１の
実施例の平面構成図である。FIG. 4 is a plan view showing a matrix optical waveguide switch according to a first embodiment of the present invention;
【図５】本発明の第１および第２の実施例におけるビー
ム径と挿入損失に及ぼすコア径の影響を定性的に説明す
るグラフである。FIG. 5 is a graph qualitatively illustrating the influence of the core diameter on the beam diameter and the insertion loss in the first and second embodiments of the present invention.
【図６】本発明のマトリクス光導波路スイッチの第２の
実施例の平面構成図である。FIG. 6 is a plan view of a matrix optical waveguide switch according to a second embodiment of the present invention.
【図７】本発明の第３の実施例におけるビーム径と挿入
損失に及ぼすコア屈折率の影響を定性的に説明するグラ
フである。FIG. 7 is a graph qualitatively illustrating the influence of the core refractive index on the beam diameter and the insertion loss in the third embodiment of the present invention.
１，２ リッジ型光導波路 ３ リッジ型導波路１，２の交差部に設けられた間隙 ４ 埋め込み型光導波路 ５ クラッド ６ 入力信号用コア ７ 出力信号用コア ８ 溝 ９ 液溜 １１ 理想的な位置に形成された溝 １２ 実際に形成された溝 ２１，３１ 入力信号用光導波路の入力端におけるコア
幅が長さ方向に変化した光導波路部 ２２，３２ 出力信号用光導波路の出力端におけるコア
幅が長さ方向に変化した光導波路部 ２１ｄ1 ，３１ｄ1 入力側の光導波路部の入力端のコ
ア幅 ２１ｄ2 ，３１ｄ2 入力側の光導波路部の交差部側の
コア幅 ２２ｄ1 ，３２ｄ1 出力側の光導波路部の出力端のコ
ア幅 ２２ｄ2 ，３２ｄ2 出力側の光導波路部の交差部側の
コア幅1, 2 ridge type optical waveguide 3 gap provided at intersection of ridge type waveguides 1 and 4 4 buried type optical waveguide 5 clad 6 core for input signal 7 core for output signal 8 groove 9 liquid reservoir 11 ideal position The groove formed in the groove 12 The groove actually formed 21, 31 The optical waveguide portion in which the core width at the input end of the input signal optical waveguide changes in the length direction 22, 32 The core width at the output end of the output signal optical waveguide 21d 1 , 31d 1 The core width at the input end of the optical waveguide on the input side 21d 2 , 31d 2 The core width 22d 1 , 32d 1 at the intersection of the optical waveguides on the input side Core width at the output end of the optical waveguide on the output side 22d 2 , 32d 2 Core width at the intersection of the optical waveguides on the output side
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−235496（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−52616（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−215812（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−54402（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−217330（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−280202（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 26/08 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (56) References JP-A-4-235496 (JP, A) JP-A-4-52616 (JP, A) JP-A-3-215812 (JP, A) JP-A-56- 54402 (JP, A) JP-A-63-217330 (JP, A) JP-A-63-280202 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G02B 26/08
Claims (3)
波路および出力光信号用光導波路の各交差部で光導波路
をその成形面に対して垂直に切断する個別の溝を有する
マトリクス光導波路スイッチにおいて、 前記入力光信号用光導波路の入力側と、前記出力光信号
用光導波路の出力側とに、光導波路のコア幅を長さ方向
に変化させた光導波路部が形成されていることを特徴と
するマトリクス光導波路スイッチ。1. A matrix optical waveguide switch having an individual groove for cutting an optical waveguide perpendicular to a molding surface at each intersection of a plurality of optical waveguides for input optical signals and optical waveguides for output optical signals that intersect each other. In the above, on the input side of the input optical signal optical waveguide, and on the output side of the output optical signal optical waveguide, an optical waveguide portion in which the core width of the optical waveguide is changed in the length direction is formed. Characteristic matrix optical waveguide switch.
波路および出力光信号用光導波路の各交差部で光導波路
をその成形面に対して垂直に切断する個別の溝を有する
マトリクス光導波路スイッチにおいて、 前記入力光信号用光導波路の入力側と、前記出力光信号
用光導波路の出力側とに、光導波路の屈折率を長さ方向
に変化させた光導波路部が形成されていることを特徴と
するマトリクス光導波路スイッチ。2. A matrix optical waveguide switch having individual grooves for cutting an optical waveguide perpendicular to its molding surface at each intersection of a plurality of input optical signal optical waveguides and output optical signal optical waveguides crossing each other. In the above, on the input side of the optical waveguide for input optical signal and on the output side of the optical waveguide for output optical signal, an optical waveguide portion in which the refractive index of the optical waveguide is changed in the length direction is formed. Characteristic matrix optical waveguide switch.
波路および出力光信号用光導波路の各交差部で光導波路
をその成形面に対して垂直に切断する個別の溝を有する
マトリクス光導波路スイッチにおいて、 前記入力光信号用光導波路の入力側と、前記出力光信号
用光導波路の出力側とに、光導波路のコア幅および屈折
率の両方を長さ方向に変化させた光導波路部が形成され
ていることを特徴とするマトリクス光導波路スイッチ。3. A matrix optical waveguide switch having an individual groove for cutting an optical waveguide perpendicular to its molding surface at each intersection of a plurality of input optical signal optical waveguides and output optical signal optical waveguides that intersect each other. In the input side of the optical waveguide for an input optical signal and the output side of the optical waveguide for an output optical signal, an optical waveguide portion in which both the core width and the refractive index of the optical waveguide are changed in the length direction is formed. A matrix optical waveguide switch characterized in that:
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|---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP26744092A JP3036613B2 (en) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | Matrix optical waveguide switch |
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1992
- 1992-10-06 JP JP26744092A patent/JP3036613B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
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